KR102290625B1 - Apparatus for inspecting nozzle of inkjet head - Google Patents

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Abstract

잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 상기 노즐에 대한 이상 여부를 검사하기 위한 것으로써, 패드부, 전기 흐름부, 변화 확인부, 노즐 판단부를 포함할 수 있다. 상기 패드부는 상기 노즐로부터 토출되는 약액이 통과되는 통과홀이 형성될 수 있다. 상기 전기 흐름부는 상기 패드부에 상기 통과홀을 가로지르는 경로를 가지면서 전기가 흐르도록 구비될 수 있다. 상기 변화 확인부는 상기 약액이 상기 통과홀을 통과하면서 상기 전기 흐름부에 접촉함에 따라 상기 전기 흐름부에서의 전기적 변화를 확인할 수 있다. 상기 노즐 판단부는 상기 변화 확인부로부터 수신되는 전기적 변화로부터 상기 약액의 토출 상태를 확인하여 상기 노즐에 대한 이상 여부를 판단할 수 있다.The nozzle inspection apparatus of the inkjet head is for inspecting whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzle of the inkjet head. may include The pad part may have a through hole through which the chemical liquid discharged from the nozzle passes. The electricity flow part may be provided to allow electricity to flow while having a path crossing the through hole in the pad part. The change check unit may confirm an electrical change in the electricity flow portion as the chemical liquid passes through the passage hole and contacts the electricity flow portion. The nozzle determining unit may determine whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical from the electrical change received from the change checking unit.

Description

잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING NOZZLE OF INKJET HEAD}Inkjet head nozzle inspection device

본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 노즐에 대한 이상 여부를 검사하기 위한 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle inspection apparatus for an inkjet head. More particularly, the present invention relates to a nozzle inspection apparatus of an inkjet head for inspecting whether a nozzle is abnormal by checking a discharge state of a chemical liquid discharged from a nozzle of the inkjet head.

디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 잉크젯 헤드의 노즐로부터 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.In manufacturing a display device, a process of discharging a chemical from a nozzle of an inkjet head may be performed on a substrate.

잉크젯 헤드의 노즐로부터 약액이 올바르게 토출되지 않을 경우에는 불량이 발생할 수 있기 때문에 잉크젯 헤드의 노즐에 대한 이상 여부를 수시로 검사하는데, 잉크젯 헤드의 노즐에 대한 이상 여부는 주로 잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 달성할 수도 있다.If the chemical liquid is not ejected correctly from the nozzle of the inkjet head, defects may occur, so the nozzle of the inkjet head is frequently inspected for abnormalities. It can also be achieved by checking the discharge state for .

종래에는 잉크젯 헤드의 노즐로부터 필름 등과 부재 상에 약액을 토출한 후 약액의 토출 상태를 육안으로 확인하여 노즐의 이상 여부를 검사하고 있다.
그리고 언급한 노즐 이상 여부에 대한 검사에 대한 예로서는 대한민국 특허출원 10-2005-0006384호 등에 개시되어 있다.Conventionally, after discharging a chemical from a nozzle of an inkjet head onto a film or the like, the discharge state of the chemical is visually checked to inspect whether the nozzle is abnormal.
And as an example of the inspection for the above-mentioned nozzle abnormality, it is disclosed in Korean Patent Application No. 10-2005-006384.

언급한 종래 방법에 따른 노즐의 이상 여부에 대한 검사는 상대적으로 시간이 오래 걸림과 아울러 이상이 발생한 노즐을 정확하게 선별하지 못하는 문제점 등이 있을 수 있다.Inspection of the abnormality of the nozzle according to the aforementioned conventional method may take a relatively long time and may have problems such as not being able to accurately select a nozzle having an abnormality.

본 발명의 일 과제는 잉크젯 헤드의 노즐로부터의 약액의 토출 상태를 전기적 변화를 통하여 확인함으로써 잉크젯 헤드의 노즐에 대한 이상 여부를 보다 신속하고, 정확하게 검사할 수 있는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a nozzle inspection apparatus for an inkjet head capable of more quickly and accurately inspecting whether a nozzle of an inkjet head is abnormal by checking the discharge state of a chemical solution from a nozzle of the inkjet head through an electrical change. have.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 상기 노즐에 대한 이상 여부를 검사하기 위한 것으로써, 패드부, 전기 흐름부, 변화 확인부, 노즐 판단부를 포함할 수 있다. 상기 패드부는 상기 노즐로부터 토출되는 약액이 통과되는 통과홀이 형성될 수 있다. 상기 전기 흐름부는 상기 패드부에 상기 통과홀을 가로지르는 경로를 가지면서 전기가 흐르도록 구비될 수 있다. 상기 변화 확인부는 상기 약액이 상기 통과홀을 통과하면서 상기 전기 흐름부에 접촉함에 따라 상기 전기 흐름부에서의 전기적 변화를 확인할 수 있다. 상기 노즐 판단부는 상기 변화 확인부로부터 수신되는 전기적 변화로부터 상기 약액의 토출 상태를 확인하여 상기 노즐에 대한 이상 여부를 판단할 수 있다.The nozzle inspection apparatus of the inkjet head according to exemplary embodiments for achieving the object of the present invention is for checking whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzle of the inkjet head. As such, it may include a pad unit, an electricity flow unit, a change confirmation unit, and a nozzle determination unit. The pad part may have a through hole through which the chemical liquid discharged from the nozzle passes. The electricity flow part may be provided to allow electricity to flow while having a path crossing the through hole in the pad part. The change check unit may confirm an electrical change in the electricity flow portion as the chemical liquid passes through the passage hole and contacts the electricity flow portion. The nozzle determining unit may determine whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical from the electrical change received from the change checking unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 패드부는 상기 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면에 탈부착될 수 있게 구비될 수 있고, 상기 통과홀은 상기 노즐과 대응하도록 배치될 수 있게 형성될 수 있다.In example embodiments, the pad part may be provided to be detachably attached to a nozzle surface on which a nozzle of the inkjet head is disposed, and the through hole may be formed to be disposed to correspond to the nozzle.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 패드부가 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면 전체를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 상기 통과홀은 상기 잉크젯 헤드의 노즐 개수만큼으로 구비될 수 있다.In example embodiments, when the pad part is detachably provided to cover the entire nozzle surface on which the nozzles of the inkjet head are disposed, the number of the through holes may be as many as the number of nozzles of the inkjet head.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 패드부가 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면 일부를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 상기 통과홀은 상기 잉크젯 헤드의 노즐면 일부에서의 노즐 개수만큼으로 구비될 수 있다.In example embodiments, when the pad part is detachably provided to cover a part of the nozzle surface on which the nozzles of the inkjet head are disposed, the through holes may be provided as many as the number of nozzles on the part of the nozzle surface of the inkjet head. can

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전기 흐름부는 와이어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the electricity flow portion may be provided to have a wire structure.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전기 흐름부의 표면은 소수성 처리가 되도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the surface of the electricity flow portion may be provided to be hydrophobic treatment.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전기 흐름부는 상기 통과홀 각각에 독립적인 경로를 갖도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the electricity flow unit may be provided to have an independent path to each of the through holes.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐 검사부를 사용한 상기 노즐에 대한 이상 여부 판단 결과, 상기 노즐이 미토출 노즐로 판단될 경우 상기 미토출 노즐과 이웃하는 주변 노즐을 사용하여 상기 미토출 노즐이 토출하지 못하는 약액을 보충할 수 있게 제어하는 노즐 제어부를 더 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, when it is determined that the nozzle is a non-ejection nozzle as a result of determining whether the nozzle is abnormal using the nozzle inspection unit, the non-ejection nozzle is discharged using a neighboring nozzle adjacent to the non-ejected nozzle. It may further include a nozzle control unit for controlling to replenish the chemical solution that cannot be.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐 제어부는 상기 노즐로부터 토출되는 약액의 토출량이 설정값과 다를 경우 상기 노즐로부터 토출되는 약액의 토출량이 설정값을 갖도록 제어할 수 있을 것이다.In exemplary embodiments, the nozzle controller may control the amount of the chemical discharged from the nozzle to have a set value when the discharge amount of the chemical discharged from the nozzle is different from a set value.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 잉크젯 헤드의 노즐에 대한 이상 여부를 보다 상대적으로 빠른 시간 내에 검사할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Since the nozzle inspection apparatus of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention can inspect whether the nozzle of the inkjet head is abnormal in a relatively short time, it is possible to expect an improvement in productivity according to the manufacture of the display device. will be.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 이상이 발생한 해당 노즐을 보다 정확하게 선변할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 검사 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Also, since the nozzle inspection apparatus of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention can more accurately change the nozzle in which the abnormality has occurred, improvement of inspection reliability according to the manufacture of the display device can be expected.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 노즐에 이상이 발생하여도 신속하게 조치할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.In addition, since the nozzle inspection apparatus of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention can promptly take action even when an abnormality occurs in the nozzle, improvement of process reliability according to the manufacturing of the display device can be expected.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치에 구비되는 패드부 및 전기 흐름부에 대하여 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 잉크젯 헤드 노즐 검사 장치를 사용하는 사용예에 대하여 설명하기 위한 계략적인 도면들이다.1 is a schematic diagram for explaining a nozzle inspection apparatus of an inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view for explaining a pad part and an electric flow part provided in the nozzle inspection apparatus of the inkjet head of FIG. 1 .
3 and 4 are schematic diagrams for explaining an example of using the inkjet head nozzle inspection apparatus of FIG. 1 .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention may have various changes and may have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치에 구비되는 패드부 및 전기 흐름부에 대하여 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 1 is a schematic view for explaining a nozzle inspection apparatus of an inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention, and FIG. 2 is a pad unit and an electric flow part provided in the nozzle inspection apparatus of the inkjet head of FIG. 1 . It is a schematic drawing for explaining.

도 1 및 도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 노즐에 대한 이상 여부를 검사할 수 있는 것으로써, 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 약액이 토출되는 가를 확인함에 의해 노즐에 대한 미토출 여부를 검사할 수 있을 것이고, 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 토출되는 약액의 토출량을 확인함에 의해 설정된 토출량으로 약액을 올바르게 토출하고 있는 가를 검사할 수 있을 것이다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the nozzle inspection apparatus 100 of an inkjet head according to exemplary embodiments checks the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzle of the inkjet head 11 to determine whether the nozzle is abnormal. can be inspected, by checking whether the chemical is discharged from the nozzle of the inkjet head 11 , it will be possible to check whether the chemical is not discharged to the nozzle, and the amount of chemical discharged from the nozzle of the inkjet head 11 . By checking , it will be possible to check whether the chemical liquid is being discharged correctly with the set discharge amount.

예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 패드부(13), 전기 흐름부(23), 변화 확인부(15), 노즐 판단부(17), 노즐 제어부(19) 등을 포함할 수 있다.The nozzle inspection apparatus 100 of an inkjet head according to exemplary embodiments includes a pad unit 13 , an electricity flow unit 23 , a change check unit 15 , a nozzle determination unit 17 , a nozzle control unit 19 , and the like. may include.

잉크젯 헤드(11)는 디스플레이 소자의 제조시 기판 상에 컬러 필터 등과 같은 구성품으로 형성되는 약액을 토출하기 위한 것으로써, 잉크젯 헤드(11)에는 128개의 노즐, 256개의 노즐 등과 같이 복수개의 노즐이 구비될 수 있을 것이다.The inkjet head 11 is for discharging a chemical liquid formed of components such as a color filter on a substrate when manufacturing a display device. The inkjet head 11 includes a plurality of nozzles such as 128 nozzles and 256 nozzles. it could be

먼저, 패드부(13)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태 확인시 노즐로부터 토출되는 약액이 통과되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 패드부(13)는 노즐로부터 토출되는 약액이 통과되는 통과홀(21)을 갖도록 구비될 수 있다.First, the pad part 13 may be provided to have a structure through which the chemical liquid discharged from the nozzle passes when the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzle of the inkjet head 11 is checked. The pad part 13 may be provided to have a through hole 21 through which the chemical liquid discharged from the nozzle passes.

패드부(13)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태 확인시 잉크젯 헤드(11)의 노즐이 배치되는 노즐면에 탈부착할 수 있게 구비될 수 있다.The pad part 13 may be provided to be detachably attached to the nozzle surface on which the nozzles of the inkjet head 11 are disposed when checking the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzles of the inkjet head 11 .

패드부(13)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면 전체를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 수 있다. 패드부(13)가 잉크젯 헤드(11)의 노즐면 전체를 커버하도록 구비될 경우 패드부(13)에 통과홀(21)이 노즐 개수만큼으로 구비될 것이다.The pad part 13 may be detachably provided to cover the entire nozzle surface of the inkjet head 11 . When the pad part 13 is provided to cover the entire nozzle surface of the inkjet head 11 , the number of passage holes 21 in the pad part 13 will be as many as the number of nozzles.

예를 들면, 잉크젯 헤드(11)에 128개의 노즐이 구비될 경우 패드부(13)에 통과홀(21)이 128개가 노즐 각각에 대응하는 배치 구조를 갖도록 구비될 것이고, 잉크젯 헤드(11)에 256개의 노즐이 구비될 경우 패드부(13)에 통과홀(21)이 256개가 노즐 각각에 대응하는 배치 구조를 갖도록 구비될 것이다.For example, when 128 nozzles are provided in the inkjet head 11 , 128 through holes 21 in the pad part 13 will be provided to have an arrangement structure corresponding to each of the nozzles, and the inkjet head 11 may have 128 nozzles. When 256 nozzles are provided, the 256 through holes 21 in the pad part 13 will be provided to have an arrangement structure corresponding to each of the nozzles.

이와 같이, 잉크젯 헤드(11)의 노즐면 전체를 커버하도록 탈부착할 수 있게 패드부(13)가 구비될 경우에는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면에 패드부(13)를 한 번만 탈부착시켜도 하나의 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐 전체에 대한 검사를 수행할 수 있을 것이다.As described above, when the pad unit 13 is provided so as to be detachably attached to cover the entire nozzle surface of the inkjet head 11 , it is necessary to attach and detach the pad unit 13 to the nozzle surface of the inkjet head 11 only once. An inspection of the entire nozzle in the inkjet head 11 may be performed.

이와 달리, 패드부(13)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면 일부를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 수 있다. 패드부(13)가 잉크젯 헤드(11)의 노즐면 일부를 커버하도록 구비될 경우 패드부(13)에 통과홀(21)이 노즐면 일부에서의 노즐 개수만큼으로 구비될 것이다.Alternatively, the pad part 13 may be detachably provided to cover a part of the nozzle surface of the inkjet head 11 . When the pad part 13 is provided to cover a part of the nozzle surface of the inkjet head 11 , the number of passage holes 21 in the pad part 13 will be as many as the number of nozzles on the part of the nozzle surface.

예를 들면, 패드부(13)가 잉크젯 헤드(11)의 8개의 노즐이 배치되는 노즐면을 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 패드부(13)에는 8개의 통과홀(21)이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 것이고, 패드부(13)가 잉크젯 헤드(11)의 16개의 노즐이 배치되는 노즐면을 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 패드부(13)에는 16개의 통과홀(21)이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 것이다.For example, when the pad part 13 is provided to be detachably attached to cover the nozzle surface on which the eight nozzles of the inkjet head 11 are disposed, the pad part 13 has eight through holes 21 . It will be provided to have a structure, and when the pad part 13 is detachably provided to cover the nozzle surface on which 16 nozzles of the inkjet head 11 are disposed, the pad part 13 has 16 through holes 21 . It will be provided to have a structure in which it is arranged.

따라서 8개의 통과홀(21)이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 패드부(13)를 사용하여 128개의 노즐이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 잉크젯 헤드(11)를 검사할 경우에는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면에 패드부(13)를 16번 탈부착시킴에 의해 하나의 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐 전체에 대한 검사를 수행할 수 있을 것이고, 16개의 통과홀(21)이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 패드부(13)를 사용하여 128의 노즐이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 잉크젯 헤드(11)를 검사할 경우에는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면에 패드부(13)를 8번 탈부착시킴에 의해 하나의 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐 전체에 대한 검사를 수행할 수 있을 것이다.Therefore, when inspecting the inkjet head 11 provided to have a structure in which 128 nozzles are disposed using the pad portion 13 provided to have a structure in which eight through holes 21 are disposed, the inkjet head 11 By attaching and detaching the pad part 13 to the nozzle surface of the nozzle 16 times, it will be possible to perform an inspection of the entire nozzle in one inkjet head 11, and to have a structure in which 16 through holes 21 are disposed. When examining the inkjet head 11 provided to have a structure in which 128 nozzles are disposed using the provided pad portion 13, the pad portion 13 is attached to and detached from the nozzle surface of the inkjet head 11 8 times. Thus, it may be possible to perform an inspection of the entire nozzle in one inkjet head 11 .

패드부(13)가 절연 재질을 가지면서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면에 탈부착이 용이할 경우 그 재질에는 한정되지 않을 것이다.If the pad part 13 has an insulating material and is easily detachable from the nozzle surface of the inkjet head 11, the material will not be limited.

패드부(13)를 잉크젯 헤드(11)의 노즐면에 탈부착시키는 방법은 나사 체결, 가압 등과 같은 기계적 방법으로도 가능할 것이고, 접착 물질의 사용 등과 같은 화학적 방법으로도 가능할 것이다.The method of attaching and detaching the pad part 13 to the nozzle surface of the inkjet head 11 may be a mechanical method such as screw fastening or pressing, or a chemical method such as the use of an adhesive material.

전기 흐름부(23)는 통과홀(21)을 가로지는 경로를 가지면서 전기가 흐르도록 구비될 수 있다. 전기 흐름부(23)는 패드부(13)에 내장되는 경로 및 통과홀(21)을 가로지르는 경로를 갖도록 구비될 수 있다.The electricity flow part 23 may be provided so that electricity flows while having a path crossing the through hole 21 . The electricity flow unit 23 may be provided to have a path built into the pad unit 13 and a path crossing the through hole 21 .

전기 흐름부(23)는 통과홀(21) 각각에 일대일로 대응하는 경로를 갖도록 구비될 수 있다. 전기 흐름부(23)는 통과홀(21) 각각에 독립적인 경로를 갖도록 구비될 수 있다.The electricity flow part 23 may be provided to have a path corresponding to each of the through holes 21 on a one-to-one basis. The electricity flow part 23 may be provided to have an independent path to each of the through holes 21 .

예를 들면, 패드부(13)에 8개의 통과홀(21)이 구비될 경우 8개의 통과홀(21) 각각에 독립적인 경로를 갖도록 8개의 전기 흐름부(23)가 구비될 것이다.For example, when the eight through-holes 21 are provided in the pad part 13 , eight electric flow portions 23 will be provided to have independent paths in each of the eight through-holes 21 .

전기 흐름부(23)는 약액이 패드부(13)의 통과홀(21)을 통과할 때 접촉할 수 있게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로서, 통과홀(21)의 중심 부분을 가로지르는 경로를 가지면서 패드부(13)에 내장되는 와이어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The electricity flow part 23 may be provided to have a structure in which the chemical solution is disposed so as to be in contact when it passes through the passage hole 21 of the pad part 13 , which crosses the central portion of the passage hole 21 . It may be provided to have a wire structure embedded in the pad part 13 while having a path.

전기 흐름부(23)는 패드부(13)의 통과홀(21)을 통과하는 약액이 접촉함에 따라 전기적 변화가 발생할 수 있도록 구비될 수 있다.The electricity flow part 23 may be provided so that an electrical change occurs as the chemical liquid passing through the passage hole 21 of the pad part 13 comes into contact.

이에, 도시하지는 않았지만 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)에서의 전기 흐름부(23)는 전기 흐름부(23)에 전기를 공급할 수 있는 부재와 연결되도록 구비될 수 있다.Accordingly, although not shown, the electricity flow unit 23 in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention is provided to be connected to a member capable of supplying electricity to the electricity flow unit 23 . can be

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 통과홀(21) 각각에 전기 흐름부(23)가 독립적인 경로를 갖기 때문에 노즐 각각으로부터 토출되는 약액 각각에 대한 토출 상태를 확인할 수 있다.As described above, in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention, since the electric flow part 23 has an independent path in each of the through holes 21 , each of the chemical liquids discharged from each of the nozzles You can check the discharge status for .

그리고 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터의 약액은 연속적으로 토출되어 패드부(13)의 통과홀(21)을 통과할 수 있기에 이전에 전기 흐름부(23)에 접촉한 약액에 의한 전기적 변화가 이후에 전기 흐름부(23)에 접촉할 약액에 의한 전기적 변화에 영향을 끼치지 않아야 할 것이다.And since the chemical solution from the nozzle of the inkjet head 11 is continuously discharged and can pass through the passage hole 21 of the pad part 13, an electrical change caused by the chemical solution that has previously been in contact with the electrical flow part 23 is subsequently It should not affect the electrical change caused by the chemical to be in contact with the electrical flow portion 23.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)에서의 전기 흐름부(23)는 이전에 전기 흐름부(23)에 접촉한 약액에 전기 흐름부(23)의 표면에 잔류하는 것을 최소화할 수 있게 그 표면은 소수성 처리가 되도록 구비될 수 있다.Therefore, the electricity flow part 23 in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention is the surface of the electricity flow part 23 in the chemical liquid that has previously been in contact with the electricity flow part 23 . The surface may be provided with a hydrophobic treatment so as to minimize the remaining on the surface.

언급한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 전기 흐름부(23)를 구비함으로써 전기적 변화에 의한 약액의 토출 상태를 확인하도록 구비될 수 있으나, 이와 달리 통과홀(21)에 약액의 토출 상태를 센싱할 수 있는 센서 등과 같은 부재를 구비하여도 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액의 토출 상태를 확인할 수 있을 것이다.The nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the above-mentioned exemplary embodiments of the present invention may be provided to check the discharge state of the chemical due to an electrical change by including the electric flow part 23 , but otherwise pass Even if a member such as a sensor capable of sensing the discharge state of the chemical is provided in the hole 21 , the discharge state of the chemical liquid discharged from the inkjet head 11 may be checked.

변화 확인부(15)는 전기 흐름부(23)와 연결되도록 구비될 수 있다. 변화 확인부(15)는 약액이 통과홀(21)을 통과하면서 전기 흐름부(23)에 접촉함에 따라 전기 흐름부(23)에서의 전기적 변화를 확인할 수 있도록 구비될 수 있다.Change confirmation unit 15 may be provided to be connected to the electricity flow (23). The change confirmation unit 15 may be provided so as to confirm an electrical change in the electricity flow unit 23 as the chemical liquid passes through the passage hole 21 and contacts the electricity flow unit 23 .

변화 확인부(15)는 전기 흐름부(23)에서의 전기적 변화가 약액이 접촉함에 따라 변화하는 저항값일 수 있기에 전기 흐름부(23)에서의 저항값의 변화에 따른 전류값의 변화를 확인하도록 구비될 수 있다.The change confirmation unit 15 is to confirm the change in the current value according to the change in the resistance value in the electricity flow 23 because the electrical change in the electricity flow 23 may be a resistance value that changes as the chemical is in contact. can be provided.

노즐 판단부(17)는 변화 확인부(15)로부터 전기적 변화를 수신받도록 구비될 수 있다. 노즐 판단부(17)는 변화 확인부(15)로부터 수신되는 전기적 변화로부터 약액의 토출 상태를 확인하여 노즐에 대한 이상 여부를 판단하도록 구비될 수 있다.The nozzle determining unit 17 may be provided to receive an electrical change from the change checking unit 15 . The nozzle determining unit 17 may be provided to determine whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical from the electrical change received from the change checking unit 15 .

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)에서의 노즐 판단부(17)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 약액이 토출된 상태임에도 불구하고 변화 확인부(15)로부터 아무런 전기적 변화가 수신되지 않을 경우에는 해당 노즐이 미토출 노즐인 것으로 판단할 수 있을 것이다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)로부터 약액이 토출되었다고 확인되는 해당 노즐에 대응하는 통과홀(21)에서의 전기적 변화가 없을 경우 해당 노즐이 미토출 노즐인 것으로 판단할 수 있을 것이다.The nozzle determining unit 17 in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention includes the change checking unit 15 even though the chemical liquid is discharged from the nozzle of the inkjet head 11 . If no electrical change is received from the , it may be determined that the nozzle is a non-ejection nozzle. That is, in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention, there is no electrical change in the passage hole 21 corresponding to the nozzle confirmed that the chemical liquid has been discharged from the inkjet head 11 . In this case, it may be determined that the corresponding nozzle is a non-ejection nozzle.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)에서의 노즐 판단부(17)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터 약액이 토출될 때 변화 확인부(15)로부터 전기적 변화가 상대적으로 작은값으로 수신되거나 또는 상대적으로 큰값으로 수신될 경우 해당 노즐에서의 약액 토출량이 설정값과 다르게 토출되는 것으로 판단할 수 있을 것이다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 통과홀(21)에서의 전기적 변화가 상대적으로 작은값으로 수신될 경우에는 해당 노즐은 설정값보다 작은 토출량으로 약액을 토출하는 것으로 판단할 수 있을 것이고, 또한 통과홀(21)에서의 전기적 변화가 상대적으로 큰값으로 수신될 경우 해당 노즐은 설정값보다 많은 토출량으로 약액을 토출하는 것으로 판단할 수 있을 것이다.The nozzle determining unit 17 in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention receives an electrical change from the change determining unit 15 when the chemical is discharged from the nozzle of the inkjet head 11 . When is received as a relatively small value or a relatively large value, it may be determined that the discharge amount of the chemical from the corresponding nozzle is different from the set value. That is, in the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention, when the electrical change in the through hole 21 is received with a relatively small value, the corresponding nozzle is discharged with a smaller discharge amount than the set value. It may be determined that the chemical solution is discharged, and when the electrical change in the through hole 21 is received as a relatively large value, the nozzle may be determined to discharge the chemical solution with a discharge amount greater than the set value.

노즐 제어부(19)는 노즐 판단부(17)로부터 노즐에 대한 이상 여부를 제공받아 잉크젯 헤드(11)의 노즐에 대한 동작을 제어하도록 구비될 수 있다. 즉, 노즐 제어부(19)는 이상이 발생한 잉크젯 헤드(11)의 노즐을 제어하도록 구비될 수 있는 것이다.The nozzle control unit 19 may be provided to control the operation of the inkjet head 11 with respect to the nozzle by receiving whether the nozzle is abnormal or not from the nozzle determining unit 17 . That is, the nozzle control unit 19 may be provided to control the nozzle of the inkjet head 11 in which the abnormality has occurred.

노즐 제어부(19)는 노즐 판단부(17)로부터 해당 노즐이 미토출 노즐인 것으로 신호를 수신받을 경우 해당 노즐을 대신하여 다른 노즐, 특히 이웃하는 주변 노즐을 사용하여 미토출 노즐이 토출하지 못하는 약액을 보충할 수 있게 제어하거나 또는 잉크젯 헤드(11) 자체의 가동을 중단시키도록 공정 수행을 제어할 수 있을 것이다.When receiving a signal from the nozzle determining unit 17 that the corresponding nozzle is a non-discharging nozzle, the nozzle control unit 19 uses another nozzle, particularly a neighboring neighboring nozzle, instead of the corresponding nozzle, and the chemical liquid that the non-ejected nozzle cannot discharge. It may be possible to control the operation of the inkjet head 11 itself to replenish or to control the process execution to stop the operation of the inkjet head 11 itself.

또한, 노즐 제어부(19)는 노즐 판단부(17)로부터 해당 노즐로부터의 약액 토출량이 설정값과 다른 것으로 신호를 수신받을 겨웅 해당 노즐에 대한 약액의 토출량이 다시 조정되도록 공정 수행을 제어하거나, 해당 노즐을 대신하여 다른 노즐, 특히 이웃하는 주변 노즐을 사용하여 약액의 토출량이 설정값으로 갖도록 토출될 수 있게 공정 수행을 제어하거나 또는 잉크젯 헤드(11) 자체의 가동을 중단시키도록 공정 수행을 제어할 수 있을 것이다.In addition, the nozzle control unit 19 controls the process execution so that the discharge amount of the chemical solution to the nozzle is adjusted again when receiving a signal from the nozzle determination unit 17 that the discharge amount of the chemical solution from the nozzle is different from the set value, or In place of the nozzle, other nozzles, especially neighboring neighboring nozzles, are used to control the process performance so that the amount of the chemical can be discharged to have a set value, or to control the process performance to stop the operation of the inkjet head 11 itself. will be able

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐로부터의 약액의 토출 상태를 전기적 변화를 통하여 확인함으로써 잉크젯 헤드(11)의 노즐에 대한 이상 여부를 보다 신속하고, 정확하게 검사할 수 있을 것이다.As described above, the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention checks the discharge state of the chemical solution from the nozzle of the inkjet head 11 through an electrical change. It will be possible to check for abnormalities more quickly and accurately.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치를 사용하는 사용예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an example of using the nozzle inspection apparatus of an inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention will be described.

도 3 및 도 4는 도 1의 잉크젯 헤드 노즐 검사 장치를 사용하는 사용예에 대하여 설명하기 위한 계략적인 도면들이다.3 and 4 are schematic diagrams for explaining an example of using the inkjet head nozzle inspection apparatus of FIG. 1 .

도 3을 참조하면, 잉크젯 헤드의 노즐(31) 각각에 통과홀 각각이 대응되도록 잉크젯 헤드의 노즐(31)이 배치되는 노즐면에 패드부(13)가 부착되어 있는 것으로써, 잉크젯 헤드의 노즐(31)로부터 약액(33)이 토출되기 이전 상태이다.Referring to FIG. 3 , the pad part 13 is attached to the nozzle surface on which the nozzles 31 of the inkjet head are disposed so that each passage hole corresponds to each of the nozzles 31 of the inkjet head. It is the state before the chemical|medical solution 33 is discharged from (31).

따라서 도 3의 경우에는 아무런 전기적 변화가 없는 것을 확인할 수 있을 것이다.Therefore, it can be confirmed that there is no electrical change in the case of FIG. 3 .

도 4를 참조하면, 잉크젯 헤드의 노즐(31)로부터 약액(33)이 노출되어 전기 흐름부(23)에 접촉되는 상태이다.Referring to FIG. 4 , the chemical solution 33 is exposed from the nozzle 31 of the inkjet head and is in contact with the electricity flow part 23 .

따라서 도 4의 경우에는 전기 흐름부(23)에 약액(33)이 접촉됨으로써 전기적 변화가 발생할 수 있을 것이다.Therefore, in the case of FIG. 4 , an electrical change may occur by contacting the chemical liquid 33 with the electric flow part 23 .

이때, 아무런 전기적 변화가 발생되지 않는 것으로 확인될 경우 노즐(23)은 미토출 노즐인 것으로 확인될 수 있을 것이고, 전기적 변화가 발생하더라도 설정값과 다를 경우 노즐(23)은 설정된 토출량과 다른 토출량으로 약액(33)을 토출하는 것으로 확인인 될 수 있을 것이다.At this time, when it is confirmed that no electrical change occurs, the nozzle 23 may be identified as a non-discharge nozzle, and even if an electrical change occurs, when it is different from the set value, the nozzle 23 is set to a different discharge amount from the set discharge amount. It may be confirmed by discharging the chemical solution (33).

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치(100)는 노즐 제어부(19)를 사용하는 노즐에 대한 제어를 통하여 미토출 노즐, 설정값과 다른 해당 노즐에 대한 조치를 취할 수 있을 것이다.Accordingly, the nozzle inspection apparatus 100 of the inkjet head according to the exemplary embodiments of the present invention controls the non-ejected nozzles and the corresponding nozzles different from the set values through the control of the nozzles using the nozzle control unit 19 . will be able to take

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치는 약액을 토출하는 프린팅 장치에 적용할 수 있기에 디스플레이 소자의 제조에 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the nozzle inspection apparatus of an inkjet head according to exemplary embodiments of the present invention can be applied to a printing apparatus that discharges a chemical, it may be actively applied to the manufacture of a display device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

11 : 잉크젯 헤드 13 : 패드부
15 : 노즐 확인부 17 : 노즐 판단부
19 : 노즐 제어부 21 : 통과홀
23 : 전기 흐름부 31 : 노즐
33 : 약액 100 : 검사 장치11: inkjet head 13: pad part
15: nozzle confirmation unit 17: nozzle determination unit
19: nozzle control unit 21: through hole
23: electricity flow part 31: nozzle
33: chemical 100: inspection device

Claims (9)

잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 약액에 대한 토출 상태를 확인함에 의해 상기 노즐에 대한 이상 여부를 검사하기 위한 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치에 있어서,
상기 노즐로부터 토출되는 약액이 통과되는 통과홀이 형성되고, 상기 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면에 탈부착할 수 있게 구비되는 패드부;
상기 패드부에 내장되는 경로 및 상기 통과홀을 가로지르는 경로를 가지면서 전기가 흐르도록 구비되는 전기 흐름부;
상기 약액이 상기 통과홀을 통과하면서 상기 전기 흐름부에 접촉함에 따라 상기 전기 흐름부에서의 전기적 변화를 확인하는 변화 확인부; 및
상기 변화 확인부로부터 수신되는 전기적 변화로부터 상기 약액의 토출 상태를 확인하여 상기 노즐에 대한 이상 여부를 판단하는 노즐 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.In the nozzle inspection apparatus of the inkjet head for inspecting whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical liquid discharged from the nozzle of the inkjet head,
a pad part having a through hole through which the chemical liquid discharged from the nozzle passes and being detachably provided on a nozzle surface on which the nozzle of the inkjet head is disposed;
an electricity flow unit provided to allow electricity to flow while having a path built into the pad unit and a path crossing the through hole;
a change confirmation unit for confirming an electrical change in the electricity flow portion as the chemical liquid passes through the passage hole and contacts the electricity flow portion; and
and a nozzle determination unit configured to determine whether the nozzle is abnormal by checking the discharge state of the chemical from the electrical change received from the change checking unit. 제1 항에 있어서,
상기 통과홀은 상기 노즐과 대응하도록 배치될 수 있게 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.According to claim 1,
The nozzle inspection apparatus of the inkjet head, characterized in that the through hole is formed to be disposed to correspond to the nozzle. 제2 항에 있어서,
상기 패드부가 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면 전체를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 상기 통과홀은 상기 잉크젯 헤드의 노즐 개수만큼으로 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.3. The method of claim 2,
When the pad part is detachably provided to cover the entire nozzle surface on which the nozzles of the inkjet head are disposed, the number of the passage holes is equal to the number of nozzles of the inkjet head. 제2 항에 있어서,
상기 패드부가 잉크젯 헤드의 노즐이 배치되는 노즐면 일부를 커버하도록 탈부착할 수 있게 구비될 경우 상기 통과홀은 상기 잉크젯 헤드의 노즐면 일부에서의 노즐 개수만큼으로 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.3. The method of claim 2,
When the pad part is detachably provided to cover a part of the nozzle surface on which the nozzles of the inkjet head are disposed, the number of the passage holes is equal to the number of nozzles on the part of the nozzle surface of the inkjet head. inspection device. 제1 항에 있어서,
상기 전기 흐름부는 와이어 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.According to claim 1,
The nozzle inspection apparatus of the inkjet head, characterized in that the electric flow part is provided to have a wire structure. 제1 항에 있어서,
상기 전기 흐름부의 표면은 소수성 처리가 되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.According to claim 1,
The nozzle inspection apparatus of an inkjet head, characterized in that the surface of the electric flow part is provided to be hydrophobic. 제1 항에 있어서,
상기 전기 흐름부는 상기 통과홀 각각에 독립적인 경로를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.According to claim 1,
The nozzle inspection apparatus of the inkjet head, characterized in that the electricity flow portion is provided to have an independent path to each of the through holes. 제1 항에 있어서,
상기 노즐 판단부를 사용한 상기 노즐에 대한 이상 여부 판단 결과, 상기 노즐이 미토출 노즐로 판단될 경우 상기 미토출 노즐과 이웃하는 주변 노즐을 사용하여 상기 미토출 노즐이 토출하지 못하는 약액을 보충할 수 있게 제어하는 노즐 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.According to claim 1,
As a result of determining whether the nozzle is abnormal using the nozzle determining unit, if the nozzle is determined to be a non-discharging nozzle, the non-ejecting nozzle and neighboring nozzles are used to replenish the chemical liquid that the non-ejected nozzle cannot discharge The nozzle inspection apparatus of the inkjet head, characterized in that it further comprises a nozzle control unit for controlling. 제8 항에 있어서,
상기 노즐 제어부는 상기 노즐로부터 토출되는 약액의 토출량이 설정값과 다를 경우 상기 노즐로부터 토출되는 약액의 토출량이 설정값을 갖도록 제어하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 노즐 검사 장치.9. The method of claim 8,
and the nozzle control unit controls the amount of the chemical discharged from the nozzle to have a set value when the discharge amount of the chemical discharged from the nozzle is different from a set value.
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