KR102402112B1 - 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 입사하는 전자기파의 특정 주파수에 대하여 공진하는 메타표면 구조체; 상기 메타표면 구조체의 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 형성된 고정형 바인딩 바디; 상기 고정형 바인딩 바디에 인력에 의해 결합되는 이동형 바인딩 바디; 및 상기 이동형 바인딩 바디에 링크된 리셉터 또는 나노입자를 포함하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 고도로 검출감도를 높이면서 소량의 나노입자만으로도 효율적으로 검출할 수 있는 메타물질과 나노입자 기반의 검출구조와 검출방법을 제공할 수 있다.

Description

메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서{NANOSENSOR FOR DETECTING QUALITY USING META-STRUCTURE}
본 발명은 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소량의 나노입자만으로 효율적으로 검출감도를 고도로 높이도록 한 메타물질 기반의 품질 분석용 나노 센서에 관한 것이다.
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바이오센싱 기술은 바이오센서 기반 분석기술로 이를 체계적으로 설명하기 위해서는 바이오센서가 어떻게 구성되는지 고찰이 필요하다. 바이오센서는 크게 변환기와 생물요소로 구성되어 있으며, 생물요소와 분석물질간의 선택적 반응 결과 나타나는 이온, 전자, 열, 질량, 빛의 변화를 변환기로 감지한 후 이를 전기적 신호로 바꿔 증폭시켜 반응신호로 표시해 준다. 따라서 바이오센서는 변환기의 특성에 따라 전기적 특성 변화를 측정하는 '전기화학적 바이오센서', 광학적 특성 변화를 측정하는 '광전자학적 바이오센서', 질량 변화를 측정하는 '압전류적 바이오센서'와 생물반응 결과로 나타나는 열 변화를 측정하는 '바이오서미스터'로 크게 구분할 수 있다.
바이오센서 주요 적용 분야로 의료, 식품 및 농업, 공정, 환경 등이 있는데, 식품 분야 바이오센서 시장 규모도 빠르게 증대되고 있으며, 향후 식품산업에서 바이오센서 활용도도 높아질 것으로 예상된다. 기술적 측면에서는 전기화학적 바이오센서가 가장 높은 점유율을 차지하고 있다.
식품산업에서 바이오센싱 기술을 활용할 수 있는 분야는 성분 분석, 자연독소와 항 영양소 신속 검출, 식품가공과 저장 중 효소 불활성화와 미생물 오염 감지, 조리 과정이나 식품성분의 상호반응에 의해 생성되는 유해물질 측정, 식품원료 생산, 가공 과정에서 혼입되는 오염물질 분석, 어류의 신선도 측정, 항산화활성 등 기능성 평가, 발효 모니터링 등을 들 수 있다.
한편, 어육과 축육 부패과정에서 생성되는 주요 물질의 상대적 비율을 측정해 선도를 측정하는 바이오센서, 항산화활성 등 기능성 평가 바이오센서, 식품공정에 접속해 온라인으로 발효산물의 농도를 실시간 측정하는 바이오센서 등도 식품산업에서 활용가능성이 높다.
식품분야 바이오센서 시장규모는 현재 빠르게 증식되고 있으므로 식품 바이오센싱 기술의 미래는 매우 밝다고 할 수 있다. 또한 단백질체학 등 오믹스(Omics) 기술의 발달은 식품 바이오센서의 연구개발과 활용을 촉진하는 동인으로 작용하고 있다.
향후 일회용 바이오센서 혹은 간편하고 가성비가 좋으며 반응시간이 빠르고 사용하기 쉬운 바이오센서 장치에 대한 수요가 급증할 것이다. 따라서 재현성 향상과 원가절감을 위한 바이오센서 칩의 규격화와 미소화가 긴요하고, 궁극적으로는 마이크로타스(uTAS) 기반 바이오 식품계측기술 개발과 이를 위한 주변요소기술 확립이 필요할 것으로 보인다.
종래의 나노갭을 이용한 메타물질의 경우, 나노갭에 의해 발생하는 field enhancement(FE)효과 때문에 나노갭 기반 메타물질센서가 보다 고감도 센서로 활용될 수 있었다.
하지만, 나노갭을 실제로 활용하는 경우 제조공정이 복잡하고 비용이 높아, 저가의 센서로 활용하기에는 현재 기술수준으로는 어려움이 있다.
나노입자를 메타물질 위에 결합하여 검출하는 경우 감도가 놀랍게 증폭되는 효과는 있으나, 메타물질의 유닛 셀(unit cell)이 커지는 경우에는 비효율적이며, 많은 양의 나노입자가 필요한 등의 어려움이 있다.
또한, 메타물질을 이용하는 경우라도 생화학적으로 선택적인 바인딩 사이트(biochemical selective binding site) 없이 단순하게 label-free로 측정하는 경우도 감지는 되지만 비효율적이다.
대한민국특허공개공보 제20190014939호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 고도로 검출감도를 높이면서 소량의 나노입자만으로도 효율적으로 검출할 수 있는 메타물질과 나노입자 기반의 검출구조와 검출방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위한 것으로, 입사하는 전자기파의 특정 주파수에 대하여 공진하는 메타표면 구조체; 상기 메타표면 구조체의 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 형성된 고정형 바인딩 바디; 상기 고정형 바인딩 바디에 인력에 의해 결합되는 이동형 바인딩 바디; 및 상기 이동형 바인딩 바디에 링크된 리셉터 또는 나노입자를 포함하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서를 제공한다.
또한, 상기 핫스팟 영역은 전기장의 세기가 강하게 집중되는 전계강화(field enhancement) 현상이 발생하는 영역인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정형 바인딩 바디는 니켈, 철, 코발트, 희토류 화합물을 포함하는 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 이들의 혼합물인 제1 자성체 입자이며, 상기 이동형 바인딩 바디는 니켈, 철, 코발트, 희토류 화합물을 포함하는 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 이들의 혼합물; 또는 이들 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 혼합물이 은 또는 금 나노입자와 결합한 마그네토플라즈몬 입자를 사용하며, 상기 제1 자성체 입자와 인력에 의해 바인딩 되는 제2 자성체 입자인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정형 바인딩 바디는 단일, 이중 또는 다중 황(S), 질소(N), 산소(O) 유도체, 이온성 리간드를 포함하는 케미컬 링커이며, 상기 이동형 바인딩 바디는 카보하이드레이트(Carbohydrate), 펩타이드(Peptide), 프로틴(Protein), 효소(Enzyme), 지질(Lipid), 아미노산(Amino acid), DNA, RNA, 항체(Antibody), PEG, Drug, 형광염료(Fluorescent dye)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상과 결합한 금속 또는 비금속 나노입자를 사용하며, 상기 케미컬 링커와 결합되는 입자인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 상기 케미컬 링커가 리소그래피(lithography)법에 의하여 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 리셉터는 분석대상물질의 품질 검출을 위한 타겟물질이 특이적으로 결합되는 바인딩 사이트가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
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본 발명에 의하면, 고도로 검출 감도를 높이면서 소량의 나노입자만으로도 효율적으로 검출할 수 있는 메타물질과 나노입자 기반의 검출구조를 가진 품질 검출용 나노 센서를 제공할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서의 구조를 나타낸 모식도.
도 1b 내지 도 1d는 메타표면 구조체에 형성된 다양한 패턴형태 및 핫스팟 영역의 예.
도 1e 및 도 1f는 각각 본 발명의 실시예들에 따른 나노 센서의 구조 및 센싱 메커니즘을 나타낸 모식도.
도 2a는 도 1d에 도시된 메타 구조체 표면에 감지 대상 물질이 균일하게 흡착되면서 단위 면적당 mass가 증가하며 검출이 되는 라벨프리 센싱의 시뮬레이션 모식도.
도 2b는 도 2a의 Al2O3 입자가 전체 메타 구조체 표면에 코팅된 메타 구조체 센서에 대한 유한차분요소해석 결과 그래프이며, 도 2c는 이에 따른 입자 개수 변화에 대한 정점이동효과 결과는 나타낸 그래프.
도 3a은 도 1d에 도시된 메타 구조체 단위 셀의 일정한 로컬 영역에만 Al2O3 입자가 흡착된 경우의 모식도이고, 도 3b 및 도 3c는 중심 좌표 이동에 따른 투과도를 나타낸 그래프.
도 4 및 도 5는 각각 입자의 island 위치의 이동에 따른 이미지 및 투과도 피크의 변화 그래프.
도 6a는 도 4의 (a)의 메타구조체의 핫스팟 영역에 Al2O3 입자가 형성된 실시예에 대한 입자수 변화에 대한 피크 변화를 나타낸 그래프이며, 도 6b는 이에 따른 정점이동효과 결과를 나타낸 그래프.
도 7a는 도 1d에 도시된 메타구조체의 핫스팟 영역에 제2 자성체 입자와 결합한 PEC 입자가 형성된 실시예에 대한 유한차분요소해석 결과를 나타낸 그래프이며, 도 7b는 이에 따른 정점이동효과 결과를 나타낸 그래프.
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본 발명은, 입사하는 전자기파의 특정 주파수에 대하여 공진하는 메타표면 구조체; 상기 메타표면 구조체의 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 형성된 고정형 바인딩 바디; 상기 고정형 바인딩 바디에 인력에 의해 결합되는 이동형 바인딩 바디; 및 상기 이동형 바인딩 바디에 링크된 리셉터 또는 나노입자를 포함하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서에 관한 것이다.
이하, 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1a는 본 발명의 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서의 구조를 나타낸 모식도로서, 다음과 같은 구조로 이루어져 있다:
입사하는 전자기파의 특정 주파수에 대하여 공진하는 메타표면 구조체(10);
상기 메타표면 구조체(10)의 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 형성된 고정형 바인딩 바디(20);
상기 고정형 바인딩 바디(20)에 인력에 의해 결합되는 이동형 바인딩 바디(30);
상기 이동형 바인딩 바디(30)에 링크된 리셉터(40) 또는 나노입자
메타물질 단위 셀에서는 구조에 따라 전계 효과(FE)가 발생하는 핫스팟(hot-spot)의 위치가 다르게 형성된다. 도 1b 내지 도 1d에는 다양한 메타표면 구조체에 형성된 패턴형태 및 그에 따른 핫스팟 영역의 예들을 나타내었다.
예를 들어, 도 1b와 같은 대표적인 Split Ring Resonator타입의 Electric-field coupled inductor-capacitor (ELC) resonator 공진구조의 경우, 중간의 커패시터(capacitor) 부분에 핫스팟 영역이 발생하며, 도 1d과 도 1d의 비대칭 공진구조 같은 경우는 에지(edge)에서 발생한다.
본 발명의 일실시예에 따른 메타 구조체 센서는 메타패턴이 형성된 평면인 메타표면 구조체(10)를 베이스로 하여, 상기 패턴 평면 위 또는 패턴 내부의 특정 위치에 제1자성체 입자(20)를 형성하여 센서의 검출 감도를 향상시키고자 하는 특징을 가지고 있다.
도 1e는 본 발명의 일실시예에 따른 상기 메타물질 패턴 중 핫스팟(hot-spot)이 발생하는 영역에 고정형 바인딩 바디(20)인 제1자성체 입자(M)를 도입한 예를 나타내었다. 도 1a 및 도 1e를 참조하면 상기 제1자성체 입자(M)로는 강자성을 가진 금속(Ni, Fe 등), 혹은 그 합금을 메타물질 패턴 중 핫스팟 영역 내에 도입할 수 있다.
이후, 이동형 바인딩 바디(30)로서 제2자성체 입자인 자성 금속 등을 유체내 포함되어 흘려보내는 형태로 메타물질 표면에 도입할 수 있다. 상기 제2자성체 입자(30)인 자성 금속은 나노입자의 형태로 사용하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 자성을 가진 나노입자들이 유체내에 인입되어 메타표면 구조체(10)의 표면에 흐르면, 자성을 띤 나노입자들은 선택적으로 상기 메타표면 구조체(10) 표면에 형성된 핫스팟 근처에 높은 비율로 모이게 된다.
상기 제2자성체 입자(30)는 리셉터(40) 또는 나노입자와 링크되어 있다.
이때 상기 리셉터(40) 또는 나노입자는 타겟물질(T)에 특이적으로(specific) 결합하는 바인딩 사이트(41)가 형성되어 있어, 상기 바인딩 사이트(41)에 물질의 품질 검출을 위한 특정한 타겟물질(T)이 결합되어 있게 된다. 이에 따라, 유체 내의 모든 나노자성입자는 거의 손실없이 핫스팟 영역의 자성패턴으로 몰려서 부착되며, 상기 고정형 바인딩 바디의 단위면적당 바인딩 사이트의 개수가 커져서 감도가 증가하게 된다. 이에 따라, 상기 리셉터(40) 또는 나노입자의 타겟물질(T)의 바인딩 사이트(41)에 부착되어 있는 타겟물질(T)이 핫스팟 영역에 위치하게 됨으로써, 분석대상물질의 품질에 대한 검출 효율이 급상승할 수 있게 된다.
이때 제2자성체 입자(30)가 금, 은과 같은 나노입자와 결합한 마그네토플라즈몬(magnetoplasmon) 입자의 듀얼(dual) 기능을 가진 입자의 경우는 좀더 강한 흡수가 일어나서 고감도 계측이 가능하다.
도 1f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 메타물질 패턴 중 핫스팟(hot-spot)이 발생하는 영역에 고정형 바인딩 바디(20)인 케미컬 링커(L)를 도입한 예를 나타내었다. 상기 케미컬 링커(L)에는 단일, 이중 또는 다중 황(S), 질소(N), 산소(O) 유도체, 이온성 리간드가 포함된다. 상기 케미컬 링커(L)와 결합되는 입자로서 이동형 바인딩 바디(30)를 유체와 함께 도입할 수 있는데, 이는 카보하이드레이트(Carbohydrate), 펩타이드(Peptide), 프로틴(Protein), 효소(Enzyme), 지질(Lipid), 아미노산(Amino acid), DNA, RNA, 항체(Antibody), PEG, Drug, 형광염료(Fluorescent dye)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상과 결합한 금속 또는 비금속 나노입자를 이용할 수 있다.
상기 실시예의 센싱 메커니즘은 상기의 제1 자성체 입자 및 제2 자성체 입자를 사용한 실시예와 유사하며, 케미컬 링커와 이동형 바인딩 바디의 결합에 의하여 이동형 바인딩 바디에 링크된 리셉터 또는 나노입자의 바인딩 사이트에 특이적으로 결합되어 있는 타겟물질(T)이 특정 핫스팟 영역에 모일 수 있도록 함으로써 센싱 감도를 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 실시예에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
[실시예]
도 2a는 도 1d에 도시된 메타 구조체 표면에 감지 대상 물질이 균일하게 흡착되면서 단위 면적당 mass가 증가하며 검출이 되는 라벨프리 센싱(Label-free sensing)을 시뮬레이션 하는 모식도이다. 특히 여기에서는 label-free-sensing의 효과를 극대화하기 위하여, 보통의 바이오 물질보다 굴절률이 높은 유전체 물질(dielectric materials)의 일례로 Al2O3 입자(diameter 0.8~1.0 um, n=3.07)가 전체 메타 구조체 표면에 균일하게 코팅되는 메타 구조체의 모식도를 나타내었다 (상:단위 셀의 정면, 하:단위 셀의 측면, 이때 메탈 층(연두색 패턴)은 실제보다 두껍게 강조되어 표현되었으며, 단위 셀의 크기는 58um×58um, 금속 패턴 선폭은 4um). 도 2b는 도 2a의 Al2O3 입자가 전체 메타 구조체 표면에 코팅된 메타 구조체 센서에 대한 유한차분요소해석 결과로, 나노입자의 개수가 증가하면서 변화하는 투과도(transmittance)를 나타낸 그래프이다. 도 2c는 도 2b의 투과도 그래프에서 입자 개수 변화에 대한 정점이동효과(peak shift)의 변화를 나타내었다. 계산 결과는 일반적인 라벨프리 센싱에서 잘 알려진 대로 메타구조체의 단위 셀 표면당 입자의 개수가 증가하면서 mass 변화에 의해 공진주파수(피크 위치)가 red-shift하고 있음을 보여주고 있다. 이때 입자의 개수 변화에 대한 정점이동은 선형적인 변화를 보여주면서 1000개당 15.4GHz의 변화를 보여주고 있다.
도 3a는 도 1d에 도시된 메타 구조체 단위 셀의 일정한 로컬 영역(island area: 10um×10um)에만 Al2O3 입자가 흡착된 경우를 계산하기 위한 모식도이며, 도 3b는 island의 y중심 좌표가 0인 경우 island의 x중심 좌표를 0에서 48um까지 이동하였을 때 투과도를 보여주고 있다. 도 3b의 결과는 예상했듯이 핫스팟 근처에 입자가 집중되어 있을 경우가 좀더 흡수가 크게 발생하고, 핫스팟 영역 외에서는 스펙트럼이 거의 유사하게 나타나고 있다. 또한 도 3c는 island의 y중심 좌표가 24um인경우 x중심 좌표를 0에서 48um까지 이동하였을 때 투과도를 나타내고 있다. 도 3c의 결과는 핫스팟의 영역이 아닌 곳에 흡착된 입자 island에 대한 투과도를 나타내며, 결과는 island의 x중심 좌표가 달라져도 스펙트럼의 변화가 모든 영역에서 거의 없는 것을 나타내고 있다. 이러한 결과는 도 3b의 경우는 핫스팟 근처에 입자가 있는 경우와 아닌 경우 피크의 변화가 크게 나타나는 반면, 도 3b의 결과와는 대조적으로 도 3c의 경우는 모두가 핫스팟의 영역이 아니므로 피크의 변화가 거의 없는 것으로 나타나고 있어서, 핫스팟 근처에 입자가 흡착된 경우가 좀더 입자 island의 mass 변화를 고감도로 나타낼 수 있음을 보여주고 있다고 할 수 있다.
이러한 결과를 좀더 자세히 알아보기 위해서 도 4는 입자 island의 위치를 핫스팟 영역(a: x=-24um, y=0um)에서 핫스팟이 아닌 영역(b: x=24um, y=0um, c: x=0um, y=24um, d: x=0um, y=0um)으로 옮겨가며 흡착된 입자수의 변화(0~300개)에 대한 투과도 피크의 변화를 각각 도 5(a~d)에 나타내었다. 결과를 살펴보면 예상대로 핫스팟에서만 입자수의 변화에 대해 피크의 변화가 관측되고(도 5의 (a)), 나머지 부분에서는 거의 움직이 없거나 아예 변화가 없는 경우도 있다.
도 6a는 도 4의 (a) 에 도시된 메타구조체의 핫스팟 영역(y=0)에 Al2O3 입자가 형성된 실시예에 대해 입자의 개수의 변화에 대한 피크 변화, 즉 감도에 대한 정량을 위해 유한차분요소해석 결과를 나타낸 그래프이다(Al2O3 입자(n=3.07), variation(1~501)). 도 6b는 정점이동효과(peak shift) fitting한 결과를 나타내었다. 계산 결과는 도 6b와 같이 107GHz/1000 particles의 변화를 보여주며 도 2c의 변화에 비해 7배 증폭된 결과를 보여주고 있다. 이러한 결과를 종합하면, 핫스팟 영역 내에 입자를 집중하여 흡착하는 것이 훨씬 고감도를 보여주고 있음을 나타내고 있다. 이러한 원리를 적용하여 핫스팟(hot-spot)이 발생하는 영역에 제1자성체 입자(20)를 도입하게 되면 제 2자성체 입자가 핫스팟 근처로 흡착됨에 따라 감도가 크게 증가함을 알 수 있다.
도 7a는 도 1d에 도시된 메타구조체의 핫스팟 영역에 제2자성체와 결합한 PEC 입자(앞의 유전체 대신 금속 나노입자 사용)가 형성된 실시예에 대한 유한차분요소해석 결과를 나타낸 그래프이다(PEC 입자, 입자수의 변화 (1~101)). 도 7b는 정점이동효과(peak shift)를 나타내었다. 결과는 160GHz/100 particles의 감도를 보여주고 있는데, 이는 앞의 경우와 비교하면 약 15배 증폭된 결과를 보여주고 있으며, 금나노입자와 자성체입자를 결합한 마그네토 플라즈모닉입자가 흡착되면서 감도가 급격히 증가하게 됨을 알 수 있다.
이와 같은 결과로부터, 메타물질 단위 셀의 면적에 관계없이 핫스팟 영역에 자성패턴을 형성함으로써 검출용 자성입자가 특정 영역에 몰릴 수 있도록 하기 때문에, 작은 양의 자성입자에 부착된 바이오센서만으로도 고감도 측정이 가능하다.
또한, 상기 제2자성체 입자로 마그네토플라즈몬입자를 사용하면 보다 강한 흡수가 일어나서 좀더 감도를 증폭시킬 수 있다.
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10: 메타표면 구조체
20: 고정형 바인딩 바디
30: 이동형 바인딩 바디
40: 리셉터
41: 바인딩 사이트
T: 타겟물질
M: 제1자성체 입자
L: 케미컬 링커

Claims (6)

  1. 입사하는 전자기파의 특정 주파수에 대하여 공진하는 메타표면 구조체;
    상기 메타표면 구조체의 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 형성된 고정형 바인딩 바디;
    상기 고정형 바인딩 바디에 인력에 의해 결합되는 이동형 바인딩 바디; 및
    상기 이동형 바인딩 바디에 링크된 리셉터 또는 나노입자
    를 포함하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 핫스팟 영역은 전기장의 세기가 강하게 집중되는 전계강화(field enhancement) 현상이 발생하는 영역인 것을 특징으로 하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고정형 바인딩 바디는 니켈, 철, 코발트, 희토류 화합물을 포함하는 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 이들의 혼합물인 제1 자성체 입자이며,
    상기 이동형 바인딩 바디는 니켈, 철, 코발트, 희토류 화합물을 포함하는 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 이들의 혼합물; 또는 이들 강자성 금속군에서 선택되는 1종 또는 혼합물이 은 또는 금 나노입자와 결합한 마그네토플라즈몬 입자를 사용하며, 상기 제1 자성체 입자와 인력에 의해 바인딩 되는 제2 자성체 입자인 것을 특징으로 하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 고정형 바인딩 바디는 단일, 이중 또는 다중 황(S), 질소(N), 산소(O) 유도체, 이온성 리간드를 포함하는 케미컬 링커이며,
    상기 이동형 바인딩 바디는 카보하이드레이트(Carbohydrate), 펩타이드(Peptide), 프로틴(Protein), 효소(Enzyme), 지질(Lipid), 아미노산(Amino acid), DNA, RNA, 항체(Antibody), PEG, Drug, 형광염료(Fluorescent dye)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상과 결합한 금속 또는 비금속 나노입자를 사용하며, 상기 케미컬 링커와 결합되는 입자인 것을 특징으로 하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 핫스팟 영역의 표면 또는 구조체 내부에 상기 케미컬 링커가 리소그래피(lithography)법에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 리셉터는 분석대상물질의 품질 검출을 위한 타겟물질이 특이적으로 결합되는 바인딩 사이트가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 메타 구조체를 이용한 품질 분석용 나노 센서.
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