KR102340011B1 - Wire bonder clamp for high-density and ultra-thin LED substrates - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 복수개의 발광소자 패키지가 매트릭스 또는 일렬로 배열되는 리드 프레임 스트립이 일정한 간격으로 복수개로 마련되는 고밀도 초박형 엘이디 기판 위에 안착되며, 캐필러리(capillary)에 의해 상기 발광소자 패키지의 엘이디 칩과 리드 프레임 간의 와이어 본딩 작업이 이루어지도록 개방된 형태의 작업영역이 일측에 형성되는 와이어 본더 클램프에 있어서, 상기 작업영역의 내부 중앙에 길이방향을 따라 형성되는 제1구획편과; 상기 제1구획편의 양측 모서리로부터 폭 방향을 따라 일정 간격으로 배열형성되는 복수개의 제2구획편과; 상기 작업영역 내부에서 상기 제1구획편과 제2구획편에 의해 격자 형태로 배열형성되며 상기 리드 프레임 스트립과 대응되는 폭과 길이를 갖는 복수개의 윈도우와; 상기 윈도우 내부에서 와이어 본딩 영역 주변과 접촉되는 면적을 증대시켜 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판의 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 작업영역의 양측 폭방향측 내주면 및 상기 제2구획편의 양측 모서리로부터 일정한 간격을 두고 복수개로 돌출형성되되 상기 엘이디 기판의 이송 과정에서 발생하는 편차에 의한 클램핑 상실구간 및 본딩영역 침범 구간을 최소화하여 와이어 본딩 작업을 위한 작업공간을 확보하면서 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되는 가압편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프에 관한 것이다. The present invention is seated on a high-density ultra-thin LED substrate in which a plurality of lead frame strips in which a plurality of light emitting device packages are arranged in a matrix or in a line are provided at regular intervals, and the LED chip of the light emitting device package and the capillary A wire bonder clamp having an open work area formed on one side to perform wire bonding between lead frames, the clamp comprising: a first compartment formed in the longitudinal direction at the inner center of the work area; a plurality of second partition pieces arranged at regular intervals along the width direction from both edges of the first partition piece; a plurality of windows arranged in a lattice form by the first and second partitions in the working area and having widths and lengths corresponding to the lead frame strips; In order to increase the area in contact with the periphery of the wire bonding area inside the window to prevent shaking of the LED substrate during wire bonding, the inner circumferential surface on both sides of the width direction of the work area and both edges of the second compartment are spaced apart from each other. A plurality of protrusions are formed so as to improve reliability of work while securing a work space for wire bonding work by minimizing a clamping loss section and a section encroaching on the bonding area due to deviations occurring in the process of transferring the LED substrate. It relates to a wire bonder clamp for a high-density ultra-thin LED substrate comprising a; pressing pieces that are alternately arranged.
엘이디 패키지 공정은 크게 웨이퍼(Wafer)의 표면에 엘이디(LED : light emitting diode) 칩을 형성하는 전공정(Fabrication)과 각 엘이디 칩을 패키지(Package)와 같은 개개의 소자로 조립하는 후공정(Assembly)으로 구분될 수 있다. The LED package process is largely a pre-process of forming an LED (light emitting diode) chip on the surface of a wafer and a post-process of assembling each LED chip into an individual device such as a package (Assembly) ) can be distinguished.
후공정은 다시 엘이디 칩을 리드프레임 등과 같은 부재 위로 부착하는 다이 본딩(Die bonding) 공정과, 각 엘이디 칩과 리드프레임을 전기적으로 연결하는 와이어 본딩(Wire bonding) 공정 및 엘이디 칩을 포함한 전기적 연결 영역을 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC ; Epoxy Molding Compound)와 같은 성형수지(Molding resin)로 밀봉하는 몰딩(Molding) 공정 등으로 구분될 수 있다.The post process again includes a die bonding process for attaching the LED chip onto a member such as a lead frame, a wire bonding process for electrically connecting each LED chip and the lead frame, and an electrical connection area including the LED chip It can be divided into a molding process, etc. in which the resin is sealed with a molding resin such as an epoxy molding compound (EMC).
이 중에서, 와이어 본딩 공정은 리드 프레임에 엘이디 칩을 붙이는 공정인 다이 본딩 공정이 완료된 제품을 리드 프레임을 매거진(magazine) 상태에서 분리한 후, 작업 위치까지 이동시켜 엘이디 칩과 리드 프레임의 단위 패키지 상태를 도전성의 골드 와이어(gold wire)로 연결하여 전기적 흐름의 경로를 만들어 제품의 동작을 이루어지게 하는 공정이다.Among them, the wire bonding process separates the product on which the die bonding process is completed, which is a process of attaching the LED chip to the lead frame, from the magazine state, and then moves the lead frame to the working position to obtain the unit package state of the LED chip and the lead frame. It is a process that makes a path of electrical flow by connecting with a conductive gold wire to make the product work.
도 1a)은 엘이디 칩의 와이어 본딩 공정에서 사용되는 엘이디 와이어 본딩 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1a)과 같이 와이어 본딩 공정은 다수의 엘이디 칩이 안착된 리드 프레임(10)이 열이 가해지기 전영역인 프리 히터 존(pre heater zone)(20)에서 열이 가해지는 히터 존(heater zone)으로 이송되면, 히터 존에 위치하는 히터(Heater)(30)의 상부면에 리드 프레임(10)이 접촉되도록 윈도우 클램프(40)로 가압시켜준다. 리드 프레임(10)을 히터(30)에 접촉시키는 이유는 엘이디 칩의 와이어 본딩 성능을 향상시키기 위함이다. 윈도우 클램프(40)는 리드 프레임(10)이 와이어 본딩 공정시 이탈되지 않고 고정되도록 지지한다. 캐필러리(Capillary)(50)는 와이어를 끼워서 엘이디 칩과 리드를 와이어로 연결시켜 주는 와이어 본딩 장비이다. 이에 따라, 캐필러리(50)는 리드 프레임(10)이 윈도우 클램프(40)에 의해 히터(30)에 접촉되면, 리드 프레임(10)에 안착된 엘이디 칩과 리드를 와이어로 연결시켜주는 와이어 본딩 작업을 수행한다. 1a) is a diagram schematically illustrating an LED wire bonding apparatus used in a wire bonding process of an LED chip. In the wire bonding process, as shown in FIG. 1A ), heat is applied in the
한편, 엘이디 패키지 제조에서는 패키지 간의 간격을 두어 이 빈공간을 이용하여 클램프로 기판을 고정하고 와이본더를 진행하는 것이 일반적이었다. 그런데, 이러한 빈 공간은 자재의 손실로 이어지며, 장비 동작의 이동 경로를 증가시켜 생산성을 저하시키는 원인으로 작용 하였다. On the other hand, in the manufacture of LED packages, it was common to secure the substrate with a clamp using this empty space by leaving a gap between the packages, and then perform the w-bonder. However, such an empty space leads to material loss and increases the movement path of equipment operation, thereby acting as a cause of lowering productivity.
최근 기술의 발달로 디스플레이장치나 조명장치 등의 크기가 점점 소형화되는 추세에 맞춰 광원의 크기 또한 슬림화 되고 초박형화 되는 추세이며, 이로 인해 기존보다 고밀도 초박형 기판의 사용이 증가되고 있다. Due to the recent technological development, the size of the light source is also slimming and ultra-thin in line with the trend of miniaturization of display devices and lighting devices, and therefore, the use of high-density and ultra-thin substrates is increasing compared to the existing ones.
이에, 고밀도 초박형 기판용 와이어본더 클램프에 대한 기술 확보가 필요하게 되었다.Accordingly, it was necessary to secure technology for a wire bonder clamp for a high-density and ultra-thin substrate.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 고밀도 초소형 패키지 기판의 특성상 엘이디 칩의 위치나 와이어 본딩의 위치에 민감하여 안정적인 클램핑을 실현하면서 본딩영역 및 케필러리 이동경로를 확보할 수 있는 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention was invented to solve the above problems, and it is sensitive to the position of the LED chip or the position of wire bonding due to the characteristics of the high-density ultra-small package substrate, so that the bonding area and the capillary movement path can be secured while realizing stable clamping. An object of the present invention is to provide a wire bonder clamp for high-density and ultra-thin LED substrates.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명은 복수개의 발광소자 패키지가 매트릭스 또는 일렬로 배열되는 리드 프레임 스트립이 일정한 간격으로 복수개로 마련되는 고밀도 초박형 엘이디 기판 위에 안착되며, 캐필러리(capillary)에 의해 상기 발광소자 패키지의 엘이디 칩과 리드 프레임 간의 와이어 본딩 작업이 이루어지도록 개방된 형태의 작업영역이 일측에 형성되는 와이어 본더 클램프에 있어서, 상기 작업영역의 내부 중앙에 길이방향을 따라 형성되는 제1구획편과; 상기 제1구획편의 양측 모서리로부터 폭 방향을 따라 일정 간격으로 배열형성되는 복수개의 제2구획편과; 상기 작업영역 내부에서 상기 제1구획편과 제2구획편에 의해 격자 형태로 배열형성되며 상기 리드 프레임 스트립과 대응되는 폭과 길이를 갖는 복수개의 윈도우와; 상기 윈도우 내부에서 와이어 본딩 영역 주변과 접촉되는 면적을 증대시켜 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판의 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 작업영역의 양측 폭방향측 내주면 및 상기 제2구획편의 양측 모서리로부터 일정한 간격을 두고 복수개로 돌출형성되되 상기 엘이디 기판의 이송 과정에서 발생하는 편차에 의한 클램핑 상실구간 및 본딩영역 침범 구간을 최소화하여 와이어 본딩 작업을 위한 작업공간을 확보하면서 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되는 가압편;을 포함하는 것을 특징으로 한다. For the above purpose, the present invention is seated on a high-density ultra-thin LED substrate on which a plurality of lead frame strips in which a plurality of light emitting device packages are arranged in a matrix or in a line are provided in a plurality at regular intervals, and the light is emitted by a capillary. In the wire bonder clamp having an open working area formed on one side to perform wire bonding between an LED chip and a lead frame of a device package, a first compartment formed along the longitudinal direction in the inner center of the working area; ; a plurality of second partition pieces arranged at regular intervals along the width direction from both edges of the first partition piece; a plurality of windows arranged in a grid shape by the first and second partitions in the working area and having widths and lengths corresponding to those of the lead frame strip; In order to increase the area in contact with the periphery of the wire bonding area inside the window to prevent shaking of the LED substrate during wire bonding, a certain distance from both sides of the inner peripheral surface of the width direction of the work area and both edges of the second compartment A plurality of protrusions are formed so as to improve the reliability of the work while securing a work space for wire bonding work by minimizing the clamping loss section and the section encroaching on the bonding area due to deviations occurring in the process of transferring the LED substrate. It characterized in that it comprises a; pressing pieces that are alternately arranged with each other.
또한, 본 발명에서 상기 가압편은 상기 캐필러리의 와이어 본딩 영역 및 이동 경로를 확보할 수 있도록 양측면이 경사면으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In addition, in the present invention, the pressing piece is characterized in that both sides are made of inclined surfaces to secure the wire bonding area and the movement path of the capillary.
또한, 본 발명은 상기 리드 프레임 스트립을 구성하는 복수개의 발광소자 패키지 중 최외측에 위치하는 발광소자 패키지의 와이어 본딩 작업시 상기 캐필러리의 와이어 본딩 영역 및 이동 경로를 확보할 수 있도록, 상기 작업영역의 내주면은 외측으로 상향 대각의 경사면으로 이루어지고, 상기 제1구획편은 수직단면이 삼각형상으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention provides a wire bonding area and a movement path of the capillary during wire bonding of a light emitting device package located at the outermost among a plurality of light emitting device packages constituting the lead frame strip, so that the working area can be secured. The inner peripheral surface of the outer surface is made of an upwardly diagonal inclined surface, the first compartment is characterized in that the vertical section is made of a triangular shape.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 제2구획편의 양측 외주면으로부터 전방으로 돌출형성되는 복수개의 가압편에 의해 엘이디 기판의 와이어 본딩 영역 주변이 충분히 가압되도록 하여 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판의 흔들림을 방지할 수 있고, 이를 통해 캐필러리를 통한 와이어 본딩 작업이 신속원활하게 이루어지도록 할 수 있다. The present invention made as described above makes it possible to sufficiently pressurize the periphery of the wire bonding area of the LED substrate by a plurality of pressing pieces protruding forward from both sides of the outer circumferential surface of the second compartment, thereby preventing the shaking of the LED substrate during wire bonding. , it is possible to quickly and smoothly perform wire bonding through the capillary.
특히, 본 발명은 상기 가압편이 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되어 상기 엘이디 기판의 이송 과정에서 발생하는 편차에 의한 클램핑 상실구간 및 본딩영역 침범 구간을 최소화하여 와이어 본딩 작업을 위한 작업공간을 확보하면서 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 생산성을 현저히 높일 수 있고, 제작 가능한 패키지의 범위를 확대할 수 있다. In particular, the present invention minimizes the clamping loss section and the bonding area encroachment section due to deviations occurring in the process of transferring the LED substrate by displacing the pressing pieces alternately on the opposite surfaces to secure a work space for wire bonding work. It is possible to improve the reliability of the product, significantly increase the productivity, and expand the range of packages that can be manufactured.
또한, 본 발명은 상기 가압편의 양측면이 경사면으로 형성되어 와이어 본딩 작업시 캐필러리의 와이어 본딩 영역 및 이동 경로를 확보할 수 있으며, 이를 통해 내구성과 신뢰성이 우수한 와이어 루프를 형성할 수 있다. In addition, in the present invention, both sides of the pressing piece are formed with inclined surfaces to secure a wire bonding area and a movement path of the capillary during wire bonding, and through this, a wire loop having excellent durability and reliability can be formed.
또한, 본 발명은 상기 작업영역의 내주면이 외측으로 상향 대각의 경사면으로 이루어지고, 상기 제1구획편은 수직단면이 삼각형상으로 이루어져, 최외측에 위치하는 발광소자 패키지의 와이어 본딩 작업시 상기 캐필러리의 와이어 본딩 영역 및 이동 경로를 확보할 수 있으며, 이를 통해 내구성과 신뢰성이 우수한 와이어 루프를 형성할 수 있다. In addition, in the present invention, the inner circumferential surface of the working area is made of an upwardly diagonal inclined surface, and the first compartment has a vertical cross-section in a triangular shape. It is possible to secure the wire bonding area and movement path of the pillar, thereby forming a wire loop with excellent durability and reliability.
도 1a) 및 1b)는 엘이디 패키지 제조를 위한 와이어 본딩 장치의 개략적인 예시도.
도 2는 고밀도 초박형 엘이디 기판의 개략적인 예시도.
도 3a) 내지 3e)는 종래 기술에 따른 와이어 본더 클램프 및 그 문제점을 설명하기 위한 개략적인 예시도.
도 4a) 및 4b)는 본 발명의 실시예에 따른 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프의 개략적인 예시도.
도 5a) 및 5b)는 본 발명의 실시예에 따른 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프의 사용상태도.
도 6a) 및 6b)는 엘이디 칩과 리드 프레임을 연결하는 와이어 루프를 형성하는 와이어 본딩 작업을 설명하기 위한 개략적인 예시도.
도 6c)는 와이어 루프의 볼과 넥의 내구성이 저하되는 캐필러리의 이동경로.
도 7a) 내지 7c)는 본 발명의 실시예에 따른 가압편을 설명하기 위한 개략적인 예시도.1a) and 1b) are schematic illustrations of a wire bonding apparatus for manufacturing an LED package.
2 is a schematic illustration of a high-density ultra-thin LED substrate.
3a) to 3e) are schematic diagrams for explaining a wire bonder clamp according to the prior art and its problems.
4a) and 4b) are schematic illustrations of a wire bonder clamp for a high-density ultra-thin LED substrate according to an embodiment of the present invention.
5a) and 5b) are state diagrams of a wire bonder clamp for a high-density ultra-thin LED substrate according to an embodiment of the present invention.
6a) and 6b) are schematic diagrams for explaining a wire bonding operation of forming a wire loop connecting an LED chip and a lead frame.
Figure 6c) is a movement path of the capillary in which the durability of the ball and neck of the wire loop is reduced.
7a) to 7c) are schematic diagrams for explaining a pressing piece according to an embodiment of the present invention.
본 발명을 설명함에 있어서 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다.In describing the present invention, the advantages and features of the present invention, and a method for achieving them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed subject matter may be thorough and complete, and that the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art. In the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements are not limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may be referred to as a first component.
상단, 하단, 상면, 하면, 또는 상부, 하부 등의 용어는 구성요소에 있어 상대적인 위치를 구별하기 위해 사용되는 것이다. 예를 들어, 편의상 도면상의 위쪽을 상부, 도면상의 아래쪽을 하부로 명명하는 경우, 실제에 있어서는 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 상부는 하부로 명명될 수 있고, 하부는 상부로 명명될 수 있다.Terms such as top, bottom, top, bottom, or top, bottom, etc. are used to distinguish relative positions of components. For example, for convenience, when naming the upper part of the drawing as the upper part and the lower part of the drawing as the lower part, the upper part may be named lower without departing from the scope of the present invention, and the lower part may be named upper part. .
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프에 대하여 더욱 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, a wire bonder clamp for a high-density ultra-thin LED substrate according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 예시도이고, 도 5a) 및 5b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 사용상태도이다. Figure 4 is an exemplary view of the present invention, Figures 5a) and 5b) is a state diagram in use according to a preferred embodiment of the present invention.
본 발명에 따른 와이어 본더 클램프는 고밀도 초박형의 엘이디 기판(10) 위에 배치되어 캐필러리(capillary)에 의해 발광소자 패키지(12)의 엘이디 칩(12-1)과 리드 프레임(12-2) 간의 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판(10)이 움직이지 않도록 고정하는 역할을 한다. The wire bonder clamp according to the present invention is disposed on the high-density and
여기에서, 고밀도 초박형 엘이디 기판이라 함은 도 2와 같이 복수개의 발광소자 패키지가 매트릭스 또는 일렬로 배열되는 리드 프레임 스트립이 일정한 간격으로 복수개로 마련되는 형태의 기판을 지칭한다. Here, the high-density ultra-thin LED substrate refers to a substrate in which a plurality of lead frame strips in which a plurality of light emitting device packages are arranged in a matrix or in a line are provided at regular intervals as shown in FIG. 2 .
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명에 따른 상기 와이어 본더 클램프(100)는 도 4와 같이 소정 면적을 갖는 대략 직사각의 판상체로 이루어지며, 양측 단부에는 가압수단에 의해 하측으로 가압력이 작용하는 플랜지(101)가 위로 단차지게 형성된다. For the above purpose, the
또한, 상기 와이어 본더 클램프(100)의 중앙부에는 캐필러리에 의한 와이어 본딩 작업이 이루어지도록 사각 형태로 개방되는 작업영역(102)이 형성된다.In addition, in the central portion of the
상기 작업영역의 내부 중앙에는 길이방향을 따라 소정 두께의 제1구획편(110)이 형성되고, 상기 제1구획편의 양측 모서리로부터 폭 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 제2구획편(120)이 형성된다. A
여기에서, 상기 제2구획편(120)과 제2구획편(120) 간의 간격은 상기 리드 프레임 스트립의 폭과 대응되는 것이 바람직하다. Here, the distance between the
또한, 상기 작업영역 내부에는 상기 제1구획편과 제2구획편에 의해 복수개의 윈도우(130)가 격자 형태로 배열형성된다. 상기 윈도우(130)는 대략 직사각의 형태로 형성되며, 그 폭과 길이는 리드 프레임 스트립과 대응된다. In addition, a plurality of
또한, 본 발명에 따른 상기 작업영역(102)의 양측 폭방향측 내주면과 상기 제2구획편(120)의 양측 모서리로부터 전방을 향하여 가압편(140)이 돌출형성된다. In addition, the
상기 가압편(140)은 각 윈도우(130) 내부에서 리드 프레임 스트립(11)의 와이어 본딩 영역 주변을 누르는 형태로 배치된다. The
상기 가압편(140)은 리드 프레임 스트립(11)과 접촉되는 면적을 증대시킬 수 있도록 복수개로 형성되는 것이 좋다. It is preferable that the
본 발명은 상기 복수개의 가압편(140)이 리드 프레임 스트립(11)과 접촉되면서 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판(10)의 흔들림을 방지할 수 있으며, 이에 따라 작업성과 생산성이 향상되고, 제품의 신뢰성을 확보할 수 있다.The present invention can prevent the
한편, 양측 제2구획편(120)의 서로 마주보는 외주면에 형성되는 가압편(140)이 서로 마주보는 형태로 배치되면 양측 가압편(140)의 두께에 비례하여 윈도우의 폭이 좁아지기 때문에 캐필러리의 와이어 본딩 작업에 영향을 미치게 된다. On the other hand, when the
예를 들어, 와이어 본딩 장치에 의해 고밀도 초박형 엘이디 기판(10)이 이송될 때 편차에 의해 리드 패키지 스트립(11)과 윈도우(130)가 정확하게 대응하지 못할 경우 캐필러리의 작업공간이 더 협소해질 수 있으며, 가압편(140)의 미형성 구간은 클램핑 기능이 상실될 수 있으므로 바람직하지 않다. For example, when the high-density
상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에서 상기 가압편(140)은 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되는 것이 바람직하다. In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, it is preferable that the
상기 가압편(140)이 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되면 엘이디 기판의 이송 과정에서 발생하는 편차에 의한 클램핑 상실구간 및 본딩영역 침범 구간을 최소화할 수 있으며, 엘이디 기판(10)의 이송간 편차가 발생하더라도 와이어 본딩 작업을 위한 작업공간을 확보할 수 있어 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. When the
도 3a)은 종래 기술에 따른 개별 패키지 누름 방식의 와이어 본더 클램프를 도시한 개략적인 예시도이고, 도 3b)는 종래 기술에 따른 작업영역이 완전히 개방되는 형태의 와이어 본더 클램프를 도시한 개략적인 예시도이며, 도 3c)는 종래 기술에 따른 작업영역 상에 일자로 개방된 장홀 형태의 윈도우가 복수개로 배열형성되는 형태의 와이어 본더 클램프를 도시한 개략적인 예시도이다. Figure 3a) is a schematic illustration showing a wire bonder clamp of an individual package pressing method according to the prior art, Figure 3b) is a schematic illustration showing a wire bonder clamp in the form of a fully open working area according to the prior art 3c) is a schematic illustration showing a wire bonder clamp of a type in which a plurality of windows in the form of long holes open in a straight line are arranged in a working area according to the prior art.
종래에는 도 3a) 내지 3c)와 같은 형태의 와이어 본더 클램프를 통해 엘이디 기판의 와이어 본딩 작업을 실시하였는데, 도 3a)와 같이 개별 패키지 누름 방식의 와이어 본더 클램프는 작업 안정성과 신뢰성이 우수한 장점이 있으나, 제품 간의 공백을 남겨 자재의 손실로 이어지며, 장비 동작의 이동 경로를 증가시켜 생산성과 경제성이 현저히 떨어지는 문제점이 있었으며, 특히, 도 2와 같은 고밀도 초박형 엘이디 기판에는 적용이 불가능한 한계가 있다. Conventionally, the wire bonding operation of the LED substrate was performed through the wire bonder clamp of the form shown in FIGS. 3a) to 3c). As shown in FIG. 3a), the wire bonder clamp of the individual package pressing method has excellent work stability and reliability, but , leaving a space between products, leading to material loss, and increasing the movement path of equipment operation, thereby significantly reducing productivity and economic feasibility.
또한, 도 3b)와 같이 작업영역이 완전히 개방되는 형태의 와이어 본더 클램프는 캐필러리의 작업공간을 확보할 수 있어 고밀도로 집적된 엘이디 기판의 와이어 본딩 작업을 실시할 수는 있었다. 하지만, 도 3b)와 같은 형태의 와이어 본더 클램프는 엘이디 기판과 접촉되는 면적이 현저히 좁기 때문에 기판을 누르는 부위가 불안정하여 기판의 두께가 200um 이하의 초박형인 경우 휨이나 바운싱(bouncing) 현상이 발생되었으며, 이로 인해 와이어 본딩 공정에서 많은 불량이 발생되었다. In addition, as shown in Fig. 3b), the wire bonder clamp in which the working area is completely opened can secure the working space of the capillary, so that it is possible to perform wire bonding of the high-density integrated LED substrate. However, since the wire bonder clamp of the form as shown in FIG. 3b) has a remarkably narrow area in contact with the LED substrate, the portion that presses the substrate is unstable. , which caused many defects in the wire bonding process.
또한, 도 3c)와 같은 형태의 와이어 본더 클램프는 도 3b)와 같이 작업영역이 완전히 개방된 형태에 비해 기판과 접촉되는 면적이 넓기는 하나, 장홀과 장홀 사이에서 기판을 눌러주는 클램핑 폭이 100um 이하로서 현저히 좁기 때문에 기판을 안정적으로 누르지 못하여 작업이 불안정할 수 밖에 없다. In addition, the wire bonder clamp of the form as shown in Fig. 3c) has a wider area in contact with the substrate than the form in which the working area is completely open as shown in Fig. 3b), but the clamping width that presses the substrate between the long hole is 100 μm. Since it is remarkably narrow as below, the substrate cannot be stably pressed and the operation is inevitably unstable.
이는 와이어 본딩영역의 침범을 방지하고 케필러리의 이동공간 확보를 위하여 확정되는 수치로서 단순히 엘이디 기판을 고정시키기 위하여 임의로 확장할 수 없는 부분이다. 특히, 도 3c)와 같은 형태의 와이어 본더 클램프는 와이어 본딩 장치에서 엘이디 기판의 이동 편차에 의해 클램핑 상실구간과 본딩영역 침범구간이 필연적으로 발생되는 바, 엘이디 기판에서의 와이어 본딩 영역 확보를 위하여 패키지의 최외곽 부분만 협소하게 눌러줄 수 밖에 없는 현상에 기인한다. This is a numerical value determined to prevent invasion of the wire bonding area and secure a moving space of the capillary, and is a part that cannot be arbitrarily expanded to simply fix the LED board. In particular, in the wire bonder clamp of the form shown in FIG. 3c), a clamping loss section and a bonding area invasion section are inevitably generated due to movement deviation of the LED substrate in the wire bonding device. This is due to the phenomenon that only the outermost part of the can only be pressed narrowly.
본 발명과 같이 윈도우(130) 내부에서 복수개의 가압편(140)이 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되면 100um 오차 한계를 갖고 있던 엘이디 기판의 이동 편차를 최대 300um까지 확장시킬 수 있으며, 이에 따라 와이어 본딩 장치에서의 에러 발생율이 낮아지는 효과를 기대할 수 있고, 안정적인 와이어 접합 공정을 통한 품질향상 효과를 기대할 수 있다. As in the present invention, when a plurality of
다음으로, 도 6a)는 와이어 본딩 작업시 엘이디 칩과 리드 프레임을 연결하는 와이어 루프를 도시한 개략적인 예시도이다. Next, FIG. 6a) is a schematic exemplary diagram illustrating a wire loop connecting an LED chip and a lead frame during wire bonding.
도 6a)와 같이 상기 캐필러리(20)는 엘이디 칩(12-1)의 상면에 볼(13-1)을 접착형성한 다음 소정 길이의 넥(13-2)을 수직하게 형성한다. 이후, 소정 경로를 따라 이동하면서 엘이디 칩(12-1)과 리드 프레임(12-2) 사이의 절연공간의 상부를 차단하는 루프 형상의 와이어(13-3)를 형성한 다음 리드 프레임(12-2)의 상면에 스티치(13-4)을 접착형성한다. 6a), the capillary 20 is formed by bonding the ball 13-1 to the upper surface of the LED chip 12-1, and then vertically forming the neck 13-2 of a predetermined length. Thereafter, while moving along a predetermined path, a loop-shaped wire 13-3 blocking the upper portion of the insulating space between the LED chip 12-1 and the lead frame 12-2 is formed, and then the lead frame 12- 2) The stitches 13-4 are adhesively formed on the upper surface.
여기에서, 상기 와이어 루프(13)는 상기 엘이디 칩(12-1)과 리드 프레임(12-2)을 전기적으로 연결하며, 상기 엘이디 칩(12-1)의 동작을 위한 제어신호, 전원 신호, 또는 접지 신호 중 적어도 하나를 외부로부터 제공받게 되는데, 상기 와이어 루프(13)를 구성하는 상기 볼(13-1), 넥(13-2) 그리고 스티치(13-4)가 와이어 루프의 취약 부위로서 발광소자 패키지의 몰드부가 열에 의해 수축 또는 팽창을 하게 되면 취약 부위에서 단락이 발생될 수 있다. 특히, 상기 넥(13-2)과 와이어(13-3)가 일정 높이와 형상을 확보하지 못할 경우 와이어 루프(13)의 신뢰성을 확보할 수 없게 된다. Here, the
상기 넥(13-2)이 수직방향을 따라 적정 높이를 갖기 위해서는 도 6b)와 같이 캐필러리(20)가 엘이디 칩(12-1)의 상면으로부터 수직하게 상방으로 이동하면서 넥(13-2)을 형성한 후 와이어(13-3)의 형성단계에서 스티지를 형성할 리드 프레임의 반대측으로 상향 대각방향을 따라 이동한 후 리드 프레임 측으로 곡선 형태로 이동해야 한다. In order for the neck 13-2 to have an appropriate height in the vertical direction, the neck 13-2 moves vertically upward from the upper surface of the LED chip 12-1 as shown in FIG. 6b) as shown in FIG. 6b). ) is formed and then, in the forming step of the wire 13-3, it should move in an upward diagonal direction to the opposite side of the lead frame to form the stitch, and then move in a curved shape toward the lead frame.
만약, 상기 캐필러리(20)가 넥(13-2)을 형성한 후 리드 프레임 측으로 곡선 형태로 이동하게 되면 넥(13-2)이 리드 프레임 측으로 휘어지는 현상이 발생되고, 이로 인해 볼(13-1), 넥(13-2)의 내구성이 저하될 수 있다. If the capillary 20 forms the neck 13-2 and then moves toward the lead frame in a curved shape, the neck 13-2 is bent toward the lead frame, and this causes the ball 13 -1), the durability of the neck 13-2 may be reduced.
캐필러리는 일정 두께를 가진 원통형 뿔의 형태로 이루어지는데, 만약 상기 가압편(140)이 도 7c)와 같이 단순히 사각 또는 직사각의 형태로 돌출형성되면 캐필러리(20)가 넥(13-2)을 형성한 후 가압편(140)의 측면에 의한 간섭으로 인해 리드 프레임의 반대측 대각방향으로 이동할 수 없게 된다. 즉, 캐필러리(20)가 도 6b)와 같이 이상적인 경로를 따라 이동할 수 없기 때문에 와이어(13-3)의 신뢰성이 낮을 수 밖에 없고, 볼(13-1)과 넥(13-2)의 내구성이 떨어질 수 밖에 없다.The capillary is made in the form of a cylindrical horn having a certain thickness. If the
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 상기 가압편(140)은 양측면이 경사면으로 이루어지는 것이 바람직하다. In order to solve the above problems, it is preferable that both sides of the
예를 들어, 상기 가압편(140)은 양측면이 경사면으로 이루어지도록 삼각형상 또는 사다리꼴 형상으로 이루어질 수 있다. 이와 같이 가압편(140)의 양측면이 경사면으로 이루어지면 협소한 기판 공간에서 케필러리(20)의 와이어 본딩 영역과 이동경로를 최대한 확보할 수 있으므로 신뢰성 있는 와이어(13-3)의 형성을 통해 볼(13-1)과 넥(13-2), 그리고 스티치(13-4)의 내구성을 확보할 수 있다. For example, the
바람직하게는, 상기 제2구획편(120)에 대하여 가압편(140)의 측면이 약 70˚의 경사 각도로 형성될 수 있고, 단순 평면이 아닌 내측으로 오목한 곡면 형상으로 이루어져 공중에서의 케필러리의 이동 공간을 추가 확보할 수도 있다.Preferably, the side surface of the
또한, 본 발명은 상기 작업영역(101)의 내주면이 외측으로 상향 대각의 경사면으로 이루어지고, 상기 제1구획편(110)은 수직단면이 삼각형상으로 이루어져 상기 고밀도 초박형 엘이디 기판(10)에 마련되는 복수개의 발광소자 패키지(12) 중에서 작업영역의 내주면과 대향하는 최외측의 발광소자 패키지(12)에 대한 와이어 본딩 작업이 이루어질 때 상기 캐필러리의 와이어 본딩 영역 및 이동 경로를 확보하도록 할 수 있다. In addition, in the present invention, the inner circumferential surface of the working
이상에서 설명된 본 발명은 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention described above is merely exemplary, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, it will be well understood that the present invention is not limited to the form mentioned in the above detailed description. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims. Moreover, it is to be understood that the present invention covers all modifications, equivalents and substitutions falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
10 : 엘이디 기판
11 : 리드 프레임 스트립
12 : 발광소자 패키지
12-1 : 엘이디 칩 12-2 : 리드 프레임
13 : 와이어 루프
13-1 : 볼 13-2 : 넥
13-3 : 와이어 13-4 : 스티치
20 : 캐필러리(capillary)
100 : 와이어 본더 클램프
101 : 플랜지 102 : 작업영역
110 : 제1구획편
120 : 제2구획편
130 : 윈도우
140 : 가압편10: LED board
11: Lead frame strip
12: light emitting device package
12-1: LED chip 12-2: lead frame
13 : wire loop
13-1: Ball 13-2: Neck
13-3: wire 13-4: stitch
20: capillary (capillary)
100: wire bonder clamp
101: flange 102: work area
110:
120:
130: window
140: press piece
Claims (3)
상기 작업영역의 내부 중앙에 길이방향을 따라 형성되는 제1구획편(110)과;
상기 제1구획편의 양측 모서리로부터 폭 방향을 따라 일정 간격으로 배열형성되는 복수개의 제2구획편(120)과;
상기 작업영역 내부에서 상기 제1구획편과 제2구획편에 의해 격자 형태로 배열형성되며 상기 리드 프레임 스트립과 대응되는 폭과 길이를 갖는 복수개의 윈도우(130)와;
상기 윈도우 내부에서 와이어 본딩 영역 주변과 접촉되는 면적을 증대시켜 와이어 본딩 작업시 엘이디 기판의 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 작업영역의 양측 폭방향측 내주면 및 상기 제2구획편의 양측 모서리로부터 일정한 간격을 두고 복수개로 돌출형성되되, 상기 엘이디 기판의 이송 과정에서 발생하는 편차에 의한 클램핑 상실구간 및 본딩영역 침범 구간을 최소화하여 와이어 본딩 작업을 위한 작업공간을 확보하면서 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 마주보는 면에서 서로 엇갈리게 배치되는 가압편(140);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 초박형 엘이디 기판용 와이어 본더 클램프.
A plurality of light emitting device packages are seated on a high-density ultra-thin LED substrate in which a plurality of lead frame strips arranged in a matrix or in a line are provided at regular intervals, and between the LED chip of the light emitting device package and the lead frame by a capillary. In the wire bonder clamp in which an open work area is formed on one side so that a wire bonding operation is made,
a first partition piece 110 formed along the longitudinal direction in the inner center of the work area;
a plurality of second partition pieces 120 arranged at regular intervals along the width direction from both edges of the first partition piece;
a plurality of windows 130 arranged in a lattice form by the first and second partitions in the working area and having widths and lengths corresponding to the lead frame strips;
In order to increase the area in contact with the periphery of the wire bonding area inside the window to prevent shaking of the LED substrate during wire bonding, the inner circumferential surface on both sides of the width direction of the work area and both edges of the second compartment are spaced apart from each other. A plurality of protruding surfaces are provided so that a working space for wire bonding can be secured and reliability of work can be improved by minimizing a clamping loss section and a section encroaching on the bonding area due to deviations occurring in the process of transferring the LED substrate. The pressing pieces 140 that are alternately arranged in the;
A wire bonder clamp for a high-density ultra-thin LED substrate comprising a.
The wire bonder clamp of claim 1, wherein both sides of the pressing piece are inclined surfaces to secure the wire bonding area and movement path of the capillary.
The method according to claim 1, wherein the wire bonding area and movement path of the capillary can be secured during wire bonding of the light emitting device package located at the outermost among the plurality of light emitting device packages constituting the lead frame strip. A wire bonder clamp for high-density ultra-thin LED substrates, characterized in that the inner peripheral surface of the region is formed as an upwardly diagonal inclined surface to the outside, and the first compartment has a vertical cross-section in a triangular shape.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102440951B1 (en) * | 2022-02-11 | 2022-09-07 | 유니레즈(주) | Die bonder clamp for high-density ultra-thin LED leadframe |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04186851A (en) * | 1990-11-21 | 1992-07-03 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame retainer for bonding equipment |
KR20010010456A (en) | 1999-07-20 | 2001-02-15 | 윤종용 | Transmitting and receiving system of multi carrier-code division multiple access atm system |
KR20090010318U (en) | 2008-04-07 | 2009-10-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | Wire bonding kit for fabricating semiconductor package |
KR20100093983A (en) | 2009-02-17 | 2010-08-26 | 엘지이노텍 주식회사 | Fixing apparatus for lead frame |
CN206148401U (en) * | 2016-09-30 | 2017-05-03 | 乐依文半导体(东莞)有限公司 | Bonding wire device and single -row pressure form clamp plate thereof |
-
2021
- 2021-08-20 KR KR1020210110218A patent/KR102340011B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04186851A (en) * | 1990-11-21 | 1992-07-03 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame retainer for bonding equipment |
KR20010010456A (en) | 1999-07-20 | 2001-02-15 | 윤종용 | Transmitting and receiving system of multi carrier-code division multiple access atm system |
KR20090010318U (en) | 2008-04-07 | 2009-10-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | Wire bonding kit for fabricating semiconductor package |
KR20100093983A (en) | 2009-02-17 | 2010-08-26 | 엘지이노텍 주식회사 | Fixing apparatus for lead frame |
CN206148401U (en) * | 2016-09-30 | 2017-05-03 | 乐依文半导体(东莞)有限公司 | Bonding wire device and single -row pressure form clamp plate thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102440951B1 (en) * | 2022-02-11 | 2022-09-07 | 유니레즈(주) | Die bonder clamp for high-density ultra-thin LED leadframe |
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