KR102382274B1 - Hydrogen or helium purification method and hydrogen or helium purification apparatus - Google Patents

Hydrogen or helium purification method and hydrogen or helium purification apparatus Download PDF

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Abstract

불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하고, 또한 주성분으로서 수소 또는 헬륨을 포함하는 원료가스로부터, 흡착제가 충전된 흡착탑(10A 내지 10C)을 이용해서 행하는 PSA법에 의해, 수소 또는 헬륨을 정제하는 방법은, 흡착탑(10A 내지 10C)의 각각에 대해서, 흡착 공정, 감압 공정, 탈착 공정 및 세정 공정을 포함하는 사이클을 반복해서 행한다. 각 흡착탑(10A 내지 10C)은, 흡착탑에 있어서의 원료가스의 흐름 방향에 있어서 상류측에서부터 하류측을 향해서 차례로 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 구분되어 있다. 제1 영역에는, 흡착제의 충전 용량 전체에 대하여, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 실리카겔계의 제1 흡착제(131)가 충전되어 있다. 제2 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 제올라이트계의 제2 흡착제(132)가 충전되어 있다. 제3 영역에는, 충전 비율이 5 내지 30vol%의 활성탄계의 제3 흡착제(133)가 충전되어 있다.A method of purifying hydrogen or helium by the PSA method performed from a raw material gas containing a volatile aromatic compound as an impurity and containing hydrogen or helium as a main component by the PSA method using an adsorption tower (10A to 10C) filled with an adsorbent, For each of the adsorption towers 10A to 10C, a cycle including an adsorption step, a pressure reduction step, a desorption step, and a washing step is repeatedly performed. Each adsorption tower 10A-10C is divided into a 1st area|region, a 2nd area|region, and a 3rd area|region sequentially toward a downstream from an upstream in the flow direction of the source gas in an adsorption tower. The first region is filled with the silica gel-based first adsorbent 131 having a filling ratio of 15 to 75 vol% with respect to the total filling capacity of the adsorbent. The second region is filled with the zeolite-based second adsorbent 132 having a filling ratio of 15 to 75 vol%. The third region is filled with the third adsorbent 133 of activated carbon having a filling ratio of 5 to 30 vol%.

Description

수소 또는 헬륨의 정제방법 및 수소 또는 헬륨의 정제장치Hydrogen or helium purification method and hydrogen or helium purification apparatus

본 발명은 압력변동 흡착법을 이용해서 수소 또는 헬륨을 정제하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for purifying hydrogen or helium using pressure swing adsorption.

공해방지의 관점에서, 폐기 가스로서 방출되는 가스 중의 휘발성 방향족 화합물의 농도는 저농도가 되도록 규제되고 있다. 예를 들면, 톨루엔을 불순물로서 함유하는 가스의 경우, 어떤 지역에서는 지상 도달점 농도가 0.7 volppm 이하로 정해져 있다. 그러한 규제에 대응하기 위한 폐기 가스의 처리 방법으로서는, 흡수법, 냉각법, 흡착법, 연소법 등이 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 또한, 그들의 처리에 의해서 정제한 후의 가스를 회수해서 재이용할 경우도 있다. 또한, 폐기 가스의 처리 설비에 대해서는, 공간 절약되고 또한 도입 비용 및 가동 비용이 저렴한 방법이 요구되고 있다.From the viewpoint of pollution prevention, the concentration of the volatile aromatic compound in the gas emitted as waste gas is regulated so as to be low in concentration. For example, in the case of a gas containing toluene as an impurity, in some regions, the ground reaching point concentration is set to 0.7 volppm or less. As a treatment method of waste gas for responding to such a regulation, there exist an absorption method, a cooling method, an adsorption method, a combustion method, etc. (refer patent document 1, for example). Moreover, the gas after refinement|purification by those processes may be collect|recovered and reused. Moreover, about the waste gas processing facility, the method which saves space and is low in introduction cost and operation cost is calculated|required.

한편, 수소나 헬륨을 공업용 가스로서 이용할 경우, 용도에 따라서는, 고순도의 가스를 얻기 위해서, 정제 공정을 추가할 필요가 있다. 예를 들면, 연료전지차용의 수소의 경우, ISO14687-2(FCV용 수소연료규격, 2012, GradeD)에 따르면 수소 이외의 성분의 허용 농도로서, 총탄화수소이면 2 volppm 이하(메탄 환산)로 할 필요가 있다. 이 경우에 있어서도, 공간 절약되고 또한, 저렴한 방법이 요구되고 있다. 흡수법에 의한 탄화수소의 제거에서는, 확산 가스 중의 탄화수소 농도를 1vol% 이하로 하는 것은 곤란하여, 아직도 실현되고 있지 않다. 냉각법에 있어서도, 증기압분의 불순물이 기상측에 잔류하므로, 휘발성 방향족 화합물의 경우에는 수 ppm 오더까지 정제하는 것은 곤란하다. 연소법에 있어서는, 산소 등을 혼합할 필요가 있고, 연소 후에 물이나 이산화탄소 등이 생기므로, 고순도의 가스를 얻는 것에는 적합하지 않다.On the other hand, when using hydrogen or helium as an industrial gas, it is necessary to add a purification process in order to obtain a highly purified gas depending on a use. For example, in the case of hydrogen for fuel cell vehicles, according to ISO14687-2 (hydrogen fuel standard for FCV, 2012, GradeD), the allowable concentration of components other than hydrogen is 2 volppm or less (in terms of methane) for total hydrocarbons. there is Also in this case, the space-saving and inexpensive method is calculated|required. In the removal of hydrocarbons by the absorption method, it is difficult to set the hydrocarbon concentration in the diffusion gas to 1 vol% or less, and has not yet been realized. Also in the cooling method, since impurities of vapor pressure remain on the gas phase side, it is difficult to purify volatile aromatic compounds to the order of several ppm. In the combustion method, it is necessary to mix oxygen etc., and since water, carbon dioxide, etc. are produced after combustion, it is not suitable for obtaining a high-purity gas.

이상과 같은 이유로, 고순도의 수소나 헬륨을 얻는 방법으로서는, 흡착법이 주로 이용되고 있다. 예를 들면, 가스에 함유되는 휘발성 방향족 화합물을 제거하기 위해서, 합성 제올라이트나 소수성 실리카겔을 사용하는 압력변동 흡착법이 채용된다. 그렇지만, 이 방법에서도 탈착에 진공장치를 사용하는 것이나, 실리카 풍부한 제올라이트나 실리카겔 중에서도 소수성인 것을 사용하는 것이므로, 비용면에서 과제가 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).For the above reasons, the adsorption method is mainly used as a method for obtaining high-purity hydrogen or helium. For example, in order to remove volatile aromatic compounds contained in gas, a pressure swing adsorption method using synthetic zeolite or hydrophobic silica gel is employed. However, in this method as well, since a vacuum device is used for desorption and hydrophobic ones are used among silica-rich zeolite and silica gel, there is a problem in terms of cost (see, for example, Patent Document 1).

또한, 휘발성 방향족 화합물을 함유하는 폐기 가스를 압력변동 흡착법을 이용해서 처리하고, 탄화수소 농도를 저감시키는 방법도 있다. 압력변동 흡착법으로 흡착제의 재생이 가능하면, 가열이나 냉각은 불필요해진다. 그렇지만 이 방법에 있어서는, 탈착 시에 진공장치가 필요하고, 또한 흡착제를 미리 사전 코팅하는 것도 필요하여, 비용면이나 조작의 번잡함의 면에서 과제가 있었다(예를 들면, 특허문헌 2 및 3 참조).There is also a method in which a waste gas containing a volatile aromatic compound is treated using a pressure swing adsorption method to reduce the hydrocarbon concentration. If the adsorbent can be regenerated by the pressure swing adsorption method, heating or cooling becomes unnecessary. However, in this method, a vacuum device is required at the time of desorption, and it is also necessary to pre-coat the adsorbent, and there is a problem in terms of cost and complexity of operation (see, for example, Patent Documents 2 and 3) .

불순물로서, 휘발성 방향족 화합물을 함유하는 가스를 정제할 경우, 흡착제로서 활성탄을 사용하는 방법이, 종래부터 채용되어 왔다. 활성탄의 세공 내에 유입된 휘발성 방향족 화합물은, 용이하게는 탈착되지 않는다. 이 때문에, 탈착에 가열 수단을 사용하는 방법이 채용되고 있고, 온도변동 흡착법이나 스팀의 사용에 의해 탈착을 촉진시키고 있다. 가열 수단을 이용할 경우, 가열이나 냉각에 따른 부대 설비를 필요로 하고, 전열에 시간이 걸리는 등 조작성의 면에서도 과제가 많다.When purifying a gas containing a volatile aromatic compound as an impurity, a method of using activated carbon as an adsorbent has been conventionally employed. The volatile aromatic compound introduced into the pores of the activated carbon is not easily desorbed. For this reason, the method of using a heating means for desorption is employ|adopted and desorption is accelerated|stimulated by the temperature fluctuation adsorption method or use of steam. In the case of using a heating means, there are many problems in terms of operability, such as requiring additional equipment for heating and cooling, and taking time for heat transfer.

또한, 진공재생법을 이용한 방법에서는, 진공 재생을 위한 비용이 든다. 또한, 퍼지 가스(정제된 고순도의 제품가스)를 이용한 방법에서는, 퍼지 가스를 사용하는 만큼 비용 상승으로 이어진다. 또한, 가열에 의한 재생에 대해서도, 마찬가지로 가열에 필요한 에너지만큼 비용 상승으로 이어진다.In addition, in the method using the vacuum regeneration method, the cost for vacuum regeneration is increased. In addition, in the method using the purge gas (purified high-purity product gas), the cost increases as much as the purge gas is used. Moreover, also with respect to regeneration by heating, it leads to an increase in cost by the amount of energy required for heating similarly.

JPH9-47635 AJPH9-47635A JPH11-71584 AJPH11-71584 A JPJP 2004-420132004-42013 AA

본 발명은, 이러한 사정 하에서 안출된 것으로, 압력변동 흡착법을 이용해서, 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하는 원료가스로부터, 비용을 삭감하면서, 고순도의 수소 또는 헬륨을 얻는데 적합한 방법 및 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.The present invention has been devised under these circumstances, and it is to provide a method and apparatus suitable for obtaining high-purity hydrogen or helium from a raw material gas containing volatile aromatic compounds as impurities using a pressure swing adsorption method while reducing costs doing it as a task

본 발명의 제1 측면에 따르면, 흡착제가 충전된 3탑 이상의 흡착탑을 이용해서 행하는 압력변동 흡착법의 사이클을 각 흡착탑에 대해서 반복함으로써, 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하고, 또한 주성분으로서 수소 또는 헬륨을 포함하는 원료가스로부터 수소 또는 헬륨을 정제하기 위한 방법이 제공된다.According to the first aspect of the present invention, the cycle of the pressure swing adsorption method performed using three or more adsorption towers filled with adsorbents is repeated for each adsorption tower to contain volatile aromatic compounds as impurities, and hydrogen or helium as a main component A method for purifying hydrogen or helium from a source gas comprising

상기 사이클은, 흡착제가 충전된 3탑 이상의 흡착탑을 이용해서 행하는 압력변동 흡착법에 의해, 상기 흡착탑이 소정의 고압인 상태에서, 상기 흡착탑에 상기 원료가스를 도입해서 해당 원료가스 중의 상기 휘발성 방향족 화합물을 상기 흡착제에 흡착시키고, 해당 흡착탑으로부터 수소 또는 헬륨의 농도가 높은 제품가스를 배출하는 흡착 공정과, 상기 흡착 공정을 종료한 상기 흡착탑으로부터 탑 내에 잔류하는 가스를 배출해서 탑 내의 압력을 저하시키는 감압 공정과, 상기 감압 공정을 종료한 상기 흡착탑에 있어서의 상기 흡착제로부터 상기 휘발성 방향족 화합물을 탈착시키고, 탑 내 가스를 배출하는 탈착 공정과, 상기 감압 공정에 있는 다른 흡착탑으로부터 배출된 가스를 상기 탈착 공정을 종료한 상기 흡착탑에 도입해서 탑 내에 잔류하는 가스를 배출하는 세정 공정을 포함한다. 상기 각 흡착탑은, 상기 흡착탑에 있어서의 상기 원료가스의 흐름 방향에 있어서 상류측에서부터 하류측을 향해서 차례로 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 구분되어 있다. 상기 제1 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 실리카겔계의 제1 흡착제가 충전되어 있다. 상기 제2 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 제올라이트계의 제2 흡착제가 충전되어 있다. 상기 제3 영역에는, 충전 비율이 5 내지 30vol%의 범위인 활성탄계의 제3 흡착제가 충전되어 있다.In the cycle, the source gas is introduced into the adsorption tower under a predetermined high pressure by a pressure swing adsorption method performed using three or more adsorption towers filled with an adsorbent, and the volatile aromatic compound in the source gas is an adsorption step of adsorbing the adsorbent and discharging a product gas having a high concentration of hydrogen or helium from the adsorption tower; and a desorption process of desorbing the volatile aromatic compound from the adsorbent in the adsorption tower after the decompression process is completed and discharging gas in the tower, and the desorption process of gas discharged from another adsorption tower in the depressurization process and a cleaning step of introducing into the finished adsorption tower and discharging the gas remaining in the tower. Each of said adsorption towers is divided into 1st area|region, 2nd area|region, and 3rd area|region sequentially from an upstream to a downstream in the flow direction of the said source gas in the said adsorption tower. The first region is filled with a silica gel-based first adsorbent having a filling ratio in the range of 15 to 75 vol%. The second region is filled with a zeolite-based second adsorbent having a filling ratio in the range of 15 to 75 vol%. The third region is filled with an activated carbon-based third adsorbent having a filling ratio in the range of 5 to 30 vol%.

바람직하게는, 상기 제1 흡착제는 친수성 실리카겔로 이루어진다.Preferably, the first adsorbent is made of hydrophilic silica gel.

본 발명의 제2 측면에 따르면, 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하고, 또한 주성분으로서 수소 또는 헬륨을 포함하는 원료가스로부터 수소 또는 헬륨을 정제하기 위한 장치가 제공된다. 해당 장치는, 각각이 제1 가스 통과구 및 제2 가스 통과구를 구비하고, 해당 제1 가스 통과구와 제2 가스 통과구 사이에 있어서 흡착제가 충전된 3탑 이상의 흡착탑과, 제품가스를 저류시키기 위한 저류 탱크와, 상기 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구로부터 배출되는 가스를 기상성분과 액상성분으로 분리시키는 기액분리수단과, 원료가스 공급원에 접속된 주간로(主幹路), 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제1 라인과, 상기 기액분리수단이 설치된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제2 라인과, 상기 저류 탱크가 설치된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제3 라인과, 상기 제3 라인에 있어서의 상기 주간로에 접속된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제4 라인과, 상기 제4 라인에 있어서의 상기 주간로에 접속된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제5 라인을 구비하고 있다. 상기 각 흡착탑은, 상기 흡착탑에 있어서의 상기 제1 가스 통과구로부터 상기 제2 가스 통과구를 향해서 차례로 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 구분되어 있다. 상기 제1 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 실리카겔계의 제1 흡착제가 충전되어 있다. 상기 제2 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 제올라이트계의 제2 흡착제가 충전되어 있다. 상기 제3 영역에는, 충전 비율이 5 내지 30vol%의 범위인 활성탄계의 제3 흡착제가 충전되어 있다.According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for purifying hydrogen or helium from a raw material gas containing a volatile aromatic compound as an impurity and also containing hydrogen or helium as a main component. The device includes three or more adsorption towers each having a first gas passage port and a second gas passage port, and filled with an adsorbent between the first gas passage port and the second gas passage port, and for storing product gas a storage tank for, gas-liquid separation means for separating the gas discharged from the first gas passage port of the adsorption tower into a gaseous component and a liquid phase component, a main path connected to a source gas supply source, and each of the adsorption towers A first line connected to the first gas passage side of the adsorption tower and having a plurality of branch passages each provided with an on/off valve, a main passage in which the gas-liquid separation means is installed, and each of the adsorption towers are installed in the adsorption tower A second line connected to the first gas passage side and having a plurality of branch passages each provided with on/off valves; A third line connected to the old side and having a plurality of branch passages each provided with an on/off valve, a main passage connected to the main passage in the third line, and each of the adsorption towers are provided for the second line of the adsorption tower 2 A fourth line connected to the gas passage side and having a plurality of branch passages each provided with an on/off valve, a main passage connected to the main passage in the fourth line, and an adsorption tower provided for each of the adsorption towers and a fifth line connected to the second gas passage side and having a plurality of branch passages each provided with an on-off valve. Each of the adsorption towers is sequentially divided into a first region, a second region and a third region from the first gas passage port in the adsorption tower toward the second gas passage port. The first region is filled with a silica gel-based first adsorbent having a filling ratio in the range of 15 to 75 vol%. The second region is filled with a zeolite-based second adsorbent having a filling ratio in the range of 15 to 75 vol%. The third region is filled with an activated carbon-based third adsorbent having a filling ratio in the range of 5 to 30 vol%.

바람직하게는, 상기 제1 흡착제는 친수성 실리카겔로 이루어진다.Preferably, the first adsorbent is made of hydrophilic silica gel.

본 발명자들은, 압력변동 흡착법에 의해 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하는 원료가스로부터 수소 또는 헬륨을 분리하는 방법에 대해서 예의 검토한 바, 휘발성 방향족 화합물을 흡착하는 흡착제인 실리카겔의 후단에, 휘발성 방향족 화합물을 흡착시키지 않는 흡착제인 제올라이트 및 활성탄을 충전하고, 흡착 공정 종료 후에 있어서, 해당 제올라이트 및 활성탄의 층에 있는 비교적 청정한 가스를 이용해서, 탈착 공정 종료 후의 흡착탑을 세정함으로써, 탈착 시에 진공장치나 가열장치를 이용하는 일 없이, 정제 후의 고순도의 제품가스를 얻을 수 있는 것을 찾아내어, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.The present inventors have intensively studied a method of separating hydrogen or helium from a raw material gas containing volatile aromatic compounds as impurities by pressure swing adsorption. After the adsorption process is completed, after the adsorption process is completed, the adsorption tower after the desorption process is cleaned using a relatively clean gas in the layer of the zeolite and activated carbon, so that a vacuum device or heating is performed during desorption. It was found that a product gas of high purity after purification can be obtained without using an apparatus, and the present invention has been completed.

본 발명에 따르면, 수소 또는 헬륨에 불순물로서 포함되는 휘발성 방향족 화합물의 함유율을, 1 volppm 이하까지 저렴하게, 또한 공간 절약한 장치에서 정제할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the content rate of the volatile aromatic compound contained as an impurity in hydrogen or helium can be purified to 1 volppm or less at low cost and space-saving apparatus.

본 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 첨부 도면을 참조해서 이하에 행하는 상세한 설명에 의해, 보다 명확해질 것이다.Other features and advantages of the present invention will become clearer by the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 수소의 정제방법을 실시하기 위해서 사용하는 정제장치의 개략 구성을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 수소의 정제방법의 각 단계에 있어서의 가스의 흐름 상태를 나타낸다.
1 shows a schematic configuration of a purification apparatus used for carrying out a method for purifying hydrogen according to an embodiment of the present invention.
2 shows the flow state of gas in each step of the hydrogen purification method according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is concretely described with reference to drawings.

도 1은, 본 발명에 따른 수소 또는 헬륨의 정제방법을 실시하기 위해서 사용할 수 있는 정제장치(X)의 개략 구성을 나타내고 있다. 정제장치(X)는, 3탑의 흡착탑(10A, 10B, 10C)과, 원료가스 공급원(21)과, 제품 저류 탱크(22)와, 오프가스 탱크(23)와, 냉각기(24)와, 기액분리기(25)와, 라인(31 내지 35)을 구비하고 있다. 정제장치(X)는 수소 또는 헬륨을 포함하는 원료가스(조질의 수소 또는 조질의 헬륨)로부터 압력변동 흡착법(PSA법)을 이용해서 수소 또는 헬륨을 농축 분리하는 것이 가능한 바와 같이 구성되어 있다. 원료가스의 예로서는, 유기 하이드라이드를 유래로 해서 생성된 수소를 주성분으로 하고, 불순물로서, 예를 들면, 휘발성 방향족 화합물(예를 들면, 톨루엔, 벤젠, 메틸사이클로헥산 등)을 포함하는 가스를 들 수 있다. 이하의 설명은, 원료가스의 주성분이 수소일 경우에 대해서 행하지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 원료가스의 주성분이 헬륨일 경우에도 적용 가능하다.Fig. 1 shows a schematic configuration of a purification apparatus X that can be used for carrying out the method for purifying hydrogen or helium according to the present invention. The purification device (X) includes three adsorption towers (10A, 10B, 10C), a source gas supply source (21), a product storage tank (22), an off-gas tank (23), a cooler (24), A gas-liquid separator 25 and lines 31 to 35 are provided. The refiner|purifier X is comprised so that it can concentrate and separate hydrogen or helium using the pressure swing adsorption method (PSA method) from the source gas (crude hydrogen or crude helium) containing hydrogen or helium. Examples of the source gas include a gas containing, as a main component, hydrogen generated from organic hydride, and containing, for example, a volatile aromatic compound (for example, toluene, benzene, methylcyclohexane, etc.) as an impurity. can Although the following description is made with respect to the case where the main component of the source gas is hydrogen, the present invention is not limited to this, and it is also applicable to the case where the main component of the source gas is helium.

흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각각은, 양 단부에 가스 통과구(11, 12)를 구비하고, 가스 통과구(11, 12) 사이에 있어서, 흡착제가 충전되어 있다. 구체적으로는, 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각각의 내부에는, 예를 들면, 다공판(도시 생략)에 의해서 구획된 복수(3개)의 영역이 형성되어 있고, 이들 영역에 각각 다른 흡착제가 충전된다. 본 실시형태에 있어서는, 각 흡착탑(10A, 10B, 10C)에 있어서의 원료가스의 흐름 방향에 있어서, 상류측(가스 통과구(11))으로부터 하류측(가스 통과구(12))을 향해서 제1 흡착제(131), 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)가 차례로 적층되어 있다.Each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C is provided with gas passage ports 11 and 12 at both ends, and an adsorbent is filled between the gas passage ports 11 and 12 . Specifically, in each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, a plurality (three) regions partitioned by, for example, a perforated plate (not shown) are formed, and different adsorbents are formed in these regions. is charged In the present embodiment, in the flow direction of the source gas in each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, from the upstream side (gas passage port 11) to the downstream side (gas passage port 12) A first adsorbent 131 , a second adsorbent 132 , and a third adsorbent 133 are sequentially stacked.

제1 흡착제(131)로서는, 휘발성 방향족 화합물을 우선적으로 흡착하는 성질을 지니는 흡착제가 이용된다. 그러한 흡착제로서는, 예를 들면, 실리카겔계의 흡착제(친수성 실리카겔, 소수성 실리카겔 등)를 들 수 있고, 그 중에서도 친수성 실리카겔, 특히 실리카겔 B형이 바람직하다. 제2 및 제3 흡착제(132, 133)에 대해서는, 휘발성 방향족 화합물의 흡착능이 상대적으로 낮은 흡착제가 이용된다. 제2 흡착제(132)로서는, 제올라이트계의 흡착제(A형 제올라이트, CaA형 제올라이트, Y형 제올라이트 등)를 들 수 있고, 그 중에서도 CaA형 제올라이트가 바람직하다. 제3 흡착제(133)로서는, 예를 들면, 야자 껍데기계나 석탄계 등 활성탄계의 것을 들 수 있다. 이들 흡착제는, 일반적으로 시판되어, 용이하게 입수할 수 있는 것이며, 전처리도 필요로 하지 않는다. 또, 실리카겔(또는 실리카)은 표면에 수산기를 지니므로 원래 친수성이며, 고온가열 또는 알킬실릴화제와의 반응 등의 소수화 처리를 행하는 것에 의해 소수성이 된다. 종래는 이 소수화 처리가 비용 상승의 원인으로 되고 있었다.As the first adsorbent 131, an adsorbent having a property of preferentially adsorbing volatile aromatic compounds is used. Examples of such adsorbents include silica gel adsorbents (hydrophilic silica gel, hydrophobic silica gel, etc.), and among them, hydrophilic silica gel, particularly silica gel type B, is preferable. For the second and third adsorbents 132 and 133, an adsorbent having a relatively low adsorption capacity for volatile aromatic compounds is used. Examples of the second adsorbent 132 include zeolite-based adsorbents (A-type zeolite, CaA-type zeolite, Y-type zeolite, etc.), and among them, CaA-type zeolite is preferable. Examples of the third adsorbent 133 include activated carbon-based substances such as coconut shell-based and coal-based ones. These adsorbents are generally commercially available, readily available, and do not require pretreatment either. In addition, since silica gel (or silica) has a hydroxyl group on its surface, it is hydrophilic in nature, and becomes hydrophobic by performing hydrophobization treatment such as high-temperature heating or reaction with an alkylsilylating agent. Conventionally, this hydrophobization treatment has been a cause of an increase in cost.

또한, 제1 내지 제3 흡착제(131, 132, 133)는, 흡착제의 충전 용량 전체에 대하여 소정의 충전 비율(체적비율)이 되도록 조정되어 있다. 구체적으로는, 제1 흡착제(131)의 충전 비율이 15 내지 75vol%, 바람직하게는 15 내지 65vol%의 범위로 되고, 제2 흡착제(132)의 충전 비율이 15 내지 75vol%, 바람직하게는 25 내지 75vol%의 범위로 되며, 제3 흡착제(133)의 충전 비율이 5 내지 30vol%, 바람직하게는 5 내지 20vol%의 범위로 되어 있다. 제1 내지 제3 흡착제(131, 132, 133)의 각각의 충전 비율의 합계는 100vol%이다.In addition, the first to third adsorbents 131, 132, and 133 are adjusted to have a predetermined filling ratio (volume ratio) with respect to the total filling capacity of the adsorbent. Specifically, the filling ratio of the first adsorbent 131 is in the range of 15 to 75 vol%, preferably 15 to 65 vol%, and the filling ratio of the second adsorbent 132 is 15 to 75 vol%, preferably 25 to 75 vol%, and the filling ratio of the third adsorbent 133 is in the range of 5 to 30 vol%, preferably 5 to 20 vol%. The sum of the respective filling ratios of the first to third adsorbents 131 , 132 and 133 is 100 vol%.

원료가스 공급원(21)은, 흡착탑(10A, 10B, 10C) 내에 공급하는 원료가스를 저류시키기 위한 압력용기이다. 원료가스에 포함되는 휘발성 방향족 화합물의 농도는 특별히 한정되지 않지만, 수소 또는 헬륨의 압력과 휘발성 방향족 화합물의 농도에 따라서는, 배관 내에서 휘발성 방향족 화합물이 액화될 우려가 있다. 따라서, 원료가스 공급원(21)으로부터 흡착탑(10A, 10B, 10C)에 이르기까지의 배관(후술하는 라인(31)의 주간로(31'))은 가온시키고/시키거나 흡착탑(10A, 10B, 10C) 전의 주간로(31')에 미스트 트랩 등을 설치하거나 하는 것이 바람직하다. 원료가스 공급원(21)으로부터 공급되는 원료가스의 압력은 특별히 한정하지 않지만, 고압일수록 바람직하고, 필요에 따라서 주간로(31')에 압축기(도시 생략)를 설치한다. 또한, 원료가스 공급원(21)으로부터 공급되는 수소 또는 헬륨에 불순물로서 물이 포함될 경우에는, 라인(31)의 주간로(31')에 수분제거장치(도시 생략)를 설치하는 것이 바람직하다. PSA법에 의한 조작 온도는 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 10 내지 40℃ 정도로 된다. 단, 전술한 바와 같이 휘발성 방향족 화합물이 액화되지 않는 정도의 온도(상온 정도 이상)인 것이 바람직하다.The source gas supply source 21 is a pressure vessel for storing the source gas supplied into the adsorption towers 10A, 10B, and 10C. The concentration of the volatile aromatic compound contained in the raw material gas is not particularly limited, but depending on the pressure of hydrogen or helium and the concentration of the volatile aromatic compound, the volatile aromatic compound may be liquefied in the pipe. Accordingly, the piping from the source gas supply source 21 to the adsorption towers 10A, 10B, and 10C (the main path 31' of the line 31 to be described later) is heated and/or the adsorption towers 10A, 10B, 10C ) It is preferable to install a mist trap etc. in the main path 31' in front. Although the pressure of the source gas supplied from the source gas supply source 21 is not specifically limited, Higher pressure is preferable, and a compressor (not shown) is installed in the main path 31' as needed. In addition, when the hydrogen or helium supplied from the source gas supply source 21 contains water as an impurity, it is preferable to install a water removal device (not shown) in the main path 31 ′ of the line 31 . The operating temperature by the PSA method is not particularly limited, and is, for example, about 10 to 40°C. However, as mentioned above, it is preferable that it is a temperature (at least about room temperature) at which a volatile aromatic compound does not liquefy.

제품 저류 탱크(22)는 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 가스 통과구(12)로부터 배출되는 가스(후술하는 제품가스)를 저류시키기 위한 압력용기이다.The product storage tank 22 is a pressure vessel for storing gas (a product gas to be described later) discharged from the gas passage ports 12 of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C.

오프가스 탱크(23)는 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 가스 통과구(11)로부터 배출되는 오프가스를 저류시키기 위한 압력용기이다.The off-gas tank 23 is a pressure vessel for storing the off-gas discharged from the gas passage ports 11 of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C.

냉각기(24)는 오프가스를 냉각시킨다. 기액분리기(25)는, 냉각기(24)를 거친 오프가스를 소정의 압력하에서 응축시켜 기상성분과 액상성분으로 분리시킨다. "기액분리수단"이란 용어에는, 상기 냉각기(24) 및 상기 기액분리기(25)가 포함된다.The cooler 24 cools the offgas. The gas-liquid separator 25 condenses the off-gas that has passed through the cooler 24 under a predetermined pressure to separate the gas-phase component and the liquid-phase component. The term "gas-liquid separation means" includes the cooler 24 and the gas-liquid separator 25 .

라인(31)은, 원료가스 공급원(21)이 접속되는 주간로(31'), 및 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각 가스 통과구(11) 측에 각각이 접속된 분지로(31A, 31B, 31C)를 구비한다. 분지로(31A, 31B, 31C)에는, 개방 상태와 폐쇄 상태 사이에서 자동적으로 전환 가능한 밸브(이하, 이러한 기능을 갖는 밸브를 "자동밸브"라 칭함)(31a, 3lb, 31c)가 설치되어 있다.The line 31 is a main path 31' to which the source gas supply source 21 is connected, and a branch path 31A respectively connected to the gas passage ports 11 side of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C. 31B, 31C). In the branch passages 31A, 31B, and 31C, valves 31a, 3lb, and 31c that can be automatically switched between an open state and a closed state (hereinafter, a valve having such a function is referred to as an "automatic valve") are provided. .

라인(32)은, 냉각기(24) 및 기액분리기(25)가 설치된 주간로(32'), 및, 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각 가스 통과구(11) 측에 각각이 접속된 분지로(32A, 32B, 32C)를 구비한다. 또한, 주간로(32')에는, 냉각기(24)보다도 상류 측에 오프가스 탱크(23)가 설치되어 있다. 주간로(32')에 있어서의 오프가스 탱크(23)와 냉각기(24) 사이에는, 압력조절밸브(321)가 설치되어 있다. 분지로(32A, 32B, 32C)에는 자동밸브(32a, 32b, 32c)가 설치되어 있다.The line 32 is a branch connected to the main path 32' in which the cooler 24 and the gas-liquid separator 25 are installed, and to the gas passage port 11 side of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, respectively. furnaces 32A, 32B, and 32C are provided. Moreover, the off-gas tank 23 is provided in the main path 32' on the upstream side of the cooler 24. As shown in FIG. A pressure regulating valve 321 is provided between the off-gas tank 23 and the cooler 24 in the main path 32'. Automatic valves 32a, 32b, and 32c are installed in the branch furnaces 32A, 32B, and 32C.

라인(33)은, 제품 저류 탱크(22)가 설치된 주간로(33'), 및 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각 가스 통과구(12) 측에 각각이 접속된 분지로(33A, 33B, 33C)를 구비한다. 분지로(33A, 33B, 33C)에는 자동밸브(33a, 33b, 33c)가 설치되어 있다. 주간로(33')에 있어서의 제품 저류 탱크(22)의 하류측에는, 압력조절밸브(331)가 설치되어 있다.The line 33 is a main furnace 33' in which the product storage tank 22 is installed, and branch furnaces 33A and 33B respectively connected to the gas passage ports 12 sides of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C. , 33C) is provided. Automatic valves 33a, 33b, 33c are installed in the branch furnaces 33A, 33B, and 33C. A pressure regulating valve 331 is provided on the downstream side of the product storage tank 22 in the main path 33'.

라인(34)은, 라인(33)(주간로(33'))을 통류하는 제품가스의 일부를 흡착탑(10A, 10B, 10C)에 공급하기 위한 것이고, 라인(33)의 주간로(33')에 접속된 주간로(34'), 및, 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각 가스 통과구(12) 측에 각각이 접속된 분지로(34A, 34B, 34C)를 구비한다. 주간로(34')에는 자동밸브(341) 및 유량조정밸브(342)가 설치되어 있다. 분지로(34A, 34B, 34C)에는 자동밸브(34a, 34b, 34c)가 설치되어 있다.Line 34 is for supplying a part of product gas flowing through line 33 (main path 33') to adsorption towers 10A, 10B, 10C, and main path 33' of line 33 ), and branch furnaces 34A, 34B, and 34C respectively connected to the gas passage ports 12 side of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C. An automatic valve 341 and a flow rate control valve 342 are provided in the main path 34'. Automatic valves 34a, 34b, and 34c are installed in the branch furnaces 34A, 34B, and 34C.

라인(35)은, 흡착탑(10A, 10B, 10C) 중 어느 2개를 서로 접속하기 위한 것이고, 라인(34)의 주간로(34')에 접속된 주간로(35'), 및 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각 가스 통과구(12) 측에 각각이 접속된 분지로(35A, 35B, 35C)를 구비한다. 주간로(35')에는 자동밸브(351) 및 유량조정밸브(352)가 설치되어 있다. 분지로(35A, 35B, 35C)에는 자동밸브(35a, 35b, 35c)가 설치되어 있다.The line 35 is for connecting any two of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C to each other, and the main path 35' connected to the main path 34' of the line 34, and the adsorption tower 10A , 10B, and 10C are provided with branch furnaces 35A, 35B, and 35C respectively connected to the gas passage port 12 side. An automatic valve 351 and a flow rate control valve 352 are installed in the main path 35'. Automatic valves 35a, 35b, 35c are installed in the branch furnaces 35A, 35B, and 35C.

이상과 같은 구성을 갖는 정제장치(X)를 사용해서, 본 발명의 실시형태에 따른 수소의 정제방법을 실시할 수 있다. 정제장치(X)의 가동 시에 있어서, 자동밸브(31a 내지 31c, 32a 내지 32c, 33a 내지 33c, 34a 내지 34c, 35a 내지 35c, 341, 351) 및 유량조정밸브(342, 352)를 적당히 전환시킴으로써, 장치 내에 있어서 소망의 가스의 흐름 상태를 실현하고, 이하의 단계 1 내지 9로 이루어진 1사이클을 반복할 수 있다. 본 방법의 1사이클에 있어서는, 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각각에서, 흡착 공정, 감압 공정, 균압 감압, 탈착 공정, 세정 공정, 균압 승압 및 승압 공정이 행해진다. 도 2a 내지 2i는, 단계 1 내지 9에 있어서의 정제장치(X)에서의 가스의 흐름 상태를 모식적으로 나타낸 것이다. 한편, 도 2a 내지 2i에 있어서는, 이하의 약호를 사용하고 있다.The hydrogen purification method according to the embodiment of the present invention can be implemented using the purification apparatus X having the above configuration. During operation of the purification apparatus X, the automatic valves 31a to 31c, 32a to 32c, 33a to 33c, 34a to 34c, 35a to 35c, 341, 351 and the flow rate control valves 342 and 352 are appropriately switched. By doing so, a desired gas flow state in the device is realized, and one cycle consisting of the following steps 1 to 9 can be repeated. In one cycle of this method, in each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, an adsorption step, a pressure reduction step, a pressure equalization pressure reduction, a desorption step, a washing step, a pressure equalization step, and a pressure increase step are performed. 2A to 2I schematically show the flow state of the gas in the purification apparatus X in steps 1 to 9. FIG. In addition, in FIGS. 2A-2I, the following abbreviations are used.

AS: 흡착 공정AS: adsorption process

DP: 감압 공정DP: decompression process

DS: 탈착 공정DS: Desorption process

RN: 세정 공정RN: cleaning process

PR: 승압 공정PR: step-up process

Eq-DP: 균압 감압 공정Eq-DP: Equal pressure decompression process

Eq-PR: 균압 승압 공정Eq-PR: Equalization and Step-Up Process

단계 1에서는, 자동밸브(31a, 33a, 32b, 34b, 35c, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2a에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다.In step 1, the automatic valves 31a, 33a, 32b, 34b, 35c, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2A is achieved.

흡착탑(10A)에 있어서는, 원료가스가 라인(31)을 개재해서 가스 통과구(11)로부터 도입되어서, 흡착 공정이 행해진다. 흡착 공정에 있는 흡착탑(10A) 내는 소정의 고압상태로 유지되어 있고, 원료가스 중의 주로 휘발성 방향족 화합물이 흡착탑(10A) 내의 흡착제에 흡착된다. 그리고, 흡착탑(10A)의 가스 통과구(12) 측에서부터 수소가 농축된 가스(제품가스)가 배출된다. 해당 제품가스는, 분지로(33A) 및 주간로(33')를 개재해서 제품 저류 탱크(22)에 송출된다. 또, 제품 저류 탱크(22) 내의 제품가스는, 압력조절밸브(331)를 개재해서 적절하게 계 밖으로 취출되어서, 소망의 용도에 이용된다.In the adsorption tower 10A, the source gas is introduced from the gas passage port 11 via the line 31, and the adsorption process is performed. The inside of the adsorption tower 10A in the adsorption process is maintained at a predetermined high pressure state, and mainly volatile aromatic compounds in the source gas are adsorbed by the adsorbent in the adsorption tower 10A. Then, a hydrogen-concentrated gas (product gas) is discharged from the gas passage port 12 side of the adsorption tower 10A. The product gas is sent to the product storage tank 22 via the branch furnace 33A and the main furnace 33'. In addition, the product gas in the product storage tank 22 is appropriately taken out of the system via the pressure regulating valve 331, and is used for a desired use.

여기에서, 흡착탑(10A)에 도입되는 원료가스에 있어서의 휘발성 방향족 화합물의 농도에 대해서, 특별히 제한은 없지만, 예를 들면, 100volppm 내지 1vol% 정도로 된다. 흡착 공정에 있는 흡착탑(10A)의 내부의 최고압력(흡착 압력)은, 예를 들면, 0.1 내지 1.0㎫G(G는 게이지압인 것을 나타내며, 이하도 동일함)이며, 바람직하게는 0.5 내지 0.8㎫G이다.Here, although there is no restriction|limiting in particular about the density|concentration of the volatile aromatic compound in the source gas introduce|transduced into 10 A of adsorption towers, For example, it is set to about 100 volppm - 1 vol%. The maximum pressure (adsorption pressure) inside the adsorption tower 10A in the adsorption step is, for example, 0.1 to 1.0 MPaG (G represents a gauge pressure, the same applies below), preferably 0.5 to 0.8 MPa It is G.

또한, 단계 1에서는, 흡착탑(10B, 10C) 각각의 가스 통과구(12)가 라인(34, 35)을 개재해서 연통되고 있다. 흡착탑(10B)에 대해서는 먼저 탈착 공정을 행하고 있고, 흡착탑(10C)에 대해서는 먼저 흡착 공정을 행하고 있었기 때문에(도 2i에 나타낸 단계 9 참조), 단계 1의 개시 시에는, 흡착탑(10C)이 흡착탑(10B)보다도 탑 내의 압력이 높은 상태에 있다. 그리고, 단계 1의 개시 후에 있어서, 흡착탑(10C)에서는 감압 공정이 행해져서, 흡착탑(10C)의 탑 내에 잔류하고 있는 불순물 농도가 낮은 가스(잔류 농축 수소 가스)가 가스 통과구(12)로부터 배출되어, 탑 내 압력이 저하된다. 단계 1의 개시 시와 종료 시에 있어서의 흡착탑(10C)의 탑 내 압력의 차이는, 예를 들면, 300㎪ 정도이다. 한편, 흡착탑(10B)에서는 세정 공정이 행해져, 흡착탑(10C)으로부터 배출된 잔류 농축 수소 가스가, 라인(35), 유량조정밸브(352) 및 라인(34)을 개재해서 세정 가스로서 가스 통과구(12)로부터 도입되고, 또한 탑 내에 잔류하는 가스를 배출한다. 여기서 흡착탑(10B)으로부터 배출되는 가스는, 휘발성 방향족 화합물의 농도가 높은 가스이며, 해당 가스는 오프가스로서 라인(32)을 개재해서 오프가스 탱크(23)에 보내진다. 단계 1의 종료 시에 있어서, 흡착탑(10C)의 탑 내 압력이 흡착탑(10B)의 탑 내 압력보다도 높다. 단계 1의 조작 시간은, 예를 들면, 75초 정도로 된다.In addition, in step 1, the gas passage ports 12 of each of the adsorption towers 10B and 10C are connected via the lines 34 and 35. As shown in FIG. Since the adsorption tower 10B was first subjected to a desorption step, and the adsorption tower 10C was first subjected to an adsorption step (see step 9 shown in Fig. 2i), at the start of step 1, the adsorption tower 10C was The pressure in the tower is higher than that of 10B). Then, after the start of step 1, a decompression process is performed in the adsorption tower 10C, and the gas (residual concentrated hydrogen gas) with a low impurity concentration remaining in the tower of the adsorption tower 10C is discharged from the gas passage port 12 . As a result, the pressure in the tower decreases. The difference between the pressure in the tower of the adsorption tower 10C at the start and the end of step 1 is, for example, about 300 kPa. On the other hand, in the adsorption tower 10B, a washing process is performed, and the residual concentrated hydrogen gas discharged from the adsorption tower 10C is discharged as a washing gas through a line 35, a flow rate adjustment valve 352 and a line 34 through the gas passage port. The gas introduced from (12) and remaining in the tower is discharged. Here, the gas discharged|emitted from the adsorption tower 10B is a gas with a high concentration of a volatile aromatic compound, and this gas is sent to the off-gas tank 23 via the line 32 as an off-gas. At the end of step 1, the pressure in the tower of the adsorption tower 10C is higher than the pressure in the tower of the adsorption tower 10B. The operation time of step 1 is, for example, about 75 seconds.

단계 2에서는, 자동밸브(31a, 33a, 34b, 35c, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2b에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다.In step 2, the automatic valves 31a, 33a, 34b, 35c, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the flow state of the gas as shown in Fig. 2B is achieved.

단계 2에서는, 흡착탑(10A)에 있어서 계속 흡착 공정이 행해진다. 또한, 단계 2에 있어서도, 흡착탑(10B, 10C) 각각의 가스 통과구(12, 12)가 라인(34, 35)을 개재해서 연통되고 있다. 한편, 흡착탑(10B)에 대해서는 자동밸브(32b)가 폐쇄되어 있다. 그리고, 단계 2의 개시 시에 있어서, 흡착탑(10C)의 탑 내쪽이 흡착탑(10B)의 탑 내보다도 여전히 고압으로 되어 있다. 그 때문에, 흡착탑(10C)에서는 균압 감압이 행해지고, 흡착탑(10B)에서는 균압 승압이 행해진다. 보다 구체적으로는, 흡착탑(10C)의 탑 내 가스가 라인(35, 34)을 개재해서 흡착탑(10B)에 도입되어, 흡착탑(10C)의 탑 내가 감압되는 동시에, 흡착탑(10B)의 탑 내가 승압된다. 이 결과, 흡착탑(10B, 10C)에 있어서는, 내부압력이 실질적으로 동등해진다. 단계 2의 조작 시간은, 예를 들면, 15초 정도로 된다.In step 2, an adsorption process is performed continuously in 10 A of adsorption towers. Also in step 2, the gas passage ports 12 and 12 of the adsorption towers 10B and 10C are connected through the lines 34 and 35 respectively. On the other hand, the automatic valve 32b is closed with respect to the adsorption tower 10B. And at the time of the start of Step 2, the inside of the tower of the adsorption tower 10C is still higher pressure than the inside of the tower of the adsorption tower 10B. Therefore, pressure equalization and pressure reduction are performed in the adsorption tower 10C, and pressure equalization pressure increase is performed in the adsorption tower 10B. More specifically, the gas in the tower of the adsorption tower 10C is introduced into the adsorption tower 10B via the lines 35 and 34, and the pressure in the tower of the adsorption tower 10C is reduced while the pressure in the tower of the adsorption tower 10B is increased. do. As a result, in the adsorption towers 10B, 10C, the internal pressure becomes substantially equal. The operation time of step 2 is, for example, about 15 seconds.

단계 3에서는, 자동밸브(31a, 33a, 34b, 32c, 341) 및 유량조정밸브(342)가 개방되어, 도 2c에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다.In step 3, the automatic valves 31a, 33a, 34b, 32c, 341 and the flow control valve 342 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2C is achieved.

단계 3에서는, 흡착탑(10A)에 있어서 계속 흡착 공정이 행해진다. 또한, 단계 3에서는, 흡착탑(10B, 10C)의 연통을 차단하는 한편, 흡착탑(10A)의 가스 통과구(12)로부터 배출된 제품가스의 일부를 라인(34) 및 유량조정밸브(342)를 개재해서 흡착탑(10B)에 도입시켜, 흡착탑(10B)의 승압 공정이 행해진다.In step 3, the adsorption process is performed continuously in 10 A of adsorption towers. In addition, in step 3, while blocking the communication between the adsorption towers 10B and 10C, a part of the product gas discharged from the gas passage port 12 of the adsorption tower 10A is connected to the line 34 and the flow rate control valve 342. It introduces into the adsorption tower 10B through the intervening, and the pressure-increasing process of the adsorption tower 10B is performed.

또한, 단계 3에서는, 흡착탑(10C)에 대해서는, 자동밸브(32c)가 개방됨으로써 라인(32)을 개재해서 오프가스 탱크(23)와 연통하고 있다. 이것에 의해, 흡착탑(10C)에서는 탈착 공정이 행해지고, 흡착탑(10C)의 탑 내가 감압되어서 흡착제로부터 불순물(주로 휘발성 방향족 화합물)이 탈착되고, 탑 내의 가스(휘발성 방향족 화합물의 농도가 높은 가스)가 가스 통과구(11)를 통해서 오프가스로서 탑 밖으로 배출된다. 탈착 공정에 있는 흡착탑(10C)의 내부의 최저압력(탈착 압력)은, 예를 들면, 0 내지 50㎪G이며, 바람직하게는 0 내지 20㎪G이다. 흡착탑(10C)으로부터 배출된 오프가스는, 라인(32)을 개재해서 오프가스 탱크(23)에 보내진다. 오프가스 탱크(23) 내의 가스는, 압력조절밸브(321)를 개재해서 적절하게 냉각기(24)에 보내지고, 또한 기액분리기(25)를 통과함으로써 휘발성 방향족 화합물은 액화되어, 액체 상태로서 회수할 수 있다. 단계 3에서의 조작 시간은, 예를 들면, 135초 정도로 된다. 상기 단계 1 내지 3은 단계 1 내지 9에 의해 구성되는 사이클의 1/3에 상당하고, 이들 단계 1 내지 3의 공정시간은 합계 225초 정도이다.In addition, in step 3, about 10 C of adsorption towers, the automatic valve 32c is opened and it is communicating with the off-gas tank 23 via the line 32. As shown in FIG. Thereby, the desorption process is performed in the adsorption tower 10C, the pressure inside the tower of the adsorption tower 10C is decompressed, impurities (mainly volatile aromatic compounds) are desorbed from the adsorbent, and the gas in the tower (gas with a high concentration of volatile aromatic compounds) is It is discharged out of the tower as off-gas through the gas passage 11 . The minimum pressure (desorption pressure) inside the adsorption tower 10C in a desorption process is 0-50 kPaG, for example, Preferably it is 0-20 kPaG. The off-gas discharged|emitted from 10 C of adsorption towers is sent to the off-gas tank 23 via the line 32. As shown in FIG. The gas in the off-gas tank 23 is appropriately sent to the cooler 24 via the pressure regulating valve 321, and passes through the gas-liquid separator 25 to liquefy the volatile aromatic compound and recover it as a liquid. can The operation time in step 3 is, for example, about 135 seconds. The above steps 1 to 3 correspond to 1/3 of the cycle constituted by steps 1 to 9, and the process time of these steps 1 to 3 is about 225 seconds in total.

이후의 단계 4 내지 6에서는, 도 2d 내지 2f에 나타낸 바와 같이, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10A)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10B)에 대해서 행하고, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10B)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10C)에 대해서 행하고, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10C)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10A)에 대해서 행한다.In subsequent steps 4 to 6, as shown in FIGS. 2D to 2F, the operation performed for the adsorption tower 10A in steps 1 to 3 is performed to the adsorption tower 10B, and the adsorption tower 10B in steps 1 to 3 The operation performed with respect to 10 C of adsorption towers is performed with respect to 10 C of adsorption towers, and the operation performed with respect to 10 C of adsorption towers in steps 1 to 3 is performed with respect to 10 A of adsorption towers.

단계 4에서는, 자동밸브(31b, 33b, 32c, 34c, 35a, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2d에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 단계 5에서는, 자동밸브(31b, 33b, 34c, 35a, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2e에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 단계 6에서는, 자동밸브(31b, 33b, 34c, 32a, 341) 및 유량조정밸브(342)가 개방되어, 도 2f에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 상세한 설명은 생략하지만, 단계 4, 5, 6에서는, 흡착탑(10A)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10C)과 같은 조작을 순차 수행하고, 흡착탑(10B)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10A)과 같은 조작을 순차 수행하며, 흡착탑(10C)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10B)과 같은 조작을 순차 수행한다.In step 4, the automatic valves 31b, 33b, 32c, 34c, 35a, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2D is achieved. In step 5, the automatic valves 31b, 33b, 34c, 35a, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2E is achieved. In step 6, the automatic valves 31b, 33b, 34c, 32a, 341 and the flow control valve 342 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2F is achieved. Although detailed description is omitted, in steps 4, 5, and 6, the adsorption tower 10A sequentially performs the same operations as the adsorption tower 10C in steps 1, 2, and 3, and the adsorption tower 10B performs steps 1, 2, The same operations as in the adsorption tower 10A in step 3 are sequentially performed, and the adsorption tower 10C sequentially performs the same operations as in the adsorption tower 10B in steps 1, 2 and 3.

이후의 단계 7 내지 9에서는, 도 2g 내지 2i에 나타낸 바와 같이, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10A)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10C)에 대해서 행하고, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10B)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10A)에 대해서 행하고, 단계 1 내지 3에 있어서 흡착탑(10C)에 대해서 행한 조작을 흡착탑(10B)에 대해서 행한다.In the subsequent steps 7 to 9, as shown in FIGS. 2G to 2I, the operation performed for the adsorption tower 10A in steps 1 to 3 is performed to the adsorption tower 10C, and the adsorption tower 10B in steps 1 to 3 The operation performed with respect to the adsorption tower 10A is performed with respect to the adsorption tower 10A, and the operation performed with respect to the adsorption tower 10C in steps 1-3 is performed with respect to the adsorption tower 10B.

