KR20080113756A - 누설감지기능을 구비한 단위 이중관 - Google Patents

누설감지기능을 구비한 단위 이중관 Download PDF

Info

Publication number
KR20080113756A
KR20080113756A KR1020070062606A KR20070062606A KR20080113756A KR 20080113756 A KR20080113756 A KR 20080113756A KR 1020070062606 A KR1020070062606 A KR 1020070062606A KR 20070062606 A KR20070062606 A KR 20070062606A KR 20080113756 A KR20080113756 A KR 20080113756A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
socket
tube
pipe
double pipe
flange
Prior art date
Application number
KR1020070062606A
Other languages
English (en)
Inventor
김춘호
이찬우
Original Assignee
(주)테키스트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테키스트 filed Critical (주)테키스트
Priority to KR1020070062606A priority Critical patent/KR20080113756A/ko
Publication of KR20080113756A publication Critical patent/KR20080113756A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L9/00—Rigid pipes
    • F16L9/18—Double-walled pipes; Multi-channel pipes or pipe assemblies
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L21/00—Joints with sleeve or socket
    • F16L21/06—Joints with sleeve or socket with a divided sleeve or ring clamping around the pipe-ends
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
    • F16L39/005—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies for concentric pipes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L59/00—Thermal insulation in general
    • F16L59/06—Arrangements using an air layer or vacuum
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/28—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds
    • G01M3/2807—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes
    • G01M3/283—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes for double-walled pipes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L2201/00—Special arrangements for pipe couplings
    • F16L2201/30—Detecting leaks

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 챔버와 칠러 사이에 설치되어 냉매 또는 냉각수의 배관을 형성하는 이중관에 관한 것으로서, 동심의 내관(11)과 외관(12)을 구비한 일정길이의 이중관(10)과, 상기 내관(11)과 외관(12) 사이에 개재되는 다수의 간극링(20)과, 상기 이중관(10)의 일측에 설치된 진공포트(30)와, 상기 이중관(10)의 양단부에 각각 결합되는 제1 및 제2 소켓플랜지(40,50)와, 기밀을 위하여 상기 이중관(10)과 제1 및 제2 소켓플랜지(40,50)의 결합부분에 압박설치되는 한 쌍의 클램프(60)와, 상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도를 측정하기 위하여 외관(12)에 설치되는 센서(70)와, 상기 측정된 진공도 값을 송신하도록 외관(12)에 장착된 무선송출장치(80)를 포함하므로, 배관을 가요성을 가진 단위길이의 이중관으로 형성하여 배관설치시 단위 배관을 연결함으로써 반도체 제조장비들의 위치나 공간에 관계없이 용이하게 설치할 수 있으며, 내관과 외관 사이의 진공도의 변화를 감지하여 제어장치로 송신함으로써 배관의 누설여부 및 누설위치를 실시간으로 정확하게 파악하여 후속조치를 신속하게 취할 수 있도록 한다.
반도체 제조설비, 배관설치, 단위 이중관, 냉매누설감지, 무선송신

Description

누설감지기능을 구비한 단위 이중관{coaxial pipe unit capable of sensing leakage}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관의 중간부분을 생략하여 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 이중관의 여러 가지 실시예들을 도시한 일부단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에서의 제1 및 제2 소켓플랜지가 분리된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에서의 제1 및 제2 소켓플랜지가 상호결합된 상태를 보여주는 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10:이중관 11:내관
12:외관 20:간극링
30:진공포트 40:제1 소켓플랜지
41:소켓부 42:플랜지부
43:중공홀 50:제2 소켓플랜지
51:소켓부 52:플랜지부
53:고정캡 54:중공홀
60:클램프 61:고정볼트
70:센서 80:무선송출장치
411:내부소켓 412:외부소켓
421:볼트부 422:돌출부
511:내부소켓 512:외부소켓
521:볼트부 522:삽입홈
523:기밀링
본 발명은 반도체 제조설비의 챔버와 칠러 사이에 설치되어 냉매 또는 냉각수의 배관을 형성하는 이중관에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배관을 단위길이의 이중관으로 형성하여 배관설치시 단위 배관을 연결함으로써 설치위치에 관계없이 용이하게 설치할 수 있으며, 내관과 외관 사이의 진공도를 측정하고 외부제어장치로 송신토록 함으로써 배관의 누설여부를 실시간으로 파악할 수 있는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관에 관한 것이다.
반도체를 제조하기 위한 공정설비가 작동되면 챔버 내의 온도가 상승하게 되 고 그에 따른 챔버 내부의 불규칙한 온도변화는 반도체 제조시의 수율에 나쁜 영향을 미치므로 챔버 내부에 형성된 냉각유로를 통하여 냉매를 순환시켜 반도체 챔버 내부를 적정한 온도로 일정하게 유지시켜야 한다. 이러한 이유로 반도체 제조설비에는 별개의 장비로서 온도조절 시스템인 냉매용 칠러가 필수적으로 구비되고, 상기 냉매용 칠러의 내부에는 가열된 냉매를 냉각수로 냉각시키기 위한 열교환기가 설치되며, 상기 냉각수는 독립된 장비인 냉각수용 칠러에 의해 공급된다.
이와 같이 반도체 제조설비에는 챔버의 온도를 조절하기 위한 냉각시스템으로서 냉매용 칠러 냉각수용 칠러 등이 구비되고, 상기의 챔버와 칠러들 간에는 냉매 또는 냉각수의 유동라인을 형성하는 배관들이 설치되는데, 상기 배관에 사용되는 관으로서는 단일관에 단열재를 피복시켜 사용하거나 내관과 외관이 동심을 이루는 이중관을 사용하는 것이 일반적이다.
상기와 같은 일반적인 단일관이나 이중관을 이용하여 배관작업을 할 때 장비의 위치에 따라 곡선이나 일정한 각을 이루어야 하고 그에 따라 관을 구부리는 작업을 하여야 하는데, 특히 관이 예각을 형성할 경우 예각부분에 소성변화가 발생하여 내구성이 약화되거나 심할 경우 가시적으로 확인하기 어려운 미세한 균열이 발생하여 냉매 등의 누설원인이 된다.
이 경우, 상기 단일관을 사용할 경우 냉매 등의 누설이 있어도 정확한 위치와 누설량을 확인할 수 없으며, 육안으로 확인가능한 경우에도 규칙적인 점검작업이 필요할 뿐만 아니라 점검자가 전체 배관에 대하여 일일이 점검해야 확인할 수 있다는 문제점이 있다.
또한, 단열효과와 누설방지를 위하여 사용하는 이중관의 경우에도 배관작업에 따른 내구성 약화 및 미세한 균열발생의 문제는 발생하며, 누설이 발생할 경우 정확한 위치 및 누설량의 확인이 불가능하다는 문제점이 존재한다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 배관을 단위길이의 이중관으로 형성하여 배관설치시 단위 배관을 연결함으로써 반도체 제조장비들의 위치나 공간에 관계없이 용이하게 설치할 수 있으며, 내관과 외관 사이의 진공도의 변화를 감지하여 제어장치로 송신함으로써 배관의 누설여부 및 누설위치를 실시간으로 정확하게 파악할 수 있도록 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관을 제공하는 것이다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명은,
동심을 이루는 내관과 외관을 구비한 일정길이의 이중관;
상기 내관과 외관의 밀착을 방지하도록 내관과 외관 사이에 일정간격마다 삽입된 다수의 간극링;
상기 내관과 외관 사이의 공기를 외부로 배출시키고 외부로부터의 공기유입을 차단시키도록 내관과 외관 사이의 공간과 연통되어 외관의 외부 일측에 용접설치된 진공포트;
축방향 중앙으로 중공홀이 형성되고, 일측에 상기 내관 및 외관이 삽입되는 소켓부를 구비하며, 타측에 다른 단위이중관과 결합시키기 위한 플랜지부를 구비하 여, 상기 이중관의 일측 단부에 결합되는 제1 소켓플랜지;
축방향 중앙으로 중공홀이 형성되고, 일측에 상기 내관 및 외관이 삽입되는 소켓부를 구비하며, 타측에 다른 단위이중관과 결합시키기 위한 플랜지부를 구비하여, 상기 이중관의 타측 단부에 결합되는 제2 소켓플랜지;
상기 이중관과 소켓부가 결합된 외주면을 각각 감싸면서 고정볼트로 고정되어 이중관과 소켓부의 결합부분을 압박하여 기밀시키는 한 쌍의 클램프;
상기 내관과 외관 사이의 진공도를 측정하도록 외관의 일측을 관통하여 설치되는 센서; 및
상기 센서에 의해 측정된 내관과 외관 사이의 진공도에 대한 신호를 무선으로 송신하는 무선송출장치; 를 포함하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관을 제공한다.
