KR102432908B1 - Very fine powder recovery device and very fine powder recovery system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 함진 가스에 포함된 미세 분말을 포집하여 회수할 수 있는 미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템에 관한 것으로서, 속이 빈 통형상으로 형성되어, 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성되는 본체와, 상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 형성되는 가스 유입구 및 상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 상기 가스 유입구와 인접하게 형성되는 가스 배출구를 포함하고, 상기 본체는, 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되고, 상기 가스 배출구는, 관 형상으로 형성되어, 적어도 일부분이 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.The present invention relates to a fine powder recovery device and a fine powder recovery system capable of collecting and recovering fine powder contained in an impregnated gas, which is formed in a hollow cylindrical shape, and the fine powder contained in the impregnated gas flows while the impregnated gas flows. A body in which a collecting space in which powder can be collected is formed, a gas inlet formed at one side of the main body so that the impregnated gas can be introduced into the collecting space, and the impregnated gas flowing in the collecting space is provided in the collecting space and a gas outlet formed adjacent to the gas inlet on one side of the main body so as to be discharged to the outside of the body, and the main body has a temperature difference in the collecting space to prevent the vortex of the impregnated gas In order to induce induction, the gas outlet may be divided into a plurality of regions having different temperatures, and the gas outlet may be formed in a tubular shape so that at least a portion thereof extends from one side of the main body to the inside of the collection space.

Description

미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템{Very fine powder recovery device and very fine powder recovery system}Fine powder recovery device and fine powder recovery system {Very fine powder recovery device and very fine powder recovery system}

본 발명은 미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템에 관한 것으로서, 함진 가스에 포함된 미세 분말을 포집하여 회수할 수 있는 미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a fine powder recovery device and a fine powder recovery system, and to a fine powder recovery device and a fine powder recovery system capable of collecting and recovering fine powder contained in an impregnated gas.

적층세라믹콘덴서(Multi Layer Ceramic Capacitor, MLCC)는 전자 회로에서 일시적으로 전기를 충전하거나 노이즈를 제거하는 칩 형태의 캐패시터로서, 전류를 저장했다가 필요한 만큼만 전기를 안정적으로 공급해 전자 장치가 올바르게 동작하도록 하는 부품이다. 현대에서, 상기 적층세라믹콘덴서는 전자 산업의 쌀이라고 불릴 정도로 많은 수요가 있고, 예를 들어 퍼스널 컴퓨터나 스마트폰에는 약 1000여 개가 필요하고, 텔레비전에는 약 2000여 개가 필요하다.Multi Layer Ceramic Capacitor (MLCC) is a chip-type capacitor that temporarily charges electricity or removes noise in an electronic circuit. is a part In modern times, the multilayer ceramic capacitor is in high demand enough to be called the rice of the electronics industry, for example, about 1,000 pieces are needed for a personal computer or smart phone, and about 2000 pieces are needed for a television.

이러한 적층세라믹콘덴서는 MLCC는 크기를 감소시키고 저장전기용량을 증가시킬 필요가 있다. 이를 위하여, 적층세라믹콘덴서는 내부에 약 500층의 세라믹층과 니켈전극층이 번갈아 적층된 구조를 가진다. 적층세라믹콘덴서는 이형필름 상에 세라믹 시트를 형성하는 성형공정, 상기 세라믹 시트에 전극 패턴을 형성하는 인쇄공정, 및 상기 세라믹 시트를 절단하고 이형 필름을 제거한 후, 상기 세라믹 시트와 니켈 전극층을 적층하는 적층 공정으로 형성된다. 상기 적층세라믹콘덴서에서 중요한 기술은 니켈전극층을 최대한 얇게 하고 또한 많이 적층시키고, 1000℃ 이상의 고온에서 균열 없이 형성하는 것이다.In such a multilayer ceramic capacitor, it is necessary to reduce the size of the MLCC and increase the storage capacity. To this end, the multilayer ceramic capacitor has a structure in which about 500 ceramic layers and nickel electrode layers are alternately stacked therein. A multilayer ceramic capacitor includes a molding process of forming a ceramic sheet on a release film, a printing process of forming an electrode pattern on the ceramic sheet, and cutting the ceramic sheet and removing the release film, and then laminating the ceramic sheet and the nickel electrode layer It is formed by a lamination process. An important technique in the multilayer ceramic capacitor is to make the nickel electrode layer as thin as possible and stack a lot of it, and to form it without cracking at a high temperature of 1000° C. or more.

이러한, 적층세라믹콘덴서의 니켈 전극층은 화학반응을 이용한 분말 합성 공정으로 제조된 니켈 분말을 이용하여 형성될 수 있다. 일반적으로, 분말 합성 공정을 이용한 니켈 분말 제조 공정은, 합성 장치에서 화학 반응으로 니켈 분말의 합성 공정이 이루어진 후, 생성된 니켈 분말이 반응 후 남은 잔류 가스와 함께 상기 합성 장치로부터 함진 가스로 배출되고, 백필터(Bag filter)를 이용한 미세 분말 회수 장치에서 상기 함진 가스에 포함된 니켈 분말을 포집하여 회수하는 과정으로 이루어지고 있다.The nickel electrode layer of the multilayer ceramic capacitor may be formed using nickel powder manufactured by a powder synthesis process using a chemical reaction. In general, in the nickel powder manufacturing process using the powder synthesis process, after the synthesis process of nickel powder is made by a chemical reaction in the synthesis device, the generated nickel powder is discharged as a gas-containing gas from the synthesis device together with the residual gas remaining after the reaction, and , a process of collecting and recovering nickel powder contained in the impregnated gas in a fine powder recovery device using a bag filter.

그러나, 이러한 종래의 미세 분말 회수 장치는, 일정 시간 포집 시 백필터에 차압이 발생함으로써, 이를 해소하기 위해 공정 중단 후 제트 등을 이용한 백필터의 재생이 필요하여, 생산성이 낮아지는 문제점이 있었다. 이에 따라, 백필터 앞에 싸이클론을 설치하여 백필터의 부하를 저감하는 방법도 사용되고 있지만, 싸이클론은 미분과 조분을 분리하는 장치로서 미세 분말의 제거가 용이하지 않아 백필터 부하 저감에 효과가 크지 않다는 문제점이 있었다.However, in this conventional fine powder recovery device, a differential pressure is generated in the bag filter during collection for a certain period of time, and in order to solve this, the bag filter needs to be regenerated using a jet or the like after the process is stopped to solve the problem, thereby lowering productivity. Accordingly, a method of reducing the load on the bag filter by installing a cyclone in front of the bag filter is also used, but the cyclone is a device that separates fine powder and coarse powder, and it is not easy to remove fine powder, so the effect is large in reducing the load on the bag filter There was a problem that it wasn't.

아울러, 콜드 트랩(Cold trap)을 이용하여 냉각에 의한 열영동으로 미세 분말을 포집하여 회수하는 방법도 제안되고 있지만, 이 또한, 효율이 좋지 않아 냉각표면을 극대화하기 위해 헬리컬(Helical) 구조나 다단 구조 등을 사용함으로써, 콜드 트랩 내에 복잡하게 형성된 유로에서 포집된 미세 분말의 회수가 용이하지 않은 문제점이 있었다.In addition, a method of collecting and recovering fine powder by thermophoresis by cooling using a cold trap has been proposed, but this also has poor efficiency, so a helical structure or multi-stage structure is used to maximize the cooling surface. By using a structure or the like, there is a problem in that it is not easy to recover the fine powder collected in the complicated flow path formed in the cold trap.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 백필터 앞에서 조분 뿐만 아니라 일부 미분을 미리 회수하여 백필터의 부하를 저감시킬 수 있고, 단순한 구조를 사용해 제작 및 포집된 미세 분말의 회수가 용이한 미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention is to solve various problems including the above problems, and it is possible to reduce the load on the bag filter by recovering not only the coarse powder but also some fine powder in advance in front of the bag filter, and the fine powder produced and collected using a simple structure An object of the present invention is to provide a fine powder recovery device and a fine powder recovery system for easy recovery of However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereto.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 미세 분말 회수 장치가 제공된다. 상기 미세 분말 회수 장치는, 속이 빈 통형상으로 형성되어, 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성되는 본체; 상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 형성되는 가스 유입구; 및 상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 상기 가스 유입구와 인접하게 형성되는 가스 배출구;를 포함하고, 상기 본체는, 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되고, 상기 가스 배출구는, 관 형상으로 형성되어, 적어도 일부분이 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a fine powder recovery device is provided. The device for recovering fine powder includes: a body having a hollow cylindrical shape, wherein a collecting space is formed in which the fine powder contained in the impregnated gas can be collected while the impregnated gas flows; a gas inlet formed on one side of the body so that the impregnated gas can be introduced into the collection space; and a gas outlet formed adjacent to the gas inlet on one side of the body so that the impregnated gas flowing in the collecting space can be discharged to the outside of the collecting space. It is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed to induce a vortex of the impregnated gas, and the gas outlet is formed in a tubular shape, so that at least a portion is one side of the body It may be formed to extend long into the collection space from the

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가스 유입구는, 상기 본체의 일측에 상기 본체의 중심축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 형성되고, 상기 가스 배출구는, 상기 본체의 중심축과 동일한 중심축을 가지는 관 형상으로 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas inlet is formed at a position spaced a predetermined distance from the central axis of the main body on one side of the main body, and the gas outlet is a pipe having the same central axis as the central axis of the main body. In a shape, it may be formed to extend from one side of the body to the inside of the collection space.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 본체는, 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부이고, 상기 가스 배출구는, 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the main body may be a first region portion having a first temperature, and the gas outlet may be a second region portion having a second temperature lower than the first temperature.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 영역부는, 고온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 높은 상기 제 1 온도로 형성되고, 상기 제 2 영역부는, 저온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 낮은 상기 제 2 온도로 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first region portion is formed at the first temperature higher than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space so as to be formed as a high temperature portion, and the second region portion is a low temperature portion It may be formed at the second temperature lower than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space so as to be formed as a .

