KR101424572B1 - Excimer lamp with separable reflector and electrode - Google Patents

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KR101424572B1
KR101424572B1 KR1020130057730A KR20130057730A KR101424572B1 KR 101424572 B1 KR101424572 B1 KR 101424572B1 KR 1020130057730 A KR1020130057730 A KR 1020130057730A KR 20130057730 A KR20130057730 A KR 20130057730A KR 101424572 B1 KR101424572 B1 KR 101424572B1
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주윤관
최병노
김건래
정재희
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주식회사 원익큐엔씨
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Abstract

Provided in the present invention is an excimer lamp with separable reflector and electrode which can reduce the manufacturing cost and maintenance cost and has excellent durability. The excimer lamp with separable reflector and electrode according to the present invention comprises a discharge container having the upper surface and the lower surface and allowing a discharge gas to be filled in an inner space and radiating ultraviolet rays, and has the upper surface and the lower surface made of a light transmitting material; a reflecting part arranged on the outer side of the upper surface to face the upper surface; the upper electrode combined with the reflecting part, and arranged between the reflecting part and the upper surface; and an lower electrode arranged on the outer side of the lower surface.

Description

반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프{EXCIMER LAMP WITH SEPARABLE REFLECTOR AND ELECTRODE}EXCIMER LAMP WITH SEPARABLE REFLECTOR AND ELECTRODE [0002]

본 발명은 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프에 관한 것으로, 구체적으로는 엑시머광을 조사하기 위한 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프에 관한 것이다. The present invention relates to a reflective portion and an electrode-detachable excimer lamp, and more particularly, to a reflective portion and an electrode-detachable excimer lamp for irradiating excimer light.

엑시머 램프는 엑시머 방전에 의해서 엑시머 분자를 형성하고, 엑시머 분자로부터 방사되는 광을 이용하는 램프로서, 단일 파장의 진공 자외광을 강하게 방사하는 특징을 지니고 있다. 방전용 가스로는 크세논 가스 등이 사용되며, 방전 용기 내의 방전용 가스를 바꿈으로써, 여러 가지 파장의 광을 방사할 수 있다. 주로 액정 표시 패널 기판 표면에 부착된 유기물의 분해 제거, 세정, 패널 기판의 표면 개질 또는 광화학 반응 등에 이용되고 있다. An excimer lamp is a lamp which forms excimer molecules by excimer discharge and uses light emitted from excimer molecules, and has a characteristic of emitting a strong ultraviolet ray of a single wavelength of vacuum ultraviolet rays. Xenon gas or the like is used as the discharge gas. By changing the discharge gas in the discharge vessel, various wavelengths of light can be emitted. Is mainly used for decomposition and removal of organic substances adhered to the surface of a liquid crystal display panel substrate, cleaning, surface modification of a panel substrate, or photochemical reaction.

도 1은 종래 기술에 따른 엑시머 램프의 사시도, 및 도 2는 종래 기술에 따른 엑시머 램프의 단면도이다. 종래 기술에 따른 엑시머 램프는 서로 대향하는 상부면(11) 및 하부면(12)을 가지고, 상부면(11) 및 하부면(12)은 측부면에 의해 연결되는 방전 용기(10)를 포함한다. 방전 용기(10) 내부에는 방전용 가스가 봉입되고, 메시(Mesh) 구조를 가지는 상부 전극(20)과 하부 전극(21)이 각각 상부면(11) 및 하부면(12)에 접하여 배치된다. 상부 전극(20) 및 하부 전극(21)에 전원이 공급되면 방전 용기(10) 내에 엑시머 분자가 형성되어 자외선이 방사될 수 있다. FIG. 1 is a perspective view of an excimer lamp according to the related art, and FIG. 2 is a sectional view of an excimer lamp according to the related art. The excimer lamp according to the prior art includes a discharge vessel 10 having an upper surface 11 and a lower surface 12 facing each other and an upper surface 11 and a lower surface 12 connected by a side surface . A discharge gas is sealed in the discharge vessel 10 and an upper electrode 20 and a lower electrode 21 having a mesh structure are disposed in contact with the upper surface 11 and the lower surface 12 respectively. When power is supplied to the upper electrode 20 and the lower electrode 21, excimer molecules are formed in the discharge vessel 10 to emit ultraviolet rays.

