KR102318925B1 - Electrostatic chuck for adsorbing substrate - Google Patents

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Abstract

개시되는 기판 흡착용 정전척이 정전척 본체 부재와, 복수 개의 제 1 층 전극 부재와, 복수 개의 제 2 층 전극 부재를 포함함에 따라, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재가 상기 정전척 본체 부재의 서로 다른 층에서 각각 정전력을 함께 형성하고, 그에 따라 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재를 하나의 층에 모두 배열하는 경우에 비해 상기 각 제 1 층 전극 부재와 상기 각 제 2 층 전극 부재들 사이의 각 간격이 상대적으로 더 크게 형성될 수 있어서, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재에 의한 흡착 대상인 상기 기판에 대한 정전력은 요구되는 수준으로 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재에서 발생될 수 있는 아킹 및 쇼트 현상의 발생을 방지시킬 수 있게 되는 장점이 있다.As the disclosed electrostatic chuck for adsorbing a substrate includes an electrostatic chuck body member, a plurality of first layer electrode members, and a plurality of second layer electrode members, the first layer electrode member and the second layer electrode member are Each of the first layer electrode members forms an electrostatic force together in different layers of the electrostatic chuck body member, and thus each of the first layer electrode members is compared to the case where the first layer electrode member and the second layer electrode member are all arranged in one layer and each gap between the second layer electrode members and each of the second layer electrode members can be formed to be relatively larger, so that the electrostatic force for the substrate to be adsorbed by the first layer electrode member and the second layer electrode member is a required level , but there is an advantage in that it is possible to prevent the occurrence of arcing and shorting that may occur in the first layer electrode member and the second layer electrode member.

Description

기판 흡착용 정전척{Electrostatic chuck for adsorbing substrate}Electrostatic chuck for adsorbing substrate

본 발명은 기판 흡착용 정전척에 관한 것이다.The present invention relates to an electrostatic chuck for adsorbing a substrate.

유기발광다이오드(OLED) 등의 디스플레이 패널을 형성하기 위해서는, 글라스 기판 상에 유기물질을 증착시켜주어야 하는데, 상기 디스플레이 패널이 점진적으로 대면적화되면서, 유기물질 증착을 위해 배치된 상기 글라스 기판이 처지는 문제가 발생하였고, 이러한 기판 처짐은 상기 디스플레이 패널의 불량의 원인이 되기에, 이에 대한 해결이 요구되고 있다.In order to form a display panel such as an organic light emitting diode (OLED), it is necessary to deposit an organic material on a glass substrate. As the display panel gradually increases in area, the glass substrate disposed for depositing the organic material sags. has occurred, and this substrate sagging is a cause of defects in the display panel, and a solution for this is required.

종래에 상기와 같은 기판 처짐을 해결하기 위한 방안으로 아래 제시된 특허문헌에서와 같이, 복수 개의 점착 고무를 적용시켜, 고무의 점착력을 이용하는 방식도 제시되었으나, 이러한 점착 고무를 적용하는 방식은 별도 부재인 점착 고무의 적용에 따른 제조 원가 상승 및 그 적용 자체의 불편함이 있었다.Conventionally, as a method for solving the sagging of the substrate as described above, as in the patent literature presented below, a method of using the adhesive force of rubber by applying a plurality of adhesive rubbers has been proposed, but the method of applying such adhesive rubber is a separate member. There was an increase in manufacturing cost due to the application of the adhesive rubber and the inconvenience of the application itself.

이러한 방식 이외에, 정전력을 향상시키기 위하여, 정전척 내부에 단일한 층으로 배열된 복수 개의 전극 사이의 간격을 상대적으로 더 근접되도록 배치, 즉 촘촘하게 배치하는 방식도 제시되었으나, 이 경우 전기가 인가되면, 각 전극 사이의 매우 근접된 구조로 인해 아킹(arcking) 및 쇼트 현상이 발생될 위험이 큰 문제가 있었다.In addition to this method, in order to improve electrostatic force, a method of disposing the intervals between the plurality of electrodes arranged in a single layer inside the electrostatic chuck to be relatively closer, that is, densely arranged, has also been proposed, but in this case, when electricity is applied , there is a high risk of arcing and short circuit occurring due to a very close structure between each electrode.

등록특허 제 10-1401473호, 등록일자: 2014.05.23., 발명의 명칭: 기판 흡착용 정전 척 및 그를 이용한 기판 흡착 방법Registered Patent No. 10-1401473, Registration Date: May 23, 2014, Title of Invention: Electrostatic chuck for substrate adsorption and substrate adsorption method using the same

본 발명은 아킹 및 쇼트 현상의 발생없이도 정전력이 향상될 수 있는 구조를 가진 기판 흡착용 정전척을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an electrostatic chuck for adsorbing a substrate having a structure in which electrostatic power can be improved without occurrence of arcing and short circuit phenomena.

본 발명의 일 측면에 따른 기판 흡착용 정전척은 흡착 대상인 기판과 대면되는 정전척 본체 부재; 상기 정전척 본체 부재의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 일정 간격 이격된 단일한 하나의 층에 나란히 배열되는 복수 개의 제 1 층 전극 부재; 및 상기 정전척 본체 부재의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 상기 제 1 층 전극 부재가 이격된 간격보다 상대적으로 더 큰 간격으로 이격된 단일한 다른 하나의 층에 나란히 배열되는 복수 개의 제 2 층 전극 부재;를 포함하고,
상기 제 2 층 전극 부재의 폭은 상기 각 제 1 층 전극 부재 사이의 간격에 비해 상대적으로 더 크게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재의 각 말단부의 각 상공과 일정 부분 겹치도록 배치되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, an electrostatic chuck for adsorbing a substrate includes an electrostatic chuck body member facing a substrate to be adsorbed; a plurality of first layer electrode members arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member and arranged side by side in a single layer spaced apart from a surface facing the substrate in the electrostatic chuck body member by a predetermined distance; and a single other unit spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member by a relatively larger distance than the distance at which the first layer electrode member is spaced apart from the surface of the electrostatic chuck body member facing the substrate. a plurality of second layer electrode members arranged side by side in one layer;
The width of the second layer electrode member is formed to be relatively larger than the interval between the respective first layer electrode members, and each end portion of each second layer electrode member is formed at the respective end portion of each first layer electrode member. It is characterized in that it is arranged so as to partially overlap with each sky.

본 발명의 일 측면에 따른 기판 흡착용 정전척에 의하면, 상기 기판 흡착용 정전척이 정전척 본체 부재와, 복수 개의 제 1 층 전극 부재와, 복수 개의 제 2 층 전극 부재를 포함함에 따라, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재가 상기 정전척 본체 부재의 서로 다른 층에서 각각 정전력을 함께 형성하고, 그에 따라 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재를 하나의 층에 모두 배열하는 경우에 비해 상기 각 제 1 층 전극 부재와 상기 각 제 2 층 전극 부재들 사이의 각 간격이 상대적으로 더 크게 형성될 수 있어서, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재에 의한 흡착 대상인 상기 기판에 대한 정전력은 요구되는 수준으로 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제 1 층 전극 부재와 상기 제 2 층 전극 부재에서 발생될 수 있는 아킹 및 쇼트 현상의 발생을 방지시킬 수 있게 되는 효과가 있다.According to an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to an aspect of the present invention, the electrostatic chuck for adsorbing a substrate includes an electrostatic chuck body member, a plurality of first layer electrode members, and a plurality of second layer electrode members, The first layer electrode member and the second layer electrode member together form an electrostatic force together in different layers of the electrostatic chuck body member, so that the first layer electrode member and the second layer electrode member are combined into one layer. Each gap between each of the first layer electrode member and each of the second layer electrode members may be formed to be relatively larger compared to the case where all of the electrode members are arranged, so that the first layer electrode member and the second layer electrode member It is possible to improve the electrostatic force to the substrate, which is the target of adsorption, to a required level, while preventing the occurrence of arcing and short circuits that may occur in the first layer electrode member and the second layer electrode member. It works.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 구조를 보이는 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 3은 도 2에 가상선을 표시한 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척과 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과를 보이는 표.
도 5는 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹이 발생된 모습을 보이는 사진.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹이 미발생된 모습을 보이는 사진.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 8은 도 7의 각 전극 부재가 겹치는 정도를 보이는 단면도.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 10은 도 9의 각 전극 부재가 이격된 정도를 보이는 단면도.
도 11은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 12는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 13은 도 12에 가상선을 표시한 도면.1 is a cross-sectional view showing the structure of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a first embodiment of the present invention;
Figure 2 is an enlarged view of the portion A shown in Figure 1;
Fig. 3 is a view showing a virtual line in Fig. 2;
4 is a table showing results of arcing generation experiments for the electrostatic chuck for substrate adsorption according to the first embodiment of the present invention and the conventional electrostatic chuck for adsorbing a substrate.
5 is a photograph showing a state in which arcing occurred as a result of an arcing generation experiment for a conventional electrostatic chuck for adsorption of a substrate.
6 is a photograph showing a state in which arcing does not occur as a result of an arcing generation experiment for the electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to the first embodiment of the present invention.
7 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a second embodiment of the present invention;
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an overlapping degree of each electrode member of FIG. 7 ;
9 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a third embodiment of the present invention;
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a degree to which each electrode member of FIG. 9 is spaced apart;
11 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a fourth embodiment of the present invention;
12 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a fifth embodiment of the present invention;
Fig. 13 is a view showing an imaginary line in Fig. 12;

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 기판 흡착용 정전척에 대하여 설명한다.Hereinafter, an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 구조를 보이는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 3은 도 2에 가상선을 표시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척과 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과를 보이는 표이고, 도 5는 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹이 발생된 모습을 보이는 사진이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹이 미발생된 모습을 보이는 사진이다.1 is a cross-sectional view showing the structure of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of part A shown in FIG. 1, and FIG. 3 is an imaginary line indicated in FIG. 4 is a table showing the arc generation test results for the electrostatic chuck for substrate adsorption according to the first embodiment of the present invention and the conventional electrostatic chuck for adsorption of the substrate, and FIG. 5 is a table showing the conventional electrostatic chuck for adsorption to the substrate It is a photograph showing an arcing occurrence as a result of an arcing generation experiment, and FIG. 6 is a photograph showing an arcing non-occurring state as a result of an arcing generation experiment for the electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to the first embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(100)은 정전척 본체 부재(110)와, 복수 개의 제 1 층 전극 부재(120)와, 복수 개의 제 2 층 전극 부재(130)를 포함한다.1 to 6 , the electrostatic chuck 100 for adsorbing a substrate according to the present embodiment includes an electrostatic chuck body member 110 , a plurality of first-layer electrode members 120 , and a plurality of second layers. and an electrode member 130 .

상기 정전척 본체 부재(110)는 흡착 대상인 기판과 대면되는 것으로, 일정 면적으로 넓게 형성되는 플레이트 형태로 형성된다.The electrostatic chuck body member 110 faces the substrate to be adsorbed, and is formed in the form of a plate having a wide predetermined area.

여기서, 상기 기판은 디스플레이 패널 제조를 위한 글라스 기판일 수 있다.Here, the substrate may be a glass substrate for manufacturing a display panel.

상기 정전척 본체 부재(110)는 상기 기판의 상공에서 상기 기판과 평행하게 대면되는 형태로 배치된다.The electrostatic chuck body member 110 is disposed above the substrate to face the substrate in parallel.

상기 각 제 1 층 전극 부재(120)는 상기 정전척 본체 부재(110)의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재(110)에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 일정 간격 이격된 단일한 하나의 층에 나란히 배열되는 것이다.Each of the first layer electrode members 120 is arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member 110 , and is spaced apart from a surface of the electrostatic chuck body member 110 facing the substrate by a predetermined distance. They are arranged side by side on one floor.

상기 각 제 1 층 전극 부재(120)는 상기 정전척 본체 부재(110)에서 상기 기판과 대면되는 면인 저면으로부터 일정 깊이 상의 단일한 하나의 층에 서로 동일한 간격으로 이격되도록 나란히 배열되고, 전원(미도시)으로부터 인가되는 전기에 의해 상기 기판의 흡착을 위한 정전력을 형성할 수 있는 것이다.Each of the first layer electrode members 120 is arranged side by side so as to be spaced at the same distance from each other in a single layer at a predetermined depth from a bottom surface of the electrostatic chuck body member 110 facing the substrate, and a power source (not shown) It is possible to form an electrostatic force for adsorption of the substrate by electricity applied from the city).

상기 각 제 2 층 전극 부재(130)는 상기 정전척 본체 부재(110)의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재(110)에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 상기 제 1 층 전극 부재(120)가 이격된 간격보다 상대적으로 더 큰 간격으로 이격된 단일한 다른 하나의 층에 나란히 배열되는 것이다.Each of the second layer electrode members 130 is arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member 110 , and the first layer electrode member is disposed from a surface of the electrostatic chuck body member 110 facing the substrate. (120) is arranged side by side in a single other layer spaced apart at a relatively greater distance than the spaced apart.

상기 각 제 2 층 전극 부재(130)는 상기 정전척 본체 부재(110)에서 상기 기판과 대면되는 면인 저면으로부터 상기 제 1 층 전극 부재(120)가 형성된 층의 깊이보다 상대적으로 더 깊은 깊이 상의 단일한 다른 하나의 층에 서로 동일한 간격으로 이격되도록 나란히 배열되고, 상기 전원으로부터 인가되는 전기에 의해 상기 기판의 흡착을 위한 정전력을 형성할 수 있는 것이다.Each of the second layer electrode members 130 is a single layer on a depth relatively greater than the depth of the layer in which the first layer electrode member 120 is formed from a bottom surface of the electrostatic chuck body member 110 facing the substrate. They are arranged side by side so as to be spaced apart from each other at the same distance in one other layer, and an electrostatic force for adsorption of the substrate can be formed by electricity applied from the power source.

상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)가 서로 다른 층에서 각각 정전력을 함께 형성함에 따라, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)를 하나의 층에 모두 배열하는 경우에 비해 상기 각 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 각 제 2 층 전극 부재(130)들 사이의 각 간격이 상대적으로 더 크게 형성될 수 있어서, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)에 의한 흡착 대상인 상기 기판에 대한 정전력은 요구되는 수준으로 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)에서 발생될 수 있는 아킹 및 쇼트 현상의 발생을 방지시킬 수 있게 된다.As the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 form an electrostatic force together in different layers, respectively, the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member ( 130) may be formed to be relatively larger than the case in which all of the first electrode members 120 and each of the second layer electrode members 130 are arranged in one layer. The electrostatic force to the substrate, which is the target of adsorption by the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 , can be improved to a required level, while the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 It is possible to prevent the occurrence of arcing and short circuit that may occur in the two-layer electrode member 130 .

본 실시예에서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 층 전극 부재(130)의 폭은 상기 각 제 1 층 전극 부재(120) 사이의 간격과 동일하게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재(130)는 상기 각 제 1 층 전극 부재(120) 사이의 이격된 간격 사이 부분에 대응되도록 배치된다.In the present embodiment, as shown in FIG. 3 , the width of the second layer electrode member 130 is formed to be the same as the distance between the first layer electrode members 120 , and the second layer electrode member 130 is formed to have the same width. The member 130 is disposed to correspond to a portion between the first-layer electrode members 120 spaced apart from each other.

상기 각 제 1 층 전극 부재(120)의 각 말단의 각 상공에 상기 제 2 층 전극 부재(130)의 각 말단이 위치된다.Each end of the second layer electrode member 130 is positioned above each end of each end of each of the first layer electrode members 120 .

도 3에서 'a'로 표시된 선은 상기 각 제 1 층 전극 부재(120)의 각 말단으로부터 수직으로 연장된 가상선으로, 상기 가상선(a)은 상기 제 2 층 전극 부재(130)의 각 말단에 연결되는 것을 알 수 있고, 그에 따라 상기 제 2 층 전극 부재(130)의 폭은 상기 각 제 1 층 전극 부재(120) 사이의 간격과 동일하게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재(130)는 상기 각 제 1 층 전극 부재(120) 사이의 이격된 간격 사이 부분에 대응되도록 배치됨을 알 수 있다.In FIG. 3 , a line indicated by 'a' is an imaginary line extending vertically from each end of each of the first layer electrode members 120 , and the imaginary line (a) is an angle of the second layer electrode member 130 . It can be seen that it is connected to the distal end, so that the width of the second layer electrode member 130 is equal to the distance between each of the first layer electrode members 120, and each of the second layer electrode members ( It can be seen that 130 is disposed to correspond to a portion between the first-layer electrode members 120 spaced apart from each other.

복수 개의 상기 제 1 층 전극 부재(120)는 교번으로 양극과 음극으로 형성되고, 복수 개의 상기 제 2 층 전극 부재(130)는 교번으로 양극과 음극으로 형성될 수 있다.The plurality of first-layer electrode members 120 may be alternately formed of an anode and a cathode, and the plurality of second-layer electrode members 130 may be alternately formed of an anode and a cathode.

또는, 복수 개의 상기 제 1 층 전극 부재(120)는 모두 양극과 음극 중 하나의 극성으로 형성되고, 복수 개의 상기 제 2 층 전극 부재(130)는 모두 양극과 음극 중 다른 하나의 극성으로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 복수 개의 상기 제 1 층 전극 부재(120)는 모두 양극으로 형성되고, 복수 개의 상기 제 2 층 전극 부재(130)는 모두 음극으로 형성될 수 있다.Alternatively, the plurality of first layer electrode members 120 are all formed with one polarity of an anode and a cathode, and the plurality of second layer electrode members 130 are all formed with the other polarity of an anode and a cathode. may be For example, all of the plurality of first layer electrode members 120 may be formed as anodes, and all of the plurality of second layer electrode members 130 may be formed as cathodes.

본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(100)과 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과에 대한 표가 도 4에 도시되어 있고, 종래의 기판 흡착용 정전척에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹(arcing)이 발생된 모습을 보이는 사진이도 5에 도시되어 있고, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(100)에 대한 아킹 발생 실험 결과 아킹이 미발생된 모습을 보이는 사진이 도 6에 도시되어 있다.4 is a table showing the arc generation test results for the electrostatic chuck 100 for adsorbing a substrate according to the present embodiment and the conventional electrostatic chuck for adsorbing a substrate. As a result, a photograph showing the occurrence of arcing is shown in FIG. 5 , and a photograph showing the state in which arcing does not occur as a result of an arcing generation test for the electrostatic chuck 100 for adsorption of a substrate according to the present embodiment is shown in FIG. 6 is shown.

도 4에서, 'one layer'는 종래의 기판 흡착용 정전척을 의미하고, 'multilayer'는 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(100)을 의미하고, 'gap'은 각 정전척을 구성하는 각 전극의 폭(본 실시예에서는 상기 각 제 1 층 전극 부재(120)의 폭)이고, 'space'는 각 정전척을 구성하는 각 전극 사이의 간격(본 실시예에서는 상기 각 제 1 층 전극 부재(120) 사이의 간격)을 의미하고, 위 gap과 위 space의 각 단위는 mm이다.In FIG. 4 , 'one layer' refers to the conventional electrostatic chuck for adsorbing a substrate, 'multilayer' refers to the electrostatic chuck 100 for adsorbing a substrate according to the present embodiment, and 'gap' refers to each electrostatic chuck. is the width of each electrode (in the present embodiment, the width of each first layer electrode member 120), and 'space' is the distance between each electrode constituting each electrostatic chuck (in this embodiment, each first layer spacing between the electrode members 120), and each unit of the upper gap and the upper space is mm.

위 실험 결과를 참조해 보면, 종래의 기판 흡착용 정전척에서는, gap이 0.2 및 space가 0.2일 때 아킹이 발생됨에 비해, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(100)에서는, gap이 0.2 및 space가 0.2일 때는 물론, gap이 0.1 및 space가 0.1일 때에도 아킹이 발생되지 아니함을 알 수 있다.Referring to the above experimental results, in the conventional electrostatic chuck for adsorbing a substrate, arcing occurs when the gap is 0.2 and the space is 0.2, whereas in the electrostatic chuck 100 for adsorbing the substrate according to the present embodiment, the gap is 0.2 And it can be seen that arcing does not occur when the space is 0.2, as well as when the gap is 0.1 and the space is 0.1.

상기와 같이, 상기 기판 흡착용 정전척(100)이 상기 정전척 본체 부재(110)와, 복수 개의 상기 제 1 층 전극 부재(120)와, 복수 개의 상기 제 2 층 전극 부재(130)를 포함함에 따라, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)가 상기 정전척 본체 부재(110)의 서로 다른 층에서 각각 정전력을 함께 형성하고, 그에 따라 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)를 하나의 층에 모두 배열하는 경우에 비해 상기 각 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 각 제 2 층 전극 부재(130)들 사이의 각 간격이 상대적으로 더 크게 형성될 수 있어서, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)에 의한 흡착 대상인 상기 기판에 대한 정전력은 요구되는 수준으로 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제 1 층 전극 부재(120)와 상기 제 2 층 전극 부재(130)에서 발생될 수 있는 아킹 및 쇼트 현상의 발생을 방지시킬 수 있게 된다.As described above, the electrostatic chuck 100 for adsorbing a substrate includes the electrostatic chuck body member 110 , the plurality of first electrode members 120 , and the plurality of second layer electrode members 130 . Accordingly, the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 form an electrostatic force together in different layers of the electrostatic chuck body member 110, respectively, and, accordingly, the first layer Compared to the case where the electrode member 120 and the second layer electrode member 130 are all arranged in one layer, the space between the first electrode member 120 and the second layer electrode member 130 is Since each gap can be formed to be relatively larger, the electrostatic force to the substrate, which is the target of adsorption by the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 , can be improved to a required level while , it is possible to prevent the occurrence of arcing and short circuit that may occur in the first layer electrode member 120 and the second layer electrode member 130 .

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 기판 흡착용 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to other embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out such a description, the description overlapping with the content already described in the first embodiment of the present invention described above is replaced with it, and will be omitted herein.

도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도이고, 도 8은 도 7의 각 전극 부재가 겹치는 정도를 보이는 단면도이다.7 is an enlarged cross-sectional view of a part of the electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating the overlapping degree of each electrode member of FIG. 7 .

도 7 및 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(200)에서는, 제 2 층 전극 부재(230)의 폭이 각 제 1 층 전극 부재(220) 사이의 간격에 비해 상대적으로 더 크게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재(230)의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재(220)의 각 말단부의 각 상공과 일정 부분(d) 겹치도록 배치된다.7 and 8 together, in the electrostatic chuck 200 for adsorbing a substrate according to the present exemplary embodiment, the width of the second layer electrode member 230 is greater than that between the first layer electrode members 220 . It is formed to be relatively larger, and each distal end of each of the second layer electrode members 230 is disposed to overlap each upper portion of each distal end of each of the first layer electrode members 220 by a predetermined portion (d).

상기와 같이 구성되면, 상기 기판 흡착용 정전척(200)의 정전력이 더욱 향상될 수 있게 된다.When configured as described above, the electrostatic power of the electrostatic chuck 200 for adsorbing the substrate can be further improved.

도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도이고, 도 10은 도 9의 각 전극 부재가 이격된 정도를 보이는 단면도이다.9 is an enlarged cross-sectional view of a part of the electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a third exemplary embodiment of the present invention, and FIG.

도 9 및 도 10을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(300)에서는, 제 2 층 전극 부재(330)의 폭이 각 제 1 층 전극 부재(320) 사이의 간격에 비해 상대적으로 더 작게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재(330)의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재(320)의 각 말단부의 각 상공과 일정 간격(d')으로 이격되도록 배치되어, 상기 각 제 2 층 전극 부재(330)의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재(320)의 각 말단부의 각 상공과 겹치지 않도록 배치된다.9 and 10 together, in the electrostatic chuck 300 for adsorbing a substrate according to the present exemplary embodiment, the width of the second layer electrode member 330 is greater than that between the first layer electrode members 320 . It is formed to be relatively smaller, and each distal end of each of the second layer electrode members 330 is disposed to be spaced apart from each other by a predetermined distance d' from each upper portion of each distal end of each of the first layer electrode members 320, Each distal end of each of the second-layer electrode members 330 is disposed so as not to overlap with each upper portion of each distal end of each of the first-layer electrode members 320 .

도 11은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도이다.11 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a fourth embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(400)에서는, 제 2 층 전극 부재(430)가 전극 본체(431)와, 전극 경사면체(432)와, 전극 평행체(433)를 포함한다.Referring to FIG. 11 , in the electrostatic chuck 400 for adsorbing a substrate according to the present embodiment, the second layer electrode member 430 includes an electrode body 431 , an electrode inclined plane 432 , and an electrode parallel body 433 . ) is included.

상기 전극 본체(431)는 일정 폭을 가지고 정전척 본체 부재(410)의 내부에 서로 이격되도록 배열되는 것이다.The electrode body 431 has a predetermined width and is arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member 410 .

상기 전극 경사면체(432)는 상기 전극 본체(431)의 각 말단으로부터 일정 각도로 경사지도록 각각 연장된 형태로 형성되는 것으로, 상기 각 전극 경사면체(432)는 상기 전극 본체(431)로부터 상기 전극 본체(431)의 외측으로 갈수록 제 1 층 전극 부재(420)로부터 상대적으로 멀어지도록 경사진 형태로 형성된다.The electrode inclined surface body 432 is formed to extend to be inclined at a predetermined angle from each end of the electrode body 431 , and each electrode inclined surface body 432 is formed from the electrode body 431 . The body 431 is formed in an inclined shape so as to be relatively farther away from the first electrode member 420 toward the outside of the body 431 .

상기 전극 경사면체(432)는 상기 제 1 층 전극 부재(420)의 각 말단의 상공에 형성된다.The electrode inclined body 432 is formed above each end of the first layer electrode member 420 .

상기 전극 평행체(433)는 상기 각 전극 경사면체(432)의 각 말단으로부터 연장되되, 상기 전극 본체(431)와 각각 평행하도록 형성되는 것이다.The electrode parallel body 433 extends from each end of each electrode inclined plane 432 , and is formed to be parallel to the electrode body 431 .

상기와 같이 형성되면, 상기 기판 흡착용 정전척(400)에서의 아킹 발생이 더욱 효율적으로 방지될 수 있게 된다.When formed as described above, arcing in the electrostatic chuck 400 for adsorbing the substrate can be prevented more efficiently.

도 12는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척의 일부를 확대한 단면도이고, 도 13은 도 12에 가상선을 표시한 도면이다.FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a view showing an imaginary line in FIG. 12 .

도 12 및 도 13을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 흡착용 정전척(500)에서는, 제 2 층 전극 부재(530)의 폭이 각 제 1 층 전극 부재(520) 사이의 간격에 비해 상대적으로 더 작게 형성되고, 상기 각 제 2 층 전극 부재(530)의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재(520)의 각 말단부의 각 상공과 일정 간격으로 이격되도록 배치되어, 상기 각 제 2 층 전극 부재(530)의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재(520)의 각 말단부의 각 상공과 겹치지 않도록 배치된다.12 and 13 together, in the electrostatic chuck 500 for adsorbing a substrate according to the present embodiment, the width of the second layer electrode member 530 is greater than the distance between the first layer electrode members 520 . It is formed to be relatively smaller, and each distal end of each of the second layer electrode members 530 is disposed to be spaced apart from each other at a predetermined distance from each end of each distal end of each of the first layer electrode members 520 , so that each of the second Each distal end of the layer electrode member 530 is disposed so as not to overlap each upper portion of each distal end of each of the first layer electrode members 520 .

또한, 본 실시예에서는, 상기 제 1 층 전극 부재(520)의 상단과 접하는 층에 상기 제 2 층 전극 부재(530)가 적층되고, 그에 따라 상기 제 1 층 전극 부재(520)의 상단으로부터 수평으로 연장된 가상선(b)이 상기 제 2 층 전극 부재(530)의 저면과 만나게 된다.In addition, in this embodiment, the second layer electrode member 530 is laminated on a layer in contact with the upper end of the first layer electrode member 520 , and accordingly, horizontally from the upper end of the first layer electrode member 520 . An imaginary line (b) extending to . meets the bottom surface of the second layer electrode member 530 .

상기와 같이 구성되면, 상기 기판 흡착용 정전척(500)에서의 아킹 및 쇼트 현상의 발생이 방지되면서도, 상기 기판 흡착용 정전척(500)의 두께가 상대적으로 감소되어 슬림해질 수 있게 된다.When configured as described above, arcing and short circuits in the electrostatic chuck 500 for adsorbing the substrate are prevented, and the thickness of the electrostatic chuck 500 for adsorbing the substrate is relatively reduced to become slim.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to specific embodiments, but those of ordinary skill in the art can variously modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. and can be changed. However, it is intended to clearly state that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 기판 흡착용 정전척에 의하면, 아킹 및 쇼트 현상의 발생없이도 정전력이 향상될 수 있는 구조를 가질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the electrostatic chuck for adsorbing a substrate according to an aspect of the present invention, since it can have a structure in which electrostatic power can be improved without occurrence of arcing and short circuit, its industrial applicability is high.

100 : 기판 흡착용 정전척
110 : 정전척 본체 부재
120 : 제 1 층 전극 부재
130 : 제 2 층 전극 부재100: electrostatic chuck for substrate adsorption
110: electrostatic chuck body member
120: first layer electrode member
130: second layer electrode member

Claims (5)

흡착 대상인 기판과 대면되는 정전척 본체 부재;
상기 정전척 본체 부재의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 일정 간격 이격된 단일한 하나의 층에 나란히 배열되는 복수 개의 제 1 층 전극 부재; 및
상기 정전척 본체 부재의 내부에 서로 이격되도록 배열되되, 상기 정전척 본체 부재에서 상기 기판과 대면되는 면으로부터 상기 제 1 층 전극 부재가 이격된 간격보다 상대적으로 더 큰 간격으로 이격된 단일한 다른 하나의 층에 나란히 배열되는 복수 개의 제 2 층 전극 부재;를 포함하고,
상기 제 2 층 전극 부재의 폭은 상기 각 제 1 층 전극 부재 사이의 간격에 비해 상대적으로 더 크게 형성되고,
상기 각 제 2 층 전극 부재의 각 말단부는 상기 각 제 1 층 전극 부재의 각 말단부의 각 상공과 일정 부분 겹치도록 배치되고,
상기 제 2 층 전극 부재는
일정 폭을 가지고 상기 정전척 본체 부재의 내부에 서로 이격되도록 배열되는 전극 본체와,
상기 전극 본체의 각 말단으로부터 일정 각도로 경사지도록 각각 연장된 형태로 형성되고, 상기 전극 본체로부터 상기 전극 본체의 외측으로 갈수록 상기 제 1 층 전극 부재로부터 상대적으로 멀어지도록 경사진 형태로 형성되고, 상기 제 1 층 전극 부재의 각 말단의 상공에 형성되는 전극 경사면체와,
상기 각 전극 경사면체의 각 말단으로부터 연장되되, 상기 전극 본체와 각각 평행하도록 형성되는 전극 평행체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 흡착용 정전척.an electrostatic chuck body member facing the substrate to be adsorbed;
a plurality of first layer electrode members arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member and arranged side by side in a single layer spaced apart from a surface facing the substrate in the electrostatic chuck body member by a predetermined distance; and
The single other one arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member and spaced apart from the surface of the electrostatic chuck body member facing the substrate by a distance relatively greater than the distance at which the first layer electrode member is spaced apart. a plurality of second layer electrode members arranged side by side on a layer of
The width of the second layer electrode member is formed to be relatively larger than the interval between the respective first layer electrode members,
Each distal end of each of the second layer electrode members is disposed to partially overlap with the respective airways of each distal end of each of the first layer electrode members,
The second layer electrode member is
an electrode body having a predetermined width and arranged to be spaced apart from each other inside the electrostatic chuck body member;
The electrode body is formed in a shape extending to be inclined at a predetermined angle from each end of the electrode body, and is formed in a shape inclined to be relatively farther away from the electrode member of the first layer from the electrode body toward the outside of the electrode body, an electrode inclined plane formed above each end of the first layer electrode member;
and an electrode parallel body extending from each end of each of the electrode inclined surfaces and formed parallel to the electrode body. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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