KR102408937B1 - Method for manufacturing vacuum glass panel - Google Patents

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Abstract

인챔버 방식으로 제조한 진공유리패널 및 그 제조 방법을 제공한다. 진공유리패널은, i) 상호 마주하면서 이격된 제1 유리판 및 제2 유리판, ii) 유리판들 사이에 상호 이격되어 배치되고, 한 쌍의 유리판들에 접하여 한 쌍의 유리판들을 지지하는 복수의 스페이서들, 및 iii) 한 쌍의 유리판들 사이의 에지를 따라 형성된 에지 밀봉 유닛을 포함한다. 복수의 스페이서들에 대응하는 진공 유리 패널의 외면은 실질적으로 편평하게 형성된다. 에지 밀봉 유닛은, i) 프릿부, 및 ii) 프릿부 사이에 형성된 하나 이상의 밀봉부를 포함한다. 밀봉부의 폭은 프릿부의 폭보다 작다.Provided are a vacuum glass panel manufactured by an in-chamber method and a manufacturing method thereof. The vacuum glass panel includes: i) a first glass plate and a second glass plate spaced apart from each other while facing each other, ii) a plurality of spacers arranged to be spaced apart from each other and in contact with the pair of glass plates to support the pair of glass plates , and iii) an edge sealing unit formed along an edge between the pair of glass plates. An outer surface of the vacuum glass panel corresponding to the plurality of spacers is formed to be substantially flat. The edge sealing unit includes i) a frit portion, and ii) one or more seals formed between the frit portion. The width of the sealing portion is smaller than the width of the frit portion.

Description

진공유리패널의 제조 방법 {METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM GLASS PANEL}Manufacturing method of vacuum glass panel {METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM GLASS PANEL}

본 발명은 진공유리패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 인챔버 방식으로 제조한 진공유리패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum glass panel and a method for manufacturing the same. More particularly, it relates to a vacuum glass panel manufactured by an in-chamber method and a manufacturing method thereof.

진공유리패널은 한 쌍의 유리 기판들 사이에 스페이서들을 배치하고, 그 사이의 가장자리에 프릿을 도포해 실링한 후, 배기홀을 통해 한 쌍의 유리 기판들의 내부 공간을 배기해 제조한다. 이러한 방법으로 제조된 진공유리패널은 열관류율이 매우 낮아 건물 유리창 또는 쇼윈도우 케이스 등으로 사용된다.A vacuum glass panel is manufactured by arranging spacers between a pair of glass substrates, sealing the edges by applying a frit therebetween, and evacuating the inner space of the pair of glass substrates through an exhaust hole. The vacuum glass panel manufactured in this way has a very low thermal transmittance and is used as a building glass window or a show window case.

진공유리패널 내부를 진공화하기 위해서는 배기공에 진공 펌프를 연결하여 진공유리패널 내부의 공기를 배기한다. 배기 공정 후에는 배기공에 밀봉캡을 씌워서 진공유리패널을 밀폐시킨다. 따라서 배기 공정이 복잡할 뿐만 아니라 밀봉캡이 돌출되어 파손에 취약하고 설치 등에 제약이 많았다.To vacuum the inside of the vacuum glass panel, a vacuum pump is connected to the exhaust hole to exhaust the air inside the vacuum glass panel. After the exhaust process, a sealing cap is placed on the exhaust hole to seal the vacuum glass panel. Therefore, not only the exhaust process was complicated, but the sealing cap was protruded, so it was vulnerable to damage and there were many restrictions on installation.

한국등록특허 제1,611,530호Korean Patent No. 1,611,530

저가이면서 우수한 진공도를 가지는 진공유리패널을 제공하고자 한다. 또한, 제조가 용이하면서 고품질로 제조가 가능한 진공유리패널의 제조 방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a vacuum glass panel that is inexpensive and has an excellent degree of vacuum. In addition, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a vacuum glass panel that is easy to manufacture and can be manufactured with high quality.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공유리패널은 i) 상호 마주하면서 이격된 제1 유리판 및 제2 유리판, ii) 유리판들 사이에 상호 이격되어 배치되고, 한 쌍의 유리판들에 접하여 한 쌍의 유리판들을 지지하는 복수의 스페이서들, 및 iii) 한 쌍의 유리판들 사이의 에지를 따라 형성된 에지 밀봉 유닛을 포함한다. 복수의 스페이서들에 대응하는 진공 유리 패널의 외면은 실질적으로 편평하게 형성된다. 에지 밀봉 유닛은, i) 프릿부, 및 ii) 프릿부 사이에 형성된 하나 이상의 밀봉부를 포함한다. 밀봉부의 폭은 프릿부의 폭보다 작다.A vacuum glass panel according to an embodiment of the present invention is i) a first glass plate and a second glass plate spaced apart from each other while facing each other, ii) disposed to be spaced apart from each other between the glass plates, and a pair of glass plates in contact with the pair of glass plates a plurality of spacers supporting the glass plates, and iii) an edge sealing unit formed along an edge between the pair of glass plates. An outer surface of the vacuum glass panel corresponding to the plurality of spacers is formed to be substantially flat. The edge sealing unit includes i) a frit portion, and ii) one or more seals formed between the frit portion. The width of the sealing portion is smaller than the width of the frit portion.

밀봉부는 제1 유리판 및 제2 유리판에 각각 접할 수 있다. 밀봉부는 자외선 경화되어 형성될 수 있다. 프릿부는 에폭시 수지, Li2O, Na2O, K2O, SiO2, B2O3, Bi2O3, BaO, ZnO, MgO, TeO2, Tl2O3, V2O5, 및 Si로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 하나 이상의 밀봉부의 평균폭은 1mm 내지 10mm일 수 있다. 하나 이상의 밀봉부는 스페이서들의 이격 공간에 대향하여 형성될 수 있다.The sealing portion may be in contact with the first glass plate and the second glass plate, respectively. The sealing part may be formed by UV curing. The frit is made of an epoxy resin, Li 2 O, Na 2 O, K 2 O, SiO 2 , B 2 O 3 , Bi 2 O 3 , BaO, ZnO, MgO, TeO 2 , Tl 2 O 3 , V 2 O 5 , and It may include one or more materials selected from the group consisting of Si. The average width of the one or more seals may be between 1 mm and 10 mm. One or more sealing portions may be formed to face the spaced space of the spacers.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공유리패널의 제조 방법은, i) 패널 조립체를 제공하는 단계, ii) 패널 조립체를 진공 챔버에 로딩하는 단계, iii) 진공 챔버 내부를 진공 챔버와 연통된 진공 펌프로 진공화하여 패널 조립체 내부를 진공 배기하는 단계, iv) 개구부를 밀봉해 진공 유리 패널을 제조하는 단계, 및 v) 진공 유리 패널을 진공 챔버로부터 언로딩하는 단계를 포함한다. 패널 조립체는 i) 상호 마주하면서 이격된 제1 유리판 및 제2 유리판, ii) 유리판들 사이에 상호 이격되어 배치되고, 한 쌍의 유리판들에 접하여 한 쌍의 유리판들을 지지하는 복수의 스페이서들, 및 iii) 한 쌍의 유리판들 사이의 에지를 따라 도포되고 하나 이상의 개구부를 가지는 에지 밀봉 유닛을 포함한다.A method of manufacturing a vacuum glass panel according to an embodiment of the present invention includes the steps of: i) providing a panel assembly, ii) loading the panel assembly into a vacuum chamber, iii) a vacuum pump communicating the inside of the vacuum chamber with the vacuum chamber evacuating the interior of the panel assembly by evacuating the panel assembly, iv) sealing the opening to produce a vacuum glass panel, and v) unloading the vacuum glass panel from the vacuum chamber. The panel assembly includes: i) a first glass plate and a second glass plate spaced apart from each other while facing each other; iii) an edge sealing unit applied along an edge between the pair of glass plates and having one or more openings.

진공 유리 패널을 제조하는 단계는, i) 포토리지스트 배출구를 개구부에 얼라인하는 단계, ii) 개구부를 포토리지스트 배출구로부터 토출된 포토리지스트로 충진하는 단계, 및 iii) 포토리지스트를 자외선 경화하는 단계를 포함할 수 있다. 패널 조립체를 제공하는 단계에서, 하나 이상의 개구부는 스페이서들의 이격 공간에 대향하여 형성할 수 있다.The steps of making a vacuum glass panel include i) aligning the photoresist outlet to the opening, ii) filling the opening with the photoresist discharged from the photoresist outlet, and iii) UV curing the photoresist. may include the step of In the step of providing the panel assembly, one or more openings may be formed to face the spaced space of the spacers.

제조 방법이 간단하면서 대량 생산이 가능한 진공유리패널을 제조할 수 있다. 또한, 진공 챔버내에서 진공유리패널을 진공 배기하므로, 진공 효율이 우수하고, 밀봉캡을 사용하지 않아도 되어 외관이 편평하여 미려한 진공유리패널을 제조할 수 있다.A vacuum glass panel that can be mass-produced with a simple manufacturing method can be manufactured. In addition, since the vacuum glass panel is evacuated in the vacuum chamber, the vacuum efficiency is excellent, and it is not necessary to use a sealing cap, so that it is possible to manufacture a beautiful vacuum glass panel with a flat appearance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 유리 패널의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 진공 유리 패널의 제조 방법의 개략적인 순서도이다.
도 3 내지 도 7은 도 2의 진공 유리 패널의 제조 방법의 각 단계를 개략적으로 나타낸 도면들이다.1 is a schematic perspective view of a vacuum glass panel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic flowchart of a method of manufacturing the vacuum glass panel of FIG. 1 .
3 to 7 are views schematically illustrating each step of the method for manufacturing the vacuum glass panel of FIG. 2 .

여기서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The terminology used herein is for the purpose of referring to specific embodiments only, and is not intended to limit the invention. As used herein, the singular forms also include the plural forms unless the phrases clearly indicate the opposite. As used herein, the meaning of “comprising” specifies a particular characteristic, region, integer, step, operation, element and/or component, and other specific characteristic, region, integer, step, operation, element, component, and/or group. It does not exclude the existence or addition of

다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.Although not defined otherwise, all terms including technical terms and scientific terms used herein have the same meaning as those commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Commonly used terms defined in the dictionary are additionally interpreted as having a meaning consistent with the related technical literature and the presently disclosed content, and unless defined, are not interpreted in an ideal or very formal meaning.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art can easily implement them. However, the present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공유리패널(100)을 개략적으로 나타낸다. 도 1의 확대원에는 진공유리패널(100)의 에지 밀봉 유닛(20)의 정면 구조, 즉 xz 평면을 바라본 구조를 확대하여 개략적으로 나타낸다. 도 1의 진공유리패널(100)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 진공유리패널(100)의 구조를 다른 형태로도 변형할 수 있다.1 schematically shows a vacuum glass panel 100 according to an embodiment of the present invention. In the enlarged circle of FIG. 1 , the front structure of the edge sealing unit 20 of the vacuum glass panel 100 is enlarged and schematically shown, that is, the structure viewed in the xz plane. The structure of the vacuum glass panel 100 of FIG. 1 is merely to illustrate the present invention, and the present invention is not limited thereto. Accordingly, the structure of the vacuum glass panel 100 may be modified into other forms.

도 1에 도시한 바와 같이, 진공유리패널(100)은 한 쌍의 유리판들(10, 12), 에지 밀봉 유닛(20) 그리고 스페이서들(30)을 포함한다. 이외에, 진공유리패널(100)은 다른 부품들을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the vacuum glass panel 100 includes a pair of glass plates 10 and 12 , an edge sealing unit 20 and spacers 30 . In addition, the vacuum glass panel 100 may further include other components.

