KR102444878B1 - Apparatus for treating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 내부에 처리 공간이 형성되는 챔버, 상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지되는 기판을 가열하는 히터 유닛, 그리고 상기 처리 공간 내 기체를 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 상기 배기 유닛은 상기 처리 공간 내 기체가 유입되는 배기 유로가 형성되는 배기판 및 상기 배기 유로와 연결되며, 감압 부재가 설치되는 배기관을 포함한다. 처리 공간에 유입된 기체는 배기 유로에 일정 시간동안 머무른다. 이로 인해 처리 공간의 열 손실을 최소화할 수 있다.The present invention provides an apparatus for processing a substrate. A substrate processing apparatus includes a chamber having a processing space formed therein, a substrate support unit for supporting a substrate in the processing space, a heater unit for heating a substrate supported by the substrate support unit, and an exhaust unit for exhausting gas in the processing space The exhaust unit includes an exhaust plate having an exhaust passage through which gas in the processing space flows, and an exhaust pipe connected to the exhaust passage and having a pressure reducing member installed therein. The gas introduced into the processing space stays in the exhaust passage for a certain period of time. As a result, heat loss in the processing space can be minimized.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}Substrate processing apparatus

본 발명은 기판을 열 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for thermally treating a substrate.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 기판 상에 막을 형성하는 공정으로 증착 및 도포 공정이 사용된다. 일반적으로 증착 공정은 공정 가스를 기판 상에 증착하여 막을 형성하는 공정이고, 도포 공정은 처리액을 기판 상에 도포하여 액막을 형성하는 공정이다.In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photography, etching, and ion implantation are performed. Among these processes, a deposition and coating process is used as a process for forming a film on a substrate. In general, a deposition process is a process of forming a film by depositing a process gas on a substrate, and the application process is a process of forming a liquid film by applying a treatment solution on the substrate.

기판 상에 막을 형성하기 전후에는 기판을 베이크 처리하는 과정이 진행된다. 베이크 처리 과정은 밀폐된 공간에서 기판을 공정 온도 또는 그 이상으로 가열 처리하는 과정으로, 기판의 전체 영역을 균일한 온도로 가열하거나 작업자에 따라 기판의 영역 별 온도를 조절한다.A process of baking the substrate is performed before and after forming the film on the substrate. The baking process is a process of heating a substrate to a process temperature or higher in an enclosed space, and the entire region of the substrate is heated to a uniform temperature or the temperature of each region of the substrate is adjusted according to the operator.

도 1은 일반적인 베이크 처리 장치를 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 베이크 처리 장치의 내부에는 기판의 외측부로부터 외기가 유입된다. 이로 인해 기판(W)의 외측 영역에는 외기가 우선적으로 접촉되고, 기판(W)의 내측 영역과 접촉된 후, 챔버(2)의 상부 영역을 통해 배기된다. 이로 인해 기판의 가장자리 영역에 공급되는 외기의 온도와 중앙 영역에 공급되는 외기의 온도는 차이가 발생되며, 기판의 전체 영역은 불균일하게 가열된다. 1 is a cross-sectional view showing a typical bake processing apparatus. Referring to FIG. 1 , outside air is introduced into the bake processing apparatus from the outside of the substrate. Due to this, the external air is preferentially contacted with the outer region of the substrate W, and after being in contact with the inner region of the substrate W, it is exhausted through the upper region of the chamber 2 . Due to this, the temperature of the external air supplied to the edge region of the substrate and the temperature of the external air supplied to the central region are different, and the entire region of the substrate is heated non-uniformly.

또한 외기는 처리 공간에 유입되는 시점부터 가열되어 기판을 베이크 처리하고, 막에 포함된 휘발성 물질을 휘발시킨다. 그러나 가열된 외기는 빠르게 배기되어 처리 공간의 열 손실이 상당하다.In addition, the outside air is heated from the time it flows into the processing space to bake the substrate and volatilize the volatile material contained in the film. However, the heated outside air is rapidly exhausted, resulting in significant heat loss in the processing space.

한국 등록 특허 10-07843890000Korean registered patent 10-07843890000

본 발명은 기판을 균일하게 가열할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an apparatus capable of uniformly heating a substrate.

또한 본 발명은 외기에 의해 처리 공간의 열 손실을 최소화할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.Another object of the present invention is to provide an apparatus capable of minimizing heat loss in a processing space due to external air.

본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 내부에 처리 공간이 형성되는 챔버, 상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지되는 기판을 가열하는 히터 유닛, 그리고 상기 처리 공간 내 기체를 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 상기 배기 유닛은 상기 처리 공간 내 기체가 유입되는 배기 유로가 형성되는 배기판 및 상기 배기 유로와 연결되며, 감압 부재가 설치되는 배기관을 포함한다. An embodiment of the present invention provides an apparatus for processing a substrate. A substrate processing apparatus includes a chamber having a processing space formed therein, a substrate support unit for supporting a substrate in the processing space, a heater unit for heating a substrate supported by the substrate support unit, and an exhaust unit for exhausting gas in the processing space The exhaust unit includes an exhaust plate having an exhaust passage through which gas in the processing space flows, and an exhaust pipe connected to the exhaust passage and having a pressure reducing member installed therein.

상기 배기판은 상기 기판 지지 유닛의 상부에서 상기 기판 지지 유닛과 마주하게 위치되고, 상기 배기관은 상기 배기판의 중심 영역에 결합될 수 있다. 상기 배기판에는 상기 처리 공간 내 기체가 상기 배기 유로로 유입되는 유입구가 형성될 수 있다. 상기 유입구는 복수 개가 제공되며, 상기 유입구들 중 일부는 상기 배기관이 상기 배기 유로에 결합되는 위치로부터 서로 다른 거리에 제공될 수 있다. 상기 배기판은 상기 챔버의 내벽과 이격되게 위치되고, 상기 챔버에는 외부의 기체를 상기 처리 공간으로 유입하는 유입홀이 형성되며, 상부에서 바라볼 때 상기 유입홀는 상기 배기판과 중첩되게 위치될 수 있다. The exhaust plate may be positioned to face the substrate support unit at an upper portion of the substrate support unit, and the exhaust pipe may be coupled to a central region of the exhaust plate. An inlet through which gas in the processing space flows into the exhaust passage may be formed in the exhaust plate. A plurality of inlets may be provided, and some of the inlets may be provided at different distances from a position where the exhaust pipe is coupled to the exhaust passage. The exhaust plate may be positioned to be spaced apart from the inner wall of the chamber, and an inlet hole for introducing an external gas into the processing space may be formed in the chamber, and the inlet hole may be positioned to overlap the exhaust plate when viewed from above.

상부에서 바라볼 때 상기 배기 유로는 나선 형상으로 제공될 수 있다. 상기 배기 유로는 길이 방향을 따라 복수의 상기 유입구들이 연결될 수 있다. When viewed from above, the exhaust passage may be provided in a spiral shape. A plurality of the inlets may be connected to the exhaust passage in a longitudinal direction.

또한 상기 배기 유로는 복수 개로 제공되고, 각각의 상기 배기 유로는 서로 다른 상기 유입구와 연결될 수 있다. In addition, a plurality of the exhaust passages may be provided, and each of the exhaust passages may be connected to the different inlets.

본 발명의 실시예에 의하면, 처리 공간에 유입된 기체는 배기 유로에 일정 시간동안 머무른다. 이로 인해 처리 공간의 열 손실을 최소화할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas introduced into the processing space stays in the exhaust passage for a predetermined time. As a result, heat loss in the processing space can be minimized.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 배기관과 멀게 이격되는 유입홀에는 이보다 가깝게 이격되는 유입홀보다 작은 배기압이 발생된다. 이로 인해 기판의 가장자리 영역에 마주하는 유입홀에는 중앙 영역에 마주하는 유입홀보다 작은 배기압이 발생되며, 기판의 외측으로부터 공급되는 외기는 서로 상이하게 위치된 유입홀들로 균일하게 배기될 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, a smaller exhaust pressure is generated in the inlet hole spaced apart from the exhaust pipe than that in the inlet hole spaced apart closer than this. Due to this, a smaller exhaust pressure is generated in the inlet hole facing the edge region of the substrate than in the inlet hole facing the central region, and the external air supplied from the outside of the substrate can be uniformly exhausted into the inlet holes positioned differently from each other. .

도 1은 일반적인 베이크 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 설비를 A-A 방향에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 설비를 B-B 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 2의 설비를 C-C 방향에서 바라본 도면이다
도 6은 도 2의 가열 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6의 히터 유닛 및 안착 플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 6의 배기 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 9는 도 6의 배기 유로를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 6의 처리 공간에서 외기의 흐름 경로를 보여주는 도면이다.
도 11은 도 9의 배기 유로의 다른 실시예를 보여주는 평면도이다.1 is a cross-sectional view showing a typical bake processing apparatus.
2 is a plan view illustrating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view of the facility of FIG. 2 as viewed from the AA direction.
4 is a view of the facility of FIG. 2 viewed from the BB direction.
5 is a view of the facility of FIG. 2 viewed from the CC direction;
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the heating unit of FIG. 2 .
7 is a plan view illustrating the heater unit and the seating plate of FIG. 6 .
8 is a perspective view illustrating the exhaust unit of FIG. 6 .
9 is a plan view illustrating the exhaust flow path of FIG. 6 .
FIG. 10 is a view showing a flow path of external air in the processing space of FIG. 6 .
11 is a plan view illustrating another embodiment of the exhaust flow path of FIG. 9 .

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 설비는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 그러나 본 실시예는 밀폐된 기판 처리 공간에 기류가 형성되는 장치라면 다양하게 적용 가능하다. 아래에서는 기판으로 원형의 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.The equipment of this embodiment may be used to perform a photolithography process on a substrate such as a semiconductor wafer or a flat panel display panel. In particular, the equipment of this embodiment may be connected to an exposure apparatus and used to perform a coating process and a developing process on a substrate. However, the present embodiment can be variously applied as long as an airflow is formed in a closed substrate processing space. Hereinafter, a case in which a circular wafer is used as a substrate will be described as an example.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 평면도이다. 도 3은 도 2의 설비를 A-A 방향에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 2의 설비를 B-B 방향에서 바라본 도면이고, 도 5는 도 2의 설비를 C-C 방향에서 바라본 도면이다. 2 is a plan view schematically illustrating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention. 3 is a view of the facility of FIG. 2 viewed from the A-A direction, FIG. 4 is a view of the facility of FIG. 2 viewed from the B-B direction, and FIG. 5 is a view of the facility of FIG. 2 viewed from the C-C direction.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)을 포함한다. 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다. 2 to 5 , the substrate processing facility 1 includes a load port 100 , an index module 200 , a first buffer module 300 , a coating and developing module 400 , and a second buffer module 500 . ), a pre-exposure processing module 600 , and an interface module 700 . Load port 100, index module 200, first buffer module 300, coating and developing module 400, second buffer module 500, pre-exposure processing module 600, and interface module 700 are sequentially arranged in a line in one direction.

