KR102338068B1

KR102338068B1 - Dry vacuum pump with abatement function

Info

Publication number: KR102338068B1
Application number: KR1020170070648A
Authority: KR
Inventors: 나오야 요시다; 야스테루 아오키; 가즈마사 호소타니; 신이치 세키구치; 데츠오 고마이
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2016-06-08
Filing date: 2017-06-07
Publication date: 2021-12-10
Also published as: TW201802357A; JP2017223215A; TWI701386B; KR20170138946A; JP6785695B2

Abstract

본 발명은 메인터넌스가 용이한 제해 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
툴(200)로부터의 배출 가스를 진공 배기하는 건식 펌프(1)와, 상기 건식 펌프(1)에 의해 진공 배기된 배출 가스를 제해하는 제해부(2)와, 상기 건식 펌프(1)와 상기 제해부(2)를 착탈 불가능하게 직접 연결하는 유로(3)를 구비하는 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)가 제공된다. An object of the present invention is to provide a removal system that is easy to maintain.
A dry pump (1) for evacuating the exhaust gas from the tool (200), a releasing unit (2) for removing the exhaust gas evacuated by the dry pump (1), the dry pump (1) and the There is provided a dry vacuum pump (100) with a release function having a flow path (3) directly connecting the release part (2) in a non-removable manner.

Description

Dry vacuum pump with evacuation function {DRY VACUUM PUMP WITH ABATEMENT FUNCTION}

본 기술은, 건식 펌프를 구비하고, 배출 가스를 무해화하는 제해(除害) 기능 부착 건식 진공 펌프에 관한 것이다. The present technology relates to a dry vacuum pump with a detoxifying function that includes a dry pump and detoxifies exhaust gas.

반도체 디바이스, 액정 패널, 태양 전지 등의 제조 프로세스에서는, 진공으로 배기된 툴(프로세스 챔버) 내에 프로세스 가스를 도입하여, 에칭 처리나 CVD 처리 등의 각종 처리를 행하고 있다. 또한, 이러한 툴은 클리닝 가스를 흘림으로써 정기적으로 세정된다. In a manufacturing process of a semiconductor device, a liquid crystal panel, a solar cell, etc., a process gas is introduce|transduced into the tool (process chamber) evacuated by vacuum, and various processes, such as an etching process and a CVD process, are performed. In addition, these tools are regularly cleaned by flowing a cleaning gas.

이들 프로세스 가스나 클리닝 가스의 배출 가스는, 실란계 가스(SiH₄, TEOS 등), 할로겐계 가스(NF₃, ClF₃, SF₆, CHF₃ 등), PFC 가스(CF₄, C₂F₆ 등) 등을 포함하고 있어 유해하기 때문에, 대기에 그대로 방출하는 것은 바람직하지 않다. 따라서, 이들 배출 가스를 툴의 하류측에 설치된 제해 시스템에 의해 무해화할 필요가 있다. Exhaust gases of these process gases and cleaning gases include silane-based gases (SiH ₄ , TEOS, etc.), halogen-based gases (NF ₃ , ClF ₃ , SF ₆ , CHF _{3 ,} etc.), and PFC gases (CF ₄ , C ₂ F _{6 ).} etc.), etc., and it is harmful, so it is not preferable to release it to the atmosphere as it is. Therefore, it is necessary to detoxify these exhaust gases by a detoxification system provided on the downstream side of the tool.

도 20은, 제해 시스템(90)의 구성예를 나타내는 개략 블럭도이다. 제해 시스템(90)은 툴(91)로부터의 배출 가스(프로세스 가스나 클리닝 가스)를 제해하는 것이며, 부스터 펌프(92)(BP) 및 메인 펌프(93)(MP)를 포함하는 건식 펌프(94), 제해부(95) 등으로 구성되고, 건식 펌프(94)에 의해 흡인된 배출 가스가 제해부(95)로 유도된다. 20 is a schematic block diagram showing a configuration example of the removal system 90 . The bleed system 90 is for venting the exhaust gas (process gas or cleaning gas) from the tool 91 , and a dry pump 94 including a booster pump 92 (BP) and a main pump 93 (MP). ), the dismantling unit 95 , and the like, and the exhaust gas sucked by the dry pump 94 is guided to the discharging unit 95 .

건식 펌프(94)에서의 메인 펌프(93)와 제해부(95)는, 긴 배관(96)으로 접속된다. 배관(96)은 접속 부재(96a)에 의해 건식 펌프(94)에 접속되고, 접속 부재(96b)에 의해 제해부(95)에 접속된다. 배관(96) 내의 배출 가스 농도를 폭발 한도 이하로 하기 위해, 배출 가스를 희석하기 위한 질소 가스(바람직하게는 고온 N₂)가 배관(96) 내에 도입된다. 또한, 배관(96)이 길고, 배관(96) 내에서 배출 가스의 온도가 저하되어 승화 생성물이 석출되어 버릴 가능성이 있기 때문에, 히터(97)를 부착하여 배관(96)을 고온화하고 있다. The main pump 93 and the release part 95 in the dry pump 94 are connected by a long pipe 96 . The pipe 96 is connected to the dry pump 94 by a connecting member 96a, and is connected to the releasing portion 95 by a connecting member 96b. In order to make the exhaust gas concentration in the pipe 96 below the explosion limit, nitrogen gas (preferably high temperature N ₂ ) for diluting the exhaust gas is introduced into the pipe 96 . In addition, since the pipe 96 is long and there is a possibility that the temperature of the exhaust gas decreases in the pipe 96 and a sublimation product is precipitated, a heater 97 is attached to increase the temperature of the pipe 96 .

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평9-861호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 9-861

건식 펌프(94)는, 프로세스 가스에 의해 내부에 생성물이 석출되거나, 클리닝 가스에 의해 부식되거나 하는 경우가 있기 때문에, 정기적인 메인터넌스가 필요하다. 툴(91)의 다운타임을 최대한 줄이기 위해서는, 가동중인 메인 펌프(93)를 동일한 형식의 예비 펌프와 교환하는, 소위 스왑 메인터넌스를 행하는 것이 바람직하다. The dry pump 94 requires regular maintenance because a product may be deposited therein by the process gas or may be corroded by the cleaning gas. In order to minimize the downtime of the tool 91, it is preferable to perform so-called swap maintenance, in which the main pump 93 in operation is replaced with a spare pump of the same type.

그러나, 통상(도 20)의 제해 시스템은 대형이고 고정되어 있어, 스왑 메인터넌스는 어렵다.However, since the normal removal system (FIG. 20) is large and fixed, swap maintenance is difficult.

본 개시는 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 본 개시의 과제는, 메인터넌스가 용이한 제해 기능 부착 건식 진공 펌프를 제공하는 것이다. The present disclosure has been made in view of such a problem, and an object of the present disclosure is to provide a dry vacuum pump with a removing function that is easy to maintain.

본 개시의 일양태에 의하면, 툴로부터의 배출 가스를 진공 배기하는 하나 또는 복수의 건식 펌프에, 상기 건식 펌프에 의해 진공 배기된 배출 가스를 무해화하는 제해부를 구비한, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프가 제공된다. 이것에 의해, 제해부도 소위 스왑 메인터넌스를 행할 수 있다. According to one aspect of the present disclosure, one or a plurality of dry pumps for evacuating exhaust gas from a tool are provided with a detoxifying unit for detoxifying the exhaust gas evacuated by the dry pump, dry vacuum with a detoxifying function. A pump is provided. Thereby, the dismantling unit can also perform so-called swap maintenance.

또한, 상기 건식 펌프와 상기 제해부를 착탈 불가능하게 직접 연결하는 유로를 구비하는 것에 의해, 가스의 누설에 대하여 매우 안전한 접속 방법이 제공된다. In addition, by providing a flow path for directly connecting the dry pump and the release unit in a non-removable manner, a very safe connection method against gas leakage is provided.

또한, 건식 펌프와 제해부가 직접 연결되기 때문에 메인터넌스가 용이해진다. In addition, since the dry pump and the dismantling unit are directly connected, maintenance is facilitated.

상기 건식 펌프는, 그 측면에 배기구가 설치되고, 상기 제해부는, 상기 배출 가스를 연소시키는 연소부와, 상기 연소부에 상기 배출 가스를 도입하는 노즐을 가지며, 상기 유로는 수평 방향으로 연장되어, 일단이 상기 건식 펌프의 배기구에 접속되고, 타단이 상기 제해부의 노즐에 접속되어도 좋다. The dry pump has an exhaust port installed on a side thereof, and the removal unit includes a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas to the combustion unit, the flow path extending in a horizontal direction , one end may be connected to the exhaust port of the dry pump, and the other end may be connected to the nozzle of the dismantling unit.

이러한 접속에 의해 유로를 짧게 할 수 있다. The flow path can be shortened by such a connection.

상기 건식 펌프는, 그 상면에 배기구가 설치되고, 상기 제해부는, 상기 배출 가스를 연소시키는 연소부와, 상기 연소부에 상기 배출 가스를 도입하는 노즐을 가지며, 상기 유로는 수직 부분 및 수평 부분을 갖는 L자형이며, 상기 수직 부분의 하단이 상기 건식 펌프의 배기구에 접속되고, 상기 수평 부분의 일단이 상기 제해부의 노즐에 접속되어도 좋다. The dry pump has an exhaust port provided on its upper surface, and the removal unit includes a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas to the combustion unit, wherein the flow path includes a vertical portion and a horizontal portion may have an L-shape, wherein the lower end of the vertical portion is connected to the exhaust port of the dry pump, and one end of the horizontal portion is connected to the nozzle of the release unit.

처리해야 할 배출 가스의 양이 많을수록 연소부의 높이가 필요하게 되지만, 이러한 접속에 의해, 건식 펌프의 높이만큼 연소부의 높이를 벌 수 있어, 제해 기능 부착 진공 펌프 전체의 높이를 작게 할 수 있다. As the amount of exhaust gas to be treated increases, the height of the combustion unit is required. However, with this connection, the height of the combustion unit can be increased by the height of the dry pump, and the overall height of the vacuum pump with a detoxification function can be made small.

상기 건식 펌프는, 그 하면에 배기구가 설치되고, 상기 제해부는, 상기 배출 가스를 연소시키는 연소부와, 상기 연소부에 상기 배출 가스를 도입하는 노즐을 가지며, 상기 유로는 수직 부분 및 수평 부분을 갖는 L자형이며, 상기 수직 부분의 상단이 상기 건식 펌프의 배기구에 접속되고, 상기 수평 부분의 일단이 상기 제해부의 노즐에 접속되어도 좋다. In the dry pump, an exhaust port is provided on a lower surface thereof, and the removal unit includes a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas to the combustion unit, wherein the flow path includes a vertical portion and a horizontal portion may have an L-shape, wherein an upper end of the vertical portion is connected to the exhaust port of the dry pump, and one end of the horizontal portion is connected to the nozzle of the release unit.

제해부가 처리해야 할 배출 가스의 양이 그다지 크지 않아도 좋은 경우, 이러한 접속도 가능하다. This connection is also possible, provided that the amount of exhaust gas to be treated by the dismantling unit does not need to be very large.

상기 연소부는 원통형이며, 상기 노즐은 상기 연소부의 측면에 설치되고, 상기 연소부의 접선 방향으로 상기 배출 가스를 도입해도 좋다. The combustion part may have a cylindrical shape, and the nozzle may be provided on a side surface of the combustion part, and the exhaust gas may be introduced in a tangential direction to the combustion part.

이에 따라, 효율적으로 배출 가스를 무해화할 수 있다. Accordingly, it is possible to effectively detoxify the exhaust gas.

상기 건식 펌프는, 스크류형 펌프 또는 루트형 펌프이어도 좋다. The dry pump may be a screw-type pump or a root-type pump.

제해 기능 부착 건식 진공 펌프는, 상기 건식 펌프 및 상기 제해부를 이동 가능한 모듈로 하고, 스왑 메인터넌스가 가능한 것이 바람직하다. It is preferable that the dry vacuum pump with a release function uses the said dry pump and the said release part as a movable module, and that swap maintenance is possible.

상기 건식 펌프는, 상기 툴과 접속되는 제1 펌프(예컨대 부스터 펌프)와, 상기 제1 펌프와 착탈 가능하게 접속되고, 또한, 상기 유로에 의해 상기 제해부와 착탈 불가능하게 접속되는 제2 펌프(예컨대 메인 펌프)를 가져도 좋다. The dry pump includes a first pump (eg, a booster pump) connected to the tool, a second pump detachably connected to the first pump, and detachably connected to the release unit by the flow path ( For example, a main pump) may be provided.

또한, 상기 제해부는, 상기 배출 가스를 연소시키는 2 이상의 연소부와, 상기 2 이상의 연소부 중 어느 하나를 상기 건식 펌프와 접속하는 전환 수단을 가져도 좋다. In addition, the removal unit may include two or more combustion units for burning the exhaust gas, and switching means for connecting any one of the two or more combustion units to the dry pump.

제해 기능 부착 건식 진공 펌프가 건식 펌프 및 제해부를 구비하고, 이들이 직접 연결되기 때문에, 제해부의 메인터넌스가 용이해진다. 이것에 의해, 사용자 공장에서 건식 펌프와 제해부 사이의 배관을 제거하는 위험한 작업을 회피할 수 있다. Since the dry vacuum pump with a release function is equipped with a dry pump and a release part, and these are directly connected, the maintenance of a release part becomes easy. Thereby, it is possible to avoid the dangerous operation of removing the pipe between the dry pump and the dismantling unit in the user's factory.

도 1은 일실시형태에 관한 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 개략 구성을 나타내는 블럭도.
도 1A는 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)로부터 제거된 메인 펌프(1b), 제해부(2) 및 전체 제어반(4)을 나타내는 도면.
도 2A는 제해부(2)의 주요부인 연소부(20)의 단면도.
도 2B는 도 2A의 A-A선 단면도.
도 2C는 툴(200)과 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 전체 제어반(4)의 사이에서 행해지는 정보의 입출력과, 전체 제어반(4)과 건식 펌프(1), 희석용 N₂ 유닛(7) 및 제해부(2)와의 사이에서 행해지는 각종 제어를 설명하는 모식도.
도 3은 메인 펌프(1b)의 일례인 스크류형 펌프(10)의 수직 방향 단면도.
도 4는 스크류형 펌프(10)의 수평 방향 단면도.
도 5는 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제1 접속예를 나타내는 모식도.
도 6은 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제2 접속예를 나타내는 모식도.
도 7은 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제3 접속예를 나타내는 모식도.
도 8은 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제4 접속예를 나타내는 모식도.
도 9는 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제5 접속예를 나타내는 모식도.
도 10은 메인 펌프(1b)의 다른 예인 루트형 펌프(40)의 수직 방향 단면도.
도 11은 루트형 펌프(40)의 수평 방향 단면도.
도 12는 도 11에서의 B-B 단면도.
도 13은 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제1 접속예를 나타내는 모식도.
도 14는 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제2 접속예를 나타내는 모식도.
도 15는 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제3 접속예를 나타내는 모식도.
도 16은 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제4 접속예를 나타내는 모식도.
도 17은 도 1의 제1 변형예를 나타내는 블럭도.
도 18은 도 1의 제2 변형예를 나타내는 블럭도.
도 19는 도 1의 제3 변형예를 나타내는 블럭도.
도 20은 제해 시스템(90)의 구성예를 나타내는 개략 블럭도. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a dry vacuum pump 100 with a release function according to an embodiment.
Fig. 1A is a view showing the main pump 1b, the release section 2 and the entire control panel 4 removed from the dry vacuum pump 100 with a release function.
Fig. 2A is a cross-sectional view of a combustion unit 20, which is a main part of the dismantling unit 2;
Fig. 2B is a cross-sectional view taken along line AA of Fig. 2A;
2C shows input/output of information performed between the tool 200 and the overall control panel 4 of the dry vacuum pump 100 with a removal function, the overall control panel 4, the dry pump 1, and the N ₂ unit for dilution. (7) and the schematic diagram explaining the various control performed between the dismantling part (2).
3 is a vertical cross-sectional view of a screw-type pump 10 that is an example of the main pump 1b.
4 is a horizontal cross-sectional view of the screw-type pump (10).
5 is a schematic diagram showing a first example of connection between the screw-type pump 10 and the combustion unit 20;
6 is a schematic diagram showing a second connection example of the screw-type pump 10 and the combustion unit 20;
7 is a schematic diagram showing a third example of connection between the screw-type pump 10 and the combustion unit 20;
8 is a schematic diagram showing a fourth connection example of the screw-type pump 10 and the combustion unit 20;
9 is a schematic diagram showing a fifth connection example of the screw-type pump 10 and the combustion unit 20;
Fig. 10 is a vertical cross-sectional view of a root-type pump 40 that is another example of the main pump 1b.
11 is a horizontal cross-sectional view of the root-type pump 40;
Fig. 12 is a cross-sectional view taken along line BB in Fig. 11;
13 is a schematic diagram showing a first connection example of the root pump 40 and the combustion unit 20;
14 is a schematic diagram showing a second connection example of the root pump 40 and the combustion unit 20;
15 is a schematic diagram showing a third example of connection between the root pump 40 and the combustion unit 20;
Fig. 16 is a schematic diagram showing a fourth example of connection between the root pump 40 and the combustion unit 20;
Fig. 17 is a block diagram showing a first modification of Fig. 1;
Fig. 18 is a block diagram showing a second modification of Fig. 1;
Fig. 19 is a block diagram showing a third modification of Fig. 1;
Fig. 20 is a schematic block diagram showing a configuration example of the removal system 90;

이하, 실시형태에 관해 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment is demonstrated concretely, referring drawings.

도 1은, 일실시형태에 관한 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다. 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)는, 툴(200)로부터의 배출 가스를 제해하는 것이며, 인버터(INV)가 각각 설치되는 부스터 펌프(1a)(BP) 및 메인 펌프(1b)(MP)를 포함하는 건식 펌프(1)와, 제해부(2)와, 유로(3)와, 전체 제어반(4)과, 하프레임(5a)과, 상프레임(5b)을 구비하고, 이들이 부호101로 나타낸 바와 같이 패키지화된다. 툴(200)이란, 예컨대 반도체 디바이스, 액정 패널, 태양 전지의 제조 장치이다. 배출 가스란, 툴(200)에서 이용되는 프로세스 가스나, 세정용의 클리닝 가스 등이다. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a dry vacuum pump 100 with a release function according to an embodiment. The dry vacuum pump 100 with a removal function removes the exhaust gas from the tool 200, and the booster pump 1a (BP) and the main pump 1b (MP) to which inverter INV are respectively installed. It includes a dry pump 1, a disengagement unit 2, a flow path 3, an overall control panel 4, a lower frame 5a, and an upper frame 5b, which are indicated by reference numeral 101. packaged as The tool 200 is, for example, an apparatus for manufacturing a semiconductor device, a liquid crystal panel, or a solar cell. The exhaust gas is a process gas used in the tool 200 , a cleaning gas for cleaning, or the like.

툴(200)로부터의 배출 가스는, 부스터 펌프(1a) 및 메인 펌프(1b)에 의해 진공 배기되어, 유로(3)를 통해 제해부(2)로 유도된다. 구체적으로는, 툴(200)과 접속된 부스터 펌프(1a)는 대용량의 펌프이며, 대유량의 배출 가스를 진공 배기할 수 있다. 부스터 펌프(1a)의 하류에 설치되는 메인 펌프(1b)는 부스터 펌프(1a)로부터의 배출 가스를 각 단에서 압축ㆍ배기하여 압력을 낮춰, 진공도를 확보한다. The exhaust gas from the tool 200 is evacuated by the booster pump 1a and the main pump 1b, and is guided to the eliminator 2 through the flow path 3 . Specifically, the booster pump 1a connected to the tool 200 is a large-capacity pump, and can evacuate a large-flow amount of exhaust gas. The main pump 1b installed downstream of the booster pump 1a compresses and exhausts the exhaust gas from the booster pump 1a at each stage, lowers the pressure, and secures the vacuum degree.

제해부(2)는, 연소부(20), 탱크(25) 및 수세탑(26) 등으로 구성되며, 배출 가스를 무해화한다. 구체적으로는 연소부(20)는, 예컨대 배출 가스에 공기나 산소를 가하여 연소시킴으로써, 배출 가스에 포함되는 유독 가스나 가연성 가스를 연소시킨다. 연소 후의 배출 가스는 물이 들어 있는 탱크(25)로 유도되어 냉각된다. 그 후, 수지제 부재가 충전된 수세탑(26)에서, 배출 가스에 물이 분사되어 수용성 가스가 제거된다. 무해화된 가스는 사용자 공장의 배기 라인으로 배기된다. The detoxification unit 2 includes a combustion unit 20 , a tank 25 , a flush tower 26 , and the like, and detoxifies the exhaust gas. Specifically, the combustion unit 20 burns the poisonous gas or combustible gas contained in the exhaust gas, for example, by adding air or oxygen to the exhaust gas and burning it. The exhaust gas after combustion is guided to a tank 25 containing water and cooled. Thereafter, in the water washing tower 26 filled with the resin member, water is sprayed onto the exhaust gas to remove the water-soluble gas. The detoxified gas is exhausted into the exhaust line of the user's plant.

전체 제어반(4)은, 부스터 펌프(1a), 메인 펌프(1b) 및 제해부(2)를 운전 제어한다. 도시하지 않지만, 부스터 펌프(1a), 메인 펌프(1b) 및 제해부(2)에는, 운전에 필요한 전원, 냉각수, 질소, 연료 등의 유틸리티를 접속하는 포트(도시하지 않음)가 설치된다.The overall control panel 4 operates and controls the booster pump 1a, the main pump 1b, and the release unit 2 . Although not shown, ports (not shown) for connecting utilities such as power supply, cooling water, nitrogen, and fuel required for operation are provided in the booster pump 1a, the main pump 1b, and the release unit 2 .

본 실시형태에 있어서, 부스터 펌프(1a)와 메인 펌프(1b)는 배관(8)으로 접속되지만, 부스터 펌프(1a)측의 배관과 메인 펌프(1b)측의 배관은, 예컨대 클램프에 의해 접속되고 착탈 가능하다. 한편, 메인 펌프(1b)와 제해부(2)(에서의 연소부(20))는, 이음새 등은 없고(이음새 없음) 유로(3)에 의해 직접 연결된다. 즉, 메인 펌프(1b), 유로(3) 및 제해부(2)는 모듈로서 일체로 되어 있어 착탈 불가능하며, 제거할 수 없다(혹은, 적어도 사용자 공장에서 제거하는 것을 상정하지 않는다). In this embodiment, the booster pump 1a and the main pump 1b are connected by a pipe 8, but the pipe on the side of the booster pump 1a and the pipe on the side of the main pump 1b are connected by, for example, a clamp. and is removable On the other hand, the main pump 1b and the removal part 2 (the combustion part 20 in) are connected directly by the flow path 3 without a joint etc. (there is no joint). That is, the main pump 1b, the flow path 3, and the release unit 2 are integrally formed as a module and cannot be detached and removed (or at least it is not assumed to be removed at a user's factory).

일체가 된 메인 펌프(1b) 및 제해부(2)(및 그 전체 제어반(4))는 이동 가능한 모듈이 되어, 예컨대 하프레임(5a)에 설치된다. 그리고, 이들 및 상기 포트가 프레임(6) 내에 수납된다. 하프레임(5a)에는 캐스터가 설치되어, 용이하게 운반할 수 있게 된다. 또한, 상프레임(5b)에 부스터 펌프(1a)가 설치된다. 유틸리티류를 제외하면, 하프레임(5a) 및 상프레임(5b)과 외부의 접속은, 부스터 펌프(1a)의 접속(진공 배관)과, 무해화된 배출 가스를 배기하기 위한 접속뿐이다. The integrated main pump 1b and the release unit 2 (and the entire control panel 4 thereof) become a movable module, and are installed, for example, in the lower frame 5a. And, these and the said port are accommodated in the frame (6). Casters are installed on the lower frame 5a, so that it can be easily transported. In addition, a booster pump 1a is installed in the upper frame 5b. Except for utilities, the connection between the lower frame 5a and the upper frame 5b and the outside is only the connection (vacuum pipe) of the booster pump 1a and the connection for exhausting the detoxified exhaust gas.

이러한 구성으로 함으로써, 제해부(2)의 스왑 메인터넌스가 용이해진다. 즉, 부스터 펌프(1a)를 메인 펌프(1b)로부터 제거하고, 하프레임(5a) 별로 메인터넌스 대상의 메인 펌프(1b) 및 제해부(2)를 반출한다(도 1A 참조). 그리고, 예비(혹은 교환용)의 메인 펌프(1b) 및 제해부(2)가 수납된 별도의 하프레임(5a)을 반입하고, 부스터 펌프(1a)와 접속한다. 이에 따라, 툴(200)의 다운타임을 최대한 줄일 수 있다. 또한, 사용자 공장에서 건식 펌프(1)와 제해부(2)를 제거하는 위험한 작업을 회피할 수 있다. By setting it as such a structure, swap maintenance of the disengagement part 2 becomes easy. That is, the booster pump 1a is removed from the main pump 1b, and the main pump 1b and the removal unit 2 to be maintained are carried out for each lower frame 5a (refer to FIG. 1A). Then, a separate lower frame 5a in which the spare (or replacement) main pump 1b and the release unit 2 are accommodated is brought in, and is connected to the booster pump 1a. Accordingly, the downtime of the tool 200 can be reduced as much as possible. In addition, it is possible to avoid the dangerous operation of removing the dry pump 1 and the dismantling part 2 in the user's factory.

이와 같이, 건식 펌프(1)(에서의 메인 펌프(1b))와 제해부(2)를 직접 연결함으로써, 다음과 같은 장점도 있다. 양자간의 거리가 짧기 때문에, 유로(3) 내에서의 배출 가스의 온도 저하가 거의 없어, 도 20에 나타낸 바와 같은 히터(97)를 설치하지 않아도 좋다. 그 때문에, 히터 시공, 운전 비용을 삭감할 수 있다. 또한, 배출 가스 농도를 낮추기 위한 질소 가스를 도입할 필요도 없어, 제해부(2)에서 처리해야 할 가스의 총량이 감소하여 제해부(2)를 소형화할 수 있고, 또한, 무해화에 필요한 산소 등의 연료도 삭감할 수 있다. 또한, 유로(3)의 직경을 작게 할 수도 있다. 또한, 이음새가 없기 때문에 배출 가스가 누설될 위험성도 저감할 수 있다. As such, by directly connecting the dry pump 1 (in the main pump 1b) and the release unit 2, there are also advantages as follows. Since the distance between them is short, the temperature of the exhaust gas in the flow path 3 is hardly lowered, and the heater 97 as shown in Fig. 20 does not need to be provided. Therefore, heater construction and operation costs can be reduced. In addition, there is no need to introduce nitrogen gas for lowering the exhaust gas concentration, the total amount of gas to be treated in the detoxifying unit 2 is reduced, so that the detoxifying unit 2 can be downsized, and oxygen required for detoxification fuel can also be reduced. Moreover, the diameter of the flow path 3 can also be made small. Moreover, since there is no seam, the risk of exhaust gas leaking can also be reduced.

이하, 제해부(2) 및 메인 펌프(1b)의 구체적인 구성예 및 접속예를 설명한다. Hereinafter, a specific configuration example and a connection example of the release unit 2 and the main pump 1b will be described.

도 2A는, 제해부(2)의 주요부인 연소부(20)의 단면도이다. 연소부(20)는, 상단이 폐색되고, 하단이 개구된 원통형으로 이루어진다. 연소부(20)의 상단부 근방에서, 연료(연료 가스)와, 지연성 가스(산소 함유 가스)와, 건식 펌프(1)에 의해 흡인된 툴(200)로부터의 배출 가스가 도입되도록 이루어진다. 즉, 연소부(20)의 상부가, 도 1에서의 메인 펌프(1b)와 유로(3)를 통해 직접 연결된다. 또한, 연소부(20)의 상단부에는 점화용의 파일럿 버너(22)가 설치되고, 연료 및 공기가 공급되도록 이루어진다. 또, 실제로는 연소부(20)의 하측에 세정부 등이 설치되지만, 도시를 생략했다. 2A is a cross-sectional view of the combustion unit 20 which is a main part of the dismantling unit 2 . The combustion unit 20 has a cylindrical shape with an upper end closed and an open lower end. In the vicinity of the upper end of the combustion unit 20 , fuel (fuel gas), retardation gas (oxygen-containing gas), and exhaust gas from the tool 200 sucked by the dry pump 1 are made to be introduced. That is, the upper part of the combustion unit 20 is directly connected to the main pump 1b in FIG. 1 through the flow path 3 . In addition, a pilot burner 22 for ignition is installed at the upper end of the combustion unit 20, and fuel and air are supplied. In addition, although a washing|cleaning part etc. are actually provided below the combustion part 20, illustration is abbreviate|omitted.

도 2B는, 도 2A의 A-A선 단면도이다. 도시와 같이, 연료를 취입하는 연료용 노즐(23a)과, 지연성 가스를 취입하는 지연성 가스용 노즐(23b)과, 유로(3)와 접속되어 배출 가스를 취입하는 배출 가스용 노즐(23c)이 연소부(20)의 내주면의 측면에서 접선 방향을 향해 설치된다. 연료용 노즐(23a), 지연성 가스용 노즐(23b) 및 배출 가스용 노즐(23c)은, 원통형의 연소부(20)의 축선에 직교하는 동일 평면상에 위치하고, 환언하면, 3개의 노즐의 연소실 내주면측의 개구의 일부가 동일 평면상에 위치한다. Fig. 2B is a cross-sectional view taken along line A-A of Fig. 2A. As shown in the figure, the nozzle for fuel 23a for blowing in fuel, the nozzle 23b for retarding gas for blowing in the retardant gas, and the nozzle 23c for exhaust gas which is connected to the flow path 3 and blows the exhaust gas. ) is installed in the tangential direction from the side surface of the inner circumferential surface of the combustion unit 20 . The fuel nozzle 23a, the delayed gas nozzle 23b, and the exhaust gas nozzle 23c are located on the same plane orthogonal to the axis of the cylindrical combustion part 20, in other words, the three nozzles A part of the opening on the inner peripheral surface side of the combustion chamber is located on the same plane.

도 2A에 나타낸 바와 같이, 연소부(20)에는, 연료, 지연성 가스 및 배출 가스의 취입 위치의 약간 하측의 위치에, 연소부(20)의 내벽면에 젖은 벽(수막)을 형성하기 위한 물을 공급하는 물공급 노즐(24)이 설치된다. As shown in Fig. 2A, in the combustion unit 20, a wet wall (water film) is formed on the inner wall surface of the combustion unit 20 at a position slightly below the injection position of the fuel, the retardant gas, and the exhaust gas. A water supply nozzle 24 for supplying water is installed.

도 2A 및 도 2B에 나타낸 바와 같이 구성된 연소부(20)에 있어서, 연료용 노즐(23a), 지연성 가스용 노즐(23b) 및 배출 가스용 노즐(23c)로부터, 각각 연료, 지연성 가스 및 배출 가스를 연소부(20)의 내주면의 접선 방향을 향해, 화염의 연소 속도 이상의 유속으로 취입한다. 이에 따라, 연소부(20)의 내벽으로부터 떠 있는 3종 혼합의 원통형 혼합 화염이 형성된다. 원통형 혼합 화염은 연소부(20)의 축선 방향을 따라서 형성된다. In the combustion unit 20 configured as shown in Figs. 2A and 2B, the fuel, the retardant gas and The exhaust gas is blown in at a flow rate equal to or higher than the combustion rate of the flame toward the tangential direction of the inner peripheral surface of the combustion unit 20 . Accordingly, a cylindrical mixing flame of three types floating from the inner wall of the combustion unit 20 is formed. A cylindrical mixing flame is formed along the axial direction of the combustion unit 20 .

3종의 가스를 함께 접선 방향으로 취입함으로써, 선회 원심력에 의해 원통형 혼합 화염의 외측은 온도가 낮고 무거운 미연의 3종 혼합 가스, 내측은 온도가 높고 가벼운 3종 혼합의 연소 후 가스의 분포가 형성된다. 따라서, 원통형 혼합 화염은, 온도가 낮은 미연의 3종 혼합 가스에 덮힌 자기 단열된 상태가 되기 때문에, 방열에 의한 온도 저하가 없고, 연소 효율이 높은 가스 처리가 행해진다. By blowing the three types of gases together in the tangential direction, the distribution of gases after combustion of a low temperature and heavy unburned mixed gas on the outside of the cylindrical mixed flame and a high temperature and light mixture of 3 types on the inside is formed by the turning centrifugal force. do. Accordingly, since the cylindrical mixed flame is in a self-insulated state covered with unburned three kinds of mixed gas having a low temperature, there is no temperature drop due to heat dissipation, and gas treatment with high combustion efficiency is performed.

도 2C는, 툴(200)과 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 전체 제어반(4)의 사이에서 행해지는 정보의 입출력과, 전체 제어반(4)과 건식 펌프(1), 희석용 N₂ 유닛(7) 및 제해부(2)와의 사이에서 행해지는 각종 제어를 설명하는 모식도이다. 또, 희석용 N₂ 유닛(7)은, 건식 펌프(1)의 내부에 생성물이 부착되는 것을 방지하기 위해, 건식 펌프(1)에 질소 가스를 도입하는 것이다. 2C shows input/output of information performed between the tool 200 and the overall control panel 4 of the dry vacuum pump 100 with a removal function, and the overall control panel 4 and the dry pump 1, N _{2 for dilution.} It is a schematic diagram explaining the various control performed between the unit 7 and the dismantling part 2 . In addition, the N ₂ unit 7 for dilution introduces nitrogen gas into the dry pump 1 in order to prevent the product from adhering to the inside of the dry pump 1 .

건식 펌프(1)는, 펌프 내부를 흐르는 프로세스 가스의 유량에 맞춰, 희석용 N₂ 유닛(7)으로부터 희석용의 N₂ 가스를 최종 압축단의 흡기측으로부터 펌프 내부에 도입함으로써, 펌프의 배기 성능에 악영향을 미치거나, 운전 비용을 증대시키거나 하지 않고, 프로세스 가스가 압축되어, 펌프 내부에서 가장 프로세스 가스가 농축되는 최종 압축단에 고체가 부착되거나, 부식이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다. _{The dry pump 1 introduces the N 2} gas for dilution from the _{N 2} unit 7 for dilution into the pump from the intake side of the final compression stage in accordance with the flow rate of the process gas flowing through the inside of the pump, thereby exhausting the pump Without adversely affecting performance or increasing operating cost, process gas is compressed, solid adhesion to the final compression stage where the process gas is most concentrated inside the pump, and corrosion can be suppressed. .

전체 제어반(4)은, 툴(200)의 운전 공정, 툴(200)에 공급되는 가스의 종류 및 가스 유량의 정보에 기초하여 건식 펌프(1)에 공급되는 N₂ 가스의 유량을 제어한다. 또한, 전체 제어반(4)은, 툴(200)의 운전 공정, 툴(200)에 공급되는 가스의 종류 및 가스 유량의 정보에 기초하여 건식 펌프(1)에 공급되는 물의 유량, 전력을 제어한다. The overall control panel 4 controls the flow rate of the _{N 2} gas supplied to the dry pump 1 based on information on the operation process of the tool 200 , the type of gas supplied to the tool 200 , and the gas flow rate. In addition, the overall control panel 4 controls the flow rate of water and electric power supplied to the dry pump 1 based on the information on the operation process of the tool 200 , the type of gas supplied to the tool 200 and the gas flow rate. .

도 2C에 있어서는, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 기기의 전체를 제어하는 컨트롤러로서 전체 제어반(4)을 도시했지만, 전체 제어반(4)은 각 기기(건식 펌프(1), 희석용 N₂ 유닛(7), 제해부(2))에 부속되어 설치되는 개별적인 컨트롤러여도 좋다. In Fig. 2C, the overall control panel 4 is shown as a controller that controls all the devices of the dry vacuum pump 100 with a release function, but the overall control panel 4 includes each device (dry pump 1, N for dilution) _It may be an individual controller attached and installed to the two units 7 and the dismantling unit 2).

도 2C에 나타내는 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)에 있어서, 툴(200)의 운전 공정, 공급 가스 종, 공급 가스 유량이 툴(200)로부터 전체 제어반(4)에 입력된다. 일례로서 툴(200)이 CVD 장치인 경우에는, 툴(200)에 있어서, 웨이퍼 투입→진공 배기→승온→성막(재료 가스 공급)→강온→대기압 복귀→웨이퍼 취출의 각 운전 공정이 순차적으로 행해지고, 그리고, 이들 운전 공정이 반복된다. 또한, 툴(200) 내에 부착된 고형물을 제거하기 위해, 정기적으로 클리닝 가스(HF, ClF₃, NF₃ 등)를 툴(200) 내에 공급하고 배기한다. In the dry vacuum pump 100 with a release function shown in FIG. 2C , the operation process of the tool 200 , the type of supply gas, and the supply gas flow rate are input from the tool 200 to the entire control panel 4 . As an example, when the tool 200 is a CVD apparatus, in the tool 200, each operation process of wafer input → vacuum exhaust → temperature rise → film formation (material gas supply) → temperature drop → atmospheric pressure return → wafer takeout is sequentially performed, , and these operation steps are repeated. In addition, in order to remove solids adhering to the tool 200 , a cleaning gas (HF, ClF ₃ , NF _{3 ,} etc.) is periodically supplied and exhausted into the tool 200 .

전체 제어반(4)은, 툴(200)의 운전 공정, 공급 가스 종, 공급 가스 유량에 따라서 건식 펌프(1)의 부스터 펌프(1a) 및 메인 펌프(1b)의 회전 속도의 자동 제어를 행한다. 즉, 진공측에 배치되는 부스터 펌프(1a)와 대기측에 배치되는 메인 펌프(1b)를 툴(200)의 운전 공정, 공급 가스 종, 공급 가스 유량에 따른 최적의 회전 속도로 제어한다. The overall control panel 4 automatically controls the rotation speeds of the booster pump 1a and the main pump 1b of the dry pump 1 according to the operation process of the tool 200 , the type of supply gas, and the flow rate of the supplied gas. That is, the booster pump 1a arranged on the vacuum side and the main pump 1b arranged on the atmospheric side are controlled at an optimal rotation speed according to the operation process of the tool 200 , the type of supply gas, and the flow rate of the supply gas.

툴(200)이 CVD 장치인 경우, 각 운전 공정에서의 부스터 펌프(1a) 및 메인 펌프(1b)의 최적의 회전 속도는 이하와 같다.When the tool 200 is a CVD apparatus, the optimum rotational speeds of the booster pump 1a and the main pump 1b in each operation process are as follows.

1) 웨이퍼 투입 : 건식 펌프(1)의 운전은 불필요하지만, 건식 펌프(1)를 완전히 멈추면 시동에 시간이 걸리기 때문에, 예를 들면 20% 정도 출력을 떨어뜨린 상태로 운전하고, 툴(200)의 진공 배기를 밸브로 멈춘다.1) Wafer input: Operation of the dry pump (1) is unnecessary, but it takes time to start if the dry pump (1) is completely stopped. ) to stop the vacuum exhaust with the valve.

2) 진공 상태 : 건식 펌프(1)는 100% 출력으로 운전한다. 2) Vacuum state: The dry pump (1) operates at 100% output.

3) 승온 : 진공이 유지된 상태이면 되기 때문에, 건식 펌프(1)는, 예컨대 70% 출력으로 운전한다. 3) Temperature rise: Since the vacuum can be maintained, the dry pump 1 is operated at, for example, 70% output.

4) 성막 : 재료 가스가 공급되기 때문에, 건식 펌프(1)는 100% 출력으로 운전한다. 4) Film formation: Since the material gas is supplied, the dry pump 1 operates at 100% output.

5) 강온 : 가스의 유입이 멈추기 때문에, 조금 출력을 떨어뜨린 운전이면 되므로, 건식 펌프(1)는, 예컨대 70% 출력으로 운전한다. 5) Temperature drop: Since the inflow of gas is stopped, it is sufficient that the output is slightly lowered, so that the dry pump 1 is operated at, for example, 70% output.

6) 대기압 복귀 : 산화하지 않도록 툴(200)에 N₂을 유입시킨다. 건식 펌프(1)의 운전은 불필요하지만, 1)과 동일한 이유로 출력을 떨어뜨린 상태로 운전해도 좋다. 6) Return to atmospheric pressure: N ₂ is introduced into the tool 200 to prevent oxidation. Although the operation of the dry pump 1 is unnecessary, it may be operated in a state in which the output is lowered for the same reason as in 1).

7) 웨이퍼 취출 : 1)과 동일. 7) Wafer take-out: Same as 1).

또, 건식 펌프(1)는, 진공 배기 공정에 있어서는 툴(200)에 가스가 공급되지 않기 때문에, 툴(200)로부터 전체 제어반(4)으로는 진공 배기의 운전 공정이 입력되고, 공급 가스 종 없음, 공급 가스 유량 0의 정보가 입력된다. 그리고, 툴(200)에 가스가 공급되면, 툴(200)로부터 전체 제어반(4)에 운전 공정, 공급 가스 종, 공급 가스 유량의 정보가 입력된다. 툴(200)에 가스가 공급되는 공정에 있어서, 전체 제어반(4)은, 공급 가스 종, 공급 가스 유량에 따라서 건식 펌프(1)의 부스터 펌프(1a) 및 메인 펌프(1b)의 회전 속도의 자동 제어를 행한다. 이에 따라, 툴(200)에서의 공급 가스의 종류 및 공급 가스 유량에 대하여, 부스터 펌프(1a) 및 메인 펌프(1b)를 최적의 배기 능력으로 운전할 수 있다. 따라서, 건식 펌프(1)에서의 사용 전력을 삭감하여, 에너지 절약을 달성할 수 있다. In addition, in the dry pump 1, since gas is not supplied to the tool 200 in the evacuation process, the operation process of evacuation is input from the tool 200 to the entire control panel 4, and the type of gas supplied None, the information of supply gas flow rate 0 is entered. Then, when gas is supplied to the tool 200 , information on the operation process, the type of gas supplied, and the flow rate of the gas supplied is input from the tool 200 to the entire control panel 4 . In the process in which gas is supplied to the tool 200 , the entire control panel 4 controls the rotational speeds of the booster pump 1a and the main pump 1b of the dry pump 1 according to the supply gas type and the supply gas flow rate. Perform automatic control. Accordingly, it is possible to operate the booster pump 1a and the main pump 1b with the optimum exhaust capacity with respect to the type of supply gas and the supply gas flow rate in the tool 200 . Therefore, the electric power used by the dry pump 1 can be reduced, and energy saving can be achieved.

제해부(2)에 있어서는, 연료 및 지연성 가스의 배관에 각각 매스플로우 컨트롤러(MFC1, MFC2)를 설치하여, 연료 및 지연성 가스의 연소부(20)에 대한 공급량을 자동 조정할 수 있도록 이루어진다. 또한, 연료 및 지연성 가스의 배관에 차단 밸브(V11, V12)를 설치하여, 배출 가스 처리를 필요로 하지 않는 제조 공정에서는, 연소부(20)에 대한 연료 및 지연성 가스의 공급을 차단할 수 있도록 이루어진다. 또한 N₂의 배관에 매스플로우 컨트롤러(MFC4)와 차단 밸브(V14)를 설치한다. In the dismantling unit 2 , the mass flow controllers MFC1 and MFC2 are respectively installed in the piping for the fuel and the retardation gas, so that the supply amount of the fuel and the retardation gas to the combustion unit 20 can be automatically adjusted. In addition, by installing the shutoff valves V11 and V12 in the piping of the fuel and the retardation gas, the supply of the fuel and the retardation gas to the combustion unit 20 can be cut off in a manufacturing process that does not require exhaust gas treatment. made to be Also, install a mass flow controller (MFC4) and a shutoff valve (V14) in the piping of _{N 2 .}

제조 장치의 운전 공정, 공급 가스 종, 공급 가스 유량에 따른 연료, 지연성 가스의 각 공급량을 미리 전체 제어반(4)에 기억시켜 두고, 피드 포워드와 PID 제어의 조합으로, 매스플로우 컨트롤러(MFC1, MFC2)를 자동 제어한다. 즉, 전체 제어반(4)에 의해, 툴에 공급하는 가스 종, 툴(200)에 공급되는 가스 유량, 건식 펌프(1)에 공급한 N₂의 유량으로부터 필요한 열량을 자동 계산하고, 연료 및 지연성 가스의 공급량을 자동으로 계산하여, 연료 및 지연성 가스의 공급량을 매스플로우 컨트롤러(MFC1, MFC2)에 의해 자동 조정한다. 또한, 배출 가스 처리를 필요로 하지 않는 제조 장치의 공정에서는 차단 밸브(V11, V12)를 작동시켜 연료의 공급을 차단한다. 이에 따라, 제해부(2)에서의 사용 전력을 삭감함과 함께 연료 및 지연성 가스의 공급량을 삭감하여, 에너지 절약을 달성할 수 있다. 또, 전체 제어반(4) 대신에, 제해부(2)를 개별적으로 제어하기 위한 컨트롤러에 툴(200)로부터의 정보를 입력하여 제해부(2)를 제어하도록 해도 좋다. Each supply amount of fuel and delayed gas according to the operation process of the manufacturing apparatus, the type of supply gas, and the supply gas flow rate is stored in the overall control panel 4 in advance, and the mass flow controller (MFC1, MFC1, MFC2) is automatically controlled. That is, the total amount of heat is automatically calculated from the gas species supplied to the tool, the gas flow rate supplied to the tool 200 , and the N _{2 flow rate supplied to the dry pump 1 by the entire control panel 4 , and fuel and delay} The gas supply amount is automatically calculated, and the fuel and delayed gas supply amounts are automatically adjusted by the mass flow controllers (MFC1, MFC2). In addition, in the process of the manufacturing apparatus that does not require exhaust gas treatment, the shutoff valves V11 and V12 are actuated to cut off the fuel supply. Thereby, while reducing the electric power used by the dismantling part 2, the supply amount of fuel and retardation gas can be reduced, and energy saving can be achieved. Further, instead of the entire control panel 4 , information from the tool 200 may be input to a controller for individually controlling the disengagement unit 2 to control the disengagement unit 2 .

건식 펌프(1), 제해부(2), 툴(200)과 건식 펌프(1)의 접속 배관에 소정량의 분체의 부착이 발생한 것을 검지하고, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)에서의 이들 기기로부터 분체 부착이 발생한 것을 툴(200)에 대하여 메인터넌스 요구로서 신호 출력한다. 이 출력은, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)의 각 기기를 개별적으로 제어하기 위한 컨트롤러로부터 행해도 좋고, 전체 제어반(4)으로부터 행해도 좋다. 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100)에서의 분체 부착 검지는, 압력(진공 펌프 배기 압력 등), 진공 펌프 부하율(전력 등), 제조 장치로부터의 가스 방출 시간 등으로 검지한다. It is detected that a predetermined amount of powder has adhered to the connecting pipe between the dry pump 1, the release unit 2, the tool 200, and the dry pump 1, and these in the dry vacuum pump 100 with a release function are detected. A signal is output as a maintenance request to the tool 200 that powder adhesion has occurred from the device. This output may be performed from the controller for individually controlling each device of the dry vacuum pump 100 with a release function, or may be performed from the entire control panel 4 . The detection of powder adhesion in the dry vacuum pump 100 with a release function is detected by the pressure (vacuum pump exhaust pressure, etc.), the vacuum pump load factor (electric power, etc.), the gas discharge time from the manufacturing apparatus, and the like.

메인터넌스 신호는 툴(200)에 출력하는 것 외에, 툴(200)의 상위의 호스트 컴퓨터(복수의 반도체 제조 장치와 접속하고, 관리하고 있는 컴퓨터)에 송신해도 좋다. 송신된 메인터넌스 신호를 받아, 스왑 메인터넌스를 행하도록 해도 좋다. In addition to outputting the maintenance signal to the tool 200 , the maintenance signal may be transmitted to a host computer (a computer connected to and managed by a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses) higher in the tool 200 . The transmitted maintenance signal may be received and swap maintenance may be performed.

도 3은, 메인 펌프(1b)의 일례인 스크류형 펌프(10)의 수직 방향 단면도(측방으로부터 본 도면)이다. 또한, 도 4는, 스크류형 펌프(10)의 수평 방향 단면도(위로부터 본 도면)이다. 도 3 및 도 4는 가로로 놓은 스크류형 펌프(10)를 나타내고 있다. Fig. 3 is a vertical cross-sectional view (viewed from the side) of a screw-type pump 10 that is an example of the main pump 1b. 4 is a horizontal cross-sectional view (a view seen from above) of the screw type pump 10 . 3 and 4 show a screw-type pump 10 placed in a transverse position.

스크류형 펌프(10)는, 흡기측 하우징(111)과, 케이싱(112)과, 배기측 하우징(113)과, 배기측 하우징(113)의 외측에 설치되는 모터부(12)와, 케이싱(112) 내에 설치되는 펌프부(13)를 구비한다. 케이싱(112)에는, 흡기구(11a) 및 배기구(11b)가 형성된다. 흡기구(11a)는 도 1의 배관(8)을 통해 부스터 펌프(1a)와 접속되고, 배기구(11b)는 유로(3)를 통해 제해부(2)와 직접 연결된다. 흡기구(11a) 및 배기구(11b)의 위치는 여러가지 있을 수 있다. The screw-type pump 10 includes an intake-side housing 111 , a casing 112 , an exhaust-side housing 113 , a motor unit 12 installed outside the exhaust-side housing 113 , and a casing ( A pump unit 13 installed in the 112 is provided. The casing 112 is provided with an intake port 11a and an exhaust port 11b. The intake port 11a is connected to the booster pump 1a through the pipe 8 of FIG. 1 , and the exhaust port 11b is directly connected to the release unit 2 through the flow path 3 . The positions of the intake port 11a and the exhaust port 11b may be various.

도 1에 나타낸 바와 같이, 메인 펌프(1b)의 상측에 부스터 펌프(1a)가 배치되는 경우, 케이싱(112)의 상면에 흡기구(11a)가 설치되는 스크류형 펌프(10)(도 3의 (a), (b))를 적용하면 된다. 한편, 메인 펌프(1b)의 하측에 부스터 펌프(1a)가 배치되는 경우, 케이싱(112)의 하면에 흡기구(11a)가 설치되는 스크류형 펌프(10)(도 3의 (c), (d))를 적용하면 된다. 마찬가지로, 배기구(11b)는 케이싱(112)의 상면에 있어도 좋고(도 3의 (a), (c)), 하면에 있어도 좋고(도 3의 (b), (d)), 또한 측면에 있어도 좋다. As shown in FIG. 1, when the booster pump 1a is disposed on the upper side of the main pump 1b, the screw-type pump 10 in which the intake port 11a is installed on the upper surface of the casing 112 (in FIG. A) and (b)) can be applied. On the other hand, when the booster pump 1a is disposed below the main pump 1b, the screw-type pump 10 in which the intake port 11a is installed on the lower surface of the casing 112 (FIG. 3(c), (d) )) can be applied. Similarly, the exhaust port 11b may be on the upper surface of the casing 112 (FIG. 3(a), (c)), may be on the lower surface (FIG. 3(b), (d)), or may be on the side surface good.

도 4에 나타낸 바와 같이, 모터부(12)는, 모터 프레임(120)과, 스테이터 코어 및 권선으로 구성되는 스테이터 권선(121a, 121b)과, 모터 로터(122a, 122b)를 갖는다. 모터 로터(122a)는 베어링(113a, 114a)에 의해, 모터(122b)는 베어링(113b, 114b)에 의해 각각 회전 지지되는 주축(131a, 131b)에 조립된다. 주축(131a, 131b)은 모터부(12)까지 돌출되고, 돌출된 주축 선단에, 모터 로터(122a, 122b)를 삽입/체결(조립)한다. As shown in FIG. 4 , the motor unit 12 includes a motor frame 120 , stator windings 121a and 121b composed of a stator core and windings, and motor rotors 122a and 122b. The motor rotor 122a is assembled to the main shafts 131a and 131b which are rotationally supported by the bearings 113a and 114a and the motor 122b by the bearings 113b and 114b, respectively. The main shafts 131a and 131b protrude to the motor unit 12, and the motor rotors 122a and 122b are inserted/fastened (assembled) to the tip of the protruding main shaft.

펌프부(13)는, 주축(131a) 및 스크류 로터(132a)와, 주축(131b) 및 스크류 로터(132b)를 갖는다. 주축(131a)은 스크류 로터(132a)에 고정되고, 이들은 일체로 형성(가공)되어도 좋다. 주축(131b) 및 스크류 로터(132b)도 동일하다. 주축(131a, 131b)은 예컨대 금속제이며, 각각 일단측에서 모터 로터(122a, 122b)가 체결되고, 타단측에서 흡기측 하우징(111)에 고정되는 베어링(114a, 114b) 및 배기측 하우징(113)에 고정된 베어링(113a, 113b)에 의해 각각 회전 가능하게 지지된다. The pump part 13 has a main shaft 131a and a screw rotor 132a, and a main shaft 131b and a screw rotor 132b. The main shaft 131a is fixed to the screw rotor 132a, and these may be integrally formed (processed). The main shaft 131b and the screw rotor 132b are also the same. The main shafts 131a and 131b are, for example, made of metal, and the motor rotors 122a and 122b are fastened at one end, respectively, and the bearings 114a and 114b fixed to the intake side housing 111 at the other end and the exhaust side housing 113, respectively. ) is rotatably supported by the bearings 113a and 113b fixed to the .

주축(131a, 131b)은, 흡기측에 설치한 타이밍 기어(14a, 14b)에 의해 일정한 클리어런스를 유지한 상태로 동기 반전하고, 배기를 행한다. 타이밍 기어(14a, 14b)는, 흡기측, 배기측의 어디에 설치해도 좋다. The main shafts 131a and 131b are synchronously reversed while maintaining a constant clearance by the timing gears 14a and 14b provided on the intake side to perform exhaust. The timing gears 14a and 14b may be provided on either the intake side or the exhaust side.

이상 설명한 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 접속을 구체적으로 설명한다. The connection between the screw-type pump 10 and the combustion unit 20 described above will be described in detail.

도 5는, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제1 접속예를 나타내는 모식도이며, 도 5의 (a)는 상측으로부터 본 도면, 도 5의 (b)는 측방으로부터 본 도면이다. 도 5는 가로로 놓은 스크류형 펌프(10)를 나타내고 있다. 도시하는 바와 같이, 스크류형 펌프(10)의 측면에 배기구(11b)가 있다. 그리고, 수평 방향으로 연장되는 유로(3)의 일단이 배기구(11b)와 접속되고, 타단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 5 : is a schematic diagram which shows the 1st connection example of the screw-type pump 10 and the combustion part 20, FIG. . 5 shows a screw-type pump 10 placed in a transverse position. As shown, there is an exhaust port 11b on the side of the screw type pump 10 . And one end of the flow path 3 extending in the horizontal direction is connected to the exhaust port 11b, and the other end is connected to the exhaust gas nozzle 23c in the combustion unit 20 .

이와 같이 접속함으로써, 유로(3)를 매우 짧게 할 수 있다. 그 때문에, 히터를 설치하지 않더라도 유로(3)를 통과하는 배출 가스의 온도가 거의 저하되지 않고, 배출 가스의 농도를 희석할 필요도 없다. 또한, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)가 직접 연결됨에 따라, 누설될 우려도 거의 없다. By connecting in this way, the flow path 3 can be made very short. Therefore, even if a heater is not provided, the temperature of the exhaust gas passing through the flow path 3 is hardly lowered, and there is no need to dilute the concentration of the exhaust gas. In addition, as the screw-type pump 10 and the combustion unit 20 are directly connected, there is little risk of leakage.

도 6은, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제2 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도시와 같이, 스크류형 펌프(10)의 상면에 배기구(11b)가 있다. 그리고, 유로(3)는 수직 부분(3a) 및 수평 부분(3b)을 갖는 L자형이다. 수직 부분(3a)의 하단이 배기구(11b)와 접속되고, 수평 부분(3b)의 일단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 6 : is a schematic diagram which shows the 2nd connection example of the screw-type pump 10 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. As shown, there is an exhaust port 11b on the upper surface of the screw-type pump 10 . And, the flow path 3 is L-shaped having a vertical portion 3a and a horizontal portion 3b. The lower end of the vertical portion 3a is connected to the exhaust port 11b, and one end of the horizontal portion 3b is connected to the nozzle 23c for exhaust gas in the combustion unit 20 .

이와 같이 접속함으로써, 스크류형 펌프(10)의 높이만큼 연소부(20)의 높이를 벌 수 있다. 따라서, 연소부(20)의 처리 용량을 크게 할 수 있다. 혹은 처리해야 할 배출 가스량의 증대에 의해 연소부(20)가 길어진 경우에도, 스크류형 펌프(10)의 높이를 바꾸지 않고 연소식 제해 장치(20)와 접속할 수 있다. 이에 따라, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100) 전체의 높이를 작게 할 수 있다. By connecting in this way, the height of the combustion unit 20 can be increased by the height of the screw-type pump 10 . Accordingly, the processing capacity of the combustion unit 20 can be increased. Alternatively, even when the combustion unit 20 is elongated due to an increase in the amount of exhaust gas to be treated, it can be connected to the combustion type removal device 20 without changing the height of the screw type pump 10 . Thereby, the height of the whole dry vacuum pump 100 with a release function can be made small.

도 7은, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제3 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도시와 같이, 스크류형 펌프(10)의 하면에 배기구(11b)가 있다. 그리고, 유로(3)는 수직 부분(3a) 및 수평 부분(3b)을 갖는 L자형이다. 수직 부분(3a)의 상단이 배기구(11b)와 접속되고, 수평 부분(3b)의 일단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 연소부(20)의 처리 용량이 그다지 크지 않아도 좋은 경우, 이와 같이 접속할 수도 있다. 7 : is a schematic diagram which shows the 3rd connection example of the screw-type pump 10 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. As shown, there is an exhaust port 11b on the lower surface of the screw-type pump 10 . And, the flow path 3 is L-shaped having a vertical portion 3a and a horizontal portion 3b. The upper end of the vertical portion 3a is connected to the exhaust port 11b, and one end of the horizontal portion 3b is connected to the nozzle 23c for exhaust gas in the combustion unit 20 . In the case where the processing capacity of the combustion unit 20 does not need to be very large, it may be connected in this way.

도 8은, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제4 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도 8은 세로로 놓은 스크류형 펌프(10)를 나타내고 있다. 도시와 같이, 스크류형 펌프(10)의 측면에 배기구(11b)가 있다. 그리고, 수평 방향으로 연장되는 유로(3)의 일단이 배기구(11b)와 접속되고, 타단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 이와 같이 접속함으로써, 유로(3)를 매우 짧게 할 수 있다. 8 : is a schematic diagram which shows the 4th connection example of the screw-type pump 10 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. 8 shows a screw-type pump 10 placed vertically. As shown, there is an exhaust port 11b on the side of the screw-type pump 10 . And one end of the flow path 3 extending in the horizontal direction is connected to the exhaust port 11b, and the other end is connected to the exhaust gas nozzle 23c in the combustion unit 20 . By connecting in this way, the flow path 3 can be made very short.

도 9는, 스크류형 펌프(10)와 연소부(20)의 제5 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도시와 같이, 스크류형 펌프(10)의 상면에 배기구(11b)가 있다. 그리고, 유로(3)는 수직 부분(3a) 및 수평 부분(3b)을 갖는 L자형이다. 수직 부분(3a)의 하단이 배기구(11b)와 접속되고, 수평 부분(3b)의 일단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 이와 같이 접속함으로써, 연소부(20)의 높이를 벌 수 있다. 혹은 처리해야 할 배출 가스량의 증대에 의해 연소부(20)가 길어진 경우에도, 스크류형 펌프(10)의 높이를 바꾸지 않고 연소부(20)와 접속할 수 있다. 이에 따라, 제해 기능 부착 건식 진공 펌프(100) 전체의 높이를 작게 할 수 있다. 9 : is a schematic diagram which shows the 5th connection example of the screw-type pump 10 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. As shown, there is an exhaust port 11b on the upper surface of the screw-type pump 10 . And, the flow path 3 is L-shaped having a vertical portion 3a and a horizontal portion 3b. The lower end of the vertical portion 3a is connected to the exhaust port 11b, and one end of the horizontal portion 3b is connected to the nozzle 23c for exhaust gas in the combustion unit 20 . By connecting in this way, the height of the combustion unit 20 can be increased. Alternatively, even when the combustion unit 20 is elongated due to an increase in the amount of exhaust gas to be treated, it can be connected to the combustion unit 20 without changing the height of the screw-type pump 10 . Thereby, the height of the whole dry vacuum pump 100 with a release function can be made small.

계속해서, 메인 펌프(1b)로서 루트형 펌프를 이용하는 경우를 설명한다. Then, the case where a root type pump is used as the main pump 1b is demonstrated.

도 10은, 메인 펌프(1b)의 다른 예인 루트형 펌프(40)의 수직 방향 단면도(측방으로부터 본 도면)이다. 도 11은, 루트형 펌프(40)의 수평 방향 단면도(위로부터 본 도면)이다. 도 12는, 도 11에서의 B-B 단면도이다. 이후, 삼엽 루트형 펌프를 예시하지만, 이엽 또는 사엽 이상의 루트형 펌프이어도 좋다. Fig. 10 is a vertical cross-sectional view (viewed from the side) of the root pump 40 which is another example of the main pump 1b. 11 is a horizontal cross-sectional view (viewed from above) of the root pump 40. As shown in FIG. Fig. 12 is a cross-sectional view taken along line B-B in Fig. 11 . Hereinafter, a three-leaf root pump is exemplified.

루트형 펌프(40)는, 케이싱(41)과, 케이싱(41) 내의 일단측에 설치되는 모터부(42)와, 케이싱(41) 내에 설치되는 펌프부(43)를 구비한다. 케이싱(41)에는, 흡기구(41a) 및 중간실(410)과 연통되는 배기구(41b)가 형성된다. 흡기구(41a)는 도 1의 배관(8)을 통해 부스터 펌프(1a)와 접속되고, 배기구(41b)는 유로(3)를 통해 제해부(2)와 직접 연결된다. 흡기구(41a) 및 배기구(41b)의 위치는 여러가지 있을 수 있다. The root-type pump 40 includes a casing 41 , a motor portion 42 provided on one end side of the casing 41 , and a pump portion 43 provided in the casing 41 . The casing 41 is provided with an intake port 41a and an exhaust port 41b communicating with the intermediate chamber 410 . The intake port 41a is connected to the booster pump 1a through the pipe 8 of FIG. 1 , and the exhaust port 41b is directly connected to the release unit 2 through the flow path 3 . The positions of the intake port 41a and the exhaust port 41b may be various.

도 1에 나타낸 바와 같이, 메인 펌프(1b)의 상측에 부스터 펌프(1a)가 배치되는 경우, 하우징(41)의 상면에 흡기구(41a)가 설치되는 루트형 펌프(40)(도 10의 (a), (b))를 적용하면 된다. 한편, 메인 펌프(1b)의 하측에 부스터 펌프(1a)가 배치되는 경우, 하우징(41)의 하면에 흡기구(41a)가 설치되는 루트형 펌프(40)(도 10의 (c), (d))를 적용하면 된다. 마찬가지로, 배기구(41b)는 하우징(41)의 상면에 있어도 좋고(도 10의 (a), (c)), 하면에 있어도 좋고(도 10의 (b), (d)), 또한 측면에 있어도 좋다. As shown in FIG. 1, when the booster pump 1a is disposed on the upper side of the main pump 1b, the root pump 40 (in FIG. A) and (b)) can be applied. On the other hand, when the booster pump 1a is disposed below the main pump 1b, the root-type pump 40 in which the intake port 41a is installed on the lower surface of the housing 41 (FIG. 10(c), (d) )) can be applied. Similarly, the exhaust port 41b may be on the upper surface of the housing 41 (FIG. 10(a), (c)), may be on the lower surface (FIG. 10(b), (d)), or may be on the side surface good.

또, 도 10의 (a), (c)에 나타내는 루트형 펌프(40)의 경우, 배기용의 어댑터(41c)를 통하여 배기가 행해진다. Moreover, in the case of the route pump 40 shown to Fig.10 (a), (c), exhaustion is performed through the adapter 41c for exhaustion.

도 11에 나타낸 바와 같이, 모터부(42)는, 모터 프레임(420)과, 스테이터 코어 및 권선으로 구성되는 스테이터 권선(421a, 421b)과, 모터 로터(422a, 422b)를 갖는다. 모터 로터(422a, 422b)는 펌프부(43)를 향하여 연장되고, 베어링(413a, 413b, 414a, 414b)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 그리고, 모터 로터(422a, 422b)는, 모터부(42)와는 반대측에 설치되는 타이밍 기어(423a, 423b)에 의해, 서로 역방향으로 동기 회전(동기 반전)한다. 11 , the motor unit 42 includes a motor frame 420 , stator windings 421a and 421b composed of a stator core and windings, and motor rotors 422a and 422b. The motor rotors 422a and 422b extend toward the pump part 43 and are rotatably supported by bearings 413a, 413b, 414a, and 414b. Then, the motor rotors 422a and 422b are synchronously rotated in opposite directions (synchronously reversed) by the timing gears 423a and 423b provided on the opposite side to the motor unit 42 .

펌프부(43)는, 주축(431a) 및 루트 로터(4321a∼4325a)와, 주축(431b) 및 루트 로터(4321b∼4325b)를 갖는다. 주축(431a, 431b)에는, 각각 모터 로터(422a, 422b)가 체결된다. 그리고, 모터 로터(422a, 422b)의 동기 반전에 의해 루트 로터(1321a∼1325a, 1321b∼1325b)가 동기 반전하고, 흡기구(41a)로부터의 배출 가스가 루트 로터(1321a∼1325a, 1321b∼1325b)에 의해 압축되면서 순차적으로 이송되고, 중간실(410)을 통과하여 배기구(41b)로부터 배기된다. The pump unit 43 has a main shaft 431a and root rotors 4321a to 4325a, and a main shaft 431b and root rotors 4321b to 4325b. Motor rotors 422a and 422b are fastened to the main shafts 431a and 431b, respectively. Then, the root rotors 1321a to 1325a and 1321b to 1325b are synchronously reversed by the synchronous reversal of the motor rotors 422a and 422b, and the exhaust gas from the intake port 41a is transferred to the root rotors 1321a to 1325a and 1321b to 1325b. It is sequentially transported while being compressed by the , and is exhausted from the exhaust port 41b through the intermediate chamber 410.

또, 중간실(410)은 흡기구(41a) 및 배기구(41b)가 모두 하우징(41)의 상면 또는 하면에 있는 경우(도 10의 (a), (c))에 필요한 것이고, 한쪽이 상면에 있고 다른 한쪽이 하면에 있는 경우(도 10의 (b), (c))에는 불필요하다. In addition, the intermediate chamber 410 is necessary when both the intake port 41a and the exhaust port 41b are on the upper surface or the lower surface of the housing 41 (FIG. 10(a), (c)), and one side is on the upper surface. and the other side is on the lower surface (Fig. 10 (b), (c)), it is unnecessary.

이상 설명한 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 접속을 구체적으로 설명한다. The connection between the above-described root pump 40 and the combustion unit 20 will be specifically described.

도 13은, 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제1 접속예를 나타내는 모식도이며, 도 13의 (a)는 상측으로부터 본 도면, 도 13의 (b)는 측방으로부터 본 도면이다. 도 13은 가로로 놓은 루트형 펌프(40)를 나타내고 있다. 도시와 같이, 루트형 펌프(40)의 측면에 배기구(41b)가 있다. 그리고, 수평 방향으로 연장되는 유로(3)의 일단이 배기구(41b)와 접속되고, 타단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 이와 같이 접속함으로써, 도 5와 마찬가지로 유로(3)를 매우 짧게 할 수 있다. 13 : is a schematic diagram which shows the 1st connection example of the route pump 40 and the combustion part 20, FIG. 13(a) is a figure seen from the upper side, FIG.13(b) is a figure seen from the side. . 13 shows a root pump 40 placed in a horizontal position. As shown, there is an exhaust port 41b on the side of the root-type pump 40 . And one end of the flow path 3 extending in the horizontal direction is connected to the exhaust port 41b, and the other end is connected to the exhaust gas nozzle 23c in the combustion unit 20 . By connecting in this way, similarly to FIG. 5 , the flow path 3 can be made very short.

도 14는, 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제2 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도시와 같이, 루트형 펌프(40)의 상면에 배기구(41b)가 있다. 그리고, 유로(3)는 수직 부분(3a) 및 수평 부분(3b)을 갖는 L자형이다. 수직 부분(3a)의 하단이 배기구(41b)와 접속되고, 수평 부분(3b)의 일단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 이와 같이 접속함으로써, 루트형 펌프(40)의 높이만큼 연소부(20)의 높이를 벌 수 있다. 14 : is a schematic diagram which shows the 2nd connection example of the root pump 40 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. As shown, there is an exhaust port 41b on the upper surface of the root-type pump 40 . And, the flow path 3 is L-shaped having a vertical portion 3a and a horizontal portion 3b. The lower end of the vertical portion 3a is connected to the exhaust port 41b, and one end of the horizontal portion 3b is connected to the nozzle 23c for exhaust gas in the combustion unit 20 . By connecting in this way, the height of the combustion unit 20 can be increased by the height of the root pump 40 .

도 15는, 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제3 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도시와 같이, 루트형 펌프(40)의 하면에 배기구(41b)가 있다. 그리고, 유로(3)는 수직 부분(3a) 및 수평 부분(3b)을 갖는 L자형이다. 수직 부분(3a)의 상단이 배기구(41b)와 접속되고, 수평 부분(3b)의 일단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 연소부(20)의 처리 용량이 그다지 크지 않아도 좋은 경우, 이와 같이 접속할 수도 있다. 15 : is a schematic diagram which shows the 3rd connection example of the root pump 40 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. As shown, there is an exhaust port 41b on the lower surface of the root pump 40 . And, the flow path 3 is L-shaped having a vertical portion 3a and a horizontal portion 3b. The upper end of the vertical portion 3a is connected to the exhaust port 41b, and one end of the horizontal portion 3b is connected to the nozzle 23c for exhaust gas in the combustion unit 20 . In the case where the processing capacity of the combustion unit 20 does not need to be very large, it may be connected in this way.

도 16은, 루트형 펌프(40)와 연소부(20)의 제4 접속예를 나타내는 모식도이며, 측방으로부터 본 도면을 나타내고 있다. 도 16은 세로로 놓은 루트형 펌프(40)를 나타내고 있다. 도시와 같이, 루트형 펌프(40)의 측면에 배기구(41b)가 있다. 그리고, 수평 방향으로 연장되는 유로(3)의 일단이 배기구(41b)와 접속되고, 타단이 연소부(20)에서의 배출 가스용 노즐(23c)에 접속된다. 이와 같이 접속함으로써, 유로(3)를 매우 짧게 할 수 있다. 16 : is a schematic diagram which shows the 4th connection example of the root pump 40 and the combustion part 20, and has shown the figure seen from the side. 16 shows a root pump 40 placed in a vertical position. As shown, there is an exhaust port 41b on the side of the root-type pump 40 . And one end of the flow path 3 extending in the horizontal direction is connected to the exhaust port 41b, and the other end is connected to the exhaust gas nozzle 23c in the combustion unit 20 . By connecting in this way, the flow path 3 can be made very short.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 메인 펌프(1b)와 제해부(2)가 유로(3)를 통해 직접 연결되어 모듈화된다. 그 때문에, 용이하게 스왑 메인터넌스가 가능해진다. 또한, 배출 가스가 누설될 위험성도 거의 없다. As described above, in the present embodiment, the main pump 1b and the release unit 2 are directly connected through the flow path 3 to be modularized. Therefore, swap maintenance can be performed easily. Also, there is little risk of the exhaust gas leaking.

또한, 메인 펌프(1b)와 제해부(2)의 거리를 짧게 할 수 있다. 그 때문에, 도 20에 도시한 바와 같은 히터(97)를 설치하지 않더라도 배출 가스의 온도 저하를 억제할 수 있고, 배출 가스 농도를 낮추기 위한 질소 가스를 도입할 필요도 없어, 제해부(2)에서 처리해야 할 가스의 총량이 감소하여 제해부(2)를 소형화할 수 있다. In addition, the distance between the main pump 1b and the dismantling unit 2 can be shortened. Therefore, even if the heater 97 as shown in FIG. 20 is not provided, a decrease in the temperature of the exhaust gas can be suppressed, and there is no need to introduce nitrogen gas for lowering the exhaust gas concentration, and in the dismantling unit 2 The total amount of gas to be treated can be reduced, so that the dissection unit 2 can be miniaturized.

또, 도 1에서는, 건식 펌프(1)에서의 부스터 펌프(1a)와 메인 펌프(1b)가 착탈 가능하게 접속되는 예를 나타냈다. 이에 비해, 도 17에 나타낸 바와 같이, 부스터 펌프(1a)와 메인 펌프(1b)를 일체로 해도 좋다. 이 경우, 부스터 펌프(1a)도 하프레임(5a)에 수납된다. 그리고, 부스터 펌프(1a)와 툴(200)이 착탈 가능하게 접속된다. In addition, in FIG. 1, the example in which the booster pump 1a and the main pump 1b in the dry pump 1 are connected removably was shown. On the other hand, as shown in FIG. 17, you may integrate the booster pump 1a and the main pump 1b. In this case, the booster pump 1a is also accommodated in the lower frame 5a. And the booster pump 1a and the tool 200 are detachably connected.

또한, 툴(200)로부터의 배출 가스의 양이 많지 않은 경우에는, 도 18에 나타낸 바와 같이 건식 펌프(1)가 메인 펌프(1b)만을 포함해도 좋다. 이 경우, 툴(200)과 메인 펌프(1b)는 착탈 가능하게 접속된다. In addition, when the quantity of the exhaust gas from the tool 200 is not large, as shown in FIG. 18, the dry pump 1 may include only the main pump 1b. In this case, the tool 200 and the main pump 1b are detachably connected.

또한, 도 19에 나타낸 바와 같이, 패키지(101) 내에 2 이상의 연소부(20a, 20b)를 설치하고, 전환 수단(6)에 의해 연소부(20a, 20b)의 어느 하나와 메인 펌프(1b)가 접속되도록 해도 좋다. 구체적으로는, 전환 수단(6)은, 연소부(20a, 20b) 사이에 직렬 접속된 2개의 크로스 밸브(6a, 6b)를 갖는다. 크로스 밸브(6a, 6b)를 적절히 개폐 제어함으로써, 유로(3)를 통해 연소부(20a, 20b)의 어느 하나와 메인 펌프(1b)를 접속하거나, 연소부(20a, 20b)의 어느 하나와 바이패스를 접속하거나 할 수 있다. In addition, as shown in Fig. 19, two or more combustion units 20a, 20b are provided in the package 101, and either one of the combustion units 20a, 20b and the main pump 1b by the switching means 6 may be connected. Specifically, the switching means 6 has two cross valves 6a and 6b connected in series between the combustion units 20a and 20b. By appropriately opening/closing the cross valves 6a and 6b, the main pump 1b is connected to any one of the combustion units 20a and 20b via the flow passage 3, or to any one of the combustion units 20a, 20b. Bypass can be connected or not.

이와 같이 제해부(2)가 2 이상의 연소부를 가짐으로써, 만일, 툴(200)에 의한 프로세스 실행 중에 연소부에 트러블이 발생했다 하더라도, 다른 연소부로 바로 전환함으로써 제해 기능이 계속되어, 툴에서 처리하고 있는 웨이퍼의 손실을 방지할 수 있다. 수동으로 전환을 행하는 것으로 해도 좋고, 사용중인 연소부에 트러블이 발생한 것의 검지 및 전환을 자동으로 행하는 것으로 해도 좋다. As described above, since the detoxifying unit 2 has two or more combustion units, even if a problem occurs in the combustion unit during process execution by the tool 200, the detoxification function continues by switching to another combustion unit immediately, and processing in the tool It is possible to prevent the loss of the wafer. It is good also as performing switching manually, and it is good also as a thing which detects and switches automatically what a trouble generate|occur|produced in the combustion part in use.

전술한 실시형태는, 본 발명이 속하는 기술분야에서의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있는 것을 목적으로 하여 기재된 것이다. 상기 실시형태의 여러가지 변형예는 당업자라면 당연히 이룰 수 있는 것이며, 본 발명의 기술적 사상은 다른 실시형태에도 적용할 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은, 기재된 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 의해 정의되는 기술적 사상에 따른 가장 넓은 범위로 해야 한다.The embodiments described above are described for the purpose that those skilled in the art to which the present invention pertains can practice the present invention. Various modifications of the above embodiments can be made by those skilled in the art, and the technical spirit of the present invention can be applied to other embodiments. Accordingly, the present invention is not limited to the described embodiments, and should be in the widest scope according to the technical idea defined by the claims.

Claims

a dry pump for evacuating exhaust gas from the tool;
a removal unit for removing the exhaust gas evacuated by the dry pump;
and a flow path directly connecting the dry pump and the removal unit in a non-removable manner,
The dry pump is
a first pump connected to the tool;
and a second pump detachably connected to the first pump and detachably connected to the release unit by the flow passage.

The method of claim 1,
The dry pump is provided with an exhaust port on its side,
The removal unit has a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas into the combustion unit,
and the flow path extends in a horizontal direction, one end connected to an exhaust port of the dry pump and the other end connected to a nozzle of the releasing unit.

The method of claim 1,
The dry pump is provided with an exhaust port on its upper surface,
The removal unit has a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas into the combustion unit,
wherein the flow path is L-shaped having a vertical portion and a horizontal portion, a lower end of the vertical portion is connected to an exhaust port of the dry pump, and one end of the horizontal portion is connected to a nozzle of the detoxifying unit. vacuum pump.

The method of claim 1,
The dry pump is provided with an exhaust port on its lower surface,
The removal unit has a combustion unit for burning the exhaust gas, and a nozzle for introducing the exhaust gas into the combustion unit,
wherein the flow path is L-shaped having a vertical portion and a horizontal portion, an upper end of the vertical portion is connected to an exhaust port of the dry pump, and one end of the horizontal portion is connected to a nozzle of the detoxifying unit. vacuum pump.

5. The method according to any one of claims 2 to 4,
The combustion part is cylindrical,
The nozzle is provided on a side surface of the combustion unit, and introduces the exhaust gas in a tangential direction to the combustion unit.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The dry pump is a screw type pump or a root type pump.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A dry vacuum pump with a removal function, wherein the dry pump and the removal unit are movable modules, and swap maintenance is possible.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The disengagement unit,
Two or more combustion units for burning the exhaust gas;
and switching means for connecting any one of the two or more combustion parts to the dry pump.

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