KR102298916B1 - 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법 - Google Patents

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KR102298916B1
KR102298916B1 KR1020200051340A KR20200051340A KR102298916B1 KR 102298916 B1 KR102298916 B1 KR 102298916B1 KR 1020200051340 A KR1020200051340 A KR 1020200051340A KR 20200051340 A KR20200051340 A KR 20200051340A KR 102298916 B1 KR102298916 B1 KR 102298916B1
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안중환
김화영
윤대중
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부산대학교 산학협력단
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    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
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Abstract

본 발명의 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 지지유닛, 상기 지지유닛에 고정되는 고정지그, 상기 고정지그에 수용되고 외력에 비례하여 변형될 수 있는 막 형상의 다이어프램이 구비되는 압력센서, 상기 압력센서 내 다이어프램의 변위를 측정하는 변위측정부, 탄성부재가 상기 압력센서 내에 삽입되어 상기 다이어프램에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁, 인가된 전압에 비례하여 상기 압력센서에 가해지는 외력을 생성하는 구동부, 상기 외력의 크기를 측정하는 외력측정부 및 상기 변위측정부, 구동부, 및 외력측정부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 포함한다.
또한, 본 발명은 상기 변위측정부로부터 측정된 변위와 상기 외력측정부로부터 측정된 외력의 크기가 분석되어 상기 압력센서의 성능이 판단되고, 이에 따라 초고압 압력센서 전용으로 정밀한 성능분석이 가능한 이점이 있다.

Description

초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법 {Ultra high pressure sensor test device and test method}
본 발명은 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 초고압 압력센서 전용으로 정밀한 성능분석이 가능한 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법에 관한 것이다.
차세대 친환경 운송수단으로 각광받고 있는 수소연료전지차는 고압으로 수소가스를 충전 및 방전하기 때문에 연료통 부근에 초고압에서도 정밀한 측정이 가능한 압력센서가 설치되어야 한다.
수소연료전지차의 압력센서는 압력측정소자로서 다이어프램이 사용될 수 있는데, 다이어프램은 압력변위 또는 힘의 변환효율이 높지 않으나 다른 소자에 비해 단순한 형상을 갖고 있어 압력측정소자로 많이 활용되고 있다.
다만, 일반적으로 사용되는 압력센서 성능시험 장치는 압력챔버를 이용한 시험 장치에 의존하고 있으나, 압력챔버는 주펌프와 중앙펌프로 이루어져 있어 공간을 많이 차지하고, 습기가 생기는 경우도 있어 유지보수에 큰 어려움이 있다.
또한, 압력센서의 동적특성을 시험할 경우 압력센서 내 다이어프램은 두께가 0.1mm~1.0mm이기 때문에 시험을 위한 다이어프램 변형에 수십 뉴턴(N)이면 충분하나, 기존의 재료시험기나 압력시험장치는 입력변위, 하중의 가속도, 주파수가 비교적 커서 압력센서의 정밀한 성능을 시험하는데 어려움이 있다.
관련문헌 1은 순간압력센서 시험장치 및 시험방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 순간압력상승을 감지하는 순간압력센서의 정상동작을 확인하기 위한 순간압력센서 시험장치 및 시험방법에 관한 것이다.
다만, 상기 관련문헌 1은 상기 순간압력센서의 시험을 위한 압축공기 주입 시 순간압력센서의 순간압력 상승경보가 발생하지 않으면 이상이 없는 것으로 판단하여 정상동작을 확인하는 것만이 가능함으로, 하나의 압력센서의 성능을 정밀하게 측정할 수 없다는 단점이 있다.
관련문헌 2는 진동 및 속도센서 시험장치 및 그 시험방법에 관한 것으로, 발전소 터빈의 정밀한 속도제어를 위해 설치되는 진동 및 속도 감지센서의 오작동으로 인한 피해를 미연에 방지할 수 있도록 시험하는 장치 및 그 시험방법에 관한 것이다.
상기 관련문헌 2는 진동센서 및 감지센서의 특성에 따라 펄스신호를 받고 기준신호와 비교하여 정상유무를 판단하는 시험이 가능하나, 압력센서의 특성인 압력측정소자를 이용하여 성능을 시험할 수 없다. 이에 따라, 초고압 압력센서의 성능을 정밀하게 시험할 수 있는 전용 시험장치 및 시험방법이 절실한 상황이다.
KR 10-2079864 KR 10-0944223
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 하나의 압력센서를 시험목적에 따라 정밀하게 측정할 수 있도록 하기 위해서 레이저 센서 및 갭(gap) 센서 중 적어도 하나를 포함하고 압력센서 내 다이어프램의 변위를 측정하는 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법을 얻고자 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 목적은 인가되는 전압에 비례하여 생성되는 외력에 대한 신뢰성을 얻기 위해서 로드셀을 이용하여 압력센서에 가해지는 외력의 크기를 추가적으로 측정하는 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 압력센서의 특성을 이용하여 압력센서 전용으로 성능을 시험할 수 있도록 압력센서를 고정하는 고정지그 및 상기 탄성부재가 압력센서 내에 삽입되어 다이어프램에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁을 포함하는 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기 압력센서의 성능을 보다 정확하게 측정하기 위해서 성능시험이 이루어진 공간의 온도에 따라 변형된 다이어프램의 변위를 보정하는 식을 포함하는 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기 압력센서의 성능시험 후 성능판단이 용이하도록 상기 다이어프램의 변위가 기준변위범위 내에 포함되면 “수용”, 포함되지 않으면 “수용불가”라는 성능시험결과가 도출되는 초고압 압력센서 시험장치 및 시험방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치는 받침대; 상기 받침대의 상측에 수직으로 설치되는 지지대; 및 다수개의 천공된 고정홈이 구비되고 상기 지지대 일측면에서 이동 가능하도록 설치되는 고정부;를 포함하는 지지유닛; 고정부재를 이용하여 상기 고정부 일측면에 고정될 수 있도록 상기 고정홈과 동일한 크기로 천공된 체결홈이 구비되는 고정지그; 상기 고정지그에 수용되고, 외력에 비례하여 변형될 수 있는 막 형상의 다이어프램이 구비되는 압력센서; 상기 압력센서 내 다이어프램의 변위를 측정하는 변위측정부; 말단에 탄성부재가 구비되고, 상기 탄성부재가 상기 압력센서 내에 삽입되어 다이어프램에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁; 상부에 상기 구동팁이 체결되고, 인가된 전압에 비례하여 상기 압력센서에 가해지는 외력을 생성하는 구동부; 상기 구동부 하단에 체결되고, 로드셀을 이용하여 상기 외력의 크기를 측정하는 외력측정부; 및 상기 변위측정부, 구동부 및 외력측정부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;를 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치에 있어서, 상기 변위측정부는 레이저센서 및 갭(gap)센서 중 적어도 하나를 포함하고, 교차 사용이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치에 있어서, 상기 압력센서 내 다이어프램의 변위(D)는, 성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00001
)와 상기 구동부로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(
Figure 112020043698578-pat00002
)가 포함되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치에 있어서, 상기 구동부는, 성능시험 전 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00003
)을 생성하고, 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00004
)을 받은 구동팁이 최소삽입위치에 위치하면 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00005
)을 생성하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법은 구동부에 의하여, 인가된 전압에 비례하여 압력센서에 가해지는 외력이 생성되는 외력 생성단계; 외력측정부에 의하여, 상기 압력센서에 가해진 외력의 크기가 측정되는 외력 측정단계; 변위측정부에 의하여, 상기 외력을 받아 상기 압력센서 내 다이어프램이 변형되면 변위가 측정되는 변위측정단계; 및 제어부에 의해서, 상기 외력측정단계로부터 측정된 외력과 변위측정단계로부터 측정된 변위가 분석되고, 상기 압력센서의 성능이 판단되는 성능분석단계;를 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법에 있어서, 상기 외력생성단계는, 하기 [수학식 1]로 외력(F)이 생성되는 것을 특징으로 한다.
[수학식 1]
Figure 112020043698578-pat00006
여기서, F는 외력이고, V는 인가된 전압이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법에 있어서, 상기 외력생성단계는, 상기 [수학식 1]로 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00007
)이 생성되는 예비외력생성단계; 및 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00008
)을 받은 구동팁이 최소삽입위치에 위치되면 상기 [수학식 1]로 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00009
)이 생성되는 시험요구외력 생성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법에 있어서, 상기 변위측정단계는, 성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00010
)와 상기 구동부로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(
Figure 112020043698578-pat00011
)가 모두 측정되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법에 있어서, 상기 변위측정단계는, 상기 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00012
)가 상쇄되도록 하기 [수학식 2]로 상기 변위측정단계로부터 측정된 변위(D)가 보정되어 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00013
)가 생성되는 보정변위생성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
[수학식 2]
Figure 112020043698578-pat00014
여기서,
Figure 112020043698578-pat00015
는 보정변위, F는 상기 외력생성단계로부터 생성된 외력, T는 성능시험이 이루어진 공간의 온도이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법에 있어서, 상기 성능분석단계는, 상기 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00016
)가 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되면 ‘수용’이라고 판단되고, 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되지 않으면 ‘수용불가’라고 판단되는 것을 특징으로 한다.
이상과 같이 본 발명에 의하면 레이저 센서 및 갭(gap) 센서 중 적어도 하나를 포함하고 압력센서 내 다이어프램의 변위를 측정하는 변위측정부 및 로드셀을 이용하여 압력센서에 가해지는 외력의 크기를 측정하는 외력측정부를 구비함으로써, 시험목적에 따른 시험장치, 보다 경량화 및 소형화된 시험장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 압력센서를 고정하는 고정지그 및 상기 탄성부재가 압력센서 내에 삽입되어 다이어프램에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁을 구비함으로써, 압력센서 전용으로 성능시험이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 성능시험이 이루어진 공간의 온도에 따라 변형된 다이어프램의 변위를 보정하고 상기 다이어프램의 변위가 기준변위범위 내에 포함되면 “수용”, 포함되지 않으면 “수용불가”라는 성능시험결과가 도출되도록 구비됨으로써, 압력센서의 성능이 보다 정확하게 측정될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초고압 압력센서 시험장치 구성도이다.