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 영역부의 상기 제 1 온도는, 550K 내지 650K의 온도로 형성되고, 상기 제 2 영역부의 상기 제 2 온도는, 250K 내지 350K의 온도로 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first temperature of the first region may be formed at a temperature of 550K to 650K, and the second temperature of the second region may be formed at a temperature of 250K to 350K. .

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가스 배출구는, 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부이고, 상기 본체는, 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas outlet may be a first region portion having a first temperature, and the body may be a second region portion having a second temperature lower than the first temperature.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 가스 유입구는, 상기 본체의 일측에 상기 본체의 중심축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 형성되고, 상기 가스 배출구는, 상기 본체의 중심축을 기준으로 상기 가스 유입구와 반대로 소정 거리 이격된 중심축을 가지는 관 형상으로 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas inlet is formed on one side of the main body at a position spaced apart from the central axis of the main body by a predetermined distance, and the gas outlet is, based on the central axis of the main body, the gas inlet and Conversely, it may be formed to extend from one side of the main body to the inside of the collection space in a tubular shape having a central axis spaced apart by a predetermined distance.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 본체는, 상기 본체의 중심축을 지나는 가상의 횡단면을 기준으로, 상기 본체의 내벽면 일측에 형성되고 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부; 및 상기 가상의 횡단면을 기준으로, 상기 제 1 영역부와 대향되도록 상기 본체의 상기 내벽면 타측에 형성되고 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부;를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the main body, based on a virtual cross-section passing through the central axis of the main body, the first region formed on one side of the inner wall surface of the main body and having a first temperature; and a second region portion formed on the other side of the inner wall surface of the body to face the first region portion based on the virtual cross-section and having a second temperature lower than the first temperature.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 유입구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고, 상기 제 2 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 배출구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas inlet is formed in the body, and the second region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas outlet is formed in the main body. may be formed at the location.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 배출구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고, 상기 제 2 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 유입구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas outlet is formed in the body, and the second region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas inlet is formed in the body. may be formed at the location.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 본체는, 상기 제 1 온도를 가지는 상기 제 1 영역부와 상기 제 2 온도를 가지는 상기 제 2 영역부 사이의 경계부분을 따라서 형성되는 단열부;를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the body further includes a heat insulating portion formed along a boundary portion between the first region having the first temperature and the second region having the second temperature. can do.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 본체는, 중력 방향과 수직한 수평 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the main body may be formed in a cylindrical shape extending long in a horizontal direction perpendicular to the direction of gravity.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 본체는, 중력 방향과 평행한 수직 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the main body may be formed in a cylindrical shape extending long in a vertical direction parallel to the gravity direction.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 미세 분말 회수 시스템이 제공된다. 상기 미세 분말 회수 시스템은, 화학 반응을 이용한 분말 합성 공정으로 미세 분말을 합성하는 합성 장치; 상기 합성 장치로부터 배출되는 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말을 1차로 포집하여 회수하는 미세 분말 회수 장치; 및 상기 미세 분말 회수 장치로부터 배출되는 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말을 2차로 포집하여 회수하는 백필터 장치;를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a fine powder recovery system is provided. The fine powder recovery system includes: a synthesizing device for synthesizing fine powder through a powder synthesizing process using a chemical reaction; a fine powder recovery device that primarily collects and recovers the fine powder contained in the impregnated gas discharged from the synthesis device; and a bag filter device for secondarily collecting and recovering the fine powder contained in the impregnated gas discharged from the fine powder recovery device.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 합성 장치와 상기 미세 분말 회수 장치를 연결하는 연결관;을 더 포함하고, 상기 연결관은, 관 형상으로 형성되고, 상기 합성 장치로부터 일직선으로 연장되게 형성되는 제 1 부분; 및 관 형상으로 형성되고, 상기 제 1 부분의 일단으로부터 소정 각도로 경사지게 형성되어 상기 제 1 부분의 일단과 상기 미세 분말 회수 장치의 상기 가스 유입구를 연결하는 제 2 부분;을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, it further includes a connector for connecting the synthesizing device and the fine powder recovery device, wherein the connector is formed in a tubular shape and is formed to extend in a straight line from the synthesizing device. first part; and a second portion formed in a tubular shape and inclined at a predetermined angle from one end of the first portion to connect one end of the first portion and the gas inlet of the fine powder recovery device.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 제 2 부분은, 내부 공간에 온도 편차를 형성하여 상기 내부 공간에서 유동하는 상기 함진 가스의 와류 현상을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the second part is divided into a plurality of regions having different temperatures so as to induce a vortex phenomenon of the impregnated gas flowing in the internal space by forming a temperature difference in the internal space. can be partitioned.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 연결관의 상기 제 2 부분과 상기 미세 분말 회수 장치의 연결부에 설치되어, 상기 제 2 부분에서 포집된 상기 미세 분말이 수거되는 제 1 수거 포트; 및 상기 미세 분말 회수 장치의 일측에 설치되어, 상기 미세 분말 회수 장치에서 포집된 상기 미세 분말이 수거되는 제 2 수거 포트;를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a first collection port installed in the connection part of the second part of the connection pipe and the fine powder recovery device, the fine powder collected in the second part is collected; and a second collection port installed on one side of the fine powder recovery device to collect the fine powder collected in the fine powder recovery device.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 미세 분말의 포집 공간이 형성되는 본체에 고온부와 저온부를 배치해 온도편차를 형성하여, 포집 공간에서 유동하는 미세 분말을 포함하는 함진 가스에 부력효과를 발생시켜 와류 현상을 유도함으로써, 함진 가스의 체류시간을 증가시켜 함진 가스에 포함된 미세 분말 입자가 평균자유행로 이상으로 이동하기에 충분한 시간을 확보할 수 있다. 이에 따라, 포집 공간 내에서 미세 분말 끼리 충돌하여 응집된 조분화된 분말이 자중에 의해 바닥면으로 낙하되어 회수될 수 있다. 또한, 포집 공간에 형성된 온도편차는 열영동을 유발하여 차가운 벽면으로 미세 분말 또한 포집되어 회수할 수 있다.According to an embodiment of the present invention made as described above, a temperature difference is formed by arranging a high temperature part and a low temperature part on the body in which the collection space of the fine powder is formed, and the buoyancy force in the impregnated gas containing the fine powder flowing in the collection space By inducing a vortex phenomenon by generating an effect, it is possible to increase the residence time of the impregnated gas, thereby securing sufficient time for the fine powder particles included in the impregnated gas to move beyond the mean free path. Accordingly, the fine powder colliding with each other in the collection space and the agglomerated coarse powder can be recovered by falling to the floor by its own weight. In addition, the temperature deviation formed in the collection space causes thermophoresis, so that fine powder can also be collected and recovered by the cold wall.

이에 따라, 백필터 앞에서 함진 가스에 포함된 조분 뿐만 아니라 미세 분말도 일부 미리 회수하여 백필터의 부하를 효율적으로 저감시킴으로써, 차압을 해소하기 위한 백필터의 재생 공정을 줄여 공정이 중단되는 시간을 줄이고, 전체적인 미세 분말 회수 공정의 생산성을 증가시키는 효과를 가지는 미세 분말 회수 장치 및 미세 분말 회수 시스템을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Accordingly, by reducing the load on the bag filter by efficiently reducing the load on the bag filter by pre-recovering some fine powder as well as the coarse powder contained in the impregnated gas in front of the bag filter, the regeneration process of the bag filter for resolving the differential pressure is reduced, thereby reducing the time to stop the process. , it is possible to implement a fine powder recovery device and a fine powder recovery system having the effect of increasing the productivity of the overall fine powder recovery process. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치를 개략적으로 나타내는 정면도 및 측면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 4 및 도 5는 미세 분말 회수 장치의 온도 편차 발생 유무에 따른 포집 공간에서 함진 가스의 유동을 해석한 결과를 나타내는 이미지들이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치를 개략적으로 나타내는 정면도 및 측면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 9 및 도 10은 미세 분말 회수 장치의 온도 편차 발생 유무에 따른 포집 공간에서 함진 가스의 유동을 해석한 결과를 나타내는 이미지들이다.
도 11은 미세 분말 회수 장치가 적용된 미세 분말 회수 시스템을 개략적으로 나타내는 공정도이다.
1 and 2 are a front view and a side view schematically showing an apparatus for recovering fine powder according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view schematically showing a fine powder recovery apparatus according to another embodiment of the present invention.
4 and 5 are images showing the results of analyzing the flow of the impregnated gas in the collection space depending on whether or not a temperature deviation occurs in the fine powder recovery device.
6 and 7 are a front view and a side view schematically showing an apparatus for recovering fine powder according to another embodiment of the present invention.
8 is a front view schematically showing an apparatus for recovering fine powder according to another embodiment of the present invention.
9 and 10 are images showing the results of analyzing the flow of the impregnated gas in the collection space depending on whether or not a temperature deviation occurs in the fine powder recovery device.
11 is a process diagram schematically illustrating a fine powder recovery system to which a fine powder recovery device is applied.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, several preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.Examples of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art, and the following examples may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is as follows It is not limited to an Example. Rather, these embodiments are provided so as to more fully and complete the present disclosure, and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In addition, in the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated for convenience and clarity of description.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically illustrating ideal embodiments of the present invention. In the drawings, variations of the illustrated shape can be envisaged, for example depending on manufacturing technology and/or tolerances. Accordingly, embodiments of the inventive concept should not be construed as limited to the specific shape of the region shown in the present specification, but should include, for example, changes in shape caused by manufacturing.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)를 개략적으로 나타내는 정면도 및 측면도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)를 개략적으로 나타내는 정면도이다. 그리고, 도 4 및 도 5는 미세 분말 회수 장치(100)의 온도 편차 발생 유무에 따른 포집 공간에서 함진 가스의 유동을 해석한 결과를 나타내는 이미지들이다.1 and 2 are a front view and a side view schematically showing a fine powder recovery device 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a fine powder recovery device 100 according to another embodiment of the present invention. It is a schematic front view. And, FIGS. 4 and 5 are images showing the results of analyzing the flow of the impregnated gas in the collection space according to whether or not a temperature deviation occurs in the fine powder recovery apparatus 100 .

