KR102328169B1 - Magnet chuck - Google Patents

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고이치로 간다
츠요시 사사키
히사시 야지마
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

마그넷 척(10)은 실린더 튜브(14)의 제2 슬라이딩 구멍(38) 내에서 변위하는 피스톤(58)을 포함한다. 피스톤(58)이 한쪽 변위종점에 도달하면 피스톤(58)의 일단면이 플레이트 부재(42)에 맞닿는 반면, 피스톤(58)이 다른쪽 변위종점에 도달하면 피스톤(58)의 타단면이 헤드 커버(18)의 진입부(44)에 맞닿는다. 플레이트 부재(42)에는, 상기 일단면 상의 제1 댐퍼(84) 및 상기 타단면 상의 제2 댐퍼(94) 중 적어도 하나, 바람직하게는 쌍방 모두가 설치된다.The magnet chuck 10 includes a piston 58 that is displaced in the second sliding hole 38 of the cylinder tube 14 . When the piston 58 reaches one displacement end point, one end face of the piston 58 abuts against the plate member 42, whereas when the piston 58 reaches the other displacement end point, the other end face of the piston 58 is the head cover. Abuts against the entry portion 44 of (18). At least one, preferably both, of the first damper 84 on the one end surface and the second damper 94 on the other end surface is provided on the plate member 42 .

Description

마그넷 척 {MAGNET CHUCK}Magnet chuck {MAGNET CHUCK}

본 발명은, 영구자석의 자력으로 워크를 흡인하여 유지하는 마그넷 척에 관한 것이다.The present invention relates to a magnet chuck that attracts and holds a workpiece by the magnetic force of a permanent magnet.

마그넷 척은, 전자석 또는 영구자석 중 어느 하나를 포함한다. 전자석의 경우에는, 전자석에의 통전 개시(즉, 여자화)에 의해 자력이 발생하고, 이것에 의해 워크를 흡인하여 유지한다. 또, 통전이 정지되면, 자력이 소실되고, 그 결과, 워크가 해방(released)된다.The magnet chuck includes either an electromagnet or a permanent magnet. In the case of an electromagnet, a magnetic force is generated by the start of energization to the electromagnet (that is, excitation), thereby attracting and holding the work. Moreover, when electricity supply is stopped, the magnetic force is lost, and as a result, the work is released.

한편, 영구자석의 경우에는, 예를 들면, 일본 특허공개 특개소55-078505호 공보에 기재된 바와 같이, 영구자석을 회전시킴으로써 워크에 대한 흡인 및 유지뿐만 아니라 해방을 전환시키는 장치도 존재한다. 그렇지만, 일반적으로는, 피스톤에 영구자석을 연결하고, 그 피스톤과 함께 영구자석을 변위시키는 것이 알려져 있다 (예를 들면, 일본 실용신안공개 실개소51-102174호 공보 참조). 일본 실용신안공개 실개소51-102174호 공보에 기재된 바와 같은 마그넷 척으로는, 유체압을 받은 피스톤이 변위하는 것에 추종하여 영구자석이 워크에 접근하는 것에 따라, 워크가 흡인되어 유지된다. 또, 영구자석 및 피스톤이 워크로부터 이격되는 방향으로 변위하면, 워크가 해방된다.On the other hand, in the case of a permanent magnet, as described in, for example, Japanese Unexamined Patent Application Laid-Open No. 55-078505, there is a device for switching the release as well as the attraction and holding of the work by rotating the permanent magnet. However, in general, it is known to connect a permanent magnet to a piston and to displace the permanent magnet together with the piston (for example, refer to Japanese Utility Model Laid-Open No. 51-102174). In a magnet chuck as described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 51-102174, the work is attracted and held as the permanent magnet approaches the work in response to the displacement of the piston subjected to fluid pressure. Further, when the permanent magnet and the piston are displaced in a direction away from the work, the work is released.

이런 종류의 마그넷 척은, 예를 들면, 로봇의 선단 암에 설치되어, 로봇이 소정의 동작을 수행하는 것에 따라, 흡인하여 유지한 워크를 소정의 위치까지 반송한다.This type of magnet chuck is installed, for example, on the tip arm of the robot, and as the robot performs a predetermined operation, the suctioned and held workpiece is conveyed to a predetermined position.

피스톤과 영구자석을 일체로 함께 변위시키는 경우, 예를 들면, 피스톤이 상사점에 도달했을 때에 헤드 커버에 맞닿을 수 있는 것을 생각할 수 있다. 이 경우, 마그넷 척이 진동하고, 불쾌한 소리가 발생하는 한 요인이 된다. 또, 맞닿음에 의해 피스톤의 내구성이 저하할 우려도 있다.When the piston and the permanent magnet are integrally displaced together, it is conceivable that, for example, the piston can abut against the head cover when the top dead center is reached. In this case, the magnet chuck vibrates and becomes one factor in generating an unpleasant sound. Moreover, there exists a possibility that the durability of a piston may fall by contact|abutting.

본 발명의 주된 목적은, 피스톤이 변위종점에 도달했을 때에 진동이 발생하는 것이 억제되는 마그넷 척을 제공하는 것에 있다.A main object of the present invention is to provide a magnet chuck in which vibration is suppressed when the piston reaches the displacement end point.

본 발명의 다른 목적은, 피스톤 등의 내구성을 확보할 수 있는 마그넷 척을 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a magnet chuck capable of ensuring durability of a piston or the like.

본 발명의 일 실시형태에 의하면, 영구자석의 자력으로 워크를 흡인하여 유지하는 마그넷 척에 있어서, 피스톤이 변위하는 슬라이딩 구멍이 형성된 실린더 튜브 및 상기 실린더 튜브에 부착되어 상기 슬라이딩 구멍의 일단을 폐쇄시키는 헤드 커버를 포함하는 하우징과, 상기 피스톤에 연결되고 상기 영구자석을 유지하는 유지부재와, 상기 하우징 내에 위치결정 및 고정되어 상기 피스톤과 함께 상기 실린더 튜브 내에 내부챔버를 형성하는 구획부재를 포함한다. 상기 마그넷 척은, 제1 댐퍼 및 제2 댐퍼 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 제1 댐퍼는 상기 구획부재 혹은 상기 피스톤 중 어느 하나에 설치되어 상기 피스톤이 상기 구획부재에 맞닿을 때의 진동을 완화하고, 상기 제2 댐퍼는 상기 피스톤 혹은 상기 헤드 커버 중 어느 하나에 설치되어 상기 피스톤이 상기 헤드 커버에 맞닿을 때의 진동을 완화한다.According to an embodiment of the present invention, in the magnet chuck for attracting and holding a workpiece by the magnetic force of a permanent magnet, it is attached to a cylinder tube having a sliding hole through which a piston is displaced and the cylinder tube to close one end of the sliding hole a housing including a head cover; a holding member connected to the piston and holding the permanent magnet; and a partition member positioned and fixed in the housing to form an inner chamber in the cylinder tube together with the piston. The magnet chuck includes at least one of a first damper and a second damper, and the first damper is installed on either the partition member or the piston to relieve vibration when the piston comes into contact with the partition member. and the second damper is installed on either the piston or the head cover to reduce vibration when the piston comes into contact with the head cover.

제1 댐퍼가 설치된 구성에 있어서는, 피스톤이 한쪽의 변위종점(예를 들면, 하사점)에 도달했을 때, 피스톤과 구획부재와의 사이에 제1 댐퍼가 개재된다. 이 때문에, 피스톤이 구획부재에 맞닿을 때의 진동 및 충격이 완화된다. 한편, 제2 댐퍼가 설치된 구성에 있어서는, 피스톤이 다른 한쪽의 변위종점(예를 들면, 상사점)에 도달했을 때, 피스톤과 헤드 커버와의 사이에 제2 댐퍼가 개재된다. 이 때문에, 피스톤이 헤드 커버에 맞닿을 때의 진동 및 충격이 완화된다. 이상과 같은 이유로부터, 피스톤이 변위종점에 도달했을 때에 진동하는 것이나 불쾌한 소리가 발생하는 것이 회피된다. 따라서, 제1 댐퍼 및 제2 댐퍼의 쌍방을 설치하는 것이 가장 바람직하다.In the configuration in which the first damper is provided, the first damper is interposed between the piston and the partition member when the piston reaches one of the displacement end points (for example, bottom dead center). For this reason, the vibration and shock at the time of the piston contact|abutting against a partition member are relieve|moderated. On the other hand, in the configuration in which the second damper is provided, when the piston reaches the other displacement end point (eg, top dead center), the second damper is interposed between the piston and the head cover. For this reason, the vibration and shock when a piston contacts a head cover are relieve|moderated. From the above reasons, it is avoided that the piston vibrates when the displacement end point is reached and an unpleasant sound is generated. Therefore, it is most preferable to provide both the first damper and the second damper.

게다가, 피스톤, 구획부재, 및 헤드 커버가 파손되는 것이 회피된다. 즉, 이러한 부재의 내구성이 보장된다. 따라서, 마그넷 척의 수명을 장기화시킬 수 있다.Furthermore, damage to the piston, partition member, and head cover is avoided. That is, the durability of these members is ensured. Accordingly, it is possible to prolong the life of the magnet chuck.

피스톤과 유지부재는, 피스톤에 비해 소직경인 축을 통하여 연결될 수 있다. 이 경우에, 구획부재는 피스톤과 유지부재와의 사이에 위치결정되어 고정된다. 그리고, 구획부재에 축을 통과하기 위한 삽입구멍을 형성한다. 이상과 같은 구성에 따라, 피스톤과 유지부재와의 사이에 구획부재를 설치했음에도 불구하고, 피스톤에 추종하여 영구자석을 변위시킬 수가 있다.The piston and the holding member may be connected through a shaft having a smaller diameter than that of the piston. In this case, the partition member is positioned and fixed between the piston and the holding member. Then, an insertion hole for passing the shaft is formed in the partition member. According to the above configuration, the permanent magnet can be displaced by following the piston despite the partition member being provided between the piston and the holding member.

이 경우, 유지부재와 축을 동일한 부재로 일체로 함께 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 부품 개수가 감소된다.In this case, it is preferable that the holding member and the shaft are integrally formed together by the same member. Accordingly, the number of parts is reduced.

유지부재를 가지는 부재는, 요크로 구성될 수 있다. 이 경우, 요크의 존재로 인하여 영구자석의 흡인력이 더욱 강력하게 된다. 따라서, 워크를 더욱 효과적으로 흡인하여 유지할 수가 있게 된다.The member having the holding member may be constituted by a yoke. In this case, the attraction force of the permanent magnet becomes stronger due to the presence of the yoke. Therefore, it becomes possible to more effectively attract and hold the work.

또, 영구자석을, 워크를 향하는 워크 자기부착면에 N극과 S극의 조합이 1쌍 이상 존재하도록 구성하는 것이 바람직하다. 특히, 다른 자극끼리가 인접하도록배열하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable to configure the permanent magnet so that one or more pairs of N poles and S poles are present on the magnetically attaching surface of the workpiece facing the workpiece. In particular, it is preferable to arrange so that different magnetic poles are adjacent to each other.

이 구성에 있어서, 워크 자기부착면에 노출된 N극으로부터 출발한 자속은, 동일한 워크 자기부착면에 인접하는 2개의 S극으로 향한다. 이 때문에, 워크 자기부착면의 자극이 N극 또는 S극 중 어느 한쪽, 즉 하나의 극을 갖는 종래 기술에 따른 마그넷 척에 비해, 워크 내에서 자로(磁路)(자속량)가 많아진다. 그 결과, 워크에 대해서 큰 흡인력이 발현한다. 따라서, 워크가 얇은 강판인 경우에도, 워크를 효과적으로 자기로 부착시킬 수 있다.In this configuration, the magnetic flux starting from the N pole exposed on the magnetic attachment surface of the work is directed to the two S poles adjacent to the magnetic attachment surface of the work. For this reason, the magnetic path (magnetic flux amount) in the workpiece increases compared to the conventional magnet chuck in which the magnetic pole of the magnetic pole of the workpiece has either the N pole or the S pole, that is, one pole. As a result, a large attractive force is expressed with respect to the work. Therefore, even when the workpiece is a thin steel sheet, the workpiece can be effectively magnetically attached.

다시 말해서, 이 구성을 채용할 때, 영구자석의 소재나 특성 등이, 종래 기술에 따른 마그넷 척의 영구자석과 동일하다면, 치수를 동일하게 했을 때 워크에 대한 흡인력을 증가시킬 수가 있다. 한편, 흡인력을 종래 기술에 따른 마그넷 척의 영구자석과 동일하게 하는 경우, 영구자석의 치수를 작게 할 수가 있으므로, 마그넷 척의 소형화(컴팩트화)를 도모할 수가 있다.In other words, when adopting this configuration, if the material, characteristics, etc. of the permanent magnet are the same as those of the permanent magnet of the magnet chuck according to the prior art, the attraction force to the workpiece can be increased when the dimensions are the same. On the other hand, when the attraction force is equal to that of the permanent magnet of the magnet chuck according to the prior art, the size of the permanent magnet can be reduced, so that the size (compact) of the magnet chuck can be achieved.

더욱이, 영구자석이 회전하면, 오토 스위치 부근에서 자속밀도가 변화하고, 그 결과로 오토 스위치가 오작동을 일으킬 가능성이 있다고도 생각된다. 따라서, 실린더 튜브와 헤드 커버를 연결하는 연결부재에 의해, 영구자석이 회전하는 것을 방지하기 위한 회전 방지부재를 제공하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 상기와 같은 사태가 야기될 우려를 불식시킬 수가 있기 때문이다. 이 경우에, 연결부재는 강자성체 금속으로 구성될 수 있다.Furthermore, it is also considered that when the permanent magnet rotates, the magnetic flux density changes in the vicinity of the auto switch, and as a result, the auto switch may malfunction. Therefore, it is preferable to provide a rotation preventing member for preventing the permanent magnet from rotating by the connecting member connecting the cylinder tube and the head cover. This is because it is possible to dispel the fear that the above situation may be caused. In this case, the connecting member may be made of a ferromagnetic metal.

게다가, 이 경우, 마그넷 척을 조립하기 위한 연결부재가 회전 방지부재로서 기능하므로, 연결부재와는 별도로 회전 방지부재를 이용할 필요가 없다. 따라서, 부품 개수가 증가하는 것을 회피할 수 있으므로, 마그넷 척의 크기를 더욱 컴팩트하게 할 수 있다. 또한 그러한 구성은 비용 효율적이다.Furthermore, in this case, since the connecting member for assembling the magnet chuck functions as the rotation preventing member, there is no need to use the rotation preventing member separately from the connecting member. Therefore, since it is possible to avoid an increase in the number of parts, the size of the magnet chuck can be made more compact. Also, such a configuration is cost-effective.

연결부재를 회전 방지부재로서 제공할 때, 연결부재를, 워크 자기부착면에서 서로 인접하는 N극과 S극과의 경계에 배치하는 것이 바람직하다. 이러한 배치에서는, 다른 위치에 회전 방지부재를 배치할 때와 비교해, 영구자석이 가장 회전하기 어려워진다.When providing the connecting member as the rotation preventing member, it is preferable to arrange the connecting member at the boundary between the N pole and the S pole adjacent to each other on the work magnetic attachment surface. In this arrangement, the permanent magnet becomes the most difficult to rotate as compared with the case where the rotation preventing member is arranged at another position.

또한, 피스톤의 측벽에 밀봉부재를 설치하고, 그 밀봉부재에 의해 피스톤과 실린더 튜브와의 사이를 밀봉하는 것이 바람직하다. 이 경우, 영구자석이 전진 또는 후퇴할 때의 어느 경우에도, 피스톤은 압축유체로부터 가압력을 받는다. 영구자석이 전진할 때의 피스톤의 수압면적과, 후퇴할 때의 피스톤의 수압면적은 대략 동등하며, 따라서 전진 및 후퇴시에 있어서의 추진력은 실질적으로 동등하다. 따라서, 예를 들면, 워크가 자기적으로 부착될 때와 워크가 해방될 때의 응답 속도를 실질적으로 동등하게 할 수가 있다.Further, it is preferable to provide a sealing member on the side wall of the piston, and to seal between the piston and the cylinder tube by the sealing member. In this case, the piston receives a pressing force from the compressed fluid in either case when the permanent magnet moves forward or retreats. The pressure-receiving area of the piston when the permanent magnet moves forward and the pressure-receiving area of the piston when it retracts are approximately equal, and therefore the driving force at the time of forward and backward is substantially equal. Accordingly, for example, it is possible to substantially equalize the response speed when the workpiece is magnetically attached and when the workpiece is released.

본 발명의 상기된 그리고 또 다른 목적들, 특징들 및 장점들은, 본 발명의 바람직한 실시형태가 예시적인 실시예에 의해 도시되는 첨부 도면들을 참조할 때, 이어지는 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.The above and still further objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the description that follows, when reference is made to the accompanying drawings in which a preferred embodiment of the present invention is shown by way of exemplary embodiment.

본 발명에 의하면, 실린더 튜브 내를 변위하는 피스톤, 혹은 실린더 튜브 내에 위치결정되어 고정된 구획부재 중 어느 하나에 제1 댐퍼를 설치하거나, 또는 상기 피스톤 혹은 상기 실린더 튜브에 연결되는 헤드 커버 중 어느 하나에 제2 댐퍼를 설치하도록 하고 있다. 물론, 제1 댐퍼와 제2 댐퍼의 쌍방을 설치하도록 하여도 좋다.According to the present invention, a first damper is installed in any one of a piston displacing the cylinder tube or a partition member positioned and fixed in the cylinder tube, or any one of the piston or a head cover connected to the cylinder tube A second damper is installed on the Of course, both the first damper and the second damper may be provided.

제1 댐퍼를 설치한 경우, 피스톤이 하사점에 도달하였을 때에는, 그 피스톤과 구획부재와의 사이에 제1 댐퍼가 개재된다. 한편, 제2 댐퍼를 설치한 경우, 피스톤이 상사점에 도달하였을 때에는, 그 피스톤과 헤드 커버와의 사이에 제2 댐퍼가 개재된다. 이 때문에, 피스톤이 구획부재에 맞닿을 때, 또는 피스톤이 헤드 커버에 맞닿을 때의 진동이나 충격이 완화된다. 따라서, 진동이나 불쾌한 소리가 발생할 우려가 방지된다.When the first damper is provided, when the piston reaches the bottom dead center, the first damper is interposed between the piston and the partition member. On the other hand, when the second damper is provided, when the piston reaches top dead center, the second damper is interposed between the piston and the head cover. For this reason, the vibration or shock when a piston abuts against a partition member or a piston when abutting a head cover is relieved. Therefore, the possibility that vibration or an unpleasant sound may be generated is prevented.

게다가, 피스톤이나 구획부재, 헤드 커버가 손상되는 것이 회피될 수 있으므로, 마그넷 척의 내구성이 향상된다.In addition, since damage to the piston or the partition member and the head cover can be avoided, the durability of the magnet chuck is improved.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 마그넷 척의 주요부 개략 사시도이다.
도 2는, 도 1 중의 화살표 A방향으로부터 본 평면도이다.
도 3은, 도 2 중의 III-III선을 따라 취해진 단면도이다.
도 4는, 도 3에 도시된 상태로부터 피스톤, 요크, 및 제1 내지 제4 영구자석이 아래쪽으로 변위된 상태를 나타내는 개략 종단면도이다.
도 5a 및 도 5b는, 각각, 워크 자기부착면에 있어서의 극 수가 1개일 때의 자속의 측면 모식도, 및 자기포화영역을 나타내는 평면 모식도이다.
도 6a, 도 6b는, 각각, 워크 자기부착면에 있어서의 극수가 2개(N극과 S극의 조합수가 1쌍)일 때의 자속의 측면 모식도, 자기포화영역을 나타내는 평면 모식도이다.
도 7은, 워크 자기부착면에 있어서의 극 수가 4개(N극과 S극의 조합 수가 2쌍)일 때의 자기포화영역을 나타내는 평면 모식도이다.
도 8은, 워크 자기부착면에 있어서의 자극 수(N극과 S극과의 조합수)와 발생하는 흡인력과의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 9는, 3개의 U자형 영구자석을 조합하여 워크 자기부착면을 형성한 상태를 나타내는 개략 사시도이다.
도 10은, 2개의 U자형 영구자석을 조합하여 워크 자기부착면을 형성한 상태를 나타내는 개략 저면도이다.
도 11은, 봉형 자석으로 할바흐 배열을 형성하여 워크 자기부착면에 1쌍의 N극과 S극과의 조합을 설치한 상태를 나타내는 개략 정면도이다.
도 12는, 자극의 방향이 U자형이 되도록 원통체를 자화시킴으로써 얻어지는 영구자석의 개략 전체 사시도이다.
도 13은, 워크 자기부착면에 직교하는 방향으로 자극이 향하도록 원통체를 자화시킴으로써 얻어지는 영구자석의 개략 전체 사시도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a principal part schematic perspective view of the magnet chuck which concerns on embodiment of this invention.
FIG. 2 is a plan view viewed from the arrow A direction in FIG. 1 .
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2 .
4 is a schematic longitudinal sectional view showing a state in which the piston, the yoke, and the first to fourth permanent magnets are displaced downward from the state shown in FIG. 3 .
5A and 5B are schematic side views of magnetic flux when the number of poles on the workpiece magnetic attachment surface is one, and plan schematic views showing magnetic saturation regions, respectively.
6A and 6B are schematic side views of magnetic flux when the number of poles on the workpiece magnetic attachment surface is two (the number of combinations of N poles and S poles is one pair), respectively, and plan schematic diagrams showing magnetic saturation regions.
Fig. 7 is a schematic plan view showing a magnetic saturation region when the number of poles on the work magnetic attachment surface is 4 (the number of combinations of N poles and S poles is 2 pairs).
Fig. 8 is a graph showing the relationship between the number of magnetic poles (the number of combinations of N poles and S poles) and the generated attraction force on the magnetically attaching surface of the workpiece.
Fig. 9 is a schematic perspective view showing a state in which a work magnetic attachment surface is formed by combining three U-shaped permanent magnets.
Fig. 10 is a schematic bottom view showing a state in which a work magnetic attachment surface is formed by combining two U-shaped permanent magnets.
Fig. 11 is a schematic front view showing a state in which a combination of a pair of N poles and S poles is provided on a magnetically attaching surface of a work by forming a Halbach arrangement with a bar magnet.
Fig. 12 is a schematic overall perspective view of a permanent magnet obtained by magnetizing a cylindrical body so that the direction of the magnetic pole is U-shaped.
Fig. 13 is a schematic overall perspective view of a permanent magnet obtained by magnetizing a cylindrical body so that the magnetic poles are directed in a direction orthogonal to the workpiece magnetic attachment surface.

