KR102316946B1 - Stocker and method of processing reticles of the same - Google Patents

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KR102316946B1 KR1020190168947A KR20190168947A KR102316946B1 KR 102316946 B1 KR102316946 B1 KR 102316946B1 KR 1020190168947 A KR1020190168947 A KR 1020190168947A KR 20190168947 A KR20190168947 A KR 20190168947A KR 102316946 B1 KR102316946 B1 KR 102316946B1
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Abstract

본 발명에 따른 스토커는, 레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트와, 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부와, 상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들과, 상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇 및 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. The stocker according to the present invention includes a load port in which a reticle pod in which reticles are loaded is seated, a vision unit to check a direction in which the reticles are loaded in the reticle pod, and information about the reticle, and to the reticle pod. As a result of checking a plurality of shelves for loading the reticles with the normal stacking direction, the load port, the vision unit, and a transfer robot for transferring the reticles between the shelves, and the vision unit, the loading direction of the reticle When this is normal, the control unit controls the transfer robot to load the reticle to the shelf, and to load the reticle to the reticle pod of the load port when the loading direction of the reticle is opposite.

Description

스토커 및 이의 레티클 처리 방법{Stocker and method of processing reticles of the same}Stocker and method of processing reticles of the same

본 발명은 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클을 적재하기 위한 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker and a reticle processing method thereof, and more particularly, to a stocker for loading a reticle and a reticle processing method thereof.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들의 예로는 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다. In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, an object such as a semiconductor substrate, a printed circuit board, or a reticle may be stored in a stocker in a state accommodated in a carrier, and the stocker includes a plurality of shelves for accommodating the carriers. can be provided Examples of the carrier include various types such as a FOUP, a FOSB, a magazine, and a reticle pod depending on the object.

상기 스토커가 상기 레티클을 낱장 형태로 보관하는 경우, 상기 레티클에 대한 정보를 획득하기 위해 상기 스토커에는 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하기 위한 바코드 리더기가 구비된다. When the stocker stores the reticle in the form of a sheet, the stocker is provided with a barcode reader for recognizing a barcode formed on the reticle in order to obtain information on the reticle.

상기 레티클의 이용하는 포토 공정 장치의 제조사에 따라 상기 레티클에서 상기 바코드가 형성되는 위치가 달라질 수 있다. 예를 들면, 상기 레티클의 상면에서 서로 대각에 위치하는 모서리에 서로 다른 제조사의 바코드가 각각 형성될 수 있다. A position at which the barcode is formed on the reticle may vary depending on a manufacturer of a photo processing apparatus using the reticle. For example, barcodes of different manufacturers may be respectively formed on corners positioned at diagonal angles to each other on the upper surface of the reticle.

상기 레티클이 상기 레티클 포드에 정상 방향이 아닌 반대 반향으로 적재되는 경우, 상기 바코드 리더기가 해당 제조사의 바코드가 아닌 타 제조사의 바코드를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 레티클에 대한 정확한 정보를 획득하기 어렵다. When the reticle is loaded in the reticle pod in the opposite direction instead of in the normal direction, the barcode reader may recognize a barcode of another manufacturer instead of the barcode of the corresponding manufacturer. Therefore, it is difficult to obtain accurate information about the reticle.

본 발명은 레티클 포드에서 레티클이 정상 방향으로 적재되었는지 여부를 확인할 수 있는 스토커를 제공한다. The present invention provides a stocker that can check whether a reticle is loaded in a normal orientation in a reticle pod.

본 발명은 상기 스토커에서 상기 레티클의 처리 과정을 나타내는 상기 스토커의 레티클 처리 방법을 제공한다. The present invention provides a method for processing a reticle of the stocker indicating a process of processing the reticle in the stocker.

