KR102378789B1 - Slit nozzle and application apparatus including the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐은, 그 사이에 슬릿 형태의 토출구가 형성되도록 결합되는 제1 노즐 바디 및 제2 노즐 바디; 및 제2 노즐 바디에 구비되어 토출구의 폭을 조정하도록 구성되는 갭 조정 유닛을 포함할 수 있고, 제2 노즐 바디는 갭 조정 유닛이 삽입되는 삽입홀과, 삽입홀의 축에 직교하는 방향으로 형성되는 절개부와, 절개부를 사이에 두고 삽입홀에 대향하도록 형성되는 체결홈을 구비할 수 있고, 갭 조정 유닛은, 삽입홀에 체결되는 조정 너트와, 조정 너트에 체결되며 체결홈에 삽입되는 고정 스크류를 포함할 수 있고, 고정 스크류는 고정 스크류의 선단이 체결홈의 끝단면으로부터 이격되도록 배치될 수 있다.A slit nozzle according to an embodiment of the present invention includes: a first nozzle body and a second nozzle body coupled to form a slit-shaped discharge port therebetween; and a gap adjusting unit provided in the second nozzle body and configured to adjust the width of the discharge port, wherein the second nozzle body is formed in a direction orthogonal to an insertion hole into which the gap adjusting unit is inserted and an axis of the insertion hole It may include a cutout and a fastening groove formed to face the insertion hole with the cutout therebetween, and the gap adjusting unit includes an adjusting nut fastened to the insertion hole, and a fixing screw fastened to the adjusting nut and inserted into the fastening groove. may include, and the fixing screw may be disposed such that the tip of the fixing screw is spaced apart from the end surface of the fastening groove.

Description

슬릿 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치{SLIT NOZZLE AND APPLICATION APPARATUS INCLUDING THE SAME}SLIT NOZZLE AND APPLICATION APPARATUS INCLUDING THE SAME

본 발명은 기판 상에 유체를 도포하는 데에 사용되는 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a slit nozzle used for applying a fluid on a substrate and an application device including the same.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치는 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말한다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.In general, flat panel display devices refer to liquid crystal displays, plasma display panels, organic light emitting diodes, and the like. Such a flat panel display device is manufactured by repeating processes such as photo, diffusion, deposition, etching, and ion implantation on a substrate.

이러한 공정에서는 기판 상에 포토레지스트 등의 액체를 도포하는 공정이 수행된다. 기판 상에 액체를 도포하는 공정은, 스테이지 상에 기판을 탑재하고, 기판의 상방에 슬릿 노즐을 위치시킨 다음, 슬릿 노즐을 기판의 표면을 따라 일정 속도로 이동시키면서 액체를 토출하는 방법으로 수행된다.In this process, a process of applying a liquid such as a photoresist on a substrate is performed. The process of applying a liquid on a substrate is performed by mounting the substrate on a stage, positioning a slit nozzle above the substrate, and then discharging the liquid while moving the slit nozzle at a constant speed along the surface of the substrate. .

기판의 표면에 액체를 균일한 두께로 도포하기 위해서는, 슬릿 노즐이 기판의 표면으로부터 설정된 간격으로 정확하게 이격되게 배치되어야 하며, 액체가 토출되는 토출구가 되는 슬릿의 폭(이하, 노즐 갭이라 함)이 미리 설정된 폭으로 정확하게 유지되어야 한다. 따라서, 슬릿 노즐에는 노즐 갭을 조정하도록 구성되는 갭 조정 유닛이 구비된다.In order to apply the liquid to the surface of the substrate with a uniform thickness, the slit nozzles must be precisely spaced apart from the surface of the substrate at a set interval, and the width of the slit through which the liquid is discharged (hereinafter referred to as the nozzle gap) must be It must be accurately maintained with a preset width. Accordingly, the slit nozzle is provided with a gap adjusting unit configured to adjust the nozzle gap.

도 1은 갭 조정 유닛을 구비한 종래 기술에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 단면도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 3은 종래 기술에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 단면도이다.1 is a sectional view schematically showing a slit nozzle according to the prior art having a gap adjusting unit, FIG. 2 is a perspective view schematically showing a slit nozzle according to the prior art, and FIG. 3 is a slit nozzle according to the prior art It is a schematic cross-sectional view.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(10)은 길이 방향으로 길게 형성된다. 슬릿 노즐(10)은 제1 노즐 바디(11) 및 제2 노즐 바디(12)를 포함한다. 제1 노즐 바디(11) 및 제2 노즐 바디(12)가 상호 결합됨에 따라 액체 토출구 및 액체 유로가 슬릿 노즐(10)의 내부에 형성될 수 있다.1 to 3 , the slit nozzle 10 is formed to be elongated in the longitudinal direction. The slit nozzle 10 includes a first nozzle body 11 and a second nozzle body 12 . As the first nozzle body 11 and the second nozzle body 12 are coupled to each other, a liquid discharge port and a liquid flow path may be formed in the slit nozzle 10 .

슬릿 노즐(10)은 노즐 갭(G)을 조정하도록 구성되는 복수의 갭 조정 유닛(30)을 구비한다.The slit nozzle 10 has a plurality of gap adjusting units 30 configured to adjust the nozzle gap G.

도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 갭 조정 유닛(30)은 제2 노즐 바디(12)에 형성되는 복수의 삽입홀(13)을 통하여 슬릿 노즐(10)의 내부에 삽입된다. 복수의 갭 조정 유닛(30)은 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로 소정의 간격으로 배치된다.As shown in FIG. 2 , the plurality of gap adjusting units 30 are inserted into the slit nozzle 10 through the plurality of insertion holes 13 formed in the second nozzle body 12 . The plurality of gap adjusting units 30 are arranged at predetermined intervals in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 .

갭 조정 유닛(30)은, 조정 너트(31) 및 고정 스크류(32)를 포함한다. 고정 스크류(32)는 삽입홀(13) 및 조정 너트(31)를 관통한 다음 제2 노즐 바디(12)에 형성된 체결홈(14) 내에 삽입된다.The gap adjusting unit 30 includes an adjusting nut 31 and a fixing screw 32 . The fixing screw 32 is inserted into the fastening groove 14 formed in the second nozzle body 12 after passing through the insertion hole 13 and the adjustment nut 31 .

삽입홀(13) 및 체결홈(14) 사이에는 고정 스크류(32)의 나사 축에 직교하는 방향으로 절개된 절개부(15)가 형성된다. 절개부(15)를 기준으로 제2 노즐 바디(12)는 삽입홀(13)이 형성되는 제1 부(18) 및 체결홈(14)이 형성되는 제2 부(19)로 구획된다.A cutout 15 is formed between the insertion hole 13 and the fastening groove 14 in a direction perpendicular to the screw axis of the fixing screw 32 . Based on the cutout 15 , the second nozzle body 12 is divided into a first portion 18 in which an insertion hole 13 is formed and a second portion 19 in which a fastening groove 14 is formed.

이와 같은 구성에 따르면, 제1 노즐 바디(11) 및 제2 노즐 바디(12)가 서로 결합된 상태에서, 조정 너트(31)가 삽입홀(13)의 내측을 향하는 조여지면, 조정 너트(31)가 삽입홀(13)의 내측으로 이동함에 따라, 고정 스크류(32)가 체결홈(14)의 외측을 향하는 방향으로 이동한다. 따라서, 제2 부(19)가 제1 부(18)와 가까워지는 방향으로 당겨지며, 이에 따라, 노즐 갭(G)이 확대된다.According to this configuration, when the first nozzle body 11 and the second nozzle body 12 are coupled to each other, the adjustment nut 31 is tightened toward the inside of the insertion hole 13, the adjustment nut 31 ) moves to the inside of the insertion hole 13 , the fixing screw 32 moves in a direction toward the outside of the fastening groove 14 . Accordingly, the second portion 19 is pulled in a direction closer to the first portion 18 , and accordingly, the nozzle gap G is enlarged.

이와는 반대로, 조정 너트(31)가 삽입홀(13)의 외측을 향하는 방향으로 풀리면, 조정 너트(31)가 삽입홀(13)의 외측을 향하여 이동함에 따라, 고정 스크류(32)가 체결홈(14)의 내측을 향하는 방향으로 이동한다. 따라서, 제2 부(19)가 제1 부(18)로부터 멀어지는 방향으로 밀리며, 이에 따라, 노즐 갭(G)이 축소된다.On the contrary, when the adjustment nut 31 is loosened in the direction toward the outside of the insertion hole 13, as the adjustment nut 31 moves toward the outside of the insertion hole 13, the fixing screw 32 is inserted into the fastening groove ( 14) moves in the inward direction. Accordingly, the second portion 19 is pushed away from the first portion 18 , and accordingly, the nozzle gap G is reduced.

한편, 조정 너트(31)가 회전할 때 고정 스크류(32)가 임의대로 풀리는 것을 방지하기 위해, 고정 스크류(32)를 소정의 토크로 조이는 과정이 수행된다.Meanwhile, in order to prevent the fixing screw 32 from being arbitrarily loosened when the adjusting nut 31 is rotated, a process of tightening the fixing screw 32 to a predetermined torque is performed.

고정 스크류(32)를 소정의 토크로 조이는 과정 중에, 도 3에 도시된 바와 같이, 고정 스크류(32)의 선단(321)이 체결홈(14)의 끝단면(141)에 접촉하여 가압할 수 있다. 따라서, 고정 스크류(32)의 선단(321)으로부터 체결홈(14)의 끝단면(141)으로 제1 힘이 작용하고, 체결홈(14)의 끝단면(141)으로부터 고정 스크류(32)의 선단(321)으로 제1 힘이 작용하며, 제1 힘 및 제2 힘은 서로 대향하는 방향으로 작용한다. 따라서, 체결홈(14)의 내주면에 형성된 암나사산에는 인장 응력이 지속적으로 작용한다.During the process of tightening the fixing screw 32 to a predetermined torque, as shown in FIG. 3 , the tip 321 of the fixing screw 32 comes into contact with the end surface 141 of the fastening groove 14 and can be pressed. there is. Therefore, the first force acts from the tip 321 of the fixing screw 32 to the end face 141 of the fastening groove 14, and the fastening screw 32 is A first force acts on the tip 321 , and the first and second forces act in opposite directions. Accordingly, tensile stress is continuously applied to the female thread formed on the inner circumferential surface of the fastening groove 14 .

이로 인하여, 슬릿 노즐(10)의 길이 방향을 따라 복수의 갭 조정 유닛(30)이 구비된 복수의 제1 영역에는 지속적인 응력이 작용하고, 복수의 제1 영역 사이에 배치되며 갭 조정 유닛(30)이 구비되지 않은 복수의 제2 영역에는 응력이 작용하지 않거나 최소의 응력이 작용한다. 따라서, 서로 교번적으로 배치되는 제1 영역 및 제2 영역 사이의 응력 차이로 인해 노즐 갭(G)이 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로 변화한다(도 9 참조). 따라서, 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로의 노즐 갭(G)의 편차로 인해, 기판 상에 도포되는 액체의 두께가 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로 변화하는 문제가 있다. 그리고, 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로의 액체의 두께 변화로 인해, 기판 상에 얼룩이 발생하는 문제가 있다.For this reason, continuous stress is applied to the plurality of first regions in which the plurality of gap adjusting units 30 are provided along the longitudinal direction of the slit nozzle 10 , and the gap adjusting unit 30 is disposed between the plurality of first regions. ) is not provided in the plurality of second regions, the stress does not act or the minimum stress acts. Accordingly, the nozzle gap G changes in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 due to the stress difference between the first and second regions alternately arranged with each other (see FIG. 9 ). Accordingly, there is a problem in that the thickness of the liquid applied on the substrate changes in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 due to the deviation of the nozzle gap G in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 . In addition, due to the change in the thickness of the liquid in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 , there is a problem in that unevenness is generated on the substrate.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 노즐 갭이 슬릿 노즐의 길이 방향으로 변화하는 것을 최소화할 수 있는 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the problems of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide a slit nozzle capable of minimizing the change in the nozzle gap in the longitudinal direction of the slit nozzle, and an application device including the same.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐은, 그 사이에 슬릿 형태의 토출구가 형성되도록 결합되는 제1 노즐 바디 및 제2 노즐 바디; 및 제2 노즐 바디에 구비되어 토출구의 폭을 조정하도록 구성되는 갭 조정 유닛을 포함할 수 있고, 제2 노즐 바디는 갭 조정 유닛이 삽입되는 삽입홀과, 삽입홀의 축에 직교하는 방향으로 형성되는 절개부와, 절개부를 사이에 두고 삽입홀에 대향하도록 형성되는 체결홈을 구비할 수 있고, 갭 조정 유닛은, 삽입홀에 체결되는 조정 너트와, 조정 너트에 체결되며 체결홈에 삽입되는 고정 스크류를 포함할 수 있고, 고정 스크류는 고정 스크류의 선단이 체결홈의 끝단면으로부터 이격되도록 배치될 수 있다.A slit nozzle according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a first nozzle body and a second nozzle body coupled to form a slit-shaped discharge port therebetween; and a gap adjusting unit provided in the second nozzle body and configured to adjust the width of the discharge port, wherein the second nozzle body is formed in a direction orthogonal to an insertion hole into which the gap adjusting unit is inserted and an axis of the insertion hole It may include a cutout and a fastening groove formed to face the insertion hole with the cutout therebetween, and the gap adjusting unit includes an adjusting nut fastened to the insertion hole, and a fixing screw fastened to the adjusting nut and inserted into the fastening groove. may include, and the fixing screw may be disposed such that the tip of the fixing screw is spaced apart from the end surface of the fastening groove.

고정 스크류 및 체결홈 사이의 하중이 작용하는 부분은 체결홈의 끝단면에 비하여 체결홈의 입구에 인접하게 위치될 수 있다.A portion on which a load between the fixing screw and the fastening groove is applied may be located closer to the entrance of the fastening groove than the end surface of the fastening groove.

체결홈의 끝단면 및 끝단면에 인접하는 부분은 나사산을 구비하지 않을 수 있다.The end face of the fastening groove and the portion adjacent to the end face may not have threads.

갭 조정 유닛은 슬릿 노즐의 길이 방향으로 소정의 간격으로 복수로 배치될 수 있다.A plurality of gap adjusting units may be disposed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the slit nozzle.

조정 너트 및 고정 스크류는 회전하면서 서로 반대 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다.The adjustment nut and set screw may be configured to move in opposite directions while rotating.

제2 노즐 바디는 절개부를 기준으로 삽입홀이 형성되는 제1 부 및 체결홈이 형성되는 제2 부로 구획될 수 있으며, 제2 부가 제1 부에 대하여 이동함에 따라 토출구의 폭이 조정될 수 있다.The second nozzle body may be divided into a first part in which an insertion hole is formed and a second part in which a fastening groove is formed based on the cutout, and the width of the discharge port may be adjusted as the second part moves with respect to the first part.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐에 따르면, 슬릿 노즐의 길이 방향으로 노즐 갭이 변화하는 것을 최소화할 수 있으므로, 슬릿 노즐의 길이 방향으로의 액체의 두께가 변하는 것을 방지할 수 있으며, 기판 상에 얼룩이 발생하는 문제를 방지할 수 있다.According to the slit nozzle according to the embodiment of the present invention, since it is possible to minimize the change in the nozzle gap in the longitudinal direction of the slit nozzle, it is possible to prevent the change in the thickness of the liquid in the longitudinal direction of the slit nozzle, and on the substrate It can prevent the problem of staining.

도 1은 종래 기술에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 3은 종래 기술에 따른 슬릿 노즐에 구비되는 갭 조정 유닛의 고정 스크류에 가해지는 힘이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐에 구비되는 갭 조정 유닛의 고정 스크류에 가해지는 힘이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐의 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 7은 종래 기술에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향에 따른 슬릿 노즐의 변형량을 측정한 실험 데이터를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향에 따른 슬릿 노즐의 변형량을 측정한 실험 데이터를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9는 슬릿 노즐의 길이의 변화에 따른 노즐 갭 편차의 변화에 대하여 종래 기술에 따른 슬릿 노즐 및 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐을 비교한 결과를 나타내는 그래프이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a slit nozzle according to the prior art.
Figure 2 is a perspective view schematically showing a slit nozzle according to the prior art.
3 is a cross-sectional view schematically illustrating a force applied to a fixing screw of a gap adjusting unit provided in a slit nozzle according to the related art.
4 is a cross-sectional view schematically illustrating a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view schematically illustrating a force applied to a fixing screw of a gap adjusting unit provided in a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view schematically illustrating another example of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
7 is a view schematically showing experimental data obtained by measuring the amount of deformation of the slit nozzle in the longitudinal direction of the slit nozzle according to the related art.
8 is a diagram schematically illustrating experimental data obtained by measuring the amount of deformation of the slit nozzle in the longitudinal direction of the slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
9 is a graph showing a result of comparing a slit nozzle according to the prior art and a slit nozzle according to an embodiment of the present invention with respect to a change in nozzle gap deviation according to a change in the length of the slit nozzle.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 도포 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a slit nozzle according to an embodiment of the present invention and an application device including the same will be described.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(20)은 제1 노즐 바디(21) 및 제2 노즐 바디(22)를 포함한다. 제1 노즐 바디(21) 및 제2 노즐 바디(22)가 상호 결합되는 것에 의해, 슬릿 노즐(20)의 내부에는 슬릿 형태의 액체 토출구가 형성될 수 있다. 또한, 제1 노즐 바디(21) 및 제2 노즐 바디(22)가 상호 결합되는 것에 의해, 슬릿 노즐(20)의 내부에는 토출구와 연통되는 유로가 형성될 수 있다.4 and 5 , the slit nozzle 20 includes a first nozzle body 21 and a second nozzle body 22 . As the first nozzle body 21 and the second nozzle body 22 are coupled to each other, a slit-shaped liquid outlet may be formed in the slit nozzle 20 . In addition, as the first nozzle body 21 and the second nozzle body 22 are coupled to each other, a flow path communicating with the discharge port may be formed in the slit nozzle 20 .

슬릿 노즐(20)은 포토레지스트 또는 현상액을 기판 상에 도포하는 도포 장치에 적용될 수 있다.The slit nozzle 20 may be applied to a coating device for applying a photoresist or a developer on a substrate.

슬릿 노즐(20)은 노즐 갭(G)을 조정하도록 구성되는 복수의 갭 조정 유닛(40)을 구비한다.The slit nozzle 20 has a plurality of gap adjustment units 40 configured to adjust the nozzle gap G.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 갭 조정 유닛(40)은 제2 노즐 바디(22)에 형성되는 복수의 삽입홀(23)을 통하여 슬릿 노즐(20)의 내부에 삽입된다. 복수의 갭 조정 유닛(40)은 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로 소정의 간격으로 배치된다.4 and 5 , the plurality of gap adjusting units 40 are inserted into the slit nozzle 20 through the plurality of insertion holes 23 formed in the second nozzle body 22 . The plurality of gap adjusting units 40 are arranged at predetermined intervals in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 .

갭 조정 유닛(40)은, 조정 너트(41) 및 고정 스크류(42)를 포함한다.The gap adjusting unit 40 includes an adjusting nut 41 and a fixing screw 42 .

조정 너트(41) 및 삽입홀(23)은 나사 결합된다. 이를 위하여, 조정 너트(41)의 외주면에서는 수나사산이 형성되고, 삽입홀(23)의 내주면에는 암나사산이 형성된다. 조정 너트(41)는 삽입홀(23)에 견고하게 체결된다. 조정 너트(41)는 그 내부에 고정 스크류(42)를 유지하는 역할을 한다.The adjustment nut 41 and the insertion hole 23 are screwed together. To this end, a male thread is formed on the outer peripheral surface of the adjustment nut 41 , and a female thread is formed on the inner peripheral surface of the insertion hole 23 . The adjustment nut 41 is firmly fastened to the insertion hole 23 . The adjusting nut 41 serves to retain the fixing screw 42 therein.

고정 스크류(42)는 조정 너트(41)에 나사 결합된다. 이를 위하여, 조정 너트(41)의 내주면에는 암나사산이 형성되고, 고정 스크류(42)의 외주면에는 수나사산이 형성된다.The fixing screw 42 is screwed to the adjusting nut 41 . To this end, a female thread is formed on the inner peripheral surface of the adjusting nut 41 , and a male thread is formed on the outer peripheral surface of the fixing screw 42 .

조정 너트(41)의 외주면에 형성되는 수나사산 및 조정 너트(41)의 내주면에 형성되는 암나사산(고정 스크류(42))의 외주면에 형성되는 수나사산)은 상이한 피치를 갖는다. 따라서, 조정 너트(41) 및 고정 스크류(42)는 회전하면서 서로 반대 방향으로 미세하게 이동될 수 있다.The male thread formed on the outer peripheral surface of the adjustment nut 41 and the female thread formed on the inner peripheral surface of the adjustment nut 41 (the male thread formed on the outer peripheral surface of the fixing screw 42) have different pitches. Accordingly, the adjusting nut 41 and the fixing screw 42 may be minutely moved in opposite directions while rotating.

고정 스크류(42)는 삽입홀(23) 및 조정 너트(41)를 관통한 다음 제2 노즐 바디(22)에 구비되는 체결홈(24) 내에 삽입된다. 체결홈(24)의 내주면에는 고정 스크류(42)의 수나사산에 대응하는 암나사산이 형성되며, 이에 따라, 고정 스크류(42)가 체결홈(24)에 체결될 수 있다.The fixing screw 42 is inserted into the fastening groove 24 provided in the second nozzle body 22 after passing through the insertion hole 23 and the adjustment nut 41 . A female thread corresponding to the male thread of the fixing screw 42 is formed on the inner circumferential surface of the fastening groove 24 . Accordingly, the fixing screw 42 can be fastened to the fastening groove 24 .

삽입홀(23) 및 체결홈(24) 사이에는 고정 스크류(42)의 나사 축에 직교하는 방향으로 절개된 절개부(25)가 형성된다. 절개부(25)는 삽입홀(23) 및 체결홈(24)에 직교하는 방향으로 형성될 수 있다. 삽입홀(23) 및 체결홈(24)은 절개부(25)를 사이에 두고 서로 대향할 수 있다.A cutout 25 is formed between the insertion hole 23 and the fastening groove 24 in a direction perpendicular to the screw axis of the fixing screw 42 . The cutout 25 may be formed in a direction perpendicular to the insertion hole 23 and the fastening groove 24 . The insertion hole 23 and the fastening groove 24 may face each other with the cutout 25 interposed therebetween.

절개부(25)를 기준으로 제2 노즐 바디(22)는 삽입홀(23)이 형성되는 제1 부(28) 및 체결홈(24)이 형성되는 제2 부(29)로 구획된다. 절개부(25)가 형성됨에 따라, 제2 부(29)가 제1 부(28)를 향하여 이동되면서 노즐 갭(G)이 확대될 수 있고, 제2 부(29)가 제1 부(28)로부터 이격되게 이동되면서 노즐 갭(G)이 축소될 수 있다.Based on the cutout 25 , the second nozzle body 22 is divided into a first part 28 in which an insertion hole 23 is formed and a second part 29 in which a fastening groove 24 is formed. As the cutout 25 is formed, the nozzle gap G may be enlarged while the second part 29 is moved toward the first part 28 , and the second part 29 is moved toward the first part 28 . ) while moving away from the nozzle gap (G) can be reduced.

이와 같은 구성에 따르면, 제1 노즐 바디(21) 및 제2 노즐 바디(22)가 서로 결합된 상태에서, 조정 너트(41)가 삽입홀(23)의 내측을 향하는 조여지면, 조정 너트(41)가 삽입홀(23)의 내측으로 이동함에 따라, 고정 스크류(42)가 체결홈(24)의 외측을 향하는 방향으로 이동한다. 따라서, 제2 부(29)가 제1 부(28)와 가까워지는 방향으로 당겨지며, 이에 따라, 노즐 갭(G)이 확대된다.According to this configuration, when the first nozzle body 21 and the second nozzle body 22 are coupled to each other, the adjustment nut 41 is tightened toward the inside of the insertion hole 23, the adjustment nut 41 ) moves to the inside of the insertion hole 23 , the fixing screw 42 moves in a direction toward the outside of the fastening groove 24 . Accordingly, the second portion 29 is pulled in a direction closer to the first portion 28 , and accordingly, the nozzle gap G is enlarged.

이와는 반대로, 조정 너트(41)가 삽입홀(23)의 외측을 향하는 방향으로 풀리면, 조정 너트(41)가 삽입홀(23)의 외측을 향하여 이동함에 따라, 고정 스크류(42)가 체결홈(24)의 내측을 향하는 방향으로 이동한다. 따라서, 제2 부(29)가 제1 부(28)로부터 멀어지는 방향으로 밀리며, 이에 따라, 노즐 갭(G)이 축소된다.Conversely, when the adjustment nut 41 is loosened in the direction toward the outside of the insertion hole 23, as the adjustment nut 41 moves toward the outside of the insertion hole 23, the fixing screw 42 is inserted into the fastening groove ( 24) moves in the direction toward the inside. Accordingly, the second portion 29 is pushed away from the first portion 28 , and accordingly, the nozzle gap G is reduced.

도 5에 도시된 바와 같이, 고정 스크류(42)가 체결홈(24)에 체결된 상태에서, 고정 스크류(42)의 선단(421)은 체결홈(24)의 끝단면(241)으로부터 이격될 수 있다. 즉, 고정 스크류(42)의 선단(421) 및 체결홈(24)의 끝단면(241) 사이에는 소정의 공간(242)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 5 , in a state in which the fixing screw 42 is fastened to the fastening groove 24 , the tip 421 of the fixing screw 42 is spaced apart from the end face 241 of the fastening groove 24 . can That is, a predetermined space 242 may be formed between the front end 421 of the fixing screw 42 and the end surface 241 of the fastening groove 24 .

다른 예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 체결홈(24)의 끝단면(241) 및 끝단면(241)에 인접하는 부분에는 나사산이 형성되지 않는다. 따라서, 고정 스크류(42)의 선단(421)은 체결홈(24)의 끝단면(241)으로부터 이격될 수 있다. 즉, 고정 스크류(42)의 선단(421) 및 체결홈(24)의 끝단면(241) 사이에는 소정의 공간(242)이 형성될 수 있다.As another example, as shown in FIG. 6 , the end face 241 of the fastening groove 24 and the portion adjacent to the end face 241 are not threaded. Accordingly, the front end 421 of the fixing screw 42 may be spaced apart from the end surface 241 of the fastening groove 24 . That is, a predetermined space 242 may be formed between the front end 421 of the fixing screw 42 and the end surface 241 of the fastening groove 24 .

이에 따라, 고정 스크류(42) 및 체결홈(24) 사이에서 하중이 작용하는 부분이 체결홈(24)의 끝단면(241)에 비하여 체결홈(24)의 입구에 인접하게 위치할 수 있다.Accordingly, the portion on which a load is applied between the fixing screw 42 and the fastening groove 24 may be located closer to the entrance of the fastening groove 24 than the end surface 241 of the fastening groove 24 .

이와 같이, 고정 스크류(42)의 선단(421)은 체결홈(24)의 끝단면(241)으로부터 이격된다. 즉, 고정 스크류(42)의 선단(421) 및 체결홈(24)의 끝단면(241)이 서로 접촉하지 않는다. 따라서, 고정 스크류(42)의 선단(421) 및 체결홈(24)의 끝단면(241) 사이에 작용하는 힘이 없거나 최소화된다. 그리고, 고정 스크류(42) 및 체결홈(24) 사이에서 하중이 작용하는 부분이 종래에 비하여 체결홈(24)의 입구에 인접하게 위치된다. 따라서, 고정 스크류(42)에 의해 체결홈(24)의 암나사산에 작용하는 응력이 최소화된다.As such, the front end 421 of the fixing screw 42 is spaced apart from the end surface 241 of the fastening groove 24 . That is, the front end 421 of the fixing screw 42 and the end surface 241 of the fastening groove 24 do not contact each other. Accordingly, there is no or minimal force acting between the front end 421 of the fixing screw 42 and the end surface 241 of the fastening groove 24 . And, a portion on which a load acts between the fixing screw 42 and the fastening groove 24 is positioned adjacent to the entrance of the fastening groove 24 compared to the related art. Therefore, the stress acting on the female thread of the fastening groove 24 by the fixing screw 42 is minimized.

따라서, 갭 조정 유닛(40)을 구비하는 복수의 제1 영역 및 갭 조정 유닛(40)을 구비하지 않는 복수의 제2 영역 사이의 응력 차이가 최소화된다. 서로 교번적으로 배치되는 제1 영역 및 제2 영역 사이의 응력 차이로 인해 노즐 갭(G)이 슬릿 노즐(10)의 길이 방향으로 변화하는 정도가 최소화된다(도 9 참조).Accordingly, the stress difference between the plurality of first regions having the gap adjusting unit 40 and the plurality of second regions not having the gap adjusting unit 40 is minimized. The degree to which the nozzle gap G changes in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 due to the stress difference between the first and second regions alternately arranged with each other is minimized (refer to FIG. 9 ).

이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐(20)의 효과에 대하여 설명한다.Hereinafter, the effect of the slit nozzle 20 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 9 .

도 7은 종래 기술에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향에 따른 슬릿 노즐의 변형량을 측정한 실험 데이터를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향에 따른 슬릿 노즐의 변형량을 측정한 실험 데이터를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 9는 슬릿 노즐의 길이의 변화에 따른 노즐 갭 편차의 변화에 대하여 종래 기술에 따른 슬릿 노즐 및 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐을 비교한 결과를 나타내는 그래프이다.7 is a view schematically showing experimental data measuring the amount of deformation of the slit nozzle in the longitudinal direction of the slit nozzle according to the prior art, and FIG. 8 is a slit nozzle in the longitudinal direction of the slit nozzle according to the embodiment of the present invention. It is a view schematically showing experimental data measuring the amount of deformation, and FIG. 9 is a slit nozzle according to the prior art and a slit nozzle according to an embodiment of the present invention with respect to a change in the nozzle gap deviation according to a change in the length of the slit nozzle. It is a graph showing the result.

도 7를 참조하면, 고정 스크류(32)의 선단(321)이 체결홈(14)의 끝단면(141)에 접촉하여 가압하는 종래 기술에 따른 슬릿 노즐(20)의 경우, 갭 조정 유닛(30)을 구비하는 복수의 제1 영역 및 갭 조정 유닛(30)을 구비하지 않는 복수의 제2 영역 사이의 큰 응력 차이로 인해, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로의 굴곡 변형이 크다는 것을 알 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 종래 기술에 따른 슬릿 노즐(20)의 경우, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로의 큰 굴곡 변형으로 인해, 노즐 갭(G)이 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로 크게 변하는 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 7 , in the case of the slit nozzle 20 according to the prior art in which the tip 321 of the fixing screw 32 contacts and presses the end surface 141 of the fastening groove 14, the gap adjustment unit 30 It can be seen that the bending deformation in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 is large due to the large stress difference between the plurality of first regions with ) and the second plurality of regions without the gap adjusting unit 30 there is. In addition, referring to FIG. 9 , in the case of the slit nozzle 20 according to the prior art, due to the large bending deformation in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 , the nozzle gap G is formed in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 . It can be seen that there is a significant change in

반면, 도 8을 참조하면, 고정 스크류(42)의 선단(421)이 체결홈(24)의 끝단면(241)에 접촉하지 않는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐(20)의 경우, 갭 조정 유닛(40)을 구비하는 복수의 제1 영역 및 갭 조정 유닛(40)을 구비하지 않는 복수의 제2 영역 사이의 응력 차이가 최소화되므로, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로의 굴곡 변형이 작다는 것을 알 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐(20)의 경우, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로의 굴곡 변형이 작으므로, 노즐 갭(G)이 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로 작게 변하는 것을 알 수 있다.On the other hand, referring to FIG. 8 , in the case of the slit nozzle 20 according to the embodiment of the present invention, in which the tip 421 of the fixing screw 42 does not contact the end surface 241 of the fastening groove 24 , the gap Since the stress difference between the plurality of first regions having the adjusting unit 40 and the plurality of second regions not having the gap adjusting unit 40 is minimized, the bending deformation in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 is reduced. It can be seen that small In addition, referring to FIG. 9 , in the case of the slit nozzle 20 according to the embodiment of the present invention, since the bending deformation in the longitudinal direction of the slit nozzle 20 is small, the nozzle gap G is the slit nozzle 20 . It can be seen that there is a small change in the longitudinal direction of

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 노즐(20)에 따르면, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로 노즐 갭(G)이 변화하는 것을 최소화할 수 있으므로, 슬릿 노즐(20)의 길이 방향으로의 액체의 두께가 변하는 것을 방지할 수 있으며, 기판 상에 얼룩이 발생하는 문제를 방지할 수 있다.Therefore, according to the slit nozzle 20 according to the embodiment of the present invention, it is possible to minimize the change in the nozzle gap (G) in the longitudinal direction of the slit nozzle 20, in the longitudinal direction of the slit nozzle (20) It is possible to prevent the thickness of the liquid from changing, and it is possible to prevent the problem of staining on the substrate.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

20: 슬릿 노즐
40: 갭 조정 유닛
41: 조정 너트
42: 고정 스크류
23: 삽입홀
24: 체결홈
G: 노즐 갭20: slit nozzle
40: gap adjustment unit
41: adjusting nut
42: fixing screw
23: insertion hole
24: fastening groove
G: nozzle gap

Claims (7)

슬릿 형태의 토출구가 형성되도록 결합되는 제1 노즐 바디 및 제2 노즐 바디; 및
상기 제2 노즐 바디에 구비되어 상기 토출구의 폭을 조정하도록 구성되는 갭 조정 유닛을 포함하고,
상기 제2 노즐 바디는 상기 갭 조정 유닛이 삽입되는 삽입홀과, 상기 삽입홀의 축에 직교하는 방향으로 형성되는 절개부와, 상기 절개부를 사이에 두고 상기 삽입홀에 대향하도록 형성되는 체결홈을 구비하고,
상기 갭 조정 유닛은, 상기 삽입홀에 체결되는 조정 너트와, 상기 조정 너트에 체결되며 상기 체결홈에 삽입되는 고정 스크류를 포함하며,
상기 체결홈의 끝단면 및 상기 끝단면에 인접하는 부분은 나사산을 구비하지 않음으로써 상기 고정 스크류는 상기 고정 스크류의 선단이 상기 체결홈의 끝단면으로부터 이격되어 상기 고정 스크류의 선단 및 체결홈의 끝단면 사이에 소정의 공간이 형성되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.a first nozzle body and a second nozzle body coupled to form a slit-shaped discharge port; and
a gap adjusting unit provided on the second nozzle body and configured to adjust the width of the outlet;
The second nozzle body includes an insertion hole into which the gap adjusting unit is inserted, a cutout formed in a direction perpendicular to the axis of the insertion hole, and a fastening groove formed to face the insertion hole with the cutout therebetween. and,
The gap adjusting unit includes an adjusting nut fastened to the insertion hole, and a fixing screw fastened to the adjusting nut and inserted into the fastening groove,
The end face of the fastening groove and the portion adjacent to the end face do not include threads, so that the fixed screw has a tip of the fastening screw spaced apart from the end face of the fastening groove, so that the front end of the fastening screw and the end of the fastening groove A slit nozzle, characterized in that it is arranged to form a predetermined space between the end faces. 청구항 1에 있어서,
상기 고정 스크류 및 상기 체결홈 사이의 하중이 작용하는 부분은 상기 체결홈의 끝단면에 비하여 상기 체결홈의 입구에 인접하게 위치되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
A portion on which a load is applied between the fixing screw and the fastening groove is positioned adjacent to the inlet of the fastening groove compared to an end surface of the fastening groove. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 갭 조정 유닛은 상기 슬릿 노즐의 길이 방향으로 소정의 간격으로 복수로 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
The gap adjusting unit is a slit nozzle, characterized in that it is arranged in a plurality at predetermined intervals in the longitudinal direction of the slit nozzle. 청구항 1에 있어서,
상기 조정 너트 및 상기 고정 스크류는 회전하면서 서로 반대 방향으로 이동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
The slit nozzle according to claim 1, wherein the adjusting nut and the fixing screw are configured to move in opposite directions while rotating. 청구항 1에 있어서,
상기 제2 노즐 바디는 상기 절개부를 기준으로 상기 삽입홀이 형성되는 제1 부 및 상기 체결홈이 형성되는 제2 부로 구획되며,
상기 제2 부가 상기 제1 부에 대하여 이동함에 따라 상기 토출구의 폭이 조정되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
The second nozzle body is divided into a first part in which the insertion hole is formed and a second part in which the fastening groove is formed based on the cutout,
The slit nozzle, characterized in that the width of the discharge port is adjusted as the second part moves with respect to the first part. 청구항 1, 2, 4 내지 6 중 어느 한 항에 따른 슬릿 노즐을 사용하여 기판 상에 액체를 도포하는 도포 장치.An application device for applying a liquid on a substrate using the slit nozzle according to any one of claims 1, 2, 4 to 6.
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