한 쌍의 유리판들(10, 12)은 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)을 포함한다. 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12)은 z축 방향으로 상호 마주하면서 이격되고 그 사이 공간은 진공화된다. 만약, 진공유리패널(100)을 건물 유리창으로 설치한 경우, 한 쌍의 유리판들(10, 12) 사이가 진공화되므로 외부의 열을 내부로 전달할 매개체가 없어서 건물의 단열이 잘 이루어진다.The pair of glass plates 10 , 12 includes a first glass plate 10 and a second glass plate 12 . The first glass plate 10 and the second glass plate 12 are spaced apart while facing each other in the z-axis direction, and the space therebetween is evacuated. If the vacuum glass panel 100 is installed as a building glass window, the space between the pair of glass plates 10 and 12 is evacuated, so there is no medium to transfer external heat to the inside, so that the building is well insulated.

한편, 스페이서들(30)은 xy 평면상에 상호 이격되어 한 쌍의 유리판들(10, 12) 사이에 배치된다. 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)은 대면적으로 형성되므로 양자 접촉에 의한 불량화를 방지하고자 스페이서들(30)을 사용한다. 스페이서들(30)은 외부에서는 잘 보이지 않도록 수 ㎛ 단위로 형성되며, 한 쌍의 유리판들(10, 12)에 z축 방향으로 접해 있다. 스페이서들(30)을 이용하여 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)을 이격시켜서 그 사이에 공간을 형성한다.Meanwhile, the spacers 30 are spaced apart from each other on the xy plane and disposed between the pair of glass plates 10 and 12 . Since the first glass plate 10 and the second glass plate 12 are formed in a large area, spacers 30 are used to prevent deterioration due to bilateral contact. The spacers 30 are formed in units of several μm so as not to be easily seen from the outside, and are in contact with the pair of glass plates 10 and 12 in the z-axis direction. The first glass plate 10 and the second glass plate 12 are spaced apart using the spacers 30 to form a space therebetween.

스페이서들(30)은 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12) 사이에서 열전달 매개체 역할을 할 수 있다. 따라서 진공유리패널(100)의 단열 효과를 극대화하기 위해서 스페이서들(30)의 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12)과의 접촉 면적을 최소화한다. 원기둥형, 사각기둥형, 원뿔대형 등 다양한 형상을 가진 스페이서들(30)을 사용할 수 있다.The spacers 30 may serve as a heat transfer medium between the first glass plate 10 and the second glass plate 12 . Therefore, in order to maximize the insulating effect of the vacuum glass panel 100 , the contact area between the first glass plate 10 and the second glass plate 12 of the spacers 30 is minimized. Spacers 30 having various shapes, such as a cylindrical shape, a square column shape, and a truncated cone shape, may be used.

스페이서들(30)은 에폭시 수지 등을 사용하여 형성할 수 있다. 스크린 인쇄 등의 방법을 사용하여 제1 유리판(10) 위에 페이스트를 토출한 후 소성해 스페이서들(30)을 제조한다. 여기서, 소성 온도는 400℃ 내지 600℃일 수 있다. 스페이서들(30)은 제1 유리판(10) 위에 형성한다. 그리고 제1 유리판(10)의 가장자리를 따라 에지 밀봉 유닛용 페이스트를 도포한 후 제2 유리판(12)을 그 위에 올려서 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12)을 합체한다.The spacers 30 may be formed using an epoxy resin or the like. The spacers 30 are manufactured by discharging the paste on the first glass plate 10 using a method such as screen printing and then firing the paste. Here, the firing temperature may be 400 °C to 600 °C. The spacers 30 are formed on the first glass plate 10 . Then, after applying the edge sealing unit paste along the edge of the first glass plate 10 , the second glass plate 12 is placed thereon to combine the first glass plate 10 and the second glass plate 12 .

도 1의 확대원에 도시한 바와 같이, 에지 밀봉 유닛(20)은 한 쌍의 유리판들(10, 12)의 에지를 따라 형성된다. 에지 밀봉 유닛(20)은 프릿부(201) 및 밀봉부(203)를 포함한다. 프릿부(201)는 진공유리패널(100)을 진공화하기 전에 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12)을 합체하기 위해 먼저 형성된다. 프릿부(201)의 소재로서 에폭시 수지, Li2O, Na2O, K2O, SiO2, B2O3, Bi2O3, BaO, ZnO, MgO, TeO2, Tl2O3, V2O5 또는 Si 등의 물질을 하나 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 예를 들면, Bi2O3-B2O3, Na2O-B2O3 등의 화합물을 사용할 수도 있다.As shown in the enlarged circle of FIG. 1 , the edge sealing unit 20 is formed along the edges of the pair of glass plates 10 , 12 . The edge sealing unit 20 includes a frit portion 201 and a sealing portion 203 . The frit part 201 is first formed to combine the first glass plate 10 and the second glass plate 12 before vacuuming the vacuum glass panel 100 . As a material of the frit part 201 , an epoxy resin, Li 2 O, Na 2 O, K 2 O, SiO 2 , B 2 O 3 , Bi 2 O 3 , BaO, ZnO, MgO, TeO 2 , Tl 2 O 3 , One or a mixture of two or more materials such as V 2 O 5 or Si may be used. For example, compounds such as Bi 2 O 3 -B 2 O 3 and Na 2 OB 2 O 3 may be used.

밀봉부(203)는 제1 유리판(10)과 제2 유리판(12) 사이의 이격 공간을 진공화한 후에 이를 밀봉하기 위해 이용된다. 밀봉부(203)는 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(20)에 각각 접하므로, 진공유리패널(100)의 내부 공간을 완벽하게 진공화할 수 있다. 밀봉부(203)는 자외선에 의해 경화 가능한 소재, 예를 들면 포토리지스트를 사용할 수 있다. 밀봉부(203)의 제조 방법은 도 2 및 도 6을 통하여 추후에 좀더 상세하게 설명한다.The sealing part 203 is used to seal the separation space between the first glass plate 10 and the second glass plate 12 after vacuuming. Since the sealing part 203 contacts the first glass plate 10 and the second glass plate 20, respectively, the inner space of the vacuum glass panel 100 can be completely evacuated. The sealing part 203 may use a material curable by ultraviolet rays, for example, a photoresist. The manufacturing method of the sealing part 203 will be described in more detail later with reference to FIGS. 2 and 6 .

도 1에는 밀봉부(203)가 2개, 즉 복수로 형성된 것으로 도시하였지만, 하나만 형성해도 무방하다. 이는 진공유리패널(100)의 진공화 공정 등에 따라 적절하게 조절할 수 있다. 밀봉부(203)의 평균폭(w203)은 1mm내지 10mm일 수 있다. 여기서, 평균폭(w203)은 밀봉부(203)가 1개만 형성되는 경우, 그 폭을 의미한다. 이와 달리 밀봉부(203)가 복수로 형성되는 경우에는 각 밀봉부(203)의 폭(w203)의 평균을 뜻한다. 한편, 밀봉부(203)의 폭(w203)은 프릿부(201)의 폭보다 작다. 즉, 밀봉부(203)는 밀봉전에는 진공 배기구로서 기능하므로, 그 폭(w203)이 크면 진공도에 문제가 발생할 수 있다. 따라서 밀봉부(203)의 폭(w203)을 프릿부(201)의 폭보다 작게 형성한다.Although it is shown in FIG. 1 that two sealing parts 203 are formed, that is, a plurality of sealing parts 203, only one may be formed. This can be appropriately adjusted according to the vacuuming process of the vacuum glass panel 100, and the like. The average width w203 of the sealing part 203 may be 1 mm to 10 mm. Here, the average width w203 means the width when only one sealing part 203 is formed. On the other hand, when a plurality of sealing parts 203 are formed, it means an average of the widths w203 of each sealing part 203 . Meanwhile, the width w203 of the sealing part 203 is smaller than the width of the frit part 201 . That is, since the sealing part 203 functions as a vacuum exhaust port before sealing, if the width w203 is large, a problem may occur in the degree of vacuum. Therefore, the width w203 of the sealing part 203 is formed to be smaller than the width of the frit part 201 .

도 1에 도시한 바와 같이, 밀봉부(203)는 스페이서들(30)의 이격 공간에 대향하여 형성된다. 즉, 밀봉부(203)는 y축 방향을 따라 스페이서들(30)이 배치되지 않은 영역을 향해 있다. 밀봉부(203)는 밀봉전에 진공 배기구 역할을 하므로, 이를 통하여 상당한 압력이 걸린다. 따라서 기형성된 스페이서들(30)이 밀봉부(203) 부근에 위치하는 경우, 스페이서들(30)이 파손되거나 균열이 발생하는 등 그 내구성에 문제가 발생할 뿐만 아니라 진공 배기에도 안좋은 영향을 줄 수 있다. 따라서 밀봉부(203)의 위치를 제어하여 이를 방지한다.As shown in FIG. 1 , the sealing part 203 is formed to face the spaced space of the spacers 30 . That is, the sealing portion 203 faces a region in which the spacers 30 are not disposed along the y-axis direction. Since the seal 203 serves as a vacuum vent before sealing, a significant pressure is applied therethrough. Therefore, when the pre-formed spacers 30 are located near the sealing part 203 , the spacers 30 may be damaged or cracked, etc., and not only may cause a problem in durability, but also adversely affect evacuation. . Therefore, the position of the sealing part 203 is controlled to prevent this.

본 발명의 일 실시예에서는 밀봉부(203)를 프릿부(201)와 함께 형성하므로, 일반적인 진공유리패널의 외표면에 부착되는 밀봉캡이 존재하지 않는다. 따라서 밀봉캡이 형성되지 않은 외표면을 가진 진공유리패널(100)이 구현된다. 그 결과, 진공유리패널(100)의 외면은 실질적으로 편평하게 형성되어 진공유리패널(100)이 외관상 미려한 이점을 가진다.In one embodiment of the present invention, since the sealing part 203 is formed together with the frit part 201, there is no sealing cap attached to the outer surface of a general vacuum glass panel. Accordingly, the vacuum glass panel 100 having an outer surface on which a sealing cap is not formed is implemented. As a result, the outer surface of the vacuum glass panel 100 is formed to be substantially flat, so that the vacuum glass panel 100 has a beautiful appearance.

도 2는 도 1의 진공 유리 패널(100)의 제조 방법의 순서도를 개략적으로 나타낸다. 도 2의 진공 유리 패널의 제조 방법은 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 진공 유리 패널의 제조 방법을 다르게 변형할 수 있다.FIG. 2 schematically shows a flowchart of a manufacturing method of the vacuum glass panel 100 of FIG. 1 . The manufacturing method of the vacuum glass panel of FIG. 2 is merely for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the manufacturing method of the vacuum glass panel can be modified differently.