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)는, 크게, 본체(110)와, 가스 유입구(120) 및 가스 배출구(130)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIG. 1 , the fine powder recovery apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may largely include a body 110 , a gas inlet 120 , and a gas outlet 130 . have.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(110)는, 속이 빈 통형상으로 형성되어, 내부에 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the body 110 is formed in a hollow tubular shape, and a collection space is formed in which the fine powder contained in the impregnated gas can be collected while the impregnated gas flows therein. can

예컨대, 본체(110)는, 속이 빈 원통 형상으로 형성되어, 일측에 가스 유입구(120) 및 가스 배출구(130)가 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다.For example, the body 110 may be formed in a hollow cylindrical shape, and the gas inlet 120 and the gas outlet 130 may be formed to be spaced apart from each other by a predetermined distance on one side.

더욱 구체적으로, 가스 유입구(120)는, 본체(110) 내부의 상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 본체(110)의 일측에 형성되고, 가스 배출구(130)는, 상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 본체(110)의 일측에 가스 유입구(120)와 소정 거리 이격되어 인접하게 형성될 수 있다.More specifically, the gas inlet 120 is formed on one side of the main body 110 so that the impregnated gas can be introduced into the collecting space inside the main body 110 , and the gas outlet 130 is the collecting space. The gas inlet 120 and the gas inlet 120 on one side of the main body 110 so that the impregnated gas flowing in can be discharged to the outside of the collection space may be formed adjacently spaced apart from each other.

또한, 가스 유입구(120)를 통해 본체(110)의 상기 포집 공간으로 유입된 상기 함진 가스가 가스 유입구(120)와 인접하게 형성된 가스 배출구(130)를 통해 바로 배출되지 않고, 상기 포집 공간에서 충분히 유동한 후 가스 배출구(130)를 통해 배출될 수 있도록, 가스 배출구(130)는, 관 형상으로 형성되어, 적어도 일부분이 본체(110)의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.In addition, the impregnated gas introduced into the collection space of the body 110 through the gas inlet 120 is not directly discharged through the gas outlet 130 formed adjacent to the gas inlet 120, but is sufficiently in the collection space. After flowing, the gas outlet 130 may be formed in a tubular shape so as to be discharged through the gas outlet 130, at least a portion of which may be formed to extend from one side of the body 110 to the inside of the collection space. have.

예컨대, 가스 유입구(120)는, 본체(110)의 일측에 본체(110)의 중심축(A)으로부터 소정 거리(d) 이격된 위치에 형성되고, 가스 배출구(130)는, 본체(110)의 중심축(A)과 동일한 중심축을 가지는 관 형상으로 본체(110)의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.For example, the gas inlet 120 is formed at a position spaced apart from the central axis A of the main body 110 by a predetermined distance d on one side of the main body 110 , and the gas outlet 130 is the main body 110 . A tubular shape having the same central axis as the central axis (A) of the body 110 may be formed to extend from one side of the body 110 to the inside of the collection space.

이에 따라, 가스 유입구(120)와 가스 배출구(130)는 본체(110)의 일측에 인접하게 위치하나, 가스 배출구(130)가 관 형상으로 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성되어, 가스 배출구(130)의 입구가 상기 포집 공간의 내부에 본체(110)의 타측과 인접하게 깊숙이 형성됨으로써, 실질적으로는 가스 유입구(120)와 가스 배출구(130)가 멀리 떨어진 형태일 수 있다.Accordingly, the gas inlet 120 and the gas outlet 130 are located adjacent to one side of the body 110, but the gas outlet 130 is formed to extend long into the inside of the collection space in a tubular shape, the gas outlet Since the inlet 130 is formed deeply adjacent to the other side of the body 110 inside the collection space, the gas inlet 120 and the gas outlet 130 may be substantially separated from each other.

그러나, 가스 유입구(120)와 가스 배출구(130)의 위치는 반드시 도 1 및 도 2에 국한되지 않고, 본체(110)의 상기 포집 공간에서 상기 함진 가스가 충분히 유동한 이후에 배출될 수 있도록, 가스 유입구(120)가 본체(110)의 중심에 형성되고, 가스 배출구(130)가 본체(110)의 중심축(A)과 소정 거리 이격되게 형성될 수도 있으며, 가스 배출구(130)가 아닌 가스 유입구(120)가 관 형상으로 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수도 있다.However, the positions of the gas inlet 120 and the gas outlet 130 are not necessarily limited to Figs. 1 and 2, so that the impregnated gas can be discharged after sufficient flow in the collection space of the body 110, The gas inlet 120 is formed in the center of the main body 110 , and the gas outlet 130 may be formed to be spaced apart from the central axis A of the main body 110 by a predetermined distance, and the gas outlet 130 is not the gas outlet 130 . The inlet 120 may be formed to extend long into the collection space in a tubular shape.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 본체(110)는, 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 1 , the main body 110 is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed in the collection space to induce a vortex of the impregnated gas. can be

예컨대, 중력 방향과 수직한 수평 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성되어 상기 포집 공간을 이루는 본체(110)는, 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부(111)로 형성되고, 본체(110)의 상기 포집 공간 내부에 관 형상으로 형성되는 가스 배출구(130)는, 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부(112)로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 포집 공간을 사이에 두고 본체(110)와 가스 배출구(130)가 서로 다른 온도로 형성됨으로써, 상기 포집 공간에 온도 편차를 형성할 수 있다.For example, the body 110 formed in a cylindrical shape extending long in a horizontal direction perpendicular to the direction of gravity to form the collection space is formed of a first region portion 111 having a first temperature, and The gas outlet 130 formed in a tubular shape inside the collection space may be formed as a second region portion 112 having a second temperature lower than the first temperature. Accordingly, by forming the body 110 and the gas outlet 130 at different temperatures with the collecting space interposed therebetween, a temperature difference may be formed in the collecting space.

그러나, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)의 배치는 반드시 도 1에 국한되지 않고, 가스 배출구(130)가 상기 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부(111)로 형성되고, 본체(110)가 상기 제 1 온도 보다 낮은 상기 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부(112)로 형성될 수도 있다.However, the arrangement of the first region portion 111 and the second region portion 112 is not necessarily limited to FIG. 1 , and the gas outlet 130 is formed of the first region portion 111 having the first temperature. , the main body 110 may be formed of a second region portion 112 having the second temperature lower than the first temperature.

이외에도, 도 3에 도시된 바와 같이, 본체(110)는, 상기 중력 방향과 평행한 수직 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성될 수도 있다. 이와 같이, 본체(110)가 상기 수직 방향으로 형성될 경우에도, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)는, 본체(110)와 가스 배출구(130)로 구분되어 형성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3 , the main body 110 may be formed in a cylindrical shape extending in a vertical direction parallel to the direction of gravity. As such, even when the body 110 is formed in the vertical direction, the first region 111 and the second region 112 may be formed separately from the body 110 and the gas outlet 130 . have.

그러나, 미세 분말 회수 장치(100)에서 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)의 배치는, 상술한 실시 예에 반드시 국한되지 않고, 가스 배출구(130)가 아닌 가스 유입구(120)가 관 형상으로 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 경우, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)는, 본체(110)와 가스 유입구(120)로 구분되어 형성될 수도 있다.However, the arrangement of the first region part 111 and the second region part 112 in the fine powder recovery apparatus 100 is not necessarily limited to the above-described embodiment, and the gas inlet 120 rather than the gas outlet 130 is disposed. ) is formed to extend long into the collection space in a tubular shape, the first region portion 111 and the second region portion 112 may be formed separately from the body 110 and the gas inlet 120 . may be

이때, 제 1 영역부(111)는, 고온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 높은 상기 제 1 온도로 형성되고, 제 2 영역부(112)는, 저온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 낮은 상기 제 2 온도로 형성될 수 있다.At this time, the first region part 111 is formed at the first temperature higher than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space so as to be formed as a high temperature part, and the second region part 112 is formed as a low temperature part. To be formed, the second temperature may be lower than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space.

예컨대, 본체(110)의 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도가 400K일 경우, 제 1 영역부(111)의 상기 제 1 온도는, 550K 내지 650K의 온도로 형성되고, 제 2 영역부(112)의 상기 제 2 온도는, 250K 내지 350K의 온도로 형성될 수 있으며, 더욱 바람직하게는, 제 1 영역부(111)의 상기 제 1 온도는 600K의 고온부로 형성되고, 제 2 영역부(112)의 상기 제 2 온도는 300K의 저온부로 형성될 수 있다.For example, when the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space of the main body 110 is 400K, the first temperature of the first region part 111 is formed at a temperature of 550K to 650K, and the second region part The second temperature of 112 may be formed at a temperature of 250K to 350K, and more preferably, the first temperature of the first region part 111 is formed as a high temperature part of 600K, and the second region part The second temperature of 112 may be formed as a low temperature part of 300K.

따라서, 미세 분말 회수 장치(100)는, 600K인 고온부인 제 1 영역부(111)와 300K의 저온부인 제 2 영역부(112)가 상기 포집 공간을 사이에 두고 본체(110)와 가스 배출구(130)에 각각 형성되어, 상기 포집 공간내에서 온도 편차를 유발함으로써, 상기 포집 공간에서 유동하는 상기 함진 가스의 와류 현상을 유도할 수 있다.Accordingly, in the fine powder recovery device 100, the first region 111, which is a high temperature part of 600 K, and the second region part 112, which is a low temperature part, which is 300 K, have the body 110 and the gas outlet ( 130) to induce a temperature deviation in the collecting space, thereby inducing a vortex phenomenon of the impregnated gas flowing in the collecting space.

예컨대, 도 4의 해석 결과에 도시된 바와 같이, 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되지 않을 경우, 가스 유입구(120)를 통해 유입된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간을 일직선 형태로 통과한 후 가스 배출구(130)의 입구 인근에서만 약간의 유동을 보이다 관 형상의 가스 배출구(130)를 통해 바로 배출되는 것으로 확인이 되었다.For example, as shown in the analysis result of FIG. 4 , when a temperature deviation is not formed in the collecting space, the impregnated gas introduced through the gas inlet 120 passes through the collecting space in a straight line and then the gas outlet It was confirmed that a slight flow was observed only near the inlet of 130 and immediately discharged through the tubular gas outlet 130 .

그러나, 도 5의 해석 결과에 도시된 바와 같이, 제 1 영역부(111) 또는 제 2 영역부(112)로 형성되는 본체(110)와, 제 2 영역부(112) 또는 제 1 영역부(111)로 형성되는 가스 배출구(130)에 의해 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성될 경우, 가스 유입구(120)를 통해 유입된 상기 함진 가스에 와류 현상이 발생하여, 상기 함진 가스가 상기 포집 공간 내에서 다방향으로 유동하다가 관 형상의 가스 배출구(130)를 통해 배출되는 것으로 확인이 되었다.However, as shown in the analysis result of FIG. 5 , the main body 110 formed of the first region part 111 or the second region part 112 and the second region part 112 or the first region part ( 111), when a temperature deviation is formed in the collection space by the gas outlet 130 formed of It was confirmed that it was discharged through the tubular gas outlet 130 while flowing in multiple directions.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)에 따르면, 상기 미세 분말의 상기 포집 공간이 형성되는 본체(110)의 내부에 본체(110)와 다른 온도로 형성되는 관 형상의 가스 배출구(130)를 설치하여, 상기 포집 공간에 고온부와 저온부를 배치해 온도편차를 형성함으로써, 상기 포집 공간에서 유동하는 상기 미세 분말을 포함하는 상기 함진 가스에 부력효과를 발생시켜 와류 현상을 유도할 수 있다.Therefore, according to the fine powder recovery device 100 according to an embodiment of the present invention, the tubular shape formed at a different temperature from the body 110 inside the body 110 in which the collection space of the fine powder is formed. By installing the gas outlet 130 and arranging a high temperature part and a low temperature part in the collection space to form a temperature difference, a buoyancy effect is generated in the impregnated gas containing the fine powder flowing in the collection space to induce a vortex phenomenon. can do.

그러므로, 상기 포집 공간 내에서 상기 함진 가스의 체류시간을 증가시켜 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말 입자가 평균자유행로 이상으로 이동하기에 충분한 시간을 확보함으로써, 상기 포집 공간 내에서 상기 미세 분말 끼리 충돌하여 응집된 조분화된 분말이 자중에 의해 바닥면으로 낙하되어 회수될 수 있으며, 상기 포집 공간에 형성된 온도 편차는 열영동을 유발하여 차가운 벽면으로 석출된 미세 분말 또한 포집되어 회수할 수 있다.Therefore, by increasing the residence time of the impregnated gas in the collecting space to secure sufficient time for the fine powder particles included in the impregnated gas to move beyond the mean free path, the fine powder in the collecting space The colliding and agglomerated coarse powder can be recovered by falling to the floor by its own weight, and the temperature deviation formed in the collection space causes thermophoresis, so that the fine powder deposited on the cold wall can also be collected and recovered.

도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)를 개략적으로 나타내는 정면도 및 측면도이고, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)를 개략적으로 나타내는 정면도이다. 그리고, 도 9 및 도 10은 미세 분말 회수 장치(100)의 온도 편차 발생 유무에 따른 포집 공간에서 함진 가스의 유동을 해석한 결과를 나타내는 이미지들이다.6 and 7 are a front view and a side view schematically showing a fine powder recovery device 100 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a fine powder recovery device 100 according to another embodiment of the present invention. ) is a schematic front view. And, FIGS. 9 and 10 are images showing the results of analyzing the flow of the impregnated gas in the collection space according to whether or not a temperature deviation occurs in the fine powder recovery apparatus 100 .

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)는, 가스 유입구(120)를 통해 본체(110)의 상기 포집 공간으로 유입된 상기 함진 가스가 가스 유입구(120)와 인접하게 형성된 가스 배출구(130)를 통해 바로 배출되지 않고, 상기 포집 공간에서 충분히 유동한 후 가스 배출구(130)를 통해 배출될 수 있도록, 가스 배출구(130)는, 관 형상으로 형성되어, 적어도 일부분이 본체(110)의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 6 and 7 , in the fine powder recovery apparatus 100 according to another embodiment of the present invention, the impregnated gas introduced into the collection space of the body 110 through the gas inlet 120 . The gas outlet 130 is not directly discharged through the gas outlet 130 formed adjacent to the gas inlet 120, but is discharged through the gas outlet 130 after sufficiently flowing in the collection space. It is formed in a shape, and at least a portion may be formed to extend from one side of the main body 110 to the inside of the collection space.

예컨대, 가스 유입구(120)는, 본체(110)의 일측에 본체(110)의 중심축(A)으로부터 소정 거리(d) 이격된 위치에 형성되고, 가스 배출구(130)는, 본체(110)의 중심축(A)을 기준으로 가스 유입구(120)와 반대로 소정 거리(d) 이격된 중심축을 가지는 관 형상으로, 본체(110)의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성될 수 있다.For example, the gas inlet 120 is formed at a position spaced apart from the central axis A of the main body 110 by a predetermined distance d on one side of the main body 110 , and the gas outlet 130 is the main body 110 . In a tubular shape having a central axis spaced apart from the gas inlet 120 by a predetermined distance (d) with respect to the central axis (A) of .

이에 따라, 가스 유입구(120)와 가스 배출구(130)는 본체(110)의 일측에 인접하게 위치하나, 가스 배출구(130)가 관 형상으로 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성되어, 가스 배출구(130)의 입구가 상기 포집 공간의 내부에 본체(110)의 타측과 인접하게 깊숙이 형성됨으로써, 실질적으로는 가스 유입구(120)와 가스 배출구(130)가 멀리 떨어진 형태일 수 있다.Accordingly, the gas inlet 120 and the gas outlet 130 are located adjacent to one side of the body 110, but the gas outlet 130 is formed to extend long into the inside of the collection space in a tubular shape, the gas outlet Since the inlet 130 is formed deeply adjacent to the other side of the body 110 inside the collection space, the gas inlet 120 and the gas outlet 130 may be substantially separated from each other.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 본체(110)는, 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 6 , the main body 110 is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed in the collection space to induce a vortex of the impregnated gas. can be

예컨대, 중력 방향과 수직한 수평 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성되어 상기 포집 공간을 이루는 본체(110)는, 본체(110)의 중심축(A)을 지나는 가상의 횡단면을 기준으로, 본체(110)의 내벽면 일측에 형성되고 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부(111) 및 상기 가상의 횡단면을 기준으로, 제 1 영역부(111)와 대향되도록 본체(110)의 상기 내벽면 타측에 형성되고 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부(112)를 포함할 수 있다.For example, the body 110 is formed in a cylindrical shape extending long in the horizontal direction perpendicular to the direction of gravity to form the collection space, based on an imaginary cross section passing through the central axis A of the body 110, the main body ( The first region 111 formed on one side of the inner wall surface of the body 110 and having a first temperature and the other side of the inner wall surface of the body 110 to face the first region 111 based on the imaginary cross-section It may include a second region portion 112 formed and having a second temperature lower than the first temperature.

이때, 제 1 영역부(111)는, 본체(110)에서 가스 배출구(130)가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고, 제 2 영역부(112)는, 본체(110)에서 가스 유입구(120)가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성될 수 있다.In this case, the first region 111 is formed at a position corresponding to the position where the gas outlet 130 is formed in the body 110 , and the second region 112 is formed at the gas inlet 120 in the body 110 . ) may be formed at a position corresponding to the formed position.

그러나, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)의 배치는 반드시 도 6에 국한되지 않고, 제 1 영역부(111)가 본체(110)에서 가스 유입구(120)가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고, 제 2 영역부(112)가 본체(110)에서 가스 배출구(130)가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성될 수도 있다.However, the arrangement of the first region part 111 and the second region part 112 is not necessarily limited to that shown in FIG. 6 , and the first region part 111 is positioned at the position where the gas inlet 120 is formed in the body 110 . It is formed at a corresponding position, and the second region part 112 may be formed at a position corresponding to the position where the gas outlet 130 is formed in the body 110 .

이외에도, 도 8에 도시된 바와 같이, 본체(110)는, 상기 중력 방향과 평행한 수직 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성될 수도 있다. 이와 같이, 본체(110)가 상기 수직 방향으로 형성될 경우에도, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)는, 본체(110)의 중심축(A)을 지나는 상기 가상의 횡단면을 기준으로 본체(110)를 양분하도록 형성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8 , the main body 110 may be formed in a cylindrical shape extending in a vertical direction parallel to the direction of gravity. As such, even when the body 110 is formed in the vertical direction, the first region 111 and the second region 112 have the virtual cross-section passing through the central axis A of the body 110 . It may be formed to bisect the body 110 based on the .

이때, 제 1 영역부(111)는, 고온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 높은 상기 제 1 온도로 형성되고, 제 2 영역부(112)는, 저온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 낮은 상기 제 2 온도로 형성될 수 있다.At this time, the first region part 111 is formed at the first temperature higher than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space so as to be formed as a high temperature part, and the second region part 112 is formed as a low temperature part. To be formed, the second temperature may be lower than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space.

예컨대, 본체(110)의 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도가 400K일 경우, 제 1 영역부(111)의 상기 제 1 온도는, 550K 내지 650K의 온도로 형성되고, 제 2 영역부(112)의 상기 제 2 온도는, 250K 내지 350K의 온도로 형성될 수 있으며, 더욱 바람직하게는, 제 1 영역부(111)의 상기 제 1 온도는 600K의 고온부로 형성되고, 제 2 영역부(112)의 상기 제 2 온도는 300K의 저온부로 형성될 수 있다.For example, when the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space of the main body 110 is 400K, the first temperature of the first region part 111 is formed at a temperature of 550K to 650K, and the second region part The second temperature of 112 may be formed at a temperature of 250K to 350K, and more preferably, the first temperature of the first region part 111 is formed as a high temperature part of 600K, and the second region part The second temperature of 112 may be formed as a low temperature part of 300K.

이때, 고온부인 제 1 영역부(111)와 저온부인 제 2 영역부(112) 간에 열전도가 일어나, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)에 의해 본체(110)에 발생하는 온도 편차가 소멸되거나 그 경계가 모호해지는 것을 방지할 수 있도록, 상기 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부(111)와 상기 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부(112) 사이의 경계부분을 따라서 단열부(140)가 형성될 수 있다.At this time, heat conduction occurs between the first region portion 111, which is a high-temperature portion, and the second region portion 112, which is a low-temperature portion, and is generated in the body 110 by the first region portion 111 and the second region portion 112. Insulation along the boundary portion between the first region portion 111 having the first temperature and the second region portion 112 having the second temperature so as to prevent the temperature deviation from disappearing or the boundary thereof becoming ambiguous A portion 140 may be formed.

이에 따라, 단열부(140)가 고온부인 제 1 영역부(111)와 저온부인 제 2 영역부(112)를 열적으로 분리하여, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112) 간에 열전도가 일어나는 것을 효과적으로 방지함으로써, 본체(110)의 상기 포집 공간에서 온도 편차가 명확하게 발생하도록 유도할 수 있다. 여기서, 단열부(140)는, 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112) 간의 열전도를 방지할 수 있는 모든 종류의 단열재가 적용될 수 있다.Accordingly, the heat insulating portion 140 thermally separates the first region portion 111 that is a high temperature portion and the second region portion 112 that is a low temperature portion, so that the first region portion 111 and the second region portion 112 are separated from each other. By effectively preventing heat conduction from occurring, it is possible to induce a temperature deviation to clearly occur in the collection space of the body 110 . Here, all kinds of heat insulating materials capable of preventing heat conduction between the first region part 111 and the second region part 112 may be applied to the heat insulating part 140 .

따라서, 본체(110)는, 600K의 고온부인 제 1 영역부(111)와 300K의 저온부인 제 2 영역부(112)가 본체(110)를 양분하도록 형성되어, 상기 포집 공간내에서 온도 편차를 유발함으로써, 상기 포집 공간에서 유동하는 상기 함진 가스의 와류 현상을 유도할 수 있다.Accordingly, the main body 110 is formed such that the first region 111, which is a high temperature part of 600K, and the second region part 112, which is a low temperature part, of 300K bisect the body 110, so that the temperature deviation within the collection space is reduced. By inducing it, it is possible to induce a vortex phenomenon of the impregnated gas flowing in the collection space.

예컨대, 도 9의 해석 결과에 도시된 바와 같이, 본체(110)에 온도 편차가 형성되지 않을 경우, 가스 유입구(120)를 통해 유입된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간을 거의 일직선 형태로 통과한 후 관 형상의 가스 배출구(130)를 통해 바로 배출되는 것으로 확인이 되었다.For example, as shown in the analysis result of FIG. 9 , when a temperature deviation is not formed in the body 110 , the impregnated gas introduced through the gas inlet 120 passes through the collection space in a substantially straight line. It was confirmed that the gas was directly discharged through the tubular gas outlet 130 .

그러나, 도 10의 해석 결과에 도시된 바와 같이, 서로 다른 온도를 가지는 제 1 영역부(111)와 제 2 영역부(112)로 양분되는 본체(110)에 의해 상기 포집 공간에 온도 편차가 형성될 경우, 가스 유입구(120)를 통해 유입된 상기 함진 가스에 와류 현상이 발생하여, 상기 함진 가스가 상기 포집 공간 내에서 다방향으로 유동하다가 관 형상의 가스 배출구(130)를 통해 배출되는 것으로 확인이 되었다.However, as shown in the analysis result of FIG. 10 , a temperature deviation is formed in the collection space by the main body 110 divided into the first region 111 and the second region 112 having different temperatures. In this case, it is confirmed that a vortex phenomenon occurs in the impregnated gas introduced through the gas inlet 120 , and the impregnated gas flows in multiple directions within the collection space and is discharged through the tubular gas outlet 130 . it became

따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100)에 따르면, 상기 미세 분말의 상기 포집 공간이 형성되는 본체(110)에 고온부와 저온부를 배치해 온도편차를 형성함으로써, 상기 포집 공간에서 유동하는 상기 미세 분말을 포함하는 상기 함진 가스에 부력효과를 발생시켜 와류 현상을 유도할 수 있다.Therefore, according to the fine powder recovery apparatus 100 according to another embodiment of the present invention, by arranging a high temperature part and a low temperature part on the main body 110 in which the collection space of the fine powder is formed to form a temperature deviation, the collection space It is possible to induce a vortex phenomenon by generating a buoyancy effect in the impregnated gas containing the fine powder flowing in.

그러므로, 상기 포집 공간 내에서 상기 함진 가스의 체류시간을 증가시켜 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말 입자가 평균자유행로 이상으로 이동하기에 충분한 시간을 확보함으로써, 상기 포집 공간 내에서 상기 미세 분말 끼리 충돌하여 응집된 조분화된 분말이 자중에 의해 바닥면으로 낙하되어 회수될 수 있으며, 상기 포집 공간에 형성된 온도 편차는 열영동을 유발하여 차가운 벽면으로 석출된 미세 분말 또한 포집되어 회수할 수 있다.Therefore, by increasing the residence time of the impregnated gas in the collecting space to secure sufficient time for the fine powder particles included in the impregnated gas to move beyond the mean free path, the fine powder in the collecting space The colliding and agglomerated coarse powder can be recovered by falling to the floor by its own weight, and the temperature deviation formed in the collection space causes thermophoresis, so that the fine powder deposited on the cold wall can also be collected and recovered.

도 11은 미세 분말 회수 장치(100)가 적용된 미세 분말 회수 시스템(1000)을 개략적으로 나타내는 공정도이다. 11 is a process diagram schematically showing the fine powder recovery system 1000 to which the fine powder recovery device 100 is applied.

도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 시스템(1000)은, 크게, 합성 장치(200)와 미세 분말 회수 장치(100) 및 백필터 장치(300)를 포함할 수 있다.11 , the fine powder recovery system 1000 according to an embodiment of the present invention may largely include a synthesis device 200 , a fine powder recovery device 100 , and a bag filter device 300 . can

도 11에 도시된 바와 같이, 합성 장치(200)는, 화학 반응을 이용한 분말 합성 공정으로 미세 분말을 합성할 수 있다. 예컨대, 합성 장치(200)에서 합성되는 상기 미세 분말이 니켈 나노 분말 일 경우, 합성 장치(200)는, 캐리어 가스에 의해 내부로 유입된 니켈 염으로부터 환원 가스를 이용한 환원 반응으로 니켈 입자를 핵생성 및 성장시켜 상기 니켈 나노 분말을 형성할 수 있다.11 , the synthesizing apparatus 200 may synthesize fine powder through a powder synthesizing process using a chemical reaction. For example, when the fine powder synthesized in the synthesizing apparatus 200 is nickel nanopowder, the synthesizing apparatus 200 nucleates nickel particles by a reduction reaction using a reducing gas from a nickel salt introduced into the interior by a carrier gas. and growing to form the nickel nanopowder.

이와 같이, 합성 장치(200)에서 합성된 상기 미세 분말은, 화학 반응 후 잔류 가스와 함께 상기 함진 가스로 배출될 수 있으며, 미세 분말 회수 장치(100)는, 합성 장치(200)로부터 배출되는 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말을 1차로 포집하여 회수할 수 있다.In this way, the fine powder synthesized in the synthesis device 200 may be discharged as the impregnated gas together with the residual gas after the chemical reaction, and the fine powder recovery device 100 may be discharged from the synthesis device 200 . The fine powder contained in the impregnated gas may be primarily collected and recovered.

여기서, 합성 장치(200)와 미세 분말 회수 장치(100)를 연결하는 연결관(400)은, 관 형상으로 형성되고, 합성 장치(200)로부터 일직선으로 연장되게 형성되는 제 1 부분(410) 및 관 형상으로 형성되고, 제 1 부분(410)의 일단으로부터 소정 각도(a)로 경사지게 형성되어 제 1 부분(410)의 일단과 미세 분말 회수 장치(100)의 가스 유입구(120)를 연결하는 제 2 부분(420)을 포함할 수 있다.Here, the connection pipe 400 connecting the synthesis apparatus 200 and the fine powder recovery apparatus 100 is formed in a tubular shape and extends in a straight line from the synthesis apparatus 200 , a first part 410 and Formed in a tubular shape and inclined at a predetermined angle (a) from one end of the first portion 410 to connect one end of the first portion 410 and the gas inlet 120 of the fine powder recovery device 100 It may include two parts 420 .

이때, 연결관(400)의 제 1 부분(410)은, 합성 장치(200)로부터 배출되는 고온의 상기 함진 가스가 소정의 온도로 냉각될 수 있도록, 합성 장치(200)로부터 배출되는 상기 함진 가스 보다 낮은 온도로 형성될 수 있다. 이러한, 제 1 부분(410)은, 도시되진 않았지만 내부 또는 외주면을 따라 냉각 유로가 형성되어, 상기 냉각 유로를 따라 유동하는 냉각수에 의해 수냉 방식으로 냉각되는 냉각부일 수 있다.At this time, the first part 410 of the connection pipe 400 is the impregnated gas discharged from the synthesis apparatus 200 so that the high-temperature impregnated gas discharged from the synthesis apparatus 200 can be cooled to a predetermined temperature. It can be formed at a lower temperature. Although not shown, the first part 410 may be a cooling unit in which a cooling passage is formed along an inner or outer circumferential surface and is cooled in a water cooling manner by cooling water flowing along the cooling passage.

또한, 제 2 부분(420)은, 내부 공간에 온도 편차를 형성하여 상기 내부 공간에서 유동하는 상기 함진 가스의 와류 현상을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획될 수 있다.In addition, the second part 420 may be divided into a plurality of regions having different temperatures so as to induce a vortex phenomenon of the impregnated gas flowing in the internal space by forming a temperature difference in the internal space.

예컨대, 원형의 관 형상인 제 2 부분(420)의 중심축을 기준으로 상부 부분(421)은, 상기 제 1 부분(410)에서 상기 소정의 온도로 냉각된 상기 함진 가스의 온도 보다 낮은 제 1 온도로 형성되어 저온부로 형성되고, 하부 부분(422)은, 상기 함진 가스의 온도 보다 높은 제 2 온도로 형성되어 고온부로 형성될 수 있다.For example, the upper portion 421 with respect to the central axis of the second portion 420 having a circular tubular shape has a first temperature lower than the temperature of the impregnated gas cooled to the predetermined temperature in the first portion 410 . is formed as a low-temperature portion, and the lower portion 422 may be formed at a second temperature higher than the temperature of the impregnated gas to be formed as a high-temperature portion.

이러한, 제 2 부분(420)의 상부 부분(421)은, 수냉 방식 또는 공냉 방식에 의해 저온부로 형성될 수 있으며, 하부 부분(422)은, 열선에 의한 가열 방식으로 고온부로 형성될 수 있다. 또한, 제 2 부분(420)의 상부 부분(421)이 고온부로 형성되고, 하부 부분(422)이 저온부로 형성될 수도 있으나, 상기 함진 가스의 원활한 와류 현상 유도를 위해, 상부 부분(421)이 저온부로 형성되고, 하부 부분(422)이 고온부로 형성되는 것이 가장 바람직할 수 있다.The upper part 421 of the second part 420 may be formed as a low temperature part by a water cooling method or an air cooling method, and the lower part 422 may be formed as a high temperature part by a heating method by a hot wire. In addition, the upper portion 421 of the second portion 420 may be formed as a high temperature portion and the lower portion 422 may be formed as a low temperature portion, but in order to induce a smooth vortex of the impregnated gas, the upper portion 421 is It may be most preferable that the lower portion 422 is formed of the low temperature portion and that the lower portion 422 is formed of the high temperature portion.

이에 따라, 제 2 부분(420)을 통과하는 상기 함진 가스 중, 고온부인 하부 부분(422)을 흐르는 함진 가스는 가열되어 상승 기류를 가지고, 저온부인 상부 부분(421)을 흐르는 함진 가스는 냉각되어 하류 기류를 가짐으로써, 와류 현상이 발생할 수 있다.Accordingly, of the impregnated gas passing through the second portion 420, the impregnated gas flowing through the lower portion 422, which is a high-temperature part, is heated and has an upward airflow, and the impregnated gas flowing through the upper part 421, which is a low-temperature part, is cooled. By having a downstream air flow, a vortex phenomenon can occur.

상술한 와류 현상에 의해, 상기 함진 가스 내에 포함된 상기 미세 분말 끼리 충돌하여 응집된 조분화된 분말이 자중에 의해 바닥면으로 낙하되어 회수될 수 있으며, 고온부와 저온부의 온도 편차로 유발된 열영동에 의해 차가운 벽면으로 상기 미세 분말에 포함된 미반응 잔여 전구체가 석출되어 회수될 수 있다.Due to the above-described vortex phenomenon, the fine powder contained in the impregnated gas collides with each other, and the agglomerated powder can be recovered by falling to the bottom surface by its own weight, and thermophoresis induced by the temperature difference between the high temperature part and the low temperature part. The unreacted residual precursor contained in the fine powder may be precipitated and recovered by the cold wall surface.

이와 같이, 연결관(400)의 제 2 부분(420)에서 회수된 조분화된 분말 및 석출된 잔여 전구체는, 연결관(400)의 제 2 부분(420)과 미세 분말 회수 장치(100)의 연결부에 설치된 제 1 수거 포트(500)에 의해 수거될 수 있다. 이러한, 제 1 수거 포트(500)는, 석출된 잔여 전구체의 쉘층을 습식으로 제거할 수 있도록 습식 세척용 포트를 포함할 수 있다.In this way, the coarse powder and the precipitated residual precursor recovered from the second part 420 of the connection pipe 400 are separated from the second part 420 of the connection pipe 400 and the fine powder recovery device 100 . It may be collected by the first collection port 500 installed in the connection part. The first collection port 500 may include a wet cleaning port to wet the shell layer of the precipitated residual precursor.

이에 따라, 본 발명의 미세 분말 회수 시스템(1000)은, 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말을 1차로 포집하여 회수하는 미세 분말 회수 장치(100) 이전에 연결관(400)을 통해서 상기 함진 가스가 유동하는 과정에서, 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말 중 적어도 일부를 사전에 회수함으로써, 상기 미세 분말의 회수 효율을 더욱 증가시킬 수 있다.Accordingly, in the fine powder recovery system 1000 of the present invention, the impregnated gas through the connection pipe 400 before the fine powder recovery device 100 that primarily collects and recovers the fine powder contained in the impregnated gas. In the process of flowing, by recovering in advance at least a portion of the fine powder included in the impregnated gas, it is possible to further increase the recovery efficiency of the fine powder.

이어서, 도 11에 도시된 바와 같이, 연결관(400)을 통과하여 미세 분말 회수 장치(100)로 유입된 상기 함진 가스는, 미세 분말 회수 장치(100)에 형성된 온도 편차에 의해 발생하는 부력효과에 의해 와류 현상이 유도되어, 미세 분말 회수 장치(100)의 포집 공간에서 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말 끼리 충돌하여 응집된 조분화된 분말이 자중에 의해 바닥면으로 낙하되어 회수될 수 있으며, 고온부와 저온부의 온도 편차로 유발된 열영동에 의해 차가운 벽면으로 상기 미세 분말에 포함된 미반응 잔여 전구체가 석출되어 회수될 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 11 , the impregnated gas flowing into the fine powder recovery device 100 through the connection pipe 400 has a buoyancy effect generated by a temperature deviation formed in the fine powder recovery device 100 . The vortex phenomenon is induced by the vortex, and the fine powder contained in the impregnated gas collides with each other in the collection space of the fine powder recovery device 100, and the agglomerated coarse powder falls to the floor by its own weight and can be recovered. , the unreacted residual precursor contained in the fine powder may be precipitated and recovered on the cold wall by thermophoresis induced by the temperature difference between the high temperature part and the low temperature part.

여기서, 미세 분말 회수 장치(100)는, 상술한 도 1 내지 도 3 및 도 6 내지 도 8에 도시된 본 발명의 여러 실시예들에 따른 미세 분말 회수 장치(100)의 구성 요소들과 그 구성 및 역할이 동일할 수 있다. 따라서, 상세한 설명은 생략한다.Here, the fine powder recovery device 100 includes the components and the configuration of the fine powder recovery device 100 according to various embodiments of the present invention shown in FIGS. 1 to 3 and 6 to 8 described above. and roles may be the same. Therefore, detailed description is omitted.

이와 같이, 미세 분말 회수 장치(100)에서 회수된 조분화된 분말 및 석출된 잔여 전구체는, 미세 분말 회수 장치(100)의 일측에 설치된 제 2 수거 포트(600)에 의해 수거될 수 있다. 이러한, 제 2 수거 포트(600)는, 석출된 잔여 전구체의 쉘층을 습식으로 제거할 수 있도록 습식 세척용 포트를 포함할 수 있다.As such, the coarse powder and the precipitated residual precursor recovered by the fine powder recovery device 100 may be collected by the second collection port 600 installed on one side of the fine powder recovery device 100 . The second collection port 600 may include a wet cleaning port so that the shell layer of the precipitated residual precursor can be wet removed.

이어서, 도 11에 도시된 바와 같이, 미세 분말 회수 장치(100)에서 1차로 상기 미세 분말이 포집된 상기 함진 가스는, 미세 분말 회수 장치(100)의 가스 배출구(130)와 연결된 다른 연결관(800)을 통해 백필터 장치(300)로 유입되고, 백필터 장치(300)는, 상기 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말을 2차로 포집하여 회수할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 11 , the impregnated gas in which the fine powder is primarily collected in the fine powder recovery device 100 is another connection pipe connected to the gas outlet 130 of the fine powder recovery device 100 ( 800), the bag filter device 300 may collect and recover the fine powder contained in the impregnated gas secondarily.

예컨대, 백필터 장치(300)의 백필터 챔버(310)는, 내부에 적어도 하나의 백필터(330)를 수용할 수 있도록 전체적으로 원통 형상으로 형성되고, 미세 분말 배출구(321)가 형성되는 하부의 적어도 일부분은 하단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 역원뿔 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 백필터 챔버(310)는, 미세 분말 회수 장치(100)에서 1차로 상기 미세 분말을 포집하는 과정에서 잔여 전구체가 석출되어 회수된 상기 함진 가스에서 순수한 고순도의 상기 미세 분말만을 회수할 수 있도록, 고온부로서 상기 제 2 온도 이상의 온도로 가열될 수 있다. 그러나, 백필터 챔버(310)의 온도는 상기 제 2 온도 이상으로 반드시 국한되지 않고, 상기 미세 분말을 용이하게 회수할 수 있는 매우 다양한 온도가 적용될 수 있다.For example, the bag filter chamber 310 of the bag filter device 300 is formed in a cylindrical shape as a whole so as to accommodate at least one bag filter 330 therein, and is formed in the lower portion where the fine powder outlet 321 is formed. At least a portion may be formed in an inverted cone shape whose cross-sectional area gradually decreases toward the bottom. At this time, the bag filter chamber 310 is configured to recover only the fine powder of high purity from the impregnated gas recovered by precipitating the residual precursor in the process of first collecting the fine powder in the fine powder recovery device 100 . , may be heated to a temperature equal to or higher than the second temperature as a high-temperature part. However, the temperature of the bag filter chamber 310 is not necessarily limited to the second temperature or higher, and a wide variety of temperatures at which the fine powder can be easily recovered may be applied.

이에 따라, 백필터 챔버(310)의 하단부 일측에 형성된 함진 가스 유입부(311)로 유입된 상기 함진 가스는, 백필터 챔버(310)의 내부에 설치된 백필터(330)를 통과하여, 백필터 챔버(310)의 상단부 일측에 형성된 함진 가스 배출부(313)를 통해 외부로 배출될 수 있다. 이와 같이, 상기 함진 가스가 백필터(330)를 통과하는 과정에서 상기 함진 가스에 잔류하는 상기 미세 분말이 백필터(330)에 포집될 수 있다.Accordingly, the impregnated gas introduced into the impregnated gas inlet 311 formed on one side of the lower end of the bag filter chamber 310 passes through the bag filter 330 installed in the bag filter chamber 310, and the bag filter It may be discharged to the outside through the impregnated gas discharge unit 313 formed on one side of the upper end of the chamber 310 . In this way, the fine powder remaining in the impregnated gas may be collected in the bag filter 330 while the impregnated gas passes through the bag filter 330 .

또한, 백필터 챔버(310)에 설치된 백필터(330)의 상부에는, 고압 공기 저장부(321)와, 고압 공기 공급관(322) 및 백필터(330)와 대응되는 위치에 설치되는 적어도 하나의 고압 공기 분사 노즐(323)을 포함하는 고압 공기 분사부(320)가 설치될 수 있다.In addition, at an upper portion of the bag filter 330 installed in the bag filter chamber 310 , the high-pressure air storage unit 321 , the high-pressure air supply pipe 322 , and at least one of at least one installed at a position corresponding to the bag filter 330 . A high-pressure air injection unit 320 including a high-pressure air injection nozzle 323 may be installed.

이에 따라, 백필터(330)에 일정 수준의 상기 미세 분말이 포집되면 차압이 발생하고, 백필터(330)의 상부에 설치된 고압 공기 분사 노즐(323)을 통해 백필터(330)로 고압 공기를 분사하게 되면 백필터(330)에 포집된 상기 미세 분말이 떨어지면서 백필터 챔버(310)의 하부에 쌓일 수 있다. 이어서, 백필터 챔버(310) 하단에 형성된 미세 분말 배출구(321)를 개방하여 포집 용기(700)로 상기 미세 분말을 포집할 수 있다.Accordingly, when a certain level of the fine powder is collected in the bag filter 330 , a differential pressure is generated, and high-pressure air is supplied to the bag filter 330 through the high-pressure air injection nozzle 323 installed on the top of the bag filter 330 . When sprayed, the fine powder collected in the bag filter 330 may fall and accumulate in the lower portion of the bag filter chamber 310 . Then, the fine powder may be collected by the collection container 700 by opening the fine powder outlet 321 formed at the bottom of the bag filter chamber 310 .

이와 같은, 백필터(330) 차압 발생에 따른 고압 공기 분사과정은, 미세 분말 회수 장치(100)를 통해, 1차로 상기 함진 가스에 포함된 조분화된 분말 및 잔여 전구체를 회수했기 때문에, 종래의 미세 분말 회수 시스템에 비해 긴 주기로 수행될 수 있다.In this high-pressure air injection process according to the differential pressure generation of the bag filter 330 , the fine powder recovery device 100 primarily recovers the coarse powder and the residual precursor contained in the impregnated gas, so that the conventional Compared to the fine powder recovery system, it can be performed with a longer cycle.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 분말 회수 장치(100) 및 이를 포함하는 미세 분말 회수 시스템(1000)에 따르면, 백필터 앞에서 상기 함진 가스에 포함된 조분 뿐만 아니라 미반응 잔여 전구체를 포함하는 미세 분말도 일부 미리 회수하여 백필터의 부하를 효율적으로 저감시킴으로써, 차압을 해소하기 위한 백필터의 재생 공정을 줄여 공정이 중단되는 시간을 줄이고, 전체적인 미세 분말 회수 공정의 생산성을 증가시키는 효과를 가질 수 있다.Therefore, according to the fine powder recovery device 100 and the fine powder recovery system 1000 including the same according to an embodiment of the present invention, it contains the unreacted residual precursor as well as the coarse powder included in the impregnated gas in front of the bag filter. By efficiently reducing the load on the bag filter by recovering some of the fine powder in advance, the regeneration process of the bag filter for resolving the differential pressure is reduced, reducing the time to stop the process, and increasing the productivity of the overall fine powder recovery process. can

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, which are merely exemplary, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 미세 분말 회수 장치
110: 본체
111: 제 1 영역부
112: 제 2 영역부
120: 가스 유입구
130: 가스 배출구
140: 단열부
200: 합성 장치
300: 백필터 장치
310: 백필터 챔버
320: 고압 공기 분사부
330: 백필터
400: 연결관
410: 제 1 부분
420: 제 2 부분
500: 제 1 수거 포트
600: 제 2 수거 포트
700: 포집 용기
800: 연결관
1000: 미세 분말 회수 시스템
100: fine powder recovery device
110: body
111: first area part
112: second area part
120: gas inlet
130: gas outlet
140: insulation
200: synthesizing device
300: bag filter device
310: bag filter chamber
320: high-pressure air injection unit
330: bag filter
400: connector
410: first part
420: second part
500: first collection port
600: second collection port
700: collection vessel
800: connector
1000: fine powder recovery system

Claims (17)

