KR102419959B1 - Real-time monitoring system of logistics automation equipment - Google Patents
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Abstract
물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 관하여 개시한다. 본 발명은, 반송물을 이송하는 비접촉전원장치에 전원을 급전하는 리츠 케이블; 상기 리츠 케이블의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈; 및 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 상기 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부;를 포함하여 구성될 수 있다.Disclosed is a real-time monitoring system for automated logistics transport equipment. The present invention provides a litz cable for supplying power to a non-contact power supply device for transporting a conveyed product; a non-contact infrared image monitoring module for detecting the heating state of the Litz cable; and a control unit that divides image information photographed through the non-contact image monitoring module into a normal operating temperature and an abnormal temperature of the Litz cable, and generates an alarm when the temperature of the Litz cable rises to an abnormal temperature. have.
Description
본 발명은 물류자동화이송장비의 온도 변화를 비접촉 적외선 화상으로 실시간으로 감시하여 과열을 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a real-time monitoring system of automated logistics transport equipment for overheating by monitoring temperature changes of automated logistics transport equipment in real time with a non-contact infrared image.
물류자동화이송장비들은 예를 들면, 반도체 제조 공정에 적용되고 있다. 반도체 소자의 미세화 및 다층화로 인하여 작업장 내의 불순물 처리와 관리는 제품 품질과 수율에 직접 영향을 미치는 중요한 요소로 되어 있다. 반도체 제조 뿐만 아니라 바이오 제품 제조 등 첨단산업 분야 제품 생산에서는 공기 중 미세 입자 및 각종 미생물의 활성에 대비하기 위해 클린룸(clean room) 설비 등의 청정 작업 환경을 필요로 하고 있다. 예를 들면, 반도체, 디스플레이, 모듈 및 부품 등 초정밀 제품 제조 및 생산 작업은 클린룸에서 수행되고 있지만 산발적으로 발생되는 파티클로 인해 다양한 생산 장애와 수율 저하를 겪고 있다. 제조 공정이 미세해지고 고부가가치 디스플레이 제품 비중이 커지면서 공장 내 파티클로 인한 불량 가능성도 증가되고 있다. 반도체 제조 공정에서 전공정은 미세입자의 허용 범위를 대략 20㎚에서 제어하고 이중 클린룸으로 관리하고 있으나 후공정에서는 장비의 대부분이 노출되어 있어 미세 입자 관리에 취약한 상태이다.Logistics automated transport equipment is applied, for example, to semiconductor manufacturing processes. Due to the miniaturization and multi-layering of semiconductor devices, treatment and management of impurities in the workplace are important factors that directly affect product quality and yield. In order to prepare for the activity of fine particles and various microorganisms in the air, clean working environments such as clean room facilities are required in the production of high-tech industrial products such as bio-products as well as semiconductor manufacturing. For example, manufacturing and production of ultra-precision products such as semiconductors, displays, modules, and parts are performed in a clean room, but sporadically generated particles suffer from various production failures and yield degradation. As the manufacturing process becomes finer and the proportion of high value-added display products increases, the possibility of defects due to particles in the factory is also increasing. In the semiconductor manufacturing process, the allowable range of fine particles is controlled at about 20 nm in the front process, and it is managed in a double clean room, but in the post process, most of the equipment is exposed, making it vulnerable to fine particle management.
예를 들면, 물류자동화이송장비(OHT, Stocker 등)의 전원 공급방식은 유선을 이용한 방식과 비접촉 무선을 이용하는 방법이 있으나 유선 방식의 경우 케이블의 보호를 위해 케이블을 감싸고 있는 케이블 베어에서 다수의 파티클이 발생되어 클린룸 환경에서 사용하기에 어려움이 있어 비접촉 방식의 리츠 케이블(Litz Cable)을 이용하여 무선으로 전원을 공급하여 파티클 발생원을 줄이는 설계가 적용되고 있다. 그런데 Ltiz Cable에는 통상적으로 5kW 이상의 전기가 흐르고 있어 발열이 문제로 되고 있다.For example, the power supply method of automated logistics transport equipment (OHT, Stocker, etc.) includes a wired method and a non-contact wireless method. Due to this, it is difficult to use in a clean room environment, so a design to reduce the source of particles is applied by wirelessly supplying power using a non-contact Litz cable. However, electricity over 5kW normally flows in Ltiz Cable, so heat generation is a problem.