이하, 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)이 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 칭하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(12)과 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 칭하고, 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14)과 각각 수직한 방향을 제 3 방향(16)이라 칭한다. Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, and the interface module ( A direction in which 700 is arranged is referred to as a first direction 12 , a direction perpendicular to the first direction 12 when viewed from the top is referred to as a second direction 14 , and the first direction 12 and the second direction A direction each perpendicular to the direction 14 is referred to as a third direction 16 .

기판(W)은 카세트(20) 내에 수납된 상태로 이동된다. 이때 카세트(20)는 외부로부터 밀폐될 수 있는 구조를 가진다. 예컨대, 카세트(20)로는 전방에 도어를 가지는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod; FOUP)가 사용될 수 있다. The substrate W is moved while being accommodated in the cassette 20 . At this time, the cassette 20 has a structure that can be sealed from the outside. For example, as the cassette 20, a Front Open Unified Pod (FOUP) having a door at the front may be used.

이하에서는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, and the interface module ( 700) will be described in detail.

로드 포트(100)는 기판들(W)이 수납된 카세트(20)가 놓여지는 재치대(120)를 가진다. 재치대(120)는 복수개가 제공되며, 재치대들(200)은 제 2 방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 2에서는 4개의 재치대(120)가 제공되었다. The load port 100 has a mounting table 120 on which the cassette 20 in which the substrates W are accommodated is placed. A plurality of mounting tables 120 are provided, and the mounting tables 200 are arranged in a line along the second direction 14 . In FIG. 2 , four mounting tables 120 are provided.

인덱스 모듈(200)은 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인 카세트(20)와 제 1 버퍼 모듈(300) 간에 기판(W)을 이송한다. 인덱스 모듈(200)은 프레임(210), 인덱스 로봇(220), 그리고 가이드 레일(230)을 가진다. 프레임(210)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(100)와 제 1 버퍼 모듈(300) 사이에 배치된다. 인덱스 모듈(200)의 프레임(210)은 후술하는 제 1 버퍼 모듈(300)의 프레임(310)보다 낮은 높이로 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(220)과 가이드 레일(230)은 프레임(210) 내에 배치된다. 인덱스 로봇(220)은 기판(W)을 직접 핸들링하는 핸드(221)가 제 1 방향(12), 제 2 방향(14), 제 3 방향(16)으로 이동 가능하고 회전될 수 있도록 4축 구동이 가능한 구조를 가진다. 인덱스 로봇(220)은 핸드(221), 아암(222), 지지대(223), 그리고 받침대(224)를 가진다. 핸드(221)는 아암(222)에 고정 설치된다. 아암(222)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 지지대(223)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 아암(222)은 지지대(223)를 따라 이동 가능하도록 지지대(223)에 결합된다. 지지대(223)는 받침대(224)에 고정결합된다. 가이드 레일(230)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)을 따라 배치되도록 제공된다. 받침대(224)는 가이드 레일(230)을 따라 직선 이동 가능하도록 가이드 레일(230)에 결합된다. 또한, 도시되지는 않았지만, 프레임(210)에는 카세트(20)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다.The index module 200 transfers the substrate W between the cassette 20 placed on the mounting table 120 of the load port 100 and the first buffer module 300 . The index module 200 includes a frame 210 , an index robot 220 , and a guide rail 230 . The frame 210 is provided in the shape of a substantially hollow rectangular parallelepiped, and is disposed between the load port 100 and the first buffer module 300 . The frame 210 of the index module 200 may be provided at a lower height than the frame 310 of the first buffer module 300 to be described later. The index robot 220 and the guide rail 230 are disposed in the frame 210 . The index robot 220 is a 4-axis drive so that the hand 221 directly handling the substrate W can be moved and rotated in the first direction 12 , the second direction 14 , and the third direction 16 . This has a possible structure. The index robot 220 has a hand 221 , an arm 222 , a support 223 , and a pedestal 224 . The hand 221 is fixedly installed on the arm 222 . The arm 222 is provided in a telescoping structure and a rotatable structure. The support 223 is disposed along the third direction 16 in its longitudinal direction. The arm 222 is coupled to the support 223 to be movable along the support 223 . The support 223 is fixedly coupled to the support 224 . The guide rail 230 is provided such that its longitudinal direction is disposed along the second direction 14 . The pedestal 224 is coupled to the guide rail 230 so as to be linearly movable along the guide rail 230 . In addition, although not shown, a door opener for opening and closing the door of the cassette 20 is further provided in the frame 210 .

제 1 버퍼 모듈(300)은 프레임(310), 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)을 가진다. 프레임(310)은 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 인덱스 모듈(200)과 도포 및 현상 모듈(400) 사이에 배치된다. 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)은 프레임(310) 내에 위치된다. 냉각 챔버(350), 제 2 버퍼(330), 그리고 제 1 버퍼(320)는 순차적으로 아래에서부터 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 제 1 버퍼(320)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 도포 모듈(401)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 현상 모듈(402)과 대응되는 높이에 위치된다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼(320)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 위치된다. The first buffer module 300 includes a frame 310 , a first buffer 320 , a second buffer 330 , a cooling chamber 350 , and a first buffer robot 360 . The frame 310 is provided in the shape of a rectangular parallelepiped with an empty interior, and is disposed between the index module 200 and the application and development module 400 . The first buffer 320 , the second buffer 330 , the cooling chamber 350 , and the first buffer robot 360 are positioned in the frame 310 . The cooling chamber 350 , the second buffer 330 , and the first buffer 320 are sequentially disposed along the third direction 16 from the bottom. The first buffer 320 is positioned at a height corresponding to the application module 401 of the coating and developing module 400 to be described later, and the second buffer 330 and the cooling chamber 350 are provided in the coating and developing module (to be described later) ( It is positioned at a height corresponding to the developing module 402 of the 400 . The first buffer robot 360 is positioned to be spaced apart from the second buffer 330 , the cooling chamber 350 , and the first buffer 320 by a predetermined distance in the second direction 14 .

제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330)는 각각 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 버퍼(330)는 하우징(331)과 복수의 지지대들(332)을 가진다. 지지대들(332)은 하우징(331) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(332)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(331)은 인덱스 로봇(220), 제 1 버퍼 로봇(360), 그리고 후술하는 현상 모듈(402)의 현상부 로봇(482)이 하우징(331) 내 지지대(332)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향, 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향, 그리고 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 1 버퍼(320)는 제 2 버퍼(330)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 1 버퍼(320)의 하우징(321)에는 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향 및 후술하는 도포 모듈(401)에 위치된 도포부 로봇(432)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수와 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 일 예에 의하면, 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수보다 많을 수 있다. The first buffer 320 and the second buffer 330 temporarily store the plurality of substrates W, respectively. The second buffer 330 has a housing 331 and a plurality of supports 332 . The supports 332 are disposed in the housing 331 and are provided to be spaced apart from each other along the third direction 16 . One substrate W is placed on each support 332 . In the housing 331 , the index robot 220 , the first buffer robot 360 , and the developing unit robot 482 of the developing module 402 to be described later apply the substrate W to the support 332 in the housing 331 . An opening (not shown) is provided in a direction in which the index robot 220 is provided, a direction in which the first buffer robot 360 is provided, and a direction in which the developing unit robot 482 is provided so as to be carried in or taken out. The first buffer 320 has a structure substantially similar to that of the second buffer 330 . However, the housing 321 of the first buffer 320 has an opening in the direction in which the first buffer robot 360 is provided and the direction in which the applicator robot 432 positioned in the application module 401 is provided, which will be described later. The number of supports 322 provided in the first buffer 320 and the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be the same or different. According to an example, the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be greater than the number of supports 322 provided in the first buffer 320 .

제 1 버퍼 로봇(360)은 제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330) 간에 기판(W)을 이송시킨다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 핸드(361), 아암(362), 그리고 지지대(363)를 가진다. 핸드(361)는 아암(362)에 고정 설치된다. 아암(362)은 신축 가능한 구조로 제공되어, 핸드(361)가 제 2 방향(14)을 따라 이동 가능하도록 한다. 아암(362)은 지지대(363)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(363)에 결합된다. 지지대(363)는 제 2 버퍼(330)에 대응되는 위치부터 제 1 버퍼(320)에 대응되는 위치까지 연장된 길이를 가진다. 지지대(363)는 이보다 위 또는 아래 방향으로 더 길게 제공될 수 있다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 단순히 핸드(361)가 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)을 따른 2축 구동만 되도록 제공될 수 있다. The first buffer robot 360 transfers the substrate W between the first buffer 320 and the second buffer 330 . The first buffer robot 360 has a hand 361 , an arm 362 , and a support 363 . The hand 361 is fixedly installed on the arm 362 . The arm 362 is provided in a telescoping structure, such that the hand 361 is movable along the second direction 14 . The arm 362 is coupled to the support 363 so as to be linearly movable in the third direction 16 along the support 363 . The support 363 has a length extending from a position corresponding to the second buffer 330 to a position corresponding to the first buffer 320 . The support 363 may be provided longer in an upward or downward direction than this. The first buffer robot 360 may simply be provided such that the hand 361 is only biaxially driven along the second direction 14 and the third direction 16 .