이때, 상부면(11)의 내면에는 반사막(30)이 형성되고, 자외선이 반사막(30)에 의해 하부면(12) 측으로 반사될 수 있다. 따라서, 하부면(12)을 향하여 방사되는 자외선과, 반사막(30)에 의해 하부면(12)으로 향하는 자외선을 하부면(12)을 통하여 동시에 조사할 수 있으므로 높은 효율로 자외선을 방사하는 것이 가능하다. 반사막(30)은 반사율이 높은 것이 바람직하며, 실리카, 알루미나, 산화 알루미늄 등의 재질이 사용될 수 있다. At this time, a reflection film 30 is formed on the inner surface of the upper surface 11, and ultraviolet rays can be reflected to the lower surface 12 side by the reflection film 30. Therefore, the ultraviolet rays radiated toward the lower surface 12 and the ultraviolet rays directed toward the lower surface 12 by the reflective film 30 can be simultaneously irradiated through the lower surface 12, so that it is possible to emit ultraviolet rays with high efficiency Do. The reflective film 30 preferably has a high reflectance, and may be made of a material such as silica, alumina, or aluminum oxide.

반사막(30)의 제조에 있어서, 실리카 입자는 고상법, 액상법, 기상법 등을 통하여 제조할 수 있고, 실리카 입자 등을 용제에 혼합하여 분산액을 제조할 수 있다. 제조된 분산액을 방전 용기(10)의 상부면(11) 내면에 도포하고, 건조 및 소성시킬 수 있으며, 도포 과정을 3 내지 4회 반복하여 반사막(30)을 형성한다.In the production of the reflective film 30, the silica particles can be produced by a solid phase method, a liquid phase method, a vapor phase method or the like, and a dispersion can be prepared by mixing silica particles or the like with a solvent. The prepared dispersion can be coated on the inner surface of the top surface 11 of the discharge vessel 10, dried and fired, and the coating process is repeated 3 to 4 times to form the reflective film 30.

하지만, 종래 기술에 따른 엑시머 램프는, 점등 상태에서 반사막(30)의 단부에 이상 방전이 발생할 수 있고, 이 경우에 방전 에너지의 소비 균형이 깨져 자외선의 조도 편차가 발생하여 균일한 조사가 불가능한 문제점이 있다. However, in the excimer lamp according to the related art, an abnormal discharge may occur at the end portion of the reflective film 30 in the turned-on state, and in this case, the consumption balance of the discharge energy is broken and the illuminance deviation of the ultraviolet ray occurs, .

또한, 이상 방전의 발생에 의해 반사막(30)의 단부가 박리될 수 있고, 엑시머 방전에 수반하여 발생하는 플라즈마에 의해 반사막(30)의 온도가 국소적으로 급격하게 상승하여 반사막(30)이 용융되어 손상될 수 있는 문제점이 있다.Further, the edge of the reflective film 30 can be peeled off by the occurrence of the abnormal discharge, and the plasma generated by the excimer discharge causes the temperature of the reflective film 30 to rise locally so that the reflective film 30 is melted There is a problem that it can be damaged.

상기 이유들로 인한 조도 불균일 및 조도 저하는, 일반 램프와는 달리 액정 표시 패널 기판 표면에 부착된 유기물의 분해 제거, 세정, 패널 기판의 표면 개질 또는 광화학 반응 등의 정밀 작업에 주로 사용되는 엑시머 램프에 있어서 치명적이므로 발생하지 않도록 하는 것이 중요하다. Unevenness in illumination and degradation of illumination due to the above-mentioned reasons may be caused by an excimer lamp which is mainly used for precise work such as decomposition and removal of organic substances adhered to the surface of a liquid crystal display panel substrate, cleaning, surface modification of a panel substrate, It is important to prevent it from occurring.

또한, 상기에 기재된 바와 같이 반사막(30) 도포 과정을 3 내지 4회 반복하는 등, 반사막(30)의 제조 공정이 복잡하고, 이로 인하여 제조 비용이 비싸며, 제조 과정에서 방전 용기(10)에 불순물이 유입되어 불량이 발생하기 쉬운 단점이 있다.Further, as described above, the process of applying the reflective film 30 is repeated three to four times, and the manufacturing process of the reflective film 30 is complicated. As a result, the manufacturing cost is high, and impurities So that defects tend to occur.

또한, 일반적으로 엑시머 램프의 전극은 금(Au)이나 백금(Pt) 등의 고가의 금속이 사용되므로 생산 원가가 높은 단점이 있다. In addition, since the expensive metal such as gold (Au) or platinum (Pt) is generally used as the electrode of the excimer lamp, the production cost is high.

또한, 반사막(30)의 수명이 다하거나 손상되는 경우에 반사막(30)의 교체 등이 불가능하여 엑시며 램프 전체를 교환해야 하므로 유지 보수 비용이 높은 문제점이 있다. In addition, when the lifetime of the reflective film 30 is shortened or damaged, the reflective film 30 can not be replaced, and the entirety of the lamp must be replaced.

본 발명은 조도 저하 및 조도 불균일 등을 방지하고, 내구성을 높일 수 있는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프를 제공함에 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a reflective portion and an electrode-detachable excimer lamp capable of preventing degradation of illumination and unevenness of illumination and enhancing durability.

또한, 본 발명은 제조가 용이하고, 불량률을 줄일 수 있는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프를 제공함에 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a reflector and an electrode-detachable excimer lamp which are easy to manufacture and can reduce the defect rate.

또한, 본 발명은 제조 비용 및 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프를 제공함에 또 다른 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a reflector and an electrode-detachable excimer lamp capable of reducing manufacturing cost and maintenance cost.

본 발명에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프는, 상부면, 및 하부면을 가지고 내부 공간에 방전용 가스가 봉입되어 자외선을 방사하고, 상기 상부면 및 상기 하부면은 광 투과성 재질인 방전 용기; 상기 상부면의 외측에 상기 상부면과 대향하도록 배치되는 반사부; 상기 반사부에 결합되고, 상기 반사부와 상기 상부면의 사이에 배치되는 상부 전극; 상기 하부면의 외측에 배치되는 하부 전극을 포함할 수 있다.The reflector and the excimer lamp according to the present invention have an upper surface and a lower surface, and discharge gas is sealed in the inner space to emit ultraviolet rays. The upper surface and the lower surface are made of a light-transmitting material. A reflector disposed outside the upper surface so as to face the upper surface; An upper electrode coupled to the reflective portion and disposed between the reflective portion and the upper surface; And a lower electrode disposed outside the lower surface.

바람직하게는, 상기 반사부는, 광 투과성의 투광판; 및 상기 투광판의 일면에 접합되는 반사막을 포함할 수 있다.Preferably, the reflective portion includes a light-transmissive translucent plate; And a reflective film bonded to one surface of the transparent plate.

바람직하게는, 상기 투광판은 상기 반사막과 상기 상부 전극 사이에 배치되고, 상기 상부 전극은 상기 투광판에 접합될 수 있다.Preferably, the translucent plate is disposed between the reflective film and the upper electrode, and the upper electrode is bonded to the translucent plate.

바람직하게는, 상기 반사막은 알루미늄, 크롬, 니켈, 및 질산은 중 어느 하나 이상의 재질로 이루어질 수 있다.Preferably, the reflective layer is made of at least one of aluminum, chromium, nickel, and silver nitrate.

바람직하게는, 상기 반사막은 정전 접합, 진공 증착, 스퍼터링 또는 에칭에 의해 상기 투광판에 접합될 수 있다.Preferably, the reflective film may be bonded to the translucent plate by electrostatic bonding, vacuum deposition, sputtering or etching.

바람직하게는, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극은 망 형상을 가질 수 있다.Preferably, the upper electrode and the lower electrode may have a net shape.

본 발명의 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프는, 조도 저하 및 조도 불균일 등을 방지하고, 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 제조가 용이하고, 불량률을 줄일 수 있으며, 제조 비용 및 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The reflector portion and the electrode-detachable excimer lamp of the present invention have an effect of preventing the lowering of the illuminance, the unevenness of the illuminance, and the like and enhancing the durability. Further, the manufacturing is easy, the defect rate can be reduced, and the manufacturing cost and the maintenance cost can be reduced.

도 1은 종래 기술에 따른 엑시머 램프의 사시도,
도 2는 종래 기술에 따른 엑시머 램프의 단면도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 사시도,
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 방전 용기의 사시도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 반사부의 사시도, 및
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 단면도이다. 1 is a perspective view of an excimer lamp according to the prior art,
2 is a cross-sectional view of an excimer lamp according to the prior art,
FIG. 3 is a perspective view of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 4A and 4B are perspective views of a discharge vessel of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention;
FIG. 5 is a perspective view of a reflector of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention, and FIG.
6A and 6B are cross-sectional views of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the particular embodiments, It is to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the scope. It should also be understood that various equivalents and modifications may be substituted for those at the time of the present application.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In the following description of the present invention with reference to the accompanying drawings, the same components are denoted by the same reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 사시도, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 방전 용기의 사시도, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 반사부의 하부를 나타내는 사시도, 및 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프의 단면도이다. FIG. 3 is a perspective view of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention, FIGS. 4A and 4B are perspective views of a discharge vessel of a reflector and an electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention, FIGS. 6A and 6B are cross-sectional views of a reflector and an excimer lamp according to an embodiment of the present invention. FIG. 6A and FIG. 6B are perspective views showing a lower portion of a reflector of a reflector and an electrode detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프는 방전 용기(100), 하부 전극(200), 및 반사부(300)를 포함한다. The reflector and the electrode-detachable excimer lamp according to an embodiment of the present invention include a discharge vessel 100, a lower electrode 200, and a reflector 300.

방전 용기(100)는 서로 대향하는 상부면(110) 및 하부면(120)을 가지고, 상부면(110) 및 하부면(120)은 측부면에 의해 연결되어 내부 공간이 형성된다. 방전 용기(100)의 내부에는 방전용 가스가 봉입되고, 메시(Mesh) 구조를 가지는 하부 전극(200)이 하부면(120)에 접합된다. 방전 가스로는 크세논 가스가 사용될 수 있으며, 요구되는 광 파장에 따라 크립톤 가스, 아르곤 가스, 플루오르 가스, 염소 가스, 또는 이들의 혼합 가스 등도 사용될 수 있다. The discharge vessel 100 has an upper surface 110 and a lower surface 120 facing each other and an upper surface 110 and a lower surface 120 are connected by side surfaces to form an inner space. A discharge gas is sealed in the discharge vessel 100 and a lower electrode 200 having a mesh structure is bonded to the lower surface 120. As the discharge gas, xenon gas may be used, and depending on the required light wavelength, krypton gas, argon gas, fluorine gas, chlorine gas, or a mixed gas thereof may also be used.

본 발명의 일실시예에 따르면 방전 용기(100)는 실리카 유리 재질일 수 있으며, 적어도 상부면(110)과 하부면(120)은 빛이 투과할 수 있도록 형성된다. According to an embodiment of the present invention, the discharge vessel 100 may be made of silica glass, and at least the upper surface 110 and the lower surface 120 are formed so as to transmit light.

반사부(300)는 투광판(310), 반사막(320) 및 상부 전극(330)을 포함하고, 투광판(310)의 일면에는 반사막(320)이 배치되고, 반대면에는 상부 전극(330)이 배치된다. 투광판(310)은 무알칼리 유리 재질 또는 실리카 유리 재질일 수 있고, 반사막(320)은 알루미늄 재질의 알루미늄 포일(Foil)로 이루어진다. 반사막(320)은 투광판(310)의 일면에 밀착하도록 접착되는데, 본 발명의 일실시예에 따르면 정전 접합에 의해 접합될 수 있다. 또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 반사막(320)은 크롬, 니켈 또는 질산은 등으로 이루어질 수 있고, 진공 증착, 스퍼터링 또는 에칭 등에 의해 투광판(310)에 형성될 수 있다.The reflective portion 300 includes a transparent plate 310, a reflective layer 320 and an upper electrode 330. The reflective layer 320 is disposed on one side of the transparent plate 310 and the upper electrode 330 is disposed on the opposite side. . The light transmitting plate 310 may be made of an alkali-free glass material or a silica glass material, and the reflection film 320 is made of an aluminum foil of aluminum. The reflective film 320 is adhered to one surface of the translucent plate 310 in a close contact manner, and may be bonded by electrostatic bonding according to an embodiment of the present invention. According to another embodiment of the present invention, the reflective film 320 may be formed of chromium, nickel, silver nitrate, or the like, and may be formed on the transparent plate 310 by vacuum deposition, sputtering, etching, or the like.

상부 전극(330)은 알루미늄 또는 질산은 재질을 가지고, 투광판(310)의 타면에 접합된다. 본 발명의 일실시예에 따르면 상부 전극(330) 및 하부 전극은 스퍼터링, 진공 증착, 실크스크린 및 에칭 등에 의해 형성될 수 있다. The upper electrode 330 has an aluminum or silver nitrate material and is bonded to the other surface of the transparent plate 310. According to one embodiment of the present invention, the upper electrode 330 and the lower electrode may be formed by sputtering, vacuum deposition, silk screen, etching, or the like.

반사부(300)는 방전 용기(100)의 상부에 배치되는데, 상부 전극(330)이 방전 용기(100)의 상부면(110)에 접하도록 배치된다.The reflective portion 300 is disposed on the upper portion of the discharge vessel 100 so that the upper electrode 330 is in contact with the upper surface 110 of the discharge vessel 100.

상부 전극(330) 및 하부 전극(200)은 전원에 연결되고, 상부 전극(330) 및 하부 전극(200)에 전류가 인가되면 방전 용기(100) 내에 엑시머 분자가 형성되어 자외선이 방사될 수 있다. 발생되는 자외선의 일부는 방전 용기(100)의 하부면(120)으로 향하고, 일부는 상부면(110)으로 향하는데, 상부면(110)으로 향하는 자외선은 반사막(320)에 의해 반사되어 하부면(120)으로 향하게 된다. 따라서, 피처리체의 표면 처리 등의 공정을 수행할 수 있으며, 장시간 사용에 의해 반사막(320) 등이 손상되는 경우에는, 반사부(300)만을 분리하여 교체할 수 있다.The upper electrode 330 and the lower electrode 200 are connected to a power source and when an electric current is applied to the upper electrode 330 and the lower electrode 200, excimer molecules are formed in the discharge vessel 100, . A part of ultraviolet rays generated is directed to the lower surface 120 of the discharge vessel 100 and a part thereof is directed to the upper surface 110. Ultraviolet rays directed toward the upper surface 110 are reflected by the reflection film 320, (Not shown). Therefore, it is possible to perform a process such as surface treatment of the object to be processed, and when the reflective film 320 is damaged by long use, only the reflective portion 300 can be removed and replaced.

또한, 상부 전극(330)이 고온에 노출되는 방전 용기(100)의 상부면(110)에 접합되지 않고 투광판(310)에 접합되므로, 상부면(110)에 접합되는 경우에 발생할 수 있는 상부 전극(330)에 축적되는 열응력을 감소시킬 수 있다. 따라서, 발광 효율 향상과 발광관 수명 연장이 가능하고, 상부 전극(330)을 금이나 백금 등의 고가의 재질 대신에 저가의 알루미늄이나 질산은 등으로 형성할 수 있어 원가 절감이 가능하다.
Since the upper electrode 330 is bonded to the transparent plate 310 without being bonded to the upper surface 110 of the discharge vessel 100 exposed to a high temperature, The thermal stress accumulated in the electrode 330 can be reduced. Therefore, the luminous efficiency can be improved and the life of the arc tube can be extended, and the upper electrode 330 can be formed of low-cost aluminum or silver nitrate instead of expensive materials such as gold or platinum.

한편, 상기에 기재된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따르면, 방전 용기(100)는 실리카 유리 재질이고, 투광판(310)은 무알칼리 유리 재질일 수 있으나 이에 한정된 것은 아니며, 광 투과율이 좋고, 열에 강한 어떠한 재질이라도 가능하다. 또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 반사막(320)은 알루미늄 재질일 수 있으나 이에 한정된 것은 아니고, 광 반사율이 좋고, 열에 강하며, 투광판(310)과의 접합성이 좋은 어떠한 재질이라도 가능하다.
As described above, according to an embodiment of the present invention, the discharge vessel 100 may be made of silica glass, and the transparent plate 310 may be made of alkali-free glass, but not limited thereto, Any material resistant to heat is possible. In addition, according to an embodiment of the present invention, the reflective film 320 may be made of aluminum but is not limited thereto. The reflective film 320 may be made of any material having good light reflectance, strong heat, and good bonding with the transparent plate 310 .

종래 기술에 따른 엑시머 램프는, 점등 상태에서 반사막의 단부에 이상 방전이 발생할 수 있고, 이 경우에 방전 에너지의 소비 균형이 깨져 자외선의 조도 편차가 발생하여 균일한 조사가 불가능한 문제점이 있다.The excimer lamp according to the prior art can cause an abnormal discharge at the end portion of the reflective film in the turned-on state. In this case, the consumption balance of the discharge energy is broken, and the illuminance deviation of the ultraviolet ray occurs.

또한, 이상 방전의 발생에 의해 반사막의 단부가 박리될 수 있고, 엑시머 방전에 수반하여 발생하는 플라즈마에 의해 반사막의 온도가 국소적으로 급격하게 상승하여 반사막이 용융되어 손상되고, 조도 저하가 발생할 수 있는 문제점이 있다.In addition, the edge of the reflective film can be peeled off due to the occurrence of the abnormal discharge, and the plasma generated by the excimer discharge causes the temperature of the reflective film to rise locally so that the reflective film is melted and damaged, There is a problem.

또한, 반사막 도포 과정을 3 내지 4회 반복하는 등, 반사막의 제조 공정이 복잡하고, 이로 인하여 제조 비용이 높으며, 제조 과정에서 방전 용기에 불순물이 유입되어 불량이 발생하기 쉬운 단점이 있다.Further, the manufacturing process of the reflective film is complicated, such as repeating the process of applying the reflective film three to four times, resulting in high manufacturing cost, and impurities tend to flow into the discharge container during the manufacturing process.

또한, 일반적으로 엑시머 램프의 전극은 금(Au)이나 백금(Pt) 등의 고가의 금속이 사용되므로 생산 원가가 높은 단점이 있다. In addition, since the expensive metal such as gold (Au) or platinum (Pt) is generally used as the electrode of the excimer lamp, the production cost is high.

또한, 반사막의 수명이 다하거나 손상되는 경우에 반사막의 교체가 불가능하여 엑시며 램프 전체를 교환해야 하므로 유지 보수 비용이 높은 단점이 있다.
In addition, when the lifetime of the reflective film is shortened or damaged, the reflective film can not be replaced, and the entire lamp must be replaced. Thus, the maintenance cost is high.

하지만, 본 발명의 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프에 따르면, 반사막이 방전 용기로부터 분리되어 있으므로 이상 방전이 발생하지 않아, 조도 저하 및 조도 불균일 등을 방지할 수 있다.However, according to the reflector and the excimer lamp of the present invention, since the reflective film is separated from the discharge vessel, an anomalous discharge does not occur, and the degradation of illumination and uneven illumination can be prevented.

또한, 반사막이 방전 용기로부터 분리되어 있으므로 이상 방전이 발생하지 않고, 고온에 노출되지 않아 이로 인한 손상을 방지할 수 있어 내구성이 뛰어나며, 조도 저하 방지가 가능하다. In addition, since the reflective film is separated from the discharge vessel, an anomalous discharge does not occur, and it is not exposed to a high temperature, so damage caused by the discharge can be prevented, durability is excellent, and reduction in luminance can be prevented.

또한, 방전 용기 내면에 반사막을 형성하는 것에 비하여 제조가 용이하고, 제조 비용을 낮출 수 있으며, 방전 용기 내에 불순물이 유입될 수 있는 공정이 불필요하므로, 불량률을 줄일 수 있다.In addition, compared to forming the reflective film on the inner surface of the discharge vessel, it is easy to manufacture, the manufacturing cost can be lowered, and the process of allowing the impurities to flow into the discharge vessel is unnecessary.

또한, 상부 전극은 저가의 재질을 이용하여 생산할 수 있으므로, 제조 비용을 줄일 수 있다. Further, since the upper electrode can be produced using a low-cost material, the manufacturing cost can be reduced.

또한, 반사막 교체 시 반사부만 교체할 수 있으므로, 유지 보수 비용을 줄일 수 있다.Further, when the reflective film is replaced, only the reflective part can be replaced, thereby reducing the maintenance cost.

또한, 상부 전극이 고온에 노출되는 방전 용기에 접합되지 않고 투광판에 접합되므로, 상부면에 접합되는 경우에 발생할 수 있는 상부 전극의 열응력을 감소시킬 수 있다. 따라서, 발광 효율 향상과 발광관 수명 연장이 가능하고, 상부 전극을 금이나 백금 등의 고가의 재질 대신에 저가의 알루미늄이나 질산은 등으로 형성할 수 있어 원가 절감이 가능하다.
In addition, since the upper electrode is bonded to the transparent plate without being bonded to the discharge vessel exposed to a high temperature, the thermal stress of the upper electrode, which may occur when the upper electrode is bonded to the upper surface, can be reduced. Therefore, the luminous efficiency can be improved and the life of the arc tube can be extended, and the cost can be reduced because the upper electrode can be formed of inexpensive aluminum or silver nitrate instead of expensive materials such as gold or platinum.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.

100: 방전 용기 110: 상부면
120: 하부면 200: 하부 전극
300: 반사부 310: 투광판
320: 반사막 330: 상부 전극100: discharge vessel 110: upper surface
120: lower surface 200: lower electrode
300: reflector 310: translucent plate
320: reflective film 330: upper electrode

Claims (6)

상부면, 및 하부면을 가지고 내부 공간에 방전용 가스가 봉입되어 자외선을 방사하고, 상기 상부면 및 상기 하부면은 광 투과성 재질인 방전 용기;
상기 상부면의 외측에 상기 상부면과 대향하도록 배치되는 반사부;
상기 반사부에 결합되고, 상기 반사부와 상기 상부면의 사이에 배치되는 상부 전극; 및
상기 하부면의 외측에 배치되는 하부 전극
을 포함하고, 상기 반사부는,
광 투과성의 투광판; 및
상기 투광판의 일면에 접합되는 반사막
을 포함하며,
상기 투광판은 상기 반사막과 상기 상부 전극 사이에 배치되고, 상기 상부 전극은 상기 투광판에 접합되며, 상기 방전 용기의 상기 상부면이 상기 상부 전극에 접하고, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극은 망 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프.
An upper surface, and a lower surface, and a discharge gas is sealed in the inner space to emit ultraviolet rays, and the upper surface and the lower surface are made of a light-transmitting material;
A reflector disposed outside the upper surface so as to face the upper surface;
An upper electrode coupled to the reflective portion and disposed between the reflective portion and the upper surface; And
A lower electrode disposed on the outer side of the lower surface,
Wherein the reflective portion includes:
A light transmitting plate; And
A reflective film bonded to one surface of the transparent plate,
/ RTI >
Wherein the transparent plate is disposed between the reflective film and the upper electrode, the upper electrode is bonded to the transparent plate, the upper surface of the discharge container is in contact with the upper electrode, And an excimer lamp having an electrode separation type.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 반사막은 알루미늄, 크롬, 니켈, 및 질산은 중 어느 하나 이상의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프.
The method according to claim 1,
Wherein the reflective film is made of at least one of aluminum, chrome, nickel, and silver nitrate.
제4항에 있어서,
상기 반사막은 정전 접합, 진공 증착, 스퍼터링 또는 에칭에 의해 상기 투광판에 접합되는 것을 특징으로 하는 반사부 및 전극 분리형 엑시머 램프.
5. The method of claim 4,
Wherein the reflective film is bonded to the translucent plate by electrostatic bonding, vacuum deposition, sputtering or etching.
삭제delete
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