KR102378832B1 - Cavity filter and method of manufacturing the same - Google Patents

Cavity filter and method of manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
KR102378832B1
KR102378832B1 KR1020200091166A KR20200091166A KR102378832B1 KR 102378832 B1 KR102378832 B1 KR 102378832B1 KR 1020200091166 A KR1020200091166 A KR 1020200091166A KR 20200091166 A KR20200091166 A KR 20200091166A KR 102378832 B1 KR102378832 B1 KR 102378832B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resonator
plate
pattern
substrate
tuning
Prior art date
Application number
KR1020200091166A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220012080A (en
Inventor
김성열
성기훈
이호정
문영일
박영석
Original Assignee
주식회사 알에프텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 알에프텍 filed Critical 주식회사 알에프텍
Priority to KR1020200091166A priority Critical patent/KR102378832B1/en
Publication of KR20220012080A publication Critical patent/KR20220012080A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102378832B1 publication Critical patent/KR102378832B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/207Hollow waveguide filters
    • H01P1/208Cascaded cavities; Cascaded resonators inside a hollow waveguide structure
    • H01P1/2088Integrated in a substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • H01P11/008Manufacturing resonators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

주파수 튜닝과정이 필요하지 않은 캐비티 필터가 제공된다. 이러한 캐비티 필터는, 하우징, 공진기 하부 및 커버 플레이트를 포함한다. 상기 하우징은 하부플레이트 및 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함한다. 상기 공진기 하부는 적어도 하나가 상기 하우징 내부에 배치된다. 상기 커버 플레이트는 상기 하우징의 상기 측벽부와 결합하여 상기 하우징을 커버한다. 상기 커버 플레이트는 공진기 플레이트 및 튜닝 플레이트를 포함한다. 상기 공진기 플레이트는 상기 공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부를 포함한다. 상기 튜닝 플레이트는 상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보며, 상기 공진기의 주파수를 미세튜닝할 수 있도록 형성된 금속 패턴을 포함한다.A cavity filter that does not require a frequency tuning process is provided. Such a cavity filter includes a housing, a lower resonator and a cover plate. The housing includes a lower plate and a side wall portion extending upwardly from the lower plate. At least one lower portion of the resonator is disposed inside the housing. The cover plate is coupled to the side wall portion of the housing to cover the housing. The cover plate includes a resonator plate and a tuning plate. The resonator plate includes an upper portion of the resonator that is in contact with the lower portion of the resonator and constitutes the resonator. The tuning plate faces to be insulated from the upper part of the resonator, and includes a metal pattern formed to fine tune the frequency of the resonator.

Description

캐비티 필터 및 이의 제조방법{CAVITY FILTER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Cavity filter and manufacturing method thereof

본 발명은 필터 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세히, 캐비티 필터 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a filter and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a cavity filter and a method for manufacturing the same.

필터는 입력된 여러 주파수 성분중 원하는 주파수만 통과시키고 나머지는 감쇄시켜 버리는 역할을 하기 위한 수동회로이다.A filter is a passive circuit that passes only a desired frequency among input frequency components and attenuates the rest.

이러한 필터는 대역 통과 특성에 따라서, 고주파수만을 통과시키는 하이패스필터(HPF), 저주파수만을 통과시키는 로우패스필터(LPF), 특정 대역의 주파수만을 통과시키는 밴드패스필터(BPF) 및 특정 대역의 주파수만을 저지하는 밴드저지필터(BSF)로 구분될 수 있다.These filters, depending on the band pass characteristics, include a high pass filter (HPF) that passes only high frequencies, a low pass filter (LPF) that passes only low frequencies, a band pass filter (BPF) that passes only frequencies of a specific band, and only frequencies of a specific band. It can be divided into a band-stop filter (BSF) that blocks it.

또한, 이러한 필터는 구현 형태에 따라서, LC 소자를 조합하여 형성하는 럼프트 필터, 패터닝된 전송선로를 이용하는 스트립필터, 고유전체의 세라믹을 이용하는 세라믹 필터 및 도파관을 이용하는 캐비티 필터 및 어쿠스틱 웨이브를 이용하는 SAW 등으로 구분될 수 있다.In addition, depending on the implementation form, such a filter is a lump filter formed by combining LC elements, a strip filter using a patterned transmission line, a ceramic filter using a high dielectric ceramic, a cavity filter using a waveguide, and SAW using an acoustic wave. It can be divided into

이중에서, 무선통신 기지국과 같은 하이파워를 필요로하는 필터에는 캐비티 필터가 널리 사용되고 있다. 대한민국 등록특허 제 10-2040689, "캐비티 필터"과 같은 종래의 캐비티 필터는 주파수 튜닝을 위해서 튜닝 볼트가 널리 사용되고 있다. 도 1은 튜닝볼트를 이용하여 튜닝이 행해지는 종래의 캐비티 필터의 측단면도이다.Among them, a cavity filter is widely used in a filter requiring high power, such as a wireless communication base station. In a conventional cavity filter such as Republic of Korea Patent Registration No. 10-2040689, "cavity filter," a tuning bolt is widely used for frequency tuning. 1 is a side cross-sectional view of a conventional cavity filter in which tuning is performed using a tuning bolt.

도 1을 참조하면, 종래의 캐비티 필터(200)는 하우징(210) 내부에 공진 소자(220)가 배치되고, 상부에 커버(230)가 상기 하우징(210)과 결합되어 내부 공간을 정의한다. 한편, 이러한 내부 공간들의 연결에 의해서 주파수를 선택하게 된다.Referring to FIG. 1 , in the conventional cavity filter 200 , the resonance element 220 is disposed inside a housing 210 , and a cover 230 is coupled to the housing 210 on the upper portion to define an internal space. On the other hand, the frequency is selected by the connection of these internal spaces.

이때, 상기 커버(230)에는 나사산이 형성된 튜닝 볼트(240)가 체결되어, 튜닝 볼트(240)를 회전 시킴에 따라서, 상기 튜닝 볼트(240)와 상기 공진 소자(240)의 간격에 변화가 있게 되어 튜닝 볼트(240)과 공진 소자(2400 사이의 캐패시턴스가 변화되어 캐비티 필터(200)의 공진 주파수를 튜닝한다.At this time, the screw threaded tuning bolt 240 is fastened to the cover 230 , and as the tuning bolt 240 is rotated, the spacing between the tuning bolt 240 and the resonance element 240 is changed. Thus, the capacitance between the tuning bolt 240 and the resonance element 2400 is changed to tune the resonance frequency of the cavity filter 200 .

그러나, 이러한 종래의 캐비티 필터의 경우, 공진 주파수의 튜닝 과정이 필요하게 됨에 따라서, 제조에 어려움이 있다.However, in the case of such a conventional cavity filter, as a tuning process of the resonance frequency is required, it is difficult to manufacture.

대한민국 등록특허 제 10-2040689호Republic of Korea Patent No. 10-2040689

그에 따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 주파수 튜닝과정이 필요하지 않은 캐비티 필터를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a cavity filter that does not require a frequency tuning process.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 이러한 캐비티 필터를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.In addition, another problem to be solved by the present invention is to provide a method for manufacturing such a cavity filter.

이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터는, 하우징, 공진기 하부 및 커버 플레이트를 포함한다. 상기 하우징은 하부플레이트 및 상기 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함한다. 상기 공진기 하부는 적어도 하나가 상기 하우징 내부에 배치된다. 상기 커버 플레이트는 상기 하우징의 상기 측벽부와 결합하여 상기 하우징을 커버한다. 상기 커버 플레이트는 공진기 플레이트 및 튜닝 플레이트를 포함한다. 상기 공진기 플레이트는 상기 공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부를 포함한다. 상기 튜닝 플레이트는 상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보며, 상기 공진기의 주파수를 미세튜닝할 수 있도록 형성된 금속 패턴을 포함한다.A cavity filter according to an exemplary embodiment of the present invention for solving these problems includes a housing, a lower part of the resonator, and a cover plate. The housing includes a lower plate and a sidewall portion extending upwardly from the lower plate. At least one lower portion of the resonator is disposed inside the housing. The cover plate is coupled to the side wall portion of the housing to cover the housing. The cover plate includes a resonator plate and a tuning plate. The resonator plate includes an upper portion of the resonator that is in contact with the lower portion of the resonator and constitutes the resonator. The tuning plate faces to be insulated from the upper part of the resonator, and includes a metal pattern formed to fine tune the frequency of the resonator.

예컨대, 상기 공진기 플레이트는, 공진기 기판을 더 포함하고, 상기 공진기 상부는 상기 공진기 기판의 하면에 부착될 수 있다.For example, the resonator plate may further include a resonator substrate, and the upper portion of the resonator may be attached to a lower surface of the resonator substrate.

예컨대, 상기 공진기 플레이트는, 충진 테이프를 더 포함할 수 있으며, 상기 충진 테이프는 상기 공진기 상부를 둘러쌓도록, 상기 공진기 기판의 하면에 부착될 수 있다.For example, the resonator plate may further include a filling tape, and the filling tape may be attached to a lower surface of the resonator substrate to surround the upper part of the resonator.

한편, 상기 튜닝 플레이트는, 기판, 및 하부 패턴을 포함할 수 있다. 상기 하부 패턴은 상기 기판의 하면에 형성되어, 상기 금속 패턴을 구성할 수 있다.Meanwhile, the tuning plate may include a substrate and a lower pattern. The lower pattern may be formed on a lower surface of the substrate to constitute the metal pattern.

또한, 상기 튜닝 플레이트는, 상부 패턴을 더 포함할 수 있다. 상기 상부 패턴은 상기 기판의 상면에, 상기 하부 패턴에 대응하도록 형성되어 상기 금속 패턴을 구성할 수 있다.In addition, the tuning plate may further include an upper pattern. The upper pattern may be formed on the upper surface of the substrate to correspond to the lower pattern to constitute the metal pattern.

예컨대, 상기 상부 패턴 및 상기 하부 패턴은 비아로 연결될 수 있다.For example, the upper pattern and the lower pattern may be connected via vias.

또한, 상기 튜닝 플레이트는, 상부 충진 테이프 또는 상부 실딩부를 더 포함할 수 있다. 상기 상부 충진 테이프 또는 상기 상부 실딩부는 상기 기판의 상면에, 상기 상부 패턴의 외측을 둘러쌓도록 부착될 수 있다.In addition, the tuning plate may further include an upper filling tape or an upper shielding part. The upper filling tape or the upper shielding part may be attached to the upper surface of the substrate to surround the outer side of the upper pattern.

