KR102302856B1 - Light emitting device - Google Patents
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Abstract
실시 예의 발광 소자는 기판과, 기판 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물과, 발광 구조물 아래에 배치되며 광 추출 패턴을 갖는 절연층과, 발광 구조물과 절연층 사이에 배치된 반사층과, 반사층, 제2 도전형 반도체층 및 활성층을 관통하여 제1 도전형 반도체층에 연결되고, 절연층에 의해 제2 도전형 반도체층 및 활성층과 전기적으로 절연된 제1 전극 및 절연층을 관통하여 제2 도전형 반도체층에 연결된 제2 전극을 포함한다.The light emitting device of the embodiment includes a substrate, a light emitting structure disposed under the substrate, a light emitting structure including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer, an insulating layer disposed under the light emitting structure and having a light extraction pattern; , a reflective layer disposed between the light emitting structure and the insulating layer, the reflective layer, the second conductivity type semiconductor layer and the active layer are connected to the first conductivity type semiconductor layer, and are electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer and the active layer by the insulating layer and a first electrode insulated from and a second electrode connected to the second conductivity-type semiconductor layer through the insulating layer.
Description
실시 예는 발광 소자에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device.
발광 다이오드(LED:Light Emitting Diode)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 빛으로 변환시켜서 신호를 주고 받거나, 광원으로 사용되는 반도체 소자의 일종이다.A light emitting diode (LED: Light Emitting Diode) is a type of semiconductor device that converts electricity into light using characteristics of a compound semiconductor to send and receive signals or is used as a light source.
Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체(group Ⅲ-Ⅴ nitride semiconductor)는 물리적 및 화학적 특성으로 인해 발광 다이오드(LED:Light Emitting Diode) 또는 레이저 다이오드(LD:Laser Diode) 등과 같은 발광 소자의 핵심 소재로 각광을 받고 있다.Group III-V nitride semiconductors are in the spotlight as a core material for light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) or laser diodes (LDs) due to their physical and chemical properties. have.
이러한 발광 다이오드는 백열등과 형광등 등의 기존 조명기구에 사용되는 수은(Hg)과 같은 환경 유해물질이 포함되어 있지 않아 우수한 친환경성을 가지며, 긴 수명과 저전력 소비특성 등과 같은 장점이 있기 때문에 기존의 광원들을 대체하고 있다. 그러나, 기존의 발광 소자의 경우 활성층에서 방출된 광이 활성층 주변의 굴절률 차이로 인해 전반사되어 내부에서 트랩(Trap)되어 발광 소자로부터 출사되지 못하기 때문에 광 추출 효율이 악화되는 문제점이 있다.Since these light emitting diodes do not contain environmentally harmful substances such as mercury (Hg) used in conventional lighting fixtures such as incandescent and fluorescent lamps, they have excellent eco-friendliness, and have advantages such as long lifespan and low power consumption characteristics. are replacing them However, in the case of a conventional light emitting device, light emitted from the active layer is totally reflected due to a difference in refractive index around the active layer, is trapped inside, and cannot be emitted from the light emitting device, so there is a problem in that light extraction efficiency is deteriorated.
실시 예는 우수한 광 추출 효율을 갖는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having excellent light extraction efficiency.
실시 예에 의한 발광 소자는, 기판; 상기 기판 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 발광 구조물 아래에 배치되며 광 추출 패턴을 갖는 절연층; 상기 발광 구조물과 상기 절연층 사이에 배치된 반사층; 상기 반사층, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결되고, 상기 절연층에 의해 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층과 전기적으로 절연된 제1 전극; 및 상기 절연층을 관통하여 상기 제2 도전형 반도체층에 연결된 제2 전극을 포함할 수 있다.A light emitting device according to an embodiment includes a substrate; a light emitting structure disposed under the substrate and including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer; an insulating layer disposed under the light emitting structure and having a light extraction pattern; a reflective layer disposed between the light emitting structure and the insulating layer; A first electrode that penetrates through the reflective layer, the second conductivity-type semiconductor layer, and the active layer, is connected to the first conductivity-type semiconductor layer, and is electrically insulated from the second conductivity-type semiconductor layer and the active layer by the insulating layer ; and a second electrode connected to the second conductivity-type semiconductor layer through the insulating layer.
예를 들어, 상기 발광 소자는, 상기 발광 구조물과 상기 반사층 사이에 배치된 전도성 투광층을 더 포함할 수 있다. 상기 발광 소자는 상기 전도성 투광층과 상기 반사층 사이에 배치된 도핑층을 더 포함할 수 있다. 상기 도핑층은 ZnO를 포함하고, 제2 도전형 도펀트에 의해 도핑될 수 있다. 상기 반사층은 상기 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 가질 수 있다. 상기 전도성 투광층은 상기 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 갖는 발광 소자.For example, the light-emitting device may further include a conductive light-transmitting layer disposed between the light-emitting structure and the reflective layer. The light emitting device may further include a doping layer disposed between the conductive light-transmitting layer and the reflective layer. The doping layer may include ZnO and may be doped with a second conductivity type dopant. The reflective layer may have a pattern having the same shape as the light extraction pattern. The conductive light-transmitting layer is a light emitting device having the same shape as the light extraction pattern.
예를 들어, 상기 광 추출 패턴은 상기 활성층을 향하여 볼록한 형상을 갖고, 상기 볼록한 형상은 다면체형, 원뿔형 또는 반구형 중 적어도 하나의 입체 형상을 가질 수 있다. 상기 반구형의 상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 높이는 1.2 ㎛ 내지 1.8 ㎛일 수 있다. 상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴 간의 간격은 0 내지 1 ㎛일 수 있다. 상기 전도성 투광층의 두께는 3 ㎚ 내지 10 ㎚일 수 있다. 상기 활성층과 상기 제2 도전형 반도체층의 경계로부터 상기 전도성 투광층과 상기 광 추출 패턴까지의 거리는 203 ㎚ 내지 210 ㎚일 수 있다. 또한, 도핑층은 상기 발광 구조물의 두께 방향에 수직한 방향으로 연결되지 않고 끊어진 모습의 패턴을 가질 수 있다.For example, the light extraction pattern may have a convex shape toward the active layer, and the convex shape may have at least one three-dimensional shape selected from a polyhedral shape, a conical shape, and a hemispherical shape. The height of the unit pattern in the hemispherical light extraction pattern may be 1.2 μm to 1.8 μm. In the light extraction pattern, an interval between unit patterns may be 0 to 1 μm. The conductive light-transmitting layer may have a thickness of 3 nm to 10 nm. A distance from the boundary between the active layer and the second conductivity-type semiconductor layer to the conductive light-transmitting layer and the light extraction pattern may be 203 nm to 210 nm. In addition, the doped layer may have a pattern of a broken shape without being connected in a direction perpendicular to the thickness direction of the light emitting structure.
다른 실시 예에 의한 발광 소자 패키지는, 패키지 몸체; 상기 패키지 몸체에 배치된 상기 발광 소자; 상기 제1 전극과 전기적으로 연결된 제1 패드; 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 제2 패드; 및 상기 제1 및 제2 패드와 각각 전기적으로 연결되며, 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 리드 프레임을 포함할 수 있다.A light emitting device package according to another embodiment includes a package body; the light emitting device disposed on the package body; a first pad electrically connected to the first electrode; a second pad electrically connected to the second electrode; and first and second lead frames electrically connected to the first and second pads, respectively, and spaced apart from each other.
실시 예에 따른 발광 소자는 활성층에서 방출되어 내부로 전반사된 광을 절연층의 광 추출 패턴에 의해 산란시켜 밖으로 출사시킴으로써 개선된 광 추출 효율을 가질 수 있다.The light emitting device according to the embodiment may have improved light extraction efficiency by scattering the light emitted from the active layer and totally reflected therein by the light extraction pattern of the insulating layer and outputting it to the outside.
도 1은 일 실시 예에 의한 발광 소자의 단면도를 나타낸다.
도 2a는 도 1에 도시된 'A' 부분의 일 실시 예에 의한 단면도를 나타내고, 도 2b는 도 2a에 도시된 절연층의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 사시도를 나타낸다.
도 3a는 도 1에 도시된 'A' 부분의 다른 실시 예에 의한 단면도를 나타내고, 도 3b는 도 3a에 도시된 절연층의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 사시도를 나타낸다.
도 4a는 도 1에 도시된 'A' 부분의 또 다른 실시 예에 의한 단면도를 나타내고, 도 4b는 도 4a에 도시된 절연층의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 사시도를 나타낸다.
도 5a 내지 도 5c는 일 실시 예에 의한 절연층의 사시도들과 단면도를 각각 나타낸다.
도 6은 다른 실시 예에 의한 발광 소자의 단면도를 나타낸다.
도 7은 또 다른 실시 예에 의한 발광 소자의 단면도를 나타낸다.
도 8a 내지 도 8e는 도 7에 도시된 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 9는 도 1 내지 도 4b 및 도 6 및 도 7에 도시된 절연층의 광 추출 패턴의 높이에 따른 광 추출 효율을 나타내는 그래프이다.
도 10은 절연층의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 이격 거리별 광 추출 효율을 나타내는 그래프이다.
도 11은 도전형 투광층의 두께에 따른 광 추출 효율과 광의 투과율을 나타내는 그래프이다.
도 12는 활성층으로부터 방출되는 광의 파장에 따라 전도성 투광층의 두께별 투과율을 나타내는 그래프이다.
도 13은 비교 례에 의한 발광 소자의 단면도이다.
도 14는 실시 예에 의한 발광 소자 패키지의 단면도를 나타낸다.1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment.
FIG. 2A is a cross-sectional view of a portion 'A' shown in FIG. 1 according to an embodiment, and FIG. 2B is a perspective view of a unit pattern in the light extraction pattern of the insulating layer shown in FIG. 2A.
3A is a cross-sectional view showing a portion 'A' shown in FIG. 1 according to another embodiment, and FIG. 3B is a perspective view of a unit pattern in the light extraction pattern of the insulating layer shown in FIG. 3A.
FIG. 4A is a cross-sectional view of a portion 'A' shown in FIG. 1 according to another embodiment, and FIG. 4B is a perspective view of a unit pattern in the light extraction pattern of the insulating layer shown in FIG. 4A.
5A to 5C are perspective views and cross-sectional views of an insulating layer according to an embodiment, respectively.
6 is a cross-sectional view of a light emitting device according to another embodiment.
7 is a cross-sectional view of a light emitting device according to another embodiment.
8A to 8E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the light emitting device illustrated in FIG. 7 .
9 is a graph showing light extraction efficiency according to the height of the light extraction pattern of the insulating layer shown in FIGS. 1 to 4B and FIGS. 6 and 7 .
10 is a graph showing the light extraction efficiency for each separation distance of the unit pattern in the light extraction pattern of the insulating layer.
11 is a graph showing light extraction efficiency and light transmittance according to the thickness of the conductive light transmitting layer.
12 is a graph showing transmittance according to thickness of the conductive light-transmitting layer according to the wavelength of light emitted from the active layer.
13 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a comparative example.
14 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings to help the understanding of the present invention by giving examples, and to explain the present invention in detail. However, the embodiments according to the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described in detail below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art.
본 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성요소(element)의 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 구성요소(element)가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 구성요소(element)가 상기 두 구성요소(element) 사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다.In the description of this embodiment, in the case where it is described as being formed on "on or under" of each element, above (above) or below (below) ( on or under includes both elements in which two elements are in direct contact with each other or in which one or more other elements are disposed between the two elements indirectly.
또한 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"로 표현되는 경우 하나의 구성요소(element)를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when expressed as "up (up)" or "down (on or under)", a meaning of not only an upward direction but also a downward direction may be included based on one element.
또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.Also, as used hereinafter, relational terms such as "first" and "second," "upper/upper/above" and "lower/lower/below" refer to any physical or logical relationship or It may be used only to distinguish one entity or element from another, without requiring or implying an order.
도 1은 일 실시 예에 의한 발광 소자(100A)의 단면도를 나타낸다.1 is a cross-sectional view of a
도 1에 도시된 발광 소자(100A)는 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(또는, 패시베이션(passivation)층)(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(또는, 콘택층)(152, 154) 및 전도성 투광층(160)을 포함할 수 있다.The
기판(110)은 도전형 물질 또는 비도전형 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga203, GaAs 및 Si 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 실시 예는 기판(110)의 물질에 국한되지 않는다.The
기판(110)과 발광 구조물(120) 간의 열 팽창 계수(CTE:Coefficient of Thermal Expansion)의 차이 및 격자 부정합을 개선하기 위해, 이들(110, 120) 사이에 버퍼층(또는, 전이층)(미도시)이 더 배치될 수도 있다. 버퍼층은 예를 들어 Al, In, N 및 Ga로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 또한, 버퍼층은 단층 또는 다층 구조를 가질 수도 있다.In order to improve a difference in coefficient of thermal expansion (CTE) and a lattice mismatch between the
기판(110)과 발광 구조물(120) 사이의 경계에서, 기판(110)은 패턴(112)을 가질 수 있다. 패턴(112)은 활성층(124)에서 방출된 광이 발광 소자(100A)로부터 탈출함을 도울 수 있도록 다양한 단면 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 PSS(Patterned Sapphire Substrate)일 수 있다.At the boundary between the
발광 구조물(120)은 기판(110)의 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층(122), 활성층(124) 및 제2 도전형 반도체층(126)을 포함할 수 있다.The
제1 도전형 반도체층(122)은 기판(110) 아래에 배치되며, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(122)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity
예를 들어, 제1 도전형 반도체층(122)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(122)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.For example, the first conductivity
활성층(124)은 제1 도전형 반도체층(122)과 제2 도전형 반도체층(126) 사이에 배치되며, 제1 도전형 반도체층(122)을 통해서 주입되는 전자(또는, 정공)와 제2 도전형 반도체층(126)을 통해서 주입되는 정공(또는, 전자)이 서로 만나서, 활성층(124)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. 활성층(124)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW:Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The
활성층(124)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드갭 에너지보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer/barrier layer of the
활성층(124)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(124)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive cladding layer (not shown) may be formed on and/or below the
제2 도전형 반도체층(126)은 활성층(124) 아래에 배치되며, 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)은 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 예컨대, 제2 도전형 반도체층(126)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)에는 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductivity
제1 도전형 반도체층(122)은 n형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(126)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있다. 또는, 제1 도전형 반도체층(122)은 p형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(126)은 n형 반도체층으로 구현할 수도 있다.The first conductivity-
발광 구조물(120)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.The
도 1에 예시된 발광 소자(100A)가 플립 칩 본딩(flip chip bonding) 구조로 구현될 경우, 활성층(124)에서 방출된 광은 제1 도전형 반도체층(122) 및 기판(110)을 통해 출사될 수 있다. 이를 위해, 제1 도전형 반도체층(122) 및 기판(110)은 광 투과성을 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이때, 제2 도전형 반도체층(126)은 광 투과성이나 비투과성을 갖는 물질 또는 반사성을 갖는 물질로 이루어질 수 있으나, 실시 예는 특정한 물질에 국한되지 않을 수 있다.When the
한편, 절연층(130)은 발광 구조물(120) 아래에 배치되며, 제1 전극(152)과 제2 도전형 반도체층(126) 사이, 제1 전극(152)과 활성층(124)의 사이 및 제1 전극(152)과 반사층(140) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 제2 도전형 반도체층(126), 활성층(124) 및 반사층(140) 각각은 절연층(130)에 의해 제1 전극(152)과 전기적으로 절연될 수 있다.Meanwhile, the insulating
또한, 발광 소자(100A)가 도 1에 도시된 바와 같이 전도성 투광층(160)을 포함할 경우, 절연층(130)은 전도성 투광층(160)과 제1 전극(152) 사이에 배치되어, 이들(152, 160)을 서로 전기적으로 분리시킬 수도 있다.In addition, when the light-emitting
또한, 실시 예에 의하면, 절연층(130)은 광 추출 패턴을 가질 수 있다. 이때, 도 1에 도시된 바와 같은 광 추출 패턴을 가질 경우, 절연층(130A)은 발광 구조물(120)의 두께 방향(예를 들어, z축 방향)으로 전도성 투광층(160)과 반사층(140) 사이에도 배치될 수 있다.Also, according to an embodiment, the insulating
실시 예에 의하면, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 다양한 형상을 가질 수 있다. 이하, 절연층(130)의 광 추출 패턴을 첨부된 도 2a 내지 도 4b를 참조하여 다음과 같이 살펴본다.According to an embodiment, the light extraction pattern of the insulating
도 2a, 도 3a 및 도 4a는 도 1에 도시된 'A' 부분의 실시 예(A1, A2, A3)에 의한 단면도를 나타내고, 도 2b, 도 3b 및 도 4b는 도 2a, 도 3a, 도 4a에 도시된 절연층(130)의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 사시도를 각각 나타낸다.2A, 3A, and 4A are cross-sectional views according to the embodiments (A1, A2, A3) of part 'A' shown in FIG. 1, and FIGS. 2B, 3B and 4B are FIGS. 2A, 3A, and 4B A perspective view of a unit pattern in the light extraction pattern of the insulating
일 실시 예에 의하면, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 활성층(124)을 향하여 볼록한 사면체 또는 오면체 등 다양한 다면체 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 도 2a에 도시된 바와 같이 사각 단면 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 절연층(130)의 광 추출 패턴의 단위 패턴은 도 2b에 도시된 바와 같이 원통형 입체 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, the light extraction pattern of the insulating
다른 실시 예에 의하면, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 도 3a에 도시된 바와 같이 활성층(124)을 향하여 볼록한 반원형 단면 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 절연층(130)의 광 추출 패턴의 단위 패턴은 도 3b에 도시된 바와 같이 반구형 입체 형상을 가질 수 있다.According to another embodiment, the light extraction pattern of the insulating
또 다른 실시 예에 의하면, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 도 4a에 도시된 바와 같이 활성층(124)을 향하여 볼록한 삼각형 단면 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 절연층(130)의 광 추출 패턴의 단위 패턴은 도 4b에 도시된 바와 같이 원뿔형입체 형상을 가질 수 있다.According to another embodiment, the light extraction pattern of the insulating
도 2a, 도 3a 및 도 4a에 도시된 절연층(130)의 광 추출 패턴에서 단위 패턴은 소정 거리(d)만큼 이격되어 있다. 또한, 도 2a, 도 2b, 도 3a, 도 3b, 도 4a, 도 4b에 도시된 각 단위 패턴은 소정의 높이(h)를 가질 수 있다.In the light extraction pattern of the insulating
도 5a 내지 도 5c는 일 실시 예에 의한 절연층(130)의 사시도들과 단면도를 각각 나타낸다. 특히, 도 5b는 도 5a에 도시된 'B' 부분의 사시도를 나타내고, 도 5c는 도 5b에 도시된 I-I'선을 따라 절개한 단면도를 나타낸다.5A to 5C are perspective views and cross-sectional views of the insulating
만일, 절연층(130)이 반구형 입체 형상의 단위 패턴이 반복되는 광 추출 패턴을 갖고, 각 단위 패턴 간의 이격 거리(d)가 '0'인 경우, 절연층(130)의 광 추출 패턴은 도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같을 수 있다.If the insulating
절연층(130)은 다층 또는 적어도 2개의 다층 구조로 형성될 수 있으며, SiO2, TiO2, ZrO2, Si3N4, Al2O3, 또는 MgF2 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 절연층(130)은 분산 브래그 반사층(DBR:Distributed Bragg Reflector) 또는 무지향성 반사층(ODR:omni-directional reflector)을 포함할 수 있다. 만일, 절연층(130)이 DBR과 ODR을 포함할 경우, 절연층(130)은 절연 기능과 반사층(140)의 반사 기능을 모두 수행할 수 있다. 이 경우 반사층(140)은 생략될 수도 있다.The insulating
DBR은 굴절률이 서로 다른 제1 층(미도시) 및 제2 층(미도시)이 교대로 적어도 1회 이상 적층된 구조일 수 있다. DBR은 전기 절연 물질일 수 있다. 예컨대, 제1 층은 TiO2와 같은 제1 유전체층이고, 제2 층은 SiO2와 같은 제2 유전체층을 포함할 수 있다. 예컨대, DBR은 TiO2/SiO2층이 적어도 1회 이상 적층된 구조일 수 있다. 제1 층 및 제2 층 각각의 두께는 λ/4이고, λ는 발광 셀에서 발생하는 광의 파장일 수 있다.The DBR may have a structure in which a first layer (not shown) and a second layer (not shown) having different refractive indices are alternately stacked at least once or more. DBR may be an electrically insulating material. For example, the first layer may be a first dielectric layer such as TiO 2 , and the second layer may include a second dielectric layer such as SiO 2 . For example, the DBR may have a structure in which TiO 2 /SiO 2 layers are stacked at least once. A thickness of each of the first layer and the second layer may be λ/4, and λ may be a wavelength of light generated in the light emitting cell.
ODR은, 금속 반사층(미도시)과 그 금속 반사층 상에 저굴절률층이 형성된 구조일 수 있다. 금속 반사층은 Ag 또는 Al일 수 있으며 저굴절률층은 SiO2, Si3N4, MgO와 같은 투명 물질일 수 있다. 또는, ODR 구조란 SiO2층과 TiO2층이 적층된 층을 한 쌍으로 반복적으로 적층된 구조일 수도 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The ODR may have a structure in which a metal reflective layer (not shown) and a low refractive index layer are formed on the metal reflective layer. The metal reflective layer may be Ag or Al, and the low refractive index layer may be a transparent material such as SiO 2 , Si 3 N 4 , or MgO. Alternatively, the ODR structure may be a structure in which a SiO 2 layer and a TiO 2 layer are repeatedly stacked as a pair, but the embodiment is not limited thereto.
한편, 다시 도 1을 참조하면, 반사층(140)은 발광 구조물(120)과 절연층(130) 사이에 배치될 수 있다. 반사층(140)은 활성층(124)에서 방출되어 발광 구조물(120)의 두께 방향인 -z축 방향으로 진행하는 광을 반사시키는 역할을 한다. 이를 위해, 반사층(140)은 광을 반사시킬 수 있는 반사 물질 예를 들어 은(Ag)과 같은 금속 물질로 이루어질 수 있으나, 실시 예는 반사층(140)의 재질에 국한되지 않는다.Meanwhile, referring back to FIG. 1 , the
도 1, 도 2a, 도 3a 및 도 4a를 참조하면, 반사층(140)은 절연층(130)의 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 1 및 도 2a에 예시된 바와 같이 절연층(130)의 광 추출 패턴이 사각 단면 형상을 가질 경우 반사층(140)도 사각 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 도 3a에 예시된 바와 같이, 절연층(130)이 반원 단면 형상을 가질 경우 반사층(140)도 반원 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 도 4a에 예시된 바와 같이, 절연층(130)이 삼각 단면 형상을 가질 경우 반사층(140)도 삼각 단면 형상을 가질 수 있다.1, 2A, 3A, and 4A , the
또는, 도 1, 도 2a, 도 3a 및 도 4a에 도시된 바와 달리, 반사층(140)은 절연층(130)의 광 추출 패턴과 다른 형상의 패턴을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 1 및 도 2a에 예시된 바와 같이 절연층(130)의 광 추출 패턴이 사각 단면 형상을 가질 경우 반사층(140)은 절두형 사각 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 도 3a에 예시된 바와 같이 절연층(130)이 반원 단면 형상을 가질 경우, 반사층(140)은 절두형 반원 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 도 4a에 예시된 바와 같이 절연층(130)이 삼각 단면 형상을 가질 경우, 반사층(140)은 절두형 삼각 단면 형상을 가질 수 있다.Alternatively, unlike shown in FIGS. 1, 2A, 3A, and 4A , the
한편, 제1 전극(152)은 절연층(130)과 반사층(140)과 제2 도전형 반도체층(126) 및 활성층(124)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(122)에 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 전극(152)은 관통 전극의 형태로 구현될 수 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 다른 실시 예에 의하면, 비록 도시되지는 않았지만, 제1 전극(152)은 반사층(140), 제2 도전형 반도체층(126) 및 활성층(124)을 우회하여 제1 도전형 반도체층(122)과 전기적으로 연결될 수도 있다.Meanwhile, the
만일, 발광 소자(100A)가 전도성 투광층(160)을 포함할 경우, 제1 전극(152)은 절연층(130)과 반사층(140)과 전도성 투광층(160)과 제2 도전형 반도체층(126)과 활성층(124)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(122)과 전기적으로 연결될 수 있다. If the
만일, 도 1에 예시된 바와 달리 발광 소자(100A)가 전도성 투광층(160)을 포함하지 않을 경우, 제2 전극(154)은 절연층(130)을 관통하여 반사층(140)을 통해 제2 도전형 반도체층(126)에 전기적으로 연결될 수 있다. 또는, 도 1에 예시된 바와 달리, 제2 전극(154)은 절연층(130)과 반사층(140)을 관통하여 제2 도전형 반도체층(126)에 직접 연결될 수도 있다.If the
또는, 도 1에 예시된 바와 같이 발광 소자(100A)가 전도성 투광층(160)을 포함할 경우, 제2 전극(154)은 절연층(130)을 관통하여 반사층(140) 및 전도성 투광층(160)을 경유하여 제2 도전형 반도체층(126)에 전기적으로 연결될 수도 있다. 또는, 도 1에 도시된 바와 달리, 제2 전극(154)은 절연층(130)과 반사층(140)과 전도성 투광층(160)을 관통하여 제2 도전형 반도체층(126)에 직접 연결될 수도 있다.Alternatively, when the
제1 및 제2 전극(152, 154) 각각은 오믹 접촉하는 물질을 포함하여 오믹 역할을 수행함으로써 별도의 오믹층(미도시)이 배치될 필요가 없을 수도 있고, 별도의 오믹층이 제1 및 제2 전극(152, 154) 각각의 위 또는 아래에 배치될 수도 있다.Each of the first and
제1 및 제2 전극(152, 154) 각각은 활성층(124)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 절연층(130) 상에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극(152, 154) 각각은 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합으로 이루어질 수 있다.Each of the first and
한편, 전도성 투광층(160)은 발광 구조물(120)과 반사층(140) 사이 및 발광 구조물(120)과 절연층(130)에 배치될 수 있다. 반사층(140)이 절연층(130)과 동일한 형상 또는 다른 형상의 광 추출 패턴을 갖는 것과 마찬가지로, 전도성 투광층(160)은 도 1, 도 2a, 도 3a 및 도 4a에 예시된 바와 같이 절연층(130)과 달리 광 추출 패턴을 갖지 않을 수 있다.Meanwhile, the conductive light-transmitting
전도성 투광층(160)은 TCO(TCO:TranparentTransparent Conductive Oxide)일 수 있다. 예를 들어, 전도성 투광층(160)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이러한 재료로 한정하지는 않는다.The conductive light-transmitting
전도성 투광층(160)은 반사층(140)과 함께 제2 전극(154)의 역할을 보조하는 역할을 수행할 수 있다. 즉, 제2 전극(154)을 통해 유입되는 제2 도전형 캐리어는 반사층(140)과 전도성 투광층(160)을 통해 제2 도전형 반도체층(126)으로 공급될 수 있기 때문이다. 경우에 따라, 전도성 투광층(160)은 생략될 수도 있다.The conductive light-transmitting
도 6은 다른 실시 예에 의한 발광 소자(100B)의 단면도를 나타낸다.6 is a cross-sectional view of a
도 6에 도시된 발광 소자(100B)는 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154) 및 전도성 투광층(160)을 포함할 수 있다.The
도 1에 도시된 전도성 투광층(160)이 광 추출 패턴을 갖지 않는 반면, 도 6에 도시된 전도층 투광층(160)은 광 추출 패턴을 갖는다. 이를 제외하면, 도 6에 도시된 발광 소자(100B)는 도 1에 도시된 발광 소자(100A)와 동일하므로 중복되는 설명을 생략한다. 즉, 도 6에 도시된 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154)은 도 1에 도시된 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154)에 각각 해당한다.The conductive light-transmitting
도 6에 도시된 전도성 투광층(160)은 절연층(130)의 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이 같이 절연층(130)의 광 추출 패턴이 사각 단면 형상을 가질 경우 전도성 투광층(160)도 사각 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다.The conductive light-transmitting
또는, 비록 도시되지는 않았지만, 절연층(130)이 도 3a에 예시된 바와 같이 반원 단면 형상을 가질 경우 전도성 투광층(160)도 반원 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 절연층(130)이 도 4a에 예시된 바와 같이 삼각 단면 형상을 가질 경우 전도성 투광층(160)도 삼각 단면 형상을 가질 수 있다. Alternatively, although not shown, when the insulating
또는, 비록 도시되지는 않았지만, 전도성 투광층(160)은 절연층(130)의 광 추출 패턴과 다른 형상의 패턴을 가질 수 있다. 절연층(130)의 광 추출 패턴이 도 1, 도 2a, 도 6에 도시된 바와 같이 사각 단면 형상을 갖는 반면, 전도성 투광층(160)은 절두형 사각 단면 형상의 광 추출 패턴을 가질 수 있다. 또는, 비록 도시되지는 않았지만, 절연층(130)이 도 3a에 예시된 바와 같이 반원 단면 형상을 갖는 반면, 전도성 투광층(160)은 절두형 반원 단면 형상의 패턴을 가질 수 있다. 또는, 절연층(130)이 도 4a에 예시된 바와 같이 삼각 단면 형상을 갖는 반면, 전도성 투광층(160)은 절두형 삼각 단면 형상을 가질 수 있다.Alternatively, although not shown, the conductive light-transmitting
도 7은 또 다른 실시 예에 의한 발광 소자(100C)의 단면도를 나타낸다.7 is a cross-sectional view of a
도 7에 도시된 발광 소자(100C)는 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154), 전도성 투광층(160) 및 도핑층(170)을 포함할 수 있다.The
도 1에 도시된 발광 소자(100A)가 도핑층(170)을 포함하지 않는 반면, 도 7에 도시된 발광 소자(100A)는 도핑층(170)을 포함할 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 발광 소자(100A)에서 반사층(140)과 전도성 투광층(160)에 의해 둘러쌓인 절연층(130)의 위치에 절연층(130) 대신에 도 7에 도시된 바와 같이 도핑층(170)이 위치할 수 있다. 이를 제외하면, 도 7에 도시된 발광 소자(100C)는 도 1에 도시된 발광 소자(100A)와 동일하므로 중복되는 설명을 생략한다. 즉, 도 7에 도시된 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154) 및 전도성 투광층(160)은 도 1에 도시된 기판(110), 발광 구조물(120), 절연층(130), 반사층(140), 제1 및 제2 전극(152, 154) 및 전도성 투광층(160)에 각각 해당한다.While the
도핑층(170)은 전도성 투광층(160)과 반사층(140) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 도핑층(170)은 전도성 투광층(160)의 저면(160A)과 반사층(140)에 의해 둘러쌓여 배치될 수 있다. 예를 들어, 도핑층(170)은 ZnO를 포함하고, 제2 도전형 도펀트에 의해 도핑될 수 있다. 도핑층(170)이 ZnO를 포함할 경우, 제2 도전형 도펀트는 알루미늄(Al)일 수 있으나, 실시 예는 도핑층(170)의 재질과 제2 도전형 도펀트의 종류에 국한되지 않는다.The doped
도핑층(170)은 발광 구조물(120)의 두께 방향(예를 들어, z축 방향)에 수직한 방향(예를 들어 y축 방향)으로 연결되지 않고 끊어진 모습의 패턴을 가질 수 있다.The doped
실시 예에 의한 발광 소자(100A, 100B, 100C)에서 절연층(130)이 광 추출 패턴을 가질 수만 있다면, 실시 예는 반사층(140)과 전도성 투광층(160) 각각의 광 추출 패턴의 유무 또는 광 추출 패턴의 형상에 국한되지 않는다.In the
이하, 도 7에 도시된 발광 장치(100C)의 제조 방법에 대해 첨부된 도 8a 내지 도 8e를 참조하여 다음과 같이 설명한다. 하기에서 설명되는 제조 방법을 통해, 도 1 또는 도 6에 도시된 발광 소자(100A, 100B)를 제조할 수 있음은 물론이다.Hereinafter, a method of manufacturing the
도 8a 내지 도 8e는 도 7에 도시된 발광 소자(100C)의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.8A to 8E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the
도 8a를 참조하면, 기판(110)을 준비한다. 기판(110)은 도전형 물질 또는 비도전형 물질에 의해 준비될 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga203, GaAs 및 Si 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 실시 예는 기판(110)의 물질에 국한되지 않는다.Referring to FIG. 8A , a
이때, 설명의 편의상 기판(110) 위에 형성된 패턴(112)의 도시는 생략되었다.In this case, illustration of the
이후, 기판(110) 위에 발광 구조물(120)로서 제1 도전형 반도체층(122), 활성층(124) 및 제2 도전형 반도체층(126)을 순차적으로 형성한다. 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Thereafter, a first conductivity
제1 도전형 반도체층(122)을 기판(110) 위에 형성한다. 제1 도전형 반도체층(122)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체에 의해 형성될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(122)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.A first conductivity
예를 들어, 제1 도전형 반도체층(122)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질에 의해 형성될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(122)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.For example, the first conductivity
이후, 활성층(124)을 제1 도전형 반도체층(122) 위에 형성한다. 활성층(124)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW:Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.Thereafter, an
활성층(124)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드갭 에너지보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer/barrier layer of the
활성층(124)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(124)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive cladding layer (not shown) may be formed on and/or below the
이후, 제2 도전형 반도체층(126)을 활성층(124) 위에 형성한다. 제2 도전형 반도체층(126)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)을 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 형성할 수 있다. 예컨대, 제2 도전형 반도체층(126)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질에 의해 형성될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)에는 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(126)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.Thereafter, a second conductivity
발광 구조물(120)은 예를 들어, 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
이후, 발광 구조물(120) 위에 전도성 투광층(160)을 형성한다. 투광성 전도층(160)은 TCO(TCO:TranparentTransparent Conductive Oxide)로 형성될 수 있다. 예를 들어, 전도성 투광층(160)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나에 의해 형성될 수 있으며, 이러한 재료로 한정하지는 않는다.Thereafter, the conductive light-transmitting
이후, 도 8b를 참조하면, 전도성 투광층(160), 제2 도전형 반도체층(126), 활성층(124)을 순차적으로 메사(Mesa) 식각하여, 이들(160, 126, 124)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(122)을 노출시키는 제1 관통 홀(H1)을 형성한다.Thereafter, referring to FIG. 8B , the conductive light-transmitting
이후, 도 8c를 참조하면, 제1 관통 홀(H1) 주변의 전도성 투광층(160) 위에 도핑층(170)을 형성한다. 도핑층(170)은 다양한 방법으로 형성될 수 있다. 일 례로서, 전도성 투광층(160) 위에 ZnO로 이루어진 ZnO층을 형성한 후, ZnO층에 제2 도전형 도펀트로서 알루미늄을 도핑하여 도핑층(170)을 형성할 수 있다.Thereafter, referring to FIG. 8C , a
이후, 도 8d를 참조하면, 도핑층(170) 위에 반사층(140)을 형성한다. 이때, 제1 관통 홀(H1)에는 반사층(140)을 형성하지 않는다. 반사층(140)은 광을 반사시킬 수 있는 반사 물질 예를 들어 은(Ag)과 같은 금속 물질로 형성될 수 있으나, 실시 예는 반사층(140)의 재질에 국한되지 않는다.Thereafter, referring to FIG. 8D , the
이후, 도 8e를 참조하면, 제1 관통 홀(H1)을 매립하면서 반사층(140) 위에 절연 물질(130)을 증착한다. 이후, 절연 물질(130)을 식각하여 제1 도전형 반도체층(122)을 노출시키는 제2 관통 홀(H2)과 반사층(140)을 노출시키는 제3 관통 홀(H3)을 형성한다. 이로서, 절연층(130)이 형성될 수 있다.Thereafter, referring to FIG. 8E , the insulating
절연층(130)은 다층 또는 적어도 2개의 다층 구조로 형성될 수 있으며, SiO2, TiO2, ZrO2, Si3N4, Al2O3, 또는 MgF2 중 적어도 하나에 의해 형성될 수 있다. 또한, 절연층(130)은 분산 브래그 반사층(DBR) 또는 무지향성 반사층(ODR) 형태로 형성될 수 있다.The insulating
이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 전극(152, 154)을 형성하기 위한 금속 물질을 제2 및 제3 관통 홀(H2, H3)에 매립하여 제1 및 제2 전극(152, 154)을 형성한다. 제1 및 제2 전극(152, 154) 각각을 오믹 접촉하는 물질에 의해 형성함으로써 오믹 역할을 수행함으로써 별도의 오믹층(미도시)이 형성될 필요를 없앨 수 있다. 또는, 별도의 오믹층을 제1 및 제2 전극(152, 154) 각각의 위 또는 아래에 형성할 수도 있다.Thereafter, as shown in FIG. 7 , a metal material for forming the first and
제1 및 제2 전극(152, 154) 각각은 활성층(124)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 절연층(130) 상에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극(152, 154) 각각은 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합으로 형성될 수 있다.Each of the first and
이하, 전술한 구성을 갖는 실시 예에 의한 발광 소자(100A 내지 100C)의 특징을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, the characteristics of the
도 9는 도 1 내지 도 4b 및 도 6 및 도 7에 도시된 절연층(130)의 광 추출 패턴의 높이(h)에 따른 광 추출 효율을 나타내는 그래프로서, 횡축은 높이(h)를 나타내고 종축은 광 추출 효율을 나타낸다.9 is a graph showing the light extraction efficiency according to the height (h) of the light extraction pattern of the insulating
절연층(130)의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 밑면의 길이(L)가 4.5 ㎛일 때, 높이(h)를 0 내지 1.8 ㎛로 변화시키면서 도 2a 및 도 2b에 도시된 원통형, 도 3a 및 도 3b에 도시된 반구형 및 도 4a 및 도 4b에 도시된 원뿔형 각각에 대해 획득한 광 추출 효율은 다음 표 1과 같다.When the length L of the bottom surface of the unit pattern in the light extraction pattern of the insulating
표 1 및 도 9를 참조하면, 높이(h)가 '0'이란, 광 추출 패턴이 없을 때 즉, 절연층(130)이 평평함(flat)함을 의미한다. 따라서, 광 추출 패턴이 없을 때 광 추출 효율은 26%인 반면, 높이(h)가 '0'이 아닐 때 즉, 광 추출 패턴이 존재할 때, 광 추출 패턴은 26%보다 높음을 알 수 있다. 또한, 절연층(130)의 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 형상이 도 2b에 도시된 원통형(204)이나 도 4b에 도시된 원뿔형(202)일때보다 도 3b에 도시된 반구형(200)일 때, 광 추출 효율이 더 높음을 알 수 있다. 예를 들어, 단위 패턴이 반구형일 경우, 단위 패턴의 높이(h)가 1.2 ㎛ 내지 1.8 ㎛일 때, 광 추출 효율이 60% 이상임을 알 수 있다. 특히, 단위 패턴이 반구형이고, 단위 패턴의 높이(h)가 1.5 ㎛일 때 광 추출 효율은 63%까지 개선됨을 알 수 있다.Referring to Table 1 and FIG. 9 , when the height h is '0', it means that when there is no light extraction pattern, that is, the insulating
도 10은 절연층(130)의 광 추출 패턴이 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 반구형일 때, 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 이격 거리(또는, 단위 패턴 간 간격)(d)별 광 추출 효율을 나타내는 그래프로서, 횡축은 이격 거리(d)를 나타내고 종축은 광 추출 효율을 나타낸다.10 shows when the light extraction pattern of the insulating
절연층(130)의 광 추출 패턴이 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 반구형이고, 단위 패턴에서 밑면의 길이(L)가 4.5 ㎛이고 높이(h)가 1.5 ㎛일 때, 이격 거리(d)를 0 ㎛ 내지 3 ㎛로 변화시키면서 획득한 광 추출 효율은 다음 표 2와 같다.When the light extraction pattern of the insulating
표 2 및 도 10을 참조하면, 이격 거리(d)가 0 ㎛ 내지 1 ㎛일 때, 광 추출 효율이 60% 이상임을 알 수 있다. 특히, 절연층(130)의 광 추출 패턴에서 이격 거리(d)가 0 ㎛일 때 광 추출 효율이 63%로서 가장 우수함을 알 수 있다. 이는 절연층(130)의 단위 면적당 단위 패턴의 개수가 많을수록, 광 추출 패턴에 의한 난반사가 일어날 확률이 높아져서 패턴이 광 추출에 기여하는 정도가 증가하기 때문이다. Referring to Table 2 and FIG. 10, when the separation distance d is 0 μm to 1 μm, it can be seen that the light extraction efficiency is 60% or more. In particular, it can be seen that when the separation distance d is 0 μm in the light extraction pattern of the insulating
또한, 절연층(130)의 광 추출 패턴이 반구형이고, 단위 패턴 간의 이격 거리(d)가 0 ㎛이고, 높이(h)가 1.5 ㎛이고, 밑면의 길이(L)가 4.5 ㎛일 때, 도 1, 도 6 및 도 7에 도시된 발광 소자(100A, 100B, 100C)의 광 추출 효율을 비교하면 다음 표 3과 같다.In addition, when the light extraction pattern of the insulating
발광 소자(100A)의 광 추출 효율은 절연층(130)의 굴절률이 1.6일 때 70%이고, 발광 소자(100B)의 광 추출 효율은 전도성 투광층(160)의 굴절률이 2.6일 때 63%이고, 발광 소자(100C)의 광 추출 효율은 도핑층(170)의 굴절률이 2.0일 때 68%일 수 있다. 이와 같이, 도 1에 도시된 발광 소자(100A)의 광 추출 효율이 가장 높음을 알 수 있다.The light extraction efficiency of the
또한, 도 6에 도시된 바와 같이 전도성 투광층(160)에 광 추출 패턴을 부여하는 경우보다 도 7에 도시된 바와 같이 발광 소자(100C)가 도핑층(170)을 포함할 경우, 광 추출 효율이 더 높아짐을 알 수 있다. 이는, 도핑층(170)인 ZnO가 전도성 투광층(160)인 ITO에 비해 적외선과 가시 광선에서 투과성 및 전기 전도도가 우수하기 때문이다. 또한, ZnO는 ITO에 비해 낮은 온도에서 공정이 가능하고 원료 가격이 저렴하다. 따라서, 발광 소자(100C)가 도핑층(170)을 포함할 경우 전도성 투광층(160)은 생략될 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 6 , when the
또한, 도 7에 도시된 바와 같이 도핑층(160)인 ZnO에 알루미늄(Al)과 같은 제2 도전형 도펀트를 도핑할 경우, 전기 전도도를 더욱 개선시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 7 , when ZnO, which is the doped
도 11은 도전형 투광층(160)의 두께(t)에 따른 광 추출 효율(210)과 광의 투과율(212)을 나타내는 그래프이다.11 is a graph showing the
도 1을 참조하면, 활성층(124)과 절연층(130)의 광 추출 패턴까지의 거리(D)에 따라 광 추출 효율이 개선될 수 있다. 여기서, 거리(D)는 활성층(124)과 제2 도전형 반도체층(126)의 경계(125)에서부터 전도성 투광층(160)과 절연층(130)의 광추출 패턴의 경계까지의 거리에 해당한다. 이를 위해, 거리(D) 대신에 도전형 투광층(160)의 두께(t)를 조절할 수 있다.Referring to FIG. 1 , light extraction efficiency may be improved according to a distance D between the
도전형 투광층(160)인 ITO의 굴절률이 2.06이고, 절연층(130)의 광 추출 패턴이 도 3a 및 도 3b에 예시된 바와 같이 반구형이고, 단위 패턴의 밑면의 길이(L)가 4.5 ㎛이고, 반구형 패턴의 높이(h)가 1.5 ㎛이고, 이격 거리(d)가 0 ㎛일 경우, 도전형 투광층(160)의 두께(t)와 거리(D)의 변화에 따른 광 추출 효율을 비교하면 다음 표 4와 같다. 여기서, 투과율은 활성층(124)에서 방출되는 광의 파장이 550 ㎚일 때 획득된 값이다.The refractive index of ITO as the conductive
도 11 및 표 4를 참조하여, ITO로 구현될 수 있는 전도성 투광층(160)의 두께(t) 범위는 광 추출 효율을 근거로 결정될 수 있다. 전도성 투광층(160)의 두께(t)가 얇을수록 광 추출 효율은 이득이지만 3 ㎚ 미만 시, 코팅막의 위치간 투과율 편차 및 두께 감소로 인한 면 저항 상승 및 전압 상승의 단점이 생길 수 있다. 이때, 전압이 상승될수록 발열량이 많아져 제품의 수명을 단축시킬 수 있다. 또한, 전도성 투광층(160)의 두께(t)가 10 ㎚ 초과 시 전도성 투광층(160)의 투과도가 저하되어 광 추출 효율이 저하될 수 있다. 따라서, 전도성 투광층(160)의 두께(t)는 3 ㎚ 내지 10 ㎚이고 거리(D)는 203 ㎚ 내지 210 ㎚일 때, 광 추출 효율이 73 %로서 가장 우수함을 알 수 있다.11 and Table 4, the thickness (t) range of the conductive light-transmitting
도 12는 활성층(124)으로부터 방출되는 광의 파장(λ)에 따라 전도성 투광층(160)의 두께(t)별 투과율을 나타내는 그래프로서, 횡축은 파장(λ)을 나타내고 종축은 투과율(transmittance)을 나타낸다.12 is a graph showing the transmittance for each thickness (t) of the conductive light-transmitting
도 12를 참조하면, 전도성 투광층(160)의 두께(t)가 동일하더라도 광의 파장(λ)에 따라 투과율이 변함을 알 수 있다. 또한, 두께(t)에 따라 투과율이 변함도 알 수 있다. 따라서, 활성층(124)으로부터 방출되는 광의 파장(λ)에 따라 전도성 투광층(160)의 두께(t)를 최적으로 선택하여, 최대의 투과율 즉, 최대의 광 추출 효율이 획득될 수 있음을 알 수 있다.Referring to FIG. 12 , even though the thickness t of the conductive light-transmitting
도 13은 비교 례에 의한 발광 소자의 단면도이다.13 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a comparative example.
도 13에 도시된 비교 례에 의한 발광 소자의 경우 도 1에 도시된 실시 예에 의한 발광 소자와 달리 절연층(30)과 반사층(40)은 광 추출 패턴을 갖지 않는다. 도 13에 도시된 비교 례에 의한 발광 소자의 경우 활성층(124)에서 방출된 광이 발광 구조물(120) 내의 각 층의 굴절률 차이로 인해 화살표 방향(220)으로 전반사되어 발광 구조물(120)에서 트랩(Trap)되어, 발광 소자로부터 출사하지 못함을 알 수 있다.In the case of the light emitting device according to the comparative example shown in FIG. 13 , unlike the light emitting device according to the embodiment shown in FIG. 1 , the insulating
반면에, 도 1에 도시된 실시 예에 의한 발광 소자(100A)의 경우 활성층(124)에서 방출된 광이 도 13에 도시된 바와 같이 화살표 방향(220)으로 내부 전반사되지 않고 절연층(130)의 광 추출 패턴에서 산란되어 발광 소자(100A)로부터 화살표 방향(224)으로 출사됨을 알 수 있다. 이로써, 실시 예에 의한 발광 소자(100A)의 광 추출 효율이 개선될 수 있다. 이는, 도 6 및 도 7에 도시된 발광 소자(100B, 100C)의 경우도 마찬가지이다. 즉, 발광 구조물(120)의 내부에서 전반사된 광의 량을 줄여 발광 소자(100A 내지 100C)로부터 광이 출사될 확률이 높아질 수 있다. 따라서, 다음 수학식 1과 같이 표현되는 광 추출 효율이 개선될 수 있다.On the other hand, in the case of the
여기서, N1은 발광 소자(100A 내지 100C)로부터 자유 공간으로 발광되는 포톤(photon)의 개수를 나타내고, N2는 활성층(124)으로부터 방출되는 포톤의 개수를 나타낸다.Here, N1 represents the number of photons emitted from the
이하, 실시 예에 의한 발광 소자 패키지(300)를 첨부한 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, the light emitting
도 14는 실시 예에 의한 발광 소자 패키지(300)의 단면도를 나타낸다.14 is a cross-sectional view of a light emitting
도 14에 도시된 발광 소자 패키지(300)는 발광 소자(100A), 패키지 몸체(310), 제1 및 제2 리드 프레임(lead frame)(322, 324), 절연부(326), 제1 및 제2 패드(332, 334), 제1 및 제2 솔더부(342, 344) 및 몰딩 부재(350)를 포함할 수 있다.The light emitting
패키지 몸체(310)는 캐비티(C:Cavity)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 도 14에 도시된 바와 같이, 패키지 몸체(310)는 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)과 함께 캐비티(C)를 형성할 수 있다. 즉, 캐비티(C)는 패키지 몸체(310)의 측면(312)과 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)의 각 상부면(322A, 324A)에 의해 정의될 수 있다. 그러나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 다른 실시 예에 의하면, 도 14에 도시된 바와 달리, 패키지 몸체(310)만으로 캐비티(C)를 형성할 수도 있다. 또는, 상부면이 평평한 패키지 몸체(310) 위에 격벽(barrier wall)(미도시)이 배치되고, 격벽과 패키지 몸체(310)의 상부면에 의해 캐비티가 정의될 수도 있다. 패키지 몸체(310)는 EMC(Epoxy Molding Compound) 등으로 구현될 수 있으나, 실시 예는 패키지 몸체(310)의 재질에 국한되지 않는다.The
발광 소자(100A)는 패키지 몸체(310)에 형성된 캐비티(C) 내부에 배치될 수 있다. 도 14에 도시된 발광 소자 패키지(300)는 도 1에 도시된 발광 소자(100A)를 포함하는 것으로 예시되어 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 다른 실시 예에 의한 발광 소자 패키지(300)는 도 1에 예시된 발광 소자(100A) 대신에 도 6 또는 도 7에 예시된 발광 소자(100B, 100C)를 포함할 수 있으며, 이 경우에도 이하의 설명은 적용될 수 있다. 도 14에 도시된 발광 소자(100A)는 도 1에 도시된 발광 소자(100A)와 동일하므로 동일한 참조부호를 사용하였으며, 중복되는 설명을 생략한다.The
제1 패드(332)는 절연층(130)을 관통하여 제1 전극(152)을 통해 제1 도전형 반도체층(122)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제2 패드(334)는 절연층(130)을 관통하여 제2 전극(154)과 반사층(140)과 전도성 투명층(160)을 통해 제2 도전형 반도체층(126)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 및 제2 패드(332, 334) 각각은 전극용 물질을 포함할 수 있다.The
제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)은 발광 구조물(120)의 두께 방향인 제1 방향(예를 들어, z축 방향)과 수직인 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제1 리드 프레임(322)은 제1 솔더부(342)를 통해 제1 패드(332)와 전기적으로 연결되고, 제2 리드 프레임(324)은 제2 솔더부(344)를 통해 제2 패드(334)와 전기적으로 연결될 수 있다. 이를 위해, 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324) 각각은 도전형 물질 예를 들면 금속으로 이루어질 수 있으며, 실시 예는 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324) 각각의 물질의 종류에 국한되지 않는다. 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)을 전기적으로 분리시키기 위해, 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324) 사이에는 절연부(326)가 배치될 수도 있다.The first and second lead frames 322 and 324 are formed in a first direction (eg, z-axis direction) and a second direction (eg, y-axis direction) perpendicular to the thickness direction of the
또한, 패키지 몸체(310)가 도전형 물질 예를 들면 금속 물질로 이루어질 경우, 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)은 패키지 몸체(310)의 일부일 수도 있다. 이 경우에도, 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)을 형성하는 패키지 몸체(310)는 절연부(326)에 의해 서로 전기적으로 분리될 수 있다.Also, when the
제1 솔더부(342)는 제1 리드 프레임(322)을 제1 패드(332)를 통해 제1 도전형 반도체층(122)과 전기적으로 연결시킨다. 이를 위해, 제1 솔더부(342)는 제1 리드 프레임(322)과 제1 패드(332) 사이에 배치되어 이들(322, 332)을 서로 전기적으로 연결시킬 수 있다. 제2 솔더부(344)는 제2 리드 프레임(324)을 제2 패드(334)를 통해 제2 도전형 반도체층(126)과 전기적으로 연결시킨다. 이를 위해, 제2 솔더부(344)는 제2 리드 프레임(324)과 제2 패드(334) 사이에 배치되어 이들(324, 334)을 서로 전기적으로 연결시킬 수 있다. 제1 및 제2 솔더부(342, 344) 각각은 솔더 페이스트(solder paste) 또는 솔더 볼(solder ball)일 수 있다.The
전술한 바와 같이, 제1 및 제2 솔더부(342, 344)는 제1 및 제2 도전형 반도체층(122, 126)을 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)에 각각 전기적으로 연결시켜 와이어의 필요성을 없앨 수 있다. 그러나, 다른 실시 예에 의하면, 와이어를 이용하여 제1 및 제2 도전형 반도체층(122, 126)을 제1 및 제2 리드 프레임(322, 324)에 각각 연결시킬 수도 있다.As described above, the first and
또한, 몰딩 부재(350)는 캐비티(C)에 채워져 발광 소자(100A)를 포위하여 보호할 수 있다. 몰딩 부재(350)는 예를 들어 실리콘(Si)으로 구현될 수 있으며, 형광체를 포함하므로 발광 소자(100A)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다. 형광체로는 발광 소자(100A)에서 발생된 빛을 백색광으로 변환시킬 수 있는 YAG계, TAG계, Silicate계, Sulfide계 또는 Nitride계 중 어느 하나의 파장변환수단인 형광물질이 포함될 수 있으나, 실시 예는 형광체의 종류에 국한되지 않는다.In addition, the
YAG 및 TAG계 형광물질에는 (Y, Tb, Lu, Sc, La, Gd, Sm)3(Al, Ga, In, Si, Fe)5(O, S)12:Ce 중에서 선택하여 사용가능하며, Silicate계 형광물질에는 (Sr, Ba, Ca, Mg)2SiO4: (Eu, F, Cl) 중에서 선택 사용 가능하다.YAG and TAG-based fluorescent materials can be used by selecting from (Y, Tb, Lu, Sc, La, Gd, Sm)3(Al, Ga, In, Si, Fe)5(O, S)12:Ce, The silicate-based fluorescent material can be selected from (Sr, Ba, Ca, Mg)2SiO4: (Eu, F, Cl).
또한, Sulfide계 형광물질에는 (Ca,Sr)S:Eu, (Sr,Ca,Ba)(Al,Ga)2S4:Eu 중에서 선택하여 사용가능하며, Nitride계 형광체는 (Sr, Ca, Si, Al, O)N:Eu (예, CaAlSiN4:Eu β-SiAlON:Eu) 또는 Ca-α SiAlON:Eu계인 (Cax,My)(Si,Al)12(O,N)16, 여기서 M 은 Eu, Tb, Yb 또는 Er 중 적어도 하나의 물질이며 0.05<(x+y)<0.3, 0.02<x<0.27 and 0.03<y<0.3, 형광체 성분 중에서 선택하여 사용 할 수 있다.In addition, it is possible to select from (Ca,Sr)S:Eu, (Sr,Ca,Ba)(Al,Ga)2S4:Eu for sulfide-based phosphors, and for nitride-based phosphors, (Sr, Ca, Si, Al , O)N:Eu (e.g. CaAlSiN4:Eu β-SiAlON:Eu) or (Cax,My)(Si,Al)12(O,N)16 based on Ca-α SiAlON:Eu, where M is Eu, Tb , Yb, or Er at least one material, and can be used by selecting from among 0.05<(x+y)<0.3, 0.02<x<0.27 and 0.03<y<0.3, phosphor components.
적색 형광체로는, N(예,CaAlSiN3:Eu)을 포함하는 질화물(Nitride)계 형광체를 사용할 수 있다. 이러한 질화물계 적색 형광체는 황화물(Sulfide)계 형광체보다 열, 수분 등의 외부 환경에 대한 신뢰성이 우수할 뿐만 아니라 변색 위험이 작다.As the red phosphor, a nitride-based phosphor including N (eg, CaAlSiN3:Eu) may be used. Such a nitride-based red phosphor has superior reliability to external environments, such as heat and moisture, as well as a lower risk of discoloration than a sulfide-based phosphor.
실시 예에 따른 발광 소자 패키지(300)는 복수 개가 기판 상에 어레이될 수 있고, 발광 소자 패키지(300)의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지(300), 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능할 수 있다.A plurality of light emitting device packages 300 according to the embodiment may be arrayed on a substrate, and optical members such as a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, etc. may be disposed on a light path of the light emitting
또한, 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(300)는 표시 장치, 지시 장치, 조명 장치로 구현될 수 있다. 여기서, 표시 장치는 바텀 커버와, 바텀 커버 상에 배치되는 반사판과, 광을 방출하는 발광 모듈과, 반사판의 전방에 배치되며 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하는 도광판과, 도광판의 전방에 배치되는 프리즘 시트들을 포함하는 광학 시트와, 광학 시트 전방에 배치되는 디스플레이 패널과, 디스플레이 패널과 연결되고 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로와, 디스플레이 패널의 전방에 배치되는 컬러 필터를 포함할 수 있다. 여기서, 발광 모듈은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(300)를 포함할 수 있다. 또한, 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.In addition, the light emitting
또한, 조명 장치는 기판과 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(300)를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열체, 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등을 포함할 수 있다.In addition, the lighting device includes a light source module including a substrate and a light emitting
해드 램프는 기판 상에 배치되는 복수의 발광 소자 패키지(300)를 포함하는 발광 모듈, 발광 모듈로부터 조사되는 빛을 일정 방향, 예컨대, 전방으로 반사시키는 리플렉터(reflector), 리플렉터에 의하여 반사되는 빛을 전방으로 굴절시키는 렌즈, 및 리플렉터에 의하여 반사되어 렌즈로 향하는 빛의 일부분을 차단 또는 반사하여 설계자가 원하는 배광 패턴을 이루도록 하는 쉐이드(shade)를 포함할 수 있다.The head lamp is a light emitting module including a plurality of light emitting device packages 300 disposed on a substrate, a reflector that reflects light irradiated from the light emitting module in a predetermined direction, for example, forward, and light reflected by the reflector. It may include a lens that refracts forward, and a shade that blocks or reflects a portion of light reflected by the reflector and directed to the lens to form a light distribution pattern desired by a designer.
이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the embodiment has been mainly described, but this is only an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are not exemplified above in the range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It will be appreciated that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment may be implemented by modification. And differences related to such modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.
100A, 100B, 100C: 발광 소자 110: 기판
112: 패턴 120: 발광 구조물
122: 제1 도전형 반도체층 124: 활성층
126: 제2 도전형 반도체층 130, 130A: 절연층
140: 반사층 152: 제1 전극
154: 제2 전극 160: 전도성 투광층
170: 도핑층 300: 발광 소자 패키지
310: 패키지 몸체 322: 제1 리드 프레임
324: 제2 리드 프레임 326: 절연부
332: 제1 패드 334: 제2 패드
342: 제1 솔더부 344: 제2 솔더부
350: 몰딩 부재100A, 100B, 100C: light emitting element 110: substrate
112: pattern 120: light emitting structure
122: first conductivity type semiconductor layer 124: active layer
126: second conductivity
140: reflective layer 152: first electrode
154: second electrode 160: conductive light-transmitting layer
170: doped layer 300: light emitting device package
310: package body 322: first lead frame
324: second lead frame 326: insulation part
332: first pad 334: second pad
342: first solder part 344: second solder part
350: molding member
Claims (12)
상기 기판 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광 구조물 아래에 배치되며 광 추출 패턴을 갖는 절연층;
상기 발광 구조물과 상기 절연층 사이에 배치된 반사층;
상기 반사층, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결되고, 상기 절연층에 의해 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층과 전기적으로 절연된 제1 전극; 및
상기 절연층을 관통하여 상기 제2 도전형 반도체층에 연결된 제2 전극을 포함하고,
상기 광 추출 패턴은 상기 활성층을 향하여 볼록한 형상을 갖고, 상기 볼록한 형상은 다면체형, 원뿔형 또는 반구형 중 적어도 하나의 입체 형상을 갖고,
상기 반구형의 상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 높이는 1.2 ㎛ 내지 1.8 ㎛이고,
상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴 간의 간격은 1 ㎛이하이고,
상기 발광 구조물과 상기 반사층 사이에 배치된 전도성 투광층을 더 포함하고,
상기 절연층은 상기 발광 구조물의 두께 방향으로 상기 전도성 투광층과 상기 반사층 사이에도 배치되고,
상기 전도성 투광층과 상기 반사층 사이에 배치된 도핑층을 더 포함하고,
상기 도핑층은 ZnO를 포함하고, 제2 도전형 도펀트에 의해 도핑되고,
상기 도핑층은 상기 발광 구조물의 두께 방향에 수직한 방향으로 연결되지 않고 끊어진 모습의 패턴을 갖는 발광 소자.Board;
a light emitting structure disposed under the substrate and including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer;
an insulating layer disposed under the light emitting structure and having a light extraction pattern;
a reflective layer disposed between the light emitting structure and the insulating layer;
A first electrode that penetrates through the reflective layer, the second conductivity-type semiconductor layer, and the active layer, is connected to the first conductivity-type semiconductor layer, and is electrically insulated from the second conductivity-type semiconductor layer and the active layer by the insulating layer ; and
and a second electrode connected to the second conductivity type semiconductor layer through the insulating layer,
The light extraction pattern has a convex shape toward the active layer, and the convex shape has at least one three-dimensional shape of a polyhedral shape, a conical shape, or a hemispherical shape,
The height of the unit pattern in the hemispherical light extraction pattern is 1.2 μm to 1.8 μm,
In the light extraction pattern, the interval between unit patterns is 1 μm or less,
Further comprising a conductive light-transmitting layer disposed between the light emitting structure and the reflective layer,
The insulating layer is also disposed between the conductive light-transmitting layer and the reflective layer in the thickness direction of the light-emitting structure,
Further comprising a doping layer disposed between the conductive light-transmitting layer and the reflective layer,
The doped layer contains ZnO and is doped with a second conductivity type dopant,
The doped layer is not connected in a direction perpendicular to the thickness direction of the light emitting structure, but has a broken pattern.
상기 기판 아래에 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광 구조물 아래에 배치되며 광 추출 패턴을 갖는 절연층;
상기 발광 구조물과 상기 절연층 사이에 배치된 반사층;
상기 반사층, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결되고, 상기 절연층에 의해 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 활성층과 전기적으로 절연된 제1 전극; 및
상기 절연층을 관통하여 상기 제2 도전형 반도체층에 연결된 제2 전극을 포함하고,
상기 광 추출 패턴은 상기 활성층을 향하여 볼록한 형상을 갖고, 상기 볼록한 형상은 다면체형, 원뿔형 또는 반구형 중 적어도 하나의 입체 형상을 갖고,
상기 반구형의 상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴의 높이는 1.2 ㎛ 내지 1.8 ㎛이고,
상기 광 추출 패턴에서 단위 패턴 간의 간격은 1 ㎛이하이고,
상기 발광 구조물과 상기 반사층 사이에 배치된 전도성 투광층을 더 포함하고,
상기 절연층은 상기 발광 구조물의 두께 방향으로 상기 전도성 투광층과 상기 반사층 사이에도 배치되고,
상기 반사층은 상기 절연층의 상기 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 갖고,
상기 전도성 투광층은 상기 절연층의 상기 광 추출 패턴과 동일한 형상의 패턴을 갖는 발광 소자.Board;
a light emitting structure disposed under the substrate and including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer;
an insulating layer disposed under the light emitting structure and having a light extraction pattern;
a reflective layer disposed between the light emitting structure and the insulating layer;
A first electrode that penetrates through the reflective layer, the second conductivity-type semiconductor layer, and the active layer, is connected to the first conductivity-type semiconductor layer, and is electrically insulated from the second conductivity-type semiconductor layer and the active layer by the insulating layer ; and
and a second electrode connected to the second conductivity type semiconductor layer through the insulating layer,
The light extraction pattern has a convex shape toward the active layer, and the convex shape has at least one three-dimensional shape of a polyhedral shape, a conical shape, or a hemispherical shape,
The height of the unit pattern in the hemispherical light extraction pattern is 1.2 μm to 1.8 μm,
In the light extraction pattern, the interval between unit patterns is 1 μm or less,
Further comprising a conductive light-transmitting layer disposed between the light emitting structure and the reflective layer,
The insulating layer is also disposed between the conductive light-transmitting layer and the reflective layer in the thickness direction of the light-emitting structure,
The reflective layer has a pattern of the same shape as the light extraction pattern of the insulating layer,
The conductive light-emitting layer is a light emitting device having the same shape as the light extraction pattern of the insulating layer.
상기 활성층과 상기 제2 도전형 반도체층의 경계로부터 상기 전도성 투광층과 상기 광 추출 패턴의 경계까지의 거리는 203 ㎚ 내지 210 ㎚인 발광 소자.The method according to claim 1 or 5, wherein the conductive light-transmitting layer has a thickness of 3 nm to 10 nm,
A distance from the boundary between the active layer and the second conductivity-type semiconductor layer to the boundary between the conductive light-transmitting layer and the light extraction pattern is 203 nm to 210 nm.
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Patent Citations (1)
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