KR102408659B1 - 광 방출 기기, 그리고 광 방출 기기의 제조 방법 - Google Patents

광 방출 기기, 그리고 광 방출 기기의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 기판(2)과; 이 기판(2) 상에 배치되어 레이저 빔(S)을 방출하도록 형성된 광 방출 장치(3);를 포함하는 광 방출 기기(1)에 관한 것이다. 기판에는 회동식 광 편향 장치(4)가 배치된다. 기판(2) 상에 캡핑 장치(5)가 배치되어 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)를 덮으며, 상기 캡핑 장치(5)는 제1 캡 섹션(5a)과 투과성의 제2 캡 섹션(5b)을 갖는다. 제1 캡 섹션(5a)은 광 방출 장치(3)로부터 방출된 레이저 빔(S)을 광 편향 장치(4)로 방향 전환시키도록 형성된다. 나아가 광 편향 장치(4)는, 편향되는 레이저 빔(S)이 제2 캡 섹션(5b)을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔(S)을 편향시키도록 형성된다.

Description

광 방출 기기, 그리고 광 방출 기기의 제조 방법
본 발명은 광 방출 기기, 그리고 광 방출 기기를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.
미세 광전자 기계식 시스템(MOEMS)은 센서, 바코드 스캐너, 차량 헤드램프 또는 복사기의 부품으로서, 그 조밀한 크기 및 낮은 원가로 인해 선호된다. EP 1 225 469 A2호로부터, 레이저 광이 회동식 미러(pivotable mirror)를 통해 편향됨으로써 주변 영역이 스캐닝될 수 있는 MOEMS 레이저 스캐너가 공지되어 있다.
여러 적용 분야에서 센서들이 최소 공간에 장착되는 경우가 점차 증가함에 따라, 훨씬 더 조밀하고 견고한 MOEMS 부품들에 대한 수요가 항상 존재한다.
본 발명은 특허 청구항 제1항의 특징들을 갖는 광 방출 기기, 그리고 특허 청구항 제9항의 특징들을 갖는, 광 방출 기기의 제조 방법에 관한 것이다.
제1 양태에 따라, 본 발명은, 기판 및 이 기판 상에 배치되어 레이저 빔을 방출하도록 형성된 광 방출 장치를 포함하는 MOEMS 광 방출 기기에 관련된다. 기판 옆에는 회동식 광 편향 장치(pivotable light deflection unit)가 배치된다. 또한, 기판 상에는, 광 방출 장치 및 광 편향 장치를 덮는 캡핑 장치가 배치되며, 이 캡핑 장치는 반사성의 제1 캡 섹션(cap section)과 투과성인 제2 캡 섹션을 갖는다. 제1 캡 섹션은, 광 방출 장치로부터 방출된 레이저 빔을 광 편향 장치로 방향 전환시키도록 형성된다. 또한, 광 편향 장치는, 편향되는 레이저 빔이 제2 캡 섹션을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔을 편향시키도록 형성된다.
여기서 "투과성"이란, 제2 캡 섹션이 레이저 빔의 파장을 적어도 부분적으로 투과시킨다는 점 내지는 광 투과성이라는 점을 의미한다.
제2 양태에 따라, 본 발명은 광 방출 기기를 제조하기 위한 방법에 관한 것이며, 본 방법에서 광 방출 장치는 기판 상에 배치되고, 회동식 광 편향 장치는 기판 옆에 배치된다. 추가로, 광 방출 장치 및 광 편향 장치를 덮는 캡핑 장치가 기판 상에 배치된다. 캡핑 장치는 반사성인 제1 캡 섹션과 투과성인 제2 캡 섹션을 가지며, 제1 캡 섹션은 광 방출 장치로부터 방출된 레이저 빔을 광 편향 장치로 방향 전환시키도록 형성되고, 광 편향 장치는, 편향되는 레이저 빔이 제2 캡 섹션을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔을 편향시키도록 형성된다.
바람직한 실시예들은 각각의 종속 청구항들의 대상이다.
본 발명은, 광 방출 장치 및 광 편향 장치가 공간 절약적으로 기판 내에 통합될 수 있기 때문에, 매우 조밀한 광 방출 기기를 제공한다. 광 방출 장치는, 광 방출 기기의 치수를 좀 더 감소시키기 위해, 바람직하게 회동식 광 편향 장치의 바로 근처에 포지셔닝된다. 바람직하게 플라스틱으로 형성되는 캡핑 장치는 비용 효과적으로 제조될 수 있고, 그 내구성이 우수한 특징이 있다.
방출된 레이저 빔의 방향 전환은 캡핑 장치 자체를 통해 실현되며, 그럼으로써 추가의 편향 미러(deflection mirror)가 불필요해진다. 그 결과, 편향 미러의 상응하는 제조 복잡성 및 비용이 생략되며, 이와 동시에 광 방출 기기의 크기도 더욱 축소될 수 있다. 민감한 미러가 더 이상 요구되지 않기 때문에, 캡핑 장치 내에 광 방향 전환부를 통합시킴으로써 방향 전환부의 높은 내구성이 보장될 수 있다.
웨이퍼 기술에서 달성 가능한 매우 얇은 두께 및 조정 공차를 기반으로, 광 방출 기기의 추가적인 광학 보정 또는 설정이 생략될 수 있음으로써 광 방출 기기가 더욱 사용자 친화적이게 하는 방식으로, 광 방출 장치, 광 편향 장치 및 캡핑 장치가 서로에 대해 배치될 수 있다.
본 발명의 한 바람직한 실시예에 따라, 캡은 기밀 방식으로 폐쇄된 공동부(hollow)를 내포하며, 이 공동부 내에 광 편향 장치 및 광 방출 장치가 존재한다. 그 결과, 광 방출 장치 및 광 편향 장치는 제조 중에 그리고 작동 중에 오염 및 손상으로부터 보호된다.
본원의 광 방출 기기의 매우 바람직한 한 실시예에 따라, 광 편향 장치는 회동식 마이크로미러를 포함하며, 이 회동식 마이크로미러의 표면은 휴지 위치에서 광 방출 장치의 광 방출 방향에 대해 수직으로 위치한다. 여기서 "휴지 위치"란 편향되지 않거나 회동되지 않은 마이크로미러의 위치를 의미한다. 광 방출 방향은 광 방출 장치의 광학 축에 상응한다. 본 실시예에 따라, 광 방출 장치 및 광 편향 장치의 표면들은 휴지 위치에서 바람직하게 기판 표면에 대해 각각 평행하게 기판 상에 배치되거나, 기판 내에 통합된다. 그 결과, 광 방출 기기의 낮은 높이가 달성될 수 있다.
본원의 광 방출 기기의 한 바람직한 개선예에 따라, 제1 캡 섹션은 제1 레이저 빔을 시준(collimation)하도록 형성된다. 그 결과, 일반적으로 소정의 끼인각로 방출되는 레이저 빔은, 레이저 빔의 개별 광 빔들이 상호 평행하게 진행되는 방식으로 방향 전환된다. 그 결과, 본원의 광 방출 기기는, 추가의 렌즈 시스템이 요구되지 않는 동시에, 산란이 적은 매우 정밀한 레이저 빔들을 방출한다. 그 결과, 장착 공간이 감소할 뿐만 아니라 본원의 광원 방출 장치의 정확도도 개선된다.
본원의 광 방출 기기의 또 다른 실시예에 따라, 제1 캡 섹션이 포물면 미러(parabolic mirror)를 포함한다.
본원의 광 방출 기기의 매우 바람직한 한 실시예에 따라, 광 방출 장치로 향해 있는 제1 캡 섹션의 면이 반사 코팅층을 갖는다. 이러한 유형의 코팅층은 더욱 비용 효과적으로 제조될 수 있으며, 기판 상에 편향 미러들을 배치하는 경우보다 더 높은 정밀성을 가능케 한다.
본원의 광 방출 기기의 한 개선예에 따라, 광 방출 장치는 기판 내의 공동부 내에 배치되며, 광 편향 장치는 공동부 내에서 회동될 수 있다. 이 경우, 본원의 광 방출 기기가 매우 조밀하게 형성된다.
본원의 광 방출 기기의 바람직한 개선예에 따라, 광 방출 장치는 표면 이미터(surface emitter)로서 형성된다.
본 발명에 따른 방법의 또 다른 실시예에 따라, 광 방출 장치로 향해 있는 제1 캡 섹션의 면에 반사 코팅층이 형성된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 방출 기기의 개략적 횡단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 방출 기기를 제조하기 위한 방법을 나타낸 흐름도이다.
방법 단계들의 넘버링은 명확성을 위한 것이며, 일반적으로 정해진 시간별 순서를 의미하는 것은 아니다. 특히 복수의 방법 단계가 동시에 수행될 수도 있다. 상이한 실시예들이, 유의미하다면, 임의로 서로 조합될 수 있다.
도 1에는, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 방출 기기(1)의 개략적 횡단면도가 도시되어 있다. 광 방출 기기(1)는, 바람직하게 실리콘으로 이루어진 기판(2)을 포함하며, 이 기판 내에는 공동부(7)가 형성되어 있다. 공동부(7) 내에는, 사전 설정된 파장을 갖는 레이저 빔(S)을 광학 축(A)을 따라 방출하도록 형성된 광 방출 장치(3)가 배치된다. 바람직하게는, 광학 축(A)이 기판(2)의 표면에 대해 수직으로 위치한다. 이 경우, 레이저 빔(S)은 끼인각(α)을 가지며, 다시 말해 시간이 경과하면서 확대된다. 광 방출 기기는 바람직하게 표면 이미터(vertical cavity surface emitting laser, VCSEL)이다.
나아가, 회동식 광 편향 장치(4)는, 이 광 편향 장치(4)가 공동부(7) 내에서 회동 가능한 방식으로, 현수 부재들에 의해 기판(2) 옆에 배치된다. 광 편향 장치(4)는 바람직하게는 회동식 마이크로미러 또는 마이크로스캐너이다. 광 편향 장치는 하나의 축 또는 2개의 축을 중심으로 회동될 수 있다. 광 편향 장치(4)는 전기자기력, 정전기력, 열전기력, 또는 압전기력에 의해 편향될 수 있다. 광 편향 장치(4)의 편향을 통해, 사전 설정된 입체각 영역이 스캐닝될 수 있다.
광 방출 기기(1)는 또한, 기판(2) 상에 배치된 캡핑 장치(5)를 포함한다. 캡핑 장치(5)는 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)에 걸쳐 연장되고, 그럼으로써 기판(2)과 캡핑 장치(5) 사이에 공동부(8)가 형성되며, 이 공동부는 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)를 내포한다. 공동부(8) 내에는 바람직하게 진공이 형성된다.
캡핑 장치(5)는 반사하는 제1 캡 섹션(5a)과 투과성인 제2 캡 섹션(5b)을 갖는다. 제1 캡 섹션(5a)은 광 방출 장치(3)로 향해 있는 캡핑 장치(5)의 면에 반사 코팅층(6)을 가지며, 이 반사 코팅층은 광 방출 장치(3)로부터 방출되는 레이저 빔(S)을 광 편향 장치(4)로 방향 전환시키도록 형성된다. 이를 위해, 제1 캡 섹션(5a)은 만곡되어 형성되며, 포물면 미러 또는 시준 미러의 형태를 갖는다. 그 결과, 끼인각(α)으로 방출되는 레이저 빔(S)이 평행한 레이저 빔(S)으로 방향 전환된다.
광 편향 장치(4)는, 방향 전환된 레이저 빔(S)을 제2 캡 섹션(5b) 쪽으로 편향시키도록 형성된다. 제2 캡 섹션(5b)은 레이저 빔(S)의 파장을 적어도 부분적으로 투과시킴에 따라, 편향된 레이저 빔(S)이 제2 캡 섹션(5b)을 통과하여 방출될 수 있다.
도 2에는, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 방출 기기(1)를 제조하기 위한 방법의 흐름도가 도시되어 있다. 방법 단계 "S1"에서, 광 방출 장치(3)가 기판(2) 상에 배치된다. 이를 위해, 바람직하게 기판(2) 내에 에칭 단계에서 공동부(7)가 형성되며, 이 공동부(7) 내에 광 방출 장치(3)가 표면 이미터 또는 VCSEL의 형태로 배치된다.
계속해서 방법 단계 "S2"에서, 회동식 광 편향 장치(4)가 기판(2) 옆에 배치된다. 광 편향 장치(4)는 현수 부재들 또는 연결 부재들을 통해 기판(2)과 연결되어 기판에 고정되며, 광 편향 장치(4)는 공동부(7) 내에서 회동될 수 있다. 바람직하게는 광 편향 장치(4)가 기판(2) 내에서 에칭을 통해 노출된다.
그 다음 방법 단계 "S3"에서, 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)를 덮는 캡핑 장치(5)가 기판(2) 상에 배치된다. 캡핑 장치(5)는 바람직하게 플라스틱으로 제조되고, 바람직하게 기판(2)과 기밀 방식으로 연결된다.
캡핑 장치(5)는 반사성인 제1 캡 섹션과 투과성인 제2 캡 섹션을 가지며, 제1 캡 섹션은 광 방출 장치(3)로부터 방출되는 레이저 빔(S)을 광 편향 장치(4)로 방향 전환시키도록 형성된다. 또한, 광 편향 장치(4)는, 편향되는 레이저 빔(S)이 제2 캡 섹션(5b)을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔(S)을 편향시키도록 형성된다.
바람직하게는, 광 방출 장치(3)로 향해 있는 제1 캡 섹션(5a)의 면에 반사 코팅층(6)이 형성된다. 예컨대 은 층(silver layer)이 증착될 수 있다. 캡핑 장치(5)는 일체형으로 형성될 수 있고, 동일한 재료로 구성될 수 있다.

Claims (10)

  1. 기판(2)과;
    상기 기판(2) 상에 배치되어 레이저 빔(S)을 방출하도록 형성된 광 방출 장치(3)와;
    상기 기판(2)에 배치된 회동식 광 편향 장치(4)와;
    상기 기판(2) 상에 배치되어 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)를 덮는 캡핑 장치(5)로서, 반사성인 제1 캡 섹션(5a)과 투과성인 제2 캡 섹션(5b)을 가진 캡핑 장치(5);를 포함하는 광 방출 기기(1)로서,
    상기 제1 캡 섹션(5a)은 광 방출 기기(1) 내에 레이저 빔(S)의 방향 전환을 위한 추가의 방향 전환 미러의 존재 없이 광 방출 장치(3)로부터 방출되는 레이저 빔(S)을 광 편향 장치(4)로 방향 전환시키도록 형성되며, 상기 광 편향 장치(4)는 또한, 편향되는 레이저 빔(S)이 제2 캡 섹션(5b)을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔(S)을 편향시키도록 형성되는, 광 방출 기기(1).
  2. 제1항에 있어서, 상기 캡은 기밀 방식으로 폐쇄된 공동부(8)를 내포하는, 광 방출 기기(1).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광 편향 장치(4)는 회동식 마이크로미러를 포함하며, 상기 회동식 마이크로미러의 표면은 휴지 위치에서 광 방출 장치(3)의 광 방출 방향에 대해 수직으로 위치하는, 광 방출 기기(1).
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 캡 섹션(5a)은 방출된 레이저 빔(S)을 시준하도록 형성되는, 광 방출 기기(1).
  5. 제4항에 있어서, 제1 캡 섹션(5a)은 포물면 미러를 포함하는, 광 방출 기기(1).
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광 방출 장치(3)로 향해 있는 제1 캡 섹션(5a)의 면은 반사 코팅층(6)을 갖는, 광 방출 기기(1).
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광 방출 장치(3)는 기판(2) 내의 공동부(7) 내에 배치되며, 광 편향 장치(4)는 상기 공동부(7) 내에서 회동될 수 있는, 광 방출 기기(1).
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광 방출 장치(3)는 표면 이미터로서 형성되는, 광 방출 기기(1).
  9. 광 방출 기기(1)를 제조하기 위한 방법으로서,
    기판(2) 상에 광 방출 장치(3)를 배치하는 단계(S1);
    기판(2) 옆에 회동식 광 편향 장치(4)를 배치하는 단계(S2);
    기판(2) 상에, 광 방출 장치(3) 및 광 편향 장치(4)를 덮는 캡핑 장치(5)를 배치하는 단계(S3)로서, 상기 캡핑 장치(5)는 반사성인 제1 캡 섹션과 투과성인 제2 캡 섹션(5b)을 가지고, 상기 제1 캡 섹션(5a)은 광 방출 기기(1) 내에 레이저 빔(S)의 방향 전환을 위한 추가의 방향 전환 미러의 존재 없이 광 방출 장치(3)로부터 방출되는 레이저 빔(S)을 광 편향 장치(4)로 방향 전환시키도록 형성되며, 상기 광 편향 장치(4)는 또한, 편향되는 레이저 빔(S)이 제2 캡 섹션(5b)을 통과하여 방출될 수 있는 방식으로, 상기 방향 전환된 레이저 빔(S)을 편향시키도록 형성되는, 단계;를 포함하는, 광 방출 기기의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 광 방출 장치(3)로 향해 있는 제1 캡 섹션(5a)의 면에 반사 코팅층(6)이 형성되는, 광 방출 기기의 제조 방법.
KR1020197004379A 2016-07-15 2017-07-05 광 방출 기기, 그리고 광 방출 기기의 제조 방법 KR102408659B1 (ko)

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019118686A1 (de) * 2019-07-10 2021-01-14 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Optische Sendeeinheit für eine optische Detektionsvorrichtung, optische Detektionsvorrichtung sowie Kraftfahrzeug

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030231664A1 (en) 2002-05-28 2003-12-18 The Regents Of The University Of California Wavelength selectable light source
KR100601708B1 (ko) * 2004-11-17 2006-07-18 삼성전자주식회사 반사형 콜리메이터를 구비한 조명장치 및 이를 채용한화상투사장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6059188A (en) * 1993-10-25 2000-05-09 Symbol Technologies Packaged mirror including mirror travel stops
US6002507A (en) * 1998-12-01 1999-12-14 Xerox Corpoation Method and apparatus for an integrated laser beam scanner
US6014240A (en) * 1998-12-01 2000-01-11 Xerox Corporation Method and apparatus for an integrated laser beam scanner using a carrier substrate
US6532093B2 (en) 2000-12-06 2003-03-11 Xerox Corporation Integrated micro-opto-electro-mechanical laser scanner
KR101109584B1 (ko) 2004-11-27 2012-01-31 삼성전자주식회사 조명유니트 및 이를 채용한 화상투사장치
US8444664B2 (en) 2011-05-16 2013-05-21 Covidien Lp Medical ultrasound instrument with articulated jaws

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030231664A1 (en) 2002-05-28 2003-12-18 The Regents Of The University Of California Wavelength selectable light source
KR100601708B1 (ko) * 2004-11-17 2006-07-18 삼성전자주식회사 반사형 콜리메이터를 구비한 조명장치 및 이를 채용한화상투사장치

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