KR102370780B1 - Frame of production equipment and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 생산 설비의 프레임 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a frame of a production plant and a method for manufacturing the same.
일반 적으로 자동화 라인에 배치되는 생산 설비는 생산 장비의 장착을 위한 프레임 구조물을 가진다.In general, production equipment arranged on an automated line has a frame structure for mounting production equipment.
프레임 구조물은 다수의 프레임 부재들이 상호 결합된 구조를 이루며, 외면에는 생산 장비의 장착을 위한 판재가 부착된다.The frame structure constitutes a structure in which a plurality of frame members are coupled to each other, and a plate material for mounting production equipment is attached to the outer surface.
한편, 생산 설비는 목적에 따라 다양한 형태로 제작된다.On the other hand, production equipment is manufactured in various forms depending on the purpose.
이에, 프레임 구조물은 공용되는 특정 규격이나 형상을 가지지 않고, 설계 의도에 따라 다양한 구조로 제작된다.Accordingly, the frame structure does not have a common specific standard or shape, and is manufactured in various structures according to design intent.
그러나, 종래의 프레임 구조물은 특정 목적에 따라 주문 제작되기 때문에, 구조적인 변경이 불가능하고, 추가적인 확장이 불가능한 문제점이 있었다.However, since the conventional frame structure is custom-made for a specific purpose, structural change is impossible, and additional expansion is impossible.
아울러, 기제작된 프레임 구조물을 다른 자동화 라인에 적용하여 재사용할 수 없음은 물론, 프레임 구조물에 설치된 생산 장비의 배치나, 구조 등이 변경되어야 할 경우, 프레임 구조물을 새로 제작해야만 하는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that the pre-fabricated frame structure cannot be reused by applying it to other automated lines, and that when the arrangement or structure of production equipment installed on the frame structure needs to be changed, the frame structure must be newly manufactured.
또한, 종래의 프레임 구조물은 단순히 생산 장비가 장착되기 위한 선반의 역할을 하기 위하여 고정된 구조를 가진다.In addition, the conventional frame structure has a fixed structure to simply serve as a shelf on which production equipment is mounted.
이에, 프레임 구조물 상에 설치된 장비들을 교체하거나, 관리해야할 경우, 작업자가 별도의 작업대를 이용하여 프레임 구조물이 있는 위치로 이동해야하는 불편함이 있었다.Accordingly, when the equipment installed on the frame structure needs to be replaced or managed, the operator has to move to a location where the frame structure is located by using a separate workbench.
또한, 종래의 프레임 구조물은 별도의 내진 구조를 가지고 있지 않기 때문에, 외부 충격에 취약하고, 이에 프레임 구조물은 물론 프레임 구조물에 장착된 생산 장비가 손상되는 문제점이 있었다.In addition, since the conventional frame structure does not have a separate earthquake-resistant structure, it is vulnerable to external impact, and there is a problem in that the frame structure as well as the production equipment mounted on the frame structure are damaged.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 프레임이 서로 탈착 가능한 모듈 형태로 형성되어, 구조적 변경 및 확장이 가능하고, 이를 통해 프레임의 장기적인 사용이 가능하여 생산 설비의 사용수명을 증대시킴은 물론, 교체로 인한 비용을 발생을 배제하여 경제적인 효과를 가질 수 있는 생산 설비의 프레임 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is that the frame is formed in the form of a module detachable from each other, structural change and expansion are possible, and through this, the long-term use of the frame is possible, so that the production facility An object of the present invention is to provide a frame of production equipment and a method for manufacturing the same, which can have an economical effect by not only increasing the service life of the device, but also excluding the cost due to replacement.
본 발명의 다른 목적은 기재들이 장착되는 부분의 높낮이와, 수평방향에서의 위치를 조절할 수 있도록 하여, 기재들을 교체하거나, 관리할 경우 작업자의 편의성을 극대화 할 수 있고, 이를 통해 작업시간을 단축시킬 수 있는 생산 설비의 프레임 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to maximize the convenience of the operator when replacing or managing the substrates by adjusting the height of the part where the substrates are mounted and the position in the horizontal direction, thereby reducing the working time. An object of the present invention is to provide a frame of a production facility capable of producing the same and a method for manufacturing the same.
본 발명의 또 다른 목적은 프레임에 내진 구조를 적용하여 외부 충격 및 진동으로부터 프레임을 안전하게 보호할 수 있는 생산 설비의 프레임 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a frame of a production facility capable of safely protecting the frame from external shock and vibration by applying a seismic structure to the frame and a method for manufacturing the same.
본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임은 지면 상에 배치되고, 상부에 적어도 하나의 제1 기재가 설치되는 제1 모듈; 및 상기 지면 상에 배치되어 상부에 적어도 하나의 제2 기재가 설치되는 제2 모듈;을 포함하고, 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈은 동일한 구조 및 형상을 가지며, 제1 방향을 따라 서로 연결되어 하나의 프레임을 이룬다.The frame of the production facility according to an embodiment of the present invention for solving the above problems is disposed on the ground, the first module is at least one first substrate is installed on the upper; and a second module disposed on the ground and having at least one second substrate installed thereon, wherein the first module and the second module have the same structure and shape, and each other along the first direction connected to form one frame.
상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈은, 상기 지면에 지지되는 베이스부; 상기 베이스부의 상부에 배치되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 승강되도록 구성되는 승강부; 및 상기 승강부에 의해 승강되고, 상기 승강부 상에서 상기 제2 방향과 다른 제3 방향을 따라 이동되도록 구성되는 수평 이송부;를 포함하고, 상기 베이스부는, 상면에 상기 승강부가 안착 및 지지되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 하면에 결합되고, 진동을 차단하도록 탄성체 재질로 이루어지는 방진구들; 상기 방진구들의 하면에 각각 결합되어 상기 지면에 지지되고, 상기 제2 방향을 따라 승강되도록 구성되는 베이스 실린더 유닛들; 상기 제1 방향과 상기 제3 방향으로 상기 베이스 실린더 유닛들을 연결 및 지지하도록 구성되는 제1 지지 프레임 부재들; 상기 제1 지지 프레임 부재들의 하면에 결합되고, 상기 지면을 따라 구름운동을 수행하도록 구성되는 캐스터 유닛들; 및 상기 제1 지지 프레임 부재들 사이에 '+' 구조로 배치되어 상기 제1 방향과 상기 제3 방향으로 상기 제1 지지 프레임 부재들을 연결 및 지지하도록 구성되는 제2 지지 프레임 부재들;을 포함하며, 상기 승강부는, 상기 베이스 플레이트의 상면에 설치되어 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되는 사이드 프레임 유닛들; 상기 사이드 프레임 유닛들 사이에 배치되어 상기 사이드 프레임 유닛들을 지지하도록 구성되는 프레임 유닛 지지부재들; 상기 사이드 프레임 유닛들의 내부에 설치되어 상기 제2 방향에 대하여 평행하게 배치되는 볼 스크류들; 상기 볼 스크류들에 결합되고, 상기 볼 스크류들의 외면을 따라 승강되도록 구성되는 승강 구동 조립체; 및 상기 승강 구동 조립체에 의해 승강되고, 상면에 상기 수평 이송부가 결합 및 지지되는 승강 플레이트;를 포함하고, 상기 수평 이송부는, 상기 승강 플레이트의 상면에 설치되는 전후 구동 조립체; 상기 전후 구동 조립체에 의해 상기 제3 방향을 따라 이동되는 수평 이동 플레이트; 상기 수평 이동 플레이트의 상면에 설치되어 신축되도록 구성되는 미세조정 승강유닛; 상기 미세조정 승강유닛에 의해 승강되고, 상면에 적어도 하나의 기재가 지지되도록 구성되는 기재 지지 플레이트; 및 상기 기재 지지 플레이트의 둘레에 배치되고, 상기 기재 지지 플레이트의 상면에 배치된 상기 기재를 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향으로 가압하면서 상기 기재의 위치를 조정하도록 구성되는 위치 조정 유닛들;을 포함할 수 있다.The first module and the second module, the base portion supported on the ground; an elevating part disposed on the base part and configured to be raised and lowered in a second direction different from the first direction; and a horizontal transfer unit that is lifted by the elevating unit and configured to move along a third direction different from the second direction on the elevating unit. ; Vibration spheres coupled to the lower surface of the base plate and made of an elastic material to block vibration; Base cylinder units coupled to the lower surfaces of the vibration spheres, respectively, supported on the ground, and configured to be raised and lowered in the second direction; first support frame members configured to connect and support the base cylinder units in the first direction and the third direction; Caster units coupled to the lower surface of the first support frame members and configured to perform a rolling motion along the ground; and second support frame members disposed in a '+' structure between the first support frame members and configured to connect and support the first support frame members in the first direction and the third direction. , The lifting unit may include: side frame units installed on an upper surface of the base plate to face each other in the first direction; frame unit support members disposed between the side frame units and configured to support the side frame units; ball screws installed inside the side frame units and arranged parallel to the second direction; an elevating drive assembly coupled to the ball screws and configured to elevate along an outer surface of the ball screws; and a lifting plate lifted by the lifting drive assembly and coupled to and supported by the horizontal transfer unit on an upper surface thereof, wherein the horizontal transfer unit includes: a front and rear drive assembly installed on an upper surface of the lifting plate; a horizontal moving plate moved along the third direction by the front and rear drive assembly; a fine adjustment elevating unit installed on the upper surface of the horizontal moving plate and configured to expand and contract; a substrate support plate lifted by the fine adjustment lifting unit and configured to support at least one substrate on an upper surface; and positioning units disposed on the periphery of the substrate support plate and configured to adjust the position of the substrate while pressing the substrate disposed on the upper surface of the substrate support plate in the first direction and the third direction; may include
상기 승강 구동 조립체는, 회전력을 발생시키도록 구성되는 서보 모터; 상기 볼 스크류들에 각각 결합되어 상기 승강 플레이트의 하면을 지지하고, 상기 서보 모터의 회전 시 상기 볼 스크류들의 외면을 따라 이동되면서 상기 승강 플레이트를 승강시키도록 구성되는 리프트 유닛들; 상기 서보 모터에 결합되어 상기 제1 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 서보 모터에 의해 회전되는 제1 연결 샤프트들; 상기 리프트 유닛들에 결합되어 상기 제3 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 제1 연결 샤프트들에 의해 회전되면서 상기 리프트 유닛들을 승강시키는 제2 연결 샤프트들; 및 상기 제1 연결 샤프트들과, 상기 제2 연결 샤프트들을 서로 연결하고, 상기 제1 연결 샤프트들의 회전력을 상기 제2 연결 샤프트들에 전달하도록 구성되는 기어박스들;을 포함하고, 상기 승강 플레이트는, 상기 볼 스크류들이 관통되는 스크류 관통홀들; 및 상기 승강 플레이트의 상면에 설치되어 상기 제3 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되는 가이드 레일들;을 포함하며, 상기 전후 구동 조립체는, 상기 제3 방향을 따라 상기 승강 플레이트의 상면에 복수로 배치되는 서포트 부재들; 상기 서포트 부재들에 회전 가능하게 결합되는 스크류 샤프트; 상기 스크류 샤프트를 회전시키도록 구성되는 전후 구동 모터; 일부분은 상기 수평 이동 플레이트의 하면에 결합되고, 다른 일부분은 상기 스크류 샤프트에 결합되며, 상기 스크류 샤프트의 회전 시 상기 스크류 샤프트의 외면을 따라 이동되면서 상기 제3 방향으로 상기 수평 이동 플레이트를 이동시키는 이송너트; 및 상기 수평 이동 플레이트의 하면에 설치되어 상기 이송너트를 사이에 두고 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되고, 상기 수평 이동 플레이트의 이동 시 상기 가이드 레일들을 따라 슬라이드 이동되도록 구성되는 슬라이더들;을 포함하고, 상기 미세조정 승강유닛은, 상기 수평 이동 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 신축되도록 구성되는 승강 실린더 유닛; 및 상기 승강 실린더 유닛에 결합되어 승강되고, 상기 기재 지지 플레이트의 하면을 지지하는 보조 지지 프레임들;을 포함하며, 상기 위치 조정 유닛들은, 서로 동일한 구조 및 형상을 가지는 제1 위치 조정 유닛들과, 제2 위치 조정 유닛들을 포함하고, 상기 제1 위치 조정 유닛들은 상기 기재 지지 플레이트를 사이에 두고 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되어 상기 제1 방향으로 신장되도록 구성되고, 상기 제2 위치 조정 유닛들은 상기 기재 지지 플레이트를 사이에 두고 상기 제3 방향을 따라 대향 배치되어 상기 제3 방향으로 신장되도록 구성되며, 상기 제1 위치 조정 유닛들과, 상기 제2 위치 조정 유닛들은, 상기 기재 지지 플레이트의 단부에 설치되는 지지 레일; 상기 지지 레일에 결합되고, 상기 지지 레일을 따라 이동 가능한 지지 브라켓; 상기 지지 브라켓에 지지되고, 신축되도록 구성되는 위치 조정 실린더 유닛; 및 상기 위치 조정 실린더 유닛의 단부에 결합되고, 신축되는 상기 위치 조정 실린더 유닛에 의해 이동되면서 상기 기재를 가압 및 지지하도록 구성되는 기재 가압 조립체;를 포함하고, 상기 기재 가압 조립체는, 상기 위치 조정 실린더 유닛의 단부에 결합되는 지지블록; 상기 지지블록에 대향 배치되고, 상기 기재에 접하여 상기 기재를 가압하는 가압블록; 상기 지지블록과 상기 가압블록을 연결 및 지지하는 연결핀들; 및 상기 지지블록과 상기 가압블록 사이에 배치되어 상기 가압블록을 탄성적으로 지지하는 탄성부재;를 포함할 수 있다.The lift drive assembly includes: a servo motor configured to generate a rotational force; Lift units each coupled to the ball screws to support a lower surface of the lifting plate, and configured to move along the outer surfaces of the ball screws when the servo motor rotates to raise and lower the lifting plate; first connection shafts coupled to the servo motor and disposed parallel to the first direction and rotated by the servo motor; second connection shafts coupled to the lift units, arranged parallel to the third direction, and rotated by the first connection shafts to elevate the lift units; and gearboxes configured to connect the first connection shafts and the second connection shafts to each other, and transmit a rotational force of the first connection shafts to the second connection shafts, wherein the lifting plate includes: , screw through holes through which the ball screws pass; and guide rails installed on the upper surface of the elevating plate, disposed parallel to the third direction, and disposed opposite to each other in the first direction, wherein the front and rear driving assembly includes: a plurality of support members disposed on the upper surface of the lifting plate; a screw shaft rotatably coupled to the support members; a front and rear drive motor configured to rotate the screw shaft; A portion is coupled to the lower surface of the horizontally moving plate, the other portion is coupled to the screw shaft, and when the screw shaft rotates, it moves along the outer surface of the screw shaft while moving the horizontally moving plate in the third direction. nut; and sliders installed on a lower surface of the horizontal moving plate to face each other in the first direction with the transfer nut interposed therebetween, and configured to slide along the guide rails when the horizontal moving plate moves. , The fine adjustment lifting unit may include: a lifting cylinder unit disposed on an upper surface of the horizontal moving plate and configured to expand and contract along the second direction; and auxiliary support frames coupled to and elevating the lifting cylinder unit and supporting the lower surface of the base support plate, wherein the position adjusting units include first position adjusting units having the same structure and shape as each other; and second position adjustment units, wherein the first position adjustment units are disposed opposite to each other in the first direction with the substrate support plate interposed therebetween and configured to extend in the first direction, wherein the second position adjustment units are configured to extend in the first direction The substrate support plate is disposed opposite to each other in the third direction and is configured to extend in the third direction, wherein the first position adjustment units and the second position adjustment units include an end of the substrate support plate. Support rails installed on the; a support bracket coupled to the support rail and movable along the support rail; a position adjustment cylinder unit supported by the support bracket and configured to expand and contract; and a substrate pressing assembly coupled to an end of the positioning cylinder unit and configured to press and support the substrate while being moved by the telescopic positioning cylinder unit, wherein the substrate pressing assembly comprises: the positioning cylinder a support block coupled to an end of the unit; a pressing block disposed opposite the support block and pressing the substrate in contact with the substrate; connecting pins for connecting and supporting the support block and the pressing block; and an elastic member disposed between the support block and the pressing block to elastically support the pressing block.
상기 제1 방향으로 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈을 가압하여 밀착시키도록 구성되는 가압 유닛; 및 상기 가압 유닛에 의해 서로 밀착된 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈에 결합되어 상기 제1 방향으로 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈이 벌어지는 것을 방지하도록 구성되는 고정 유닛;을 더 포함하고, 상기 가압 유닛은, 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 모듈의 일부분에 접하는 제1 걸림부와, 상기 제1 걸림부로부터 연장되는 제1 랙기어부를 포함하는 제1 가압부; 상기 제1 방향을 따라 상기 제2 모듈의 일부분에 접하는 제2 걸림부와, 상기 제2 걸림부로부터 연장되는 제2 랙기어부를 포함하는 제2 가압부; 및 상기 제1 랙기어부와 상기 제2 랙기어부 사이에 배치되어 상기 제1 랙기어부와 상기 제2 랙기어부에 맞물려 결합되고, 회전 시 상기 제1 랙기어부와 상기 제2 랙기어부를 동시에 이동시켜 상기 제1 걸림부와 상기 제2 걸림부를 제어하도록 구성되는 조작부;를 포함하며, 상기 고정 유닛은, 서로 밀착된 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈의 외면에 결합되는 클립부재; 상기 클립부재의 일부분에 배치되고, 상기 클립부재가 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈의 외면에 결합되면, 상기 제1 모듈에 형성된 제1 결합홈에 결합되는 제1 결합돌기; 상기 클립부재의 다른 일부분에 배치되고, 상기 클립부재가 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈의 외면에 결합되면, 상기 제2 모듈에 형성된 제2 결합홈에 결합되는 제2 결합돌기; 상기 제1 결합돌기에 배치되고, 자기력을 통해 상기 제3 방향으로 상기 제1 모듈과 결합되도록 구성되는 제1 잠금유닛; 및 상기 제2 결합돌기에 배치되고, 자기력을 통해 상기 제3 방향으로 상기 제2 모듈과 결합되도록 구성되는 제2 잠금유닛;을 포함하고, 상기 제1 잠금유닛은, 상기 제1 결합돌기에 회전 가능하게 결합되는 제1 회전축; 상기 제1 회전축의 일부분에 결합되고, 외력이 작용하면 상기 제1 회전축을 회전시키도록 구성되는 제1 조작레버; 상기 제1 회전축의 다른 일부분에 결합되어 상기 제1 결합돌기의 단부에 배치되고, 상기 제1 회전축에 의해 회전되는 제1 회전판; 및 상기 제1 회전판에 수용되고, 상기 제1 회전판에 의해 제1 위치 또는 제2 위치로 이동되면서 상기 제1 결합홈에 수용된 제1 고정자석에 선택적으로 결합되는 제1 회전자석;을 포함하고, 상기 제1 고정자석은, 상기 제1 회전자석이 상기 제1 위치로 이동되면 상기 제1 회전자석과 자기력에 의해 결합되고, 상기 제1 회전자석이 상기 제2 위치로 이동되면 상기 제1 회전자석과의 결합이 해제되며, 상기 제2 잠금유닛은, 상기 제2 결합돌기에 회전 가능하게 결합되는 제2 회전축; 상기 제2 회전축의 일부분에 결합되고, 외력이 작용하면 상기 제2 회전축을 회전시키도록 구성되는 제2 조작레버; 상기 제2 회전축의 다른 일부분에 결합되어 상기 제2 결합돌기의 단부에 배치되고, 상기 제2 회전축에 의해 회전되는 제2 회전판; 및 상기 제2 회전판에 수용되고, 상기 제2 회전판에 의해 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치로 이동되면서 상기 제2 결합홈에 수용된 제2 고정자석에 선택적으로 결합되는 제2 회전자석;을 포함하고, 상기 제2 고정자석은, 상기 제2 회전자석이 상기 제1 위치로 이동되면 상기 제2 회전자석과 자기력에 의해 결합되고, 상기 제2 회전자석이 상기 제2 위치로 이동되면 상기 제2 회전자석과의 결합이 해제될 수 있다.a pressing unit configured to press and close the first module and the second module in the first direction; and a fixing unit coupled to the first module and the second module in close contact with each other by the pressing unit and configured to prevent the first module and the second module from being opened in the first direction. The pressing unit may include: a first pressing part including a first engaging part in contact with a portion of the first module along the first direction, and a first rack gear part extending from the first engaging part; a second pressing part including a second locking part in contact with a portion of the second module in the first direction and a second rack gear part extending from the second locking part; and disposed between the first rack gear unit and the second rack gear unit to be engaged with the first rack gear unit and the second rack gear unit, and rotated between the first rack gear unit and the second rack gear unit. and an operation unit configured to control the first and second locking parts by simultaneously moving the parts, wherein the fixing unit includes a clip member coupled to an outer surface of the first module and the second module in close contact with each other. ; a first coupling protrusion disposed on a portion of the clip member and coupled to a first coupling groove formed in the first module when the clip member is coupled to outer surfaces of the first module and the second module; a second coupling protrusion disposed on another portion of the clip member and coupled to a second coupling groove formed in the second module when the clip member is coupled to the outer surfaces of the first module and the second module; a first locking unit disposed on the first coupling protrusion and configured to be coupled to the first module in the third direction through magnetic force; and a second locking unit disposed on the second coupling protrusion and configured to be coupled to the second module in the third direction through magnetic force, wherein the first locking unit rotates on the first coupling protrusion a first rotational shaft operably coupled; a first operation lever coupled to a portion of the first rotation shaft and configured to rotate the first rotation shaft when an external force is applied; a first rotating plate coupled to another portion of the first rotating shaft and disposed at an end of the first coupling protrusion, the first rotating plate being rotated by the first rotating shaft; and a first rotating magnet accommodated in the first rotating plate and selectively coupled to a first fixed magnet accommodated in the first coupling groove while being moved to a first or second position by the first rotating plate; The first stationary magnet is coupled to the first rotating magnet by magnetic force when the first rotating magnet is moved to the first position, and when the first rotating magnet is moved to the second position, the first rotating magnet and the coupling is released, and the second locking unit includes: a second rotating shaft rotatably coupled to the second coupling protrusion; a second operation lever coupled to a portion of the second rotation shaft and configured to rotate the second rotation shaft when an external force is applied; a second rotation plate coupled to another portion of the second rotation shaft and disposed at an end of the second coupling protrusion, the second rotation plate being rotated by the second rotation shaft; and a second rotating magnet accommodated in the second rotating plate and selectively coupled to a second fixed magnet accommodated in the second coupling groove while being moved to the first or second position by the second rotating plate. and the second stationary magnet is coupled to the second rotating magnet by magnetic force when the second rotating magnet is moved to the first position, and when the second rotating magnet is moved to the second position, the second The coupling with the rotating magnet may be released.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임의 제조 방법은, 제1 모듈과 제2 모듈을 형성하는 단계; 및 제1 방향을 따라 상기 제1 모듈과 상기 제2 모듈을 서로 연결하는 단계;를 포함하고, 상기 제1 모듈을 형성하는 단계는, 베이스부를 형성하는 단계; 상기 베이스부의 상부에 승강부를 설치하는 단계; 및 상기 승강부의 상부에 수평 이송부를 설치하는 단계;를 포함하며, 상기 베이스부를 형성하는 단계는, 베이스 플레이트의 하면에 방진구들을 설치하는 단계; 상기 방진구들의 하면에 베이스 실린더 유닛들을 설치하는 단계; 상기 베이스 실린더 유닛들에 제1 지지 프레임 부재들을 설치하는 단계; 상기 제1 지지 프레임 부재들의 하면에 캐스터 유닛들을 설치하는 단계; 및 상기 제1 지지 프레임 부재들에 제2 지지 프레임 부재들을 설치하는 단계;를 포함하고, 상기 베이스부의 상부에 승강부를 설치하는 단계는, 상기 베이스 플레이트의 상면에 사이드 프레임 유닛들을 설치하는 단계; 상기 사이드 프레임 유닛들 사이에 프레임 유닛 지지부재들을 설치하는 단계; 상기 사이드 프레임 유닛들의 내부에 볼 스크류들을 설치하는 단계; 상기 볼 스크류들에 승강 구동 조립체를 설치하는 단계; 및 상기 승강 구동 조립체의 상면에 승강 플레이트를 설치하는 단계;를 포함하며, 상기 승강부의 상부에 수평 이송부를 설치하는 단계는, 상기 승강 플레이트의 상면에 전후 구동 조립체를 설치하는 단계; 상기 전후 구동 조립체에 수평 이동 플레이트를 설치하는 단계; 상기 수평 이동 플레이트의 상면에 미세조정 승강유닛을 설치하는 단계; 상기 미세조정 승강유닛의 상면에 기재 지지 플레이트를 설치하는 단계; 및 상기 기재 지지 플레이트의 둘레에 위치 조정 유닛들을 설치하는 단계;를 포함하고, 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 모듈과 상기 제2 모듈을 서로 연결하는 단계는, 상기 제1 모듈과 상기 제2 모듈을 인접하게 배치시키는 단계; 인접하게 배치된 상기 제1 모듈과 상기 제2 모듈의 외면에 가압 유닛을 결합하고, 상기 가압 유닛을 조작하여 상기 제1 방향으로 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈을 가압하여 밀착시키는 단계; 및 상기 가압 유닛에 의해 서로 밀착된 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈의 외면에 고정 유닛을 결합하여 상기 제1 방향으로 상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈이 벌어지는 것을 방지하는 단계;를 포함한다.A method of manufacturing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the steps of forming a first module and a second module; and connecting the first module and the second module to each other along a first direction, wherein the forming of the first module includes: forming a base; installing a lifting unit on the upper part of the base unit; and installing a horizontal transfer unit on an upper portion of the lifting unit, wherein the forming of the base unit includes: installing vibration-proof holes on a lower surface of the base plate; Installing the base cylinder units on the lower surfaces of the vibration-proof holes; installing first support frame members to the base cylinder units; installing caster units on lower surfaces of the first support frame members; and installing second support frame members to the first support frame members, wherein the installing of the lifting unit on the upper portion of the base includes: installing side frame units on an upper surface of the base plate; installing frame unit support members between the side frame units; installing ball screws in the side frame units; installing a lift drive assembly to the ball screws; and installing an elevating plate on an upper surface of the elevating drive assembly, wherein the step of installing the horizontal transfer unit on the upper surface of the elevating unit includes: installing a front and rear drive assembly on an upper surface of the elevating plate; installing a horizontal moving plate on the front and rear drive assembly; installing a fine adjustment elevating unit on an upper surface of the horizontal moving plate; installing a substrate support plate on the upper surface of the fine adjustment lifting unit; and installing positioning units around the substrate support plate, wherein the step of connecting the first module and the second module to each other along the first direction includes the first module and the second module disposing the modules adjacently; coupling a pressing unit to the outer surfaces of the first module and the second module disposed adjacently, and operating the pressing unit to press the first module and the second module in the first direction to bring them into close contact; and coupling a fixing unit to the outer surface of the first module and the second module in close contact with each other by the pressing unit to prevent the first module and the second module from opening in the first direction; include
본 발명의 실시예에 따르면, 프레임이 서로 탈착 가능한 모듈들의 결합으로 형성되어, 구조적 변경 및 확장이 가능하고, 이를 통해 프레임의 장기적인 사용이 가능하여 생산 설비의 전체적인 사용수명을 증대시킴은 물론, 교체로 인한 비용의 발생을 배제하여 경제적인 효과를 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the frame is formed by a combination of modules detachable from each other, and structural change and expansion are possible, and through this, long-term use of the frame is possible, thereby increasing the overall service life of the production facility, as well as replacing It can have an economic effect by excluding the occurrence of costs.
