KR102442423B1

KR102442423B1 - RF sensor deivce

Info

Publication number: KR102442423B1
Application number: KR1020150070472A
Authority: KR
Inventors: 이준용; 홍상진
Original assignee: 주식회사 레인보우코퍼레이션; 명지대학교 산학협력단
Priority date: 2015-05-20
Filing date: 2015-05-20
Publication date: 2022-09-13
Also published as: KR20160136654A

Abstract

RF 센서 장치가 제공된다. 상기 RF 센서 장치는 RF 신호를 전달하는 RF 피드 스루우; 및 상기 RF 신호에 의해 발생된 전기장 또는 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전압 및 전류를 감지하는 센서를 포함한다. 여기서, 상기 센서는 제1 보드, 상기 제1 보드의 일면에서 상기 제1 보드와 교차하여 연결되는 제2 보드 및 제3 보드로 구성된 보드부; 상기 제1 보드에 배치되며, 상기 전기장 또는 상기 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전압을 감지하는 캐패시터; 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전압을 출력하는 제1 출력 단자; 상기 제2 보드의 일면에 배치되며, 상기 전기장 또는 상기 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전류를 감지하는 제1 패턴; 및 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전류를 출력하는 제2 출력 단자를 포함하며, 상기 제 1 패턴은 루프 형태를 가진다. An RF sensor device is provided. The RF sensor device includes an RF feed-through for transmitting an RF signal; and a sensor for sensing the voltage and current of the RF signal using an electric field or a magnetic field generated by the RF signal. Here, the sensor may include: a board part including a first board, a second board and a third board connected to cross the first board on one surface of the first board; a capacitor disposed on the first board and configured to sense a voltage of the RF signal using the electric field or the magnetic field; a first output terminal disposed on the third board and configured to output a voltage of the sensed RF signal; a first pattern disposed on one surface of the second board and configured to sense a current of the RF signal using the electric field or the magnetic field; and a second output terminal disposed on the third board and configured to output a current of the sensed RF signal, wherein the first pattern has a loop shape.

Description

RF sensor device

본 발명의 실시예들은 RF 센서 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to RF sensor devices.

일반적으로 고주파 대전력 신호 측정용 센서 즉 RF 센서는 고주파 신호의 신호 특성을 검출하는 데 사용되는 센서로서, RF 신호의 전압 및 전류를 감지하여 출력한다. 이를 위해 RF 센서는 전압을 감지하기 위한 구성 요소 및 전류를 감지하기 위한 구성요소를 포함한다. In general, a sensor for measuring a high-frequency high-power signal, that is, an RF sensor, is a sensor used to detect signal characteristics of a high-frequency signal, and detects and outputs the voltage and current of the RF signal. To this end, the RF sensor includes a component for sensing a voltage and a component for sensing a current.

그러나, 종래의 RF 센서의 경우, 전압을 감지하는 구성 요소 및 전류를 감지하기 위한 구성 요소의 위치가 떨어져 있어서 전압과 전류의 위상이 맞지 않는 문제점이 있었다. However, in the case of the conventional RF sensor, there is a problem that the phase of the voltage and the current do not match because the positions of the component for sensing the voltage and the component for sensing the current are spaced apart.

상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에서는 전압과 전류의 위상을 맞출 수 있는 RF 센서 장치를 제안하고자 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention intends to propose an RF sensor device capable of matching the phases of voltage and current.

본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention may be derived by those skilled in the art through the following examples.

본 발명의 일 실시예에 따른 RF 센서 장치는 RF 신호를 전달하는 RF 피드 스루우; 및 상기 RF 신호에 의해 발생된 전기장 또는 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전압 및 전류를 감지하는 센서를 포함한다. 여기서, 상기 센서는 제1 보드, 상기 제1 보드의 일면에서 상기 제1 보드와 교차하여 연결되는 제2 보드 및 제3 보드로 구성된 보드부; 상기 제1 보드에 배치되며, 상기 전기장 또는 상기 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전압을 감지하는 캐패시터; 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전압을 출력하는 제1 출력 단자; 상기 제2 보드의 일면에 배치되며, 상기 전기장 또는 상기 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전류를 감지하는 제1 패턴; 및 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전류를 출력하는 제2 출력 단자;를 포함하며, 상기 제 1 패턴은 루프 형태를 가진다.
본 발명의 일 실시예에 따른 RF 센서 장치에 포함되는 센서는 제1 보드, 상기 제1 보드의 일면에서 상기 제1 보드와 교차하여 연결되는 제2 보드 및 제3 보드로 구성된 보드부; 상기 제1 보드에 배치되며, 상기 RF 센서에 내부의 RF 신호에 의해 발생된 전기장 또는 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전압을 감지하는 캐패시터; 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전압을 출력하는 제1 출력 단자; 상기 제2 보드의 일면에 배치되며, 상기 전기장 또는 상기 자기장을 이용하여 상기 RF 신호의 전류를 감지하는 제1 패턴; 및 상기 제3 보드에 배치되며, 상기 감지된 RF 신호의 전류를 출력하는 제2 출력 단자를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 RF 센서 장치는 RF 신호가 흐르는 RF 피드 스루우; 상기 RF 피드 스루우를 통하여 흐르는 RF 신호의 전압 또는 전류를 감지하는 센서; 및 상기 RF 피드 스루우와 상기 센서 사이에 배열되는 적어도 하나의 개스킷을 포함한다. 여기서, 상기 개스킷의 개수는 전력 대역 또는 상기 RF 센서 장치가 설치되는 장비에 따라 달라질 수 있다. An RF sensor device according to an embodiment of the present invention includes an RF feed-through for transmitting an RF signal; and a sensor for sensing the voltage and current of the RF signal using an electric field or a magnetic field generated by the RF signal. Here, the sensor may include: a board part including a first board, a second board and a third board connected to cross the first board on one surface of the first board; a capacitor disposed on the first board and configured to sense a voltage of the RF signal using the electric field or the magnetic field; a first output terminal disposed on the third board and configured to output a voltage of the sensed RF signal; a first pattern disposed on one surface of the second board and configured to sense a current of the RF signal using the electric field or the magnetic field; and a second output terminal disposed on the third board and configured to output a current of the sensed RF signal, wherein the first pattern has a loop shape.
The sensor included in the RF sensor device according to an embodiment of the present invention includes: a first board, a board portion composed of a second board and a third board that are connected to cross the first board on one surface of the first board; a capacitor disposed on the first board and sensing the voltage of the RF signal using an electric field or a magnetic field generated by the RF signal inside the RF sensor; a first output terminal disposed on the third board and configured to output a voltage of the sensed RF signal; a first pattern disposed on one surface of the second board and configured to sense a current of the RF signal using the electric field or the magnetic field; and a second output terminal disposed on the third board and configured to output a current of the sensed RF signal.
An RF sensor device according to another embodiment of the present invention includes an RF feed-through through which an RF signal flows; a sensor for sensing a voltage or current of an RF signal flowing through the RF feed-through; and at least one gasket arranged between the RF feed-through and the sensor. Here, the number of gaskets may vary according to a power band or equipment in which the RF sensor device is installed.

본 발명에 따른 RF 센서 장치는 전압과 전류의 위상을 맞출 수 있는 장점이 있다. The RF sensor device according to the present invention has the advantage of matching the phases of voltage and current.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 센서 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 2는 상기 RF 센서 장치의 분해 사시도를 도시한 도면이다.
도 3은 상기 RF 센서 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 RF 피드 스루우의 사시도를 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 9는 본 발명에 따른 센서의 상세한 구성을 도시한 도면이다.
도 10은 전압 신호 감지 회로의 등가 회로를 도시한 도면이다.
도 11은 전류 신호 감지 회로의 등가 회로를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 효과를 설명한 도면이다.
도 13 내지 도 15는 본 발명의 개스킷을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 본 발명의 활용도를 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view showing a perspective view of an RF sensor device according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the RF sensor device.
3 is a view showing a cross-sectional view of the RF sensor device.
4 is a view showing a perspective view of an RF feed-through according to the present invention.
5 to 9 are diagrams showing the detailed configuration of the sensor according to the present invention.
10 is a diagram illustrating an equivalent circuit of a voltage signal sensing circuit.
11 is a diagram illustrating an equivalent circuit of a current signal sensing circuit.
12 is a view for explaining the effect of the present invention.
13 to 15 are views for explaining the gasket of the present invention.
16 is a diagram for explaining the utilization of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. Since the present invention can have various changes and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements.

이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 센서 장치의 사시도를 도시한 도면이고, 도 2는 상기 RF 센서 장치의 분해 사시도를 도시한 도면이고, 도 3은 상기 RF 센서 장치의 단면도를 도시한 도면이다. 1 is a diagram illustrating a perspective view of an RF sensor device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of the RF sensor device, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the RF sensor device It is a drawing.

도 1 내지 도 3를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 센서 장치(100)는 RF 피드 스루우(110) 및 센서(120)를 포함한다. 1 to 3 , the RF sensor device 100 according to an embodiment of the present invention includes an RF feed-through 110 and a sensor 120 .

RF 피드 스루우(110)는 예들 들어, 반도체소자를 제조하기 위한 박막증착공정이나 건식식각공정 등에서 플라즈마를 이용하는 장비(플라즈마 장비)에 RF 신호를 인가하기 위해 사용된다. 그리고, 센서(120)는 RF 피드 스루우(110)에 인가된 RF 신호의 전압 및 전류를 감지하여 출력한다. 이하, 각 구성 요소별로 상세한 구성을 설명하면 다음과 같다. The RF feed-through 110 is used to apply an RF signal to equipment (plasma equipment) using plasma, for example, in a thin film deposition process or a dry etching process for manufacturing a semiconductor device. In addition, the sensor 120 detects and outputs the voltage and current of the RF signal applied to the RF feed-through 110 . Hereinafter, a detailed configuration for each component will be described as follows.

도 4는 본 발명에 따른 RF 피드 스루우(110)의 사시도를 도시한 도면이다. 4 is a view showing a perspective view of the RF feed-through 110 according to the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, RF 피드 스루우(110)는 제1 하우징(111), RF 입력 단자(112), RF 출력 단자(113) 및 RF 관(114)를 포함한다. 1 to 4 , the RF feed-through 110 includes a first housing 111 , an RF input terminal 112 , an RF output terminal 113 , and an RF tube 114 .

제1 하우징(111)는 일례로, 은 코팅 알루미늄(Silver coated aluminum)일 수 있고, RF 쉴드(Shield) 기능을 수행하며, 및 RF 피드 스루우(110) 및 센서(120)를 보호 및 지지한다. The first housing 111 may be, for example, silver coated aluminum, serves as an RF shield, and protects and supports the RF feed through 110 and sensor 120 . .

RF 관(113)은 RF 입력 단자(111)와 RF 출력 단자(112)를 연결하는 것으로서, 일례로, 구리(Cu)로 형성될 수 있으며, RF 신호를 전달함과 함께 하기에서 설명할 센서(120)에 전압과 전류를 감지할 수 있도록 하는 전기장을 형성한다. The RF tube 113 connects the RF input terminal 111 and the RF output terminal 112, and may be formed of, for example, copper (Cu), and a sensor to be described below along with transmitting an RF signal ( 120) to form an electric field that can sense voltage and current.

도 5 내지 도 9는 본 발명에 따른 센서(120)의 상세한 구성을 도시한 도면으로서, 도 5는 센서(120)의 사시도, 도 6은 아래에서 설명하는 제2 하우징(121)을 제외한 센서(120) 부분의 좌측면도, 도 7은 제2 하우징(121)을 제외한 센서(120) 부분의 우측면도, 도 8는 제2 하우징(121)을 제외한 센서(120) 부분의 배면도, 도 9는 제2 하우징(121)을 제외한 센서(120) 부분의 하평면도를 각각 도시하고 있다. 5 to 9 are views showing the detailed configuration of the sensor 120 according to the present invention, FIG. 5 is a perspective view of the sensor 120, and FIG. 6 is a sensor (excluding the second housing 121) described below. 120), a left side view, FIG. 7 is a right side view of a portion of the sensor 120 excluding the second housing 121, FIG. 8 is a rear view of a portion of the sensor 120 excluding the second housing 121, FIG. 9 is A bottom plan view of a portion of the sensor 120 excluding the second housing 121 is shown, respectively.

도 1 내지 도 3, 도 5 내지 도 9을 참조하면, 센서(120)는 제2 하우징(121), 보드부(122), 캐패시터(123), 제1 패턴(124), 제2 패턴(125), 제3 패턴(126), 전압 신호 출력 단자(127) 및 전류 신호 출력 단자(128)를 포함한다. 1 to 3 and 5 to 9 , the sensor 120 includes a second housing 121 , a board part 122 , a capacitor 123 , a first pattern 124 , and a second pattern 125 . ), a third pattern 126 , a voltage signal output terminal 127 , and a current signal output terminal 128 .

제2 하우징(121)는 센서(120)의 구성 요소들을 보호 및 지지하는 기능을 수행한다. 일례로, 제1 하우징(111)과 제2 하우징(121)은 동일한 재질일 수 있다. The second housing 121 functions to protect and support the components of the sensor 120 . For example, the first housing 111 and the second housing 121 may be made of the same material.

그리고, 캐패시터(123), 제1 패턴(124), 제2 패턴(125), 제3 패턴(126), 제1 정합부(127), 제2 정합부(128) 및 출력 단자(129)는 보드부(122)에 형성 내지 배치된다. 일례로, 보드부(122)는 아크릴 재질일 수 있다. In addition, the capacitor 123 , the first pattern 124 , the second pattern 125 , the third pattern 126 , the first matching part 127 , the second matching part 128 and the output terminal 129 are It is formed or disposed on the board part 122 . For example, the board part 122 may be made of an acrylic material.

이 때, 보드부(122)는 수평 방향으로 배치되는 제1 보드(122-1), 수직 방향으로 배치되는 제2 보드(122-2) 및 제3 보드(122-3)를 포함할 수 있다. 이 때, 제1 보드(122-1)은 제2 보드(122-2) 및 제3 보드(122-3)와 직교로 배치될 수 있고, 제2 보드(122-2)는 제3 보드(122-3)과 직교로 배치될 수 있다. In this case, the board unit 122 may include a first board 122-1 disposed in a horizontal direction, a second board 122-2 and a third board 122-3 disposed in a vertical direction. . At this time, the first board 122-1 may be disposed orthogonally to the second board 122-2 and the third board 122-3, and the second board 122-2 may be disposed on the third board ( 122-3) and may be disposed orthogonally.

캐패시터(123)는 RF 피드 스루우(110)를 통과하는 RF 신호의 전압을 감지한다. 즉, RF 피드 스루우(110) 내의 RF 관(110) 주위에는 전기장이 형성되며, 캐패시터(123)는 상기 전기장을 이용하여 RF 신호의 전압을 감지한다. The capacitor 123 senses the voltage of the RF signal passing through the RF feed-through 110 . That is, an electric field is formed around the RF tube 110 in the RF feed-through 110 , and the capacitor 123 senses the voltage of the RF signal using the electric field.

그리고, 캐패시터(123)는 제1 보드(122-1)에 배치된다. 즉, 도 6, 도 7 및 도 9를 참조하면, 캐패시터(123)의 일단과 대응되는 금속은 제1 보드(122-1)의 앞면에 배치되고, 캐패시터(123)의 타단과 대응되는 금속은 제1 보드(122-1)의 뒷면에 배치될 수 있다. In addition, the capacitor 123 is disposed on the first board 122-1. That is, referring to FIGS. 6, 7 and 9 , the metal corresponding to one end of the capacitor 123 is disposed on the front side of the first board 122-1, and the metal corresponding to the other end of the capacitor 123 is It may be disposed on the back side of the first board 122-1.

제1 패턴(124)은 루프 형상의 패턴으로서, RF 피드 스루우(110)를 통과하는 RF 신호의 전류를 감지한다. 즉, RF 피드 스루우(110) 내의 RF 관(110) 주위에는 전기장이 형성되며, 제1 패턴(124)는 상기 전기장을 이용하여 RF 신호의 전류를 감지한다. The first pattern 124 is a loop-shaped pattern and senses the current of the RF signal passing through the RF feed-through 110 . That is, an electric field is formed around the RF tube 110 in the RF feed-through 110 , and the first pattern 124 senses the current of the RF signal using the electric field.

그리고, 제1 패턴(124)는 제2 보드(122-2)에 배치된다. 즉, 도 8을 참조하면 제1 패턴(124)는 제2 보드(122-2)의 앞면에 배치된다. 한편, 제2 보드(122-2)의 뒷면은 제3 보드(122-3)와 연결된다. In addition, the first pattern 124 is disposed on the second board 122 - 2 . That is, referring to FIG. 8 , the first pattern 124 is disposed on the front surface of the second board 122 - 2 . Meanwhile, the rear side of the second board 122-2 is connected to the third board 122-3.

제2 패턴(125)은 캐패시터(123)에서 감지된 전압 신호를 전압 신호 출력 단자(127)로 전달하며, 전압 신호의 크기(Amplitude)를 조절하는 기능을 수행한다. 또한, 제2 패턴(125)은 정합 기능을 수행하는 저항(125-1)를 포함하고 있다. 도 10에서는 캐패시터(123), 제2 패턴(125) 및 전압 신호 출력 단자(127)을 포함하는 전압 신호 감지 회로의 등가 회로를 도시하고 있다. The second pattern 125 transfers the voltage signal sensed by the capacitor 123 to the voltage signal output terminal 127 and functions to adjust the amplitude of the voltage signal. Also, the second pattern 125 includes a resistor 125 - 1 performing a matching function. 10 illustrates an equivalent circuit of a voltage signal sensing circuit including a capacitor 123 , a second pattern 125 , and a voltage signal output terminal 127 .

제3 패턴(126)은 제1 패턴(124)에서 감지된 전류 신호를 전류 신호 출력 단자(12)8로 전달하며, 전류 신호의 크기를 조절하는 기능을 수행한다. 또한, 제3 패턴(126)은 정합 기능을 수행하는 저항(126-1)를 포함하고 있다. 도 11에서는 제1 패턴(124), 제3 패턴(126) 및 전류 신호 출력 단자(128)을 포함하는 전류 신호 감지 회로의 등가 회로를 도시하고 있다. The third pattern 126 transmits the current signal sensed by the first pattern 124 to the current signal output terminals 12 and 8 , and functions to adjust the magnitude of the current signal. In addition, the third pattern 126 includes a resistor 126 - 1 performing a matching function. 11 illustrates an equivalent circuit of a current signal sensing circuit including a first pattern 124 , a third pattern 126 , and a current signal output terminal 128 .

정리하면, 본 발명에 따른 RF 센서 장치(100)는 제1 보드(121) 내지 제3 보드(123)로 구성된 보드부(120)가 일체형으로 구성되어 있고, 캐패시터(123)와 제1 패턴(124)이 서로 붙여서 배치되는바, 전압-전류 위상이 90도로 맞추어지는 장점이 있다. 도 12는 본 발명의 효과를 설명하고 있다. In summary, in the RF sensor device 100 according to the present invention, the board unit 120 including the first board 121 to the third board 123 is integrally configured, and the capacitor 123 and the first pattern ( 124) are arranged to be attached to each other, so there is an advantage that the voltage-current phase is adjusted to 90 degrees. 12 illustrates the effect of the present invention.

한편, RF 피드 스루우(110)는 센서(120)와의 간격을 조정하여 센서의 출력 감도를 조절하는 적어도 하나의 개스킷(115)(gasket)을 포함할 수 있다. 이는 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같다. 일례로, 개스킷(115)는 제1 하우징(111) 및 제2 하우징(121)과 동일한 재질일 수 있다. 도 15는 개스킷(115)의 숫자를 달리한 RF 센서 장치(100)를 도시하고 있다. Meanwhile, the RF feed-through 110 may include at least one gasket 115 for adjusting the output sensitivity of the sensor by adjusting the distance from the sensor 120 . This is as shown in FIGS. 13 and 14 . For example, the gasket 115 may be made of the same material as the first housing 111 and the second housing 121 . 15 shows the RF sensor device 100 in which the number of gaskets 115 is different.

또한, 센서(120)은 별도의 장치로 제조될 수 있다. 이 경우, 도 16에 도시된 바와 같이, 종래의 RF 피드 스루우에 본 발명의 센서(120)를 결합하여 사용할 수 있다. Also, the sensor 120 may be manufactured as a separate device. In this case, as shown in FIG. 16 , the sensor 120 of the present invention may be combined and used with a conventional RF feed-through.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.As described above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are only provided to help the overall understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments, Various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims described below, but also all those with equivalent or equivalent modifications to the claims will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention. .

Claims

RF feed-through carrying RF signals; and
A sensor for sensing the voltage and current of the RF signal using an electric field or a magnetic field generated by the RF signal,
The sensor is
a board portion including a first board, a second board and a third board connected to the first board to cross each other on one surface of the first board;
a capacitor disposed on the first board and configured to sense a voltage of the RF signal using the electric field or the magnetic field;
a first output terminal disposed on the third board and configured to output a voltage of the sensed RF signal;
a first pattern disposed on one surface of the second board and configured to sense a current of the RF signal using the electric field or the magnetic field;
a second output terminal disposed on the third board and configured to output a current of the sensed RF signal; and
At least one gasket for adjusting the sensor output sensitivity by adjusting the distance between the RF feed-through and the sensor,
The first pattern has a loop shape,
Each of the second board and the third board is disposed orthogonally to the first board, and the second board and the third board are disposed orthogonally to the RF sensor device.

The method of claim 1, wherein the RF feed-through is located below the sensor,
The first board is disposed in a horizontal direction with respect to the RF feed-through, and the second board and the third board are disposed in a vertical direction with respect to the RF feed-through.

The method of claim 1, wherein one end of the capacitor is disposed on one surface of the first board, and the other end of the capacitor is disposed on the other surface of the first board,
The RF sensor device, characterized in that the second board and the third board are located on one end of the capacitor.

The method of claim 1,
a second pattern for transferring the voltage signal sensed by the capacitor to the first output terminal; and
Further comprising a third pattern for transferring the current signal sensed in the first pattern to the second output terminal,
The third pattern is electrically connected to the first pattern, and each of the second pattern and the third pattern includes a resistor performing a matching function.

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In the sensor included in the RF sensor device,
a board portion including a first board, a second board and a third board connected to the first board to cross each other on one surface of the first board;
a capacitor disposed on the first board and sensing the voltage of the RF signal using an electric field or a magnetic field generated by the RF signal inside the RF sensor;
a first output terminal disposed on the third board and configured to output a voltage of the sensed RF signal;
a first pattern disposed on one surface of the second board and configured to sense a current of the RF signal using the electric field or the magnetic field; and
a second output terminal disposed on the third board and outputting a current of the sensed RF signal;
At least one gasket is arranged between the RF feed-through through which the RF signal flows and the sensor to adjust the sensor output sensitivity.

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