특허문헌 1. 국내 등록특허공보 제10-1854045호(공고일 2018.04.25)Patent Document 1. Domestic Registered Patent Publication No. 10-1854045 (published on April 25, 2018)
특허문헌 2. 국내 등록특허공보 제10-0679938호(공고일 2007.02.01)Patent Document 2. Domestic Registered Patent Publication No. 10-0679938 (published on February 1, 2007)
특허문헌 3. 국내 등록특허공보 제10-0636601호(공고일 2006.10.13)Patent Document 3. Domestic Registered Patent Publication No. 10-0636601 (published on October 13, 2006)
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 물류자동화이송장비의 온도 상태를 비접촉 적외선 화상으로 실시간으로 감시하고, 과열 검출 시 알람 발생으로 반도체 제조 공정상의 안전 조건을 신뢰성 있게 확보하는데 있다.One of the technical problems to be solved by the present invention is to monitor the temperature state of the automated logistics transport equipment in real time with a non-contact infrared image, and to reliably secure safety conditions in the semiconductor manufacturing process by generating an alarm when overheating is detected.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 반도체 제조 클린룸 내, 천정에 설치된 레일을 따라 휠 구동으로 반송물을 이송하는 다수의 OHT에 비접촉으로 전원을 급전하는 리츠 케이블 ;
상기 다수의 OHT에 설치되어 상기 레일을 따라 부설된 상기 리츠 케이블의 발열 온도를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈 ;
상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈을 통한 적외선 화상 감시를 상기 리츠 케이불의 설치 방향에 따라 화상 감시의 설정된 검출범위 내에서 상기 리츠 케이블 발열 온도를 2회 이상 실시간 측정하여 분석한 영상정보와 온도 데이터를 모니터링 단말기로 전송함과 동시에 상기 온도 데이터를 물류자동화이송장비로 전송하는 제어부; 를 포함하는 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템으로부터 달성될 수 있다.The above objects, according to the present invention, in a semiconductor manufacturing clean room, a litz cable for non-contact power supply to a plurality of OHTs for transporting the conveyed material by wheel drive along the rail installed on the ceiling;
a non-contact infrared image monitoring module installed in the plurality of OHTs to detect the heating temperature of the Litz cables laid along the rails;
In the infrared image monitoring through the non-contact infrared image monitoring module, the image information and temperature data analyzed by measuring the heating temperature of the Ritz cable twice or more in real time within the detection range set for image monitoring according to the installation direction of the Ritz cable monitoring terminal a control unit for transmitting the temperature data to the automated logistics transport equipment while simultaneously transmitting the data; It can be achieved from the real-time monitoring system of the logistics automation transport equipment, including.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비접촉전원장치는 레일을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠 구동으로 반송물을 이송하는 OHT, 반송물을 이송하는 스토커를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the non-contact power supply device may include an OHT that is installed movably along a rail to transport a transported product by wheel driving, and a stocker that transports the transported product.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈은 물류자동화이송장비의 전원공급용 리츠 케이블의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라를 포함하여 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the non-contact infrared image monitoring module may be configured to include a non-contact infrared thermal imager for real-time temperature detection of a litz cable for power supply of automated logistics and transport equipment.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 물류자동화이송장비의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램을 포함하여 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit may be configured to include an analysis program for real-time temperature detection and determination during high-speed driving of the automated logistics transport equipment.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 리츠 케이블의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하여 실시간으로 판단하고, 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키며, 리츠 케이블의 설치 방향에 따라 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈을 통한 검출 범위를 설정하여 실시간 국부 모니터링을 수행하도록 제어될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the controller divides the temperature of the Litz cable into a normal operating temperature and an abnormal temperature and determines in real time, generates an alarm when the temperature rises to an abnormal temperature, and the non-contact infrared rays according to the installation direction of the Litz cable It can be controlled to perform real-time local monitoring by setting a detection range through the image monitoring module.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 검출되는 검출 데이터를 물류자동화이송장비에는 온도 데이터를 전송하고, 모니터링 단말기에는 영상정보와 온도 데이터를 동시에 전송하도록 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit may be configured to transmit the detected data detected through the non-contact image monitoring module as temperature data to the automated logistics transport equipment, and to simultaneously transmit image information and temperature data to the monitoring terminal. .
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 1차로 경고음을 발생시키도록 제어하고, 상기 온도 데이터가 과열로 판단되는 경우 2차 알람을 발생시키도록 각각 경고과 알람으로 구분되는 알람 기능을 선택하도록 설정될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit controls to first generate a warning sound when the temperature of the Litz cable rises to an abnormal temperature, and generates a second alarm when the temperature data is determined to be overheating, respectively. It can be set to select an alarm function divided by .
본 발명은, 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 모니터링 가능하도록 함으로써, 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 사전에 효과적으로 관리하고, 위험 발생시 빠르게 제조 라인을 정비하여 연속 제조 공정의 중단 등과 같은 문제에 신속하게 대응할 수 있는 효과가 있다.The present invention is to mount a non-contact infrared image monitoring device in the automated logistics transport equipment to analyze the temperature in real time while moving and to determine image information to enable monitoring, so that the automated logistics transport equipment that needs to be supplied with power in a non-contact manner It has the effect of effectively managing the risk factors of overheating of Litz Cable applied in this way, and quickly responding to problems such as interruption of the continuous manufacturing process by quickly repairing the manufacturing line when a danger occurs.
도 1은 물류자동화이송장비 운용 및 설치를 설명하는 예시이다.
도 2는 물류자동화이송장비 중 OHT를 설명하는 예시이다.
도 3은 물류자동화이송장비 중 OHT의 설치 및 운용을 참고적으로 설명하는 예시이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 설명하는 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템의 구성을 블록도로 나타낸 예시이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 검출되는 실시간 적외선 화상 감시 출력 화면의 예시이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 구성되는 실시간 적외선 화상 감시 프로그램 화면 출력의 예시이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 출력되는 알람 신호 출력의 예시이다.1 is an example for explaining the operation and installation of the automated logistics transfer equipment.
Figure 2 is an example for explaining the OHT of the logistics automated transport equipment.
3 is an example illustrating the installation and operation of OHT among the automated logistics transfer equipment for reference.
4 is an example for explaining a real-time monitoring system of the automated logistics transport equipment according to an embodiment of the present invention.
5 is an exemplary block diagram illustrating the configuration of a real-time monitoring system for automated logistics transport equipment according to an embodiment of the present invention.
6 is an example of a real-time infrared image monitoring output screen detected through a real-time monitoring system of an automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention.
7 is an example of a screen output of a real-time infrared image monitoring program configured in a real-time monitoring system of an automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention.
8 is an example of the output of an alarm signal output through the real-time monitoring system of the automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 '물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템'을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a 'real-time monitoring system for automated logistics and transport equipment' according to an embodiment of the present invention will be described as follows.
본 발명의 설명에서 사용되는 용어 중 '반송물'은 '반도체 웨이퍼를 수납한 매거진', '반도체 웨이퍼를 수납한 카세트', '반도체 웨이퍼를 수납한 캐리어' 및 반도체 제조 공정 중 이적재 또는 로딩/언로딩을 필요로 하는 '작업 대상물'을 포함하는 의미일 수 있다.Among the terms used in the description of the present invention, 'carrier' means 'magazine containing semiconductor wafers', 'cassette containing semiconductor wafers', 'carrier containing semiconductor wafers', and loading/unloading or loading/unloading materials during the semiconductor manufacturing process. It may mean including a 'work object' that requires loading.
또한, '반송물'은 도면으로 구체적으로 나타내지는 않았으나 병원 내 천정을 따라 파일을 목적지로 이송하는 '케이스', 바이오 및 정밀 제품 생산 공장 등에서 물류를 처리하거나 이송하는데 사용되는 '캐리어' 및 기타 정밀 제품 생산 공장에서 물류를 이송하는 '바스켓' 등을 포함하는 의미일 수 있다.In addition, although 'returned material' is not specifically shown in the drawing, 'case' that transports files to destination along the ceiling in a hospital, 'carrier' and other precision products used to process or transport logistics in bio and precision product production plants, etc. It may mean including a 'basket' that transports logistics from a production plant.
도 1은 물류자동화이송장비 운용 및 설치를 설명하는 예시이다. 도 2는 물류자동화이송장비 중 OHT를 설명하는 예시이다. 도 3은 물류자동화이송장비 중 OHT의 설치 및 운용을 참고적으로 설명하는 예시이다.1 is an example for explaining the operation and installation of the automated logistics transport equipment. Figure 2 is an example for explaining the OHT of the logistics automated transport equipment. 3 is an example illustrating the installation and operation of OHT among automated logistics transfer equipment for reference.
기존의 물류자동화이송장비에 포함되는 OHT 시스템은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 레일 주행부 및 슬라이딩 유닛과 승하강 유닛을 포함하는 구동 모듈의 접촉부와 빈번한 슬라이딩 접촉이 이루어지는 방식이기 때문에 반송물의 이적재 시 집중적으로 파티클이 상시 발생하여 공장내 오염원이 되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장에 설치되는 기존 OHT 시스템에서 파티클 발생부를 보면 구동부측의 경우 주행 휠 구동에 따른 레일 마찰과 접촉부측의 경우 기존 구동방식은 슬라이딩 유닛 및 승하강 유닛 구동에 따른 마찰에 의해 파티클이 지속적으로 발생되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 라인에서 현재 후공정에 적용되는 기존 OHT의 파티클(particle) 측정결과 0.5um기준 Clean Class 100 기준에 부적합하게 운영되고 있고, 관련 수요기업으로부터 요구사항은 현재 수준으로부터 Particle 50% 감소(Class 50)가 가능한 OHT 시스템을 필요로 하고있다.The OHT system included in the existing automated logistics transport equipment is a method in which frequent sliding contact is made with the contact part of the rail running unit and the driving module including the sliding unit and the elevating unit as shown in FIGS. Particles are constantly generated intensively during transfer and loading, becoming a source of contamination in the factory. For example, if you look at the particle generating part in the existing OHT system installed in a semiconductor manufacturing plant, the rail friction caused by driving the driving wheel on the driving part side and the existing driving method on the contact part side are caused by friction caused by sliding unit and elevating unit driving. Particles are constantly being generated. For example, in the semiconductor manufacturing line, the particle measurement result of the existing OHT applied to the current post-process is operating inappropriately according to the Clean Class 100 standard based on 0.5um, and the requirements from the related demanding companies are 50% of the particle size from the current level. An OHT system capable of reduction (Class 50) is required.
한편, 기존의 물류자동화이송장비(OHT, Stocker 등)의 전원 공급방식은 유선을 이용한 방식과 비접촉 무선을 이용하는 방법이 있으나 유선 방식의 경우 케이블의 보호를 위해 케이블을 감싸고 있는 케이블 베어에서 다수의 파티클이 발생되어 클린룸 환경에서 사용하기에 어려움이 있는데 비해 비접촉 방식의 리츠 케이블(Litz Cable)을 이용하여 무선으로 전원을 공급하는 방식은 파티클 발생원을 줄일 수 있으므로 이를 적용하는 방식의 설계가 적용되고 있다. 그런데 Ltiz Cable에는 통상적으로 5kW 이상의 전기가 흐르고 있어 발열이 문제로 되고 있다.On the other hand, the power supply method of the existing automated logistics transport equipment (OHT, Stocker, etc.) is a method using a wired method and a method using a non-contact wireless method. Although it is difficult to use in a clean room environment due to this generation, the method of wirelessly supplying power using a non-contact Litz cable can reduce the source of particle generation, so a design that applies it is applied. . However, since electricity of 5kW or more flows normally in the Ltiz Cable, heat generation is a problem.
이에 따라, 본 발명은, 이동체인 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 모니터링 가능하도록 함으로써, 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 효과적으로 관리할 수 있도록 제시된다.Accordingly, the present invention provides a non-contact infrared image monitoring device mounted on a moving chain logistics automation transport equipment to analyze temperature in real time while moving and to determine image information to enable monitoring, so that logistics automation that needs to be supplied with power in a non-contact manner It is proposed to effectively manage the risk factors of overheating of the Litz Cable applied as a power supply method for transport equipment.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 설명하는 예시이다. 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템의 구성을 블록도로 나타낸 예시이다.4 is an example for explaining a real-time monitoring system of the automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention. 5 is an exemplary block diagram illustrating the configuration of a real-time monitoring system for automated logistics transport equipment according to an embodiment of the present invention.
본 발명에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템은 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)는 설비 라인(A)의 레일(101)을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠(102) 구동으로 반송물을 이송하는 OHT(110) 및 반송물을 이송하는 스토커(120)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, OHT(110)는 반도체 제조 설비 라인, 병원의 천정, 바이오 등의 첨단 제품 제조 라인 등의 공중에 설치된 레일(101)을 따라 이동하면서 반송물을 옮기는 일반적인 기능을 포함할 수 있다. 스토커는 공장 내에서 반송물을 이송하거나 픽업하는 일반적인 기능을 포함할 수 있으며, 공통적으로 리츠 케이블(200)을 통해 전원을 비접촉으로 급전되도록 구성될 수 있다.As shown in the real-time monitoring system of the automated logistics transfer equipment according to the present invention in Figs. 4 to 5, the automated
본 발명에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템은 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 반송물을 이송하는 물류자동화이송장비(100)에 전원을 급전하는 리츠 케이블(200), 리츠 케이블(200)의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300), 비접촉 화상 감시 모듈(300)을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블(200)의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 리츠 케이블(200)의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIGS. 4 to 5, the real-time monitoring system of the automated logistics transport equipment according to the present invention is a Ritz
여기서, 물류자동화이송장비(100)는 반도체 제조설비 라인의 상부 공중에 설치되는 레일(101)을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠(102) 구동으로 반도체 웨이퍼를 포함하는 반송물을 이송하는 OHT(110), 반도체 웨이퍼를 포함하는 반송물을 이송하는 스토커(120)를 포함할 수 있다.Here, the automated
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 검출되는 실시간 적외선 화상 감시 출력 화면의 예시이다.6 is an example of a real-time infrared image monitoring output screen detected through a real-time monitoring system of an automated logistics transport equipment for a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
또한, 온도 감시를 위한 비접촉 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 감시 방법은 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 적외선 화상감시 모듈(300)이 진행 방향으로 검출하는 거리 범위는 약 1.5m 범위로 설정하는 것이 바람직하다.In addition, in the monitoring method through the non-contact infrared
그리고, 바람직하게는, 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 적외선 화상감시는 감시 범위 내에서 2회 이상 측정하여 측정 오차를 최소화하는 것이 바람직하다.And, preferably, the infrared image monitoring through the infrared
그리고, 바람직하게는, 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 적외선 화상감시의 측정 속도는 9frame/sec로 하여 0.4m 간격으로 측정하는 것이 바람직하다.And, preferably, the measurement speed of infrared image monitoring through the infrared
또한, 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300)은 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)의 전원공급용 리츠 케이블(200)의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라(310)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the non-contact infrared
여기서, 적외선 열화상 카메라(310)는 레일(101)을 따라 이송되는 OHT(110)의 적소에 장착될 수 있으며, 물류자동화이송장비(100)의 제어기측과의 데이터 전달을 위한 프로토콜을 포함할 수 있다. 바람직하게는 적외선 화상 감시모듈(300)과 OHT 제어기간의 통신은 RS-485 적용될 수 있고, 적외선 열화상 감시모듈(300)의 회로에 RS-485 통신 기능 및 통신 프로그램을 포함할 수 있다.Here, the infrared
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 구성되는 실시간 적외선 화상 감시 프로그램 화면 출력의 예시이다.7 is an example of a screen output of a real-time infrared image monitoring program configured in a real-time monitoring system of an automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention.
또한, 제어부(400)는 도 7에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램(410)을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 7 , the
또한, 제어부(400)는 리츠 케이블(200)의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하여 실시간으로 판단하고, 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키며, 리츠 케이블(200)의 설치 방향에 따라 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300)을 통한 검출 범위를 설정하여 실시간 국부 모니터링을 수행하도록 제어될 수 있다.In addition, the
또한, 제어부(400)는 상기 비접촉 화상 감시 모듈(300)을 통해 검출되는 검출 데이터를 물류자동화이송장비(100)에는 온도 데이터를 전송하고, 모니터링 단말기(420)에는 영상정보와 온도 데이터를 동시에 전송하도록 제어할 수 있다.In addition, the
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 출력되는 알람 출력의 예시이다.8 is an example of an alarm output output through the real-time monitoring system of the automated logistics transfer equipment according to an embodiment of the present invention.
또한, 제어부(400)는 도 8에 도시된 바와 같이, 리츠 케이블(200)의 온도가 비정상 온도로 상승 시 1차로 경고음을 발생시키도록 제어하고, 온도 데이터가 과열로 판단되는 경우 2차 알람을 발생시키도록 각각 경고와 알람으로 구분되는 경보 신호 발생 기능을 선택하도록 설정될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8 , the
이를 통해 관리자는 모니터링 단말기(420)를 통해 출력되는 영상정보와 음성 정보를 경고와 과열 위험 등을 구분하여 즉각 조치에 반영할 수 있고, 제조 설비 라인의 유지 및 보수 점검에 효과적으로 대응할 수 있고, 제조 공정 설비의 급전을 최적 컨디션 상태로 유지할 수 있게 된다.Through this, the manager can divide the video information and the audio information output through the
본 발명에 따르면, 적외선 화상 카메라를 이용하여 리츠 케이블의 온도를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로, 기존의 고정된 물체 혹은 움직이는 물체의 온도를 측정하는 시스템과 달리, 적외선 화상 카메라가 물류자동화이송장비를 따라 이동하며서 레일을 따라 고정된 상태의 리츠 케이블의 온도를 실시간으로 측정할 수 있게 된다.According to the present invention, since the temperature of the Litz cable can be monitored in real time using an infrared image camera, unlike the existing system that measures the temperature of a fixed or moving object, the infrared image camera follows the automated logistics transport equipment. As it moves, it becomes possible to measure the temperature of the fixed Litz cable along the rail in real time.
이에 따라, 본 발명은, 각종 첨단 제품 제조 설비 라인에 설치되는 이동체인 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 반도체 제조 설비 라인의 급전부 발열 상태에 대한 실시간 모니터링이 가능한 이점이 있다.Accordingly, the present invention is equipped with a non-contact infrared image monitoring device in a moving chain automated transport equipment installed in various high-tech product manufacturing facility lines, and analyzes temperature in real time while moving and judges image information to determine the level of semiconductor manufacturing facility line. All of them have the advantage of being able to monitor the heat in real time.
또한, 본 발명은, 이동체로서 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 사전에 효과적으로 관리할 수 있는 유리한 이점이 있다.In addition, the present invention has the advantage of being able to effectively manage in advance the risk factor of overheating of the Litz Cable, which is applied as a power feeding method to the logistics automation transport equipment that needs to be supplied with power in a non-contact manner as a moving body.
또한, 본 발명은, 급전 케이블의 과열에 따른 위험 발생시 빠르게 제조 라인을 정비하여 반도체 연속 제조 공정의 중단 등과 같은 문제에 효과적으로 대응할 수 있는 이점이 있다.In addition, the present invention has the advantage of being able to effectively respond to problems such as interruption of a continuous semiconductor manufacturing process by quickly maintaining a manufacturing line when a risk occurs due to overheating of a power supply cable.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, it is not limited to the embodiment and can be implemented by modification and modification within the scope of the present invention, and the modifications and variations are within the technical spirit of the present invention. Included.
100: 물류자동화이송장비
101: 레일
102: 휠
110: OHT(Over-head hoist transporter)
120: 스토커(Stocker)
200: 리츠 케이블(Ltiz Cable)
300: 비접촉 적외선 화상감시 모듈
310: 비접촉 적외선 열화상 카메라
400: 제어부
410: 분석 프로그램
420: 모니터링 단말기(관리자)100: Logistics automation transport equipment
101: rail
102: wheel
110: OHT (Over-head hoist transporter)
120: Stocker
200: Litz cable (Ltiz Cable)
300: non-contact infrared image monitoring module
310: non-contact infrared thermal imaging camera
400: control unit
410: analysis program
420: monitoring terminal (administrator)
Claims (7)
상기 다수의 OHT에 설치되어 상기 레일을 따라 부설된 상기 리츠 케이블의 발열 온도를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈 ;
상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈을 통한 적외선 화상 감시를 상기 리츠 케이블의 설치 방향에 따라 화상 감시의 설정된 검출범위 내에서 상기 리츠 케이블 발열 온도를 2회 이상 실시간 측정하여 분석한 영상정보와 온도 데이터를 모니터링 단말기로 전송함과 동시에 상기 온도 데이터를 물류자동화이송장비로 전송하는 제어부; 를 포함하는 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템Litz cables that non-contact power supply to multiple OHTs that transport transported materials by wheel drive along rails installed on the ceiling in a semiconductor manufacturing clean room;
a non-contact infrared image monitoring module installed in the plurality of OHTs to detect the heating temperature of the Litz cables laid along the rails;
In the infrared image monitoring through the non-contact infrared image monitoring module, the heating temperature of the Ritz cable is measured in real time two or more times within the detection range set for image monitoring according to the installation direction of the Litz cable. a control unit for transmitting the temperature data to the automated logistics transport equipment while simultaneously transmitting the data; Real-time monitoring system of automated logistics transport equipment including
상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈은 상기 OHT의 전원공급용 리츠 케이블의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라를 포함하는, 물류 자동화이송장비의 실시간 감시 시스템The method of claim 1,
The non-contact infrared image monitoring module includes a non-contact infrared thermal imaging camera for real-time temperature detection of the litz cable for power supply of the OHT, a real-time monitoring system for automated logistics transport equipment
상기 제어부는 상기 OHT의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램을 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템.The method of claim 1,
The control unit includes an analysis program for real-time temperature detection and determination during high-speed driving of the OHT, a real-time monitoring system for automated logistics transport equipment.
상기 제어부는 상기 리츠 케이블의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 실시간으로 판단하고, 영상정보와 음성정보를 경고와 과열 위험으로 구분하여 실시간 모니터링으로 제어하는 것을 특징으로 하는 물류자동화이송장비의 실시 간 감시 시스템.The method of claim 1,
The control unit determines the temperature of the Litz cable as a normal operating temperature and an abnormal temperature in real time, and divides the video information and the audio information into a warning and an overheat risk, and controls it by real-time monitoring. surveillance system.
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