KR102283179B1 - 2차원 스캔 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 3은 제1 구동부의 동작 원리 및 동작 상태를 나타낸다.
도 4 및 도 5는 각각 일반적인 2차원 스캔 장치와 본 발명의 실시예에 따른 2차원 스캔 장치를 나타낸다.
도 6은 래스터 스캔(raster scan)을 나타낸다.
도 7은 래스터 스캐닝에서 X축 갈바노미터의 동작을 나타낸다.
제1 구동부(130
제1 모터(131)
크랭크(133)
로드(rod)(135)
제2 구동부(150)
지지부재(151)
제2 모터(153)
Claims (8)
- 타겟을 향하여 빔을 반사하는 반사 미러;
상기 반사 미러와 연결되어 상기 반사 미러를 제1 회전축을 중심으로 정회전 및 역회전시키는 제1 구동부; 및
상기 반사 미러 및 상기 제1 구동부와 연결되어 상기 반사 미러를 상기 제1 회전축과 수직하는 제2 회전축을 중심으로 회전시키는 제2 구동부를 포함하고,
상기 제1 구동부는, 지지부재의 제1측에 고정되고 구동축이 상기 지지부재의 제1측을 관통하는 제1 모터, 상기 제1 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 크랭크, 및 상기 크랭크와 상기 반사 미러를 연결하는 로드(rod)를 포함하며,
상기 제2 구동부는 제2 모터와 상기 제2 모터의 회전에 따라 회전하는 상기 지지부재를 포함하고,
상기 반사 미러의 제1 회전축이 서로 마주보는 상기 지지부재의 제1측 및 제2측에 연결되며,
상기 제1 모터는 상기 지지부재에 고정되어 상기 제2 모터의 회전에 따라 상기 지지부재와 함께 회전하며,
상기 지지부재의 제3측은 상기 제1측 및 상기 제2측과 연결되고, 상기 제2 모터의 구동축은 상기 지지부재의 제3측에 연결되며,
상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부의 동작에 따라 복수의 스캔 라인에 스캐닝이 이루어지는 동안, 상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축이 교차하는 상기 반사 미러의 한 지점에서 빔의 반사가 이루어지는 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부의 동작에 따라 복수의 스캔 라인에 스캐닝이 이루어지는 동안, 상기 반사 미러의 표면의 반사 영역에서 빔의 반사가 이루어지며,
상기 반사 미러의 반사 영역은 상기 제1 회전축과 상기 제2 회전축의 교차점을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 구동부는 래스터 라인(raster line)을 스캔닝하는 래스터 스캐닝을 수행하고,
상기 제1 구동부가 래스터 라인 전체를 스캐닝한 후 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부가 연동함으로써 수직 리트레이스를 수행하는 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 구동부는 제1 모터를 포함하고, 상기 제1 모터의 구동축과 상기 반사 미러의 상기 제1 회전축은 서로 평행하고,
상기 제2 구동부는 제2 모터를 포함하고, 상기 제2 모터의 구동축과 상기 반사 미러의 상기 제2 회전축은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 반사 미러가 상기 제1 회전축을 따라 정회전 및 역회전하는 동안 상기 제1 모터는 일방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 제1 모터의 회전속도는 상기 제2 모터의 회전속도보다 빠르며,
상기 제1 모터의 회전속도는 일정한 것을 특징으로 하는 2차원 스캔 장치.
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