KR102406036B1 - Zig for measuring contact force of pusher - Google Patents

Zig for measuring contact force of pusher Download PDF

Info

Publication number
KR102406036B1
KR102406036B1 KR1020200057743A KR20200057743A KR102406036B1 KR 102406036 B1 KR102406036 B1 KR 102406036B1 KR 1020200057743 A KR1020200057743 A KR 1020200057743A KR 20200057743 A KR20200057743 A KR 20200057743A KR 102406036 B1 KR102406036 B1 KR 102406036B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
contact force
pusher
circuit board
contact
sensing unit
Prior art date
Application number
KR1020200057743A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210141863A (en
Inventor
문성주
Original Assignee
주식회사 티에프이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 티에프이 filed Critical 주식회사 티에프이
Priority to KR1020200057743A priority Critical patent/KR102406036B1/en
Publication of KR20210141863A publication Critical patent/KR20210141863A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102406036B1 publication Critical patent/KR102406036B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2896Testing of IC packages; Test features related to IC packages

Abstract

본 발명은, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상에 배치되는 회로기판; 관통홀을 구비하고, 상기 회로기판 상에 배치되는 마운팅 플레이트; 상기 마운팅 플레이트에 안착되고, 상기 관통홀을 지나는 전선에 의해 상기 회로기판에 전기적으로 연결되는 접촉력감지 유닛; 상기 회로기판에 접속되고, 컨택 푸셔가 상기 접촉력감지 유닛을 가압하는 중에 상기 접촉력감지 유닛이 획득한 접촉력 데이터를 저장하는 메모리; 상기 메모리에 저장된 상기 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 통신 모듈; 및 상기 회로기판, 상기 접촉력감지 유닛, 및 상기 메모리에 전력을 공급하기 위한 배터리를 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그를 제공한다.The present invention, the base frame; a circuit board disposed on the base frame; a mounting plate having a through hole and disposed on the circuit board; a contact force sensing unit seated on the mounting plate and electrically connected to the circuit board by a wire passing through the through hole; a memory connected to the circuit board and storing contact force data obtained by the contact force sensing unit while the contact pusher presses the contact force sensing unit; a communication module for transmitting the contact force data stored in the memory to the outside; and a battery for supplying power to the circuit board, the contact force sensing unit, and the memory. It provides a jig for measuring the contact force of the pusher.

Description

푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그{ZIG FOR MEASURING CONTACT FORCE OF PUSHER}A jig for measuring the contact force of a pusher

본 발명은 반도체 패키지 테스트 장비에 사용되는 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for measuring the contact force of a pusher used in semiconductor package test equipment.

일반적으로, 반도체 제조 공정에 의해 완성된 반도체 패키지는 테스트(검사) 공정을 통해 동작 특성들이 제대로 구현되는지에 대해 체크된 후 양품으로 분류된 경우에 출하된다. In general, a semiconductor package completed by a semiconductor manufacturing process is checked as to whether operation characteristics are properly implemented through a test (inspection) process, and then shipped when classified as a good product.

이러한 검사 공정에서, 테스트는 푸셔를 이용해 반도체 패키지를 소켓에 접속시켜, 전기적인 작동에 문제가 없는지에 대한 검사가 이루어지기도 한다. 이러한 검사는 반도체 패키지를 가열하거나 냉각하여 그에 온도 스트레스를 주는 환경에서 수행될 수도 있다. In this inspection process, the test is performed by connecting the semiconductor package to the socket using a pusher and checking whether there is a problem in electrical operation. Such an inspection may be performed in an environment in which a semiconductor package is heated or cooled and temperature stress is applied thereto.

여기서, 푸셔가 반도체 패키지를 소켓에 대해 접촉시키는 접촉력은 설정 값과 동일해야 한다. 이와 달리, 상기 접촉력이 과하면 소켓이나 반도체 패키지가 손상될 수 있다. 반대로, 상기 접촉력이 부족하면, 반도체 패키지가 소켓가 제대로 접속되지 못하여, 정상적인 반도체 패키지도 불량품으로 판정될 수 있는 문제가 있다.Here, the contact force by which the pusher brings the semiconductor package into contact with the socket must be equal to the set value. On the other hand, if the contact force is excessive, the socket or the semiconductor package may be damaged. Conversely, if the contact force is insufficient, the socket of the semiconductor package may not be properly connected, so that even a normal semiconductor package may be determined as a defective product.

따라서, 정확한 테스트를 위해서는, 푸셔의 접촉력이 설정 값대로 발휘되는지를 측정하고, 이상이 있는 경우 푸셔의 접촉력을 보정할 필요가 있다. Therefore, for an accurate test, it is necessary to measure whether the contact force of the pusher is exerted according to a set value, and correct the contact force of the pusher if there is an abnormality.

본 발명의 일 목적은, 푸셔의 접촉력을 측정할 수 있도록 하면서도, 그 측정을 위한 수단에서 강도적으로 취약한 부품이 파손되지 않게 하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a jig for measuring the contact force of the pusher, while allowing the contact force of the pusher to be measured, and not to damage a component that is weakly in strength in the means for the measurement.