상기 내관과 외관은 금속 또는 일정강도가 유지되는 고무나 합성수지로 제조할 수 있다.
또한, 상기 내관과 외관은 모두 직선관으로 형성할 수도 있고, 외관은 직선관으로 형성하고 내관은 주름관으로 형성하거나 내관과 외관을 모두 주름관 형태로 형성할 수도 있다.
상기 제1 소켓플랜지의 소켓부는 원통형으로 형성된 내부소켓과, 상기 내부소켓의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부소켓으로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제1 소켓플랜지의 플랜지부는 외주면에 형성된 볼트부와, 단부면 중앙에서 돌출한 원통형의 돌출부를 구비할 수 있다.
상기 제2 소켓플랜지의 소켓부는 원통형으로 형성된 내부소켓과, 상기 내부소켓의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부소켓으로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제2 소켓플랜지의 플랜지부는 외주면에 형성된 볼트부와, 단부면 중앙에 형성된 원형의 삽입홈과, 상기 삽입홈의 내주면에 설치된 기밀링과, 상기 볼트부에 나사결합되는 너트부를 구비한 링 형상의 고정캡을 구비할 수 있다.
상기 센서는 공기압의 변화를 감지하는 압력감지센서를 이용할 수 있다.
이하에서 첨부된 예시도면에 의거하여 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관의 중간 부분을 생략하여 도시한 정면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 누설감지기능을 구비한 단위 이중관은, 동심의 내관(11)과 외관(12)을 구비한 일정길이의 이중관(10)과, 상기 내관(11)과 외관(12) 사이에 개재되는 다수의 간극링(20)과, 상기 이중관(10)의 일측에 설치된 진공포트(30)와, 상기 이중관(10)의 양단부에 각각 결합되는 제1 및 제2 소켓플랜지(40,50)와, 기밀을 위하여 상기 이중관(10)과 제1 및 제2 소켓플랜지(40,50)의 결합부분에 압박설치되는 한 쌍의 클램프(60)와, 상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도를 측정하기 위하여 외관(12)에 설치되는 센서(70)와, 상기 측정된 진공도 값을 송신하도록 외관(12)에 장착된 무선송출장치(80)를 포함한다.
도 3은 본 발명에 적용되는 이중관의 여러 가지 실시예들을 도시한 일부단면 도로서, 도 3(a)는 내관과 외관이 모두 직선관으로 이루어져 있고, 도 3(b)는 내관은 주름관이지만 외관은 직선관으로 이루어져 있으며, 도 3(c)는 내관과 외관이 모두 주름관으로 이루어져 있다.
도 3을 참조하면 상기 이중관(10)은 일정길이의 관부재로서, 동심을 이루는 내관(11)과 외관(12)으로 구성되어 있는데, 상기 내관(11)과 외관(12)은 금속, 고무, 합성수지 등으로 제조할 수 있다. 다만, 고무나 합성수지로 제조하기 위해서는 일정강도가 유지되어야 한다.
그리고, 도 3(a)에서와 같이 내관(11a)과 외관(12a)은 모두 직선관으로 형성할 수도 있고, 내관(11)과 외관(12)은 챔버와 칠러들의 배치상태에 따라 설치되는 배관이 각을 이루거나 곡선을 이루는 경우 본 발명의 단위 이중관이 배치되는 상태에 따라 가요성을 가지고 유연하게 적용될 수 있도록 하기 위하여, 도 3(b)에서와 같이 외관(12b)은 직선관으로 형성하고 내관(11b)은 주름관으로 형성할 수도 있으며, 또한 도 3(c)에서와 같이 내관(11c)과 외관(12c) 모두 주름관 형태로 형성할 수도 있다.
한편, 도 3에서 알 수 있는 바와 같이 내관(11a,11b,11c)과 외관(12a,12b,12c) 사이에는 다수의 간극링(20)이 삽입되어 있는데, 상기 간극링(20)은 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간에 일정간격마다 삽입되어 내관(11)과 외관(12)이 밀착되는 것을 방지한다.
그리고, 상기 이중관의 외부면에는 진공포트(30)가 설치되어 있는데, 상기 진공포트(30)는 내관(11)과 외관(12) 사이에 형성되는 공간과 연통되도록 외관(12) 의 외부 일측에 용접설치되는 부재로서, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공기를 외부로 배출시킴과 함께, 외부로부터 상기 공간으로 공기가 유입되는 것을 차단시킨다.
즉, 상기 진공포트(30)를 통하여 내관(11)과 외관(12) 사이의 공기를 외부로 배출시킴으로써 내부를 진공상태로 만들 뿐만 아니라 외부로부터 공기가 유입되는 것을 차단시킨다.
다음으로, 도 4는 본 발명의 일 실시예에서의 제1 및 제2 소켓플랜지가 분리된 상태를 보여주는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에서의 제1 및 제2 소켓플랜지가 상호결합된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 4와 도 5를 참조하면, 상기 제1 소켓플랜지(40)는 이중관(10)의 일측 단부에 결합되는 부재로서, 중앙에는 축방향으로 중공홀(43)이 형성되어 있고, 일측으로는 소켓부(41)가 형성되어 내관(11)과 외관(12)이 삽입될 수 있으며, 타측으로는 플랜지부(42)가 형성되어 직렬로 연결되는 본 발명에 의한 다른 단위 이중관의 제2 소켓플랜지(50)와 결합된다.
상기 제1 소켓플랜지(40)의 소켓부(41)는 원통형으로 형성된 내부소켓(411)과, 상기 내부소켓(411)의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부소켓(412)으로 이루어져 있다. 따라서, 상기 내부소켓(411)과 외부소켓(412) 사이에 내관(11)이 삽입되고 내관(11)과 외관(12) 사이에 외부소켓(412)이 삽입되는 형태로 상기 소켓부(41)와 이중관(10)의 일측 단부는 상호 결속된다.
그리고, 상기 제1 소켓플랜지(40)의 플랜지부(42)는 소켓부(41)의 반대쪽에 형성되어 있는 부분으로서, 외주면에 형성된 볼트부(421)와, 단부면 중앙에서 돌출 한 원통형의 돌출부(422)를 구비하고 있다.
다음으로, 도 4와 도 5를 참조하면, 상기 제2 소켓플랜지(50)는 이중관(10)의 타측 단부에 결합되는 부재로서, 중앙에는 축방향으로 중공홀(54)이 형성되어 있고, 일측으로는 소켓부(51)가 형성되어 내관(11)과 외관(12)이 삽입될 수 있으며, 타측으로는 플랜지부(52)가 형성되어 직렬로 연결되는 본 발명에 의한 다른 단위 이중관의 제1 소켓플랜지(40)와 결합된다.
상기 제2 소켓플랜지(50)의 소켓부(51)는 제1 소켓플랜지(40)와 동일하게, 원통형으로 형성된 내부소켓(511)과, 상기 내부소켓(511)의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부소켓(512)으로 이루어져 있다. 따라서, 상기 내부소켓(511)과 외부소켓(512) 사이에 내관(11)이 삽입되고 내관(11)과 외관(12) 사이에 외부소켓(512)이 삽입되는 형태로 상기 소켓부(51)와 이중관(10)의 타측 단부는 상호 결속된다.
그리고, 상기 제2 소켓플랜지(50)의 플랜지부(52)는 소켓부(51)의 반대쪽에 형성되어 있는 부분으로서, 외주면에 형성된 볼트부(521)와, 단부면 중앙에 형성된 원형의 삽입홈(522)과, 상기 삽입홈(522)의 내주면에 설치된 기밀링(523)과, 상기 볼트부(521)에 나사결합되는 너트부(531)를 구비한 링형상의 고정캡(53)을 구비하고 있다.
따라서, 본 발명의 단위 이중관을 연속적으로 연결시키기 위하여 제1 소켓플랜지(40)와 제2 소켓플랜지(50)를 결합시키기 위해서는, 먼저 제1 소켓플랜지(400의 돌출부(422)를 제2 소켓플랜지(50)의 삽입홈(522)에 삽입시킨 후, 고정캡(53)을 연속적으로 이어지는 볼트부(421)와 볼트부(521) 상에서 회전시켜 나사결합함으로써 상호결합된다. 이때, 돌출부(422)와 삽입홈(522) 사이에는 기밀링(523)이 설치되어 있으므로, 내관(11)을 통하여 흐르는 냉매가 유출되는 것을 차단시킨다.
다음으로, 상기 클램프(60)는, 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 이중관(10)과 소켓부(41,51)가 결합된 부분의 외주면을 각각 감싸면서 상기 이중관(10)과 소켓부(41,51)의 결합부분을 압박하여 기밀시키도록 이중관(10)의 양측에 각각 설치되는 부재로서, 각각의 클램프(60)는 고정볼트(61)에 의하여 고정설치된다.
그리고, 상기 센서(70)는, 도 3에서 알 수 있는 바와 같이 외관(12)의 일측을 관통하여 상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간내에 설치되는 부재로서, 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도를 측정하여 측정치에 대한 신호를 무선송출장치(80)로 전달한다.
상기 센서(70)는 공기압의 변화를 감지하는 센서로서, 내관(11)으로부터 냉매기체가 누출되어 상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간에 충진되면 진공도에 변화가 생겨 압력이 상승하므로, 그러한 압력의 상승을 감지하여 무선송출장치(80)로 신호를 전달하는 기능을 한다.
또한, 상기 센서(70)는 본 발명의 단위 이중관들에 각각 설치되어 있어서, 각각에 대하여 고유번호를 부여하면 각 단위 이중관이 송신하는 신호에 의하여 그 위치를 쉽게 파악할 수 있다.
다음으로, 도 1과 도 2에 도시되어 있는 상기 무선송출장치(80)는 센서(70)에 의해 측정된 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도에 관한 신호를 외부의 제어장 치(미도시)에 무선으로 송신하는 장치이다. 따라서, 작업자는 상기 무선신호를 수신한 제어장치에 의하여 발생되는 경고음이나 디스플레이에 의해 냉매의 누출사실 및 누출위치를 파악하여 교환 등의 후속조치를 신속하게 수행할 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같은 본 발명의 누설감지기능을 구비한 단위 이중관에 의하면, 배관을 가요성을 가진 단위길이의 이중관으로 형성하여 배관설치시 단위 배관을 연결함으로써 반도체 제조장비들의 위치나 공간에 관계없이 용이하게 설치할 수 있으며, 내관과 외관 사이의 진공도의 변화를 감지하여 제어장치로 송신함으로써 배관의 누설여부 및 누설위치를 실시간으로 정확하게 파악하여 후속조치를 신속하게 취할 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 동심을 이루는 내관(11)과 외관(12)을 구비한 일정길이의 이중관(10);
    상기 내관(11)과 외관(12)의 밀착을 방지하도록 내관(11)과 외관(12) 사이에 일정간격마다 삽입된 다수의 간극링(20);
    상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 공기를 외부로 배출시키고 외부로부터의 공기유입을 차단시키도록 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간과 연통되어 외관(12)의 외부 일측에 용접설치된 진공포트(30);
    축방향 중앙으로 중공홀(43)이 형성되고, 일측에 상기 내관(11) 및 외관(12)이 삽입되는 소켓부(41)를 구비하며, 타측에 다른 단위이중관과 결합시키기 위한 플랜지부(42)를 구비하여, 상기 이중관(10)의 일측 단부에 결합되는 제1 소켓플랜지(40);
    축방향 중앙으로 중공홀(54)이 형성되고, 일측에 상기 내관(11) 및 외관(12)이 삽입되는 소켓부(51)를 구비하며, 타측에 다른 단위이중관과 결합시키기 위한 플랜지부(52)를 구비하여, 상기 이중관(10)의 타측 단부에 결합되는 제2 소켓플랜지(50);
    상기 이중관(10)과 소켓부(41,51)가 결합된 외주면을 각각 감싸면서 고정볼트(61)로 고정되어 이중관(10)과 소켓부(41,51)의 결합부분을 압박하여 기밀시키는 한 쌍의 클램프(60);
    상기 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도를 측정하도록 외관(12)의 일측을 관통하여 설치되는 센서(70); 및
    상기 센서(70)에 의해 측정된 내관(11)과 외관(12) 사이의 진공도에 대한 신호를 무선으로 송신하는 무선송출장치(80); 를 포함하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  2. 제1항에 있어서, 상기 내관(11)과 외관(12)은 금속, 일정강도가 유지되는 고무 또는 합성수지 중 어느 하나로 제조되는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 내관(11)과 외관(12)은 모두 직선관으로 형성되는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 외관(12)은 직선관으로 형성되고 내관(11)은 주름관으로 형성되는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 내관(11)과 외관(12)은 모두 주름관 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 소켓플랜지(40)의 소켓부(41)는 원통형으로 형성된 내부소켓(411)과, 상기 내부소켓(411)의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부 소켓(412)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  7. 제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 소켓플랜지(40)의 플랜지부(42)는 외주면에 형성된 볼트부(421)와, 단부면 중앙에서 돌출한 원통형의 돌출부(422)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제2 소켓플랜지(50)의 소켓부(51)는 원통형으로 형성된 내부소켓(511)과, 상기 내부소켓(511)의 외주에 동심으로 형성된 원통형의 외부소켓(512)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  9. 제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 제2 소켓플랜지(50)의 플랜지부(52)는 외주면에 형성된 볼트부(521)와, 단부면 중앙에 형성된 원형의 삽입홈(522)과, 상기 삽입홈(522)의 내주면에 설치된 기밀링(523)과, 상기 볼트부(521)에 나사결합되는 너트부(531)를 구비한 링 형상의 고정캡(53)을 포함하는 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
  10. 제1항에 있어서, 상기 센서(70)는 공기압의 변화를 감지하는 압력감지센서인 것을 특징으로 하는 누설감지기능을 구비한 단위 이중관.
KR1020070062606A 2007-06-26 2007-06-26 누설감지기능을 구비한 단위 이중관 KR20080113756A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070062606A KR20080113756A (ko) 2007-06-26 2007-06-26 누설감지기능을 구비한 단위 이중관

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070062606A KR20080113756A (ko) 2007-06-26 2007-06-26 누설감지기능을 구비한 단위 이중관

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080113756A true KR20080113756A (ko) 2008-12-31

Family

ID=40370963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070062606A KR20080113756A (ko) 2007-06-26 2007-06-26 누설감지기능을 구비한 단위 이중관

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080113756A (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100953186B1 (ko) * 2008-09-03 2010-04-15 한국항공우주연구원 극저온 유지를 위한 다중 배관
KR100986704B1 (ko) * 2009-12-17 2010-10-08 부영산전주식회사 상태 감시 센서를 구비하는 이중 보온관
KR101049429B1 (ko) * 2009-06-18 2011-07-15 한국수력원자력 주식회사 불활성가스를 이용한 누설감지용 이중배관 플랜지 커플러
KR101419893B1 (ko) * 2012-09-18 2014-08-13 주식회사 아이비엔에스 단열이중관의 누설 자동감지시스템
KR102111473B1 (ko) * 2019-08-09 2020-05-15 (주)앤써 진공 단열 배관
CN113048300A (zh) * 2021-03-11 2021-06-29 正中路桥建设发展有限公司 一种自锚接口球墨铸铁管及其铺设方法
KR102314846B1 (ko) * 2020-04-10 2021-10-19 울산과학기술원 동파 및 누수 방지 파이프
CN117073932A (zh) * 2023-08-25 2023-11-17 连云港华港电力设备有限公司 一种凝汽器换热管检漏装置及其使用方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100953186B1 (ko) * 2008-09-03 2010-04-15 한국항공우주연구원 극저온 유지를 위한 다중 배관
KR101049429B1 (ko) * 2009-06-18 2011-07-15 한국수력원자력 주식회사 불활성가스를 이용한 누설감지용 이중배관 플랜지 커플러
KR100986704B1 (ko) * 2009-12-17 2010-10-08 부영산전주식회사 상태 감시 센서를 구비하는 이중 보온관
KR101419893B1 (ko) * 2012-09-18 2014-08-13 주식회사 아이비엔에스 단열이중관의 누설 자동감지시스템
KR102111473B1 (ko) * 2019-08-09 2020-05-15 (주)앤써 진공 단열 배관
KR102314846B1 (ko) * 2020-04-10 2021-10-19 울산과학기술원 동파 및 누수 방지 파이프
CN113048300A (zh) * 2021-03-11 2021-06-29 正中路桥建设发展有限公司 一种自锚接口球墨铸铁管及其铺设方法
CN117073932A (zh) * 2023-08-25 2023-11-17 连云港华港电力设备有限公司 一种凝汽器换热管检漏装置及其使用方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080113756A (ko) 누설감지기능을 구비한 단위 이중관
US3472062A (en) Testable and pressurized multiple ply bellows
CN100591976C (zh) 具有检漏功能的管道结构与检漏器
KR101371357B1 (ko) 회전유니언용 누출검출시스템
JP6675515B2 (ja) 漏洩排出検出
KR20130117801A (ko) 파이프 조인트의 압력 테스트 방법 및 장치
US7004470B2 (en) Device for a pipe flange seal
JP6491327B2 (ja) ラグ形化工されたウェハ位置調整リング
KR101664314B1 (ko) 밸브 누출 감시 시스템
US9470343B2 (en) Pipe for a conveying line for conveying bulk material as well as device for leakage monitoring of a conveying line
CN103376181B (zh) 一种热交换设备及其压力传感器
JP2014181695A (ja) 断熱燃料配管並びに燃料配管での漏洩及び／又は燃料配管内の漏洩を検出するための方法
KR102541108B1 (ko) 플랜지 어셈블리
KR101895441B1 (ko) 이중지수 주철관 파이프의 누수감지 시스템 및 그 주철관파이프
KR102428809B1 (ko) 이중 벨로우즈부를 갖는 진공배관
KR20190133518A (ko) 누출 감지장치
US10545065B2 (en) Tube diaphragm seal
KR101194734B1 (ko) 실시간으로 기밀 및 이상 유동 모니터가 가능한 진공단열 극저온 밸브
KR20120001146A (ko) 누수 탐지관
CN217605218U (zh) 加压装置
CN105864554B (zh) 一种自带二级充压的管路用膨胀节
US7398695B2 (en) Universal converter plate for pressure transmitters
KR101593127B1 (ko) 무선 누수 센서 시스템
KR20130063693A (ko) 클램프 하우징이 부착된 누수 탐지관
US11598426B2 (en) Rotary joint shroud having set-up gauge and seal wear indicator

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application