KR102297638B1 - Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same - Google Patents

Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same Download PDF

Info

Publication number
KR102297638B1
KR102297638B1 KR1020160036249A KR20160036249A KR102297638B1 KR 102297638 B1 KR102297638 B1 KR 102297638B1 KR 1020160036249 A KR1020160036249 A KR 1020160036249A KR 20160036249 A KR20160036249 A KR 20160036249A KR 102297638 B1 KR102297638 B1 KR 102297638B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tube
cables
particles
support device
antistatic
Prior art date
Application number
KR1020160036249A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170082102A (en
Inventor
이상일
김창석
배상준
장광동
Original Assignee
엘에스전선 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020160000969A external-priority patent/KR101709039B1/en
Application filed by 엘에스전선 주식회사 filed Critical 엘에스전선 주식회사
Priority to KR1020160036249A priority Critical patent/KR102297638B1/en
Publication of KR20170082102A publication Critical patent/KR20170082102A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102297638B1 publication Critical patent/KR102297638B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02G—INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G11/00—Arrangements of electric cables or lines between relatively-movable parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16G—BELTS, CABLES, OR ROPES, PREDOMINANTLY USED FOR DRIVING PURPOSES; CHAINS; FITTINGS PREDOMINANTLY USED THEREFOR
    • F16G13/00—Chains
    • F16G13/12—Hauling- or hoisting-chains so called ornamental chains
    • F16G13/16—Hauling- or hoisting-chains so called ornamental chains with arrangements for holding electric cables, hoses, or the like
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/08—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets substantially surrounding the pipe, cable or protective tubing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/26—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets specially adapted for supporting the pipes all along their length, e.g. pipe channels or ducts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B11/00—Communication cables or conductors
    • H01B11/02—Cables with twisted pairs or quads
    • H01B11/06—Cables with twisted pairs or quads with means for reducing effects of electromagnetic or electrostatic disturbances, e.g. screens
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02G—INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G3/00—Installations of electric cables or lines or protective tubing therefor in or on buildings, equivalent structures or vehicles
    • H02G3/02—Details
    • H02G3/04—Protective tubing or conduits, e.g. cable ladders or cable troughs
    • H02G3/0462—Tubings, i.e. having a closed section
    • H02G3/0475—Tubings, i.e. having a closed section formed by a succession of articulated units

Abstract

본 발명은 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 반복적인 이동을 수행하는 공작기계, 전자기기, 산업용 로보트, 운반기계 등의 이동체에 사용되는 케이블류를 보호하고 더욱 안정적으로 지지함으로써 상기 케이블류의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 효과적이고 유지보수 비용이 절감되는 대전방지처리를 통해 분진에 의한 공정 오류를 억제할 수 있어 반도체 웨이퍼 같은 초정밀 및 고순도 제품의 생산공정에 적합한 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-tube for a cabling support device and a cabling support device comprising the same. Specifically, the present invention can prevent damage to cables by protecting and more stably supporting cables used in moving objects such as machine tools, electronic devices, industrial robots, and transport machines that perform repetitive movements. However, it is possible to suppress process errors caused by dust through antistatic treatment that is effective and reduces maintenance costs, so multiple tubes for supporting cables suitable for the production process of ultra-precision and high-purity products such as semiconductor wafers and cables including the same It relates to a support device.

Description

케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치{Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same}Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same

본 발명은 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 반복적인 이동을 수행하는 공작기계, 전자기기, 산업용 로보트, 운반기계 등의 이동체에 사용되는 케이블류를 보호하고 더욱 안정적으로 지지함으로써 상기 케이블류의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 효과적이고 유지보수 비용이 절감되는 대전방지처리를 통해 분진에 의한 공정 오류를 억제할 수 있어 반도체 웨이퍼 같은 초정밀 및 고순도 제품의 생산공정에 적합한 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-tube for a cabling support device and a cabling support device comprising the same. Specifically, the present invention can prevent damage to cables by protecting and more stably supporting cables used in moving objects such as machine tools, electronic devices, industrial robots, and transport machines that perform repetitive movements. However, it is possible to suppress process errors caused by dust through antistatic treatment that is effective and reduces maintenance costs, so multiple tubes for supporting cables suitable for the production process of ultra-precision and high-purity products such as semiconductor wafers and cables including the same It relates to a support device.

공작기계, 전자기기, 산업용 로버트, 운반기계 등의 이동체에 사용되는 전선 케이블, 광섬유 케이블, 유체 공급호스 등의 가요성 케이블이나 호스 등(이하, '케이블류'라 칭한다)은 상기 이동체의 이동에 따른 상기 케이블류의 무리한 뒤틀림이나 상기 케이블류에 인가되는 인장력 등에 의해 손상될 수 있기 때문에, 상기 케이블류를 보호하고 안정적으로 지지함으로써 상기 이동체에 사용되는 케이블류의 손상을 방지할 수 있는 케이블류 지지 장치가 사용되고 있다.Flexible cables or hoses such as wire cables, fiber optic cables, fluid supply hoses, etc. (hereinafter referred to as 'cables') used in moving objects such as machine tools, electronic equipment, industrial robes, and transport machines are used for the movement of the moving objects. Since it may be damaged by excessive twisting of the cables or the tensile force applied to the cables, it is possible to protect the cables and stably support the cables to prevent damage to the cables used in the moving body. The device is being used.

종래 케이블류 지지 장치는 케이블류에 해당하는 전선 케이블, 유체 공급호스 등이 각각 삽입되는 하나 이상의 포드(pod)를 포함하는 가요성 다중 튜브를 포함하고, 상기 다중 튜브는 가요성을 구현하기 위해 통상 고분자 소재로 이루어질 수 있다.A conventional cable support device includes a flexible multi-tube including one or more pods into which a wire cable, a fluid supply hose, etc. corresponding to cables are respectively inserted, and the multi-tube is generally used to implement flexibility. It may be made of a polymer material.

상기 다중 튜브가 고분자 소재로 이루어지는 경우 마찰에 의해 대전되기 쉽기 때문에, 상기 이동체의 반복적인 이동시 상기 이동체에 사용되는 상기 케이블류 지지 장치를 구성하는 상기 가요성 다중 튜브의 일부분이 다른 일부분과 지속적으로 마찰을 하게 되면, 상기 가요성 다중 튜브의 표면이 대전되고 대전된 다중 튜브의 표면에 분진이 부착되며 부착된 분진이 반도체 웨이퍼 표면을 오염시키는 등 공정 오류를 유발할 수 있다.When the multi-tube is made of a polymer material, it is easy to be charged by friction, so that when the movable body is repeatedly moved, a part of the flexible multi-tube constituting the cable support device used for the movable body continuously rubs against another part. In this case, the surface of the flexible multi-tube is charged, dust is attached to the surface of the charged multi-tube, and the attached dust contaminates the surface of the semiconductor wafer, which may cause process errors.

따라서, 상기 다중 튜브는 대전을 방지하는 대전방지처리가 필요하다. 상기 대전방지처리 기술은 크게 접지를 이용하는 방법과 이오나이저(Ionizer)를 이용하는 방법이 있다. 상기 접지를 이용하는 방법은 대전된 다중 튜브를 접지 단자와 연결하여 상기 대전된 다중 튜브로부터의 정전기를 흘려 없앨 수 있는 전기적인 회로를 형성하는 방법으로서 운동이 많은 이동체에 사용되는 케이블류 지지 장치에 적용되기는 어려운 문제가 있다.Therefore, the multi-tube needs an antistatic treatment to prevent charging. The antistatic treatment technology is largely divided into a method using grounding and a method using an ionizer. The method of using the grounding is a method of forming an electrical circuit capable of removing static electricity from the charged multi-tube by connecting the charged multi-tube to the grounding terminal. There is a problem that is difficult to become.

한편, 이오나이저를 이용하는 방법은 이오나이저로 공기 중에 존재하는 입자를 양이온 또는 음이온으로 이온화시켜 대전된 다중 튜브를 중화시키는 방법으로서 이오나이저에 대한 추가적이고 지속적인 유지보수를 필요로 하는 문제가 있다.On the other hand, the method using the ionizer is a method of neutralizing the charged multi-tube by ionizing particles present in the air into positive or negative ions with the ionizer, and there is a problem that requires additional and continuous maintenance of the ionizer.

그러므로, 반복적인 이동을 수행하는 공작기계, 전자기기, 산업용 로보트, 운반기계 등의 이동체에 사용되는 케이블류를 보호하고 더욱 안정적으로 지지함으로써 상기 케이블류의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 효과적이고 유지보수 비용이 절감되는 대전방지처리를 통해 분진에 의한 공정 오류를 억제할 수 있어 반도체 웨이퍼 같은 초정밀 및 고순도 제품의 생산공정에 적합한 케이블류 지지 장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.Therefore, by protecting and more stably supporting cables used in moving objects such as machine tools, electronic devices, industrial robots, and transport machines that perform repetitive movements, it is possible to prevent damage to the cables as well as effectively and effectively Since process errors caused by dust can be suppressed through antistatic treatment that reduces maintenance costs, there is an urgent need for a cable support device suitable for the production process of ultra-precision and high-purity products such as semiconductor wafers.

본 발명은 공작기계, 전자기기, 산업용 로보트, 운반기계 등의 이동체에 사용되는 케이블류를 보호하고 더욱 안정적으로 지지함으로써 상기 케이블류의 손상을 방지할 수 있는 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a multi-tube for a cable support device capable of preventing damage to the cables by protecting and more stably supporting cables used in moving objects such as machine tools, electronic devices, industrial robots, and transport machines, and including the same An object of the present invention is to provide a supporting device for cables.

또한, 본 발명은 효과적이고 유지보수 비용이 절감되는 대전방지처리를 통해 분진에 의한 공정 오류를 억제할 수 있어 반도체 웨이퍼 같은 초정밀 및 고순도 제품의 생산공정에 적합한 케이블류 지지 장치용 다중 튜브 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention can suppress process errors caused by dust through an antistatic treatment that is effective and reduces maintenance costs, so that it is suitable for the production process of ultra-precision and high-purity products such as semiconductor wafers. An object of the present invention is to provide a supporting device for cables.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은,In order to solve the above problems, the present invention,

케이블류 지지 장치용 다중 튜브로서, 가요성 소재로 이루어지고, 케이블, 유체 공급호스 또는 가이드 체인이 삽입되어 수용될 수 있는 하나 이상의 포드를 포함하고, 상기 가요성 소재는 대전 방지 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.A multi-tube for a cable-like support device, comprising: a flexible material comprising one or more pods into which a cable, fluid supply hose, or guide chain can be inserted, the flexible material comprising antistatic particles; It provides a multi-tube, characterized in that.

여기서, 상기 가요성 소재는 복수의 미세기공이 형성된 다공성 수지를 포함하며, 상기 복수의 미세기공 중 적어도 일부에 상기 대전 방지 입자가 포함된 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.Here, the flexible material includes a porous resin having a plurality of micropores, and provides a multi-tube, characterized in that the antistatic particles are included in at least some of the plurality of micropores.

또한, 상기 대전 방지 입자는 전도성 나노 카본, 전도성 나노 금속, 전도성 폴리머 및 이오노머로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 양전하 또는 음전하를 띄는 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.In addition, the antistatic particles provide a multi-tube, characterized in that it comprises one or more positively or negatively charged particles selected from the group consisting of conductive nano-carbon, conductive nano-metal, conductive polymer, and ionomer.

여기서, 상기 양전하 또는 음전하를 띄는 입자는 플루오르화 입자를 포함하는 전도성 폴리머 또는 이오노머인 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.Here, it provides a multi-tube, characterized in that the positively or negatively charged particles are a conductive polymer or ionomer containing fluorinated particles.

한편, 상기 가요성 소재는 가요성 수지로 이루어진 신축층 및 이의 양 표면에 적층된 내마모층을 포함하는 소재인 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.On the other hand, the flexible material provides a multi-tube, characterized in that it is a material comprising an elastic layer made of a flexible resin and a wear-resistant layer laminated on both surfaces thereof.

여기서, 상기 내마모층은 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE) 수지 및 상기 대전 방지 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.Here, the wear-resistant layer provides a multi-tube, characterized in that it comprises an expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE) resin and the antistatic particles.

또한, 상기 신축층은 폴리우레탄 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.In addition, the elastic layer provides a multi-tube, characterized in that it comprises a polyurethane resin.

그리고, 상기 포드는 원형, 타원형, 직사각형 또는 파형의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.And, the pod provides a multi-tube, characterized in that it has a circular, oval, rectangular or wavy cross-section.

한편, 상하 및 좌우 방향으로 복수 배열된 포드를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브를 제공한다.On the other hand, it provides a multi-tube, characterized in that it comprises a plurality of pods arranged in the vertical and horizontal directions.

그리고, 상기 다중 튜브; 상기 다중 튜브의 하나 이상의 포드에 삽입되어 수용되는 가이드 체인; 및 상기 다중 튜브의 양 말단에 배치되어 상기 포드의 양 말단을 고정하고 실링하는 클램프를 포함하는, 케이블류 지지 장치를 제공한다.And, the multi-tube; a guide chain inserted and accommodated in one or more pods of the multi-tube; and clamps disposed at both ends of the multi-tube to secure and seal both ends of the pod.

도 1은 본 발명에 따른 케이블류 지지 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 케이블류 지지 장치에서 다중 튜브에 케이블류 및 가이드 체인이 삽입된 모습을 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 도 1에서 가요성 다중 튜브의 A-A' 단면의 하나의 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 도 3에서 파선으로 구획한 부분을 확대 도시한 것이다.
도 5는 도 1에서 A-A' 단면의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.1 schematically shows an apparatus for supporting cables according to the present invention.
FIG. 2 schematically shows a state in which cables and guide chains are inserted into multiple tubes in the cable support device shown in FIG. 1 .
FIG. 3 schematically illustrates one embodiment of a cross section AA′ of the flexible multi-tube in FIG. 1 ;
FIG. 4 is an enlarged view of a portion demarcated by a broken line in FIG. 3 .
FIG. 5 schematically shows another embodiment of a cross section AA′ in FIG. 1 .

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed subject matter may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명에 따른 케이블류 지지 장치를 개략적으로 도시한 것이고, 도 2는 도 1에 도시된 케이블류 지지 장치에서 다중 튜브에 케이블류 및 가이드 체인이 삽입된 모습을 개략적으로 도시한 것이다.FIG. 1 schematically shows a cable support device according to the present invention, and FIG. 2 schematically shows a state in which cables and guide chains are inserted into multiple tubes in the cable support device shown in FIG. 1 .

도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 케이블류 지지 장치는 하나 이상의 케이블류(200), 가이드 체인(100), 유체 공급호스(미도시) 등이 삽입되어 수용될 수 있는 하나 이상의 포드(pod)(510)를 포함하는 가요성 다중 튜브(500), 상기 가요성 다중 튜브(500)의 하나 이상의 포드(510), 바람직하게는 최외곽에 배치된 하나 이상의 포드(510)에 삽입되어 수용되는 가이드 체인(100), 및 상기 가요성 다중 튜브(500)의 양 말단에 배치되어 상기 포드(510)의 양 말단을 고정하고 실링(sealing)하는 클램프(600)를 포함할 수 있다.1 and 2, the cable support device according to the present invention includes one or more cables 200, a guide chain 100, a fluid supply hose (not shown), etc. that can be inserted and accommodated. A flexible multi-tube 500 comprising a pod 510, inserted into one or more pods 510 of the flexible multi-tube 500, preferably one or more pods 510 disposed in the outermost portion. It may include a guide chain 100 to be accommodated, and a clamp 600 disposed at both ends of the flexible multi-tube 500 to fix and seal both ends of the pod 510 .

도 3은 도 1에서 가요성 다중 튜브의 A-A' 단면의 하나의 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.FIG. 3 schematically shows one embodiment of a cross section A-A′ of the flexible multi-tube in FIG. 1 ;

도 3에 도시된 바와 같이, 가요성 다중 튜브(500)에서 케이블류(200), 가이드 체인(100) 등이 삽입되어 수용될 수 있는 하나 이상의 포드(pod)(510)는 케이블류 등의 손상을 억제하는 기능을 수행하고 케이블류 등을 삽입하여 수용할 수 있다면 특별히 제한되지 않고, 예를 들어, 원형, 타원형, 직사각형, 파형 등의 단면을 가질 수 있다.As shown in FIG. 3 , in the flexible multi-tube 500 , the cables 200 , the guide chain 100 , etc. are inserted and accommodated in one or more pods 510 , and the cables are damaged. It is not particularly limited as long as it performs a function of suppressing and can accommodate by inserting cables, etc. For example, it may have a cross-section of a circle, an ellipse, a rectangle, a waveform, and the like.

또한, 상기 가요성 다중 튜브(500)는 유연성이 우수한 소재로 이루어져 있어 가요성이 충분하기 때문에 굴곡 부위의 굴곡 반경이 작고 따라서 협소한 공간에서도 이용할 수 있을 뿐만 아니라, 지속적인 굴곡과 직선 운동을 반복하는 경우에도 파손이 억제될 수 있다.In addition, since the flexible multi-tube 500 is made of a material with excellent flexibility and has sufficient flexibility, the bending radius of the bending area is small and therefore it can be used in a narrow space, and it is possible to repeat continuous bending and linear motion. Even in this case, damage can be suppressed.

도 4는 도 3에서 파선으로 구획한 부분을 확대 도시한 것이다.FIG. 4 is an enlarged view of a portion demarcated by a broken line in FIG. 3 .

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 가요성 다중 튜브(500)는 폴리우레탄 등의 가요성 수지로 이루어진 신축층(511) 및 이의 양 표면에 불소수지 등의 내마모성, 윤활성 등이 우수하고 마찰계수가 낮은 수지가 적층된 내마모층(512)을 포함하는 소재로 이루어질 수 있고, 특히 상기 내마모층(512)은 상기 포드(510)의 내면 및 외면에 배치될 수 있다.As shown in FIG. 4, the flexible multi-tube 500 has an elastic layer 511 made of a flexible resin such as polyurethane and abrasion resistance and lubricity such as fluororesin on both surfaces thereof, and has excellent friction coefficient. The low resin may be made of a material including the laminated wear-resistant layer 512 , and in particular, the wear-resistant layer 512 may be disposed on the inner and outer surfaces of the pod 510 .