단계 7에서는, 자동밸브(31c, 33c, 32a, 34a, 35b, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2g에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 단계 8에서는, 자동밸브(31c, 33c, 34a, 35b, 351) 및 유량조정밸브(352)가 개방되어, 도 2h에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 단계 9에서는, 자동밸브(31c, 33c, 34a, 32b, 341) 및 유량조정밸브(342)가 개방되어, 도 2i에 나타낸 바와 같은 가스의 흐름 상태가 달성된다. 상세한 설명은 생략하지만, 단계 7, 8, 9에서는, 흡착탑(10A)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10B)과 같은 조작을 순차 수행하고, 흡착탑(10B)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10C)과 같은 조작을 순차 수행하며, 흡착탑(10C)은 단계 1, 2, 3에 있어서의 흡착탑(10A)과 같은 조작을 순차 수행한다.In step 7, the automatic valves 31c, 33c, 32a, 34a, 35b, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the flow state of the gas as shown in Fig. 2G is achieved. In step 8, the automatic valves 31c, 33c, 34a, 35b, 351 and the flow control valve 352 are opened, so that the gas flow state as shown in Fig. 2H is achieved. In step 9, the automatic valves 31c, 33c, 34a, 32b, 341 and the flow control valve 342 are opened, so that the flow state of the gas as shown in Fig. 2I is achieved. Although detailed description is omitted, in steps 7, 8, and 9, the adsorption tower 10A sequentially performs the same operations as the adsorption tower 10B in steps 1, 2, and 3, and the adsorption tower 10B performs steps 1, 2, The same operations as in the adsorption tower 10C in step 3 are sequentially performed, and the adsorption tower 10C sequentially performs the same operations as in the adsorption tower 10A in steps 1, 2 and 3.

그리고, 이상의 단계 1 내지 9로 이루어진 사이클이 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각각에 있어서 반복해서 행해짐으로써, 흡착탑(10A, 10B, 10C) 중 어느 하나에 원료가스가 연속적으로 도입되고, 또한, 농축 수소 가스(제품가스)가 연속적으로 취득된다.And, by repeatedly performing the cycle consisting of the above steps 1 to 9 in each of the adsorption towers 10A, 10B, 10C, the source gas is continuously introduced into any one of the adsorption towers 10A, 10B, 10C, Concentrated hydrogen gas (product gas) is continuously acquired.

본 실시형태의 수소의 정제방법에 있어서, 흡착탑(10A, 10B, 10C)의 각각에 있어서 실시되는 PSA법에 의한 1사이클에 대해서, 흡착 공정 후, 탑 내의 잔류 가스를 탈착 공정 후의 다른 흡착탑에 도입해서, 세정 공정을 행한다. 흡착 공정 종료 후의 흡착탑 내의 가스는 불순물 농도가 낮은 가스(잔류 농축 수소 가스)이며, 해당 가스를 이용해서 탈착 공정 후의 흡착탑을 효율적으로 세정할 수 있다. 또한, 제품가스를 세정을 위하여 사용하지 않으므로, 수소의 회수율 저하를 억제할 수 있다.In the hydrogen purification method of this embodiment, for one cycle by the PSA method performed in each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, after the adsorption step, the residual gas in the tower is introduced into another adsorption tower after the desorption step. Then, a washing process is performed. The gas in the adsorption tower after completion of the adsorption step is a gas having a low impurity concentration (residual concentrated hydrogen gas), and the adsorption tower after the desorption step can be efficiently washed using the gas. In addition, since the product gas is not used for cleaning, a decrease in the recovery rate of hydrogen can be suppressed.

각 흡착탑(10A, 10B, 10C)에 충전되는 흡착제에 대해서는, 원료가스의 흐름 방향에 있어서 가장 상류측에, 제1 흡착제(131)로서의 실리카겔계 흡착제가 충전되어 있다. 실리카겔계 흡착제는, 0.1 내지 1.0㎫G(=100 내지 1000㎪G)의 고압에서의 불순물(휘발성 방향족 화합물)의 흡착능이 우수하고, 대기압 이상인 0 내지 50㎪G에서의 최저압력(탈착 공정)에서도 휘발성 방향족 화합물이 탈착되어 재생 가능하다. 이 제1 흡착제(131)가 흡착제 충전 용량 전체의 15 내지 75vol% 사용되고 있다. 이 결과, 휘발성 방향족 화합물을 효율적으로 흡착 제거할 수 있고, 또 진공설비가 불필요하므로, 비용 삭감을 도모할 수 있다. 또한, 제1 흡착제(131)로서 친수성 실리카겔을 이용하면, 전처리를 행하는 일 없이 휘발성 방향족 화합물을 적절하게 흡착 제거할 수 있어, 비용 삭감에 이바지한다.With respect to the adsorbent charged in each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, the silica gel adsorbent as the first adsorbent 131 is filled on the most upstream side in the flow direction of the raw material gas. Silica gel-based adsorbents have excellent adsorption capacity of impurities (volatile aromatic compounds) at a high pressure of 0.1 to 1.0 MPaG (= 100 to 1000 kPaG), and even at the lowest pressure (desorption process) at 0 to 50 kPaG above atmospheric pressure. Volatile aromatic compounds can be desorbed and regenerated. The first adsorbent 131 is used in an amount of 15 to 75 vol% of the total adsorbent filling capacity. As a result, volatile aromatic compounds can be efficiently adsorbed and removed, and since a vacuum installation is not required, cost reduction can be achieved. In addition, when hydrophilic silica gel is used as the first adsorbent 131, volatile aromatic compounds can be appropriately adsorbed and removed without pretreatment, which contributes to cost reduction.

또, 제1 흡착제(131)의 충전 비율이 15vol% 미만이면, 휘발성 방향족 화합물을 충분히 제거할 수 없게 될 우려가 있다. 그 한편, 제1 흡착제(131)의 충전 비율이 75vol%를 초과하면, 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)에 있어서 잔류하는 세정 가스의 비율이 저하되고, 세정 가스량이 감소되어 세정 공정에 있어서의 세정이 불충분해질 우려가 있다.Moreover, when the filling ratio of the 1st adsorbent 131 is less than 15 vol%, there exists a possibility that a volatile aromatic compound may become unable to be fully removed. On the other hand, when the filling ratio of the first adsorbent 131 exceeds 75 vol%, the ratio of the cleaning gas remaining in the second adsorbent 132 and the third adsorbent 133 is lowered, and the amount of the cleaning gas is reduced to perform cleaning. There exists a possibility that washing|cleaning in a process may become inadequate.

제1 흡착제(131)의 후단(하류측)에 적층된, 제2 흡착제(132)(제올라이트계 흡착제) 및 제3 흡착제(133)(활성탄계 흡착제)에 있어서는, 휘발성 방향족 화합물을 흡착시키지 않는다. 즉, 흡착 공정은 제1 흡착제(131)가 휘발성 방향족 화합물로 포화되기 전에 종료되고 있고, 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)는, 휘발성 방향족 화합물을 실질적으로 흡착하지 않는다. 그 한편, 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)는, 제1 흡착제(131)와 비교하면, 보다 많은 수소를 흡착한다. 이것에 의해, 흡착 공정이 종료되어 감압 공정에 있는 흡착탑으로부터 배출되어서, 탈착 공정이 종료되어 세정 공정에 있는 다른 흡착탑의 세정에 사용되는 세정 가스는, 감압 공정 개시 시에 탑 내에 잔류하는 농축 수소 가스(주로 가스 통과구(12)로부터 가까운, 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)의 충전 영역에 있는 가스) 이외에, 제2 흡착제(132) 및 제3 흡착제(133)로부터 탈착되는 수소가 가해진다. 그 결과, 수소 함유량이 높아진 세정 가스를 이용해서 탈착 공정 종료 후의 흡착탑을 효과적으로 세정할 수 있다.The second adsorbent 132 (zeolite-based adsorbent) and the third adsorbent 133 (activated carbon-based adsorbent) laminated on the rear end (downstream side) of the first adsorbent 131 do not adsorb volatile aromatic compounds. That is, the adsorption process is terminated before the first adsorbent 131 is saturated with the volatile aromatic compound, and the second adsorbent 132 and the third adsorbent 133 do not substantially adsorb the volatile aromatic compound. On the other hand, the second adsorbent 132 and the third adsorbent 133 adsorb more hydrogen than the first adsorbent 131 . As a result, the adsorption process is completed and discharged from the adsorption tower in the depressurization step, and the cleaning gas used for cleaning the other adsorption towers in the cleaning step after the desorption step is completed is concentrated hydrogen gas remaining in the tower at the start of the decompression step. Hydrogen desorbed from the second adsorbent 132 and the third adsorbent 133 in addition to (mainly the gas in the filling region of the second adsorbent 132 and the third adsorbent 133, close to the gas passage 12) is applied As a result, the adsorption tower after completion of the desorption process can be effectively washed using the cleaning gas having a high hydrogen content.

이상, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니고, 발명의 사상으로부터 일탈하지 않는 범위 내에서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면, 본 발명에 따른 수소 또는 헬륨의 정제방법을 실시하는 장치에 있어서의 가스 유로를 이루는 라인(배관)의 구성에 대해서는, 상기 실시형태와는 다른 구성을 채용해도 된다. 흡착탑의 수에 대해서는 상기 실시형태에서 나타낸 3탑식만으로 한정되는 것은 아니고, 4탑 이상인 경우에도 마찬가지의 효과를 기대할 수 있다.As mentioned above, although specific embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this, Various changes are possible within the range which does not deviate from the idea of invention. For example, as for the configuration of the line (pipe) forming the gas flow path in the apparatus for performing the hydrogen or helium purification method according to the present invention, a configuration different from that of the above embodiment may be adopted. The number of adsorption towers is not limited to only the three tower type shown in the above embodiment, and the same effect can be expected even in the case of four or more towers.

또한, 상기 실시형태에서는, 수소를 정제할 경우에 대해서 설명했지만, 본 발명에 따른 정제방법에서 이용하는 흡착제(제1 흡착제, 제2 흡착제 및 제3 흡착제)에 대한 헬륨의 흡착능이 수소와 거의 같다. 따라서, 주성분인 헬륨과 불순물로서의 휘발성 방향족 화합물을 포함하는 원료가스로부터 헬륨을 농축 정제할 경우에 있어서도, 상기 실시형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘한다.In the above embodiment, the case of purifying hydrogen has been described, but the adsorption capacity of helium to the adsorbents (first adsorbent, second adsorbent, and third adsorbent) used in the purification method according to the present invention is substantially the same as that of hydrogen. Therefore, even when helium is concentrated and purified from a raw material gas containing helium as a main component and a volatile aromatic compound as an impurity, the same effects as in the above embodiment are exhibited.

실시예Example

다음에, 본 발명의 유용성을 실시예 및 비교예에 의해 설명한다.Next, the usefulness of this invention is demonstrated by an Example and a comparative example.

[실시예 1][Example 1]

본 실시예에서는, 도 1에 나타낸 정제장치(X)를 이용해서, 도 2를 참조해서 설명한 각 단계로 이루어진 압력변동 흡착법(PSA법)을 이용한 정제방법에 의해, 이하에 나타낸 조건 하에서, 원료가스로부터 제품가스로서의 농축 수소 가스를 취득했다.In this embodiment, the raw material gas is used under the conditions shown below by the purification method using the pressure swing adsorption method (PSA method) consisting of each step described with reference to FIG. 2 using the purification apparatus X shown in FIG. Concentrated hydrogen gas was obtained as a product gas from

흡착탑(10A, 10B, 10C)으로서는, 내경이 35㎜인 원통 형상인 것을 이용해서, 흡착제 충전 용량이 약 1ℓ(리터)로 되었다. 각 흡착탑(10A, 10B, 10C)에는, 가스 통과구(11)로부터 가스 통과구(12)를 향해서, 제1 흡착제(131)로서의 실리카겔 B형 (후지 시리시아카가쿠사(FUJI SILYSIACHEMICAL LTD.) 제품인 후지 실리카겔 B형), 제2 흡착제(132)로서의 CaA형 제올라이트(유니온쇼와사(UNION SHOWA K.K.) 제품인 5AHP), 제3 흡착제(133)로서의 활성탄(캬타라사(Cataler Corporation) 제품인 PGAR)을, 적층 충전했다. 이들 흡착제의 충전 비율(체적비율)은, 제1 흡착제(131)가 30vol%, 제2 흡착제(132)가 60vol%, 제3 흡착제(133)가 10vol%로 되었다. 원료가스에 대해서는, 불순물로서의 톨루엔을 8500volppm 함유하는 조질의 수소 가스가 이용되고, 해당 원료가스를 5.2Nℓ/min의 유량으로 공급했다. PSA법에 의한 조작 조건은, 흡착탑 등의 온도가 40℃, 흡착 압력이 0.8㎫G, 탈착 압력이 20㎪G, 세정 압력차가 300㎪, 사이클 타임(단계 1 내지 9로 구성되는 1사이클의 시간)이 675초로 되었다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 정량 하한 이하(0.1 volppm 이하)이며, 수소 가스 회수율은 75%였다. 본 실시예의 결과를 표 1에 나타내었다.As the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, a cylindrical one having an inner diameter of 35 mm was used, and the adsorbent filling capacity was about 1 L (liter). In each of the adsorption towers 10A, 10B, and 10C, from the gas passage port 11 toward the gas passage port 12, the silica gel type B (Fuji SILYSIACHEMICAL LTD.) product as the first adsorbent 131 is Fuji silica gel type B), CaA type zeolite (5AHP manufactured by UNION SHOWA KK) as the second adsorbent 132, and activated carbon (PGAR manufactured by Cataler Corporation) as the third adsorbent 133. , stacked and filled. As for the filling ratio (volume ratio) of these adsorbents, the first adsorbent 131 was 30 vol%, the second adsorbent 132 was 60 vol%, and the third adsorbent 133 was 10 vol%. As for the source gas, crude hydrogen gas containing 8500 volppm toluene as an impurity was used, and the source gas was supplied at a flow rate of 5.2 Nl/min. The operating conditions by the PSA method are: the temperature of the adsorption tower etc. is 40°C, the adsorption pressure is 0.8 MPaG, the desorption pressure is 20 kPaG, the washing pressure difference is 300 kPa, the cycle time (time of one cycle consisting of steps 1 to 9) ) became 675 seconds. In addition, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was below the lower limit of quantification (0.1 volppm or less), and the hydrogen gas recovery rate was 75% it was Table 1 shows the results of this example.

[실시예 2][Example 2]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 40vol%, 제2 흡착제(132) 50vol%, 제3 흡착제(133) 10vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 정량 하한 이하(0.1 volppm 이하)이며, 수소 가스 회수율은 70%였다. 본 실시예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the raw material gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was set to 40 vol% of the first adsorbent 131, 50 vol% of the second adsorbent 132, and 10 vol% of the third adsorbent 133. was done. In addition, when the impurity concentration in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was below the lower limit of quantification (0.1 volppm or less), and the hydrogen gas recovery rate was 70% it was Table 1 shows the results of this example.

[실시예 3][Example 3]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 20vol%, 제2 흡착제(132) 70vol%, 제3 흡착제(133) 10vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 정량 하한 이하(0.1 volppm 이하)이며, 수소 가스 회수율은 80%였다. 본 실시예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 20 vol% of the first adsorbent 131, 70 vol% of the second adsorbent 132, and 10 vol% of the third adsorbent 133. was done. In addition, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was below the lower limit of quantification (0.1 volppm or less), and the hydrogen gas recovery rate was 80% it was Table 1 shows the results of this example.

[실시예 4][Example 4]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 70vol%, 제2 흡착제(132) 20vol%, 제3 흡착제(133) 10vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 0.67volppm이며, 수소 가스 회수율은 92%였다. 본 실시예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 70 vol% of the first adsorbent 131, 20 vol% of the second adsorbent 132, and 10 vol% of the third adsorbent 133. was done. Further, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was 0.67 volppm, and the hydrogen gas recovery rate was 92%. Table 1 shows the results of this example.

[실시예 5][Example 5]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 30vol%, 제2 흡착제(132) 40vol%, 제3 흡착제(133) 30vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 0.43volppm이며, 수소 가스 회수율은 85%였다. 본 실시예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 30 vol% of the first adsorbent 131, 40 vol% of the second adsorbent 132, and 30 vol% of the third adsorbent 133. was done. In addition, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was 0.43 volppm, and the hydrogen gas recovery rate was 85%. Table 1 shows the results of this example.

[비교예 1][Comparative Example 1]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 80vol%, 제2 흡착제(132) 10vol%, 제3 흡착제(133) 10vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 2000volppm이며, 수소 가스 회수율은 90%였다. 본 비교예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 80 vol% of the first adsorbent 131, 10 vol% of the second adsorbent 132, and 10 vol% of the third adsorbent 133. was done. Further, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was 2000 volppm, and the hydrogen gas recovery rate was 90%. Table 1 shows the results of this comparative example.

[비교예 2][Comparative Example 2]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 10vol%, 제2 흡착제(132) 80vol%, 제3 흡착제(133) 10vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 3000volppm이며, 수소 가스 회수율은 75%였다. 본 비교예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 10 vol% of the first adsorbent 131, 80 vol% of the second adsorbent 132, and 10 vol% of the third adsorbent 133. was done. In addition, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was 3000 volppm, and the hydrogen gas recovery rate was 75%. Table 1 shows the results of this comparative example.

[비교예 3][Comparative Example 3]

흡착제의 충전 비율을, 제1 흡착제(131) 30vol%, 제2 흡착제(132) 30vol%, 제3 흡착제(133) 40vol%로 한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 해서, 원료가스로부터 수소의 정제를 행하였다. 그 결과를 표 1에 나타내었다. 또한, 얻어진 농축 수소 가스(제품가스)에 있어서의 불순물 농도를 수소 화염 이온 검출기(FID)로 측정한 바, 제품가스 중의 톨루엔 농도는 2volppm이며, 수소 가스 회수율은 75%였다. 본 비교예의 결과를 표 1에 나타내었다.Purification of hydrogen from the source gas was carried out in the same manner as in Example 1, except that the filling ratio of the adsorbent was 30 vol% of the first adsorbent 131, 30 vol% of the second adsorbent 132, and 40 vol% of the third adsorbent 133. was done. The results are shown in Table 1. Further, when the concentration of impurities in the obtained concentrated hydrogen gas (product gas) was measured with a hydrogen flame ion detector (FID), the toluene concentration in the product gas was 2 volppm, and the hydrogen gas recovery rate was 75%. Table 1 shows the results of this comparative example.

흡착제의 충전 비율Adsorbent filling rate 수소가스
회수율
[%]
hydrogen gas
recovery rate
[%]
제품가스 중의 톨루엔 농도Toluene concentration in product gas
제1 흡착제first adsorbent 제2 흡착제second adsorbent 제3 흡착제tertiary adsorbent 실시예 1Example 1 6060 3030 1010 7575 0.1 volppm 이하0.1 volppm or less 실시예 2Example 2 4040 5050 1010 7070 0.1 volppm 이하0.1 volppm or less 실시예 3Example 3 2020 7070 1010 8080 0.1 volppm 이하0.1 volppm or less 실시예 4Example 4 7070 2020 1010 9292 0.67 volppm0.67 volppm 실시예 5Example 5 3030 4040 3030 8585 0.43 volppm0.43 volppm 비교예 1Comparative Example 1 8080 1010 1010 9090 2000 volppm2000 volppm 비교예 2Comparative Example 2 1010 8080 1010 7575 3000 volppm3000 volppm 비교예 3Comparative Example 3 3030 3030 4040 7575 2 volppm2 volppm

표 1로부터 명확한 바와 같이, 상기 각 실시예에 따르면, 수소 가스를 고순도로 정제할 수 있는 것이 확인된다.As is clear from Table 1, according to each of the above examples, it is confirmed that hydrogen gas can be purified with high purity.

X: 정제장치
10A, 10B, 10C: 흡착탑
11: 가스 통과구(제1 가스 통과구)
12: 가스 통과구(제2 가스 통과구)
131: 제1 흡착제
132: 제2 흡착제
133: 제3 흡착제
21: 원료가스 공급원
22: 제품 저류 탱크
23: 오프가스 탱크
24: 냉각기(기액분리수단)
25: 기액분리기(기액분리수단)
31: 라인(제1 라인)
32: 라인(제2 라인)
33: 라인(제3 라인)
34: 라인(제4 라인)
35: 라인(제5 라인)
31', 32', 33', 34', 35': 주간로
31A 내지 31C, 32A 내지 32C, 33A 내지 33C, 34A 내지 34C, 35A 내지 35C: 분지로
31a 내지 31c, 32a 내지 32c, 33a 내지 33c, 34a 내지 34c, 35a 내지 35c, 341, 351: 자동밸브
321, 331: 압력조절밸브
342, 352: 유량조정밸브
X: refiner
10A, 10B, 10C: adsorption tower
11: gas passage port (first gas passage port)
12: gas passage port (second gas passage port)
131: first adsorbent
132: second adsorbent
133: third adsorbent
21: source gas source
22: product storage tank
23: off-gas tank
24: cooler (gas-liquid separation means)
25: gas-liquid separator (gas-liquid separation means)
31: line (first line)
32: line (second line)
33: line (third line)
34: line (fourth line)
35: line (fifth line)
31', 32', 33', 34', 35': weekly
31A-31C, 32A-32C, 33A-33C, 34A-34C, 35A-35C: branched
31a to 31c, 32a to 32c, 33a to 33c, 34a to 34c, 35a to 35c, 341, 351: automatic valve
321, 331: pressure control valve
342, 352: flow control valve

Claims (11)

흡착제가 충전된 3탑 이상의 흡착탑을 이용해서 행하는 압력변동 흡착법의 사이클을 각 흡착탑에 대해서 반복함으로써, 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하는 원료가스로서의 조질의 수소 가스 또는 조질의 헬륨 가스로부터 수소 또는 헬륨을 정제하기 위한, 수소 또는 헬륨의 정제방법으로서, 상기 사이클은,
상기 흡착탑이 소정의 고압인 상태에서, 상기 흡착탑에 상기 원료가스를 도입해서 해당 원료가스 중의 상기 휘발성 방향족 화합물을 상기 흡착제에 흡착시키고, 해당 흡착탑으로부터 수소 또는 헬륨의 농도가 높은 제품가스를 배출하는 흡착 공정;
상기 흡착 공정을 종료한 상기 흡착탑으로부터 탑 내에 잔류하는 가스를 배출해서 탑 내의 압력을 저하시키는 감압 공정;
상기 감압 공정을 종료한 상기 흡착탑에 있어서의 상기 흡착제로부터 상기 휘발성 방향족 화합물을 탈착시키고, 탑 내 가스를 배출하는 탈착 공정; 및
상기 감압 공정에 있는 다른 흡착탑으로부터 배출된 가스를 상기 탈착 공정을 종료한 상기 흡착탑에 도입해서 탑 내에 잔류하는 가스를 배출하는 세정 공정을 포함하되,
상기 각 흡착탑은, 상기 흡착탑에 있어서의 상기 원료가스의 흐름 방향에 있어서 상류측에서부터 하류측을 향해서 차례로 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 구분되어 있고, 상기 제1 영역에는, 상기 흡착제의 충전 용량 전체에 대하여, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 실리카겔계의 제1 흡착제가 충전되어 있고, 상기 제2 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 제올라이트계의 제2 흡착제가 충전되어 있으며, 상기 제3 영역에는, 충전 비율이 5 내지 30vol%의 범위인 활성탄계의 제3 흡착제가 충전되어 있는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.
By repeating the cycle of the pressure swing adsorption method performed using three or more adsorption towers filled with adsorbents for each adsorption tower, hydrogen or helium is produced from crude hydrogen gas or crude helium gas as a source gas containing volatile aromatic compounds as impurities. A method for purifying hydrogen or helium for purification, wherein the cycle comprises:
In a state where the adsorption tower is at a predetermined high pressure, the source gas is introduced into the adsorption tower to adsorb the volatile aromatic compound in the source gas to the adsorbent, and a product gas having a high concentration of hydrogen or helium is discharged from the adsorption tower. fair;
a decompression step of lowering the pressure in the tower by discharging the gas remaining in the tower from the adsorption tower having completed the adsorption step;
a desorption step of desorbing the volatile aromatic compound from the adsorbent in the adsorption tower after the decompression step has been completed, and discharging gas in the tower; and
a cleaning process of introducing the gas discharged from another adsorption tower in the depressurization process into the adsorption tower where the desorption process has been completed and discharging the gas remaining in the tower,
Each of the adsorption towers is divided into a first area, a second area and a third area sequentially from an upstream side to a downstream side in the flow direction of the source gas in the adsorption tower, and in the first area, the adsorbent Based on the total filling capacity of is filled, and the third region is filled with an activated carbon-based third adsorbent having a filling ratio in the range of 5 to 30 vol%.
제1항에 있어서, 상기 제2 흡착제는 친수성 실리카겔을 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.The method of claim 1, wherein the second adsorbent comprises hydrophilic silica gel. 제1항에 있어서, 상기 제2 흡착제는 CaA형 제올라이트를 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.The method of claim 1, wherein the second adsorbent comprises a CaA-type zeolite. 제1항에 있어서, 상기 제3 흡착제는 야자 껍데기 활성탄 또는 석탄 활성탄을 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.The method of claim 1 , wherein the third adsorbent comprises coconut shell activated carbon or coal activated carbon. 제1항에 있어서, 상기 세정 공정과 상기 흡착 공정 사이에 상기 흡착탑의 압력을 소정의 흡착 압력까지 높이기 위한 승압 공정을 더 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.The method for purifying hydrogen or helium according to claim 1, further comprising a pressure increasing step for increasing the pressure of the adsorption tower to a predetermined adsorption pressure between the washing step and the adsorption step. 제5항에 있어서, 상기 감압 공정은, 상기 흡착탑으로부터 배출된 잔류 가스를 상기 세정 공정에 있는 다른 흡착탑에 세정 가스로서 도입하는 제1 감압 단계와, 해당 제1 감압 단계에 이어서, 상기 흡착탑으로부터 배출된 잔류 가스를 상기 승압 공정에 있는 다른 흡착탑에 도입하는 제2 감압 단계를 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.6. The method of claim 5, wherein the decompression step comprises a first decompression step of introducing the residual gas discharged from the adsorption tower as a cleaning gas to another adsorption tower in the cleaning step, and discharge from the adsorption tower following the first decompression step. A method for purifying hydrogen or helium, comprising a second reduced pressure step of introducing the remaining residual gas to another adsorption tower in the pressure boosting process. 제6항에 있어서, 상기 승압 공정은, 상기 제1 감압 단계에 있는 다른 흡착탑으로부터 배출된 잔류 가스를 상기 흡착탑에 도입하는 제1 승압 단계와, 해당 제1 승압 단계에 이어서, 상기 흡착 공정에 있는 다른 흡착탑으로부터의 제품가스의 일부를 상기 흡착탑에 도입하는 제2 승압 단계를 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제방법.The method according to claim 6, wherein the pressure-increasing process comprises a first pressure-increasing step of introducing the residual gas discharged from another adsorption tower in the first pressure-reducing step into the adsorption tower, and following the first pressure-rising step, in the adsorption process A method for purifying hydrogen or helium, comprising a second pressure-increasing step of introducing a portion of product gas from another adsorption tower into the adsorption tower. 불순물로서 휘발성 방향족 화합물을 포함하는 원료가스로서의 조질의 수소 가스 또는 조질의 헬륨 가스로부터 수소 또는 헬륨을 정제하기 위한, 수소 또는 헬륨의 정제장치로서,
각각이 제1 가스 통과구 및 제2 가스 통과구를 구비하고, 해당 제1 가스 통과구와 제2 가스 통과구 사이에 있어서 흡착제가 충전된 3탑 이상의 흡착탑;
제품가스를 저류시키기 위한 저류 탱크;
상기 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구로부터 배출되는 가스를 기상성분과 액상성분으로 분리시키는 기액분리수단;
원료가스 공급원에 접속된 주간로(主幹路), 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제1 라인;
상기 기액분리수단이 설치된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제1 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제2 라인;
상기 저류 탱크가 설치된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제3 라인;
상기 제3 라인에 있어서의 상기 주간로에 접속된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제4 라인; 및
상기 제4 라인에 있어서의 상기 주간로에 접속된 주간로, 및 상기 흡착탑마다 설치되어서 해당 흡착탑의 상기 제2 가스 통과구 측에 접속되고 또한 개폐밸브가 각각 설치된 복수의 분지로를 구비하는 제5 라인을 포함하되,
상기 각 흡착탑은, 상기 흡착탑에 있어서의 상기 제1 가스 통과구로부터 상기 제2 가스 통과구를 향해서 차례로 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 구분되어 있고, 상기 제1 영역에는, 상기 흡착제의 충전 용량 전체에 대하여, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 실리카겔계의 제1 흡착제가 충전되어 있고, 상기 제2 영역에는, 충전 비율이 15 내지 75vol%의 범위인 제올라이트계의 제2 흡착제가 충전되어 있으며, 상기 제3 영역에는, 충전 비율이 5 내지 30vol%의 범위인 활성탄계의 제3 흡착제가 충전되어 있는, 수소 또는 헬륨의 정제장치.
An apparatus for purifying hydrogen or helium from crude hydrogen gas or crude helium gas as a raw material gas containing volatile aromatic compounds as impurities, comprising:
three or more adsorption towers each having a first gas passage port and a second gas passage port, and filled with an adsorbent between the first gas passage port and the second gas passage port;
a storage tank for storing product gas;
gas-liquid separation means for separating the gas discharged from the first gas passage port of the adsorption tower into a gaseous component and a liquid phase component;
a first line having a main path connected to a source gas supply source, and a plurality of branch paths provided for each of the adsorption towers and connected to the first gas passage side of the adsorption tower and provided with an on/off valve, respectively;
a second line having a main path in which the gas-liquid separation means is installed, and a plurality of branch paths installed in each of the adsorption towers, connected to the first gas passage side of the adsorption tower, and provided with an on/off valve, respectively;
a third line having a main path in which the storage tank is installed, and a plurality of branch paths installed in each of the adsorption towers, connected to the second gas passage side of the adsorption tower, and provided with an on/off valve, respectively;
a main path connected to the main path in the third line, and a fourth branch path provided for each adsorption tower and connected to the second gas passage side of the adsorption tower and provided with an on/off valve, respectively line; and
A fifth line comprising a main path connected to the main path in the fourth line, and a plurality of branch paths provided for each adsorption tower and connected to the second gas passage side of the adsorption tower and provided with an on/off valve, respectively. including the line,
Each of the adsorption towers is divided into a first region, a second region and a third region sequentially from the first gas passage port in the adsorption tower toward the second gas passage port, and in the first region, the adsorbent Based on the total filling capacity of is filled, and the third region is filled with an activated carbon-based third adsorbent having a filling ratio in the range of 5 to 30 vol%.
제8항에 있어서, 상기 제1 흡착제는 친수성 실리카겔로 이루어진, 수소 또는 헬륨의 정제장치.The apparatus of claim 8, wherein the first adsorbent is made of hydrophilic silica gel. 제8항에 있어서, 상기 제2 흡착제는 CaA형 제올라이트를 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제장치.The apparatus of claim 8, wherein the second adsorbent comprises a CaA-type zeolite. 제8항에 있어서, 상기 제3 흡착제는 야자 껍데기 활성탄 또는 석탄 활성탄을 포함하는, 수소 또는 헬륨의 정제장치.9. The apparatus of claim 8, wherein the third adsorbent comprises coconut shell activated carbon or coal activated carbon.
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