KR102351069B1 - Passivation layer preventing humidity and method for manufacturing thereof - Google Patents

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한승호
박노창
강형원
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Abstract

본 발명에 따른 투습 방지 보호막의 제조 방법은 기판으로 Mica 필름을 준비하는 단계; 상기 Mica 필름 상에 수분 투습 방지층을 형성하는 단계; 상기 수분 투습 방지층 상에 양면 투명 점착 필름층을 부착하는 단계; 및 상기 양면 투명 점착 필름층 상에 플라스틱 필름을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film according to the present invention comprises the steps of preparing a Mica film as a substrate; forming a moisture barrier layer on the Mica film; attaching a double-sided transparent adhesive film layer on the moisture barrier layer; and forming a plastic film on the double-sided transparent adhesive film layer.

Description

투습 방지 보호막 및 이의 제조 방법{PASSIVATION LAYER PREVENTING HUMIDITY AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}Moisture permeation prevention protective film and manufacturing method thereof

본 발명은 투습 방지 보호막 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a moisture permeation prevention protective film and a method for manufacturing the same.

최근 들어, 새로운 유기 반도체 물질의 합성 및 새로운 공정 개발을 위해 유기발광 다이오드(OLED, Organic Light-Emitting Diode), 유기 태양 전지(OPV, Organic Photovoltaic) 및 유기 트랜지스터(OTFT, Organic Thin-Film Transistor) 등 다양한 분야에서 많은 발전이 이루어지고 있다.Recently, for the synthesis of new organic semiconductor materials and the development of new processes, organic light-emitting diodes (OLED), organic solar cells (OPV, Organic Photovoltaic), and organic transistors (OTFT, Organic Thin-Film Transistor), etc. A lot of progress is being made in various fields.

이러한 소재들은 유기 재료층과 전극층이 수분과 산소에 노출될 때 수 시간 내에 성능이 저하되는 특성을 가지고 있다.These materials have a characteristic that their performance deteriorates within a few hours when the organic material layer and the electrode layer are exposed to moisture and oxygen.

따라서, 유기 반도체의 상용화를 위해서는 수분과 산소의 침투를 막을 수 있는 고성능 투습 방지 보호막(봉지재, 배리어)의 개발이 매우 중요하다.Therefore, for the commercialization of organic semiconductors, it is very important to develop a high-performance moisture-permeable protective film (encapsulant, barrier) capable of preventing the penetration of moisture and oxygen.

한편, 종래의 투습 방지 보호막 형성 방법으로 Al2O3, SiO2, SiNx, SiON 등의 무기물 박막의 경우는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법이나 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition) 방법이 많이 사용되었다. On the other hand, in the case of an inorganic thin film such as Al 2 O 3 , SiO 2 , SiNx, or SiON as a conventional method for forming a moisture permeation prevention protective film, a CVD (Chemical Vapor Deposition) method such as PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) or an atomic layer deposition method ( ALD, Atomic Layer Deposition) method has been widely used.

하지만, CVD 방법으로 무기 박막을 형성하는 경우 저온 CVD라 할지라도 무기 박막의 균일도 특성을 높이기 위해 대부분 200℃ 내지 400℃의 온도에서 증착이 이루어져야 하고, ALD의 경우에도 챔버 내의 온도가 100℃ 내지 250℃에서 증착이 이루어져야 박막의 성능(quality)이 향상된다.However, when forming the inorganic thin film by the CVD method, most of the deposition must be performed at a temperature of 200°C to 400°C in order to increase the uniformity characteristics of the inorganic thin film even in low-temperature CVD, and in the case of ALD, the temperature in the chamber is 100°C to 250°C. Deposition should be carried out at ℃ to improve the performance (quality) of the thin film.

그렇지만 플라스틱 필름을 고온에서 증착하게 되면 필름의 변형으로 인해 박막의 크랙(crack)이 생길 수 있다.However, when the plastic film is deposited at a high temperature, cracks in the thin film may occur due to the deformation of the film.

따라서, 박막의 균일도 및 성능 저하를 감수하더라도 낮은 온도에서 증착하는 기술이 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for a technique for depositing at a low temperature even at the risk of deterioration in the uniformity and performance of the thin film.

공개특허번호 제10-2010-0124010호(2010.11.26)Publication No. 10-2010-0124010 (2010.11.26)

본 발명의 실시예는 Mica 필름 및 양면 투명 점착 필름층을 이용하여 높은 내화학성, 기계적 유연성, 수분 투습 안정성 및 고온 안정성을 기대할 수 있는 투습 방지 보호막 및 이의 제조 방법을 제공한다.An embodiment of the present invention provides a moisture permeation prevention protective film that can be expected to have high chemical resistance, mechanical flexibility, moisture permeation stability and high temperature stability using a Mica film and a double-sided transparent adhesive film layer, and a method for manufacturing the same.

다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical task to be achieved by the present embodiment is not limited to the technical task as described above, and other technical tasks may exist.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 투습 방지 보호막의 제조 방법은 기판으로 Mica 필름을 준비하는 단계; 상기 Mica 필름 상에 수분 투습 방지층을 형성하는 단계; 상기 수분 투습 방지층 상에 양면 투명 점착 필름층을 부착하는 단계; 및 상기 양면 투명 점착 필름층 상에 플라스틱 필름층을 형성하는 단계를 포함한다.As a technical means for achieving the above-mentioned technical problem, the method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film according to the first aspect of the present invention comprises the steps of preparing a Mica film as a substrate; forming a moisture barrier layer on the Mica film; attaching a double-sided transparent adhesive film layer on the moisture barrier layer; and forming a plastic film layer on the double-sided transparent adhesive film layer.

일 실시예로, 상기 수분 투습 방지층은 Al2O3, HfO, SiO2, SION 및 SiNx 중 어느 하나일 수 있다.In an embodiment, the moisture barrier layer may be any one of Al 2 O 3 , HfO, SiO 2 , SION, and SiNx.

일 실시예로, 상기 양면 투명 점작 필름층은 PSA, OCA 및 OCR 중 어느 하나일 수 있다.In one embodiment, the double-sided transparent film layer may be any one of PSA, OCA, and OCR.

일 실시예로, 상기 플라스틱 필름층은 PET, PEN, PI 및 PE 중 어느 하나일 수 있다.In one embodiment, the plastic film layer may be any one of PET, PEN, PI and PE.

일 실시예로, 상기 Mica 필름의 최상부 단일층이 상기 수분 투습 방지층과 점착된 상태에서 나머지 Mica 필름층을 박리시키는 단계를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the method may further include peeling the remaining Mica film layer in a state where the uppermost single layer of the Mica film is adhered to the moisture barrier layer.

일 실시예로, 상기 Mica 필름의 최상부 복수층이 상기 수분 투습 방지층과 점착된 상태에서 나머지 Mica 필름층을 박리시키는 단계를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the step of peeling the remaining Mica film layer in a state in which the uppermost plurality of layers of the Mica film are adhered to the moisture permeation prevention layer may be further included.

일 실시예로, 상기 Mica 필름의 박리 정도를 결정하기 위하여 상기 양면 투명 점착 필름층의 점착 강도를 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the method may further include adjusting the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer in order to determine the degree of peeling of the Mica film.

일 실시예로, 상기 Mica 필름과 상기 수분 투습 방지층 사이에 기능층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 기능층은 폴리 실라잔(Polysilazane), 파릴렌(Parylene), FTO(Fluorine Tin Oxide), 저방사 유리, 로이유리(low-e glass), SnO2, ZnO, CeO2, TiO2 중 어느 하나일 수 있다.In one embodiment, the method may further include forming a functional layer between the Mica film and the moisture barrier layer. At this time, the functional layer is polysilazane (Polysilazane), parylene (Parylene), FTO (Fluorine Tin Oxide), low-emission glass, low-e glass (low-e glass), SnO 2 , ZnO, CeO 2 , TiO 2 It can be any one.

또한, 본 발명의 제 2 측면에 따른 투습 방지성이 향상된 보호막은 Mica 필름 기판, 상기 Mica 필름 기판 상에 형성된 수분 투습 방지층, 상기 수분 투습 방지층 상에 형성된 양면 투명 점착 필름층 및 상기 양면 투명 점착 필름층 상에 형성된 플라스틱 필름층을 포함한다.In addition, the protective film with improved moisture permeability according to the second aspect of the present invention is a Mica film substrate, a moisture vapor barrier layer formed on the Mica film substrate, a double-sided transparent adhesive film layer formed on the moisture vapor barrier layer, and the double-sided transparent adhesive film and a plastic film layer formed on the layer.

일 실시예로, 상기 Mica 필름 기판은 상기 수분 투습 방지층과 점착된 최상부 단일층 또는 최상부 복수층을 제외한 나머지 Mica 필름이 외력에 의해 박리될 수 있다.In one embodiment, the Mica film substrate may be peeled off by an external force except for the uppermost single layer or the uppermost plurality of layers adhered to the moisture permeation prevention layer.

일 실시예로, 상기 양면 투명 점착 필름층의 점착 강도가 조절됨에 따라 상기 Mica 필름의 박리 정도가 결정될 수 있다.In one embodiment, as the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer is adjusted, the degree of peeling of the Mica film may be determined.

일 실시예로, 상기 Mica 필름과 상기 수분 투습 방지층 사이에 형성된 기능층을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 기능층은 폴리 실라잔(Polysilazane), 파릴렌(Parylene), FTO(Fluorine Tin Oxide), 저방사 유리, 로이유리(low-e glass), SnO2, ZnO, CeO2, TiO2 중 어느 하나일 수 있다.In one embodiment, it may further include a functional layer formed between the Mica film and the moisture barrier layer. At this time, the functional layer is polysilazane (Polysilazane), parylene (Parylene), FTO (Fluorine Tin Oxide), low-emission glass, low-e glass (low-e glass), SnO 2 , ZnO, CeO 2 , TiO 2 It can be any one.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, Mica 가 수분 투습 방지층의 표면에 코팅되어 있는바 높은 내화학성, 기계적 유연성, 내마모성, 수분 투습 안정성 및 고온 안정성을 기대할 수 있다.According to any one of the above-described problem solving means of the present invention, high chemical resistance, mechanical flexibility, abrasion resistance, moisture vapor permeability stability and high temperature stability can be expected as Mica is coated on the surface of the moisture vapor barrier layer.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막의 단면을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 1A and 1B are views for explaining a cross-section of a moisture permeation prevention protective film according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film according to an embodiment of the present invention.
3A to 3E are views for explaining a process of forming a moisture permeation prevention protective film according to an embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art can easily implement them. However, the present application may be implemented in several different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present application in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is "connected" with another part, this includes not only the case where it is "directly connected" but also the case where it is "electrically connected" with another element interposed therebetween. do.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is said to be located “on” another member, this includes not only a case in which a member is in contact with another member but also a case in which another member is present between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.Throughout this specification, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. As used throughout this specification, the terms "about," "substantially," and the like are used in a sense at or close to the numerical value when the manufacturing and material tolerances inherent in the stated meaning are presented, and are intended to enhance the understanding of this application. To help, precise or absolute figures are used to prevent unfair use by unscrupulous infringers of the stated disclosure. The term "step of" or "step of" to the extent used throughout this specification does not mean "step for".

본 발명은 투습 방지 보호막(100) 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a moisture permeation prevention protective film 100 and a method for manufacturing the same.

투습 방지 보호막을 유연 필름 위에 구현하기 위한 종래 기술로는 CVD나 ALD를 이용하여 낮은 온도에서 직접 증착하였다. 하지만 낮은 온도라 하더라도 CVD나 ALD를 이용하는 과정에서 필름의 변형이 발생하는 문제가 있었고, 낮은 온도로 인해 투습 방지보호막의 성능(quality)이 떨어지는 문제점이 있었다.As a conventional technique for implementing a moisture permeation prevention protective film on a flexible film, it was directly deposited at a low temperature using CVD or ALD. However, even at a low temperature, there was a problem in that the film was deformed in the process of using CVD or ALD, and there was a problem in that the performance (quality) of the moisture permeation prevention protective film was deteriorated due to the low temperature.

반면 본 발명의 일 실시예에 따르면, Mica 필름(110) 및 양면 투명 점착 필름층(140)을 이용함으로써 높은 내화학성, 기계적 유연성, 수분 투습 안정성 및 고온 안정성을 기대할 수 있다. On the other hand, according to an embodiment of the present invention, by using the Mica film 110 and the double-sided transparent adhesive film layer 140, high chemical resistance, mechanical flexibility, moisture permeability stability and high temperature stability can be expected.

이하에서는 도 1a 및 도 1b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A and 1B .

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)을 설명하기 위한 도면이다.1A and 1B are views for explaining a moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)은 Mica 필름 기판(110), 수분 투습 방지층(130), 양면 투명 점착 필름층(140) 및 플라스틱 필름층(150)을 포함한다.The moisture barrier protective film 100 according to an embodiment of the present invention includes a Mica film substrate 110 , a moisture vapor barrier layer 130 , a double-sided transparent adhesive film layer 140 , and a plastic film layer 150 .

Mica 필름(110)은 실리게이트 미네랄의 일종으로서, 내화학성, 전기절연성, 고온 내구성, 수분투습 방지특성, 유연성 및 광학적 특성이 뛰어나며, 층상 구조를 가지고 있어 면 방향으로의 박리가 용이하다.Mica film 110, a kind of silicate mineral, has excellent chemical resistance, electrical insulation, high temperature durability, moisture permeation prevention property, flexibility and optical properties, and has a layered structure, so that it is easy to peel in the plane direction.

이와 같이 본 발명의 일 실시예는 투습 방지 보호막(100)을 유연성이 있는 플라스틱 필름층(150) 상에 구현하기 위하여 면 방향의 박리가 용이하고 고온 내구성이 우수한 Mica 필름(110)을 기판으로 이용하는 것을 특징으로 한다.As described above, in one embodiment of the present invention, in order to implement the moisture permeation prevention protective film 100 on the flexible plastic film layer 150, the Mica film 110, which is easy to peel in the plane direction and has excellent high temperature durability, is used as a substrate. characterized in that

수분 투습 방지층(130)은 Mica 필름 기판(110) 상에 형성된다.The moisture barrier layer 130 is formed on the Mica film substrate 110 .

일 실시예로, 수분 투습 방지층(130)은 Al2O3, HfO, SiO2, SION 및 SiNx 중 어느 하나일 수 있다.In an embodiment, the moisture barrier layer 130 may be any one of Al 2 O 3 , HfO, SiO 2 , SION, and SiNx.

수분 투습 방지층(130) 상에는 양면 투명 점착 필름층(140)이 코팅된 플라스틱 필름층(150)이부착된다.A plastic film layer 150 coated with a double-sided transparent adhesive film layer 140 is attached on the moisture vapor barrier layer 130 .

즉, 수분 투습 방지층(130) 상에는 양면 투명 점착 필름층(140)이 형성되고, 그 상면에는 플라스틱 필름층(150)이 형성된다.That is, the double-sided transparent adhesive film layer 140 is formed on the moisture vapor barrier layer 130 , and the plastic film layer 150 is formed on the upper surface thereof.

일 실시예로, 양면 투명 점작 필름층(140)은 PSA(Pressure Sensitive Adhesive), OCA(Optical Clearance Adhesive) 및 OCR(Optically Clear Adhesive Resin) 중 어느 하나일 수 있으며, 플라스틱 필름층(150)은 PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PI(Polyimide) 및 PE(Polyethylene) 중 어느 하나일 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In one embodiment, the double-sided transparent film layer 140 may be any one of Pressure Sensitive Adhesive (PSA), Optical Clearance Adhesive (OCA), and Optically Clear Adhesive Resin (OCR), and the plastic film layer 150 is PET. (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate), PI (Polyimide), and PE (Polyethylene) may be any one, but is not necessarily limited thereto.

본 발명의 일 실시예는 이와 같은 구조를 가지는 투습 방지 보호막(100)을 직접 이용할 수 있으나, 바람직하게는 Mica 필름 기판(110)을 구성하는 복수층 중 일부 층만을 이용하는 것을 특징으로 한다.An embodiment of the present invention may directly use the moisture permeation prevention protective film 100 having such a structure, but preferably, it is characterized in that only some of the plurality of layers constituting the Mica film substrate 110 are used.

즉, 본 발명의 일 실시예는 Mica 필름 기판(110)이 수분 투습 방지층(130)과 점착된 최상부 단일층 또는 최상부 복수층을 제외한 나머지 Mica 필름 기판이 외력에 의해 박리되는 것을 특징으로 한다.That is, one embodiment of the present invention is characterized in that the remaining Mica film substrate is peeled off by an external force except for the uppermost single layer or the uppermost plurality of layers to which the Mica film substrate 110 is adhered to the moisture vapor barrier layer 130 .

이때, Mica 필름 기판(110)이 박리되는 정도는 양면 투명 점착 필름층(140)의 제조 당시의 성분비 조정에 따른 점착 강도에 의해 결정될 수 있다.In this case, the degree to which the Mica film substrate 110 is peeled may be determined by the adhesive strength according to the adjustment of the component ratio at the time of manufacturing the double-sided transparent adhesive film layer 140 .

예를 들어, 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도가 낮도록 생성된 경우 Mica 필름(110)의 최상부 단일층만이 수분 투습 방지층(130)과 점착되고 나머지 Mica 필름층은 박리될 수 있으며, 반대로 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도가 높도록 생성된 경우 Mica 필름(110)의 복수 층이 수분 투습 방지층(130)과 점착될 수 있으며, 점착된 층들을 제외한 나머지 Mica 필름층은 박리될 수 있다.For example, when the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer 140 is low, only the uppermost single layer of the Mica film 110 adheres to the moisture vapor barrier layer 130 and the remaining Mica film layer may be peeled off, Conversely, when the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer 140 is high, a plurality of layers of the Mica film 110 may be adhered to the moisture barrier layer 130, and the remaining Mica film layers except for the adhered layers are peeled off. can be

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)은 도 1b와 같이 상기 Mica 필름 기판(110)과 수분 투습 방지층(130) 사이에 형성된 기능층(120)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the moisture vapor barrier protective film 100 according to an embodiment of the present invention may further include a functional layer 120 formed between the Mica film substrate 110 and the moisture vapor barrier layer 130 as shown in FIG. 1B .

상기 기능층(120)은 폴리실라잔(Polysilazane), 파릴렌(Parylene), FTO(Fluorine Tin Oxide), 저방사 유리, 로이유리(low-e glass), SnO2, ZnO, CeO2, TiO2 중 어느 하나일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The functional layer 120 is polysilazane (Polysilazane), parylene (Parylene), FTO (Fluorine Tin Oxide), low-emission glass, low-e glass (low-e glass), SnO 2 , ZnO, CeO 2 , TiO 2 may be any one, but is not necessarily limited thereto.

본 발명의 일 실시예는 이러한 기능층(120)을 추가적으로 구비함으로써, 투습 방지 보호막(100)의 유연성을 더욱 향상시키기 위한 기능을 부가하거나, Mica 필름(110)과 수분 투습 방지층(130) 사이에 핀-홀(pin-hole)이 발생할 경우 유기 소자가 이를 채워줌으로써 결함을 보완하는 기능을 수행한다.In one embodiment of the present invention, by additionally providing such a functional layer 120 , a function for further improving the flexibility of the moisture permeation prevention protective film 100 is added, or between the Mica film 110 and the moisture vapor barrier layer 130 . When a pin-hole occurs, the organic element fills it, thereby compensating for the defect.

이하에서는 도 2 내지 도 3e를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)의 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing the moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 3E .

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention. 3A to 3E are views for explaining a process of forming the moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 투습 방지 보호막(100)의 제조 방법은 먼저 기판으로 Mica 필름(110a)을 준비한다(S110).In the method of manufacturing the moisture permeation prevention protective film 100 according to an embodiment of the present invention, first, a Mica film 110a is prepared as a substrate (S110).

다음으로 Mica 필름(110a) 상에 수분 투습 방지층(130)을 형성한다(S120).Next, the moisture barrier layer 130 is formed on the Mica film 110a (S120).

일 실시예로, 수분 투습 방지층(130)은 Al2O3, HfO, SiO2, SION 및 SiNx 중 어느 하나일 수 있다.In an embodiment, the moisture barrier layer 130 may be any one of Al 2 O 3 , HfO, SiO 2 , SION, and SiNx.

이때, 수분 투습 방지층(130)은 증착 방법(Deposition Method)을 이용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 수분 투습 방지층(130)은 ALD, 스퍼터(Sputter), CVD, 용액 코팅 공정(solution coating process) 등을 증착 방법으로 형성될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In this case, the moisture barrier layer 130 may be formed using a deposition method. For example, the moisture barrier layer 130 may be formed by a deposition method such as ALD, sputter, CVD, or a solution coating process, but is not limited thereto.

수분 투습 방지층(130)을 고온에서 형성하고 나면, 다음으로 수분 투습 방지층(130) 상에 양면 투명 점착 필름층(140)을 형성시킨다(S130).After forming the moisture vapor barrier layer 130 at a high temperature, the double-sided transparent adhesive film layer 140 is formed on the moisture vapor barrier layer 130 next (S130).

일 실시예로 양면 투명 점착 필름층(140)은 PSA(Pressure Sensitive Adhesive), OCA(Optical Clearance Adhesive) 및 OCR(Optically Clear Adhesive Resin) 중 어느 하나일 수 있다.In an embodiment, the double-sided transparent adhesive film layer 140 may be any one of a pressure sensitive adhesive (PSA), an optical clearance adhesive (OCA), and an optically clear adhesive resin (OCR).

다음으로, 양면 투명 점착 필름층(140) 상에 플라스틱 필름층(150)을 형성한다(S140).Next, a plastic film layer 150 is formed on the double-sided transparent adhesive film layer 140 (S140).

일 실시예로, 플라스틱 필름층(150)은 PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PI(Polyimide) 및 PE(Polyethylene) 중 어느 하나일 수 있다.In an embodiment, the plastic film layer 150 may be any one of polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide (PI), and polyethylene (PE).

이때, 플라스틱 필름층(150)에는 먼저 양면 투명 점착 필름층(140)이 코팅되어 있을 수 있으며, 양면 투명 점착 필름층(140)이 코팅된 플라스틱 필름층(150)이 수분 투습 방지층(130)에 부착될 수 있다.At this time, the plastic film layer 150 may first be coated with the double-sided transparent adhesive film layer 140 , and the plastic film layer 150 coated with the double-sided transparent adhesive film layer 140 is applied to the moisture vapor barrier layer 130 . can be attached.

다음으로 외력을 가하는 전사 과정을 통해 Mica 필름(110a)의 최상부 단일층(110)을 제외한 나머지 Mica 필름층(110b)을 박리시킨다(S150-a).Next, the remaining Mica film layer 110b except for the uppermost single layer 110 of the Mica film 110a is peeled through a transfer process in which an external force is applied (S150-a).

Mica 필름(110a)은 층간 결합력이 약하기 때문에 외력을 가할 경우 최상부 단일층(110)이 수분 투습 방지층(140)과 점착된 상태에서, 최상부 단일층(110)을 제외한 나머지 Mica 필름층(110b)이 박리될 수 있다.Since the Mica film 110a has a weak interlayer bonding force, when an external force is applied, in the state where the uppermost single layer 110 is adhered to the moisture permeation prevention layer 140, the remaining Mica film layer 110b except for the uppermost single layer 110b) can be peeled off.

또는, S150-a 단계와는 달리, 외력을 가하여 Mica 필름(110a)의 최상부 복수층(110)이 수분 투습 방지층(140)과 점착된 상태에서 나머지 Mica 필름층(110b)을 박리시킬 수 있다(S150-b).Alternatively, unlike step S150-a, the remaining Mica film layer 110b may be peeled off while the uppermost plurality of layers 110 of the Mica film 110a are adhered to the moisture permeation prevention layer 140 by applying an external force ( S150-b).

한편, 본 발명의 일 실시예는 Mica 필름(110a)의 박리 정도를 결정하기 위하여 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도를 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, an embodiment of the present invention may further include adjusting the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer 140 in order to determine the degree of peeling of the Mica film 110a.

이때, 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도는 성분비에 따라 결정될 수 있으며, 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도가 낮도록 생성된 경우 상기 S150-a 단계와 같이 Mica 필름(110a)의 최상부 단일층(110)만이 수분 투습 방지층(130)과 점착되고 나머지 Mica 필름층(110b)은 박리될 수 있다.At this time, the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer 140 may be determined according to the component ratio, and when the double-sided transparent adhesive film layer 140 is produced to have a low adhesive strength, as in step S150-a, the Mica film 110a Only the uppermost single layer of 110 is adhered to the moisture barrier layer 130 and the remaining Mica film layer 110b may be peeled off.

이와 달리, 양면 투명 점착 필름층(140)의 점착 강도가 높도록 생성된 경우 상기 S150-b 단계와 같이 Mica 필름(110a)의 복수 층(110)이 수분 투습 방지층(130)과 점착될 수 있으며, 점착된 층(110)들을 제외한 나머지 Mica 필름층(110b)은 박리될 수 있다.On the other hand, when the double-sided transparent adhesive film layer 140 is generated to have a high adhesive strength, as in step S150-b, a plurality of layers 110 of the Mica film 110a may be adhered to the moisture vapor barrier layer 130 and , the remaining Mica film layer 110b except for the adhered layer 110 may be peeled off.

이와 같은 과정을 통해 최종적으로 도 1a와같이 플라스틱 필름층(150), 양면 투명 점착 필름층(140), 투습 방지 보호막(130), 그리고 1개의 층 또는 복수 개의 층으로 형성된 Mica 필름(110) 구조가 형성될 수 있다.Through this process, finally, as shown in FIG. 1A , the plastic film layer 150 , the double-sided transparent adhesive film layer 140 , the moisture permeation prevention protective film 130 , and the Mica film 110 structure formed of one layer or a plurality of layers can be formed.

이와 더불어, 본 발명의 일 실시예는 Mica 필름(110)과 수분 투습 방지층(130) 사이에 적어도 1층 이상 형성되는 기능층(120)을 더 포함할 수 있다. 즉, 기능층(120)은 단층(single layer) 또는 다층(multi layer)으로 형성될 수 있다.In addition, an embodiment of the present invention may further include a functional layer 120 formed in at least one layer between the Mica film 110 and the moisture vapor barrier layer 130 . That is, the functional layer 120 may be formed as a single layer or a multi-layer.

기능층(120)은 투습 방지 보호막(130)의 성능을 향상시키기 위한 것으로 폴리 실라잔(Polysilazane), 파릴렌(Parylene), FTO(Fluorine Tin Oxide), 저방사 유리, 로이유리(low-e glass), SnO2, ZnO, CeO2, TiO2 중 어느 하나일 수 있다.The functional layer 120 is for improving the performance of the moisture permeation prevention protective film 130, polysilazane (Polysilazane), parylene (Parylene), FTO (Fluorine Tin Oxide), low-emission glass, low-e glass (low-e glass) ), SnO 2 , ZnO, CeO 2 , TiO 2 It may be any one of.

기능층(120)은 열증착(Thermal Deposition), CVD, 스퍼터링, 코팅 등의 방법을 통하여 형성할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The functional layer 120 may be formed through a method such as thermal deposition, CVD, sputtering, or coating, but is not limited thereto.

한편, 상술한 설명에서, 단계 S110 내지 S150은 본 발명의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 변경될 수도 있다. 아울러, 기타 생략된 내용이라 하더라도 도 1에서 이미 기술된 내용은 도 2 내지 도 3e의 제조 방법에도 적용될 수 있다.Meanwhile, in the above description, steps S110 to S150 may be further divided into additional steps or combined into fewer steps according to an embodiment of the present invention. In addition, some steps may be omitted if necessary, and the order between steps may be changed. In addition, even if other omitted content, the content already described in FIG. 1 may be applied to the manufacturing method of FIGS. 2 to 3E .

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention. do.

100: 투습 방지 보호막
110: Mica 필름 기판
120: 기능층
130: 수분 투습 방지층
140: 양면 투명 점착 필름층
150: 플라스틱 필름층100: moisture permeation prevention shield
110: Mica film substrate
120: functional layer
130: moisture permeation prevention layer
140: double-sided transparent adhesive film layer
150: plastic film layer

Claims (12)

투습 방지 보호막의 제조 방법에 있어서,
기판으로 마이카(Mica) 필름을 준비하는 단계;
상기 마이카 필름 상에 수분 투습 방지층을 형성하는 단계;
상기 수분 투습 방지층 상에 양면 투명 점착 필름층을 부착하는 단계; 및
상기 양면 투명 점착 필름층 상에 플라스틱 필름을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 마이카 필름과 상기 수분 투습 방지층 사이에 상기 투습 방지 보호막의 유연성을 향상시키기 위한 폴리 실라잔(Polysilazane) 또는 파릴렌(Parylene)으로 구성되는 기능층을 형성하는 단계를 더 포함하는 투습 방지 보호막의 제조 방법.A method for manufacturing a moisture permeation prevention protective film, the method comprising:
Preparing a mica (Mica) film as a substrate;
forming a moisture barrier layer on the mica film;
attaching a double-sided transparent adhesive film layer on the moisture barrier layer; and
Comprising the step of forming a plastic film on the double-sided transparent adhesive film layer,
Forming a functional layer made of polysilazane or parylene to improve the flexibility of the moisture vapor barrier protective film between the mica film and the moisture vapor barrier layer Way. 제 1 항에 있어서,
상기 수분 투습 방지층은 Al2O3, HfO, SiO2, SION 및 SiNx 중 어느 하나인 것인 투습 방지 보호막의 제조 방법.The method of claim 1,
The moisture vapor barrier layer is Al 2 O 3 , HfO, SiO 2 , SION, and the method of manufacturing a protective film for preventing moisture permeation of any one of SiNx. 제 1 항에 있어서,
상기 양면 투명 점작 필름층은 감압 접착제(Pressure Sensitive Adhesive, PSA), 광학 투명 접착제(Optical Clear Adhesives, OCA) 및 광학 투명 레진(Optical Clear Resin, OCR) 중 어느 하나인 것인 투습 방지 보호막의 제조 방법.The method of claim 1,
The double-sided transparent viscous film layer is a pressure sensitive adhesive (Pressure Sensitive Adhesive, PSA), optical clear adhesive (Optical Clear Adhesives, OCA), and optical clear resin (Optical Clear Resin, OCR) of any one of the method for producing a moisture permeation prevention protective film . 제 1 항에 있어서,
상기 플라스틱 필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate, PEN), 폴리이미드(Polyimide, PI) 및 폴리에틸렌(polyethylene, PE) 중 어느 하나인 것인 투습 방지 보호막의 제조 방법.The method of claim 1,
The plastic film is any one of polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide (PI) and polyethylene (PE) . 제 1 항에 있어서,
상기 마이카 필름의 최상부 단일층이 상기 수분 투습 방지층과 점착된 상태에서 나머지 마이카 필름층을 박리시키는 단계를 더 포함하는 투습 방지 보호막의 제조 방법.The method of claim 1,
The method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film further comprising the step of peeling the remaining mica film layer in a state in which the uppermost single layer of the mica film is adhered to the moisture vapor permeation prevention layer. 제 1 항에 있어서,
상기 마이카 필름의 최상부 복수층이 상기 수분 투습 방지층과 점착된 상태에서 나머지 마이카 필름층을 박리시키는 단계를 더 포함하는 투습 방지 보호막의 제조 방법.The method of claim 1,
The method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film further comprising the step of peeling the remaining mica film layer in a state in which the uppermost plurality of layers of the mica film are adhered to the moisture vapor permeation prevention layer. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 마이카 필름의 박리 정도를 결정하기 위하여 상기 양면 투명 점착 필름층의 점착 강도를 조정하는 단계를 더 포함하는 투습 방지 보호막의 제조 방법.7. The method according to claim 5 or 6,
The method of manufacturing a moisture permeation prevention protective film further comprising the step of adjusting the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer in order to determine the degree of peeling of the mica film. 삭제delete 투습 방지성이 향상된 보호막에 있어서,
마이카(Mica) 필름 기판,
상기 마이카 필름 기판 상에 형성된 수분 투습 방지층,
상기 마이카 필름 기판과 상기 수분 투습 방지층 사이에 상기 투습 방지 보호막의 유연성을 향상시키기 위한 폴리 실라잔(Polysilazane) 또는 파릴렌(Parylene)으로 구성되는 기능층,
상기 수분 투습 방지층 상에 형성된 양면 투명 점착 필름층 및
상기 양면 투명 점착 필름층 상에 형성된 플라스틱 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 투습 방지 보호막.In the protective film with improved moisture permeability,
Mica film substrate,
A moisture barrier layer formed on the mica film substrate,
A functional layer composed of polysilazane or parylene between the mica film substrate and the moisture vapor barrier layer to improve the flexibility of the moisture vapor barrier protective film;
A double-sided transparent adhesive film layer formed on the moisture barrier layer and
A moisture permeation prevention protective film comprising a plastic film formed on the double-sided transparent adhesive film layer. 제 9 항에 있어서,
상기 마이카 필름 기판은 상기 수분 투습 방지층과 점착된 최상부 단일층 또는 최상부 복수층을 제외한 나머지 마이카 필름이 외력에 의해 박리되는 것을 특징으로 하는 투습 방지 보호막.10. The method of claim 9,
The mica film substrate is a moisture permeation prevention protective film, characterized in that the remaining mica film is peeled off by an external force except for the uppermost single layer or the uppermost plurality of layers adhered to the moisture permeation prevention layer. 제 10 항에 있어서,
상기 양면 투명 점착 필름층의 점착 강도가 조절됨에 따라 상기 마이카 필름의 박리 정도가 결정되는 것을 특징으로 하는 투습 방지 보호막.11. The method of claim 10,
The moisture permeation prevention protective film, characterized in that the peeling degree of the mica film is determined as the adhesive strength of the double-sided transparent adhesive film layer is adjusted. 삭제delete
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