KR102377819B1 - Picker apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 픽커 장치에 관한 것으로, 픽커 지지대와, 픽커들과, 걸림턱들, 및 스토퍼를 포함한다. 픽커들은 픽커 지지대에 일렬로 배열되는 것으로, 하단에 이송 대상물을 흡착 또는 탈착하는 노즐과, 픽커 지지대에 지지된 상태로 노즐을 승강 동작시키는 승강 구동기를 각각 구비한다. 걸림턱들은 노즐들의 각 동일 높이 부위에 형성된다. 스토퍼는 노즐들이 승강 구동기들에 의해 하강 동작함에 따라 걸림턱들을 각각 하측에서 걸어서 노즐들의 각 최하 높이를 모두 동일하게 제한하도록 픽커 지지대에 장착된다.The present invention relates to a picker device, and includes a picker support, pickers, locking jaws, and a stopper. The pickers are arranged in a line on the picker support, and each includes a nozzle for adsorbing or desorbing an object to be transported at the lower end, and a lift driver for lifting and lowering the nozzle while being supported on the picker support. The locking jaws are formed at the same height of each of the nozzles. The stopper is mounted on the picker support so that the lowermost heights of the nozzles are equally limited by hanging the protrusions from the lower side as the nozzles are lowered by the lifting actuators.

Description

픽커 장치{Picker apparatus}Picker apparatus

본 발명은 픽커 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자 등과 같은 이송 대상물을 이송하는데 사용되는 픽커 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a picker device, and more particularly, to a picker device used to transport a transfer object such as a semiconductor device.

일반적으로, 반도체 소자는 반도체 공정을 통하여 제조된 후 출하 전에 검사를 거치게 된다. 즉, 반도체 소자는 패키지로 감싸인 내부의 불량뿐만 아니라 외관 결함이 있으면 성능에 치명적인 영향을 미치게 된다. 따라서, 반도체 소자에 대해 전기적 동작 검사뿐만 아니라, 외관 결함 검사를 포함한 여러 가지 검사를 수행하게 된다.In general, after a semiconductor device is manufactured through a semiconductor process, it is inspected before shipment. That is, if a semiconductor device has an external defect as well as an internal defect wrapped in a package, the performance is fatally affected. Accordingly, various inspections including external defect inspection as well as electrical operation inspection are performed on the semiconductor device.

한편, 반도체 소자들은 트레이에 수납된 상태에서 픽커 장치의 픽커들에 의해 각각 진공압으로 픽업되어 비전 검사기로 이송된 후, 픽업된 상태로 비전 검사기에 의해 검사를 받을 수 있다. 이때, 반도체 소자들은 비전 검사기의 카메라에 초점이 맞춰져 선명하게 촬영될 필요가 있다. 이를 위해, 반도체 소자들은 픽커들에 픽업된 상태에서 카메라 촬영 부위에 대해 모두 동일한 높이로 위치되어야 한다.Meanwhile, the semiconductor elements may be picked up by vacuum pressure pickers by pickers of the picker device in a state accommodated in the tray, transferred to the vision inspector, and then inspected by the vision inspector in the picked up state. In this case, the semiconductor devices need to be clearly photographed by focusing on the camera of the vision inspector. To this end, the semiconductor elements should all be positioned at the same height with respect to the photographing area of the camera while being picked up by the pickers.

그런데, 픽커 지지대에 대한 픽커들의 각 조립 오차 등과 같은 여러 요인으로 인해 픽커들 간에 높이 편차가 있게 되면, 반도체 소자들에 대한 카메라의 초점 거리가 달라지게 된다. 이로 인해, 카메라의 초점을 벗어난 반도체 소자로부터 획득된 영상의 선명도가 낮아지므로, 정확하게 검사되지 못하게 된다. 따라서, 전술한 문제를 해결하기 위한 방안이 요구된다.However, if there is a height deviation between the pickers due to various factors such as an assembly error of each picker with respect to the picker support, the focal length of the camera with respect to the semiconductor devices is changed. For this reason, since the sharpness of an image obtained from the semiconductor device out of focus of the camera is lowered, it is not possible to accurately inspect the image. Therefore, a method for solving the above-described problem is required.

본 발명의 과제는 노즐들의 각 최하 높이를 모두 동일하게 맞춰서 이송 대상물들에 대한 비전 검사 등을 정확하게 수행할 수 있게 하는 픽커 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a picker device capable of accurately performing vision inspection, etc. on objects to be transported by matching the lowest heights of nozzles to the same level.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 픽커 장치는 픽커 지지대와, 픽커들과, 걸림턱들, 및 스토퍼를 포함한다. 픽커들은 픽커 지지대에 일렬로 배열되는 것으로, 하단에 이송 대상물을 흡착 또는 탈착하는 노즐과, 픽커 지지대에 지지된 상태로 노즐을 승강 동작시키는 승강 구동기를 각각 구비한다. 걸림턱들은 노즐들의 각 동일 높이 부위에 형성된다. 스토퍼는 노즐들이 승강 구동기들에 의해 하강 동작함에 따라 걸림턱들을 각각 하측에서 걸어서 노즐들의 각 최하 높이를 모두 동일하게 제한하도록 픽커 지지대에 장착된다.A picker device according to the present invention for achieving the above object includes a picker support, pickers, stopping protrusions, and a stopper. The pickers are arranged in a line on the picker support, and each includes a nozzle for adsorbing or desorbing an object to be transported at the lower end, and a lift driver for lifting and lowering the nozzle while being supported on the picker support. The locking jaws are formed at the same height of each of the nozzles. The stopper is mounted on the picker support so that the lowermost heights of the nozzles are equally limited by hanging the protrusions from the lower side as the nozzles are lowered by the lifting actuators.

본 발명에 따르면, 픽커 지지대에 대한 픽커들의 각 조립 오차나, 픽커 자체의 조립 오차 등과 같은 여러 요인으로 인해 노즐들 간에 높이 편차가 다소 있더라도, 노즐들은 걸림턱들과 스토퍼의 상호 작용에 의해 각 최하 높이가 동일하게 맞춰질 수 있다. 그 결과, 노즐들에 이송 대상물들을 각각 픽업한 상태로 비전 검사가 수행되는 경우, 이송 대상물들에 대해 정확한 검사가 이루어질 수 있다.According to the present invention, even if there is some height deviation between the nozzles due to various factors such as each assembly error of the pickers with respect to the picker support or the assembly error of the picker itself, the nozzles are placed at the lowest level by the interaction between the stoppers and the stoppers. The height can be adjusted to be the same. As a result, when the vision inspection is performed in a state in which the objects to be transferred are picked up by the nozzles, an accurate inspection can be made on the objects to be transferred.

또한, 본 실시예에 의하면, 걸림턱들과 스토퍼의 각 높이 관리만 수행해도 노즐들의 각 최하 높이를 동일하게 맞출 수 있으므로, 노즐들의 높이 관리를 용이하게 할 수 있다.In addition, according to the present embodiment, even if only the height management of the stoppers and the stopper is performed, the respective lowest heights of the nozzles can be matched equally, so that it is possible to easily manage the heights of the nozzles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 장치에 대한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 픽커 장치의 후방을 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1에 있어서, 픽커들과 스토퍼를 나타낸 사시도이다.
도 4는 픽커에 대한 단면도이다.
도 5는 도 1에 대한 배면도이다.
도 6은 도 5에 있어서, 걸림턱들과 스토퍼의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 픽커들에 이송 대상물들을 픽업한 상태로 비전 검사기에 의해 검사하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view of a picker device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the rear of the picker device shown in FIG. 1 .
3 is a perspective view illustrating pickers and a stopper in FIG. 1 .
4 is a cross-sectional view of the picker.
FIG. 5 is a rear view of FIG. 1 ;
FIG. 6 is a view for explaining the action of the locking jaws and the stopper in FIG. 5 .
7 is a view for explaining a process of inspecting by the vision inspection machine in a state in which the objects to be transferred are picked up by the pickers.

본 발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings as follows. Here, the same reference numerals are used for the same components, and repeated descriptions and detailed descriptions of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted. The embodiments of the present invention are provided in order to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 장치에 대한 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 픽커 장치의 후방을 나타낸 사시도이다. 도 3은 도 1에 있어서, 픽커들과 스토퍼를 나타낸 사시도이다. 도 4는 픽커에 대한 단면도이다. 도 5는 도 1에 대한 배면도이다. 도 6은 도 5에 있어서, 걸림턱들과 스토퍼의 작용을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view of a picker device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the rear of the picker device shown in FIG. 1 . 3 is a perspective view illustrating pickers and a stopper in FIG. 1 . 4 is a cross-sectional view of the picker. FIG. 5 is a rear view of FIG. 1 ; 6 is a view for explaining the action of the locking jaws and the stopper in FIG. 5 .

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 장치(100)는 픽커 지지대(110)와, 픽커(120)들과, 걸림턱(130)들, 및 스토퍼(140)를 포함한다.1 to 6 , the picker device 100 according to an embodiment of the present invention includes a picker support 110 , pickers 120 , stopping protrusions 130 , and a stopper 140 . include

픽커 지지대(110)는 픽커(120)들을 지지한다. 픽커(120)들은 픽커 지지대(110)에 일렬로 배열된다. 픽커(120)들은 모두 동일한 자세로 일렬로 배열되어 픽커 지지대(110)에 지지된다. 각각의 픽커(120)는 노즐(121)과 승강 구동기(126)를 구비한다.The picker support 110 supports the pickers 120 . The pickers 120 are arranged in a line on the picker support 110 . The pickers 120 are all arranged in a line in the same posture and are supported by the picker support 110 . Each picker 120 has a nozzle 121 and a lift driver 126 .

노즐(121)은 하단에 이송 대상물(1)을 흡착 또는 탈착한다. 여기서, 이송 대상물(1)은 트레이(2)에 수납되어 검사가 수행되는 반도체 소자 등에 해당할 수 있다. 노즐(121)은 공압 공급수단에 의해 부압을 공급받아서 이송 대상물(1)을 흡착하고, 공압 공급수단에 의해 정압을 공급받아서 이송 대상물(1)을 탈착할 수 있다.The nozzle 121 adsorbs or desorbs the transfer object 1 at the lower end. Here, the transfer object 1 may correspond to a semiconductor device that is accommodated in the tray 2 and inspected. The nozzle 121 may receive negative pressure from the pneumatic supply means to adsorb the transfer object 1 , and may receive positive pressure from the pneumatic supply means to desorb the transfer object 1 .

노즐(121)은 상단에 노즐 승강체(122)를 장착할 수 있다. 노즐 승강체(122)는 승강 구동기(126)에 승강 지지되어 노즐(121)을 승강 안내할 수 있다. 노즐 승강체(122)는 공압 공급수단과 연결되어 공압 공급수단으로부터 부압 또는 정압을 공급받아 내부 유로를 통해 노즐(121)에 전달할 수 있다.The nozzle 121 may be equipped with a nozzle lifting body 122 on the upper end. The nozzle lifting body 122 may be lifted and supported by the lift driver 126 to guide the nozzle 121 up and down. The nozzle lifting body 122 may be connected to the pneumatic supply means to receive negative or positive pressure from the pneumatic supply means and deliver it to the nozzle 121 through the internal flow path.

승강 구동기(126)는 픽커 지지대(110)에 지지된 상태로 노즐(121)을 승강 동작시킨다. 따라서, 노즐(121)은 이송 대상물(1)에 대한 픽업 또는 픽다운시 승강 구동기(126)에 의해 승강 동작할 수 있다. 또한, 노즐(121)은 이송 대상물(1)을 픽업한 상태로 승강 구동기(126)에 의해 하강 동작하여 걸림턱(130)과 스토퍼(140)에 의해 최하 높이가 제한된 상태로 이송 대상물(1)의 검사가 이루어지게 할 수 있다.The lifting driver 126 lifts and lowers the nozzle 121 while being supported by the picker support 110 . Accordingly, the nozzle 121 may be lifted by the lift driver 126 when picking up or picking down the transfer object 1 . In addition, the nozzle 121 is lowered by the lifting driver 126 in a state in which the transfer object 1 is picked up, and the lowermost height is limited by the stopping jaw 130 and the stopper 140 to the transfer object (1). inspection can be made.

승강 구동기(126)들은 해당 노즐(121)들을 독립되게 승강 동작시킬 수 있다. 따라서, 노즐(121)들은 이송 대상물(1)을 독립적으로 픽업해서 이송할 수 있다. 승강 구동기(126)는 공압 실린더(127)를 포함할 수 있다.The lifting actuators 126 may independently raise and lower the corresponding nozzles 121 . Accordingly, the nozzles 121 may independently pick up and transfer the transfer object 1 . The lift actuator 126 may include a pneumatic cylinder 127 .

공압 실린더(127)는 복동식 공압 실린더로 이루어질 수 있다. 복동식 공압 실린더는 실린더 몸체(127a)의 양쪽 내부 공간에 공급포트들에 의해 선택적으로 공급되는 압축공기에 의해 실린더 로드(127b)가 실린더 몸체(127a)에 대해 신축 동작하도록 구성된다.The pneumatic cylinder 127 may be formed of a double-acting pneumatic cylinder. The double-acting pneumatic cylinder is configured such that the cylinder rod 127b expands and contracts with respect to the cylinder body 127a by compressed air selectively supplied by supply ports to both inner spaces of the cylinder body 127a.

실린더 몸체(127a)는 실린더 로드(127b)가 하측에서 신축 동작하는 자세로 픽커 지지대(110)에 지지될 수 있다. 실린더 몸체(127a)는 일측에 노즐 승강체(122)를 상하로 관통시켜 노즐 승강체(122)의 승강을 지지할 수 있다. 실린더 로드(127b)는 노즐 승강체(122)에 연결 브래킷(128)으로 연결되어 신축 동작에 따라 노즐 승강체(122)를 승강시킴으로써, 노즐(121)을 승강 동작시킬 수 있다.The cylinder body 127a may be supported by the picker support 110 in a posture in which the cylinder rod 127b expands and contracts from the lower side. The cylinder body 127a may support the lifting and lowering of the nozzle lifting body 122 by penetrating the nozzle lifting body 122 up and down on one side. The cylinder rod 127b is connected to the nozzle elevating body 122 by a connection bracket 128 to elevate the nozzle elevating body 122 according to the expansion/contraction operation, thereby elevating the nozzle 121 .

노즐(121)은 해당 걸림턱(130)이 스토퍼(140)에 걸림 처리될 때 완충되도록 승강 구동기(126)에 완충부재(129)로 지지될 수 있다. 연결 브래킷(128)이 노즐 승강체(122)에 고정되고 실린더 로드(127b)를 승강 가능하게 지지되는 경우, 완충부재(129)는 연결 브래킷(128)과 실린더 로드(127b) 사이에 탄성력으로 지지하도록 장착될 수 있다.The nozzle 121 may be supported by the buffer member 129 on the lifting driver 126 so as to be buffered when the corresponding locking jaw 130 is caught by the stopper 140 . When the connecting bracket 128 is fixed to the nozzle elevating body 122 and the cylinder rod 127b is supported to be elevating, the buffer member 129 is supported by an elastic force between the connecting bracket 128 and the cylinder rod 127b. can be mounted to

다른 예로, 연결 브래킷(128)이 실린더 로드(127b)에 고정되고 노즐 승강체(122)를 승강 가능하게 지지하는 경우, 완충부재(129)는 연결 브래킷(128)과 노즐 승강체(122) 사이에 탄성력으로 지지하도록 장착될 수 있다. 완충부재(129)는 코일 스프링 등으로 이루어질 수 있다.As another example, when the connecting bracket 128 is fixed to the cylinder rod 127b and supports the nozzle elevating body 122 to be elevated, the buffer member 129 is disposed between the connecting bracket 128 and the nozzle elevating body 122 . It may be mounted to support it with an elastic force. The buffer member 129 may be formed of a coil spring or the like.

걸림턱(130)들은 노즐(121)들의 각 동일 높이 부위에 형성된다. 걸림턱(130)들은 노즐(121)들의 각 측면 부위로부터 동일 방향으로 돌출되어 형성된다. 걸림턱(130)은 노즐(121)의 하강 동작시 스토퍼(140)에 걸림 처리됨으로써, 스토퍼(140)와 함께 노즐(121)의 최하 높이를 제한할 수 있게 한다.The locking protrusions 130 are formed in each of the nozzles 121 at the same height. The locking projections 130 are formed to protrude from each side of the nozzles 121 in the same direction. The locking protrusion 130 is caught by the stopper 140 during the lowering operation of the nozzle 121 , thereby limiting the lowest height of the nozzle 121 together with the stopper 140 .

걸림턱(130)은 하면이 수평면과 나란하게 평탄한 형태로 이루어져 스토퍼(140)의 상면과 안정적으로 접촉될 수 있다. 걸림턱(130)은 노즐(121)에 연결된 부위가 상대적으로 넓은 폭을 가짐으로써 노즐(121)에 더욱 견고하게 연결될 수 있다. 걸림턱(130)은 노즐(121)에 일체로 형성될 수 있으나, 별도로 제조되어 노즐(121)에 조립될 수도 있다.The lower surface of the locking protrusion 130 is formed in a flat shape parallel to the horizontal plane, so that it can be in stable contact with the upper surface of the stopper 140 . The locking jaw 130 may be more firmly connected to the nozzle 121 because the portion connected to the nozzle 121 has a relatively wide width. The stopping protrusion 130 may be integrally formed with the nozzle 121 , but may be separately manufactured and assembled to the nozzle 121 .

스토퍼(140)는 노즐(121)들이 승강 구동기(126)들에 의해 하강 동작함에 따라 걸림턱(130)들을 각각 하측에서 걸어서 노즐(121)들의 각 최하 높이를 모두 동일하게 제한하도록 픽커 지지대(110)에 장착된다. 스토퍼(140)는 노즐(121)들의 배열 방향을 따라 수평으로 길게 연장된 형태로 양단 부위가 픽커 지지대(110)에 고정됨으로써, 노즐(121)들의 걸림턱(130)들을 공통되게 걸림 처리할 수 있게 한다.The stopper 140 is a picker support 110 so as to limit the lowermost height of the nozzles 121 equally by hanging the stopping protrusions 130 from the lower side as the nozzles 121 are lowered by the lifting drivers 126 . ) is mounted on The stopper 140 extends horizontally along the arrangement direction of the nozzles 121, and both ends are fixed to the picker support 110, so that the stopping protrusions 130 of the nozzles 121 are commonly caught. let there be

스토퍼(140)는 상면이 수평면과 나란하게 평탄한 형태로 이루어져 걸림턱(130)들을 모두 동일한 높이에서 걸림 처리할 수 있다. 따라서, 스토퍼(140)의 상면은 노즐(121)들의 각 최하 높이를 제한하는 기준 역할을 하게 된다.The stopper 140 has a flat top surface parallel to a horizontal plane, so that all of the locking jaws 130 can be caught at the same height. Accordingly, the upper surface of the stopper 140 serves as a reference limiting the respective lowest heights of the nozzles 121 .

스토퍼(140)는 걸림턱(130)들에 의한 가압시 변형에 강건한 금속 등의 재질로 이루어질 수 있다. 스토퍼(140)는 중앙 부위가 길이 방향을 따라 일정한 단면적을 갖는 형태로 예시되어 있으나, 양쪽 가장자리로부터 중앙으로 갈수록 하측 부위가 확장되는 형태 등과 같이 변형에 강건한 형태로 이루어질 수도 있다. 스토퍼(140)는 양단 부위가 픽커 지지대(110)에 볼팅 결합됨으로써, 교체가 용이할 수 있다.The stopper 140 may be made of a material such as a metal that is strong against deformation when the stopper 130 is pressed. The stopper 140 is exemplified in a form in which the central portion has a constant cross-sectional area along the longitudinal direction, but may be formed in a form resistant to deformation, such as a form in which the lower portion expands from both edges to the center. The stopper 140 has both ends bolted to the picker support 110 , so that it can be easily replaced.

이와 같이, 본 실시예에 의하면, 픽커 지지대(110)에 대한 픽커(120)들의 각 조립 오차나, 픽커(120) 자체의 조립 오차 등과 같은 여러 요인으로 인해 노즐(121)들 간에 높이 편차가 다소 있더라도, 노즐(121)들은 걸림턱(130)들과 스토퍼(140)의 상호 작용에 의해 각 최하 높이가 동일하게 맞춰질 수 있다. 또한, 본 실시예에 의하면, 걸림턱(130)들과 스토퍼(140)의 각 높이 관리만 수행해도 노즐(121)들의 각 최하 높이를 동일하게 맞출 수 있으므로, 노즐(121)들의 높이 관리를 용이하게 할 수 있다.As such, according to the present embodiment, the height deviation between the nozzles 121 is slightly different due to various factors such as an assembly error of the pickers 120 with respect to the picker support 110 or an assembly error of the picker 120 itself. Even if there is, the nozzles 121 may have the same lowermost height by the interaction between the locking protrusions 130 and the stopper 140 . In addition, according to the present embodiment, since the lowest height of the nozzles 121 can be identically matched even if each height management of the engaging protrusions 130 and the stopper 140 is performed, the height management of the nozzles 121 is facilitated. can do it

한편, 픽커 장치(100)는 픽커(120)들의 피치를 가변시키는 피치 가변기구(150)를 포함할 수 있다. 피치 가변기구(150)는 이송 대상물(1)들 간의 피치, 예컨대 트레이(2)에 수납된 반도체 소자들 간의 피치에 맞게 노즐(121)들 간의 피치를 가변시킨다. 피치 가변기구(150)는 가변 이동체(151)들과, 접철 링크(152), 및 링크 액추에이터(153)를 포함한다.Meanwhile, the picker device 100 may include a pitch variable mechanism 150 for changing the pitch of the pickers 120 . The pitch varying mechanism 150 varies the pitch between the nozzles 121 to match the pitch between the transfer objects 1 , for example, the pitch between the semiconductor elements accommodated in the tray 2 . The pitch variable mechanism 150 includes variable movable bodies 151 , a folding link 152 , and a link actuator 153 .

가변 이동체(151)들은 서로 간격을 둔 상태로 픽커(120)들에 각각 고정된다. 가변 이동체(151)들은 픽커 브래킷(120a)들을 매개로 승강 구동기(126)들에 각각 고정될 수 있다. 가변 이동체(151)들은 픽커 지지대(110)에 픽커(120)들의 배열 방향과 나란한 수평 방향으로 리니어 가이드에 의해 슬라이드 가능하게 지지된다.The variable movable bodies 151 are respectively fixed to the pickers 120 while being spaced apart from each other. The variable movable bodies 151 may be respectively fixed to the lifting drivers 126 via the picker brackets 120a. The variable movable bodies 151 are slidably supported on the picker support 110 by a linear guide in a horizontal direction parallel to the arrangement direction of the pickers 120 .

접철 링크(152)는 지그재그 형태로 힌지 결합된 제1 링크 부재(152a)들과, 지그재그 형태로 힌지 결합되어 제1 링크 부재(152a)들과 대칭되게 각각 교차한 중앙 부위에서 힌지 결합되는 제2 링크 부재(152b)들을 포함할 수 있다. 제1 링크 부재(152a)들과 제2 링크 부재(152b)들의 중앙 힌지 결합 부위들은 가변 이동체(151)들에 각각 고정될 수 있다.The foldable link 152 includes first link members 152a hinged in a zigzag shape, and second link members hinged in a zigzag shape and hinged at a central portion symmetrically intersecting with the first link members 152a. Link members 152b may be included. Central hinge coupling portions of the first link members 152a and the second link members 152b may be respectively fixed to the variable movable bodies 151 .

접철 링크(152)는 제1 링크 부재(152a)들의 힌지 결합 부위들이 접철되고, 이와 동시에 제2 링크 부재(152b)들의 힌지 결합 부위들이 접철됨으로써, 제1 링크 부재(152a)들과 제2 링크 부재(152b)들의 중앙 힌지 결합 부위들이 가까워지거나 멀어짐에 따라 픽커(120)들 간의 피치를 줄이거나 늘릴 수 있다. 그 결과, 노즐(121)들 간의 피치가 가변될 수 있다.In the foldable link 152 , hinge coupling portions of the first link members 152a are folded, and at the same time, hinge coupling portions of the second link members 152b are folded, so that the first link members 152a and the second link are folded. The pitch between the pickers 120 may be reduced or increased as the central hinge coupling portions of the members 152b approach or move away from each other. As a result, the pitch between the nozzles 121 may be varied.

링크 액추에이터(153)는 접철 링크(152)를 접철시킨다. 링크 액추에이터(153)는 한 쌍의 수평 이동체(154)들과, 수평 스크류(155)와, 회전 모터(156)를 포함할 수 있다.The link actuator 153 folds the foldable link 152 . The link actuator 153 may include a pair of horizontal movable bodies 154 , a horizontal screw 155 , and a rotation motor 156 .

수평 이동체(154)들은 양쪽 최외곽의 가변 이동체(151)들에 각각 고정된다. 수평 스크류(155)는 픽커(120)들의 배열 방향으로 길게 수평 배치되어 픽커 지지대(110)에 회전 가능하게 지지된다. 수평 스크류(155)는 수평 이동체(154)들과 각각 나사 결합된다. 수평 스크류(155)는 회전 방향에 따라 수평 이동체(164)들을 좁히거나 넓혀 접철 링크(152)를 접철시킬 수 있게 한다.The horizontal movable bodies 154 are respectively fixed to the outermost variable movable bodies 151 on both sides. The horizontal screw 155 is horizontally disposed in the arrangement direction of the pickers 120 to be rotatably supported by the picker support 110 . The horizontal screw 155 is screw-coupled to the horizontal moving bodies 154, respectively. The horizontal screw 155 makes it possible to fold the folding link 152 by narrowing or widening the horizontal movable bodies 164 according to the rotational direction.

회전 모터(156)는 수평 스크류(155)에 정,역 회전력을 제공한다. 회전 모터(156)의 정,역 회전력은 동력전달기(157)에 의해 수평 스크류(155)에 전달될 수 있다. 동력전달기(157)는 회전 모터(156)의 구동축에 동축으로 고정되는 구동 풀리와, 수평 스크류(155)에 동축으로 고정되는 종동 풀리와, 구동 풀리와 종동 풀리에 걸쳐져 구동 풀리의 회전을 종동 풀리로 전달하는 벨트를 포함할 수 있다. 피치 가변기구(150)는 공지의 다양한 구성으로 이루어질 수도 있다.The rotation motor 156 provides forward and reverse rotational force to the horizontal screw 155 . The forward and reverse rotational force of the rotary motor 156 may be transmitted to the horizontal screw 155 by the power transmitter 157 . The power transmitter 157 follows the rotation of the driving pulley coaxially fixed to the driving shaft of the rotary motor 156, the driven pulley fixed coaxially to the horizontal screw 155, and the driving pulley and the driven pulley spanning the driving pulley. It may include a belt that transmits to the pulley. The pitch variable mechanism 150 may be configured in various known configurations.

도시하고 있지 않지만, 픽커 장치(100)는 픽커 승강기구에 의해 픽커(120)들을 함께 승강시켜 픽커(120)들의 높이를 조절할 수 있다. 픽커 승강기구는 픽커 지지대(110)를 승강시킴에 따라 노즐(121)들을 함께 승강시킬 수 있다. 픽커 승강기구는 통상의 리니어 액추에이터를 포함하여 구성될 수 있다.Although not illustrated, the picker device 100 may adjust the height of the pickers 120 by lifting the pickers 120 together by the picker lifting mechanism. The picker elevating mechanism may elevate the nozzles 121 together by elevating the picker support 110 . The picker lifting mechanism may include a conventional linear actuator.

그리고, 픽커 장치(100)는 픽커 수평이동기구에 의해 픽커들을 함께 픽커들의 배열 방향으로 수평 왕복시킬 수 있다. 픽커 수평이동기구는 픽커 승강기구를 수평 왕복시킴에 따라 노즐(121)들을 함께 수평 왕복시킬 수 있다. 픽커 수평이동기구는 통상의 리니어 액추에이터를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the picker apparatus 100 may horizontally reciprocate the pickers together in the arrangement direction of the pickers by the picker horizontal movement mechanism. The horizontal picker moving mechanism may horizontally reciprocate the nozzles 121 together by horizontally reciprocating the picker lifting mechanism. The picker horizontal movement mechanism may include a conventional linear actuator.

전술한 픽커 장치(100)의 작용 예에 대해, 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.An operation example of the above-described picker device 100 will be described with reference to FIG. 7 .

도 7에 도시된 바와 같이, 픽커(120)들은 트레이(2)의 상방에서 픽커 승강기구와 승강 구동기(126)들에 의해 하강 동작하여 트레이(2) 내의 이송 대상물(1)들, 예컨대 반도체 소자들을 각 노즐(121)에 픽업한다. 이 과정에서, 노즐(121)들의 걸림턱(130)들이 스토퍼(140)에 각각 걸림 처리됨으로써, 노즐(121)들의 각 최하 높이가 모두 동일하게 제한된다.As shown in FIG. 7 , the pickers 120 are lowered by the picker elevating mechanism and elevating drivers 126 above the tray 2 to transfer objects 1 in the tray 2 , for example, semiconductor devices. It is picked up by each nozzle 121. In this process, the locking projections 130 of the nozzles 121 are each caught by the stopper 140 , so that the lowermost heights of the nozzles 121 are all equally limited.

이 상태에서, 픽커(120)들은 픽커 수평이동기구에 의해 비전 검사기(3)로 이송한 후, 각 최하 높이가 모두 동일하게 맞춰진 노즐(121)들에 반도체 소자들을 픽업한 상태로 비전 검사기(3)에 의해 검사를 받을 수 있다. 이때, 반도체 소자들은 비전 검사기(3)의 카메라 촬영 부위에 대해 모두 동일한 높이로 위치되므로, 카메라에 모두 초점이 맞춰져 선명하게 촬영될 수 있다. 그 결과, 반도체 소자들에 대한 검사가 정확하게 이루어질 수 있다.In this state, the pickers 120 are transferred to the vision inspector 3 by the picker horizontal movement mechanism, and then the semiconductor elements are picked up by the nozzles 121 with the lowest heights all set to be the same. ) can be tested by At this time, since the semiconductor elements are all positioned at the same height with respect to the camera photographing portion of the vision inspector 3 , all of the semiconductor elements are focused on the camera to be photographed clearly. As a result, the inspection of the semiconductor elements can be accurately performed.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, it will be understood that this is merely exemplary, and that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom by those skilled in the art. will be able Accordingly, the true protection scope of the present invention should be defined only by the appended claims.

1..이송 대상물 2..트레이
3..비전 검사기 110..픽커 지지대
120..픽커 121..노즐
126..승강 구동기 130..걸림턱
140..스토퍼 150..피치 가변기구1..Transfer object 2..Tray
3..Vision Inspector 110..Picker Support
120..picker 121..nozzle
126..Elevating actuator 130..Jumping jaw
140..stopper 150..pitch variable mechanism

Claims (4)

픽커 지지대;
상기 픽커 지지대에 일렬로 배열되는 것으로, 하단에 이송 대상물을 흡착 또는 탈착하는 노즐과, 상기 픽커 지지대에 지지된 상태로 상기 노즐을 승강 동작시키는 승강 구동기를 각각 구비하는 픽커들;
상기 노즐들의 각 동일 높이 부위에 형성된 걸림턱들; 및
상기 노즐들이 상기 승강 구동기들에 의해 하강 동작함에 따라 상기 걸림턱들을 각각 하측에서 걸어서 상기 노즐들의 각 최하 높이를 모두 동일하게 제한하도록 상기 픽커 지지대에 장착된 스토퍼;를 포함하며,
상기 스토퍼는 상기 노즐들의 배열 방향을 따라 수평으로 길게 연장되되 상면이 수평면과 나란하게 평탄한 형태로 이루어져 상기 걸림턱들을 모두 동일한 높이에서 공통되게 걸림 처리하며, 양단 부위가 상기 픽커 지지대에 볼팅 결합되어 교체가 용이하게 된 것을 특징으로 하는 픽커 장치.picker support;
Pickers arranged in a line on the picker support and each having a nozzle at a lower end for adsorbing or desorbing an object to be transported, and a lift driver for lifting and lowering the nozzle while supported by the picker support;
locking jaws formed at the same height of each of the nozzles; and
and a stopper mounted on the picker support to limit the lowermost heights of the nozzles to the same level by hanging the locking protrusions from the lower side as the nozzles are lowered by the lifting actuators.
The stopper is extended horizontally along the arrangement direction of the nozzles, and the upper surface is formed to be flat in parallel with the horizontal surface, so that all the locking jaws are caught in common at the same height, and both ends are bolted to the picker support and replaced A picker device characterized in that it is facilitated. 제1항에 있어서,
상기 승강 구동기는 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커 장치.According to claim 1,
The picker device according to claim 1, wherein the lift actuator comprises a pneumatic cylinder. 제1항에 있어서,
상기 노즐은 해당 걸림턱이 상기 스토퍼에 걸림 처리될 때 완충되도록 상기 승강 구동기에 완충부재로 지지되는 것을 특징으로 하는 픽커 장치.According to claim 1,
The nozzle is a picker device, characterized in that supported by a buffer member to the lifting driver so as to be buffered when the corresponding locking projection is caught by the stopper. 제1항에 있어서,
상기 픽커들의 피치를 가변시키는 피치 가변기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커 장치.According to claim 1,
and a pitch varying mechanism for varying the pitch of the pickers.
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