KR102358059B1 - 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩 - Google Patents

플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩에 관한 것으로서, 내부식성에 강하고 챔버의 동작에 따른 벤딩의 반복에 의해서도 제품이 파손되지 않는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩에 관한 것이다. 이를 위해 상부 그라운드층, 상부 그라운드층과 동일 재료로 이루어진 하부 그라운드층, 복수의 그라운드층과 서로 다른 재질로 이루어지며, 상부 그라운드층과 하부 그라운드층 사이에 개재되는 중간층을 포함하며, 중간층의 폭은 복수의 그라운드층의 폭에 비해 상대적으로 짧게 이루어져 클래딩 접합 됨으로써 부식성 가스에 의해 중간층이 보호되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩이 개시된다.

Description

플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩{Ground Strap}
본 발명은 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부식성에 강하고 챔버의 동작에 따른 벤딩의 반복에 의해서도 제품이 파손되지 않는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩에 관한 것이다.
선행문헌인 대한민국 공개특허공보 10-2016-0127368(발명의 명칭 : OLED 및 TFT-LCD Panel 제조용 접지 스트랩)에는 접지 스트랩에 관한 기술이 공개되어 있으며, 선행문헌에는 도 1과 같이 코어 금속재(12)와 코어 금속재 양면에 클래딩 접합된 알루미늄 금속재(11,13)로 이루어진 다중 클래딩 합금재가 개시되어 있다.
한편, 선행문헌의 기술에 의하면 코어 금속재와 코어 금속재의 양측에 배치되어 서로 접합된 알루미늄 금속재는 서로 이종의 재료로 접합되기 때문에 챔버의 고온 환경하에서는 서로 접합이 떨어지기 쉬운 문제점이 있다. 더 나아가 도 2와 같이 제품의 사이즈에 따라 절단면을 기준으로 절단하게 되면 코어 금속재(12)가 외부로 노출되어 부식성 가스에 의해 부식되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2016-0127368(발명의 명칭 : OLED 및 TFT-LCD Panel 제조용 접지 스트랩) 대한민국 등록특허공보 10-0776861(발명의 명칭 : 큰 영역 기판의 마그네트론 스퍼터링 시스템) 대한민국 공개특허공보 10-2009-0119341(발명의 명칭 : 플라즈마 화학 기상 증착장치용 그라운드 스트랩 및 그제조방법) 대한민국 등록특허공보 10-0708681(발명의 명칭 : 플라즈마 디스플레이 장치용 열전도부재 및 이를 구비하는플라즈마 디스플레이 장치)
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 강도를 보강하기 위한 중간층의 강도 보강층이 절단에 의해서도 외부로 노출되지 않게 하고, 중간층에 홈을 관통 형성하여 홈을 통해 동종의 재료인 상부 및 하부 그라운드층이 서로 클래딩 접합됨으로써 고온의 챔버 환경하에서도 서로 접합이 떨어지지 않도록 제공하는데 그 목적이 있다.
그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 목적은, 상부 그라운드층,
상부 그라운드층과 동일 재료로 이루어진 하부 그라운드층,
복수의 그라운드층과 서로 다른 재질로 이루어지며, 상부 그라운드층과 하부 그라운드층 사이에 개재되는 중간층을 포함하며,
중간층의 폭은 복수의 그라운드층의 폭에 비해 상대적으로 짧게 이루어져 클래딩 접합 됨으로써 부식성 가스에 의해 중간층이 보호되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩을 제공함으로써 달성될 수 있다.
또한, 중간층은 복수의 그라운드층에 비해 상대적으로 강도가 강한 재질로 이루어짐으로써 플라즈마 프로세스 챔버의 동작에 따른 그라운드 스트랩의 벤딩 반복에 의한 그라운드 스트랩의 파손을 방지한다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따라,
또한, 중간층은 고온 압력하에 복수의 그라운드층과 서로 클래딩 접합되며,
중간층클래딩 접합에 의해, 상부 그라운드층의 일측 단부의 하부면과 하부 그라운드층의 대응되는 상부면이 서로 접합되는 제1 접합층, 상부 그라운드층의 타측 단부의 하부면과 하부 그라운드층의 대응되는 상부면이 서로 접합되는 제2 접합층이 형성되며, 중간층의 폭은 제1,2 접합층이 형성될 수 있도록 복수의 그라운드층의 폭에 비해 상대적으로 짧게 이루어진다.
또한, 중간층은 복수의 그라운드층과 서로 다른 재질로 이루어지는 복수의 강도 보강층, 적어도 하나의 홈이 복수의 강도 보강층을 관통하도록 형성됨으로써 이루어진 홈층을 포함한다.
또한, 클래딩 접합에 의해, 홈층이 형성된 위치의 상부 그라운드층의 하부면과 하부 그라운드층의 상부면이 서로 접합되는 제3 접합층이 형성되며, 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 각각의 일면이 홈을 관통하여 서로 동종의 재료에 의해 클래딩 접합 됨으로써 플라즈마 프로세스 챔버 환경하에서의 고온에서도 서로 접합을 유지한다.
또한, 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 사이에는 복수의 강도 보강층과 복수의 접합층이 형성된다.
또한, 홈은 중간층의 전체 면에 복수로 이루어지면서 서로 연통 되도록 형성됨으로써 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 각각의 일면이 연통된 복수의 홈을 관통하여 서로 동종의 재료에 의해 클래딩 접합 됨으로써 고온에서도 서로 접합을 유지한다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따라,
하부 그라운드층은 기 설정된 패턴에 따라 홈이 형성되도록 이루어진다.
또한, 상기 중간층은 홈을 메우도록 3D 프린팅 된다.
또한, 상부 그라운드층은 하부 그라운드층의 상부면과 중간층의 상부면에 접촉되도록 3D 프린팅 접합된다.
또한, 하부 그라운드층은 베이스층, 베이스층의 상부면에 기 설정된 패턴에 따라 돌출되도록 형성되는 돌출층, 베이스층의 상부면에 기 설정된 패턴에 따라 홈이 형성되는 홈층을 포함한다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 강도를 보강하기 위한 중간층의 강도 보강층이 절단에 의해서도 외부로 노출되지 않게 하고, 중간층에 홈을 관통 형성하여 홈을 통해 동종의 재료인 상부 및 하부 그라운드층이 서로 클래딩 접합됨으로써 고온의 챔버 환경하에서도 서로 접합이 떨어지지 않도록 하는 효과가 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 선행문헌 10-2016-0127368에 따른 접지 스트랩을 나타낸 도면이고,
도 2는 선행문헌 10-2016-0127368에 따른 절단면을 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 공백층과 홈이 형성된 그라운드 스트랩을 나타낸 도면이고,
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 클래딩 접합된 그라운드 스트랩을 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명의 제1,2 실시예에 따른 허니콤 구조를 가진 중간층을 나타낸 도면이고,
도 6은 본 발명의 제1,2 실시예에 따른 메쉬 구조를 가진 중간층을 나타낸 도면이고,
도 7 및 도 8은 본 발명의 제1,2 실시예에 따른 다양한 메쉬 크기 및 패턴을 가진 중간층을 나타낸 도면이고,
도 9는 본 발명의 제1,2 실시예에 따른 대면적으로 한번에 제작된 제1,2 그라운드 스트랩을 나타낸 도면이고,
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 하부 그라운드층을 나타낸 도면이고,
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 중간층을 나타낸 도면이고,
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 상부 그라운드층을 나타낸 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다. 또한, 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.
(제1 실시예)
본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩(100,200)은 디스플레이 제조용 PECVD 플라즈마 환경하에서 RF 전극을 접지하는 스트랩이다. 그라운드 스트랩(100,200)은 공정 챔버의 구동에 따라 고온 환경하에서 벤딩을 반복하더라도 파손을 방지하고 접합을 유지함으로써 플루오린 가스 등으로부터 부식을 방지할 수 있다. 이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 그라운드 스트랩(100,200)에 대해 상세히 설명하기로 한다. 다만, 제1 그라운드 스트랩(100)과 제2 그라운드 스트랩(200)은 서로 동일한 원리로 형성되는 것으로서 제1 그라운드 스트랩(100)에 대해서만 설명하기로 하고 제2 그라운드 스트랩(200)의 설명은 제1 그라운드 스트랩(100)의 설명에 갈음하기로 한다.
도 3에 도시된 바와 같이 그라운드 스트랩(100)은 상부 그라운드층(110), 중간층(120), 하부 그라운드층(130)으로 이루어진다.
상부 그라운드층(110, 상층 알루미늄층))과 하부 그라운드층(130, 하층 알루미늄층)은 서로 동일한 재료로서 전기 전도도 및 내부식성이 좋은 알루미늄으로 이루어지는 것이 바람직하다. 상부 그라운드층(110)과 하부 그라운드층(130)은 RF 전극을 접지하는 접지 단자일 수 있다.
중간층(120)은 상부 및 하부 그라운드층(110,130)과 서로 다른 재질로 이루어지며, 상부 그라운드층(110)과 하부 그라운드층(130) 사이에 개재되어 고온 압력하에 상부 및 하부 그라운드층(110,130)과 서로 클래딩 접합 된다. 중간층(120)은 상부 및 하부 그라운드층(110,130)과 달리 접지 단자 기능을 수행하기보다는 그라운드 스트랩의 벤딩에 따른 강도를 보강하기 위한 층으로서 바람직하게는 니켈, 니켈합금, 스테인리스 스틸, 서스, 티타늄, 인코넬, 하스텔로이 등의 강성이 더 좋은 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 중간층(120)은 도 3에 도시된 바와 같이 상부 및 하부 그라운드층(110,130)의 폭(W1)에 비해 상대적으로 폭(W2)이 짧게 이루어짐에 따라 제1,2 공백층(121a,121b)이 형성된다. 제1,2 공백층(121a,121b)은 후술하는 바와 같이 클래딩 접합 됨으로써 도 4와 같이 제1,2 접합층(121a,121b)이 된다. 제1,2 접합층(121a,121b)은 종래기술과 달리(종래기술의 접합면은 외각층(11,13)과 중간층(12)이 서로 이종재질이라 본딩이 고온하에서 떨어짐) 동종의 재질이 서로 접합 되기 때문에 고온 환경하에서 서로 접합 본딩이 유지될 수 있는 장점이 있다. 클래딩 접합은 고온/압력하에서 디퓨즈 본딩을 하는 것이 바람직할 수 있다.
이때, 중간층(120)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상부 및 하부 그라운드층(110,130)의 폭(W1)에 비해 상대적으로 폭(W2)이 짧게 이루어짐에 따라 후술하는 바와 같이 상부 그라운드층(110)의 양측 하부 단부면과 하부 그라운드층(130)의 양측 상부 단부면이 서로 클래딩 접합 됨으로써 플루오린 가스로부터 중간층(120)을 보호할 수 있다. 또한, 도 9와 같이 대면적으로 생산시에 절단면을 기준으로 제품 사이즈별로 절단하더라도 중간층(120)이 절단에 의해 외부로 노출되지 않아 부식성 가스로부터 중간층(120)을 보호할 수 있다.
한편, 중간층(120)은 벤딩 반복에 의한 강도를 보강하기 위해 상부 및 하부 그라운드층(110,130) 보다 강성이 더 좋은 재질로 이루어진 제1,2,3 강도 보강층(122a,122b,122c)이 도 3과 같이 형성된다. 복수의 강도 보강층(122a,122b,122c)의 사이 공간에는 도 3과 같이 홈부 또는 홈층(123a,123b)이 관통 형성되는 것이 바람직하다. 홈부 또는 홈층(123a,123b)은 클래딩 접합에 의해 도 4와 같이 제3,4 접합층(123a,123b)이 된다. 제1,2,3,4 접합층(121a,121b,123a,123b)은 서로 동종의 재료로 이루어진 상부 및 하부 그라운드층(110,120)에 의해 서로 접합된 층이기 때문에 고온하에서도 서로 접합을 유지할 수 있는 장잠이 있다.
상술한 중간층(120)의 전체 구조는 도 5와 같이 허니콤 구조로 이루어지거나 또는 도 6와 같이 메쉬 구조로 이루어질 수 있다. 중간층(120)은 3D 프린터에 의해 기 정해진 허니콤 또는 메쉬 패턴을 따라 생산될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 허니콤 구조 또는 메쉬 구조의 중간층(120)은 중간층(120)의 길이 방향을 따라 제1,2 공백층(121a,121b)을 형성하면서 제1,2,3 강도 보강층(122a,122b,122c)과 제1,2,3 홈(123a,123b,123c)이 형성된다. 각각의 홈(123a,123b,123c)은 홈은 중간층(120)의 전체 면에 복수로 이루어지면서 서로 연통 되도록 형성되는 것이 바람직하다. 상부 그라운드층(110)의 하부면과 하부 그라운드층(130)의 상부면이 연통된 복수의 홈(123a,123b,123c)을 관통하여 서로 동종의 재료에 의해 클래딩 접합 됨으로써 고온에서도 서로 접합을 유지할 수 있는 장점이 있다.
도 7과 도 8에 도시된 메쉬 구조는 도 6의 메쉬 구조에 비해 면적을 서로 달리 할 수 있는 일례를 나타낸 것이다. 상술한 메쉬 구조 또는 허니콤 구조는 강도 보강층 및 홈의 면적이나 모양의 패턴을 다양하게 적용하여 다양한 구조로 변경할 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이 그라운드 스트랩은 3D 프린터의 제조 환경에 따라 제품의 사이즈를 대면적으로 한 번에 제1,2 그라운드 스트랩(100,200)을 제조할 수 있다. 대면적으로 제조된 제1,2 그라운드 스트랩(100,200)은 제품의 사이즈별로 절단면을 따라 절단된다. 이때, 본 발명의 그라운드 스트랩은 각각 양 단부면에 제1,2 접합층(121a,121b)이 형성되어 있기 때문에 절단에 의해서도 중간층(120)의 강도 보강층이 외부로 노출되지 않아 플루오린 가스에 의한 부식을 방지할 수 있고, 더 나아가 서로 동일한 재료인 상부 및 하부 그라운드층(110.130)이 각각 클래딩 접합 되기 때문에 프로세스 챔버의 고온환경하에서도 접합이 유지될 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩(100,200)을 제조하는 방법은 다음과 같다.
먼저, 열전도도 및 전기 전도도가 좋고 내부식성에 강한 알루미늄 재료로 이루어진 상부 및 하부 그라운드층(110,130)을 준비한다. 또한, 상부 및 하부 그라운드층에 비해 강도가 더 좋은 재료로 이루어진 중간층(120)을 준비한다.
이때, 중간층(120)의 폭(W2)은 상부 및 하부 그라운드층(110,130)의 폭(W1)에 비해 더 작게 형성되도록 제작한다. 또한, 중간층(120)은 허니콤 구조 또는 메쉬 구조로 이루어지도록 3D 프린팅에 의해 제작되며, 이때 다양한 패턴이 형성될 수 있으나 중간층(120)을 관통하는 홈이 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
중간층(120)은 도 3에 도시된 바와 같이 제1,2 공백층(121a,121b), 제1,2,3 강도 보강층(122a,122b,122c) 및 제1,2 홈(123a,123b)이 형성되도록 제작된다. 다만, 상술한 제1,2 공백층(121a,121b)은 중간층(120)의 폭(W2)이 상부 및 하부 그라운드층(110,130)의 폭(W1)에 비해 상대적으로 짧게 형성되는 것을 설명하기 위한 것이다.
다음으로, 상부 그라운드층(110), 중간층(120), 하부 그라운드층(130) 순서로 배치한다. 이때, 상술한 제1,2 공백층(121a,121b)이 형성되도록 배치하는 것이 바람직하다.
다음으로, 고온/압력하에서 디퓨즈 본딩을 수행함으로써 도 4와 같이 양 단부면에 제1,2 접합층(121a,121b)이 형성되고, 강도 보강층(122a,122b,122c) 사이에는 제3,4 접합층(123a,123b)이 형성된다.
상술한 도 3 내지 도 4의 제1 실시예에 따른 그라운드 스트랩의 제조방법 및 구성은 제1 그라운드 스트랩(100)을 제조하기 위해 상부 그라운드층(110), 중간층(120), 및 하부 그라운드층(130)을 각각 제조하여 서로 디퓨즈 본딩하는 것을 설명한 것이다. 이하의 제2 실시예에서는 디퓨즈 본딩을 하지 않고 3D 프린팅을 이용하여 그라운드 스트랩을 제조하는 제조방법과 이에 대한 그라운드 스트랩의 구조에 대해 설명하기로 한다.
(제2 실시예)
본 발명의 제2 실시예에 따른 그라운드 스트랩은 3D 프린팅을 이용하여 도 10 내지 도 12 단계를 거쳐 제조될 수 있다. 이하에서는 도 10 내지 도 12를 참고하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 그라운드 스트랩의 제조방법 및 구성에 대해 자세히 설명하기로 한다. 상술한 제1 실시예의 설명과 동일한 내용은 제1 실시예의 설명에 갈음하기로 한다.
도 12에 도시된 바와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 제3 그라운드 스트랩(300)은 도 10에 도시된 바와 같이 하부 그라운드층(330)을 3D 프린팅에 의해 먼저 제조한다. 이때 하부 그라운드층(330)은 기설정된 폭(W1)을 가지면서 제조된다. 이러한 폭(W1)의 설정은 도 11에 도시된 중간층의 폭(W2)보다 넓도록 하는 것이 바람직하다. 한편, 하부 그라운드층(330)을 3D 프린팅으로 제조시에는 도 3에 도시된 바와 같은 하부 그라운드층과 중간층의 합산 높이(h) 만큼 제조되면서 이와 동시에 홈층(331)이 형성되도록 제조된다. 이때 홈층(331)의 형상은 도 5 내지 도 8에 도시된 다양한 패턴으로 형성되는 것이 바람직하다. 홈층(331)은 도 10에 도시된 바와 같이 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같은 다양한 패턴으로 형성되며, 상부면이 개방되도록 형성된다. 이와 같은 이유는 도 11에 도시된 바와 같이 3D 프린팅으로 중간층(320)을 형성하기 위함이다. 홈층은 제1,2,3 홈부(331a,331b,331c)로 이루어진다.
하부 그라운드층(330)의 구성을 설명하기 위해 도 12를 참고하여 이를 설명하면 다음과 같다.
베이스층(332)은 가장 바닥면에 형성된다. 돌출층(333)은 도 5 내지 도 8에 도시된 기 설정된 패턴에 따라 베이스층(332)의 상부면에 상측방향으로 돌출되도록 형성된다. 홈층(331)은 돌출층(333)과는 반대로 도 5 내지 도 8에 도시된 기 설정된 패턴에 따라 제1,2,3 홈(331a,331b,331c)이 형성되도록 이루어진다.
상술한 하부 그라운드층(330)을 3D 프린팅하여 제조한 후에 홈층(331)의 각 제1,2,3 홈부(331a,331b,331c)에 도 11과 같이 중간층(320)을 3D 프린팅으로 제조한다. 즉, 제1,2,3 홈부(331a,331b,331c)에 중간층(320)을 메운다. 따라서 중간층(320)의 폭(W2)이 하부 그라운드층의 폭(W1)에 비해 상대적으로 적게 형성된다.
다음으로, 하부 그라운드층(330)의 상부면과 중간층(320)의 상부면에 3D 프린팅으로 상부 그라운드층(310)을 프린팅함으로써 제3 그라운드 스트랩(300)이 제조된다. 이렇게 3D 프린팅으로 그라운드 스트랩을 제조함으로써 중간층(320)은 그라운드 스트랩의 강도를 보강하도록 하고, 상부 그라운드층(310)과 하부 그라운드층(330)이 특정 패턴에 따라 서로 동일한 재료로 프린팅 접합되기 때문에 챔버의 고온환경하에서도 서로 떨어질 염려가 없는 장점이 있다.
본 발명을 설명함에 있어 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다. 또한, 상술한 본 발명의 구성요소는 본 발명의 설명의 편의를 위하여 설명하였을 뿐 여기에서 설명되지 아니한 구성요소가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 추가될 수 있다.
상술한 각부의 구성 및 기능에 대한 설명은 설명의 편의를 위하여 서로 분리하여 설명하였을 뿐 필요에 따라 어느 한 구성 및 기능이 다른 구성요소로 통합되어 구현되거나, 또는 더 세분화되어 구현될 수도 있다.
이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명과 관련된 공지 기능 및 그 구성 또는 본 발명의 각 구성에 대한 결합관계에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.
10 : 그라운드 스트랩
11 : 제1 외곽층
12 : 중간층
13 : 제2 외곽층
100 : 제1 그라운드 스트랩
110 : 상부 그라운드층
120 : 중간층
121a : 제1 공백층 또는 제1 접합층
121b : 제2 공백층 또는 제2 접합층
122a : 제1 강도 보강층
122b : 제2 강도 보강층
122c : 제3 강도 보강층
123a : 제1 홈층 또는 제3 접합층
123b : 제2 홈층 또는 제4 접합층
123c : 제3 홈층 또는 제5 접합층
130 : 하부 그라운드층
200 : 제2 그라운드 스트랩
210 : 상부 그라운드층
220 : 중간층
230 : 하부 그라운드층
300 : 제3 그라운드 스트랩
310 : 상부 그라운드층
320 : 중간층
321a : 제1 홈부
321b : 제2 홈부
321c : 제3 홈부
330 : 하부 그라운드층
331 : 홈층
331a : 제1 홈부
331b : 제2 홈부
331c : 제3 홈부
332 : 베이스층
333 : 돌출층

Claims (11)

  1. 상부 그라운드층,
    상기 상부 그라운드층과 동일 재료로 이루어진 하부 그라운드층,
    복수의 그라운드층과 서로 다른 재질로 이루어지며, 상기 상부 그라운드층과 하부 그라운드층 사이에 개재되는 중간층을 포함하며,
    상기 중간층의 폭은 상기 복수의 그라운드층의 폭에 비해 상대적으로 짧게 이루어져 클래딩 접합 됨으로써 부식성 가스에 의해 상기 중간층이 보호되며,
    상기 중간층은 상기 복수의 그라운드층에 비해 상대적으로 강도가 강한 재질로 이루어짐으로써 플라즈마 프로세스 챔버의 동작에 따른 그라운드 스트랩의 벤딩 반복에 의한 상기 그라운드 스트랩의 파손을 방지하며,
    상기 중간층은 고온 압력하에 상기 복수의 그라운드층과 서로 클래딩 접합되며,
    상기 클래딩 접합에 의해,
    상기 상부 그라운드층의 일측 단부의 하부면과 상기 하부 그라운드층의 대응되는 상부면이 서로 접합되는 제1 접합층,
    상기 상부 그라운드층의 타측 단부의 하부면과 상기 하부 그라운드층의 대응되는 상부면이 서로 접합되는 제2 접합층이 형성되며,
    상기 중간층의 폭은 상기 제1,2 접합층이 형성될 수 있도록 상기 복수의 그라운드층의 폭에 비해 상대적으로 짧게 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간층은,
    복수의 그라운드층과 서로 다른 재질로 이루어지는 복수의 강도 보강층,
    적어도 하나의 홈이 상기 복수의 강도 보강층을 관통하도록 형성됨으로써 이루어진 홈층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 클래딩 접합에 의해,
    상기 홈층이 형성된 위치의 상기 상부 그라운드층의 하부면과 상기 하부 그라운드층의 상부면이 서로 접합되는 제3 접합층이 형성되며,
    상기 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 각각의 일면이 상기 홈을 관통하여 서로 동종의 재료에 의해 클래딩 접합 됨으로써 플라즈마 프로세스 챔버 환경하에서의 고온에서도 서로 접합을 유지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 사이에는 상기 복수의 강도 보강층과 복수의 접합층이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 중간층의 전체 면에 복수로 이루어지면서 서로 연통 되도록 형성됨으로써 상기 상부 그라운드층과 하부 그라운드층의 각각의 일면이 연통된 복수의 홈을 관통하여 서로 동종의 재료에 의해 클래딩 접합 됨으로써 고온에서도 서로 접합을 유지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 그라운드층은,
    기 설정된 패턴에 따라 홈이 형성되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 중간층은,
    상기 홈을 메우도록 3D 프린팅 되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 상부 그라운드층은,
    상기 하부 그라운드층의 상부면과 중간층의 상부면에 접촉되도록 3D 프린팅 접합되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 하부 그라운드층은,
    베이스층,
    상기 베이스층의 상부면에 기 설정된 패턴에 따라 돌출되도록 형성되는 돌출층,
    상기 베이스층의 상부면에 기 설정된 패턴에 따라 홈이 형성되는 홈층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 챔버의 그라운드 스트랩.
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