본 발명에 따른 스토커는, 레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트와, 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부와, 상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들과, 상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇 및 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. The stocker according to the present invention includes a load port in which a reticle pod in which reticles are loaded is seated, a vision unit to check a direction in which the reticles are loaded in the reticle pod, and information about the reticle, and to the reticle pod. As a result of checking a plurality of shelves for loading the reticles with the normal stacking direction, the load port, the vision unit, and a transfer robot for transferring the reticles between the shelves, and the vision unit, the loading direction of the reticle When this is normal, the control unit controls the transfer robot to load the reticle to the shelf, and to load the reticle to the reticle pod of the load port when the loading direction of the reticle is opposite.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비전부는, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크 및 상기 레티클에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the vision unit may recognize an alignment mark formed on one side of the reticle to confirm the loading direction of the reticle, and a barcode formed on the reticle to check information on the reticle. have.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하도록 상기 비전부를 제어할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the controller may control the vision unit to recognize the barcode only when the loading direction of the reticle is normal.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커는, 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클을 검사하는 검사부를 더 포함하며, 상기 이송 로봇은 상기 레티클들을 상기 검사부로 추가로 이송하고, 상기 제어부는 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the stocker further includes an inspection unit for inspecting the reticle to identify particles present in the reticle, and the transfer robot further transports the reticle to the inspection unit, The control unit is configured to load the reticle on the shelf when there are no particles in the reticle as a result of the inspection by the inspection unit, and load the reticle with the particles in the reticle to the reticle pod of the load port. can be controlled

본 발명에 따른 스토커의 레티클 처리 방법은, 레티클들이 적재된 레티클 포드를 로드 포트에 로딩하는 단계와, 상기 레티클 포드로부터 상기 레티클을 인출하여 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하는 단계 및 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 포함할 수 있다. A method for handling a reticle of a stocker according to the present invention includes the steps of loading a reticle pod loaded with reticles into a load port, taking out the reticle from the reticle pod and checking a direction in which the reticles are loaded into the reticle pod; and loading the reticle into the reticle pod of the load port when the loading direction of the reticle is opposite.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하는 단계는, 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크를 인식하여 이루어질 수 있다. According to embodiments of the present invention, the confirming of the loading direction of the reticle may be performed by recognizing an alignment mark formed on one side of the reticle.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커의 레티클 처리 방법은, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계와, 상기 레티클을 검사하여 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하는 단계와, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 선반에 적재하는 단계 및 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method for processing a reticle of the stocker includes: checking information on the reticle when the loading direction of the reticle is normal; and checking the reticle to determine particles present in the reticle and loading the reticle on a shelf if the reticle does not contain the particles, and loading the reticle into the reticle pod of the load port if the reticle contains the particles.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계는, 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하여 이루어질 수 있다. According to embodiments of the present invention, the checking of the information on the reticle may be performed by recognizing a barcode formed on the reticle.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클과 상기 파티클이 있는 상기 레티클은 상기 레티클 포드에 구분하여 적재할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the reticle having the opposite loading direction and the reticle having the particles may be separately loaded in the reticle pod.

본 발명의 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 따르면, 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재한다. 따라서, 정확한 정보를 알지 못하는 레티클이 상기 선반들에 적재되는 것을 방지할 수 있다. According to the stocker and the reticle processing method of the present invention, as a result of checking the vision unit, when the loading direction of the reticle is normal, the reticle is loaded on the shelf, and when the loading direction of the reticle is opposite, the reticle is loaded into the load port of the reticle is loaded into the pod. Accordingly, it is possible to prevent the reticles for which accurate information is not known from being loaded on the shelves.

또한, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하므로, 상기 비전부가 상기 바코드를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the vision unit recognizes the barcode only when the loading direction of the reticle is normal, it is possible to prevent the vision unit from erroneously recognizing the barcode.

그리고, 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재한다. 따라서, 상기 선반에 적재되는 상기 레티클들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다. And, as a result of checking by the inspection unit, when there are no particles in the reticle, the reticle is loaded on the shelf. Accordingly, it is possible to prevent the reticles loaded on the shelf from being contaminated by the particles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇이 레티클을 고정한 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커의 레티클 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view illustrating a state in which the transfer robot shown in FIG. 1 has a reticle fixed.
3 is a flowchart illustrating a method of processing a reticle of the stocker shown in FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇이 레티클을 고정한 상태를 설명하기 위한 측면도이다. Figure 1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side view for explaining a state in which the transfer robot shown in Figure 1 is fixed to the reticle.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 스토커(100)는 로드 포트(110), 오프너(120), 비전부(130), 선반들(140), 검사부(150), 이송 로봇(160) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다. 1 and 2 , the stocker 100 includes a load port 110 , an opener 120 , a vision unit 130 , shelves 140 , an inspection unit 150 , a transfer robot 160 and a control unit. (170).

상기 로드 포트(110)는 포토 공정에 사용되는 레티클(10)들을 수용한 레티클 포드(20)가 안착되는 공간을 제공한다. 상기 레티클 포드(20)는 캐리어(미도시)에 수용된 상태로 상기 로드 포트(110)에 안착되거나, 상기 캐리어 없이 상기 로드 포트(110)에 안착될 수 있다. The load port 110 provides a space in which the reticle pod 20 accommodating the reticle 10 used in the photo process is seated. The reticle pod 20 may be seated on the load port 110 while being accommodated in a carrier (not shown), or may be seated on the load port 110 without the carrier.

상기 로드 포트(110)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 레티클 포드(20)의 하부면 또는 상기 캐리어의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 레티클 포드(20) 또는 상기 캐리어가 상기 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 레티클 포드 또는 상기 캐리어를 상기 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다. Alignment pins (not shown) may be provided on the seating surface of the load port 110 . An alignment groove (not shown) may be provided on a lower surface of the reticle pod 20 or a lower surface of the carrier. When the reticle pod 20 or the carrier is seated on the load port 110 , the alignment pins are inserted into the alignment groove, so that the reticle pod or the carrier can be accurately seated on the load port 110 . have.

상기 오프너(120)는 상기 로드 포트(110)의 일측에 배치되며, 상기 로드 포트(110)에 위치하는 상기 레티클 포드(20)의 도어를 개폐할 수 있다. The opener 120 is disposed on one side of the load port 110 , and may open and close a door of the reticle pod 20 positioned at the load port 110 .

상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)들이 상기 레티클 포드(20)에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다. The vision unit 130 may check a direction in which the reticle 10 is loaded on the reticle pod 20 and check information about the reticle 10 .

상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 의해 상기 레티클 포드(20)로부터 인출된 상태에서 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 적재 방향 및 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다. In a state in which the reticle 10 is withdrawn from the reticle pod 20 by the transfer robot 160 , the vision unit 130 receives information about the loading direction of the reticle 10 and the reticle 10 . can be checked

상기 비전부(130)는 상기 이송 로봇(160)에 고정되어 구비될 수 있다. 이와 달리 상기 비전부(130)는 상기 이송 로봇(160)과 별도로 구비될 수 있다. The vision unit 130 may be fixed to the transfer robot 160 . Alternatively, the vision unit 130 may be provided separately from the transfer robot 160 .

구체적으로, 상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12) 및 상기 레티클(10)에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클(10)에 형성된 바코드(14)를 인식할 수 있다. 상기 이송 로봇(160)의 로봇 암(162)이 상기 레티클(10)을 고정한 부위와 반대되는 부위가 상기 비전부(130)의 비전 영역(132)일 수 있다. Specifically, the vision unit 130 is configured to check the alignment mark 12 formed on one side of the reticle 10 in order to confirm the loading direction of the reticle 10 and information on the reticle 10 . The barcode 14 formed on the reticle 10 can be recognized. A portion opposite to a portion where the robot arm 162 of the transfer robot 160 fixes the reticle 10 may be the vision region 132 of the vision unit 130 .

예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 로봇 암(162)이 상기 레티클(10)을 고정한 부위에 상기 얼라인 마크(12)가 위치할 수 있다. 이 경우, 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식하지 못하면 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상이고, 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식하면 상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대일 수 있다. For example, as shown in FIG. 2 , when the loading direction of the reticle 10 is normal, the alignment mark 12 may be located at a portion where the robot arm 162 fixes the reticle 10 . . In this case, if the vision unit 130 does not recognize the alignment mark 12 formed on one side of the reticle 10 , the loading direction of the reticle 10 is normal, and the vision unit 130 moves the reticle 10 . When the alignment mark 12 formed on one side of (10) is recognized, the loading direction of the reticle 10 may be reversed.

따라서, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 레티클(10)에서 상기 얼라인 마크(12)의 위치와 상기 비전부(130)가 상기 얼라인 마크(12)를 인식하는지 여부에 따라 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인지 반대인지 확인할 수 있다. Accordingly, depending on the position of the alignment mark 12 in the reticle 10 and whether the vision unit 130 recognizes the alignment mark 12 when the loading direction of the reticle 10 is normal, the It can be checked whether the loading direction of the reticle 10 is normal or reversed.

상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 인식하면, 상기 인식된 바코드(14)를 이용하여 해당 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다. When the vision unit 130 recognizes the barcode 14 , information on the reticle 10 can be checked using the recognized barcode 14 .

한편, 상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 바코드(14)를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 포토 공정을 수행하는 장치의 제조사에 따라 상기 레티클(10)에서 상기 바코드(14)가 서로 대각에 위치하는 모서리에 형성되더라도 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. Meanwhile, the vision unit 130 may recognize the barcode 14 only when the loading direction of the reticle 10 is normal. Therefore, depending on the manufacturer of the device performing the photo process, even if the barcode 14 is formed in the corners positioned at a diagonal angle to each other in the reticle 10, the vision unit 130 incorrectly recognizes the barcode 14. it can be prevented

상기 선반들(140)은 상기 레티클(10)들을 적재한다. 상기 선반들(140)은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. 도 1에서는 상기 선반들(140)이 1열로 배열되어 있으나, 상기 선반들(140)은 2열로 서로 평행하게 배치될 수도 있다. The shelves 140 stack the reticles 10 . The shelves 140 may be arranged in a first horizontal direction (X-axis direction) and a vertical direction (Z-axis direction). Although the shelves 140 are arranged in one row in FIG. 1 , the shelves 140 may be arranged in two rows parallel to each other.

각 선반들(140)에는 상기 레티클(10)들을 적재하기 위한 슬롯(미도시)이 구비된다. 상기 슬롯은 상기 각 선반(140)에서 상기 제1 수평 방향의 양측에 각각 배치된다. 상기 레티클(10)들은 상기 슬롯(132)에 의해 양단이 지지되며, 상기 각 선반들(140)에 상기 수직 방향으로 적재된다. Each shelf 140 is provided with a slot (not shown) for loading the reticles 10 . The slots are respectively disposed on both sides of each shelf 140 in the first horizontal direction. Both ends of the reticles 10 are supported by the slots 132 , and are stacked on the shelves 140 in the vertical direction.

상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클(10)을 검사한다. The inspection unit 150 inspects the reticle 10 to identify particles present in the reticle 10 .

상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 고정된 상태에서 상기 레티클(10)을 검사하거나, 별도의 스테이지에 상기 레티클(10)을 지지한 상태에서 상기 레티클(10)을 검사할 수 있다. The inspection unit 150 inspects the reticle 10 while the reticle 10 is fixed to the transfer robot 160 or supports the reticle 10 on a separate stage. ) can be checked.

일 예로, 상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)의 이미지를 촬영하고, 상기 촬영된 이미지를 기준 이미지와 비교하여 상기 파티클을 확인할 수 있다. For example, the inspector 150 may photograph an image of the reticle 10 and compare the photographed image with a reference image to confirm the particle.

다른 예로, 상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)의 표면으로 광을 조사하고, 조사된 광이 산란 정도를 검출하여 상기 파티클을 확인할 수 있다. As another example, the inspection unit 150 may irradiate light to the surface of the reticle 10 and detect the scattering degree of the irradiated light to identify the particles.

상기 이송 로봇(160)은 상기 로드 포트(110), 상기 비전부(130), 상기 선반들(140) 및 상기 검사부(150) 사이에서 상기 레티클(10)들을 이송한다. The transfer robot 160 transfers the reticle 10 between the load port 110 , the vision unit 130 , the shelves 140 , and the inspection unit 150 .

상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(160)은 상기 이송 로봇(160)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(160)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(160)을 상기 Z축에 대해 회전시키기 위한 제1 회전 구동부를 구비할 수 있다. The transfer robot 160 may be provided to enable movement and rotational movement in the X-axis direction and the Z-axis direction for the transfer of the reticle 10 . Although not shown in detail, the transfer robot 160 includes an X-axis driving unit for moving the transfer robot 160 in the X-axis direction, and a Z-axis driving unit for moving the transfer robot 160 in the Z-axis direction. and a first rotation driving unit for rotating the transfer robot 160 about the Z-axis.

또한, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들의 이송을 위한 로봇 암(162)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇 암(162)은 상기 선반들(140) 및 상기 로드 포트(110)를 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇 암(162)은 상기 레티클(10)들의 일단 양측 측면을 파지하여 상기 레티클(10)들을 이송한다.In addition, the transfer robot 160 may include a robot arm 162 for transferring the reticle 10 , and the robot arm 162 supports the shelves 140 and the load port 110 . It may be configured to be movable toward the The robot arm 162 transfers the reticles 10 by gripping both sides of one end of the reticles 10 .

일 예로서, 상기 로봇 암(162)은 상기 X축 방향에 대하여 수직하는 Y축 방향(전후 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 이송 로봇(160)은 상기 로봇 암(162)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇 암(162)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다. As an example, the robot arm 162 may be configured to be movable in a Y-axis direction (front-to-back direction) perpendicular to the X-axis direction, and the transfer robot 160 drives the robot arm 162 . It may be provided with a Y-axis driving unit for The robot arm 162 may be a multi-joint robot arm that can be extended and contracted.

일 예로서, 상기 로봇 암(162)은 상기 Y축을 중심으로 회전 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 이송 로봇(160)은 상기 로봇 암(162)을 회전 구동하기 제2 회전 구동부를 더 구비할 수 있다. As an example, the robot arm 162 may be configured to be rotatable about the Y-axis, and the transfer robot 160 may further include a second rotation driving unit for rotationally driving the robot arm 162 . have.

일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들과 제1 및 제2 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the X-axis, Y-axis, and Z-axis driving units and the first and second rotation driving units may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys, respectively.

따라서 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 레티클 포드(20)에 수납하거나 상기 레티클 포드(20)로부터 배출할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 비전부(130) 및 상기 검사부(150)로 이송할 수 있다. 그리고, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 선반들(140)에 적재하거나 상기 선반들(140)로부터 상기 레티클(10)들을 이재할 수 있다.Accordingly, the transfer robot 160 may accommodate the reticle 10 in the reticle pod 20 seated in the load port 110 or discharge the reticle 10 from the reticle pod 20 . Also, the transfer robot 160 may transfer the reticle 10 to the vision unit 130 and the inspection unit 150 . In addition, the transfer robot 160 may load the reticles 10 on the shelves 140 or transfer the reticles 10 from the shelves 140 .

한편, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다. Meanwhile, a plurality of transfer robots 160 may be provided to quickly transfer the reticles 10 .

상기 제어부(170)는 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 오프너(120), 상기 비전부(130), 상기 검사부(150) 및 상기 이송 로봇(160)을 각각 제어할 수 있다. Although not shown in detail, the control unit 170 may control the opener 120 , the vision unit 130 , the inspection unit 150 , and the transfer robot 160 , respectively.

구체적으로, 상기 제어부(170)는 상기 비전부(130)의 확인 결과, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재하고, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재하도록 상기 이송 로봇(160)을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 적재 방향이 정상인 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다. Specifically, as a result of checking the vision unit 130 , when the loading direction of the reticle 10 is normal, the control unit 170 loads the reticle 10 on the shelf 140 , and the reticle 10 is When the loading direction of , the transfer robot 160 may be controlled to load the reticle 10 into the reticle pod 20 of the load port 110 . Accordingly, only the reticles 10 having the normal loading direction among the reticles 10 may be loaded on the shelves 140 .

또한, 상기 제어부(170)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 인식하도록 상기 비전부(130)를 제어할 수 있다. 따라서, 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 바코드(14)의 인식을 통해 상기 레티클(10)에 대한 정확한 정보를 획득할 수 있다. Also, the controller 170 may control the vision unit 130 so that the vision unit 130 recognizes the barcode 14 only when the loading direction of the reticle 10 is normal. Accordingly, it is possible to prevent the vision unit 130 from erroneously recognizing the barcode 14 . In addition, accurate information on the reticle 10 may be acquired through recognition of the barcode 14 .

그리고, 상기 제어부(170)는 상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재하고, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재하도록 상기 이송 로봇(160)을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 파티클이 없는 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다. 또한, 상기 선반들(140)에 적재되는 상기 레티클(10)들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다. In addition, when there are no particles in the reticle 10 as a result of checking by the inspection unit 150 , the control unit 170 loads the reticle 10 on the shelf 140 , and places the reticle 10 on the reticle 10 . The transfer robot 160 may be controlled to load the reticle 10 with particles onto the reticle pod 20 of the load port 110 . Accordingly, among the reticles 10 , only the particle-free reticles 10 may be loaded on the shelves 140 . In addition, it is possible to prevent the reticles 10 loaded on the shelves 140 from being contaminated by the particles.

한편, 상기 제어부(170)는 상기 이송 로봇(160)을 제어하여 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10) 상기 레티클 포드(20)에 구분하여 적재할 수 있다. On the other hand, the control unit 170 controls the transfer robot 160 to separately load the reticle 10 opposite to the loading direction and the reticle 10 with the particles in the reticle pod 20. have.

이와 달리 상기 제어부(170)는 상기 이송 로봇(160)을 제어하여 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 레티클 포드(20)에 최초 적재 위치에 적재할 수 있다. In contrast, the control unit 170 controls the transfer robot 160 to place the reticle 10 opposite to the loading direction and the reticle 10 with the particles to the reticle pod 20 at the initial loading position. can be loaded

도 3은 도 1에 도시된 스토커의 레티클 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 3 is a flowchart illustrating a method of processing a reticle of the stocker shown in FIG. 1 .

도 3을 참조하면, 먼저, 레티클(10)들이 적재된 레티클 포드(20)를 로드 포트(110)에 로딩한다. (S110)Referring to FIG. 3 , first, the reticle pod 20 on which the reticles 10 are loaded is loaded into the load port 110 . (S110)

상기 레티클 포드(20)의 로딩은 천장 이송 장치에 의해 이루어지거나, 작업자에 의해 수작업으로 이루어질 수 있다. The loading of the reticle pod 20 may be performed by a ceiling transfer device or may be manually performed by an operator.

이후, 상기 레티클(10)들이 상기 레티클 포드(20)에 적재된 방향을 확인한다. (S120)Thereafter, the direction in which the reticle 10 is loaded on the reticle pod 20 is checked. (S120)

상기 레티클(10)의 적재 방향과 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인은 상기 레티클 포드(20)로부터 상기 레티클(10)을 인출한 상태에서 이루어질 수 있다. The loading direction of the reticle 10 and information on the reticle 10 may be checked while the reticle 10 is withdrawn from the reticle pod 20 .

구체적으로, 상기 비전부(130)를 이용하여 상기 레티클(10)의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식한다. 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 레티클(10)에서 상기 얼라인 마크(12)의 위치와 상기 비전부(130)가 상기 얼라인 마크(12)를 인식하는지 여부에 따라 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인지 반대인지 확인할 수 있다. Specifically, an alignment mark 12 formed on one side of the reticle 10 is recognized by using the vision unit 130 to confirm the loading direction of the reticle 10 . When the loading direction of the reticle 10 is normal, the reticle ( You can check whether the loading direction of 10) is normal or reversed.

상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재한다. (S130)When the loading direction of the reticle 10 is opposite, the reticle 10 is loaded into the reticle pod 20 of the load port 110 . (S130)

상기 레티클(10)의 상기 바코드(14)에 대한 인식이 이루어지지 않으므로, 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. Since the reticle 10 does not recognize the barcode 14 , it is possible to prevent the vision unit 130 from erroneously recognizing the barcode 14 .

상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인한다. (S140)When the loading direction of the reticle 10 is normal, information on the reticle 10 is checked. (S140)

구체적으로, 상기 비전부(130)를 이용하여 상기 레티클(10)에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클(10)에 형성된 바코드(14)를 인식할 수 있다. Specifically, the barcode 14 formed on the reticle 10 may be recognized by using the vision unit 130 to check information on the reticle 10 .

상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 바코드(14)를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 포토 공정을 수행하는 장치의 제조사에 따라 상기 레티클(10)에서 상기 바코드(14)가 서로 대각에 위치하는 모서리에 형성되더라도 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 바코드(14)의 인식을 통해 상기 레티클(10)에 대한 정확한 정보를 획득할 수 있다. The vision unit 130 may recognize the barcode 14 only when the loading direction of the reticle 10 is normal. Therefore, depending on the manufacturer of the device performing the photo process, even if the barcode 14 is formed in the corners positioned at a diagonal angle to each other in the reticle 10, the vision unit 130 incorrectly recognizes the barcode 14. it can be prevented In addition, accurate information on the reticle 10 may be acquired through recognition of the barcode 14 .

이후, 상기 레티클(10)을 검사하여 상기 레티클(10)에 존재하는 파티클을 확인한다. (S150)Thereafter, the reticle 10 is inspected to identify particles present in the reticle 10 . (S150)

상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 고정된 상태에서 상기 레티클(10)을 검사하거나, 별도의 스테이지에 상기 레티클(10)을 지지한 상태에서 상기 레티클(10)을 검사할 수 있다. The reticle 10 may be inspected while the reticle 10 is fixed to the transfer robot 160 , or the reticle 10 may be inspected while the reticle 10 is supported on a separate stage. .

일 예로, 상기 레티클(10)의 이미지를 촬영하고, 상기 촬영된 이미지를 기준 이미지와 비교하여 상기 파티클을 확인할 수 있다. For example, the particles may be identified by photographing an image of the reticle 10 and comparing the photographed image with a reference image.

다른 예로, 상기 레티클(10)의 표면으로 광을 조사하고, 조사된 광이 산란 정도를 검출하여 상기 파티클을 확인할 수 있다. As another example, the particles may be identified by irradiating light to the surface of the reticle 10 and detecting the degree of scattering of the irradiated light.

상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반에 적재한다. (S160)When there are no particles in the reticle 10 , the reticle 10 is loaded on the shelf. (S160)

상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 적재 방향이 정상이고, 상기 파티클이 없는 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다. 또한, 상기 선반들(140)에 적재되는 상기 레티클(10)들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다. As a result of checking by the inspection unit 150 , when there are no particles in the reticle 10 , the reticle 10 may be loaded on the shelf 140 . Accordingly, among the reticles 10 , the loading direction is normal, and only the reticles 10 without the particles may be loaded on the shelves 140 . In addition, it is possible to prevent the reticles 10 loaded on the shelves 140 from being contaminated by the particles.

상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재한다. (S130)When there are particles in the reticle 10 , the reticle 10 is loaded into the reticle pod 20 of the load port 110 . (S130)

상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 파티클에 의해 다른 레티클(10)들이 오염되는 것을 방지할 수 있다. As a result of checking by the inspection unit 150 , the reticle 10 having the particles in the reticle 10 may be loaded into the reticle pod 20 of the load port 110 . Accordingly, it is possible to prevent other reticles 10 from being contaminated by the particles.

상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)은 상기 레티클 포드(20)에 구분하여 적재할 수 있다. The reticle 10 opposite to the loading direction and the reticle 10 having the particles may be separately loaded into the reticle pod 20 .

이와 달리 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)은 상기 레티클 포드(20)에 최초 적재 위치에 적재할 수 있다. Alternatively, the reticle 10 opposite to the loading direction and the reticle 10 having the particles may be loaded in the reticle pod 20 at an initial loading position.

상술한 바와 같이, 본 발명의 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 따르면, 상기 레티클의 적재 방향이 정상이고, 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 레티클의 상기 바코드를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있고, 상기 선반에 적재되는 상기 레티클들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다. As described above, according to the stocker and the reticle processing method thereof of the present invention, when the loading direction of the reticle is normal and there are no particles, the reticle can be loaded on the shelf. Accordingly, it is possible to prevent erroneous recognition of the barcode of the reticle, and it is possible to prevent the reticles loaded on the shelf from being contaminated by the particles.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 로드 포트
120 : 오프너 130 : 비전부
140 : 선반 150 : 검사부
160 : 이송 로봇 162 : 로봇 암
170 : 제어부 10 : 레티클
12 : 얼라인 마크 14 : 바코드
20 : 레티클 포드100: stalker 110: load port
120: opener 130: vision part
140: shelf 150: inspection unit
160: transport robot 162: robot arm
170: control unit 10: reticle
12: alignment mark 14: barcode
20 : Reticle Pod

Claims (9)

레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트;
상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부;
상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들;
상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇; 및
상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.a load port on which a reticle pod loaded with reticles is seated;
a vision unit for checking a direction in which the reticles are loaded in the reticle pod and checking information on the reticle;
a plurality of shelves for loading the reticles in the normal stacked direction in the reticle pod;
a transfer robot for transferring the reticles between the load port, the vision unit and the shelves; and
As a result of checking the vision unit, when the loading direction of the reticle is normal, the reticle is loaded on the shelf, and when the loading direction of the reticle is opposite, the transfer robot is controlled to load the reticle into the reticle pod of the load port A stocker, characterized in that it comprises a control unit. 제1항에 있어서, 상기 비전부는, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크 및 상기 레티클에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하는 것을 특징으로 하는 스토커. The stocker according to claim 1, wherein the vision unit recognizes an alignment mark formed on one side of the reticle to confirm a loading direction of the reticle and a barcode formed on the reticle to check information on the reticle. . 제2항에 있어서, 상기 제어부는 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하도록 상기 비전부를 제어하는 것을 특징으로 하는 스토커. The stocker according to claim 2, wherein the control unit controls the vision unit to recognize the barcode only when the loading direction of the reticle is normal. 제1항에 있어서, 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클을 검사하는 검사부를 더 포함하며,
상기 이송 로봇은 상기 레티클들을 상기 검사부로 추가로 이송하고,
상기 제어부는 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 것을 특징으로 하는 스토커. The method of claim 1, further comprising an inspection unit that inspects the reticle to identify particles present in the reticle,
The transfer robot further transfers the reticle to the inspection unit,
The control unit is configured to load the reticle on the shelf when there are no particles in the reticle as a result of the inspection by the inspection unit, and load the reticle with the particles to the reticle to the reticle pod of the load port. A stalker, characterized in that it controls. 레티클들이 적재된 레티클 포드를 로드 포트에 로딩하는 단계;
상기 레티클 포드로부터 상기 레티클을 인출하여 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하는 단계; 및
상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 포함하는 스토커의 레티클 처리 방법. loading a reticle pod loaded with reticles into a load port;
withdrawing the reticle from the reticle pod and confirming a direction in which the reticles are loaded in the reticle pod; and
and loading the reticle into the reticle pod of the load port when the loading direction of the reticle is opposite. 제5항에 있어서, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하는 단계는, 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크를 인식하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법. The method of claim 5 , wherein the confirming the loading direction of the reticle is performed by recognizing an alignment mark formed on one side of the reticle. 제5항에 있어서, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계;
상기 레티클을 검사하여 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하는 단계;
상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 선반에 적재하는 단계; 및
상기 레티클에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법. The method of claim 5 , further comprising: checking information on the reticle when the loading direction of the reticle is normal;
inspecting the reticle to identify particles present in the reticle;
loading the reticle on a shelf when there are no particles in the reticle; and
and loading the reticle into the reticle pod of the load port if the reticle contains the particles. 제7항에 있어서, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계는, 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법. The method of claim 7, wherein the checking of the information on the reticle is performed by recognizing a barcode formed on the reticle. 제7항에 있어서, 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클과 상기 파티클이 있는 상기 레티클은 상기 레티클 포드에 구분하여 적재하는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법. The method according to claim 7, wherein the reticle having the opposite loading direction and the reticle having the particles are separately loaded in the reticle pod.
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