KR102432367B1 - 다단 연소 스크러버 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 난분해성 과불화합물(PFCs)을 다단 연소 방식으로 분해 제거하는 다단 연소 스크러버 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치는, 산화제로 플라즈마를 발생시켜 토출시키는 플라즈마 발생부, 상기 플라즈마 발생부에 연결되어 토출되는 플라즈마에 연료를 분사하여 부분산화를 통하여 형성된 고온 조건에서 과불화합물을 1차로 분해 제거하며 연료의 부분산화를 통하여 수소를 생성하는 제1연소부, 및 상기 제1연소부에 연결되어 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스에 산화제를 분사하여 안정성 높은 화염을 형성하여 과불화합물을 2차로 분해 제거하는 제2연소부를 포함한다.

Description

다단 연소 스크러버 장치 {MULTISTAGE COMBUSTION SCRUBBER APPARATUS}
본 발명은 다단 연소 스크러버 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 난분해성 과불화합물(PFCs)을 다단 연소 방식으로 제거하는 다단 연소 스크러버 장치에 관한 것이다.
알려진 바에 따르면, 반도체 및 디스플레이 공정에서 배출되는 난분해성 과불화합물(PFCs) 가스는 대표적인 온난화 가스이다. 과불화합물 가스를 분해 제거하기 위한 스크러버 장치가 운용되고 있다.
스크러버 장치는 플라즈마 방식, 습식열(heat-wet) 방식 및 습식연소(burn-wet) 방식이 있으며, 현장에 따라 서로 다른 방식의 스크러버 장치를 통해서 과불화합물(PFCs)을 분해 제거한다. 습식연소(burn-wet) 방식의 스크러버 장치는 고온 조건을 형성하기 위해 연료의 순산소 연소를 통해서 과불화합물(PFCs)의 분해 반응을 유도한다.
습식연소(burn wet) 방식의 스크러버는 과불화합물(PFCs)의 분해 제거를 위한 고온 조건을 형성하기 위하여, 동심원주상에 배치된 다수의 공급홀들을 통하여 연료와 산소를 공급하여 화염을 형성하고, 동심원주의 중심으로 처리 대상 과불화합물(PFCs)을 공급하여, 과불화합물(PFCs)이 고온 조건에서 분해 제거되도록 구성되어 있다.
이때, 공급되는 과불화합물(PFCs)은 연료의 순산소 연소로 형성되는 고온의 환형 확산 화염 내로 유입되면서 분해 제거된다. 그러나 이 과정에서 과불화합물(PFCs)과 확산 화염의 혼합(믹싱, mixing)이 원활하지 않아서 과불화합물과 확산 화염의 상호 접촉이 미비하게 되면, 과불화합물(PFCs)의 분해 제거율이 낮아지게 된다. 따라서 분해되지 않은 과불화합물(PFCs)이 배출된다.
그러므로 화염의 길이를 점점 길게 하여 과불화합물과 화염의 접촉 가능성을 늘려서 처리율을 높여야 된다. 이와 같이 화염의 길이가 질어지게 하는 과정에서 연료와 순산소, 즉 산화제의 사용이 과다해지며, 이로 인하여, 미연 연료와 CO가 다량 배출된다. 대량의 연료를 공급하면서도 연료의 완전 연소를 얻을 수 없는 문제점을 가지게 된다.
본 발명의 목적은 난분해성 과불화합물(PFCs)을 다단 연소 방식으로 분해 제거하는 다단 연소 스크러버 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 목적은 연료의 이중 연소로 발생되는 고온의 조건을 이용해서 과불화합물(PFCs)을 분해 제거하는 다단 연소 스크러버 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 메탄을 주 성분으로 하는 가스연료에 의한 환형의 확산 화염이 아니라, 다단 연소를 통해 연료 과농 조건으로 운전되는 1차 연소에서는 과불화합물의 제거와 더불어 수소가 발생되도록 하고, 2차연소 과정에서 수소의 빠른 연소 속도를 이용하여 화염의 길이가 짧고 화염영역이 넓은 화염대를 형성하여 과불화합물을 효과적으로 제거하면서도 미연탄화수소나 일산화 탄소의 배출이 없는 다단연소 스크러버 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 습식연소(burn-wet) 방식으로 과불화합물(PFCs)을 분해 제거하는 다단 연소 스크러버 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치는, 산화제로 플라즈마를 발생시켜 토출시키는 플라즈마 발생부, 상기 플라즈마 발생부에 연결되어 토출되는 플라즈마에 연료를 분사하여 부분산화를 통하여 형성된 고온 조건에서 과불화합물을 1차로 분해 제거하며 연료의 부분산화를 통하여 수소를 생성하는 제1연소부, 및 상기 제1연소부에 연결되어 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스에 산화제를 분사하여 안정성 높은 화염을 형성하여 과불화합물을 2차로 분해 제거하는 제2연소부를 포함한다.
상기 산화제는 산소이고, 상기 연료는 메탄(CH4)일 수 있다.
상기 플라즈마 발생부는 고전압이 인가되는 고전압 전극, 상기 고전압 전극을 수용하고 서로의 사이에 방전갭을 형성하며 전기적으로 접지되는 하우징, 및 상기 방전갭에 상기 산화제를 공급하는 제1공급구를 포함할 수 있다.
상기 플라즈마 발생부는 발생된 플라즈마가 제트 형태로 불출되도록 토출 측의 제1확장부에 연결되는 수축-확장부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1연소부는 제1연소실에 연료를 공급하는 제2공급구, 및 상기 제1연소실에 과불화합물을 공급하는 제3공급구를 포함할 수 있다.
상기 제1연소부는 상기 플라즈마 발생부에 제1확장부로 연결되고 상기 제2연소부에 제1축소부로 연결되는 상기 제1연소실을 구비하며, 상기 제2공급구는 상기 제1확장부에 연결되는 상기 플라즈마 발생부의 하단 상기 제1확장부에 연결되고, 상기 제3공급구는 상기 제1연소실에 연결될 수 있다.
상기 제1연소부는 상기 플라즈마 발생부에 제1확장부로 연결되고 상기 제2연소부에 제1축소부로 연결되는 상기 제1연소실을 구비하며, 상기 제2공급구는 상기 플라즈마 발생부의 일단에 연결되고, 상기 제3공급구는 상기 제1연소실에 연결될 수 있다.
상기 제1연소실은 상기 제3공급구 측에서 외벽과 내벽을 가지는 2중 벽 구조로 형성되고, 상기 제3공급구를 상기 내벽의 원주 방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 내벽 내주면의 접선 방향으로 형성될 수 있다.
상기 제1축소부는 연장부를 더 구비하여 상기 제2연소부에 연결되며, 상기 연장부는 추가 산화제를 공급하는 제4공급구를 더 구비할 수 있다.
상기 제2연소부는 상기 연장부에 제2확장부로 연결되고 출구에 제2축소부로 연결되는 제2연소실을 구비할 수 있다.
상기 연장부는 상기 제2연소실로 설정된 길이만큼 삽입되어 상기 제2연소부는 상기 제1연소부 측에서 2중 벽 구조를 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치는, 상기 제2연소부의 상기 출구에 연결되어, 물을 분사하여 과불화합물의 분해 과정에서 발생하는 불소(F)와 물의 수소(H)와의 반응으로 생성되는 불화수소(HF)를 냉각 및 포집하는 습식 냉각포집실을 더 포함할 수 있다.
상기 습식 냉각포집실은 상기 출구에 제3확장부로 연결되어, 냉각 및 포집 공간을 형성하며, 상기 제3확장부에서 물을 분사하는 노즐을 구비할 수 있다.
