KR102377943B1 - Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method - Google Patents

Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method Download PDF

Info

Publication number
KR102377943B1
KR102377943B1 KR1020200159590A KR20200159590A KR102377943B1 KR 102377943 B1 KR102377943 B1 KR 102377943B1 KR 1020200159590 A KR1020200159590 A KR 1020200159590A KR 20200159590 A KR20200159590 A KR 20200159590A KR 102377943 B1 KR102377943 B1 KR 102377943B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heating resistor
load cell
conductor
control
compensation
Prior art date
Application number
KR1020200159590A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이창린
서종덕
조재동
임정식
박준태
배한욱
Original Assignee
(주)알텍
주식회사 신영
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)알텍, 주식회사 신영 filed Critical (주)알텍
Priority to KR1020200159590A priority Critical patent/KR102377943B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102377943B1 publication Critical patent/KR102377943B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K5/00Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material
    • G01K5/48Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid
    • G01K5/56Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid
    • G01K5/58Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid the solid body being constrained at more than one point, e.g. rod, plate, diaphragm
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B11/00Automatic controllers
    • G05B11/01Automatic controllers electric
    • G05B11/26Automatic controllers electric in which the output signal is a pulse-train
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/04Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/048Monitoring; Safety
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B1/00Details of electric heating devices
    • H05B1/02Automatic switching arrangements specially adapted to apparatus ; Control of heating devices

Abstract

The present invention relates to a heat resistor compensation control process device which controls compensation according to deformation of a heat resistor whose length or volume changes according to heat generation, and a control method thereof. According to the present invention, the heat resistor compensation control processing apparatus comprises: a heat resistor (107) to which a power supply unit (303) is connected; a compensation cell (106) connected to an end of the heat resistor (107) to fasten the heat resistor (107) and transmit an output; a parallel guide (105) connected to the compensation cell (106); a load cell (104) connected to the parallel guide (105) to measure the amount of deformation of the heat resistor (107); a control panel (302) receiving a measured value of a volume change of the load cell (104); and a control motor (102) rotating by receiving a control signal from a control panel (302) according to the measured value of the load cell (104). Accordingly, the apparatus compensates for the deformation of the heat resistor.

Description

발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법{Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method} Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method

본 발명은 발열저항체에 관한 것으로, 구체적으로 발열에 따라 길이 또는 체적 변화가 발생하는 발열저항체의 변형 발생에 따른 보상 제어를 할 수 있도록 한 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a heat generating resistor, and more particularly, to a heat generating resistor compensation control process device and a control method thereof, which enable compensation control according to the occurrence of deformation of a heat generating resistor that changes in length or volume according to heat generation.

저항이 있는 도선에 전류가 흐르면 열이 발생하는 전류의 열작용을 이용하는 전기 발열체들은 산업 전반에 걸쳐 다양하게 응용되고 있다.Electric heating elements that use the thermal action of the current to generate heat when a current flows through a conductor with resistance are being applied in various ways throughout the industry.

도 1은 종래 기술의 발열저항체의 온도 변화에 따른 체적 변형 문제를 나타낸 구성도이다.1 is a block diagram showing the problem of volume deformation according to the temperature change of the heating resistor of the prior art.

전류 출력이 인가된 발열저항체의 출력량에 따라 발열을 하고, 발열저항체는 발열에 따라 길이 또는 체적 변화가 발생한다.Heat is generated according to the output amount of the heating resistor to which the current output is applied, and the length or volume of the heating resistor changes according to the heat generation.

위치가 고정된 출력 단자의 셀 사이에 존재하는 발열저항체는 상/하/좌/우의 형태로 체적 변화가 발생하고, 단면적의 넓이와 길이 방향에 따라 변형량이 증가하는 문제가 있다.There is a problem in that the heat generating resistor existing between the cells of the output terminal having a fixed position changes in volume in the form of top/bottom/left/right, and the amount of deformation increases according to the width and length of the cross-sectional area.

이와 같은 변형량의 증가는 균일한 열적 발산과 접합 또는 근접시의 평탄면을 다룰 때 변형에 의한 결함을 발생시켜 공정 수율을 저하시키고, 제품의 신뢰성을 저하시킨다.Such an increase in the amount of deformation causes uniform thermal dissipation and defects due to deformation when handling a flat surface at the time of bonding or proximity, thereby lowering the process yield and lowering the reliability of the product.

따라서, 균일한 열적 발산과 접합 또는 근접시의 평탄면을 다룰 때 변형에 대한 제어가 가능하도록 하는 새로운 기술의 개발이 요구되고 있다.Therefore, there is a need for development of a new technology that allows uniform thermal dissipation and control of deformation when dealing with a flat surface at the time of bonding or proximity.

대한민국 공개특허 제10-2014-0093530호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2014-0093530 대한민국 공개특허 제10-1991-0002290호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1991-0002290

본 발명은 종래 기술의 발열저항체 및 이를 사용하는 공정 제어의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 발열에 따라 길이 또는 체적 변화가 발생하는 발열저항체의 변형 발생에 따른 보상 제어를 할 수 있도록 한 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problem of the heating resistor of the prior art and the process control using the same, and a compensation control for a heating resistor that allows compensation control according to the occurrence of deformation of a heating resistor that changes in length or volume according to heat generation An object of the present invention is to provide a process device and a method for controlling the same.

