KR102406632B1 - 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법 - Google Patents

포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법 Download PDF

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Abstract

포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 회수 탱크에서 유입된 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 재생 필터, 상기 재생 필터에서 배출된 필터링 현상폐액이 저장되는 믹싱 탱크, 상기 믹싱 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액의 농도를 측정하는 농도 측정 장치, 상기 믹싱 탱크에서 유입된 필터링 현상폐액을 저장하는 공급 탱크, 상기 공급 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액에서 이물질을 필터링하여 배출하는 케미칼 필터 및 상기 재생 필터 각각으로 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크 또는 믹싱 탱크에 저장되도록 제어하고, 상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량, 압력 및 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하거나 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 상기 공급 탱크에 유입되도록 제어하고, 상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 상기 필터링 현상폐액에서 이물질이 제거되었는지 여부에 따라 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 상기 공급 탱크에 저장된 필터링 현상폐액이 공급되도록 제어하는 제어 장치를 포함한다.

Description

포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법{SYSTEM FOR REMOVING PHOTORESIST AND RECYCLING FILTER AND MIXING AND METHOD PERFORMING THEREOF}
본 발명은 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법에 관한 것이다.
오늘날과 같은 정보화 사회에 있어서 전자 디스플레이 장치(electronic display device)의 역할은 갈수록 중요해지며, 각종 전자 디스플레이 장치가 다양한 산업 분야에 광범위하게 사용되고 있다. 이러한 전자 디스플레이 분야는 발전을 거듭하여 다양화하는 정보화 사회의 요구에 적합한 새로운 기능의 전자 디스플레이 장치로 지속적으로 개발되고 있다.
일반적으로 전자 디스플레이 장치란 다양한 정보를 시각을 통하여 인간에게 전달하는 장치를 말한다. 즉, 각종 전자 기기로부터 출력되는 전기적 정보 신호를 인간의 시각으로 인식 가능한 광 정보 신호로 변환하는 전자 장치라고 정의 될 수 있으며, 인간과 전자기기를 연결하는 가교적인 역할을 담당하는 장치로 정의될 수도 있다.
이러한 전자 디스플레이 장치는 광 정보 신호가 발광 현상에 의해 표시되는 경우에는 발광형 표시(emissive display) 장치로 불려지며, 반사, 산란, 간섭 현상 등에 의하여 광 변조로 표시되는 경우에는 수광형 표시(non-emissive displ ay) 장치로 일컬어진다.
능동형 표시 장치라고도 불리는 상기 발광형 표시 장치로는 음극선관(cathode ray tube; CR T), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel; PDP), 발광 다이오드(light emitting diode; LED) 및 일렉트로 루미네슨트 디스플레이(electroluminescent display; ELD) 등을 들 수 있다. 또한, 수동형 표시 장치인 상기 수광형 표시 장치에는 액정표시장치(liquid crystal display; LCD) (electrochemical display; ECD) 및 전기 영동 표시 장치 (electrophoretic image display; EPID) 등이 해당된다.
텔레비전이나 컴퓨터용 모니터 등과 같은 화상 표시 장치에 사용되는 가장 오랜 역사를 갖는 디스플레이 장치인 음극 선관(CRT)은 표시 품질 및 경제성 등의 면에서 가장 높은 점유율을 차지하고 있으나, 무거운 중량, 큰 용적 및 높은 소비 전력 등과 같은 많은 단점을 가지고 있다.
그러나, 반도체 기술의 급속한 진보에 의하여 각종 전자 장치의 고체화, 저 전압 및 저 전력화와 함께 전자 기기의 소형화 및 경량화에 따라 새로운 환경에 적합한 전자 디스플레이 장치가 필요하게 되었다. 즉 얇고 가벼우면서도 낮은 구동 전압 및 낮은 소비 전력의 특징을 갖춘 평판 패널(flat panel)형 디스플레이 장치에 대한 요구가 급격히 증대하고 있는 것이다.
현재 개발된 여러 가지 평판 디스플레이 장치 가운데 액정표시장치는 다른 디스플레이 장치에 비하여 얇고 가벼우며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖추고 있는 동시에 음극선관에 가까운 화상 표시가 가능하기 때문에 다양한 전 자 장치에 광범위하게 사용되고 있다. 또한, 액정표시장치는 제조가 용이하기 때문에 더욱 그 적용 범위를 확장해가고 있다.
이러한 액정표시장치의 제조에 있어서는 글래스의 대형화, 패널의 고정세화 추세에 따라 글래스 조건과 부합된 관련 공정의 조건에 적합한 포토레지스트 조성물이 적용되고 있다.
특히, 미세 회로의 제조 공정 중에서 포토리소그래피(photolithography) 공정은 라인 생산량을 결정하는 중요한 공정으로서, 포토레지스트막의 감도 특성, 현상 콘트라스트, 해상도, 기판과의 접착력, 잔막 특성 등이 후속되는 식각 공정에 의해 제조되는 미세 회로의 품질이 직접적인 영향을 미치게 된다.
따라서, 현상폐액에 포함된 포토레지스트(photoresist)를 여과시켜 현상폐액을 재생시키는 시스템이 요구된다.
본 발명은 재생 필터 각각으로 유입되는 필터링 현상폐액에서 포토레지스트가 제거되었을 때에만 믹싱 탱크에 저장되도록 하고 포토레지스트가 제거되지 않았을 경우에는 회수 탱크에 유입되어 다시 재생 필터를 통해 포토레지스트가 필터링되도록 하는 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 정보에 따라 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도가 보정 및 관리되도록 하는 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액은 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 공급 탱크로 이송되고 공급 탱크에 저장된 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)을 상시 제거하여 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 공급 탱크의 필터링 현상폐액이 공급되도록 하는 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템과 이를 실행하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합시스템은 회수 탱크에서 유입된 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 재생 필터, 상기 재생 필터에서 배출된 필터링 현상폐액이 저장되는 믹싱 탱크, 상기 믹싱 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액의 농도를 측정하는 농도 측정 장치, 상기 믹싱 탱크에서 유입된 필터링 현상폐액을 저장하는 공급 탱크, 상기 공급 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액에서 이물질을 필터링하여 배출하는 케미칼 필터 및 상기 재생 필터 각각으로 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크 또는 믹싱 탱크에 저장되도록 제어하고, 상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량, 압력 및 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하거나 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 상기 공급 탱크에 유입되도록 제어하고, 상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 상기 필터링 현상폐액에서 이물질이 제거되었는지 여부에 따라 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 상기 공급 탱크에 저장된 필터링 현상폐액이 공급되도록 제어하는 제어 장치를 포함한다.
또한, 이러한 목적을 달성하기 위한 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템에서 실행되는 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법은 회수 탱크에 저장된 현상폐액이 상기 재생 필터에 유입되면, 상기 재생 필터가 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 단계, 상기 재생 필터에 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 확인하는 단계, 상기 확인 결과에 따라 상기 필터링 현상폐액을 회수 탱크에 저장하거나 믹싱 탱크에 저장하는 단계, 상기 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치에 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하거나 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 상기 공급 탱크에 유입되도록 제어하는 단계 및 상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 상기 필터링 현상폐액에서 이물질이 제거되었는지 여부에 따라 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 공급하는 단계를 포함한다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 재생 필터 각각으로 유입되는 현상폐액에서 포토레지스트가 제거되었을 때에만 믹싱 탱크에 저장되도록 하고 포토레지스트가 제거되지 않았을 경우에는 회수 탱크에 유입되어 다시 재생 필터를 통해 포토레지스트가 필터링되도록 한다는 장점이 있다.
또한 본 발명에 의하면, 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 정보에 따라 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도가 보정 및 관리되도록 한다는 장점이 있다.
또한 본 발명에 의하면, 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액은 농도 측정장치로부터 농도 검증이 완료된 경우에만 공급 탱크로 이송되고 공급 탱크에 저장된 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)을 상시 제거하여 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 공급 탱크의 필터링 현상폐액이 공급되도록 한다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 본 발명에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법의 다른 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조 부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “회수 탱크”는 현상프로세스에 공급되는 현상액의 폐액을 집수하는 저장 용기이다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “믹싱 탱크”는 포토레지스트가 제거된 필터링 현상폐액을 집수하고 농도를 지속적으로 보정하고 관리하여 검증하는 저장 용기이다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “공급 탱크”는 포토레지스트가 제거된 필터링 현상폐액 중 농도 검증이 완료된 필터링 현상폐액을 믹싱 탱크로부터 집수하는 저장 용기이다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “흡광도계”는 흡수되는 빛의 양은 그 물질의 농도에 따라 다른 원리인, 즉 빛이 액체를 투과할 때 흡수되는 빛의 세기를 측정하는 장치이다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “재생 필터”는 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 두 개 이상의 재생 필터를 의미한다. 본 명세서에서 사용된 용어 중 “농도 측정 장치”는 도전율과 초음파 속도로 필터링 현상폐액의 농도 값을 측정하며, 농도 값은 필터링 현상폐액의 농도를 조절하는데 사용된다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “케미칼 필터”는 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)을 필터링하여 배출하는 필터를 의미한다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “필터링 현상폐액”은 현상폐액에서 포토레지스트가 필터링 된 후 배출되는 현상폐액을 의미한다.
본 명세서에서 사용된 용어 중 “포토레지스트”는 현상액의 알칼리 농도를 낮추는 요소이며, 가교제 성분으로 인하여 필터를 막히게 한다. 본 발명에서는 현상폐액 내에서 이를 제거한 재생액의 농도를 관리하여 공급함으로써, 현상액의 사용량을 줄여 비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 회수 탱크(110), 재생 필터(120), 재생 필터 유입 압력 측정계(121), 재생 필터 배출 압력 측정계(122), 재생 필터 흡광도계(123), 믹싱 탱크(130), 농도 측정 장치(140), 농도 측정 장치 유량 측정계(141), 농도 측정 장치 압력 측정계(142), 공급 탱크(150), 케미칼 필터(160), 케미칼 필터 유입 압력 측정계(161), 케미칼 필터 배출 압력 측정계(162) 및 제어 장치(170)를 포함한다.
회수 탱크(110)에 집수된 현상폐액은 펌프를 통해 재생 필터(120)에 유입된다.
상기의 재생 필터(120)는 제어 장치(170)의 제어에 따라 동작하여 회수 탱크에서 유입된 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하고, 배출된 필터링 현상폐액의 탁도에 따라 믹싱 탱크(130) 또는 회수 탱크(110)에 저장된다. 상기와 같이, 재생 필터(120)에서 필터링 현상폐액이 배출되면 재생 필터 흡광도계(123)가 필터링 현상폐액의 탁도를 측정한다.
이때, 재생 필터 흡광도계(123)가 필터링 현상폐액의 탁도를 측정하는 이유는 재생 필터(120)가 정상적으로 동작하는지 여부를 확인하기 위해서이다.
만일, 재생 필터 흡광도계(123)에 의해 측정된 필터링 현상폐액의 탁도가 설정한 기준 탁도 범위인 경우 재생 필터(120)는 정상적으로 동작하는 것이며, 재생 필터 흡광도계(123)에 의해 측정된 필터링 현상폐액의 탁도가 설정한 기준 탁도 범위가 아닌 경우 재생 필터(120)는 정상적으로 동작하지 않는 것이다.
재생 필터 유입 압력 측정계(121)는 재생 필터(120)의 입구측에 설치되며, 현상폐액의 유입 압력을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
재생 필터 배출 압력 측정계(122)는 재생 필터(120)의 출구측에 설치되며, 재생 필터(120)에서 배출되는 필터링 현상폐액의 배출 압력을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
재생 필터 흡광도계(123)는 재생 필터(120)의 출구측에 설치되며, 재생 필터(120)에서 배출되는 필터링 현상폐액의 탁도를 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
상기의 재생 필터 유입 압력 측정계(121)에 의해 측정된 현상폐액의 유입 압력 및 재생 필터 배출 압력 측정계(122)에 의해 측정된 현상폐액의 배출 압력 사이의 압력 차이와 재생 필터 흡광도계(123)에 의해 측정된 탁도는 필터링 현상폐액에서 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하는데 사용된다.
즉, 재생 필터 유입 압력 측정계(121)에 의해 측정된 유입 압력 및 재생 필터 배출 압력 측정계(122)에 의해 측정된 배출 압력 사이의 압력 차이가 특정 압력 이하이고, 재생 필터 흡광도계(123)에 의해 측정된 탁도가 설정한 기준 탁도 범위인 경우 재생 필터(120)가 정상적으로 동작하기 때문에 필터링 현상폐액에서 포토레지스트가 제거된 것이다.
믹싱 탱크(130)에는 재생 필터(120)에서 배출된 필터링 현상폐액이 집수되며, 믹싱 탱크(130)에 집수된 필터링 현상폐액의 농도는 제어 장치(170)에 의해 보정 및 관리된다.
즉, 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위보다 낮으면 제어 장치(170)에 의해 TMAH원액이 공급되어 필터링 현상폐액의 농도가 보정되어 관리되고, 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위보다 높으면 제어 장치(170)에 의해 초순수(DIW)가 공급되어 필터링 현상폐액의 농도가 보정되어 관리된다.
또한, 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액은 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 공급 탱크(150)로 유입된다. 공급 탱크(150)에 저장된 필터링 현상폐액의 이물질(Particle)은 케미칼 필터(160)를 통해 상시 제거되며, 제어 장치(170)의 제어에 따라 현상기에 필터링 현상폐액을 공급한다.
농도 측정 장치 유량 측정계(141)는 농도 측정 장치(140)의 입구측에 설치되며 농도 측정 장치(140)에 유입되는 필터링 현상폐액의 유입 유량을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
농도 측정 장치 압력 측정계(142)는 농도 측정 장치(140)의 입구측에 설치되어 농도 측정 장치(140)에 유입되는 필터링 현상폐액의 유입 압력을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
공급 탱크(150)에는 제어 장치(170)의 제어에 따라 믹싱탱크(130)에서 배출되는 필터링 현생폐액이 집수된다. 이때, 믹생 탱크(130)에 저장된 필터링 현생폐액의 농도는 제어 장치(170)에 의해 보정 및 관리되며, 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 공급 탱크(150)로 유입되도록 제어한다.
이러한 공급 탱크(150)에 저장된 필터링 현상폐액의 이물질(Particle)은 케미칼 필터(160)를 통해 상시 제거되며, 제어 장치(170)의 제어에 따라 현상기에 필터링 현상폐액을 공급한다.
케미칼 필터(160)는 공급 탱크(150)에서 유입된 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)을 필터링하여 배출한다.
케미칼 필터 유입 압력 측정계(161)는 케미칼 필터(160)의 입구측에 설치되어 케미칼 필터(160)에 유입되는 필터링 현상폐액의 유입 압력을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
케미칼 필터 배출 압력 측정계(162)는 케미칼 필터(160)의 출구측에 설치되어 케미칼 필터(160)에서 배출되는 필터링 현상폐액의 배출 압력을 측정하여 제어 장치(170)에 제공한다.
상기의 케미칼 필터 유입 압력 측정계(161)에 의해 측정된 유입 압력 및 케미칼 필터 배출 압력 측정계(162)에 의해 측정된 유출 압력 사이의 압력 차이는 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)이 제거되었는지 여부를 판단하는데 사용된다.
제어 장치(170)는 재생 필터(120) 각각으로 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크(110) 또는 믹싱탱크(130)에 저장되도록 제어한다.
즉, 제어 장치(170)는 재생 필터 유입 압력 측정계(121)로부터 수신된 현상폐액의 유입 압력 및 상기 재생 필터 배출 압력 측정계(122)로부터 수신된 현상폐액의 배출 압력 사이의 압력 차이 및 상기 재생 필터 흡광도계(123)에서 수신된 탁도에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단한다.
일 실시예에서, 제어 장치(170)는 압력 차이가 특정 압력 이하이고 탁도가 설정 값 범위에 해당하면 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었다고 판단한다.
다른 일 실시예에서, 제어 장치(170)는 압력 차이가 특정 압력 이상이고 탁도가 설정 값 범위에 해당하지 않으면 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되지 않았다고 판단한다.
이때, 제어 장치(170)는 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었으면 필터링 현상폐액를 믹싱 탱크(130)에 유입되도록 제어하고, 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되지 않았으면 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크(110)에 유입되도록 제어한다.
그 후, 제어 장치(170)는 상기 믹싱 탱크(130)에서 상기 농도 측정 장치(140)로 유입되는 필터링 현상폐액의 정보에 따라 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하여 관리한다.
이를 위해, 제어 장치(170)는 믹싱 탱크(130)에서 상기 농도 측정 장치(140)로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력 각각이 설정한 조건에 해당하고 상기 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부를 판단한다.
그 후, 제어 장치(170)는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력 각각이 설정한 조건에 해당하고 상기 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부에 따라 상기 믹싱 탱크(130)에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하여 관리되도록 제어한다.
일 실시예에서, 제어 장치(170)는 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 낮으면 상기 믹싱 탱크(130)에 TMAH원액을 공급하여 필터링 현상폐액의 농도를 보정하여 관리되도록 제어한다.
다른 일 실시예에서, 제어 장치(170)는 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 높으면 상기 믹싱 탱크(130)에 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하여 관리되도록 제어한다.
상기의 실시예에서, 제어 장치(170)는 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위에 해당할 경우에만, 믹싱 탱크(130)에 저장된 필터링 현상폐액이 공급 탱크(150)에 유입되도록 제어한다.
또한, 제어 장치(170)는 케미칼 필터(160)에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 케미칼 필터(160)에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 현상폐액에서 상기 이물질이 제거되었는지 여부를 확인한다.
이를 위해, 제어 장치(170)는 상기 케미칼 필터 배출 압력 측정계(162)로부터 수신된 필터링 현상폐액의 배출 압력을 수신한다.
그런 다음, 제어 장치(170)는 유입 압력 및 배출 압력 사이의 압력 차이에 따라 필터링 현상폐액에서 상기 이물질이 제거되었다고 판단한다.
상기와 같은 과정을 거친 후, 제어 장치(170)는 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 상기 공급 탱크(150)에 저장된 필터링 현상폐액이 공급되도록 제어한다.
도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 재생 필터가 작동 대기 상태에서(단계 S200), 믹싱 탱크의 수위가 설정한 조건에 해당하는지 여부를 판단한다. (단계 S205)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 믹싱 탱크의 수위가 설정한 조건에 해당하지 않으면 재생 필터가 작동 대기 상태를 유지하도록 하며, 믹싱 탱크의 수위가 설정한 조건에 해당하면 회수 탱크에 저장된 현상폐액이 상기 재생 필터에 유입되도록 한다. (단계 S210)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 회수 탱크에 저장된 현상폐액이 상기 재생 필터에 유입되면, 재생 필터를 통해 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출한다. (단계 S215)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 재생 필터에 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 확인한다. (단계 S220)
단계 S220에 대한 일 실시예에서, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 재생 필터의 입구측에 설치된 재생 필터 유입 압력 측정계로부터 수신된 유입 압력 및 재생 필터의 출구측에 설치된 재생 필터 배출 압력 측정계로부터 수신된 배출 압력 사이의 압력 차이와 재생 필터 흡광도계로부터 수신된 탁도에 따라 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었다고 판단한다.
즉, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 압력 차이가 특정 압력 값 이하이고 재생 필터 흡광도계에 의해 측정된 탁도가 설정한 기준 탁도 범위에 해당하면, 필터링 현상폐액에서 포토레지스트가 제거되었다고 판단한다.
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 포토레지스트가 제거되었는지 여부에 따라 필터링 현상폐액을 믹싱 탱크에 저장하거나 회수 탱크에 저장한다. (단계 S225)
단계 S225에 대한 일 실시예에서, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 재생 필터로부터 유입된 필터링 현상폐액의 탁도 값이 설정한 기준 탁도 범위에 해당하면 재생 필터가 정상적으로 동작한다고 판단하며 필터링 현상폐액을 믹싱 탱크에 유입되도록 한다.
단계 S225에 대한 다른 일 실시예에서, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 재생 필터로부터 유입된 필터링 현상폐액의 탁도 값이 설정한 기준 탁도 범위에 해당하지 않으면 재생 필터가 정상적으로 동작하지 않는다고 판단하며 필터링 현상폐액을 다시 회수 탱크에 유입되도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법의 다른 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도면 3을 참조하면, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값을 측정한다. (단계 S310)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 필터링 현상폐액의 유량 및 압력이 설정한 조건에 해당하는지 여부를 판단한다. (단계 S320)
만일, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 필터링 현상폐액의 유량 및 압력이 설정한 조건에 해당하지 않으면 다시 단계 S310으로 돌아가 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값을 측정한다.
한편, 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 필터링 현상폐액의 유량 및 압력이 설정한 조건에 해당하면, 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부를 판단한다. (단계 S330)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하면 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액이 공급 탱크에 유입되도록 하고(단계 S340), 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하지 않으면 믹싱 탱크에 TMAH원액(또는 초순수)를 공급하여 농도를 보정한다. (단계 S350)
포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템은 공급 탱크에는 믹싱 탱크로부터 농도 검증이 완료된 필터링 현상폐액이 저장되고 케미칼 필터를 통해 필터링 현상폐액에서 이물질(Particle)을 제거하여(단계 S360) 현상기로부터 공급 요청을 받게 되면 공급한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 현상기
110: 회수 탱크
120: 재생 필터
121: 재생 필터 유입 압력 측정계
122: 재생 필터 배출 압력 측정계
123: 재생 필터 흡광도계
130: 믹싱 탱크
140: 농도 측정 장치
141: 농도 측정 장치 유량 측정계
142: 농도 측정 장치 압력 측정계
150: 공급 탱크
160: 케미칼 필터
161: 케미칼 필터 유입 압력 측정계
162: 케미칼 필터 배출 압력 측정계
170: 제어 장치
V1, V2, V3, V4: 현상폐액 유량 제어 밸브

Claims (13)

  1. 회수 탱크에서 유입된 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 재생 필터;
    상기 재생 필터에서 배출된 필터링 현상폐액이 저장되는 믹싱 탱크;
    상기 믹싱 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액의 농도를 측정하는 농도 측정 장치;
    상기 믹싱 탱크에서 유입된 필터링 현상폐액을 저장하는 공급 탱크;
    상기 공급 탱크에서 유입된 상기 필터링 현상폐액에서 이물질을 필터링하여 배출하는 케미칼 필터;
    상기 재생 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 탁도를 측정하는 재생 필터 흡광도계;
    상기 재생 필터의 입구측에 설치되어 재생 필터에 유입되는 상기 현상폐액의 유입 압력을 측정하여 전송하는 재생 필터 유입 압력 측정계;
    상기 재생 필터의 출구측에 설치되어 재생 필터에서 배출되는 상기 현상폐액의 배출 압력을 측정하여 전송하는 재생 필터 배출 압력 측정계; 및
    상기 재생 필터 각각으로 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크 또는 믹싱 탱크에 저장되도록 제어하고, 상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량, 압력 및 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하거나 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 상기 공급 탱크에 유입되도록 제어하고, 상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 상기 필터링 현상폐액에서 이물질이 제거되었는지 여부에 따라 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 상기 공급 탱크에 저장된 필터링 현상폐액이 공급되도록 제어하는 제어 장치를 포함하고,
    상기 제어 장치는
    상기 재생 필터 유입 압력 측정계로부터 수신된 현상폐액의 유입 압력 및 상기 재생 필터 배출 압력 측정계로부터 수신된 현상폐액의 배출 압력 사이의 압력 차이 및 상기 재생 필터 흡광도계에서 수신된 탁도에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하고, 상기 판단 결과 상기 포토레지스트가 제거되었으면 상기 필터링 현상폐액를 믹싱 탱크에 유입되도록 제어하고, 상기 판단 결과 상기 포토레지스트가 제거되지 않았으면 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크에 유입되도록 제어하고,
    상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력 각각이 설정한 조건에 해당되고 상기 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부를 판단하고, 상기 판단 결과에 따라 상기 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 농도 측정 장치의 입구측에 설치되어 농도 측정 장치에 유입되는 상기 필터링 현상폐액의 유량을 측정하여 전송하는 농도 측정 장치 유입 유량 측정계;
    상기 농도 측정 장치의 입구측에 설치되어 농도 측정 장치에 유입되는 상기 필터링 현상폐액의 압력을 측정하여 전송하는 농도 측정 장치 유입 압력 측정계;
    상기 케미칼 필터의 입구측에 설치되어 케미칼 필터에 유입되는 상기 필터링 현상폐액의 압력을 측정하여 전송하는 케미칼 필터 유입 압력 측정계; 및
    상기 케미칼 필터의 출구측에 설치되어 케미칼 필터에서 배출되는 상기 필터링 현상폐액의 배출 압력을 측정하여 전송하는 케미칼 배출 압력 측정계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어 장치는
    상기 재생 필터 유입 압력 측정계로부터 수신된 현상폐액의 유입 압력 및 상기 재생 필터 배출 압력 측정계로부터 수신된 현상폐액의 배출 압력 사이의 압력 차이 및 상기 재생 필터 흡광도계에서 수신된 탁도에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 판단하고, 상기 판단 결과 상기 포토레지스트가 제거되었으면 상기 필터링 현상폐액를 믹싱 탱크에 유입되도록 제어하고, 상기 판단 결과 상기 포토레지스트가 제거되지 않았으면 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크에 유입되도록 제어하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제어 장치는
    상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력 각각이 설정한 조건에 해당되고 상기 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부를 판단하고, 상기 판단 결과에 따라 상기 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어 장치는
    상기 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 낮으면 상기 믹싱 탱크에 TMAH원액을 공급하고, 상기 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 높으면 상기 믹싱 탱크에 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제어 장치는
    상기 케미칼 필터 유입 압력 측정계로부터 수신된 필터링 현상폐액의 유입 압력 및 상기 케미칼 필터 배출 압력 측정계로부터 수신된 필터링 현상폐액의 배출 압력 사이의 압력 차이를 산출하고, 상기 압력 차이에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 이물질이 제거되었다고 판단하고 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 제어 밸브가 자동으로 유량을 조절하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 시스템.
  7. 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 시스템에서 실행되는 포토레지스트 제거 및 재생, 혼합 방법에 있어서,
    회수 탱크에 저장된 현상폐액이 재생 필터에 유입되면, 상기 재생 필터가 현상폐액에서 포토레지스트를 필터링하여 필터링 현상폐액을 배출하는 단계;
    상기 재생 필터에 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 확인하는 단계;
    상기 확인 결과에 따라 상기 필터링 현상폐액을 회수 탱크에 저장하거나 믹싱 탱크에 저장하는 단계;
    상기 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치에 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하거나 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 공급 탱크에 유입되도록 제어하는 단계; 및
    케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 정보를 이용하여 상기 필터링 현상폐액에서 이물질이 제거되었는지 여부에 따라 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 공급하는 단계를 포함하고,
    상기 재생 필터에 유입되는 현상폐액의 정보 및 배출되는 현상폐액의 정보를 기초로 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었는지 여부를 확인하는 단계는
    상기 재생 필터에 유입되는 현상폐액의 유입 압력 및 상기 재생 필터에서 배출되는 현상폐액의 배출 압력을 수신하는 단계;
    상기 유입 압력 및 배출 압력 사이의 압력 차이를 산출하는 단계;
    상기 재생 필터 흡광도계로부터 탁도를 수신하고 산출하는 단계; 및
    상기 압력 차이와 탁도에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거되었다고 판단하는 단계를 포함하고,
    상기 확인 결과에 따라 상기 필터링 현상폐액을 믹싱 탱크에 저장하거나 회수 탱크에 저장하는 단계는
    상기 확인 결과 상기 포토레지스트가 제거되었으면 상기 필터링 현상폐액이 믹싱 탱크에 유입되도록 제어하는 단계; 및
    상기 확인 결과 상기 포토레지스트가 제거되지 않았으면 상기 필터링 현상폐액이 회수 탱크에 유입되도록 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 믹싱 탱크에서 농도 측정 장치에 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 상기 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 단계는
    상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력, 농도 값을 수신하는 단계;
    상기 믹싱 탱크에서 상기 농도 측정 장치로 유입되는 필터링 현상폐액의 유량 및 압력 각각이 설정한 조건에 해당하고 상기 필터링 현상폐액의 농도 값이 설정한 농도 관리 범위에 해당하는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 판단 결과에 따라 상기 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서,
    상기 판단 결과에 따라 상기 믹싱 탱크에 TMAH원액 또는 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 단계는
    상기 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 낮으면 상기 공급 탱크에 TMAH원액을 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 단계; 및
    상기 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위보다 높으면 상기 믹싱 탱크에 초순수(DIW)를 공급하여 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도를 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 방법.
  12. 제7항에 있어서,
    농도 값에 따라 상기 믹싱 탱크에 저장된 필터링 현상폐액의 농도 보정 여부를 판단하여 농도 측정 장치로 농도 검증이 완료된 경우에만 상기 공급 탱크에 유입되도록 제어하는 단계는
    상기 필터링 현상폐액의 농도가 설정한 농도 관리 범위에서 보정 및 검증이 완료된 경우 공급 탱크의 수위를 측정하고 제어 밸브가 자동으로 설정한 값만큼 상기 필터링 현상폐액을 공급 탱크로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 방법.
  13. 제 7항에 있어서,
    상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 정보 및 배출되는 필터링현상폐액의 정보를 기초로 공급 탱크에 저장된 상기 필터링 현상폐액에서 상기 이물질이 제거되었는지 여부를 확인하는 단계는
    상기 케미칼 필터에 유입되는 필터링 현상폐액의 유입 압력 및 상기 케미칼 필터에서 배출되는 필터링 현상폐액의 배출 압력을 수신하는 단계;
    상기 유입 압력 및 배출 압력 사이의 압력 차이를 산출하는 단계;
    상기 압력 차이에 따라 상기 필터링 현상폐액에서 상기 이물질이 제거되었다고 판단하고 현상기로부터 공급 요청을 받을 경우 제어 밸브가 자동으로 유량을 조절할 수 있는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    포토레지스트 제거, 재생 및 혼합 방법.
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