JP6364056B2 - Permanent electromagnetic magnet chuck with support member - Google Patents

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Description

本発明はサポート部材付永電磁式マグネットチャックに関する。   The present invention relates to a permanent electromagnetic magnet chuck with a support member.

サポート部材付電磁式マグネットチャックが知られている(特許文献1)。
特許文献1に示されるサポート部材付電磁式マグネットチャックは、磁性体ワークを吸着する吸着面を有し、内部に所要配列で複数の電磁コイルが埋設された磁性体からなる磁極部材と、油圧によって突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記各電磁コイルに囲まれて前記磁極部材に設けられた穴内に固定された複数のサポート部材とを具備している。
An electromagnetic magnet chuck with a support member is known (Patent Document 1).
The electromagnetic magnet chuck with a support member shown in Patent Document 1 has a magnetic pole member made of a magnetic material having a suction surface for attracting a magnetic workpiece, and in which a plurality of electromagnetic coils are embedded in a required arrangement, and hydraulically. A plunger that protrudes and protrudes outward from the attracting surface of the magnetic pole member has a plunger that contacts the surface of the workpiece, and is fixed in a hole provided in the magnetic pole member surrounded by each electromagnetic coil A plurality of support members.

各サポート部材は、ハウジングと、ハウジングとの間に第1のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、油圧により第1のスプリングの付勢力に抗して移動するピストンと、該ピストンの外側に位置して、該ピストンとの間に第2のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、ピストンと共に移動するプランジャとを備える。   Each support member is movably provided in the housing with a first spring interposed between the housing and a piston that moves against the urging force of the first spring by hydraulic pressure, and the piston And a plunger that is movably provided in the housing with a second spring interposed between the piston and a piston that moves together with the piston.

電磁コイルに通電することで、磁極部材の吸着面に磁力が発生し、ワークが吸着面に吸着可能となる。一方で、油圧により、各ピストンが第1のスプリングの付勢力に抗して移動され、これによりピストンと共に各プランジャが移動し、各プランジャがワークの表面に当接し、なおもピストンが移動すると、各プランジャがワークに当接したまま、ピストンが第2のスプリングを圧縮するようにしてプランジャ内に突入するようになっている。これにより、各プランジャが一定の押圧力によって、ワークの表面に当接した状態で、ワークが吸着面に吸着される状態となる。
このサポート部材付電磁式マグネットチャックによれば、プランジャがワークの表面に当接して支持することから、表面が凹凸面をなすワークの吸着も良好に行える。
By energizing the electromagnetic coil, a magnetic force is generated on the attracting surface of the magnetic pole member, and the work can be attracted to the attracting surface. On the other hand, by the hydraulic pressure, each piston is moved against the biasing force of the first spring, whereby each plunger moves together with the piston, each plunger comes into contact with the surface of the workpiece, and still when the piston moves, While each plunger is in contact with the workpiece, the piston enters the plunger so as to compress the second spring. Thus, the workpiece is attracted to the suction surface in a state where each plunger is in contact with the surface of the workpiece with a constant pressing force.
According to this electromagnetic magnet chuck with a support member, since the plunger is in contact with and supported by the surface of the workpiece, it is possible to satisfactorily attract the workpiece whose surface forms an uneven surface.

特開2009−255221号公報JP 2009-255221 A

ところで、特許文献1に示されるものは、電磁石式のマグネットチャックであるため、大電流を要し、消費電力が大きいという課題がある。
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、消費電力が小さく、さらには油(流体)漏れを極力抑えることができるサポート部材付永電磁式マグネットチャックを提供することを目的とする。
By the way, since what is shown by patent document 1 is an electromagnet-type magnet chuck, there exists a subject that a large electric current is required and power consumption is large.
Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a permanent electromagnetic magnet chuck with a support member that can reduce power consumption and suppress oil (fluid) leakage as much as possible. To do.

上記の目的を達成するため、本発明は次の構成を備える。
すなわち、本発明に係るサポート部材付永電磁式マグネットチャックは、磁性体からなる台板に設けられた収納穴内に配設された永久磁石と、該永久磁石を覆って設けられ、ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、該磁極部材の前記吸着面に、前記電磁コイルにより及ぼされる吸着エリアを囲むようにして設けられたセパレータと、流体圧によって突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられた穴内に配置された複数のサポート部材と、前記台板、該台板に設けられた前記収納穴を仕切る仕切部および前記磁極部材を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、前記流体路における、前記仕切部と前記磁極部材との間をシールするシール部材とを具備することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention comprises the following arrangement.
That is, the permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to the present invention is provided with a permanent magnet disposed in a storage hole provided in a base plate made of a magnetic material, and covers the permanent magnet to attract the workpiece. A magnetic pole member having an adsorption surface and having an electromagnetic coil embedded therein, a separator provided on the adsorption surface of the magnetic pole member so as to surround the adsorption area exerted by the electromagnetic coil, and protruding by fluid pressure A plurality of plungers disposed in holes provided in the magnetic pole member at a portion surrounded by the electromagnetic coil, the plunger contacting the surface of the workpiece when protruding outward from the attraction surface of the magnetic pole member; The support member, the base plate, the partition portion for partitioning the storage hole provided in the base plate, and the magnetic pole member are passed through to the support member and fluid pressure is applied to the plunger. And the boss fluid path, in the fluid path, characterized by comprising a seal member for sealing between said pole members and said partitioning portion.

前記磁極部材における、前記電磁コイルを直接覆う部位を組付鉄心部として別体に形成し、前記シール部材を、前記流体路における、前記仕切り部と前記組付鉄心部との間をシールする第1のシール部材、および前記組付鉄心部と前記磁極部材との間をシールする第2のシール部材とすることができる。
前記シール部材はOリングとすることができる。
A part of the magnetic pole member that directly covers the electromagnetic coil is separately formed as an assembly core part, and the seal member seals between the partition part and the assembly core part in the fluid path. 1 seal member, and a second seal member that seals between the assembled iron core and the magnetic pole member.
The seal member may be an O-ring.

前記各サポート部材を、ハウジングと、ハウジングとの間に第1のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、流体圧により第1のスプリングの付勢力に抗して移動するピストンと、該ピストンの外側に位置して、該ピストンとの間に第2のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、前記ピストンと共に移動する前記プランジャ等とで構成することができる。   Each of the support members, and a piston that is movable in the housing with a first spring interposed between the housing and that moves against the biasing force of the first spring by fluid pressure; It can be comprised with the said plunger etc. which are located in the outer side of this piston, are provided in the housing so that a 2nd spring is interposed between this piston, and move with the said piston.

前記磁極部材の表面に、前記磁極部材に設けられた前記穴に連通するとともに、前記磁極部材の側面に開口する、ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する凹溝を設けることができる。
前記凹溝を、断面逆T字状をなす凹溝に形成することができる。
前記磁極部材に、消磁用コイルを配設することができる。
前記永久磁石をアルニコ磁石等の低保持力で高磁束密度の特性を有する磁石材からなる磁石とすることができる。
さらに、前記永久磁石とは別に、前記磁極部材に希土類磁石を配設することができる。
Provided on the surface of the magnetic pole member is a groove that communicates with the hole provided in the magnetic pole member and that opens on a side surface of the magnetic pole member and discharges the cutting or grinding waste of the workpiece and the machining fluid. it can.
The concave groove can be formed in a concave groove having an inverted T-shaped cross section.
A degaussing coil can be disposed on the magnetic pole member.
The permanent magnet may be a magnet made of a magnetic material having a low magnetic force and a high magnetic flux density, such as an alnico magnet.
In addition to the permanent magnet, a rare earth magnet can be disposed on the magnetic pole member.

本発明によれば、接続ブロックを無くし、永久磁石を、台板に設けた収納穴内に配設するとともに、収納穴間の仕切部に油路(流体路)を貫通して設けたことにより、台板と接続ブロックとの間をシールするシール部材を無くすことができ、それだけ、油(流体)漏れを少なくでき、また、吸着面側から最深部となるシール部材を無くすことで、修理も容易となる効果を奏する。また、消費電力を低く抑えることができるサポート部材付永電磁式マグネットチャックを提供できる。
According to the present invention, the connection block is eliminated, the permanent magnet is disposed in the storage hole provided in the base plate, and the oil passage (fluid path) is provided through the partition between the storage holes. The seal member that seals between the base plate and the connection block can be eliminated, so that oil (fluid) leakage can be reduced. In addition, the seal member that becomes the deepest part from the suction surface side is eliminated, making repairs easy. The effect which becomes. Further, it is possible to provide a permanent electromagnetic magnet chuck with a support member that can keep power consumption low.

サポート部材付永電磁式マグネットチャックの断面図である。It is sectional drawing of a permanent electromagnetic magnet chuck with a support member. サポート部材の断面図である。It is sectional drawing of a support member. 改良されたサポート部材付永電磁式マグネットチャックの部分平面図である。It is a partial top view of the improved permanent electromagnetic magnet chuck with a support member. 図3におけるY−Y線断面図である。It is the YY sectional view taken on the line in FIG. 図3におけるX−X線断面図である。It is the XX sectional view taken on the line in FIG. 希土類磁石をさらに設けたサポート部材付永電磁式マグネットチャックの、電磁コイルOFF時の断面図である。It is sectional drawing at the time of an electromagnetic coil OFF of the permanent electromagnetic magnet chuck with a support member which further provided the rare earth magnet. 希土類磁石をさらに設けたサポート部材付永電磁式マグネットチャックの、電磁コイルON時の断面図である。It is sectional drawing at the time of electromagnetic coil ON of the permanent electromagnetic magnet chuck with a support member which further provided the rare earth magnet. 消磁コイルをまたさらに設けたサポート部材付永電磁式マグネットチャックの、電磁コイルOFF時の断面図である。It is sectional drawing at the time of an electromagnetic coil OFF of the permanent electromagnetic magnet chuck with a support member which further provided the degaussing coil. 消磁コイルをまたさらに設けたサポート部材付永電磁式マグネットチャックの、電磁コイルON時の断面図である。It is sectional drawing at the time of electromagnetic coil ON of the permanent electromagnetic magnet chuck with a support member which further provided the degaussing coil.

以下本発明の実施の形態を添付図面に基づき詳細に説明する。
永久磁石と電磁コイルとを組み合わせた永電磁式マグネットチャックは知られている(例えば特開2005−305565)。この永電磁式マグネットチャックの場合には、可逆性永久磁石を用い、電磁コイルにより、可逆性永久磁石の吸着面に現れる磁力を制御するようにしているので、電磁コイルに給電する電力は少なくて済み、省力化ができる。
そこで、発明者は、特許文献1(特開2009−255221)に示されるサポート部材付電磁式マグネットチャックにも永久磁石を組み込み、省力化を図ることに想到し、図1に示すようなサポート部材付永電磁式マグネットチャック10を考案した。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
A permanent electromagnetic magnet chuck in which a permanent magnet and an electromagnetic coil are combined is known (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-305565). In the case of this permanent electromagnetic type magnet chuck, a reversible permanent magnet is used, and the magnetic force that appears on the attracting surface of the reversible permanent magnet is controlled by the electromagnetic coil. Can be saved.
Therefore, the inventor has conceived that a permanent magnet is also incorporated into the electromagnetic magnet chuck with a support member disclosed in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-255221) to save labor, and the support member as shown in FIG. Attached permanent electromagnetic magnet chuck 10 was devised.

まず、図1および図2により、このサポート部材付永電磁式マグネットチャック10について説明する。図1は、サポート部材付永電磁式マグネットチャック10の断面図、図2は、サポート部材30の断面図である。
磁性体からなる台板12上に複数のアルニコ製の永久磁石14が配置され、各永久磁石14の間にステンレス製の接続ブロック16が配置されている。この永久磁石14と接続ブロック16とは磁性材料からなる組付鉄心18によって覆われている。なお接続ブロック16はボルト19により台板12に固定されている。接続ブロック16はアルニコ磁石であってもよい。
First, the permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a sectional view of a permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member, and FIG. 2 is a sectional view of a support member 30.
A plurality of alnico permanent magnets 14 are arranged on a base plate 12 made of a magnetic material, and a stainless steel connection block 16 is arranged between the permanent magnets 14. The permanent magnet 14 and the connection block 16 are covered with an assembly iron core 18 made of a magnetic material. The connection block 16 is fixed to the base plate 12 with bolts 19. The connection block 16 may be an alnico magnet.

そして、組付鉄心18上に磁性材料からなる磁極部材20が配置されている。なお、組付鉄心18は磁極部材20と一体のものとすることができる。
磁極部材20の表面側が吸着面となる。磁極部材20の組付鉄心18側の面には長いリング状をなす穴22が開口され、この長いリング状の穴22内に電磁コイル24が配設されている。そして穴22内はエポキシ樹脂が充填され、電磁コイル24を封止している。
A magnetic pole member 20 made of a magnetic material is disposed on the assembled iron core 18. The assembled iron core 18 can be integrated with the magnetic pole member 20.
The surface side of the magnetic pole member 20 is an adsorption surface. A long ring-shaped hole 22 is opened on the surface of the magnetic pole member 20 on the assembly core 18 side, and an electromagnetic coil 24 is disposed in the long ring-shaped hole 22. The hole 22 is filled with epoxy resin to seal the electromagnetic coil 24.

磁極部材20の吸着面に、電磁コイル24により及ぼされる吸着エリアを囲むようにして非磁性材料からなるセパレータ26が設けられている。
磁極部材20の、電磁コイル24に囲まれる部位に、吸着面側が大径部となる穴28が所要間隔をおいて一列に複数個開口されている。この各穴28の小径部内に嵌入するようにしてサポート部材30が配設されている。サポート部材30の上部は大径部内に露出している。なお、このようなサポート部材30の列が適宜複数列設けられている(図示せず)。
A separator 26 made of a non-magnetic material is provided on the suction surface of the magnetic pole member 20 so as to surround the suction area exerted by the electromagnetic coil 24.
A plurality of holes 28 having a large diameter portion on the suction surface side are opened in a row at a required interval in a portion surrounded by the electromagnetic coil 24 of the magnetic pole member 20. A support member 30 is disposed so as to fit into the small diameter portion of each hole 28. The upper part of the support member 30 is exposed in the large diameter part. A plurality of such rows of support members 30 are provided as appropriate (not shown).

サポート部材30は、油圧、空気圧等の流体圧(以下油圧で説明する)によって突出入し、磁極部材20の吸着面から外方に突出した際、ワークの表面に当接するプランジャ32を有する。
各穴28の大径部は、蓋体34によって覆われている。蓋体34はネジ35によって、磁極部材20に固定されている。また、蓋体34には、開口部36が形成され、この開口部36を通じてプランジャ32が吸着面から突出入可能となっている。穴28の大径部の底部には、磁極部材20、組付鉄心18、接続ブロック16および台板12を貫通するドレイン孔42が設けられている。
穴28を蓋体34で覆うのは、切削屑、研削屑等が穴28内に入り込むのを防止するためである。蓋体34に設けた開口部36から穴28内に入り込んだ加工液等は、ドレイン孔42から外部に排出される。
The support member 30 has a plunger 32 that protrudes by fluid pressure such as hydraulic pressure or pneumatic pressure (hereinafter described as hydraulic pressure) and contacts the surface of the workpiece when protruding outward from the adsorption surface of the magnetic pole member 20.
The large diameter portion of each hole 28 is covered with a lid 34. The lid 34 is fixed to the magnetic pole member 20 by screws 35. An opening 36 is formed in the lid 34, and the plunger 32 can project from the suction surface through the opening 36. A drain hole 42 penetrating the magnetic pole member 20, the assembled iron core 18, the connection block 16, and the base plate 12 is provided at the bottom of the large diameter portion of the hole 28.
The reason why the hole 28 is covered with the lid 34 is to prevent cutting waste, grinding waste and the like from entering the hole 28. The machining fluid or the like that has entered the hole 28 from the opening 36 provided in the lid 34 is discharged from the drain hole 42 to the outside.

台板12、接続ブロック16、組付鉄心18および磁極部材20を通過し、サポート部材に至る油路(流体路)38が設けられ、この油路38を通じて圧油がサポート部材30に供給、排出されることにより、プランジャ32がサポート部材30の本体から突出入可能になっている。
そして、油路38における、台板12と接続ブロック16との間、接続ブロック16と組付鉄心18との間、および組付鉄心18と磁極部材20との間の3箇所にシール部材たるOリング40が配設されている。
An oil passage (fluid passage) 38 that passes through the base plate 12, the connection block 16, the assembled iron core 18 and the magnetic pole member 20 and reaches the support member is provided, and pressure oil is supplied to and discharged from the support member 30 through the oil passage 38. As a result, the plunger 32 can protrude from the main body of the support member 30.
In the oil passage 38, the seal member is provided at three locations between the base plate 12 and the connection block 16, between the connection block 16 and the assembly iron core 18, and between the assembly iron core 18 and the magnetic pole member 20. A ring 40 is provided.

上記サポート部材30の構造は特に限定されるものではないが、本実施の形態では、図2に示す構造をなしている。
すなわち、サポート部材30は、ハウジング44と、ハウジング44との間に第1のスプリング43を介在させてハウジング44内に移動可能に設けられ、油路38からの油圧により第1のスプリング43の付勢力に抗して移動するピストン45と、該ピストン45の外側に位置して、ピストン45との間に第2のスプリング46を介在させてハウジング44内に移動可能に設けられ、ピストン45と共に移動可能なプランジャ32とを備えている。なお、47はプランジャ32の移動をガイドするガイド筒である。
Although the structure of the support member 30 is not particularly limited, the structure shown in FIG. 2 is used in the present embodiment.
That is, the support member 30 is provided so as to be movable in the housing 44 with the first spring 43 interposed between the housing 44 and the housing 44, and the first spring 43 is attached by the hydraulic pressure from the oil passage 38. A piston 45 that moves against the force, and a second spring 46 that is located outside the piston 45 and is interposed between the piston 45 and is movable in the housing 44, and moves together with the piston 45. And a possible plunger 32. Reference numeral 47 denotes a guide cylinder for guiding the movement of the plunger 32.

油路38に圧油が供給されると、ピストン45が移動し、これに伴ってプランジャ32が蓋体34から上方に突出し、プランジャ32先端がワークに当接する。第1のスプリング43および第2のスプリング46によって、プランジャ32は、所要の押圧力でワークに当接することになる。   When pressure oil is supplied to the oil passage 38, the piston 45 moves, and accordingly, the plunger 32 protrudes upward from the lid body 34, and the tip of the plunger 32 comes into contact with the workpiece. By the first spring 43 and the second spring 46, the plunger 32 comes into contact with the workpiece with a required pressing force.

図1および図2に示すサポート部材付永電磁式マグネットチャック10を用いてワーク(図示せず)を吸着保持するには次のようになされる。
まず、ワークを磁極部材20の吸着面上に載置する。
次いで、図示しない油圧源から圧油を油路38に供給し、油圧により各プランジャ32を吸着面から突出させ、プランジャ32先端をワークに当接させ、ワークを支持するようにする。
この状態で、電磁コイル24に必要な大きな電力を供給し、吸着面を強い磁力を発生させ、ワークを吸着面に吸着、固定する。
この状態で、ワークに必要な切削加工、研削加工等を施すようにする。
In order to attract and hold a work (not shown) using the permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member shown in FIGS. 1 and 2, the following is performed.
First, the work is placed on the suction surface of the magnetic pole member 20.
Next, pressure oil is supplied from a hydraulic source (not shown) to the oil passage 38, and each plunger 32 is protruded from the suction surface by hydraulic pressure, and the tip of the plunger 32 is brought into contact with the work so as to support the work.
In this state, large electric power necessary for the electromagnetic coil 24 is supplied, a strong magnetic force is generated on the attracting surface, and the work is attracted and fixed to the attracting surface.
In this state, necessary cutting and grinding are performed on the workpiece.

なお、アルニコ製の永久磁石14は、電磁コイル24に短時間通電するだけで、必要な磁力を継続的に得ることができ、これにより省エネルギー化を図ることができる。
ワーク加工後、ワークを解放するには、電磁コイル24に、吸着時とは逆方向に通電することで、保持力の小さいアルニコ製の永久磁石14の磁力を低下させればよい。
なお、必要に応じて、ワークに残留する残留磁力を消磁する消磁用コイルを設けてもよい(図示せず)。
Note that the Alnico permanent magnet 14 can continuously obtain the necessary magnetic force by simply energizing the electromagnetic coil 24 for a short time, thereby saving energy.
In order to release the work after the work has been processed, the magnetic force of the Alnico permanent magnet 14 having a small holding power may be reduced by energizing the electromagnetic coil 24 in the direction opposite to that during the adsorption.
If necessary, a degaussing coil for demagnetizing the residual magnetic force remaining on the workpiece may be provided (not shown).

上記のようにして、省エネルギー化を図れるサポート部材付永電磁式マグネットチャック10を提供できた。
しかしながら、図1に示す実施の形態に係るサポート部材付永電磁式マグネットチャック10にも、次のような課題が生じた。
すなわち、上記のように、圧油をサポート部材30に供給される油路(流体路)38を、台板12、接続ブロック16、組付鉄心18および磁極部材20を通過し、サポート部材に至る油路(流体路)38としている。
As described above, the permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member that can save energy can be provided.
However, the following problems also occurred in the permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member according to the embodiment shown in FIG.
That is, as described above, the oil passage (fluid passage) 38 through which pressure oil is supplied to the support member 30 passes through the base plate 12, the connection block 16, the assembled iron core 18, and the magnetic pole member 20, and reaches the support member. An oil passage (fluid passage) 38 is used.

そして、油路38における、台板12と接続ブロック16との間、接続ブロック16と組付鉄心18との間、および組付鉄心18と磁極部材20との間の3箇所にシール部材たるOリング40を配設して、各部材間をシールするようにしている。
しかしながら、上記のように、3箇所もの間をOリングによりシールすることは、シールが不完全になりやすく、油漏れが生じるおそれがある。そして油漏れが生じた場合の修理も厄介であるという課題が生じた。
In the oil passage 38, the seal member is provided at three locations between the base plate 12 and the connection block 16, between the connection block 16 and the assembly iron core 18, and between the assembly iron core 18 and the magnetic pole member 20. A ring 40 is provided to seal between the members.
However, as described above, sealing between three locations with an O-ring tends to be incomplete and may cause oil leakage. And the problem that the repair in case of an oil spill is troublesome arises.

そこで、以下の実施の形態では、上記実施の形態をさらに改良し、油(流体)漏れを極力回避し、またたとえ油(流体)漏れが生じた場合にも修理が容易な、サポート部材付永電磁式マグネットチャック10を提供する。
図3〜図5は、改良型のサポート部材付永電磁式マグネットチャック10を示す、図3は、その部分平面図、図4は図3におけるY−Y線断面図、図5は図3におけるX−X線断面図である。
図1および図2における実施の形態と同一の部材は同一の符号を付し、その説明は省略する。
Therefore, in the following embodiment, the above embodiment is further improved to avoid oil (fluid) leakage as much as possible, and even if oil (fluid) leakage occurs, it is easy to repair, and the permanent member with a support member is attached. An electromagnetic magnet chuck 10 is provided.
3 to 5 show the improved permanent electromagnetic magnet chuck 10 with a support member, FIG. 3 is a partial plan view thereof, FIG. 4 is a sectional view taken along line YY in FIG. 3, and FIG. It is XX sectional drawing.
The same members as those in the embodiment in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

改良型実施の形態における特徴は、接続ブロック16を無くし、アルニコ磁石製の永久磁石14を、台板12に設けた収納穴15内に配設するとともに、収納穴15間の仕切部12a(台板12と一体)に油路(流体路)38を貫通して設けた点にある。
そして、シール部材40を、流体路38における、仕切部12aと組付鉄心18との間をシールする第1のシール部材、および組付鉄心18と磁極部材20との間をシールする第2のシール部材の2つのシール部材とした。なお、組付鉄心18と磁極部材20とを一体のものとすれば、シール部材を、仕切り部12aと磁極部材20との間をシールする1つのシール部材のみとすることもできる。
A feature of the improved embodiment is that the connection block 16 is eliminated and the permanent magnet 14 made of alnico magnet is disposed in the storage hole 15 provided in the base plate 12 and the partition portion 12a (base) between the storage holes 15 is provided. The oil passage (fluid passage) 38 is provided through the plate 12).
Then, the seal member 40 is sealed between the partitioning portion 12a and the assembled iron core 18 in the fluid path 38, and the second seal is sealed between the assembled iron core 18 and the magnetic pole member 20. Two sealing members were used. If the assembled iron core 18 and the magnetic pole member 20 are integrated, the sealing member can be only one sealing member that seals between the partition portion 12a and the magnetic pole member 20.

すなわち、本実施の形態では、図1、図2に示す実施の形態における、台板12と接続ブロック16との間をシールするシール部材を無くしたので、それだけ、油(流体)漏れを少なくでき、また、吸着面側から最深部となるシール部材を無くすことで、修理も容易となる利点がある。
なお、図5において、48は、絶縁性を向上させるために、電磁コイル24を収納する孔22内に配設したガラスビーズであり、49は、電磁コイル24等を封止するエポキシ樹脂である。
That is, in this embodiment, since the sealing member for sealing between the base plate 12 and the connection block 16 in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 is eliminated, oil (fluid) leakage can be reduced accordingly. Moreover, there is an advantage that repair is easy by eliminating the seal member that is the deepest part from the suction surface side.
In FIG. 5, 48 is a glass bead disposed in the hole 22 for accommodating the electromagnetic coil 24 in order to improve insulation, and 49 is an epoxy resin for sealing the electromagnetic coil 24 and the like. .

この改良型のサポート部材付永電磁式マグネットチャック10における、さらに望まれる改良点は、蓋体34およびドレイン孔42を無くし、ドレイン溝となる凹溝50を磁極部材20の吸着面に形成する点にある(なお、この改良点は、必ずしも設けなくともよい)。
凹溝50は、図3に示すように、磁極部材20の側面に開口すると共に、通路51を通じて、穴28の大径部28aに通じている。これにより、穴28の大径部28a内に入り込んだ切削屑、研削屑、加工液等は、通路51および凹溝50を通じて、磁極部材20の側方に排出されることになる。
A further desired improvement in the improved electromagnetic permanent magnet chuck 10 with a support member is that the lid 34 and the drain hole 42 are eliminated and a concave groove 50 serving as a drain groove is formed on the attracting surface of the magnetic pole member 20. (Note that this improvement is not necessarily provided).
As shown in FIG. 3, the recessed groove 50 opens on the side surface of the magnetic pole member 20 and communicates with the large diameter portion 28 a of the hole 28 through the passage 51. As a result, cutting waste, grinding waste, machining fluid and the like that have entered the large-diameter portion 28 a of the hole 28 are discharged to the side of the magnetic pole member 20 through the passage 51 and the groove 50.

なお、穴28の大径部28aとサポート部材30との間にはシール部材52が配設され、これにより当該部位に加工液が入り込むのを防止している。
この改良型によれば、蓋体34およびドレイン孔42を無くしているので、構成を簡易なものとすることができる。
また、凹溝50を断面逆T字状のものに形成すれば、この凹溝50を、加工具取り付け用の係止溝等としての利用も可能となる。
さらに、図3に示すように、空間部となる凹溝50を、非磁性体からなるセパレータ26と併せて、セパレータ部としても利用可能となる。
A seal member 52 is disposed between the large-diameter portion 28a of the hole 28 and the support member 30, thereby preventing the processing liquid from entering the portion.
According to this improved type, since the lid 34 and the drain hole 42 are eliminated, the configuration can be simplified.
Further, if the concave groove 50 is formed to have an inverted T-shaped cross section, the concave groove 50 can be used as a locking groove for attaching a processing tool.
Furthermore, as shown in FIG. 3, the concave groove 50 serving as a space portion can be used as a separator portion in combination with the separator 26 made of a nonmagnetic material.

上記各実施の形態におけるサポート部材付永電磁式マグネットチャック10では、アルニコ磁石からなる1種類の永久磁石14を用いたが、これに限定されるものではない。
図6、図7に示すものは、電磁コイル24の直上に、フェライトからなる希土類磁石54を配設したものである。なお、上記実施の形態と同一の部材は同一の符号を付し、その説明を省略する。
図6は、電磁コイル24OFF時であり、磁路は矢印に示すように閉回路を構成する。図7は、電磁コイルON時であり、矢印に示すような磁路となり、吸着面にN極、S極が現れる。
In the permanent electromagnetic magnet chuck 10 with the support member in each of the above embodiments, one kind of permanent magnet 14 made of an alnico magnet is used, but the present invention is not limited to this.
6 and 7 show a structure in which a rare earth magnet 54 made of ferrite is disposed immediately above the electromagnetic coil 24. In addition, the same member as the said embodiment attaches | subjects the same code | symbol, and abbreviate | omits the description.
FIG. 6 shows when the electromagnetic coil 24 is OFF, and the magnetic path forms a closed circuit as indicated by an arrow. FIG. 7 shows a magnetic path as indicated by an arrow when the electromagnetic coil is ON, and N and S poles appear on the attracting surface.

図8、図9は、図6、図7のものにさらに消磁コイル56を設けたものである。上記実施の形態と同一の部材には同一の符号を付している。
図8は、電磁コイル24OFF時であり、磁路は矢印に示すように閉回路を構成する。図9は、電磁コイルON時であり、矢印に示すような磁路となり、吸着面にN極、S極が現れる。
8 and 9 are the ones in which a demagnetizing coil 56 is further provided in addition to those in FIGS. The same members as those in the above embodiment are given the same reference numerals.
FIG. 8 shows when the electromagnetic coil 24 is OFF, and the magnetic path forms a closed circuit as indicated by an arrow. FIG. 9 shows a magnetic path as indicated by an arrow when the electromagnetic coil is ON, and N and S poles appear on the attracting surface.

10 サポート部材付永電磁式マグネットチャック、12 台板、14 永久磁石、15 収納穴、16 接続ブロック、18 組付鉄心、20 磁極部材、22 穴、24 電磁コイル、26 セパレータ、28 穴、28a 大径部、30 サポート部材、32 プランジャ、34 蓋体、36 開口部、38 油路(流体路)、40 シール部材、42 ドレイン孔、43 第1のスプリング、44 ハウジング、45 ピストン、 46 第2のスプリング、47 ガイド筒、48 ガラスビーズ、49 エポキシ樹脂、50 凹溝、51 通路、52 シール部材、54 希土類磁石、56 消磁コイル   10 Permanent electromagnetic magnet chuck with support member, 12 Base plate, 14 Permanent magnet, 15 Housing hole, 16 Connection block, 18 Assembly iron core, 20 Magnetic pole member, 22 holes, 24 Electromagnetic coil, 26 Separator, 28 holes, 28a Large Diameter portion, 30 Support member, 32 Plunger, 34 Lid, 36 Opening portion, 38 Oil passage (fluid passage), 40 Seal member, 42 Drain hole, 43 First spring, 44 Housing, 45 Piston, 46 Second Spring, 47 Guide tube, 48 Glass beads, 49 Epoxy resin, 50 Concave groove, 51 Passage, 52 Seal member, 54 Rare earth magnet, 56 Degaussing coil

Claims (9)

磁性体からなる台板に設けられた収納穴内に配設された永久磁石と、
該永久磁石を覆って設けられ、ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、
該磁極部材の前記吸着面に、前記電磁コイルにより及ぼされる吸着エリアを囲むようにして設けられたセパレータと、
流体圧によって突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられた穴内に配置された複数のサポート部材と、
前記台板、該台板に設けられた前記収納穴を仕切る仕切部および前記磁極部材を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、
前記流体路における、前記仕切部と前記磁極部材との間をシールするシール部材とを具備することを特徴とするサポート部材付永電磁式マグネットチャック。
A permanent magnet disposed in a storage hole provided in a base plate made of a magnetic material;
A magnetic pole member provided so as to cover the permanent magnet, having an attracting surface for attracting a workpiece, and having an electromagnetic coil embedded therein;
A separator provided on the attraction surface of the magnetic pole member so as to surround an attraction area exerted by the electromagnetic coil;
In a hole provided in the magnetic pole member at a portion surrounded by the electromagnetic coil, having a plunger that comes into contact with the surface of the workpiece when protruding by fluid pressure and protrudes outward from the adsorption surface of the magnetic pole member A plurality of support members arranged in
A fluid path that passes through the base plate, a partition portion that partitions the storage hole provided in the base plate, and the magnetic pole member, reaches the support member, and exerts fluid pressure on the plunger;
A permanent electromagnetic magnet chuck with a support member, comprising: a seal member that seals between the partition portion and the magnetic pole member in the fluid path.
前記磁極部材における、前記電磁コイルを直接覆う部位が組付鉄心部として別体に形成され、前記シール部材は、前記流体路における、前記仕切り部と前記組付鉄心部との間をシールする第1のシール部材、および前記組付鉄心部と前記磁極部材との間をシールする第2のシール部材であることを特徴とする請求項1記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   A part of the magnetic pole member that directly covers the electromagnetic coil is formed as a separate assembly core part, and the seal member seals between the partition part and the assembly core part in the fluid path. 2. The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to claim 1, which is a first seal member and a second seal member that seals between the assembled iron core and the magnetic pole member. 前記シール部材がOリングであることを特徴とする請求項1または2記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to claim 1 or 2, wherein the seal member is an O-ring. 前記各サポート部材は、ハウジングと、ハウジングとの間に第1のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、流体圧により第1のスプリングの付勢力に抗して移動するピストンと、該ピストンの外側に位置して、該ピストンとの間に第2のスプリングを介在させてハウジング内に移動可能に設けられ、前記ピストンと共に移動する前記プランジャとを備えることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   Each of the support members includes a housing and a piston that is movably provided in the housing with a first spring interposed between the housing and that moves against the urging force of the first spring by fluid pressure, 2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a plunger positioned outside the piston and movably provided in the housing with a second spring interposed between the piston and the plunger that moves together with the piston. A permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to any one of? 3. 前記磁極部材の表面に設けられ、前記磁極部材に設けられた前記穴に連通するとともに、前記磁極部材の側面に開口する、ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する凹溝を有することを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   Provided on the surface of the magnetic pole member, communicating with the hole provided in the magnetic pole member, and having a concave groove for discharging work cutting waste or grinding waste and machining fluid, which is opened on a side surface of the magnetic pole member. The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to any one of claims 1 to 4. 前記凹溝が、断面逆T字状をなす凹溝であることを特徴とする請求項5記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   6. The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to claim 5, wherein the groove is a groove having an inverted T-shaped cross section. 前記磁極部材に埋設された消磁用コイルを有することを特徴とする請求項1〜6いずれか1項記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to any one of claims 1 to 6, further comprising a degaussing coil embedded in the magnetic pole member. 前記永久磁石が低保持力で高磁束密度の特性を有する磁石材からなる磁石であることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   The permanent magnet magnet chuck with a support member according to claim 1, wherein the permanent magnet is a magnet made of a magnet material having a low holding force and a high magnetic flux density. 前記永久磁石とは別に、前記磁極部材に埋設された希土類磁石を有することを特徴とする請求項1〜8いずれか1項記載のサポート部材付永電磁式マグネットチャック。   The permanent electromagnetic magnet chuck with a support member according to claim 1, further comprising a rare earth magnet embedded in the magnetic pole member separately from the permanent magnet.
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