본 발명은 발열저항체 및 이를 사용하는 공정 제어시에 발열에 따른 변화량의 측정, 변화량을 표시, 변화량의 시그널 취득으로 파워 발진의 추이에 따라 변화하는 열적 변형 값을 실시간으로 측정할 수 있도록 한 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is a heating resistor capable of measuring the amount of change due to heat generation during control of a heating resistor and a process using the same, displaying the amount of change, and acquiring a signal of the amount of change to measure in real time the thermal deformation value that changes according to the power oscillation trend An object of the present invention is to provide a compensation control process apparatus and a control method thereof.

본 발명은 수신된 변화량 데이터 값을 PC와 제어반, 제어 모터를 활용하여 수축 이완에 따른 자동화 반응이 가능한 공정 시스템을 구현할 수 있도록 한 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a heating resistor compensation control process apparatus and a control method thereof that enable an automated reaction according to contraction and relaxation by using a PC, a control panel, and a control motor to implement a process system capable of automatic reaction according to contraction and relaxation by using a received change amount data value. .

본 발명은 실시간으로 측정하고 반응하는 공정 시스템을 구축하여 고온시 발생되는 변형에 의해 피물체의 근접 또는 접촉면의 형상 문제와 발생열의 복사 또는 전도 전달시 균일하게 열을 전달할 수 있어 불균일성의 문제를 해결할 수 있도록 한 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention builds a process system that measures and reacts in real time to solve the problem of non-uniformity by being able to transmit heat uniformly during the radiation or conduction transfer of the generated heat and the shape problem of the proximity or contact surface of the object due to the deformation generated at high temperature. An object of the present invention is to provide a heating resistor compensation control process device and a control method thereof.

본 발명의 다른 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치는 전원부(303)가 연결되는 발열저항체(107);발열저항체(107)의 끝단에 연결되어 발열저항체(107)를 체결하고 출력을 전달하기 위한 보상셀(106);상기 보상셀(106)에 연결되는 평행가이드(105);상기 평행가이드(105)에 연결되어 발열저항체(107)의 변형량을 측정하는 로드셀(104);상기 로드셀(104)의 체적변화 측정값을 전송받는 제어반(302);상기 로드셀(104)의 측정값에 따라 상기 제어반(302)으로부터 제어신호를 전달받아 회전하는 제어모터(102);를 포함하고, 상기 발열저항체의 변형을 보상하는 것을 특징으로 한다.The heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention for achieving the above object is a heating resistor 107 to which the power supply unit 303 is connected; it is connected to the end of the heating resistor 107 and fastens the heating resistor 107, A compensation cell 106 for transmitting an output; A parallel guide 105 connected to the compensation cell 106; A load cell 104 connected to the parallel guide 105 to measure the amount of deformation of the heating resistor 107; A control panel 302 receiving a volume change measurement value of the load cell 104; A control motor 102 rotating by receiving a control signal from the control panel 302 according to the measurement value of the load cell 104; and , it is characterized in that the deformation of the heating resistor is compensated.

여기서, 상기 제어모터(102)의 동력을 상기 로드셀(104)로 전달하는 기어모듈(103)을 더 포함하고, 상기 제어모터(102) 및 기어모듈(103)이 상기 발열저항체(107)의 변형을 보상하는 방향으로 로드셀(104)을 이동시키는 것을 특징으로 한다.Here, a gear module 103 for transmitting the power of the control motor 102 to the load cell 104 is further included, wherein the control motor 102 and the gear module 103 are deformed by the heat generating resistor 107 . It is characterized in that the load cell 104 is moved in a direction that compensates for .

그리고 상기 발열저항체(107)의 고온화에 따른 열의 복사 및 전도로부터 로드셀(104)을 열로부터 보호하고 측정작용이 가능한 구동온도 상태를 유지하기 위한 로드셀 냉각폴드(108)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And it further comprises a load cell cooling fold 108 for protecting the load cell 104 from heat from radiation and conduction of heat due to the high temperature of the heating resistor 107 and maintaining a driving temperature state that can be measured. .

그리고 로드셀 냉각폴드(108)는 고온에서 열 영향에 따라 올바른 측정이 이루어지지 못하는 환경을 억제하기 위하여, 열이 전달될 수 있는 구조물과 맞닿은 지점에 열을 차단할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the load cell cooling fold 108 is configured to block heat at a point in contact with a structure through which heat can be transmitted in order to suppress an environment in which correct measurement cannot be made due to thermal effects at high temperatures.

그리고 상기 제어모터(102)는 로드셀(104)의 반응값에 따라 실시간 헤르츠(Hz)를 달리하여 반응 값을 높이거나 낮출 수 있고, 발열저항체(107) 보상 제어와 관련해 전용 프로그램을 활용하여 이를 자동화 및 선택적 사용이 가능도록 하는 것을 특징으로 한다.And the control motor 102 can increase or decrease the response value by varying real-time Hertz (Hz) according to the response value of the load cell 104, and automate this by using a dedicated program in relation to compensation control of the heating resistor 107. And it is characterized in that it enables selective use.

그리고 상기 제어모터(102)는 발열저항체(107)의 체적 변화 측정값의 증가와 감소에 따라 모터 구동부를 작동시켜 수렴/발산의 힘에 따라 텐션 조절을 하여 발열저항체(107)의 평탄화, 균일화를 제공하는 것을 특징으로 한다.And the control motor 102 operates the motor driving unit according to the increase and decrease of the volume change measurement value of the heating resistor 107 to adjust the tension according to the convergence/divergence force to flatten and equalize the heating resistor 107. It is characterized by providing.

다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법은 메인 컨트롤러 ON 및 파워 ON을 하여 전도체를 가열하여 전도체에서 인장력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지하는 단계;로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면, 전도체의 인장력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단하고(인장력 > 0 ?), 인장력이 0보다 크면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고, 인장력이 0보다 크지 않다면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하는 단계;전도체가 설정된 온도에 도달한 것으로 판단되면 전도체에 인가되는 파워를 OFF하고, 바텀 업(Bottom Up), 성형, 바텀 다운(Bottom Down)을 하고, PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하고, 공정 지속 여부를 판단하는 단계;공정을 지속하는 경우에는 전도체 냉각을 하고, 전도체에서 압축력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지하고, 로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면, 전도체의 압축력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단(압축력 < 0 ?)하는 단계;압축력이 0보다 작지 않으면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고, 압축력이 0보다 작으면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The control method of a heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention for achieving another object is to heat a conductor by turning on the main controller and power ON, and when a tensile force is generated in the conductor, detecting a change amount in the load cell; When transmitted to the PC, it is determined whether the tensile force of the conductor is in the positive or negative direction (tensile force > 0 ?), and if the tensile force is greater than 0, the PC controls the conductor tensile operation with the control motor. If the tensile force is not greater than 0, the PC Step of controlling the conductor compression operation with the control motor in; When it is determined that the conductor has reached the set temperature, the power applied to the conductor is turned OFF, and the bottom-up, molding, and bottom-down are performed, and the PC controlling the conductor compression operation with the control motor and determining whether the process is continued; if the process is continued, the conductor is cooled, and when a compressive force is generated from the conductor, the load cell detects the change, and the load cell detection data is transmitted to the PC , determining whether the compressive force of the conductor is in the positive or negative direction (compressive force < 0 ?); If the compressive force is not less than 0, the PC controls the conductor tensioning operation with the control motor, and if the compressive force is less than 0, the PC and controlling the conductor compression operation with a control motor.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The heating resistor compensation control process apparatus and the control method thereof according to the present invention as described above have the following effects.

첫째, 발열에 따라 길이 또는 체적 변화가 발생하는 발열저항체의 변형 발생에 따른 보상 제어를 할 수 있도록 한다.First, it enables compensation control according to the occurrence of deformation of the heating resistor, which changes in length or volume according to heat generation.

둘째, 발열저항체 및 이를 사용하는 공정 제어시에 발열에 따른 변화량의 측정, 변화량을 표시, 변화량의 시그널 취득으로 파워 발진의 추이에 따라 변화하는 열적 변형 값을 실시간으로 측정할 수 있도록 한다.Second, when controlling a heating resistor and a process using the same, it is possible to measure the thermal deformation value that changes according to the power oscillation trend in real time by measuring the amount of change due to heat generation, displaying the amount of change, and acquiring the signal of the amount of change.

셋째, 수신된 변화량 데이터 값을 PC와 제어반, 제어 모터를 활용하여 수축 이완에 따른 자동화 반응이 가능한 공정 시스템을 구현할 수 있도록 한다.Third, it is possible to implement a process system capable of an automated response according to contraction and relaxation by using a PC, a control panel, and a control motor for the received change amount data value.

넷째, 실시간으로 측정하고 반응하는 공정 시스템을 구축하여 고온시 발생되는 변형에 의해 피물체의 근접 또는 접촉면의 형상 문제와 발생열의 복사 또는 전도 전달시 균일하게 열을 전달할 수 있어 불균일성의 문제를 해결할 수 있도록 한다.Fourth, by building a process system that measures and reacts in real time, it is possible to solve the problem of non-uniformity because it is possible to uniformly transmit heat during radiation or conduction transfer of the heat generated and the shape problem of the proximity or contact surface of the object due to the deformation generated at high temperature. let it be

도 1은 종래 기술의 발열저항체의 온도 변화에 따른 체적 변형 문제를 나타낸 구성도
도 2는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 통한 보상 제어 개념을 나타낸 구성도
도 3a와 도 3b는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 구성도
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 상세 구성도
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법을 나타낸 플로우 차트 및 공정 장치의 제어 프로세스
1 is a block diagram showing the problem of volume deformation according to the temperature change of the heating resistor of the prior art;
2 is a configuration diagram showing a compensation control concept through a heating resistor compensation control process apparatus and a control method thereof according to the present invention;
3A and 3B are configuration diagrams of compensation control for a heating resistor according to the present invention;
4A and 4B are detailed configuration diagrams of a heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention.
5 and 6 are a flowchart showing a control method of a heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention and a control process of the process apparatus

이하, 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the heating resistor compensation control process apparatus and the control method thereof according to the present invention will be described in detail as follows.

본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Characteristics and advantages of the heating resistor compensation control process apparatus and the control method thereof according to the present invention will become apparent through the detailed description of each embodiment below.

도 2는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법을 통한 보상 제어 개념을 나타낸 구성도이다.2 is a configuration diagram illustrating a compensation control concept through a heating resistor compensation control process apparatus and a control method thereof according to the present invention.

본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법은 발열에 따라 길이 또는 체적 변화가 발생하는 발열저항체의 변형 발생에 따른 보상 제어를 할 수 있도록 한 것이다.According to the present invention, a compensation control process apparatus for a heating resistor and a control method therefor can perform compensation control according to the occurrence of deformation of a heating resistor that changes in length or volume according to heat generation.

이를 위하여, 본 발명은 발열저항체 및 이를 사용하는 공정 제어시에 발열에 따른 변화량의 측정, 변화량을 표시, 변화량의 시그널 취득으로 파워 발진의 추이에 따라 변화하는 열적 변형 값을 실시간으로 측정할 수 있도록 하는 구성을 포함할 수 있다.To this end, the present invention is to measure the amount of change due to heat generation during control of a heating resistor and a process using the same, display the amount of change, and obtain a signal of the amount of change to measure the thermal deformation value that changes according to the power oscillation in real time It may include a configuration that

본 발명은 수신된 변화량 데이터 값을 PC와 제어반, 제어 모터를 활용하여 수축 이완에 따른 자동화 반응이 가능한 공정 시스템을 구현할 수 있도록 하는 구성을 포함할 수 있다.The present invention may include a configuration for realizing a process system capable of an automated response according to contraction and relaxation by utilizing a PC, a control panel, and a control motor for the received change amount data value.

본 발명은 발열저항체의 제어와 관계된 것으로, 단순 발열과 같은 일반적인 사용목적에 있어 발열저항체의 자체 변형에 대한 제약없이 사용을 하여왔으나, 피실험물에 대한 균일한 열적 발산과 접합 또는 근접시의 평탄면을 다룰 때 변형에 대한 제어가 필요하다.The present invention relates to the control of a heating resistor, and has been used without restrictions on self-deformation of the heating resistor for general purposes such as simple heat generation, but uniform thermal dissipation to the test object and flatness at bonding or proximity When dealing with faces, you need to control the deformation.

발열저항체에 출력을 인가한 후 그에 따른 변화량을 제어하기 위한 공정에 관한 것으로, 전원부에서 인가된 출력을 전달하는 터미널 케이블과 출력량에 따른 발열저항체로 연결되어 있다.It relates to a process for controlling the amount of change after applying an output to the heating resistor, and it is connected to a terminal cable that transmits the output applied from the power supply and the heating resistor according to the output amount.

발열량에 따른 온도의 변화에 따라 발열저항체의 길이 및 체적의 변화가 비균일하게 발생하고, 온도의 변화에 따른 수축 및 이완에 대한 힘의 변화를 로드셀에서 측정하게 되며, 발열저항체에 직접 연결된 셀과 연동된 모터에 의해 변화량에 따라 평탄화 조절되는 것이다.The change in length and volume of the heating resistor occurs non-uniformly according to the change in temperature according to the amount of heating, and the change in force for contraction and relaxation according to the change in temperature is measured in the load cell. Flattening is controlled according to the amount of change by the interlocked motor.

따라서, 본 발명에 의하면, 발열저항체의 인가된 출력에 따라 온도변화와 함께 물성치가 변화되는데 이를 사용 목적에 맞도록 형상의 제어를 하여 초기 평면화 상태를 유지하거나 평탄화를 진행할 수 상태를 만들 수 있도록 한다.Therefore, according to the present invention, the physical properties change along with the temperature change according to the applied output of the heating resistor, and the shape is controlled to suit the purpose of use to maintain the initial planarization state or to create a state capable of proceeding with the planarization. .

즉, 이에 따른 변화량에 맞추어 상응하는 보상 힘을 주어 수축 및 이완에 대한 보상 조절을 할 수 있도록 한다.That is, compensation adjustment for contraction and relaxation can be performed by giving a corresponding compensating force according to the amount of change.

구체적으로, 본 발명에 따른 발열저항체 보상 제어는 열발생에 의해 발열저항체와 유사한 소재가 길이나, 넓이, 체적 등이 변화할 수 있음을 인지하고 이를 제어하기 위해 변화량의 측정, 변화량을 표시, 변화량의 시그널 취득 등으로 파워 발진의 추이에 따라 변화하는 열적 변형 값을 실시간으로 측정한다.Specifically, the compensation control of the heating resistor according to the present invention recognizes that the length, width, volume, etc. of a material similar to the heating resistor may change due to heat generation, and measures the amount of change, displays the amount of change, and displays the amount of change The thermal strain value that changes according to the power oscillation trend is measured in real time by acquiring a signal from

그리고 수신된 변화량 데이터 값을 PC와 제어반, 제어 모터를 활용하여 수축 이완에 따른 자동화 반응이 가능한 공정 시스템을 구현할 수 있도록 한다.In addition, it is possible to implement a process system capable of an automated response according to contraction and relaxation by using a PC, a control panel, and a control motor for the received change amount data value.

예를 들어, 발열저항체 또는 유사한 소재의 변화량이 1kg·f의 힘이 발생될 때 이를 조정할 수 있도록 1kg·f의 힘으로 당겨준다면 소재의 평면 또는 평탄화가 이루어질 것이며, -1kg·f의 힘이 발생된다면 반대의 개념을 적용할 수 있어 이러한 힘을 실시간으로 측정하고 반응하는 공정 시스템을 구축한다.For example, if the change amount of a heating resistor or similar material is pulled with a force of 1kg·f so that it can be adjusted when a force of 1kg·f is generated, the material will be flat or flattened, and a force of -1kg·f will be generated. If possible, the opposite concept can be applied to build a process system that measures and reacts to these forces in real time.

따라서, 고온시 발생되는 변형에 의해 피물체의 근접 또는 접촉면의 형상 문제와 발생열의 복사 또는 전도 전달시 균일하게 열을 전달할 수 있어 불균일성의 문제를 해결할 수 있다.Therefore, it is possible to solve the problem of non-uniformity because it is possible to uniformly transmit heat during radiation or conduction transfer of the generated heat and the shape problem of the proximity or contact surface of the object due to the deformation generated at high temperature.

도 3a와 도 3b는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 구성도이고, 도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 상세 구성도이다.3A and 3B are configuration diagrams of a heating resistor compensation control according to the present invention, and FIGS. 4A and 4B are detailed configuration diagrams of a heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치는 전원부(303)가 연결되는 발열저항체(107)와, 발열저항체(107)의 끝단에 연결되어 발열저항체(107)를 체결하고 출력을 전달하기 위한 보상셀(106)과, 상기 보상셀(106)에 연결되는 평행가이드(105)와, 상기 평행가이드(105)에 연결되어 발열저항체(107)의 변형량을 측정하는 로드셀(104)와, 상기 로드셀(104)의 체적변화 측정값을 전송받는 제어반(302)과, 상기 로드셀(104)의 측정값에 따라 상기 제어반(302)으로부터 제어신호를 전달받아 회전하는 제어모터(102)와, 상기 제어모터(102)의 동력을 상기 로드셀(104)로 전달하는 기어모듈(103)을 포함하여, 상기 제어모터(102) 및 기어모듈(103)이 상기 발열저항체의 변형을 보상하는 방향으로 로드셀(104)을 이동시키는 보상제어장치이다.In the heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention, the heating resistor 107 to which the power supply unit 303 is connected, and the heating resistor 107 connected to the end of the heating resistor 107 to fasten the heating resistor 107 and transmit an output. 106, a parallel guide 105 connected to the compensation cell 106, a load cell 104 connected to the parallel guide 105 to measure the amount of deformation of the heating resistor 107, and the load cell 104 ), the control panel 302 receiving the measurement value of the volume change, the control motor 102 which rotates by receiving a control signal from the control panel 302 according to the measurement value of the load cell 104, and the control motor 102 ) including a gear module 103 that transmits the power of the load cell 104 to the load cell 104, and the control motor 102 and the gear module 103 move the load cell 104 in a direction to compensate for deformation of the heat generating resistor. It is a compensation control device.

여기서, 외부의 열이 상기 로드셀(104)로 전달되는 것을 차단하는 로드셀 냉각폴드(108)를 더 포함한다.Here, it further includes a load cell cooling fold 108 that blocks the transfer of external heat to the load cell 104 .

로드셀 냉각폴드(108)는 고온에서 열 영향에 따라 올바른 측정이 이루어지지 못하는 환경에 놓일 수 있어, 열이 전달될 수 있는 구조물과 맞닿은 지점에 열을 차단할 수 있는 냉각장치를 구성하는 것이다.The load cell cooling fold 108 may be placed in an environment where correct measurement cannot be made due to thermal effects at high temperatures, and thus constitutes a cooling device capable of blocking heat at a point in contact with a structure to which heat can be transmitted.

로드셀 냉각폴드(108)는 발열저항체의 고온화에 따라 열의 복사 및 전도에 따라 로드셀을 열로부터 보호를 하고 안정하게 작용할 수 있도록 측정작용이 가능한 구동온도 상태를 유지하는 것이다.The load cell cooling fold 108 protects the load cell from heat according to the radiation and conduction of heat according to the high temperature of the heat generating resistor, and maintains a driving temperature state that can be measured so that it can function stably.

그리고 제어모터(102)는 로드셀(104)의 반응값에 따라 실시간 헤르츠(Hz)를 달리하여 반응 값을 높이거나 낮출 수 있고, 발열저항체 보상 제어와 관련해 전용 프로그램을 활용하여 이를 자동화 및 선택적 사용이 가능도록 한다.And the control motor 102 can increase or decrease the response value by varying real-time Hertz (Hz) according to the response value of the load cell 104, and it can be automated and selectively used by using a dedicated program in relation to the heating resistor compensation control. make it possible

구조물의 간섭, 효율적인 위치선정을 할 수 있는 기어 모듈(103)과 함께 연결되는 보상셀(106)은 발열저항체의 사이즈에 따라 갯수 또는 대면적에 맞춰 체결되도록 하는 구조로 사용량에 따라 조절이 가능하다.The compensation cell 106 connected together with the gear module 103 capable of efficient positioning and interference of structures has a structure to be fastened according to the number or large area according to the size of the heating resistor, and can be adjusted according to the amount used. .

기어 모듈(103)은 웜기어를 활용하여 어느 방향에서도 반응할 수 있도록 구조적 대응이 가능하도록 한다.The gear module 103 utilizes a worm gear to enable a structural response so that it can react in any direction.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치는 발열저항체를 체결하고 출력을 전달하기 위한 보상셀 및 변형량을 측정하기 위한 로드셀이 연결 구성되고, 로드셀의 측정값을 인디케이터에 나타내고 제어반의 전용 프로그램과 연결된다.The compensation control process apparatus for a heating resistor according to the present invention having such a configuration includes a compensation cell for connecting the heating resistor and transmitting an output and a load cell for measuring the amount of deformation, and displays the measured value of the load cell on the indicator and the control panel It is linked to a dedicated program.

그리고 발열저항체의 체적 변화 측정값의 증가와 감소에 따라 모터 구동부를 작동시켜 수렴/발산의 힘에 따라 텐션 조절하여 발열저항체의 평탄화, 균일화를 제공할 수 있도록 한 것이다.In addition, according to the increase and decrease of the measured value of the volume change of the heating resistor, the motor driving unit is operated to adjust the tension according to the convergence/divergence force to provide flattening and uniformity of the heating resistor.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법을 나타낸 플로우 차트 및 공정 장치의 제어 프로세스이다.5 and 6 are flowcharts showing a method of controlling a heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention and a control process of the process apparatus.

본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법은 메인 컨트롤러 ON 및 파워 ON을 하여(S501), 전도체를 가열한다.(S502)In the control method of the heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention, the main controller is turned on and the power is turned on (S501), and the conductor is heated (S502).

전도체에서 인장력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지한다.(S503)When a tensile force is generated in the conductor, the load cell detects the amount of change. (S503)

이어, 로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면(S504), 전도체의 인장력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단하고(인장력 > 0 ?)(S505), 인장력이 0보다 크면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고(S506), 인장력이 0보다 크지 않다면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 한다.(S507)Then, when the load cell sensing data is transmitted to the PC (S504), it is determined whether the tensile force of the conductor is in the positive or negative direction (tensile force > 0 ?) (S505), and if the tensile force is greater than 0, the conductor is pulled from the PC to the control motor Operation is controlled (S506), and if the tensile force is not greater than 0, the conductor compression operation is controlled from the PC using the control motor (S507).

그리고 전도체가 설정 온도에 도달하였는지 판단하고(S508), 설정된 온도에 도달한 것으로 판단되면 전도체에 인가되는 파워를 OFF하고(S509), 바텀 업(Bottom Up) 동작을 하고(S510), 성형을 하고(S511) 바텀 다운(Bottom Down)을 한다.(S512)Then, it is determined whether the conductor has reached the set temperature (S508), and when it is determined that the set temperature has been reached, the power applied to the conductor is turned off (S509), the bottom-up operation is performed (S510), and the molding is performed (S511) Perform a bottom-down. (S512)

이어, PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하고(S513), 공정 지속 여부를 판단한다.(S514)Next, the PC controls the conductor compression operation with the control motor (S513), and determines whether the process continues or not. (S514)

공정을 지속하는 경우에는 전도체 냉각을 하고(S515), 전도체에서 압축력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지한다.(S516)If the process is continued, the conductor is cooled (S515), and when a compressive force is generated from the conductor, the load cell detects the change amount (S516).

이어, 로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면(S517), 전도체의 압축력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단하고(압축력 < 0 ?)(S518), 압축력이 0보다 작지 않으면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고(S519), 압축력이 0보다 작으면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 한다.(S520)Then, when the load cell detection data is transmitted to the PC (S517), it is determined whether the compressive force of the conductor is in the positive or negative direction (compressive force < 0 ?) (S518), and if the compressive force is not less than 0, the PC sends the conductor to the control motor The tension operation is controlled (S519), and when the compression force is less than 0, the PC controls the conductor compression operation with the control motor. (S520)

그리고 로드셀의 감지 데이터가 0인지 판단하여(S521), 0인 경우에 제어모터를 정지하고(S522) 메인 컨트롤러를 OFF한다.(S523)Then, it is determined whether the detected data of the load cell is 0 (S521), and if it is 0, the control motor is stopped (S522) and the main controller is turned OFF (S523).

이와 같은 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법은 전원부의 발진에 의해 작용되는 보상제어 시스템 프로세스와, 시스템 프로세스 연계 제어 프로세스를 갖고 이를 적용하여 공정 장치에서 실시간 반응을 할 수 있는 발열저항체의 변화량을 제어할 수 있도록 한 것이다,As described above, the control method of the heating resistor compensation control process apparatus according to the present invention has a compensation control system process operated by oscillation of the power supply and a system process linkage control process, and by applying the compensation control system process, a heating resistor capable of real-time reaction in the process device. to be able to control the amount of change in

이상에서 설명한 본 발명에 따른 발열저항체 보상제어 공정 장치 및 이의 제어 방법은 실시간으로 측정하고 반응하는 공정 시스템을 구축하여 고온시 발생되는 변형에 의해 피물체의 근접 또는 접촉면의 형상 문제와 발생열의 복사 또는 전도 전달시 균일하게 열을 전달할 수 있어 불균일성의 문제를 해결할 수 있도록 한 것이다.The heat generating resistor compensation control process device and the control method thereof according to the present invention described above build a process system that measures and reacts in real time, so that the shape problem of the proximity or contact surface of the object due to the deformation generated at high temperature and the radiation or heat generated It is designed to solve the problem of non-uniformity because heat can be uniformly transferred during conduction transfer.

이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, it will be understood that the present invention is implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention.

그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.Therefore, the specified embodiments are to be considered in an illustrative rather than a restrictive point of view, the scope of the present invention is indicated in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope equivalent thereto are included in the present invention. will have to be interpreted.

101. 발열저항체 보상제어 장치 102. 제어모터
103. 기어모듈 104. 로드셀
105. 평행 가이드 106. 보상셀
107. 발열저항체 108. 냉각폴드
302. 제어반 303. 전원부
101. Heating resistor compensation control device 102. Control motor
103. Gear module 104. Load cell
105. Parallel guide 106. Compensation cell
107. Heating resistor 108. Cooling fold
302. Control panel 303. Power part

Claims (7)

전원부(303)가 연결되는 발열저항체(107);
발열저항체(107)의 끝단에 연결되어 발열저항체(107)를 체결하고 출력을 전달하기 위한 보상셀(106);
상기 보상셀(106)에 연결되는 평행가이드(105);
상기 평행가이드(105)에 연결되어 발열저항체(107)의 변형량을 측정하는 로드셀(104);
상기 로드셀(104)의 체적변화 측정값을 전송받는 제어반(302);
상기 로드셀(104)의 측정값에 따라 상기 제어반(302)으로부터 제어신호를 전달받아 회전하는 제어모터(102);를 포함하고, 상기 발열저항체의 변형을 보상하는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.
a heating resistor 107 to which the power source 303 is connected;
a compensation cell 106 connected to the end of the heating resistor 107 to fasten the heating resistor 107 and transmit an output;
a parallel guide (105) connected to the compensation cell (106);
a load cell 104 connected to the parallel guide 105 to measure the amount of deformation of the heating resistor 107;
a control panel 302 receiving the volume change measurement value of the load cell 104;
A heating resistor compensation control process comprising: a control motor (102) rotating by receiving a control signal from the control panel (302) according to the measured value of the load cell (104), and compensating for deformation of the heating resistor Device.
제 1 항에 있어서, 상기 제어모터(102)의 동력을 상기 로드셀(104)로 전달하는 기어모듈(103)을 더 포함하고,
상기 제어모터(102) 및 기어모듈(103)이 상기 발열저항체(107)의 변형을 보상하는 방향으로 로드셀(104)을 이동시키는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.
According to claim 1, further comprising a gear module (103) for transmitting the power of the control motor (102) to the load cell (104),
The control motor (102) and the gear module (103) move the load cell (104) in a direction compensating for the deformation of the heating resistor (107).
제 1 항에 있어서, 상기 발열저항체(107)의 고온화에 따른 열의 복사 및 전도로부터 로드셀(104)을 열로부터 보호하고 측정작용이 가능한 구동온도 상태를 유지하기 위한 로드셀 냉각폴드(108)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.The load cell cooling fold 108 according to claim 1, further comprising a load cell cooling fold 108 for protecting the load cell 104 from heat from radiation and conduction of heat due to the high temperature of the heat generating resistor 107 and maintaining a driving temperature state that can be measured. Heating resistor compensation control process device, characterized in that. 제 3 항에 있어서, 로드셀 냉각폴드(108)는 고온에서 열 영향에 따라 올바른 측정이 이루어지지 못하는 환경을 억제하기 위하여, 열이 전달될 수 있는 구조물과 맞닿은 지점에 열을 차단할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.The method according to claim 3, wherein the load cell cooling fold 108 is configured to block heat at a point in contact with a structure through which heat can be transmitted in order to suppress an environment in which correct measurement cannot be made due to thermal effects at high temperatures. Heating resistor compensation control process device, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 제어모터(102)는 로드셀(104)의 반응값에 따라 실시간 헤르츠(Hz)를 달리하여 반응 값을 높이거나 낮출 수 있고, 발열저항체(107) 보상 제어와 관련해 전용 프로그램을 활용하여 이를 자동화 및 선택적 사용이 가능도록 하는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.According to claim 1, wherein the control motor 102 can increase or decrease the response value by varying real-time Hertz (Hz) according to the response value of the load cell 104, and a dedicated program in relation to the heating resistor 107 compensation control. Heating resistor compensation control process device, characterized in that it enables automation and selective use by utilizing 제 5 항에 있어서, 상기 제어모터(102)는 발열저항체(107)의 체적 변화 측정값의 증가와 감소에 따라 모터 구동부를 작동시켜 수렴/발산의 힘에 따라 텐션 조절을 하여 발열저항체(107)의 평탄화, 균일화를 제공하는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치.The heating resistor (107) according to claim 5, wherein the control motor (102) operates the motor driving unit according to the increase and decrease of the volume change measurement value of the heating resistor (107) to adjust the tension according to the convergence/divergence force. A heating resistor compensation control process device, characterized in that it provides flattening and uniformity of 메인 컨트롤러 ON 및 파워 ON을 하여 전도체를 가열하여 전도체에서 인장력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지하는 단계;
로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면, 전도체의 인장력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단하고(인장력 > 0 ?), 인장력이 0보다 크면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고, 인장력이 0보다 크지 않다면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하는 단계;
전도체가 설정된 온도에 도달한 것으로 판단되면 전도체에 인가되는 파워를 OFF하고, 바텀 업(Bottom Up), 성형, 바텀 다운(Bottom Down)을 하고, PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하고, 공정 지속 여부를 판단하는 단계;
공정을 지속하는 경우에는 전도체 냉각을 하고, 전도체에서 압축력이 발생하면 로드셀에서 변화량을 감지하고, 로드셀 감지데이터를 PC로 전송하면, 전도체의 압축력이 양의 방향인지 음의 방향인지 판단(압축력 < 0 ?)하는 단계;
압축력이 0보다 작지 않으면 PC에서 제어모터로 전도체 인장 동작 제어를 하고, 압축력이 0보다 작으면 PC에서 제어모터로 전도체 압축 동작 제어를 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 발열저항체 보상제어 공정 장치의 제어 방법.
Sensing the amount of change in the load cell when a tensile force is generated in the conductor by heating the conductor by turning the main controller ON and power ON;
When the load cell detection data is transmitted to the PC, it is determined whether the tensile force of the conductor is in the positive or negative direction (tensile force > 0 ?), and if the tensile force is greater than 0, the PC controls the conductor tensile operation with the control motor, and the tensile force is 0 If not greater than the step of controlling the conductor compression operation from the PC to the control motor;
When it is judged that the conductor has reached the set temperature, the power applied to the conductor is turned off, bottom-up, molding, and bottom-down are performed. determining whether to continue;
When the process is continued, the conductor is cooled, and when a compressive force is generated from the conductor, the load cell detects the amount of change, and when the load cell sensing data is transmitted to the PC, it is determined whether the compressive force of the conductor is in the positive or negative direction (compression force < 0 ?) to;
When the compressive force is not less than 0, the PC controls the conductor tensioning operation with the control motor, and when the compressive force is less than 0, the PC controls the conductor compression operation with the control motor. control method.
KR1020200159590A 2020-11-25 2020-11-25 Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method KR102377943B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200159590A KR102377943B1 (en) 2020-11-25 2020-11-25 Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200159590A KR102377943B1 (en) 2020-11-25 2020-11-25 Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102377943B1 true KR102377943B1 (en) 2022-03-24

Family

ID=80935904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200159590A KR102377943B1 (en) 2020-11-25 2020-11-25 Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102377943B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910002290A (en) 1989-06-30 1991-01-31 조종래 Method for manufacturing a fibrous planar heating element having a self-control function of temperature by resistance and electrical characteristics
JPH11132912A (en) * 1997-10-28 1999-05-21 Nissan Altia Co Ltd Apparatus for testing running of vehicle
JP2000176898A (en) * 1998-10-09 2000-06-27 Ebara Corp Machining tool
US20100230804A1 (en) * 2006-06-07 2010-09-16 Mitsubishi Electric Corporation Thermal resistor, semiconductor device using the same, and electric device
KR20140093530A (en) 2013-01-18 2014-07-28 삼성전자주식회사 resistive heat generating material, heating member and fusing device adopting the same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910002290A (en) 1989-06-30 1991-01-31 조종래 Method for manufacturing a fibrous planar heating element having a self-control function of temperature by resistance and electrical characteristics
JPH11132912A (en) * 1997-10-28 1999-05-21 Nissan Altia Co Ltd Apparatus for testing running of vehicle
JP2000176898A (en) * 1998-10-09 2000-06-27 Ebara Corp Machining tool
US20100230804A1 (en) * 2006-06-07 2010-09-16 Mitsubishi Electric Corporation Thermal resistor, semiconductor device using the same, and electric device
KR20140093530A (en) 2013-01-18 2014-07-28 삼성전자주식회사 resistive heat generating material, heating member and fusing device adopting the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103900911A (en) Electrified thermal stretching testing device and stretching testing method
TW200504813A (en) Thermal processing apparatus and its correcting method
KR102377943B1 (en) Heat Resistor Compensation Control Process Device and its Control Method
TWI342958B (en) Cooling control device for use in a press coupling mechanism of a testing machine
US11173671B2 (en) Electric heating device
US7675306B2 (en) Prober apparatus and operating method therefor
NL2026655B1 (en) System and method for testing high-temperature tensile anisotropic r-values of metal plate
CN100437076C (en) Method for eliminating temperature gradient in metal strip sample heat treatment test
CN104634652B (en) A kind of full size road-surface heating system, full size pavement test machine and full size road-surface heating method
LU102140B1 (en) System and method for testing uniaxial tensile high-temperature mechanical properties of plate
KR100671485B1 (en) Temperature maintenance System of Probe Card for Wafer Burn-In Test
CA2207704A1 (en) Method and apparatus for temperature control
CN114296493B (en) Chip temperature adjusting method
TW201931042A (en) Heating device
CN104155019A (en) Temperature measuring device and temperature measuring method
CN208156086U (en) A kind of direct current cables space charge measuring system
CN105158038B (en) A kind of method that the heating of Cheng Qian&#39;s sample is crossed for dynamic load
JP6299876B2 (en) Surface temperature sensor calibration device
CN103374758B (en) Crystal growth heating system
KR102354042B1 (en) Coaxial thermocouple apparatus comprising contact generated by impact and method for manufacturing same
CN206618504U (en) The device of batch temperature in a kind of measurement melting furnace
CN105185481B (en) Production of Enamel Wires monitors thermostat with line temperature
RU132549U1 (en) OBJECT SURFACE TEMPERATURE MEASUREMENT DEVICE
KR100423943B1 (en) Temperature Detector of Device for Handler
Yadav et al. Anisothermal anodic bonding: A method to control global curvature and residual stress

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant