KR102273560B1 - Precision heating device - Google Patents

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KR102273560B1
KR102273560B1 KR1020190158177A KR20190158177A KR102273560B1 KR 102273560 B1 KR102273560 B1 KR 102273560B1 KR 1020190158177 A KR1020190158177 A KR 1020190158177A KR 20190158177 A KR20190158177 A KR 20190158177A KR 102273560 B1 KR102273560 B1 KR 102273560B1
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신승용
황두일
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계민준
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(주)보부하이테크
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Abstract

본 발명은 정밀도가 향상된 히팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평면상에서 대상체가 안착되는 스테이지의 온도구배를 형성함으로써, 스테이지에 안착되는 대상체를 보다 정밀하게 히팅 할 수 있는 정밀도가 향상된 히팅장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 상기 스테이지의 내부에 구비되는 제1히터, 상기 스테이지의 내부에 구비되되, 상기 제1히터에서 소정 거리 이격되어 배치되는 제2히터, 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 제1차열수단 및 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 포함한다.The present invention relates to a heating device with improved precision, and more particularly, to a heating device with improved precision capable of more precisely heating an object seated on a stage by forming a temperature gradient of a stage on which an object is seated on a plane. will be.
According to the present invention, a first heater provided inside the stage, a second heater provided inside the stage and spaced apart from the first heater by a predetermined distance, lower thermal conductivity than the stage, and the first heater and a first heat shielding means disposed between the second heaters and having lower thermal conductivity than the stage, a vertical part disposed between the first heater and the second heater, and a lower end of the vertical part connected in a horizontal direction, and the first and a fourth heat shielding means including a heater and a horizontal portion disposed below the second heater.

Description

정밀도가 향상된 히팅장치{PRECISION HEATING DEVICE}Heating device with improved precision {PRECISION HEATING DEVICE}

본 발명은 정밀도가 향상된 히팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평면도를 기준으로 대상체가 안착되는 스테이지의 센터 부분과 보다 가장자리 부분의 온도구배를 달리함으로써, 스테이지지에 안착되는 대상체를 보다 정밀하게 히팅 할 수 있는 정밀도가 향상된 히팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heating device with improved precision, and more specifically, by differentiating the temperature gradient of the center portion and the edge portion of the stage on which the object is seated based on the plan view, it is possible to more precisely heat the object seated on the stage. It relates to a heating device with improved precision.

본 발명은 히팅 대상인 대상체를 히팅 하는 장치에 관한 것으로서, 예시적으로 대상체는 웨이퍼 등일 수 있다.The present invention relates to an apparatus for heating an object to be heated, and for example, the object may be a wafer or the like.

일반적으로 웨이퍼는 반도체 장치들을 제조하기 위한 증착(deposition) 공정 등을 수행하는데, 이러한 공정들을 수행하기 위해 대상체(웨이퍼 등)를 스테이지에 안착시켜, 대상체를 히팅 하는 공정을 수행한다.In general, a wafer performs a deposition process for manufacturing semiconductor devices, and the like. In order to perform these processes, an object (wafer, etc.) is seated on a stage and a process of heating the object is performed.

최근 반도체 패턴이 초미세화로 인하여 반도체 수율을 높이기 위해 주변 장치인 히터도 높은 수준의 컨트롤이 필요하게 되었다.Due to the recent miniaturization of semiconductor patterns, a high level of control is required for heaters, which are peripheral devices, in order to increase semiconductor yield.

한편 종래의 기술인 공개특허 제10-2007-0025305호(이하 종래기술)는 전력이 조절되는 스테이지 히터를 갖는 반도체 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게 설명하면 공정 챔버 내에 설치되며, 웨이퍼가 장착되는 스테이지; 상기 스테이지에 설치되며, 상기 스테이지에 장착되는 웨이퍼를 가열하는 스테이지 히터; 상기 스테이지 히터에 파워를 공급하는 온도 제어기; 및 상기 온도 제어기와 상기 스테이지 히터 사이에 연결되며, 상기 온도 제어기로부터 파워를 받아서 상기 스테이지 히터에 일정한 파워를 공급하는 이득 제어기를 구비함으로써, 스테이지 히터에 오버슈트 전압과 과전류가 공급되는 방지하여 스테이지 히터에 항상 일정한 파워가 공급되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the prior art Patent Publication No. 10-2007-0025305 (hereinafter referred to as the prior art) relates to a semiconductor manufacturing apparatus having a stage heater whose power is controlled, and in more detail, it is installed in a process chamber and a stage on which a wafer is mounted. ; a stage heater installed on the stage and heating a wafer mounted on the stage; a temperature controller supplying power to the stage heater; and a gain controller connected between the temperature controller and the stage heater to receive power from the temperature controller and supply a constant power to the stage heater, thereby preventing overshoot voltage and overcurrent from being supplied to the stage heater, thereby preventing the stage heater from being supplied. It is characterized in that constant power is always supplied to the

그러나 상술한 바와 같이, 이러한 종래기술은 대상체가 안착되는 스테이지의 온도구배를 형성하지 못하여, 대상체를 보다 정밀하게 가공(예시적으로 증착)하여 최근 패턴이 초미세화 되는 반도체 등으로 제조하기 위한 수요를 충족시키지 못한다는 문제점이 있었다.However, as described above, this prior art cannot form a temperature gradient of the stage on which the object is seated, so the demand for manufacturing the object, such as a semiconductor, in which the pattern is made ultra-fine, by processing the object more precisely (for example, deposition), etc. There was a problem that it could not be satisfied.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 대상체가 안착되는 스테이지의 온도구배를 형성하기 위한 정밀도가 향상된 히팅장치의 제공을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a heating device with improved precision for forming a temperature gradient of a stage on which an object is seated.

상기 과제의 해결을 목적으로 하는 본 발명은 다음의 구성 및 특징을 갖는다.The present invention for the purpose of solving the above problems has the following configuration and features.

대상체가 안착되는 스테이지, 상기 스테이지의 내부에 구비되는 제1히터, 상기 스테이지의 내부에 구비되되, 상기 제1히터에서 소정 거리 이격되어 배치되는 제2히터 및 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 제1차열수단을 포함한다.A stage on which an object is seated, a first heater provided inside the stage, a second heater provided inside the stage and disposed to be spaced apart from the first heater by a predetermined distance, and a lower thermal conductivity than the stage, the first heater and a first heat shielding means disposed between the heater and the second heater.

또한 상기 제1차열수단은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 것을 포함할 수 있다.Also, the first heat shielding means may include a plurality of the first heat shielding means provided at predetermined intervals along the horizontal direction.

또한 상기 제1차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the first heat shielding means may be an air cap having a hollow therein.

또한 상기 제1차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the first heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 제2차열수단을 포함할 수 있다.In addition, a second heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed below the first heater and the second heater may be included.

또한 상기 제2차열수단은 수직 방향으로 배치되는 수직부를 포함할 수 있다.In addition, the second heat shielding means may include a vertical portion disposed in a vertical direction.

또한 상기 제2차열수단은 상기 수직부의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부를 포함할 수 있다.In addition, the second heat shielding means may include a horizontal portion connected in the horizontal direction from the lower end of the vertical portion.

또한 상기 제2차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.Also, the second heat shielding means may be an air cap having a hollow therein.

또한 상기 제2차열수단은 상기 수직부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the second heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지는 제1폭을 갖는 제1바디, 상기 제1바디의 하부에 구비되고 상기 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디 및 상기 제1바디와 제2바디 간의 폭 차이에 의해 상기 제1바디의 하면에 형성된 단턱부를 포함하고, 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하부에 구비되고 상기 단턱부에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단을 포함할 수 있다.In addition, the stage includes a first body having a first width, a second body provided under the first body and having a second width smaller than the first width, and a width difference between the first body and the second body. A third heat shielding means including a stepped portion formed on the lower surface of the first body, lower in thermal conductivity than the stage, provided below the first heater and the second heater, and extending upward from the stepped portion. can

또한 상기 제3차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the third heat shielding means may be an air cap having a hollow therein.

또한 상기 제3차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the third heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 포함할 수 있다.In addition, a vertical portion having lower thermal conductivity than the stage, a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater It may include a fourth heat shielding means including.

또한 상기 제4차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the fourth heat shielding means may be an air cap having a hollow therein.

또한 상기 제4차열수단은 상기 세로부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the fourth heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 더 포함하고, 상기 세로부는 인접한 두 제1차열수단의 사이에 배치될 수 있다.In addition, a vertical portion having lower thermal conductivity than the stage, a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater It further includes a fourth heat shielding means including, the vertical portion may be disposed between two adjacent first heat shielding means.

상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은 대상체가 안착되는 스테이지에 온도구배를 형성함으로써, 대상체를 보다 효과적이고 정밀하게 히팅 할 수 있다는 효과를 갖는다.The present invention having the above configuration and characteristics has the effect that the object can be heated more effectively and precisely by forming a temperature gradient on the stage on which the object is seated.

도 1은 본 발명에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 종래의 스테이지 히터를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a view for explaining a heating device according to the present invention.
2 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view for explaining a conventional stage heater.
4 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a third embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is intended to be described in detail in the text of the embodiment (態樣, aspect) (or embodiments) can be applied to various changes and can have various forms. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is only used to describe a specific embodiment (aspect, aspect, aspect) (or embodiment), and is not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as comprises or consists of are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.~1~, ~2~, etc. described in the present specification will be referred to only to distinguish that they are different components, and are not limited to the order of manufacture, and their names in the detailed description and claims of the invention are may not match.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 "연결"은 유체 등이 이동하는 "연통"을 의미할 수 있다.Throughout this specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also the case of being "indirectly connected" with another element interposed therebetween. do. Also, “connection” may mean “communication” through which a fluid or the like moves.

본원 명세서 전체에서, 방향이나 위치와 관련된 용어 중 상측, 상부, 상단, 하측, 하부, 하단은 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설명한 것이다. 구체적으로, 상측(상부, 상단)은 도 1을 기준으로 상측(상부, 상단)을 의미할 수 있고, 하측은 도 1을 기준으로 하측(하부, 하단)을 의미할 수 있다. 연직 방향, 수직 방향은 도 1을 기준으로 상하 방향을 의미하고, 수평 방향은 도 1을 기준으로 좌우 방향을 의미한다.Throughout this specification, the terms upper, upper, upper, lower, lower, and lower among terms related to direction or location are described based on the arrangement state of each component shown in the drawings. Specifically, upper (upper, upper) may mean upper (upper, upper) with reference to FIG. 1 , and lower may mean lower (lower, lower) with reference to FIG. 1 . A vertical direction and a vertical direction refer to a vertical direction based on FIG. 1 , and a horizontal direction refers to a left and right direction based on FIG. 1 .

도 1은 본 발명에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a view for explaining a heating device according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a first embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 히팅장치(H)(정밀도가 향상된 히팅장치)를 설명의 편의상 '본 장치'라 칭하기로 한다.Hereinafter, a heating device (H) (a heating device with improved precision) according to the present invention will be referred to as 'this device' for convenience of description.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 장치(히팅장치(H))(정밀도가 향상된 히팅장치)는 스테이지(1), 제1히터(2), 제2히터(3) 및 제1차열수단(4)을 포함한다.1 and 2, the device (heating device H) (a heating device with improved precision) includes a stage 1, a first heater 2, a second heater 3, and a first heat shielding means ( 4) is included.

본 장치는 예시적으로 반도체 제조 공정에서의 웨이퍼(대상체) 등을 가열하기 위한 것일 수 있다. 즉, 웨이퍼에 반도체 장치들을 제조하기 위해 증착(deposition) 공정 등을 수행할 때, 증착(예시적으로 이온 증착)이 원활히 수행되도록 웨이퍼(대상체)를 가열시키는 것이다.The apparatus may be for example to heat a wafer (object) in a semiconductor manufacturing process. That is, when a deposition process is performed to manufacture semiconductor devices on the wafer, the wafer (object) is heated so that deposition (eg, ion deposition) is smoothly performed.

여기에서 스테이지(1)는 상술한 공정 등을 수행하기 위해 가열이 필요한 대상인 대상체(예시적으로 웨이퍼)가 안착된다.Here, on the stage 1 , an object (eg, a wafer) that requires heating to perform the above-described process is seated.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 본 장치의 제1히터(2)는 스테이지(1)의 내부에 구비된다. 또한 제2히터(3)는 스테이지(1)의 내부에 구비되되, 제1히터(2)에서 소정 거리 이격되어 배치된다. 예시적으로 제1히터(2) 및 제2히터(3)는 수평 방향(연직 방향에 직교하는 방향으로, 도 1을 기준으로 좌우방향을 의미하며, 이하에서 서술되는 수평 방향은 본원 명세서 전체에서 동일하게 적용되는 것으로 한다)을 따라 소정 간격을 두고 이격되어 배치되는 것일 수 있다.1 and 2 , the first heater 2 of the apparatus according to the first embodiment is provided inside the stage 1 . Also, the second heater 3 is provided inside the stage 1 , and is disposed to be spaced apart from the first heater 2 by a predetermined distance. Exemplarily, the first heater 2 and the second heater 3 are in a horizontal direction (a direction perpendicular to the vertical direction, which means a left and right direction based on FIG. 1 , and the horizontal direction described below is used throughout the present specification. It is assumed that the same is applied), and may be disposed spaced apart from each other at a predetermined interval.

