KR102365214B1 - 기판 지지 보트 - Google Patents

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KR102365214B1
KR102365214B1 KR1020190165805A KR20190165805A KR102365214B1 KR 102365214 B1 KR102365214 B1 KR 102365214B1 KR 1020190165805 A KR1020190165805 A KR 1020190165805A KR 20190165805 A KR20190165805 A KR 20190165805A KR 102365214 B1 KR102365214 B1 KR 102365214B1
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Abstract

기판 지지 보트를 개시한다. 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 사이 공간에 기판이 위치하도록, 서로 이격되는 한 쌍의 플레이트; 양측이 각각 한 쌍의 플레이트에 연결되는 샤프트를 포함하는 연결부; 및 상기 샤프트의 외주면을 감싸고, 원주방향을 따라 형성되는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함할 수 있다.

Description

기판 지지 보트{WAFER SUPPORT BOAT}
아래의 실시 예는 기판 지지 보트에 관한 것이다.
기판 처리 장치는 증착(Vapor Deposition) 장치와, 어닐링(Annealing) 장치로 구분될 수 있다. 증착 장치는 기판 상에 목표 레이어를 형성하기 위한 장치로써, LPCVD(low pressure Chemical Vapor deposition) 또는 PECVD(plasma-Enhanced Chemical Vapor Depostion)과 같은 화학기상증착장치와, 스퍼터링(Sputtering)과 같은 물리기상 증착장치가 있다.
기판의 처리는 챔버 내에서 수행되는데, 챔버 내의 기판은 보트(boat)를 통해 지지된다. 예를 들어, 태양광 기판의 경우 유도가열 공정을 위해 보트에 탑재된 상태로 챔버 내로 삽입된다. 챔버 내에 기판이 삽입된 상태에서, 챔버는 IPC 방식 또는 CCP 방식의 플라즈마를 형성하거나, 기판을 보트에 정전기적으로 척킹(Chucking)하기 위해, 기판에 전기를 인가할 수 있다. 일반적으로 챔버 내에는 다수의 기판이 위치하게 되는데, 다수의 기판은 챔버 내 정해진 위치에서 유지되도록 보트에 의해 안정적으로 지지될 필요가 있다.
일반적으로 보트는 복수의 플레이트가 층을 이루도록 배치되며, 각각의 플레이트에 기판이 접촉되는 방식으로 기판을 지지하게 된다. 보트를 이루는 복수의 플레이트 중 어느 하나에 손상이 발생하는 경우, 플레이트 전체를 교환해야 하는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 기판을 보트로부터 제거하는 과정에서, 플레이트가 손상되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 복수의 기판을 안정적으로 지지하면서도, 손상을 최소화할 수 있는 기판 지지 보트가 요구되는 실정이다.
일 실시 예에 따른 목적은, 조립 및 분해가 간단하고, 손상이 발생했을 때 교체가 용이한 기판 지지 보트를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은, 간단한 구조를 가지면서도 복수의 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지 보트를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 이격된 상태로 나란히 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및 양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되는 복수의 샤프트를 포함하고, 상기 복수의 샤프트를 통해 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 위치한 기판을 지지하는 연결부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 연결부는 상기 복수의 샤프트 중 적어도 3개의 샤프트를 통해 상기 기판 가장자리의 서로 다른 부위를 지지할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 플레이트 면을 바라본 상태를 기준으로, 상기 연결부는 상기 플레이트의 제1지점에 연결되는 제1샤프트; 상기 플레이트의 제2지점에 연결되는 제2샤프트; 및 상기 플레이트의 하단으로부터 상기 제1지점 및 제2지점보다 낮은 높이만큼 이격되고, 상기 제1지점 및 제2지점 사이에 위치하는 제3지점에 연결되는 제3샤프트를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 하나의 상기 기판을 기준으로, 상기 연결부는 상기 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트; 상기 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트; 및 상기 제1샤프트 및 제2샤프트 사이에 위치하고, 상기 기판 가장자리의 하측을 지지하는 제3샤프트를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트는 상기 플레이트의 길이 방향을 따라 다수개가 일정한 간격을 형성하며 반복적으로 배치될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 플레이트 면을 바라본 상태에서 동일한 기판을 지지하는 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트는 상기 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성하고, 상기 가상의 삼각형은 상기 플레이트의 길이 방향을 따라 반복 배치될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 하나의 기판에는 상기 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트 