또한, 기재들이 장착되는 부분의 높낮이와, 수평방향의 위치를 조절할 수 있도록 구성되므로, 기재들을 교체하거나, 관리할 경우 작업자의 편의성을 극대화 할 수 있고, 이를 통해 작업시간을 단축시킬 수 있다.In addition, since it is configured to adjust the height and the horizontal position of the part on which the substrates are mounted, it is possible to maximize the convenience of the operator when replacing or managing the substrates, thereby reducing the working time.
또한, 프레임에 방진 구조가 적용되므로, 외부의 충격 및 진동으로부터 프레임은 물론, 프레임에 장착된 기재들을 안전하게 보호할 수 있다.In addition, since a vibration-proof structure is applied to the frame, it is possible to safely protect the frame as well as the base materials mounted on the frame from external shocks and vibrations.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 발명 내에 포함되어 있다.The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 모듈을 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 모듈을 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 베이스부의 하면을 나타낸 저면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 승강부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 수평 이송부를 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 수평 이송부를 나타낸 정면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기재 지지 플레이트 및 위치 조정 유닛들을 나타낸 평면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 위치 조정 유닛을 나타낸 측면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 가압 유닛 및 고정 유닛이 생산 설비의 프레임에 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 고정 유닛이 생산 설비의 프레임에 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 고정자석과 회전자석의 결합상태 및 고정자석과 회전자석의 해제상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.1 is a perspective view showing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view showing a module according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view showing a module according to an embodiment of the present invention.
4 is a bottom view showing a lower surface of the base part according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing a lifting unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a plan view showing a horizontal transfer unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a front view showing a horizontal transfer unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a plan view illustrating a substrate support plate and positioning units according to an embodiment of the present invention.
9 is a side view showing a position adjusting unit according to an embodiment of the present invention.
10 is a view schematically illustrating a state in which the pressing unit and the fixing unit are installed in a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
11 is a view schematically showing a state in which the fixed unit according to an embodiment of the present invention is coupled to the frame of the production facility.
12 is a view schematically illustrating a state in which a fixed magnet and a rotating magnet are coupled and a state in which the fixed magnet and the rotating magnet are released according to an embodiment of the present invention.
13 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, since various changes may be made to the embodiments, the scope of the patent application is not limited or limited by these embodiments. It should be understood that all modifications, equivalents and substitutes for the embodiments are included in the scope of the rights.
실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 실시될 수 있다. 따라서, 실시예들은 특정한 개시형태로 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments are disclosed for purposes of illustration only, and may be changed and implemented in various forms. Accordingly, the embodiments are not limited to the specific disclosure form, and the scope of the present specification includes changes, equivalents, or substitutes included in the technical spirit.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.Although terms such as first or second may be used to describe various elements, these terms should be interpreted only for the purpose of distinguishing one element from another. For example, a first component may be termed a second component, and similarly, a second component may also be termed a first component.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected to” another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it should be understood that another component may exist in between.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the examples are used for the purpose of description only, and should not be construed as limiting. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the embodiment belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, in the description with reference to the accompanying drawings, the same components are given the same reference numerals regardless of the reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. In describing the embodiment, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the gist of the embodiment, the detailed description thereof will be omitted.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.In the embodiments of the present invention, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. have meaning Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in an embodiment of the present invention, an ideal or excessively formal meaning is not interpreted as
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, proportions, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining the embodiments of the present invention are illustrative and the present invention is not limited to the illustrated matters. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. When 'including', 'having', 'consisting', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. When a component is expressed in the singular, cases including the plural are included unless otherwise explicitly stated.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the components, it is construed as including an error range even if there is no separate explicit description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of the positional relationship, for example, when the positional relationship of two parts is described as 'on', 'on', 'on', 'beside', etc., 'right' Alternatively, one or more other parts may be positioned between two parts unless 'directly' is used.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Reference to an element or layer “on” another element or layer includes any intervening layer or other element directly on or in the middle of another element. Like reference numerals refer to like elements throughout.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The size and thickness of each component shown in the drawings are illustrated for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the illustrated component.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, and as those skilled in the art will fully understand, technically various interlocking and driving are possible, and each embodiment may be implemented independently of each other, It may be possible to implement together in a related relationship.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임(1000)(이하 '생산 설비의 프레임(1000)'이라 함)은 기재(E: Equipment)가 설치되는 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)을 포함한다.Referring to FIG. 1 , a
제1 모듈(1010)은 지면 상에 배치되고, 상부에 적어도 하나의 제1 기재(E1)가 설치된다.The
제2 모듈(1020)은 지면 상에 배치되어 상부에 적어도 하나의 제2 기재(E2)가 설치된다.The
제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)은 동일한 구조 및 형상을 가지며, 제1 방향(D1)을 따라 서로 연결되어 하나의 프레임(1000)을 이룬다.The
제1 모듈(1010) 및 제2 모듈(1020)에 대하여 보다 상세히 설명한다.The
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 모듈을 나타낸 정면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 모듈을 나타낸 측면도이다.Figure 2 is a front view showing a module according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a side view showing a module according to an embodiment of the present invention.
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)은, 각각, 베이스부(1), 승강부(2) 및 수평 이송부(3)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3 , the
베이스부(1)는 지면에 지지되고, 승강부(2)를 지지하며, 방진 구조를 가질 수 있다.The base unit 1 is supported on the ground, supports the
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 베이스부의 하면을 나타낸 저면도이다.4 is a bottom view showing a lower surface of the base part according to an embodiment of the present invention.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 베이스부(1)는 상면에 승강부(2)가 안착 및 지지되는 베이스 플레이트(11)와, 베이스 플레이트(11)의 하면에 결합되고, 진동을 차단하도록 탄성체 재질로 이루어지는 방진구들(12)을 포함할 수 있다.2 to 4 , the base unit 1 includes a
또한, 베이스부(1)는 방진구들(12)의 하면에 각각 결합되어 지면에 지지되고, 제2 방향(D2)을 따라 승강되도록 구성되는 베이스 실린더 유닛들(13)과, 제1 방향(D1)과 제3 방향(D3)으로 베이스 실린더 유닛들(13)을 연결 및 지지하도록 구성되는 제1 지지 프레임 부재들(14)을 포함할 수 있다.In addition, the base unit 1 is respectively coupled to the lower surface of the vibration-
또한, 베이스부(1)는 제1 지지 프레임 부재들(14)의 하면에 결합되고, 지면을 따라 구름운동을 수행하도록 구성되는 캐스터 유닛들(15)과, 제1 지지 프레임 부재들(14) 사이에 '+' 구조로 배치되어 제1 방향(D1)과 제3 방향(D3)으로 제1 지지 프레임 부재들(14)을 연결 및 지지하도록 구성되는 제2 지지 프레임 부재들(16)을 포함할 수 있다.In addition, the base portion 1 is coupled to the lower surface of the first
도 2 및 도 3을 참조하면, 승강부(2)는 베이스부(1)의 상부에 배치되고, 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)을 따라 승강되도록 구성될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3 , the
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 승강부를 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view showing a lifting unit according to an embodiment of the present invention.
도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 승강부(2)는 베이스 플레이트(11)의 상면에 설치되어 제1 방향(D1)을 따라 대향 배치되는 사이드 프레임 유닛들(21)과, 사이드 프레임 유닛들(21) 사이에 배치되어 사이드 프레임 유닛들(21)을 지지하도록 구성되는 프레임 유닛 지지부재들(22)을 포함할 수 있다.2, 3, and 5, the
승강부(2)는 사이드 프레임 유닛들(21)의 내부에 설치되어 제2 방향(D2)에 대하여 평행하게 배치되는 볼 스크류들(23)과, 볼 스크류들(23)에 결합되고, 볼 스크류들(23)의 외면을 따라 승강되도록 구성되는 승강 구동 조립체(24)와, 승강부(2)는 승강 구동 조립체(24)에 의해 승강되고, 상면에 수평 이송부(3)가 결합 및 지지되는 승강 플레이트(25)를 포함할 수 있다.The
승강 구동 조립체(24)는 회전력을 발생시키도록 구성되는 서보 모터(241)와, 볼 스크류들(23)에 각각 결합되어 승강 플레이트(25)의 하면을 지지하고, 서보 모터(241)의 회전 시 볼 스크류들(23)의 외면을 따라 이동되면서 승강 플레이트(25)를 승강시키도록 구성되는 리프트 유닛들(242)을 포함할 수 있다.The lifting
또한, 승강 구동 조립체(24)는 서보 모터(241)에 결합되어 제1 방향(D1)에 대하여 평행하게 배치되고, 서보 모터(241)에 의해 회전되는 제1 연결 샤프트들(243)과, 리프트 유닛들(242)에 결합되어 제3 방향(D3)에 대하여 평행하게 배치되고, 제1 연결 샤프트들(243)에 의해 회전되면서 리프트 유닛들(242)을 승강시키는 제2 연결 샤프트들(244)을 포함할 수 있다.In addition, the lifting
또한, 승강 구동 조립체(24)는 제1 연결 샤프트들(243)과, 제2 연결 샤프트들(244)을 서로 연결하고, 제1 연결 샤프트들(243)의 회전력을 제2 연결 샤프트들(244)에 전달하도록 구성되는 기어박스들(245)을 포함할 수 있다.In addition, the lifting
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 수평 이송부를 나타낸 평면도이다.6 is a plan view showing a horizontal transfer unit according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 승강 플레이트(25)는 볼 스크류들(23)이 관통되는 스크류 관통홀들(251)과, 승강 플레이트(25)의 상면에 설치되어 제3 방향(D3)에 대하여 평행하게 배치되고, 제1 방향(D1)을 따라 대향 배치되는 가이드 레일들(252)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the lifting
도 2 및 도 3을 참조하면, 수평 이송부(3)는 승강부(2)에 의해 승강되고, 승강부(2) 상에서 제2 방향(D2)과 다른 제3 방향(D3)을 따라 이동되도록 구성될 수 있다.2 and 3 , the
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 수평 이송부를 나타낸 정면도이다.7 is a front view showing a horizontal transfer unit according to an embodiment of the present invention.
도 2, 도 3, 도 6 및 도 7을 참조하면, 수평 이송부(3)는 승강 플레이트(25)의 상면에 설치되는 전후 구동 조립체(31)와, 전후 구동 조립체(31)에 의해 제3 방향(D3)을 따라 이동되는 수평 이동 플레이트(32)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2, 3, 6 and 7 , the
여기서, 전후 구동 조립체(31)는 제3 방향(D3)을 따라 승강 플레이트(25)의 상면에 복수로 배치되는 서포트 부재들(311)과, 서포트 부재들(311)에 회전 가능하게 결합되는 스크류 샤프트(312)와, 전후 구동 조립체(31)는 스크류 샤프트(312)를 회전시키도록 구성되는 전후 구동 모터(313)를 포함할 수 있다. 또한, 전후 구동 조립체(31)는 일부분은 수평 이동 플레이트(32)의 하면에 결합되고, 다른 일부분은 스크류 샤프트(312)에 결합되며, 스크류 샤프트(312)의 회전 시 스크류 샤프트(312)의 외면을 따라 이동되면서 제3 방향(D3)으로 수평 이동 플레이트(32)를 이동시키는 이송너트(314)와, 수평 이동 플레이트(32)의 하면에 설치되어 이송너트(314)를 사이에 두고 제1 방향(D1)을 따라 대향 배치되고, 수평 이동 플레이트(32)의 이동 시 가이드 레일들(252)을 따라 슬라이드 이동되도록 구성되는 슬라이더들(315)을 포함할 수 있다.Here, the front/
또한, 수평 이송부(3)는 수평 이동 플레이트(32)의 상면에 설치되어 신축되도록 구성되는 미세조정 승강유닛(33)과, 미세조정 승강유닛(33)에 의해 승강되고, 상면에 적어도 하나의 기재(E)가 지지되도록 구성되는 기재 지지 플레이트(34)를 포함할 수 있다.In addition, the
여기서, 미세조정 승강유닛(33)은 수평 이동 플레이트(32)의 상면에 배치되고, 제2 방향(D2)을 따라 신축되도록 구성되는 승강 실린더 유닛(331)과, 승강 실린더 유닛(331)에 결합되어 승강되고, 기재 지지 플레이트(34)의 하면을 지지하는 보조 지지 프레임들(332)을 포함할 수 있다.Here, the fine
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기재 지지 플레이트 및 위치 조정 유닛들을 나타낸 평면도이다.8 is a plan view illustrating a substrate support plate and positioning units according to an embodiment of the present invention.
도 7 및 도 8을 참조하면, 수평 이송부(3)는 기재 지지 플레이트(34)의 둘레에 배치되고, 기재 지지 플레이트(34)의 상면에 배치된 기재(E)를 제1 방향(D1) 및 제3 방향(D3)으로 가압하면서 기재(E)의 위치를 조정하도록 구성되는 위치 조정 유닛들(35)을 포함할 수 있다.7 and 8, the
위치 조정 유닛들(35)은 서로 동일한 구조 및 형상을 가지는 제1 위치 조정 유닛들(35A)과, 제2 위치 조정 유닛들(35B)을 포함할 수 있다.The
제1 위치 조정 유닛들(35A)은 기재 지지 플레이트(34)를 사이에 두고 제1 방향(D1)을 따라 대향 배치되어 제1 방향(D1)으로 신장되도록 구성되고, 제2 위치 조정 유닛들(35B)은 기재 지지 플레이트(34)를 사이에 두고 제3 방향(D3)을 따라 대향 배치되어 제3 방향(D3)으로 신장되도록 구성될 수 있다.The
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 위치 조정 유닛을 나타낸 측면도이다.9 is a side view showing a position adjusting unit according to an embodiment of the present invention.
도 8 및 도 9를 참조하면, 제1 위치 조정 유닛들(35A)과, 제2 위치 조정 유닛들(35B)은, 기재 지지 플레이트(34)의 단부에 설치되는 지지 레일(351)과, 지지 레일(351)에 결합되고, 지지 레일(351)을 따라 이동 가능한 지지 브라켓(352)과, 지지 브라켓(352)에 지지되고, 신축되도록 구성되는 위치 조정 실린더 유닛(353)과, 위치 조정 실린더 유닛(353)의 단부에 결합되고, 신축되는 위치 조정 실린더 유닛(353)에 의해 이동되면서 기재(E)를 가압 및 지지하도록 구성되는 기재 가압 조립체(354)를 포함할 수 있다.8 and 9 , the first
여기서, 기재 가압 조립체(354)는, 위치 조정 실린더 유닛(353)의 단부에 결합되는 지지블록(3541)과, 지지블록(3541)에 대향 배치되고, 기재(E)에 접하여 기재(E)를 가압하는 가압블록(3542)과, 지지블록(3541)과 가압블록(3542)을 연결 및 지지하는 연결핀들(3543)과, 지지블록(3541)과 가압블록(3542) 사이에 배치되어 가압블록(3542)을 탄성적으로 지지하는 탄성부재(3544)를 포함할 수 있다.Here, the
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 가압 유닛 및 고정 유닛이 생산 설비의 프레임에 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.10 is a view schematically illustrating a state in which the pressing unit and the fixing unit are installed in a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
도 10을 참조하면, 본 생산 설비의 프레임(1000)은 가압 유닛(4)과, 고정 유닛(5)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10 , the
가압 유닛(4)은 제1 방향(D1)으로 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)을 가압하여 밀착시키도록 구성될 수 있다.The
가압 유닛(4)은 제1 가압부(41), 제2 가압부(42) 및 조작부(43)를 포함할 수 있다.The
제1 가압부(41)는 제1 방향(D1)을 따라 제1 모듈(1010)의 일부분에 접하는 제1 걸림부(411)와, 제1 걸림부(411)로부터 연장되는 제1 랙기어부(412)를 포함할 수 있다.The first
제2 가압부(42)는 제1 방향(D1)을 따라 제2 모듈(1020)의 일부분에 접하는 제2 걸림부(421)와, 제2 걸림부(421)로부터 연장되는 제2 랙기어부(422)를 포함할 수 있다.The second
조작부(43)는 제1 랙기어부(412)와 제2 랙기어부(422) 사이에 배치되어 제1 랙기어부(412)와 제2 랙기어부(422)에 맞물려 결합되고, 회전 시 제1 랙기어부(412)와 제2 랙기어부(422)를 동시에 이동시켜 제1 걸림부(411)와 제2 걸림부(421)를 제어하도록 구성될 수 있다.The
고정 유닛(5)은 가압 유닛(4)에 의해 서로 밀착된 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)에 결합되어 제1 방향(D1)으로 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)이 벌어지는 것을 방지하도록 구성될 수 있다.The fixing
고정 유닛(5)은 클립부재(51), 제1 결합돌기(52), 제2 결합돌기(53), 제1 잠금유닛(54) 및 제2 잠금유닛(55)을 포함할 수 있다.The fixing
클립부재(51)는 'ㄷ'형태로 형성되어 서로 밀착된 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)의 외면에 결합되어 제1 방향으로 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)의 외면을 지지할 수 있다.The
제1 결합돌기(52)는 클립부재(51)의 일부분에 배치되고, 클립부재(51)가 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)의 외면에 결합되면, 제1 모듈(1010)에 형성된 제1 결합홈(1011)에 결합될 수 있다.The
제2 결합돌기(53)는 클립부재(51)의 다른 일부분에 배치되고, 클립부재(51)가 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)의 외면에 결합되면, 제2 모듈(1020)에 형성된 제2 결합홈(1021)에 결합될 수 있다.The
제1 잠금유닛(54)은 제1 결합돌기(52)에 배치되고, 자기력을 통해 제3 방향(D3)으로 제1 모듈(1010)과 결합되도록 구성될 수 있다.The first locking unit 54 may be disposed on the
제2 잠금유닛(55)은 제2 결합돌기(53)에 배치되고, 자기력을 통해 제3 방향(D3)으로 제2 모듈(1020)과 결합되도록 구성될 수 있다.The second locking unit 55 may be disposed on the
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 고정 유닛이 생산 설비의 프레임에 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 고정자석과 회전자석의 결합상태 및 고정자석과 회전자석의 해제상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.11 is a view schematically showing a state in which the fixed unit is coupled to a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a diagram schematically showing the released state of the rotating magnet.
도 10 및 도 11을 참조하면, 제1 잠금유닛(54)과 제2 잠금유닛(55)은 동일한 구조 및 형상을 가질 수 있다.10 and 11 , the first locking unit 54 and the second locking unit 55 may have the same structure and shape.
제1 잠금유닛(54)은 제1 결합돌기(52)에 회전 가능하게 결합되는 제1 회전축(541)과, 제1 회전축(541)의 일부분에 결합되고, 외력이 작용하면 제1 회전축(541)을 회전시키도록 구성되는 제1 조작레버(542)와, 제1 회전축(541)의 다른 일부분에 결합되어 제1 결합돌기(52)의 단부에 배치되고, 제1 회전축(541)에 의해 회전되는 제1 회전판(543)과, 제1 회전판(543)에 수용되고, 제1 회전판(543)에 의해 제1 위치 또는 제2 위치로 이동되면서 제1 결합홈(1011)에 수용된 제1 고정자석(1012)에 선택적으로 결합되는 제1 회전자석(544)을 포함할 수 있다.The first locking unit 54 is coupled to a first rotation shaft 541 rotatably coupled to the
이에, 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 고정자석(1012)은, 제1 회전자석(544)이 제1 위치로 이동되면 제1 회전자석(544)과 자기력에 의해 결합(LOCK)되고, 제1 회전자석(544)이 제2 위치로 이동되면 제1 회전자석(544)과의 결합이 해제(UNLOCK)될 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 12, the first stationary magnet 1012 is coupled to the first rotating magnet 544 by magnetic force when the first rotating magnet 544 is moved to the first position (LOCK), When the first rotating magnet 544 is moved to the second position, the coupling with the first rotating magnet 544 may be unlocked (UNLOCK).
다시 도 10 및 도 11을 참조하면, 제2 잠금유닛(55)은 제2 결합돌기(53)에 회전 가능하게 결합되는 제2 회전축(551)과, 제2 회전축(551)의 일부분에 결합되고, 외력이 작용하면 제2 회전축(551)을 회전시키도록 구성되는 제2 조작레버(552)와, 제2 회전축(551)의 다른 일부분에 결합되어 제2 결합돌기(53)의 단부에 배치되고, 제2 회전축(551)에 의해 회전되는 제2 회전판(553)과, 제2 회전판(553)에 수용되고, 제2 회전판(553)에 의해 제1 위치 또는 제2 위치로 이동되면서 제2 결합홈(1021)에 수용된 제2 고정자석(1022)에 선택적으로 결합되는 제2 회전자석(554)을 포함할 수 있다.Referring back to FIGS. 10 and 11 , the second locking unit 55 is coupled to a second rotating shaft 551 rotatably coupled to the
이에, 도 12에 도시된 바와 같이, 제2 고정자석(1022)은, 제2 회전자석(554)이 제1 위치로 이동되면 제2 회전자석(554)과 자기력에 의해 결합(LOCK)되고, 제2 회전자석(554)이 제2 위치로 이동되면 제2 회전자석(554)과의 결합이 해제(UNLOCK)될 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 12, the second stationary magnet 1022 is coupled to the second rotating magnet 554 by magnetic force when the second rotating magnet 554 is moved to the first position (LOCK), When the second rotating magnet 554 is moved to the second position, the coupling with the second rotating magnet 554 may be released (UNLOCK).
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임의 제조 방법(이하 '생산 설비의 프레임 제조 방법'이라 함)에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method for manufacturing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as 'a method of manufacturing a frame of a production facility') will be described.
참고로, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법을 설명하기 위한 각 구성에 대해서는 설명의 편의상 본 생산 설비의 프레임을 설명하면서 사용한 도면부호를 동일하게 사용하고, 동일하거나 중복된 설명은 생략하기로 한다.For reference, for each configuration for describing the method of manufacturing the frame of the present production facility, the same reference numerals are used while describing the frame of the present production facility for convenience of explanation, and the same or overlapping description will be omitted.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 생산 설비의 프레임의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.13 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a frame of a production facility according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 13을 참조하면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)을 형성한다(S110).1 and 13 , in the method of manufacturing a frame of the present production facility, a
제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)을 형성하는 단계에 대하여 보다 자세히 설명한다.The step of forming the
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스부(1)를 형성한다.2 to 4 , the frame manufacturing method of the present production facility forms the base part 1 .
구체적으로, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스 플레이트(11)의 하면에 방진구들(12)을 설치한다. 베이스 플레이트(11)의 하면에 방진구들(12)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 방진구들(12)의 하면에 베이스 실린더 유닛들(13)을 설치한다. 방진구들(12)의 하면에 베이스 실린더 유닛들(13)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스 실린더 유닛들(13)에 제1 지지 프레임 부재들(14)을 설치한다. 베이스 실린더 유닛들(13)에 제1 지지 프레임 부재들(14)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 제1 지지 프레임 부재들(14)의 하면에 캐스터 유닛들(15)을 설치한다. 제1 지지 프레임 부재들(14)의 하면에 캐스터 유닛들(15)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 제1 지지 프레임 부재들(14)에 제2 지지 프레임 부재들(16)을 설치한다.Specifically, in the frame manufacturing method of the present production facility, the vibration-proofing
도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스부(1)가 형성되면, 베이스부(1)의 상부에 승강부(2)를 설치한다.2, 3 and 5, in the frame manufacturing method of the present production facility, when the base part 1 is formed, the
구체적으로, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스부(1)가 형성되면, 베이스 플레이트(11)의 상면에 사이드 프레임 유닛들(21)을 설치한다. 베이스 플레이트(11)의 상면에 사이드 프레임 유닛들(21)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 사이드 프레임 유닛들(21) 사이에 프레임 유닛 지지부재들(22)을 설치한다. 사이드 프레임 유닛들(21) 사이에 프레임 유닛 지지부재들(22)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 사이드 프레임 유닛들(21)의 내부에 볼 스크류들(23)을 설치한다. 사이드 프레임 유닛들(21)의 내부에 볼 스크류들(23)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 볼 스크류들(23)에 승강 구동 조립체(24)를 설치한다. 볼 스크류들(23)에 승강 구동 조립체(24)가 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 승강 구동 조립체(24)의 상면에 승강 플레이트(25)를 설치한다.Specifically, in the frame manufacturing method of the present production facility, when the base part 1 is formed, the
도 2, 도 3 및 도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 베이스부(1)의 상부에 승강부(2)가 설치되면, 승강부(2)의 상부에 수평 이송부(3)를 설치한다.2, 3, and 6 to 8, in the frame manufacturing method of the present production facility, when the elevating
구체적으로, 베이스부(1)의 상부에 승강부(2)가 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 승강 플레이트(25)의 상면에 전후 구동 조립체(31)를 설치한다. 승강 플레이트(25)의 상면에 전후 구동 조립체(31)가 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 전후 구동 조립체(31)에 수평 이동 플레이트(32)를 설치한다. 전후 구동 조립체(31)에 수평 이동 플레이트(32)가 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 수평 이동 플레이트(32)의 상면에 미세조정 승강유닛(33)을 설치한다. 수평 이동 플레이트(32)의 상면에 미세조정 승강유닛(33)이 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 미세조정 승강유닛(33)의 상면에 기재 지지 플레이트(34)를 설치한다. 미세조정 승강유닛(33)의 상면에 기재 지지 플레이트(34)가 설치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 기재 지지 플레이트(34)의 둘레에 위치 조정 유닛들(35)을 설치한다.Specifically, when the
도 1 및 도 13을 참조하면, 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)이 형성되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 제1 방향(D1)을 따라 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)을 서로 연결한다(S120).Referring to FIGS. 1 and 13 , when the
구체적으로, 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)이 형성되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)을 인접하게 배치시킨다. 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)을 인접하게 배치되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 인접하게 배치된 제1 모듈(1010)과 제2 모듈(1020)의 외면에 가압 유닛(4)을 결합하고, 가압 유닛(4)을 조작하여 제1 방향(D1)으로 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)을 가압하여 밀착시킨다. 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)이 밀착되면, 본 생산 설비의 프레임 제조 방법은 가압 유닛(4)에 의해 서로 밀착된 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)의 외면에 고정 유닛(5)을 결합하여 제1 방향(D1)으로 제1 모듈(1010)과, 제2 모듈(1020)이 벌어지는 것을 방지한다.Specifically, when the
이처럼 본 발명의 실시예에 따르면, 프레임(1000)이 서로 탈착 가능한 모듈들의 결합으로 형성되어, 구조적 변경 및 확장이 가능하고, 이를 통해 프레임(1000)의 장기적인 사용이 가능하여 생산 설비의 전체적인 사용수명을 증대시킴은 물론, 교체로 인한 비용의 발생을 배제하여 경제적인 효과를 가질 수 있다.As such, according to the embodiment of the present invention, the
또한, 기재들(E)이 장착되는 부분의 높낮이와, 수평방향의 위치를 조절할 수 있도록 구성되므로, 기재들(E)을 교체하거나, 관리할 경우 작업자의 편의성을 극대화 할 수 있고, 이를 통해 작업시간을 단축시킬 수 있다.In addition, since it is configured to adjust the height and the horizontal position of the part on which the substrates (E) are mounted, it is possible to maximize the convenience of the operator when replacing or managing the substrates (E), and through this time can be shortened.
또한, 프레임(1000)에 방진 구조가 적용되므로, 외부의 충격 및 진동으로부터 프레임은 물론, 프레임에 장착된 기재들을 안전하게 보호할 수 있다.In addition, since a vibration-proof structure is applied to the
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are also within the scope of the following claims.
1000. 생산 설비의 프레임
1010. 제1 모듈 1011. 제1 결합홈
1012. 제1 고정자석 1020. 제2 모듈
1021. 제2 결합홈 1022. 제2 고정자석
1. 베이스부
11. 베이스 플레이트 12. 방진구들
13. 베이스 실린더 유닛들 14. 제1 지지 프레임 부재들
15. 캐스터 유닛들 16. 제2 지지 프레임 부재들
2. 승강부
21. 사이드 프레임 유닛들 22. 프레임 유닛 지지부재들
23. 볼 스크류들 24. 승강 구동 조립체
241. 서보 모터 242. 리프트 유닛들
243. 제1 연결 샤프트들 244. 제2 연결 샤프트들
245. 기어박스들 25. 승강 플레이트
251. 스크류 관통홀들 252. 가이드 레일들
3. 수평 이송부
31. 전후 구동 조립체 311. 서포트 부재들
312. 스크류 샤프트 313. 전후 구동 모터
314. 이송너트 315. 슬라이더들
32. 수평 이동 플레이트 33. 미세조정 승강유닛
331. 승강 실린더 유닛 332. 보조 지지 프레임들
34. 기재 지지 플레이트 35. 위치 조정 유닛들
35A. 제1 위치 조정 유닛들 35B. 제2 위치 조정 유닛들
351. 지지 레일 352. 지지 브라켓
353. 위치 조정 실린더 유닛 354. 기재 가압 조립체
3541. 지지블록 3542. 가압블록
3543. 연결핀들 3544. 탄성부재
4. 가압 유닛
41. 제1 가압부 411. 제1 걸림부
412. 제1 랙기어부 42. 제2 가압부
421. 제2 걸림부 422. 제2 랙기어부
43. 조작부
5. 고정 유닛
51. 클립부재 52. 제1 결합돌기
53. 제2 결합돌기 54. 제1 잠금유닛
541. 제1 회전축 542. 제1 조작레버
543. 제1 회전판 544. 제1 회전자석
55. 제2 잠금유닛 551. 제2 회전축
552. 제2 조작레버 553. 제2 회전판
554. 제2 회전자석
E. 기재
E1. 제1 기재 E2. 제2 기재
D1. 제1 방향 D2. 제2 방향
D3. 제3 방향1000. Frame of production equipment
1010.
1012.
1021. Second coupling groove 1022. Second fixed magnet
1. Base
11.
13.
15.
2. Elevator
21.
23. Ball Screws 24. Lift Drive Assembly
241.
243. First connecting
245.
251. Screw through
3. Horizontal transfer unit
31. Front and
312.
314.
32. Horizontal moving
331. Elevating
34.
35A.
351.
353.
3541.
3543. Connection pins 3544. Elastic member
4. Pressurization unit
41. First
412. First
421. Second locking
43. Control panel
5. Fixed unit
51.
53. Second coupling protrusion 54. First locking unit
541. First rotation shaft 542. First operation lever
543. First rotating plate 544. First rotating magnet
55. Second locking unit 551. Second rotating shaft
552. Second operation lever 553. Second rotary plate
554. Second rotating magnet
E. Write
E1. first substrate E2. second base
D1. first direction D2. second direction
D3. 3rd direction
Claims (3)
지면 상에 배치되고, 상부에 적어도 하나의 제1 기재가 설치되는 제1 모듈; 및
상기 지면 상에 배치되어 상부에 적어도 하나의 제2 기재가 설치되는 제2 모듈;을 포함하고,
상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈은 동일한 구조 및 형상을 가지며, 제1 방향을 따라 서로 연결되어 하나의 프레임을 이루며,
상기 제1 모듈과, 상기 제2 모듈은,
상기 지면에 지지되는 베이스부;
상기 베이스부의 상부에 배치되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 승강되도록 구성되는 승강부; 및
상기 승강부에 의해 승강되고, 상기 승강부 상에서 상기 제2 방향과 다른 제3 방향을 따라 이동되도록 구성되는 수평 이송부;를 포함하고,
상기 베이스부는,
상면에 상기 승강부가 안착 및 지지되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 하면에 결합되고, 진동을 차단하도록 탄성체 재질로 이루어지는 방진구들;
상기 방진구들의 하면에 각각 결합되어 상기 지면에 지지되고, 상기 제2 방향을 따라 승강되도록 구성되는 베이스 실린더 유닛들;
상기 제1 방향과 상기 제3 방향으로 상기 베이스 실린더 유닛들을 연결 및 지지하도록 구성되는 제1 지지 프레임 부재들;
상기 제1 지지 프레임 부재들의 하면에 결합되고, 상기 지면을 따라 구름운동을 수행하도록 구성되는 캐스터 유닛들; 및
상기 제1 지지 프레임 부재들 사이에 '+' 구조로 배치되어 상기 제1 방향과 상기 제3 방향으로 상기 제1 지지 프레임 부재들을 연결 및 지지하도록 구성되는 제2 지지 프레임 부재들;을 포함하며,
상기 승강부는,
상기 베이스 플레이트의 상면에 설치되어 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되는 사이드 프레임 유닛들;
상기 사이드 프레임 유닛들 사이에 배치되어 상기 사이드 프레임 유닛들을 지지하도록 구성되는 프레임 유닛 지지부재들;
상기 사이드 프레임 유닛들의 내부에 설치되어 상기 제2 방향에 대하여 평행하게 배치되는 볼 스크류들;
상기 볼 스크류들에 결합되고, 상기 볼 스크류들의 외면을 따라 승강되도록 구성되는 승강 구동 조립체; 및
상기 승강 구동 조립체에 의해 승강되고, 상면에 상기 수평 이송부가 결합 및 지지되는 승강 플레이트;를 포함하고,
상기 수평 이송부는,
상기 승강 플레이트의 상면에 설치되는 전후 구동 조립체;
상기 전후 구동 조립체에 의해 상기 제3 방향을 따라 이동되는 수평 이동 플레이트;
상기 수평 이동 플레이트의 상면에 설치되어 신축되도록 구성되는 미세조정 승강유닛;
상기 미세조정 승강유닛에 의해 승강되고, 상면에 적어도 하나의 기재가 지지되도록 구성되는 기재 지지 플레이트; 및
상기 기재 지지 플레이트의 둘레에 배치되고, 상기 기재 지지 플레이트의 상면에 배치된 상기 기재를 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향으로 가압하면서 상기 기재의 위치를 조정하도록 구성되는 위치 조정 유닛들;을 포함하는, 생산 설비의 프레임.As a frame of production equipment,
a first module disposed on the ground and having at least one first substrate installed thereon; and
a second module disposed on the ground and having at least one second substrate installed thereon; and
The first module and the second module have the same structure and shape, and are connected to each other along the first direction to form one frame,
The first module and the second module,
a base part supported on the ground;
an elevating part disposed on the base part and configured to be raised and lowered in a second direction different from the first direction; and
Including; and a horizontal transfer unit that is lifted by the elevating unit and configured to move along a third direction different from the second direction on the elevating unit,
The base part,
a base plate on which the lifting unit is seated and supported on an upper surface;
Vibration spheres coupled to the lower surface of the base plate and made of an elastic material to block vibration;
Base cylinder units coupled to the lower surfaces of the vibration spheres, respectively, supported on the ground, and configured to be raised and lowered in the second direction;
first support frame members configured to connect and support the base cylinder units in the first direction and the third direction;
Caster units coupled to the lower surface of the first support frame members and configured to perform a rolling motion along the ground; and
and second support frame members disposed in a '+' structure between the first support frame members and configured to connect and support the first support frame members in the first direction and the third direction.
The lifting unit,
side frame units installed on the upper surface of the base plate to face each other in the first direction;
frame unit support members disposed between the side frame units and configured to support the side frame units;
ball screws installed inside the side frame units and arranged parallel to the second direction;
an elevating drive assembly coupled to the ball screws and configured to elevate along an outer surface of the ball screws; and
Including; and a lifting plate that is lifted by the lifting drive assembly, the horizontal transfer unit is coupled and supported on the upper surface;
The horizontal transfer unit,
a front and rear drive assembly installed on an upper surface of the lifting plate;
a horizontal moving plate moved along the third direction by the front and rear drive assembly;
a fine adjustment elevating unit installed on the upper surface of the horizontal moving plate and configured to expand and contract;
a substrate support plate lifted by the fine adjustment lifting unit and configured to support at least one substrate on an upper surface; and
Positioning units disposed on the periphery of the substrate support plate and configured to adjust the position of the substrate while pressing the substrate disposed on the upper surface of the substrate support plate in the first direction and the third direction. which is the frame of production equipment.
상기 승강 구동 조립체는,
회전력을 발생시키도록 구성되는 서보 모터;
상기 볼 스크류들에 각각 결합되어 상기 승강 플레이트의 하면을 지지하고, 상기 서보 모터의 회전 시 상기 볼 스크류들의 외면을 따라 이동되면서 상기 승강 플레이트를 승강시키도록 구성되는 리프트 유닛들;
상기 서보 모터에 결합되어 상기 제1 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 서보 모터에 의해 회전되는 제1 연결 샤프트들;
상기 리프트 유닛들에 결합되어 상기 제3 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 제1 연결 샤프트들에 의해 회전되면서 상기 리프트 유닛들을 승강시키는 제2 연결 샤프트들; 및
상기 제1 연결 샤프트들과, 상기 제2 연결 샤프트들을 서로 연결하고, 상기 제1 연결 샤프트들의 회전력을 상기 제2 연결 샤프트들에 전달하도록 구성되는 기어박스들;을 포함하고,
상기 승강 플레이트는,
상기 볼 스크류들이 관통되는 스크류 관통홀들; 및
상기 승강 플레이트의 상면에 설치되어 상기 제3 방향에 대하여 평행하게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되는 가이드 레일들;을 포함하며,
상기 전후 구동 조립체는,
상기 제3 방향을 따라 상기 승강 플레이트의 상면에 복수로 배치되는 서포트 부재들;
상기 서포트 부재들에 회전 가능하게 결합되는 스크류 샤프트;
상기 스크류 샤프트를 회전시키도록 구성되는 전후 구동 모터;
일부분은 상기 수평 이동 플레이트의 하면에 결합되고, 다른 일부분은 상기 스크류 샤프트에 결합되며, 상기 스크류 샤프트의 회전 시 상기 스크류 샤프트의 외면을 따라 이동되면서 상기 제3 방향으로 상기 수평 이동 플레이트를 이동시키는 이송너트; 및
상기 수평 이동 플레이트의 하면에 설치되어 상기 이송너트를 사이에 두고 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되고, 상기 수평 이동 플레이트의 이동 시 상기 가이드 레일들을 따라 슬라이드 이동되도록 구성되는 슬라이더들;을 포함하고,
상기 미세조정 승강유닛은,
상기 수평 이동 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 신축되도록 구성되는 승강 실린더 유닛; 및
상기 승강 실린더 유닛에 결합되어 승강되고, 상기 기재 지지 플레이트의 하면을 지지하는 보조 지지 프레임들;을 포함하며,
상기 위치 조정 유닛들은,
서로 동일한 구조 및 형상을 가지는 제1 위치 조정 유닛들과, 제2 위치 조정 유닛들을 포함하고,
상기 제1 위치 조정 유닛들은 상기 기재 지지 플레이트를 사이에 두고 상기 제1 방향을 따라 대향 배치되어 상기 제1 방향으로 신장되도록 구성되고,
상기 제2 위치 조정 유닛들은 상기 기재 지지 플레이트를 사이에 두고 상기 제3 방향을 따라 대향 배치되어 상기 제3 방향으로 신장되도록 구성되며,
상기 제1 위치 조정 유닛들과, 상기 제2 위치 조정 유닛들은,
상기 기재 지지 플레이트의 단부에 설치되는 지지 레일;
상기 지지 레일에 결합되고, 상기 지지 레일을 따라 이동 가능한 지지 브라켓;
상기 지지 브라켓에 지지되고, 신축되도록 구성되는 위치 조정 실린더 유닛; 및
상기 위치 조정 실린더 유닛의 단부에 결합되고, 신축되는 상기 위치 조정 실린더 유닛에 의해 이동되면서 상기 기재를 가압 및 지지하도록 구성되는 기재 가압 조립체;를 포함하고,
상기 기재 가압 조립체는,
상기 위치 조정 실린더 유닛의 단부에 결합되는 지지블록;
상기 지지블록에 대향 배치되고, 상기 기재에 접하여 상기 기재를 가압하는 가압블록;
상기 지지블록과 상기 가압블록을 연결 및 지지하는 연결핀들; 및
상기 지지블록과 상기 가압블록 사이에 배치되어 상기 가압블록을 탄성적으로 지지하는 탄성부재;를 포함하는, 생산 설비의 프레임.According to claim 1,
The elevating drive assembly,
a servo motor configured to generate a rotational force;
Lift units each coupled to the ball screws to support a lower surface of the lifting plate, and configured to move along the outer surfaces of the ball screws when the servo motor rotates to raise and lower the lifting plate;
first connection shafts coupled to the servo motor and disposed parallel to the first direction and rotated by the servo motor;
second connection shafts coupled to the lift units, arranged parallel to the third direction, and rotated by the first connection shafts to elevate the lift units; and
and gearboxes configured to connect the first connection shafts and the second connection shafts to each other, and transmit a rotational force of the first connection shafts to the second connection shafts; and
The lifting plate is
screw through holes through which the ball screws pass; and
and guide rails installed on the upper surface of the lifting plate, arranged parallel to the third direction, and oppositely arranged in the first direction; and
The front and rear drive assembly,
a plurality of support members disposed on the upper surface of the lifting plate in the third direction;
a screw shaft rotatably coupled to the support members;
a front and rear drive motor configured to rotate the screw shaft;
A portion is coupled to the lower surface of the horizontally moving plate, the other portion is coupled to the screw shaft, and when the screw shaft rotates, it moves along the outer surface of the screw shaft while moving the horizontally moving plate in the third direction. nut; and
Sliders installed on the lower surface of the horizontal movement plate to face each other in the first direction with the transfer nut interposed therebetween, and configured to slide along the guide rails when the horizontal movement plate moves; and
The fine adjustment elevating unit,
a lifting cylinder unit disposed on the upper surface of the horizontal moving plate and configured to expand and contract along the second direction; and
Auxiliary support frames coupled to the elevating cylinder unit and elevating, supporting a lower surface of the base support plate;
The positioning units are
First position adjustment units and second position adjustment units having the same structure and shape as each other,
The first positioning units are disposed opposite to each other in the first direction with the substrate support plate interposed therebetween and configured to extend in the first direction,
The second positioning units are disposed oppositely along the third direction with the substrate support plate interposed therebetween and configured to extend in the third direction,
The first position adjustment units and the second position adjustment units,
a support rail installed at an end of the substrate support plate;
a support bracket coupled to the support rail and movable along the support rail;
a position adjustment cylinder unit supported by the support bracket and configured to expand and contract; and
a substrate pressing assembly coupled to an end of the positioning cylinder unit and configured to press and support the substrate while being moved by the telescopic positioning cylinder unit; and
The substrate pressing assembly,
a support block coupled to an end of the positioning cylinder unit;
a pressing block disposed opposite the support block and pressing the substrate in contact with the substrate;
connecting pins for connecting and supporting the support block and the pressing block; and
An elastic member disposed between the support block and the pressing block to elastically support the pressing block; including, a frame of a production facility.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210136969A KR102370780B1 (en) | 2021-10-14 | 2021-10-14 | Frame of production equipment and manufacturing method thereof |
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|---|---|---|---|
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- 2021-10-14 KR KR1020210136969A patent/KR102370780B1/en active IP Right Grant
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