냉각 챔버(350)는 각각 기판(W)을 냉각한다. 냉각 챔버(350)는 하우징(351)과 냉각 플레이트(352)를 가진다. 냉각 플레이트(352)는 기판(W)이 놓이는 상면 및 기판(W)을 냉각하는 냉각 수단(353)을 가진다. 냉각 수단(353)으로는 냉각수에 의한 냉각이나 열전 소자를 이용한 냉각 등 다양한 방식이 사용될 수 있다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 기판(W)을 냉각 플레이트(352) 상에 위치시키는 리프트 핀 어셈블리(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 하우징(351)은 인덱스 로봇(220) 및 후술하는 현상 모듈(402)에 제공된 현상부 로봇(482)이 냉각 플레이트(352)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향 및 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 상술한 개구를 개폐하는 도어들(도시되지 않음)이 제공될 수 있다. The cooling chamber 350 cools the substrate W, respectively. The cooling chamber 350 has a housing 351 and a cooling plate 352 . The cooling plate 352 has an upper surface on which the substrate W is placed and cooling means 353 for cooling the substrate W. As the cooling means 353, various methods such as cooling by cooling water or cooling using a thermoelectric element may be used. Also, a lift pin assembly (not shown) for positioning the substrate W on the cooling plate 352 may be provided in the cooling chamber 350 . The housing 351 includes the index robot 220 and the index robot 220 so that the developing unit robot 482 provided in the developing module 402 to be described later can load or unload the substrate W into or out of the cooling plate 352 . The provided direction and the developing unit robot 482 have an opening (not shown) in the provided direction. Also, the cooling chamber 350 may be provided with doors (not shown) for opening and closing the aforementioned opening.

도포 및 현상 모듈(400)은 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정 및 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 도포 및 현상 모듈(400)은 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 도포 및 현상 모듈(400)은 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)을 가진다. 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 모듈(401)은 현상 모듈(402)의 상부에 위치된다.The coating and developing module 400 performs a process of applying a photoresist on the substrate W before the exposure process and a process of developing the substrate W after the exposure process. The coating and developing module 400 generally has a rectangular parallelepiped shape. The application and development module 400 includes an application module 401 and a development module 402 . The application module 401 and the developing module 402 are arranged to be partitioned between each other in layers. According to an example, the application module 401 is located above the developing module 402 .

도포 모듈(401)은 기판(W)에 대해 포토 레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정 및 레지스트 도포 공정 전후에 기판(W)에 대해 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 도포 모듈(401)은 레지스트 도포 유닛(410), 베이크 유닛(420), 그리고 반송 챔버(430)를 가진다. 레지스트 도포 유닛(410), 베이크 유닛(420), 그리고 반송 챔버(430)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 레지스트 도포 유닛(410)과 베이크 유닛(420)는 반송 챔버(430)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 레지스트 도포 유닛(410)은 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 레지스트 도포 유닛(410)이 제공된 예가 도시되었다. 베이크 유닛(420)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 유닛(420)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 유닛(420)는 더 많거나 더 적은 수로 제공될 수 있다.The application module 401 includes a process of applying a photoresist such as a photoresist to the substrate W and a heat treatment process such as heating and cooling on the substrate W before and after the resist application process. The application module 401 has a resist application unit 410 , a bake unit 420 , and a transfer chamber 430 . The resist application unit 410 , the bake unit 420 , and the transfer chamber 430 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the resist application unit 410 and the bake unit 420 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 430 interposed therebetween. A plurality of resist application units 410 are provided, and a plurality of resist application units 410 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six resist application units 410 are provided is shown. A plurality of bake units 420 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six bake units 420 are provided is shown. However, alternatively, more or fewer bake units 420 may be provided.

반송 챔버(430)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(430) 내에는 도포부 로봇(432)과 가이드 레일(433)이 위치된다. 반송 챔버(430)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 도포부 로봇(432)은 베이크 유닛들(420), 레지스트 도포 유닛들(400), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320), 그리고 후술하는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(520) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(433)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(433)은 도포부 로봇(432)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 도포부 로봇(432)은 핸드(434), 아암(435), 지지대(436), 그리고 받침대(437)를 가진다. 핸드(434)는 아암(435)에 고정 설치된다. 아암(435)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(434)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(436)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(435)은 지지대(436)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(436)에 결합된다. 지지대(436)는 받침대(437)에 고정 결합되고, 받침대(437)는 가이드 레일(433)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(433)에 결합된다.The transfer chamber 430 is positioned in parallel with the first buffer 320 of the first buffer module 300 in the first direction 12 . An applicator robot 432 and a guide rail 433 are positioned in the transfer chamber 430 . The transfer chamber 430 has a generally rectangular shape. The applicator robot 432 includes the bake units 420 , the resist application units 400 , the first buffer 320 of the first buffer module 300 , and the first of the second buffer module 500 to be described later. The substrate W is transferred between the cooling chambers 520 . The guide rail 433 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The guide rail 433 guides the applicator robot 432 to move linearly in the first direction 12 . The applicator robot 432 has a hand 434 , an arm 435 , a support 436 , and a pedestal 437 . The hand 434 is fixedly installed on the arm 435 . The arm 435 is provided in a telescoping structure so that the hand 434 is movable in the horizontal direction. The support 436 is provided such that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16 . Arm 435 is coupled to support 436 so as to be linearly movable in third direction 16 along support 436 . The support 436 is fixedly coupled to the pedestal 437 , and the pedestal 437 is coupled to the guide rail 433 to be movable along the guide rail 433 .

레지스트 도포 유닛들(410)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 레지스트 도포 유닛(410)에서 사용되는 감광액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 일 예로서 감광액으로는 화학 증폭형 레지스트(chemical amplification resist)가 사용될 수 있다. 레지스트 도포 유닛(410)은 기판(W) 상에 감광액을 도포한다. 레지스트 도포 유닛(410)은 하우징(411), 지지 플레이트(412), 그리고 노즐(413)을 가진다. 하우징(411)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(412)는 하우징(411) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(412)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(413)은 지지 플레이트(412)에 놓인 기판(W) 상으로 감광액을 공급한다. 노즐(413)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 감광액을 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(413)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(413)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 추가적으로 레지스트 도포 유닛(410)에는 감광액이 도포된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(414)이 더 제공될 수 있다. The resist application units 410 all have the same structure. However, the type of the photoresist used in each resist application unit 410 may be different from each other. As an example, a chemical amplification resist may be used as the photoresist. The resist application unit 410 applies a photoresist on the substrate W. The resist application unit 410 has a housing 411 , a support plate 412 , and a nozzle 413 . The housing 411 has a cup shape with an open top. The support plate 412 is positioned in the housing 411 and supports the substrate W. The support plate 412 is provided rotatably. The nozzle 413 supplies the photoresist onto the substrate W placed on the support plate 412 . The nozzle 413 has a circular tubular shape, and may supply a photoresist to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 413 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 413 may be provided as a slit. In addition, the resist application unit 410 may further include a nozzle 414 for supplying a cleaning liquid such as deionized water to clean the surface of the substrate W on which the photosensitive liquid is applied.

베이크 유닛(800)은 기판(W)을 열처리한다. 베이크 유닛(800)는 감광액을 도포하기 전후 각각에 기판(W)을 열 처리한다. 베이크 유닛(800)은 감광액을 도포하기 전의 기판(W)의 표면 성질이 변화시키도록 기판(W)을 소정의 온도로 가열하고, 그 기판(W) 상에 점착제와 같은 처리액막을 형성할 수 있다. 베이크 유닛(800)은 감광액이 도포된 기판(W)을 감압 분위기에서 감광액막을 열 처리할 수 있다. 감광액막에 포함된 휘발성 물질을 휘발시킬 수 있다. 본 실시예에는 베이크 유닛(800)이 감광액막을 열 처리하는 유닛으로 설명한다.The bake unit 800 heat-treats the substrate W. The bake unit 800 heat-treats the substrate W before and after applying the photoresist. The bake unit 800 heats the substrate W to a predetermined temperature so as to change the surface properties of the substrate W before applying the photoresist, and forms a film of a treatment liquid such as an adhesive on the substrate W. have. The bake unit 800 may heat-treat the photoresist film on the substrate W on which the photoresist is applied in a reduced pressure atmosphere. Volatile materials included in the photoresist film may be volatilized. In this embodiment, the baking unit 800 is described as a unit for heat-treating the photoresist film.

베이크 유닛(800)은 냉각 플레이트(820) 및 가열 유닛(1000)을 포함한다. 냉각 플레이트(820)는 가열 유닛(1000)에 의해 가열 처리된 기판(W)을 냉각 처리한다. 냉각 플레이트(820)는 원형의 판 형상으로 제공된다. 냉각 플레이트(820)의 내부에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단이 제공된다. 예컨대, 냉각 플레이트(820)에 놓여진 기판(W)은 상온과 동일하거나 이와 인접한 온도로 냉각 처리될 수 있다. The bake unit 800 includes a cooling plate 820 and a heating unit 1000 . The cooling plate 820 cools the substrate W heat-treated by the heating unit 1000 . The cooling plate 820 is provided in a circular plate shape. A cooling means such as cooling water or a thermoelectric element is provided inside the cooling plate 820 . For example, the substrate W placed on the cooling plate 820 may be cooled to a temperature equal to or adjacent to room temperature.

가열 유닛(1000)은 기판(W)을 가열 처리하는 기판 처리 장치(1000)로 제공된다. 가열 유닛(1000)은 상압 또는 이보다 낮은 감압 분위기에서 기판(W)을 가열 처리한다. 도 6은 도 2의 가열 유닛을 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 가열 유닛(1000)는 챔버(1100), 기판 지지 유닛(1300), 히터 유닛(1400), 그리고 배기 유닛(1500)을 포함한다. The heating unit 1000 is provided to the substrate processing apparatus 1000 for heat-processing the substrate W. As shown in FIG. The heating unit 1000 heats the substrate W in a reduced pressure atmosphere at or lower than normal pressure. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the heating unit of FIG. 2 . Referring to FIG. 6 , the heating unit 1000 includes a chamber 1100 , a substrate support unit 1300 , a heater unit 1400 , and an exhaust unit 1500 .

챔버(1100)은 내부에 기판(W)을 가열 처리하는 처리 공간(1110)을 제공한다. 처리 공간(1110)은 외부와 차단된 공간으로 제공된다. 챔버(1100)은 상부 바디(1120), 하부 바디(1140), 그리고 실링 부재(1160)를 포함한다. The chamber 1100 provides a processing space 1110 for heat-processing the substrate W therein. The processing space 1110 is provided as a space blocked from the outside. The chamber 1100 includes an upper body 1120 , a lower body 1140 , and a sealing member 1160 .

상부 바디(1120)는 하부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 상부 바디(1120)의 상면에는 중심홀(1122) 및 주변홀(1124)이 형성된다. 중심홀(1122)은 상부 바디(1120)의 중심에 형성된다. 주변홀(1124)은 복수 개로 제공되며, 중심홀(1122)를 감싸도록 위치된다. 중심홀(1122)의 처리 공간(1110)의 분위기가 배기되는 배기구(1122)로 기능하고, 주변홀(1124)은 외부의 기체(이하, 외기)가 처리 공간(1110)에 유입되는 유입홀(1124)로 기능한다. The upper body 1120 is provided in a cylindrical shape with an open lower portion. A center hole 1122 and a peripheral hole 1124 are formed on the upper surface of the upper body 1120 . The center hole 1122 is formed in the center of the upper body 1120 . A plurality of peripheral holes 1124 are provided, and are positioned to surround the central hole 1122 . The central hole 1122 functions as an exhaust port 1122 through which the atmosphere of the processing space 1110 is exhausted, and the peripheral hole 1124 is an inlet hole ( 1124).

하부 바디(1140)는 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)의 아래에 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향으로 서로 마주보도록 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 서로 조합되어 내부에 처리 공간(1110)을 형성한다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향에 대해 서로의 중심축이 일치되게 위치된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)와 동일한 직경을 가질 수 있다. 즉, 하부 바디(1140)의 상단은 상부 바디(1120)의 하단과 대향되게 위치될 수 있다.The lower body 1140 is provided in a cylindrical shape with an open top. The lower body 1140 is located below the upper body 1120 . The upper body 1120 and the lower body 1140 are positioned to face each other in the vertical direction. The upper body 1120 and the lower body 1140 are combined with each other to form a processing space 1110 therein. The upper body 1120 and the lower body 1140 are positioned so that their central axes coincide with each other in the vertical direction. The lower body 1140 may have the same diameter as the upper body 1120 . That is, the upper end of the lower body 1140 may be positioned to face the lower end of the upper body 1120 .

상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140) 중 하나는 승강 부재(1130)에 의해 개방 위치와 차단 위치로 이동되고, 다른 하나는 그 위치가 고정된다. 일 예에 의하면, 하부 바디(1140)는 그 위치가 고정되고, 상부 바디(1120)는 승강 부재(1130)에 의해 개방 위치 및 차단 위치 간에 이동될 수 있다. 여기서 개방 위치는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140)가 서로 이격되어 처리 공간(1110)이 개방되는 위치이다. 차단 위치는 하부 바디(1140) 및 상부 바디(1120)에 의해 처리 공간(1110)이 외부로부터 밀폐되는 위치이다. One of the upper body 1120 and the lower body 1140 is moved to the open position and the closed position by the lifting member 1130 , and the other one is fixed. According to an example, the position of the lower body 1140 is fixed, and the upper body 1120 may be moved between the open position and the blocked position by the lifting member 1130 . Here, the open position is a position where the upper body 1120 and the lower body 1140 are spaced apart from each other and the processing space 1110 is opened. The blocking position is a position where the processing space 1110 is sealed from the outside by the lower body 1140 and the upper body 1120 .

실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140) 사이에 위치된다. 실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140) 간에 틈을 실링한다. 실링 부재(1160)는 환형의 링 형상을 가지는 오링 부재(1160)일 수 있다. 실링 부재(1160)는 하부 바디(1140)의 상단에 고정 결합될 수 있다. The sealing member 1160 is positioned between the upper body 1120 and the lower body 1140 . The sealing member 1160 seals a gap between the upper body 1120 and the lower body 1140 . The sealing member 1160 may be an O-ring member 1160 having an annular ring shape. The sealing member 1160 may be fixedly coupled to the upper end of the lower body 1140 .

기판 지지 유닛(1300)은 처리 공간(1110)에서 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(1300)은 하부 바디(1140)에 고정 결합된다. 기판 지지 유닛(1300)은 안착 플레이트(1320) 및 리프트 핀(1340)을 포함한다. 도 7은 도 6의 히터 및 안착 플레이트를 보여주는 평면도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 안착 플레이트(1320)는 처리 공간(1110)에서 기판(W)을 지지한다. 안착 플레이트(1320)는 원형의 판 형상으로 제공된다. 안착 플레이트(1320)의 상면에는 기판(W)이 안착 가능하다. 안착 플레이트(1320)의 상면 중 중심을 포함하는 영역은 기판(W)이 안착되는 안착면으로 기능한다. 안착 플레이트(1320)의 안착면에는 복수 개의 핀 홀들(1322)이 형성된다. 상부에서 바라볼 때 핀 홀들(1322)은 안착면의 중심을 감싸도록 배열된다. 각각의 핀 홀(1322) 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 핀 홀들(1322)은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치된다. 각각의 핀 홀(1322)에는 리프트 핀(1340)이 제공된다. 리프트 핀(1340)은 상하 방향으로 이동하도록 제공된다. 리프트 핀(1340)은 안착 플레이트(1320)로부터 기판(W)을 들어올리거나 기판(W)을 안착 플레이트(1320)에 안착시킨다. 예컨대, 핀 홀들(1322)은 3 개로 제공될 수 있다. The substrate support unit 1300 supports the substrate W in the processing space 1110 . The substrate support unit 1300 is fixedly coupled to the lower body 1140 . The substrate support unit 1300 includes a mounting plate 1320 and a lift pin 1340 . 7 is a plan view illustrating the heater and the seating plate of FIG. 6 . 6 and 7 , the mounting plate 1320 supports the substrate W in the processing space 1110 . The seating plate 1320 is provided in a circular plate shape. The substrate W can be seated on the upper surface of the mounting plate 1320 . A region including the center of the upper surface of the seating plate 1320 functions as a seating surface on which the substrate W is mounted. A plurality of pin holes 1322 are formed on the seating surface of the seating plate 1320 . When viewed from the top, the pin holes 1322 are arranged to surround the center of the seating surface. Each of the pin holes 1322 are arranged to be spaced apart from each other along the circumferential direction. The pin holes 1322 are spaced apart from each other at equal intervals. Each pin hole 1322 is provided with a lift pin 1340 . The lift pins 1340 are provided to move in the vertical direction. The lift pins 1340 lift the substrate W from the mounting plate 1320 or seat the substrate W on the mounting plate 1320 . For example, three pin holes 1322 may be provided.

히터 유닛(1400)은 안착 플레이트(1320)에 놓여진 기판(W)을 가열 처리한다. 히터 유닛(1400)은 안착 플레이트(1320)의 내부에 위치된다. 히터 유닛(1400)은 복수 개의 히터들(1420)을 포함한다. 각각의 히터들(1420)은 안착 플레이트(1320) 내에 위치된다. 각각의 히터(1420)는 동일 평면 상에 위치된다. 각각의 히터(1420)는 안착 플레이트(1320)의 서로 상이한 영역을 가열한다. 상부에서 바라볼 때 각 히터(1420)에 대응되는 안착 플레이트(1320)의 영역은 히팅존들로 제공될 수 있다. 각각의 히터(1420)는 온도가 독립 조절 가능하다. 예컨대, 히팅존은 15 개일 수 있다. 각 히팅존은 센서(미도시)에 의해 온도가 측정된다. 히터(1420)는 열전 소자 또는 열선일 수 있다. 선택적으로 히터들(1420)은 안착 플레이트(1320)의 저면에 장착될 수 있다.The heater unit 1400 heats the substrate W placed on the mounting plate 1320 . The heater unit 1400 is located inside the seating plate 1320 . The heater unit 1400 includes a plurality of heaters 1420 . Each of the heaters 1420 is positioned within the seating plate 1320 . Each heater 1420 is located on the same plane. Each heater 1420 heats different regions of the seating plate 1320 . When viewed from the top, the area of the seating plate 1320 corresponding to each heater 1420 may be provided as heating zones. Each heater 1420 is independently adjustable in temperature. For example, the number of heating zones may be 15. The temperature of each heating zone is measured by a sensor (not shown). The heater 1420 may be a thermoelectric element or a hot wire. Optionally, the heaters 1420 may be mounted on the bottom surface of the mounting plate 1320 .

배기 유닛(1500)은 처리 공간(1110) 내 외기를 배기한다. 배기 유닛(1500)은 배기관(1520), 감압 부재(1540), 그리고 배기판(1560)을 포함한다. 배기관(1520)은 양단이 개방된 관 형상으로 제공된다. 배기관(1520)은 길이 방향이 상하 방향을 향하도록 제공된다. 배기관(1520)은 상부 바디(1120)의 중심홀(1122)에 관통되게 위치된다. 배기관(1520)은 하단을 포함하는 하부 영역이 처리 공간(1110)에 위치되고, 상단을 포함하는 상부 영역이 처리 공간(1110)의 외부에 위치된다. 즉 배기관(1520)의 하단은 상부 바디(1120)의 상면보다 낮게 위치되고, 배기관(1520)의 상단은 상부 바디(1120)보다 높게 위치된다. 배기관(1520)에는 감압 부재(1540)가 연결된다. 감압 부재(1540)는 배기관(1520)을 감압한다. 이에 따라 처리 공간(1110)의 분위기는 배기관(1520)을 통해 배기될 수 있다.The exhaust unit 1500 exhausts outside air in the processing space 1110 . The exhaust unit 1500 includes an exhaust pipe 1520 , a pressure reducing member 1540 , and an exhaust plate 1560 . The exhaust pipe 1520 is provided in a tubular shape with both ends open. The exhaust pipe 1520 is provided so that the longitudinal direction is directed upward and downward. The exhaust pipe 1520 is positioned to penetrate through the center hole 1122 of the upper body 1120 . As for the exhaust pipe 1520 , a lower region including a lower end is located in the processing space 1110 , and an upper region including an upper end is located outside the processing space 1110 . That is, the lower end of the exhaust pipe 1520 is positioned lower than the upper surface of the upper body 1120 , and the upper end of the exhaust pipe 1520 is positioned higher than the upper body 1120 . A pressure reducing member 1540 is connected to the exhaust pipe 1520 . The pressure reducing member 1540 depressurizes the exhaust pipe 1520 . Accordingly, the atmosphere of the processing space 1110 may be exhausted through the exhaust pipe 1520 .

배기판(1560)은 처리 공간(1110)에 유입되는 기류의 흐름 방향을 안내한다. 도 8은 도 6의 배기 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 9는 도 6의 배기 유로를 보여주는 평면도이다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 배기판(1560)은 판 형상으로 제공된다. 예컨대, 배기판(1560)은 원판 형상을 가질 수 있다. 배기판(1560)은 처리 공간(1110)에서 안착 플레이트(1320)의 상부에 위치된다. 배기판(1560)은 안착 플레이트(1320)와 마주보도록 위치된다. 배기판(1560)은 상부 바디(1120)의 내벽으로부터 이격되게 위치되며, 상하 방향으로 주변홀(1124)과 중첩되는 직경을 가진다. 배기판(1560)은 상부 바디(1120)의 하단보다 높고, 천장면보다 낮은 높이에 위치된다. 배기판(1560)의 내부에는 배기 유로(1580)가 형성된다. 배기 유로(1580)에는 처리 공간(1110) 내 외기가 유입 가능한 유로로 기능한다. 배기 유로(1580)는 동일 높이 상에 위치된다. 일 예에 의하면, 상부에서 바라볼 때 배기 유로(1580)는 나선 형상으로 제공될 수 있다. 배기판(1560)의 저면에는 복수의 유입구들(1570)이 형성된다. 본 실시예에는 유입구들(1570)은 배기판(1560)의 저면에 서로 동일 간격으로 균등하게 형성될 수 있다. 그러나 유입구들(1570)의 간격은 이에 한정되지 않으며, 배기판(1560)의 중심 영역에 형성되는 유입구들(1570) 간에 간격과 가장자리 영역에 형성되는 유입구들(1570) 간에 간격이 서로 상이하게 제공될 수 있다. 각각의 유입구들(1570)은 배기 유로(1580)에 연통되게 제공된다. 일 예에 의하면, 배기 유로(1580)는 길이 방향을 따라 복수의 유입구들(1570)이 연결될 수 있다.The exhaust plate 1560 guides the flow direction of the airflow flowing into the processing space 1110 . FIG. 8 is a perspective view showing the exhaust unit of FIG. 6 , and FIG. 9 is a plan view showing the exhaust flow path of FIG. 6 . 8 and 9 , the exhaust plate 1560 is provided in a plate shape. For example, the exhaust plate 1560 may have a disk shape. The exhaust plate 1560 is positioned above the seating plate 1320 in the processing space 1110 . The exhaust plate 1560 is positioned to face the seating plate 1320 . The exhaust plate 1560 is spaced apart from the inner wall of the upper body 1120 and has a diameter overlapping the peripheral hole 1124 in the vertical direction. The exhaust plate 1560 is higher than the lower end of the upper body 1120 and is located at a height lower than the ceiling surface. An exhaust passage 1580 is formed inside the exhaust plate 1560 . The exhaust flow path 1580 functions as a flow path through which outside air in the processing space 1110 can flow. The exhaust passage 1580 is located on the same height. According to an example, the exhaust passage 1580 may be provided in a spiral shape when viewed from the top. A plurality of inlets 1570 are formed on the bottom surface of the exhaust plate 1560 . In the present embodiment, the inlets 1570 may be equally formed on the bottom surface of the exhaust plate 1560 at the same distance from each other. However, the spacing of the inlets 1570 is not limited thereto, and the spacing between the inlets 1570 formed in the central region of the exhaust plate 1560 and the spacing between the inlets 1570 formed in the edge region may be provided differently from each other. can Each of the inlets 1570 is provided in communication with the exhaust passage 1580 . According to an example, the exhaust passage 1580 may be connected to a plurality of inlets 1570 in the longitudinal direction.

배기관(1520)은 배기판(1560)의 중심 영역에 결합된다. 이에 따라 유입구들(1570) 중 일부는 배기관(1520)과 배기판(1560)의 결합되는 결합 지점으로부터 서로 다른 거리를 가진다. 따라서 결합 지점으로부터 제1거리만큼 이격되게 위치되는 제1유입구(1570)와 제2거리만큼 이격되게 위치되는 제2유입구(1570)에는 서로 다른 배기력이 작용한다. 예컨대, 제1거리는 제2거리보다 짧은 거리로 제공되며, 제1유입구(1570)에는 제2유입구(1570)보다 큰 배기력이 제공될 수 있다. 이로 인해 배기판(1560)의 중심 영역에 위치되는 유입구(1570)에는 가장자리 영역에 위치되는 유입구(1570)보다 큰 배기력이 제공될 수 있다. 이와 관련하여 도 10을 참조하면, 배기판(1560)의 제1유입구(1570)에 마주하는 처리공간의 제1영역에는 제1유량의 외기가 제공되고, 배기판(1560)의 제2유입구(1570)에 마주하는 처리 공간(1110)의 제2영역에는 제2유량의 외기가 제공될 수 있다. 제2유량은 제1유량보다 큰 반면, 제1유입구(1570)의 배기력이 제2유입구(1570)의 배기력보다 크게 제공되므로, 제1유입고와 제2유입구(1570) 각각에서 배기되는 외기의 양은 균일하게 조절될 수 있다. The exhaust pipe 1520 is coupled to the central region of the exhaust plate 1560 . Accordingly, some of the inlets 1570 have different distances from the coupling point where the exhaust pipe 1520 and the exhaust plate 1560 are coupled. Accordingly, different exhaust forces act on the first inlet 1570 spaced apart from the coupling point by a first distance and the second inlet 1570 spaced apart by a second distance. For example, the first distance is provided as a shorter distance than the second distance, and a greater exhaust force than the second inlet 1570 may be provided to the first inlet 1570 . Accordingly, a greater exhaust force may be provided to the inlet 1570 located in the central region of the exhaust plate 1560 than the inlet 1570 positioned to the edge region. Referring to FIG. 10 in this regard, the first area of the processing space facing the first inlet 1570 of the exhaust plate 1560 is provided with external air having a first flow rate, and the second inlet 1570 of the exhaust plate 1560 is provided. A second flow rate of outdoor air may be provided to a second region of the processing space 1110 facing the . While the second flow rate is greater than the first flow rate, since the exhaust force of the first inlet 1570 is greater than the exhaust force of the second inlet 1570, the first inlet and the second inlet 1570 are exhausted from each other. The amount of outside air can be uniformly controlled.

상술한 실시예에 의하면, 배기 유로(1580)는 상부에서 바라볼 때 나선 형상을 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 배기 유로(1580)의 형상은 이에 한정되지 않고, 복수 개가 제공되며, 각각이 서로 다른 유입구(1570)에 연결될 수 있다. 도 11과 같이, 복수의 배기 유로(1580)들은 배기판(1560)의 중심축을 기준으로 대칭되는 형상을 가질 수 있다. According to the above-described embodiment, the exhaust passage 1580 has been described as having a spiral shape when viewed from the top. However, the shape of the exhaust passage 1580 is not limited thereto, and a plurality of exhaust passages 1580 may be provided, and each may be connected to a different inlet 1570 . 11 , the plurality of exhaust passages 1580 may have a symmetrical shape with respect to the central axis of the exhaust plate 1560 .

또한 처리 공간(1110) 내 외기는 배기 유로(1580)를 통해 배기관(1520)으로 배기된다. 이로 인해 외기는 일정 시간동안 배기 유로(1580)에 머무르며, 가열된 외기가 급속히 외부로 배기되어 처리 공간(1110)의 열 손실이 발생되는 것을 최소화할 수 있다.In addition, the outside air in the processing space 1110 is exhausted to the exhaust pipe 1520 through the exhaust passage 1580 . Due to this, the outdoor air stays in the exhaust passage 1580 for a predetermined time, and heat loss in the processing space 1110 can be minimized by rapidly exhausting the heated outdoor air to the outside.

다시 도 2 내지 도 5를 참조하면, 현상 모듈(402)은 기판(W) 상에 패턴을 얻기 위해 현상액을 공급하여 포토 레지스트의 일부를 제거하는 현상 공정, 및 현상 공정 전후에 기판(W)에 대해 수행되는 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 현상모듈(402)은 현상 유닛(460), 베이크 유닛(470), 그리고 반송 챔버(480)를 가진다. 현상 유닛(460), 베이크 유닛(470), 그리고 반송 챔버(480)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 현상 유닛(460)과 베이크 유닛(470)은 반송 챔버(480)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 현상 유닛(460)은 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 현상 유닛(460)이 제공된 예가 도시되었다. 베이크 유닛(470)은 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 유닛(470)이 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 유닛(470)은 더 많은 수로 제공될 수 있다.Referring back to FIGS. 2 to 5 , the developing module 402 supplies a developing solution to obtain a pattern on the substrate W to remove a part of the photoresist, and applies the developing process to the substrate W before and after the developing process. heat treatment processes such as heating and cooling performed on the The developing module 402 includes a developing unit 460 , a baking unit 470 , and a transfer chamber 480 . The developing unit 460 , the baking unit 470 , and the transfer chamber 480 are sequentially arranged along the second direction 14 . Accordingly, the developing unit 460 and the baking unit 470 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 480 interposed therebetween. A plurality of developing units 460 are provided, and a plurality of developing units 460 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six developing units 460 are provided is shown. A plurality of bake units 470 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the figure, an example in which six bake units 470 are provided is shown. However, alternatively, a larger number of bake units 470 may be provided.

반송 챔버(480)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(480) 내에는 현상부 로봇(482)과 가이드 레일(483)이 위치된다. 반송 챔버(480)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 현상부 로봇(482)은 베이크 유닛들(470), 현상 유닛들(460), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350), 그리고 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(483)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(483)은 현상부 로봇(482)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 현상부 로봇(482)은 핸드(484), 아암(485), 지지대(486), 그리고 받침대(487)를 가진다. 핸드(484)는 아암(485)에 고정 설치된다. 아암(485)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(484)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(486)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(485)은 지지대(486)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(486)에 결합된다. 지지대(486)는 받침대(487)에 고정 결합된다. 받침대(487)는 가이드 레일(483)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(483)에 결합된다.The transfer chamber 480 is positioned in parallel with the second buffer 330 of the first buffer module 300 in the first direction 12 . A developing unit robot 482 and a guide rail 483 are positioned in the transfer chamber 480 . The transfer chamber 480 has a generally rectangular shape. The developing unit robot 482 includes the bake units 470 , the developing units 460 , the second buffer 330 and the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 , and the second buffer module 500 . The substrate W is transferred between the second cooling chambers 540 of the The guide rail 483 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The guide rail 483 guides the developing unit robot 482 to move linearly in the first direction 12 . The developing unit robot 482 has a hand 484 , an arm 485 , a support 486 , and a pedestal 487 . The hand 484 is fixedly installed on the arm 485 . The arm 485 is provided in a telescoping structure so that the hand 484 is movable in the horizontal direction. The support 486 is provided such that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16 . Arm 485 is coupled to support 486 to be linearly movable in third direction 16 along support 486 . The support 486 is fixedly coupled to the support 487 . The pedestal 487 is coupled to the guide rail 483 to be movable along the guide rail 483 .

현상 유닛들(460)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 현상 유닛(460)에서 사용되는 현상액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 현상 유닛(460)은 기판(W) 상의 포토 레지스트 중 광이 조사된 영역을 제거한다. 이때, 보호막 중 광이 조사된 영역도 같이 제거된다. 선택적으로 사용되는 포토 레지스트의 종류에 따라 포토 레지스트 및 보호막의 영역들 중 광이 조사되지 않은 영역만이 제거될 수 있다. The developing units 460 all have the same structure. However, the type of developer used in each developing unit 460 may be different from each other. The developing unit 460 removes a region irradiated with light from the photoresist on the substrate W. At this time, the region irradiated with light among the protective film is also removed. Only a region to which light is not irradiated among regions of the photoresist and the passivation layer may be removed according to the type of the selectively used photoresist.

현상 유닛(460)은 하우징(461), 지지 플레이트(462), 그리고 노즐(463)을 가진다. 하우징(461)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(462)는 하우징(461) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(462)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(463)은 지지 플레이트(462)에 놓인 기판(W) 상으로 현상액을 공급한다. 노즐(463)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 현상액 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(463)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(463)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 현상 유닛(460)에는 추가적으로 현상액이 공급된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(464)이 더 제공될 수 있다. The developing unit 460 has a housing 461 , a support plate 462 , and a nozzle 463 . The housing 461 has a cup shape with an open top. The support plate 462 is positioned in the housing 461 and supports the substrate W. The support plate 462 is provided rotatably. The nozzle 463 supplies the developer onto the substrate W placed on the support plate 462 . The nozzle 463 has a circular tubular shape and may supply a developer to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 463 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 463 may be provided as a slit. In addition, a nozzle 464 for supplying a cleaning solution such as deionized water to clean the surface of the substrate W to which the developer is additionally supplied may be further provided in the developing unit 460 .

현상모듈(402)의 베이크 유닛(470)은 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 유닛들(470)은 현상 공정이 수행되기 전에 기판(W)을 가열하는 포스트 베이크 공정 및 현상 공정이 수행된 후에 기판(W)을 가열하는 하드 베이크 공정 및 각각의 베이크 공정 이후에 가열된 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 유닛(470)은 냉각 플레이트(471) 또는 가열 유닛(472)을 가진다. 냉각 플레이트(471)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(473)이 제공된다. 또는 가열 유닛(472)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(474)이 제공된다. 냉각 플레이트(471)와 가열 유닛(472)는 하나의 베이크 유닛(470) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 유닛(470)들 중 일부는 냉각 플레이트(471)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 유닛(472)만을 구비할 수 있다. 현상 모듈(402)의 베이크 유닛(470)은 도포 모듈(401)의 베이크 유닛(800)과 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. The bake unit 470 of the developing module 402 heats the substrate W. For example, the bake units 470 include a post-bake process of heating the substrate W before the development process is performed, a hard bake process of heating the substrate W after the development process is performed, and heating after each bake process. A cooling process of cooling the processed substrate W is performed. The bake unit 470 has a cooling plate 471 or a heating unit 472 . The cooling plate 471 is provided with cooling means 473 such as cooling water or a thermoelectric element. Alternatively, the heating unit 472 is provided with a heating means 474 such as a heating wire or a thermoelectric element. The cooling plate 471 and the heating unit 472 may be respectively provided in one baking unit 470 . Optionally, some of the bake units 470 may include only the cooling plate 471 , and some may include only the heating unit 472 . Since the bake unit 470 of the developing module 402 has the same configuration as the bake unit 800 of the application module 401, a detailed description thereof will be omitted.

제 2 버퍼 모듈(500)은 도포 및 현상 모듈(400)과 노광 전후 처리 모듈(600) 사이에 기판(W)이 운반되는 통로로서 제공된다. 또한, 제 2 버퍼 모듈(500)은 기판(W)에 대해 냉각 공정이나 에지 노광 공정 등과 같은 소정의 공정을 수행한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 프레임(510), 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)을 가진다. 프레임(510)은 직육면체의 형상을 가진다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)은 프레임(510) 내에 위치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에 대응하는 높이에 배치된다. 제 2 냉각 챔버(540)는 현상 모듈(402)에 대응하는 높이에 배치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 제 2 냉각 챔버(540)는 순차적으로 제 3 방향(16)을 따라 일렬로 배치된다. 상부에서 바라볼 때 버퍼(520)은 도포 모듈(401)의 반송 챔버(430)와 제 1 방향(12)을 따라 배치된다. 에지 노광 챔버(550)는 버퍼(520) 또는 제 1 냉각 챔버(530)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 배치된다. The second buffer module 500 is provided as a passage through which the substrate W is transported between the application and development module 400 and the pre-exposure processing module 600 . In addition, the second buffer module 500 performs a predetermined process, such as a cooling process or an edge exposure process, on the substrate W. The second buffer module 500 includes a frame 510 , a buffer 520 , a first cooling chamber 530 , a second cooling chamber 540 , an edge exposure chamber 550 , and a second buffer robot 560 . have The frame 510 has a rectangular parallelepiped shape. The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , the second cooling chamber 540 , the edge exposure chamber 550 , and the second buffer robot 560 are positioned in the frame 510 . The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the edge exposure chamber 550 are disposed at a height corresponding to the application module 401 . The second cooling chamber 540 is disposed at a height corresponding to the developing module 402 . The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the second cooling chamber 540 are sequentially arranged in a line along the third direction 16 . When viewed from above, the buffer 520 is disposed along the transfer chamber 430 and the first direction 12 of the application module 401 . The edge exposure chamber 550 is spaced apart from the buffer 520 or the first cooling chamber 530 by a predetermined distance in the second direction 14 .

제 2 버퍼 로봇(560)은 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550) 간에 기판(W)을 운반한다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 에지 노광 챔버(550)와 버퍼(520) 사이에 위치된다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 제 1 버퍼 로봇(360)과 유사한 구조로 제공될 수 있다. 제 1 냉각 챔버(530)와 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 후속 공정을 수행한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판(W)을 냉각한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 냉각 챔버(350)과 유사한 구조를 가진다. 에지 노광 챔버(550)는 제 1 냉각 챔버(530)에서 냉각 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 그 가장자리를 노광한다. 버퍼(520)는 에지 노광 챔버(550)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 후술하는 전처리 모듈(601)로 운반되기 전에 기판(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 냉각 챔버(540)는 후술하는 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 현상 모듈(402)로 운반되기 전에 기판들(W)을 냉각한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 현상 모듈(402)와 대응되는 높이에 추가된 버퍼를 더 가질 수 있다. 이 경우, 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)은 추가된 버퍼에 일시적으로 보관된 후 현상 모듈(402)로 운반될 수 있다.The second buffer robot 560 transfers the substrate W between the buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the edge exposure chamber 550 . The second buffer robot 560 is positioned between the edge exposure chamber 550 and the buffer 520 . The second buffer robot 560 may be provided in a structure similar to that of the first buffer robot 360 . The first cooling chamber 530 and the edge exposure chamber 550 perform a subsequent process on the substrates W on which the process is performed in the application module 401 . The first cooling chamber 530 cools the substrate W on which the process is performed in the application module 401 . The first cooling chamber 530 has a structure similar to that of the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 . The edge exposure chamber 550 exposes edges of the substrates W on which the cooling process has been performed in the first cooling chamber 530 . The buffer 520 temporarily stores the substrates W before the substrates W, which have been processed in the edge exposure chamber 550 , are transferred to the pre-processing module 601 , which will be described later. The second cooling chamber 540 cools the substrates W, which have been processed in the post-processing module 602 to be described later, before being transferred to the developing module 402 . The second buffer module 500 may further include a buffer added to a height corresponding to that of the developing module 402 . In this case, the substrates W that have been processed in the post-processing module 602 may be temporarily stored in the added buffer and then transferred to the developing module 402 .

노광 전후 처리 모듈(600)은, 노광 장치(900)가 액침 노광 공정을 수행하는 경우, 액침 노광시에 기판(W)에 도포된 포토레지스트 막을 보호하는 보호막을 도포하는 공정을 처리할 수 있다. 또한, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 이후에 기판(W)을 세정하는 공정을 수행할 수 있다. 또한, 화학증폭형 레지스트를 사용하여 도포 공정이 수행된 경우, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 후 베이크 공정을 처리할 수 있다. When the exposure apparatus 900 performs an immersion exposure process, the pre-exposure processing module 600 may perform a process of applying a protective film protecting the photoresist film applied to the substrate W during immersion exposure. Also, the pre-exposure processing module 600 may perform a process of cleaning the substrate W after exposure. In addition, when the coating process is performed using the chemically amplified resist, the post-exposure processing module 600 may perform a post-exposure bake process.

노광 전후 처리 모듈(600)은 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)을 가진다. 전처리 모듈(601)은 노광 공정 수행 전에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행하고, 후처리 모듈(602)은 노광 공정 이후에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행한다. 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 전처리 모듈(601)은 후처리 모듈(602)의 상부에 위치된다. 전처리 모듈(601)은 도포 모듈(401)과 동일한 높이로 제공된다. 후처리 모듈(602)은 현상 모듈(402)과 동일한 높이로 제공된다. 전처리 모듈(601)은 보호막 도포 유닛(610), 베이크 유닛(620), 그리고 반송 챔버(630)를 가진다. 보호막 도포 유닛(610), 반송 챔버(630), 그리고 베이크 유닛(620)은 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 보호막 도포 유닛(610)과 베이크 유닛(620)은 반송 챔버(630)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 보호막 도포 유닛(610)은 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 보호막 도포 유닛(610)은 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 베이크 유닛(620)은 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 베이크 유닛(620)은 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The pre-exposure processing module 600 includes a pre-processing module 601 and a post-processing module 602 . The pre-processing module 601 performs a process of treating the substrate W before performing the exposure process, and the post-processing module 602 performs a process of treating the substrate W after the exposure process. The pre-processing module 601 and the post-processing module 602 are arranged to be partitioned between each other in layers. According to an example, the pre-processing module 601 is located above the post-processing module 602 . The pretreatment module 601 is provided at the same height as the application module 401 . The post-processing module 602 is provided at the same height as the developing module 402 . The pretreatment module 601 includes a protective film application unit 610 , a bake unit 620 , and a transfer chamber 630 . The protective film application unit 610 , the transfer chamber 630 , and the bake unit 620 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the protective film application unit 610 and the bake unit 620 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 630 interposed therebetween. A plurality of protective film application units 610 are provided and are arranged along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of protective film application units 610 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . A plurality of bake units 620 are provided and are arranged along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of bake units 620 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 .

반송 챔버(630)는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(530)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(630) 내에는 전처리 로봇(632)이 위치된다. 반송 챔버(630)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 전처리 로봇(632)은 보호막 도포 유닛들(610), 베이크 유닛들(620), 제 2 버퍼 모듈(500)의 버퍼(520), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 1 버퍼(720) 간에 기판(W)을 이송한다. 전처리 로봇(632)은 핸드(633), 아암(634), 그리고 지지대(635)를 가진다. 핸드(633)는 아암(634)에 고정 설치된다. 아암(634)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 아암(634)은 지지대(635)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(635)에 결합된다. The transfer chamber 630 is positioned in parallel with the first cooling chamber 530 of the second buffer module 500 in the first direction 12 . A pre-processing robot 632 is located in the transfer chamber 630 . The transfer chamber 630 has a generally square or rectangular shape. The pre-processing robot 632 is between the protective film application units 610 , the bake units 620 , the buffer 520 of the second buffer module 500 , and the first buffer 720 of the interface module 700 to be described later. The substrate W is transferred. The pretreatment robot 632 has a hand 633 , an arm 634 , and a support 635 . The hand 633 is fixedly installed on the arm 634 . The arm 634 is provided in a telescoping structure and a rotatable structure. The arm 634 is coupled to the support 635 to be linearly movable in the third direction 16 along the support 635 .

보호막 도포 유닛(610)은 액침 노광 시에 레지스트 막을 보호하는 보호막을 기판(W) 상에 도포한다. 보호막 도포 유닛(610)은 하우징(611), 지지 플레이트(612), 그리고 노즐(613)을 가진다. 하우징(611)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(612)는 하우징(611) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(612)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(613)은 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W) 상으로 보호막 형성을 위한 보호액을 공급한다. 노즐(613)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 보호액을 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(613)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(613)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 이 경우, 지지 플레이트(612)는 고정된 상태로 제공될 수 있다. 보호액은 발포성 재료를 포함한다. 보호액은 포토 레지스터 및 물과의 친화력이 낮은 재료가 사용될 수 있다. 예컨대, 보호액은 불소계의 용제를 포함할 수 있다. 보호막 도포 유닛(610)은 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 보호액을 공급한다. The protective film application unit 610 applies a protective film for protecting the resist film on the substrate W during immersion exposure. The protective film application unit 610 has a housing 611 , a support plate 612 , and a nozzle 613 . The housing 611 has a cup shape with an open top. The support plate 612 is positioned in the housing 611 and supports the substrate W. The support plate 612 is provided rotatably. The nozzle 613 supplies a protective liquid for forming a protective film onto the substrate W placed on the support plate 612 . The nozzle 613 has a circular tubular shape, and may supply a protective liquid to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 613 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 613 may be provided as a slit. In this case, the support plate 612 may be provided in a fixed state. The protective liquid comprises a foaming material. As the protective liquid, a material having a low affinity for photoresist and water may be used. For example, the protective liquid may contain a fluorine-based solvent. The protective film application unit 610 supplies the protective liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 612 .

베이크 유닛(620)은 보호막이 도포된 기판(W)을 열처리한다. 베이크 유닛(620)은 냉각 플레이트(621) 또는 가열 플레이트(622)를 가진다. 냉각 플레이트(621)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(623)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(622)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(624)이 제공된다. 가열 플레이트(622)와 냉각 플레이트(621)는 하나의 베이크 유닛(620) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 유닛들(620) 중 일부는 가열 플레이트(622) 만을 구비하고, 다른 일부는 냉각 플레이트(621) 만을 구비할 수 있다. The bake unit 620 heat-treats the substrate W on which the protective film is applied. The bake unit 620 has a cooling plate 621 or a heating plate 622 . The cooling plate 621 is provided with cooling means 623 such as cooling water or a thermoelectric element. Alternatively, the heating plate 622 is provided with heating means 624 such as a heating wire or thermoelectric element. The heating plate 622 and the cooling plate 621 may be provided in one baking unit 620 , respectively. Optionally, some of the bake units 620 may include only a heating plate 622 , and some may include only a cooling plate 621 .

후처리 모듈(602)은 세정 챔버(660), 노광 후 베이크 유닛(670), 그리고 반송 챔버(680)를 가진다. 세정 챔버(660), 반송 챔버(680), 그리고 노광 후 베이크 유닛(670)은 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 세정 챔버(660)와 노광 후 베이크 유닛(670)은 반송 챔버(680)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 세정 챔버(660)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 세정 챔버(660)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 노광 후 베이크 유닛(670)은 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 노광 후 베이크 유닛(670)은 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The post-processing module 602 has a cleaning chamber 660 , a post-exposure bake unit 670 , and a transfer chamber 680 . The cleaning chamber 660 , the transfer chamber 680 , and the post-exposure bake unit 670 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the cleaning chamber 660 and the post-exposure bake unit 670 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 680 interposed therebetween. A plurality of cleaning chambers 660 may be provided and may be disposed along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of cleaning chambers 660 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . A plurality of post-exposure bake units 670 may be provided, and may be disposed along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of post-exposure bake units 670 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 .

반송 챔버(680)는 상부에서 바라볼 때 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(680)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 반송 챔버(680) 내에는 후처리 로봇(682)이 위치된다. 후처리 로봇(682)은 세정 챔버들(660), 노광 후 베이크 유닛들(670), 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 2 버퍼(730) 간에 기판(W)을 운반한다. 후처리 모듈(602)에 제공된 후처리 로봇(682)은 전처리 모듈(601)에 제공된 전처리 로봇(632)과 동일한 구조로 제공될 수 있다. The transfer chamber 680 is positioned in parallel with the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 in the first direction 12 when viewed from above. The transfer chamber 680 has a generally square or rectangular shape. A post-processing robot 682 is located within the transfer chamber 680 . The post-processing robot 682 includes the cleaning chambers 660 , the post-exposure bake units 670 , the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 , and the second of the interface module 700 to be described later. The substrate W is transferred between the buffers 730 . The post-processing robot 682 provided in the post-processing module 602 may be provided in the same structure as the pre-processing robot 632 provided in the pre-processing module 601 .

세정 챔버(660)는 노광 공정 이후에 기판(W)을 세정한다. 세정 챔버(660)는 하우징(661), 지지 플레이트(662), 그리고 노즐(663)을 가진다. 하우징(661)는 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(662)는 하우징(661) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(662)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(663)은 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W) 상으로 세정액을 공급한다. 세정액으로는 탈이온수와 같은 물이 사용될 수 있다. 세정 챔버(660)는 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 세정액을 공급한다. 선택적으로 기판(W)이 회전되는 동안 노즐(663)은 기판(W)의 중심 영역에서 가장자리 영역까지 직선 이동 또는 회전 이동할 수 있다. The cleaning chamber 660 cleans the substrate W after the exposure process. The cleaning chamber 660 has a housing 661 , a support plate 662 , and a nozzle 663 . The housing 661 has a cup shape with an open top. The support plate 662 is positioned in the housing 661 and supports the substrate W. The support plate 662 is provided rotatably. The nozzle 663 supplies a cleaning solution onto the substrate W placed on the support plate 662 . As the cleaning solution, water such as deionized water may be used. The cleaning chamber 660 supplies the cleaning liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 662 . Optionally, while the substrate W is rotated, the nozzle 663 may move linearly or rotationally from the center region of the substrate W to the edge region.

노광 후 베이크 유닛(670)은 원자외선을 이용하여 노광 공정이 수행된 기판(W)을 가열한다. 노광 후 베이크 공정은 기판(W)을 가열하여 노광에 의해 포토 레지스트에 생성된 산(acid)을 증폭시켜 포토 레지스트의 성질 변화를 완성시킨다. 노광 후 베이크 유닛(670)은 가열 플레이트(672)를 가진다. 가열 플레이트(672)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(674)이 제공된다. 노광 후 베이크 유닛(670)은 그 내부에 냉각 플레이트(671)를 더 구비할 수 있다. 냉각 플레이트(671)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(673)이 제공된다. 또한, 선택적으로 냉각 플레이트(671)만을 가진 베이크 유닛이 더 제공될 수 있다. After exposure, the bake unit 670 heats the substrate W on which the exposure process has been performed using far ultraviolet rays. In the post-exposure bake process, the substrate W is heated to amplify the acid generated in the photoresist by exposure to complete the change in the properties of the photoresist. The post-exposure bake unit 670 has a heating plate 672 . The heating plate 672 is provided with heating means 674 such as a hot wire or thermoelectric element. The post-exposure bake unit 670 may further include a cooling plate 671 therein. The cooling plate 671 is provided with cooling means 673 such as cooling water or a thermoelectric element. In addition, optionally, a baking unit having only a cooling plate 671 may be further provided.

상술한 바와 같이 노광 전후 처리 모듈(600)에서 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 완전히 분리되도록 제공된다. 또한, 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(680)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 보호막 도포 유닛(610)과 세정 챔버(660)는 서로 동일한 크기로 제공되어 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 베이크 유닛(620)와 노광 후 베이크 유닛(670)은 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다.As described above, in the pre-exposure processing module 600 , the pre-processing module 601 and the post-processing module 602 are provided to be completely separated from each other. In addition, the transfer chamber 630 of the pre-processing module 601 and the transfer chamber 680 of the post-processing module 602 may be provided to have the same size, so that they completely overlap each other when viewed from the top. In addition, the passivation film application unit 610 and the cleaning chamber 660 may be provided to have the same size and to completely overlap each other when viewed from the top. In addition, the bake unit 620 and the post-exposure bake unit 670 may have the same size and may be provided to completely overlap each other when viewed from the top.