도 2는 본 발명의 이 실시예에 따른 초고압 압력센서 시험장치 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 압력센서 및 구동부의 내부를 표시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법 흐름도이다.
도 5는 본 발명에 따른 외력생성단계의 세부흐름도이다.
도 6은 본 발명에 따른 성능분석단계의 세부흐름도이다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초고압 압력센서 시험장치 구성도이다. 도 2는 본 발명의 이실시예에 따른 초고압 압력센서 시험장치 구성도이다.
도 1과 도 2를 보면, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치는 받침대(110), 상기 받침대(110)의 상측에 수직으로 설치되는 지지대(120) 및 상기 지지대(120) 일측면에서 이동 가능하도록 설치되는 고정부(130)를 포함하는 지지유닛(100), 상기 고정부(130) 일측면에 고정될 수 있도록 하는 고정지그(200), 외력(F)에 비례하여 변형될 수 있는 막 형상의 다이어프램(310)이 구비되는 압력센서(300), 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정하는 변위측정부(400), 탄성부재(510)가 상기 압력센서(300) 내에 삽입되어 다이어프램(310)에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁(500), 상기 압력센서(300)에 가해지는 외력(F)을 생성하는 구동부(600), 상기 외력(F)의 크기를 측정하는 외력측정부(700) 및 상기 압력센서(300), 구동부(600), 외력측정부(700) 및 변위측정부(400) 중 적어도 하나를 제어하는 제어부(800)를 포함한다.
보다 구체적으로 설명해보면, 상기 지지유닛(100)은 받침대(110), 상기 받침대(110)의 상측에 수직으로 설치되는 지지대(120) 및 다수개의 천공된 고정홈(131)이 구비되고 상기 지지대(120) 일측면에서 이동 가능하도록 설치되는 고정부(130)를 포함한다.
상기 지지대(120)는 가장 바람직하게는 상기 받침대(110)의 중앙에 설치될 수 있다. 이는 상기 지지대(120)를 기준으로 상기 지지대(120) 앞면에는 상기 압력센서(300), 변위측정부(400), 구동팁(500), 구동부(600) 및 외력측정부(700)가 일렬로 설치될 수 있도록 하고, 상기 지지대(120) 후면에는 상기 제어부(800) 및 상기 변위측정부(400), 구동부(600), 외력측정부(700)의 전원을 인가하기 위한 전원부가 설치될 수 있도록 하기 위함이다.
또한, 상기 고정부(130)는 가장 바람직하게 상기 지지대(120)의 일측면 상단에서 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 그리고 상기 고정부(130)는 일정 두께를 갖고 있으므로, 상기 고정부(130)에 천공된 상기 고정홈(131) 역시 일정 깊이를 갖는다. 그리고 상기 고정홈(131)은 상기 고정부(130)의 일측면에 규칙/불규칙하게 다수 개가 구비될 수 있다.
한편, 상기 고정홈(131) 내부에는 고정부재의 종류에 따라 스크류 등이 포함될 수 있다. 예컨대, 상기 고정부재가 수나사라면 상기 고정홈(131) 내부는 수나사와 체결될 수 있도록 스크류가 포함될 수 있는 것이다.
한편, 상기 지지유닛(100)은 상기 구동부(600)의 하단을 고정하는 구동부 고정대를 더 포함할 수 있다. 상기 구동부 고정대는 상기 구동부(600)에 전압이 인가되어 왕복 운동할 시 상기 구동부(600)가 움직이지 않도록 하고 상기 다이어프램(310)에 온전히 외력(F)이 전달되어 변위(D)의 오차가 발생하는 것을 방지할 수 있도록 하는 효과가 있다.
한편, 상기 지지유닛(100)은 원기둥 형상으로 상기 고정부(130) 일측에 회동 가능하도록 연결되고 상기 고정부(130)의 이동정도를 조절하는 조절레버(140)를 더 포함한다. 이는 상기 변위측정부(400)의 측정범위 내에 상기 다이어프램(310) 표면이 위치할 수 있도록 상기 고정부(130)를 정밀하게 조절하기 위함이다.
한편, 도 1과 같이 상기 변위측정부(400)가 레이저센서일 경우 상기 지지유닛(100)은 상기 레이저센서를 지면과 수직방향인 상하방향으로 정밀하게 조절할 수 있는 다이얼을 구비하고, 상기 레이저 센서를 지지하는 구동실린더(150)를 더 포함할 수 있다. 상기 구동실린더(150)는 가장 바람직하게는 1축 구동 실린더일 수 있고, 레이저센서의 지지 및 레이저센서 측정범위 내에 상기 다이어프램(310) 표면이 위치될 수 있도록 정밀하게 조절하기 위해 구비될 수 있다.
다만, 도 2와 같이 상기 변위측정부(400)가 갭(gap)센서일 경우 상기 지지유닛(100)은 상기 구동실린더(150)를 포함하지 않을 수 있고, 상기 조절레버(140)만을 이용하여 상기 변위측정부(400)의 측정범위 내에 상기 다이어프램(310) 표면이 위치할 수 있도록 상기 고정부(130)를 정밀하게 조절할 수 있다.
다음으로, 상기 고정지그(200)는 상기 고정부재를 이용하여 상기 고정부(130) 일측면에 고정될 수 있도록 상기 고정홈(131)과 동일한 크기로 천공된 체결홈(210)이 구비된다.
즉, 상기 고정지그(200)를 상기 고정부(130)에 고정하기 위해서 상기 체결홈(210)과 상기 고정홈(131)이 겹쳐져 위치되고, 상기 고정부재를 이용하상기 고정지그(200)는 상기 고정부(130)에 체결되는 것이다.
한편, 상기 체결홈(210) 내부에는 상기 고정부(130) 내부와 마찬가지로 고정부재의 종류에 따라 스크류 등이 포함될 수 있다. 예컨대, 상기 고정부재가 수나사라면 상기 체결홈(210) 내부는 수나사와 체결될 수 있도록 스크류가 포함될 수 있는 것이다.
한편, 상기 고정지그(200)는 상기 구동부(600)에 의해서 상기 압력센서(300) 에 압력이 가해질 경우 상기 압력센서(300)가 움직이지 않도록 상기 압력센서(300)를 수용하는 수용홈(220)을 더 포함한다.
그리고 상기 고정지그(200)는 상기 압력센서(300)가 상기 수용홈(220)에 수용되었을 경우 상기 받침대(110)와 수평이 되도록 함으로써, 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정하는데 있어서 오차가 발생하지 않도록 한다.
다음으로, 상기 압력센서(300)는 상기 고정지그(200)에 수용되고, 외력(F)에 비례하여 변형될 수 있는 막 형상의 상기 다이어프램(310)이 구비된다.
일반적으로 압력센서는 다이어프램의 변위를 디지털 신호로 변환하여 수치로 도출하거나 기준압력 초과유무를 판단하므로, 본 발명은 상기 압력센서의 압력측정소자인 다이어프램 특성을 적극 이용하여 압력센서의 성능을 시험하고자 하는 것이다.
또한, 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)의 변위(D)는, 성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00017
)와 상기 구동부(600)로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(
Figure 112020043698578-pat00018
)가 포함될 수 있다.
일반적으로 상기 다이어프램의 특성상 -40도 이하의 저온과 100도 이상의 고온에서는 다이어프램에 자체 변형이 생겨 온도에 의한 오차가 발생하여 정밀한 측정이 불가능할 수 있다. 이러한 문제점을 개선하기 위하여 반드시 온도보상이 필요하다.
다음으로, 상기 변위측정부(400)는 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정한다. 앞서 언급했듯이 상기 변위측정부(400)는 레이저센서 및 갭(gap)센서 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 시험 목적에 따라 교차적으로 사용이 가능하다.
상기 변위측정부(400)는 센서의 종류에 따라 설치 위치가 상이할 수 있으나, 상기 압력센서(300)의 상단에 위치하여 상기 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정하는 것은 동일하다.
한편, 상기 변위측정부(400)가 레이저센서일 경우 상기 레이저센서는 적색 반도체 레이저 광원일 수 있다. 그리고 상기 레이저센서는 측정범위 내에 상기 다이어프램(310) 표면이 위치할 수 있도록 상기 다이어프램(310)으로부터 일정거리 이격되어 설치될 수 있다.
가장 바람직하게는 상기 조절레버(140) 및 상기 구동실린더(150)를 이용하여 이격거리를 조절할 수 있다.
한편, 상기 레이저센서는 광원이 상기 다이어프램(310)으로부터 다방향으로 반사되는 확산반사 또는 광원이 단방향으로 반사되는 정반사 중 하나로 반사되도록 설치될 수 있다.
상기 레이저센서의 상기 광원이 확산반사 되도록 설치된다는 것은 상기 레이저센서의 본체가 상기 받침대(110) 및 상기 압력센서(300)와 수평하게 위치되어 고정되는 것이다.
그리고 상기 레이저센서의 상기 광원이 정반사 되도록 설치된다는 것은 상기 레이저센서의 본체가 상기 받침대(110) 및 상기 압력센서(300)를 기준으로 일정 기울기를 갖고 비스듬히 위치되어 고정되는 것이다.
보다 구체적으로, 그리고 상기 레이저센서는 상기 광원이 확산반사 되도록 설치될 경우 상기 다이어프램(310)으로부터 23mm 내지 30mm 이격된 거리에서 상기 받침대(110)와 수평하게 설치되어 상기 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정한다. 이때, 변위(D)의 측정범위는 ±5mm 이내일 수 있다.
그리고 상기 광원이 정반사 되도록 설치될 경우 상기 다이어프램(310)으로부터 23mm 내지 30mm 이격된 거리에서 상기 받침대(110)로부터 일정각도로 기울어져 설치되어 상기 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정한다. 이때, 변위(D)의 측정범위는 ±4.5mm 이내일 수 있다.
다음으로, 상기 변위측정부(400)가 갭(gap)센서일 경우 상기 갭(gap)센서는 상기 압력센서(300)의 상단에 체결될 수 있다. 그리고 상기 다이어프램(310)으로부터 0.5mm 내지 1.5mm 이격된 거리에서 상기 다이어프램(310)의 변위(D)를 측정할 수 있도록 한다.
상기 갭(gap)센서는 -20도 내지 180도에서 사용이 가능하므로 수소자동차용 성능테스트에 적합한 센서 중 하나이다.
다음으로, 상기 구동팁(500)은 말단에 탄성부재(510)가 구비되고, 상기 탄성부재(510)가 상기 압력센서(300) 내에 삽입되어 상기 다이어프램(310)에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성된다.
도 3은 본 발명의 압력센서(300) 및 구동부(600)의 내부를 표시한 도면이다. 도 3을 보면, 상기 구동팁(500)은 상기 구동부(600) 상단에 체결될 수 있다. 그리고 상기 구동팁(500)은 길고 가는 형상으로 형성되고, 말단에는 상기 탄성부재(510)가 구비되어 있다.
길고 가는 형상인 이유는 상기 탄성부재(510)가 상기 압력센서(300) 내에 깊게 삽입되어 상기 다이어프램(310)에 맞닿을 수 있도록 하기 위함이다.
상기 탄성부재(510)를 구비하는 이유는 상기 다이어프램(310)이 막이기 때문에 반복시험을 하게 될 경우 찢어지는 등의 손상을 입는 것을 방지하고, 상기 다이어프램(310)의 표면에 압력이 고르게 퍼질 수 있도록 하기 위함이다.
다음으로, 상기 구동부(600)는 상부에 상기 구동팁(500)이 체결되고, 인가된 전압에 비례하여 상기 압력센서(300)에 가해지는 외력(F)을 생성한다.
가장 바람직하게, 상기 구동부(600)는 압전 액추에이터(Piezoelectric Actuator, PZT)일 수 있다. 일반적으로 압전 액추에이터는 압전재료를 구동력원으로 하여 기계적인 운동을 발생시키는 소자로, 압전재료의 인가된 전계에 의해 신축을 확대 또는 축소하는 방법으로 힘을 전달하는 장치이다.
또한, 상기 구동부(600)는 압전 액추에이터(Piezoelectric Actuator, PZT)의 빠른 응답성을 이용한 반복시험으로 상기 압력센서(300)의 수명시험이 가능할 수 있다.
즉, 상기 구동부(600)에 전원을 입력하면 인가된 전압(V)에 비례한 힘을 갖고 왕복운동하고 상기 외력(F)이 상기 다이어프램(310)에 전달되는 것이다.
또한, 상기 구동부(600)는 성능시험 전 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00019
)을 생성하고, 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00020
)을 받은 상기 구동팁(500)이 최소삽입위치에 위치하면 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00021
)을 생성한다. 즉, 상기 외력(F)에는 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00022
)과 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00023
)이 포함될 수 있다.
가장 바람직하게, 상기 구동부(600)는 약 0.05N 내지 0.15N 범위의 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00024
)을 생성하고, 상기 구동팁(500)은 상기 다이어프램(310)에 맞닿아 약 0.05N 내지 0.15N 범위의 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00025
)을 전달한다. 즉, 상기 다이어프램(310)에 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00026
)이 온전히 전달되었을 때 상기 구동팁(500)의 상기 압력센서(300)로 삽입된 위치를 최소삽입위치라고 한다.
상기 구동팁(500)을 이용하여 성능시험 전 상기 다이어프램(310)에 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00027
)을 주는 이유는 상기 구동부(600)가 수십 ㎛ 밖에 되지 않는 거리를 왕복운동하기 때문에 성능시험 시 가해지는 상기 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00028
)이 손실 없이 모두 상기 다이어프램(310)에 전달하기 위함이다.
다음으로, 상기 외력측정부(700)는 상기 구동부(600) 하단에 체결되고, 로드셀을 이용하여 상기 외력(F)의 크기를 측정한다.
일반적으로 로드셀은 하중계나 하중센서 등으로 표현되며, 힘 또는 하중을 전기신호로 변환하여 숫자로 출력하는 장치이다. 즉, 상기 외력측정부(700)는 상기 구동부(600) 하단에 체결되므로, 상기 구동부(600)가 왕복운동 시 하중을 전달받아 전기신호로 변환하여 숫자로 출력하는 것이다. 이에 따라, 상기 다이어프램(310)에 인가되는 외력(F)의 크기를 한 번 더 모니터링할 수 있으므로 상기 외력측정부(700)는 성능시험의 정확도 및 신뢰도를 높이는데 일조한다.
일반적으로 상기 로드셀의 최대 측정가능 힘은 2~3kN, 주파수는 25 내지 30Hz이며 장력과 압축으로 인한 힘을 모두 측정 가능함으로 상기 압력센서(300) 성능시험에 적합하다.
다음으로, 상기 제어부(800)는 변위측정부(400), 구동부(600) 및 외력측정부(700) 중 적어도 하나를 제어할 수 있다.
다시 말하면, 상기 제어부(800)는 상기 변위측정부(400)로부터 측정된 상기 다이어프램(310)의 변위(D)를 디지털 신호로 전송받을 수 있다. 그리고 상기 제어부(800)는 상기 구동부(600)에 인가되는 전압(V)을 조절하여 상기 다이어프램(310)에 전달되는 외력(F)의 크기를 조절할 수 있다. 그리고 상기 제어부(800)는 상기 외력측정부(700)로부터 측정된 상기 구동부(600)의 외력(F)의 크기를 디지털 신호로 전송받을 수 있다.
한편, 상기 제어부(800)는 사용자가 모니터링 할 수 있도록 단말기와 유무선으로 연결되어 디지털 신호를 시각적으로 출력할 수 있다. 이에 따라, 상기 제어부(800)는 전송받은 상기 다이어프램(310)의 변위(D)와 상기 구동부(600)의 외력(F)의 크기를 상기 단말기에 전송할 수 있다.
또한, 상기 제어부(800)는 전송받은 상기 다이어프램(310)의 변위(D)와 상기 구동부(600)의 외력(F)의 크기를 이용하여 상기 압력센서(300)의 성능을 분석할 수 있다. 그리고 상기 제어부(800)는 상기 압력센서(300)의 성능분석결과를 상기 단말기에 전송할 수 있다.
다음으로, 도 4는 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법 흐름도이다.
도 4를 보면, 본 발명의 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법은 외력생성단계(S100), 외력측정단계(S200), 변위측정단계(S300) 및 성능분석단계(S400)를 포함한다.
보다 구체적으로 설명해보면, 상기 외력생성단계(S100)는 상기 구동부(600)에 의하여, 인가된 전압(V)에 비례하여 상기 압력센서(300)에 가해지는 외력(F)이 생성된다.
또한, 상기 외력생성단계(S100)는 하기 [수학식 1]로 외력(F)이 생성되는 것을 특징으로 한다.
Figure 112020043698578-pat00029
여기서, F는 외력이고, V는 인가된 전압이다.
다시 말하면, 상기 외력생성단계(S100)는 상기 구동부(600)에 의하여, 상기 제어부(800)로부터 인가받은 전압(V)이 상기 [수학식 1]로 외력(F)로 변환되고, 왕복운동으로 외력(F)이 생성되는 것이다.
그리고 상기 구동부(600)에 체결된 상기 구동팁(500)의하여, 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)에 외력(F)이 가해지는 것이다.
다음으로, 도 5는 본 발명에 따른 외력생성단계(S100)의 세부흐름도이다.
도 5를 보면, 상기 외력생성단계(S100)는, 상기 [수학식 1]로 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00030
)이 생성되는 예비외력생성단계(S110) 및 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00031
)을 받은 상기 구동팁(500)이 최소삽입위치에 위치되면 상기 [수학식 1]로 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00032
)이 생성되는 시험요구외력 생성단계(S120)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 외력(F)에는 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00033
)과 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00034
)이 포함될 수 있다.
가장 바람직하게, 상기 예비외력생성단계(S110)는 성능시험을 시작하기 전 상기 구동부(600)에 의하여, 약 0.05N 내지 0.15N 범위의 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00035
)이 생성된다. 그러면, 상기 구동팁(500)은 상기 다이어프램(310)에 맞닿아 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00036
)을 전달한다. 상기 구동팁(500)이 최소삽입위치에 위치되면 최소삽입위치를 기준으로 성능시험을 시작할 수 있다.
그리고 상기 시험요구외력생성단계(S120)는 상기 구동부(600)에 의하여, 상기 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00037
)이 생성된다. 상기 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00038
)은 상기 압력센서(300)의 성능시험에서 요구되는 외력을 통칭하는 것이고, 예컨대 0, 30, 60, 90 MPa 일 수 있다.
다시 도 4를 보면, 상기 외력측정단계(S200)는 상기 외력측정부(700)에 의하여, 상기 압력센서(300)에 가해진 외력(F)의 크기가 측정된다.
즉, 상기 외력측정단계(S200)는 상기 외력측정부(700)의 로드셀에 의하여, 외력(F)의 크기가 측정되고, 이는 디지털 신호로 변환되어 숫자로 표시될 수 있다. 상기 외력(F)는 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00039
)과 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00040
)이 포함됨으로, 상기 외력측정단계(S200)는 상기 예비외력(
Figure 112020043698578-pat00041
)과 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00042
)의 크기가 각각 측정될 수 있다.
상기 외력측정단계(S200)는 상기 다이어프램(310)에 인가되는 외력(F)의 크기를 한 번 더 모니터링할 수 있도록 함으로써, 성능시험의 정확도 및 신뢰도를 높이는데 일조한다.
다음으로, 상기 변위측정단계(S300)는 상기 변위측정부(400)에 의하여, 상기 외력을 받아 상기 압력센서(300) 내 다이어프램(310)이 변형되면 변위가 측정된다.
앞서 언급한 것과 같이 상기 변위측정부(400)는 레이저센서와 갭(gap)센서의 교차사용이 가능하다. 이에 따라, 센서별 다이어프램(310)의 변위를 측정하는 방법에 차이가 있다.
우선, 상기 변위측정단계(S300)는 레이저센서에 의해서, 레이저가 상기 다이어프램(310)에 반사되어 나오는 빛이 검출소자에 반사되는 위치를 감지하여 변위(D)가 측정될 수 있다.
그리고 상기 변위측정단계(S300)는 갭(gap)센서에 의해서, 상기 갭(gap)센서와 상기 다이어프램(310)사이의 공간에서 와전류로 인한 인덕턴스 변화량과 전극 간격차로 인한 캐패시턴스 변화량을 측정하여 변위(D)가 측정될 수 있다.
또한, 상기 변위측정단계(S300)는, 성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00043
)와 상기 구동부(600)로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(
Figure 112020043698578-pat00044
)가 모두 측정될 수 있다.
상기 다이어프램(310)은 막으로 형성되어 있으므로, 온도에 따라 변위가 달라질 수 있다. 이에 따라, 상기 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00045
)를 상쇄시키는 보정이 필수적이다.
다음으로, 상기 성능분석단계(S400)는 상기 제어부(800)에 의하여, 상기 외력측정단계(S200)로부터 측정된 외력(F)과 변위측정단계(S300)로부터 측정된 변위(D)가 분석되고, 상기 압력센서(300)의 성능이 판단된다.
또한, 도 6은 본 발명에 따른 성능분석단계(S400)의 세부흐름도이다.
도 6을 보면, 상기 성능분석단계(S400)는 하기 [수학식 2]로 상기 변위측정단계(S300)로부터 측정된 변위(D)에서 온도에 따른 오차가 보정되어 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00046
)가 생성되는 보정변위생성단계(S410)가 더 포함될 수 있다.
Figure 112020043698578-pat00047
여기서,
Figure 112020043698578-pat00048
는 보정변위이다. F는 상기 외력생성단계(S100)로부터 생성된 외력(F)이고 보다 구체적으로는 시험요구외력(
Figure 112020043698578-pat00049
)이다. T는 성능시험이 이루어진 공간의 온도이다.
즉, 상기 [수학식 2]를 이용하여 상기 변위측정단계(S300)로부터 측정된 변위(D)에서 상기 온도변위(
Figure 112020043698578-pat00050
)를 상쇄시키는 보정이 이루어졌고, 그 결과로 상기 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00051
)가 생성되는 것이다.
또한, 상기 성능분석단계(S400)는 상기 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00052
)가 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되면 ‘수용’이라고 판단되고, 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되지 않으면 ‘수용불가’라고 판단될 수 있다.
예컨대, 하기 [표 1]은 상온(22도)에서 성능시험이 이루어질 경우 외력(F)에 따른 기준변위가 표시되어 있다. 이때, 상기 기준변위의 ±3% 이내의 오차는 수용하므로 상기 외력이 30MPa이면 상기 기준변위범위는 1.145㎛ 내지 1.215㎛이다.
압력
(MPa)		 0 30 60 90
변위량
(㎛)		 0 1.18 2.37 3.56
즉, 상기 보정변위(
Figure 112020043698578-pat00053
)가 상기 기준변위범위 이내이면 ‘수용’, 상기 기준변위범위 이외이면 ‘수용불가’ 로 판단되어 압력센서 성능이 분석될 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.
100.. 지지유닛
110.. 받침대
120.. 지지대
130.. 고정부
131.. 고정홈
140.. 조절레버
150.. 구동실린더
200.. 고정지그
210.. 체결홈
220.. 수용홈
300.. 압력센서
310.. 다이어프램
400.. 변위측정부
500.. 구동팁
510.. 탄성부재
600.. 구동부
700.. 외력측정부
800.. 제어부

Claims (10)

  1. 받침대; 상기 받침대의 상측에 수직으로 설치되는 지지대; 및 다수개의 천공된 고정홈이 구비되고 상기 지지대 일측면에서 이동 가능하도록 설치되는 고정부;를 포함하는 지지유닛;
    고정부재를 이용하여 상기 고정부 일측면에 고정될 수 있도록 상기 고정홈과 동일한 크기로 천공된 체결홈이 구비되는 고정지그;
    상기 고정지그에 수용되고, 외력(F)에 비례하여 변형될 수 있는 막 형상의다이어프램이 구비되는 압력센서;
    상기 압력센서 내 다이어프램의 변위(D)를 측정하는 변위측정부;
    말단에 탄성부재가 구비되고, 상기 탄성부재가 상기 압력센서 내에 삽입되어상기 다이어프램에 맞닿을 수 있도록 길고 가는 형상으로 형성되는 구동팁;
    상부에 상기 구동팁이 체결되고, 인가된 전압(V)에 비례하여 상기 압력센서에 가해지는 외력(F)을 생성하는 구동부;
    상기 구동부 하단에 체결되고, 로드셀을 이용하여 상기 외력(F)의 크기를 측정하는 외력측정부; 및
    상기 변위측정부, 구동부, 및 외력측정부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 압력센서 내 다이어프램의 변위(D)는,
    성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(DT)와 상기 구동부로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(DF)를 포함하고,
    상기 제어부는,
    하기 [수학식 2]로 상기 압력센서 내 다이어프램의 변위(D)에서 상기 온도변위(DT)를 상쇄 보정한 보정변위(Dcom)를 생성하는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치.
    [수학식 2]
    Figure 112021502239389-pat00075

    여기서, Dcom는 보정변위, F는 상기 구동부로부터 생성된 외력, T는 성능시험이 이루어진 공간의 온도이다.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 변위측정부는,
    레이저센서 및 갭(gap)센서 중 적어도 하나를 포함하고,
    교차 사용이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는,
    성능시험 전 예비외력(
    Figure 112020043698578-pat00056
    )을 생성하고, 상기 예비외력(
    Figure 112020043698578-pat00057
    )을 받은 상기 구동팁이 최소삽입위치에 위치하면 시험요구외력(
    Figure 112020043698578-pat00058
    )을 생성하는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치.
  5. 구동부에 의하여, 인가된 전압(V)에 비례하여 압력센서에 가해지는 외력(F)이 생성되는 외력생성단계;
    외력측정부에 의하여, 상기 압력센서에 가해진 외력(F)의 크기가 측정되는 외력측정단계;
    변위측정부에 의하여, 상기 외력(F)을 받아 상기 압력센서 내 다이어프램이 변형되면 변위(D)가 측정되는 변위측정단계; 및
    제어부에 의하여, 상기 외력측정단계로부터 측정된 외력(F)의 크기와 변위측정단계로부터 측정된 변위(D)가 분석되고, 상기 압력센서의 성능이 판단되는 성능 분석단계;를 포함하고,
    상기 변위측정단계는,
    성능시험이 이루어진 공간의 온도(T)에 의해서 자체적으로 변형된 온도변위(DT)와 상기 구동부로부터 생성된 외력(F)에 의해서 변형된 외력변위(DF)가 모두 측정되고,
    상기 성능분석단계는,
    하기 [수학식 2]로 상기 변위측정단계로부터 측정된 변위(D)에서 상기 온도변위(DT)를 상쇄 보정한 보정변위(Dcom)가 생성되는 보정변위 생성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법.
    [수학식 2]
    Figure 112021088862324-pat00076

    여기서, Dcom는 보정변위, F는 상기 외력생성단계로부터 생성된 외력, T는 성능시험이 이루어진 공간의 온도이다.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 외력생성단계는,
    하기 [수학식 1]로 외력(F)이 생성되는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법.
    [수학식 1]
    Figure 112020043698578-pat00059

    여기서, F는 외력이고, V는 인가된 전압이다.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 외력생성단계는,
    상기 [수학식 1]로 예비외력(
    Figure 112020043698578-pat00060
    )이 생성되는 예비외력생성단계; 및 상기 예비외력(
    Figure 112020043698578-pat00061
    )을 받은 구동팁이 최소삽입위치에 위치되면 상기 [수학식 1]로 시험요구외력(
    Figure 112020043698578-pat00062
    )이 생성되는 시험요구외력 생성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 성능분석단계는,
    상기 보정변위(
    Figure 112021088862324-pat00068
    )가 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되면 ‘수용’이라고 판단되고, 기 저장된 기준변위범위 이내에 포함되지 않으면 ‘수용불가’라고 판단되는 것을 특징으로 하는 초고압 압력센서 시험장치를 이용한 시험방법.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010041219A (ko) * 1998-12-24 2001-05-15 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 압력 센서
JP2007078395A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Denso Corp 光学装置およびその製造方法
JP2008064569A (ja) * 2006-09-06 2008-03-21 Kyowa Electron Instr Co Ltd 機械特性試験装置およびそれに用いられる水素雰囲気用歪ゲージ
KR100944223B1 (ko) 2009-06-03 2010-02-24 한라정공 주식회사 진동 및 속도센서 시험장치 및 그 시험방법
JP2017003502A (ja) * 2015-06-12 2017-01-05 株式会社システック 圧力試験装置及び圧力試験方法
KR102079864B1 (ko) 2018-06-27 2020-02-19 한국전력공사 순간압력센서 시험장치 및 시험방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010041219A (ko) * 1998-12-24 2001-05-15 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 압력 센서
JP2007078395A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Denso Corp 光学装置およびその製造方法
JP2008064569A (ja) * 2006-09-06 2008-03-21 Kyowa Electron Instr Co Ltd 機械特性試験装置およびそれに用いられる水素雰囲気用歪ゲージ
KR100944223B1 (ko) 2009-06-03 2010-02-24 한라정공 주식회사 진동 및 속도센서 시험장치 및 그 시험방법
JP2017003502A (ja) * 2015-06-12 2017-01-05 株式会社システック 圧力試験装置及び圧力試験方法
KR102079864B1 (ko) 2018-06-27 2020-02-19 한국전력공사 순간압력센서 시험장치 및 시험방법

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