속이 빈 통형상으로 형성되어, 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성되는 본체;
상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 형성되는 가스 유입구; 및
상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 관 형상으로 형성되고, 적어도 일부분이 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간 내부로 길게 연장되게 형성되어, 상기 본체의 일측에 상기 가스 유입구와 인접하게 형성되는 가스 배출구;를 포함하고,
상기 본체는,
상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되고,
상기 가스 유입구는,
상기 본체의 일측에 상기 본체의 중심축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 형성되고,
상기 가스 배출구는,
상기 본체의 중심축과 동일한 중심축을 가지는 관 형상으로 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성되고,
상기 본체는, 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부이고,
상기 가스 배출구는, 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부인, 미세 분말 회수 장치.
a body formed in a hollow tubular shape, and having a collecting space in which the fine powder contained in the impregnated gas can be collected while the impregnated gas flows;
a gas inlet formed on one side of the body so that the impregnated gas can be introduced into the collection space; and
It is formed in a tubular shape so that the impregnated gas flowing in the collecting space can be discharged to the outside of the collecting space, and at least a portion is formed to extend from one side of the main body to the inside of the collecting space, one side of the main body and a gas outlet formed adjacent to the gas inlet to
The body is
It is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed in the collection space to induce a vortex of the impregnated gas,
The gas inlet is
It is formed on one side of the main body at a position spaced a predetermined distance from the central axis of the main body,
The gas outlet is
It is formed in a tubular shape having the same central axis as the central axis of the main body to extend from one side of the main body to the inside of the collection space,
The body is a first region portion having a first temperature,
wherein the gas outlet is a second region portion having a second temperature lower than the first temperature.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 영역부는,
고온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 높은 상기 제 1 온도로 형성되고,
상기 제 2 영역부는,
저온부로 형성될 수 있도록, 상기 포집 공간으로 유입되는 상기 함진 가스의 온도 보다 낮은 상기 제 2 온도로 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
The method of claim 1,
The first area part,
It is formed at the first temperature higher than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space so as to be formed as a high-temperature part,
The second area part,
To be formed as a low-temperature part, the fine powder recovery device is formed at the second temperature lower than the temperature of the impregnated gas flowing into the collection space.
제 4 항에 있어서,
상기 제 1 영역부의 상기 제 1 온도는, 550K 내지 650K의 온도로 형성되고,
상기 제 2 영역부의 상기 제 2 온도는, 250K 내지 350K의 온도로 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
5. The method of claim 4,
The first temperature of the first region is formed at a temperature of 550K to 650K,
The second temperature of the second region portion is formed at a temperature of 250K to 350K, a fine powder recovery device.
속이 빈 통형상으로 형성되어, 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성되는 본체;
상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 형성되는 가스 유입구; 및
상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 관 형상으로 형성되고, 적어도 일부분이 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간 내부로 길게 연장되게 형성되어, 상기 본체의 일측에 상기 가스 유입구와 인접하게 형성되는 가스 배출구;를 포함하고,
상기 본체는,
상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되고,
상기 가스 유입구는,
상기 본체의 일측에 상기 본체의 중심축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 형성되고,
상기 가스 배출구는,
상기 본체의 중심축과 동일한 중심축을 가지는 관 형상으로 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성되고,
상기 가스 배출구는, 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부이고,
상기 본체는, 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부인, 미세 분말 회수 장치.
a body formed in a hollow tubular shape, and having a collecting space in which the fine powder contained in the impregnated gas can be collected while the impregnated gas flows;
a gas inlet formed on one side of the body so that the impregnated gas can be introduced into the collection space; and
It is formed in a tubular shape so that the impregnated gas flowing in the collecting space can be discharged to the outside of the collecting space, and at least a portion is formed to extend from one side of the main body to the inside of the collecting space, one side of the main body and a gas outlet formed adjacent to the gas inlet to
The body is
It is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed in the collection space to induce a vortex of the impregnated gas,
The gas inlet is
It is formed on one side of the main body at a position spaced a predetermined distance from the central axis of the main body,
The gas outlet is
It is formed in a tubular shape having the same central axis as the central axis of the main body to extend from one side of the main body to the inside of the collection space,
The gas outlet is a first region portion having a first temperature,
wherein the main body is a second region portion having a second temperature lower than the first temperature.
속이 빈 통형상으로 형성되어, 함진 가스가 유동하면서 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말이 포집될 수 있는 포집 공간이 형성되는 본체;
상기 포집 공간으로 상기 함진 가스가 유입될 수 있도록, 상기 본체의 일측에 형성되는 가스 유입구; 및
상기 포집 공간에서 유동된 상기 함진 가스가 상기 포집 공간의 외부로 배출될 수 있도록, 관 형상으로 형성되고, 적어도 일부분이 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간 내부로 길게 연장되게 형성되어, 상기 본체의 일측에 상기 가스 유입구와 인접하게 형성되는 가스 배출구;를 포함하고,
상기 본체는,
상기 포집 공간에 온도 편차가 형성되어 상기 함진 가스의 와류 현상(Vortex)을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되고,
상기 가스 유입구는,
상기 본체의 일측에 상기 본체의 중심축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 형성되고,
상기 가스 배출구는,
상기 본체의 중심축을 기준으로 상기 가스 유입구와 반대로 소정 거리 이격된 중심축을 가지는 관 형상으로 상기 본체의 일측으로부터 상기 포집 공간의 내부로 길게 연장되게 형성되고,
상기 본체는,
상기 본체의 중심축을 지나는 가상의 횡단면을 기준으로, 상기 본체의 내벽면 일측에 형성되고 제 1 온도를 가지는 제 1 영역부; 및
상기 가상의 횡단면을 기준으로, 상기 제 1 영역부와 대향되도록 상기 본체의 상기 내벽면 타측에 형성되고 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도를 가지는 제 2 영역부;
를 포함하는, 미세 분말 회수 장치.
a body formed in a hollow tubular shape, and having a collecting space in which the fine powder contained in the impregnated gas can be collected while the impregnated gas flows;
a gas inlet formed on one side of the body so that the impregnated gas can be introduced into the collection space; and
It is formed in a tubular shape so that the impregnated gas flowing in the collecting space can be discharged to the outside of the collecting space, and at least a portion is formed to extend from one side of the main body to the inside of the collecting space, one side of the main body and a gas outlet formed adjacent to the gas inlet to
The body is
It is divided into a plurality of regions having different temperatures so that a temperature deviation is formed in the collection space to induce a vortex of the impregnated gas,
The gas inlet is
It is formed on one side of the main body at a position spaced a predetermined distance from the central axis of the main body,
The gas outlet is
It is formed to extend from one side of the main body to the inside of the collection space in a tubular shape having a central axis spaced apart from the gas inlet by a predetermined distance with respect to the central axis of the main body,
The body is
a first region portion formed on one side of the inner wall surface of the main body and having a first temperature based on an imaginary cross section passing through the central axis of the main body; and
a second region portion formed on the other side of the inner wall surface of the body to face the first region portion based on the virtual cross-section and having a second temperature lower than the first temperature;
Including, a fine powder recovery device.
삭제delete 제 7 항에 있어서,
상기 제 1 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 유입구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고,
상기 제 2 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 배출구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
8. The method of claim 7,
The first region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas inlet is formed in the body,
The second region portion is formed at a position corresponding to a position where the gas outlet is formed in the main body, the fine powder recovery device.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 배출구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되고,
상기 제 2 영역부는, 상기 본체에서 상기 가스 유입구가 형성된 위치와 대응된 위치에 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
8. The method of claim 7,
The first region portion is formed at a position corresponding to the position where the gas outlet is formed in the body,
The second region portion is formed at a position corresponding to a position where the gas inlet is formed in the main body, the fine powder recovery device.
제 7 항에 있어서,
상기 본체는,
상기 제 1 온도를 가지는 상기 제 1 영역부와 상기 제 2 온도를 가지는 상기 제 2 영역부 사이의 경계부분을 따라서 형성되는 단열부;
를 더 포함하는, 미세 분말 회수 장치.
8. The method of claim 7,
The body is
a heat insulating portion formed along a boundary between the first region having the first temperature and the second region having the second temperature;
Further comprising, a fine powder recovery device.
제 1 항에 있어서,
상기 본체는,
중력 방향과 수직한 수평 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
The method of claim 1,
The body is
A fine powder recovery device, which is formed in a cylindrical shape extending long in a horizontal direction perpendicular to the gravity direction.
제 1 항에 있어서,
상기 본체는,
중력 방향과 평행한 수직 방향으로 길게 연장되는 원통 형상으로 형성되는, 미세 분말 회수 장치.
The method of claim 1,
The body is
A device for recovering fine powder, which is formed in a cylindrical shape elongated in a vertical direction parallel to the direction of gravity.
화학 반응을 이용한 분말 합성 공정으로 미세 분말을 합성하는 합성 장치;
상기 합성 장치로부터 배출되는 함진 가스에 포함된 상기 미세 분말을 1차로 포집하여 회수하는 제 1 항, 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 9 항, 제 10 항, 제 11 항, 제 12 항 및 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 미세 분말 회수 장치; 및
상기 미세 분말 회수 장치로부터 배출되는 상기 함진 가스에 포함된 미세 분말을 2차로 포집하여 회수하는 백필터 장치;
를 포함하는, 미세 분말 회수 시스템.
a synthesizing device for synthesizing fine powder by a powder synthesizing process using a chemical reaction;
Claims 1, 4, 5, 6, 7, 9, 10, and claim 1 for collecting and recovering the fine powder contained in the impregnated gas discharged from the synthesis device. The apparatus for recovering fine powder according to any one of claims 11, 12 and 13; and
a bag filter device for secondarily collecting and recovering the fine powder contained in the impregnated gas discharged from the fine powder recovery device;
Including, fine powder recovery system.
제 14 항에 있어서,
상기 합성 장치와 상기 미세 분말 회수 장치를 연결하는 연결관;을 더 포함하고,
상기 연결관은,
관 형상으로 형성되고, 상기 합성 장치로부터 일직선으로 연장되게 형성되는 제 1 부분; 및
관 형상으로 형성되고, 상기 제 1 부분의 일단으로부터 소정 각도로 경사지게 형성되어 상기 제 1 부분의 일단과 상기 미세 분말 회수 장치의 상기 가스 유입구를 연결하는 제 2 부분;
을 포함하는, 미세 분말 회수 시스템.
15. The method of claim 14,
Further comprising; a connector connecting the synthesis device and the fine powder recovery device;
The connector is
a first portion formed in a tubular shape and extending in a straight line from the synthesizing device; and
a second portion formed in a tubular shape and inclined at a predetermined angle from one end of the first portion to connect one end of the first portion and the gas inlet of the fine powder recovery device;
Including, fine powder recovery system.
제 15 항에 있어서,
상기 제 2 부분은,
내부 공간에 온도 편차를 형성하여 상기 내부 공간에서 유동하는 상기 함진 가스의 와류 현상을 유도할 수 있도록, 서로 다른 온도를 가지는 복수의 영역으로 구획되는, 미세 분말 회수 시스템.
16. The method of claim 15,
The second part is
The fine powder recovery system, which is partitioned into a plurality of regions having different temperatures so as to induce a vortex phenomenon of the impregnated gas flowing in the internal space by forming a temperature deviation in the internal space.
제 15 항에 있어서,
상기 연결관의 상기 제 2 부분과 상기 미세 분말 회수 장치의 연결부에 설치되어, 상기 제 2 부분에서 포집된 상기 미세 분말이 수거되는 제 1 수거 포트; 및
상기 미세 분말 회수 장치의 일측에 설치되어, 상기 미세 분말 회수 장치에서 포집된 상기 미세 분말이 수거되는 제 2 수거 포트;
를 더 포함하는, 미세 분말 회수 시스템.
16. The method of claim 15,
a first collection port installed in the connection part of the second part of the connection pipe and the fine powder recovery device to collect the fine powder collected in the second part; and
a second collection port installed on one side of the fine powder recovery device to collect the fine powder collected in the fine powder recovery device;
Further comprising a, fine powder recovery system.
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