인터페이스 모듈(700)은 노광 전후 처리 모듈(600), 및 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 이송한다. 인터페이스 모듈(700)은 프레임(710), 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)를 가진다. 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)은 프레임(710) 내에 위치된다. 제 1 버퍼(720)와 제 2 버퍼(730)는 서로 간에 일정거리 이격되며, 서로 적층되도록 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 제 2 버퍼(730)보다 높게 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)에 대응되는 높이에 배치된다. 상부에서 바라볼 때 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되게 위치된다. The interface module 700 transfers the substrate W between the pre-exposure processing module 600 and the exposure apparatus 900 . The interface module 700 includes a frame 710 , a first buffer 720 , a second buffer 730 , and an interface robot 740 . The first buffer 720 , the second buffer 730 , and the interface robot 740 are positioned in the frame 710 . The first buffer 720 and the second buffer 730 are spaced apart from each other by a predetermined distance and are arranged to be stacked on each other. The first buffer 720 is disposed higher than the second buffer 730 . The first buffer 720 is positioned at a height corresponding to the pre-processing module 601 , and the second buffer 730 is positioned at a height corresponding to the post-processing module 602 . When viewed from the top, the first buffer 720 is arranged in a line along the first direction 12 with the transfer chamber 630 of the pre-processing module 601 , and the second buffer 730 is the post-processing module 602 . The transfer chamber 630 and the first direction 12 are positioned to be arranged in a line.

인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720) 및 제 2 버퍼(730)와 제 2 방향(14)으로 이격되게 위치된다. 인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 운반한다. 인터페이스 로봇(740)은 제 2 버퍼 로봇(560)과 대체로 유사한 구조를 가진다.The interface robot 740 is positioned to be spaced apart from the first buffer 720 and the second buffer 730 in the second direction 14 . The interface robot 740 transfers the substrate W between the first buffer 720 , the second buffer 730 , and the exposure apparatus 900 . The interface robot 740 has a structure substantially similar to that of the second buffer robot 560 .

제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 노광 장치(900)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 그리고 제 2 버퍼(730)는 노광 장치(900)에서 공정이 완료된 기판(W)들이 후처리 모듈(602)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 제 1 버퍼(720)는 하우징(721)과 복수의 지지대들(722)을 가진다. 지지대들(722)은 하우징(721) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(722)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(721)은 인터페이스 로봇(740) 및 전처리 로봇(632)이 하우징(721) 내로 지지대(722)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 전처리 로봇(632)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 2 버퍼(730)는 제 1 버퍼(720)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 2 버퍼(730)의 하우징(4531)에는 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 후처리 로봇(682)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 인터페이스 모듈에는 기판에 대해 소정의 공정을 수행하는 챔버의 제공 없이 상술한 바와 같이 버퍼들 및 로봇만 제공될 수 있다.The first buffer 720 temporarily stores the substrates W, which have been processed in the pre-processing module 601 , before they are moved to the exposure apparatus 900 . In addition, the second buffer 730 temporarily stores the substrates W that have been processed in the exposure apparatus 900 before they are moved to the post-processing module 602 . The first buffer 720 has a housing 721 and a plurality of supports 722 . The supports 722 are disposed within the housing 721 and are provided to be spaced apart from each other along the third direction 16 . One substrate W is placed on each support 722 . The housing 721 includes the interface robot 740 and the pre-processing robot 632 with the interface robot 740 provided so that the substrate W can be carried in or out of the support 722 into the housing 721 and the pre-processing robot ( 632 has an opening (not shown) in the direction provided. The second buffer 730 has a structure substantially similar to that of the first buffer 720 . However, the housing 4531 of the second buffer 730 has an opening (not shown) in the direction in which the interface robot 740 is provided and the direction in which the post-processing robot 682 is provided. As described above, only the buffers and the robot may be provided in the interface module without providing a chamber for performing a predetermined process on the substrate.

1110: 처리 공간 1500: 배기 유닛
1520: 배기관 1540: 감압 부재
1560: 배기판 1570: 유입홀
1580: 배기 유로1110: processing space 1500: exhaust unit
1520: exhaust pipe 1540: pressure reducing member
1560: exhaust plate 1570: inlet hole
1580: exhaust flow path

Claims (8)

내부에 처리 공간이 형성되는 챔버와;
상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛에 지지되는 기판을 가열하는 히터 유닛과;
상기 처리 공간 내 기체를 배기하는 배기 유닛을 포함하되,
상기 배기 유닛은,
상기 처리 공간 내 기체가 유입되는 배기 유로가 형성되는 배기판과;
상기 배기 유로와 연결되며, 감압 부재가 설치되는 배기관을 포함하고,
상기 챔버에는,
외부의 기체를 상기 처리 공간으로 유입하는 유입홀이 형성되며,
상기 유입홀은,
상부에서 바라볼 때 상기 배기판과 중첩되게 위치되고,
상기 배기판은,
상기 기판 지지 유닛에 지지된 상기 기판과 마주보도록 제공되되, 상기 처리 공간 내 기체가 상기 배기 유로로 유입되는 유입구가 형성되며,
상기 유입구는,
복수 개가 제공되되, 일부는 상기 배기관이 상기 배기 유로에 결합되는 위치로부터 서로 다른 거리에 제공되는 기판 처리 장치.a chamber having a processing space formed therein;
a substrate support unit for supporting a substrate in the processing space;
a heater unit for heating the substrate supported by the substrate support unit;
an exhaust unit for exhausting gas in the processing space;
The exhaust unit is
an exhaust plate having an exhaust passage through which gas in the processing space is introduced;
It is connected to the exhaust passage, and includes an exhaust pipe in which a pressure reducing member is installed,
In the chamber,
An inlet hole for introducing an external gas into the processing space is formed,
The inlet hole is
It is positioned to overlap the exhaust plate when viewed from the top,
The exhaust plate is
Provided to face the substrate supported by the substrate support unit, an inlet through which the gas in the processing space flows into the exhaust passage is formed;
The inlet is
A plurality of substrate processing apparatuses are provided, some of which are provided at different distances from a position where the exhaust pipe is coupled to the exhaust passage. 제1항에 있어서,
상기 배기판은,
상기 기판 지지 유닛의 상부에서 상기 기판 지지 유닛과 마주하게 위치되고,
상기 배기관은,
상기 배기판의 중심 영역에 결합되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The exhaust plate is
is positioned to face the substrate support unit at an upper portion of the substrate support unit;
The exhaust pipe is
A substrate processing apparatus coupled to a central region of the exhaust plate. 삭제delete 삭제delete 내부에 처리 공간이 형성되는 챔버와;
상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛에 지지되는 기판을 가열하는 히터 유닛과;
상기 처리 공간 내 기체를 배기하는 배기 유닛을 포함하되,
상기 배기 유닛은,
상기 처리 공간 내 기체가 유입되는 배기 유로가 형성되는 배기판과;
상기 배기 유로와 연결되며, 감압 부재가 설치되는 배기관을 포함하고,
상기 배기판은,
상기 챔버의 내벽과 이격되게 위치되고,
상기 챔버에는,
외부의 기체를 상기 처리 공간으로 유입하는 유입홀이 형성되며,
상기 유입홀은,
상부에서 바라볼 때 상기 배기판과 중첩되게 위치되는 기판 처리 장치.a chamber having a processing space formed therein;
a substrate support unit for supporting a substrate in the processing space;
a heater unit for heating the substrate supported by the substrate support unit;
an exhaust unit for exhausting gas in the processing space;
The exhaust unit is
an exhaust plate having an exhaust passage through which gas in the processing space is introduced;
It is connected to the exhaust passage, and includes an exhaust pipe in which a pressure reducing member is installed,
The exhaust plate is
It is spaced apart from the inner wall of the chamber,
In the chamber,
An inlet hole for introducing an external gas into the processing space is formed,
The inlet hole is
A substrate processing apparatus positioned to overlap the exhaust plate when viewed from above. 내부에 처리 공간이 형성되는 챔버와;
상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛에 지지되는 기판을 가열하는 히터 유닛과;
상기 처리 공간 내 기체를 배기하는 배기 유닛을 포함하되,
상기 배기 유닛은,
상기 처리 공간 내 기체가 유입되는 배기 유로가 형성되는 배기판과;
상기 배기 유로와 연결되며, 감압 부재가 설치되는 배기관을 포함하고,
상기 배기 유로는,
상부에서 바라볼 때 나선 형상으로 제공되는 기판 처리 장치.a chamber having a processing space formed therein;
a substrate support unit for supporting a substrate in the processing space;
a heater unit for heating the substrate supported by the substrate support unit;
an exhaust unit for exhausting gas in the processing space;
The exhaust unit is
an exhaust plate having an exhaust passage through which gas in the processing space is introduced;
It is connected to the exhaust passage, and includes an exhaust pipe in which a pressure reducing member is installed,
The exhaust flow path is
A substrate processing apparatus provided in a spiral shape when viewed from above. 제6항에 있어서,
상기 배기판에는,
상기 처리 공간 내 기체가 상기 배기 유로로 유입되는 유입구가 형성되고,
상기 유입구는,
복수 개가 제공되되, 일부는 상기 배기관이 상기 배기 유로에 결합되는 위치로부터 서로 다른 거리에 제공되며,
상기 배기 유로는,
길이 방향을 따라 복수의 상기 유입구가 연결되는 기판 처리 장치.7. The method of claim 6,
In the exhaust plate,
an inlet through which gas in the processing space flows into the exhaust passage is formed;
The inlet is
A plurality is provided, some of which are provided at different distances from a position where the exhaust pipe is coupled to the exhaust passage,
The exhaust flow path is
A substrate processing apparatus to which a plurality of the inlets are connected along a longitudinal direction. 제1항 또는 제2항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 배기 유로는,
복수 개로 제공되고, 각각의 상기 배기 유로는 서로 다른 상기 유입구와 연결되는 기판 처리 장치.8. The method of any one of claims 1 or 2 or 7,
The exhaust flow path is
A substrate processing apparatus is provided in plurality, and each of the exhaust passages is connected to the different inlets.
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