상기 내마모층(512)은 내마모성, 윤활성 등이 우수하고 마찰계수가 낮기 때문에, 상기 포드(510)의 내면에 배치되는 경우 상기 포드(510)에 삽입되어 수용되는 케이블류 등과의 마찰에 의해 손상되는 것을 회피하거나 억제하는 동시에 상기 마찰에 의한 분진 발생을 억제할 수 있는 한편, 상기 포드(510)의 외면에 배치되는 경우 상기 가요성 다중 튜브(500) 사이의 마찰에 의해 손상되는 것을 회피하거나 억제하는 동시에 상기 마찰에 의한 분진 발생을 억제할 수 있다.Since the wear-resistant layer 512 has excellent wear resistance and lubricity and has a low coefficient of friction, when it is disposed on the inner surface of the pod 510, it is damaged by friction with cables inserted and accommodated in the pod 510. It is possible to avoid or suppress the generation of dust due to the friction at the same time while avoiding or suppressing damage by friction between the flexible multi-tube 500 when disposed on the outer surface of the pod 510 . At the same time, it is possible to suppress the generation of dust due to the friction.

상기 내마모층(512)을 형성하는 수지는 예를 들어 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 플로오로에틸렌프로필렌(FEP), 폴리플루오로알콕시(PFA) 등으로부터 선택될 수 있고, 바람직하게는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 더욱 바람직하게는 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE)일 수 있다.The resin forming the wear-resistant layer 512 may be selected from, for example, polytetrafluoroethylene (PTFE), fluoroethylenepropylene (FEP), polyfluoroalkoxy (PFA), and the like, preferably poly tetrafluoroethylene (PTFE), more preferably expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE).

상기 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE)은 작은 단위체들을 사슬 혹은 그물 형태로 화학결합하여 만드는 고분자소재로서 미세기공이 형성되어 있는 다공성 구조로 이루어져 있으며, 내열성, 내화학성이 뛰어나고 마찰계수가 매우 낮다. 특히 모든 화학약품에 대해 내화학성이 있으며, 표면이 매끄럽고 넓은 온도범위에서 물리적 특성이 유지될 수 있다.The expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE) is a polymer material made by chemically bonding small units in the form of chains or nets, and has a porous structure with micropores, excellent heat resistance and chemical resistance, and a very low coefficient of friction. In particular, it has chemical resistance to all chemicals, has a smooth surface, and can maintain physical properties over a wide temperature range.

그러나, 상기 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE)은 (-)전하로 대전되려는 성향이 강하여 정전기 발생이 쉽기 때문에 공기중의 분진이 상기 내마모층(512)에 달라붙은 후 공정 오류 등을 유발할 수 있으며, 사용시 정전기 발생 등을 유발할 수 있다.However, since the expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE) has a strong tendency to be charged with a negative (-) charge, it is easy to generate static electricity. and may cause static electricity when used.

따라서, 상기 내마모층(512), 특히 상기 포드(510)의 외면에 배치된 내마모층(512)은 대전방지처리가 될 수 있다. 상기 대전방지처리는 상기 가요성 다중 튜브(500)의 소재를 대전방지제에 침지하거나 상기 가요성 다중 튜브(500)의 표면에 대전방지제를 분무하는 형태로 수행될 수 있다.Accordingly, the wear-resistant layer 512 , in particular, the wear-resistant layer 512 disposed on the outer surface of the pod 510 may be subjected to an antistatic treatment. The antistatic treatment may be performed in the form of immersing the material of the flexible multi-tube 500 in an antistatic agent or spraying the antistatic agent on the surface of the flexible multi-tube 500 .

상기 대전방지제는 전도성 나노 카본 또는 금속이나 전도성 폴리머 또는 이오노머 등의 양전하 또는 음전하를 띄는 대전 방지 입자, 상기 대전 방지 입자가 분산된 용매, 상기 입자의 분산을 용이하게 하는 계면활성제 등을 포함할 수 있다.The antistatic agent may include positively or negatively charged antistatic particles such as conductive nano-carbon or metal or conductive polymer or ionomer, a solvent in which the antistatic particles are dispersed, a surfactant that facilitates dispersion of the particles, and the like. .

여기서, 상기 전도성 폴리머 또는 이오노머는 폴리아세틸렌, 폴리피롤, 폴리티오펜, 폴리페닐렌, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아닐린 등으로부터 선택될 수 있고, 바람직하게는 플루오르화 입자를 포함하는 전도성 폴리머 또는 이오노머일 수 있다. 또한, 상기 용매는 아크릴레이트 같은 아크릴계 용매, 이소프로필알콜 같은 알콜계 용매 등의 용매일 수 있다.Here, the conductive polymer or ionomer may be selected from polyacetylene, polypyrrole, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene sulfide, polyaniline, and the like, and preferably a conductive polymer or ionomer including fluorinated particles. . In addition, the solvent may be an acrylic solvent such as acrylate or an alcohol solvent such as isopropyl alcohol.

상기 대전방지제가 상기 내마모층의 미세기공에 스며든 후 상기 대전방지제 내의 용매는 휘발되고, 상기 양전하 또는 음전하를 띄는 대전 방지 입자는 상기 내마모층을 구성하는 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE)의 미세기공에 잔류함으로써 상기 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE)의 대전성을 현저히 낮출 수 있다.After the antistatic agent permeates the micropores of the wear-resistant layer, the solvent in the antistatic agent is volatilized, and the antistatic particles having a positive or negative charge are expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE) constituting the wear-resistant layer. By remaining in the micropores of the expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE), it is possible to significantly lower the chargeability.

또한, 상기 양전하 또는 음전하를 띄는 입자는 상기 내마모층(512)의 표면에 잔존하는 것이 아니라 내부의 미세 그물망 형태의 조직에도 증착되기 때문에, 상기 내마모층(512) 사이의 마찰에 의해서 제거되지 않고 상기 내마모층(512)의 물성을 저하시키기 않으면서 안정적으로 대전방지 기능을 수행할 수 있다.In addition, since the positively or negatively charged particles do not remain on the surface of the wear-resistant layer 512, but are also deposited on the internal micro-network structure, they are not removed by friction between the wear-resistant layers 512. It is possible to stably perform an antistatic function without degrading the physical properties of the wear-resistant layer 512 .

도 5는 도 1에서 A-A' 단면의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.FIG. 5 schematically shows another embodiment of the cross section A-A' in FIG. 1 .

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 케이블류 지지 장치용 다중 튜브(500)는 복수의 포드(510)들이 상하 방향으로도 복수 배열되는 복층 구조를 가질 수 있다.As shown in FIG. 5 , the multi-tube 500 for cables supporting device according to the present invention may have a multi-layer structure in which a plurality of pods 510 are arranged in a plurality in the vertical direction.

한편, 상기 가이드 체인(100)은 상기 가요성 다중 튜브의 하나 이상의 포드, 바람직하게는 최외각 포드에 삽입되어 상기 가요성 다중 튜브의 직선 부분 및 굴곡 부분에서의 각각의 형태를 유지할 수 있도록 지지하는 기능을 수행할 수 있고, 금속, 플라스틱 등의 소재로 이루어질 수 있다.On the other hand, the guide chain 100 is inserted into one or more pods, preferably the outermost pods of the flexible multi-tube to maintain their respective shapes in the straight portion and the bent portion of the flexible multi-tube. It may perform a function and may be made of a material such as metal or plastic.

그리고, 상기 클램프(600)는 상기 포드(510) 내면과 이에 삽입되는 케이블류(200)와의 마찰에 의해 발생하는 분진이 외부로 배출되는 것을 억제할 수 있어, 반도체 웨이어 같은 초정밀 및 고순도 제품의 생산공정에서 사용하기에 적합하다.And, the clamp 600 can suppress the dust generated by friction between the inner surface of the pod 510 and the cables 200 inserted therein from being discharged to the outside, so that ultra-precision and high-purity products such as semiconductor ware It is suitable for use in the production process.

[실시예][Example]

포드 6개가 일렬로 병렬 연결된 가요성 다중 튜브를 제조했고, 상기 가요성 다중 튜브를 대전방지제(제조사 : 옴니켐; 제품명 : OAS-470)에 침지함으로써 코팅한 실시예 및 대전방지제로 코팅하지 않은 비교예 각각에 대해 아래 대전도 측정 및 종이 반응 평가를 수행했다.A flexible multi-tube with 6 pods connected in series and parallel was prepared, and the example coated by immersing the flexible multi-tube in an antistatic agent (manufacturer: Omnichem; product name: OAS-470) and comparison without antistatic agent coating For each of the examples, the following electrification measurements and paper response evaluations were performed.

1. 대전도 측정1. Measurement of electrification

대전도 측정 장치(제조사 : SIMCO사; 제품명 : FMX-004 Electrostactic Fieldmeter)로 실시예 및 비교예 각각에 따른 가요성 다중 튜브 표면에 대해 대전도를 측정했고, 그 결과는 아래 표 1에 나타난 바와 같다.The electrification was measured on the surface of the flexible multi-tube according to each of Examples and Comparative Examples with a charge measuring device (manufacturer: SIMCO, product name: FMX-004 Electrostactic Fieldmeter), and the results are as shown in Table 1 below. .

대전도 측정 수치Electrostatic measurement value 실시예Example 비교예comparative example 0.00 kV0.00 kV -0.32 kV-0.32 kV

2. 종이 반응 평가2. Paper reaction evaluation

실시예 및 비교예 각각에 따른 가요성 다중 튜브 표면에 종이 조각을 가까이 하여 상기 종이 조각이 각각의 다중 튜브 표면에 달라붙은 갯수를 측정하여 대전성을 평가했고, 그 결과는 아래 표 2에 나타난 바와 같다.By placing a piece of paper close to the surface of the flexible multi-tube according to each of Examples and Comparative Examples, the number of pieces of paper stuck to the surface of each multi-tube was measured to evaluate electrification, and the results were as shown in Table 2 below. same.