중 적어도 하나를 통해 전류가 인가될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 기판 지지 보트는 상기 샤프트에 연결되고, 상기 기판을 상기 샤프트에 고정시키는 지지부를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 지지부는 상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되는 지지튜브를 포함하고, 상기 지지튜브의 외면에는 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 지지튜브의 단면을 기준으로, 상기 삽입홈은 상기 지지튜브의 둘레를 따라 함몰 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 하나의 상기 샤프트에는 복수의 상기 지지튜브가 길이방향을 따라 복수개가 나란히 연결되고 각각의 지지튜브의 삽입홈에는 서로 다른 기판의 가장자리가 끼워질 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 지지부는 전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브; 및 비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브를 포함하고, 상기 제1샤프트 및 제3샤프트의 외면에는 길이방향을 따라 복수의 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브가 교호하여 반복적으로 연결될 수 있다.
일 측에 있어서, 하나의 기판을 기준으로, 상기 하나의 기판에 접촉하는 제1샤프트 부위에는 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브 중 어느 하나가 연결되고, 상기 하나의 기판에 접촉하는 제3샤프트 부위에는 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브 중 나머지 하나가 연결될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 플레이트 면을 바라본 상태에서 상기 연결부는 상기 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성하는 3개의 상기 샤프트를 통해 하나의 기판을 지지할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 연결부는 하나의 기판을 지지하는 3개의 샤프트 중 적어도 하나의 샤프트를 통해 상기 기판에 전류를 인가할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 하나의 기판에 전류를 인가하는 샤프트에 외면에는, 전도성 재질로 형성되고 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브가 연결될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 서로 이격 배치되는 한 쌍의 플레이트; 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 배치된 기판의 외측을 지지하고, 상기 한 쌍의 플레이트를 연결하는 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및 상기 복수의 샤프트 중 적어도 일부의 샤프트에 연결되고, 상기 샤프트에 대한 기판의 지지상태를 고정시키는 지지부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 지지부는 내부에 상기 샤프트가 삽입되는 지지튜브를 포함하고, 상기 지지튜브의 외면에는 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 하나의 기판을 기준으로 상기 연결부는 적어도 3개의 샤프트를 통해 상기 하나의 기판을 지지하고, 상기 각각의 샤프트에 연결되는 지지튜브 중 적어도 하나는 전도성 재질로 형성되어 상기 하나의 기판에 전류를 인가할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 연결부는 상기 플레이트의 길이 방향을 따라 일정한 간격으로 배치되는 가상의 삼각형을 형성하고, 상기 가상의 삼각형의 꼭지점에 해당되는 상기 플레이트 부위에는 하나의 기판 가장자리의 서로 다른 3개 지점을 지지하는 3개의 샤프트가 연결될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 조립 및 분해가 간단하고, 손상이 발생했을 때 교체가 용이할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 간단한 구조를 가지면서도 복수의 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사용상태도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사시도이다.
도 3은 도 2의 A부분의 확대도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 부분 평면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 샤프트의 단면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사용 상태도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사용상태도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사시도이며, 도 3은 도 2의 A부분의 확대도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는 기판(W)을 제조하는데 사용될 수 있다. 기판(W)은 예를 들어, 태양광 발전에 사용되는 솔라셀(solarcell)기판(W)일 수 있다. 기판 지지 보트는 기판(W)을 탑재한 상태로 기판(W) 제조 장치의 챔버 내로 삽입될 수 있다. 챔버는 일정한 반응 온도나 압력을 유지한 상태로, 내부에 삽입된 기판(W)에 다양한 종류의 반응 가스나 불활성 가스를 투입할 수 있다. 챔버 내부의 환경에 따라, 기판(W)에는 도핑층, 패시베이션층, 캡핑층, 반사 방지층과 같은 다양한 종류의 레이어가 증착될 수 있다.
기판(W)에 대한 증착 공정을 수행하는 경우, 챔버 내에 다수의 기판(W)을 동시에 투입함으로써, 공정의 생산성을 향상시킬 필요가 있다. 기판 지지 보트는 다수의 기판(W)을 동시에 지지한 상태로, 챔버 내부로 투입될 수 있다. 다시 말해, 하나의 기판 지지 보트에는 도 1과 같이 복수의 기판(W)이 동시에 탑재될 수 있다.
기판 지지 보트는 기판(W)의 증착 공정과정에서, 반복적으로 챔버 내에 투입될 수 있다. 1회의 기판(W) 증착 공정이 완료되면, 증착 공정이 완료된 기판(W)은 기판 지지 보트로부터 언로딩되고, 새로운 기판(W)이 기판 지지 보트에 탑재될 수 있다. 기판 지지 보트는 챔버 내의 고압, 고온 환경과 증착 가스에 지속적으로 노출되기 때문에, 기판 지지 보트를 구성하는 부품에 손상에 발생하는 경우, 연속적인 증착 공정이 불가능해짐으로써, 기판(W) 제조 공정 전체의 생산성이 저하될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는 간단한 구조로 이루어짐으로써 부품 손상에 따른 교체가 용이하고, 장치의 유지 보수의 편이성이 높다. 동시에, 기판 지지 보트는 복수의 기판(W)을 안정적으로 지지함으로써, 생산성의 향상을 확보할 수 있다. 기판 지지 보트는 한 쌍의 플레이트(101, 102), 연결부(120) 및 지지튜브를 포함할 수 있다.
한 쌍의 플레이트(101, 102)는 이격된 상태로 나란히 배치될 수 있다. 한 쌍의 플레이트(101, 102)는 동일한 크기를 가지고, 서로의 면이 마주보도록 평행한 위치 관계를 가질 수 있다. 이 경우, 한 쌍의 플레이트(101, 102) 사이의 공간에는 증착 공정이 수행되기 위한 기판(W)이 위치할 수 있다. 기판(W)은 한 쌍의 플레이트(101, 102) 사이에 복수개가 장착될 수 있다. 예를 들어, 기판(W)은 플레이트(100) 면에 평행한 방향으로 나란하게 복수개가 장착되고, 동시에 플레이트의 길이 방향을 따라 복수개가 연속적으로 장착될 수 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 도 1의 플레이트를 기준으로, 길이가 긴 플레이트의 가로 방향을 길이 방향이라 표현하고, 가로 방향에 수직한 플레이트의 세로 방향을 높이 방향이라 표현하도록 한다.
연결부(120)는 한 쌍의 플레이트(101, 102)를 연결할 수 있다. 연결부(120)는 한 쌍의 플레이트(101, 102)를 평행하게 이격시키는 동시에, 사이 공간에 위치한 기판(W)의 가장자리를 지지할 수 있다. 연결부(120)는 양측이 한 쌍의 플레이트(101, 102)에 각각 연결되는 복수의 샤프트를 포함할 수 있다. 한 쌍의 플레이트(101, 102)에 연결된 복수의 샤프트는 서로 동일한 길이를 가지고, 서로 평행하게 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 플레이트(101, 102) 사이의 간격은 샤프트의 길이만큼 이격될 수 있다. 샤프트는 원형의 단면을 가지는 원기둥 형태일 수 있다.
연결부(120)는 기판 가장자리의 복수 지점을 동시에 지지할 수 있다. 연결부는 복수의 샤프트 중 적어도 3개 이상의 샤프트를 통해 기판 가장자리의 서로 다른 부위를 지지할 수 있다. 즉, 연결부(120)에 의해 지지되는 하나의 기판 가장자리에는 복수의 샤프트가 접촉할 수 있다.
예를 들어, 하나의 기판을 기준으로 연결부(120)는 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트(121), 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트(123) 및 기판의 또다른 측을 지지하는 제3샤프트(122)를 포함할 수 있다. 도면에서는 하나의 기판을 3개의 샤프트가 지지하는 것으로 도시되었으나, 이와 달리 기판은 3개 이상의 샤프트, 예를 들어, 4개의 샤프트를 통해 지지될 수도 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 하나의 기판을 3개의 샤프트가 지지하는 경우를 가정하여 설명하도록 한다.
연결부(120)를 구성하는 복수의 샤프트는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123), 제3샤프트(122) 및 고정 샤프트(110)로 구분될 수 있다. 상기 샤프트의 구분은 기판을 지지하는 상태에 따라 결정될 수 있다.
플레이트(100) 면을 바라본 상태에서 제1샤프트(121)는 플레이트의 제1지점에 연결될 수 있다. 제1지점은 플레이트의 하단으로부터 제1거리만큼 이격될 수 있다.
제2샤프트(123)는 플레이트의 제2지점에 연결될 수 있다. 제2지점은 플레이트의 하단으로부터 제2거리만큼 이격될 수 있다. 이 경우, 플레이트의 하단을 기준으로 제1지점 및 제2지점의 높이는 동일하거나 상이할 수 있다.
제3샤프트(122)는 플레이트(100)의 제3지점에 연결될 수 있다. 제3지점은 플레이트(100)의 하단으로부터 제3거리만큼 이격될 수 있다. 이 경우, 플레이트(100)의 하단을 기준으로 제3지점의 높이는 제1지점 및 제2지점의 높이보다 낮을 수 있다. 제3지점은 플레이트(100)의 길이 방향을 기준으로 제1지점 및 제2지점 사이에 위치할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 제3샤프트(122)는 하나의 기판의 양측을 각각 지지하는 제1샤프트(121) 및 제2샤프트(123)보다 낮은 위치에서 기판(W)을 지지하게 되므로, 기판(W) 가장자리의 하측을 지지하여 기판(W)의 하중을 지탱할 수 있다.
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즉, 하나의 기판(W)에 대해, 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)는 기판(W) 가장자리의 서로 다른 3개 지점을 지지하게 되는데, 이 경우, 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)는 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성할 수 있다. 다시 말해, 기판 지지 보트는 하나의 기판(W)을 적어도 3개의 샤프트를 통한 삼각 지지구조로 지지함으로서, 최소한의 핀으로 기판(W)을 지지할 수 있다. 상기 삼각 지지구조를 통한 기판 지지에 따라 기판 지지 보트는 기판(W)에 접촉하는 샤프트의 개수를 최소한으로 줄임으로써, 기판(W)의 가공 불량을 저감시킬 수 있다.
이 경우, 제1샤프트(121) 및 제2샤프트(123)는 기판(W)의 양 외측을 지지하여 기판(W)이 공정 과정에서 회전하거나 좌우로 이동하는 것을 방지하고, 제3샤프트(122)는 기판(W)의 하측에 접촉하여 기판(W)의 하중을 지지하게 된다.
다만, 앞서 설명한 바와 같이 각각의 기판을 지지하는 샤프트의 개수는 3개로 한정되는 것이 아니므로, 기판의 서로 다른 3개 이상의 지점을 복수의 샤프트를 통해 지지하는 구성이라면 본 발명에 포함된다.
하나의 플레이트에는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)가 복수개 연결될 수 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 복수의 제1샤프트(121)를 제1샤프트(121)군이라 칭하고, 복수의 제2샤프트(123)는 제2샤프트(123)군, 복수의 제3샤프트(122)는 제3샤프트(122) 군이라 표현하도록 한다.
복수의 제1샤프트(121)는 플레이트의 하단으로부터 동일한 높이를 가지고, 플레이트의 길이 방향을 따라 일정한 간격을 형성하도록 배치될 수 있다. 복수의 제2샤프트(123)는 제1샤프트(121)보다 낮은 높이에 해당하는 플레이트 부위에 연결되고, 플레이트의 길이 방향을 따라 일정한 간격을 형성하도록 배치될 수 있다. 복수의 제3샤프트(122)는 제2샤프트(123)보다 낮은 높이에 해당하는 플레이트 부위에 연결되고, 플레이트의 길이 방향을 따라 일정한 간격을 형성하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 제1샤프트(121)군, 제2샤프트(123)군 및 제3샤프트(122) 군을 형성하는 각각의 샤프트 사이의 간격은 동일할 수 있다.
플레이트(100) 면을 바라본 상태에서, 하나의 기판(W)을 동시에 지지하는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)는 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성하는데, 상기 가상의 삼각형은 플레이트의 길이 방향을 따라 반복 배치될 수 있다.
고정 샤프트(110)는 한 쌍의 플레이트(101, 102)를 고정시키는 역할을 수행할 수 있다. 플레이트(100) 면을 바라본 상태를 기준으로, 고정 샤프트(110)는 플레이트의 하측, 상측에 인접한 부위에 연결되고, 플레이트의 길이 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배치될 수 있다. 고정 샤프트(110)는 제1샤프트(121)가 플레이트에 연결되는 제1지점보다 높이가 높은 플레이트 부위에 연결되는 상부 고정 샤프트(111)와, 제3샤프트(122)가 플레이트에 연결되는 제3지점보다 높이가 낮은 플레이트 부위에 연결되는 하부 고정 샤프트(112)로 구분될 수 있다. 이 경우, 기판(W)이 연결부(120)에 의해 지지되는 상태에서, 기판(W)은 고정 샤프트(110)에 접촉하지 않는다. 즉, 고정샤프트는 기판과 간섭이 없는 위치에 추가로 설치되는 것으로 그 위치나 개수를 한정하지 않는다.
지지부는 샤프트에 연결되고, 샤프트에 의해 지지되는 기판을 샤프트에 고정시킬 수 있다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 부분 평면도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 샤프트의 단면도이며, 도 6은 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트의 사용 상태도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 지지부는 샤프트에 의해 지지되는 기판(W)을 보다 안정적으로 지지할 수 있다. 지지부는 샤프트의 외면을 감싸도록 샤프트에 끼워지는 지지튜브를 포함할 수 있다. 지지튜브는 내부를 관통하는 중공을 포함하고, 상기 중공에는 샤프트가 삽입될 수 있다. 샤프트의 길이 방향에 수직한 단면을 기준으로, 중공에는 샤프트가 삽입될 수 있다.
지지튜브는 단면을 기준으로, 원주방향을 따라 둘레에 함몰 형성되는 삽입홈이 외면에 형성될 수 있다. 이 경우, 삽입홈에는 샤프트에 의해 지지되는 기판(W) 가장자리가 끼워질 수 있다.
지지튜브는 기판(W)을 지지하는 샤프트에 연결될 수 있다. 다시 말해, 지지튜브는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)의 외면을 감싸도록 연결될 수 있다. 하나의 샤프트에는 복수개의 지지튜브가 길이 방향을 따라 나란히 연결될 수 있다. 하나의 샤프트에 연결된 복수의 지지튜브의 삽입홈에는 서로 다른 기판의 가장자리가 각각 끼워질 수 있다. 즉, 하나의 샤프트에는 길이 방향을 따라 복수의 기판이 지지될 수 있다.
지지부는 전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브(131)와, 비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브(132)를 포함할 수 잇다. 제1지지튜브(131)를 형성하는 전도성 재질은 예를 들어, 그라파이트(graphite)일 수 있고, 제2지지튜브(132)를 형성하는 비전도성 재질은 예를 들어, 세라믹(ceramic)일 수 있다.
제1샤프트(121) 및 제3샤프트(122)의 외면에는 제1지지튜브(131) 및 제2지지튜브(132)가 반복적으로 끼워질 수 있다. 즉, 제1샤프트(121) 및 제3샤프트(122)의 길이 방향을 기준으로, 복수의 제1지지튜브(131) 및 제2지지튜브(132)가 연속적으로 배치될 수 있다. 이 경우, 동일한 기판(W)을 지지하는 제1샤프트(121) 및 제3샤프트(122)에는 제1지지튜브(131) 및 제2지지튜브(132)가 교호하도록 끼워질 수 있다. 다시 말하면, 제1샤프트(121) 및 제2샤프트(123)가 하나의 기판(W)을 동시에 지지하는 상태에서, 하나의 기판(W)을 지지하는 제1샤프트(121) 부위에는 제1지지튜브(131) 및 제2지지튜브(132) 중 어느하나가 끼워지고, 동일한 상기 하나의 기판(W)을 지지하는 제3샤프트(122) 부위에는 제1지지튜브(131) 및 제2지지튜브(132) 중 나머지 하나가 끼워질 수 있다. 예를 들어, 상기 하나의 기판(W)을 지지하는 제1샤프트(121) 부위에 제1지지튜브(131)가 끼워졌다면, 상기 하나의 기판(W)을 지지하는 제3샤프트(122) 부위에는 제2지지튜브(132)가 끼워질 수 있다.
반면, 제2샤프트(123)에는 비전도성 재질의 제2지지튜브(132)만이 끼워질 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 기판 지지 보트는 하나의 기판을 3개의 샤프트를 통해 지지하는 동시에, 3개의 샤프트 중 적어도 하나의 샤프트를 통해 기판에 플라즈마 전원을 인가할 수 있다. 도 6을 참고하면, 기판 지지 보트는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)가 형성하는 삼각 지지구조를 통해 기판(W11)을 지지하며, 기판의 길이 방향을 따라 반복되는 다른 제1샤프트(121'), 제2샤프트(123') 및 제3샤프트(122')를 통해 다른 기판(W21)을 지지할 수 있다.
이 경우, 하나의 삼각 지지구조를 형성하는 제1샤프트(121), 제2샤프트(123) 및 제3샤프트(122)는 플레이트 면에 평행한 방향을 따라 복수의 기판(W11, W12)을 지지하게 되는데, 제1샤프트 및 제3샤프트에는 제1지지튜브 및 제2지지튜브가 교차하며 배치되므로, W11기판에는 제3샤프트(122)에 의해 전류가 공급되고, W12기판에는 제1샤프트(121)를 통해 전류가 공급될 수 있다.
정리하면, 일 실시 예에 따른 기판 지지 보트(1)는, 종래의 기판 지지 보트(1)와 달리 기판(W) 사이에 배치되는 플레이트가 없이도, 복수의 기판(W)을 안정적으로 지지할 수 있다. 따라서, 부품의 손상이 발생하는 경우에도 용이한 유지 보수가 가능하고, 장치에 제조되는 비용이 크게 절감될 수 있다. 또한, 샤프트의 외주면을 감싸는 지지튜브를 통해 복수의 기판(W)의 테두리를 안정적으로 지지함으로써, 기판(W) 증착 공정의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
1: 기판 지지 보트
100: 한 쌍의 플레이트
110: 연결부
120: 지지튜브

Claims (20)

  1. 길이 방향을 가지고, 이격된 상태로 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및
    양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되고, 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 위치한 기판의 가장자리를 지지하기 위한 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및
    상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되고, 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함하고,
    상기 연결부는 하나의 기판을 기준으로,
    상기 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트;
    상기 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트; 및
    상기 제1샤프트 및 제2샤프트 사이에 위치하고, 상기 기판 가장자리의 하측을 지지하는 제3샤프트를 포함하고,
    상기 지지튜브는,
    전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브; 및
    비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브를 포함하고,
    상기 제1샤프트 및 제3샤프트에는 길이방향을 따라 복수의 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브가 교호하여 반복적으로 연결되는, 기판 지지 보트.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트는,
    상기 플레이트의 길이 방향을 따라 다수개가 일정한 간격을 형성하며 반복적으로 배치되는, 기판 지지 보트.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트 면을 바라본 상태에서,
    동일한 기판을 지지하는 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트는 상기 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성하고,
    상기 가상의 삼각형은 상기 플레이트의 길이 방향을 따라 반복 배치되는, 기판 지지 보트.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하나의 기판에는 상기 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트 중 적어도 하나를 통해 전류가 인가되는, 기판 지지 보트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 샤프트에 연결되고, 상기 기판을 상기 샤프트에 고정시키는 지지부를 더 포함하는, 기판 지지 보트.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지지튜브의 단면을 기준으로,
    상기 삽입홈은 상기 지지튜브의 둘레를 따라 함몰 형성되는, 기판 지지 보트.
  11. 제1항에 있어서,
    하나의 상기 샤프트에는 복수의 상기 지지튜브가 길이방향을 따라 복수개가 나란히 연결되고,
    각각의 지지튜브의 삽입홈에는 서로 다른 기판의 가장자리가 끼워지는, 기판 지지 보트.
  12. 삭제
  13. 제1항에 있어서,
    하나의 기판을 기준으로,
    상기 하나의 기판에 접촉하는 제1샤프트 부위에는 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브 중 어느 하나가 연결되고,
    상기 하나의 기판에 접촉하는 제3샤프트 부위에는 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브 중 나머지 하나가 연결되는, 기판 지지 보트.
  14. 길이 방향을 가지고, 이격된 상태로 나란히 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및
    양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되고, 기판의 가장자리를 지지하기 위한 복수의 샤프트를 포함하는 연결부;
    상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되고, 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함하고,
    상기 연결부는,
    상기 플레이트 면을 바라본 상태에서, 상기 플레이트에 대한 연결 지점을 꼭지점으로 하는 가상의 삼각형을 형성하는 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트를 통해 하나의 기판의 서로 다른 세 지점을 지지하고,
    상기 지지튜브는,
    전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브; 및
    비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브를 포함하고,
    상기 제1샤프트 및 제3샤프트에는 길이방향을 따라 복수의 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브가 교호하여 반복적으로 연결되는, 기판 지지 보트.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 연결부는,
    하나의 기판을 지지하는 상기 제1샤프트, 제2샤프트 및 제3샤프트 중 적어도 하나의 샤프트를 통해 상기 기판에 전류를 인가하는, 기판 지지 보트.
  16. 삭제
  17. 서로 이격 배치되는 한 쌍의 플레이트;
    상기 한 쌍의 플레이트 사이에 배치된 기판의 외측을 지지하고, 상기 한 쌍의 플레이트를 연결하는 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및
    상기 복수의 샤프트 중 적어도 일부의 샤프트에 연결되고 외면에 상기 기판의 가장자리가 끼워지기 위한 삽입홈이 형성되는 지지튜브를 포함하고,
    상기 연결부는,
    상기 플레이트 면을 바라본 상태에서,
    상기 플레이트의 제1지점에 연결되는 제1샤프트;
    상기 플레이트의 제2지점에 연결되는 제2샤프트; 및
    상기 플레이트의 길이 방향을 기준으로 상기 제1지점 및 제2지점 사이에 위치하고, 상기 플레이트의 하단을 기준으로 상기 제1지점 및 제2지점보다 낮은 높이에 위치하는 제3지점에 연결되는 제3샤프트를 통해 하나의 기판을 동시에 지지하고,
    상기 지지튜브는,
    전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브와, 비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브를 포함하고,
    하나의 기판을 기준으로,
    상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브 중 어느 하나는 상기 제1샤프트의 외면에 끼워지고, 나머지 하나는 상기 제3샤프트의 외면에 끼워지는, 기판 지지 보트.
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
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