또한, 상기 튜닝 플레이트는, 하부 충진 테이프 또는 하부 실딩부를 더 포함할 수 있다. 상기 하부 충진 테이프 또는 상기 하부 실딩부는 상기 기판의 하면에, 상기 하부 패턴의 외측을 둘러쌓도록 부착될 수 있다.In addition, the tuning plate may further include a lower filling tape or a lower shielding unit. The lower filling tape or the lower shielding part may be attached to a lower surface of the substrate to surround the outer side of the lower pattern.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터 제조방법은, 공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부를 포함하는 공진기 플레이트, 및 상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보며, 상기 공진기의 주파수를 미세튜닝할 수 있도록 형성된 금속 패턴을 포함하는 튜닝 플레이트를 포함하는 커버 플레이트를 준비하는 단계와, 하부플레이트 및 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함하는 하우징으로서, 적어도 하나의 공진기 하부가 하우징 내부에 배치된 하우징을 준비하는 단계와, 상기 공진기 하부의 상면과 상기 공진기 플레이트의 공진기 상부가 접하도록, 상기 커버 플레이트와 상기 하우징을 결합하는 단계와, 미세튜닝이 필요한지 판단하는 단계, 및 미세튜닝이 필요한 경우, 미세튜닝을 수행하는 단계를 포함한다.In a cavity filter manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention, a resonator plate including an upper portion of a resonator constituting a resonator in contact with a lower portion of the resonator, and facing so as to be insulated from the upper portion of the resonator, fine-tuning the frequency of the resonator Preparing a cover plate including a tuning plate including a metal pattern formed so that preparing a housing; coupling the cover plate and the housing so that the upper surface of the lower part of the resonator and the upper surface of the resonator plate are in contact; determining whether fine tuning is required; and when fine tuning is required, It includes the step of performing fine tuning.

예컨대, 상기 미세튜닝은, 상기 튜닝 플레이트의 금속 패턴을 가압하여 수행될 수 있다.For example, the fine tuning may be performed by pressing the metal pattern of the tuning plate.

한편, 상기 튜닝 플레이트는, 기판, 상기 기판의 하면에 형성되어, 상기 금속 패턴을 구성하는 하부 패턴 및 상기 기판의 상면에, 상기 하부 패턴에 대응하도록 형성되어 상기 금속 패턴을 구성하는 상부 패턴을 포함할 수 있다.Meanwhile, the tuning plate includes a substrate, a lower pattern formed on the lower surface of the substrate and constituting the metal pattern, and an upper pattern formed on the upper surface of the substrate to correspond to the lower pattern and constituting the metal pattern. can do.

예컨대, 상기 미세튜닝은, 상기 상부 패턴의 일부를 제거함으로써 수행될 수 있다.For example, the fine tuning may be performed by removing a portion of the upper pattern.

이와 같이 본 발명에 의한 캐비티 필터는, 공진소자와의 캐패시턴스가 정밀하게 제어된 커버 플레이트를 부착하게 되어, 종래의 튜닝볼트에 의한 추가적인 튜닝과정을 필요로 하지 않게 된다. 즉, 본 발명에 의한 캐비티 필터는, 공진소자와 하면 튜닝 패턴간의 오버랩 면적이 정밀하게 제어된 샘플의 반복적인 생산으로, 튜닝과정이 필요하지 않게 된다.As described above, in the cavity filter according to the present invention, a cover plate having a precisely controlled capacitance with the resonant element is attached, thereby eliminating the need for an additional tuning process using a conventional tuning bolt. That is, in the cavity filter according to the present invention, a tuning process is not required because the overlapping area between the resonant element and the lower surface tuning pattern is precisely controlled for repetitive production of samples.

그러나, 공정오차에 의해 미세 튜닝이 필요한 경우, 금속 패턴을 가압함으로써, 공진 주파수를 튜닝할 수 있다.However, when fine tuning is required due to a process error, the resonance frequency can be tuned by pressing the metal pattern.

또한, 한편, 상기 금속 패턴을 구성하는 상기 하부 패턴과 비아에 의해 전기적으로 연결되고, 상기 금속 패턴을 구성하는 상부 패턴이 형성된 경우, 상기 커버 플레이트를 하우징으로부터 분리하지 않고, 상부 패턴의 일부를 제거함으로써 공진 주파수를 튜닝할 수 있다.On the other hand, when the lower pattern constituting the metal pattern and the upper pattern constituting the metal pattern are electrically connected by a via, and the upper pattern constituting the metal pattern is formed, a portion of the upper pattern is removed without separating the cover plate from the housing By doing so, the resonant frequency can be tuned.

또한, 하부 실딩부 및 상부 실딩부가 각각 하부 패턴 및 상부 패턴을 각각 실딩함으로써, 이웃하는 하부 패턴 및 상부 패턴과의 간섭을 최소화할 수 있다.In addition, since the lower shielding part and the upper shielding part shield the lower pattern and the upper pattern, respectively, interference with the neighboring lower and upper patterns may be minimized.

