KR102299790B1 - Vacuum and preasure molding method for high voltage and high reliability power supply - Google Patents

Vacuum and preasure molding method for high voltage and high reliability power supply Download PDF

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Abstract

The present invention relates to a vacuum and pressure molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high-reliability power supply device, capable of preventing damage to a component by suppressing the generation of pores inside an insulating material during insulation molding of the component. The vacuum and pressure molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high-reliability power supply device according to the present invention comprises: a step of putting epoxy into an insulating material container installed inside a vacuum chamber and placing components inside a mold installed inside the vacuum chamber; a step of forming the inside of the vacuum chamber in a vacuum state by an initial vacuum pump connected to the vacuum chamber; a step of filling the inside of the mold from the insulating material container with the epoxy and sealing the mold with a cover; a step of forming the inside of the mold in a high-pressure state by a compressor connected to the cover; and a step of curing the epoxy by heating the inside of the chamber by a heating unit installed in the chamber.

Description

초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법{VACUUM AND PREASURE MOLDING METHOD FOR HIGH VOLTAGE AND HIGH RELIABILITY POWER SUPPLY}VACUUM AND PREASURE MOLDING METHOD FOR HIGH VOLTAGE AND HIGH RELIABILITY POWER SUPPLY

본 발명은 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법에 관한 것으로, 구체적으로는 부품 몰딩 시 절연재 내부의 기공을 감소시킬 수 있는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum and pressure molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply, and more specifically, to a vacuum and pressure molding method for manufacturing an ultra high voltage and high reliability power supply capable of reducing pores inside an insulating material during component molding will be.

일반적으로 통상의 X선 장비는 X선 빔을 사용하여 피검사체(또는 인체)의 수직인 중첩 영상을 얻은 반면, CT장비는 X선 빔과 디텍터의 스캔 경로에 대하여 수평, 수직 또는 임의 각도의 단면 영상을 얻는다.In general, conventional X-ray equipment uses an X-ray beam to obtain a vertical superimposed image of the subject (or human body), whereas CT equipment uses a horizontal, vertical, or arbitrary angle cross section with respect to the scan path of the X-ray beam and the detector. get the video

이와 같은 CT장비는 획득한 이미지를 슬라이스 과정에서 물질의 밀도와 유효원자번호에 영향을 받는 선형 감쇄 계수를 가진 물질 및 두께를 보셀(voxel)로 표현한다.Such CT equipment expresses the obtained image in voxel as a material and thickness with a linear attenuation coefficient that is affected by the density and effective atomic number of the material during the slicing process.

한편, CT장비는 사람의 인체 내부를 검사하기 위한 의료용 CT장비가 있으며, 의료용 CT장비에 비해 반도체의 접합부위 등 미세한 부분을 고해상도로 관측하기 위해 고배율의 영상을 획득하기 위한 공업용 CT장비가 있다.On the other hand, CT equipment includes medical CT equipment for examining the inside of the human body, and compared to medical CT equipment, there is industrial CT equipment for acquiring high-magnification images to observe minute parts such as semiconductor junctions with high resolution.

이와 같은 CT장비를 포함한 X선 장치는 일반적으로 고전압 조건에서 운용되므로 장치의 고전압 전원 장치의 회로 부품 등의 각종 부품들 또한 이에 노출될 수 있으며, 이 경우 고전압으로 인하여 장치의 부품이 손상될 수 있다. Since X-ray devices including such CT equipment are generally operated under high voltage conditions, various components such as circuit components of the high voltage power supply of the device may also be exposed thereto, and in this case, the components of the device may be damaged due to the high voltage. .

또한, X선 장비 뿐만 아니라 고전압 또는 초고압으로 운용되는 다양한 각종 장비들도 고전압에 노출되는 경우 노출되는 부품이 마찬가지로 손상될 수 있으며, 이러한 현상은 고전압에 노출되기 쉬운 전원 장치 측에 발생하기 쉬우나 이에 국한되지 않고 다른 일반 부품 또한 손상이 발생할 수 있다.In addition, not only X-ray equipment but also various types of equipment operated with high voltage or ultra-high voltage may also be damaged when exposed to high voltage, and this phenomenon is likely to occur on the power supply side, which is easily exposed to high voltage, but is limited to this. Otherwise, other general parts may also be damaged.