제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레에서 내측(스테이지(1)의 둘레에서 내측 반경 방향)으로 이격되어 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다. 여기에서 둘레 방향은 둘레에서 소정거리 이격되어, 둘레와 소정거리를 유지하며 둘레를 따라 이동하는 방향일 수 있다.Each of the first heater 2 and the second heater 3 may be formed along the circumferential direction while being spaced apart from the inside of the periphery of the stage 1 (in the radial direction from the periphery of the stage 1). Here, the circumferential direction may be a direction that is spaced apart from the circumference by a predetermined distance, and moves along the circumference while maintaining a predetermined distance from the circumference.

예시적으로 제2히터(3)는 스테이지(1)에서 스테이지(1)의 둘레에 인접하여 형성될 수 있고, 제1히터(2)는 스테이지(1)에서 제2히터(3)보다 내측에 형성될 수 있다. 여기에서 내측은 스테이지(1)의 둘레에서 중심선(연직 방향의 길이를 갖는 중심선)을 향하는 방향일 수 있다. 또한 제1히터(2)는 스테이지(1)의 내측 반경 방향을 따라 소정 간격을 두고 다수 구비될 수 있다.Illustratively, the second heater 3 may be formed adjacent to the periphery of the stage 1 in the stage 1 , and the first heater 2 is located inside the second heater 3 in the stage 1 . can be formed. Here, the inner side may be a direction toward a center line (a center line having a length in a vertical direction) around the periphery of the stage 1 . Also, a plurality of first heaters 2 may be provided at predetermined intervals along the inner radial direction of the stage 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1차열수단(4)은 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치된다.1 and 2 , the first heat shielding means 4 has lower thermal conductivity than the stage 1 and is disposed between the first heater 2 and the second heater 3 .

즉, 제1히터(2) 및 제2히터(3)가 배출되는 열량이 다른 경우(예시적으로 제1히터(2) 및 제2히터(3)는 전기저항체로서, 공급되는 전원이 증가함에 따라 발열량이 증가되는 것일 수 있다) 제1차열수단(4)에 의해 스테이지(1)의 표면(대상체가 안착되는 면)에 제1차열수단(4)을 기준으로 온도구배를 형성할 수 있다는 이점이 있다.That is, when the amount of heat emitted by the first heater 2 and the second heater 3 is different (for example, the first heater 2 and the second heater 3 are electrical resistors, and the power supplied increases). The amount of heat generated may increase accordingly) The advantage of being able to form a temperature gradient based on the first heat shielding means 4 on the surface (the surface on which the object is seated) of the stage 1 by the first heat shielding means 4 . There is this.

상술하였듯이, 대상체가 웨이퍼인 경우, 스테이지(1)가 온도구배를 형성함으로써 웨이퍼의 증착 공정 등을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 것이다.As described above, when the object is a wafer, the stage 1 forms a temperature gradient so that the deposition process of the wafer can be more precisely controlled.

이때 제1차열수단(4)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 즉, 제1차열수단(4)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.In this case, the first heat shielding means 4 may be an air cap having a hollow therein. That is, when the first heat shielding means 4 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without separately using an expensive insulating material.

제1차열수단(4)은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제1차열수단(4)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제1차열수단(4)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다.The first heat shielding means 4 may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater 2 based on a plan view. More specifically, the first heat shielding means 4 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3, and when one end and the other end are spaced apart, the stage ( In 1), heat exchange between the portion provided with the first heater 2 (hereinafter, the center portion) and the portion provided with the second heater 3 (hereinafter referred to as the edge portion) is performed, making it difficult to form a temperature gradient of the stage 1 do. At this time, the first heat shielding means 4 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the part provided with the first heater 2 and the second heater ( 3) is to suppress the heat exchange of the provided portion to form a temperature gradient of the stage (1) more effectively.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제1차열수단(4) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it is said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1 . Similarly, the first heat shielding means 4 also follows the circumferential direction of the stage 1 . can be formed according to

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 본 장치는 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 스테이지(1) 내부에서 제1히터(2) 및 제2히터(3)보다 하측에 배치되는 제2차열수단(5)을 포함할 수 있다. 또한 제2차열수단(5)은 스테이지(1) 내부에서 제1차열수단(4) 보다 하측에 구비될 수 있다.1 and 2 , the apparatus according to the first embodiment has lower thermal conductivity than the stage 1 and is disposed below the first heater 2 and the second heater 3 in the stage 1 . It may include a second heat shielding means (5). In addition, the second heat shielding means 5 may be provided below the first heat shielding means 4 inside the stage 1 .

즉, 제1실시예에 따른 본 장치가 제2차열수단(5)을 포함함으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)에서 제1히터(2)가 발생한 열이 수평 방향으로 이동되는 것만 억제하는 것이 아니라, 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동하여 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)으로 이동하는 것을 억제할 수 있다. 여기에서 수직 방향은 연직 방향으로서, 도 1을 기준으로 상하 방향을 의미한다. 즉, 센터 부분과 가장자리 부분이 제2차열수단(5)에 의해 열의 이동이 보다 효과적으로 억제된다.That is, since the apparatus according to the first embodiment includes the second heat shielding means 5 , the first heater 2 is generated in the portion (center portion) provided with the first heater 2 in the stage 1 . It is possible to suppress the movement of the heat to the portion (edge portion) provided with the second heater 3 by moving not only in the horizontal direction, but also in the vertical and horizontal directions. Here, the vertical direction is a vertical direction, and refers to a vertical direction with reference to FIG. 1 . That is, the heat transfer is more effectively suppressed by the second heat shielding means 5 between the center portion and the edge portion.

스테이지(1)에서 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)에서 제2히터(3)가 발생한 열이 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)으로 열이 이동되는 것 또한 제2차열수단(5)을 통해 억제되는 데 이것은 상술한 설명(제1히터(2)가 발생한 열이 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)으로 열이 이동되는 것을 억제하는 설명)으로 대체한다.Heat generated by the second heater 3 in the portion (edge portion) provided with the second heater 3 in the stage 1 is transferred to the portion (center portion) provided with the first heater 2 In addition, it is suppressed through the second heat shielding means 5, which suppresses the transfer of heat generated by the first heater 2 to the portion (edge portion) provided with the second heater 3 as described above. description) is replaced with

도 1 및 도 2를 참조하여 제2차열수단(5)을 보다 구체적으로 설명하면, 제2차열수단(5)은 수직 방향으로 배치되는 수직부(51)를 포함할 수 있다. 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 또한 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제1차열수단(4) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 수직부(51)를 통해 상술한 제1차열수단(4)과의 이격 공간을 최소화 하고, 상기 가장자리 부분과 상기 센터 부분의 열이 하측으로 이동하여 수평 방향으로 이동하는 것을 최대한 억제할 수 있다.When the second heat shielding means 5 will be described in more detail with reference to FIGS. 1 and 2 , the second heat shielding means 5 may include a vertical portion 51 disposed in a vertical direction. The vertical portion 51 may be disposed between extension lines extending in a vertical direction from each of the first heater 2 and the second heater 3 . In addition, the vertical portion 51 may be disposed between the extension lines extending in the vertical direction from each of the first heater 2 and the first heat shielding means 4 . Through the vertical portion 51, it is possible to minimize the space between the first heat shielding means 4 and the above-described first heat shielding means 4, and it is possible to suppress the movement in the horizontal direction by moving the rows of the edge portion and the center portion to the lower side as much as possible.

또한 제2차열수단(5)은 수직부(51)의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부(52)를 포함할 수 있다. 예시적으로 수평부(52)는 제1히터(2) 보다 하측에 구비될 수 있다. 수평부(52)는 수직부(51)의 하단에서 내측 방향으로 연장되어 제1히터(2) 보다 하측에 구비될 수 있다.In addition, the second heat shielding means 5 may include a horizontal portion 52 connected in the horizontal direction from the lower end of the vertical portion 51 . Exemplarily, the horizontal portion 52 may be provided below the first heater 2 . The horizontal portion 52 may extend inwardly from the lower end of the vertical portion 51 to be provided below the first heater 2 .

상술하였듯이, 제2차열수단(5)은 제1히터(2) 또는 제2히터(3)가 발생하는 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향 및 수평 방향을 따라 제2히터(3)가 구비된 부분 또는 제1히터(2)가 구비된 부분으로 이동하는 것을 억제한다고 하였는데, 수평부(52)가 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장됨으로써, 수직 방향 및 수평 방향을 따라 열이 이동하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있는 것이다.As described above, the second heat shielding means 5 is a portion in which the heat generated by the first heater 2 or the second heater 3 is provided with the second heater 3 not only in the horizontal direction but also in the vertical and horizontal directions. Alternatively, it was said that the movement to the portion provided with the first heater 2 was suppressed, and the horizontal portion 52 extends inward from the lower end of the vertical portion 51, thereby preventing heat from moving in the vertical and horizontal directions. It can be suppressed more effectively.

이때 제2차열수단(5) 보다 상측에 구비되는 제1차열수단(4)은 그 상단이 스테이지(1) 내부에서 대상체가 안착되는 표면(상면)에 인접하도록 배치되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the upper end of the first heat shielding means 4 provided above the second heat shielding means 5 is disposed adjacent to the surface (upper surface) on which the object is seated inside the stage 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 제2차열수단(5)은 제1차열수단(4)과 마찬가지로 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.1 and 2 , the second heat shielding means 5 may be an air cap having a hollow inside, like the first heat shielding means 4 . Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without separately using an expensive insulating material.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제2차열수단(5)은 수직부(51)가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조로 형성될 수 있다.1 and 2 , the second heat shielding means 5 may be formed in a closed structure in which a vertical part 51 is connected to one end and the other end to surround the first heater 2 based on a plan view. .

보다 구체적으로 설명하면, 제2차열수단(5)의 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각의 연장선 사이)에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제2차열수단(5)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시킬 수 있다.More specifically, the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 is formed between the first heater 2 and the second heater 3 (the first heater 2 and the second heater 3, respectively). (between extension lines), but when one end and the other end are spaced apart, the part (center part) provided with the first heater 2 and the second heater 3 on the stage 1 through the space between the one end and the other end Heat exchange of the provided portion (edge portion) makes it difficult to form a temperature gradient of the stage 1 . At this time, the second heat shielding means 5 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the part (center part) provided with the first heater 2 in the stage 1 and The temperature gradient of the stage 1 can be formed more effectively by suppressing heat exchange in the portion (edge portion) provided with the second heater 3 .

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제2차열수단(5) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it is said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1 . Similarly, the second heat shielding means 5 also defines the circumferential direction of the stage 1 . can be formed according to

이때 수평부(52)는 둘레 방향을 따라 형성되는 수직부(51)의 하단이 형성하는 내측 공간을 밀폐하도록 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장될 수 있다. 즉, 수평부(52)는 연직 방향의 길이를 갖는 스테이지(1)의 중심선에서 수직부(51) 하단까지의 직경을 갖는 것일 수 있다. 따라서 수평부(52)를 기준으로 스테이지(1)의 상부와 하부의 열 차단을 보다 효과적으로 수행할 수 있다는 이점이 있다.At this time, the horizontal portion 52 may extend inwardly from the lower end of the vertical portion 51 to seal the inner space formed by the lower end of the vertical portion 51 formed along the circumferential direction. That is, the horizontal portion 52 may have a diameter from the center line of the stage 1 having a length in the vertical direction to the lower end of the vertical portion 51 . Therefore, there is an advantage that the upper and lower portions of the stage 1 can be more effectively blocked from heat based on the horizontal portion 52 .

도 2를 참조하면, 스테이지(1)는 제1폭을 갖는 제1바디(11), 제1바디(11)의 하부에 구비되고 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디(12)를 포함할 수 있다. 이때 제1바디(11)와 제2바디(12)는 연직 방향(도 1을 기준으로 상하 방향)의 길이를 갖는 중심선이 일치하도록 배치될 수 있다. 여기에서 폭은 제1바디(11) 및 제2바디(12) 각각의 직경일 수 있는데 도 1에서 좌우 방향 길이일 수 있다. 이때 상술한 제1히터(2), 제2히터(3) 및 제1차열수단(4)은 제1바디(11)의 내부에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the stage 1 includes a first body 11 having a first width, a second body 12 provided under the first body 11 and having a second width smaller than the first width. may include. In this case, the first body 11 and the second body 12 may be arranged so that the center line having a length in the vertical direction (up and down direction with reference to FIG. 1 ) coincides with each other. Here, the width may be the diameter of each of the first body 11 and the second body 12, and may be the length in the left-right direction in FIG. 1 . At this time, the first heater 2 , the second heater 3 and the first heat shielding means 4 described above may be provided inside the first body 11 .

스테이지(1)는 제1바디(11)와 제2바디(12) 간의 폭 차이에 의해 제1바디(11)의 하면에 형성된 단턱부(13)를 포함할 수 있다. 이때 제2히터(3)는 단턱부(13)에서 수직 방향을 따라 소정 거리 이격되어 단턱부(13)보다 상측에 구비될 수 있다. The stage 1 may include a stepped portion 13 formed on the lower surface of the first body 11 due to a difference in width between the first body 11 and the second body 12 . In this case, the second heater 3 may be provided above the stepped portion 13 by being spaced apart a predetermined distance in the vertical direction from the stepped portion 13 .

이와 같이, 제2바디(12)를 포함함으로써 상면에 대상체가 안착되는 제1바디(11)에 강성을 부여하는 동시에, 제2바디(12)의 폭이 제1바디(11)의 폭보다 작음으로써, 가장자리 부분의 열(제2히터(3)가 발생한 열)이 하측으로 이동하여 공기 보다 열전도율이 큰 스테이지(1)를 통해 스테이지(1)의 내측(센터 부분)으로 이동하는 것을 억제할 수 있다.As such, by including the second body 12 , rigidity is imparted to the first body 11 on which the object is seated on the upper surface, and the width of the second body 12 is smaller than the width of the first body 11 . As a result, it is possible to suppress the heat from the edge (the heat generated by the second heater 3) from moving downward and moving to the inside (center portion) of the stage 1 through the stage 1 having a higher thermal conductivity than air. have.

도 2를 참조하면, 제1실시예 따른 본 장치는 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 제1히터(2) 및 제2히터(3)보다 하부에 구비되고 단턱부(13)에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단(6)을 포함할 수 있다. 제1차열수단(4), 제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6)은 정단면도(도 2 참조)에서 봤을 때 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 구비될 수 있다. 즉, 상기 가장자리 부분은 제3차열수단(6)을 기준으로 외측을 의미할 수 있고, 센터 부분은 상술한 제2차열수단(5)을 기준으로 내측을 의미할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the device according to the first embodiment has lower thermal conductivity than the stage 1 , is provided below the first heater 2 and the second heater 3 , and extends upward from the stepped portion 13 . It may include the provided third heat shielding means (6). The first heat shielding means 4, the vertical part 51 of the second heat shielding means 5, and the third heat shielding means 6 are the first heater 2 and the second heater when viewed from a front sectional view (refer to FIG. 2). (3) may be provided between the extension lines extending in the vertical direction in each. That is, the edge part may mean the outside with respect to the third heat shielding means 6 , and the center part may mean the inside with respect to the above-described second heat shielding means 5 .

이를 통해, 가장자리 부분이 열이 하측으로 이동하여 센터 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있고, 센터 부분의 열이 하측으로 이동하여 가장자리 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있다.Through this, it is possible to suppress the row of the edge part from moving downward to the center part, and it is possible to suppress the row from the center part from moving downward and moving to the edge part.

제3차열수단(6)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 즉, 제3차열수단(6)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.The third heat shielding means 6 may be an air cap having a hollow therein. That is, when the third heat shielding means 6 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without separately using an expensive insulating material.

또한 제3차열수단(6)은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the third heat shielding means 6 may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater 2 based on a plan view.

보다 구체적으로 설명하면, 제3차열수단(6)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이)에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제6차열수단(4)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다. More specifically, when the third heat shielding means 6 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3 (between extension lines extending in the vertical direction from each), one end and the other end are spaced apart , heat exchange between the portion provided with the first heater 2 (hereinafter referred to as the center portion) and the portion provided with the second heater 3 (hereinafter referred to as the edge portion) of the stage 1 is performed through the space between the one end and the other end. It becomes difficult to form the temperature gradient of the stage 1 . At this time, the sixth heat shielding means 4 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the part provided with the first heater 2 and the second heater ( 3) is to suppress the heat exchange of the provided portion to form a temperature gradient of the stage (1) more effectively.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제6차열수단(6) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it is said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1 . Similarly, the sixth heat shielding means 6 also defines the circumferential direction of the stage 1 . can be formed according to

도 2를 참조하여 제1실시예에 따른 본 장치를 보다 구체적으로 설명하면, 제1바디(11)에 제1히터(2) 및 제2히터(3)가 구비되고, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장된 연장선 사이에 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 제3차열수단(6)이 구비되며, 제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6) 각각의 연장선 사이에 구비되되, 제1히터(2) 및 제3히터(3) 사이에 제1차열수단(4)이 구비되고, 수평부(52)가 상기 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장될 수 있다. 상술하였듯이, 제2차열수단(5) 및 제3차열수단(6)은 제1히터(2) 및 제2히터(3) 보다 하측에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the apparatus according to the first embodiment will be described in more detail. The first body 11 is provided with a first heater 2 and a second heater 3 , and the first heater 2 and a vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6 are provided between the extension lines extending in the vertical direction from each of the second heaters 3 , The vertical part 51 and the third heat shielding means 6 are provided between the respective extension lines, and the first heat shielding means 4 is provided between the first heater 2 and the third heater 3, and the horizontal part ( 52 may extend inward from the lower end of the vertical portion 51 . As described above, the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6 may be provided below the first heater 2 and the second heater 3 .

도 3은 종래의 스테이지 히터를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining a conventional stage heater.

도 3은 본 장치와 비교 대상인 종래의 스테이지 히터에 관한 것으로, 본 장치에서 제1바디(11'), 제2바디(12'), 단턱부(13')를 포함하는 스테이지(1')와 제1히터(2'), 제2히터(3')를 포함할 수 있다. 상기 스테이지 히터는 본 장치에서 제2차열수단(5)의 수평부(52)를 포함할 수 있다.3 is a conventional stage heater to be compared with the present apparatus. In the present apparatus, a stage 1' including a first body 11', a second body 12', and a stepped portion 13', and A first heater 2' and a second heater 3' may be included. The stage heater may include a horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 in the present device.

이러한 종래의 스테이지 히터에서 스테이지(1')를 상기 SUS 재질의 전기저항체인 제1히터(2') 및 제2히터(3') 각각에 800W, 1000W의 전력을 각각 인가하여, 센터 부분의 온도가 가장자리 부분의 온도보다 낮도록 할 경우(이하 제1실험 조건), 스테이지(1')의 중심(상기 센터 부분) 온도는 294.9℃이고, 상기 스테이지(1')의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 299.6℃ 로서(상기 스테이지(1')의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값) 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 4.9℃ 이었다(상기 측정된 온도는 스테이지(1') 표면(대상체가 안착되는 면)의 온도일 수 있다).In this conventional stage heater, 800W and 1000W of electric power is applied to the first heater 2' and the second heater 3', respectively, which are the electrical resistors of the SUS material for the stage 1', respectively, and the temperature of the center part is lower than the temperature of the edge portion (hereinafter, the first experimental condition), the temperature of the center (the center portion) of the stage 1' is 294.9° C., and a point 140 mm apart from the center of the stage 1' ( The temperature of the edge portion) was 299.6°C (the highest value among the four temperatures measured at an interval of 90° from the center of the stage 1'), and the temperature difference between the edge portion and the center portion was 4.9°C (the measurement above). The set temperature may be the temperature of the surface of the stage 1' (the surface on which the object is seated).

반면에, 제1실시예에 따른 본 장치(도 2 참조)는, 상술한 스테이지 히터의 제1실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 293.8℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 302.2℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값) 로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 8.4℃ 이었다.On the other hand, in the present apparatus according to the first embodiment (refer to FIG. 2 ), when the stage 1 temperature (eg, the surface temperature) is measured under the same conditions as the first experimental conditions of the stage heater, the stage The temperature of the center (center part) of (1) was 293.8 °C, and the temperature of the point 140 mm apart (the edge part) from the center of the stage 1 was 302.2 °C (with an interval of 90 ° from the center of the stage 1) As the highest value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 8.4°C.

즉, 제1실시예에 따른 본 장치는 제2차열수단(5)의 수평부(52)만 구비한 종래의 스테이지 히터(도 3 참조)와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(3.7℃ 차이) 때문에 제1실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.That is, in the apparatus according to the first embodiment, the temperature difference between the edge portion and the center portion is larger than that of the conventional stage heater (see FIG. 3 ) having only the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 . It can be confirmed that the temperature gradient between the edge portion and the center portion can be more easily formed in the device according to the first embodiment because it appears (a difference of 3.7°C).

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a second embodiment of the present invention.

도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 제2실시예에 따른 본 장치는 상술한 제1실시예에 다른 본 장치의 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 제1차열수단(4)을 포함할 수 있다. 예시적으로 제1차열수단(4)은 세 개 구비될 수 있다. 예시적으로 세 개의 제1차열수단(4) 중 내측에 구비되어 제1히터(2)와 인접한 것은 상술한 제2차열수단(5)의 수직부(51)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비되고, 세 개의 제1차열수단(4) 중 외측에 구비되어 제2히터(3)와 인접한 것은 상술한 제3차열수단(6)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비될 수 있다.1, 3 and 4, the device according to the second embodiment includes a plurality of first heat shielding means 4 provided at predetermined intervals along the horizontal direction of the device according to the first embodiment described above. may include Exemplarily, three first heat shielding means 4 may be provided. Exemplarily, the one provided inside the three first heat shielding means 4 and adjacent to the first heater 2 is spaced apart a predetermined distance along the upper direction from the vertical part 51 of the second heat shielding means 5 described above. Among the three first heat shielding means 4 , those adjacent to the second heater 3 may be provided to be spaced apart from each other by a predetermined distance along the upper direction from the third heat shielding means 6 .

이를 통해 제2실시예에 따른 본 장치의 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 보다 효과적으로 억제하여 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 온도 차이를 크게 형성하기 때문에 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성할 수 있다는 이점이 있다.Through this, heat exchange between the portion provided with the first heater 2 and the portion provided with the second heater 3 in the stage 1 of the apparatus according to the second embodiment is more effectively suppressed in the stage 1 Since the temperature difference between the portion (center portion) provided with the first heater 2 and the portion provided with the second heater 3 (edge portion) is large, the temperature gradient of the stage 1 can be formed more effectively. There is an advantage that there is

제2실시예에 따른 본 장치(도 4 참조)는, 상술한 스테이지 히터(도 3 참조)의 제1실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 292.5℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 304.3℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값)로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 11.8℃ 이었다.The apparatus (see FIG. 4 ) according to the second embodiment, when the stage 1 temperature (eg, the surface temperature) was measured under the same conditions as the first experimental conditions of the above-described stage heater (see FIG. 3 ) , the temperature of the center (center part) of the stage 1 was 292.5 °C, and the temperature of a point 140 mm apart (the edge part) from the center of the stage 1 was 304.3 °C (90 °C interval from the center of the stage 1) (the highest value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge part and the center part was 11.8°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 상술한 종래의 스테이지 히터와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났고(6.7 ℃ 차이), 제1실시예에 다른 본 장치와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타난 것을 확인할 수 있다(3℃ 차이)That is, the apparatus according to the third embodiment showed a larger temperature difference between the edge portion and the center portion (6.7° C. difference) compared to the conventional stage heater described above, and compared to the other apparatus according to the first embodiment. It can be seen that the temperature difference between the edge part and the center part is larger (3℃ difference).

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.5 is a cross-sectional view for explaining a heating device according to a third embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치는 제2실시예에 따른 본 장치에서 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이)에 배치되는 세로부(71) 및 세로부(71)의 하단에서 수평 방향(내측 방향)으로 연결(연장)되고 제2히터(3)와 제2히터(3)보다 하측에 배치되는 가로부(72)를 포함하는 제4차열수단(7)을 포함할 수 있다.1 to 5 , the apparatus according to the third embodiment has lower thermal conductivity than the stage 1 in the apparatus according to the second embodiment, and is located between the first heater 2 and the second heater 3 ( The vertical portion 71 disposed between the extension lines extending in the vertical direction from each of the first heater 2 and the second heater 3) and the lower end of the vertical portion 71 are connected (extended) in the horizontal direction (inward direction) ) and may include a fourth heat shielding means 7 including a second heater 3 and a horizontal portion 72 disposed below the second heater 3 .

세로부(71)는 그 상단이 상술한 제2실시예에 따른 제1차열수단(4)(제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6) 각각에서 수직 방향으로 연장된 연장선 사이에 구비된 제1차열수단(4)의 하단에서 연장된 것일 수 있다.The vertical portion 71 has its upper end in the vertical direction in each of the first heat shielding means 4 (the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6) according to the second embodiment described above. It may be extended from the lower end of the first heat shielding means (4) provided between the extension lines extending to the.

스테이지(1)에서 제4차열수단(7)의 가로부(72)는 상술한 제2차열수단(5)의 수평부(52)보다 하측에 구비될 수 있다.In the stage 1 , the horizontal portion 72 of the fourth heat shielding means 7 may be provided below the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 described above.

이를 통해, 센터 부분의 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향(예시적으로 하측 방향)으로 이동하여 가장자리 부분으로 이동하는 것을 억제하며, 가장자리 부분의 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향으로 이동하여 센터 부분으로 이동하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.Through this, the row of the center part is prevented from moving to the edge part by moving not only in the horizontal direction but also in the vertical direction (eg downward direction), and the row of the edge part moves not only in the horizontal direction but also in the vertical direction to the center part movement can be more effectively suppressed.

도 1 및 도 5를 참조하면, 제4차열수단(7)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다. 즉, 제1차열수단(4)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다.1 and 5 , the fourth heat shielding means 7 may be an air cap having a hollow therein. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without separately using an expensive insulating material. That is, when the first heat shielding means 4 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air.

도 1 및 도 5를 참조하면, 제4차열수단(7)은 세로부(71)가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제4차열수단(7)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제4차열수단(7)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다.1 and 5 , the fourth heat shielding means 7 may have a closed structure in which a vertical part 71 is connected to one end and the other end to surround the first heater 2 based on a plan view. More specifically, the fourth heat shielding means 7 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3, and when one end and the other end are spaced apart, the stage ( In 1), heat exchange between the portion provided with the first heater 2 (hereinafter, the center portion) and the portion provided with the second heater 3 (hereinafter referred to as the edge portion) is performed, making it difficult to form a temperature gradient of the stage 1 do. At this time, the fourth heat shielding means 7 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the part provided with the first heater 2 and the second heater ( 3) is to suppress the heat exchange of the provided portion to form a temperature gradient of the stage (1) more effectively.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제4차열수단(7) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it is said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1 . Similarly, the fourth heat shielding means 7 also follows the circumferential direction of the stage 1 . can be formed according to

도 1 내지 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치에서 세로부(71)는 인접한 제1차열수단(4) 사이에 배치될 수 있다. 제2실시예에 따른 본 장치에서 설명하였듯이(도 4 참조), 제1차열수단(4)은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비될 수 있다고 하였고, 예시적으로 제1차열수단(4)은 세 개 구비될 수 있다고 하였다.1 to 5 , in the present device according to the third embodiment, the vertical portion 71 may be disposed between the adjacent first heat shielding means 4 . As described in the present device according to the second embodiment (see Fig. 4), it was said that a plurality of first heat shielding means 4 may be provided at predetermined intervals along the horizontal direction, and by way of example, the first heat shielding means 4 is He said there could be three.

이때 세로부(71)는 세 개의 제1차열수단(4)중 내측에 구비되어 제1히터(2)와 인접한 것과 외측에 구비되어 제2히터(3)와 구비된 것과 사이에 배치되는 제1차열수단(4)의 하단에서 하측으로 연장되어 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각의 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 즉, 세로부(71)는 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 제3차열수단(6)의 사이에 배치될 수 있다.At this time, the vertical part 71 is provided inside the three first heat shielding means 4 and is provided on the outside of the one adjacent to the first heater 2 and the first one disposed between the second heater 3 and the provided one. It may be disposed between the extension lines extending downward from the lower end of the heat shielding means 4 and extending in the vertical direction of each of the first heater 2 and the second heater 3 . That is, the vertical portion 71 may be disposed between the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6 .

이를 통해, 센터 부분의 열이 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 수직부(51)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비된 제1차열수단(4)(내측에 구비된 제1차열수단(4))이 이격 공간을 통해 이동하는 열이 차단됨은 물론, 센터 부분의 열이 하측 방향으로 이동하여도 수평부(52) 및 가로부(72)에 의해 가장자리 부분으로 이동하는 것이 억제된다는 이점이 있다.Through this, the first heat shielding means 4 (provided inside the column of the center portion is spaced a predetermined distance along the upper direction from the vertical portion 51 and the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5) The first heat shielding means (4)) not only blocks the heat moving through the separation space, but also moves to the edge part by the horizontal part 52 and the horizontal part 72 even if the row of the center part moves downward. It has the advantage of being suppressed.

가장자리 부분의 열이 제1차열수단(4) 내지 제4차열수단(7)에 의해 센터 부분으로 이동하는 것이 억제되는 것은 동일한 원리로 상술한 설명으로 대체한다.It is replaced by the above description on the same principle that the heat of the edge portion is suppressed from moving to the center portion by the first heat shielding means 4 to the fourth heat shielding means 7 .

제3실시예에 따른 본 장치의 스테이지(1)는 상술한 스테이지 히터의 제1실험 조건과 동일한 조건하에서 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였다. 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 291.1℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 306.2℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값)로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 15.1℃ 이었다.In the stage 1 of the apparatus according to the third embodiment, the temperature (eg, the temperature of the surface) was measured under the same conditions as the first experimental conditions of the stage heater described above. The temperature of the center (center part) of the stage 1 was 291.1 °C, and the temperature of the point 140 mm apart (the edge part) from the center of the stage 1 was 306.2 °C (90 °C interval from the center of the stage 1) As the highest value among the four temperatures measured separately), the temperature difference between the edge part and the center part was 15.1°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 상술한 종래의 스테이지의 히터와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(10.2℃ 차이) 때문에 제3실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.That is, the device according to the third embodiment has a larger temperature difference between the edge portion and the center portion (10.2° C. difference) compared to the heater of the conventional stage described above. Therefore, the device according to the third embodiment has the edge portion It can be seen that it is possible to more easily form a temperature gradient in the center portion.

또한 제3실시예에 따른 본 장치의 온도 차이와 제2실시예에 따른 본 장치의 온도 차이를 비교하였을 때, 제3실시예에 따른 본 장치의 온도 차이가 제2실시예에 따른 본 장치의 온도 차이 보다 3.3℃ 더 큰 것을 확인할 수 있다.In addition, when the temperature difference of the device according to the third embodiment and the temperature difference of the device according to the second embodiment were compared, the temperature difference of the device according to the third embodiment was found to be that of the device according to the second embodiment. It can be seen that the temperature difference is 3.3℃ larger than the difference.

도 3을 참조하면, 종래의 스테이지 히터에서 스테이지(1')를 SUS 재질의 전기저항체인 제1히터(2') 및 제2히터(3') 각각에 500W, 1300W의 전력을 각각 인가하여, 센터 부분의 온도가 가장자리 부분의 온도보다 높도록 할 경우(이하 제2실험 조건), 스테이지(1')의 중심(상기 센터 부분) 온도는 307.0℃이고, 상기 스테이지(1')의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 296.0℃ 로서(상기 스테이지(1')의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최소값) 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 11.0℃ 이었다(상기 측정된 온도는 스테이지(1') 표면(대상체가 안착되는 면)의 온도일 수 있다).Referring to FIG. 3, 500W and 1300W of power is applied to the first heater 2' and the second heater 3', which are electrical resistors made of SUS, respectively, for the stage 1' in the conventional stage heater, When the temperature of the center portion is higher than the temperature of the edge portion (hereinafter second experimental condition), the temperature of the center (the center portion) of the stage 1' is 307.0° C. The temperature of the spaced point (the edge part) was 296.0 °C (the minimum value among the four temperatures each measured at an interval of 90 ° from the center of the stage 1'), and the temperature difference between the edge part and the center part was 11.0 °C. (The measured temperature may be the temperature of the surface of the stage 1' (the surface on which the object is seated)).

반면에 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치는, 상술한 스테이지 히터의 제2실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 309.0℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 294.5℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최소값) 으로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 14.5℃ 이었다.On the other hand, referring to FIG. 5 , in the apparatus according to the third embodiment, when the stage 1 temperature (eg surface temperature) is measured under the same conditions as the second experimental conditions of the stage heater, the stage The temperature of the center (center part) of (1) was 309.0°C, and the temperature of a point 140 mm apart (the edge part) from the center of the stage 1 was 294.5°C (with an interval of 90° from the center of the stage 1) As the minimum value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 14.5°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 제2차열수단(5)의 수평부(52)만 구비한 종래의 스테이지 히터와 비교하여 제1실험 조건뿐만 아니라 제2실험 조건에서도 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(3.5℃ 차이) 때문에 제3실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.That is, the apparatus according to the third embodiment has an edge portion and a center portion under the first experimental condition as well as the second experimental condition compared to the conventional stage heater having only the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 . It can be confirmed that the temperature gradient between the edge portion and the center portion can be more easily formed in the device according to the third embodiment because the temperature difference between s is larger (3.5° C. difference).

또한 도 1을 참조하면, 본 장치는 스테이지(1) 내부에서 제2차열수단(5)의 수평부(52) 보다 하측에 구비되는 냉각수단(8)을 포함할 수 있다. 예시적으로 냉각수단(52)은 스테이지(1) 내부에서 상기 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.Also, referring to FIG. 1 , the apparatus may include a cooling means 8 provided below the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 inside the stage 1 . Illustratively, the cooling means 52 may be formed along the circumferential direction inside the stage 1 .

냉각수단(8)은 해당 분야에서 통상적으로 사용되는 것으로서, 보다 구체적인 설명은 생략하기로 한다.As the cooling means 8 is commonly used in the relevant field, a more detailed description will be omitted.

이와 같이, 본 장치는 냉각수단(8)을 포함함으로써, 제1히터(2) 및 제2히터(3)에 의한 스테이지(1)의 히팅 이후에 스테이지(1)를 냉각하여 본 장치(예시적으로 스테이지(1))의 사용 수명을 연장시킬 수 있다는 이점이 있다.As such, the apparatus includes cooling means 8 to cool the stage 1 after heating of the stage 1 by the first heater 2 and the second heater 3 to thereby cool the apparatus (exemplary example). As a result, there is an advantage that the service life of the stage 1) can be extended.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 통상의 기술자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The present invention described above with reference to the accompanying drawings is capable of various modifications and changes by those skilled in the art, and such modifications and changes should be construed as being included in the scope of the present invention.

히팅장치: H 스테이지: 1
제1바디: 11 제2바디: 12
단턱부: 13 제1히터: 2
제2히터: 3 제1차열수단: 4
제2차열수단: 5 수직부: 51
수평부: 52 제3차열수단: 6
제4차열수단: 7 세로부: 71
가로부: 72 Heating device: H stage: 1
1st body: 11 2nd body: 12
Step part: 13 First heater: 2
2nd heater: 3 1st heat shielding means: 4
Second heat shielding means: 5 Vertical part: 51
Horizontal part: 52 Third heat shielding means: 6
4th heat shielding means: 7 Vertical part: 71
Cross section: 72

Claims (15)

대상체가 안착되는 스테이지;
상기 스테이지의 내부에 구비되는 제1히터;
상기 스테이지의 내부에 구비되되, 상기 제1히터에서 소정 거리 이격되어 배치되는 제2히터;
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 제1차열수단; 및
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단;
을 포함하고,
상기 제1차열수단은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
a stage on which the object is seated;
a first heater provided inside the stage;
a second heater provided inside the stage, the second heater being spaced apart from the first heater by a predetermined distance;
a first heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed between the first heater and the second heater; and
It has a lower thermal conductivity than the stage, and includes a vertical part disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal part connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical part and disposed below the first heater and the second heater. a fourth heat shielding means;
including,
The heating device, characterized in that it comprises a plurality of the first heat shield means provided at predetermined intervals along the horizontal direction.
 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The first heat shielding means is a heating device, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 1에 있어서,
상기 제1차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The first heat shielding means has one end and the other end connected to each other, the heating device, characterized in that it has a closed structure surrounding the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 제2차열수단을 더 포함하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
A heating device having a lower thermal conductivity than the stage and further comprising a second heat shielding means disposed below the first heater and the second heater.
 청구항 5에 있어서,
상기 제2차열수단은 수직 방향으로 배치되는 수직부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
6. The method of claim 5,
The second heat shielding means heating device, characterized in that it comprises a vertical portion arranged in the vertical direction.
 청구항 6에 있어서,
상기 제2차열수단은 상기 수직부의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
7. The method of claim 6,
The second heat shield means heating device, characterized in that it further comprises a horizontal portion connected in the horizontal direction from the lower end of the vertical portion.
 청구항 5에 있어서,
상기 제2차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
6. The method of claim 5,
The second heat shielding means is a heating device, characterized in that the air cap is hollow formed therein.
 청구항 6에 있어서,
상기 제2차열수단은 상기 수직부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
7. The method of claim 6,
The second heat shielding means is a heating device, characterized in that the vertical portion has one end and the other end connected to each other to have a closed structure surrounding the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지는 제1폭을 갖는 제1바디, 상기 제1바디의 하부에 구비되고 상기 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디 및 상기 제1바디와 제2바디 간의 폭 차이에 의해 상기 제1바디의 하면에 형성된 단턱부를 포함하고,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하부에 구비되고 상기 단턱부에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The stage includes a first body having a first width, a second body provided under the first body and having a second width smaller than the first width, and a width difference between the first body and the second body. Including a stepped portion formed on the lower surface of the first body,
Heating device, characterized in that it further comprises a third heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage, provided below the first heater and the second heater and extending upwardly from the step portion.
 청구항 10에 있어서,
상기 제3차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
11. The method of claim 10,
The third heat shielding means is a heating device, characterized in that the air cap is hollow formed therein.
 청구항 10에 있어서,
상기 제3차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
11. The method of claim 10,
The third heat shielding means is a heating device, characterized in that one end and the other end are connected to each other to have a closed structure surrounding the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 제4차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The fourth heat shielding means is a heating device, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 1에 있어서,
상기 제4차열수단은 상기 세로부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The fourth heat shielding means is a heating device, characterized in that it has a closed structure in which the vertical portion is connected to one end and the other end to surround the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 더 포함하고,
상기 세로부는 인접한 두 제1차열수단의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 히팅장치.The method according to claim 1,
It has a lower thermal conductivity than the stage, and includes a vertical part disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal part connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical part and disposed below the first heater and the second heater. Further comprising a fourth heat shielding means,
Heating device, characterized in that the vertical portion is disposed between two adjacent first heat shielding means.
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