KR20210057963A - Heating device - Google Patents

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KR20210057963A
KR20210057963A KR1020190144818A KR20190144818A KR20210057963A KR 20210057963 A KR20210057963 A KR 20210057963A KR 1020190144818 A KR1020190144818 A KR 1020190144818A KR 20190144818 A KR20190144818 A KR 20190144818A KR 20210057963 A KR20210057963 A KR 20210057963A
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heater
stage
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heat shielding
heat
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KR1020190144818A
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신승용
황두일
김현중
이호찬
계민준
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(주)보부하이테크
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Abstract

The present invention relates to a heating device to form a temperature gradient, and more specifically, to a heating device to form a temperature gradient, which can heat an object seated on a stage more precisely by varying the temperature gradient of a center portion and an edge portion of the stage on which the object is seated, based on a plan view. The present invention includes a stage on which an object is seated, a first heater provided inside the stage, a second heater provided inside the stage and disposed spaced apart from the first heater by a predetermined distance, and a first heat blocking means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed between the first heater and the second heater.

Description

온도구배를 형성하는 히팅장치{HEATING DEVICE}Heating device to form temperature gradient{HEATING DEVICE}

본 발명은 온도구배를 형성하는 히팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평면도를 기준으로 대상체가 안착되는 스테이지의 센터 부분과 보다 가장자리 부분의 온도구배를 달리함으로써, 스테이지지에 안착되는 대상체를 보다 정밀하게 히팅 할 수 있는 온도구배를 형성하는 히팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heating device for forming a temperature gradient, and more particularly, by differentiating the temperature gradient of the center portion and the edge portion of the stage on which the object is seated based on a plan view, the object seated on the stage is more precisely controlled. It relates to a heating device that forms a temperature gradient capable of heating.

본 발명은 히팅 대상인 대상체를 히팅 하는 장치에 관한 것으로서, 예시적으로 대상체는 웨이퍼 등일 수 있다.The present invention relates to an apparatus for heating an object to be heated. For example, the object may be a wafer or the like.

일반적으로 웨이퍼는 반도체 장치들을 제조하기 위한 증착(deposition) 공정 등을 수행하는데, 이러한 공정들을 수행하기 위해 대상체(웨이퍼 등)를 스테이지에 안착시켜, 대상체를 히팅 하는 공정을 수행한다.In general, a wafer performs a deposition process or the like for manufacturing semiconductor devices. In order to perform such processes, a process of heating the object by placing an object (such as a wafer) on a stage is performed.

최근 반도체 패턴이 초미세화로 인하여 반도체 수율을 높이기 위해 주변 장치인 히터도 높은 수준의 컨트롤이 필요하게 되었다.Recently, due to the ultra-fine semiconductor pattern, a high level of control is required for the peripheral device heater to increase the semiconductor yield.

한편 종래의 기술인 공개특허 제10-2007-0025305호(이하 종래기술)는 전력이 조절되는 스테이지 히터를 갖는 반도체 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게 설명하면 공정 챔버 내에 설치되며, 웨이퍼가 장착되는 스테이지; 상기 스테이지에 설치되며, 상기 스테이지에 장착되는 웨이퍼를 가열하는 스테이지 히터; 상기 스테이지 히터에 파워를 공급하는 온도 제어기; 및 상기 온도 제어기와 상기 스테이지 히터 사이에 연결되며, 상기 온도 제어기로부터 파워를 받아서 상기 스테이지 히터에 일정한 파워를 공급하는 이득 제어기를 구비함으로써, 스테이지 히터에 오버슈트 전압과 과전류가 공급되는 방지하여 스테이지 히터에 항상 일정한 파워가 공급되는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, Patent Publication No. 10-2007-0025305 (hereinafter referred to as the prior art), which is a conventional technology, relates to a semiconductor manufacturing apparatus having a stage heater in which power is controlled, and in more detail, a stage installed in a process chamber and on which a wafer is mounted ; A stage heater installed on the stage and heating a wafer mounted on the stage; A temperature controller supplying power to the stage heater; And a gain controller connected between the temperature controller and the stage heater and receiving power from the temperature controller and supplying constant power to the stage heater, thereby preventing overshoot voltage and overcurrent from being supplied to the stage heater. It is characterized in that constant power is always supplied to the.

그러나 상술한 바와 같이, 이러한 종래기술은 대상체가 안착되는 스테이지의 온도구배를 형성하지 못하여, 대상체를 보다 정밀하게 가공(예시적으로 증착)하여 최근 패턴이 초미세화 되는 반도체 등으로 제조하기 위한 수요를 충족시키지 못한다는 문제점이 있었다.However, as described above, the prior art cannot form the temperature gradient of the stage on which the object is seated, so that the object is processed more precisely (e.g., evaporation), thereby increasing the demand for manufacturing a semiconductor, etc., in which the recent pattern is ultra-fine. There was a problem that it was not satisfied.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 대상체가 안착되는 스테이지의 온도구배를 형성하기 위한 온도구배를 형성하는 히팅장치의 제공을 목적으로 한다.The present invention has been conceived to solve the above problem, and an object of the present invention is to provide a heating device that forms a temperature gradient for forming a temperature gradient of a stage on which an object is seated.

상기 과제의 해결을 목적으로 하는 본 발명은 다음의 구성 및 특징을 갖는다.The present invention for the purpose of solving the above problems has the following configurations and features.

대상체가 안착되는 스테이지, 상기 스테이지의 내부에 구비되는 제1히터, 상기 스테이지의 내부에 구비되되, 상기 제1히터에서 소정 거리 이격되어 배치되는 제2히터 및 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 제1차열수단을 포함한다.A stage on which an object is seated, a first heater provided inside the stage, a second heater provided inside the stage, but spaced apart from the first heater by a predetermined distance, and a lower thermal conductivity than the stage, and the first And a first heat shielding means disposed between the heater and the second heater.

또한 상기 제1차열수단은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 것을 포함할 수 있다.In addition, the first heat shielding means may include a plurality of provided at predetermined intervals along the horizontal direction.

또한 상기 제1차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the first heat shielding means may be an air cap having a hollow inside.

또한 상기 제1차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the first heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 제2차열수단을 포함할 수 있다.In addition, a second heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed below the first heater and the second heater may be included.

또한 상기 제2차열수단은 수직 방향으로 배치되는 수직부를 포함할 수 있다.In addition, the second heat shielding means may include a vertical portion disposed in a vertical direction.

또한 상기 제2차열수단은 상기 수직부의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부를 포함할 수 있다.In addition, the second heat shielding means may include a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion.

또한 상기 제2차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the second heat shielding means may be an air cap having a hollow inside.

또한 상기 제2차열수단은 상기 수직부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the second heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지는 제1폭을 갖는 제1바디, 상기 제1바디의 하부에 구비되고 상기 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디 및 상기 제1바디와 제2바디 간의 폭 차이에 의해 상기 제1바디의 하면에 형성된 단턱부를 포함하고, 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하부에 구비되고 상기 단턱부에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단을 포함할 수 있다.In addition, the stage is provided by a first body having a first width, a second body provided under the first body and having a second width smaller than the first width, and a difference in width between the first body and the second body. It includes a stepped portion formed on a lower surface of the first body, has a lower thermal conductivity than the stage, and includes a third heat shielding means provided below the first heater and the second heater and extending upward from the stepped portion. I can.

또한 상기 제3차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the third heat shielding means may be an air cap having a hollow inside.

또한 상기 제3차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the third heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 포함할 수 있다.In addition, the heat conductivity is lower than that of the stage, a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction at a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater. It may include a fourth heat shielding means to include.

또한 상기 제4차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다.In addition, the fourth heat shielding means may be an air cap having a hollow inside.

또한 상기 제4차열수단은 상기 세로부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the fourth heat shielding means may have a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.

또한 상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 더 포함하고, 상기 세로부는 인접한 두 제1차열수단의 사이에 배치될 수 있다.In addition, the heat conductivity is lower than that of the stage, a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction at a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater. A fourth heat shielding means may be further included, and the vertical portion may be disposed between two adjacent first heat shielding means.

상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은 대상체가 안착되는 스테이지에 온도구배를 형성함으로써, 대상체를 보다 효과적이고 정밀하게 히팅 할 수 있다는 효과를 갖는다.The present invention having the above configuration and characteristics has an effect that it is possible to heat the object more effectively and precisely by forming a temperature gradient on the stage on which the object is seated.

도 1은 본 발명에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 종래의 스테이지 히터를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a view for explaining a heating apparatus according to the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a heating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view for explaining a conventional stage heater.
4 is a cross-sectional view illustrating a heating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a heating device according to a third embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention will be described in detail in the text of the bar, implementation (態樣, aspect) (or embodiment) that can apply various changes and have various forms. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form of disclosure, and it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this specification are only used to describe specific embodiments (sun, 態樣, aspect) (or embodiments), and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as ~comprise~ or ~consist~ are intended to designate the existence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or a combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.The ~1~, ~2~ and the like described in the present specification are only referred to to distinguish different constituent elements, and are not limited to the order of manufacture, and their names in the detailed description and claims of the invention It may not match.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 "연결"은 유체 등이 이동하는 "연통"을 의미할 수 있다.Throughout this specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case that it is "directly connected", but also the case that it is "indirectly connected" with another element interposed therebetween. do. In addition, "connection" may mean "communication" through which a fluid or the like moves.

본원 명세서 전체에서, 방향이나 위치와 관련된 용어 중 상측, 상부, 상단, 하측, 하부, 하단은 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설명한 것이다. 구체적으로, 상측(상부, 상단)은 도 1을 기준으로 상측(상부, 상단)을 의미할 수 있고, 하측은 도 1을 기준으로 하측(하부, 하단)을 의미할 수 있다. 연직 방향, 수직 방향은 도 1을 기준으로 상하 방향을 의미하고, 수평 방향은 도 1을 기준으로 좌우 방향을 의미한다.In the entire specification of the present application, the upper, upper, upper, lower, lower, and lower of terms related to directions or positions are described based on the arrangement state of each component shown in the drawings. Specifically, the upper side (upper, upper) may mean an upper side (upper, upper) with respect to FIG. 1, and the lower side may mean a lower side (lower, lower) based on FIG. 1. The vertical direction and the vertical direction refer to the vertical direction based on FIG. 1, and the horizontal direction refers to the left and right direction based on FIG. 1.

도 1은 본 발명에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a diagram illustrating a heating device according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a heating device according to a first embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 히팅장치(H)(온도구배를 형성하는 히팅장치)를 설명의 편의상 '본 장치'라 칭하기로 한다.Hereinafter, the heating device H (heating device forming a temperature gradient) according to the present invention will be referred to as'this device' for convenience of description.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 장치(히팅장치(H))(온도구배를 형성하는 히팅장치)는 스테이지(1), 제1히터(2), 제2히터(3) 및 제1차열수단(4)을 포함한다.1 and 2, the device (heating device H) (heating device forming a temperature gradient) includes a stage 1, a first heater 2, a second heater 3, and a first heat shield. It includes means (4).

본 장치는 예시적으로 반도체 제조 공정에서의 웨이퍼(대상체) 등을 가열하기 위한 것일 수 있다. 즉, 웨이퍼에 반도체 장치들을 제조하기 위해 증착(deposition) 공정 등을 수행할 때, 증착(예시적으로 이온 증착)이 원활히 수행되도록 웨이퍼(대상체)를 가열시키는 것이다.The present apparatus may be for heating a wafer (object) or the like in a semiconductor manufacturing process by way of example. That is, when performing a deposition process or the like to manufacture semiconductor devices on the wafer, the wafer (object) is heated so that deposition (eg, ion deposition) is smoothly performed.

여기에서 스테이지(1)는 상술한 공정 등을 수행하기 위해 가열이 필요한 대상인 대상체(예시적으로 웨이퍼)가 안착된다.Here, in the stage 1, an object (eg, a wafer), which is an object that needs heating to perform the above-described process, is mounted.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 본 장치의 제1히터(2)는 스테이지(1)의 내부에 구비된다. 또한 제2히터(3)는 스테이지(1)의 내부에 구비되되, 제1히터(2)에서 소정 거리 이격되어 배치된다. 예시적으로 제1히터(2) 및 제2히터(3)는 수평 방향(연직 방향에 직교하는 방향으로, 도 1을 기준으로 좌우방향을 의미하며, 이하에서 서술되는 수평 방향은 본원 명세서 전체에서 동일하게 적용되는 것으로 한다)을 따라 소정 간격을 두고 이격되어 배치되는 것일 수 있다.1 and 2, the first heater 2 of the present apparatus according to the first embodiment is provided inside the stage 1. In addition, the second heater 3 is provided inside the stage 1, and is disposed to be spaced apart from the first heater 2 by a predetermined distance. Exemplarily, the first heater 2 and the second heater 3 are in a horizontal direction (a direction orthogonal to the vertical direction, meaning a left-right direction based on FIG. 1, and the horizontal direction described below is used throughout the specification of the present application). It may be spaced apart from each other at predetermined intervals according to the same application).

제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레에서 내측(스테이지(1)의 둘레에서 내측 반경 방향)으로 이격되어 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다. 여기에서 둘레 방향은 둘레에서 소정거리 이격되어, 둘레와 소정거리를 유지하며 둘레를 따라 이동하는 방향일 수 있다.Each of the first heater 2 and the second heater 3 may be formed along the circumferential direction by being spaced apart from the circumference of the stage 1 in the inner (radial direction from the circumference of the stage 1). Here, the circumferential direction may be a direction that is spaced apart from the circumference by a predetermined distance, maintains a predetermined distance from the circumference, and moves along the circumference.

예시적으로 제2히터(3)는 스테이지(1)에서 스테이지(1)의 둘레에 인접하여 형성될 수 있고, 제1히터(2)는 스테이지(1)에서 제2히터(3)보다 내측에 형성될 수 있다. 여기에서 내측은 스테이지(1)의 둘레에서 중심선(연직 방향의 길이를 갖는 중심선)을 향하는 방향일 수 있다. 또한 제1히터(2)는 스테이지(1)의 내측 반경 방향을 따라 소정 간격을 두고 다수 구비될 수 있다.Exemplarily, the second heater 3 may be formed adjacent to the circumference of the stage 1 in the stage 1, and the first heater 2 is inside the stage 1 than the second heater 3 Can be formed. Here, the inner side may be a direction toward the center line (a center line having a length in a vertical direction) around the stage 1. In addition, a plurality of first heaters 2 may be provided at predetermined intervals along the inner radial direction of the stage 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1차열수단(4)은 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치된다.1 and 2, the first heat shielding means 4 has a lower thermal conductivity than the stage 1 and is disposed between the first heater 2 and the second heater 3.

즉, 제1히터(2) 및 제2히터(3)가 배출되는 열량이 다른 경우(예시적으로 제1히터(2) 및 제2히터(3)는 전기저항체로서, 공급되는 전원이 증가함에 따라 발열량이 증가되는 것일 수 있다) 제1차열수단(4)에 의해 스테이지(1)의 표면(대상체가 안착되는 면)에 제1차열수단(4)을 기준으로 온도구배를 형성할 수 있다는 이점이 있다.That is, when the amount of heat emitted by the first heater 2 and the second heater 3 is different (for example, the first heater 2 and the second heater 3 are electric resistors, and the supplied power increases) Accordingly, the amount of heat generated may be increased) The advantage of being able to form a temperature gradient based on the first heat shielding means 4 on the surface of the stage 1 (the surface on which the object is seated) by the first heat shielding means 4 There is this.

상술하였듯이, 대상체가 웨이퍼인 경우, 스테이지(1)가 온도구배를 형성함으로써 웨이퍼의 증착 공정 등을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 것이다.As described above, when the object is a wafer, the stage 1 forms a temperature gradient, so that the deposition process of the wafer can be more precisely controlled.

이때 제1차열수단(4)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 즉, 제1차열수단(4)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.At this time, the first heat shielding means 4 may be an air cap having a hollow inside. That is, when the first heat shielding means 4 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without using a separate expensive heat insulating material.

제1차열수단(4)은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제1차열수단(4)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제1차열수단(4)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다.The first heat shielding means 4 may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater 2 based on a plan view. More specifically, the first heat shielding means 4 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3, but when one end and the other end are spaced apart, the stage ( In 1), heat exchange between the part with the first heater 2 (hereinafter, the center part) and the part with the second heater 3 (hereinafter, the edge part) makes it difficult to form the temperature gradient of the stage 1 do. At this time, the first heat shielding means 4 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the portion of the stage 1 where the first heater 2 is provided and the second heater ( 3) The temperature gradient of the stage 1 is formed more effectively by suppressing the heat exchange of the portion provided.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제1차열수단(4) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it was said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1. Likewise, the first heat shielding means 4 also changes the circumferential direction of the stage 1 It can be formed according to.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 본 장치는 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 스테이지(1) 내부에서 제1히터(2) 및 제2히터(3)보다 하측에 배치되는 제2차열수단(5)을 포함할 수 있다. 또한 제2차열수단(5)은 스테이지(1) 내부에서 제1차열수단(4) 보다 하측에 구비될 수 있다.1 and 2, the device according to the first embodiment has a lower thermal conductivity than the stage 1, and is disposed below the first heater 2 and the second heater 3 inside the stage 1 It may include a second heat shielding means (5). In addition, the second heat shielding means 5 may be provided below the first heat shielding means 4 inside the stage 1.

즉, 제1실시예에 따른 본 장치가 제2차열수단(5)을 포함함으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)에서 제1히터(2)가 발생한 열이 수평 방향으로 이동되는 것만 억제하는 것이 아니라, 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동하여 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)으로 이동하는 것을 억제할 수 있다. 여기에서 수직 방향은 연직 방향으로서, 도 1을 기준으로 상하 방향을 의미한다. 즉, 센터 부분과 가장자리 부분이 제2차열수단(5)에 의해 열의 이동이 보다 효과적으로 억제된다.That is, since the present apparatus according to the first embodiment includes the second heat shielding means 5, the first heater 2 is generated in the portion (center portion) where the first heater 2 is provided in the stage 1 It is possible not only to suppress the movement of the heat in the horizontal direction, but also to suppress the movement to the portion (the edge portion) where the second heater 3 is provided by moving along the vertical and horizontal directions. Here, the vertical direction is a vertical direction, which means an up-down direction based on FIG. 1. That is, the movement of heat is more effectively suppressed by the second heat shielding means 5 in the center portion and the edge portion.

스테이지(1)에서 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)에서 제2히터(3)가 발생한 열이 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)으로 열이 이동되는 것 또한 제2차열수단(5)을 통해 억제되는 데 이것은 상술한 설명(제1히터(2)가 발생한 열이 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)으로 열이 이동되는 것을 억제하는 설명)으로 대체한다.The heat generated by the second heater 3 in the stage 1 where the second heater 3 is provided (the edge part) is transferred to the part where the first heater 2 is provided (the center part) In addition, it is suppressed through the second heat shielding means 5, which is described above (the heat generated by the first heater 2 is prevented from being transferred to the part (the edge part) where the second heater 3 is provided). Description).

도 1 및 도 2를 참조하여 제2차열수단(5)을 보다 구체적으로 설명하면, 제2차열수단(5)은 수직 방향으로 배치되는 수직부(51)를 포함할 수 있다. 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 또한 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제1차열수단(4) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 수직부(51)를 통해 상술한 제1차열수단(4)과의 이격 공간을 최소화 하고, 상기 가장자리 부분과 상기 센터 부분의 열이 하측으로 이동하여 수평 방향으로 이동하는 것을 최대한 억제할 수 있다.When the second heat shielding means 5 is described in more detail with reference to FIGS. 1 and 2, the second heat shielding means 5 may include a vertical portion 51 disposed in a vertical direction. The vertical portion 51 may be disposed between extension lines extending in a vertical direction from each of the first heater 2 and the second heater 3. In addition, the vertical portion 51 may be disposed between the extension lines extending in the vertical direction from each of the first heater 2 and the first heat shielding means 4. Through the vertical portion 51, the space between the above-described first heat shielding means 4 can be minimized, and the row of the edge portion and the center portion can be prevented from moving downward and moving in the horizontal direction as much as possible.

또한 제2차열수단(5)은 수직부(51)의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부(52)를 포함할 수 있다. 예시적으로 수평부(52)는 제1히터(2) 보다 하측에 구비될 수 있다. 수평부(52)는 수직부(51)의 하단에서 내측 방향으로 연장되어 제1히터(2) 보다 하측에 구비될 수 있다.In addition, the second heat shielding means 5 may include a horizontal portion 52 connected in a horizontal direction from the lower end of the vertical portion 51. For example, the horizontal part 52 may be provided below the first heater 2. The horizontal portion 52 may extend inward from the lower end of the vertical portion 51 and may be provided below the first heater 2.

상술하였듯이, 제2차열수단(5)은 제1히터(2) 또는 제2히터(3)가 발생하는 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향 및 수평 방향을 따라 제2히터(3)가 구비된 부분 또는 제1히터(2)가 구비된 부분으로 이동하는 것을 억제한다고 하였는데, 수평부(52)가 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장됨으로써, 수직 방향 및 수평 방향을 따라 열이 이동하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있는 것이다.As described above, in the second heat shielding means 5, the heat generated by the first heater 2 or the second heater 3 is a portion in which the second heater 3 is provided not only in the horizontal direction, but also in the vertical direction and the horizontal direction. Alternatively, it was said that movement to the portion where the first heater 2 is provided is suppressed, but the horizontal portion 52 extends inward from the lower end of the vertical portion 51, thereby preventing the heat from moving along the vertical and horizontal directions. It can be suppressed more effectively.

이때 제2차열수단(5) 보다 상측에 구비되는 제1차열수단(4)은 그 상단이 스테이지(1) 내부에서 대상체가 안착되는 표면(상면)에 인접하도록 배치되는 것이 바람직하다.At this time, the first heat shielding means 4 provided above the second heat shielding means 5 is preferably disposed such that its upper end is adjacent to the surface (upper surface) on which the object is seated in the stage 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제2차열수단(5)은 제1차열수단(4)과 마찬가지로 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the second heat shielding means 5 may be an air cap having a hollow inside like the first heat shielding means 4. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without using a separate expensive heat insulating material.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제2차열수단(5)은 수직부(51)가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조로 형성될 수 있다.1 and 2, the second heat shielding means 5 may be formed in a closed structure in which the vertical portion 51 is connected to one end and the other end to surround the first heater 2 based on a plan view. .

보다 구체적으로 설명하면, 제2차열수단(5)의 수직부(51)는 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각의 연장선 사이)에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제2차열수단(5)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시킬 수 있다.More specifically, the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 is between the first heater 2 and the second heater 3 (each of the first heater 2 and the second heater 3). Between the extension lines), but if one end and the other end are spaced apart, the part (center part) and the second heater 3 provided with the first heater 2 in the stage 1 through the spaced apart from one end and the other end It is difficult to form a temperature gradient of the stage 1 due to heat exchange of the provided portion (the edge portion). At this time, the second heat shielding means 5 has one end and the other end connected to each other, and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the part (center part) in which the first heater 2 is provided in the stage 1 and It is possible to more effectively form a temperature gradient of the stage 1 by suppressing heat exchange between the portion (the edge portion) in which the second heater 3 is provided.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제2차열수단(5) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it was said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1. Likewise, the second heat shielding means 5 also changes the circumferential direction of the stage 1 It can be formed according to.

이때 수평부(52)는 둘레 방향을 따라 형성되는 수직부(51)의 하단이 형성하는 내측 공간을 밀폐하도록 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장될 수 있다. 즉, 수평부(52)는 연직 방향의 길이를 갖는 스테이지(1)의 중심선에서 수직부(51) 하단까지의 직경을 갖는 것일 수 있다. 따라서 수평부(52)를 기준으로 스테이지(1)의 상부와 하부의 열 차단을 보다 효과적으로 수행할 수 있다는 이점이 있다.At this time, the horizontal portion 52 may extend inward from the lower end of the vertical portion 51 to seal an inner space formed by the lower end of the vertical portion 51 formed along the circumferential direction. That is, the horizontal portion 52 may have a diameter from the center line of the stage 1 having a length in the vertical direction to the bottom of the vertical portion 51. Accordingly, there is an advantage that heat shielding of the upper and lower portions of the stage 1 can be more effectively performed based on the horizontal portion 52.

도 2를 참조하면, 스테이지(1)는 제1폭을 갖는 제1바디(11), 제1바디(11)의 하부에 구비되고 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디(12)를 포함할 수 있다. 이때 제1바디(11)와 제2바디(12)는 연직 방향(도 1을 기준으로 상하 방향)의 길이를 갖는 중심선이 일치하도록 배치될 수 있다. 여기에서 폭은 제1바디(11) 및 제2바디(12) 각각의 직경일 수 있는데 도 1에서 좌우 방향 길이일 수 있다. 이때 상술한 제1히터(2), 제2히터(3) 및 제1차열수단(4)은 제1바디(11)의 내부에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2, the stage 1 includes a first body 11 having a first width, a second body 12 provided below the first body 11 and having a second width smaller than the first width. It may include. At this time, the first body 11 and the second body 12 may be arranged so that the centerline having a length in a vertical direction (up and down direction with respect to FIG. 1) coincides with each other. Here, the width may be the diameter of each of the first body 11 and the second body 12, but may be a length in the left-right direction in FIG. 1. At this time, the first heater 2, the second heater 3, and the first heat shielding means 4 described above may be provided inside the first body 11.

스테이지(1)는 제1바디(11)와 제2바디(12) 간의 폭 차이에 의해 제1바디(11)의 하면에 형성된 단턱부(13)를 포함할 수 있다. 이때 제2히터(3)는 단턱부(13)에서 수직 방향을 따라 소정 거리 이격되어 단턱부(13)보다 상측에 구비될 수 있다. The stage 1 may include a stepped portion 13 formed on a lower surface of the first body 11 due to a difference in width between the first body 11 and the second body 12. In this case, the second heater 3 may be spaced apart from the stepped part 13 by a predetermined distance along the vertical direction and may be provided above the stepped part 13.

이와 같이, 제2바디(12)를 포함함으로써 상면에 대상체가 안착되는 제1바디(11)에 강성을 부여하는 동시에, 제2바디(12)의 폭이 제1바디(11)의 폭보다 작음으로써, 가장자리 부분의 열(제2히터(3)가 발생한 열)이 하측으로 이동하여 공기 보다 열전도율이 큰 스테이지(1)를 통해 스테이지(1)의 내측(센터 부분)으로 이동하는 것을 억제할 수 있다.In this way, the inclusion of the second body 12 provides rigidity to the first body 11 on which the object is seated on the upper surface, while the width of the second body 12 is smaller than the width of the first body 11 As a result, it is possible to suppress the heat at the edge (the heat generated by the second heater 3) from moving downward and moving to the inner side (the center part) of the stage 1 through the stage 1, which has a higher thermal conductivity than air. have.

도 2를 참조하면, 제1실시예 따른 본 장치는 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고, 제1히터(2) 및 제2히터(3)보다 하부에 구비되고 단턱부(13)에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단(6)을 포함할 수 있다. 제1차열수단(4), 제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6)은 정단면도(도 2 참조)에서 봤을 때 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 구비될 수 있다. 즉, 상기 가장자리 부분은 제3차열수단(6)을 기준으로 외측을 의미할 수 있고, 센터 부분은 상술한 제2차열수단(5)을 기준으로 내측을 의미할 수 있다.2, the device according to the first embodiment has a lower thermal conductivity than the stage 1, is provided below the first heater 2 and the second heater 3, and extends upward from the stepped portion 13 It may include a provided third heat shielding means (6). The first heat shielding means 4, the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5, and the third heat shielding means 6 are the first heater 2 and the second heater when viewed in a front cross-sectional view (see FIG. 2). (3) It may be provided between the extension lines extending in the vertical direction at each. That is, the edge portion may mean an outer side with respect to the third heat shielding means 6, and the center portion may mean an inner side with respect to the second heat shielding means 5 described above.

이를 통해, 가장자리 부분이 열이 하측으로 이동하여 센터 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있고, 센터 부분의 열이 하측으로 이동하여 가장자리 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있다.Through this, it is possible to suppress the row of the edge portion from moving downward and to the center portion, and it is possible to suppress the row of the center portion from moving downward to the edge portion.

제3차열수단(6)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 즉, 제3차열수단(6)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다.The third heat shielding means 6 may be an air cap having a hollow inside. That is, when the third heat shielding means 6 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without using a separate expensive heat insulating material.

또한 제3차열수단(6)은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다.In addition, the third heat shielding means 6 may have a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater 2 based on a plan view.

보다 구체적으로 설명하면, 제3차열수단(6)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이)에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제6차열수단(4)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다. More specifically, when the third heat shielding means 6 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3 (between the extension lines extending in the vertical direction at each), one end and the other end are spaced apart , Heat exchange between the part (hereinafter referred to as the center part) provided with the first heater (2) and the part (hereinafter referred to as the edge part) provided with the second heater (3) in the stage (1) through the spaced space between one end and the other end. It becomes difficult to form the temperature gradient of the stage 1. At this time, the sixth heat shielding means 4 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the portion in the stage 1 where the first heater 2 is provided and the second heater ( 3) The temperature gradient of the stage 1 is formed more effectively by suppressing the heat exchange of the portion provided.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제6차열수단(6) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it was said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1. Likewise, the sixth heat shielding means 6 also changes the circumferential direction of the stage 1 It can be formed according to.

도 2를 참조하여 제1실시예에 따른 본 장치를 보다 구체적으로 설명하면, 제1바디(11)에 제1히터(2) 및 제2히터(3)가 구비되고, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장된 연장선 사이에 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 제3차열수단(6)이 구비되며, 제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6) 각각의 연장선 사이에 구비되되, 제1히터(2) 및 제3히터(3) 사이에 제1차열수단(4)이 구비되고, 수평부(52)가 상기 수직부(51)의 하단에서 내측으로 연장될 수 있다. 상술하였듯이, 제2차열수단(5) 및 제3차열수단(6)은 제1히터(2) 및 제2히터(3) 보다 하측에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2 to describe the device according to the first embodiment in more detail, the first heater 2 and the second heater 3 are provided in the first body 11, and the first heater 2 And a vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and a third heat shielding means 6 between the extension lines extending in the vertical direction from each of the second heaters 3, and It is provided between the extension lines of each of the vertical portion 51 and the third heat shielding means 6, the first heat shielding means 4 is provided between the first heater 2 and the third heater 3, and the horizontal portion ( 52) may extend inward from the lower end of the vertical portion 51. As described above, the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6 may be provided below the first heater 2 and the second heater 3.

도 3은 종래의 스테이지 히터를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining a conventional stage heater.

도 3은 본 장치와 비교 대상인 종래의 스테이지 히터에 관한 것으로, 본 장치에서 제1바디(11'), 제2바디(12'), 단턱부(13')를 포함하는 스테이지(1')와 제1히터(2'), 제2히터(3')를 포함할 수 있다. 상기 스테이지 히터는 본 장치에서 제2차열수단(5)의 수평부(52)를 포함할 수 있다.3 is a conventional stage heater to be compared with the present apparatus. In the present apparatus, a stage 1 ′ including a first body 11 ′, a second body 12 ′, and a stepped portion 13 ′ and A first heater 2 ′ and a second heater 3 ′ may be included. The stage heater may include a horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 in the present apparatus.

이러한 종래의 스테이지 히터에서 스테이지(1')를 상기 SUS 재질의 전기저항체인 제1히터(2') 및 제2히터(3') 각각에 800W, 1000W의 전력을 각각 인가하여, 센터 부분의 온도가 가장자리 부분의 온도보다 낮도록 할 경우(이하 제1실험 조건), 스테이지(1')의 중심(상기 센터 부분) 온도는 294.9℃이고, 상기 스테이지(1')의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 299.6℃ 로서(상기 스테이지(1')의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값) 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 4.9℃ 이었다(상기 측정된 온도는 스테이지(1') 표면(대상체가 안착되는 면)의 온도일 수 있다).In such a conventional stage heater, electric power of 800W and 1000W is applied to each of the first heater 2'and the second heater 3', which are electrical resistances made of the SUS material, to the stage 1'. When the temperature is lower than the temperature of the edge part (hereinafter, the first experiment condition), the temperature of the center (the center part) of the stage 1'is 294.9°C, and a point separated by 140mm from the center of the stage 1'( The temperature of the edge portion) was 299.6°C (the highest value among the four temperatures measured at 90° intervals from the center of the stage 1'), and the temperature difference between the edge portion and the center portion was 4.9°C (the above measurement The set temperature may be the temperature of the surface of the stage 1'(the surface on which the object is seated).

반면에, 제1실시예에 따른 본 장치(도 2 참조)는, 상술한 스테이지 히터의 제1실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 293.8℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 302.2℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값) 로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 8.4℃ 이었다.On the other hand, the device according to the first embodiment (see Fig. 2), when measuring the temperature of the stage 1 (eg, the temperature of the surface) under the same conditions as the first experimental condition of the stage heater described above, the stage The temperature of the center (center part) of (1) was 293.8°C, and the temperature at the point (the edge part) separated by 140mm from the center of the stage 1 was 302.2°C (at an interval of 90° from the center of the stage 1). As the highest value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 8.4°C.

즉, 제1실시예에 따른 본 장치는 제2차열수단(5)의 수평부(52)만 구비한 종래의 스테이지 히터(도 3 참조)와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(3.7℃ 차이) 때문에 제1실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.That is, the device according to the first embodiment has a larger temperature difference between the edge portion and the center portion compared to the conventional stage heater (see FIG. 3) provided with only the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5. Since it appeared (3.7°C difference), it can be seen that the present apparatus according to the first embodiment can more easily form a temperature gradient between the edge portion and the center portion.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a heating apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 제2실시예에 따른 본 장치는 상술한 제1실시예에 다른 본 장치의 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 제1차열수단(4)을 포함할 수 있다. 예시적으로 제1차열수단(4)은 세 개 구비될 수 있다. 예시적으로 세 개의 제1차열수단(4) 중 내측에 구비되어 제1히터(2)와 인접한 것은 상술한 제2차열수단(5)의 수직부(51)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비되고, 세 개의 제1차열수단(4) 중 외측에 구비되어 제2히터(3)와 인접한 것은 상술한 제3차열수단(6)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비될 수 있다.1, 3 and 4, the device according to the second embodiment includes a plurality of first heat shielding means 4 provided at predetermined intervals along the horizontal direction of the device according to the first embodiment described above. Can include. As an example, three first heat shielding means 4 may be provided. Exemplarily, one of the three first heat shielding means 4 provided inside and adjacent to the first heater 2 is spaced a predetermined distance from the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 described above along the upward direction. It is provided, and one of the three first heat shielding means 4 that is provided on the outside and adjacent to the second heater 3 may be provided at a predetermined distance apart from the third heat shielding means 6 in the upward direction.

이를 통해 제2실시예에 따른 본 장치의 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 보다 효과적으로 억제하여 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(가장자리 부분)의 온도 차이를 크게 형성하기 때문에 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성할 수 있다는 이점이 있다.In this way, in the stage 1 of the present apparatus according to the second embodiment, heat exchange between the part provided with the first heater 2 and the part provided with the second heater 3 can be more effectively suppressed. Since the temperature difference between the part with the first heater 2 (center part) and the part with the second heater 3 (the edge part) is large, the temperature gradient of the stage 1 can be formed more effectively. There is an advantage that there is.

제2실시예에 따른 본 장치(도 4 참조)는, 상술한 스테이지 히터(도 3 참조)의 제1실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 292.5℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 304.3℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값)로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 11.8℃ 이었다.The present apparatus according to the second embodiment (see Fig. 4), when measuring the stage 1 temperature (eg, the temperature of the surface) under the same conditions as the first experimental conditions of the stage heater (see Fig. 3) described above. , The temperature of the center (center part) of the stage (1) was 292.5°C, and the temperature at the point (the edge part) separated by 140mm from the center of the stage (1) was 304.3°C (90° from the center of the stage (1)) (The highest value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 11.8°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 상술한 종래의 스테이지 히터와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났고(6.7 ℃ 차이), 제1실시예에 다른 본 장치와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타난 것을 확인할 수 있다(3℃ 차이)That is, in the present apparatus according to the third embodiment, the temperature difference between the edge portion and the center portion was larger than that of the conventional stage heater described above (6.7° C. difference), and compared with the present apparatus other in the first embodiment. It can be seen that the temperature difference between the edge part and the center part appeared larger (3℃ difference).

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 히팅장치를 설명하기 위한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a heating device according to a third embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치는 제2실시예에 따른 본 장치에서 스테이지(1)보다 열전도율이 낮고 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이(제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각에서 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이)에 배치되는 세로부(71) 및 세로부(71)의 하단에서 수평 방향(내측 방향)으로 연결(연장)되고 제2히터(3)와 제2히터(3)보다 하측에 배치되는 가로부(72)를 포함하는 제4차열수단(7)을 포함할 수 있다.1 to 5, the device according to the third embodiment has a lower thermal conductivity than the stage 1 in the device according to the second embodiment, and between the first heater 2 and the second heater 3 ( The vertical portion 71 disposed between the extension lines extending in the vertical direction from each of the first heater 2 and the second heater 3 and connected in the horizontal direction (inward direction) from the bottom of the vertical portion 71 (extension) ) And may include a fourth heat shielding means 7 including a second heater 3 and a horizontal portion 72 disposed below the second heater 3.

세로부(71)는 그 상단이 상술한 제2실시예에 따른 제1차열수단(4)(제2차열수단(5)의 수직부(51) 및 제3차열수단(6) 각각에서 수직 방향으로 연장된 연장선 사이에 구비된 제1차열수단(4)의 하단에서 연장된 것일 수 있다.The vertical portion 71 has its upper end in a vertical direction in each of the first heat shielding means 4 (the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6) according to the second embodiment described above. It may be extended from the lower end of the first heat shielding means 4 provided between the extended extension lines.

스테이지(1)에서 제4차열수단(7)의 가로부(72)는 상술한 제2차열수단(5)의 수평부(52)보다 하측에 구비될 수 있다.In the stage 1, the horizontal portion 72 of the fourth heat shielding means 7 may be provided below the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 described above.

이를 통해, 센터 부분의 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향(예시적으로 하측 방향)으로 이동하여 가장자리 부분으로 이동하는 것을 억제하며, 가장자리 부분의 열이 수평 방향뿐만 아니라 수직 방향으로 이동하여 센터 부분으로 이동하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.Through this, the column of the center portion is prevented from moving not only in the horizontal direction but also in the vertical direction (e.g., downward direction) and moving to the edge portion. Movement can be more effectively suppressed.

도 1 및 도 5를 참조하면, 제4차열수단(7)은 내부에 중공이 형성된 에어캡일 수 있다. 따라서 별도로 고가의 단열재를 사용하지 않고도, 스테이지(1)의 온도구배를 형성할 수 있다. 즉, 제1차열수단(4)이 에어캡인 경우 스테이지(1)는 공기보다 열전도율이 높은 재료로 형성되는 것이다.1 and 5, the fourth heat shielding means 7 may be an air cap having a hollow inside. Therefore, it is possible to form a temperature gradient of the stage 1 without using a separate expensive heat insulating material. That is, when the first heat shielding means 4 is an air cap, the stage 1 is formed of a material having a higher thermal conductivity than air.

도 1 및 도 5를 참조하면, 제4차열수단(7)은 세로부(71)가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감싸는 폐쇄형 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제4차열수단(7)이 제1히터(2) 및 제2히터(3) 사이에 배치되되, 일단 및 타단이 이격되는 경우, 일단 및 타단의 이격 공간을 통해 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분(이하 센터 부분)과 제2히터(3)가 구비된 부분(이하 가장자리 부분)의 열 교환이 이루어져 스테이지(1)의 온도구배를 형성하기 어렵게 된다. 이때 제4차열수단(7)이 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 제1히터(2)를 감쌈으로써, 스테이지(1)에서 제1히터(2)가 구비된 부분과 제2히터(3)가 구비된 부분의 열 교환을 억제하여 스테이지(1)의 온도구배를 보다 효과적으로 형성시키는 것이다.1 and 5, the fourth heat shielding means 7 may have a closed structure in which the vertical portion 71 is connected to one end and the other end to surround the first heater 2 based on a plan view. More specifically, the fourth heat shielding means 7 is disposed between the first heater 2 and the second heater 3, but when one end and the other end are spaced apart, the stage ( In 1), heat exchange between the part with the first heater 2 (hereinafter, the center part) and the part with the second heater 3 (hereinafter, the edge part) makes it difficult to form the temperature gradient of the stage 1 do. At this time, the fourth heat shielding means 7 has one end and the other end connected to each other and wraps the first heater 2 based on the plan view, so that the portion in the stage 1 where the first heater 2 is provided and the second heater ( 3) The temperature gradient of the stage 1 is formed more effectively by suppressing the heat exchange of the portion provided.

상술한 바와 같이, 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각은 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성된다고 하였는데, 마찬가지로 제4차열수단(7) 또한 스테이지(1)의 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.As described above, it was said that each of the first heater 2 and the second heater 3 is formed along the circumferential direction of the stage 1. Likewise, the fourth heat shielding means 7 also changes the circumferential direction of the stage 1 It can be formed according to.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치에서 세로부(71)는 인접한 제1차열수단(4) 사이에 배치될 수 있다. 제2실시예에 따른 본 장치에서 설명하였듯이(도 4 참조), 제1차열수단(4)은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비될 수 있다고 하였고, 예시적으로 제1차열수단(4)은 세 개 구비될 수 있다고 하였다.1 to 5, in the device according to the third embodiment, the vertical portion 71 may be disposed between adjacent first heat shielding means 4. As described in the present apparatus according to the second embodiment (refer to FIG. 4), it was said that a plurality of first heat shielding means 4 may be provided at predetermined intervals along the horizontal direction, and illustratively, the first heat shielding means 4 It was said that three could be provided.

이때 세로부(71)는 세 개의 제1차열수단(4)중 내측에 구비되어 제1히터(2)와 인접한 것과 외측에 구비되어 제2히터(3)와 구비된 것과 사이에 배치되는 제1차열수단(4)의 하단에서 하측으로 연장되어 제1히터(2) 및 제2히터(3) 각각의 수직 방향으로 연장되는 연장선 사이에 배치될 수 있다. 즉, 세로부(71)는 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 제3차열수단(6)의 사이에 배치될 수 있다.At this time, the vertical portion 71 is provided on the inner side of the three first heat shielding means 4, and is provided on the outside and adjacent to the first heater 2, and is disposed between the second heater 3 and the provided. It may be disposed between the extension lines extending downward from the lower end of the heat shielding means 4 and extending in the vertical direction of each of the first heater 2 and the second heater 3. That is, the vertical portion 71 may be disposed between the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 and the third heat shielding means 6.

이를 통해, 센터 부분의 열이 제2차열수단(5)의 수직부(51)와 수직부(51)에서 상측 방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비된 제1차열수단(4)(내측에 구비된 제1차열수단(4))이 이격 공간을 통해 이동하는 열이 차단됨은 물론, 센터 부분의 열이 하측 방향으로 이동하여도 수평부(52) 및 가로부(72)에 의해 가장자리 부분으로 이동하는 것이 억제된다는 이점이 있다.Through this, the first heat shielding means 4 (which is provided inside) is spaced apart from the vertical portion 51 and the vertical portion 51 of the second heat shielding means 5 by a predetermined distance along the upward direction. The heat moving through the spaced space by the first heat shielding means 4 is blocked, and even if the row of the center portion moves downward, the horizontal portion 52 and the horizontal portion 72 move to the edge portion. There is an advantage that it is suppressed.

가장자리 부분의 열이 제1차열수단(4) 내지 제4차열수단(7)에 의해 센터 부분으로 이동하는 것이 억제되는 것은 동일한 원리로 상술한 설명으로 대체한다.The fact that the heat of the edge portion is inhibited from moving to the center portion by the first heat shielding means 4 to the fourth heat shielding means 7 is replaced by the above description on the same principle.

제3실시예에 따른 본 장치의 스테이지(1)는 상술한 스테이지 히터의 제1실험 조건과 동일한 조건하에서 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였다. 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 291.1℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 306.2℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최고값)로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 15.1℃ 이었다.In the stage 1 of the present apparatus according to the third embodiment, the temperature (eg, the temperature of the surface) was measured under the same conditions as the first experimental condition of the stage heater described above. The temperature of the center (center part) of the stage 1 was 291.1°C, and the temperature at a point (the edge part) separated by 140mm from the center of the stage 1 was 306.2°C (90° from the center of the stage 1). As the highest value among the four temperatures measured separately), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 15.1°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 상술한 종래의 스테이지의 히터와 비교하여 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(10.2℃ 차이) 때문에 제3실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.That is, the device according to the third embodiment has a larger temperature difference between the edge portion and the center portion compared to the heater of the conventional stage described above (a difference of 10.2°C). It can be seen that the temperature gradient of the and center portion can be formed more easily.

또한 제3실시예에 따른 본 장치의 온도 차이와 제2실시예에 따른 본 장치의 온도 차이를 비교하였을 때, 제3실시예에 따른 본 장치의 온도 차이가 제2실시예에 따른 본 장치의 온도 차이 보다 3.3℃ 더 큰 것을 확인할 수 있다.In addition, when comparing the temperature difference of the device according to the third embodiment and the temperature difference of the device according to the second embodiment, the temperature difference of the device according to the third embodiment is It can be seen that it is 3.3℃ greater than the temperature difference.

도 3을 참조하면, 종래의 스테이지 히터에서 스테이지(1')를 SUS 재질의 전기저항체인 제1히터(2') 및 제2히터(3') 각각에 500W, 1300W의 전력을 각각 인가하여, 센터 부분의 온도가 가장자리 부분의 온도보다 높도록 할 경우(이하 제2실험 조건), 스테이지(1')의 중심(상기 센터 부분) 온도는 307.0℃이고, 상기 스테이지(1')의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 296.0℃ 로서(상기 스테이지(1')의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최소값) 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 11.0℃ 이었다(상기 측정된 온도는 스테이지(1') 표면(대상체가 안착되는 면)의 온도일 수 있다).Referring to FIG. 3, in a conventional stage heater, power of 500W and 1300W is applied to each of the first heater 2'and the second heater 3', which are electrical resistances made of SUS, to the stage 1'. When the temperature of the center portion is higher than the temperature of the edge portion (hereinafter, the second experiment condition), the temperature of the center (the center portion) of the stage 1'is 307.0°C, and 140mm from the center of the stage 1' The temperature at the separated point (the edge portion) was 296.0°C (minimum of the four temperatures measured at 90° intervals from the center of the stage 1'), and the temperature difference between the edge portion and the center portion was 11.0°C. (The measured temperature may be the temperature of the surface of the stage 1'(the surface on which the object is seated)).

반면에 도 5를 참조하면, 제3실시예에 따른 본 장치는, 상술한 스테이지 히터의 제2실험 조건과 동일한 조건 하에서 스테이지(1) 온도(예시적으로 표면의 온도)를 측정하였을 때, 스테이지(1)의 중심(센터 부분) 온도는 309.0℃ 이었고, 스테이지(1)의 중심에서 140mm 이격된 지점(상기 가장자리 부분)의 온도는 294.5℃(상기 스테이지(1)의 중심에서 90ㅀ간격을 두고 각각 측정한 4개의 온도 중 최소값) 으로서, 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이는 14.5℃ 이었다.On the other hand, referring to FIG. 5, in the present apparatus according to the third embodiment, when measuring the temperature of the stage 1 (eg, the temperature of the surface) under the same conditions as the second experimental condition of the stage heater described above, the stage The center (center part) temperature of (1) was 309.0°C, and the temperature at the point (the edge part) 140mm apart from the center of the stage (1) was 294.5°C (at an interval of 90° from the center of the stage 1). As the minimum value among the four temperatures measured respectively), the temperature difference between the edge portion and the center portion was 14.5°C.

즉, 제3실시예에 따른 본 장치는 제2차열수단(5)의 수평부(52)만 구비한 종래의 스테이지 히터와 비교하여 제1실험 조건뿐만 아니라 제2실험 조건에서도 가장자리 부분과 센터 부분의 온도 차이가 더 크게 나타났기(3.5℃ 차이) 때문에 제3실시예에 따른 본 장치는 가장자리 부분과 센터 부분의 온도구배를 보다 용이하게 형성할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.In other words, the device according to the third embodiment is compared with the conventional stage heater having only the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5, and the edge portion and the center portion in the second experiment condition as well as the first experimental condition. Since the temperature difference of is larger (3.5°C difference), it can be seen that the present apparatus according to the third embodiment can more easily form a temperature gradient between the edge portion and the center portion.

또한 도 1을 참조하면, 본 장치는 스테이지(1) 내부에서 제2차열수단(5)의 수평부(52) 보다 하측에 구비되는 냉각수단(8)을 포함할 수 있다. 예시적으로 냉각수단(52)은 스테이지(1) 내부에서 상기 둘레 방향을 따라 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 1, the apparatus may include a cooling means 8 provided below the horizontal portion 52 of the second heat shielding means 5 inside the stage 1. For example, the cooling means 52 may be formed in the stage 1 along the circumferential direction.

냉각수단(8)은 해당 분야에서 통상적으로 사용되는 것으로서, 보다 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The cooling means 8 is commonly used in the relevant field, and a more detailed description thereof will be omitted.

이와 같이, 본 장치는 냉각수단(8)을 포함함으로써, 제1히터(2) 및 제2히터(3)에 의한 스테이지(1)의 히팅 이후에 스테이지(1)를 냉각하여 본 장치(예시적으로 스테이지(1))의 사용 수명을 연장시킬 수 있다는 이점이 있다.As described above, the apparatus includes the cooling means 8, so that the stage 1 is cooled after heating of the stage 1 by the first heater 2 and the second heater 3 to cool the stage 1 As a result, there is an advantage that the service life of the stage (1) can be extended.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 통상의 기술자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The present invention described above with reference to the accompanying drawings can be variously modified and changed by a person skilled in the art, and such modifications and changes should be construed as being included in the scope of the present invention.

히팅장치: H 스테이지: 1
제1바디: 11 제2바디: 12
단턱부: 13 제1히터: 2
제2히터: 3 제1차열수단: 4
제2차열수단: 5 수직부: 51
수평부: 52 제3차열수단: 6
제4차열수단: 7 세로부: 71
가로부: 72 Heating device: H stage: 1
First Body: 11 Second Body: 12
Stepped part: 13 First heater: 2
Second heater: 3 First heat shielding means: 4
Second heat shielding means: 5 vertical part: 51
Horizontal part: 52 3rd heat shielding means: 6
Fourth heating means: 7 Vertical part: 71
Horizontal: 72

Claims (16)

대상체가 안착되는 스테이지;
상기 스테이지의 내부에 구비되는 제1히터;
상기 스테이지의 내부에 구비되되, 상기 제1히터에서 소정 거리 이격되어 배치되는 제2히터; 및
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 제1차열수단;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
A stage on which an object is seated;
A first heater provided inside the stage;
A second heater disposed inside the stage and spaced apart from the first heater by a predetermined distance; And
A first heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed between the first heater and the second heater;
Heating device comprising a.
 청구항 1에 있어서,
상기 제1차열수단은 수평 방향을 따라 소정 간격으로 다수 구비되는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
And a plurality of the first heat shielding means are provided at predetermined intervals along a horizontal direction.
 청구항 1에 있어서,
상기 제1차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The first heat shielding means is a heating apparatus, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 1에 있어서,
상기 제1차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The heating apparatus, wherein the first heat shielding means has a closed structure in which one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 제2차열수단을 더 포함하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The heating apparatus further comprises a second heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage and disposed below the first heater and the second heater.
 청구항 5에 있어서,
상기 제2차열수단은 수직 방향으로 배치되는 수직부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 5,
The heating device, characterized in that the second heat shielding means comprises a vertical portion disposed in a vertical direction.
 청구항 6에 있어서,
상기 제2차열수단은 상기 수직부의 하단에서 수평 방향으로 연결된 수평부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 6,
And the second heat shielding means further comprises a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion.
 청구항 5에 있어서,
상기 제2차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 5,
The second heat shielding means is a heating apparatus, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 6에 있어서,
상기 제2차열수단은 상기 수직부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 6,
And the second heat shielding means has a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지는 제1폭을 갖는 제1바디, 상기 제1바디의 하부에 구비되고 상기 제1폭보다 작은 제2폭을 갖는 제2바디 및 상기 제1바디와 제2바디 간의 폭 차이에 의해 상기 제1바디의 하면에 형성된 단턱부를 포함하고,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터보다 하부에 구비되고 상기 단턱부에서 상측으로 연장 구비된 제3차열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The stage is formed by a first body having a first width, a second body provided under the first body and having a second width smaller than the first width, and a width difference between the first body and the second body. Including a stepped portion formed on the lower surface of the first body,
And a third heat shielding means having a lower thermal conductivity than the stage, provided below the first heater and the second heater, and extending upward from the stepped portion.
 청구항 10에 있어서,
상기 제3차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 10,
The third heat shielding means is a heating apparatus, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 10에 있어서,
상기 제3차열수단은 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 10,
The third heat shielding means is a heating apparatus, characterized in that one end and the other end are connected to each other to surround the first heater based on a plan view of the closed structure.
 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method according to claim 1,
The heat conductivity is lower than that of the stage, and includes a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater. Heating device, characterized in that it further comprises a fourth heat shielding means.
 청구항 13에 있어서,
상기 제4차열수단은 내부에 중공이 형성된 에어캡인 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 13,
The fourth heat shielding means is a heating apparatus, characterized in that the air cap has a hollow formed therein.
 청구항 13에 있어서,
상기 제4차열수단은 상기 세로부가 일단과 타단이 서로 연결되어 평면도를 기준으로 상기 제1히터를 감싸는 폐쇄형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 히팅장치.
The method of claim 13,
And the fourth heat shielding means has a closed structure in which one end and the other end of the vertical portion are connected to each other to surround the first heater based on a plan view.
 청구항 2에 있어서,
상기 스테이지보다 열전도율이 낮고, 상기 제1히터 및 상기 제2히터 사이에 배치되는 세로부 및 상기 세로부의 하단에서 수평 방향으로 연결되고 상기 제1히터와 상기 제2히터보다 하측에 배치되는 가로부를 포함하는 제4차열수단을 더 포함하고,
상기 세로부는 인접한 두 제1차열수단의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 히팅장치.The method according to claim 2,
The heat conductivity is lower than that of the stage, and includes a vertical portion disposed between the first heater and the second heater, and a horizontal portion connected in a horizontal direction from a lower end of the vertical portion and disposed below the first heater and the second heater. Further comprising a fourth heat shielding means,
The heating apparatus, characterized in that the vertical portion is disposed between the adjacent two first heat shielding means.
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