따라서, 고전압에 노출될 가능성이 있는 부품들은 절연 처리되어야만 하는데, 이러한 절연 처리는 절연이 필요한 부품들을 절연 물질로 둘러싸도록 몰딩 처리하는 것이 일반적이다.Accordingly, components that are likely to be exposed to high voltage must be insulated, and such insulation is generally molded to surround the components requiring insulation with an insulating material.

이와 같은 절연 몰딩은 주형 내에 처리를 위한 부품들을 배치하고, 주형 내에 절연 물질을 충진하여 경화시킴으로써 이루어질 수 있다. Such insulating molding can be accomplished by placing parts for processing in a mold, and filling and curing the insulating material in the mold.

하지만, 이 경우 절연 물질 내에 형성되는 미세한 기공의 존재로 인하여 부품의 손상이 발생된다. 즉, 장치의 운용 시에 부품 및 절연 물질이 고온에 노출되는데, 이로 인한 기공의 열팽창에 의하여 부품에 크랙이 발생하며, 반복적인 팽창 및 수축에 의하여 절연 파괴가 심화되는 문제가 있다. However, in this case, damage to the component occurs due to the presence of minute pores formed in the insulating material. That is, parts and insulating materials are exposed to high temperatures during operation of the device, and cracks occur in the parts due to thermal expansion of pores due to this, and there is a problem in that insulation breakdown is deepened by repeated expansion and contraction.

특히, 부품의 표면 주위에 형성되는 미세 기공으로 인하여 부품 파괴가 보다 심각하게 야기되며, 초고압으로 운용되는 장치일수록 이와 같은 현상이 두드러진다.In particular, the destruction of parts is caused more seriously due to the micropores formed around the surface of the parts, and the more the device is operated at an ultra-high pressure, the more pronounced this phenomenon is.

또한, 부품(10)의 표면은 편평한 것으로 생각될 수 있으나 이를 고배율로 확대하는 경우 실제로 편평하지 않으며 굴곡지고 오목한 부분이 존재한다. 도 1을 참조하면, 이와 같이 오목한 부분(오목부)에 미세 기공이 많이 모이는 특성이 있으며, 이러한 곳의 미세 기공은 부품(10)으로부터의 분리가 매우 어렵고 부품(10) 파괴에 더욱 악영향을 미친다.In addition, the surface of the component 10 may be considered to be flat, but when it is enlarged at a high magnification, it is not actually flat, and there are curved and concave portions. Referring to Figure 1, there is a characteristic that a large number of micropores are gathered in such a concave portion (concave portion), and the micropores in this place are very difficult to separate from the component 10 and have a more adverse effect on the destruction of the component 10 .

대한민국등록특허 제10-1867318호(2018.06.07.)Republic of Korea Patent Registration No. 10-1867318 (2018.06.07.)

본 발명은 부품 절연 물질 내의 기공 발생을 방지할 수 있는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법을 제공함에 목적이 있다. An object of the present invention is to provide a vacuum and pressurized casting method for manufacturing an ultra-high voltage, high-reliability power supply capable of preventing the occurrence of pores in a component insulating material.

본 발명에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법은, 진공 채임버 내부에 설치되는 절연재 용기에 에폭시가 투입되고, 상기 진공 채임버 내부에 설치되는 주형 내부에 부품이 배치되는 단계; 상기 진공 채임버에 연결되는 초기 진공 펌프에 의해 상기 진공 채임버 내부가 진공 상태로 형성되는 단계; ,상기 절연재 용기로부터 상기 주형의 내부에 상기 에폭시가 충진되고 상기 주형이 커버에 의해 밀폐되는 단계; 상기 커버에 연결되는 압축기에 의해 상기 주형 내부가 고압 상태로 형성되는 단계; 및 상기 채임버에 설치된 히팅부에 의해 상기 채임버 내부가 가열되어 상기 에폭시가 경화되는 단계를 포함할 수 있다.In the vacuum and pressurization molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to the present invention, epoxy is put into an insulating material container installed inside a vacuum chamber, and parts are placed inside a mold installed inside the vacuum chamber ; forming the inside of the vacuum chamber in a vacuum state by an initial vacuum pump connected to the vacuum chamber; , Filling the inside of the mold from the insulating material container with the epoxy and sealing the mold by a cover; forming the inside of the mold in a high pressure state by a compressor connected to the cover; and heating the inside of the chamber by a heating unit installed in the chamber to cure the epoxy.