도 1은 튜닝볼트를 이용하여 튜닝이 행해지는 종래의 캐비티 필터의 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터의 측단면도이다.
도 4는 도 2 또는 도 3에서 도시된 공진기 하부가 체결된 하우징 내부를 도시한 사시도이다.
도 5는 도 2의 커버 플레이트의 분해사시도로서, 도 2의 공진기 플레이트와 튜닝 플레이트가 분해된 모습을 도시한다.
도 6은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 7은 도 6에서 도시된 미세튜팅을 실행하는 일 실시예를 도시한 부분 단면도이다.
1 is a side cross-sectional view of a conventional cavity filter in which tuning is performed using a tuning bolt.
2 is a side cross-sectional view of a cavity filter according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a side cross-sectional view of a cavity filter according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view showing the inside of the housing to which the lower part of the resonator shown in FIG. 2 or 3 is fastened;
FIG. 5 is an exploded perspective view of the cover plate of FIG. 2 , wherein the resonator plate and the tuning plate of FIG. 2 are disassembled.
6 is a flowchart illustrating a cavity filter manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a partial cross-sectional view illustrating an embodiment of performing the fine tuning shown in FIG. 6 .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 과장하여 도시한 것일 수 있다. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures may be exaggerated than in reality for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, A와 B가'연결된다', '결합된다'라는 의미는 A와 B가 직접적으로 연결되거나 결합하는 것 이외에 다른 구성요소 C가 A와 B 사이에 포함되어 A와 B가 연결되거나 결합되는 것을 포함하는 것이다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features or It should be understood that the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of addition. In addition, A and B are 'connected' or 'coupled' means that A and B are connected or combined because other components C are included between A and B in addition to A and B being directly connected or bonded. that will include

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 또한, 방법 발명에 대한 특허청구범위에서, 각 단계가 명확하게 순서에 구속되지 않는 한, 각 단계들은 그 순서가 서로 바뀔 수도 있다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not Further, in the claims of the method invention, the respective steps may be interchanged in their order unless the respective steps are explicitly constrained to the order.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터의 측단면도이다. 도 3은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터의 측단면도이다. 도 4는 도 2 또는 도 3에서 도시된 공진기 하부가 체결된 하우징 내부를 도시한 사시도이다. 도 5는 도 2의 커버 플레이트의 분해사시도로서, 도 2의 공진기 플레이트와 튜닝 플레이트가 분해된 모습을 도시한다.2 is a side cross-sectional view of a cavity filter according to an exemplary embodiment of the present invention. 3 is a side cross-sectional view of a cavity filter according to an exemplary embodiment of the present invention. 4 is a perspective view showing the inside of the housing to which the lower part of the resonator shown in FIG. 2 or 3 is fastened; FIG. 5 is an exploded perspective view of the cover plate of FIG. 2 , wherein the resonator plate and the tuning plate of FIG. 2 are disassembled.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터는(100), 하우징(110), 공진기 하부(120) 및 커버 플레이트(220)를 포함한다.2 to 5 , the cavity filter 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a housing 110 , a lower resonator 120 , and a cover plate 220 .

상기 하우징(110)은 하부플레이트(111) 및 상기 하부플레이트(111)로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부(112)를 포함한다. 예컨대, 상기 하부 플레이트(111)는 직사각형의 형상으로 형성될 수 있다. 그러나, 필요에 의해 다양한 형상으로 형성될 수도 있다. 상기 하부플레이트(111) 및 상기 측벽부(112)는 일체로 형성될 수 있으나, 이와 다르게 별도로 제조되어 결합될 수 도 있다. 상기 하우징(110)은 예컨대, 메탈로 형성될 수 있다. The housing 110 includes a lower plate 111 and a side wall portion 112 extending upwardly from the lower plate 111 . For example, the lower plate 111 may be formed in a rectangular shape. However, it may be formed in various shapes as needed. The lower plate 111 and the side wall portion 112 may be integrally formed, but may be separately manufactured and combined. The housing 110 may be formed of, for example, metal.

상기 공진기 하부(120)는 적어도 하나가 상기 하우징(110) 내부에 배치된다. 상기 공진기 하부(120)는 예컨대, 원통형으로 상기 하우징(110)과 일체로 형성될 수 있으며, 이와 다르게 별개로 형성된 후 결합될 수도 있다.At least one of the resonator lower portions 120 is disposed inside the housing 110 . The resonator lower part 120 may be formed integrally with the housing 110 in a cylindrical shape, for example, or may be formed separately and then coupled thereto.

상기 커버 플레이트(220)는 상기 하우징(110)의 상기 측벽부(112)와 결합하여 상기 하우징(110)을 커버한다. 상기 커버 플레이트(220)는 공진기 플레이트(130) 및 튜닝 플레이트(140)를 포함한다.The cover plate 220 is coupled to the side wall portion 112 of the housing 110 to cover the housing 110 . The cover plate 220 includes a resonator plate 130 and a tuning plate 140 .

상기 공진기 플레이트(130)는 상기 공진기 하부(120)와 접하여 공진기(210)를 구성하는 공진기 상부(131)를 포함한다. 상기 공진기 상부(131)은 예컨대, 원형의 디스크 형상으로서, 상기 공진기 하부(120)의 지름보다 크게 형성된다. 이러한 공진기 상부(131)의 지름은 이미 요구되는 주파수에 따라서 튜닝된 것으로서, 추후 주파수에 대한 미세 튜닝이 행해질 수도 있다.The resonator plate 130 includes a resonator upper portion 131 that is in contact with the resonator lower portion 120 and constitutes the resonator 210 . The upper part of the resonator 131 is, for example, a circular disk shape, and is formed to be larger than the diameter of the lower part of the resonator 120 . The diameter of the upper part of the resonator 131 is already tuned according to the required frequency, and fine tuning for the frequency may be performed later.

상기 공진기 상부(131)와 상기 공진기 하부(120)은 단순한 접촉 외에, 솔더에 의해 결합될 수도 있다. 이때, 상기 공진기 플레이트(130)과 상기 하우징(110)의 측벽부(112) 또한 솔더에 의해 결합될 수 있다.The upper part of the resonator 131 and the lower part of the resonator 120 may be coupled by solder, in addition to simple contact. In this case, the resonator plate 130 and the side wall portion 112 of the housing 110 may also be coupled by solder.

한편, 상기 공진기 플레이트(130)는, 공진기 기판(133)을 더 포함하고, 상기 공진기 상부(131)는 상기 공진기 기판(133)의 하면에 부착될 수 있다.Meanwhile, the resonator plate 130 may further include a resonator substrate 133 , and the upper portion 131 of the resonator may be attached to a lower surface of the resonator substrate 133 .

예컨대, 이러한 상기 공진기 플레이트(130)는 공진기 기판(133)에 금속 박막을 부착한 후, 에칭함으로써, 공진기 상부(131)를 형성할 수 있다.For example, the resonator plate 130 may be etched by attaching a metal thin film to the resonator substrate 133 to form the resonator upper part 131 .

한편, 상기 공진기 플레이트(130)는, 도 2에서 도시된 것과 같이, 충진 테이프(132)를 더 포함할 수 있으며, 상기 충진 테이프(132)는 상기 공진기 상부(131)를 둘러쌓도록, 상기 공진기 기판(133)의 하면에 부착될 수 있다. 이러한 충진 테이프(132)는 충진기 상부(131)와 공진기 기판(133)의 단차를 제거할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 2 , the resonator plate 130 may further include a filling tape 132 , wherein the filling tape 132 surrounds the upper part 131 of the resonator, the resonator It may be attached to the lower surface of the substrate 133 . The filling tape 132 may remove a step difference between the upper part of the filler 131 and the resonator substrate 133 .

상기 튜닝 플레이트(140)는 상기 공진기 상부(131)와 절연되도록 마주보며, 상기 공진기(210)의 주파수를 미세튜닝할 수 있도록 형성된 금속 패턴을 포함한다. 이러한, 금속 패턴은 하부 패턴(141) 및 상부 패턴(143) 중, 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The tuning plate 140 faces the upper part of the resonator 131 to be insulated, and includes a metal pattern formed to fine tune the frequency of the resonator 210 . The metal pattern may include at least one of the lower pattern 141 and the upper pattern 143 .

한편, 상기 튜닝 플레이트(140)는, 기판(142) 및 상기 하부 패턴(141)을 포함할 수 있다. 상기 하부 패턴(141)은 상기 기판(142)의 하면에 형성되어, 상기 금속 패턴을 구성할 수 있다.Meanwhile, the tuning plate 140 may include a substrate 142 and the lower pattern 141 . The lower pattern 141 may be formed on the lower surface of the substrate 142 to constitute the metal pattern.

또한, 상기 튜닝 플레이트(140)는, 상기 상부 패턴(143)을 더 포함할 수 있다. 상기 상부 패턴(143)은 상기 기판(142)의 상면에, 상기 하부 패턴(141)에 대응하도록 형성되어 상기 금속 패턴을 구성할 수 있다.In addition, the tuning plate 140 may further include the upper pattern 143 . The upper pattern 143 may be formed on the upper surface of the substrate 142 to correspond to the lower pattern 141 to constitute the metal pattern.

예컨대, 상기 상부 패턴(143) 및 상기 하부 패턴(141)은 비아(146)로 연결될 수 있다.For example, the upper pattern 143 and the lower pattern 141 may be connected by a via 146 .

또한, 상기 튜닝 플레이트(140)는, 도 2에서 도시된 바와 같이,상부 충진 테이프(145) 또는 도 3에서 도시된 바와 같이 상부 실딩부(148)를 더 포함할 수 있다. 상기 상부 충진 테이프(145) 또는 상기 상부 실딩부(148)는 상기 기판(142)의 상면에, 상기 상부 패턴(143)의 외측을 둘러쌓도록 부착될 수 있다.In addition, the tuning plate 140 may further include an upper filling tape 145 or an upper shielding part 148 as shown in FIG. 3 , as shown in FIG. 2 . The upper filling tape 145 or the upper shielding part 148 may be attached to the upper surface of the substrate 142 to surround the outer side of the upper pattern 143 .

또한, 상기 튜닝 플레이트(140)는, 도 2에서 도시된 바와 같이, 하부 충진 테이프(144) 또는 3에서 도시된 바와 같이 하부 실딩부(147)를 더 포함할 수 있다. 상기 하부 충진 테이프(144) 또는 상기 하부 실딩부(147)는 상기 기판의 하면에, 상기 하부 패턴의 외측을 둘러쌓도록 부착될 수 있다.In addition, the tuning plate 140 may further include a lower filling tape 144 as shown in FIG. 2 or a lower shielding part 147 as shown in FIG. 3 . The lower filling tape 144 or the lower shielding part 147 may be attached to the lower surface of the substrate to surround the outer side of the lower pattern.

이와 같이, 하부 실딩부(147) 및 상부 실딩부(148)가 각각 하부 패턴(141) 및 상부 패턴(143)을 각각 실딩함으로써, 이웃하는 하부 패턴 및 상부 패턴과의 간섭을 최소화할 수 있다.As described above, since the lower shielding part 147 and the upper shielding part 148 respectively shield the lower pattern 141 and the upper pattern 143 , interference with the neighboring lower and upper patterns may be minimized.

도 6은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터 제조방법을 도시한 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a cavity filter manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 캐비티 필터 제조방법에 의하면, 먼저 공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부를 포함하는 공진기 플레이트, 및 상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보며, 상기 공진기의 주파수를 미세튜닝할 수 있도록 형성된 금속 패턴을 포함하는 튜닝 플레이트를 포함하는 커버 플레이트를 준비한다(단계 S110). 이러한 커버 플레이트에 대해서는 앞선, 도 2 내지 5에서 자세히 설명되었으므로, 중복되는 설명은 생략한다.6, according to the cavity filter manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention, first, a resonator plate including a resonator upper portion constituting the resonator in contact with the lower portion of the resonator, and facing so as to be insulated from the resonator upper portion, A cover plate including a tuning plate including a metal pattern formed to fine-tune the frequency of the resonator is prepared (step S110). Since the cover plate has been described in detail with reference to FIGS. 2 to 5 above, a redundant description thereof will be omitted.

또한, 하부플레이트 및 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함하는 하우징으로서, 적어도 하나의 공진기 하부가 하우징 내부에 배치된 하우징을 준비한다(단계 S120). 이러한 하우징에 대해서는 앞선, 도 2 내지 5에서 자세히 설명되었으므로, 중복되는 설명은 생략한다.In addition, as a housing including a lower plate and a side wall portion extending upwardly from the lower plate, the housing having at least one resonator lower portion disposed inside the housing is prepared (step S120 ). Since this housing has been described in detail with reference to FIGS. 2 to 5 above, a redundant description thereof will be omitted.

위에서는 커버 플레이트 준비(단계 S110) 후에, 하우징을 준비(단계 S120)하는 것으로 기술되고 있으나, 그 반대의 순서도 가능하고, 또한 동시도 가능함은 자명할 것이다.Although it is described above as preparing the housing (step S120) after the cover plate preparation (step S110), the reverse order is also possible, and it will be apparent that it is also possible at the same time.

이후, 상기 공진기 하부의 상면과 상기 공진기 플레이트의 공진기 상부가 접하도록, 상기 커버 플레이트와 상기 하우징을 결합한다(단계 S130). 이때는 앞서 설명된 바와 같이, 솔더에 의해 공진기 상부와 공진기 하부가 결합될 수도 있다.Then, the cover plate and the housing are coupled so that the upper surface of the lower part of the resonator and the upper surface of the resonator plate are in contact with each other (step S130). In this case, as described above, the upper part of the resonator and the lower part of the resonator may be coupled by solder.

이후, 미세튜닝이 필요한지 판단하고(단계 S140), 미세튜닝이 필요한 경우, 미세튜닝을 수행한다(단계 S150).Thereafter, it is determined whether fine tuning is required (step S140), and if fine tuning is required, fine tuning is performed (step S150).

예컨대, 상기 미세튜닝은, 상기 튜닝 플레이트의 금속 패턴을 가압하여 수행될 수 있다.For example, the fine tuning may be performed by pressing the metal pattern of the tuning plate.

도 7은 도 6에서 도시된 미세튜팅을 실행하는 일 실시예를 도시한 부분 단면도이다.FIG. 7 is a partial cross-sectional view illustrating an embodiment of performing the fine tuning shown in FIG. 6 .

도 2, 도 3 및 도 7을 참조하면, 하부 패턴(141)과 상부 패턴(143) 중 적어도 어느 하나로 구성되는 금속 패턴을 푸셔(P)로 가압하는 경우, 금속 패턴과 공진기 상부(131)의 간격이 d1에서 d2로 변화되어 캐패시턴스가 달라지므로 공진기의 주파수를 미세하게 조정할 수 있다.2, 3 and 7, when the metal pattern composed of at least one of the lower pattern 141 and the upper pattern 143 is pressed with the pusher P, the metal pattern and the upper part of the resonator 131 are formed. Since the capacitance is changed as the spacing is changed from d1 to d2, the frequency of the resonator can be finely adjusted.

이와 다르게, 상기 미세튜닝은, 상기 상부 패턴(143)의 일부를 제거함으로써 수행될 수도 있다.Alternatively, the fine tuning may be performed by removing a portion of the upper pattern 143 .

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 캐비티 필터는, 공진소자와의 캐패시턴스가 정밀하게 제어된 커버 플레이트를 부착하게 되어, 종래의 튜닝볼트에 의한 추가적인 튜닝과정을 필요로 하지 않게 된다. 즉, 본 발명에 의한 캐비티 필터는, 공진소자와 하면 튜닝 패턴간의 오버랩 면적이 정밀하게 제어된 샘플의 반복적인 생산으로, 튜닝과정이 필요하지 않게 된다.As described above, in the cavity filter according to the present invention, a cover plate in which capacitance with the resonator element is precisely controlled is attached, so that an additional tuning process using a conventional tuning bolt is not required. That is, in the cavity filter according to the present invention, a tuning process is not required because the overlapping area between the resonant element and the lower surface tuning pattern is precisely controlled for repetitive production of samples.

그러나, 앞에서 설명한 바와 같이, 공정오차에 의해 미세 튜닝이 필요한 경우, 금속 패턴을 가압하거나, 상부 패턴의 일부를 제거함으로써, 공진 주파수를 튜닝할 수 있다.However, as described above, when fine tuning is required due to a process error, the resonance frequency can be tuned by pressing the metal pattern or removing a part of the upper pattern.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the foregoing detailed description of the present invention, although it has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those having ordinary knowledge in the art will have the spirit of the present invention described in the claims to be described later. And it will be understood that various modifications and variations of the present invention can be made without departing from the technical scope.

100, 200, 300: 캐비티 필터
110. 210: 하우징 111: 하부 플레이트
112: 측벽부 130, 230: 공진기 플레이트
131: 공진기 상부 132: 충진 테이프
133: 공진기 기판 140, 240: 튜닝 플레이트
141: 하부 패턴 142: 기판
143: 상부 패턴 144: 하부 충진 테이프
145: 상부 충진 테이프 146: 비아
147: 하부 실딩부 148: 상부 실딩부
210: 공진기 220: 커버 플레이트
100, 200, 300: cavity filter
110. 210: housing 111: lower plate
112: side wall 130, 230: resonator plate
131: upper resonator 132: filling tape
133: resonator substrate 140, 240: tuning plate
141: lower pattern 142: substrate
143: upper pattern 144: lower filling tape
145: upper filling tape 146: via
147: lower shielding portion 148: upper shielding portion
210: resonator 220: cover plate

Claims (12)

하부플레이트 및 상기 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함하는 하우징;
상기 하우징 내부에 배치된 적어도 하나의 공진기 하부; 및
상기 하우징의 상기 측벽부와 결합하여 상기 하우징을 커버하는 커버 플레이트;
를 포함하고,
상기 커버 플레이트는 공진기 플레이트 및 튜닝 플레이트를 포함하고,
상기 공진기 플레이트는,
공진기 기판; 및
상기 공진기 기판의 하면에 형성되고, 상기 공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부;
를 포함하고,
상기 튜닝 플레이트는,
기판;
상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보도록 상기 기판 하면에 형성된 하부 패턴;
상기 하부 패턴과 마주보도록 상기 기판 상면에 형성된 상부패턴; 및
상기 기판을 관통하여 상기 하부 패턴과 상기 상부 패턴을 연결하는 비아;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐비티 필터.
a housing including a lower plate and a sidewall portion extending upwardly from the lower plate;
a lower portion of at least one resonator disposed inside the housing; and
a cover plate coupled to the sidewall of the housing to cover the housing;
including,
The cover plate comprises a resonator plate and a tuning plate,
The resonator plate is
resonator substrate; and
an upper portion of the resonator formed on a lower surface of the resonator substrate and forming a resonator in contact with the lower portion of the resonator;
including,
The tuning plate is
Board;
a lower pattern formed on the lower surface of the substrate to face the upper portion of the resonator to be insulated;
an upper pattern formed on the upper surface of the substrate to face the lower pattern; and
a via passing through the substrate and connecting the lower pattern and the upper pattern;
Cavity filter comprising a.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 공진기 플레이트는,
상기 공진기 상부를 둘러쌓도록, 상기 공진기 기판의 하면에 부착된 충진 테이프;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐비티 필터.
According to claim 1,
The resonator plate is
a filling tape attached to a lower surface of the resonator substrate to surround the upper portion of the resonator;
Cavity filter, characterized in that it further comprises.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 튜닝 플레이트는,
상기 기판의 상면에, 상기 상부 패턴의 외측을 둘러쌓도록 부착된 상부 충진 테이프 또는 상부 실딩부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐비티 필터.
According to claim 1,
The tuning plate is
an upper filling tape or an upper shielding part attached to the upper surface of the substrate to surround the outer side of the upper pattern;
Cavity filter, characterized in that it further comprises.
제1 항에 있어서,
상기 튜닝 플레이트는,
상기 기판의 하면에, 상기 하부 패턴의 외측을 둘러쌓도록 부착된 하부 충진 테이프 또는 하부 실딩부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐비티 필터.
According to claim 1,
The tuning plate is
a lower filling tape or lower shielding part attached to the lower surface of the substrate to surround the outer side of the lower pattern;
Cavity filter, characterized in that it further comprises.
공진기 하부와 접하여 공진기를 구성하는 공진기 상부를 포함하는 공진기 플레이트, 및 상기 공진기 상부와 절연되도록 마주보며, 기판, 상기 기판의 하면에 형성되어, 금속 패턴을 구성하는 하부 패턴, 상기 기판의 상면에, 상기 하부 패턴에 대응하도록 형성된 상부 패턴, 및 상기 기판을 관통하여 상기 하부 패턴과 상기 상부 패턴을 연결하는 비아를 포함하는 튜닝 플레이트를 포함하는 커버 플레이트를 준비하는 단계;
하부플레이트 및 하부플레이트로부터 상부로 연장되어 형성된 측벽부를 포함하는 하우징으로서, 적어도 하나의 공진기 하부가 하우징 내부에 배치된 하우징을 준비하는 단계;
상기 공진기 하부의 상면과 상기 공진기 플레이트의 공진기 상부가 접하도록, 상기 커버 플레이트와 상기 하우징을 결합하는 단계;
미세튜닝이 필요한지 판단하는 단계; 및
미세튜닝이 필요한 경우, 미세튜닝을 수행하는 단계;
를 포함하는 캐비티 필터의 제조방법.
A resonator plate including an upper portion of the resonator constituting the resonator in contact with the lower portion of the resonator, and a substrate facing to be insulated from the upper portion of the resonator, a lower pattern formed on the lower surface of the substrate and constituting a metal pattern, on the upper surface of the substrate, preparing a cover plate including a tuning plate including an upper pattern formed to correspond to the lower pattern and a via penetrating through the substrate to connect the lower pattern and the upper pattern;
Preparing a housing comprising a lower plate and a side wall portion extending upwardly from the lower plate, wherein the lower portion of at least one resonator is disposed inside the housing;
coupling the cover plate and the housing so that an upper surface of the lower portion of the resonator and an upper surface of the resonator plate are in contact with each other;
determining whether fine tuning is necessary; and
If fine tuning is required, performing fine tuning;
A method of manufacturing a cavity filter comprising a.
삭제delete 삭제delete 제9 항에 있어서,
상기 미세튜닝은,
상기 상부 패턴의 일부를 제거함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 캐비티 필터의 제조방법.
10. The method of claim 9,
The fine tuning is
A method of manufacturing a cavity filter, characterized in that it is performed by removing a part of the upper pattern.
KR1020200091166A 2020-07-22 2020-07-22 Cavity filter and method of manufacturing the same KR102378832B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200091166A KR102378832B1 (en) 2020-07-22 2020-07-22 Cavity filter and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200091166A KR102378832B1 (en) 2020-07-22 2020-07-22 Cavity filter and method of manufacturing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220012080A KR20220012080A (en) 2022-02-03
KR102378832B1 true KR102378832B1 (en) 2022-03-25

Family

ID=80268787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200091166A KR102378832B1 (en) 2020-07-22 2020-07-22 Cavity filter and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102378832B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115241619B (en) * 2022-07-25 2023-10-27 深圳瑞特达科技有限公司 Non-contact low passive intermodulation waveguide filter

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101217184B1 (en) * 2005-12-23 2012-12-31 주식회사 케이엠더블유 Radio frequency filter
CN102136620B (en) * 2010-09-03 2013-11-06 华为技术有限公司 Transverse magnetic mode dielectric resonator, transverse magnetic mode dielectric filter and base station
KR102204646B1 (en) * 2014-04-15 2021-01-19 주식회사 케이엠더블유 Radio frequency filter with cavity structure
KR102040689B1 (en) 2018-03-09 2019-11-05 주식회사 이엠따블유 Cavity filter

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220012080A (en) 2022-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6522244B2 (en) Cavity type radio frequency filter with cross coupling notch structure
KR102503237B1 (en) Radio frequency filter
US7825748B2 (en) Integrable tunable filter circuit comprising a set of BAW resonators
US5113310A (en) Dielectric filter
CN111226346B (en) Tunable resonant cavity, related physical device and method for tuning resonant frequency
US20120161905A1 (en) Resonant element and resonator filter with frequency-tunable layer structure and method of tuning frequency of resonator filter
JP2018125717A (en) Bandpass filter and multistep bandpass filter
KR102378832B1 (en) Cavity filter and method of manufacturing the same
JPS59114902A (en) Dielectric filter
KR102439016B1 (en) Cavity filter and method of manufacturing the same
KR102041514B1 (en) Ceramic Waveguide Filter Including Mulilayer Printed Circuit Board
KR102347990B1 (en) Cavity filter and method of manufacturing the same
KR102276190B1 (en) Cavity filter and method of manufacturing the same
KR102055689B1 (en) Ceramic Waveguide Filter Tuned By Printed Circuit Board
CN109786903B (en) Filter circuit and forming method thereof
KR101605863B1 (en) Dieletric Resonator Filter
KR102458942B1 (en) Cavity filter and electric device having the same
JPH04242301A (en) Dielectric filter
JPH0488701A (en) Polarized type dielectric filter
KR100408889B1 (en) production method on laminating Radio frequency tunning Circuit And Tunning Circuit
Cao et al. Design technique for multilayered filters composed of LC resonators
US6281763B1 (en) Dielectric resonator, dielectric filter, dielectric duplexer, and method for manufacturing dielectric resonator
KR20240052307A (en) Method for tuning rf filter
JP2502604B2 (en) Resonator for high frequency
KR20210029913A (en) Cavity filter and method of manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant