KR102428809B1 - 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 저온의 유체를 이송하는 내부 벨로우즈와 그 외측을 감싸면서 진공 공간을 형성하는 외부 벨로우즈로 구성된 이중 벨로우즈부를 가지며, 패스너를 이용하여 구조물에 고정 결합이 용이하도록 이중 벨로우즈부의 중간에 이중 파이프부를 설치하여 구성된 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관이 개시된다.

Description

이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관 {Vacuum pipe with dual bellows section}
본 발명은 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관에 관한 것으로서, 저온의 유체를 이송하는 내부 벨로우즈와 그 외측을 감싸면서 진공 공간을 형성하는 외부 벨로우즈로 구성된 이중 벨로우즈부를 가지며, 패스너를 이용하여 구조물에 고정 결합이 용이하도록 이중 벨로우즈부의 중간에 이중 파이프부를 설치하여 구성된 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에는 칠러, 스크러버, 챔버 등의 다양한 장비가 설치 사용된다. 일예로, 칠러(Chiller)는 반도체 공정용 온도 조절 장치로서, 반도체 공정 중 발생하는 열을 흡수하여 공정 장비의 내부, 웨이퍼, 글래스 등의 온도를 일정하게 유지시켜 주는 장치이다.
칠러와 연결된 배관 내의 유체는 -80~20 ℃의 극저온 온도 조건을 가지므로, 이러한 배관 구간에는 결로가 발생하지 않도록 내부 배관과 외부 배관 사이에 진공 조건을 형성하는 진공배관을 설치한다.
한편, 반도체 제조 공정 내의 배관 배치를 감안하여, 진공배관은 내부 벨로우즈와 그 외측을 감싸면서 진공 공간을 형성하는 외부 벨로우즈로 구성된 이중 벨로우즈부로 구성되는 경우가 많은데, 이러한 이중 벨로우즈부는 유연한 배치 구조를 제공하는데는 유리하지만 강성을 갖지 않으므로 패스너(예, "U" 밴드, 서포트, 찬넬 앵글 등)를 이용하여 공장 구조물(예, H 빔, 배관류 등)에 직접 고정 결합하기 어렵다는 난점이 있었으며, 설치 후에도 심각한 결함의 발생 우려가 있었다.
이를 감안하여, 종래에는 도 7과 같이, 전체가 이중 벨로우즈부로 구성된 진공배관(BL) 중 고정 결합이 이뤄질 중간 구간의 외측에 스테인레스 스틸 등으로 제작된 중공형의 금속관(PP)을 삽입하고, 금속관(PP)의 외측면을 패스너(70)로 감싸는 형태로 만들어 구조물(100)에 고정 결합하였다.
그런데, 이중 벨로우즈부는 금속관(PP)의 내부에 고정된 상태가 아니므로, 상호 움직임이 가능하여 이에 따른 문제점이 발생할 수 있다.
일예로, 진공배관(BL)의 내부에 흐르는 유체가 액체인 경우에는 유체의 온/오프 단속 시에 이중 벨로우즈부의 내부에 급격한 유동압의 변화가 발생하고, 이러한 유동압의 변화에 의한 벨로우즈부의 움직임 발생 및 주변 요소(금속관, 구조물)에 대한 충돌의 우려가 있다.
또한, 벨로우즈부의 움직임이 발생하는 경우, 그 내부를 흐르는 유체의 유동 환경에도 변화가 발생하여, 당초 설정된 온도/압력 조건에서 벗어날 수 있다는 문제점도 있다.
대한민국 공개특허 10-2005-0079223 (2005년08월09일) 대한민국 공개특허 10-2006-0072883 (2006년06월28일) 대한민국 공개특허 10-2009-0032732 (2009년04월01일) 대한민국 공개특허 10-2011-0109966 (2011년10월06일)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 저온의 유체를 이송하는 내부 벨로우즈와 그 외측을 감싸면서 진공 공간을 형성하는 외부 벨로우즈로 구성된 이중 벨로우즈부를 가지며, 패스너를 이용하여 구조물에 고정 결합이 용이하도록 이중 벨로우즈부의 중간에 이중 파이프부를 설치하여 구성된 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 감안한 본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 직경을 갖는 외측 파이프와 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지며 상기 외측 파이프의 내측에 삽입되는 내측 파이프를 포함하며, 상기 외측 파이프의 내부면과 상기 내측 파이프의 외부면 사이에 파이프 진공 공간이 형성되는 파이프부; 상기 파이프부의 일측 및 타측에 각각 연결되고, 상기 외측 파이프에 연결되는 외측 벨로우즈와 상기 내측 파이프에 연결되는 내측 벨로우즈를 각각 포함하며, 상기 외측 벨로우즈의 내부면과 상기 내측 벨로우즈의 외부면 사이에 상기 파이프 진공 공간과 연통되는 벨로우즈 진공 공간이 각각 형성되는 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부; 상기 내측 파이프 및 내측 벨로우즈의 외부면을 감싸는 형태로 설치되는 단열재층; 및 상기 외측 파이프의 내부면과 상기 내측 파이프를 감싸는 단열재층의 외부면 사이에 삽입되어 내측 파이프의 편향(偏向)을 방지하는 링형 브라켓;을 포함하며, 상기 파이프부는 상기 외측 파이프의 외측면을 패스너가 감싸는 형태로 결합하여 구조물에 고정 결합이 가능하도록 구성된 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관이 개시된다.
바람직하게, 상기 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부의 각각의 외측 연결단에는, 상기 외측 벨로우즈의 외측 연결단 및 상기 내측 벨로우즈의 외측 연결단과 각각 결합하여 상기 벨로우즈 진공 공간을 형성하도록 플랜지가 각각 설치된다.
바람직하게, 상기 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부 중 어느 하나의 외측 벨로우즈와 플랜지가 연결 설치되는 연결 관로부에는 진공 배관과 연결되는 진공 연결 관로가 형성되며, 상기 진공 연결 관로의 일측에는 압력게이지와 연결되는 측정관로가 형성된다.
바람직하게, 상기 단열재층은, 세라믹 화이버 페이퍼와 알루미늄 호일이 적층되어 구성된 다층박막 단열재(MLI, Multi-Layer Insulation)이다.
바람직하게, 상기 링형 브라켓의 링 측면에는 상기 파이프 진공 공간의 일측과 타측을 상호 연통시키는 하나 이상의 관통공이 형성되고, 링 내측에는 상기 단열재층의 외부면에 대한 삽입 설치 및 삽입 상태의 유지가 용이하도록 만곡형 접촉면을 갖는 확장부가 형성된다.
바람직하게, 상기 패스너는 "U" 밴드 타입 패스너이다.
이와 같은 본 발명은, 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관을 패스너를 이용하여 구조물에 고정 결합함에 있어서, 이중 벨로우즈부의 중간에 이중 파이프부를 설치함으로써 용이한 결합 작업과 견고한 설치 상태를 제공하는 장점이 있다.
또한 본 발명은, 이중 파이프부가 이중 벨로우즈부에 직접 견고한 결합 상태를 가지므로, 진공배관의 내부에 흐르는 유체(액체)의 온/오프 단속 시에 이중 벨로우즈부의 내부에 급격한 유동압의 변화가 발생하더라도, 이중 파이프부 및 이를 감싸는 패스너를 통해 이중 벨로우즈부가 구조물로부터 견고한 지지력을 받으므로, 유동압의 변화에 의한 벨로우즈부의 움직임 발생 및 주변 요소에 대한 충돌이 최소화된다.
또한 본 발명은, 이중 벨로우즈부의 움직임 및 충돌이 최소화되므로, 그 내부를 흐르는 유체의 유동 환경에 대한 변화도 최소화되어, 당초 설정된 공정 상의 유체의 온도/압력 조건을 안정적으로 유지하는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관의 종단면 방향 모식도,
도 2는 도 1의 A-A 방향 단면 모식도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관의 설치 상태 모식도,
도 4는 도 3의 B-B 방향 단면 모식도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 링형 브라켓의 평면 및 측면 모식도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관을 이용한 배관 리크 감시 시스템의 모식도,
도 7은 종래의 진공배관의 설치 상태 모식도이다.
본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다.
본 출원에서 사용한 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "구비하다", "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 구성요소 또는 이들의 조합이 존재하는 것을 표현하려는 것이지, 다른 구성요소 또는 특징이 존재 또는 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관의 종단면 방향 모식도, 도 2는 도 1의 A-A 방향 단면 모식도, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관의 설치 상태 모식도, 도 4는 도 3의 B-B 방향 단면 모식도, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 링형 브라켓의 평면 및 측면 모식도, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관을 이용한 배관 리크 감시 시스템의 모식도이다.
본 실시예의 진공배관은, 파이프부(10), 벨로우즈부(20,30), 단열재층(40), 링형 브라켓(50) 및 플랜지(60)를 포함한다.
상기 파이프부(10)는, 제1 직경을 갖는 외측 파이프(P1)와 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지며 상기 외측 파이프(P1)의 내측에 삽입되는 내측 파이프(P2)를 포함하며, 상기 외측 파이프(P1)의 내부면과 상기 내측 파이프(P2)의 외부면 사이에 파이프 진공 공간(12)이 형성된다.
일예로, 상기 파이프부(10)는 금속제(예, 스테인레스 스틸)로 제작될 수 있다.
상기 벨로우즈부(20,30)는 상기 파이프부(10)의 일측 및 타측에 각각 연결되는 일측 벨로우즈부(20) 및 타측 벨로우즈부(30)를 포함한다.
상기 일측 벨로우즈부(20)는, 상기 외측 파이프(P1)에 연결되는 외측 벨로우즈(B1)와 상기 내측 파이프(P2)에 연결되는 내측 벨로우즈(B2)를 포함하며, 상기 외측 벨로우즈(B1)의 내부면과 상기 내측 벨로우즈(B2)의 외부면 사이에 상기 파이프 진공 공간(12)과 연통되는 벨로우즈 진공 공간(22)이 형성된다.
상기 타측 벨로우즈부(30)는, 상기 외측 파이프(P1)에 연결되는 외측 벨로우즈(B1)와 상기 내측 파이프(P2)에 연결되는 내측 벨로우즈(B2)를 각각 포함하며, 상기 외측 벨로우즈(B1)의 내부면과 상기 내측 벨로우즈(B2)의 외부면 사이에 상기 파이프 진공 공간(12)과 연통되는 또다른 벨로우즈 진공 공간(32)이 형성된다.
일예로, 상기 벨로우즈부(20,30)는 금속제(예, 스테인레스 스틸)로 제작될 수 있으며, 상기 파이프부(10)와 용접으로 결합될 수 있다.
상기 벨로우즈부(20,30)는 길이 방향의 신장 및 측면 방향으로의 굴곡이 가능하므로, 반도체 제조 공정 내의 구조물(예, 기둥, 천장, 벽면) 및 다양한 설치물의 배치 상태를 감안하여 다양한 방향으로 신축 및/또는 굴곡 배치될 수 있다.
상기 단열재층(40)은 상기 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 외부면을 감싸는 형태로 설치되며, 내측 배관 내에 -80~20 ℃의 극저온 환경의 유체(액체)가 흐르더라도 외부로의 열전달을 최대한 차단하여 결로가 발생하지 않도록 한다.
일예로, 상기 단열재층(40)은, 세라믹 화이버 페이퍼와 알루미늄 호일이 적층되어 구성된 다층박막 단열재(MLI, Multi-Layer Insulation)로 형성될 수 있다.
세라믹 화이버 페이퍼는 고순도의 세라믹 섬유로 제작되어 고온(또는 저온) 단열 분야에 사용되며, 균일한 미세구조로 섬유 분포의 밀도, 두께가 일정하며 우수한 탄력성을 갖는다. 또한, 세라믹 화이버 페이퍼는 내고온성(또는 내저온성)과 단열 성능이 탁월하고 내열 용해력이 뛰어나 제한된 공간에서 우수한 내열성과 보온성을 제공한다.
일예로, 본 실시예의 다층박막 단열재는 세라믹 화이버 페이퍼와 알루미늄 호일이 적층된 상태에서 상기 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 외부면을 여러겹으로 감싸는 형태로 설치될 수 있다.
상기 링형 브라켓(50)은 상기 외측 파이프(P1)의 내부면과 상기 내측 파이프(P2)를 감싸는 단열재층(40)의 외부면 사이에 삽입되어 내측 파이프(P2)의 편향(偏向)을 방지한다.
본 실시예의 진공배관은, 반도체 제조 공정 내의 구조물(예, 기둥, 천장, 벽면)에 다양한 위치 및 방향으로 설치되므로, 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 자중과 내부 유체의 자중 또는 흐름 압력 등에 의해 외측 파이프(P1)의 내부에서 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 편향(쏠림 또는 처짐)이 발생할 수 있다.
이러한 편향이 발생하면, 외측 파이프(P1)과 내측 파이프(P2) 상호 간의 마찰, 충돌이 발생하거나, 외측 벨로우즈(B1)와 내측 벨로우즈(B2) 상호 간의 마찰, 충돌이 발생할 수 있으므로, 링형 브라켓(50)을 이용하여 내측 파이프(P2)의 편향(偏向)을 방지한다.
일예로, 상기 링형 브라켓(50)의 링 측면에는 상기 파이프 진공 공간(12)의 일측과 타측을 상호 연통시키는 하나 이상의 관통공(52)이 형성된다. 상기 관통공(52)을 통해, 파이프 진공 공간(12)과 그 양측의 벨로우즈 진공 공간(22,23)이 하나의 진공 공간으로 연통하여 형성될 수 있다. 다른예로, 링형 브라켓(50)의 링 외측면이 외측 파이프(P1)의 내부면과 약간의 유격을 갖거나, 링형 브라켓(50)의 링 내측면이 상기 내측 파이프(P2)를 감싸는 단열재층(40)의 외부면과 약간의 유격을 갖는 형태로 구성되어 진공 공간의 연통이 이뤄질 수도 있다.
바람직하게, 상기 링형 브라켓(50)의 링 내측에는 상기 단열재층(40)의 외부면에 대한 삽입 설치 및 삽입 상태의 유지가 용이하도록 만곡형 접촉면(54a)을 갖는 확장부(54)가 형성된다.
일예로, 본 실시예의 진공배관은 다음과 같은 과정으로 제작될 수 있다.
자동용접기를 이용하여, 내측 파이프(P2)의 일측 및 타측에 내측 벨로우즈(B2)를 각각 용접 결합하여 내측 관로부를 형성한다.
내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)로 구성된 내측 관로부의 외측면에 다층박막 단열재로 구성된 단열재층(40)를 감싼다.
단열재층(40)으로 감싸진 상태의 내측 파이프(P2)의 외측에 링형 브라켓(50)을 삽입한다.
외측 파이프(P1)의 1/2과 이에 용접 결합된 일측 벨로우즈부(20)의 외측 벨로우즈(B1)를 내측 관로부의 일측으로 삽입한다.
외측 파이프(P1)의 또다른 1/2과 이에 용접된 타측 벨로우즈부(30)의 외측 벨로우즈(B1)를 내측 관로부의 타측으로 삽입한다.
외측 파이프(P1)의 1/2과 또다른 1/2을 상호 용접 결합하여 진공배관을 형성한다.
상기 제작 과정에서, 링형 브라켓(50)의 링 내측(원형 관통부)은 단열재층(40)으로 감싸진 상태의 내측 파이프(P2)의 외측에 외삽된다. 이 과정에서, 상기 링형 브라켓(50)의 링 내측의 둘레를 따라서 도 5에 도시된 것처럼 전후 방향 양측으로 상향 만곡된 만곡형 접촉면(54a)이 구비되면, 제작 과정에서 상기 단열재층(40)의 외부면에 대한 삽입 설치가 용이하게 이뤄질 수 있으며, 삽입 설치 과정에서 단열재층(40)에 대한 마찰 손상을 방지할 수 있다.
또한, 링형 브라켓(50)이 설치된 상태에서, 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 자중과 내부 유체의 자중 등에 의해 외측 파이프(P1)의 내부에서 내측 파이프(P2) 및 내측 벨로우즈(B2)의 편향(쏠림 또는 처짐)이 발생할 수 있는데, 만곡형 접촉면(54a)을 갖는 확장부(54)를 통해 지지면이 확장되므로, 단열재층(40)에 대한 링형 브라켓(50)의 삽입 상태 및 지지 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
일예로, 상기 링형 브라켓(50)은 테프론 소재로 형성될 수 있다.
상기 구성을 통해, 상기 파이프부(10)는 상기 외측 파이프(P1)의 외측면을 패스너(70)가 감싸는 형태로 결합하여 구조물(100)에 고정 결합이 가능하도록 구성된다. 일예로, 상기 패스너(70)는 "U" 밴드 타입 패스너이며, 볼트(BT)로 구조물(100)에 고정될 수 있다.
본 실시예의 본 실시예의 진공배관은, 파이프부(10)가 상기 일측 벨로우즈부(20) 및 타측 벨로우즈부(30)에 직접 견고한 결합 상태를 가지므로, 진공배관의 내부에 흐르는 유체(액체)의 온/오프 단속 시에 이중 벨로우즈부의 내부에 급격한 유동압의 변화가 발생하더라도, 파이프부(10) 및 이를 감싸는 패스너(70)를 통해 벨로우즈부(20,30)가 구조물(100)로부터 견고한 지지력을 받으므로, 유동압의 변화에 의한 벨로우즈부의 움직임 발생 및 주변 요소에 대한 충돌이 최소화된다.
또한, 벨로우즈부(20,30)의 움직임 및 충돌이 최소화되므로, 그 내부를 흐르는 유체의 유동 환경에 대한 변화도 최소화되어, 당초 설정된 유체의 온도/압력 조건에서 벗어나는 문제점도 방지할 수 있다.
상기 플랜지(60)는 상기 일측 벨로우즈부(20) 및 타측 벨로우즈부(30)의 각각의 외측 연결단에 각각 설치된다. 상기 플랜지(60)는 유체가 흐르는 내측 관로부를 외부 배관 요소와 연결 형성할 수 있도록 한다. 상기 플랜지(60)는 상기 외측 벨로우즈(B1)의 외측 연결단 및 상기 내측 벨로우즈(B2)의 외측 연결단과 각각 결합하여 상기 벨로우즈 진공 공간(22,32)을 형성한다.
이러한 본 실시예의 진공배관은 반도체 제조 공정의 칠러 배관을 포함하여, 저온의 유체를 이송하는 배관이라면 다양한 분야에 적용 가능하다.
상기 일측 벨로우즈부(20) 및 타측 벨로우즈부(30) 중 어느 하나의 외측 벨로우즈(B1)와 플랜지(60)가 연결 설치되는 연결 관로부(24 또는 34)에는 진공 배관(미도시)과 연결되는 진공 연결 관로(80)가 형성된다.
상기 진공 연결 관로(80)의 일측에는 압력게이지(PG)와 연결되는 측정관로(82)가 형성된다.
파이프 진공 공간(12)과 그 양측의 벨로우즈 진공 공간(22,23)은 상호 연통하여 하나의 진공 공간을 이루며, 진공 연결 관로(80)를 통해 진공 배관(미도시)과 연결되어 미리 설정된 압력 범위에서 저진공 압력 상태를 갖게 된다.
이 과정에서, 파이프부(10) 또는 벨로우즈부(20,30)에 리크가 발생하는 경우, 진공 공간의 압력이 미리 설정된 압력 범위에서 벗어나는 상태가 발생하며 이를 압력게이지(PG)가 감지하게 된다.
본 실시예의 압력게이지(PG)는 공지의 전자식 압력게이지가 될 수 있으며, 제어유닛(2)이 상기 압력게이지(PG)의 감지값을 전기적 신호값 형태로 전송받아 진공 배관의 리크 발생 상태를 감시할 수 있다.
제어유닛(2)은 상기 압력게이지(PG)의 감지값을 모니터링 하는 중에 진공 공간의 압력이 미리 설정된 압력 범위에서 벗어나는 상태가 발생하면, 신호 선로(4)를 통해 중앙감시실(6)의 모니터링 PC(8)에 리크 발생 상태를 알리는 신호를 전송하여 알람(예, 경보음, 경광, 디스플레이 표시 등)을 발생시킬 수 있다. 관리자는 이러한 알람을 인지하고 유체 흐름을 오프 조작하고 리크가 발생된 진공 배관을 수리 또는 교체할 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석돼야 한다.
10: 파이프부
12: 파이프 진공 공간
20: 일측 벨로우즈부
22,32: 벨로우즈 진공 공간
24,34: 연결 관로부
30: 타측 벨로우즈부
40: 단열재층
50: 링형 브라켓
52: 관통공
54: 확장부
54a: 만곡형 접촉면
60: 플랜지
70: 패스너
80: 진공 연결 관로
82: 측정관로
100: 구조물
B1: 외측 벨로우즈
B2: 내측 벨로우즈
P1: 외측 파이프
P2: 내측 파이프
PG: 압력게이지

Claims (6)

  1. 제1 직경을 갖는 외측 파이프와 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지며 상기 외측 파이프의 내측에 삽입되는 내측 파이프를 포함하며, 상기 외측 파이프의 내부면과 상기 내측 파이프의 외부면 사이에 파이프 진공 공간이 형성되는 파이프부;
    상기 파이프부의 일측 및 타측에 각각 연결되고, 상기 외측 파이프에 연결되는 외측 벨로우즈와 상기 내측 파이프에 연결되는 내측 벨로우즈를 각각 포함하며, 상기 외측 벨로우즈의 내부면과 상기 내측 벨로우즈의 외부면 사이에 상기 파이프 진공 공간과 연통되는 벨로우즈 진공 공간이 각각 형성되는 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부;
    상기 내측 파이프 및 내측 벨로우즈의 외부면을 감싸는 형태로 설치되는 단열재층; 및
    상기 외측 파이프의 내부면과 상기 내측 파이프를 감싸는 단열재층의 외부면 사이에 삽입되어 내측 파이프의 편향(偏向)을 방지하는 링형 브라켓;을 포함하며,
    상기 파이프부는 상기 외측 파이프의 외측면을 패스너가 감싸는 형태로 결합하여 구조물에 고정 결합이 가능하도록 구성되고,
    상기 링형 브라켓의 링 측면에는 상기 파이프 진공 공간의 일측과 타측을 상호 연통시키는 하나 이상의 관통공이 형성되고,
    링 내측에는 상기 단열재층의 외부면에 대한 삽입 설치 및 삽입 상태의 유지가 용이하도록 링 내측의 둘레를 따라서 전후 방향 양측으로 상향 만곡된 만곡형 접촉면을 갖는 확장부가 형성된 것을 특징으로 하는 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부의 각각의 외측 연결단에는, 상기 외측 벨로우즈의 외측 연결단 및 상기 내측 벨로우즈의 외측 연결단과 각각 결합하여 상기 벨로우즈 진공 공간을 형성하도록 플랜지가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 일측 벨로우즈부 및 타측 벨로우즈부 중 어느 하나의 외측 벨로우즈와 플랜지가 연결 설치되는 연결 관로부에는 진공 배관과 연결되는 진공 연결 관로가 형성되며,
    상기 진공 연결 관로의 일측에는 압력게이지와 연결되는 측정관로가 형성된 것을 특징으로 하는 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 단열재층은, 세라믹 화이버 페이퍼와 알루미늄 호일이 적층되어 구성된 다층박막 단열재(MLI, Multi-Layer Insulation)인 것을 특징으로 하는 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 패스너는 "U" 밴드 타입 패스너인 것을 특징으로 하는 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관.
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