종이 조각 갯수number of pieces of paper 실시예Example 비교예comparative example 0개0 14개14 pieces

상기 표 1 및 2에 나타난 바와 같이, 표면이 대전방지제로 코팅된 본 발명에 따른 실시예의 가요성 다중 튜브는 대전성이 현저히 저하된 반면, 대전방지제로 코팅되지 않은 비교예의 다중 튜브는 대전성이 높은 것으로 확인되었다.As shown in Tables 1 and 2 above, the flexible multi-tube of the example according to the present invention, whose surface was coated with an antistatic agent, had significantly reduced electrification, whereas the multi-tube of the comparative example, which was not coated with an antistatic agent, exhibited electrification. was found to be high.

본 명세서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.Although the present specification has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims described below. will be able to carry out Therefore, if the modified implementation basically includes the elements of the claims of the present invention, all of them should be considered to be included in the technical scope of the present invention.

100 : 가이드 체인 200 : 케이블류
500 : 가요성 다중 튜브 600 : 클램프100: guide chain 200: cables
500: flexible multi-tube 600: clamp

Claims (11)

케이블류 지지 장치용 다중 튜브로서,
가요성 소재로 이루어지고,
케이블, 유체 공급호스 또는 가이드 체인이 삽입되어 수용될 수 있는 하나 이상의 포드를 포함하고,
상기 가요성 소재는 내마모층을 포함하고,
상기 내마모층은 복수의 미세기공이 형성된 다공성 불소수지를 포함하며,
상기 복수의 미세기공 중 적어도 일부에 대전 방지 입자가 포함된 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.A multi-tube for a cabling support device comprising:
made of flexible material,
one or more pods into which cables, fluid supply hoses or guide chains can be inserted and received;
The flexible material comprises an abrasion resistant layer,
The wear-resistant layer includes a porous fluororesin having a plurality of micropores formed therein,
Multi-tube, characterized in that the antistatic particles are included in at least some of the plurality of micropores. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 대전 방지 입자는 전도성 나노 카본, 전도성 나노 금속, 전도성 폴리머 및 이오노머로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 양전하 또는 음전하를 띄는 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.According to claim 1,
The antistatic particle is a multi-tube, characterized in that it comprises one or more positively or negatively charged particles selected from the group consisting of conductive nano-carbon, conductive nano-metal, conductive polymer, and ionomer. 제3항에 있어서,
상기 양전하 또는 음전하를 띄는 입자는 플루오르화 입자를 포함하는 전도성 폴리머 또는 이오노머인 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.4. The method of claim 3,
The multi-tube, characterized in that the positively or negatively charged particles are conductive polymers or ionomers containing fluorinated particles. 제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가요성 소재는 가요성 수지로 이루어진 신축층 및 이의 양 표면에 적층된 내마모층을 포함하는 소재인 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.5. The method of any one of claims 1, 3 and 4,
The flexible material is a multi-tube, characterized in that it is a material comprising an elastic layer made of a flexible resin and a wear-resistant layer laminated on both surfaces thereof. 제5항에 있어서,
상기 다공성 불소수지는 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE) 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.6. The method of claim 5,
The porous fluororesin is characterized in that it comprises expanded polytetrafluoroethylene (ePTFE) resin, multi-tube. 제5항에 있어서,
상기 신축층은 폴리우레탄 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.6. The method of claim 5,
The stretch layer is characterized in that it comprises a polyurethane resin, multi-tube. 제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포드는 원형, 타원형, 직사각형 또는 파형의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.5. The method of any one of claims 1, 3 and 4,
The multi-tube, characterized in that the pod has a circular, elliptical, rectangular or wavy cross-section. 제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상하 및 좌우 방향으로 복수 배열된 포드를 포함하는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.5. The method of any one of claims 1, 3 and 4,
Multi-tube, characterized in that it comprises a plurality of pods arranged in the vertical and horizontal directions. 제1항에 있어서,
상기 가요성 소재는 작은 단위체들이 사슬 혹은 그물 형태로 결합되어 미세 그물망 형태로 형성된 고분자 수지를 포함하며,
상기 미세 그물망 형태의 조직에 상기 대전 방지 입자가 붙어 있는 것을 특징으로 하는, 다중 튜브.According to claim 1,
The flexible material includes a polymer resin formed in the form of a fine net by combining small units in a chain or net form,
Multi-tube, characterized in that the antistatic particles are attached to the micro-network-shaped tissue. 제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항의 다중 튜브;
상기 다중 튜브의 하나 이상의 포드에 삽입되어 수용되는 가이드 체인; 및
상기 다중 튜브의 양 말단에 배치되어 상기 포드의 양 말단을 고정하고 실링하는 클램프를 포함하는, 케이블류 지지 장치.The multi-tube of any one of claims 1, 3 and 4;
a guide chain inserted and accommodated in one or more pods of the multi-tube; and
and clamps disposed at both ends of the multi-tube to fix and seal both ends of the pod.
KR1020160036249A 2016-01-05 2016-03-25 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same KR102297638B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160036249A KR102297638B1 (en) 2016-01-05 2016-03-25 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160000969A KR101709039B1 (en) 2016-01-05 2016-01-05 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same
KR1020160036249A KR102297638B1 (en) 2016-01-05 2016-03-25 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160000969A Division KR101709039B1 (en) 2016-01-05 2016-01-05 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170082102A KR20170082102A (en) 2017-07-13
KR102297638B1 true KR102297638B1 (en) 2021-09-02

Family

ID=59352720

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160036249A KR102297638B1 (en) 2016-01-05 2016-03-25 Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102297638B1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7481009B2 (en) * 2018-12-28 2024-05-10 株式会社潤工社 Pipe Support Device
WO2021091312A1 (en) * 2019-11-07 2021-05-14 엘에스전선 주식회사 Sleeve for cable protection apparatus and cable protection apparatus comprising same
KR102570282B1 (en) * 2020-07-10 2023-08-24 (주) 티엠텍 Non-dust cable system for clean room automation system robot

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3195305B2 (en) 1998-12-10 2001-08-06 憲司 中村 Package having sheet-like opening / closing lid and manufacturing method thereof
JP2003103723A (en) * 2001-10-01 2003-04-09 Nitto Denko Corp Antistatic porous object
JP2013198224A (en) 2012-03-16 2013-09-30 Junkosha Co Ltd Assembly of cable and cable support device
KR101560788B1 (en) * 2011-01-21 2015-10-16 가부시기가이샤쯔바기모도체인 Articulated cables-and-the-like protecting and guiding apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5079894B2 (en) * 2011-02-15 2012-11-21 株式会社椿本チエイン Articulated cable protection guide device
TWM489403U (en) * 2014-08-13 2014-11-01 Honor Gene Co Ltd Flexible transmission cable set

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3195305B2 (en) 1998-12-10 2001-08-06 憲司 中村 Package having sheet-like opening / closing lid and manufacturing method thereof
JP2003103723A (en) * 2001-10-01 2003-04-09 Nitto Denko Corp Antistatic porous object
KR101560788B1 (en) * 2011-01-21 2015-10-16 가부시기가이샤쯔바기모도체인 Articulated cables-and-the-like protecting and guiding apparatus
JP2013198224A (en) 2012-03-16 2013-09-30 Junkosha Co Ltd Assembly of cable and cable support device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170082102A (en) 2017-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019519183A (en) Multiple sleeve for cable protection device and cable protection device including the same
KR102297638B1 (en) Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same
JP6883604B2 (en) Static electricity reduction rollers and methods for reducing static electricity on the web
KR20170082104A (en) Guide chain for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same
KR102189892B1 (en) Cable and flat cable for wiring of operation department
KR101709039B1 (en) Multi tube for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same
WO2017204467A1 (en) Multi-sleeve for cable protection device and cable protection device including same
KR20170082103A (en) Guide chain for cables support apparatus and cables support apparatus comprising the same
WO2021091312A1 (en) Sleeve for cable protection apparatus and cable protection apparatus comprising same
KR20210055605A (en) Sleeve for cables protection apparatus and cables protectoin apparatus comprising the same
US20180036509A1 (en) Cable and medical hollow tube
CN105830539B (en) Static elimination article and method of use
KR20170006259A (en) Flat cable for wiring of operation department
WO2021096202A1 (en) Clamp for cable protector and cable protector comprising same
US11315707B2 (en) Method of producing long body
TW201707012A (en) Flat cable for wiring movable parts capable of suppressing wear and dust, and capable of flexibly changing the specifications and the number of air tubes
JP2017010717A (en) Flat cable for movable portion wiring
CN208004373U (en) New Type Protecting Film destatics cleaning device
KR20180092269A (en) Winding spacer reel
TW201709227A (en) Cable guidance device and cable unit capable of using cables to wire up moveable parts such as transport machinery of an assembly line without using a cable towing chain
JP6827994B2 (en) Manufacturing method of long body
KR20160041266A (en) Cables support apparatus
JP2023150966A (en) Elastic flat cable
JP2020043632A (en) Wire body protective member
JP2020119923A (en) Member for conveying semiconductor substrate and manufacturing apparatus of semiconductor device having the same

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant