KR102459796B1 - Manufacturing method for glass plate and manufacturing apparatus for glass plate - Google Patents

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Abstract

본 방법은 용융 유리를 성형체로부터 유하시켜서 유리판을 성형하는 성형 공정과, 성형체의 하방에 배치되는 한쌍의 롤러에 의해, 성형 공정에서 성형된 유리판을 하방으로 반송하면서, 유리판의 반송 방향에 대하여 순차 온도가 낮아지도록 유리판의 온도를 제어하는 히터에 의해, 유리판을 냉각하는 냉각 공정을 구비한다. 냉각 공정에서는, 한쌍의 롤러는, 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 유리판을 협지하고, 히터는, 한쌍의 롤러에 의해 냉각된 유리판의 영역의 온도를, 유리판의 폭 방향에서 균일해지도록 제어한다.This method flows down a molten glass from a molded object, and a shaping|molding process of shaping|molding a glass plate, conveying the glass plate shape|molded in a shaping|molding process downward with a pair of rollers arrange|positioned below the molded object, temperature sequentially with respect to the conveyance direction of a glass plate The cooling process of cooling a glass plate is provided with the heater which controls the temperature of a glass plate so that it may become low. In a cooling process, a pair of roller clamps a glass plate while cooling so that deformation|transformation by heat may be suppressed, and a heater controls the temperature of the area|region of the glass plate cooled by a pair of rollers so that it may become uniform in the width direction of a glass plate.

Description

유리판의 제조 방법, 및 유리판의 제조 장치{MANUFACTURING METHOD FOR GLASS PLATE AND MANUFACTURING APPARATUS FOR GLASS PLATE}The manufacturing method of a glass plate, and the manufacturing apparatus of a glass plate TECHNICAL FIELD

본 발명은 유리판의 제조 방법, 및 유리판의 제조 장치에 관한 것이다.This invention relates to the manufacturing method of a glass plate, and the manufacturing apparatus of a glass plate.

다운드로우법을 사용하여 유리판(시트 글래스)을 제조하는 방법이 사용되고 있다. 다운드로우법에 의해 성형되는 시트 글래스는, 판 두께가 거의 일정한 제품 영역(폭 방향 중앙 영역)과, 제품 영역보다 판 두께가 두꺼운 제품 영역의 폭 방향의 양단에 위치하는 단부(귀부)를 포함한다. 성형된 시트 글래스를 하측 방향으로 안정적으로 반송하기 위해서, 시트 글래스의 제품 영역과 단부의 경계 영역을 반송 롤에 의해 협지하고 있다.The method of manufacturing a glass plate (sheet glass) using the down-draw method is used. The sheet glass molded by the down-draw method includes a product region (the central region in the width direction) having a substantially constant plate thickness, and end portions (edge portions) positioned at both ends in the width direction of the product region having a plate thickness greater than the product region. . In order to convey the shape|molded sheet glass in a downward direction stably, the product area|region of sheet glass and the boundary area of an edge part are pinched|interposed with a conveyance roll.

그런데, 시트 글래스는, 휨, 변형이 일정한 품질 기준을 충족하도록 냉각(서냉)된다. 구체적으로는, 휨 및 변형이 소정의 값으로 되도록, 흐름 방향을 따라서 시트 글래스의 폭 방향의 온도 프로파일이 미리 설계되어 있다. 즉, 미리 설계된 온도 프로파일이 되도록 온도 관리를 실행함으로써, 미리 상정한 휨, 변형의 값을 갖는 유리판을 제조할 수 있다. 이에 의해, 고객의 휨 및 변형의 품질 기준을 충족하는 유리판을 제조할 수 있다. 따라서, 시트 글래스가, 설계된 온도 프로파일이 되도록, 냉각 장치나 히터 등을 사용하여 엄밀한 온도 관리를 행하고 있다.By the way, sheet glass is cooled (slow cooling) so that curvature and a deformation|transformation may satisfy certain quality standards. Specifically, the temperature profile of the width direction of sheet glass is designed beforehand along a flow direction so that curvature and a deformation|transformation may become a predetermined value. That is, the glass plate which has the value of the curvature and deformation|transformation assumed previously by performing temperature control so that it may become a pre-designed temperature profile can be manufactured. Thereby, the glass plate which satisfies the quality standard of the customer's warpage and deformation|transformation can be manufactured. Therefore, strict temperature control is performed using a cooling apparatus, a heater, etc. so that sheet glass may become the designed temperature profile.

일본 특허 공개 제2013-212987호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2013-212987

시트 글래스를 반송하면서 냉각할 때, 시트 글래스의 반송에 사용하는 반송 롤이 열에 의해 변형되는 것을 억제하기 위해서, 반송 롤의 온도가 일정 이하로 되도록 냉각되고 있다. 반송 롤이 냉각되면, 반송 롤과 시트 글래스의 온도차가 커지고, 또한, 시트 글래스가 얇아져서 시트 글래스의 보유 열이 작아지면, 시트 글래스는 반송 롤에 의한 영향을 받기 쉬워져, 반송 롤이 시트 글래스를 협지하는 영역을 소정의 온도 프로파일에 기초하여 성형하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.When cooling conveying sheet glass, in order to suppress that the conveyance roll used for conveyance of sheet glass deform|transforms by a heat|fever, it is cooled so that the temperature of a conveyance roll may become fixed or less. When a conveyance roll cools, the temperature difference between a conveyance roll and sheet glass becomes large, and when sheet glass becomes thin and the heat retention of sheet glass becomes small, the sheet glass becomes susceptible to the influence by a conveyance roll, and a conveyance roll becomes sheet glass It may become difficult to shape|mold the area|region which clamps based on a predetermined|prescribed temperature profile.

그래서, 본 발명은 얇은 유리판이어도, 반송 롤이 시트 글래스를 협지하는 영역에서, 설계된 온도 프로파일을 재현하고자 한 경우에 용이하게 이 온도 프로파일을 실현할 수 있고, 유리판의 평면도(휨량)를 고정밀도로 얻는 것이 가능한 유리판의 제조 방법, 및 유리판의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, even if the present invention is a thin glass plate, when the designed temperature profile is to be reproduced in the region where the conveying roll clamps the sheet glass, this temperature profile can be easily realized, and the flatness (the amount of warpage) of the glass plate can be obtained with high precision. It aims at providing the manufacturing method of a possible glass plate, and the manufacturing apparatus of a glass plate.

본 발명은 이하의 형태를 포함한다.The present invention includes the following aspects.

(형태 1)(Form 1)

용융 유리를 성형체로부터 유하시켜서 유리판을 성형하는 성형 공정과,A molding step of flowing a molten glass from a molded body to shape a glass plate;

상기 성형체의 하방에 배치되는 한쌍의 롤러에 의해, 상기 성형 공정에서 성형된 상기 유리판을 하방으로 반송하면서, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 순차 온도가 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어하는 히터에 의해, 상기 유리판을 냉각하는 냉각 공정을 구비하고,By a heater that controls the temperature of the glass plate so that the temperature of the glass plate is sequentially lowered in the conveying direction of the glass plate while transporting the glass plate molded in the forming process downward by a pair of rollers disposed below the molded body, A cooling step of cooling the glass plate,

상기 냉각 공정에서는,In the cooling process,

상기 한쌍의 롤러는, 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 상기 유리판을 협지하고,The pair of rollers clamp the glass plate while cooling so that deformation due to heat is suppressed,

상기 히터는, 상기 한쌍의 롤러에 의해 냉각된 상기 유리판의 영역의 온도를, 상기 유리판의 폭 방향에서 균일해지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.The said heater controls the temperature of the area|region of the said glass plate cooled by the said pair of rollers so that it may become uniform in the width direction of the said glass plate, The manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned.

(형태 2)(Form 2)

형태 1에 있어서,In form 1,

상기 성형 공정에서는, 상기 유리판의 폭 방향의 양단과, 상기 양단에 끼워진 상기 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역을 갖는 유리판이 성형되고,In the said forming process, the glass plate which has the both ends of the width direction of the said glass plate, and the width direction center area|region whose thickness of the said glass plate is thinner than the thickness of the said glass plate in the said both ends pinched|interposed between the said both ends is shape|molded,

상기 냉각 공정에서는,In the cooling process,

상기 한쌍의 롤러는, 상기 폭 방향 중앙 영역과 상기 단 사이의 영역을 협지하고,The pair of rollers sandwich the area between the central area in the width direction and the end,

상기 히터는, 상기 롤러가 협지하기 전, 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 균일해지고, 또한, 상기 롤러가 협지하는 협지 영역의 온도가 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도보다 높아지도록, 상기 유리판의 온도를 제어한다.The heater, before the roller is clamped, the temperature of the central region in the width direction becomes uniform, and the temperature of the clamping region sandwiched by the roller becomes higher than the temperature of the central region in the width direction, the temperature of the glass plate control

(형태 3)(Form 3)

형태 1 또는 2에 있어서, 상기 냉각 공정에서는, 상기 히터는, 상기 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 협지 영역의 온도 분포가, 상기 양단에 끼워진, 상기 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역 및 상기 단을 향하여 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어한다.In the form 1 or 2, in the said cooling process, the said heater, before the said roller clamps the said glass plate, the temperature distribution of the said clamping area|region is said than the thickness of the said glass plate in the said both ends pinched|interposed between the said both ends. The temperature of the glass plate is controlled so that the thickness of the glass plate decreases toward the central region in the width direction and the end.

(형태 4)(Form 4)

형태 1 내지 3 중 어느 하나의 형태에 있어서,According to any one of forms 1 to 3,

상기 히터는, 상기 폭 방향으로 복수로 분할된 분할 히터를 포함하고,The heater includes a divided heater divided into a plurality in the width direction,

상기 분할 히터는, 상기 롤러가 협지하는 협지 영역에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치된 협지 영역 대응 히터를 포함한다.The divided heater includes a clamping region corresponding heater provided at a position in the width direction corresponding to the clamping region clamped by the roller.

(형태 5)(Form 5)

형태 4에 있어서, 상기 분할 히터는, 상기 협지 영역 대응 히터 이외에, 상기 유리판의 폭 방향의 양단에 끼워진, 상기 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치된 중앙 영역 대응 히터를 포함하고,In aspect 4, the said split heater, other than the said clamping area correspondence heater, is sandwiched at both ends of the width direction of the said glass plate, The thickness of the said glass plate is thinner than the thickness of the said glass plate in the said both ends Corresponding to the width direction center area Including a central area corresponding heater installed at a position in the width direction,

상기 협지 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리를, 상기 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 상기 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 협지 영역의 온도가 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도보다 높아지도록, 상기 협지 영역 대응 히터의 출력을 제어한다.The distance from the glass plate of the heater corresponding to the clamping region is made greater than the distance from the glass plate of the heater corresponding to the central region, and before the roller clamps the glass plate, the temperature of the clamping region is the width direction central region. Control the output of the heater corresponding to the pinching area so as to be higher than the temperature of

(형태 6)(Form 6)

형태 5에 있어서, 상기 폭 방향 중앙 영역은, 상기 폭 방향의 중심을 포함하는 제1 중앙 영역과, 상기 제1 중앙 영역과 상기 협지 영역 사이에 위치하는 제2 중앙 영역을 갖고,The method according to aspect 5, wherein the central region in the width direction has a first central region including a center in the width direction, and a second central region located between the first central region and the pinching region;

상기 중앙 영역 대응 히터는, 상기 제1 중앙 영역에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치된 제1 중앙 영역 대응 히터와, 상기 제2 중앙 영역에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치된 제2 중앙 영역 대응 히터를 포함하고,The central region-corresponding heater includes a first central region-corresponding heater provided at a position in the width direction corresponding to the first central region, and a second central region-corresponding heater installed at a width direction position corresponding to the second central region. including,

상기 제2 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리를, 상기 제1 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 상기 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 제2 중앙 영역의 온도가 상기 제1 중앙 영역의 온도보다 부분적으로 높아지도록, 상기 제2 중앙 영역 대응 히터의 출력을 제어한다.the distance from the glass plate of the second central region corresponding heater is greater than the distance from the glass plate of the first central region corresponding heater, and the temperature of the second central region before the roller pinches the glass plate The output of the heater corresponding to the second central region is controlled such that the temperature of the first central region is partially higher than that of the first central region.

(형태 7)(Form 7)

형태 3에 있어서, 상기 협지 영역에서의 상기 온도 분포의 최고 온도와 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도 간의 온도차가, 상기 유리판의 상기 반송 방향의 상류측으로부터 하류측을 향하여 서서히 작아진다.Aspect 3 WHEREIN: The temperature difference between the maximum temperature of the said temperature distribution in the said clamping area|region, and the temperature of the said width direction center area|region becomes small gradually toward a downstream from the upstream of the said conveyance direction of the said glass plate.

(형태 8)(Form 8)

형태 1 내지 7 중 어느 하나의 형태에 있어서,According to any one of forms 1 to 7,

상기 유리판과 상기 히터 사이에는, 상기 유리판의 표면과 대향하도록 균열판이 배치되고,Between the glass plate and the heater, a crack plate is disposed so as to face the surface of the glass plate,

상기 히터의 상기 폭 방향의 열 분포를 상기 균열판에 의해 완만하게 함으로써, 상기 유리판의 온도 분포를 제어한다.The temperature distribution of the said glass plate is controlled by making the heat distribution of the said width direction of the said heater gentle with the said cracking plate.

(형태 9)(Form 9)

용융 유리를 유하시켜서 유리판을 성형하는 성형체와,A molded body for forming a glass plate by flowing molten glass;

상기 성형체의 하방에 배치되고, 상기 유리판을 하방으로 반송하는 한쌍의 롤러와,A pair of rollers disposed below the molded body and conveying the glass plate downward;

상기 유리판의 반송 방향에 대하여 순차 온도가 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어하는 히터를 구비하고,A heater for controlling the temperature of the glass plate so that the temperature is sequentially lowered with respect to the conveyance direction of the glass plate,

상기 한쌍의 롤러는, 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 상기 유리판을 협지하고,The pair of rollers clamp the glass plate while cooling so that deformation due to heat is suppressed,

상기 히터는, 상기 한쌍의 롤러에 의해 냉각된 상기 유리판의 영역의 온도를, 상기 유리판의 폭 방향에서 균일해지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.The said heater controls the temperature of the area|region of the said glass plate cooled by the said pair of rollers so that it may become uniform in the width direction of the said glass plate, The manufacturing apparatus of the glass plate characterized by the above-mentioned.

본 발명에 따르면, 얇은 유리판이어도, 반송 롤이 시트 글래스를 협지하는 영역에서, 설계된 온도 프로파일을 재현하고자 하는 경우에 실현할 수 있고, 유리판의 평면도(휨량)를 고정밀도로 얻을 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a thin glass plate, in the area|region where a conveyance roll clamps sheet glass, when it intends to reproduce the designed temperature profile, it can implement|achieve, and the flatness (curvature amount) of a glass plate can be obtained with high precision.

도 1은 본 실시 형태에 따른 유리판의 제조 방법의 흐름도이다.
도 2는 유리판의 제조 방법에서 사용되는 유리판의 제조 장치를 도시하는 모식도이다.
도 3은 성형 장치의 개략 개략도(단면도)이다.
도 4는 성형 장치의 개략 개략도(측면도)이다.
도 5는 제어 장치의 제어 블록도이다.
도 6은 냉각 챔버 내의 분위기 온도를 제어하는 히터를 배면 측으로부터 본 도면이다.
도 7은 도 6을 상류측으로부터 본 도면이다.
도 8은 냉각 공정에서의 시트 글래스의 소정의 높이 위치에 있어서의 온도 프로파일을 도시하는 도면이다.
도 9는 냉각 공정에서의 시트 글래스의 소정의 높이 위치에 있어서의 시트 글래스의 온도 분포를 도시하는 도면이다.
도 10은 냉각 공정에서의 분할 히터의 배치예를 도시하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a flowchart of the manufacturing method of the glass plate which concerns on this embodiment.
It is a schematic diagram which shows the manufacturing apparatus of the glass plate used with the manufacturing method of a glass plate.
3 is a schematic schematic diagram (cross-sectional view) of a molding apparatus.
4 is a schematic schematic view (side view) of a molding apparatus.
5 is a control block diagram of the control device.
Fig. 6 is a view of the heater for controlling the atmospheric temperature in the cooling chamber as viewed from the rear side.
Fig. 7 is a view of Fig. 6 viewed from the upstream side.
It is a figure which shows the temperature profile in the predetermined height position of the sheet glass in a cooling process.
It is a figure which shows the temperature distribution of the sheet glass in the predetermined height position of the sheet glass in a cooling process.
10 is a diagram showing an example of arrangement of a split heater in a cooling step.

본 실시 형태에 따른 유리판(유리 기판)의 제조 방법에서는, 예를 들어 TFT(Thin Film Transistor) 디스플레이용의 유리 기판을 제조한다. 유리판은, 다운드로우법을 사용하여 제조된다. 이하, 도면을 참조하면서, 본 실시 형태에 따른 유리 기판의 제조 방법에 대하여 설명한다.In the manufacturing method of the glass plate (glass substrate) which concerns on this embodiment, the glass substrate for TFT(Thin Film Transistor) displays is manufactured, for example. A glass plate is manufactured using the down-draw method. Hereinafter, the manufacturing method of the glass substrate which concerns on this embodiment is demonstrated, referring drawings.

(1) 유리판의 제조 방법의 개요(1) Outline of the manufacturing method of a glass plate

먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여, 유리 기판의 제조 방법에 포함되는 복수의 공정 및 복수의 공정에 사용되는 유리 기판의 제조 장치(100)를 설명한다. 유리 기판의 제조 방법은, 도 1에 도시한 바와 같이, 주로, 용융 공정 S1과, 청징 공정 S2와, 성형 공정 S3과, 냉각 공정 S4와, 절단 공정 S5를 포함한다.First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the manufacturing apparatus 100 of the glass substrate used for the some process included in the manufacturing method of a glass substrate, and a plurality of processes is demonstrated. As shown in FIG. 1, the manufacturing method of a glass substrate mainly contains melting process S1, clarification process S2, shaping|molding process S3, cooling process S4, and cutting process S5.

용융 공정 S1은, 유리의 원료가 용융되는 공정이다. 유리의 원료는, 원하는 조성이 되도록 조합된 후, 도 2에 도시한 바와 같이, 상류에 배치된 용융 장치(11)에 투입된다. 유리 원료는, 예를 들어, SiO2, Al2O3, B2O3, CaO, SrO, BaO 등의 조성을 포함한다. 구체적으로는, 변형점이 660℃ 이상이 되는 유리 원료를 사용한다. 유리의 원료는, 용융 장치(11)에서 용융되어서, 용융 유리 FG가 된다. 용융 온도는, 유리의 종류에 따라 조정된다. 본 실시 형태에서는, 유리 원료가 1500℃ 내지 1650℃에서 용융된다. 용융 유리 FG는, 상류 파이프(23)를 통하여 청징 장치(12)에 보내진다.Melting process S1 is a process in which the raw material of glass is melt|dissolved. After the raw materials for glass are combined so as to have a desired composition, as shown in FIG. 2 , it is introduced into a melting apparatus 11 arranged upstream. Glass - making feedstock contains compositions, such as SiO2, Al2O3 , B2O3 , CaO, SrO, BaO, for example . Specifically, a glass raw material having a strain point of 660°C or higher is used. The raw material of glass is fuse|melted by the melting apparatus 11, and turns into molten glass FG. Melting temperature is adjusted according to the kind of glass. In this embodiment, glass-making feedstock melts at 1500 degreeC - 1650 degreeC. Molten glass FG is sent to the clarification apparatus 12 through the upstream pipe 23.

청징 공정 S2는, 용융 유리 FG 중의 기포의 제거를 행하는 공정이다. 청징 장치(12) 내에서 기포가 제거된 용융 유리 FG는, 그 후, 하류 파이프(24)를 통하여 성형 장치(40)에 보내진다.Clarification process S2 is a process of removing the bubble in molten-glass FG. Molten-glass FG from which bubbles were removed in the clarification apparatus 12 is sent to the shaping|molding apparatus 40 through the downstream pipe 24 after that.

성형 공정 S3은, 용융 유리 FG를 시트상의 유리(시트 글래스) SG로 성형하는 공정이다. 구체적으로, 용융 유리 FG는, 성형 장치(40)에 포함되는 성형체(41)에 연속적으로 공급된 후, 성형체(41)로부터 오버플로우한다. 오버플로우한 용융 유리 FG는, 성형체(41)의 표면을 따라서 유하한다. 용융 유리 FG는, 그 후, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 시트 글래스 SG로 성형된다. 시트 글래스 SG는, 폭 방향의 단에 위치하는 측부(귀부, 단부)와, 측부 사이에 끼워진 폭 방향의 중앙 영역을 갖는다. 시트 글래스 SG의 측부의 판 두께는, 중앙 영역의 판 두께와 비교하여 두껍게 성형된다. 시트 글래스 SG의 중앙 영역은, 일정한 판 두께를 포함하는 유리 기판의 제품이 되는 영역이다. 시트 글래스 SG의 중앙 영역의 판 두께를 0.4mm 이하의 박판으로 성형하고자 하는 경우, 시트 글래스 SG의 측부의 판 두께는 종래보다 얇게 성형된다.Forming process S3 is a process of shape|molding molten-glass FG with sheet-shaped glass (sheet glass) SG. After being continuously supplied to the molded object 41 contained in the shaping|molding apparatus 40, molten glass FG overflows from the molded object 41 specifically,. The molten glass FG which overflowed flows down along the surface of the molded object 41. As shown in FIG. Molten glass FG joins in the lower end part 41a of the molded object 41 after that, and is shape|molded by sheet glass SG. Sheet glass SG has a side part (edge part, an edge part) located in the end of the width direction, and the center area|region of the width direction sandwiched between the side parts. The plate|board thickness of the side part of sheet glass SG is thickly shape|molded compared with the plate|board thickness of a center area|region. The central area|region of sheet glass SG is an area|region used as the product of the glass substrate containing constant plate|board thickness. When it is going to shape|mold the plate|board thickness of the center area|region of sheet glass SG into a thin plate of 0.4 mm or less, the plate|board thickness of the side part of sheet glass SG is shape|molded thinner than before.

냉각 공정 S4는, 시트 글래스 SG를 냉각(서냉)하는 공정이다. 시트 글래스 SG는, 냉각 공정 S4를 거쳐서 실온에 가까운 온도로 냉각된다. 또한, 냉각 공정 S4에 있어서의, 냉각의 상태에 따라, 유리 기판의 두께(판 두께), 유리 기판의 휨량, 및 유리 기판의 변형량이 결정된다.Cooling process S4 is a process of cooling (slow cooling) sheet glass SG. Sheet glass SG is cooled to the temperature close to room temperature through cooling process S4. Moreover, according to the state of cooling in cooling process S4, the thickness (board thickness) of a glass substrate, the curvature amount of a glass substrate, and the deformation amount of a glass substrate are determined.

절단 공정 S5는, 실온에 가까운 온도가 된 시트 글래스 SG를, 소정의 크기로 절단하는 공정이다.Cutting process S5 is a process of cutting|disconnecting sheet glass SG which became the temperature near room temperature to a predetermined|prescribed magnitude|size.

또한, 소정의 크기로 절단된 시트 글래스 SG(유리판PG)는 그 후, 단부면 가공 등의 공정을 거쳐, 유리 기판이 된다.Moreover, sheet glass SG (glass plate PG) cut|disconnected to the predetermined|prescribed size becomes a glass substrate through processes, such as an end surface processing, after that.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 유리 기판의 제조 장치(100)에 포함되는 성형 장치(40)의 구성을 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 시트 글래스 SG의 폭 방향이란, 시트 글래스 SG가 유하하는 방향(흐름 방향)에 직교하는 방향, 즉, 수평 방향을 의미한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 3-5, the structure of the shaping|molding apparatus 40 contained in the manufacturing apparatus 100 of a glass substrate is demonstrated. In addition, in this embodiment, the width direction of sheet glass SG means the direction orthogonal to the direction (flow direction) in which sheet glass SG flows down, ie, a horizontal direction.

(2) 성형 장치의 구성(2) Configuration of molding apparatus

먼저, 도 3 및 도 4에, 성형 장치(40)의 개략 구성을 도시한다. 도 3은, 성형 장치(40)의 단면도이다. 도 4는, 성형 장치(40)의 측면도이다.First, the schematic structure of the shaping|molding apparatus 40 is shown in FIG.3 and FIG.4. 3 is a cross-sectional view of the molding apparatus 40 . 4 is a side view of the molding apparatus 40 .

성형 장치(40)는 시트 글래스 SG가 통과하는 통로와, 통로를 둘러싸는 공간을 갖는다. 통로를 둘러싸는 공간은, 오버플로우 챔버(20), 포밍 챔버(30), 및 냉각 챔버(80)로 구성되어 있다.The shaping|molding apparatus 40 has the passage through which sheet glass SG passes, and the space surrounding the passage. The space surrounding the passage is composed of an overflow chamber 20 , a forming chamber 30 , and a cooling chamber 80 .

오버플로우 챔버(20)는 청징 장치(12)로부터 보내지는 용융 유리 FG를 시트 글래스 SG로 성형하는 공간을 구성한다.The overflow chamber 20 comprises the space which shape|molds molten-glass FG sent from the clarification apparatus 12 with sheet glass SG.

포밍 챔버(30)는 오버플로우 챔버(20)의 하방에 배치되어, 시트 글래스 SG의 두께 및 휨량을 조정하기 위한 공간을 구성한다. 포밍 챔버(30)에서는, 냉각 공정의 일부가 실행된다. 시트 글래스 SG는, 성형체(41)의 표면을 따라서 유하하고, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 시트 글래스 SG로 성형되는데, 성형체(41)의 하단부(41a)보다 하류에 있어서는, 시트 글래스 SG의 온도가 서서히 낮아져 간다.The forming chamber 30 is arrange|positioned below the overflow chamber 20, and comprises the space for adjusting the thickness and the amount of curvature of sheet glass SG. In the forming chamber 30 , a part of the cooling process is performed. Although sheet glass SG flows down along the surface of the molded object 41, it joins in the lower end part 41a of the molded object 41, and is shape|molded by sheet glass SG, in downstream from the lower end part 41a of the molded object 41, a sheet The temperature of glass SG decreases gradually.

냉각 챔버(80)는 오버플로우 챔버(20)의 하방에 배치되어, 시트 글래스 SG의 변형량을 조정하기 위한 공간을 구성한다. 구체적으로, 냉각 챔버(80)에서는, 포밍 챔버(30) 내를 통과한 시트 글래스 SG가, 서냉점, 변형점을 거쳐서, 실온 근방의 온도까지 냉각된다. 또한, 냉각 챔버(80)는 단열 부재(80a, 80b)에 의해 복수로 구분된 공간을 구비한다.The cooling chamber 80 is arrange|positioned below the overflow chamber 20, and comprises the space for adjusting the deformation amount of sheet glass SG. Specifically, in the cooling chamber 80, the sheet glass SG which passed the inside of the forming chamber 30 is cooled to the temperature of the room temperature vicinity through an annealing point and a strain point. In addition, the cooling chamber 80 is provided with a plurality of spaces divided by the heat insulating members (80a, 80b).

또한, 성형 장치(40)는 주로, 성형체(41)와, 구획 부재(50)와, 냉각 롤러(51)와, 온도 조정 유닛(60)과, 인하 롤러(81a 내지 81g)와, 히터(82a 내지 82g)와, 절단 장치(90)를 구비하고 있다. 또한, 성형 장치(40)는 제어 장치(500)를 구비한다(도 5 참조). 제어 장치(500)는 성형 장치(40)에 포함되는 각 구성의 구동부를 제어한다.Moreover, the shaping|molding apparatus 40 mainly consists of the shaping|molding object 41, the partition member 50, the cooling roller 51, the temperature adjustment unit 60, the reduction rollers 81a-81g, and the heater 82a. to 82 g) and a cutting device 90 are provided. Further, the molding device 40 is provided with a control device 500 (see FIG. 5 ). The control device 500 controls the driving unit of each configuration included in the molding device 40 .

이하, 성형 장치(40)에 포함되는 각 구성에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, each structure included in the shaping|molding apparatus 40 is demonstrated in detail.

(2-1) 성형체(2-1) molded body

성형체(41)는 오버플로우 챔버(20) 내에 설치된다. 성형체(41)는 용융 유리 FG를 오버플로우시킴으로써 용융 유리 FG를 시트상의 유리판으로 성형한다. 이 유리판은, 이후, 시트 글래스 SG라 한다.The molded body 41 is installed in the overflow chamber 20 . The molded object 41 shape|molds molten-glass FG into a sheet-like glass plate by overflowing molten-glass FG. Hereinafter, this glass plate is called sheet glass SG.

도 3에 도시한 바와 같이, 성형체(41)는 단면 형상으로 대략 5각형의 형상(웨지형에 유사한 형상)을 갖는다. 대략 5각형의 선단은 성형체(41)의 하단부(41a)에 상당한다.As shown in Fig. 3, the molded body 41 has a substantially pentagonal shape (a shape similar to a wedge shape) in cross-sectional shape. The tip of the substantially pentagonal shape corresponds to the lower end 41a of the molded body 41 .

또한, 성형체(41)는 제1 단부에 유입구(42)를 갖는다(도 4 참조). 유입구(42)는 상술한 하류 파이프(24)와 접속되어 있고, 청징 장치(12)로부터 흘러 나온 용융 유리 FG는, 유입구(42)로부터 성형체(41)에 유입된다. 성형체(41)에는, 홈(43)이 형성되어 있다. 홈(43)은 성형체(41)의 긴 방향으로 연장된다. 구체적으로는, 홈(43)은 제1 단부로부터, 제1 단부의 반대측 단부인 제2 단부로 연장된다. 보다 구체적으로, 홈(43)은 도 4의 좌우 방향으로 연장된다. 홈(43)은 유입구(42) 근방이 가장 깊고, 제2 단부에 근접함에 따라서, 서서히 얕아지도록 형성되어 있다. 성형체(41)에 유입된 용융 유리 FG는, 성형체(41)의 한쌍의 정상부(41b, 41b)로부터 오버플로우하고, 성형체(41)의 한쌍의 측면(표면)(41c, 41c)을 따르면서 유하한다. 그 후, 용융 유리 FG는, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류되어 시트 글래스 SG가 된다.The molded body 41 also has an inlet 42 at its first end (see FIG. 4 ). The inflow port 42 is connected with the downstream pipe 24 mentioned above, and the molten glass FG which flowed out from the clarification apparatus 12 flows in into the molded object 41 from the inflow port 42. As shown in FIG. A groove 43 is formed in the molded body 41 . The groove 43 extends in the longitudinal direction of the molded body 41 . Specifically, the groove 43 extends from the first end to the second end opposite the first end. More specifically, the groove 43 extends in the left-right direction in FIG. 4 . The groove 43 is formed so that the vicinity of the inlet 42 is the deepest, and gradually becomes shallower as it approaches the second end. The molten glass FG which flowed into the molded object 41 overflows from a pair of top parts 41b, 41b of the molded object 41, and flows down while following a pair of side surface (surface) 41c, 41c of the molded object 41. . Then, molten glass FG joins in the lower end part 41a of the molded object 41, and becomes sheet glass SG.

이때, 성형체(41)의 하단부(41a)에서의 시트 글래스 SG의 액상 온도는 1100℃ 이상이며, 액상 점도는 2.5×105 포이즈 이상이며, 보다 바람직하게는, 액상 온도는 1160℃ 이상이며, 액상 점도는 1.2×105 포이즈 이상이다. 또한, 성형체(41)의 하단부(41a)에서의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부)의 점도는 105. 7 포이즈 미만이다.At this time, the liquidus temperature of the sheet glass SG in the lower end part 41a of the molded object 41 is 1100 °C or more, the liquidus viscosity is 2.5 x 10 5 poise or more, More preferably, the liquidus temperature is 1160 °C or more, and the liquidus temperature is 1160 °C or more. The viscosity is at least 1.2×10 5 poise. In addition, the viscosity of the side part (edge part, edge part) of sheet glass SG in the lower end part 41a of the molded object 41 is less than 10 5.7 poise.

(2-2) 구획 부재(2-2) partition member

구획 부재(50)는 오버플로우 챔버(20)로부터 포밍 챔버(30)로의 열의 이동을 차단하는 부재이다. 구획 부재(50)는 용융 유리 FG의 합류 포인트의 근방에 배치되어 있다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 구획 부재(50)는 합류 포인트에서 합류한 용융 유리 FG(시트 글래스 SG)의 두께 방향 양측에 배치된다. 구획 부재(50)는 단열재이다. 구획 부재(50)는 용융 유리 FG의 합류 포인트의 상측 분위기 및 하측 분위기를 구획함으로써, 구획 부재(50)의 상측으로부터 하측으로의 열의 이동을 차단한다.The partition member 50 is a member that blocks the movement of heat from the overflow chamber 20 to the forming chamber 30 . The partition member 50 is arrange|positioned in the vicinity of the junction point of molten-glass FG. Moreover, as shown in FIG. 3, the partition member 50 is arrange|positioned at the thickness direction both sides of molten glass FG (sheet glass SG) which joined at the merging point. The partition member 50 is a heat insulating material. The partition member 50 blocks the movement of the heat|fever from the upper side of the partition member 50 to the lower side by partitioning the upper side atmosphere of the junction point of molten glass FG, and lower side atmosphere.

(2-3) 냉각 롤러(2-3) cooling roller

냉각 롤러(51)는 포밍 챔버(30) 내에 설치된다. 보다 구체적으로, 냉각 롤러(51)는 구획 부재(50)의 바로 아래에 배치되어 있다. 또한, 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측, 또한, 시트 글래스 SG의 폭 방향 양측에 배치된다. 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측에 배치된 냉각 롤러(51)는 쌍으로 동작한다. 즉, 시트 글래스 SG의 양측부(폭 방향 양단부)는 2대의 냉각 롤러(51, 51, ···) 사이에 끼워 넣어진다.The cooling roller 51 is installed in the forming chamber 30 . More specifically, the cooling roller 51 is disposed directly below the partition member 50 . In addition, the cooling roller 51 is arrange|positioned at the both sides of the thickness direction of sheet glass SG, and also the width direction both sides of sheet glass SG. The cooling roller 51 arrange|positioned on both sides of the thickness direction of sheet glass SG operates in pairs. That is, the both sides part (width direction both ends) of sheet glass SG is pinched|interposed between two cooling rollers 51, 51, ....

냉각 롤러(51)는 내부에 통과된 공랭관에 의해 공랭되고 있다. 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 측부(귀부)에 접촉하고, 열전도에 의해 시트 글래스 SG의 측부(귀부)를 급냉한다(급냉 공정). 냉각 롤러(51)에 접촉한 시트 글래스 SG의 측부의 점도는, 소정값(구체적으로는, 109.0 포이즈) 이상이다.The cooling roller 51 is air-cooled by an air-cooling tube passed therein. The cooling roller 51 contacts the side part (edge part) of sheet glass SG, and rapidly cools the side part (edge part) of sheet glass SG by heat conduction (quick cooling process). The viscosity of the side part of sheet glass SG which contacted the cooling roller 51 is more than predetermined value (specifically, 10 9.0 poise).

냉각 롤러(51)는 냉각 롤러 구동 모터(390)(도 5를 참조)에 의해 회전 구동된다. 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 측부를 냉각함과 함께, 시트 글래스 SG를 하방으로 끌어내리는 기능도 갖는다.The cooling roller 51 is rotationally driven by a cooling roller driving motor 390 (refer to Fig. 5). The cooling roller 51 also has a function to pull down sheet glass SG below while cooling the side part of sheet glass SG.

(2-4) 온도 조정 유닛(2-4) temperature control unit

온도 조정 유닛(60)은 오버플로우 챔버(20) 내 및 포밍 챔버(30) 내에 설치되고, 시트 글래스 SG를 서냉점 근방까지 냉각하는 유닛이다. 온도 조정 유닛(60)은 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)을 갖는다. 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)은 시트 글래스 SG의 폭 방향 및 시트 글래스 SG의 흐름 방향으로 배치된다. 구체적으로, 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)에는, 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)과, 측부 냉각 유닛(64, 65)이 포함된다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)은 시트 글래스 SG의 폭 방향 중앙 영역 CA를 공랭한다. 폭 방향 중앙 영역 CA는 이후, 중앙 영역 CA라 한다. 여기서, 시트 글래스 SG의 중앙 영역이란, 시트 글래스 SG의 폭 방향 중앙 부분이며, 시트 글래스 SG의 유효폭 및 그 근방을 포함하는 영역이다. 바꾸어 말하면, 시트 글래스 SG의 중앙 영역은, 시트 글래스 SG의 양측부에 끼워진 부분이다. 시트 글래스 SG의 양측부는, 양쪽 귀부라고도 한다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)은 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 표면에 대향하는 위치에, 흐름 방향을 따라서 배치된다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)에 포함되는 각 유닛은, 독립하여 제어 가능하다. 또한, 측부 냉각 유닛(64, 65)은, 시트 글래스 SG의 측부를 수냉한다. 측부 냉각 유닛(64, 65)은, 시트 글래스 SG의 측부의 표면에 대향하는 위치에, 흐름 방향을 따라서 배치된다. 측부 냉각 유닛(64, 65)에 포함되는 각 유닛은, 독립하여 제어 가능하다.The temperature adjustment unit 60 is provided in the overflow chamber 20 and the forming chamber 30, and is a unit which cools sheet glass SG to the annealing point vicinity. The temperature adjustment unit 60 has a plurality of cooling units 61 to 65 . The some cooling units 61-65 are arrange|positioned by the width direction of sheet glass SG, and the flow direction of sheet glass SG. Specifically, the plurality of cooling units 61 to 65 include the central region cooling units 61 to 63 and the side cooling units 64 and 65 . The center area cooling units 61-63 air-cool the width direction center area|region CA of sheet glass SG. The width direction central area CA is hereinafter referred to as a central area CA. Here, the center area|region of sheet glass SG is a width direction center part of sheet glass SG, and is an area|region including the effective width of sheet glass SG, and its vicinity. In other words, the central area|region of sheet glass SG is a part pinched|interposed by the both sides of sheet glass SG. The both sides of sheet glass SG are also called both ears. The center area cooling units 61-63 are arrange|positioned along a flow direction in the position which opposes the surface of center area|region CA of sheet glass SG. Each unit included in the central area cooling units 61 to 63 is independently controllable. Moreover, the side part cooling units 64 and 65 water-cool the side part of sheet glass SG. The side part cooling units 64 and 65 are arrange|positioned along a flow direction in the position opposing the surface of the side part of sheet glass SG. Each unit included in the side cooling units 64 and 65 is independently controllable.

(2-5) 인하 롤러(반송 롤러)(2-5) Lowering roller (conveying roller)

인하 롤러(반송 롤러)(81a 내지 81g)는 냉각 챔버(80) 내에 설치되고, 포밍 챔버(30) 내를 통과한 시트 글래스 SG를, 시트 글래스 SG의 흐름 방향으로 끌어내린다. 인하 롤러(81a 내지 81g)는 냉각 챔버(80)의 내부에서, 흐름 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배치된다. 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측(도 3 참조), 및 시트 글래스 SG의 폭 방향 양측(도 4 참조)에 복수 배치된다. 즉, 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG의 폭 방향의 양측부, 또한, 시트 글래스 SG의 두께 방향의 양측에 접촉하면서 시트 글래스 SG를 하방으로 끌어내린다.The reduction rollers (conveyance rollers) 81a-81g are provided in the cooling chamber 80, and bring down sheet glass SG which passed through the inside of the forming chamber 30 to the flow direction of sheet glass SG. The lowering rollers 81a to 81g are disposed inside the cooling chamber 80 at predetermined intervals along the flow direction. Two or more reduction rollers 81a-81g are arrange|positioned in the thickness direction both sides (refer FIG. 3) of sheet glass SG, and the width direction both sides (refer FIG. 4) of sheet glass SG. That is, reduction roller 81a-81g pulls down sheet glass SG below, contacting the both sides of the width direction of sheet glass SG, and the both sides of the thickness direction of sheet glass SG.

인하 롤러(81a 내지 81g)는 인하 롤러 구동 모터(391)(도 5 참조)에 의해 구동된다. 또한, 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG에 대하여 내측으로 회전한다. 인하 롤러(81a 내지 81g)의 주속도는, 하류측의 인하 롤러일수록, 크다. 즉, 복수의 인하 롤러(81a 내지 81g) 중, 인하 롤러(81a)의 주속도가 가장 작고, 인하 롤러(81g)의 주속도가 가장 크다. 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측에 배치된 인하 롤러(81a 내지 81g)는 쌍으로 동작하고, 한쌍의 인하 롤러(81a, 81a, ···)가, 시트 글래스 SG를 하측 방향으로 끌어내린다.The reduction rollers 81a to 81g are driven by a reduction roller drive motor 391 (see Fig. 5). Moreover, the reduction rollers 81a-81g rotate inward with respect to sheet glass SG. The peripheral speed of the reduction rollers 81a-81g is large, so that a downstream reduction roller is. That is, the peripheral speed of the reduction roller 81a is the smallest among several reduction rollers 81a-81g, and the peripheral speed of the reduction roller 81g is the largest. The reduction rollers 81a-81g arrange|positioned at the thickness direction both sides of sheet glass SG operate in a pair, and a pair of reduction roller 81a, 81a, ... draws down sheet glass SG in a downward direction.

인하 롤러(81a 내지 81g)는 고온의 시트 글래스 SG를 협지하기 때문에, 열에 의한 변형을 방지하기 위해서, 인하 롤러(81a 내지 81g)의 내부에 통과된 공랭관에 의해 공랭되고 있다. 인하 롤러(81a 내지 81g)가 시트 글래스 SG를 협지한 협지 영역에서는, 시트 글래스 SG의 온도가 저하(점도가 상승)한다. 특히, 시트 글래스 SG의 중앙 영역의 판 두께를 0.4mm 이하의 박판으로 성형하고자 하는 경우, 시트 글래스 SG의 보유 열은 작아, 시트 글래스 SG의 온도는, 인하 롤러(81a 내지 81g)의 영향을 받기 쉽다. 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지한 협지 영역의 점도가 상승하면, 협지 영역에 인접하는 다른 영역과의 점도차가 발생하여, 변형 등이 발생되는 원인이 된다. 이 때문에, 후술하는 온도 프로파일을 실현함으로써, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지한 협지 영역, 및 협지 영역에 인접하는 영역에서 큰 변형이 발생되는 것을 억제한다.Since the reduction rollers 81a-81g clamp high-temperature sheet glass SG, in order to prevent deformation|transformation by a heat|fever, it is air-cooled by the air-cooling tube which passed inside the reduction rollers 81a-81g. In the clamping area|region which cut-down roller 81a-81g clamped sheet glass SG, the temperature of sheet glass SG falls (viscosity rises). In particular, when the plate thickness of the central region of the sheet glass SG is to be formed into a thin plate of 0.4 mm or less, the heat retained by the sheet glass SG is small, and the temperature of the sheet glass SG is affected by the lowering rollers 81a to 81g. easy. When the viscosity of the clamping region clamped by the lowering rollers 81a to 81g increases, a difference in viscosity with other regions adjacent to the clamping region occurs, causing deformation or the like. For this reason, it suppresses that large distortion generate|occur|produces in the clamping area|region which the cut-down rollers 81a-81g clamped, and the area|region adjacent to the clamping area|region by realizing the temperature profile mentioned later.

(2-6) 히터(2-6) heater

히터(82)(82a 내지 82g)는 냉각 챔버(80)의 내부에 설치되고, 냉각 챔버(80)의 내부 공간의 온도를 조정한다. 구체적으로, 히터(82a 내지 82g)는 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 시트 글래스 SG의 폭 방향으로 복수 배치된다. 보다 구체적으로는, 시트 글래스 SG의 흐름 방향으로는 7개의 히터가 배치되고, 시트 글래스의 폭 방향으로는 7개의 히터가 배치된다. 폭 방향으로 배치되는 7개의 히터는, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA와, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지하는 협지 영역 RA를 포함하는, 시트 글래스 SG의 측부(귀부)를 각각 열처리한다. 히터(82a 내지 82g)는 후술하는 제어 장치(500)에 의해 출력이 제어된다. 이에 의해, 냉각 챔버(80) 내부를 통과하는 시트 글래스 SG의 근방의 분위기 온도가 제어된다. 히터(82a 내지 82g)에 의해 냉각 챔버(80) 내의 분위기 온도가 제어됨으로써, 시트 글래스 SG의 온도 제어가 행해진다. 또한, 온도 제어에 의해, 시트 글래스 SG는, 점성 영역으로부터 점탄성 영역을 거쳐서 탄성 영역으로 추이한다. 이와 같이, 히터(82a 내지 82g)의 제어에 의해, 냉각 챔버(80)에서는, 시트 글래스 SG의 온도가, 서냉점 근방의 온도로부터 실온 근방의 온도까지 냉각된다. 여기서, 서냉점은, 점도가 1013포이즈가 될 때의 온도이며, 예를 들어, 715.0℃이다.The heaters 82 ( 82a to 82g ) are installed inside the cooling chamber 80 , and adjust the temperature of the internal space of the cooling chamber 80 . A plurality of heaters 82a to 82g are specifically arranged in the flow direction of sheet glass SG and the width direction of sheet glass SG. More specifically, seven heaters are arrange|positioned in the flow direction of sheet glass SG, and seven heaters are arrange|positioned in the width direction of sheet glass. Seven heaters arrange|positioned in the width direction heat-process the side part (edge part) of sheet glass SG containing center area|region CA of sheet glass SG, and pinching area|region RA which cut-down rollers 81a-81g pinch, respectively. The outputs of the heaters 82a to 82g are controlled by a control device 500 which will be described later. Thereby, the atmospheric temperature of the vicinity of sheet glass SG which passes through the inside of the cooling chamber 80 is controlled. By controlling the atmospheric temperature in the cooling chamber 80 by the heaters 82a-82g, temperature control of sheet glass SG is performed. In addition, by temperature control, sheet glass SG changes to an elastic area|region through a viscoelastic area|region from a viscous area|region. Thus, by control of the heaters 82a-82g, in the cooling chamber 80, the temperature of sheet glass SG is cooled from the temperature of the annealing point vicinity to the temperature of the room temperature vicinity. Here, the slow cooling point is a temperature when the viscosity becomes 10 13 poise, and is, for example, 715.0°C.

시트 글래스 SG의 폭 방향으로 복수 배치되는 히터에 대하여 설명한다. 도 6은, 냉각 챔버(80) 내의 분위기 온도를 제어하는 히터(82a)를 배면 측으로부터 본 도면이며, 도 7은, 도 6을 상류측으로부터 본 도면이다. 히터(82a)는 시트 글래스 SG의 폭 방향으로 복수 배치되는 분할 히터(82a1 내지 82a7)를 포함한다. 각 분할 히터는, 시트 글래스 SG의 측부의 최외측 단부 영역 R, L에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치되고, 최외측 단부 영역 R, L을 가열하는 분할 히터(82a1, 82a7), 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지하는 내측 단부 영역에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치되고, 내측 단부 영역을 가열하는 분할 히터(협지 영역 대응 히터)(82a2, 82a6), 시트 글래스 SG의 제1 중앙 영역 CA1에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치되고, 제1 중앙 영역 CA1을 가열하는 분할 히터(제1 중앙 영역 대응 히터)(82a4), 시트 글래스 SG의 제2 중앙 영역 CA2에 대응하는 폭 방향의 위치에 설치되고, 제2 중앙 영역 CA2를 가열하는 분할 히터(제2 중앙 영역 대응 히터)(82a3, 82a5)로 나뉘어져 있다. 내측 단부 영역은, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지하는 영역이기 때문에, 이후에는 이 영역을 협지 영역 RA라 한다.The heater arrange|positioned in multiple numbers by the width direction of sheet glass SG is demonstrated. FIG. 6 is a view of the heater 82a for controlling the ambient temperature in the cooling chamber 80 viewed from the rear side, and FIG. 7 is a view seen from the upstream side of FIG. 6 . The heater 82a contains split heater 82a1 - 82a7 arrange|positioned in plurality in the width direction of sheet glass SG. Each division heater is provided in the position of the width direction corresponding to outermost edge part area|region R, L of the side part of sheet glass SG, division heater 82a1, 82a7 which heats outermost edge part area|region R, L, cut-down roller ( 1st center area CA1 of division heater (clamping area correspondence heater) 82a2, 82a6 which is provided in the position of the width direction corresponding to the inside edge part area|region clamped by 81a-81g, and heats an inside edge part area, and sheet glass SG It is provided in the position of the width direction corresponding to the division heater (1st center area correspondence heater) 82a4 which heats 1st center area CA1, In the position of the width direction corresponding to 2nd center area CA2 of sheet glass SG It is provided and divided into division heater (2nd center area|region correspondence heater) 82a3, 82a5 which heats 2nd center area|region CA2. Since the inner end region is a region sandwiched by the lowering rollers 81a to 81g, this region is hereinafter referred to as a clamping region RA.

시트 글래스 SG의 측부는, 시트 글래스 SG의 양측의 단으로부터, 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측을 향하여 예를 들어 10 내지 500mm, 또는 10 내지 300mm까지의 범위의 영역이며, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 시트 글래스 SG를 협지하는 협지 영역 RA는, 상기 측부의 영역 중, 양측의 단으로부터 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측을 향하여, 예를 들어 50 내지 500mm 또는 50 내지 300mm까지의 범위에 있는 것이 바람직하다. 최외측 단부 영역 R, L은, 협지 영역 RA에 대하여 시트 글래스 SG의 폭 방향 외측에 위치하는 영역이다. 중앙 영역 CA는, 협지 영역 RA에 대하여 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측의 영역이다.The side part of sheet glass SG is the area|region to 10-500 mm or 10-300 mm from the edge of both sides of sheet glass SG toward the width direction inner side of sheet glass SG, and it is reduction roller 81a-81g. It is preferable that the clamping area|region RA which clamps provisional sheet glass SG exists in the range to 50-500 mm or 50-300 mm toward the width direction inside of sheet glass SG from the edge of both sides among the area|regions of the said side part, for example. . Outermost edge part area|region R and L are area|regions located in the width direction outer side of sheet glass SG with respect to pinching area|region RA. Center area CA is an area|region inside the width direction of sheet glass SG with respect to pinching area|region RA.

중앙 영역 CA는, 또한, 협지 영역 RA와 인접하지 않고, 시트 글래스 SG의 폭 방향의 중심을 포함하는 제1 중앙 영역 CA1과, 협지 영역 RA와 인접하는 제2 중앙 영역 CA2로 나뉘어져 있다. 제2 중앙 영역 CA2는, 협지 영역 RA에 대하여 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측에 위치하는 영역이며, 협지 영역 RA로부터 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측을 향하고, 중앙 영역 CA의 20 내지 80％의 폭을 갖는 영역이다. 제1 중앙 영역 CA1은, 제2 중앙 영역 CA2로부터 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측의 영역이다.Central area CA is further divided into 1st center area CA1 including the center of the width direction of sheet glass SG, and 2nd center area CA2 adjacent to pinching area|region RA, without adjoining pinching area|region RA. 2nd central area CA2 is an area|region located in the width direction inner side of sheet glass SG with respect to pinching area|region RA, and faces the width direction inner side of sheet glass SG from pinching area|region RA, The width of 20-80% of center area CA area that has 1st center area|region CA1 is an area|region inside the width direction of sheet glass SG from 2nd center area|region CA2.

각 분할 히터(82a1 내지 82a7)는, 제어 장치(500)에 의해 출력이 독립하여 제어되고, 냉각 챔버(80) 내부를 통과하는 시트 글래스 SG의 근방의 분위기 온도가 제어되고, 시트 글래스 SG의 온도 제어가 행해진다. 분할 히터(82a1 내지 82a7) 각각이 독립하여 제어되고, 최외측 단부 영역 R, L, 협지 영역 RA, 제1 중앙 영역 CA1, 제2 중앙 영역 CA2의 온도 프로파일이 실현된다.As for each division heater 82a1 - 82a7, the output is independently controlled by the control apparatus 500, the atmospheric temperature of the vicinity of sheet glass SG passing through the inside of the cooling chamber 80 is controlled, and the temperature of sheet glass SG Control is done. Each of the divided heaters 82a1 to 82a7 is independently controlled, and the temperature profiles of the outermost end regions R and L, the pinching region RA, the first central region CA1, and the second central region CA2 are realized.

또한, 히터(82b 내지 82g)에 있어서의 시트 글래스의 폭 방향으로 배치되는 히터는, 분할 히터(82a1 내지 82a7)와 동일한 구성이기 때문에, 설명을 생략한다.In addition, since the heater arrange|positioned in the width direction of the sheet glass in the heaters 82b-82g is the structure similar to division heater 82a1-82a7, description is abbreviate|omitted.

또한, 각 히터(82a 내지 82g)의 근방에는, 분위기 온도를 검출하는 분위기 온도 검출 수단인 열전대(380)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 복수의 열전대(380)가 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 시트 글래스 SG의 폭 방향으로 배치되어 있다. 열전대(380)는 시트 글래스 SG의 제1 중앙 영역 CA1의 폭 방향의 중심 위치의 온도와, 시트 글래스 SG의 최외측 단부 영역 R, L의 온도를 각각 검출한다. 히터(82a 내지 82g)의 출력은, 열전대(380)에 의해 검출되는 분위기 온도에 기초하여 제어된다.Further, in the vicinity of each of the heaters 82a to 82g, a thermocouple 380 serving as an ambient temperature detecting means for detecting the ambient temperature is provided. Specifically, the some thermocouple 380 is arrange|positioned in the flow direction of sheet glass SG, and the width direction of sheet glass SG. The thermocouple 380 detects the temperature of the center position of the width direction of 1st center area|region CA1 of sheet glass SG, and the temperature of outermost edge area|region R, L of sheet glass SG, respectively. The outputs of the heaters 82a to 82g are controlled based on the ambient temperature detected by the thermocouple 380 .

히터(82a 내지 82g)와 시트 글래스 SG 사이의 공간에, 시트 글래스 SG의 표면과 대향하도록 균열판(83)이 설치된다. 균열판(83)은 히터(82a 내지 82g)로부터 복사되는 열을 받고, 균열판(83)의 표면 전체에 받은 열을 확산시킨다. 균열판(83)은 그 대향면으로부터, 시트 글래스 SG의 표면을 향하여 열을 복사한다. 균열판(83)은 1매의 금속판, 또는, 복수매의 금속판으로 구성된다. 히터(82a 내지 82g) 각각은, 대응하는 균열판(83)을 향하여 열을 복사한다. 예를 들어, 히터(82a)에 대응하는 균열판(83)은 히터(82a)로부터 복사되는 열을 받고, 균열판(83)과 대향하는 시트 글래스 SG의 표면을 향하여, 받은 열을 복사한다. 본 실시 형태에 있어서, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 협지된 시트 글래스 SG에 있어서의 영역은, 온도가 국소적으로 저하되는 영역이다. 균열판(83)은 히터(82a 내지 82g)로부터 받은 열을 균열판(83)의 표면 전체에 확산시켜서, 시트 글래스 SG의 표면을 향하여 복사함으로써, 유리판(3)의 표면 온도의 국소적인 저하를 억제한다. 즉, 본 실시 형태에서는, 균열판(83)을 사용함으로써, 히터(82a 내지 82g)의 시트 글래스 SG의 폭 방향의 열 분포를 완만하게 함으로써, 시트 글래스 SG의 온도 분포를 제어한다.In the space between the heaters 82a-82g and the sheet glass SG, the cracking plate 83 is provided so that it may oppose the surface of the sheet glass SG. The cracking plate 83 receives heat radiated from the heaters 82a to 82g and diffuses the received heat over the entire surface of the cracking plate 83 . The crack plate 83 radiates a heat|fever from the opposing surface toward the surface of sheet glass SG. The cracking plate 83 is composed of a single metal plate or a plurality of metal plates. Each of the heaters 82a to 82g radiates heat toward the corresponding crack plate 83 . For example, the crack plate 83 corresponding to the heater 82a receives the heat radiated from the heater 82a, and radiates the received heat toward the surface of the sheet glass SG which opposes the crack plate 83. In this embodiment, the area|region in sheet glass SG clamped by the reduction rollers 81a-81g is an area|region to which temperature falls locally. The cracking plate 83 diffuses the heat received from the heaters 82a to 82g over the entire surface of the cracking plate 83 and radiates it toward the surface of the sheet glass SG, thereby preventing a local decrease in the surface temperature of the glass plate 3 restrain That is, in this embodiment, the temperature distribution of sheet glass SG is controlled by making moderate the heat distribution of the width direction of sheet glass SG of heaters 82a-82g by using the crack plate 83.

균열판(83)은 예를 들어, 고온 하에서 사용할 수 있고, 또한, 열전도율이 높은 니켈의 금속판이 바람직하다. 시트 글래스 SG의 폭 방향을 따라서 매끄러운 온도 분포를 형성하는 관점에서는, 균열판(83)의 열전도율은, 10W/(m·K) 이상인 것이 바람직하다. 또한, 균열판(83)은 그 표면으로부터의 열의 복사율을 향상시키기 위해서, 세라믹 도료를 도포하여 세라믹층이 형성되어도 되고, 표면에 산화 피막이 형성되어도 된다. 시트 글래스 SG의 표면에 티끌 등의 이물이 부착되는 것을 억제하는 관점에서는, 막 두께 1㎛ 정도의 부동태 피막(슈퍼 블랙 처리막)이 균열판(83)의 표면에 형성되는 것이 바람직하다.The crack plate 83 can be used under a high temperature, for example, and the metal plate of nickel with high thermal conductivity is preferable. It is preferable that the thermal conductivity of the crack plate 83 is 10 W/(m*K) or more from a viewpoint of forming smooth temperature distribution along the width direction of sheet glass SG. In addition, in order to improve the emissivity of heat from the surface of the crack plate 83, a ceramic layer may be formed by apply|coating a ceramic paint, and an oxide film may be formed in the surface. From a viewpoint of suppressing that foreign substances, such as a particle|grain, adhere to the surface of sheet glass SG, it is preferable that the passivation film (super black processing film) with a film thickness of about 1 micrometer is formed in the surface of the crack plate 83.

(2-7) 절단 장치(2-7) cutting device

절단 장치(90)는 냉각 챔버(80) 내에서 실온 근방의 온도까지 냉각된 시트 글래스 SG를, 소정의 크기로 절단한다. 절단 장치(90)는 소정의 시간 간격으로 시트 글래스 SG를 절단한다. 이에 의해, 시트 글래스 SG는, 복수의 유리판 PG가 된다. 절단 장치(90)는 절단 장치 구동 모터(392)(도 5를 참조)에 의해 구동된다.The cutting device 90 cut|disconnects the sheet glass SG cooled to the temperature of the room temperature vicinity in the cooling chamber 80 to a predetermined size. The cutting device 90 cut|disconnects sheet glass SG at predetermined time intervals. Thereby, sheet glass SG turns into some glass plate PG. The cutting device 90 is driven by a cutting device driving motor 392 (see FIG. 5 ).

(2-8) 제어 장치(2-8) control device

제어 장치(500)는 CPU, RAM, ROM, 및 하드 디스크 등으로 구성되어 있고, 유리판의 제조 장치(100)에 포함되는 여러가지 기기의 제어를 행한다.The control apparatus 500 is comprised from CPU, RAM, ROM, a hard disk, etc., and controls the various apparatuses contained in the manufacturing apparatus 100 of a glass plate.

구체적으로는, 도 5에 도시한 바와 같이, 제어 장치(500)는 유리 기판의 제조 장치(100)에 포함되는 각종 센서(예를 들어, 열전대(380))나 스위치(예를 들어, 주전원 스위치(381)) 등에 의한 신호를 받고, 온도 조정 유닛(60), 히터(82a 내지 82g), 분할 히터(82a1 내지 82a7), 냉각 롤러 구동 모터(390), 인하 롤러 구동 모터(391), 절단 장치 구동 모터(392) 등의 제어를 행한다.Specifically, as shown in FIG. 5 , the control device 500 includes various sensors (eg, thermocouple 380 ) or switches (eg, main power switch) included in the apparatus 100 for manufacturing a glass substrate. (381)) and the like, temperature adjustment unit 60, heaters 82a to 82g, split heaters 82a1 to 82a7, cooling roller driving motor 390, lowering roller driving motor 391, cutting device The drive motor 392 and the like are controlled.

(3) 온도 관리(3) temperature control

본 실시 형태에 따른 유리 기판의 제조 방법에서는, 냉각 공정 S4에 있어서, 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 폭 방향의 온도 관리를 행하고 있다. 온도 관리는, 온도 프로파일 TP1에 기초하여 행해진다. 온도 프로파일 TP1이란, 시트 글래스 SG 근방의 분위기 온도에 관한, 시트 글래스 SG의 폭 방향을 따른 온도 분포이다. 바꾸어 말하면, 온도 프로파일 TP1은, 목표로 하는 온도 분포이다. 즉, 온도 관리는, 온도 프로파일 TP1을 실현시키도록 행해진다. 온도 관리는, 상술한, 인하 롤러(81a 내지 81g), 분할 히터(82a1 내지 82a7)를 구비하는 히터(82a 내지 82g)를 사용하여 행해진다.In the manufacturing method of the glass substrate which concerns on this embodiment, in cooling process S4, the flow direction of sheet glass SG and the temperature control of the width direction are performed. Temperature management is performed based on temperature profile TP1. Temperature profile TP1 is the temperature distribution along the width direction of sheet glass SG regarding the atmospheric temperature of the sheet glass SG vicinity. In other words, temperature profile TP1 is a target temperature distribution. That is, temperature management is performed so that temperature profile TP1 may be implement|achieved. Temperature management is performed using the heaters 82a-82g provided with the cut-down rollers 81a-81g and division heater 82a1-82a7 mentioned above.

시트 글래스 SG의 온도는, 시트 글래스 SG의 분위기 온도를 제어함으로써, 관리된다. 여기서, 시트 글래스 SG의 온도와 인하 롤러(81a 내지 81g) 및 분할 히터(82a1 내지 82a7)를 구비하는 히터(82a 내지 82g)에 의해 제어되는 분위기 온도란, 기본적으로 같은 값이다.The temperature of sheet glass SG is managed by controlling the atmospheric temperature of sheet glass SG. Here, the atmospheric temperature controlled by the temperature of sheet glass SG, and the heaters 82a-82g provided with the cut-down rollers 81a-81g and the division heaters 82a1-82a7 are basically the same value.

이하, 도 8을 참조하여, 냉각 공정 S4에 있어서의 시트 글래스 SG의 온도 관리에 대하여 상세하게 설명한다. 도 8은, 시트 글래스 SG의 소정의 높이 위치에 있어서의 온도 프로파일을 나타낸다. 또한, 도 9는, 시트 글래스 SG의 소정의 높이 위치에 있어서의 시트 글래스 SG의 온도 분포를 도시하는 도면이다.Hereinafter, with reference to FIG. 8, temperature control of sheet glass SG in cooling process S4 is demonstrated in detail. 8 : shows the temperature profile in the predetermined height position of sheet glass SG. In addition, FIG. 9 is a figure which shows the temperature distribution of sheet glass SG in the predetermined height position of sheet glass SG.

(3-1) 냉각 공정(3-1) cooling process

냉각 공정 S4는, 성형 공정 S3을 거쳐서, 냉각 챔버(80)에 반송된 시트 글래스 SG를 냉각하는 공정이다. 냉각 공정 S4에서는, 온도 프로파일 TP1에 기초하여, 시트 글래스 SG의 온도 관리가 행해진다. 시트 글래스 SG는, 종래의 제조 방법에서는, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의해 냉각되기 때문에, 도 9에 도시한 바와 같이, 협지 영역 RA의 온도가 시트 글래스 SG의 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 낮아져 있다. 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 판 두께가 0.4mm 이하가 되는 얇은 시트 글래스 SG에서는, 그 온도는 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의한 영향을 받기 쉽고, 시트 글래스 SG의 협지 영역 RA의 온도는 저하되기 쉽다. 협지 영역 RA와 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2 사이에서 온도차가 발생하면, 휨, 변형의 원인이 된다. 이 때문에, 시트 글래스 SG의 협지 영역 RA의 온도 저하가 억제되도록, 냉각 챔버(80) 내에서 목표로 하는 온도 분포가 되도록, 온도 분포를 제어할 필요가 있다. 이하, 냉각 공정 S4에서 실행되는 온도 프로파일 TP1을 상세하게 설명한다.Cooling process S4 is a process of cooling sheet glass SG conveyed to the cooling chamber 80 through shaping|molding process S3. In cooling process S4, temperature control of sheet glass SG is performed based on temperature profile TP1. Since sheet glass SG is cooled by the reduction rollers 81a-81g by the conventional manufacturing method, as shown in FIG. 9, the temperature of pinching area|region RA is rather than the temperature of 1st center area CA1 of sheet glass SG. is lowered In thin sheet glass SG in which the plate|board thickness of center area|region CA of sheet glass SG will be 0.4 mm or less, the temperature is easy to be influenced by reduction rollers 81a-81g, and the temperature of pinching area|region RA of sheet glass SG falls. easy to become When a temperature difference arises between the clamping area|region RA and the 2nd central area|region CA2 adjacent to the clamping area|region RA, it will become a cause of curvature and a deformation|transformation. For this reason, it is necessary to control temperature distribution so that it may become a target temperature distribution within the cooling chamber 80 so that the temperature fall of clamping area RA of sheet glass SG may be suppressed. Hereinafter, the temperature profile TP1 performed by cooling process S4 is demonstrated in detail.

(3-1-1) 온도 프로파일(3-1-1) temperature profile

온도 프로파일 TP1은, 냉각 챔버(80) 내에서 분할 히터(82a1 내지 82a7)에 의해 실현되는, 시트 글래스 SG의 근방의 분위기 온도의 온도 분포이다. 이 온도 분포가, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 협지되기 직전의 시트 글래스 SG의 온도 분포에 반영되므로, 온도 프로파일 TP1은 인하 롤러(81a 내지 81g)에 협지되기 직전의 시트 글래스 SG의 온도 분포이기도 하다. 온도 프로파일 TP1은, 제1 중앙 영역 CA1의 온도가 균일하고, 최외측 단부 영역 R, L의 말단의 온도는, 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다도 낮다. 또한, 온도 프로파일 TP2는, 제1 중앙 영역 CA1, 제2 중앙 영역 CA2 및 협지 영역 RA의 온도가 균일해지는 이상적인 온도 프로파일이다. 여기서, 제1 중앙 영역 CA1의 온도가 균일하다란, 제1 중앙 영역 CA1의 온도가, 기준 온도에 대하여 소정의 온도 영역에 포함되는 것을 말한다. 소정의 온도 영역이란, 기준 온도±20℃의 범위이다. 기준 온도는, 제1 중앙 영역 CA1의 폭 방향의 평균 온도이다. 또한, 온도 프로파일 TP1은, 협지 영역 RA의 온도가, 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다도 높다. 협지 영역 RA의 온도의 최고 온도와 제1 중앙 영역 CA1의 온도의 온도차 TD는, 예를 들어, 30℃ 내지 150℃이다. 협지 영역 RA의 온도는, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 접촉함으로써, 온도가 저하되어버린다. 이 때문에, 협지 영역 RA의 최고 온도를 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다, 30℃ 내지 150℃ 높게 함으로써, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의한 냉각을 완화하고, 온도 프로파일 TP2에 도시한 바와 같이, 시트 글래스 SG에 있어서의 제1 중앙 영역 CA1, 제2 중앙 영역 CA2 및 협지 영역 RA의 온도를 균일하게 할 수 있다. 즉, 한쌍의 인하 롤러(81a 내지 81g)는 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 시트 글래스 SG를 협지하고, 분할 히터(82a1 내지 82a7)는, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의해 냉각된 시트 글래스 SG의 협지 영역 RA의 온도를, 시트 글래스 SG의 폭 방향에서 균일해지도록 제어한다. 협지 영역 RA의 온도는, 분할 히터(82a2, 82a6)로부터 받은 열을 균열판(83)이 표면 전체에 확산시키기 때문에, 아치상의 완만한 곡선을 나타낸다. 협지 영역 RA의 온도를, 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높게 하는 것에 수반하여, 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2 및 최외측 단부 영역 R, L의 온도도 높게 한다. 이것은, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의한 냉각의 영향은, 협지 영역 RA뿐만 아니라, 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2 및 최외측 단부 영역 R, L에 미치기 때문이다. 협지 영역 RA뿐만 아니라, 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2 및 최외측 단부 영역 R, L의 일부를, 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높게 함으로써, 협지 영역 RA를 포함한 인접 영역에 대해서도, 휨, 변형을 억제할 수 있다.Temperature profile TP1 is temperature distribution of the atmospheric temperature of the vicinity of sheet glass SG implement|achieved by division heater 82a1-82a7 within the cooling chamber 80. Since this temperature distribution is reflected by the temperature distribution of sheet glass SG just before being pinched by the reduction rollers 81a-81g, temperature profile TP1 is also the temperature distribution of sheet glass SG just before being pinched by the reduction rollers 81a-81g. do. In temperature profile TP1, the temperature of 1st center area|region CA1 is uniform, and the temperature of the terminal of outermost edge part area|region R, L is lower than the temperature of 1st center area|region CA1. In addition, temperature profile TP2 is an ideal temperature profile in which the temperature of 1st center area|region CA1, 2nd center area|region CA2, and pinching area|region RA becomes uniform. Here, that the temperature of the 1st center area|region CA1 is uniform means that the temperature of 1st center area|region CA1 is contained in the predetermined|prescribed temperature range with respect to the reference temperature. The predetermined temperature range is the range of the reference temperature ±20°C. The reference temperature is an average temperature in the width direction of the first central region CA1. Moreover, in temperature profile TP1, the temperature of pinching area|region RA is higher than the temperature of 1st center area|region CA1. The temperature difference TD of the maximum temperature of the temperature of the clamping area|region RA and the temperature of the 1st center area|region CA1 is 30 degreeC - 150 degreeC, for example. The temperature of the clamping area|region RA will fall when the reduction rollers 81a-81g contact. For this reason, by making the highest temperature of the clamping area|region RA higher than the temperature of 1st central area|region CA1 by 30 degreeC - 150 degreeC, cooling by the lowering rollers 81a-81g is relieved, and as shown in temperature profile TP2, The temperature of 1st center area|region CA1 in sheet glass SG, 2nd center area|region CA2, and clamping area|region RA can be made uniform. That is, a pair of cut-down rollers 81a-81g clamps sheet glass SG while cooling so that deformation|transformation by heat may be suppressed, and split heater 82a1-82a7 is sheet glass SG cooled by the cut-down rollers 81a-81g. It controls the temperature of clamping area|region RA so that it may become uniform in the width direction of sheet glass SG. The temperature of the clamping region RA exhibits an arcuate gentle curve because the crack plate 83 diffuses the heat received from the split heaters 82a2 and 82a6 over the entire surface. As the temperature of the clamping region RA is made higher than the temperature of the first central region CA1, the temperatures of the second central region CA2 and the outermost end regions R and L adjacent to the clamping region RA are also made high. This is because the influence of cooling by the lowering rollers 81a to 81g affects not only the pinching area RA, but also the second center area CA2 and the outermost end areas R and L adjacent to the pinching area RA. By making not only the pinching area RA, but also the second central area CA2 and the outermost end areas R and L adjacent to the pinching area RA higher than the temperature of the first center area CA1, the adjacent area including the pinching area RA, Warpage and deformation can be suppressed.

이와 같이, 한쌍의 인하 롤러(81a 내지 81g)는 제1 중앙 영역 CA1과 최외측 단부 영역 R, L과의 사이의 영역을 협지하고, 분할 히터(82a1 내지 82a7)는, 제1 중앙 영역 CA1의 온도가 균일해지고, 또한, 협지 영역 RA의 온도가 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높아지도록, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 협지하기 전의 시트 글래스 SG의 온도를 제어한다.In this way, the pair of lowering rollers 81a to 81g sandwich the region between the first central region CA1 and the outermost end regions R and L, and the divided heaters 82a1 to 82a7 are formed in the first central region CA1. Temperature of sheet glass SG before reduction roller 81a-81g is clamped is controlled so that temperature may become uniform and the temperature of clamping area|region RA may become higher than the temperature of 1st center area|region CA1.

협지 영역 RA의 온도의 최고 온도와 제1 중앙 영역 CA1의 온도의 온도차 TD는, 상류측, 즉, 히터(82a)에 의해 가열되는 공간이 가장 크고, 하류측을 향함에 따라서 서서히 작아지고, 히터(82g)에 의해 가열되는 공간이 가장 작아진다. 예를 들어, 히터(82a 내지 82g) 각각에 의해 가열되는 공간에 있어서의 온도차 TD는, 150℃, 130℃, 110℃, 90℃, 70℃, 50℃, 30℃로, 서서히 작아진다. 이것은, 시트 글래스 SG의 온도가 높은 상류측일수록, 인하 롤러(81)에 의한 냉각의 영향을 받기 쉽기 때문에, 온도차 TD를 크게 하여, 인하 롤러(81)에 의한 냉각을 완화하기 위해서이다.The temperature difference TD between the maximum temperature of the clamping region RA and the temperature of the first central region CA1 is the largest on the upstream side, that is, the space heated by the heater 82a, and gradually decreases as it goes to the downstream side, the heater The space heated by (82g) becomes the smallest. For example, the temperature difference TD in the space heated by each of the heaters 82a to 82g is 150°C, 130°C, 110°C, 90°C, 70°C, 50°C, and 30°C, and gradually decreases. Since it is easy to receive the influence of the cooling by the cut-down roller 81, it is for this to enlarge temperature difference TD, and to relieve|moderate cooling by the down-roller 81, so that the temperature of sheet glass SG is high upstream.

도 10은, 분할 히터(82a1 내지 82a7)의 배치예를 도시하는 도면이다. 분할 히터(82a1 내지 82a7)의 출력을 변화시키지 않고, 분할 히터(82a1 내지 82a7)를 시트 글래스 SG측, 균열판(83) 측에 접근시키면, 시트 글래스 SG의 온도는 높아진다. 분할 히터(82a1 내지 82a7)의 열은, 균열판(83)의 표면에서 확산되지만, 분할 히터(82a1 내지 82a7)를 균열판(83)에 너무 접근시키면, 균열판(83)에 의해 열이 확산되지 않는 경우가 있다. 이 때문에, 온도를 높게 하고자 하는 협지 영역 RA에 대향하는 위치에 있는 분할 히터(82a2, 82a6)를 균열판(83)으로부터 이격하고, 분할 히터(82a2, 82a6)의 출력을 높이는 것에 의해, 협지 영역 RA의 국부적인 가열이 억제되어, 협지 영역 RA의 온도 분포를 매끄럽게 할 수 있다. 분할 히터(82a2, 82a6)의 위치를, 분할 히터(82a4)의 위치로부터 거리 D1만큼 배면 측으로 어긋나게 한 경우, 방사에 의한 전열량은 물체로부터의 거리의 2승에 반비례하여 감쇠하기 때문에, 떨어진 거리 D1에 따라서 분할 히터(82a2, 82a6)의 출력을 높인다. 즉, 분할 히터(협지 영역 대응 히터)(82a2, 82a6)의 시트 글래스 SG로부터의 거리를, 분할 히터(제1 중앙 영역 대응 히터)(82a4)의 시트 글래스 SG로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 시트 글래스 SG를 협지하기 전, 협지 영역 RA의 온도가 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높아지도록, 분할 히터(협지 영역 대응 히터)(82a2, 82a6)의 출력을 제어하는 것이 바람직하다.10 is a diagram showing an arrangement example of the split heaters 82a1 to 82a7. When the division heaters 82a1 to 82a7 are brought closer to the sheet glass SG side and the crack plate 83 side without changing the output of the division heaters 82a1 to 82a7, the temperature of the sheet glass SG will increase. The heat from the split heaters 82a1 to 82a7 is diffused on the surface of the crack plate 83 , but if the split heaters 82a1 to 82a7 are brought too close to the crack plate 83 , the heat is diffused by the crack plate 83 . There are times when it doesn't. For this reason, by separating the split heaters 82a2 and 82a6 at positions opposite to the clamping region RA for which the temperature is to be increased from the crack plate 83, and increasing the output of the split heaters 82a2 and 82a6, the clamping region Local heating of the RA is suppressed, and the temperature distribution of the pinching region RA can be smoothed. When the positions of the split heaters 82a2 and 82a6 are shifted to the rear side by a distance D1 from the position of the split heaters 82a4, the amount of heat transferred by radiation is inversely proportional to the square of the distance from the object. In accordance with D1, the output of the split heaters 82a2 and 82a6 is increased. That is, compared with the distance from sheet glass SG of division heater (interposing area correspondence heater) 82a2, 82a6, compared with the distance from sheet glass SG of division heater (1st center area correspondence heater) 82a4, cut, Before the rollers 81a to 81g clamp the sheet glass SG, the output of the split heaters (clamping area-compatible heaters) 82a2 and 82a6 is controlled so that the temperature of the clamping area RA becomes higher than the temperature of the first central area CA1. it is preferable

또한, 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2에 대향하는 분할 히터(82a3, 82a5)의 위치를, 분할 히터(82a4)의 위치로부터 거리 D2만큼 배면 측으로 어긋나게 하고, 분할 히터(82a3, 82a5)의 출력을 높인다. 거리 D2는, 거리 D1보다도 작다. 협지 영역 RA에 인접하는 제2 중앙 영역 CA2에 있어서도, 인하 롤러(81)에 의한 냉각의 영향을 받기 때문에, 제2 중앙 영역 CA2의 온도를 높인다. 제2 중앙 영역 CA2는 협지 영역 RA보다 인하 롤러(81)에 의한 냉각의 영향이 작기 때문에, 제2 중앙 영역 CA2의 온도 분포를 협지 영역 RA의 온도 분포보다 완만한 곡선으로 할 필요가 있다. 이 때문에, 분할 히터(82a4)의 위치로부터 거리 D2만큼 배면 측으로 어긋나게 하고, 분할 히터(82a3, 82a5)의 출력을 높임으로써 실현할 수 있다. 즉, 분할 히터(제2 중앙 영역 대응 히터)(82a3, 82a5)의 시트 글래스 SG로부터의 거리를, 분할 히터(제1 중앙 영역 대응 히터)(82a4)의 시트 글래스 SG로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 인하 롤러(81a 내지 81g)가 시트 글래스 SG를 협지하기 전, 도 8에 도시하는 온도 프로파일 TP1과 같이, 제2 중앙 영역 CA2의 온도가 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 부분적으로 높아지도록, 분할 히터(제2 중앙 영역 대응 히터)(82a3, 82a5)의 출력을 제어하는 것이 바람직하다.Further, the positions of the divided heaters 82a3 and 82a5 facing the second central region CA2 adjacent to the pinching area RA are shifted from the position of the divided heaters 82a4 toward the back side by a distance D2, and the divided heaters 82a3 and 82a5 are shifted toward the back side. increase the output of The distance D2 is smaller than the distance D1. Also in 2nd center area|region CA2 adjacent to pinching area|region RA, since it receives the influence of cooling by the reduction roller 81, the temperature of 2nd center area|region CA2 is raised. Since the influence of cooling by the lowering roller 81 is smaller in 2nd center area|region CA2 than clamping area|region RA, it is necessary to make temperature distribution of 2nd center area|region CA2 into a curve gentler than the temperature distribution of pinching area|region RA. For this reason, it can be realized by shifting from the position of the split heater 82a4 to the back side by a distance D2 and increasing the output of the split heaters 82a3 and 82a5. That is, the distance from sheet glass SG of division heater (2nd center area|region correspondence heater) 82a3, 82a5 is made far compared with the distance from sheet glass SG of division heater (1st center area correspondence heater) 82a4, Before the reduction rollers 81a-81g pinch sheet glass SG, like temperature profile TP1 shown in FIG. 8, it divides so that the temperature of 2nd center area CA2 may become higher than the temperature of 1st center area CA1 partially. It is preferable to control the output of the heaters (second central region corresponding heater) 82a3, 82a5.

거리 D1, D2가 커질수록, 온도 분포는 완만한 곡선이 되기 때문에, 거리 D1<거리 D2, 분할 히터(82a2, 82a6)의 출력<분할 히터(82a3, 82a5)의 출력으로 할 수도 있다. 온도 분포의 폭 방향의 급격한 변화를 억제하여, 협지 영역 RA와 제2 중앙 영역 CA2의 휨, 변형을 제어할 수 있다.Since the temperature distribution becomes a gentle curve as the distances D1 and D2 become larger, the distance D1 < distance D2, the output of the divided heaters 82a2 and 82a6 < the output of the divided heaters 82a3 and 82a5 can also be made. By suppressing the abrupt change in the width direction of the temperature distribution, the curvature and deformation of the clamping region RA and the second central region CA2 can be controlled.

본 실시 형태에서는, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 협지되기 전의 시트 글래스 SG에 있어서, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의해 냉각되는 협지 영역 RA의 온도를 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높이는 것에 의해, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의한 냉각을 완화할 수 있어, 협지 영역 RA에 발생시키는 휨, 변형을 억제할 수 있다. 또한, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 협지되기 전의 시트 글래스 SG에 있어서, 최외측 단부 영역 R, L 및 제2 중앙 영역 CA2, 즉 협지 영역 RA에 인접하는 영역의 온도를, 제1 중앙 영역 CA1의 온도보다 높이는 것에 의해, 최외측 단부 영역 R, L, 및 제2 중앙 영역 CA2에 발생시키는 휨, 변형을 억제할 수 있다. 특히, 시트 글래스 SG의 판 두께가 0.4mm 이하인 경우에는, 인하 롤러(81a 내지 81g)에 의한 시트 글래스 SG의 냉각을 완화할 수 있기 때문에, 판 두께가 0.05mm부터 0.4mm의 범위인 시트 글래스 SG에 있어서, 큰 변형을 억제할 수 있다.In this embodiment, in sheet glass SG before being clamped by the reduction rollers 81a-81g WHEREIN: By raising the temperature of the clamping area|region RA cooled by the reduction rollers 81a-81g than the temperature of 1st center area|region CA1 , the cooling by the lowering rollers 81a to 81g can be relaxed, and the curvature and deformation generated in the clamping area RA can be suppressed. Moreover, in sheet glass SG before being pinched by the lowering rollers 81a-81g, the temperature of the area|region adjacent to outermost edge part area|region R, L, and 2nd center area|region CA2, ie, clamping area|region RA, is 1st center area CA1 By raising the temperature of , it is possible to suppress warpage and deformation generated in the outermost end regions R, L, and the second central region CA2. In particular, when the sheet thickness of sheet glass SG is 0.4 mm or less, since cooling of sheet glass SG by the lowering rollers 81a-81g can be relieved, sheet glass SG whose sheet thickness is in the range of 0.05 mm to 0.4 mm. In this way, large deformation can be suppressed.

이상, 본 실시 형태에 대하여 도면에 기초하여 설명했지만, 구체적인 구성은, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 변경 가능하다.As mentioned above, although this embodiment was demonstrated based on drawing, a specific structure is not limited to the said embodiment, It can change in the range which does not deviate from the summary of invention.

11: 용해 장치
12: 청징 장치
40: 성형 장치
41: 성형체
51: 냉각 롤러
60: 온도 조정 유닛
81a 내지 81g: 인하 롤러
82a 내지 82g: 히터
82a1 내지 82a7: 분할 히터
90: 절단 장치
100: 유리 기판의 제조 장치
500: 제어 장치11: Melting device
12: clarification device
40: molding device
41: molded body
51: cooling roller
60: temperature control unit
81a to 81g: lowering rollers
82a to 82g: heater
82a1 to 82a7: split heater
90: cutting device
100: apparatus for manufacturing a glass substrate
500: control unit

Claims (9)

용융 유리를 성형체로부터 유하시켜서 유리판을 성형하는 성형 공정과,
상기 성형체의 하방에 있어서, 상기 유리판의 두께 방향의 양측에 배치되는 한쌍의 롤러를 상기 유리판의 폭 방향의 양측 각각에 갖는 두 쌍의 롤러에 의해, 상기 성형 공정에서 성형된 상기 유리판을 하방으로 반송하면서, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 순차 온도가 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어하는 히터에 의해, 상기 유리판을 냉각하는 냉각 공정을 구비하고,
상기 두 쌍의 롤러는, 상기 유리판의 상기 폭 방향의 양측에 있어서 상기 유리판과 접촉함으로써 상기 유리판의 접촉한 영역의 점도를 109.0 포이즈 이상으로 하는, 상기 성형체의 하방에 배치된 냉각 롤러의 하방에 배치되고,
상기 냉각 공정에서는,
상기 두 쌍의 롤러 각각은, 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 상기 유리판을 협지하고,
상기 히터는, 상기 두 쌍의 롤러와 접촉하여 협지하는 것에 의해 냉각된 상기 유리판의 협지 영역의 온도, 및 상기 협지 영역에 대하여 상기 폭 방향의 내측에 있고, 상기 유리판의 상기 폭 방향의 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역의 온도가, 상기 유리판의 상기 폭 방향에서 균일해지고, 상기 양단의 온도가, 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도에 비해 낮아지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.A molding step of flowing a molten glass from a molded body to shape a glass plate;
The glass plate molded in the said shaping|molding process is conveyed downward by the pair of rollers which have a pair of rollers arrange|positioned on both sides of the thickness direction of the said glass plate on both sides of the width direction of the said glass plate in the lower direction of the said molded object. a cooling process of cooling the glass plate by a heater that controls the temperature of the glass plate so that the temperature of the glass plate is lowered sequentially with respect to the conveyance direction of the glass plate,
The two pairs of rollers are in contact with the glass plate on both sides in the width direction of the glass plate, so that the viscosity of the contact area of the glass plate is 10 9.0 poise or more. placed,
In the cooling process,
Each of the two pairs of rollers clamps the glass plate while cooling so that deformation due to heat is suppressed,
The heater is inside the width direction with respect to the temperature of the clamping region of the glass plate cooled by being in contact with the pair of rollers and clamping, and the clamping region, at both ends of the glass plate in the width direction. The temperature of the central region in the width direction, where the thickness of the glass plate is thinner than the thickness of the glass plate of The manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서, 상기 냉각 공정에서는,
상기 두 쌍의 롤러는, 상기 폭 방향 중앙 영역과 상기 유리판의 상기 폭 방향의 단 사이의 영역을 협지하고,
상기 히터는, 상기 두 쌍의 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 균일해지고, 또한, 상기 협지 영역의 온도가 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도보다 높아지도록, 상기 유리판의 온도를 제어하는, 유리판의 제조 방법.The method according to claim 1, wherein in the cooling step,
The two pairs of rollers sandwich the region between the central region in the width direction and the end of the glass plate in the width direction,
The heater, before the two pairs of rollers clamp the glass plate, the temperature of the central region in the width direction becomes uniform, and the temperature of the clamping region becomes higher than the temperature of the central region in the width direction, the glass plate The manufacturing method of the glass plate which controls temperature. 제1항에 있어서, 상기 냉각 공정에서는, 상기 히터는, 상기 두 쌍의 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 협지 영역의 온도 분포가, 상기 양단에 끼워진, 상기 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역 및 상기 단을 향하여 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어하는, 유리판의 제조 방법.The thickness of the glass plate in the said both ends of Claim 1 in which the said heater in the said cooling process pinched|interposed the temperature distribution of the said clamping area|region to the said both ends before the said two pair of rollers clamped the said glass plate. The manufacturing method of the glass plate which controls the temperature of the said glass plate so that the thickness of the said glass plate may become lower toward the thin width direction central area and the said end. 제1항에 있어서, 상기 히터는, 상기 폭 방향으로 복수로 분할된 분할 히터를 포함하고,
상기 분할 히터는, 상기 협지 영역에 대응하는 상기 폭 방향의 위치에 설치된 협지 영역 대응 히터를 포함하는, 유리판의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the heater comprises a divided heater divided into a plurality in the width direction,
The said division heater is the manufacturing method of a glass plate including the clamping area correspondence heater provided in the position of the said width direction corresponding to the said clamping area|region. 제4항에 있어서, 상기 분할 히터는, 상기 협지 영역 대응 히터 이외에, 상기 양단에 끼워진, 상기 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역에 대응하는 상기 폭 방향의 위치에 설치된 중앙 영역 대응 히터를 포함하고,
상기 협지 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리를, 상기 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 상기 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 협지 영역의 온도가 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도보다 높아지도록, 상기 협지 영역 대응 히터의 출력을 제어하는, 유리판의 제조 방법.5. The width direction of claim 4, wherein the split heater corresponds to a central region in the width direction in which the thickness of the glass plate is thinner than the thickness of the glass plate at the both ends other than the clamping region corresponding heater. including a central area corresponding heater installed at the location;
The distance from the glass plate of the heater corresponding to the clamping region is made greater than the distance from the glass plate of the heater corresponding to the central region, and before the roller clamps the glass plate, the temperature of the clamping region is the width direction central region. The manufacturing method of the glass plate which controls the output of the said clamping area correspondence heater so that it may become higher than the temperature of. 제5항에 있어서, 상기 폭 방향 중앙 영역은, 상기 폭 방향의 중심을 포함하는 제1 중앙 영역과, 상기 제1 중앙 영역과 상기 협지 영역 사이에 위치하는 제2 중앙 영역을 갖고,
상기 중앙 영역 대응 히터는, 상기 제1 중앙 영역에 대응하는 상기 폭 방향의 위치에 설치된 제1 중앙 영역 대응 히터와, 상기 제2 중앙 영역에 대응하는 상기 폭 방향의 위치에 설치된 제2 중앙 영역 대응 히터를 포함하고,
상기 제2 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리를, 상기 제1 중앙 영역 대응 히터의 상기 유리판으로부터의 거리에 비하여 멀게 하고, 상기 롤러가 상기 유리판을 협지하기 전, 상기 제2 중앙 영역의 온도가 상기 제1 중앙 영역의 온도보다 부분적으로 높아지도록, 상기 제2 중앙 영역 대응 히터의 출력을 제어하는, 유리판의 제조 방법.The method according to claim 5, wherein the central region in the width direction has a first central region including a center in the width direction and a second central region located between the first central region and the pinching region;
The central region-corresponding heater includes a first central region-corresponding heater provided in a position in the width direction corresponding to the first central region, and a second central region-corresponding heater installed in a width direction position corresponding to the second central region. including a heater;
the distance from the glass plate of the second central region corresponding heater is greater than the distance from the glass plate of the first central region corresponding heater, and the temperature of the second central region before the roller pinches the glass plate The manufacturing method of the glass plate which controls the output of the said 2nd center area correspondence heater so that it may become higher than the temperature of the said 1st center area partially. 제3항에 있어서, 상기 협지 영역에서의 상기 온도 분포의 최고 온도와 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도 간의 온도차가, 상기 유리판의 상기 반송 방향의 상류측으로부터 하류측을 향하여 서서히 작아지는, 유리판의 제조 방법.Production of the glass plate of Claim 3 whose temperature difference between the maximum temperature of the said temperature distribution in the said clamping area|region and the temperature of the said width direction center area gradually becomes small toward a downstream from the upstream of the said conveyance direction of the said glass plate. Way. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리판과 상기 히터 사이에는, 상기 유리판의 표면과 대향하도록 균열판이 배치되고,
상기 히터의 상기 폭 방향의 열 분포를 상기 균열판에 의해 완만하게 함으로써, 상기 유리판의 온도 분포를 제어하는, 유리판의 제조 방법.A cracking plate is disposed between the glass plate and the heater so as to face the surface of the glass plate according to any one of claims 1 to 7,
The manufacturing method of the glass plate which controls the temperature distribution of the said glass plate by softening the heat distribution of the said width direction of the said heater with the said cracking plate. 용융 유리를 유하시켜서 유리판을 성형하는 성형체와,
상기 성형체의 하방에 배치되고, 상기 유리판의 폭 방향의 양측 각각에 있어서 상기 유리판과 접촉함으로써 상기 유리판의 접촉한 영역의 점도를 109.0 포이즈 이상으로 하는 냉각 롤러와,
상기 냉각 롤러의 하방에 있어서, 상기 유리판의 두께 방향의 양측에 배치된 한쌍의 롤러를 상기 유리판의 상기 폭 방향의 양측 각각에 갖고, 상기 유리판을 하방으로 반송하는 두 쌍의 롤러와,
상기 유리판의 반송 방향에 대하여 순차 온도가 낮아지도록 상기 유리판의 온도를 제어하는 히터를 구비하고,
상기 두 쌍의 롤러는, 열에 의한 변형이 억제되도록 냉각되면서 상기 유리판을 협지하고,
상기 히터는, 상기 두 쌍의 롤러와 접촉하여 협지하는 것에 의해 냉각된 상기 유리판의 협지 영역의 온도, 및 상기 협지 영역에 대하여 상기 폭 방향의 내측에 있고, 상기 유리판의 상기 폭 방향의 양단에 있어서의 상기 유리판의 두께보다 상기 유리판의 두께가 얇은 폭 방향 중앙 영역의 온도가, 상기 유리판의 상기 폭 방향에서 균일해지고, 상기 양단의 온도가, 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도에 비해 낮아지도록 제어하는
것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.A molded body for forming a glass plate by flowing molten glass;
a cooling roller disposed below the molded body and in contact with the glass plate on each of both sides in the width direction of the glass plate so that the viscosity of the contacted region of the glass plate is 10 9.0 poise or more;
a pair of rollers disposed on both sides of the glass plate in the thickness direction under the cooling roller on each of both sides of the glass plate in the width direction, and two pairs of rollers for conveying the glass plate downward;
A heater for controlling the temperature of the glass plate so that the temperature is sequentially lowered with respect to the conveyance direction of the glass plate,
The two pairs of rollers sandwich the glass plate while cooling so that deformation due to heat is suppressed,
The heater is inside the width direction with respect to the temperature of the clamping region of the glass plate cooled by being in contact with the pair of rollers and clamping, and the clamping region, at both ends of the glass plate in the width direction. The temperature of the central region in the width direction, where the thickness of the glass plate is thinner than the thickness of the glass plate of
The manufacturing apparatus of the glass plate characterized by the above-mentioned.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6708970B2 (en) * 2016-12-15 2020-06-10 日本電気硝子株式会社 Method for manufacturing glass article
CN111116014B (en) * 2019-12-30 2021-08-13 彩虹显示器件股份有限公司 Control method for temperature field of forming device
CN112919787B (en) * 2021-01-29 2023-05-16 彩虹显示器件股份有限公司 Glass substrate warping judgment and adjustment method
CN115304253B (en) * 2022-06-20 2024-03-29 杭州乾智坤达新材料科技有限公司 Flexible glass production equipment and production process thereof

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009508803A (en) * 2005-09-22 2009-03-05 コーニング インコーポレイテッド Method for producing flat glass with low warpage level
JP2010229020A (en) 2009-02-27 2010-10-14 Corning Inc Thermal control of bead portion of glass ribbon
WO2013105667A1 (en) * 2012-01-13 2013-07-18 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 Manufacturing device and molding device for glass substrate
JP2013216526A (en) * 2012-04-06 2013-10-24 Avanstrate Inc Method of manufacturing glass substrate
WO2014082000A1 (en) 2012-11-26 2014-05-30 Corning Incorporated Thermal control of the bead portion of a glass ribbon

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5241223B2 (en) * 2007-12-20 2013-07-17 日本電気硝子株式会社 Glass plate manufacturing method and manufacturing equipment
KR101907227B1 (en) 2011-03-31 2018-10-11 아반스트레이트 가부시키가이샤 Method for manufacturing glass substrate
US9290403B2 (en) * 2013-02-25 2016-03-22 Corning Incorporated Repositionable heater assemblies for glass production lines and methods of managing temperature of glass in production lines

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009508803A (en) * 2005-09-22 2009-03-05 コーニング インコーポレイテッド Method for producing flat glass with low warpage level
JP2010229020A (en) 2009-02-27 2010-10-14 Corning Inc Thermal control of bead portion of glass ribbon
WO2013105667A1 (en) * 2012-01-13 2013-07-18 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 Manufacturing device and molding device for glass substrate
JP2013216526A (en) * 2012-04-06 2013-10-24 Avanstrate Inc Method of manufacturing glass substrate
WO2014082000A1 (en) 2012-11-26 2014-05-30 Corning Incorporated Thermal control of the bead portion of a glass ribbon

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