KR102317407B1 - 입자상 물질 감지 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 입자상 물질 감지 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 스위치를 사용하지 않으면서 바이어스 전압 인가와 동시에 정전용량의 변화를 측정할 수 있는 센서 구조에 관한 것이다. 본 발명은, PM(Particulate Matter)의 유도에 따른 정전용량의 변화를 측정하는 입자상 물질 감지 장치 및 방법에 있어서, PM의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가하는 전원공급부; 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 이용하여 자기장을 형성하고 자기장으로 PM을 유도하여 PM에 의한 PM저항을 생성하는 감지부; 및 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 감지부에 병렬로 연결하여 PM저항의 변화에 따라 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터의 변화되는 정전용량을 측정하는 측정부;를 포함하는 입자상 물질 감지 장치를 제공하고, 상술한 장치를 활용하여 바이어스 전압을 인가하는 단계, PM저항을 생성하는 단계 및 PM저항의 변화에 따라 변화되는 정전용량을 측정하는 단계;를 포함하는 입자상 물질 감지 방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 전원공급부와 정전용량을 측정하는 측정부가 분리되어 측정과 동시에 전기장 형성을 할 수 있는 이점이 있다.

Description

입자상 물질 감지 장치 및 방법{Apparatus and method for detecting particulate matter}
본 발명은 입자상 물질 감지 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 스위치를 사용하지 않으면서 바이어스 전압 인가와 동시에 정전용량의 변화를 측정할 수 있는 센서 구조에 관한 것이다.
일반적으로, 배기 규제가 한층 강화됨에 따라 배기 가스를 정화하는 후처리 장치에 대한 관심이 높아지고 있으며, 특히 디젤 자동차에 대한 입자상 물질(PM : Particulate Matter)에 대한 규제가 더욱 엄격해지고 있다. 이러한 입자상 물질의 배출량을 줄이기 위해, 디젤 미립자 필터(DPF : Diesel Particulate Filter)가 엔진 후단에 설치되어 입자상 물질을 연소시켜 여과시킨다. 하지만, 디젤 미립자 필터가 설치 이후 노후화 되거나, 결함이 생기게 되면, 필터링 효율이 감소하게 된다. 이에 1989년부터 자동차에 실시간으로 디젤 미립자 필터의 정상 작동 여부를 감지하는 온-보드-진단(On-Board Diagnostic; OBD) 시스템 구축이 요구되고 있다.
차량용 PM 센서에서, 센서의 측정 전극에 PM이 누적되고 이로 인한 전기적 성질이 변화하는 정도를 측정하여 PM 발생량을 측정하게 되는데, 이 때 감도 향상을 위해서는 PM이 센서 표면에 잘 누적되어야 한다. 이를 위해서는 전극 양단에 (+), (-) DC 바이어스 전압을 인가하여 전기장을 형성해주는 방법을 사용하며, 이는 PM이 전하를 띄고 있는 성질을 이용한 것이며, 바이어스 전압이 없을 때와 비교하여 극적으로 누적성을 향상시킬 수 있다.
이와 관련, 종래의 한국등록특허 제10-2016-0032908호(배기가스 중 입자상 물질 검침 센서 회로 및 이를 이용하는 장치와 그 구동 방법)는 배기가스 중 입자상 물질 검침 센서 회로 및 장치와 그 구동 방법에 관한 것으로, 배기가스 중 입자상 물질을 검출하는 센서부; 상기 센서부와 병렬 연결되어 충전 및 방전 동작을 수행하기 위한 충방전부; 상기 충방전부에 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 충방전부에 공급되는 전원을 제어하는 전원 공급 제어부; 상기 충방전부의 방전 시 측정되는 전압 변화량과 기 설정된 기준 변화량을 비교하는 전압 변화량 비교부; 및 비교 결과에 따라, 검출된 배기가스 입자상 물질의 흡착 정도를 판단하는 흡착 정도 판단부;를 개시하고 있다.
다만, 정전용량을 측정할 때, 측정하는 노드에 DC 바이어스 전압이 인가되어 있으면 모든 전하가 바이어스 전압에 의해 고정되므로 정전용량의 변화를 측정할 수 없게 된다. 따라서 스위치를 통해 바이어스 전압 인가와 측정 모드를 구분하여 사용해야 하는데, 이 경우 사용되는 스위치는 10V 이상이고 높은 OFF 상태 저항을 가져야만 사용이 가능하기 때문에 상대적으로 가격이 높은 사양의 파워 스위치나 저항을 사용해야 하는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-2016-0032908호
본 발명은 스위치를 사용하지 않으면서 바이어스 전압 인가와 동시에 정전용량의 변화 측정이 가능한 감지 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, PM(Particulate Matter)의 유도에 따른 정전용량의 변화를 측정하는 입자상 물질 감지 장치 및 방법에 있어서, PM의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가하는 전원공급부; 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 이용하여 자기장을 형성하고 자기장으로 PM을 유도하여 PM에 의한 PM저항을 생성하는 감지부; 및 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 감지부에 병렬로 연결하여 PM저항의 변화에 따라 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터의 변화되는 정전용량을 측정하는 측정부;를 포함하는 입자상 물질 감지 장치를 제공하는 것을 일 특징으로 한다.
바람직하게, 전원공급부는, 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결되는 바이어스 저항;을 더 포함하고, 바이어스 저항의 조절로 바이어스 전압으로부터 인가되는 감지 전압을 조절할 수 있다.
바람직하게, 바이어스 저항은, 메가 옴(MΩ) 단위의 저항이 이용되어 바이어스 전압의 인가 전 정전용량을 최소로 출력하도록 설정될 수 있다.
바람직하게, 감지부는, 감지 전압을 인가 받는 연결 단자;를 더 포함하고, 연결 단자는 PM의 유도를 위한 자기장의 형성을 위해 이격되어 설치될 수 있다.
바람직하게, 감지부는, PM저항이 증가되어 단락(short)되는 경우 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터 중 병렬 연결된 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 측정부의 정전용량을 최대치로 증가시킬 수 있다.
바람직하게, 전원공급부와 측정부가 전기적으로 분리되어 스위칭 작동 없이 바이어스 전압을 인가하고 동시에 정전용량을 측정할 수 있다.
또한, 본 발명은 전원공급부에서 PM의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가하는 단계; 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 이용하여 감지부가 자기장을 형성하고 자기장으로 PM을 유도하여 PM에 의한 PM저항을 생성하는 단계; 및 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 감지부에 병렬로 연결하는 측정부가 PM저항의 변화에 따라 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터의 변화되는 정전용량을 측정하는 단계;를 포함하는 입자상 물질 감지 방법을 제공하는 것을 다른 특징으로 한다.
바람직하게, 전압을 인가하는 단계는, 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결된 바이어스 저항을 조절하여 감지부의 감지 전압을 조절하는 단계;를 포함할 수 있다.
바람직하게, PM저항을 생성하는 단계는, PM의 유도에 따라 PM저항을 증가시키는 단계; PM저항의 증가로 감지부가 단락(short)되는 단계; ?? 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터 중 병렬 연결된 어느 하나의 캐패시터를 차단시키는 단계;를 포함할 수 있다.
바람직하게, 정전용량을 측정하는 단계는, 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 측정부에서 측정되는 정전용량을 최대치로 증가시키는 단계;를 포함할 수 있다.
전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따르면, 바이어스 전압을 인가하는 전원공급부와 정전용량을 측정하는 측정부가 분리되어 측정과 동시에 전기장 형성을 할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은, 전극 형성을 위해 작은 저항을 이용하여 PM을 포집할 수 있어 경제적인 이점이 있다.
도 1은 종래의 입자상 물질 감지 장치의 회로도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 감지 장치의 회로도를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시에에 따른 감지부에서 PM을 통해 저항을 형성하는 모습을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 바이어스 저항을 추가로 설치한 회로도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 감지부의 PM 저항을 모델링하여 정전용량을 출력 전압 값으로 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 감지 방법의 순서도를 나타낸다.
이하, 첨부된 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 예시적 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일 참조부호는 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 부재를 나타낸다.
본 발명의 목적 및 효과는 하기의 설명에 의해서 자연스럽게 이해되거나 보다 분명해 질 수 있으며, 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 종래의 입자상 물질 감지 장치(1)의 회로도를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 측정을 위한 노드와 바이어스 전압을 인가하는 노드가 공통으로 위치해야 하기 때문에 두 기능의 분리를 위한 스위치가 반드시 필요하고 병렬로 증가하는 캐패시터에 의해 GND(접지)를 포함한 모든 DC 노드들에서 스위치가 필요하게 된다. 또한 사용하는 스위치는 OFF상태에서 전하의 이동이 0에 가까워야 하기 때문에 OFF 상태 저항이 수 Mega Ohm 이상으로 커야 사용이 가능한데, 이를 만족하는 스위치는 상대적으로 고가에 해당되므로 센서의 가격이 상승하는 문제점이 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 감지 장치(1)의 회로도를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 입자상 물질 감지 장치(1)는 전원공급부(10), 감지부(30) 및 측정부(50)를 포함할 수 있다.
전원공급부(10)는, PM의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가할 수 있다. 전원공급부(10)는, 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결되는 바이어스 저항(101);을 더 포함하고, 바이어스 저항(101)의 조절로 바이어스 전압으로부터 인가되는 감지 전압을 조절할 수 있다.
전원공급부(10)는 VH, VL 단자에 연결하여 공급될 수 있으며, 감지부(30)에서 자기장 또는 전기장을 형성할 수 있도록 전원을 인가할 수 있다. 전원공급부(10)는 감지부(30)와의 사이에 바이어스 저항(101)을 연결시켜 바이어스 저항(101)의 소모 전력만큼을 감소시켜 감지부(30)에 전원을 공급할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 VH에 바이어스 저항(101)을 연결하였으나 VL에도 연결될 수 있음은 후술하기로 한다.
감지부(30)는, 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 이용하여 자기장을 형성하고 자기장으로 PM을 유도하여 PM에 의한 PM저항(305)을 생성할 수 있다.
감지부(30)는, PM을 강한 전기장으로 집진하여 누적량을 증가시켜야 하고 측정부(50)는 이에 따른 정전용량의 변화를 읽어낼 수 있어야 한다. 전기장을 인가하는 동작과 측정하는 동작이 분리되면 별도의 스위치 등이 필요하므로 가능하면 추가되는 부품 없이 두 기능을 모두 만족시켜야 한다.
감지부(30)는, 감지 전압을 인가 받는 연결 단자;를 더 포함하고, 연결 단자(일측)(501)와 연결 단자(타측)(503)는 PM의 유도를 위한 자기장의 형성을 위해 이격되어 설치될 수 있다. 본 발명의 실시예에서 감지부(30)는 종래의 기술에 비해 공간을 더욱 넓게 형성할 수 있으며, 그 공간에 입자상 물질을 퇴적시킬 수 있다. 입자상 물질이 퇴적될수록 저항은 무한대에서 0으로 수렴하여 결국 단락의 효과가 나타날 수 있다.
감지부(30)는, PM저항(305)이 증가되어 단락(short)되는 경우, 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505) 중 병렬 연결된 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 측정부(50)의 정전용량을 최대치로 증가시킬 수 있다.
측정부(50)는, 측정 노드(일측)(501)와 측정 노드(타측)(507)을 구비할 수 있고, 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505)를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 감지부(30)에 병렬로 연결하여 PM저항(305)의 변화에 따라 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505)의 변화되는 정전용량을 측정할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 정전용량을 전압으로 측정하는 방식을 택하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3은 본 발명의 실시에에 따른 감지부(30)에서 PM을 통해 저항을 형성하는 모습을 나타낸다. 도 3을 참조하면, 감지부(30)는 실질적으로 두 개의 극판이 연결 단자에 연결되어 있고, 감지 전압이 인가되는 경우 각 극판 사이에 자기장이 형성되어 입자상 물질이 포집될 수 있다.
바이어스 저항(101)은, 메가 옴(MΩ) 단위의 저항이 이용되어 바이어스 전압의 인가 전 정전용량을 최소로 출력하도록 설정될 수 있다. 초기에는 바이어스 저항(101)이 높아 측정부(50)에서 정전용량을 측정하는 경우 직렬로 연결된 캐패시터의 최소값[C=(C0*C1)/(C0+C1)]이 나타나고, 추후에는 최대의 정전용량[C=CO]이 나타나게 되어 입자상 물질의 포집을 감지할 수 있다.
입자상 물질에 의해 PM저항(305)이 형성되고, 이 저항 값이 작아질수록 C1의 상쇄 정도가 커져, 결과적으로 PM저항(305)<<1 이 되어 연결 단자가 단락(쇼트)되면, C1의 영향은 완전히 제거되어 최대값인 CO만 남게 된다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 추가 바이어스 저항(102)을 설치한 회로도를 나타낸다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예로 측정부(50)에서 GND와 측정(+) 부분이 아닌, 측정(-)와 같은 다른 기준 전극이 필요하게 되면 추가 바이어스 저항(102)을 설치하여 기준 전극을 마련할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 감지부(30)의 PM 저항을 모델링하여 정전용량을 출력 전압 값으로 나타낸 그래프이다. 도 5를 참조하면, 일정한 바이어스 전압에 따라 PM저항(305)을 임의로 설정하여 정전용량의 변화를 측정하면 저항 값이 낮아질수록 전압 변화의 폭이 커짐을 확인할 수 있다.
이를 통해 PM의 변화량을 확인할 수 있으며, 그래프의 결과를 통해 기울기가 커지면 출력 전압을 더욱 상세한 스케일로 확인 가능하므로, 저항이 낮아짐에 따른 이점이 생길 수 있다.
이하에서는 상술한 입자상 물질 감지 장치(1)를 이용하여 입자상 물질을 감지하는 방법에 대해 설명한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 입자상 물질 감지 방법의 순서도를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 입자상 물질 감지 방법은 바이어스 전압을 인가하는 단계(S10), PM저항(305)을 생성하는 단계(S30) 및 정전용량을 측정하는 단계(S50)를 포함할 수 있다.
바이어스 전압을 인가하는 단계(S10)는, PM의 유도를 위한 자기장을 형성하기 위해 전원공급부(10)에서 감지부(30)로 전압을 인가하는 단계이다. 바이어스 전압을 인가하는 단계(S10)는, 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결된 바이어스 저항(101)을 조절하여 감지부(30)의 감지 전압을 조절하는 단계;를 포함할 수 있다.
전원공급부(10)가 바이어스 전압을 인가하는 단계(S10)는, 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결되는 바이어스 저항(101);을 더 포함하고, 바이어스 저항(101)의 조절로 바이어스 전압으로부터 인가되는 감지 전압을 조절할 수 있다.
전원공급부(10)는 VH, VL 단자에 연결하여 공급될 수 있으며, 감지부(30)에서 자기장 또는 전기장을 형성할 수 있도록 전원을 인가할 수 있다. 전원공급부(10)는 감지부(30)와의 사이에 바이어스 저항(101)을 연결시켜 바이어스 저항(101)의 소모 전력만큼을 감소시켜 감지부(30)에 전원을 공급할 수 있다.
PM저항(305)을 생성하는 단계(S30)는, 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 이용하여 감지부(30)가 자기장을 형성하고 자기장으로 PM을 유도하는 단계이다. PM저항(305)을 생성하는 단계(S30)는, PM의 유도에 따라 PM저항(305)을 증가시키는 단계; PM저항(305)의 증가로 감지부(30)가 단락(short)되는 단계; ?? 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505) 중 병렬 연결된 어느 하나의 캐패시터를 차단시키는 단계;를 포함할 수 있다.
PM저항(305)을 생성하는 단계(S30)는, 감지부(30)가 PM저항(305)이 증가되어 단락(short)되는 경우, 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505) 중 병렬 연결된 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 측정부(50)의 정전용량을 최대치로 증가시킬 수 있다. 입자상 물질이 퇴적될수록 저항은 무한대에서 0으로 수렴하여 결국 단락의 효과가 나타날 수 있다.
정전용량을 측정하는 단계(S50)는, 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505)를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 감지부(30)에 병렬로 연결하는 측정부(50)가 PM저항(305)의 변화에 따라 제1 캐패시터(503) 및 제2 캐패시터(505)의 변화되는 정전용량을 측정하는 단계이다.
정전용량을 측정하는 단계(S50)는, 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 측정부(50)에서 측정되는 정전용량을 최대치로 증가시키는 단계;를 포함할 수 있다. 초기에는 바이어스 저항(101)이 높아 측정부(50)에서 정전용량을 측정하는 경우 직렬로 연결된 캐패시터의 최소값이 나타나고, 추후에는 최대의 정전용량이 나타나게 되어 입자상 물질의 포집을 감지할 수 있다.
본 발명은, 전원공급부(10)와 측정부(50)가 전기적으로 분리되어 스위칭 작동 없이 바이어스 전압을 인가하고 동시에 정전용량을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치(1) 및 방법을 제공한다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리 범위는 설명한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태에 의하여 정해져야 한다.
1 : 입자상 물질 감지 장치
10 : 전원공급부 30 : 감지부
50 : 측정부
101 : 바이어스 저항 102 : 추가 바이어스 저항
301 : 연결 단자(일측) 303 : 연결 단자(타측)
305 : PM저항
501 : 측정 노드(일측) 503 : 제1 캐패시터
505 : 제2 캐패시터 507 : 측정 노드(타측)

Claims (10)

  1. PM(Particulate Matter)의 유도에 따른 정전용량의 변화를 측정하는 입자상 물질 감지 장치에 있어서,
    상기 PM 의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가하는 전원공급부;
    상기 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 인가받는 복수의 연결단자를 가지며, 인가된 감지전압에 의하여 상기 연결단자 사이에 자기장이 형성되고, 형성된 자기장에 의해 PM 이 포집되어 PM 저항을 생성하는 감지부; 및
    제1 캐패시터 및 제2 캐패시터를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 상기 감지부에 병렬로 연결하여 상기 PM저항의 변화에 따라 상기 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터의 변화되는 정전용량을 측정하는 측정부;를 포함하는 입자상 물질 감지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전원공급부는,
    상기 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결되는 바이어스 저항;을 더 포함하고,
    상기 바이어스 저항의 조절로 상기 바이어스 전압으로부터 인가되는 상기 감지 전압을 조절하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 바이어스 저항은,
    메가 옴(MΩ) 단위의 저항이 이용되어 상기 바이어스 전압의 인가 전 상기 정전용량을 최소로 출력하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결 단자는 상기 PM의 유도를 위한 상기 자기장의 형성을 위해 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 PM저항이 증가되어 단락(short)되는 경우 상기 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터 중 병렬 연결된 상기 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 상기 측정부의 정전용량을 최대치로 증가시키는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전원공급부와 상기 측정부가 전기적으로 분리되어 스위칭 작동 없이 상기 바이어스 전압을 인가하고 동시에 상기 정전용량을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 장치.
  7. 전원공급부에서 PM의 유도를 위한 바이어스 전압을 인가하는 단계;
    상기 바이어스 전압으로부터 인가된 감지 전압을 인가받는 복수의 연결단자를 가지며, 인가된 감지전압에 의하여 상기 연결단자 사이에 자기장이 형성되고, 형성된 자기장에 의해 PM 이 포집되어 PM 저항을 생성하는 단계; 및
    제1 캐패시터 및 제2 캐패시터를 직렬로 구비하고 어느 하나의 캐패시터를 상기 감지부에 병렬로 연결하는 측정부가 상기 PM저항의 변화에 따라 상기 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터의 변화되는 정전용량을 측정하는 단계;
    를 포함하는 입자상 물질 감지 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 전압을 인가하는 단계는,
    상기 바이어스 전압이 인가되는 단자에 직렬로 연결된 바이어스 저항을 조절하여 상기 감지부의 상기 감지 전압을 조절하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 감지 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 PM저항을 생성하는 단계는,
    상기 PM의 유도에 따라 상기 PM저항을 증가시키는 단계;
    상기 PM저항의 증가로 상기 감지부가 단락(short)되는 단계; ??
    상기 제1 캐패시터 및 제2 캐패시터 중 병렬 연결된 상기 어느 하나의 캐패시터를 차단시키는 단계;를 포함하는 입자상 물질 감지 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 정전용량을 측정하는 단계는,
    상기 어느 하나의 캐패시터를 차단시켜 상기 측정부에서 측정되는 정전용량을 최대치로 증가시키는 단계;를 포함하는 입자상 물질 감지 방법.
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