KR102420694B1 - 자기 유도 방식의 도관 가열 장치 - Google Patents

자기 유도 방식의 도관 가열 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 자기 유도 방식의 도관 가열 장치에 관한 것이다. 자기 유도 방식의 도관 가열 장치는 유체 유동을 발생시키는 유동 발생 모듈(12a, 12b)에 연결되어 유체를 유동시키는 도관(11); 및 도관(13a, 13b, 13c)의 둘레 면의 적어도 일부에 결합되어 자기 유도 방식으로 도관을 가열시키는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)을 포함하고, 도관 또는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 스테인리스 스틸 층을 포함한다.

Description

자기 유도 방식의 도관 가열 장치{A Magnetic Induction Type of an Apparatus for Heating a Conduit}
본 발명은 자기 유도 방식의 도관 가열 장치에 관한 것이고, 구체적으로 공정 과정에서 내부 가열이 요구되는 도관을 자기 유도 방식으로 가열을 하는 자기 유도 방식의 도관 가열 장치에 관한 것이다.
반도체 공정 후 배출되는 각종 부산물의 처리를 위한 스크러버(scrubber) 또는 트랩(trap)과 같은 처리 장치와 연결되는 도관은 처리 과정에서 가열될 필요가 있다. 이를 위하여 적절한 가열 장치가 사용될 필요가 있고, 예를 들어 히터 재킷과 같은 가열 수단이 사용될 수 있다. 그러나 이와 같은 가열 수단은 가열 효율이 낮으면서 예를 들어 가열을 위한 시간이 많이 소용된다는 단점을 가진다. 그러므로 이와 같은 단점을 보완할 수 있는 적절한 가열 수단이 만들어질 필요가 있다. 특허등록번호 10-1338970은 상하수도 관로와 같은 대형 관로 내부 녹 또는 코팅 층 제거 시스템에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 10-2014-0118922는 파이프의 외부 표면을 가열 또는 코팅하거나, 파이프의 외부 표면의 가열과 코팅을 조합하여 행하는 장치와 방법에 대하여 개시한다. 그러나 선행기술은 도관 내부를 유동하는 유체를 효율적으로 가열시킬 수 있는 수단에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
특허문헌 1: 특허등록번호 10-1338970(수자원기술 주식회사, 2013.12.10. 공고) 대차 및 인덕션 원리를 이용한 관로 내부 녹, 코팅 제거 시스템 특허문헌 2: 특허공개번호 10-2014-0118922(인덕토썸 히팅 앤드 웰딩 리미티드, 2014.10.08. 공개) 파이프의 외부 표면에 대한 전기 유도 가열 및 코팅
본 발명의 목적은 유체가 유동되는 도관의 외부에 배치되어 유체를 효율적으로 가열시킬 수 있는 자기 유도 방식의 도관 가열 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 자기 유도 방식의 도관 가열 장치는 유체 유동을 발생시키는 유동 발생 모듈에 연결되어 유체를 유동시키는 도관; 및 도관의 둘레 면의 적어도 일부에 결합되어 자기 유도 방식으로 도관을 가열시키는 자기 유도 모듈을 포함하고, 도관 또는 자기 유도 모듈은 스테인리스 스틸 층을 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 도관은 반도체 공정의 진공 펌프에 연결된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 자기 유도 모듈은 전류의 흐름에 따라 자기장을 유도하는 코일; 코일을 도관의 정해진 위치에 고정시키는 고정 유닛; 및 고정 유닛에 형성된 한 쌍의 전극 탭으로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 도관은 스테인리스 스틸 소재가 되고, 자기 유도 모듈은 도관의 외부 둘레 면으로부터 갭을 형성한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 자기 유도 모듈은 자기 유도 코일 또는 판 형상의 적어도 하나의 자기 유도 판을 포함한다.
본 발명에 따른 자기 유도 방식의 도관 가열 장치는 예를 들어 진공 펌프(dry pump)로부터 스크러버를 연결시키는 도관, 진공 펌프의 전후에 연결되어 고체 잔여물을 제거하는 트랩(trap) 장치와 진공 펌프를 연결하는 도관 또는 진공 펌프와 연결되는 도관의 내부에 집적되는 잔여물을 제거하는 내부 히터(inner heater) 수단에 적용될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 본 발명에 따른 가열 장치는 도관 내부의 유체 또는 고체 형태의 물질의 상태에 따라 적절하게 도관이 효율적으로 가열되도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 자기 유도 방식의 도관 가열 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 가열 장치가 적용되는 다양한 도관 형태의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 가열 장치의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 가열 장치의 작동 구조의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 가열 장치의 적용되는 자기 유도 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 가열 장치의 제어되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 자기 유도 방식의 도관 가열 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
자기 유도 방식의 도관 가열 장치는 유체 유동을 발생시키는 유동 발생 모듈(12a, 12b)에 연결되어 유체를 유동시키는 도관(11); 및 도관(11)의 둘레 면의 적어도 일부에 결합되어 자기 유도 방식으로 도관을 가열시키는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)을 포함하고, 도관 또는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 스테인리스 스틸 층을 포함한다.
자기 유도 방식은 전류의 변화에 따른 자기장의 변화에 의하여 전도체에 유도 전류(eddy current)의 발생으로 인한 히스테리시스 손실을 유도하는 임의의 방식이 될 수 있다. 도관은 내부에 유체가 유동되는 다양한 형태의 도관(11)이 될 수 있고, 예를 들어 반도체 공정에 사용되는 진공 펌프(dry pump)에 연결된 도관이 될 수 있다. 반도체 공정 과정에서 사용된 플라즈마를 비롯한 다양한 형태의 공정 부산물이 진공 펌프의 작동에 따라 도관(11)을 따라 배출될 수 있다. 도관(11)은 다양한 형태의 유해 화합물을 포함하는 기체의 이송에 적합한 구조를 가질 수 있다. 도관(11)은 예를 들어 진공 펌프, 스크러버 또는 트랩(trap)와 같은 유동 발생 모듈(12a, 12b)과 연결될 수 있다. 유동 발생 모듈(12a, 12b)은 도관(11)으로 기체가 유동되도록 하거나, 도관(11)으로부터 기체가 유입 또는 배출되는 다양한 공정 장치를 포함할 수 있고, 예를 들어 반도체 공정에 사용되는 진공 펌프, 터보 펌프, 스크러버, 트랩 장치 또는 기화 장치와 같은 장치를 포함할 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 도관(11)은 예를 들어 스테인리스 스틸과 같은 자성체 소재로 이루어지거나, 적어도 자성체 층을 포함할 수 있고, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)에 의하여 자성체 소재 또는 자성체 층에 자기장이 투과되면서 유도 전류가 유도될 수 있다. 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 자성체 소재 또는 자성체 층이 유도 전류를 발생시킬 수 있는 코일과 같은 자기장 발생 유닛을 포함할 수 있다. 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)의 둘레 면의 적어도 일부를 둘러싸는 형태로 도관(11)에 설치될 수 있고, 도관(11)의 둘레 면의 적어도 일부에 유도 전류를 발생시킬 수 있는 구조로 결합될 수 있다. 예를 들어 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)의 길이 방향으로 일부를 둘러싸는 형태로 도관(11)에 결합될 수 있다. 또는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)의 일부를 덮는 형태로 도관(11)에 결합되어 고정될 수 있다. 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 독립적으로 작동 가능한 제어 유닛, 자기장 발생 유닛, 독립적인 전원 또는 외부 전원에 연결되어 전력이 공급되도록 하는 수단 및 도관(11)에 고정될 수 있는 수단을 포함할 수 있다. 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)에 결합되어 열을 발생시킬 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 가열 장치가 적용되는 다양한 도관 형태의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2의 (가)를 참조하면, 공정 챔버로부터 제1 도관(21a)을 통하여 진공 펌프(22a)에 의하여 공정 부산물이 배출되어 제2 도관(21b)을 통하여 스크러버(22b)로 유도될 수 있다. 이후 스크러버(22b)에서 유해 화합물이 처리된 기체는 제3 도관(21c)을 통하여 외부로 배출될 수 있다. 제2 도관(21b)을 따라 유동되는 기체로부터 유해 화합물의 처리를 위하여 기체는 가열이 된 스크러버(22b)로 투입될 필요가 있다. 자기 유도 모듈이 제2 도관(21b)에 설치될 수 있고, 자기 유도 모듈은 제2 도관(21b)을 둘러싸는 자기 발생 유닛(231) 및 자기 발생 유닛(231)에 교류 전류를 유도하는 전원(233)을 포함할 수 있다. 제2 도관(21b)은 예를 들어 SUS 316과 같은 스테인리스 스틸로 이루어질 수 있지만 이에 제한되지 않고, 다양한 강자성체 소재로 만들어질 수 있다. 또는 제2 도관(21b)의 둘레 면에 강자성체 층(232)이 형성될 수 있다. 예를 들어 원통 형상이 강자성체 층(232)을 가진 유도 층이 결합될 수 있다. 강자성체 층(232)의 둘레 면을 코일 형태의 자기 발생 유닛(231)이 둘러싸고, 자기 발생 유닛(231)에 전원(233)이 연결될 수 있다. 전원(233)에 의하여 교류 전류가 자기 발생 유닛(231)에 흐를 수 있고, 이에 의하여 자기 발생 유닛(231)에 자기장이 발생되면서 이에 의하여 강자성체 층(232)에 유도 전류가 흐르면서 열이 발생될 수 있다. 전원(233)에 의하여 자기 발생 유닛(231)에 인가되는 전류 형태가 제어될 수 있고, 이에 의하여 제2 도관(21b)의 가열 수준이 조절될 수 있다. 예를 들어 제2 도관(21b)을 통하여 유동되는 기체는 스크러버(22b)에서 500 ℃의 온도에서 처리될 수 있고, 제2 도관(21b)의 내부를 따라 유동되는 기체는 자기 유도 모듈에 의하여 스크러버(22b)로 투입되기 전 미리 가열될 수 있다. 도 2의 (나)를 참조하면, 공정 챔버로부터 진공 펌프(22a)에 의하여 제1 도관(21)을 통하여 배출될 수 있고, 진공 펌프(22a)로 유입되기 전 덩어리 형태의 부산물이 미리 분해되는 것이 유리하다. 이를 위하여 제1 도관(21a)에 자기 유도 모듈이 설치될 수 있고, 자기 유도 모듈에 의하여 예를 들어 제1 도관(21a)의 내부가 300 ℃ 또는 그 이상의 온도로 가열될 수 있다. 그리고 이에 의하여 제1 도관(21a)을 따라 유동되는 고체 덩어리가 분해되어 진공 펌프(22a)가 보호될 수 있다. 코일 형태의 자기 발생 코일(231)이 실린더 형상의 강자성체 층(232)에 감길 수 있고, 강자성체 층(232)이 제1 도관(21a)이 결합될 수 있다. 강자성체 층(232)은 제1 도관(21a)으로 열전도가 가능하도록 서로 접촉되는 방식으로 결합될 수 있다. 전원(233)이 자기 발생 코일(231)에 연결되어 자기 발생 코일(231)에 변화되는 자기장을 발생시킬 수 있고 이에 의하여 자성체 층(232)이 가열되면서 제1 도관(21a)을 따라 유동되는 고체 덩어리가 열분해가 될 수 있다.
도 2의 (다)를 참조하면, 자기 유도 모듈은 제1 내지 3 도관(21a, 21b, 21c)의 둘레 면에 설치되어 내부 히터(Inner Heater)의 기능을 가질 수 있다. 내부 히터는 반도체 공정 과정에서 발생되는 부산물이 유동되는 과정에서 화합물과 같은 부산물이 도관(21a, 21b, 21c)의 내부 둘레 면에 집적되는 것을 방지하는 기능을 가질 수 있다. 예를 들어 진공 펌프(22a)와 연결되는 제1 및 3 도관(21a, 21c)에 자기 유도 모듈이 결합될 수 있다. 도 2의 (가) 또는 (나)에 도시된 것처럼, 각각의 자기 유도 모듈은 자기장 발생 유닛(231a, 231b), 자성체 층(232a, 232b) 및 전원(233a, 233b)을 포함할 수 있다. 각각의 자기 유도 모듈은 서로 독립적으로 작동될 수 있고, 각각의 자기 유도 모듈의 작동에 의하여 각각의 도관(21a, 21c)의 온도가 서로 연동되어 조절되거나 또는 서로 독립적으로 조절될 수 있다. 자기 유도 모듈은 반도체 공정을 위한 다양한 도관에 적용될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 3은 본 발명에 따른 가열 장치의 작동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 전류의 흐름에 따라 자기장을 유도하는 코일(24); 코일(24)을 도관(11)의 정해진 위치에 고정시키는 고정 유닛(35a, 35b); 및 고정 유닛(35a, 35b)에 형성된 한 쌍의 전극 탭(36a, 36b)으로 이루어진다.
도관(11)은 내부를 따라 기체의 이동이 가능한 속이 빈 실린더 형상 또는 속이 빈 단면이 다각형이 되는 구조를 가질 수 있고, 예를 들어 SUS 316을 비롯한 다양한 스테인리스 스틸 소재로 만들어질 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 도관(11)은 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 예를 들어 도관(11)은 스테인리스 스틸 또는 이와 유사한 부식 저항성을 가진 금속 소재로 만들어질 수 있고, 예를 들어 스테인리스 스틸은 오스테나이트계, 마르텐사이트계 및 페라이트계가 될 수 있다. 오스테나이트계는 자성을 가지지 않거나 가공 과정에서 변화로 인하여 약한 자성을 가질 수 있다. 그리고 예를 들어 SUS 316 또는 SUS 316L과 같은 오스테나이트계 강한 부식 저항성을 가진다. 도관(11)이 이와 같은 오스테나이트계 스테인리스 스틸 소재로 만들어지는 경우 도관(11)의 둘레 면에 강자성체 층이 형성될 수 있다. 강자성체 층은 도관(11)의 외부 둘레 면에 접촉되도록 형성될 수 있고, 예를 들어 도관(11)의 외부에 결합되어 외부 둘레 면과 접촉되는 실린더 형상, 반 실린더 형상 또는 이와 유사한 형상으로 만들어질 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 강자성체 층은 코일(24)이 고정되는 배치 유닛(37)에 형성될 수 있다. 배치 유닛(37)은 예를 들어 세라믹 소재 또는 이와 유사한 절연체 소재로 만들어질 수 있고, 단열 기능을 가질 수 있다. 선택적으로 세라믹 층의 내부에 강자성체 층이 형성될 수 있고, 강자성체 층이 도관(11)의 외부 둘레 면에 접촉될 수 있다. 배치 유닛(37)은 코일(24)을 고정시킬 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있고, 세라믹 층의 외부 둘레 면에 코일(24)이 고정되면 코일(24)의 외부 면에 보호 층이 형성되어 코일(24)이 안정적으로 고정될 수 있다. 코일(24)이 도관(11)에 결합된 상태에서 도관(11)의 정해진 위치에 고정될 필요가 있고, 이를 위하여 코일(24)의 양쪽 끝 부분 또는 배치 유닛(37)의 양쪽 끝 부분에 고정 유닛(35a, 35b)이 결합될 수 있다. 고정 유닛(35a, 35b)은 고무, 엘라스토머 또는 이와 유사한 탄성 소재로 만들어질 수 있고, 각각 도관(11)의 정해진 위치에 고정되도록 하는 잠금 체결 수단을 포함할 수 있다. 각각의 고정 유닛(35a, 35b)에 코일(24)로 전류를 유도하기 위한 한 쌍의 전극 탭(36a, 36b)이 형성될 수 있다. 전극 탭(36a, 36b)에 전원(32)이 연결되어 코일에 교류 전류를 인가할 수 있다. 전원(32)에 의하여 코일(24)에 인가되는 전류의 크기 또는 주기가 제어 유닛(31)에 의하여 제어될 수 있고, 전류 제어 유닛(33)에 의하여 전류가 인가되는 시각이 제어될 수 있다. 또한 전류 제어 유닛(33)은 코일(24)에 인가되는 전류의 크기 또는 주기를 확인할 수 있다. 다양한 방법으로 코일(24)에 자기장의 유도를 위한 교류 전류가 인가될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4는 본 발명에 따른 가열 장치의 작동 구조의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 도관(11)은 스테인리스 스틸 소재가 되고, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)의 외부 둘레 면으로부터 갭을 형성한다. 도관(11)에 다수 개의 자기 유도 모듈이 서로 다른 위치에 배치될 수 있고, 각각의 자기 유도 모듈은 서로 연동되어 작동될 수 있다. 각각의 자기 유도 모듈은 반 실린더 형상으로 도관(11)의 둘레 면에서 서로 결합되어 도관(11)을 둘러싸는 한 쌍의 서브 자기 유도 모듈로 이루어질 수 있다. 각각의 서브 자기 유도 모듈은 서브 코일(24a, 24b) 및 서브 고정 유닛(351a, 351b, 352a, 352b)으로 이루어질 수 있고, 하나의 자기 유도 모듈을 형성하는 한 쌍의 서브 자기 유도 모듈은 결합 부재(43)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 결합 부재(43)는 서로 다른 배치 유닛(37a, 37b)에 고정된 서로 다른 서브 코일(24a, 24b)은 전기적으로 연결시키면서 서로 다른 고정 유닛(351a, 352a, 351b, 352b)를 구조적으로 서로 연결시킬 수 있다. 서브 고정 유닛(361a, 361b)에 전극 탭(361a, 361b)이 형성될 수 있고, 각각의 서브 자기 유도 모듈에 탐지 센서가 배치되어 탐지 유닛(41a, 41b)에 의하여 도관(11)의 온도 또는 도관(11)의 전류 누설이 탐지될 수 있다. 또한 서브 코일(24a, 24b)의 온도 또는 자기장이 탐지되어 탐지 유닛(41a, 41b)으로 전송될 수 있다. 인가 설정 유닛(45)은 전원(32)에 연결되어 서로 다른 서브 자기 유도 모듈(45)에 인가되는 전류가 제어될 수 있고, 예를 들어 서로 인접하는 서브 자기 유도 모듈에 시간 간격을 두고 순차적으로 전류가 인가될 수 있다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 서브 코일(24a, 24b)은 도관(21)의 외부 둘레 면과 갭을 형성할 수 있고, 갭은 진공 갭이 되거나, 공기가 채워진 갭이 될 수 있다. 진공 갭 또는 공기 갭은 단열 층 기능을 하면서 서브 코일(24a, 24b)과 도관(11) 사이에 전류가 누설되는 것을 방지하는 기능을 가질 수 있다. 서브 코일(24a, 24b)은 다양한 구조를 가질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 5는 본 발명에 따른 가열 장치의 적용되는 자기 유도 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 자기 유도 코일(52) 또는 판 형상의 적어도 하나의 자기 유도 판(52a, 52b)을 포함한다. 도 5의 (가)에 도시된 것처럼, 자기장 발생 유닛은 나선형 코일(52); 나선형 코일(52)이 결합되는 세라믹 소재 또는 이와 유사한 소재로 만들어지면서 나선형 코일(52)이 결합되는 배치 유닛(51); 및 강자성체 층(SL)으로 이루어질 수 있다, 도 5의 (나)를 참조하면, 적어도 하나의 자기 유도 판(52a, 52b)이 체결 고정 판(53)에 고정될 수 있다. 각각의 자기 유도 판(52a, 52b)은 평면 코일 형상이 될 수 있고, 서로 다른 자기 유도 판(52a, 52b)이 서로 분리되어 체결 고정 판(53)에 고정될 수 있다. 체결 고정 판(53)은 절연체 소재로 만들어지면서 휘어질 수 있는 구조로 만들어지거나, 도관의 외부 면에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 체결 고정 판(53)은 자기 유도 판(52a, 52b)을 도관의 외부 둘레 면에 고정하면서 이와 동시에 자기 유도 판(52a, 52b)을 보호하는 기능을 가질 수 있다. 도 5의 (다)를 참조하면, 반 실린더 형상의 유도 코일(54)이 절연체 소재의 절연 배치 유닛(51a)에 결합될 수 있다. 예를 들어 유도 코일(54)이 몰딩과 같은 방법에 의하여 절연체 소재로 채워지면서 일체로 만들어질 수 있다. 절연 배치 유닛(51a)의 길이 방향의 가장자리에 유도 코일(54)과 전기적으로 연결되면서 구조적으로 연결되는 전기 연결 부재(52)가 결합될 수 있다. 전기 연결 부재(52)에 의하여 서로 다른 절연 배치 유닛(51a)과 유도 코일(54)이 서로 전기적으로 그리고 구조적으로 연결될 수 있다. 이를 위하여 전기 연결 부재(52)에 다수 개의 체결 부위(52_1 내지 52_N)가 형성될 수 있다. 도관의 구조 또는 도관의 용도에 따라 다양한 형태의 자기장 유도를 위한 코일이 도관의 외부 둘레 벽에 결합될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 6은 본 발명에 따른 가열 장치의 제어되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6을 참조하면, 제어 유닛(31)에 의하여 자기 유도 모듈(62)의 작동이 제어될 수 있고, 자기 유도 모듈(62)은 교류 전류를 인가하는 전원 및 자기장을 발생시키는 코일을 포함할 수 있다. 도관 상태 탐지 유닛(61)에 의하여 도관의 상태가 탐지될 수 있고, 예를 들어 도관의 온도 또는 도관에서 발생되는 누설 전류의 상태가 탐지되어 제어 유닛(31)으로 전송될 수 있다. 또한 자기 유도 탐지 유닛(63)에 의하여 자기 유도 모듈(62)의 작동 상태가 탐지될 수 있고, 예를 들어 자기장의 발생 상태, 역기전력의 형태, 온도 또는 전류의 흐름이 탐지될 수 있다. 그리고 도관 상태 탐지 유닛(61)과 자기 유도 탐지 유닛(63)에 의하여 탐지된 정보가 제어 유닛(31)으로 전송되고, 이에 기초하여 자기 유도 모듈(62)의 작동이 제어될 수 있다. 도관의 용도에 따라 자기 유도 모듈(62)의 작동은 다양한 방법으로 제어될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 도관 12a, 12b: 유동 발생 모듈
13a, 13b, 13c: 도관 22a: 진공 펌프
22b: 스크러버 24: 코일
32: 전원 35a, 35b: 고정 유닛
36a, 36b: 전극 탭 37: 배치 유닛
52: 자기 유도 코일 52a, 52b: 자기 유도 판
231: 자기 발생 유닛 232: 강자성체 층
233: 전원

Claims (5)

  1. 유체 유동을 발생시키는 유동 발생 모듈(12a, 12b)에 연결되어 유체를 유동시키는 도관(11); 및
    도관(11)의 둘레 면의 적어도 일부에 결합되어 자기 유도 방식으로 도관을 가열시키는 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)을 포함하고,
    도관(11)은 반도체 공정의 진공 펌프(22a)에 연결되고,
    도관(11)은 오스테나이트계 스테인리스 스틸 소재로 이루어지고 도관(11)의 외부 둘레 면에 접촉하도록 형성된 강자성체 층을 포함하고, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 도관(11)의 외부 둘레 면으로부터 갭을 형성하고,
    도관의 온도 또는 도관에서 발생되는 누설 전류의 상태를 탐지하는 도관 상태 탐지 유닛(61); 자기 유도 모듈의 작동 상태를 탐지하는 자기 유도 탐지 유닛(63); 및 도관 상태 탐지 유닛(61)과 자기 유도 탐지 유닛(63)에 의하여 탐지된 정보를 기초로 이에 기초하여 자기 유도 모듈(62)의 작동이 제어하는 제어 유닛(31)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 유도 방식의 도관 가열 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 전류의 흐름에 따라 자기장을 유도하는 코일(24); 코일(24)을 도관(11)의 정해진 위치에 고정시키는 고정 유닛(35a, 35b); 및 고정 유닛(35a, 35b)에 형성된 한 쌍의 전극 탭(36a, 36)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 유도 방식의 도관 가열 장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서, 자기 유도 모듈(13a, 13b, 13c)은 자기 유도 코일(52) 또는 판 형상의 적어도 하나의 자기 유도 판(52a, 52b)을 포함하는 자기 유도 방식의 도관 가열 장치.
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