이하, 본 발명에 따른 마그넷 척에 있어서, 매우 적합한 실시형태를 들어 첨부의 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하의 설명 중 "위" 및 "아래"는, 도 1, 도 3 및 도 4에 있어서의 위 및 아래에 대응한다. 또, 본 실시형태에서는, 압축공기를 동작 유체로서 이용하는 경우를 예시한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the magnet chuck which concerns on this invention WHEREIN: It demonstrates in detail with reference to attached drawing, giving a suitable embodiment. In the following description, "above" and "below" correspond to above and below in FIGS. 1, 3, and 4 . In addition, in this embodiment, the case where compressed air is used as a working fluid is illustrated.

도 1 내지 도 3은, 각각, 본 실시형태에 따른 마그넷 척(10)의 주요부 개략 사시도, 도 1 중의 화살표 A 방향으로부터 본 평면도, 도 2 중의 III-III선을 따라 취해진 단면도이다. 마그넷 척(10)은, 도 3에 도시된 워크(12)를 흡인하여 유지한다. 물론, 워크(12)는 강자성체로 이루어지며, 그 구체적인 예로서는 얇은 강판을 들 수 있다. 워크(12)의 두께(T1)는, 예를 들면, 0.5 내지 2mm 정도이며, 전형적으로는 약 0.6mm이다.1 to 3 are a schematic perspective view of a main part of the magnet chuck 10 according to the present embodiment, a plan view viewed from the direction of arrow A in FIG. 1 , and a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 2 , respectively. The magnet chuck 10 attracts and holds the work 12 shown in FIG. 3 . Of course, the work 12 is made of a ferromagnetic material, and a specific example thereof is a thin steel sheet. The thickness T1 of the work 12 is, for example, about 0.5 to 2 mm, and typically about 0.6 mm.

마그넷 척(10)은, 실린더 튜브(14)에 대해서 마그넷 커버(16), 및 헤드 커버(18)를 부착시킴으로써 구성되는 하우징(20)을 포함한다. 이하, 도 3을 주로 참조해 설명하면, 먼저, 마그넷 커버(16)는, 그 길이방향을 따라 제1 슬라이딩 구멍(22)이 연장하도록 형성되는 중공체로 만들어진다. 제1 슬라이딩 구멍(22)은, 후술하는 요크(64)의 플랜지(66)(유지부재)와 플레이트 부재(42)(구획부재)에 의해, 하부챔버(23)와 제1 중간챔버(24)로 구획되어 있다. 즉, 하부챔버(23)는, 마그넷 커버(16)의 바닥벽부와 플랜지(66)의 하단면 사이의 공간이다. 또, 제1 중간챔버(24)는, 플랜지(66)의 상단면과 플레이트 부재(42)의 하단면 사이이다.The magnet chuck 10 includes a housing 20 constructed by attaching a magnet cover 16 and a head cover 18 to a cylinder tube 14 . Hereinafter, referring mainly to FIG. 3 , first, the magnet cover 16 is made of a hollow body in which the first sliding hole 22 extends along the longitudinal direction thereof. The first sliding hole 22 is formed by a flange 66 (holding member) and a plate member 42 (partition member) of a yoke 64 described later, a lower chamber 23 and a first intermediate chamber 24 . is partitioned by That is, the lower chamber 23 is a space between the bottom wall portion of the magnet cover 16 and the lower end surface of the flange 66 . Further, the first intermediate chamber 24 is between the upper end surface of the flange 66 and the lower end surface of the plate member 42 .

마그넷 커버(16)의 하단면에는 중공 원기둥부(25)가 돌출 형성되어 있고, 중공 원기둥부(25)에는, 제1 슬라이딩 구멍(22)(하부챔버(23))을 둘러싸는 위치에 제1 환형 홈(26)이 형성되어 있다. 제1 환형 홈(26)에는 실질적으로 링 형상인 고무 완충부재(28)의 일부가 압입되는 반면, 고무 완충부재(28)의 나머지는 마그넷 커버(16)으로부터 링 형상으로 돌출된다. 고무 완충부재(28)에는 슬릿(29)(도 2 참조)가 복수개 형성된다.A hollow cylindrical portion 25 is protruded from the lower end surface of the magnet cover 16, and the hollow cylindrical portion 25 has a first sliding hole 22 (lower chamber 23) at a position surrounding the first sliding hole 22 (lower chamber 23). An annular groove 26 is formed. A portion of the rubber buffer member 28 having a substantially ring shape is press-fitted into the first annular groove 26 , while the rest of the rubber buffer member 28 protrudes from the magnet cover 16 in a ring shape. A plurality of slits 29 (see FIG. 2 ) are formed in the rubber buffer member 28 .

마그넷 커버(16)의 중간 측면부(30)(도 3 참조)는 실질적으로 직육면체 형상으로 형성되며, 그 상단부(32)는 실질적으로 원통형상으로 형성된다. 그러한 상이한 형상에 근거하여, 마그넷 커버(16)에는 중간 측면부(30)와 상단부(32)에 의해 계단부(34)가 형성된다. 상단부(32)의 측벽에는, 제1 밀봉부재(36)가 설치된다.The middle side portion 30 (see FIG. 3 ) of the magnet cover 16 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and the upper end portion 32 thereof is formed in a substantially cylindrical shape. Based on such a different shape, a step portion 34 is formed in the magnet cover 16 by the middle side portion 30 and the upper end portion 32 . A first sealing member 36 is installed on the side wall of the upper end portion 32 .

또, 중간 측면부(30)의 일측면에는 제1 포트(37)가 형성된다. 제1 포트(37)는 하부챔버(23)와 연통한다.In addition, a first port 37 is formed on one side of the intermediate side portion 30 . The first port 37 communicates with the lower chamber 23 .

실린더 튜브(14)에는, 그 길이방향을 따라 연장하는 제2 슬라이딩 구멍(38)이 형성된다. 제2 슬라이딩 구멍(38)의, 길이방향에 직교하는 방향의 단면은 실질적으로 진원 형상(perfectly circular)을 이룬다. 또, 제2 슬라이딩 구멍(38)은, 실린더 튜브(14)의 하단 및 상단에서 개구되어 있다. 즉, 실린더 튜브(14)는, 외형이 실질적으로 직육면체 형상으로 형성되는 중공체이다.The cylinder tube 14 is formed with a second sliding hole 38 extending along its longitudinal direction. A cross section of the second sliding hole 38 in a direction perpendicular to the longitudinal direction has a substantially perfectly circular shape. Further, the second sliding hole 38 is opened at the lower end and upper end of the cylinder tube 14 . That is, the cylinder tube 14 is a hollow body in which the outer shape is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.

제2 슬라이딩 구멍(38)의 하단측 개구 부근에 있어서는, 그 내벽이 외벽 측을 향하여 함몰됨으로써 얇은 벽부(thin-walled portion)(40)가 형성되어 있다. 이 때문에, 얇은 벽부(40)는 다른 부위에 비해 두께가 작게 설정되어 있다. 얇은 벽부(40)의 하단면은, 마그넷 커버(16)의 계단부(34)에 맞닿는다. 또, 마그넷 커버(16)의 상단부(32)는, 제2 슬라이딩 구멍(38)에 삽입됨과 함께 얇은 벽부(40)에 끼워맞춰진다. 얇은 벽부(40)와 마그넷 커버(16)의 상단부(32)와의 사이는, 제1 밀봉부재(36)에 의해 밀봉된다.In the vicinity of the lower end opening of the second sliding hole 38, a thin-walled portion 40 is formed by the inner wall being depressed toward the outer wall side. For this reason, the thickness of the thin wall part 40 is set small compared with the other part. The lower end of the thin wall portion 40 abuts against the step portion 34 of the magnet cover 16 . In addition, the upper end 32 of the magnet cover 16 is fitted into the thin wall portion 40 while being inserted into the second sliding hole 38 . A space between the thin wall portion 40 and the upper end portion 32 of the magnet cover 16 is sealed by the first sealing member 36 .

마그넷 커버(16)의 상단면과 얇은 벽부(40)의 천정면과의 사이에는, 플레이트 부재(42)의 외부 에지부가 개재된다. 다시 말해서, 플레이트 부재(42)는, 마그넷 커버(16)와 실린더 튜브(14)로 끼워져 있다. 또한, 플레이트 부재(42)에 대해서는 후술한다.An outer edge portion of the plate member 42 is interposed between the top surface of the magnet cover 16 and the ceiling surface of the thin wall portion 40 . In other words, the plate member 42 is sandwiched between the magnet cover 16 and the cylinder tube 14 . In addition, the plate member 42 is mentioned later.

실린더 튜브(14)의 상단측 개구는, 헤드 커버(18)에 의해 폐쇄된다. 헤드 커버(18)의 하단면에는, 실질적으로 원기둥 형상의 진입부(44)가 돌출 형성되어 있다. 이 진입부(44)가 실린더 튜브(14) 내에 진입함으로써, 헤드 커버(18)가 실린더 튜브(14)에 끼워맞춰진다. 진입부(44)의 측벽에는 제2 밀봉부재(46)가 설치되어 있고, 이 제2 밀봉부재(46)에 의해, 실린더 튜브(14)와 헤드 커버(18)의 사이가 밀봉된다.The upper end opening of the cylinder tube 14 is closed by the head cover 18 . On the lower end surface of the head cover 18, a substantially cylindrical entry portion 44 is formed to protrude. As this entry portion 44 enters the cylinder tube 14 , the head cover 18 is fitted to the cylinder tube 14 . A second sealing member 46 is provided on the side wall of the entry portion 44 , and a space between the cylinder tube 14 and the head cover 18 is sealed by the second sealing member 46 .

헤드 커버(18)의 일측면에는, 제2 포트(50)가 형성된다. 제2 포트(50)는, 제1 포트(37)가 형성된 측면과 동일한 측면에 위치한다. 제1 포트(37) 및 제2 포트(50)에는, 도시하지 않는 급배기 기구가 접속된다.A second port 50 is formed on one side of the head cover 18 . The second port 50 is located on the same side as the side on which the first port 37 is formed. A supply/exhaust mechanism (not shown) is connected to the first port 37 and the second port 50 .

하우징(20)의 사방의 모서리부에는, 헤드 커버(18)로부터 실린더 튜브(14)를 통하여 마그넷 커버(16)의 중간 측면부(30)의 하단 부근에 이를 때까지, 바닥이 있는 로드 구멍(52)이 각각 형성된다. 각각의 로드 구멍(52)에 삽입된 제1 내지 제4 타이 로드(tie rode)(54a 내지 54d)(연결부재)의 나사부는, 로드 구멍(52)의 바닥부 부근에 형성된 나사부에 나사결합된다. 또, 머리부는, 헤드 커버(18)에 설치된 환형 계단부(55)에서 멈춰진다. 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)의 나사결합에 수반하여, 헤드 커버(18), 실린더 튜브(14) 및 마그넷 커버(16)이 함께 체결 및 연결되어 하우징(20)이 형성된다.At the four corners of the housing 20, there are bottomed rod holes 52 from the head cover 18 through the cylinder tube 14 to near the lower end of the middle side portion 30 of the magnet cover 16. ) are formed respectively. The threaded portions of the first to fourth tie rods 54a to 54d (connecting members) inserted into the respective rod holes 52 are screwed to the threaded portions formed near the bottom of the rod hole 52 . . Further, the head is stopped at an annular step 55 provided on the head cover 18 . As the first to fourth tie rods 54a to 54d are screwed together, the head cover 18 , the cylinder tube 14 and the magnet cover 16 are fastened and connected together to form the housing 20 .

이상의 구성에 대해, 헤드 커버(18), 실린더 튜브(14) 및 마그넷 커버(16)는, 예를 들면, 알루미늄 합금 등의 상자성체 금속으로 이루어진다. 한편, 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)는, 주철(예를 들면, 일본공업규격으로 규정되는 SS400에 상당하는 재료) 등의 강자성체 금속으로 이루어지고, 후술하는 바와 같이, 흡인 유지수단인 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 회전하는 것을 방지하는 회전 방지부재, 즉, 이른바 회전멈춤부로서 기능한다.In the above configuration, the head cover 18, the cylinder tube 14, and the magnet cover 16 are made of, for example, a paramagnetic metal such as an aluminum alloy. On the other hand, the first to fourth tie rods 54a to 54d are made of a ferromagnetic metal such as cast iron (for example, a material equivalent to SS400 prescribed by Japanese Industrial Standards), and as will be described later, suction holding means The phosphorus first to fourth permanent magnets 56a to 56d function as a rotation preventing member preventing rotation, that is, a so-called rotation stop.

하우징(20) 내에 있어서, 제1 슬라이딩 구멍(22)과 제2 슬라이딩 구멍(38)은 플레이트 부재(42)에 의해 구획되어 있다. 또한, 제2 슬라이딩 구멍(38)은, 피스톤(58) 및 헤드 커버(18)에 의해 제2 중간챔버(60)와 상부챔버(62)로 구분된다.In the housing 20 , the first sliding hole 22 and the second sliding hole 38 are partitioned by a plate member 42 . Further, the second sliding hole 38 is divided into a second intermediate chamber 60 and an upper chamber 62 by the piston 58 and the head cover 18 .

한편, 상부챔버(62)는, 피스톤(58)과 헤드 커버(18)의 진입부(44)와의 사이에 형성된다. 이 상부챔버(62)에는 상기 제2 포트(50)가 연통한다.On the other hand, the upper chamber 62 is formed between the piston 58 and the entry portion 44 of the head cover 18 . The second port 50 communicates with the upper chamber 62 .

마그넷 척(10)은, 워크(12)(도 3 참조)를 흡인하여 유지하기 위한 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)을 포함한다. 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d) 각각은, 예를 들면, 그 자체의 자력, 또는 유지 볼트 등의 연결부재를 통하여 요크(64)에 유지되어 있다.The magnet chuck 10 includes first to fourth permanent magnets 56a to 56d for attracting and holding the work 12 (see FIG. 3 ). Each of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is held by the yoke 64 through, for example, its own magnetic force or a connecting member such as a retaining bolt.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은, 각각, 평면에서 볼 때 실질적으로 90°인 중심각을 갖는 부채꼴을 실질적으로 이룬다. 이러한 형상의 원기둥체가 원형으로 배치됨으로써, 전체적으로 원기둥 형상의 영구자석이 구성된다. 즉, 제1 영구자석(56a)은, 그 제1 영구자석(56a)에 인접하는 제2 영구자석(56b) 및 제4 영구자석(56d)에 접촉하고, 제3 영구자석(56c)에 대향된다.As shown in FIG. 2 , the first to fourth permanent magnets 56a to 56d substantially form a sector having a central angle of substantially 90° in plan view, respectively. By disposing the cylindrical body of such a shape in a circular shape, a permanent magnet of a cylindrical shape is constituted as a whole. That is, the first permanent magnet 56a contacts the second permanent magnet 56b and the fourth permanent magnet 56d adjacent to the first permanent magnet 56a, and faces the third permanent magnet 56c. do.

제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 반경은, 예를 들면, 10 내지 30mm 정도로 설정할 수 있다. 반경의 전형적인 일례는 약 15mm이며, 이때, 영구자석의 직경은 전체적으로 약 30mm이다.The radius of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d may be set, for example, to about 10 to 30 mm. A typical example of a radius is about 15 mm, with the permanent magnet having an overall diameter of about 30 mm.

또, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 높이(하단면에서 상단면까지의 거리)의 전형적인 일례는, 약 10mm이다.Further, a typical example of the height (distance from the lower end surface to the upper end surface) of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is about 10 mm.

또한, 이해를 용이하게 할 수 있도록, 도 2에 있어서, 마그넷 커버(16)의 바닥벽부를 도시하지 않고 있다. 그렇지만, 실제로는, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은 마그넷 커버(16)의 바닥벽부에 의해 덮여 있다(도 3 참조).In addition, in FIG. 2, the bottom wall part of the magnet cover 16 is not shown in order to make understanding easy. However, in reality, the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are covered by the bottom wall portion of the magnet cover 16 (see Fig. 3).

제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 요크(64) 및 피스톤(58)과 일체로 워크(12)에 접근하도록 변위하였 때, 도 3에 나타내는 워크(12)를 끌어당길 수 있다. 즉, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)에 있어서는, 워크(12)에 대향하는 대향면이 워크 자기부착면(흡인하여 유지하는 표면)으로서 기능한다.When the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are displaced so as to approach the work 12 integrally with the yoke 64 and the piston 58, the work 12 shown in FIG. 3 can be attracted. That is, in the first to fourth permanent magnets 56a to 56d, the surface opposite to the workpiece 12 functions as a workpiece magnetic attachment surface (surface to attract and hold).

제1 영구자석(56a) 및 제3 영구자석(56c)의 워크 자기부착면의 자극은, 모두 N극이다. 이것에 비해, 제2 영구자석(56b) 및 제4 영구자석(56d)의 워크 자기부착면의 자극은, 모두 S극이다. 따라서, 워크 자기부착면의 자극은, 시계방향으로 N극(제1 영구자석(56a)), S극(제2 영구자석(56b)), N극(제3 영구자석(56c)), S극(제4 영구자석(56d))으로 되어 있다. 즉, 이 경우, 워크 자기부착면에서는, N극과 S극과의 조합이 2쌍으로 형성되고, 상이한 자극인 N극과 S극이 인접하도록 자극면이 노출되어 있다.The magnetic poles of the workpiece magnetic attachment surfaces of the first permanent magnet 56a and the third permanent magnet 56c are both N poles. On the other hand, the magnetic poles of the workpiece magnetic attachment surfaces of the second permanent magnet 56b and the fourth permanent magnet 56d are both S poles. Accordingly, the magnetic poles of the magnetic attachment surface of the workpiece are N pole (first permanent magnet 56a), S pole (second permanent magnet 56b), N pole (third permanent magnet 56c), S in the clockwise direction. poles (fourth permanent magnet 56d). That is, in this case, the combination of the N pole and the S pole is formed in two pairs on the work magnetic attachment surface, and the magnetic pole surface is exposed so that the N pole and the S pole, which are different magnetic poles, are adjacent to each other.

또한, 요크(64)에 의해 유지되는 피유지면 측에서는, 상기와는 반대로, 시계방향으로 S극(제1 영구자석(56a)), N극(제2 영구자석(56b)), S극(제3 영구자석(56c)), N극(제4 영구자석(56d))의 순서로 배열되어 있다.In addition, on the side to be held by the yoke 64, opposite to the above, clockwise S pole (first permanent magnet 56a), N pole (second permanent magnet 56b), S pole ( The third permanent magnet 56c) and the N pole (the fourth permanent magnet 56d) are arranged in this order.

제1 영구자석(56a)과 제2 영구자석(56b)과의 경계의 외주측, 다시 말해서, 워크 자기부착면에 있어서의 N극(제1 영구자석(56a))과 S극(제2 영구자석(56b))과의 경계의 외주측에는, 제1 타이 로드(54a)가 위치한다. 마찬가지로, 제2 영구자석(56b)과 제3 영구자석(56c)과의 경계의 외주측, 제3 영구자석(56c)과 제4 영구자석(56d)과의 경계의 외주측, 제4 영구자석(56d)과 제1 영구자석(56a)과의 경계의 외주측에는, 제2 타이 로드(54b), 제3 타이 로드(54c), 제4 타이 로드(54d)가 각각 위치한다. 결국, 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)는, 워크 자기부착면에 대해 인접하는 자극끼리의 경계에 배열설치되어 있다.The outer peripheral side of the boundary between the first permanent magnet 56a and the second permanent magnet 56b, that is, the N pole (the first permanent magnet 56a) and the S pole (the second permanent magnet) on the workpiece magnetic attachment surface. The first tie rod 54a is positioned on the outer peripheral side of the boundary with the magnet 56b). Similarly, the outer peripheral side of the boundary between the second permanent magnet 56b and the third permanent magnet 56c, the outer peripheral side of the boundary between the third permanent magnet 56c and the fourth permanent magnet 56d, and the fourth permanent magnet A second tie rod 54b, a third tie rod 54c, and a fourth tie rod 54d are located on the outer peripheral side of the boundary between the 56d and the first permanent magnet 56a, respectively. As a result, the first to fourth tie rods 54a to 54d are arranged at the boundary between the magnetic poles adjacent to the workpiece magnetic attachment surface.

제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)가 강자성체 금속으로 이루어지기 때문에, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 자력은, 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)에도 미친다. 즉, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)과 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)의 사이에 흡인력이 생긴다.Since the first to fourth tie rods 54a to 54d are made of ferromagnetic metal, the magnetic force of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d also extends to the first to fourth tie rods 54a to 54d. . That is, an attraction force is generated between the first to fourth permanent magnets 56a to 56d and the first to fourth tie rods 54a to 54d.

제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)과 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)의 사이에 상기한 바와 같은 흡인 상호작용이 일어나기 때문에, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 회전 동작하는 것이 방지된다. 결국, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은 피스톤(58) 및 요크(64)의 회전을 정지시키도록 기능한다. 이와 같이, 하우징(20)을 형성하기 위한 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)에 의해, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 회전 토크를 실질적으로 영으로 할 수가 있다.Since the above-described attraction interaction occurs between the first to fourth permanent magnets 56a to 56d and the first to fourth tie rods 54a to 54d, the first to fourth permanent magnets 56a to 56d ) is prevented from rotating. Consequently, the first to fourth permanent magnets 56a to 56d function to stop the rotation of the piston 58 and the yoke 64 . In this way, the rotation torque of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d can be substantially zero by the first to fourth tie rods 54a to 54d for forming the housing 20 .

제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)를 상기한 바와 같이 위치시키면, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)에 발생하는 회전 토크가 최소한으로 감소된다. 즉, 회전의 멈춤이 더욱 효과적으로 수행될 수 있다.When the first to fourth tie rods 54a to 54d are positioned as described above, the rotational torque generated in the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is reduced to a minimum. That is, stopping the rotation can be performed more effectively.

상기한 바와 같이, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은 요크(64)에 유지된다(도 3 참조). 즉, 요크(64)는 대직경의 플랜지(66)와 소직경의 축(68)을 포함한다. 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은, 플랜지(66)에서 자신의 자기력으로, 또는 볼트 등의 연결부재에 의해 유지되어 있다. 플랜지(66)와 축(68)은, (동일한 부재로) 요크(64)에 일체로 형성되어 있다. 또한, 요크(64)는, 주철(예를 들면, SS400에 상당하는 재료) 등의 강자성체 금속으로 이루어지기 때문에, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 플랜지(66)에 자기적으로 부착될 수 있다.As described above, the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are held in the yoke 64 (see Fig. 3). That is, the yoke 64 includes a large diameter flange 66 and a small diameter shaft 68 . The first to fourth permanent magnets 56a to 56d are held by their own magnetic force at the flange 66 or by a connecting member such as a bolt. The flange 66 and the shaft 68 are integrally formed with the yoke 64 (by the same member). Further, since the yoke 64 is made of a ferromagnetic metal such as cast iron (eg, material equivalent to SS400), the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are magnetically attached to the flange 66 . can be attached.

플랜지(66)의 두께는, 예를 들면, 약 10mm 정도로 설정할 수 있다. 플랜지(66)는, 백업 요크로서 기능한다. 또, 플랜지(66)의 측벽에는 웨어 링(wear ring)(70)이 설치된다. 웨어 링(70)에 의해, 플랜지(66)의 중심이 제1 슬라이딩 구멍(22)의 중심에 대해 위치 어긋남을 일으키는 것이 회피되고, 플랜지(66), 나아가서는 요크(64)가 제1 슬라이딩 구멍(22) 내부를 따라 안내된다.The thickness of the flange 66 can be set, for example, to about 10 mm. The flange 66 functions as a backup yoke. In addition, a wear ring 70 is provided on the side wall of the flange 66 . The wear ring 70 avoids causing the center of the flange 66 to shift with respect to the center of the first sliding hole 22 , and the flange 66 and by extension the yoke 64 are connected to the first sliding hole (22) Guided along the interior.

한편, 플랜지(66)의 상단면에는, 하단면 측을 향하여 함몰된 환형 오목부(72)가 형성된다. 또, 축(68)의 상단부에는, 연결 볼트(74)를 나사결합하기 위한 볼트구멍(76)이 형성되어 있다.On the other hand, on the upper end surface of the flange 66, an annular concave portion 72 recessed toward the lower end surface side is formed. Further, in the upper end of the shaft 68, a bolt hole 76 for screwing the connecting bolt 74 is formed.

상기 플레이트 부재(42)는, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)(요크(64)의 플랜지(66))와 피스톤(58)과의 사이에 배열설치된다. 이 때문에, 플레이트 부재(42)의 실질적으로 중심부에는, 요크(64)의 축(68)을 관통하기 위한 삽입구멍(78)이 관통 형성된다. 삽입구멍(78)의 내경이 피스톤(58)의 외경에 비해 작은 것은 물론이다.The plate member 42 is arranged between the first to fourth permanent magnets 56a to 56d (the flange 66 of the yoke 64 ) and the piston 58 . For this reason, an insertion hole 78 for penetrating the shaft 68 of the yoke 64 is formed through a substantially central portion of the plate member 42 . It goes without saying that the inner diameter of the insertion hole 78 is smaller than the outer diameter of the piston 58 .

또, 플레이트 부재(42)의 하단면에는, 플랜지(66)를 향하여 원반형상 돌기부(80)가 돌출 형성되어 있다. 피스톤(58), 요크(64) 및 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 변위종점인 상사점에 위치할 때(도 3 참조), 원반형상 돌기부(80)는 요크(64)의 플랜지(66)에 형성된 상기 환형 오목부(72)에 진입한다.Further, on the lower end surface of the plate member 42 , a disk-shaped projection 80 is formed to protrude toward the flange 66 . When the piston 58, the yoke 64, and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are located at top dead center, which is the displacement end point (see FIG. 3), the disk-shaped protrusion 80 is the yoke 64. It enters the annular recess 72 formed in the flange 66 .

플레이트 부재(42)의 상단면에는 폭이 넓은 제2 환형 홈(82)이 형성되고, 이 제2 환형 홈(82)에는 링 형상의 제1 댐퍼(84)가 수용되어 있다. 제1 댐퍼(84)에는, 변위종점인 하사점에 도달한 피스톤(58)의 하단면이 맞닿는다(도 4 참조).A second wide annular groove 82 is formed on the upper end surface of the plate member 42 , and the ring-shaped first damper 84 is accommodated in the second annular groove 82 . The lower end surface of the piston 58 that has reached the bottom dead center, which is the displacement end point, abuts against the first damper 84 (see FIG. 4 ).

게다가 플레이트 부재(42)에는, 삽입구멍(78)의 부근에, 제1 중간챔버(24)와 제2 중간챔버(60)를 연통시키기 위한 연통 홈(85)이 형성된다. 이 연통 홈(85)에 의해, 제1 중간챔버(24) 내의 압축공기가 제2 중간챔버(60)로 이동하는 것이나, 제2 중간챔버(60) 내의 압축공기가 제1 중간챔버(24)로 이동하는 것이 가능하다.Furthermore, in the plate member 42, in the vicinity of the insertion hole 78, a communication groove 85 for communicating the first intermediate chamber 24 and the second intermediate chamber 60 is formed. Through this communication groove (85), the compressed air in the first intermediate chamber (24) moves to the second intermediate chamber (60), and the compressed air in the second intermediate chamber (60) moves into the first intermediate chamber (24). It is possible to move to

플레이트 부재(42)의 삽입구멍(78)을 통하여 삽입된 축(68)의 상단면은, 피스톤(58)의 하단면에 형성된 삽입구멍(86)에 삽입되어 있다. 피스톤(58)에는, 상단면 측으로부터 삽입구멍(86)까지 볼트 멈춤구멍(88)이 형성되어 있고, 볼트 멈춤구멍(88)에 멈춰진 연결볼트(74)는 볼트구멍(76)에 나사결합된다. 이것에 의해 피스톤(58)과 요크(64)가 서로 연결되고, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 요크(64)를 통하여 피스톤(58)에 간접적으로 유지된다.The upper end surface of the shaft 68 inserted through the insertion hole 78 of the plate member 42 is inserted into the insertion hole 86 formed in the lower end surface of the piston 58 . A bolt stop hole 88 is formed in the piston 58 from the upper end surface side to the insertion hole 86 , and the connecting bolt 74 stopped at the bolt stop hole 88 is screwed into the bolt hole 76 . . Thereby, the piston 58 and the yoke 64 are connected to each other, and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are indirectly held by the piston 58 via the yoke 64 .

피스톤(58)의 측벽에는, 제3 밀봉부재(90)가 설치된다. 제3 밀봉부재(90)에 의해, 피스톤(58)과 실린더 튜브(14)와의 사이가 밀봉된다. 즉, 상부챔버(62) 내의 압축공기가, 피스톤(58)의 측벽과 실린더 튜브(14)의 제2 슬라이딩 구멍(38)의 내벽과의 사이로부터 제2 중간챔버(60)에 누설되는 것이 방지된다. 같은 이유로, 제2 중간챔버(60) 내의 기체가 상부챔버(62)에 누설되는 것도 방지된다.A third sealing member 90 is provided on the side wall of the piston 58 . A space between the piston 58 and the cylinder tube 14 is sealed by the third sealing member 90 . That is, the compressed air in the upper chamber 62 is prevented from leaking into the second intermediate chamber 60 from between the side wall of the piston 58 and the inner wall of the second sliding hole 38 of the cylinder tube 14 . do. For the same reason, the gas in the second intermediate chamber 60 is also prevented from leaking into the upper chamber 62 .

피스톤(58)의 상단면에는, 폭이 넓은 제3 환형 홈(92)이 형성되어 있다. 제3 환형 홈(92)에는, 링 형상의 제2 댐퍼(94)가 수용된다. 피스톤(58)이 상사점에 도달했을 때, 제2 댐퍼(94)는, 헤드 커버(18)의 진입부(44)의 하단면에 맞닿는다(도 3 참조).A third wide annular groove 92 is formed in the upper end surface of the piston 58 . A ring-shaped second damper 94 is accommodated in the third annular groove 92 . When the piston 58 reaches top dead center, the second damper 94 abuts against the lower end surface of the entry portion 44 of the head cover 18 (see FIG. 3 ).

본 실시형태에 따른 마그넷 척(10)은, 기본적으로는 전술된 방식으로 구성된다. 다음에, 그 작용 및 유리한 효과에 대해, 마그넷 척(10)의 동작과의 관계로 설명한다.The magnet chuck 10 according to the present embodiment is basically configured in the manner described above. Next, its operation and advantageous effect will be described in relation to the operation of the magnet chuck 10 .

마그넷 척(10)은, 예를 들면, 도시하지 않은 로봇의 선단 암에 설치된다. 그리고, 로봇이 소정의 동작을 실행함으로써, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 워크 자기부착면이 워크(12)에 대향된다. 이때, 피스톤(58), 요크(64) 및 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은 상사점에 위치하고, 따라서 이 시점에서는 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 자력이 워크(12)에 미치지 않는다.The magnet chuck 10 is installed, for example, on a distal end arm of a robot (not shown). Then, as the robot executes a predetermined operation, as shown in FIG. 3 , the workpiece magnetic attachment surfaces of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are opposed to the workpiece 12 . At this time, the piston 58, the yoke 64, and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are located at top dead center, and therefore, at this point, the magnetic force of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is the work piece. (12) is not reached.

다음에, 상기 급배기 기구로부터 제2 포트(50)를 통하여 상부챔버(62)에 압축공기가 공급된다. 압축공기는, 피스톤(58)을 그 상단면 측으로부터 가압한다. 동시에, 상기 급배기 기구의 작용하에, 제1 포트(37)를 통하여 하부챔버(23)로부터 압축공기가 배출된다. 제2 중간챔버(60) 내의 압축공기는 연통 홈(85)을 통하여 제1 중간챔버(24)로 이동하고, 또한 제1 중간챔버(24) 내의 압축공기는, 플랜지(66)의 측벽과 제1 슬라이딩 구멍(22)의 내벽과의 사이를 통과해 하부챔버(23)로 이동한다. 그 후, 전술한 압축공기는 제1 포트(37)를 통하여 배출된다.Next, compressed air is supplied from the supply/exhaust mechanism to the upper chamber 62 through the second port 50 . The compressed air presses the piston 58 from its upper end surface side. At the same time, under the action of the supply and exhaust mechanism, compressed air is discharged from the lower chamber 23 through the first port 37 . Compressed air in the second intermediate chamber (60) moves to the first intermediate chamber (24) through the communication groove (85), and the compressed air in the first intermediate chamber (24) is connected to the side wall of the flange (66) and the first intermediate chamber (24). 1 It moves to the lower chamber 23 through between the inner wall of the sliding hole 22 and. Then, the above-described compressed air is discharged through the first port (37).

상부챔버(62) 내의 압축공기로 가압된 피스톤(58)은, 플레이트 부재(42)에 접근하는 방향으로 변위(하강)한다. 하부챔버(23), 제1 중간챔버(24) 및 제2 중간챔버(60)가 부압 하에 있기 때문에, 피스톤(58)은 용이하게 변위한다.The piston 58 pressurized with compressed air in the upper chamber 62 is displaced (lowered) in a direction approaching the plate member 42 . Since the lower chamber 23, the first intermediate chamber 24, and the second intermediate chamber 60 are under negative pressure, the piston 58 is easily displaced.

피스톤(58)의 하강과 동시에, 피스톤(58)에 연결된 요크(64)와 그 요크(64)에 유지된 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)가 하강하고, 그 결과 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 워크(12)에 접근한다. 최종적으로, 피스톤(58), 요크(64) 및 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)가 하사점에 도달하여, 도 4에 나타내는 상태가 된다.Simultaneously with the lowering of the piston 58, the yoke 64 connected to the piston 58 and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d held in the yoke 64 descend, as a result, the first to fourth 4 The permanent magnets 56a to 56d approach the work 12 . Finally, the piston 58, the yoke 64, and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d reach the bottom dead center, resulting in the state shown in FIG.

피스톤(58)은, 하사점에 도달할 때, 플레이트 부재(42)에 설치된 제1 댐퍼(84)에 맞닿는다. 제1 댐퍼(84)에 의해 맞닿음시의 진동이나 충돌이 완화되므로, 마그넷 척(10)의 진동은 충분히 억제된다. 또, 피스톤(58)이나 플레이트 부재(42)의 손상이 회피되므로, 마그넷 척(10)의 내구성을 향상시킬 수가 있다.When the piston 58 reaches the bottom dead center, it abuts against the first damper 84 provided on the plate member 42 . Since the vibration and collision at the time of abutting are alleviated by the first damper 84, the vibration of the magnet chuck 10 is sufficiently suppressed. Moreover, since damage to the piston 58 and the plate member 42 is avoided, the durability of the magnet chuck 10 can be improved.

제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 하사점에 도달하면, 각각의 워크 자기부착면이 워크(12)에 대해서 충분히 접근하므로, 그 자력이 워크(12)에 미치게 된다. 즉, 워크(12)가, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 자력에 의해 흡인되고, 마그넷 커버(16)의 바닥벽부를 통하여 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)에 흡인되어 유지된다. 요크(64)의 플랜지(66)가 백업 요크로서 기능하기 때문에, 워크(12)가 더욱 안정적으로 흡인되어 유지된다.When the first to fourth permanent magnets 56a to 56d reach the bottom dead center, each magnetic attachment surface of the work sufficiently approaches with respect to the work 12 , so that the magnetic force is applied to the work 12 . That is, the work 12 is attracted by the magnetic force of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d, and is connected to the first to fourth permanent magnets 56a to 56d through the bottom wall portion of the magnet cover 16. aspirated and retained. Since the flange 66 of the yoke 64 functions as a backup yoke, the work 12 is more stably suctioned and held.

마그넷 커버(16)가 상자성체 금속으로 이루어지기 때문에, 마그넷 커버(16)는 요크로서 기능할 수 없다. 즉, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)과 워크(12) 사이에 요크는 개재되지 않는다. 이 때문에, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)과 워크(12) 사이의 자로 형성에 영향이 미치는 것이 회피된다.Since the magnet cover 16 is made of a paramagnetic metal, the magnet cover 16 cannot function as a yoke. That is, the yoke is not interposed between the first to fourth permanent magnets 56a to 56d and the work 12 . For this reason, influence on the magnetic path formation between the first to fourth permanent magnets 56a to 56d and the work 12 is avoided.

또한, 마그넷 커버(16)의 하단면에 고무 완충부재(28)가 설치되어 있기 때문에, 마그넷 커버(16)의 바닥벽부에 워크(12)가 자기적으로 흡인될 때, 마그넷 커버(16), 나아가서는 마그넷 척(10)에 작용하는 응력이 완화된다. 따라서, 마그넷 척(10)의 진동이 충분히 억제될 수 있음과 함께, 마그넷 커버(16)나 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 손상이 회피된다.In addition, since the rubber buffer member 28 is installed on the lower end surface of the magnet cover 16, when the work 12 is magnetically attracted to the bottom wall of the magnet cover 16, the magnet cover 16, Furthermore, the stress acting on the magnet chuck 10 is relieved. Accordingly, while the vibration of the magnet chuck 10 can be sufficiently suppressed, damage to the magnet cover 16 or the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is avoided.

여기서, 도 5a 및 도 5b에, 워크 자기부착면이 N극 하나뿐인 종래기술에 있어서의 자속과 자기포화를 일으킨 영역을 모식적으로 나타낸다. 이 경우, 워크 자기부착면을 이루는 N극으로부터 출발한 자속은, 워크(12) 내를 통과하여, 그 이면의 S극으로 향한다. 자기포화를 일으킨 영역은 실질적으로 원통 형상이 된다.Here, Figs. 5A and 5B schematically show a region in which magnetic flux and magnetic saturation occur in the prior art having only one N pole on the magnetically attaching surface of the workpiece. In this case, the magnetic flux starting from the N pole constituting the workpiece magnetic attachment surface passes through the inside of the workpiece 12 and goes to the S pole on the back surface thereof. The magnetically saturated region has a substantially cylindrical shape.

한편, 도 6a 및 도 6b는, 워크 자기부착면에 N극과 S극의 조합이 1쌍 형성되었을 때의 자속과 자기포화를 일으킨 영역을 가리키는 모식도이다. 이러한 구성에서는, 워크 자기부착면을 이루는 N극으로부터 출발한 자속은, 워크(12) 내를 통과하여, 워크 자기부착면에서 인접하는 S극과 그 이면의 S극으로 향한다. 또, 워크 자기부착면의 이면에 위치하는 N극으로부터 출발한 자속은, 워크(12) 내를 통과하여, 워크 자기부착면의 S극으로 향함과 함께, 요크(64) 내를 통과하여, 워크 자기부착면의 이면에서 인접하는 S극으로 향한다. 따라서, 자기포화는 원통 형상과 함께, 직경을 따른 위치에도 생긴다.On the other hand, FIGS. 6A and 6B are schematic diagrams indicating regions in which magnetic flux and magnetic saturation occur when a pair of N poles and S poles is formed on the magnetically attaching surface of the workpiece. In this configuration, the magnetic flux starting from the N pole constituting the magnetic attachment surface of the workpiece passes through the inside of the workpiece 12 and is directed to the S pole adjacent to the workpiece magnetic attachment surface and the S pole on the back surface. Further, the magnetic flux starting from the N pole located on the back surface of the magnetic attachment surface of the workpiece passes through the inside of the workpiece 12 and is directed to the S pole of the magnetic attachment surface of the workpiece and passes through the inside of the yoke 64, It is directed to the adjacent S pole from the back side of the magnetic attachment surface. Accordingly, magnetic saturation occurs at positions along the diameter along with the cylindrical shape.

도 7은, 워크 자기부착면에 N극과 S극의 조합이 2쌍 형성되었을 때의 자기포화를 일으킨 영역을 나타내는 모식도이다. 이 경우, 자기포화는, 원통 형상과 함께, 2개의 직경을 따른 위치에서 생긴다. 전술된 구성에 비해, N극과 S극의 조합이 형성될 때, 워크(12) 내를 지나는 자속의 양이 많아지는 것을 알 수 있다.Fig. 7 is a schematic diagram showing a region in which magnetic saturation occurs when two pairs of a combination of N poles and S poles are formed on the magnetically attaching surface of a workpiece. In this case, magnetic saturation occurs at positions along two diameters, together with the cylindrical shape. Compared to the above-described configuration, when the combination of the N pole and the S pole is formed, it can be seen that the amount of magnetic flux passing through the work 12 increases.

도 8은, 1개의 영구자석을 이용하고 워크 자기부착면을 N극만으로 한 마그넷 척(■(검은색 사각형)의 플롯), 2개의 영구자석을 이용하고 워크 자기부착면을 1개의 N극 및 1개의 S극으로 한, N극과 S극과의 조합이 1쌍인 마그넷 척(◆(검은색 다이아몬드)의 플롯), 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 4개의 영구자석을 이용하고 워크 자기부착면에 있어서의 N극과 S극의 조합이 2쌍인 본 실시형태에 따른 마그넷 척(10)(▲(검은색 삼각형)의 플롯)의 각각에 있어서의, 영구자석의 외경과 흡인력과의 관계를 나타내는 그래프이다. 물론, 각 마그넷 척에 있어서의 영구자석의 재질과 유지력, 그리고 영구자석 전체의 치수 등은 서로 동일하다.8 is a magnet chuck (plot of ■ (black square)) using one permanent magnet and having only N poles on the magnetic attachment surface of the workpiece, two permanent magnets, and one N pole and one N pole and A magnet chuck (plot of ◆ (black diamond)) with one pair of N poles and S poles, one S pole, and four permanent magnets of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are used. and the outer diameter and attraction force of the permanent magnet in each of the magnet chuck 10 (plot of ▲ (black triangle)) according to this embodiment in which the combination of the N pole and the S pole on the workpiece magnetic attachment surface is two pairs. It is a graph showing the relationship between Of course, the material and holding force of the permanent magnet in each magnet chuck, and the dimensions of the permanent magnet as a whole are the same.

도 8로부터도, 워크 자기부착면에 있어서의 자극의 개수가 많아질수록, 흡인력이 커지는 것을 알 수 있다. 특히, 영구자석 전체의 외경이 20mm를 넘을 때나, 워크(12)의 두께가 더욱 작아질 때 흡인력의 차이가 현저해진다. 이것으로부터, 워크 자기부착면에 N극과 S극과의 조합을 1쌍 이상, 더욱 바람직하게는 2쌍 이상 형성함으로써 충분한 흡인력이 발현하여, 워크(12)가 얇은 강판으로 이루어지고 또한 중량물이어도 흡인하여 유지할 수 있음이 분명하다. 이것은, 상기한 바와 같이, 워크 자기부착면에 형성되는 N극과 S극과의 조합으로 인하여, 워크(12) 내를 지나는 자속량이 많아지기 때문이다.Also from Fig. 8, it can be seen that the larger the number of magnetic poles on the magnetic attachment surface of the work, the greater the attraction force. In particular, when the total outer diameter of the permanent magnet exceeds 20 mm, or when the thickness of the workpiece 12 becomes smaller, the difference in the attraction force becomes significant. From this, by forming one or more pairs, more preferably two or more pairs of N poles and S poles on the self-adhesive surface of the workpiece, sufficient attractive force is expressed, and the workpiece 12 is made of a thin steel plate and is attracted even if it is a heavy object. It is clear that it can be maintained. This is because, as described above, the amount of magnetic flux passing through the inside of the workpiece 12 increases due to the combination of the N pole and the S pole formed on the magnetic attachment surface of the workpiece.

이상과 같이, 워크 자기부착면에 N극과 S극과의 조합을 형성함으로써, 워크(12)에 대한 흡인력이 커진다. 특히, 본 실시형태에서는, N극과 S극의 조합이 워크 자기부착면에 2쌍 형성되고 있으므로, 충분한 흡인력이 발현한다.As described above, by forming the combination of the N pole and the S pole on the magnetic attachment surface of the workpiece, the attraction force to the workpiece 12 is increased. In particular, in this embodiment, since the combination of the N pole and the S pole is formed in two pairs on the work self-adhesive surface, sufficient attractive force is exhibited.

따라서, 본 실시형태에 의하면, 영구자석의 소재나 특성 등이 동일하면, 외경을 동일하기 했을 때에는 워크(12)에 대한 흡인력을 크게 할 수가 있다. 이것은, 중량이 더욱 큰 워크(12)를 흡인하여 유지할 수 있는 것을 의미한다.Therefore, according to the present embodiment, if the material and characteristics of the permanent magnets are the same, when the outer diameters are the same, the attraction force to the workpiece 12 can be increased. This means that the work 12 with a larger weight can be sucked and held.

또는, 흡인력이 동등하다면, 영구자석 전체를 더욱 작은 직경으로 설정할 수가 있다. 즉, 마그넷 척(10)은 크기 및 치수에 있어서 컴팩트화가 이루어질 수가 있다.Alternatively, if the attraction force is equal, the entire permanent magnet can be set to a smaller diameter. That is, the magnet chuck 10 can be made compact in size and dimensions.

그 후, 로봇이 소정의 동작을 수행함으로써, 선단 암 및 마그넷 척(10)이 적절한 위치로 이동한다. 이것에 수반해, 워크(12)도 이동한다.Thereafter, the robot performs a predetermined operation, so that the tip arm and the magnet chuck 10 are moved to appropriate positions. With this, the work 12 also moves.

다음에, 상기 급배기 기구의 작용하에, 제2 포트(50)를 통하여 상부챔버(62)로부터 압축공기가 배출된다. 동시에, 상기 급배기 기구로부터 제1 포트(37)를 통하여 하부챔버(23)에 압축공기가 공급된다. 이 압축공기의 일부는, 플랜지(66)와 제1 슬라이딩 구멍(22)의 측벽의 사이부터 제1 중간챔버(24)에 진입하고, 나아가서 연통 홈(85)을 통과하여 제2 중간챔버(60)에 진입한다. 따라서, 요크(64)의 플랜지(66)가 하부챔버(23) 내의 압축공기로 가압됨과 함께, 피스톤(58)이 제1 중간챔버(24) 내의 압축공기로 가압된다. 상부챔버(62)가 부압으로 되어 있는 것과 결합되어, 피스톤(58)은 플레이트 부재(42)로부터 이격되는 방향으로 변위(상승)한다.Next, under the action of the supply and exhaust mechanism, compressed air is discharged from the upper chamber 62 through the second port 50 . At the same time, compressed air is supplied from the supply/exhaust mechanism to the lower chamber 23 through the first port 37 . A part of this compressed air enters the 1st intermediate chamber 24 from between the flange 66 and the side wall of the 1st sliding hole 22, and also passes through the communication groove 85 and the 2nd intermediate chamber 60 ) to enter. Accordingly, while the flange 66 of the yoke 64 is pressurized by the compressed air in the lower chamber 23 , the piston 58 is pressurized by the compressed air in the first intermediate chamber 24 . The upper chamber 62 is engaged with the negative pressure, so that the piston 58 is displaced (raised) in a direction away from the plate member 42 .

본 실시형태에 따르면, 피스톤(58)의 측벽에 제3 밀봉부재(90)를 설치하도록 하고 있다. 즉, 요크(64)와 제2 중간챔버(60)의 내벽과의 사이에는 밀봉부재가 설치되지 않는다. 이 때문에, 상기한 과정에 있어서, 상부챔버(62)에 공급된 압축공기의 가압력, 제2 중간챔버(60)로 이동한 기체의 가압력을 받는 부재는, 어느 경웨도, 피스톤(58)이다. 게다가, 피스톤(58)의 하단면에, 축(68)에 의해 덮여 있는 부위가 있긴 하지만, 플랜지(66)도 압축공기의 가압력을 받는다. 즉, 피스톤(58)을 하강시킬 때의 수압면적과 상승시킬 때의 수압면적이 실질적으로 동등하게 된다. 이것에 의해, 피스톤(58)의 상승에 필요로 하는 추진력이 저하하는 것을 회피할 수가 있다.According to this embodiment, the third sealing member 90 is provided on the side wall of the piston 58 . That is, the sealing member is not provided between the yoke 64 and the inner wall of the second intermediate chamber 60 . For this reason, in the above process, the member receiving the pressing force of the compressed air supplied to the upper chamber 62 and the pressing force of the gas moving to the second intermediate chamber 60 is the piston 58 in any case. In addition, although there is a portion covered by the shaft 68 on the lower end face of the piston 58, the flange 66 is also subjected to the pressing force of the compressed air. That is, the pressure-receiving area when the piston 58 is lowered is substantially equal to the pressure-receiving area when the piston 58 is raised. Thereby, it can avoid that the driving force required for raising of the piston 58 falls.

피스톤(58)이 상승하는 것에 추종하여, 요크(64) 및 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 일체로 상승한다. 즉, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)이 워크(12)로부터 물리적으로 이격되고, 그 결과 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 자력이 워크(12)에 미치지 않게 된다. 따라서, 워크(12)가 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 자력에 의한 구속으로부터 해방된다.Following the rise of the piston 58, the yoke 64 and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d rise integrally. That is, the first to fourth permanent magnets 56a to 56d are physically separated from the work 12 , and as a result, the magnetic force of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d does not reach the work 12 . . Accordingly, the work 12 is released from restraint by the magnetic force of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d.

피스톤(58), 요크(64) 및 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)은, 최종적으로 상사점에 도달한다. 즉, 도 3에 나타내는 상태로 돌아온다.The piston 58, the yoke 64, and the first to fourth permanent magnets 56a to 56d finally reach top dead center. That is, it returns to the state shown in FIG.

피스톤(58)이 상사점에 도달할 때, 요크(64)의 플랜지(66)에 형성된 환형 오목부(72)에 플레이트 부재(42)의 원반형상 돌기부(80)가 진입한다. 또, 피스톤(58)에 설치된 제2 댐퍼(94)가 헤드 커버(18)의 진입부(44)에 맞닿는다. 제2 댐퍼(94)에 의해 맞닿음시의 진동이나 충돌이 완화되므로, 마그넷 척(10)의 진동이 충분히 억제된다. 또, 피스톤(58)이나 헤드 커버(18)의 손상이 회피되므로, 마그넷 척(10)의 내구성을 향상시킬 수가 있다.When the piston 58 reaches top dead center, the disk-shaped projection 80 of the plate member 42 enters the annular recess 72 formed in the flange 66 of the yoke 64 . Further, the second damper 94 provided on the piston 58 abuts against the entry portion 44 of the head cover 18 . Since the vibration and collision at the time of abutting are alleviated by the second damper 94, the vibration of the magnet chuck 10 is sufficiently suppressed. Moreover, since damage to the piston 58 and the head cover 18 is avoided, the durability of the magnet chuck 10 can be improved.

또, 상기의 과정이 진행되는 중간에 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 회전이 방지된다. 이것은, 상기한 바와 같이, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 부근에 제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)가 배열설치되어 있기 때문이다. 이와 같이 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 회전이 규제되기 때문에, 예를 들면, 오토 스위치 부근에서 자속밀도에 있어서의 변화가 회피된다. 따라서, 자속밀도에 있어서의 그러한 변화에 기인한 오토 스위치의 오작동 발생도 회피할 수 있다.In addition, rotation of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is prevented in the middle of the above process. This is because, as described above, the first to fourth tie rods 54a to 54d are arranged in the vicinity of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d. Since the rotation of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d is regulated in this way, for example, changes in magnetic flux density in the vicinity of the auto switch are avoided. Accordingly, occurrence of malfunction of the auto switch due to such a change in magnetic flux density can also be avoided.

제1 내지 제4 타이 로드(54a 내지 54d)는, 헤드 커버(18), 실린더 튜브(14) 및 마그넷 커버(16)를 함께 긴밀하게 고정시켜 하우징(20)을 형성하기 위한 부재로서 기능한다. 즉, 제1 내지 제4 영구자석(56a 내지 56d)의 회전을 방지하기 위해서 또 다른 부재를 별도로 이용할 필요는 없다. 따라서, 부품 개수에 있어서의 증가를 회피할 수 있음과 함께 마그넷 척(10)의 컴팩트화를 도모할 수 있는 한편, 비용 면에서 유리하다.The first to fourth tie rods 54a to 54d function as members for forming the housing 20 by tightly fixing the head cover 18 , the cylinder tube 14 and the magnet cover 16 together. That is, there is no need to separately use another member to prevent rotation of the first to fourth permanent magnets 56a to 56d. Therefore, while it is possible to avoid an increase in the number of parts, it is possible to achieve compactness of the magnet chuck 10, and it is advantageous in terms of cost.

본 발명은, 상기한 실시형태에 특히 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다.The present invention is not particularly limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, U자형 영구자석(100)을 2개 이상 조합하여(도 9에서는 3개), 워크 자기부착면에 2개 이상의 N극과 2개 이상의 S극이 존재하도록 할 수 있다. 이러한 조합 이외에도, 평면에서 하부로부터 볼 때, 자극 표면이 도 10에 도시된 바와 같이 배열되도록 U자형 영구자석(100)(도 10에서는 2개)을 조합하는 것도 가능하다.For example, as shown in FIG. 9, by combining two or more U-shaped permanent magnets 100 (three in FIG. 9), two or more N poles and two or more S poles are formed on the magnetic attachment surface of the workpiece. can be made to exist. In addition to these combinations, it is also possible to combine the U-shaped permanent magnets 100 (two in FIG. 10) so that the magnetic pole surfaces are arranged as shown in FIG. 10 when viewed from the bottom in plan.

또는, 도 11에 도시된 바와 같이, 봉형 자석(102)을 3개 이상 조합하여(도 11에서는 3개), 이른바 할바흐 배열을 형성하고, 워크 자기부착면에 1세트의 N극과 S극과의 조합이 설치되도록 할 수도 있다.Alternatively, as shown in FIG. 11, three or more bar magnets 102 are combined (three in FIG. 11) to form a so-called Halbach arrangement, and a set of N and S poles on the magnetic attachment surface of the workpiece A combination of and may be installed.

이상의 실시형태에서는, 복수개의 영구자석을 이용하고 있지만, 워크 자기부착면에 N극과 S극과의 조합이 2쌍 이상 존재하도록 여자화됨으로써 제작되는 1개의 영구자석을 이용할 수 있다.In the above embodiment, a plurality of permanent magnets are used, however, one permanent magnet produced by excitation such that two or more pairs of N poles and S poles are present on the magnetic attachment surface of the workpiece can be used.

이러한 영구자석의 일례로서는, 도 12에 도시된 바와 같이, 원통체(98)와 같은 소정의 물체에 대해서 자화가 수행되어, 자극의 방향이 U자형으로 형성되도록 한 것을 들 수 있다. 이러한 영구자석은, 원통체(98)의 바닥면에 U자형 자석을 근접시킴으로써 제작할 수가 있고, 그에 따라 그 바닥면에 N극 및 S극이 형성된다. 즉, 그 바닥면이 워크 자기부착면으로 되고, 나머지 다른 바닥면에는 자극이 형성되지 않는다.As an example of such a permanent magnet, as shown in FIG. 12 , magnetization is performed on a predetermined object such as a cylindrical body 98 so that the direction of the magnetic pole is formed in a U-shape. Such a permanent magnet can be produced by bringing a U-shaped magnet close to the bottom surface of the cylindrical body 98, so that an N pole and an S pole are formed on the bottom surface thereof. That is, the bottom surface becomes the work self-adhesive surface, and magnetic poles are not formed on the other bottom surfaces.

또한, 원통체(98) 등의 하나의 바닥면에 U자형 자석을 근접시키는 한편, 다른 바닥면에 다른 U자형 자석을 근접시킴으로써, 도 13에 도시된 바와 같이, 워크 자기부착면이 되는 하나의 바닥면에 N극 및 S극이 형성되고 그 이면에 S극 및 N극이 형성되는 영구자석을 제작할 수 있다. 즉, 이 경우, 워크 자기부착면에 대해서 직교하는 방향으로 자극이 향하도록 자화가 이루어진다다.Further, by bringing the U-shaped magnet close to one bottom surface of the cylindrical body 98 or the like while bringing the other U-shaped magnet close to the other bottom surface, as shown in FIG. It is possible to manufacture a permanent magnet in which an N pole and an S pole are formed on the bottom surface and an S pole and an N pole are formed on the back surface thereof. That is, in this case, magnetization is made so that the magnetic poles are directed in a direction orthogonal to the workpiece magnetic attachment surface.

더 나아가서, 피스톤(58)의 하단면에 제1 댐퍼(84)를 설치할 수 있다. 한편, 제2 댐퍼(94)를 헤드 커버(18)의 진입부(44)의 하단면에 설치할 수 있다.Furthermore, the first damper 84 may be installed on the lower end surface of the piston 58 . Meanwhile, the second damper 94 may be installed on the lower end surface of the entry portion 44 of the head cover 18 .

그리고, 제1 댐퍼(84) 또는 제2 댐퍼(94) 중 어느 하나가 생략될 수도 있다.In addition, either the first damper 84 or the second damper 94 may be omitted.

10: 마그넷 척
12: 워크
14: 실린더 튜브
16: 마그넷 커버
18: 헤드 커버
20: 하우징
22: 제1 슬라이딩 구멍
23: 하부챔버
24: 제1 중간챔버
37: 제1 포트
38: 제2 슬라이딩 구멍
42: 플레이트 부재
50: 제2 포트
54a 내지 54d: 제1 내지 제4 타이 로드
56a 내지 56d: 제1 내지 제4 영구자석
58: 피스톤
60: 제2 중간챔버
62: 상부챔버
64: 요크
66: 플랜지
68: 축
78: 삽입구멍
84: 제1 댐퍼
85: 연통 홈
94: 제2 댐퍼
10: magnet chuck
12: Walk
14: cylinder tube
16: magnet cover
18: head cover
20: housing
22: first sliding hole
23: lower chamber
24: first intermediate chamber
37: first port
38: second sliding hole
42: plate member
50: second port
54a to 54d: first to fourth tie rods
56a to 56d: first to fourth permanent magnets
58: piston
60: second intermediate chamber
62: upper chamber
64: York
66: flange
68: axis
78: insertion hole
84: first damper
85: communication groove
94: second damper

Claims (8)

영구자석(56a 내지 56d)의 자력으로 워크(12)를 흡인하여 유지하는 마그넷 척(10)으로서,
피스톤(58)이 변위하는 슬라이딩 구멍(38)이 형성된 실린더 튜브(14), 및 상기 실린더 튜브(14)에 부착되어 상기 슬라이딩 구멍(38)의 일단을 폐쇄하는 헤드 커버(18)를 포함하는 하우징(20)과;
상기 피스톤(58)에 연결되고, 상기 영구자석(56a 내지 56d)을 유지하는 유지부재(66)와;
상기 하우징(20) 내에서 위치결정 및 고정되어 상기 피스톤(58)과 함께 상기 실린더 튜브(14) 내에 내부챔버를 형성하는 구획부재(42);
를 포함하며,
상기 마그넷 척(10)은 제1 댐퍼(84) 및 제2 댐퍼(94) 중 적어도 하나를 더 포함하며, 상기 제1 댐퍼(84)는 상기 구획부재(42) 및 상기 피스톤(58) 중 어느 하나에 설치되어 상기 피스톤(58)이 상기 구획부재(42)에 맞닿을 때의 진동을 완화시키며, 상기 제2 댐퍼(94)는 상기 피스톤(58) 및 상기 헤드 커버(18) 중 어느 하나에 설치되어 상기 피스톤(58)이 상기 헤드 커버(18)에 맞닿을 때의 진동을 완화시키며,
N극과 S극의 조합은 상기 영구자석(56a 내지 56d)의 워크 자기부착면에 1쌍 이상 존재하며, 상기 워크 자기부착면은 상기 워크(12)를 향하며,
상기 실린더 튜브(14) 및 상기 헤드 커버(18)는 강자성체 금속으로 이루어지는 연결부재(54a 내지 54d)에 의해 연결되며, 상기 연결부재(54a 내지 54d)는 상기 영구자석(56a 내지 56d)의 회전을 방지하는 회전 방지부재로서 기능하는, 마그넷 척(10).
As a magnet chuck (10) for attracting and holding the workpiece (12) with the magnetic force of the permanent magnets (56a to 56d),
A housing including a cylinder tube 14 having a sliding hole 38 through which a piston 58 is displaced, and a head cover 18 attached to the cylinder tube 14 to close one end of the sliding hole 38 . (20) and;
a holding member (66) connected to the piston (58) and holding the permanent magnets (56a to 56d);
a partition member (42) positioned and fixed within the housing (20) to form an inner chamber in the cylinder tube (14) together with the piston (58);
includes,
The magnet chuck 10 further includes at least one of a first damper 84 and a second damper 94 , and the first damper 84 may include any one of the partition member 42 and the piston 58 . It is installed in one to relieve vibration when the piston 58 comes into contact with the partition member 42 , and the second damper 94 is attached to any one of the piston 58 and the head cover 18 . installed to mitigate vibration when the piston 58 comes into contact with the head cover 18,
The combination of the N pole and the S pole is present in one or more pairs on the magnetic attachment surface of the workpiece of the permanent magnets 56a to 56d, and the magnetic attachment surface of the workpiece faces the workpiece 12,
The cylinder tube 14 and the head cover 18 are connected by connecting members 54a to 54d made of ferromagnetic metal, and the connecting members 54a to 54d rotate the permanent magnets 56a to 56d. A magnet chuck (10), which functions as a rotation preventing member to prevent it.
청구항 1에 있어서,
상기 피스톤(58) 및 상기 유지부재(66)는 상기 피스톤(58)보다 직경이 작은 축(68)을 통하여 연결됨과 함께, 상기 구획부재(42)는 상기 피스톤(58)과 상기 유지부재(66)와의 사이에 위치결정 및 고정되며, 상기 구획부재(42)에는 상기 축(68)이 삽입되는 삽입구멍(78)이 형성되는, 마그넷 척(10).
The method according to claim 1,
The piston 58 and the holding member 66 are connected through a shaft 68 having a smaller diameter than the piston 58 , and the partition member 42 is connected to the piston 58 and the holding member 66 . ) and is positioned and fixed, and the partition member 42 has an insertion hole 78 into which the shaft 68 is inserted, the magnet chuck 10 .
청구항 2에 있어서,
상기 유지부재(66) 및 상기 축(68)은 동일한 부재(64)로 일체로 함께 형성되는, 마그넷 척(10).
3. The method according to claim 2,
and the retaining member (66) and the shaft (68) are integrally formed together with the same member (64).
청구항 1에 있어서,
상기 유지부재(66)를 포함하는 부재는 요크(64)인, 마그넷 척(10).
The method according to claim 1,
The member comprising the holding member (66) is a yoke (64).
삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 연결부재(54 a 내지 54d)는 상기 워크 자기부착면에서 서로 인접하는 N극과 S극 사이의 경계에 설치되는, 마그넷 척(10).
The method according to claim 1,
The connecting members (54a to 54d) are installed at the boundary between the N-pole and the S-pole adjacent to each other on the magnetic attachment surface of the work, the magnet chuck (10).
청구항 1에 있어서,
상기 피스톤(58)의 측벽에는 밀봉부재(90)가 설치되며, 상기 피스톤(58)과 상기 실린더 튜브(14)와의 사이는 상기 밀봉부재(90)에 의해 밀봉되는, 마그넷 척(10).
The method according to claim 1,
A sealing member (90) is installed on a sidewall of the piston (58), and a space between the piston (58) and the cylinder tube (14) is sealed by the sealing member (90).
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