본 발명의 다른 일 목적은, 푸셔의 접촉력을 측정할 수 있도록 하면서도, 그 측정을 위한 전력 공급에 필요한 전선이 복잡하게 얽히지 않게 하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a jig for measuring the contact force of the pusher, while allowing the contact force of the pusher to be measured, and the wires required for power supply for the measurement are not complicatedly entangled.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그는, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상에 배치되는 회로기판; 관통홀을 구비하고, 상기 회로기판 상에 배치되는 마운팅 플레이트; 상기 마운팅 플레이트에 안착되고, 상기 관통홀을 지나는 전선에 의해 상기 회로기판에 전기적으로 연결되는 접촉력감지 유닛; 상기 회로기판에 접속되고, 컨택 푸셔가 상기 접촉력감지 유닛을 가압하는 중에 상기 접촉력감지 유닛이 획득한 접촉력 데이터를 저장하는 메모리; 상기 메모리에 저장된 상기 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 통신 모듈; 및 상기 회로기판, 상기 접촉력감지 유닛, 및 상기 메모리에 전력을 공급하기 위한 배터리를 포함할 수 있다.A jig for measuring the contact force of the pusher according to an aspect of the present invention for realizing the above object includes: a base frame; a circuit board disposed on the base frame; a mounting plate having a through hole and disposed on the circuit board; a contact force sensing unit seated on the mounting plate and electrically connected to the circuit board by a wire passing through the through hole; a memory connected to the circuit board and storing contact force data obtained by the contact force sensing unit while the contact pusher presses the contact force sensing unit; a communication module for transmitting the contact force data stored in the memory to the outside; and a battery for supplying power to the circuit board, the contact force sensing unit, and the memory.

여기서, 상기 베이스 프레임은, 바닥부; 상기 바닥부에서 돌출 형성되고, 상기 회로기판을 지지하는 제1 지지턱; 및 상기 바닥부에서 돌출 형성되고, 상기 접촉력감지 유닛에 대응하는 제2 지지턱을 포함하고, 상기 배터리는, 상기 바닥부 중 상기 제1 지지턱 및 상기 제2 지지턱 사이의 영역에 배치될 수 있다. Here, the base frame, the bottom portion; a first supporting jaw protruding from the bottom and supporting the circuit board; and a second support jaw protruding from the bottom portion and corresponding to the contact force sensing unit, wherein the battery may be disposed in a region between the first support jaw and the second support jaw among the bottom parts. have.

여기서, 상기 접촉력감지 유닛은, 상기 전선에 연결되고, 상기 접촉력을 측정하여 상기 접촉력 데이터를 출력하도록 구성되는 로드셀; 및 상기 로드셀에 장착되고, 상기 컨택 푸셔와 접촉하도록 배치되는 캡을 포함할 수 있다. Here, the contact force sensing unit may include: a load cell connected to the electric wire and configured to measure the contact force and output the contact force data; and a cap mounted on the load cell and arranged to contact the contact pusher.

여기서, 상기 마운팅 플레이트는, 상기 로드셀이 정위치에 안착하도록 상기 로드셀의 윤곽에 대응하여 오목 형성된 안착홈을 더 포함할 수 있다. Here, the mounting plate may further include a seating groove concave formed to correspond to the contour of the load cell so that the load cell is seated in the correct position.

여기서, 상기 통신 모듈은, 외부의 컴퓨터와 통신하기 위한 유에스비 포트를 포함할 수 있다.Here, the communication module may include a USB port for communicating with an external computer.

여기서, 상기 접촉력감지 유닛을 노출하는 윈도우를 구비하고, 상기 마운팅 플레이트 상에 배치되어 상기 컨택 푸셔와 접촉되는 가이드 플레이트가 더 구비될 수 있다. Here, a guide plate having a window exposing the contact force sensing unit and disposed on the mounting plate to contact the contact pusher may be further provided.

본 발명의 다른 일 측면에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그는, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상에 배치되는 복수의 회로기판; 관통홀을 구비하고, 상기 복수의 회로기판 각각 상에 하나씩 배치되는 복수의 마운팅 플레이트; 상기 복수의 마운팅 플레이트 각각에 복수 개로 안착되고, 상기 관통홀을 지나는 전선에 의해 상기 복수의 회로기판 중 대응하는 하나에 전기적으로 연결되는 복수의 접촉력감지 유닛; 상기 복수의 회로기판 각각에 하나씩 접속되고, 컨택 푸셔가 상기 접촉력감지 유닛을 가압하는 중에 상기 접촉력감지 유닛이 획득한 접촉력 데이터를 저장하는 복수의 메모리; 및 상기 복수의 메모리에 저장된 상기 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 통신 모듈을 포함하고, 상기 접촉력감지 유닛은, 상기 전선에 연결되고, 상기 접촉력을 측정하여 상기 접촉력 데이터를 출력하도록 구성되는 로드셀을 포함할 수 있다.A jig for measuring the contact force of the pusher according to another aspect of the present invention includes: a base frame; a plurality of circuit boards disposed on the base frame; a plurality of mounting plates having a through hole and disposed one on each of the plurality of circuit boards; a plurality of contact force sensing units mounted on each of the plurality of mounting plates and electrically connected to a corresponding one of the plurality of circuit boards by wires passing through the through holes; a plurality of memories connected to each of the plurality of circuit boards, one for storing contact force data obtained by the contact force sensing unit while the contact pusher presses the contact force sensing unit; and a communication module for transmitting the contact force data stored in the plurality of memories to the outside, wherein the contact force sensing unit includes a load cell connected to the electric wire and configured to measure the contact force and output the contact force data can do.

여기서, 상기 마운팅 플레이트는, 상기 로드셀이 정위치에 안착하도록 상기 로드셀의 윤곽에 대응하여 오목 형성된 안착홈을 더 포함할 수 있다.Here, the mounting plate may further include a seating groove concave formed to correspond to the contour of the load cell so that the load cell is seated in the correct position.

여기서, 상기 회로기판, 상기 로드셀, 및 상기 메모리에 전력을 공급하기 위한 배터리가 더 구비될 수 있다. Here, a battery for supplying power to the circuit board, the load cell, and the memory may be further provided.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그에 의하면, 접촉력감지 유닛이 장착되는 마운팅 플레이트에는 관통홀이 형성되어 접촉력감지 유닛의 전선은 관통홀을 통해 마운팅 플레이트의 하측에 배치되고 베이스 프레임에 의해 지지되는 회로기판과 전기적으로 연결되므로, 푸셔가 가하는 접촉력이 회로기판에 바로 전달되지 않고 마운팅 플레이트에 일차적으로 전달되게 되어, 강도적으로 취약한 회로기판이 파손되는 것을 구조적으로 방지할 수 있다. According to the jig for measuring the contact force of the pusher according to the present invention configured as described above, a through hole is formed in the mounting plate to which the contact force sensing unit is mounted, and the electric wire of the contact force sensing unit is disposed on the lower side of the mounting plate through the through hole and is electrically connected to the circuit board supported by the base frame, the contact force applied by the pusher is transmitted primarily to the mounting plate rather than directly to the circuit board. can

나아가, 회로기판과, 메모리 등에 필요한 전력은 자체 배터리에 의해 공급될 수 있고, 접촉력감지 유닛이 측정하여 메모리에 저장된 접촉력 데이터는 통신 모듈을 통해 외부로 전송될 수 있어서, 회로기판 등의 작동에 필요한 전력 공급을 위한 전선과 데이터 전송을 위한 전선 등을 없애거나 줄일 수 있어서, 그들에 의해 시스템이 전선 연결로 인해 복잡해지는 것을 방지할 수 있게 된다. Furthermore, the power required for the circuit board, the memory, etc. may be supplied by its own battery, and the contact force data measured by the contact force sensing unit and stored in the memory may be transmitted to the outside through the communication module, Wires for power supply, wires for data transmission, etc. can be eliminated or reduced, thereby preventing the system from becoming complicated due to wire connections.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그(100)의 부분 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그(100)의 요부를 분리하여 보인 요부의 조립 사시도이다.
도 3은 도 2에서 지그(100)의 요부에 대한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그(100)의 전기적 작동을 설명하기 위한 블록도이다.
1 is a partially exploded perspective view of a jig 100 for measuring the contact force of a pusher according to an embodiment of the present invention.
2 is an assembled perspective view of the main part showing the main part of the jig 100 for measuring the contact force of the pusher according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the main part of the jig 100 in FIG. 2 .
4 is a block diagram for explaining the electrical operation of the jig 100 according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.Hereinafter, a jig for measuring the contact force of the pusher according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same and similar reference numerals are assigned to the same and similar components even in different embodiments, and the description is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그(100)의 부분 분해 사시도이다.1 is a partially exploded perspective view of a jig 100 for measuring the contact force of a pusher according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 지그(100)는, 베이스 프레임(110), 회로기판(120), 마운팅 플레이트(130), 접촉력감지 유닛(140), 가이드 플레이트(150), 배터리(160), 및 통신 모듈(170)을 포함할 수 있다. Referring to this drawing, the jig 100 includes a base frame 110 , a circuit board 120 , a mounting plate 130 , a contact force sensing unit 140 , a guide plate 150 , a battery 160 , and communication. It may include a module 170 .

베이스 프레임(110)은 지그(100)의 다른 구성들을 지지하는 기본 뼈대를 이루는 구성이다. 또한, 베이스 프레임(110)은 SUS와 같은 금속 재질로 제작될 수 있다. The base frame 110 is a configuration constituting a basic skeleton supporting other components of the jig 100 . In addition, the base frame 110 may be made of a metal material such as SUS.

베이스 프레임(110)은, 구조적으로, 바닥부(111), 제1 지지턱(113), 제2 지지턱(115), 그리고 장착 영역(117)을 가질 수 있다. 바닥부(111)는 대체로 직사각형 판재의 형태를 가질 수 있다. 제1 지지턱(113)과 제2 지지턱(115)은 바닥부(111)에서 돌출 형성되는 것이다. 여기서, 제1 지지턱(113)은 회로기판(120)을 지지하기 위한 것이라면, 제2 지지턱(115)은 회로기판(120)을 지지하면서도 접촉력감지 유닛(140)에 대응하여 그를 지지할 수 있다. 장착 영역(117)은 바닥부(111) 중에서 제1 지지턱(113) 및 제2 지지턱(115)이 형성되지 않은 영역을 말한다. Structurally, the base frame 110 may have a bottom portion 111 , a first support jaw 113 , a second support jaw 115 , and a mounting region 117 . The bottom portion 111 may have a substantially rectangular plate shape. The first supporting jaw 113 and the second supporting jaw 115 are formed to protrude from the bottom part 111 . Here, if the first supporting jaw 113 is for supporting the circuit board 120 , the second supporting jaw 115 may support the circuit board 120 while supporting the contact force sensing unit 140 , thereby supporting it. have. The mounting area 117 refers to an area in the bottom part 111 in which the first supporting jaw 113 and the second supporting jaw 115 are not formed.

회로기판(120)은 베이스 프레임(110) 상에 배치될 수 있다. 회로기판(120)은 하나의 베이스 프레임(110)에 대응하여 복수 개로 구비될 수 있다. 본 도면에는 하나의 베이스 프레임(110)에 대응하는 회로기판(120)이 8개인 것을 예시하고 있다. 각 회로기판(120)은 그에 대응하는 접촉력감지 유닛(140), 배터리(160) 등과 전기적으로 연결될 수 있다. 회로기판(120)에는 또한 배터리(160)의 전력이 접촉력감지 유닛(140) 등에 공급되게 하는 회로를 온/오프시키는 전원 스위치(165)가 설치될 수 있다. The circuit board 120 may be disposed on the base frame 110 . A plurality of circuit boards 120 may be provided to correspond to one base frame 110 . In this figure, it is exemplified that there are eight circuit boards 120 corresponding to one base frame 110 . Each circuit board 120 may be electrically connected to a corresponding contact force sensing unit 140 , a battery 160 , and the like. The circuit board 120 may also be provided with a power switch 165 for turning on/off a circuit for supplying power from the battery 160 to the contact force sensing unit 140 , and the like.

마운팅 플레이트(130)는 회로기판(120) 상에 배치되고, 접촉력감지 유닛(140)이 설치되는 대상이 된다. 마운팅 플레이트(130)는 회로기판(120)에 대응하는 사이즈를 가질 수 있다. 회로기판(120)의 갯수에 대응하여, 마운팅 플레이트(130)도 복수 개로 구비될 수 있다. 마운팅 플레이트(130)는 재질적으로 SUS와 같은 금속 재질로서 제작될 수 있다. The mounting plate 130 is disposed on the circuit board 120 , and is a target on which the contact force sensing unit 140 is installed. The mounting plate 130 may have a size corresponding to the circuit board 120 . Corresponding to the number of circuit boards 120 , a plurality of mounting plates 130 may be provided. The mounting plate 130 may be made of a metal material such as SUS.

접촉력감지 유닛(140)은 컨택 푸셔(미도시)에 의해 가압됨에 따라 컨택 푸셔가 가압하는 힘인 접촉력을 감지하기 위한 구성이다. 접촉력감지 유닛(140)은 마운팅 플레이트(130)에 장착되면서도 회로기판(120)에 전기적으로 연결된다. 하나의 마운팅 플레이트(130)에는 복수 개의 접촉력감지 유닛(140)이 설치될 수 있다. 본 도면에서는, 하나의 마운팅 플레이트(130)에 8개의 접촉력감지 유닛(140)이 설치된 상태를 예시하고 있다. The contact force sensing unit 140 is configured to sense a contact force, which is a force pressed by the contact pusher as it is pressed by the contact pusher (not shown). The contact force sensing unit 140 is electrically connected to the circuit board 120 while being mounted on the mounting plate 130 . A plurality of contact force sensing units 140 may be installed on one mounting plate 130 . In this figure, a state in which eight contact force sensing units 140 are installed on one mounting plate 130 is exemplified.

가이드 플레이트(150)는 마운팅 플레이트(130) 상에 배치되어 컨택 푸셔와 접촉되는 구성이다. 가이드 플레이트(150)는 마운팅 플레이트(130)와 유사하게 회로기판(120)에 대응하는 사이즈를 가질 수 있다. 따라서, 복수 개의 회로기판(120) 및 마운팅 플레이트(130)에 대응하여, 가이드 플레이트(150)도 복수 개로 구비될 수 있다. 나아가, 가이드 플레이트(150) 역시 SUS와 같은 금속 재질로 형성될 수 있다. The guide plate 150 is disposed on the mounting plate 130 to be in contact with the contact pusher. The guide plate 150 may have a size corresponding to the circuit board 120 similar to the mounting plate 130 . Accordingly, a plurality of guide plates 150 may be provided to correspond to the plurality of circuit boards 120 and the mounting plate 130 . Furthermore, the guide plate 150 may also be formed of a metal material such as SUS.

배터리(160)는 회로기판(120), 접촉력감지 유닛(140) 등의 작동을 위해 필요한 전력을 공급하기 위한 구성이다. 배터리(160)는 장착 영역(117)에 배치되고, 회로기판(120)과 구조적으로 간섭되지 않는 높이로 구성될 수 있다. 배터리(160)는 복수의 회로기판(120)에 대응하여 각기 하나씩 구비되거나, 2개의 회로기판(120)에 대응하여 하나로 구비될 수 있다. 본 도면은 후자의 경우를 예시하고 있다. 이상과 달리, 배터리(160)가 자체에 내장되지 않고, 전선에 의해 접촉력감지 유닛(140) 등에 외부의 전력이 제공될 수 있다.The battery 160 is configured to supply power necessary for the operation of the circuit board 120 , the contact force sensing unit 140 , and the like. The battery 160 is disposed in the mounting area 117 and may be configured at a height that does not structurally interfere with the circuit board 120 . One battery 160 may be provided corresponding to the plurality of circuit boards 120 , or one battery may be provided corresponding to two circuit boards 120 . This figure illustrates the latter case. Unlike the above, the battery 160 is not built into itself, and external power may be provided to the contact force sensing unit 140 or the like by a wire.

통신 모듈(170)은 접촉력감지 유닛(140)에서 측정된 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 구성이다. 통신 모듈(170)은 예를 들어, 유에스비 포트가 될 수 있다. 상기 유에스비 포트는 회로기판(120)에 실장되면, 외부의 케이블 단자를 수용하는 것일 수 있다. The communication module 170 is configured to transmit the contact force data measured by the contact force sensing unit 140 to the outside. The communication module 170 may be, for example, a USB port. When the USB port is mounted on the circuit board 120, it may be to accommodate an external cable terminal.

이러한 구성 중 베이스 프레임(110)를 제외한 나머지 구성에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.Among these components, the remaining components except for the base frame 110 will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3 .

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그(100)의 요부를 분리하여 보인 요부의 조립 사시도이고, 도 3은 도 2의 요부에 대한 분해 사시도이다.2 is an assembling perspective view of the main part showing the main part separated by the jig 100 for measuring the contact force of the pusher according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the main part of FIG. 2 .

본 도면들을 참조하면, 회로기판(120)은 사각 판재 형상의 몸체(121)를 가질 수 있다. 몸체(121)는 예를 들어 합성수지로 제작되고, 내부에 도전성 배선이 형성된 것일 수 있다. 몸체(121)의 저면에는 전원 스위치(165)와 통신 모듈(170)이 실장될 수 있다. 또한, 몸체(121)의 상면에는 표시 램프(125)가 실장될 수 있다. 표시 램프(125)는 배터리(160)에서 접촉력감지 유닛(140) 등에 전력이 정상적으로 공급되고 있음을 시각적으로 표시하는 구성이다. Referring to the drawings, the circuit board 120 may have a body 121 having a rectangular plate shape. The body 121 may be made of, for example, synthetic resin, and may have conductive wiring formed therein. A power switch 165 and a communication module 170 may be mounted on the bottom surface of the body 121 . In addition, the display lamp 125 may be mounted on the upper surface of the body 121 . The display lamp 125 is configured to visually indicate that power is normally supplied from the battery 160 to the contact force sensing unit 140 and the like.

마운팅 플레이트(130)는 회로기판(120)의 몸체(121)에 대응하는 몸체(131)를 가질 수 있다. 몸체(131) 역시 사각 판재의 형태를 가질 수 있고, 그는 상면과 그에 반대되는 하면을 가진다. 몸체(131)의 하면은 회로기판(120)에 의해 지지된다. 몸체(131)의 중앙에는 접촉력감지 유닛(140), 구체적으로 로드셀(141)의 윤곽에 대응하는 안착홈(133)이 상면에 오목하게 형성될 수 있다. 본 도면에서 하나의 몸체(131)에는 8개의 안착홈(133)이 형성되고, 그 안착홈(133)들은 2개씩 짝을 이루어 4쌍으로 배치될 수 있다. 몸체(131)에는 또한 관통홀(135)이 형성될 수 있다. 관통홀(135)은 상면에서 하면까지 관통 형성되는 것이다. 관통홀(135)은 두 쌍의 안착홈(133) 사이에 위치할 수 있다. 몸체(131)의 가장자리 영역에는 램프홀(137)이 개구될 수 있다. The mounting plate 130 may have a body 131 corresponding to the body 121 of the circuit board 120 . The body 131 may also have the shape of a square plate, and it has an upper surface and a lower surface opposite thereto. The lower surface of the body 131 is supported by the circuit board 120 . In the center of the body 131, the contact force sensing unit 140, specifically, a seating groove 133 corresponding to the contour of the load cell 141 may be concavely formed on the upper surface. In this figure, eight seating grooves 133 are formed in one body 131 , and the seating grooves 133 may be arranged in pairs by pairing two each. A through hole 135 may also be formed in the body 131 . The through hole 135 is formed through from the upper surface to the lower surface. The through hole 135 may be positioned between the two pairs of seating grooves 133 . A lamp hole 137 may be opened in an edge region of the body 131 .

접촉력감지 유닛(140)은 로드셀(141)을 가질 수 있다. 로드셀(141)은 컨택 푸셔에 의해 가압됨에 의해 접촉력을 감지하고, 그를 접촉력 데이터로 출력하는 센서이다. 로드셀(141)의 상부에는 캡(143)이 씌워질 수 있다. 캡(143)은 컨택 푸셔와 로드셀(141) 간의 높이 차이를 보정하는 역할을 할 수 있다. 나아가, 캡(143)은 컨택 푸셔의 접촉면에 스크래치가 발생하지 않도록 그를 보호할 수 있다. 그를 위해, 캡(143)은 완충성이 있는 엔지니어링 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. 로드셀(141)이 회로기판(120)에 전기적으로 접속되게 하기 위하여, 로드셀(141)에는 전선(145)이 연결된다. 이러한 전선(145)은 마운팅 플레이트(130)의 관통홀(135)을 지나서 회로기판(120)에 연결된다. 그에 의해, 로드셀(141)은 회로기판(120)에 바로 실장되지 않고도, 마운팅 플레이트(130)를 개재한 채로 회로기판(120)에 전기적으로 연결될 수 있다. The contact force sensing unit 140 may have a load cell 141 . The load cell 141 is a sensor that senses a contact force by being pressed by a contact pusher and outputs the contact force data as contact force data. A cap 143 may be covered on the upper portion of the load cell 141 . The cap 143 may serve to correct a height difference between the contact pusher and the load cell 141 . Furthermore, the cap 143 may protect the contact surface of the contact pusher from being scratched. To this end, the cap 143 may be formed of an engineering plastic material having a cushioning property. In order for the load cell 141 to be electrically connected to the circuit board 120 , an electric wire 145 is connected to the load cell 141 . The wire 145 passes through the through hole 135 of the mounting plate 130 and is connected to the circuit board 120 . Accordingly, the load cell 141 may be electrically connected to the circuit board 120 with the mounting plate 130 interposed therebetween without being directly mounted on the circuit board 120 .

가이드 플레이트(150)는 마운팅 플레이트(130)에 대응하는 몸체(151)를 가진다. 몸체(151)에는 윈도우(153)가 형성된다. 윈도우(153)는 접촉력감지 유닛(140)을 노출하도록 개구된 부분이다. 윈도우(153)는 복수 개로 구비될 수 있다. 그 경우, 각각의 윈도우(153)는 한 쌍의 로드셀(141)에 대응하는 사이즈로 형성될 수 있다. 몸체(151)의 나머지 부분에는 정렬핀(155)과 램프홀(157)이 형성될 수 있다. 정렬핀(155)은 컨택 푸셔의 정렬홈(미도시)에 삽입되어, 컨택 푸셔와 가이드 플레이트(150)에 대해 정확히 정렬되게 할 수 있다. 램프홀(157)은 램프홀(137)과 함께 표시 램프(125)가 삽입되는 부분이 되어, 표시 램프(125)가 외부에서 인식될 수 있게 한다. The guide plate 150 has a body 151 corresponding to the mounting plate 130 . A window 153 is formed in the body 151 . The window 153 is a portion opened to expose the contact force sensing unit 140 . A plurality of windows 153 may be provided. In this case, each window 153 may be formed to have a size corresponding to the pair of load cells 141 . An alignment pin 155 and a lamp hole 157 may be formed in the remaining portion of the body 151 . The alignment pin 155 may be inserted into an alignment groove (not shown) of the contact pusher to be accurately aligned with the contact pusher and the guide plate 150 . The lamp hole 157 becomes a portion into which the display lamp 125 is inserted together with the lamp hole 137 , so that the display lamp 125 can be recognized from the outside.

이러한 구성에 의하면, 컨택 푸셔가 로드셀(141)을 향해 하강하는 경우에, 컨택 푸셔는 캡(143)을 통해 로드셀(141)을 가압하게 된다. 이와 동시에, 컨택 푸셔는 가이드 플레이트(150)와 접촉되어, 로드셀(141)은 컨택 푸셔에 의해 설정값을 초과하는 압력을 받지는 않게 된다. According to this configuration, when the contact pusher descends toward the load cell 141 , the contact pusher presses the load cell 141 through the cap 143 . At the same time, the contact pusher is in contact with the guide plate 150, so that the load cell 141 does not receive a pressure exceeding the set value by the contact pusher.

또한, 컨택 푸셔에 의해 가압되는 로드셀(141)은 회로기판(120)이 아닌 마운팅 플레이트(130)에 지지됨에 의해, 컨택 푸셔가 가압하는 힘은 로드셀(141) 및 마운팅 플레이트(130)를 거쳐서 회로기판(120)에 전달된다. 이는 그 힘이 로드셀(141)에서 회로기판(120)에 바로 전달되지는 않게 하여, 회로기판(120)의 손상을 구조적으로 예방할 수 있게 한다. In addition, since the load cell 141 pressed by the contact pusher is supported on the mounting plate 130 rather than the circuit board 120 , the force applied by the contact pusher passes through the load cell 141 and the mounting plate 130 to the circuit transferred to the substrate 120 . This prevents the force from being directly transmitted from the load cell 141 to the circuit board 120 , thereby structurally preventing damage to the circuit board 120 .

나아가, 로드셀(141) 및 회로기판(120) 등이 작동하기 위한 전력은 배터리(160)에 의해 자체적으로 공급될 수 있다. 그에 의해, 접촉력 데이터 획득을 위한 과정 중에, 로드셀(141) 등은 전력 공급을 위해 외부로 연장되는 전선 없이도 작동할 수 있게 된다. Furthermore, power for operating the load cell 141 and the circuit board 120 may be supplied by the battery 160 itself. Thereby, during the process for acquiring contact force data, the load cell 141 and the like can operate without an externally extended wire for power supply.

이상에서 접촉력 데이터의 획득 및 외부 전달에 대해서는 도 4를 추가로 참조하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그(100)의 전기적 작동을 설명하기 위한 블록도이다. In the above, the acquisition and external transmission of the contact force data will be described with additional reference to FIG. 4 . 4 is a block diagram for explaining the electrical operation of the jig 100 according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 추가로 참조하면, 로드셀(141)에서 획득된 접촉력 데이터는 메모리(180)에 저장될 수 있다. 접촉력 데이터는 각 로드셀(141) 별로 획득되며, 또한 복수 회에 걸친 컨택 푸셔의 가압이 있었다면 그에 대응하여 복수 회의 접촉력 데이터가 획득될 수 있다. 메모리(180)는 회로기판(120)에 실장된 채로 작동할 수 있다. 메모리(180)는 하나의 회로기판(120), 또는 8개의 로드셀(141)에 대응하여 하나씩 구비될 수 있다. 따라서 메모리(180)는 회로기판(120)의 수에 대응하여, 본 실시예에서는 8개로 구비될 수 있다. 메모리(180)도 또한 배터리(160)에 의해 전력을 공급받아 작동하게 된다. Referring further to the drawing, the contact force data obtained from the load cell 141 may be stored in the memory 180 . Contact force data is acquired for each load cell 141 , and if the contact pusher is pressed a plurality of times, contact force data may be acquired a plurality of times in response thereto. The memory 180 may operate while being mounted on the circuit board 120 . One memory 180 may be provided one by one corresponding to one circuit board 120 or eight load cells 141 . Accordingly, the number of memories 180 may correspond to the number of circuit boards 120 , and in the present embodiment, eight may be provided. The memory 180 is also powered by the battery 160 to operate.

메모리(180)에 저장된 접촉력 데이터는 통신 모듈(170)을 통해 외부로 전송될 수 있다. 이를 위해 외부의 컴퓨터는 통신 모듈(170)을 통해 메모리(180)에 연결되어, 메모리(180)에 저장된 접촉력 데이터가 외부로 전송되게 메모리(180)를 제어할 수 있다. Contact force data stored in the memory 180 may be transmitted to the outside through the communication module 170 . To this end, an external computer may be connected to the memory 180 through the communication module 170 to control the memory 180 so that the contact force data stored in the memory 180 is transmitted to the outside.

상기와 같은 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The jig for measuring the contact force of the pusher as described above is not limited to the configuration and operation method of the above-described embodiments. The above embodiments may be configured so that various modifications can be made by selectively combining all or part of each of the embodiments.

100: 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그 110: 베이스 프레임
120: 회로기판 130: 마운팅 플레이트
140: 접촉력감지 유닛 150: 가이드 플레이트
160: 배터리 170: 통신 모듈
180: 메모리
100: jig for measuring the contact force of the pusher 110: base frame
120: circuit board 130: mounting plate
140: contact force sensing unit 150: guide plate
160: battery 170: communication module
180: memory

Claims (9)

베이스 프레임;
상기 베이스 프레임 상에 배치되는 회로기판;
상면과 상기 상면과 반대되는 하면과, 상기 상면에서 상기 하면까지 관통 형성되는 관통홀을 구비하고, 상기 하면이 상기 회로기판에 의해 지지되도록 배치되는 마운팅 플레이트;
상기 상면에 안착되는 로드셀과, 상기 관통홀을 지나도록 배치되어 상기 로드셀을 상기 회로기판에 전기적으로 연결하는 전선을 구비하는 접촉력감지 유닛;
상기 회로기판에 접속되고, 컨택 푸셔가 상기 로드셀을 가압하는 중에 상기 로드셀이 획득한 접촉력 데이터를 저장하는 메모리;
상기 회로기판에 접속되고, 상기 메모리에 저장된 상기 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 통신 모듈; 및
상기 회로기판, 상기 접촉력감지 유닛, 및 상기 메모리에 전력을 공급하기 위한 배터리를 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
base frame;
a circuit board disposed on the base frame;
a mounting plate having an upper surface, a lower surface opposite to the upper surface, and a through hole formed through the upper surface from the upper surface to the lower surface, the lower surface being supported by the circuit board;
a contact force sensing unit having a load cell seated on the upper surface and a wire disposed to pass through the through hole and electrically connecting the load cell to the circuit board;
a memory connected to the circuit board and storing contact force data obtained by the load cell while the contact pusher presses the load cell;
a communication module connected to the circuit board and configured to transmit the contact force data stored in the memory to the outside; and
A jig for measuring the contact force of the pusher, comprising a battery for supplying power to the circuit board, the contact force sensing unit, and the memory.
제1항에 있어서,
상기 베이스 프레임은,
바닥부;
상기 바닥부에서 돌출 형성되고, 상기 회로기판을 지지하는 제1 지지턱; 및
상기 바닥부에서 돌출 형성되고, 상기 접촉력감지 유닛에 대응하는 제2 지지턱을 포함하고,
상기 배터리는,
상기 바닥부 중 상기 제1 지지턱 및 상기 제2 지지턱 사이의 영역에 배치되는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
According to claim 1,
The base frame is
bottom;
a first supporting jaw protruding from the bottom and supporting the circuit board; and
It is formed to protrude from the bottom and includes a second support jaw corresponding to the contact force sensing unit,
The battery is
A jig for measuring the contact force of the pusher, which is disposed in an area between the first supporting jaw and the second supporting jaw among the bottom parts.
제1항에 있어서,
상기 접촉력감지 유닛은,
상기 로드셀에 장착되고, 상기 컨택 푸셔와 접촉하도록 배치되는 캡을 더 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
According to claim 1,
The contact force sensing unit,
Mounted to the load cell, the jig for measuring the contact force of the pusher further comprising a cap disposed to be in contact with the contact pusher.
제1항에 있어서,
상기 마운팅 플레이트는,
상기 로드셀이 정위치에 안착하도록 상기 로드셀의 윤곽에 대응하여 오목 형성된 안착홈을 더 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
According to claim 1,
The mounting plate is
A jig for measuring the contact force of the pusher further comprising a seating groove concave formed to correspond to the contour of the load cell so that the load cell is seated in the correct position.
제1항에 있어서,
상기 통신 모듈은,
외부의 컴퓨터와 통신하기 위한 유에스비 포트를 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
According to claim 1,
The communication module is
A jig for measuring the contact force of the pusher, including a USB port for communicating with an external computer.
제1항에 있어서,
상기 접촉력감지 유닛을 노출하는 윈도우를 구비하고, 상기 마운팅 플레이트 상에 배치되어 상기 컨택 푸셔와 접촉되는 가이드 플레이트를 더 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
According to claim 1,
A jig for measuring the contact force of the pusher, comprising a window exposing the contact force sensing unit, and further comprising a guide plate disposed on the mounting plate and in contact with the contact pusher.
베이스 프레임;
상기 베이스 프레임 상에 배치되는 복수의 회로기판;
상면과 상기 상면과 반대되는 하면과, 상기 상면에서 상기 하면까지 관통 형성되는 관통홀을 구비하고, 상기 하면이 상기 복수의 회로기판 각각 상에 지지되도록 하나씩 배치되는 복수의 마운팅 플레이트;
상기 복수의 마운팅 플레이트 각각에서 상기 상면에 복수 개로 안착되고, 상기 관통홀을 지나는 전선에 의해 상기 복수의 회로기판 중 대응하는 하나에 전기적으로 연결되는 복수의 접촉력감지 유닛;
상기 복수의 회로기판 각각에 하나씩 접속되고, 컨택 푸셔가 상기 접촉력감지 유닛을 가압하는 중에 상기 접촉력감지 유닛이 획득한 접촉력 데이터를 저장하는 복수의 메모리; 및
상기 회로기판에 접속되고, 상기 복수의 메모리에 저장된 상기 접촉력 데이터를 외부로 전송하기 위한 통신 모듈을 포함하고,
상기 접촉력감지 유닛은,
상기 전선에 연결되고, 상기 접촉력을 측정하여 상기 접촉력 데이터를 출력하도록 구성되는 로드셀을 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
base frame;
a plurality of circuit boards disposed on the base frame;
a plurality of mounting plates having an upper surface, a lower surface opposite to the upper surface, and a through hole formed through the upper surface from the upper surface to the lower surface, wherein the lower surface is disposed one by one so that the lower surface is supported on each of the plurality of circuit boards;
a plurality of contact force sensing units seated on the upper surface of each of the plurality of mounting plates and electrically connected to a corresponding one of the plurality of circuit boards by wires passing through the through holes;
a plurality of memories connected to each of the plurality of circuit boards, one for storing contact force data obtained by the contact force sensing unit while the contact pusher presses the contact force sensing unit; and
a communication module connected to the circuit board and configured to transmit the contact force data stored in the plurality of memories to the outside;
The contact force sensing unit,
A jig for measuring the contact force of the pusher, comprising a load cell connected to the electric wire and configured to measure the contact force and output the contact force data.
제7항에 있어서,
상기 마운팅 플레이트는,
상기 로드셀이 정위치에 안착하도록 상기 로드셀의 윤곽에 대응하여 오목 형성된 안착홈을 더 포함하는, 푸셔의 접촉력을 측정하기 위한 지그.
8. The method of claim 7,
The mounting plate is
A jig for measuring the contact force of the pusher further comprising a seating groove concave formed to correspond to the contour of the load cell so that the load cell is seated in the correct position.
삭제delete
KR1020200057743A 2020-05-14 2020-05-14 Zig for measuring contact force of pusher KR102406036B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200057743A KR102406036B1 (en) 2020-05-14 2020-05-14 Zig for measuring contact force of pusher

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200057743A KR102406036B1 (en) 2020-05-14 2020-05-14 Zig for measuring contact force of pusher

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210141863A KR20210141863A (en) 2021-11-23
KR102406036B1 true KR102406036B1 (en) 2022-06-08

Family

ID=78694983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200057743A KR102406036B1 (en) 2020-05-14 2020-05-14 Zig for measuring contact force of pusher

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102406036B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100671397B1 (en) * 2004-10-15 2007-01-18 미래산업 주식회사 Apparatus for contacting devices to test sockets in semiconductor test handler
KR100857374B1 (en) * 2007-03-12 2008-09-05 윤점채 Contact force measuring method and the tool using load cells

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100671397B1 (en) * 2004-10-15 2007-01-18 미래산업 주식회사 Apparatus for contacting devices to test sockets in semiconductor test handler
KR100857374B1 (en) * 2007-03-12 2008-09-05 윤점채 Contact force measuring method and the tool using load cells

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210141863A (en) 2021-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5519331A (en) Removable biasing board for automated testing of integrated circuits
KR20160092366A (en) Pin block and test appartus with the same
JP2002202344A (en) Contact pin module and inspecting device equipped therewith
US11506740B2 (en) Test apparatus which tests semiconductor chips
US6759842B2 (en) Interface adapter for automatic test systems
US6137296A (en) Probe card for testing semiconductor devices
KR19990029945A (en) Different chip module receiving carriers, combinations of circuit boards and chip modules, and different chip module attachment methods
KR20120102230A (en) An apparatus for testing a semiconductor device and a method of testing a semiconductor device
KR102406036B1 (en) Zig for measuring contact force of pusher
KR101957961B1 (en) Socket board assembly
KR20170142608A (en) Apparatus for testing semiconductor devices
US7202685B1 (en) Embedded probe-enabling socket with integral probe structures
US6529023B2 (en) Application and test methodology for use with compression land grid array connectors
JP4657731B2 (en) Semiconductor test socket
US6441632B1 (en) Spring probe contactor for testing PGA devices
CN105445501A (en) Electric detecting device for environmental testing
US6507205B1 (en) Load board with matrix card for interfacing to test device
KR20180021493A (en) Apparatus for testing semiconductor devices
KR20060104366A (en) Probe device of semiconductor wafer inspector
KR102466458B1 (en) Test socket
KR100522753B1 (en) Modular Socket Of Integrated Circuit
KR102212615B1 (en) Reverse support type test device for flexible printed circuit board and test method using that
KR100370843B1 (en) Semiconductor package test device and its test method
JP2005172492A (en) Test system and test method for semiconductor package
US10838033B2 (en) Tester calibration device and tester calibration method

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant