KR102441467B1

KR102441467B1 - Excimer lamp

Info

Publication number: KR102441467B1
Application number: KR1020200061013A
Authority: KR
Inventors: 리-펑 쑨; 히로미 사카모토
Original assignee: 아스트로 클린 테크놀로지 코포레이션
Priority date: 2019-11-01
Filing date: 2020-05-21
Publication date: 2022-09-07
Also published as: JP6900545B2; TWI747073B; TW202119469A; JP2021072274A; KR20210053780A; CN112786433A

Abstract

본 발명은, 조사 면적을 늘림과 동시에, 램프의 필요한 수를 줄일 수 있는 엑시머 램프를 제공한다.
본 발명의 엑시머 램프는, 방전 용기, 제1 전극 및 제2 전극을 포함한다. 방전 용기는, 광투과체, 방전용 가스, 반사층 및 2개의 부분 투과 부분 흡수층을 포함한다. 광투과체는 제1, 제2 외표면, 2개의 외측면, 제1, 제2 내표면 및 2개의 내측면을 가진다. 2개의 외측면은, 각각 제1 외표면과 제2 외표면의 사이에 접속된다. 2개의 내측면은, 각각 제1 내표면과 제2 내표면의 사이에 접속된다. 제1 내표면, 제2 내표면 및 2개의 내측면은, 밀봉 공간을 형성한다. 방전용 가스는, 밀봉 공간 내에 위치한다. 반사층은, 제1 내표면에 설치된다. 2개의 부분 투과 부분 흡수층은, 각각 2개의 내측면에 설치된다. 제1 전극은, 제1 외표면에 설치된다. 제2 전극은, 제2 외표면에 설치된다.The present invention provides an excimer lamp capable of increasing the irradiation area and reducing the required number of lamps.
The excimer lamp of this invention contains a discharge container, a 1st electrode, and a 2nd electrode. The discharge container includes a light transmitting body, a gas for discharge, a reflective layer, and two partially transmitting partially absorbing layers. The light transmitting body has first and second outer surfaces, two outer surfaces, first and second inner surfaces and two inner surfaces. The two outer surfaces are respectively connected between the first outer surface and the second outer surface. The two inner surfaces are respectively connected between the first inner surface and the second inner surface. The first inner surface, the second inner surface and the two inner surfaces form a sealed space. The gas for discharge is located in the sealed space. The reflective layer is provided on the first inner surface. The two partially transmissive partially absorbent layers are provided on the two inner surfaces, respectively. The first electrode is provided on the first outer surface. The second electrode is provided on the second outer surface.

Description

Excimer lamp {EXCIMER LAMP}

본 발명은, 엑시머 램프에 관한 것으로, 특히 반도체 또는 액정 표시 소자의 프로세스에 응용되는 엑시머 램프에 관한 것이다.The present invention relates to an excimer lamp, and more particularly to an excimer lamp applied to the process of a semiconductor or liquid crystal display device.

프로세스의 변경과 수요의 증가에 따라, 현재, 엑시머 램프의 사용은, 프로세스의 요구(예를 들어, 큰 조사 면적)를 만족시키기 위해 많은 램프가 필요하다. 단, 램프의 수의 증가는, 프로세스 비용의 증가를 초래한다. 따라서, 조사 면적을 늘림과 동시에 램프의 필요한 수를 줄이는 것은, 연구 개발자가 해결하고자 하는 과제 중 하나로 되어 있다.With the change of the process and the increase in demand, at present, the use of excimer lamps requires a large number of lamps to meet the requirements of the process (eg, large irradiation area). However, an increase in the number of lamps causes an increase in process cost. Accordingly, increasing the irradiation area and reducing the required number of lamps is one of the problems that research and developers are trying to solve.

본 발명은, 조사 면적을 늘림과 동시에, 램프의 필요한 수를 줄일 수 있는 엑시머 램프를 제공한다.The present invention provides an excimer lamp capable of increasing the irradiation area and reducing the required number of lamps.

본 발명의 실시예는, 방전 용기, 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는 엑시머 램프를 제공한다. 방전 용기는, 광투과체, 방전용 가스, 반사층 및 2개의 부분 투과 부분 흡수층을 포함한다. 광투과체는 제1 외표면, 제2 외표면, 2개의 외측면, 제1 내표면, 제2 내표면 및 2개의 내측면을 가진다. 2개의 외측면은, 각각 제1 외표면과 제2 외표면의 사이에 접속된다. 2개의 내측면은, 각각 제1 내표면과 제2 내표면의 사이에 접속된다. 제1 내표면, 제2 내표면 및 2개의 내측면은, 밀봉 공간을 형성한다. 방전용 가스는, 밀봉 공간 내에 위치한다. 반사층은, 제1 내표면에 설치된다. 2개의 부분 투과 부분 흡수층은, 각각 2개의 내측면에 설치된다. 제1 전극은, 제1 외표면에 설치된다. 제2 전극은, 제2 외표면에 설치된다.An embodiment of the present invention provides an excimer lamp including a discharge vessel, a first electrode, and a second electrode. The discharge container includes a light transmitting body, a gas for discharge, a reflective layer, and two partially transmitting partially absorbing layers. The light transmitting body has a first outer surface, a second outer surface, two outer surfaces, a first inner surface, a second inner surface and two inner surfaces. The two outer surfaces are respectively connected between the first outer surface and the second outer surface. The two inner surfaces are respectively connected between the first inner surface and the second inner surface. The first inner surface, the second inner surface and the two inner surfaces form a sealed space. The gas for discharge is located in the sealed space. The reflective layer is provided on the first inner surface. The two partially transmissive partially absorbent layers are provided on the two inner surfaces, respectively. The first electrode is provided on the first outer surface. The second electrode is provided on the second outer surface.

본 발명의 실시예에서는, 2개의 내측면 및 2개의 외측면이 모두 곡면이다.In an embodiment of the present invention, the two inner surfaces and the two outer surfaces are both curved surfaces.

본 발명의 실시예에서는, 2개의 외측면 사이의 거리가 40mm보다 크다.In an embodiment of the present invention, the distance between the two outer surfaces is greater than 40 mm.

본 발명의 실시예에서는, 반사층의 재료가 이산화규소를 포함한다.In an embodiment of the present invention, the material of the reflective layer comprises silicon dioxide.

본 발명의 실시예에서는, 2개의 부분 투과 부분 흡수층의 재료가 산화이트륨을 포함한다.In an embodiment of the present invention, the material of the two partially transmitting partially absorbing layers includes yttrium oxide.

본 발명의 실시예에서는, 2개의 부분 투과 부분 흡수층의 투과율이 30%~70%의 범위 내에 있다.In the embodiment of the present invention, the transmittance of the two partially transmissive partial absorption layers is in the range of 30% to 70%.

본 발명의 실시예에서는, 제2 전극이 그리드 전극이다.In an embodiment of the present invention, the second electrode is a grid electrode.

본 발명의 실시예에서는, 그리드 전극이 복수의 광투과 개구를 가진다. 복수의 광투과 개구의 형상이 직사각형이다.In an embodiment of the present invention, the grid electrode has a plurality of light-transmitting openings. The shape of the plurality of light-transmitting openings is rectangular.

본 발명의 실시예에서는, 직사각형의 장변이 제2 외표면의 장변에 평행하다.In an embodiment of the present invention, the long side of the rectangle is parallel to the long side of the second outer surface.

본 발명의 실시예에서는, 직사각형의 장변의 길이가 2.8mm보다 크다.In an embodiment of the present invention, the length of the long side of the rectangle is greater than 2.8 mm.

상기에 기초하여, 본 발명의 실시예에서는, 2개의 부분 투과 부분 흡수층이 각각 광투과체의 2개의 내측면에 설치된다. 2개의 부분 투과 부분 흡수층은, 광투과체의 양측의 응력을 감소할 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 일부의 광을 투과시킬 수 있다. 따라서, 방전용 가스에서 발생한 광은, 광투과체의 제2 내표면으로부터 사출할 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 광투과체의 2개의 내측면으로부터도 사출할 수 있어 조사 면적을 증대시키는 효과를 달성한다. 그 때문에, 엑시머 램프는, 조명 면적을 늘림과 동시에, 램프의 필요한 수를 줄일 수 있다.Based on the above, in the embodiment of the present invention, two partially transmitting partially absorbing layers are respectively provided on the two inner surfaces of the light transmitting body. The two partially transmitting partially absorbing layers can not only reduce the stress on both sides of the light transmitting body, but also transmit some light. Therefore, the light generated from the discharge gas can be emitted not only from the second inner surface of the light transmitting member, but also can be emitted from the two inner surfaces of the light transmitting member, thereby achieving the effect of increasing the irradiation area. . Therefore, the excimer lamp can reduce the required number of lamps while increasing the illumination area.

도 1은, 본 발명의 실시예의 엑시머 램프의 단면 설명도이다.
도 2는, 도 1의 제2 전극의 부분 정면도이다.
도 3은, 실험예 및 비교예의 조사 폭과 상대 UV 강도의 관계도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a cross-sectional explanatory drawing of the excimer lamp of the Example of this invention.
FIG. 2 is a partial front view of the second electrode of FIG. 1 .
3 is a diagram showing the relationship between the irradiation width and relative UV intensity of Experimental Examples and Comparative Examples.

본 발명의 상기 특징 및 이점을 알기 쉽게 하기 위해, 실시예를 들어 도면과 아울러 이하와 같이 상세를 설명한다.In order to make it easy to understand the said characteristic and advantage of this invention, an Example is given and the detail is demonstrated as follows together with drawing.

본문에 제시되는 방향의 용어, 예를 들어 「상」, 「하」, 「전」, 「후」, 「좌」, 「우」 등은, 도면의 방향을 참고할 뿐이다. 따라서, 사용하는 방향의 용어는, 설명하기 위해 이용되는 것으로, 본 발명을 제한하는 것은 아니다.Directional terms presented in the text, for example, “top”, “bottom”, “before”, “after”, “left” and “right” refer only to the direction of the drawings. Therefore, the terms used in the direction are used for description, and do not limit the present invention.

도면에서, 각 도면은, 특정의 실시예에서 사용되는 방법, 구조, 및/또는 재료의 전형적인 특징을 나타내고 있다. 단, 이들 도면은, 이들 실시예에 의해 커버되는 범위 또는 성질을 정의 또는 제한하는 것으로서 해석되어서는 안 된다. 예를 들어, 알기 쉽게 하기 위해, 각 막층, 영역 또는 구조의 상대적인 치수, 두께 및 위치를 축소 또는 확대할 가능성이 있다.In the drawings, each figure represents a typical feature of a method, structure, and/or material used in a particular embodiment. However, these drawings should not be construed as defining or limiting the scope or nature covered by these embodiments. For example, it is possible to reduce or enlarge the relative dimensions, thickness and location of each membrane layer, region or structure for clarity.

하기의 실시예에서, 동일 또는 유사한 부재는 동일 또는 유사한 부호를 채용하고, 또한 그 설명을 생략한다. 또한, 다른 실시예에서의 특징이 충돌하지 않는 경우, 서로 조합할 수 있고, 또한 본 명세서 또는 청구범위에 의해 행해지는 간단한 균등한 변경 및 수식은, 모두 여전히 본 특허의 범위 내에 속하는 것이다.In the following examples, the same or similar members adopt the same or similar reference numerals, and descriptions thereof are omitted. In addition, if the features in different embodiments do not conflict, they can be combined with each other, and simple equivalent changes and modifications made by the specification or claims still fall within the scope of this patent.

본 명세서 또는 특허출원의 범위에서 언급되어 있는 「제1」 및 「제2」 등의 용어는, 분립되는(discrete) 부재를 명명하거나, 다른 실시예의 범위를 구별하기 위해 이용될 뿐이며,, 부재의 수의 상한 또는 하한을 제한하는 것이 아니고, 부재의 제조 순서 또는 설치 순서를 한정하는 것에 이용하는 것도 아니다. 또한, 하나의 부재/막층이 다른 부재/막층 상(또는 상방)에 설치된다는 것은, 상기 부재/막층이 상기 다른 부재/막층 상(또는 상방)에 직접 설치되고, 또한 2개의 부재/막층이 직접 접촉하는 경우와, 상기 부재/막층이 상기 다른 부재/막층 상(또는 상방)에 간접적으로 설치되고, 또한 2개의 부재/막층의 사이에 하나 또는 복수의 부재/막층이 존재하는 경우를 포함할 수 있다.Terms such as "first" and "second" mentioned in this specification or the scope of the patent application are used only to name a discrete member or to distinguish the scope of other embodiments, and It does not limit the upper limit or lower limit of the number, and it is not used for limiting the manufacturing order or installation order of a member. Further, that one member/membrane layer is provided on (or above) the other member/membrane layer means that the member/membrane layer is directly provided on (or above) the other member/membrane layer, and the two members/membrane layers are directly provided on (or above) the other member/film layer. It may include a case where the member/membrane layer is indirectly provided on (or above) the other member/membrane layer, and a case where one or a plurality of member/membrane layers exist between two members/film layers. have.

도 1은, 본 발명의 실시예의 엑시머 램프(1)의 단면 설명도이다. 도 1을 참조하여, 엑시머 램프(1)는, 방전 용기(10), 제1 전극(11) 및 제2 전극(12)을 포함한다.1 is a cross-sectional explanatory view of an excimer lamp 1 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 , the excimer lamp 1 includes a discharge vessel 10 , a first electrode 11 , and a second electrode 12 .

방전 용기(10)는, 제1 전극(11)과 제2 전극(12)의 사이에 있고, 또한 방전 용기(10)는, 광투과체(100), 방전용 가스(101), 반사층(102), 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)을 포함한다.The discharge vessel 10 is between the first electrode 11 and the second electrode 12 , and the discharge vessel 10 includes a light transmitting body 100 , a discharge gas 101 , and a reflective layer 102 . ), a partially transmissive partially absorbing layer 103 and a partially transmissive partially absorbing layer 104 .

광투과체(100)는, 광투과성 재료로 형성된다. 광투과성 재료는, 석영 유리를 포함할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 본 실시예에서, 광투과체(100)는, 대략 편평 형상을 나타내는 직육면체이다. 구체적으로는, 광투과체(100)의 단변은, 예를 들어, 제1 방향(X)에 평행하고, 광투과체(100)의 장변은, 예를 들어, 제2 방향(Y)에 평행하며, 광투과체(100)의 두께 방향은, 제3 방향(Z)에 평행하다. 여기서, 제1 방향(X), 제2 방향(Y) 및 제3 방향(Z)은, 서로 수직이다. 단, 광투과체(100)의 외관은, 특별히 한정하지 않는다. 실시예에서는, 광투과체(100)는, 원통체일 수도 있다.The light transmitting body 100 is formed of a light transmitting material. The light-transmitting material may include, but is not limited to, quartz glass. In the present embodiment, the light transmitting body 100 is a rectangular parallelepiped having a substantially flat shape. Specifically, the short side of the light transmitting body 100 is, for example, parallel to the first direction (X), and the long side of the light transmitting body 100 is, for example, parallel to the second direction (Y). and the thickness direction of the light transmitting body 100 is parallel to the third direction Z. Here, the first direction (X), the second direction (Y), and the third direction (Z) are perpendicular to each other. However, the external appearance of the light transmitting body 100 is not specifically limited. In the embodiment, the light transmitting body 100 may be a cylindrical body.

광투과체(100)는, 제1 외표면(SO1), 제2 외표면(SO2), 2개의 외측면(SSO), 제1 내표면(SI1), 제2 내표면(SI2) 및 2개의 내측면(SSI)을 가진다. 2개의 외측면(SSO)은, 각각 제1 외표면(SO1)과 제2 외표면(SO2)의 사이에 접속된다. 2개의 내측면(SSI)은, 각각 제1 내표면(SI1)과 제2 내표면(SI2)의 사이에 접속된다. 제1 외표면(SO1), 제2 외표면(SO2) 및 2개의 외측면(SSO)은, 각각 제1 내표면(SI1), 제2 내표면(SI2) 및 2개의 내측면(SSI)의 외측에 위치하고, 또한 제1 내표면(SI1), 제2 내표면(SI2) 및 2개의 내측면(SSI)은, 밀봉 공간(SP)을 형성한다.The light transmitting body 100 has a first outer surface SO1, a second outer surface SO2, two outer surfaces SSO, a first inner surface SI1, a second inner surface SI2, and two It has an inner surface (SSI). The two outer surfaces SSO are respectively connected between the first outer surface SO1 and the second outer surface SO2. The two inner surfaces SSI are respectively connected between the first inner surface SI1 and the second inner surface SI2. The first outer surface SO1 , the second outer surface SO2 and the two outer surfaces SSO are of the first inner surface SI1 , the second inner surface SI2 and the two inner surfaces SSI, respectively. Located on the outside, the first inner surface SI1 , the second inner surface SI2 , and the two inner surfaces SSI form the sealing space SP.

방전용 가스(101)는, 밀봉 공간(SP) 내에 위치한다. 다른 방전용 가스는, 다른 파장의 엑시머광을 발생할 수 있고 다른 프로세스에 응용된다. 예를 들어, 방전용 가스(101)가 크세논 가스일 때, 엑시머 램프(1)는, 파장이 172nm인 자외선을 제공할 수 있고, 또한 엑시머 램프(1)는, 오존 세정 프로세스에 응용할 수 있다. 한편, 방전용 가스(101)가 염화 크세논 가스일 때, 엑시머 램프(1)는, 파장이 308nm인 자외선을 제공할 수 있고, 엑시머 램프(1)는 인쇄 프로세스에 응용할 수 있다. 단, 방전용 가스(101)는, 크세논 가스와 염화 크세논 가스에 한정하는 것은 아니고, 또한 엑시머 램프(1)의 응용은, 상기에 한정하는 것은 아니다.The gas 101 for discharge is located in the sealing space SP. Different discharge gases can generate excimer light of different wavelengths and are applied to different processes. For example, when the discharge gas 101 is a xenon gas, the excimer lamp 1 can provide ultraviolet rays with a wavelength of 172 nm, and the excimer lamp 1 can be applied to an ozone cleaning process. On the other hand, when the gas 101 for discharge is a xenon chloride gas, the excimer lamp 1 can provide ultraviolet light having a wavelength of 308 nm, and the excimer lamp 1 can be applied to a printing process. However, the gas 101 for discharge is not limited to xenon gas and xenon chloride gas, and the application of the excimer lamp 1 is not limited to the above.

반사층(102)은, 제1 내표면(SI1)에 설치된다. 반사층(102)은, 광(방전용 가스(101)가 발생하는 자외선 등)을 반사하여, 보다 많은 광을 제2 내표면(SI2) 또는 2개의 내측면(SSI)으로부터 사출시키는 것에 이용된다. 반사층(102)은, 광반사 재료로 형성된다. 광반사 재료는, 이산화규소를 포함할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 반사층(102)의 재료가 이산화규소를 포함할 때, 반사층(102)을 형성하는 방법은, 예를 들어, 광반사 재료를 제1 내표면(SI1) 상에 도포하고, 그 후 소결을 행하는 것이지만, 이에 한정하는 것은 아니다.The reflective layer 102 is provided on the first inner surface SI1 . The reflective layer 102 is used to reflect light (such as ultraviolet rays generated by the discharge gas 101 ) and emit more light from the second inner surface SI2 or the two inner surfaces SSI. The reflective layer 102 is formed of a light reflective material. The light reflective material may include, but is not limited to, silicon dioxide. When the material of the reflective layer 102 includes silicon dioxide, the method of forming the reflective layer 102 is, for example, to apply a light reflective material on the first inner surface SI1, and then perform sintering. , but is not limited thereto.

부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)은, 각각 2개의 내측면(SSI)에 설치된다. 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)은, 일부의 광을 투과시키면서 일부의 광을 흡수하는 것에 적합하다. 반사층(102)과 비교하여, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)은, 보다 높은 투과율을 가질 수 있다. 예를 들어, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 투과율은, 30%~70%의 범위 내에 있다(즉, 30%≤투과율≤70%).The partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 are provided on the two inner surfaces SSI, respectively. The partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 are suitable for absorbing a part of light while transmitting a part of the light. Compared to the reflective layer 102 , the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 may have higher transmittance. For example, the transmittance of the partially transmissive partially absorbent layer 103 and the partially transmissive partially absorbent layer 104 is in the range of 30% to 70% (that is, 30% ≤ transmittance ≤ 70%).

부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 재료는, 산화이트륨을 포함할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 재료가 산화이트륨을 포함할 때, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)을 형성하는 방법은, 예를 들어, 산화이트륨을 포함하는 재료를 2개의 내측면(SSI) 상에 도포하여 소결하는 것이지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 산화이트륨의 비율을 제어함으로써, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 투과율을 제어할 수 있다. 산화이트륨의 비율이 높을수록, 부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)의 투과율이 낮아진다. 반대로, 산화이트륨의 비율이 낮을수록, 부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)의 투과율이 높아진다.Materials of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 may include, but are not limited to, yttrium oxide. When the material of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 includes yttrium oxide, the method of forming the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 is, for example, A material containing yttrium oxide is coated on the two inner surfaces (SSI) and sintered, but the present invention is not limited thereto. By controlling the ratio of yttrium oxide, the transmittance of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 can be controlled. The higher the ratio of yttrium oxide, the lower the transmittance of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 . Conversely, the lower the ratio of yttrium oxide, the higher the transmittance of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 .

부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)을 각각 2개의 내측면(SSI)에 설치함으로써, 광투과체의 양측(2개의 내측면(SSI))의 응력을 저감시키고, 이에 따라 엑시머 램프(1)의 사용 수명을 늘릴 수 있다. 또한, 부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)의 일부의 광을 투과시키는 특성을 이용하여, 방전용 가스(101)가 발생한 광이 광투과체(100)의 제2 내표면(SI2)으로부터 사출될 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 광투과체(100)의 2개의 내측면(SSI)으로부터도 사출될 수 있어 조사 면적을 증가시키는 효과를 달성한다. 따라서, 엑시머 램프(1)는, 조명 면적을 늘림과 동시에, 램프의 필요한 수(또는 방전 용기(10))를 줄일 수 있다.By providing the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 on the two inner surfaces SSI, respectively, the stress on both sides (two inner surfaces SSI) of the light transmitting body is reduced, and accordingly The service life of the excimer lamp 1 can be extended. In addition, the light generated by the discharge gas 101 is transmitted to the second inner surface of the light transmitting body 100 by using the light transmitting property of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 . Not only can it be emitted from SI2, but it can also be emitted from the two inner surfaces SSI of the light transmitting body 100, thereby achieving the effect of increasing the irradiation area. Accordingly, the excimer lamp 1 can reduce the required number of lamps (or the discharge vessel 10 ) while increasing the illumination area.

실시예에서는, 엑시머 램프(1)의 제1 방향(X)의 폭(즉, 2개의 외측면(SSO)의 사이의 거리(D))을 증가시킴으로써 엑시머 램프(1)의 제1 방향(X) 상의 조명 면적을 늘릴 수도 있다. 예를 들어, 2개의 외측면(SSO)의 사이의 거리(D)는, 40mm보다 클 수 있고, 예를 들어 70mm일 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다.In the embodiment, the first direction X of the excimer lamp 1 by increasing the width (ie, the distance D between the two outer surfaces SSO) in the first direction X of the excimer lamp 1 . ), the lighting area of the image can be increased. For example, the distance D between the two outer surfaces SSO may be greater than 40 mm, for example, 70 mm, but is not limited thereto.

이 실시예에서는, 2개의 내측면(SSI)과 2개의 외측면(SSO)은, 모두 곡면이다. 곡면의 설계를 채용하는 것은, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)을 형성(도포 등)하기 쉬워질 수 있을 뿐만 아니라, 광의 사출에도 유리하다. 단, 광투과체(100)의 각 표면의 곡률 또는 형상은, 필요에 따라 변경할 수 있고, 이에 한정하는 것은 아니다.In this embodiment, the two inner surfaces SSI and the two outer surfaces SSO are both curved surfaces. Adopting a curved design can not only make it easier to form (apply, etc.) the partially transmissive partial absorption layer 103 and the partially transmissive partial absorption layer 104, but is also advantageous in light emission. However, the curvature or shape of each surface of the light transmitting body 100 can be changed as needed, and is not limited thereto.

본 실시예에서는, 반사층(102)과 부분 투과 부분 흡수층(103)(또는 부분 투과 부분 흡수층(104))의 경계는, 제1 내표면(SI1)과 내측면(SSI)의 경계에 있고, 또한 반사층(102)과 부분 투과 부분 흡수층(103)(또는 부분 투과 부분 흡수층(104))은 서로 겹치지 않는다. 단, 반사층(102), 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 상대적인 설치 관계는, 필요에 따라 변경할 수 있고, 도 1에 도시된 것에 한정하는 것은 아니다. 실시예에서는, 반사층(102)과 부분 투과 부분 흡수층(103)(또는 부분 투과 부분 흡수층(104))의 경계 개소에서, 반사층(102)과 부분 투과 부분 흡수층(103)(또는 부분 투과 부분 흡수층(104))이 부분적으로 서로 겹칠 수 있다.In the present embodiment, the boundary between the reflective layer 102 and the partially transmissive partial absorption layer 103 (or the partially transmissive partial absorption layer 104) is at the boundary between the first inner surface SI1 and the inner surface SSI, and The reflective layer 102 and the partially transmissive partially absorbing layer 103 (or the partially transmissive partially absorbing layer 104) do not overlap each other. However, the relative installation relationship of the reflective layer 102 , the partially transmissive partially absorbing layer 103 , and the partially transmissive partially absorbing layer 104 can be changed as necessary, and is not limited to that illustrated in FIG. 1 . In the embodiment, at the boundary between the reflective layer 102 and the partially transmissive partially absorbing layer 103 (or the partially transmissive partially absorbing layer 104), the reflective layer 102 and the partially transmissive partially absorbing layer 103 (or the partially transmissive partially absorbing layer) 104)) may partially overlap each other.

또, 부분 투과 부분 흡수층(103) 및 부분 투과 부분 흡수층(104)의 투과율을 30%~70%로 함으로써, 엑시머 램프(1)의 광강도 분포를 제어할 수 있다.In addition, the light intensity distribution of the excimer lamp 1 can be controlled by setting the transmittances of the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 to 30% to 70%.

제1 전극(11)은, 제1 외표면(SO1)에 설치된다. 제1 전극(11)은, 광의 전송 경로 밖에 위치하기(즉, 제1 전극(11)은 광의 전송 경로 상에 위치하지 않기) 때문에, 제1 전극(11)의 형상 또는 재료는 특별히 한정하는 것은 아니다. 구체적으로는, 제1 전극(11)은, 광투과성 재료(금속 산화물 등) 또는 비광투과 재료(금속 또는 합금 등)를 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 제1 전극(11)은, 제1 외표면(SO1) 상에 설치된 연속 도전막 또는 패턴화 전극(그리드 전극 등)이어도 된다.The first electrode 11 is provided on the first outer surface SO1 . Since the first electrode 11 is located outside the light transmission path (that is, the first electrode 11 is not located on the light transmission path), the shape or material of the first electrode 11 is not particularly limited. not. Specifically, the first electrode 11 can be formed using a light-transmitting material (such as a metal oxide) or a non-light-transmitting material (such as a metal or alloy). Further, the first electrode 11 may be a continuous conductive film or a patterned electrode (such as a grid electrode) provided on the first outer surface SO1 .

예를 들어, 제1 전극(11)의 재료는, 금, 은, 구리 또는 니켈을 포함할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 도전성과 내구성의 관점에서, 제1 전극(11)의 재료는 금인 것이 바람직하다. 제1 전극(11)을 형성하는 방법은, 스크린 인쇄 및 소결을 포함할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 제1 전극(11)의 재료가 금일 때, 금을 스크린 인쇄에 의해 제1 외표면(SO1) 상에 형성할 수 있고, 또한 800℃~900℃의 온도 범위 내에서 금이 인쇄된 방전 용기(10)에 대해 10분간~20분간 소결을 행하여 형성할 수 있다.For example, the material of the first electrode 11 may include gold, silver, copper, or nickel, but is not limited thereto. From the viewpoint of conductivity and durability, the material of the first electrode 11 is preferably gold. A method of forming the first electrode 11 may include, but is not limited to, screen printing and sintering. When the material of the first electrode 11 is gold, gold can be formed on the first outer surface SO1 by screen printing, and the discharge container ( 10) can be formed by sintering for 10 minutes to 20 minutes.

제1 전극(11)은, 리드선(도시생략) 또는 다른 부재를 통해 전원(도시생략)에 전기적으로 접속할 수 있다.The first electrode 11 can be electrically connected to a power source (not shown) via a lead wire (not shown) or another member.

제2 전극(12)은, 제2 외표면(SO2)에 설치된다. 제2 전극(12)은, 엑시머 램프(1)의 광출사 측에 위치(즉, 제2 전극(12)은 엑시머 램프(1)와 도시하지 않은 피조사체의 사이에 위치)하기 때문에, 제2 전극(12)은, 광투과 전극을 이용하여, 제2 외표면(SO2)의 개구율을 80% 이상(즉, 개구율≥80%)으로 유지한다. 광투과 전극은, 그리드 전극으로 할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다.The second electrode 12 is provided on the second outer surface SO2. Since the second electrode 12 is positioned on the light output side of the excimer lamp 1 (that is, the second electrode 12 is positioned between the excimer lamp 1 and an irradiated object not shown), the second electrode 12 is The electrode 12 maintains the aperture ratio of the second outer surface SO2 at 80% or more (ie, aperture ratio ≥ 80%) by using a light-transmitting electrode. The light-transmitting electrode can be a grid electrode, but is not limited thereto.

예를 들어, 제2 전극(12)의 재료는, 금, 은, 구리 또는 니켈을 포함할 수 있지만, 이들에 한정하는 것은 아니다. 도전성과 내구성의 관점에서, 제2 전극(12)의 재료는 금인 것이 바람직하다. 제2 전극(12)을 형성하는 방법은, 스크린 인쇄 및 소결을 포함할 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 제2 전극(12)의 재료가 금일 때, 상기 제1 전극(11)의 형성 방법을 참조함으로써, 제2 전극(12)을 형성할 수 있다.For example, the material of the second electrode 12 may include, but is not limited to, gold, silver, copper, or nickel. From the viewpoint of conductivity and durability, the material of the second electrode 12 is preferably gold. A method of forming the second electrode 12 may include, but is not limited to, screen printing and sintering. When the material of the second electrode 12 is gold, the second electrode 12 may be formed by referring to the method of forming the first electrode 11 .

제2 전극(12)은, 리드선(도시생략) 또는 다른 부재를 통해 전원(도시생략)에 전기적으로 접속할 수 있다.The second electrode 12 can be electrically connected to a power source (not shown) via a lead wire (not shown) or another member.

도 2는, 도 1의 제2 전극(12)의 부분 정면도이다. 제2 전극(12)은 그리드 전극이다. 그리드 전극은, 복수의 광투과 개구(O)를 가진다. 광투과 개구(O)가 클수록, 제2 외표면(SO2)의 개구율은 커지고, 축적 광량(자외선 강도에 조사 초수를 곱한 값과 동일함)은 커지지만, 방전 현상(filament)은 감소한다. 한편, 광투과 개구(O)가 작을수록, 제2 외표면(SO2)의 개구율은 작아지고, 축적 광량은 적어지지만, 방전 현상(filament)은 증대한다. 제2 외표면(SO2)의 개구율과 방전 현상(filament)을 고려하여, 복수의 광투과 개구(O)의 형상은 직사각형으로 설계된다. 나아가 직사각형의 장변(LS)은, 제2 외표면(SO2)의 장변(도시생략)에 평행하고, 예를 들어, 직사각형의 장변(LS) 및 제2 외표면(SO2)의 장변은, 모두 제2 방향(Y)에 평행하다. 본 실시예에서는, 직사각형의 장변(LS)의 길이(L)는, 2.8mm보다 클 수 있고, 예를 들어 5.6mm일 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 또한, 직사각형의 단변(SS)의 길이(W)는 2.4mm이어도 되지만, 이에 한정되지 않는다.FIG. 2 is a partial front view of the second electrode 12 of FIG. 1 . The second electrode 12 is a grid electrode. The grid electrode has a plurality of light-transmitting openings (O). As the light-transmitting opening O is larger, the aperture ratio of the second outer surface SO2 becomes larger, and the amount of accumulated light (equivalent to the UV intensity multiplied by the number of irradiation seconds) becomes larger, but the discharge filament decreases. On the other hand, as the light-transmitting opening O is smaller, the aperture ratio of the second outer surface SO2 decreases, and the amount of accumulated light decreases, but the discharge filament increases. In consideration of the aperture ratio of the second outer surface SO2 and the discharge phenomenon (filament), the shapes of the plurality of light-transmitting apertures O are designed to be rectangular. Furthermore, the long side LS of the rectangle is parallel to the long side (not shown) of the second outer surface SO2, for example, the long side LS of the rectangle and the long side of the second outer surface SO2 are both the second 2 is parallel to the direction (Y). In the present embodiment, the length L of the long side LS of the rectangle may be greater than 2.8 mm, for example, 5.6 mm, but is not limited thereto. In addition, although the length W of the short side SS of a rectangle may be 2.4 mm, it is not limited to this.

도 3은, 실험예 및 비교예의 조사 폭과 상대 UV 강도의 관계도이다. 도 3의 상반부는, 실험예의 엑시머 램프(도 1의 엑시머 램프(1))를 모식적으로 나타내고 있지만, 도 1의 제1 전극(11) 및 제2 전극(12)을 생략한다. 도 3의 하반부는, 엑시머 램프로부터 출력되는 자외선의 조사 폭과 상대 UV 강도의 관계도이며, 곡선(C1)과 곡선(C2)은 각각 실험예와 비교예의 관계 곡선이다.3 is a diagram showing the relationship between the irradiation width and relative UV intensity of Experimental Examples and Comparative Examples. Although the upper half of FIG. 3 schematically shows the excimer lamp (excimer lamp 1 of FIG. 1) of an experimental example, the 1st electrode 11 and the 2nd electrode 12 of FIG. 1 are abbreviate|omitted. The lower half of FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the irradiation width of ultraviolet rays output from the excimer lamp and the relative UV intensity, and curves C1 and C2 are relational curves between the experimental example and the comparative example, respectively.

비교예와 실험예의 주요 차이는, 비교예에서는, 2개의 내측면(SSI)에 부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)이 설치되지 않고, 또한 반사층(102)이 제1 내표면(SI1)과 2개의 내측면(SSI)에 설치되어 있는 것에 있다. 또, 실험예의 2개의 부분 투과 부분 흡수층의 투과율은 40%~50%이다.The main difference between the comparative example and the experimental example is that in the comparative example, the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 are not provided on the two inner surfaces (SSI), and the reflective layer 102 is formed in the first inner surface (SSI). It exists in what is provided in the surface SI1 and two inner surface SSI. In addition, the transmittances of the two partially permeable partial absorption layers of the experimental example are 40% to 50%.

곡선(C1)과 곡선(C2)으로부터 알 수 있는 바와 같이, 부분 투과 부분 흡수층(103)과 부분 투과 부분 흡수층(104)을 2개의 내측면(SSI)에 설정함으로써, 조사 면적(또는 자외선의 조사 폭)을 유효하게 향상시킬 수 있는 것에 더하여, 동일한 조명 조건하에서 더욱 축적 광량을 유효하게 늘릴 수 있다.As can be seen from the curves C1 and C2, by setting the partially transmissive partially absorbing layer 103 and the partially transmissive partially absorbing layer 104 on the two inner surfaces SSI, the irradiation area (or the irradiation of ultraviolet rays) width) can be effectively improved, and the amount of accumulated light can be effectively increased further under the same lighting conditions.

요약하면, 본 발명의 실시예에서는, 2개의 부분 투과 부분 흡수층이 광투과체의 2개의 내측면에 각각 설치된다. 2개의 부분 투과 부분 흡수층은, 광투과체의 양측의 응력을 감소할 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 일부의 광을 투과시킬 수 있다. 따라서, 방전용 가스에서 발생한 광은, 광투과체의 제2 내표면으로부터 사출할 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 광투과체의 2개의 내측면으로부터도 사출할 수 있어 조사 면적을 증대시키는 효과를 달성한다. 그 때문에, 엑시머 램프는, 조명 면적을 늘림과 동시에, 램프의 필요한 수를 줄일 수 있다.In summary, in the embodiment of the present invention, two partially transmitting partially absorbing layers are respectively provided on the two inner surfaces of the light transmitting body. The two partially transmitting partially absorbing layers can not only reduce the stress on both sides of the light transmitting body, but also transmit some light. Therefore, the light generated from the discharge gas can be emitted not only from the second inner surface of the light transmitting member, but also can be emitted from the two inner surfaces of the light transmitting member, thereby achieving the effect of increasing the irradiation area. . Therefore, the excimer lamp can reduce the required number of lamps while increasing the illumination area.

실시예에서는, 엑시머 램프의 제1 방향의 폭(즉, 2개의 외측면의 사이의 거리)을 늘림으로써, 엑시머 램프의 제1 방향 상의 조사 면적을 늘릴 수 있다. 실시예에서는, 2개의 부분 투과 부분 흡수층의 형성과 광의 사출을 행하기 쉽게 하기 위해, 2개의 내측면과 2개의 외측면이 모두 곡면의 설계를 채용할 수 있다. 실시예에서는, 도전성과 내구성을 고려하여, 제1 전극 또는 제2 전극의 재료는 금으로 할 수 있다. 실시예에서는, 제2 전극은, 제2 외표면의 개구율을 80% 이상으로 유지하기 위해, 그리드 전극으로 할 수 있다. 실시예에서는, 제2 외표면의 개구율 및 방전 현상을 고려하여, 그리드 전극의 복수의 광투과 개구의 형상은 직사각형일 수 있고, 직사각형의 장변은, 제2 외표면의 장변에 평행할 수 있고, 직사각형의 장변의 길이는, 2.8mm보다 큰 것일 수 있다.In an embodiment, by increasing the width (ie, the distance between the two outer surfaces) of the excimer lamp in the first direction, the irradiation area of the excimer lamp in the first direction may be increased. In the embodiment, in order to facilitate formation of the two partially transmissive partial absorption layers and light emission, a design of curved surfaces may be adopted for both the two inner surfaces and the two outer surfaces. In an embodiment, in consideration of conductivity and durability, the material of the first electrode or the second electrode may be gold. In an embodiment, the second electrode may be a grid electrode in order to maintain the aperture ratio of the second outer surface to 80% or more. In an embodiment, in consideration of the aperture ratio of the second outer surface and the discharge phenomenon, the shape of the plurality of light-transmitting openings of the grid electrode may be a rectangle, and the long side of the rectangle may be parallel to the long side of the second outer surface, The length of the long side of the rectangle may be greater than 2.8 mm.

본 발명은, 상기와 같이 실시예를 개시하였지만, 이는 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니고, 통상의 기술자는, 본 발명의 정신 및 범위에서 벗어나지 않고 약간의 변경 및 수식을 행할 수 있으며, 따라서 본 발명의 보호범위는, 후술하는 청구범위가 정의하는 것을 기준으로 한다.Although the present invention has been disclosed in the embodiments as described above, it is not intended to limit the present invention, and those skilled in the art can make some changes and modifications without departing from the spirit and scope of the present invention, and thus the present invention The scope of protection is based on what is defined by the claims to be described later.

1 엑시머 램프
10 방전 용기
11 제1 전극
12 제2 전극
100 광투과체
101 방전용 가스
102 반사층
103, 104 부분 투과 부분 흡수층
C1, C2 곡선
D 거리
L, W 길이
LS 장변
O 광투과 개구
SI1 제1 내표면
SI2 제2 내표면
SO1 제1 외표면
SO2 제2 외표면
SP 밀봉 공간
SS 단변
SSI 내측면
SSO 외측면
X 제1 방향
Y 제2 방향
Z 제3 방향1 excimer lamp
10 discharge vessel
11 first electrode
12 second electrode
100 light transmitting body
101 discharge gas
102 reflective layer
103, 104 Partially Transmissive Partial Absorbent Layer
C1, C2 curves
D street
L, W length
LS long side
O light-transmitting aperture
SI1 first inner surface
SI2 second inner surface
SO1 first outer surface
SO2 second outer surface
SP sealed space
SS short side
SSI inner side
SSO outer surface
X first direction
Y second direction
Z third direction

Claims

has a first outer surface, a second outer surface, two outer surfaces, a first inner surface, a second inner surface and two inner surfaces, wherein the two outer surfaces are respectively the first outer surface and the second outer surface and the two inner surfaces are respectively connected between the first inner surface and the second inner surface, and the first inner surface, the second inner surface and the two inner surfaces are sealed a light transmitting body forming a space; and
a gas for discharging located in the sealed space;
a reflective layer provided on the first inner surface;
a discharge vessel including two partially transmitting partially absorbing layers respectively provided on the two inner surfaces;
a first electrode installed on the first outer surface; and
a second electrode installed on the second outer surface; and
The excimer lamp, wherein the transmittance of the two partially transmitting partially absorbing layers is in the range of 30% to 70%.

The method according to claim 1,
The two inner surfaces and the two outer surfaces are both curved excimer lamps.

The method according to claim 1,
An excimer lamp in which a distance between the two outer surfaces is greater than 40 mm.

The method according to claim 1,
An excimer lamp in which the material of the reflective layer includes silicon dioxide.

The method according to claim 1,
An excimer lamp wherein the material of the two partially transmitting partially absorbing layers includes yttrium oxide.

delete

The method according to claim 1,
and the second electrode is a grid electrode.

8. The method of claim 7,
The grid electrode has a plurality of light-transmitting openings, and the plurality of light-transmitting openings have a rectangular shape.

9. The method of claim 8,
an excimer lamp in which a long side of the rectangle is parallel to a long side of the second outer surface.

10. The method of claim 9,
An excimer lamp wherein the length of the long side of the rectangle is greater than 2.8 mm.