KR102272320B1 - Automatic lifting stage - Google Patents

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KR102272320B1
KR102272320B1 KR1020200010267A KR20200010267A KR102272320B1 KR 102272320 B1 KR102272320 B1 KR 102272320B1 KR 1020200010267 A KR1020200010267 A KR 1020200010267A KR 20200010267 A KR20200010267 A KR 20200010267A KR 102272320 B1 KR102272320 B1 KR 102272320B1
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ball
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조광제
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주식회사 디피아이엔
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Abstract

The present invention relates to an automatic lifting stage, which consists of a body (100), a carriage plate (200), a lifting adjustment unit (300), and an elastic body (400). According to the present invention, the automatic lifting stage is supported at three points by the combination of a pair of sliding members and male threaded rods in which a carriage plate that moves up and down on the body is arranged in a triangular configuration, so that the load of a lifting object is uniformly distributed and supported, and in particular, as the position can be corrected in the lateral direction since a shaft ball of the male threaded rod is accommodated in a shaft groove of the carriage plate, even minute errors caused by mismatch of movement direction between the pair of sliding members and male threaded rods are corrected, thereby improving the precision by maintaining the horizontality of the carriage plate.

Description

자동 승강 스테이지 {Automatic lifting stage}Automatic lifting stage {Automatic lifting stage}

본 발명은 자동 승강 스테이지에 관련되며, 보다 상세하게는 바디 상에서 승강 이동되는 캐리지 플레이트가 삼각구도로 배치되는 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉의 축볼 조합에 의해 3점 지지되어 승강물의 하중이 균일하게 분산 지지되고, 특히 수나사봉의 축볼이 캐리지 플레이트의 축홈에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하므로 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차까지 보정되면서 캐리지 플레이트의 수평도 유지에 따른 정밀도 향상을 도모하는 자동 승강 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic lifting stage, and more particularly, a carriage plate moving up and down on the body is supported at three points by a pair of sliding members arranged in a triangular configuration and a shaft ball combination of a male screw rod, so that the load of the lift is uniformly distributed and supported In particular, since the shaft ball of the male screw rod is accommodated in the shaft groove of the carriage plate and can be corrected in the lateral direction, even minute errors due to mismatch in the movement direction between the pair of sliding members and the male screw rod are corrected and the precision is improved by maintaining the horizontality of the carriage plate. It relates to an automatic lifting stage that promotes

일반적으로 자동화 장비에는 Z축 방향(승강방향)으로의 승강할 수 있는 승강 스테이지가 사용된다. 이러한 승강 스테이지는 피작업물을 정확한 위치로 승ㆍ하강시킬 수 있는 정밀한 위치제어가 요구된다.In general, an elevating stage capable of elevating in the Z-axis direction (elevating direction) is used for automation equipment. Such a lifting stage requires precise position control to raise and lower the workpiece to an accurate position.

이에 한국등록특허 제10-1043925호(특허문헌1)는 X축, Y축, Z축 방향으로 이송이 가능한 3축 스테이지장치에 관한 것으로서, Z축 스테이지의 승강작동은 베이스의 리니어모터가 작동되어 양 Y축 스테이지를 반대 방향으로 이동시키면, 양 Y축 스테이지가 베이스 상에서 서로 반대방향의 Y축 방향으로 직선 이동되면서 오므려지거나 또는 벌어지게 되고, 이와 같은 양 Y축 스테이지의 직선 왕복이동에 의해서 Z축 스테이지는 양 Y축 스테이지 상에서 상하로 승강되는 기술이 선 등록된바 있지만, 리니어모터를 사용하며 Wedge Stage 형태로 구성되어 길이 방향으로 불필요한 공간을 많이 차지하여 장비 설계 시 애로점이 있으며, 백래쉬(Backlash)로 인하여 정밀한 위치제어가 어려운 문제가 있다.Accordingly, Korea Patent No. 10-1043925 (Patent Document 1) relates to a 3-axis stage device capable of transporting in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. When both Y-axis stages are moved in opposite directions, both Y-axis stages are linearly moved in the opposite Y-axis directions on the base to be closed or widened, and Z by the linear reciprocation of both Y-axis stages. The axis stage has previously been registered with the technology of lifting up and down on both Y-axis stages, but it uses a linear motor and is configured in the form of a wedge stage, so it occupies a lot of unnecessary space in the longitudinal direction, causing difficulties in equipment design and backlash (backlash). ), there is a problem that precise position control is difficult

또, 다른 종래 기술인 공개특허 제10-2013-0021148호는 스테이지 Z축 구동장치에 관한 것으로서, 동력원인 구동모터와, 구동모터로부터 동력을 받아 스테이지의 Z방향 이동을 유도하는 승강장치와, 구동모터의 동력을 승강장치에 전달하는 동력전달장치와, 승강장치와 동력전달장치 사이의 동력전달을 단속하기 위한 클러치와, 각각의 승강장치가 정지상태를 유지할 수 있도록 하는 제동장치를 포함하며, 구동모터로는 서보 모터 또는 스테핑 모터를 사용하는 기술이 선 공개된 바 있지만, 스테이지를 승ㆍ하강시키기 위해 구동모터로부터 여러 가지 장치를 거쳐 동력을 전달하므로 장비의 구성이 복잡해지고 서보 모터 또는 스테핑 모터를 이용하여 제어하므로 백래쉬(Backlash)로 인하여 정밀한 위치제어가 어려운 문제가 있다.In addition, another prior art, Laid-Open Patent Publication No. 10-2013-0021148, relates to a stage Z-axis driving device, a driving motor as a power source, a lifting device receiving power from the driving motor to induce Z-direction movement of the stage, and a driving motor A power transmission device for transmitting the power of the hoisting device to the elevating device, a clutch for intermitting power transmission between the elevating device and the power transmission device, and a braking device for maintaining the stationary state of each elevating device, comprising a drive motor technology using a servo motor or stepping motor has been previously disclosed, but power is transmitted from the driving motor through various devices to raise and lower the stage, making the configuration of the equipment complicated and using a servo motor or stepping motor Therefore, there is a problem in that precise position control is difficult due to backlash.

이에 따라 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 착안 된 것으로서, 바디 상에서 승강 이동되는 캐리지 플레이트가 삼각구도로 배치되는 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉의 축볼 조합에 의해 3점 지지되어 승강물의 하중이 균일하게 분산 지지되고, 특히 수나사봉의 축볼이 캐리지 플레이트의 축홈에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하므로 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차까지 보정되면서 캐리지 플레이트의 수평도 유지에 따른 정밀도 향상을 도모하는 자동 승강 스테이지를 제공하는 것에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention was conceived to solve the above problems, and the carriage plate moving up and down on the body is supported at three points by a combination of a pair of sliding members and male threaded rods arranged in a triangular configuration so that the load of the lift is uniformly Since the shaft ball of the male screw rod is accommodated in the shaft groove of the carriage plate and can be corrected in the lateral direction, even minute errors caused by the mismatch in the movement direction between the pair of sliding members and the male screw rod are corrected while maintaining the horizontality of the carriage plate. It is an object to provide an automatic raising/lowering stage which aims at the improvement of precision.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 특징은, 일측면에 가이드레일(110)이 구비되는 바디(100); 상기 가이드레일(110)에 설치되는 종형 플레이트(210)에 지지되어, 상하방향으로 이동되는 캐리지 플레이트(200); 상기 바디(100)에 회전 가능하게 설치되고, 내주면에 암나사부(322)가 형성되는 웜휠(320)과, 웜휠(320)에 치합되어 동력원(M)에 의해 회전하는 웜(340)과, 웜휠(320) 암나사부(322)에 나사 결합되어 피치 이동에 의해 캐리지 플레이트(200)를 높낮이 조절하는 수나사봉(360)으로 이루어지는 승강조절부(300);를 포함하여 주요구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve this object, a feature of the present invention is that the body 100 is provided with a guide rail 110 on one side; a carriage plate 200 supported by the vertical plate 210 installed on the guide rail 110 and moved in the vertical direction; A worm wheel 320 that is rotatably installed on the body 100 and has a female threaded part 322 formed on an inner peripheral surface thereof, a worm 340 meshed with the worm wheel 320 and rotated by a power source M, and a worm wheel (320) is screw-coupled to the female screw portion 322, and the lifting and lowering adjustment unit 300 made of a male screw rod 360 that adjusts the height of the carriage plate 200 by pitch movement; characterized in that it comprises a main configuration. .

이때, 상기 수나사봉(360) 상단부에 축볼(361)이 설치되고, 상기 축볼(361)과 대응하는 캐리지 플레이트(200) 저면에 축홈(201)이 형성되며, 상기 수나사봉(360)은 회동방지수단(370)에 의해 캐리지 플레이트(200)와 결합되어 웜휠(320) 회전운동에 따른 피치 이동력이 전달되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.At this time, the shaft ball 361 is installed at the upper end of the male screw rod 360, and the shaft groove 201 is formed on the bottom surface of the carriage plate 200 corresponding to the shaft ball 361, and the male screw rod 360 prevents rotation. It is coupled to the carriage plate 200 by means 370 and is characterized in that it is provided so that the pitch movement force according to the rotational movement of the worm wheel 320 is transmitted.

또한, 상기 회전방지수단(370)은, 수나사봉(360) 상단부에 구비되는 핀형 키(362)와, 캐리지 플레이트(200) 저면에 장착되어 수나사봉(360)이 관통 삽입되도록 관통홀(371)이 형성되는 가이드블록(372)과, 가이드블록(372) 저면에 형성되어 핀형 키(362)가 하부에서 상방향으로 삽입되는 키홈(373)으로 이루어지며, 상기 바디(100) 측에 일단이 연결되고, 다른 일단은 캐리지 플레이트(200) 측에 연결되어, 캐리지 플레이트(200)의 하향 이동력을 제공하는 탄성체(400)를 포함하여 주요구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the rotation preventing means 370, the pin-type key 362 provided at the upper end of the male screw rod 360, is mounted on the lower surface of the carriage plate 200, the through hole 371 so that the male screw rod 360 is inserted therethrough. The guide block 372 is formed, and it is formed on the bottom surface of the guide block 372 and consists of a keyway 373 into which the pin-type key 362 is inserted from the bottom upward, and one end is connected to the body 100 side. The other end is connected to the carriage plate 200 side, characterized in that it consists of a main configuration including an elastic body 400 that provides a downward movement force of the carriage plate 200.

또한, 상기 가이드레일(110)은, 바디(100) 일측면에 한 쌍으로 이격되는 고정레일(111)과, 고정레일(111) 사이에 배치되어 종형 플레이트(210)에 장착되는 유동레일(112)과, 한 쌍의 고정레일(111)과 유동레일(112) 양측면 사이에 설치되어 유동레일(112)의 상하 이동을 안내하는 한 쌍의 미끄럼부재(113)로 이루어지고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 한 쌍의 미끄럼부재(113)와 삼각구도로 배치되며, 상기 캐리지 플레이트(200)가 축볼(361)과 한 쌍의 미끄럼부재(113)에 3점 지지되고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 캐리지 플레이트(200)의 축홈(201)에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하게 구비되는 것을 특징으로 한다. In addition, the guide rail 110 is a fixed rail 111 spaced apart as a pair on one side of the body 100, and a floating rail 112 disposed between the fixed rail 111 and mounted on the vertical plate 210. ) and a pair of sliding members 113 installed between both sides of the fixed rail 111 and the movable rail 112 to guide the vertical movement of the movable rail 112, and the male screw rod 360 ) of the shaft ball 361 is arranged in a triangular configuration with a pair of sliding members 113, the carriage plate 200 is supported at three points by the shaft ball 361 and the pair of sliding members 113, and the male screw rod The shaft ball 361 of 360 is accommodated in the shaft groove 201 of the carriage plate 200 and is characterized in that it is provided so as to be capable of position correction in the lateral direction.

또한, 상기 캐리지 플레이트(200)는 상방향으로 당김력이 작용시, 가이드블록(372)이 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 분리되어 축홈(201)과 축볼(361) 사이가 이격되어 공간부가 형성되고, 상기 공간부에 설치되어 캐리지 플레이트(200)를 확장된 위치에서 지지하는 레벨링 축봉(380)이 구비되며, 상기 레벨링 축봉(380)은 하부에 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 결합되도록 멀티 키홈(381)이 형성되고, 상부에 멀티 축볼(382)이 형성되어 축홈(201)에 삽입되도록 구비되며, 상기 레벨링 축봉(380)의 사이즈에 따라 캐리지 플레이트(200)의 높낮이 기본 규격이 변경되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, when a pulling force is applied to the carriage plate 200 in the upward direction, the guide block 372 is separated from the pin-type key 362 of the male screw rod 360 so that the shaft groove 201 and the shaft ball 361 are spaced apart. A space portion is formed, and a leveling shaft rod 380 installed in the space portion to support the carriage plate 200 in an expanded position is provided, and the leveling shaft rod 380 is a pin-type key of the male screw rod 360 at the lower portion. A multi-key groove 381 is formed to be coupled with the 362, and a multi-axis ball 382 is formed on the upper portion to be inserted into the shaft groove 201, and according to the size of the leveling shaft rod 380, the carriage plate 200. It is characterized in that it is provided so that the height of the basic standard is changed.

또한, 상기 웜휠(320)은 내주면에 설치되는 복수의 볼(323)에 의해 암나사부(322)를 구성하고, 상기 볼은 웜휠(320)은 내주면 상방향으로 갈수록 외측으로 경사각을 이루는 장공홀(324)에 삽입되어, 볼(323)이 장공홀(324) 하단부에 위치시 웜휠(320) 내주면으로 노출되어 수나사봉(360)에 치합되고, 볼(323)이 장공홀(324) 상단부에 위치시 웜휠(320) 내주면으로 미노출되어 수나사봉(360)와 치합상태가 해제되며, 상기 수나사봉(360)을 상방향으로 당기면, 볼(323)과 수나사봉(360)의 치합상태가 해제되면서 캐리지 플레이트(200)가 상방향으로 급속이동되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the worm wheel 320 constitutes a female screw part 322 by a plurality of balls 323 installed on the inner circumferential surface, and the ball has a long hole ( 324), when the ball 323 is positioned at the lower end of the long hole 324, it is exposed to the inner peripheral surface of the worm wheel 320 and meshes with the male screw rod 360, and the ball 323 is located at the upper end of the long hole 324 When the worm wheel 320 is not exposed to the inner circumferential surface, the mating state with the male screw rod 360 is released, and when the male screw rod 360 is pulled upward, the mating state of the ball 323 and the male screw rod 360 is released while the carriage It is characterized in that the plate 200 is provided to move rapidly in the upward direction.

이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 발명은 바디 상에서 승강 이동되는 캐리지 플레이트가 삼각구도로 배치되는 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉의 축볼 조합에 의해 3점 지지되어 승강물의 하중이 균일하게 분산 지지되고, 특히 수나사봉의 축볼이 캐리지 플레이트의 축홈에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하므로 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차까지 보정되면서 캐리지 플레이트의 수평도 유지에 따른 정밀도 향상을 도모하는 효과가 있다.According to the above configuration and action, in the present invention, the carriage plate moving up and down on the body is supported at three points by a pair of sliding members arranged in a triangular configuration and an axis ball combination of a male screw rod, so that the load of the lift is uniformly distributed and supported, in particular, a male screw Since the shaft ball of the rod is accommodated in the shaft groove of the carriage plate and the position can be corrected in the lateral direction, even minute errors due to mismatch in the movement direction between a pair of sliding members and the male threaded rod are corrected, and the effect of improving the precision by maintaining the horizontality of the carriage plate there is

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지를 전체적으로 나타내는 분해사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지를 전체적으로 나타내는 조립도.
도 3은 도 2의 A-A'선을 절단하여 나타내는 단면도.
도 4는 도 2의 B-B'선을 절단하여 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지의 승강조절부를 나타내는 구성도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지의 회전방지수단을 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지의 레벨링 축봉을 나타내는 구성도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 승강 스테이지의 승강조절부 변형예를 나타내는 구성도.1 is an exploded perspective view showing the entire automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an assembly view showing the entire automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a cross-sectional view taken along line A-A' of Fig. 2;
Fig. 4 is a cross-sectional view taken along line B-B' of Fig. 2;
5 is a configuration diagram showing a lifting control unit of the automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.
6 is a block diagram showing a rotation preventing means of the automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.
7 is a block diagram showing the leveling shaft of the automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.
8 is a configuration diagram showing a modified example of the lifting control unit of the automatic lifting stage according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 자동 승강 스테이지에 관련되며, 이때 자동 승강 스테이지는 바디 상에서 승강 이동되는 캐리지 플레이트가 삼각구도로 배치되는 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉의 축볼 조합에 의해 3점 지지되어 승강물의 하중이 균일하게 분산 지지되고, 특히 수나사봉의 축볼이 캐리지 플레이트의 축홈에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하므로 한 쌍의 미끄럼부재와 수나사봉 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차까지 보정되면서 캐리지 플레이트의 수평도 유지에 따른 정밀도 향상을 도모하기 위해 바디(100), 캐리지 플레이트(200), 승강조절부(300), 탄성체(400)를 주요구성으로 이루어진다.The present invention relates to an automatic lifting stage, wherein the automatic lifting stage is supported at three points by a combination of a pair of sliding members and male threaded rods in which a carriage plate that moves up and down on a body is arranged in a triangular configuration, so that the load on the lift is uniformly distributed. In particular, since the shaft ball of the male screw rod is accommodated in the shaft groove of the carriage plate and can be corrected in the lateral direction, even minute errors due to mismatch in the movement direction between the pair of sliding members and the male screw rod are corrected, and the precision according to maintaining the horizontality of the carriage plate In order to achieve improvement, the body 100, the carriage plate 200, the lifting control unit 300, and the elastic body 400 are the main components.

본 발명에 따른 바디(100)는 일측면에 가이드레일(110)이 구비된다. 바디(100)는 도 1과 같이 후술하는 웜휠(320)이 수용되도록 설치홈이 형성되고, 설치홈과 동심원을 이루도록 종방향으로 관통되어 웜휠(320) 하부에 돌출 형성되는 축관이 베어링에 의해 지지되도록 설치된다.The body 100 according to the present invention is provided with a guide rail 110 on one side. The body 100 has an installation groove formed to accommodate a worm wheel 320 to be described later as shown in FIG. 1, and a shaft pipe protruding from the lower portion of the worm wheel 320 by penetrating in the longitudinal direction to form a concentric circle with the installation groove is formed by a bearing. installed to support.

또한, 본 발명에 따른 캐리지 플레이트(200)는 상기 가이드레일(110)에 설치되는 종형 플레이트(210)에 지지되어, 상하방향으로 이동된다. 도 4에서 종형 플레이트(210)는 바디(100) 일측면과 대향하도록 설치되고, 상부에 캐리지 플레이트(200)가 직교하도록 장착된다.In addition, the carriage plate 200 according to the present invention is supported by the vertical plate 210 installed on the guide rail 110, and moves in the vertical direction. In FIG. 4 , the vertical plate 210 is installed to face one side of the body 100 , and the carriage plate 200 is mounted thereon to be orthogonal.

즉, 상기 종형 플레이트(210)는 캐리지 플레이트(200) 저면 가장자리부에 설치되어, 도 5처럼 캐리지 플레이트(200)의 상하 방향 이동을 안내하고, 캐리지 플레이트(200)는 후술하는 승강조절부(300)에 의해 높낮이가 정밀하게 제어된다.That is, the vertical plate 210 is installed on the bottom surface edge portions carriage plate 200, Fig. 5 as a guide up-down movement of the carriage plate (200) and the carriage plate 200 is the lifting control, which will be described later part ( 300), the height is precisely controlled.

도 2 내지 3에서, 본 발명에 따른 승강조절부(300)는 상기 바디(100)에 회전 가능하게 설치되고, 내주면에 암나사부(322)가 형성되는 웜휠(320)과, 웜휠(320)에 치합되어 동력원(M)에 의해 회전하는 웜(340)과, 웜휠(320) 암나사부(322)에 나사 결합되어 피치 이동에 의해 캐리지 플레이트(200)를 높낮이 조절하는 수나사봉(360)으로 이루어진다. 2 to 3, the lifting control unit 300 according to the present invention is rotatably installed on the body 100, and a worm wheel 320 in which a female screw part 322 is formed on an inner circumferential surface, and the worm wheel 320. It consists of a worm 340 meshed and rotated by a power source M, and a male screw rod 360 that is screwed to the female screw part 322 of the worm wheel 320 and adjusts the height of the carriage plate 200 by pitch movement.

도 6에서, 상기 수나사봉(360) 상단부에 축볼(361)이 설치되고, 상기 축볼(361)과 대응하는 캐리지 플레이트(200) 저면에 축홈(201)이 형성되며, 상기 수나사봉(360)은 회동방지수단(370)에 의해 캐리지 플레이트(200)와 결합되어 웜휠(320) 회전운동에 따른 피치 이동력이 전달되도록 구비된다. In FIG. 6 , a shaft ball 361 is installed at the upper end of the male screw rod 360 , and a shaft groove 201 is formed on the bottom surface of the carriage plate 200 corresponding to the shaft ball 361 , and the male screw rod 360 . The silver is coupled to the carriage plate 200 by the rotation preventing means 370 so that the pitch movement force according to the rotational movement of the worm wheel 320 is transmitted.

이때 상기 축홈(201) 영역은 경질의 블록으로 분할 형성되어 캐리지 플레이트(200) 상에 교체 가능하게 설치되고, 수나사봉(360)은 축볼(361)을 통하여 캐리지 플레이트(200) 저면에 접촉 지지된 상태로 웜휠(320) 회전운동에 따른 피치 이동력이 전달함에 따라 가이드레일(110)와 수나사봉(360) 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차가 보정되면서 캐리지 플레이트(200)의 수평도 유지에 따른 정밀도가 향상된다.At this time, the shaft groove 201 region is divided into a hard block and installed replaceably on the carriage plate 200, and the male screw rod 360 is supported in contact with the bottom surface of the carriage plate 200 through the shaft ball 361. As the pitch movement force according to the rotational movement of the worm wheel 320 is transmitted in the state, a minute error due to the mismatch in the movement direction between the guide rail 110 and the male screw rod 360 is corrected, and the carriage plate 200 maintains the horizontality. precision is improved.

그리고 상기 회전방지수단(370)은, 도 6처럼 수나사봉(360) 상단부에 구비되는 핀형 키(362)와, 캐리지 플레이트(200) 저면에 장착되어 수나사봉(360)이 관통 삽입되도록 관통홀(371)이 형성되는 가이드블록(372)과, 가이드블록(372) 저면에 형성되어 핀형 키(362)가 하부에서 상방향으로 삽입되는 키홈(373)으로 이루어진다.And the rotation preventing means 370 is mounted on the bottom surface of the pin-type key 362 provided at the upper end of the male screw rod 360 and the carriage plate 200, as shown in FIG. 6, through a through hole so that the male screw rod 360 is inserted therethrough. It consists of a guide block 372 in which 371 is formed, and a keyway 373 formed on the bottom surface of the guide block 372 and into which the pin-type key 362 is inserted upwardly from the bottom.

이에 상기 수나사봉(360)의 상단부가 회전방지수단(370)에 구속되어 관통홀(371) 내에서 미세 위치 이동가능하게 구비됨에 따라 가이드레일(110)와 수나사봉(360) 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차가 보정되면서 캐리지 플레이트(200)의 수평도 유지에 따른 정밀도가 향상된다.Accordingly, as the upper end of the male screw rod 360 is constrained by the rotation preventing means 370 and is provided to be movable in a fine position within the through hole 371, the movement direction mismatch between the guide rail 110 and the male screw rod 360 occurs. Accuracy is improved according to maintaining the horizontality of the carriage plate 200 as the fine error is corrected.

또한, 상기 가이드레일(110)은, 바디(100) 일측면에 한 쌍으로 이격되는 고정레일(111)과, 고정레일(111) 사이에 배치되어 종형 플레이트(210)에 장착되는 유동레일(112)과, 한 쌍의 고정레일(111)과 유동레일(112) 양측면 사이에 설치되어 유동레일(112)의 상하 이동을 안내하는 한 쌍의 미끄럼부재(113)로 이루어진다.In addition, the guide rail 110 is a fixed rail 111 spaced apart as a pair on one side of the body 100, and a floating rail 112 disposed between the fixed rail 111 and mounted on the vertical plate 210. ) and a pair of sliding members 113 installed between both sides of the fixed rail 111 and the movable rail 112 to guide the vertical movement of the movable rail 112 .

그리고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 한 쌍의 미끄럼부재(113)와 삼각구도로 배치되며, 상기 캐리지 플레이트(200)가 축볼(361)과 한 쌍의 미끄럼부재(113)에 3점(P) 지지되고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 캐리지 플레이트(200)의 축홈(201)에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하게 구비됨에 따라 가이드레일(110)와 수나사봉(360) 간에 이동방향 불일치에 따른 미세 오차가 보정되면서 캐리지 플레이트(200)의 수평도 유지에 따른 정밀도가 향상된다.And, the shaft ball 361 of the male screw rod 360 is arranged in a triangular configuration with a pair of sliding members 113, and the carriage plate 200 is placed on the shaft ball 361 and the pair of sliding members 113. The point P is supported, and the shaft ball 361 of the male screw rod 360 is accommodated in the shaft groove 201 of the carriage plate 200 and is provided so as to be capable of position correction in the lateral direction, the guide rail 110 and the male screw rod While the micro-error caused by the mismatch of the movement direction between 360 is corrected, the precision according to maintaining the horizontality of the carriage plate 200 is improved.

또한, 본 발명에 따른 탄성체(400)는 상기 바디(100) 측에 일단이 연결되고, 다른 일단은 캐리지 플레이트(200) 측에 연결되어, 캐리지 플레이트(200)의 하향 이동력을 제공한다. In addition, one end of the elastic body 400 according to the present invention is connected to the body 100 side, and the other end is connected to the carriage plate 200 side to provide a downward movement force of the carriage plate 200 .

이에 수나사봉(360)의 축볼(361)이 캐리지 플레이트(200) 저면에 접촉 지지된 상태로 수나사봉(360)이 하향 이동시, 캐리지 플레이트(200)가 탄성체(400)의 당김력에 의해 축볼(361)에 밀착상대를 유지하면서 하향 위치 조절된다.Accordingly, when the male screw rod 360 moves downward in a state in which the shaft ball 361 of the male screw rod 360 is supported in contact with the bottom surface of the carriage plate 200, the carriage plate 200 is moved downward by the pulling force of the elastic body 400. 361), the position is adjusted downward while maintaining close contact.

도 7에서, 상기 캐리지 플레이트(200)는 상방향으로 당김력이 작용시, 가이드블록(372)이 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 분리되어 축홈(201)과 축볼(361) 사이가 이격되어 공간부가 형성되고, 그리고 상기 공간부에 설치되어 캐리지 플레이트(200)를 확장된 위치에서 지지하는 레벨링 축봉(380)이 구비된다. In FIG. 7 , when a pulling force is applied to the carriage plate 200 in the upward direction, the guide block 372 is separated from the pin-type key 362 of the male screw rod 360 between the shaft groove 201 and the shaft ball 361 . A space portion is formed by being spaced apart, and a leveling shaft rod 380 installed in the space portion to support the carriage plate 200 in an expanded position is provided.

여기서, 상기 레벨링 축봉(380)은 하부에 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 결합되도록 멀티 키홈(381)이 형성되고, 상부에 멀티 축볼(382)이 형성되어 축홈(201)에 삽입되도록 구비되며, 상기 레벨링 축봉(380)의 사이즈에 따라 캐리지 플레이트(200)의 높낮이 기본 규격이 변경되도록 구비된다. 즉 상기 레벨링 축봉(380)은 규격별로 복수로 구비되고, 상기 바디(100)가 고정된 상태로 레벨링 축봉(380)을 교체하므로 캐리지 플레이트(200)의 높낮이 조절 영역이 간단하게 확장변경된다. Here, the leveling shaft rod 380 is formed with a multi-key groove 381 at the lower portion to be coupled with the pin-type key 362 of the male screw rod 360, and a multi-axis ball 382 is formed on the upper portion to be inserted into the shaft groove 201. It is provided so that the basic height of the carriage plate 200 is changed according to the size of the leveling shaft rod 380 . That is, the leveling shaft rod 380 is provided in plurality for each standard, and since the leveling shaft rod 380 is replaced in a state in which the body 100 is fixed, the height adjustment area of the carriage plate 200 is simply expanded and changed.

도 8에서, 상기 웜휠(320)은 내주면에 설치되는 복수의 볼(323)에 의해 암나사부(322)를 구성하고, 상기 볼은 웜휠(320)은 내주면 상방향으로 갈수록 외측으로 경사각을 이루는 장공홀(324)에 삽입되도록 구비된다.In FIG. 8, the worm wheel 320 constitutes a female threaded part 322 by a plurality of balls 323 installed on the inner circumferential surface, and the ball has a long hole forming an inclination angle to the outside as the worm wheel 320 goes upward toward the inner circumferential surface. It is provided to be inserted into the hole 324 .

그리고, 상기 볼(323)이 장공홀(324) 하단부에 위치시 도 8 (a)처럼 웜휠(320) 내주면으로 노출되어 수나사봉(360)에 치합되고, 볼(323)이 장공홀(324) 상단부에 위치시 도 8 (b)와 같이 웜휠(320) 내주면으로 미노출되어 수나사봉(360)와 치합상태가 해제된다.And, when the ball 323 is positioned at the lower end of the long hole 324, it is exposed to the inner peripheral surface of the worm wheel 320 as shown in FIG. 8 (a) and meshed with the male threaded rod 360, and the ball 323 is the long hole 324 ) at the upper end, as shown in FIG. 8 (b), the worm wheel 320 is not exposed to the inner circumferential surface, and the engagement state with the male screw rod 360 is released.

이에 상기 수나사봉(360)을 상방향으로 당기면, 볼(323)과 수나사봉(360)의 치합상태가 해제되면서 캐리지 플레이트(200)가 상방향으로 급속이동됨에 따라 캐리지 플레이트(200) 상에 설치된 탑재물(예컨대, 광학비젼 등)의 높이 조절이 신속하게 이루어지므로 초기 캐리지 플레이트(200) 높낮이 세팅에 다른 시간이 단축된다.Accordingly, when the male screw rod 360 is pulled upward, the mating state between the ball 323 and the male screw rod 360 is released and the carriage plate 200 rapidly moves upwardly installed on the carriage plate 200. Since the height adjustment of the mount (eg, optical vision, etc.) is performed quickly, the time required for setting the initial height of the carriage plate 200 is shortened.

10: 바디 200: 캐리지 플레이트
300: 승강조절부 400: 탄성체10: body 200: carriage plate
300: elevating control unit 400: elastic body

Claims (6)

일측면에 가이드레일(110)이 구비되는 바디(100);
상기 가이드레일(110)에 설치되는 종형 플레이트(210)에 지지되어, 상하방향으로 이동되는 캐리지 플레이트(200); 및
상기 바디(100)에 회전 가능하게 설치되고, 내주면에 암나사부(322)가 형성되는 웜휠(320)과, 웜휠(320)에 치합되어 동력원(M)에 의해 회전하는 웜(340)과, 웜휠(320) 암나사부(322)에 나사 결합되어 피치 이동에 의해 캐리지 플레이트(200)를 높낮이 조절하는 수나사봉(360)으로 이루어지는 승강조절부(300);를 포함하고,
상기 수나사봉(360) 상단부에 축볼(361)이 설치되고, 상기 축볼(361)과 대응하는 캐리지 플레이트(200) 저면에 축홈(201)이 형성되며, 상기 수나사봉(360)은 회동방지수단(370)에 의해 캐리지 플레이트(200)와 결합되어 웜휠(320) 회전운동에 따른 피치 이동력이 전달되도록 구비되며,
상기 회동방지수단(370)은, 수나사봉(360) 상단부에 구비되는 핀형 키(362)와, 캐리지 플레이트(200) 저면에 장착되어 수나사봉(360)이 관통 삽입되도록 관통홀(371)이 형성되는 가이드블록(372)과, 가이드블록(372) 저면에 형성되어 핀형 키(362)가 하부에서 상방향으로 삽입되는 키홈(373)으로 이루어지며, 상기 바디(100) 측에 일단이 연결되고, 다른 일단은 캐리지 플레이트(200) 측에 연결되어, 캐리지 플레이트(200)의 하향 이동력을 제공하는 탄성체(400)를 포함하여 주요구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동 승강 스테이지.a body 100 provided with a guide rail 110 on one side thereof;
a carriage plate 200 supported by a vertical plate 210 installed on the guide rail 110 and moved in a vertical direction; and
A worm wheel 320 that is rotatably installed on the body 100 and has a female threaded part 322 formed on an inner peripheral surface thereof, a worm 340 meshed with the worm wheel 320 and rotated by a power source M, and a worm wheel (320) is screw-coupled to the female screw portion 322, the lift adjustment unit 300 consisting of a male screw rod 360 for adjusting the height of the carriage plate 200 by the pitch movement; includes;
A shaft ball 361 is installed at the upper end of the male screw rod 360, a shaft groove 201 is formed on the bottom surface of the carriage plate 200 corresponding to the shaft ball 361, and the male screw rod 360 is a rotation preventing means ( It is coupled with the carriage plate 200 by 370) and provided so that the pitch movement force according to the rotational movement of the worm wheel 320 is transmitted,
The rotation preventing means 370 includes a pin-type key 362 provided at the upper end of the male screw rod 360 and a through hole 371 mounted on the bottom surface of the carriage plate 200 so that the male screw rod 360 is inserted therethrough. It consists of a guide block 372 which becomes a guide block 372 and a key groove 373 formed on the bottom surface of the guide block 372 and into which a pin-type key 362 is inserted from the bottom upward, and one end is connected to the body 100 side, The other end is connected to the carriage plate 200, and the automatic lifting stage, characterized in that it has a main configuration including an elastic body 400 that provides a downward movement force of the carriage plate (200). 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 가이드레일(110)은, 바디(100) 일측면에 한 쌍으로 이격되는 고정레일(111)과, 고정레일(111) 사이에 배치되어 종형 플레이트(210)에 장착되는 유동레일(112)과, 한 쌍의 고정레일(111)과 유동레일(112) 양측면 사이에 설치되어 유동레일(112)의 상하 이동을 안내하는 한 쌍의 미끄럼부재(113)로 이루어지고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 한 쌍의 미끄럼부재(113)와 삼각구도로 배치되며, 상기 캐리지 플레이트(200)가 축볼(361)과 한 쌍의 미끄럼부재(113)에 3점 지지되고, 상기 수나사봉(360)의 축볼(361)은 캐리지 플레이트(200)의 축홈(201)에 수용되어 횡방향으로 위치보정 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 승강 스테이지.The method of claim 1,
The guide rail 110 includes a fixed rail 111 spaced apart as a pair on one side of the body 100, and a floating rail 112 disposed between the fixed rail 111 and mounted on the vertical plate 210 and , a pair of sliding members 113 installed between both sides of the fixed rail 111 and the movable rail 112 to guide the vertical movement of the movable rail 112, The shaft ball 361 is arranged in a triangular configuration with a pair of sliding members 113, the carriage plate 200 is supported at three points by the shaft ball 361 and the pair of sliding members 113, and the male screw rod 360 ) of the shaft ball 361 is accommodated in the shaft groove 201 of the carriage plate 200, the automatic elevation stage, characterized in that it is provided so as to be capable of position correction in the lateral direction. 제 1항에 있어서,
상기 캐리지 플레이트(200)는 상방향으로 당김력이 작용시, 가이드블록(372)이 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 분리되어 축홈(201)과 축볼(361) 사이가 이격되어 공간부가 형성되고, 상기 공간부에 설치되어 캐리지 플레이트(200)를 확장된 위치에서 지지하는 레벨링 축봉(380)이 구비되며, 상기 레벨링 축봉(380)은 하부에 수나사봉(360)의 핀형 키(362)와 결합되도록 멀티 키홈(381)이 형성되고, 상부에 멀티 축볼(382)이 형성되어 축홈(201)에 삽입되도록 구비되며, 상기 레벨링 축봉(380)의 사이즈에 따라 캐리지 플레이트(200)의 높낮이 기본 규격이 변경되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 승강 스테이지.The method of claim 1,
When a pulling force is applied to the carriage plate 200 in the upward direction, the guide block 372 is separated from the pin-type key 362 of the male screw rod 360, and the space between the shaft groove 201 and the shaft ball 361 is spaced apart. A part is formed, and a leveling shaft rod 380 installed in the space to support the carriage plate 200 in an extended position is provided, and the leveling shaft rod 380 is a pin-type key 362 of the male screw rod 360 at the lower portion. ) and a multi-key groove 381 is formed, a multi-axis ball 382 is formed on the upper part to be inserted into the shaft groove 201, and the height of the carriage plate 200 according to the size of the leveling shaft rod 380 Automatic elevating stage, characterized in that provided so as to change the basic standard. 제 1항에 있어서,
상기 웜휠(320)은 내주면에 설치되는 복수의 볼(323)에 의해 암나사부(322)를 구성하고, 상기 볼은 웜휠(320)은 내주면 상방향으로 갈수록 외측으로 경사각을 이루는 장공홀(324)에 삽입되어, 볼(323)이 장공홀(324) 하단부에 위치시 웜휠(320) 내주면으로 노출되어 수나사봉(360)에 치합되고, 볼(323)이 장공홀(324) 상단부에 위치시 웜휠(320) 내주면으로 미노출되어 수나사봉(360)와 치합상태가 해제되며, 상기 수나사봉(360)을 상방향으로 당기면, 볼(323)과 수나사봉(360)의 치합상태가 해제되면서 캐리지 플레이트(200)가 상방향으로 급속이동되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 승강 스테이지.The method of claim 1,
The worm wheel 320 constitutes a female screw part 322 by a plurality of balls 323 installed on the inner circumferential surface, and the ball has a long hole 324 that forms an inclination angle to the outside as the worm wheel 320 goes upwards on the inner circumferential surface. When the ball 323 is positioned at the lower end of the long hole 324, it is exposed to the inner circumferential surface of the worm wheel 320 and meshes with the male screw rod 360, and the ball 323 is positioned at the upper end of the long hole 324, the worm wheel (320) is not exposed to the inner circumferential surface and the mating state with the male screw rod 360 is released, and when the male screw rod 360 is pulled upward, the mating state of the ball 323 and the male screw rod 360 is released while the carriage plate ( 200) automatic lifting stage, characterized in that it is provided to move rapidly in the upward direction.
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