이와 같이, 일 실시예는 플라즈마 발생부, 제1연소부 및 제2연소부를 구비하여, 플라즈마에 연료를 분사한 부분산화로 과불화합물을 1차로 분해 제거하여, 수소가 포함된 고온의 가스를 생산하고, 이 가스에 산화제를 추가로 분사하여 안정성 높은 화염을 형성하고, 이 화염으로 과불화합물을 2차로 분해 제거할 수 있다.
즉 일 실시예는 제1연소부에서 1차로 부분산화(농후연소)하고, 제2연소부에서 2차로 희박연소(린번, lean burn)하면서 미연 연료 및 일산화탄소의 배출을 방지하고, 열량 분배를 통하여 고열에 의한 질소산화물(NOx)의 배출을 감소할 수 있다.
일 실시예는 제1연소부에서 부분산화를 통해 과불화합물의 일부를 분해하면서 수소를 생성하고, 추가로 공급되는 산소에 의하여 빠른 연소 속도로 인하여, 제2연소부로 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스가 안정성 높은 화염을 형성하면서 잔여 과불화합물을 분해 제거한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치의 구성도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따른 단면도이다.
도 3은 도 1에 적용되는 플라즈마 발생부의 변형례의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치의 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따른 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시의 다단 연소 스크러버 장치(1)는 플라즈마 발생부(30), 제1연소부(10) 및 제2연소부(20)를 포함한다.
플라즈마 발생부(30)는 산화제로 플라즈마(P)를 발생시켜 토출시키도록 구성된다. 플라즈마 발생부(30)는 제1연소부(10)의 점화 및 화염 안정화를 위한 플라즈마(P)를 발생시킨다.
플라즈마 발생부(30)는 직류(DC) 또는 교류(AC)로 구동되는 플라즈마 아크 또는 플라즈마 아크의 분출로 형성되는 플라즈마 아크제트(미도시)를 발생시킬 수 있다. 플라즈마 발생부(30)는 최종단(POU; point of use)에서 150lpm 처리 유량을 기준으로 100~200W 이내의 최소 전력으로 운전될 수 있다.
일례를 들면, 플라즈마 발생부(30)는 고전압 전극(31), 하우징(32) 및 제1공급구(33)를 포함한다. 고전압 전극(31)에는 플라즈마(P) 발생을 위한 고전압(HV)이 인가된다.
하우징(32)은 고전압 전극(31)을 중심에 수용하고, 고전압 전극(31)의 외표면과 하우징(32)의 내표면 사이에 방전갭(G)을 형성한다. 하우징(32)은 전기적으로 접지된다. 제1공급구(33)는 방전갭(G)에 산화제를 공급한다. 일례로써, 산화제는 산소일 수 있다.
제1공급구(33)를 산화제를 공급하면서, 하우징(32)이 접지된 상태에서 고전압 전극(31)에 고전압(HV)을 인가하면, 방전갭(G)에서 방전에 의하여 플라즈마(P)를 발생시킨다. 플라즈마(P)는 제1연소부(10)로 토출된다.
별도로 도시하지 않았으나, 제1공급구(33)는 산소 공급시 고전압 전극(31)과 하우징(32) 사이 및 방전갭(G)에서 회전유동을 발생시키므로 산소의 회전 유동을 통하여 발생하는 플라즈마(P) 아크를 안정화시킬 수 있다.
도시하지 않았으나 플라즈마 발생부는 방전으로 형성된 플라즈마 아크로부터 플라즈마 아크제트를 형성하기 하여, 제1연소부에 연결되는 부분을 축소-확장(converging-diverging) 구조로 형성될 수 있다.
제1연소부(10)는 플라즈마 발생부(30)에 연결되어 토출되는 플라즈마(P)에 연료를 분사하여 부분산화를 통하여 과불화합물을 1차로 분해 제거하며 이 과정에서 수소를 생성한다. 제1연소부(10)에는 부분산화(partial oxidation) 화염(PF)이 형성된다. 일례로써, 연료는 메탄(CH4)일 수 있다.
제1연소부(10)는 제1연소실(11)에 연료를 공급하는 제2공급구(12), 및 제1연소실(11)에 과불화합물을 공급하는 제3공급구(13)를 포함한다. 이를 위하여, 제1연소부(10)는 플라즈마 발생부(30)에 제1확장부(101)로 연결되고 제2연소부(20)에 제1축소부(102)로 연결되는 제1연소실(11)을 구비한다.
도 3은 도 1에 적용되는 플라즈마 발생부의 변형례의 구성도이다. 도 3을 참조하면, 플라즈마 발생부(230)는 제1확장부(101)와 연결되는 토출 측에 수축-확장부(34)를 더 구비할 수 있다. 수축-확장부(3)는 플라즈마 발생부(230)에서 발생된 플라즈마가 제1확장부(101)를 경유하여 제1연소실(11)을 향하여 제트 형태로 불출되게 하며, 하우징(232)의 수축 및 확장하는 구조 형성될 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 제2공급구(12)는 제1확장부(101)에 연결되어 플라즈마 발생부(30)에 인접하여 연료를 공급하므로, 제1확장부(101) 내에서 산소와 연료의 부분산화를 가능케 한다. 따라서 제1연소실(11)에 부분산화 화염(PF)이 형성된다.
별도로 도시하지는 않았으나 제2공급구(12)는 제1연소실(11) 내의 균일한 화염 형성을 위하여 원주 방향을 따라 일정 간격으로 이격 배치된 다수개의 공급구를 통하여 공급될 수 있다.
제3공급구(13)는 제1연소실(11)에 연결되어 부분산화 화염(PF)에 과불화합물을 공급하므로 제1연소실(11) 내에서 부분산화 화염(PF)과 과불화합물의 혼합을 통하여 부분적으로 과불화합물을 분해 제거할 수 있다. 이때, 제1연소실(11)의 온도 조건을 적절하게 형성하며 수소를 생성하게 된다.
제1연소실(11)은 제3공급구(13) 측에서 외벽(111)과 내벽(112)을 가지는 2중 벽 구조로 형성된다. 제3공급구(13)를 내벽(112)의 원주 방향을 따라 복수로 형성되고, 내벽(112) 내주면의 접선 방향으로 형성된다.
과불화합물은 외벽(111)과 내벽(112) 사이의 공간(113)에서 완충되어 내벽(112)에 구비되는 복수의 제3공급구들(13)을 통하여 제1연소실(11)로 균일하게 공급된다.
또한, 공급되는 과불화합물은 내벽(112)에 형성되는 제3공급구(13)의 방향을 따라 내주면의 접선 방향을 따라 스월(swirl) 형태로 공급되면서 제1연소실(11) 내에서 회전유동을 형성한다. 이로써, 과불화합물과 부분산화 화염(PF)의 혼합 특성을 균일하게 한다.
제1축소부(102)는 연장부(103)를 더 구비하여 제2연소부(20)에 연결된다. 연장부(103)는 추가 산화제를 공급하는 제4공급구(14)를 더 구비한다. 제1연소부(10)는 연장부(103)를 통하여 수소를 포함한 고온의 가스를 제2연소부(20)로 토출한다.
제2연소부(20)는 제1연소부(10)에 연결되어 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스에 산화제를 분사하여 화염의 안정성(stability)이 높은 화염(SF)을 형성하여 과불화합물을 2차로 분해 제거하도록 구성된다.
제2연소부(20)는 연장부(103)에서 추가 산화제(일례로써, 산소)를 공급하여, 수소의 빠른 연소 속도로 인하여 화염의 안정성(stability)이 높은 화염(SF)을 형성한다. 이 화염(SF)은 잔여 과불화합물(PFCs)을 분해 제거한다.
이와 같이, 다단 연소 스크러버 장치(1)는 제1연소부(10)에서 산소와 연료의 플라즈마 방전으로 연료를 부분산화 하여 수소를 생성하고, 제2연소부(20)에서 희박 연소(lean burn)에 의한 열량 분배를 통하여 열 질소산화물(thermal NOx)의 배출을 감소할 수 있다.
또한 제2연소부(20)는 연장부(103)에 제2확장부(201)로 연결되고 출구(204)에 제2축소부(202)로 연결되는 제2연소실(21)을 구비한다. 연장부(103)는 제2연소실(21)로 설정된 길이만큼 삽입되어, 제2연소부(20)는 제1연소부(10) 측에서 2중 벽 구조를 형성할 수 있다.
즉 2중 벽 구조는 제2연소부(20)의 제2연소실(21)이 외벽을 형성하고, 연장부(103)가 내벽을 형성한다. 즉 연장부(103) 내에서 안정된 희박연소 화염(SF)이 형성되어 과불화합물이 처리되면서 토출되고, 제2연소실(21) 내에서 추가적인 희박연소(LB)를 통해 잔여 과불화합물이 처리된다. 2중 벽 구조는 제2연소실(21) 및 연결부(103)에서 2차 화염(SF)의 생성 시, 과불화합물(PFCs) 처리에 필요한 고온 조건 형성을 보다 효과적으로 가능하게 한다.
이와 같이, 다단 연소 스크러버 장치(1)는 제1, 제2연소부(10, 20)의 연소를 통하여, 과불화합물을 분해할 수 있는 고온 조건을 형성하면서도 제1연소부(10)에서 수소를 생성하여 제2연소부(20)로 배출하며, 수소를 포함한 제1연소실(11)의 연소 생성물이 연결부(103) 및 제2연소실(21)에서 연소를 통하여 길이가 짧은 안정된 화염(SF)으로 과불화합물을 분해 및 제거할 수 있다. 과불화합물이 분해 및 제거된 처리가스는 출구(204)로 배출된다. 이를 통하여, 미연연료(unburned fuel)와 CO의 배출을 방지할 수 있다.
제1연소부(10)는 플라즈마 발생부(30)에서 발생되는 플라즈마(P)에 의하여 제1연소실(11)에서의 부분산화 조건에서도 안정적인 부분산화 화염(PF)을 형성할 수 있다.
이하 본 발명의 제2실시예에 대하여 설명한다. 제1실시예와 비교하여 서로 동일한 구성을 생략하고 서로 다른 구성을 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 연소 스크러버 장치의 구성도이다. 도 4를 참조하면, 제2실시예의 다단 연소 스크러버 장치(2)는 습식 냉각포집실(40)을 더 포함한다.
습식 냉각포집실(40)은 제2연소부(20)의 출구(204)에 연결되어, 과불화합물이 분해 및 제거된 가스가 배출되는 출구(204) 측에 물을 분사하여 처리된 가스를 냉각 및 포집하도록 구성된다.
일례로써, 습식 냉각포집실(40)은 출구(204)에 제3확장부(401)로 연결되어, 냉각 및 포집 공간(411)을 형성하며, 제3확장부(401)에서 물을 분사하는 노즐(41)을 구비한다.
노즐(41)에서 분사되는 물은 처리된 가스에 포함되어 있는, 즉 과불화합물의 분해 과정에서 발생하는 불소(F)와 물의 수소(H)와의 반응으로 생성되는 불화수소(HF)를 습식 냉각포집실(40)에서 냉각 포집할 수 있다.
메탄(CF4)이 분해되는 과정에서 불소(F)가 발생하는데, 불소(F)와 탄소(C)가 반응하여 다시 메탄(CF4)으로 되돌아 가는 것을 막기 위해 물을 공급한다. 물의 수소(H)와 분해된 불소(F)가 만나 반응해서 불화수소(HF)가 만들어지면서 메탄(CF4)이 제거된다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것이 아니고 청구범위와 발명의 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
1, 2: 다단 연소 스크러버 장치 10: 제1연소부
11: 제1연소실 12: 제2공급구
13: 제3공급구 20: 제2연소부
30, 230: 플라즈마 발생부 31: 고전압 전극
32, 232: 하우징 33: 제1공급구
34: 수축-확장부 40: 습식 냉각포집실
41: 노즐 101: 제1확장부
102: 제1축소부 103: 연장부
111, 112: 외, 내벽 201: 제2확장부
202: 제2축소부 204: 출구
401: 제3확장부 411: 냉각 및 포집 공간
G: 방전갭 P: 플라즈마
PF: 부분산화 화염 SF: 화염

Claims (13)

  1. 산화제로 플라즈마를 발생시켜 토출시키는 플라즈마 발생부;
    상기 플라즈마 발생부에 연결되어 토출되는 플라즈마에 연료를 분사하여 부분산화를 통하여 형성된 고온 조건에서 과불화합물을 1차로 분해 제거하며 연료의 부분산화를 통하여 수소를 생성하는 제1연소부; 및
    상기 제1연소부에 연결되어 토출되는 수소를 포함한 고온의 가스에 추가로 산화제를 분사하여 안정성 높은 화염을 형성하여 잔여 과불화합물을 2차로 분해 제거하는 제2연소부
    를 포함하며,
    상기 제1연소부는
    상기 플라즈마 발생부에 제1확장부로 연결되고 상기 제2연소부에 제1축소부로 연결되는 제1연소실,
    상기 제1확장부에 연결되는 상기 플라즈마 발생부의 하단 또는 상기 제1확장부에 연결되어 상기 제1연소실에 연료를 공급하는 제2공급구, 및
    상기 제1연소실에 연결되어 과불화합물을 공급하는 제3공급구를 포함하며,
    상기 제1축소부는
    연장부를 더 구비하여 상기 제2연소부에 연결되며,
    상기 연장부는
    추가 산화제를 공급하는 제4공급구를 더 구비하고,
    상기 산화제에 의하여 빠른 연소 속도로 인하여 수소를 포함한 고온의 가스와 안정성(stability)이 높은 화염(SF)을 형성하고, 상기 화염이 잔여 과불화합물을 분해 제거하는 다단 연소 스크러버 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 산화제는 산소이고,
    상기 연료는 메탄(CH4)인 다단 연소 스크러버 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 발생부는
    고전압이 인가되는 고전압 전극,
    상기 고전압 전극을 수용하고 서로의 사이에 방전갭을 형성하며 전기적으로 접지되는 하우징, 및
    상기 방전갭에 상기 산화제를 공급하는 제1공급구
    를 포함하는 다단 연소 스크러버 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 발생부는
    발생된 플라즈마가 제트 형태로 불출되도록 토출 측의 제1확장부에 연결되는 수축-확장부를 더 포함하는 다단 연소 스크러버 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1연소실은
    상기 제3공급구 측에서 외벽과 내벽을 가지는 2중 벽 구조로 형성되고,
    상기 제3공급구를 상기 내벽의 원주 방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 내벽 내주면의 접선 방향으로 형성되는
    다단 연소 스크러버 장치.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제2연소부는
    상기 연장부에 제2확장부로 연결되고 출구에 제2축소부로 연결되는 제2연소실을 구비하는
    다단 연소 스크러버 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 연장부는
    상기 제2연소실로 설정된 길이만큼 삽입되어
    상기 제2연소부는
    상기 제1연소부 측에서 2중 벽 구조를 형성하는
    다단 연소 스크러버 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제2연소부의 상기 출구에 연결되어, 물을 분사하여 과불화합물의 분해 과정에서 발생하는 불소(F)와 물의 수소(H)와의 반응으로 생성되는 불화수소(HF)를 냉각 및 포집하는 습식 냉각포집실
    을 더 포함하는 다단 연소 스크러버 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 습식 냉각포집실은
    상기 출구에 제3확장부로 연결되어, 냉각 및 포집 공간을 형성하며,
    상기 제3확장부에서 물을 분사하는 노즐을 구비하는
    다단 연소 스크러버 장치.
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