도 2에 도시한 바와 같이, 진공 유리 패널의 제조 방법은, 적어도 하나의 개구부가 형성된 에지 밀봉 유닛을 포함하는 패널 조립체를 제공하는 단계(S10), 패널 조립체를 진공 챔버에 로딩하는 단계(S20), 진공 챔버 내부를 진공 펌프로 진공화하여 패널 조립체 내부를 진공 배기하는 단계(S30), 개구부에 포토리지스트를 충진한 후 자외선 경화하여 개구부를 밀봉해 진공유리패널을 제조하는 단계(S40), 그리고 진공유리패널을 진공 챔버로부터 언로딩하는 단계(S50)를 포함한다. 이외에, 진공 유리 패널의 제조 방법은 필요에 따라 다른 단계들을 더 포함할 수 있다. 이하에서는 전술한 각 단계들을 각각 도 3 내지 도 7을 참조하여 좀더 상세하게 설명한다.As shown in FIG. 2 , the method for manufacturing a vacuum glass panel includes providing a panel assembly including an edge sealing unit having at least one opening ( S10 ), and loading the panel assembly into a vacuum chamber ( S20 ). , vacuuming the inside of the vacuum chamber with a vacuum pump to evacuate the inside of the panel assembly (S30), filling the opening with photoresist and then UV curing to seal the opening to produce a vacuum glass panel (S40); And unloading the vacuum glass panel from the vacuum chamber (S50). In addition, the manufacturing method of the vacuum glass panel may further include other steps as necessary. Hereinafter, each of the above-described steps will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 7 , respectively.

도 3 내지 도 7은 도 2의 진공 유리 패널의 제조 방법의 각 단계들을 나타낸다. 즉, 도 3은 도 2의 단계(S10)에 대응하고, 도 4는 도 2의 단계(S20)에 대응하며, 도 5는 도 2의 단계(S30)에 대응하고, 도 6은 도 2의 단계(S40)에 대응하며, 도 7은 도 2의 단계(S50)에 대응한다.3 to 7 show respective steps of the manufacturing method of the vacuum glass panel of FIG. 2 . That is, FIG. 3 corresponds to step S10 of FIG. 2 , FIG. 4 corresponds to step S20 of FIG. 2 , FIG. 5 corresponds to step S30 of FIG. 2 , and FIG. 6 is FIG. It corresponds to step S40, and FIG. 7 corresponds to step S50 of FIG. 2 .

도 2의 단계(S10)에서는 패널 조립체(90)(도 3에 도시)를 제공한다. 패널 조립체(90)는 하나 이상의 개구부(201a)(도 3에 도시)가 형성된 에지 밀봉 유닛(20)을 포함한다.In step S10 of FIG. 2 , a panel assembly 90 (shown in FIG. 3 ) is provided. The panel assembly 90 includes an edge sealing unit 20 having one or more openings 201a (shown in FIG. 3 ) formed therein.

도 3은 도 2의 단계(S10)에 대응하는 패널 조립체(90)를 개략적으로 나타낸다. 도 3의 확대원에는 패널 조립체(90)에 형성된 개구부(201a)와 그 주변부를 확대하여 나타낸다. 패널 조립체(90)의 구조는 도 1의 진공유리패널(100)의 구조와 유사하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하고 그 상세한 설명을 생략한다.FIG. 3 schematically shows a panel assembly 90 corresponding to step S10 of FIG. 2 . An enlarged circle of FIG. 3 shows an enlarged opening 201a formed in the panel assembly 90 and a periphery thereof. Since the structure of the panel assembly 90 is similar to that of the vacuum glass panel 100 of FIG. 1 , the same reference numerals are used for the same parts and detailed descriptions thereof are omitted.

도 3의 확대원에 도시한 바와 같이, 프릿부(201)에 개구부(201a)가 형성된다. 개구부(201a)를 제조하기 위해 프릿부(201)가 도포되는 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)의 가장자리 영역 중 개구부(201a)가 대응되는 영역을 마스킹한다. 예를 들면, 초미세 마스킹 테이프(미도시)를 제1 유리판(10) 위에 부착하고, 프릿부(201) 형성용 페이스트를 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)의 사이에 도포한 후 소결하면서 제1 유리판(10) 및 제2 유리판(12)을 합착시킨다. 이 경우, 초미세 마스킹 테이프는 소결 공정 후에 떼어내 제거하거나 소결 과정 중에 타서 자연스럽게 없어질 수 있다. 이러한 방법을 통하여 프릿부(201)에 개구부(201a)를 형성한다. 패널 조립체(90)는 그 내부가 외부와 개구부(201a)를 통해 연통되어 아직까지는 진공이 형성되지 않는다.As shown in the enlarged circle of FIG. 3 , an opening 201a is formed in the frit portion 201 . In order to manufacture the opening 201a, a region corresponding to the opening 201a among the edge regions of the first glass plate 10 and the second glass plate 12 to which the frit portion 201 is applied is masked. For example, an ultrafine masking tape (not shown) is attached on the first glass plate 10 , and a paste for forming the frit portion 201 is applied between the first glass plate 10 and the second glass plate 12 . After sintering, the first glass plate 10 and the second glass plate 12 are bonded together. In this case, the ultrafine masking tape may be removed by peeling off after the sintering process or may be naturally removed by burning during the sintering process. Through this method, the opening 201a is formed in the frit part 201 . The inside of the panel assembly 90 communicates with the outside through the opening 201a, so that a vacuum is not formed yet.

다시 도 2로 되돌아가면, 단계(S20)에서는 패널 조립체(90)(도 4에 도시)를 진공 챔버(80)에 로딩한다. 즉, 패널 조립체(90)의 내부를 진공화하기 위하여 패널 조립체(90)를 진공 챔버(80) 내부로 인입시킨다. 이를 도 4를 통하여 좀더 상세하게 설명한다.Returning to FIG. 2 again, in step S20 , the panel assembly 90 (shown in FIG. 4 ) is loaded into the vacuum chamber 80 . That is, in order to vacuum the inside of the panel assembly 90 , the panel assembly 90 is introduced into the vacuum chamber 80 . This will be described in more detail with reference to FIG. 4 .

도 4는 도 2의 단계(S20)에 대응하여 패널 조립체(90)를 진공 챔버(80)에 적재하는 과정을 나타낸다. 이러한 패널 조립체(90)의 로딩 과정은 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 패널 조립체(90)의 로딩 과정을 다른 형태로도 변형할 수 있다.4 illustrates a process of loading the panel assembly 90 into the vacuum chamber 80 in response to step S20 of FIG. 2 . The loading process of the panel assembly 90 is merely for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Accordingly, the loading process of the panel assembly 90 may be modified into other forms.

도 4에 점선 화살표로 도시한 바와 같이, +x축 방향으로 패널 조립체(90)를 이동시켜 진공 챔버(80) 내부에 넣을 수 있다. 진공 챔버(80) 내부에는 지지대(82)가 설치되어 있으므로, 패널 조립체(90)를 지지대(82) 위에 안정적으로 배치할 수 있다. 진공 챔버(80)에는 개폐가 가능한 인입구(801)가 설치된다. 따라서 인입구(801)를 열어서 패널 조립체(90)를 진공 챔버(80) 내부에 적재할 수 있다. 패널 조립체(90)를 진공 챔버(80) 내부에 인입한 후, 인입구(801)를 닫아서 진공 챔버(80)를 밀폐시킨다.As shown by a dotted arrow in FIG. 4 , the panel assembly 90 may be moved in the +x-axis direction to be placed in the vacuum chamber 80 . Since the support 82 is installed inside the vacuum chamber 80 , the panel assembly 90 can be stably disposed on the support 82 . An inlet 801 that can be opened and closed is installed in the vacuum chamber 80 . Accordingly, by opening the inlet 801 , the panel assembly 90 may be loaded into the vacuum chamber 80 . After the panel assembly 90 is introduced into the vacuum chamber 80 , the inlet 801 is closed to seal the vacuum chamber 80 .

한편, 진공 챔버(80) 내부에는 패널 조립체(90)의 개구부(201a)를 밀폐시키기 위한 밀봉 장치(84)가 구비된다. 밀봉 장치(84)는 이동용 레일(845)을 따라 화살표 방향, 즉 x축 방향으로 이동하면서 패널 조립체(90)를 밀봉시킨다. 한편, 진공 챔버(80)에는 진공 펌프(86)가 진공 배기관(88)을 통해 연결된다. 진공 펌프(86)로서 드라이 펌프 또는 터보 분자 펌프 등을 사용할 수 있다. 진공 챔버(80)는 진공 펌프(86)에 의해 진공화된다. 스로틀 밸브(89)는 진공 배기관(88)에 설치되어 진공화도를 제어할 수 있다.Meanwhile, a sealing device 84 for sealing the opening 201a of the panel assembly 90 is provided inside the vacuum chamber 80 . The sealing device 84 seals the panel assembly 90 while moving along the moving rail 845 in the direction of the arrow, that is, the x-axis direction. Meanwhile, a vacuum pump 86 is connected to the vacuum chamber 80 through a vacuum exhaust pipe 88 . As the vacuum pump 86, a dry pump, a turbo molecular pump, or the like can be used. The vacuum chamber 80 is evacuated by a vacuum pump 86 . The throttle valve 89 may be installed in the vacuum exhaust pipe 88 to control the degree of vacuumization.

다시 도 2로 되돌아가면, 단계(S30)에서는 진공 챔버 내부를 진공 펌프로 진공화하여 패널 조립체 내부를 진공 배기한다. 이하에서는 도 5를 통하여 이를 좀더 상세하게 설명한다.Referring back to FIG. 2 , in step S30 , the inside of the vacuum chamber is evacuated with a vacuum pump to evacuate the inside of the panel assembly. Hereinafter, this will be described in more detail with reference to FIG. 5 .

도 5에 도시한 바와 같이, 진공 펌프(86)를 가동시켜 진공 배기관(88)을 통해 화살표 방향으로 공기를 빼내어 진공 챔버(80) 내부를 진공화한다. 본 발명의 일 실시예에서는 대기중, 예를 들면 진공 챔버(80) 밖에서 패널 조립체(90) 내부를 진공 배기하는 것이 아니라 진공 챔버(80)내에서 패널 조립체(90) 내부를 진공 배기한다. 즉, 진공 챔버(80) 내부를 진공 배기하여 패널 조립체(90) 외부뿐만 아니라 그 내부까지 진공화한다. 그 결과, 대기중에서 진공유리패널을 진공화하는 경우에 비해 밀봉용 캡 등의 구조를 단순화할 수 있다. 따라서 밀봉용 캡을 구비하지 않은 진공유리패널을 제조할 수 있다. 진공 챔버(80)의 진공화 과정은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있으므로, 그 상세한 설명을 생략한다.As shown in FIG. 5 , the vacuum pump 86 is operated to extract air in the arrow direction through the vacuum exhaust pipe 88 to vacuum the inside of the vacuum chamber 80 . In one embodiment of the present invention, the inside of the panel assembly 90 is not evacuated in the atmosphere, for example, outside the vacuum chamber 80 , but the inside of the panel assembly 90 is evacuated within the vacuum chamber 80 . That is, the inside of the vacuum chamber 80 is evacuated to evacuate not only the outside of the panel assembly 90 but also the inside of the panel assembly 90 . As a result, the structure of the sealing cap and the like can be simplified compared to the case of vacuuming the vacuum glass panel in the atmosphere. Therefore, it is possible to manufacture a vacuum glass panel not provided with a sealing cap. Since the vacuum chamber 80 can be easily understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, a detailed description thereof will be omitted.

진공 챔버(80)의 내부가 진공화되면서 패널 조립체(90)의 내부도 개구부(201a)를 통해 함께 진공화된다. 개구부(201a)의 수가 많을수록 밀봉 작업이 복잡해지지만 패널 조립체(90)의 진공화는 더욱 쉽게 이루어질 수 있다. 이를 위해 적절한 수의 개구부(201a)를 형성하는 것이 필요하다.As the interior of the vacuum chamber 80 is evacuated, the interior of the panel assembly 90 is also evacuated through the opening 201a. As the number of openings 201a increases, the sealing operation becomes more complicated, but vacuuming of the panel assembly 90 can be performed more easily. For this purpose, it is necessary to form an appropriate number of openings 201a.

다시 도 2로 되돌아가면, 단계(S40)에서는 개구부(201a)(도 5에 도시)에 밀봉제인 포토리지스트를 충전한 후 자외선 경화하여 개구부(201a)를 밀봉한다. 포토리지스트는 경화성 수지와 광중합 개시제를 포함할 수 있다. 광중합 개시제로는 트라이아진 골격 또는 옥사다이아졸 골격을 포함하는 할로젠화 탄화 수소 유도체, 아실포스핀옥사이드 등의 아실포스핀 화합물, 헥사아릴바이이미다졸, 옥심 유도체 등의 옥심 화합물, 유기 과산화물, 싸이오 화합물, 케톤 화합물, 방향족 오늄염, 케톡심에터, 아미노아세토페논 화합물 또는 하이드록시아세토페논 등을 들 수 있다. 포토리지스트의 상세 내용은 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있으므로, 그 상세한 설명을 생략한다. 전술한 방법을 통해 진공유리패널(100)(도 1에 도시)을 제조할 수 있다. 이를 도 6을 통하여 좀더 상세하게 설명한다.Referring back to FIG. 2 , in step S40 , the opening 201a (shown in FIG. 5 ) is filled with a photoresist, which is a sealing agent, and then UV cured to seal the opening 201a. The photoresist may include a curable resin and a photoinitiator. Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives having a triazine skeleton or oxadiazole skeleton, acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, oxime compounds such as hexaarylbiimidazole and oxime derivatives, organic peroxides, and thi and o compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, aminoacetophenone compounds, and hydroxyacetophenones. Since the details of the photoresist can be easily understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, a detailed description thereof will be omitted. The vacuum glass panel 100 (shown in FIG. 1 ) may be manufactured through the above-described method. This will be described in more detail with reference to FIG. 6 .

도 6은 도 2의 단계(S40)에 대응하여 진공유리패널(100)을 제조하는 과정을 개략적으로 나타낸다. 좀더 상세하게는, 밀봉 장치(84)를 이용하여 개구부(201a)를 밀봉하는 과정을 나타낸다.6 schematically shows a process of manufacturing the vacuum glass panel 100 in response to step S40 of FIG. 2 . In more detail, the process of sealing the opening 201a using the sealing device 84 is shown.

도 6에 도시한 바와 같이, 밀봉 장치(84)는 디스펜서부(841) 및 비젼 인식부(843)를 포함한다. 도 6에는 도시하지 않았지만, 밀봉 장치(84)는 자외선 경화부를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 6 , the sealing device 84 includes a dispenser unit 841 and a vision recognition unit 843 . Although not shown in FIG. 6 , the sealing device 84 may further include an ultraviolet curing unit.

도 6에 도시한 바와 같이, 비젼 인식부(843)를 이용하여 개구부(201a)(도 5에 도시, 이하 동일)의 위치를 정확하게 파악한다. 비젼 인식부(843)에서 광을 출사하는 경우, 개구부(201a)에서는 광이 반사되지 않고 그대로 통과되므로 이러한 점을 이용해 개구부(201a)의 위치를 쉽게 파악할 수 있다.As shown in FIG. 6 , the position of the opening 201a (shown in FIG. 5 , the same hereinafter) is accurately grasped using the vision recognition unit 843 . When light is emitted from the vision recognition unit 843 , the light passes through the opening 201a without being reflected, so that the position of the opening 201a can be easily identified using this point.

개구부(201a)의 위치가 파악된 경우, y축 방향, 즉 화살표 방향으로 디스펜서부(841)를 길게 늘여서 포토리지스트 페이스트를 개구부(201a)에 충진한다. 개구부(201a)가 매우 작기 때문에 모세관 현상에 의해 포토리지스트 페이스트는 개구부(201a)에 잘 충진된다. 또한, 포토리지스트 페이스트가 적절한 점도를 가지므로, 개구부(201a)의 충진이 잘 이루어진다.When the position of the opening 201a is determined, the dispenser unit 841 is elongated in the y-axis direction, that is, in the direction of the arrow, and the photoresist paste is filled in the opening 201a. Since the opening 201a is very small, the photoresist paste is well filled in the opening 201a by capillary action. In addition, since the photoresist paste has an appropriate viscosity, the opening 201a is well filled.

디스펜싱 작업이 완료된 디스펜서부(841)는 다시 원위치로 복귀시켜서 후속 공정에서의 간섭을 방지한다. 그리고 자외선 경화부(미도시)를 이용해 자외선을 포토리지스트 페이스트에 조사해 이를 경화시킨다. 비젼 인식부(843)를 이용하여 포토리지스트 페이스트가 충진된 개구부(201a)의 위치가 정확히 파악되므로, 포토리지스트 페이스트를 완벽하게 경화시킬 수 있다. 그 결과, 패널 조립체(90)는 완벽하게 밀봉된다.After the dispensing operation is completed, the dispenser unit 841 returns to its original position to prevent interference in a subsequent process. Then, using an ultraviolet curing unit (not shown), ultraviolet rays are irradiated to the photoresist paste to harden it. Since the position of the opening 201a filled with the photoresist paste is accurately identified using the vision recognition unit 843, the photoresist paste can be completely cured. As a result, the panel assembly 90 is completely sealed.

다시 도 2로 되돌아가면, 단계(S70)에서는 진공유리패널(100)(도 7에 도시)을 진공 챔버(80)로부터 언로딩한다. 즉, 인챔버 방식으로 진공화된 진공유리패널(100)을 진공 챔버(80)로부터 꺼낸다. 이를 도 7을 통하여 좀더 상세하게 설명한다. Returning to FIG. 2 again, in step S70 , the vacuum glass panel 100 (shown in FIG. 7 ) is unloaded from the vacuum chamber 80 . That is, the vacuum glass panel 100 evacuated by the in-chamber method is taken out from the vacuum chamber 80 . This will be described in more detail with reference to FIG. 7 .

도 7은 도 2의 단계(S50)에 대응하여 진공유리패널(100)을 진공 챔버(80)로부터 배출시키는 과정을 개략적으로 나타낸다. 즉, 진공 챔버(80)의 인입구(801)를 다시 오픈한 후, 점선 화살표 방향으로 제조가 완료된 진공유리패널(100)을 꺼낸다.7 schematically shows a process of discharging the vacuum glass panel 100 from the vacuum chamber 80 in response to step S50 of FIG. 2 . That is, after opening the inlet 801 of the vacuum chamber 80 again, the vacuum glass panel 100 is taken out in the direction of the dotted arrow.

본 발명의 일 실시예서는 진공 챔버(80) 내에서는 진공 배기 작업 및 밀봉 작업만 실시한다. 그 결과, 유리판들의 접합, 프릿 도포 및 합판 공정을 진공 챔버내에서 모두 실시하는 것이 아니라 유리판들의 진공 배기 및 밀봉 공정만 실시하므로 진공 챔버 내부 오염을 최소화할 수 있다. 따라서 진공 챔버의 수명을 연장시킬 수 있어서 공정 효율을 최대화할 수 있다.In one embodiment of the present invention, only the vacuum evacuation operation and the sealing operation are performed in the vacuum chamber 80 . As a result, since the bonding, frit application, and plying processes of the glass plates are not all performed in the vacuum chamber, but only the vacuum evacuation and sealing processes of the glass plates are performed, contamination inside the vacuum chamber can be minimized. Accordingly, it is possible to extend the life of the vacuum chamber, thereby maximizing process efficiency.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 설명하였지만, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described as described above, it will be readily understood by those skilled in the art to which the present invention pertains that various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims.

10, 12. 유리판
20. 에지 밀봉 유닛
30. 스페이서
82. 지지대
84. 밀봉 장치
86. 진공 펌프
88. 진공 배기관
89. 스로틀 밸브
90. 패널 조립체
201. 프릿부
201a. 개구부
203. 밀봉부
801. 인입구
841. 디스펜서부
843. 비젼 인식부
845. 이동용 레일10, 12. Glass plate
20. Edge sealing unit
30. Spacer
82. Support
84. Sealing device
86. vacuum pump
88. Vacuum exhaust pipe
89. Throttle valve
90. Panel assembly
201. Frit
201a. opening
203. Seal
801. Inlet
841. Dispenser Department
843. Vision Recognition Unit
845. Travel rail

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete i) 상호 마주하면서 이격된 제1 유리판 및 제2 유리판, ii) 상기 유리판들 사이에 상호 이격되어 배치되고, 상기 한 쌍의 유리판들에 접하여 상기 한 쌍의 유리판들을 지지하는 복수의 스페이서들, 및 iii) 상기 한 쌍의 유리판들 사이의 에지를 따라 도포되고 하나 이상의 개구부를 가지는 에지 밀봉 유닛을 포함하는 패널 조립체를 제공하는 단계,
상기 패널 조립체를 진공 챔버에 로딩하는 단계,
상기 진공 챔버 내부를 상기 진공 챔버와 연통된 진공 펌프로 진공화하여 상기 패널 조립체 내부를 진공 배기하는 단계,
상기 개구부를 밀봉해 진공 유리 패널을 제조하는 단계, 및
상기 진공 유리 패널을 상기 진공 챔버로부터 언로딩하는 단계
를 포함하고,
상기 패널 조립체를 제공하는 단계에서, 상기 복수의 스페이서들에 대응하는 상기 진공 유리 패널의 외면은 실질적으로 편평하게 형성되고,
상기 에지 밀봉 유닛은 상기 한 쌍의 유리판들 사이의 모서리에 선형으로 길게 뻗어 형성된 프릿부를 더 포함하고, 상기 개구부는 상기 프릿부 중에 형성되며,
상기 진공 유리 패널을 제조하는 단계는,
포토리지스트 배출구를 상기 개구부에 얼라인하는 단계,
상기 개구부를 상기 포토리지스트 배출구로부터 토출된 포토리지스트로 충진하는 단계, 및
상기 포토리지스트를 자외선 경화하는 단계
를 포함하는 진공 유리 패널의 제조 방법.i) a first glass plate and a second glass plate spaced apart from each other while facing each other, ii) a plurality of spacers disposed to be spaced apart from each other and supporting the pair of glass plates in contact with the pair of glass plates, and iii) providing a panel assembly comprising an edge sealing unit applied along an edge between the pair of glass plates and having one or more openings;
loading the panel assembly into a vacuum chamber;
evacuating the inside of the panel assembly by evacuating the inside of the vacuum chamber with a vacuum pump communicating with the vacuum chamber;
sealing the opening to produce a vacuum glass panel, and
unloading the vacuum glass panel from the vacuum chamber;
including,
In the providing of the panel assembly, an outer surface of the vacuum glass panel corresponding to the plurality of spacers is formed to be substantially flat,
The edge sealing unit further includes a frit portion formed to extend linearly at an edge between the pair of glass plates, and the opening is formed in the frit portion,
The step of manufacturing the vacuum glass panel,
aligning the photoresist outlet with the opening;
filling the opening with the photoresist discharged from the photoresist outlet; and
UV curing the photoresist
A method of manufacturing a vacuum glass panel comprising a. 삭제delete 제7항에서,
상기 패널 조립체를 제공하는 단계에서, 상기 하나 이상의 개구부는 상기 스페이서들의 이격 공간에 대향하여 형성하는 진공 유리 패널의 제조 방법.In claim 7,
In the providing of the panel assembly, the at least one opening is formed to face the spaced space of the spacers.
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