바람직하게는, 상기 주형 내부가 고압 상태로 형성되는 단계 이후에 상기 커버에 연결되는 후기 진공 펌프에 의해 상기 주형 내부가 진공 상태로 형성되는 단계를 더 포함할 수 있다.Preferably, the method may further include forming the inside of the mold in a vacuum state by a post vacuum pump connected to the cover after the step of forming the inside of the mold in a high pressure state.

바람직하게는, 상기 주형 내부의 고압 상태 및 진공 상태는 교대로 반복될 수 있다.Preferably, the high-pressure state and the vacuum state inside the mold can be alternately repeated.

바람직하게는, 상기 주형 내부의 압력은 고압 시 100 atm 이상일 수 있다.Preferably, the pressure inside the mold may be 100 atm or more at high pressure.

바람직하게는, 상기 주형 내부의 진공도는 5*10E-3 torr 이하일 수 있다.Preferably, the degree of vacuum inside the mold may be 5*10E-3 torr or less.

바람직하게는, 상기 진공 채임버 내부의 진공도는 5*10E-3 torr 이하일 수 있다.Preferably, the degree of vacuum inside the vacuum chamber may be 5*10E-3 torr or less.

바람직하게는, 상기 주형 내부의 고압 상태 및 진공 상태 시, 상기 주형에 설치되는 초음파 발생부에 의해 상기 에폭시에 초음파가 제공될 수 있다.Preferably, in a high-pressure state and a vacuum state inside the mold, ultrasonic waves may be provided to the epoxy by an ultrasonic wave generator installed in the mold.

바람직하게는, 상기 에폭시가 경화되는 단계 이전에 상기 커버 하부에 설치되는 자외선 발생부에 의해 상기 에폭시에 자외선이 공급될 수 있다.Preferably, UV may be supplied to the epoxy by a UV generator installed under the cover before the step of curing the epoxy.

본 발명의 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법은, 절연 재료 내의 기공 발생을 억제하여 크랙으로 인한 부품 손상을 방지할 수 있고 초고압으로 운용되는 경우에도 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.The vacuum and pressurization molding method for manufacturing an ultra-high-voltage and high-reliability power supply device of the present invention can prevent damage to parts due to cracks by suppressing the generation of pores in the insulating material, and has the effect of increasing durability even when operated at ultra-high voltage .

도 1은 종래 기술에 따른 엑스레이 장치용 부품 몰딩 시 절연재 내부의 기공을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 장치를 나타내는 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법의 공정 순서를 나타내는 도면,
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법을 나타내는 도면
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법 시 기공 이동을 나타내는 도면, 및
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 장치를 나타내는 도면이다.
1 is a view showing pores inside the insulating material when molding parts for an X-ray device according to the prior art;
2 is a view showing a vacuum and pressurized mold apparatus for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention;
3 is a view showing a process sequence of a vacuum and pressurized casting method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention;
4A to 4G are diagrams illustrating a vacuum and pressurization molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention;
5 is a view showing the movement of pores during the vacuum and pressurization molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention;
6 is a view showing a vacuum and pressurized mold apparatus for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. The present invention can make various changes and can have various embodiments, and the examples described below and shown in the drawings are not intended to limit the present invention to specific embodiments, but the spirit and technology of the present invention It is to be understood to include all modifications, equivalents and substitutions falling within the scope. It should also be understood that various equivalents and modifications may be substituted for them at the time of filing the present application.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 장치를 나타내는 도면이다.2 is a view showing a vacuum and pressurized mold apparatus for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생 장치용 부품 절연 몰딩 장치는 진공 채임버부, 가압 몰딩부, 절연재 공급부 및 히팅부(400)를 포함한다. The component insulation molding apparatus for an X-ray generator according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber, a pressure molding unit, an insulating material supply unit, and a heating unit 400 .

진공 채임버부는 진공 채임버(110) 및 진공 채임버(110) 내에 진공 분위기를 형성하기 위하여 진공 채임버(110)에 연결되는 초기 진공 펌프(120)를 포함한다. 또한 진공 채임버(110)의 일측에는 진공 채임버 통기부(130)가 연결되며, 진공 채임버 통기부(130) 및 초기 진공 펌프(120) 측에는 공기 흐름을 차단하기 위한 밸브가 각각 설치된다. The vacuum chamber unit includes a vacuum chamber 110 and an initial vacuum pump 120 connected to the vacuum chamber 110 to form a vacuum atmosphere in the vacuum chamber 110 . In addition, the vacuum chamber vent 130 is connected to one side of the vacuum chamber 110, and a valve for blocking the air flow is installed on the vacuum chamber vent 130 and the initial vacuum pump 120 side, respectively.

가압 몰딩부는 내부 공간을 가지는 주형(210), 주형(210)의 개폐를 위하여 주형(210)에 회전 가능하도록 결합되고 모터에 의해 구동되는 커버(220) 및 주형(210) 내에 고압 분위기를 형성하기 위하여 커버(220)에 연결되는 압축기(230)를 포함한다. 또한, 주형(210) 내에 진공 분위기를 형성하기 위하여 커버(220)에 연결되는 후기 진공 펌프(240) 및 주형(210)의 통기를 위하여 커버(220)에 연결되는 주형 통기부(250)를 포함한다. 또한, 커버(220)와 압축기(230), 후기 진공 펌프(240) 및 주형 통기부(250) 각각의 사이에는 공기 흐름 차단을 위한 밸브가 각각 설치된다.The pressure molding part is rotatably coupled to the mold 210 for opening and closing the mold 210 and the mold 210 having an internal space, and to form a high-pressure atmosphere in the cover 220 and the mold 210 driven by a motor. To include a compressor 230 connected to the cover 220. In addition, a post vacuum pump 240 connected to the cover 220 to form a vacuum atmosphere in the mold 210 and a mold vent 250 connected to the cover 220 for ventilation of the mold 210 are included. do. In addition, a valve for blocking air flow is installed between the cover 220 and the compressor 230 , the post vacuum pump 240 , and the mold vent 250 , respectively.

본 발명의 일실시예에 따르면, 주형(210)은 금속 재질로 이루어지는 금형(metallic mold)일 수 있으며, 커버(220) 또한 금속 재질로 이루어질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the mold 210 may be a metallic mold made of a metallic material, and the cover 220 may also be made of a metallic material.

주형(210) 상부의 진공 채임버(110) 내부 일측에는 절연재 공급부가 배치된다. 절연재 공급부는 절연 재료를 담기 위한 내부 공간을 가지는 졀연재 용기(310)를 포함하는데, 본 발명의 일실시예에 따르면, 졀연재 용기(310)는 로봇에 의해 구동될 수 있다. 절연 재료로는 절연 특성이 우수한 어떠한 재료도 사용될 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따르면 에폭시일 수 있다.An insulating material supply unit is disposed inside the vacuum chamber 110 above the mold 210 . The insulating material supply unit includes an insulating material container 310 having an inner space for containing the insulating material. According to an embodiment of the present invention, the insulating material supply unit 310 may be driven by a robot. Any material having excellent insulating properties may be used as the insulating material, and may be epoxy according to an embodiment of the present invention.

히팅부는 진공 채임버(110) 내부를 고온으로 가열하기 위한 것으로서, 진공 채임버(110) 내부 공간에 설치되거나 진공 채임버(110) 자체를 가열하도록 진공 채임버(110)에 결합될 수 있다.The heating unit is for heating the inside of the vacuum chamber 110 to a high temperature, and may be installed in the vacuum chamber 110 internal space or coupled to the vacuum chamber 110 to heat the vacuum chamber 110 itself.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법의 공정 순서를 나타내는 도면, 도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법을 나타내는 도면, 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법 시 기공 이동을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a process sequence of a vacuum and pressurized molding method for manufacturing an ultra-high voltage high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 4A to 4G are an ultra-high voltage high reliability power supply device according to an embodiment of the present invention. 5 is a view showing a vacuum and pressure molding method for manufacturing, and FIG. 5 is a diagram showing pore movement during a vacuum and pressure molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high-reliability power supply according to an embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, 졀연재 용기(310)에 에폭시가 투입되는데, 이때 투입된 에폭시 내부에는 미세한 기공이 다수 존재하는 상태이다. 또한, 본 공정에서는 몰딩 처리를 위한 부품(10)이 주형(210) 내부에 배치된다.Referring to FIG. 4A , the epoxy is put into the insulation container 310, and at this time, there are many fine pores inside the injected epoxy. In addition, in this process, the part 10 for the molding process is placed inside the mold 210 .

도 4b를 참조하면, 에폭시 투입 후 초기 진공 펌프(120)의 구동에 의해 진공 채임버(110) 내부의 기압이 하강하게 되고, 이에 따라 에폭시 내부의 기공이 에폭시 외부로 방출된다. Referring to FIG. 4B , the atmospheric pressure inside the vacuum chamber 110 is lowered by the operation of the initial vacuum pump 120 after the epoxy is injected, and thus the pores inside the epoxy are released to the outside of the epoxy.

즉, 에폭시를 진공 분위기에 노출시킴으로써 에폭시 내부에 존재하는 다수의 기공 중 상당수가 에폭시로부터 제거될 수 있다. 이때, 진공 채임버(110) 내부의 진공도는 5*10-2 torr 이하일 수 있으나, 효과적인 기공 제거를 위하여 5*10E-3 torr 이하인 것이 바람직하다.That is, by exposing the epoxy to a vacuum atmosphere, a significant number of pores present in the epoxy can be removed from the epoxy. At this time, the degree of vacuum inside the vacuum chamber 110 may be 5*10-2 torr or less, but is preferably 5*10E-3 torr or less for effective pore removal.

본 초기 진공 탈포 공정 단계에서 에폭시 내부의 기공 중 약 80%가 제거될 수 있다.In this initial vacuum defoaming process step, about 80% of the pores inside the epoxy can be removed.

도 4c를 참조하면, 진공 탈포 공정 후 로봇이 구동되어 금형 내부에 부품(10)을 감싸도록 에폭시가 충진된다. Referring to FIG. 4C , after the vacuum defoaming process, the robot is driven and the epoxy is filled to surround the part 10 in the mold.

도 4d를 참조하면, 에폭시 충진 후 주형(210)이 커버(220)에 의해 닫혀 밀폐되고, 진공 채임버(110)에 연결되는 진공 채임버 통기부(130)가 개방되어 진공 채임버(110) 내부가 대기압에 노출된다. 이 단계에서 진공 채임버(110) 내부의 진공을 반드시 해제하여야 하는 것은 아니나, 추후 원할하고 안전한 작업을 위하여 진공 채임버(110) 내부를 대기압에 노출시키는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4D , after the epoxy is filled, the mold 210 is closed and sealed by the cover 220 , and the vacuum chamber vent 130 connected to the vacuum chamber 110 is opened to open the vacuum chamber 110 . The interior is exposed to atmospheric pressure. Although it is not necessary to release the vacuum inside the vacuum chamber 110 in this step, it is preferable to expose the inside of the vacuum chamber 110 to atmospheric pressure for a smooth and safe operation later.

도 4e를 참조하면, 주형(210)의 밀폐 후 압축기(230)의 구동에 의해 주형(210) 내부의 압력이 상승된다. 주형(210) 내부의 압력이 상승하면 주형(210) 내부의 에폭시가 가압되는데, 에폭시가 가압됨에 따라 에폭시 내부의 압력이 높아지고 에폭시 내부에 존재하는 기공들에도 압력이 가해진다.Referring to FIG. 4E , after the mold 210 is closed, the pressure inside the mold 210 is increased by driving the compressor 230 . When the pressure inside the mold 210 rises, the epoxy inside the mold 210 is pressurized. As the epoxy is pressurized, the pressure inside the epoxy increases and pressure is also applied to the pores existing inside the epoxy.

본 가압 탈포 공정에서는 기공들이 가압됨에 따라 이들이 에폭시 외부로 밀려 방출된다. 또한, 도 5를 참조하면, 부품(10) 표면에 접하여 존재하는 기공들, 특히 부품 표면의 오목부에 위치하는 기공들이 부품 표면을 타고 밀려 이동될 수 있다. 이와 같이 이동되는 기공들은 부품 표면으로부터 분리되고 에폭시로부터 배출될 수 있다. In this pressurized defoaming process, as the pores are pressurized, they are pushed out of the epoxy and released. Also, referring to FIG. 5 , pores existing in contact with the surface of the component 10 , particularly pores located in concave portions of the surface of the component, may be pushed and moved along the surface of the component. These moving pores can separate from the part surface and drain from the epoxy.

이때, 주형(210) 내부의 압력은 1 atm 초과일 수 있으나, 효과적인 기공 제거를 위하여 100 atm 이상인 것이 바람직하다.At this time, the pressure inside the mold 210 may be greater than 1 atm, but is preferably 100 atm or more for effective pore removal.

도 4f를 참조하면, 압축기(230)가 정지된 상태에서 후기 진공 펌프(240)가 작동되면, 주형(210) 내부의 압력이 하강하여 진공 상태가 된다. 에폭시가 진공 분위기에 노출됨에 따라 에폭시 내부에 존재하는 기공 중 일부가 에폭시로부터 제거될 수 있다. Referring to FIG. 4F , when the late vacuum pump 240 is operated in a state where the compressor 230 is stopped, the pressure inside the mold 210 is lowered to become a vacuum state. As the epoxy is exposed to a vacuum atmosphere, some of the pores present inside the epoxy may be removed from the epoxy.

본 후기 진공 탈포 공정에서 주형(210) 내부의 진공도는 5*10-2 torr 이하일 수 있으나, 효과적인 기공 제거를 위하여 5*10E-3 torr 이하인 것이 바람직하다.In this post-vacuum degassing process, the degree of vacuum inside the mold 210 may be 5*10-2 torr or less, but is preferably 5*10E-3 torr or less for effective pore removal.

도 4g를 참조하면, 후기 진공 탈포 공정 후 커버(220)에 연결되는 주형 통기부(250)가 개방되어 대기압에 노출되고, 히팅부의 작동에 의해 주형(210)의 내부 온도가 상승됨으로써 에폭시가 경화 처리된다. Referring to FIG. 4G, after the vacuum defoaming process, the mold ventilation part 250 connected to the cover 220 is opened and exposed to atmospheric pressure, and the internal temperature of the mold 210 is increased by the operation of the heating part, whereby the epoxy is cured processed

한편, 본 발명에서는 초기 진공 탈포 공정을 통하여 에폭시 내부의 기공 약 80%의 제거가 가능하고, 가압 탈포 공정 및 후기 진공 탈포 공정을 통하여 약 95%까지 제거가 가능하다. 하지만, 가압 탈포 공정 및 후기 진공 탈포 공정의 교차 반복을 통하여 기공 제거율을 높일 수 있다. On the other hand, in the present invention, it is possible to remove about 80% of the pores inside the epoxy through the initial vacuum defoaming process, and it is possible to remove up to about 95% of the pores through the pressure defoaming process and the late vacuum defoaming process. However, it is possible to increase the pore removal rate through the cross-repetition of the pressure degassing process and the post-vacuum degassing process.

하기 표 1은 탈포 공정을 통한 에폭시 내부의 기공 제거율을 나타내는 표로서, 이를 참조하면 탈포 공정 반복을 통하여 미세 기공을 포함하는 기공의 제거율을 약 99.5%까지 달성할 수 있다.Table 1 below is a table showing the pore removal rate inside the epoxy through the defoaming process. Referring to this, the removal rate of pores including micropores can be achieved up to about 99.5% by repeating the defoaming process.

횟수number 공정process 기공 제거율(%)Pore Removal Rate (%) 1One 초기 진공 탈포Initial vacuum defoaming 8080 1One 가압 탈포 및 후기 진공 탈포Pressure defoaming and late vacuum defoaming 9595 22 가압 탈포 및 후기 진공 탈포Pressure defoaming and late vacuum defoaming 9898 33 가압 탈포 및 후기 진공 탈포Pressure defoaming and late vacuum defoaming 99.599.5

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 장치를 나타내는 도면으로서, 초음파 발생부(500) 및 자외선 발생부(600)를 더 포함한다.6 is a view showing a vacuum and pressurized mold apparatus for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply device according to another embodiment of the present invention, and further includes an ultrasonic wave generator 500 and an ultraviolet light generator 600 .

초음파 발생부(500)는 주형(210)에 초음파를 공급할 수 있도록 주형(210)의 하부에 설치된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 주형(210)의 가압 탈포 공정 및 후기 진공 탈포 공정 시 초음파 발생부(500)로부터 에폭시에 제공되는 초음파에 의해 미세 기공이 부품으로부터 더욱 효과적으로 분리되어 에폭시 외부로 배출될 수 있다. 즉, 에폭시와 기공에 진동을 가하여 기공의 이동을 촉진함으로써 탈포 효과를 월등히 향상시킬 수 있다.The ultrasonic generator 500 is installed in the lower portion of the mold 210 to supply ultrasonic waves to the mold 210 . According to another embodiment of the present invention, the micropores are more effectively separated from the parts by the ultrasonic waves provided to the epoxy from the ultrasonic generator 500 during the pressure degassing process and the post vacuum degassing process of the mold 210 and discharged to the outside of the epoxy can be That is, by applying vibration to the epoxy and the pores to promote the movement of the pores, the defoaming effect can be significantly improved.

자외선 발생부(600)는 주형(210) 내부의 에폭시에 자외선을 제공할 수 있도록 커버(220)의 하부 내측에 설치된다. 에폭시의 탈포 공정 후 자외선 발생부(600)가 가동되어 에폭시에 자외선이 제공됨으로써 에폭시 상부 표면이 우선적으로 경화될 수 있으며, 이에 따라 에폭시 경화 완료 전에 대기로부터 에폭시 내부로의 기공 침투가 미연에 방지될 수 있다. 이는 적으나마 발생할 가능성이 있는 에폭시로의 기공 침투를 원천적으로 확실하게 방지하여 제품의 품질을 보장하기 위한 것이다. The UV generator 600 is installed inside the lower portion of the cover 220 to provide UV light to the epoxy inside the mold 210 . After the degassing process of the epoxy, the UV generator 600 is operated to provide UV light to the epoxy so that the upper surface of the epoxy can be cured preferentially, and thus, the penetration of pores from the atmosphere into the inside of the epoxy before the epoxy curing is completed is prevented in advance. can This is to ensure the quality of the product by preventing the penetration of pores into the epoxy, which may occur even though it is small.

종래의 엑스선 발생 장치의 부품을 위한 절연 몰딩은 주형 내에 처리를 위한 부품들을 배치하고, 주형 내에 절연 물질을 충진하여 경화시킴으로써 이루어질 수 있는데, 이 경우 절연 물질 내에 형성되는 미세한 기공의 존재로 인하여 부품의 손상이 발생된다. 즉, 장치의 운용 시에 부품 및 절연 물질이 고온에 노출되므로 기공의 열팽창에 의하여 부품에 크랙이 발생하며, 반복적인 팽창 및 수축에 의하여 절연 파괴가 심화되는 문제가 있다. Insulation molding for a component of a conventional X-ray generating device can be achieved by placing the components for processing in a mold, and filling and curing an insulating material in the mold. In this case, due to the presence of fine pores formed in the insulating material, the damage occurs. That is, since parts and insulating materials are exposed to high temperatures during operation of the device, cracks occur in parts due to thermal expansion of pores, and there is a problem in that insulation breakdown is deepened by repeated expansion and contraction.

특히, 부품의 표면 주위에 형성되는 미세 기공으로 인하여 부품 파괴가 보다 심각하게 야기되며, 초고압으로 운용되는 장치일수록 이와 같은 현상이 두드러진다.In particular, the destruction of parts is caused more seriously due to the micropores formed around the surface of the parts, and the more the device is operated at an ultra-high pressure, the more pronounced this phenomenon is.

또한, 부품의 표면은 편평한 것으로 생각될 수 있으나 이를 고배율로 확대하는 경우 실제로 편평하지 않으며 굴곡지고 오목한 부분이 존재한다. 도 1을 참조하면, 이와 같이 오목한 부분(오목부)에 미세 기공이 많이 모이는 특성이 있으며, 이러한 곳의 미세 기공은 부품으로부터의 분리가 매우 어렵고 부품 파괴에 더욱 악영향을 미친다.In addition, the surface of the part may be considered to be flat, but when it is enlarged at a high magnification, it is not actually flat, and there are curved and concave portions. Referring to FIG. 1 , there is a characteristic that a large number of micropores are gathered in such a concave portion (concave portion), and the micropores in such a place are very difficult to separate from the component and have a further adverse effect on the destruction of the component.

하지만, 본 발명에 따르면, 부품 절연 몰딩 과정에서 절연재 내의 기공을 제거하여 기공으로 인한 부품 손상을 방지할 수 있고 초고압으로 운용되는 경우에도 내구성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.However, according to the present invention, it is possible to prevent damage to parts due to pores by removing pores in the insulating material during the component insulation molding process, and to remarkably improve durability even when operated at ultra-high voltage.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, although the present invention has been described with reference to limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the following by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

Claims (8)

진공 채임버 내부에 설치되는 절연재 용기에 에폭시가 투입되고, 상기 진공 채임버 내부에 설치되는 주형 내부에 부품이 배치되는 단계;
상기 진공 채임버에 연결되는 초기 진공 펌프에 의해 상기 진공 채임버 내부가 진공 상태로 형성되는 단계;
상기 절연재 용기로부터 상기 주형의 내부에 상기 에폭시가 충진되고 상기 주형이 커버에 의해 밀폐되는 단계;
상기 커버에 연결되는 압축기에 의해 상기 주형 내부가 고압 상태로 형성되는 단계;
상기 커버에 연결되는 후기 진공 펌프에 의해 상기 주형 내부가 진공 상태로 형성되는 단계; 및
상기 채임버에 설치된 히팅부에 의해 상기 채임버 내부가 가열되어 상기 에폭시가 경화되는 단계
를 포함하고,
상기 주형 내부의 고압 상태 및 진공 상태는 교대로 반복될 수 있으며,
상기 주형 내부의 고압 상태 및 진공 상태 시, 상기 주형에 설치되는 초음파 발생부에 의해 상기 에폭시에 초음파가 제공될 수 있되, 상기 초음파에 의해 에폭시와 기공에 진동이 가해져 기공의 이동을 촉진함으로써 미세 기공이 부품으로부터 원할히 분리될 수 있고,
상기 에폭시가 경화되는 단계 이전에 상기 커버 하부에 설치되는 자외선 발생부에 의해 상기 에폭시에 자외선이 공급되어 에폭시 상부 표면이 우선적으로 경화될 수 있으며, 이에 따라 에폭시 경화 완료 전에 대기로부터 에폭시 내부로의 기공 침투가 미연에 방지될 수 있는 것을 특징으로 하는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법.
Putting the epoxy into an insulating material container installed inside the vacuum chamber, and placing the parts inside the mold installed inside the vacuum chamber;
forming the inside of the vacuum chamber in a vacuum state by an initial vacuum pump connected to the vacuum chamber;
filling the inside of the mold from the insulating material container with the epoxy and sealing the mold with a cover;
forming the inside of the mold in a high pressure state by a compressor connected to the cover;
forming the inside of the mold in a vacuum state by a post vacuum pump connected to the cover; and
Step of heating the inside of the chamber by the heating unit installed in the chamber to cure the epoxy
including,
The high-pressure state and the vacuum state inside the mold can be alternately repeated,
In a high-pressure state and a vacuum state inside the mold, ultrasonic waves may be provided to the epoxy by an ultrasonic wave generator installed in the mold, and vibrations are applied to the epoxy and pores by the ultrasonic waves to promote movement of pores, thereby promoting micropores can be smoothly separated from this part,
Before the step of curing the epoxy, ultraviolet rays are supplied to the epoxy by the ultraviolet generator installed under the cover, so that the upper surface of the epoxy can be preferentially cured. A vacuum and pressurized molding method for manufacturing an ultra-high voltage, high-reliability power supply, characterized in that penetration can be prevented in advance.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 주형 내부의 고압 상태 및 진공 상태는 교대로 반복될 수 있는 것을 특징으로 하는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법.
According to claim 1,
A vacuum and pressurized molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high-reliability power supply, characterized in that the high-pressure state and the vacuum state inside the mold can be alternately repeated.
제1항에 있어서,
상기 주형 내부의 압력은 고압 시 100 atm 이상일 수 있는 것을 특징으로 하는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법.
According to claim 1,
A vacuum and pressurized molding method for manufacturing an ultra-high-pressure and high-reliability power supply, characterized in that the pressure inside the mold may be 100 atm or more at high pressure.
제1항에 있어서,
상기 주형 내부의 진공도는 5*10E-3 torr 이하일 수 있는 것을 특징으로 하는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법.
According to claim 1,
A vacuum and pressurized molding method for manufacturing an ultra-high voltage and reliable power supply, characterized in that the vacuum degree inside the mold may be 5 * 10E-3 torr or less.
제1항에 있어서,
상기 진공 채임버 내부의 진공도는 5*10E-3 torr 이하일 수 있는 것을 특징으로 하는 초고압 고신뢰성 전원장치 제조를 위한 진공 및 가압 주형 공법.
According to claim 1,
Vacuum and pressurization molding method for manufacturing an ultra-high voltage and high reliability power supply, characterized in that the vacuum degree inside the vacuum chamber may be 5 * 10E-3 torr or less.
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