KR102264294B1 - Drive assembly - Google Patents

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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 발명은 구동 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 구동 어셈블리는 피스톤; 상기 피스톤을 이동 가능하게 수용하고, 상기 피스톤의 구동을 위한 유체가 공급되는 배관들에 연결되는 실린더; 상기 실린더의 내부에 위치되는 센서들; 및 상기 배관을 유동하는 유체를 통해 상기 피스톤의 속력을 제어하되, 상기 센서들에 의해 감지된 신호를 바탕으로 계측된 상기 피스톤의 계측 속력을 설정 속력과 비교하는 방식으로 상기 피스톤의 속력을 자동으로 조절하는 배관 제어 유닛을 포함한다.The present invention relates to a drive assembly. A drive assembly according to an embodiment of the present invention includes a piston; a cylinder movably accommodating the piston and connected to pipes to which a fluid for driving the piston is supplied; sensors located inside the cylinder; and controlling the speed of the piston through the fluid flowing through the pipe, and automatically comparing the speed of the piston in a manner that compares the measured speed of the piston measured based on the signal detected by the sensors with a set speed Includes a piping control unit that regulates.

Description

구동 어셈블리{Drive assembly}drive assembly

본 발명은 구동 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a drive assembly.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 기판에 세정, 증착, 포토 리소그래피, 에칭, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 위의 각 공정들은 서로 상이한 구성을 갖는 공정 챔버에서 수행될 수 있다. 그리고 기판은 로봇 또는 레일 등을 포함하는 이송 챔버에 의해 공정 챔버와 공정 챔버 사이로 이송될 수 있다.In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photolithography, etching, and ion implantation are performed on a substrate. Each of the above processes may be performed in process chambers having different configurations. In addition, the substrate may be transferred between the process chamber and the process chamber by a transfer chamber including a robot or rail.

위와 같은 공정 챔버 또는 이송 챔버의 구동 요소는 동력을 제공하는 구동부재에 의해 동작될 수 있다. 이와 같은 구동부재는 실린더 및 피스톤 구조를 가질 수 있다.The driving element of the process chamber or the transfer chamber as described above may be operated by a driving member that provides power. Such a driving member may have a cylinder and a piston structure.

본 발명은 효율적으로 동작하는 피스톤을 갖는 구동 어셈블리를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention seeks to provide a drive assembly having a piston that operates efficiently.

본 발명의 일 측면에 따르면, 피스톤; 상기 피스톤을 이동 가능하게 수용하고, 상기 피스톤의 구동을 위한 유체가 공급되는 배관들에 연결되는 실린더; 상기 실린더의 내부에 위치되는 센서들; 및 상기 배관을 유동하는 유체를 통해 상기 피스톤의 속력을 제어하되, 상기 센서들에 의해 감지된 신호를 바탕으로 계측된 상기 피스톤의 계측 속력을 설정 속력과 비교하는 방식으로 상기 피스톤의 속력을 자동으로 조절하는 배관 제어 유닛을 포함하는 구동 어셈블리가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a piston; a cylinder movably accommodating the piston and connected to pipes to which a fluid for driving the piston is supplied; sensors located inside the cylinder; and controlling the speed of the piston through the fluid flowing through the pipe, and automatically comparing the speed of the piston in a manner that compares the measured speed of the piston measured based on the signal detected by the sensors with a set speed A drive assembly may be provided that includes a regulating piping control unit.

또한, 상기 센서들은, 상기 피스톤이 이동하는 방향의 일측에 위치되는 제 1 센서; 및 상기 피스톤이 이동하는 방향의 타측에 위치되는 제 2 센서를 포함할 수 있다.In addition, the sensors may include: a first sensor located on one side of the moving direction of the piston; and a second sensor positioned on the other side of the moving direction of the piston.

또한, 상기 배관 제어 유닛은 상기 제 1 센서와 상기 제 2 센서가 송신하는 신호의 시간차를 이용해 상기 계측 속력을 산출할 수 있다.Also, the pipe control unit may calculate the measurement speed using a time difference between signals transmitted by the first sensor and the second sensor.

또한, 상기 배관 제어 유닛은, 상기 배관들을 유동하는 유체를 제어하는 배관 제어 모듈; 및 제어 값을 통해 상기 배관 제어 모듈의 동작을 조절하는 모듈 제어부를 포함할 수 있다.In addition, the pipe control unit, a pipe control module for controlling the fluid flowing through the pipes; and a module control unit for controlling the operation of the pipe control module through a control value.

또한, 상기 배관 제어 모듈은 피에조 에추에이터를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the pipe control module may be configured to include a piezo actuator.

또한, 상기 제어 값은 전압 값으로 제공될 수 있다.Also, the control value may be provided as a voltage value.

또한 상기 모듈 제어부는 상기 제어 값을 초기 제어 값으로 설정하여 상기 피스톤을 구동한 후, 산출된 상기 계측 속력에 따라 상기 제어 값을 증가 또는 감소 시키는 작업을 1회 이상 수행하여 상기 피스톤의 속력을 자동으로 조절할 수 있다.In addition, the module control unit sets the control value as an initial control value to drive the piston, and then increases or decreases the control value according to the calculated measured speed at least once to automatically adjust the speed of the piston. can be adjusted with

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 동작하는 피스톤을 갖는 구동 어셈블리가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a drive assembly having an operating piston may be provided.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 구동 어셈블리를 나타내는 도면이다.
도 3은 배관 제어 유닛을 나타내는 도면이다.
도 4는 배관 제어 모듈의 구체적 구성을 도시한 도면이다.
도 5는 피스톤이 실린더의 하부에서 상부로 이동할 때를 나타내는 도면이다.
도 6은 피스톤의 속력이 조절되는 과정을 나타내는 플로우 차트이다.
도 7은 피스톤이 실린더의 상부에서 하부로 이동할 때를 나타내는 도면이다.
도 8은 다른 실시 예에 따라 피스톤의 속력이 조절되는 과정을 나타내는 플로우 차트이다.1 is a plan view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a driving assembly according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a pipe control unit.
4 is a view showing a specific configuration of a pipe control module.
5 is a view showing when the piston moves from the lower part to the upper part of the cylinder.
6 is a flowchart illustrating a process in which the speed of the piston is adjusted.
7 is a view showing when the piston moves from the upper part to the lower part of the cylinder.
8 is a flowchart illustrating a process in which a speed of a piston is adjusted according to another exemplary embodiment.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다. 1 is a plan view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 가진다. 인덱스 모듈(10)은 로드 포트(120) 및 이송 프레임(140)을 가진다. 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 배열된 방향을 제 1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(12)과 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 하며, 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제 3 방향(16)이라 한다. Referring to FIG. 1 , the substrate processing apparatus 1 includes an index module 10 and a process processing module 20 . The index module 10 has a load port 120 and a transport frame 140 . The load port 120 , the transfer frame 140 , and the process processing module 20 are sequentially arranged in a line. Hereinafter, a direction in which the load port 120 , the transfer frame 140 , and the process processing module 20 are arranged is referred to as a first direction 12 , and is perpendicular to the first direction 12 when viewed from the top. The direction is referred to as the second direction 14 , and the direction perpendicular to the plane including the first direction 12 and the second direction 14 is referred to as the third direction 16 .

로드 포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 위치된다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제 2 방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod, FOUP)가 사용될 수 있다. A carrier 130 in which the substrate W is accommodated is positioned in the load port 140 . A plurality of load ports 120 are provided and they are arranged in a line along the second direction 14 . The number of load ports 120 may increase or decrease according to process efficiency and footprint conditions of the process processing module 20 . A plurality of slots (not shown) are formed in the carrier 130 for accommodating the substrates W in a horizontally arranged state with respect to the ground. As the carrier 130 , a Front Opening Unifed Pod (FOUP) may be used.

공정 처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240), 그리고 공정 챔버(260)를 가진다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송 챔버(240)의 양측에는 각각 공정 챔버(260)들이 배치된다. 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정 챔버(260)들은 이송 챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송 챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정 챔버(260)들이 제공된다. 공정 챔버(260)들 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송 챔버(240)의 일측에는 공정 챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제 3 방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송 챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일 측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.The process processing module 20 includes a buffer unit 220 , a transfer chamber 240 , and a process chamber 260 . The transfer chamber 240 is disposed in a longitudinal direction parallel to the first direction 12 . Process chambers 260 are respectively disposed on both sides of the transfer chamber 240 . At one side and the other side of the transfer chamber 240 , the process chambers 260 are provided to be symmetrical with respect to the transfer chamber 240 . A plurality of process chambers 260 are provided at one side of the transfer chamber 240 . Some of the process chambers 260 are disposed along the longitudinal direction of the transfer chamber 240 . Also, some of the process chambers 260 are disposed to be stacked on each other. That is, the process chambers 260 may be arranged in an A X B arrangement on one side of the transfer chamber 240 . Here, A is the number of process chambers 260 provided in a line along the first direction 12 , and B is the number of process chambers 260 provided in a line along the third direction 16 . When four or six process chambers 260 are provided on one side of the transfer chamber 240 , the process chambers 260 may be arranged in an arrangement of 2 X 2 or 3 X 2 . The number of process chambers 260 may increase or decrease. Unlike the above, the process chamber 260 may be provided on only one side of the transfer chamber 240 . In addition, the process chamber 260 may be provided as a single layer on one side and both sides of the transfer chamber 240 .

버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 챔버(240)와 이송 프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼 유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 마주보는 면 및 이송 챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다. The buffer unit 220 is disposed between the transfer frame 140 and the transfer chamber 240 . The buffer unit 220 provides a space in which the substrate W stays before the substrate W is transferred between the transfer chamber 240 and the transfer frame 140 . A slot (not shown) in which the substrate W is placed is provided in the buffer unit 220 . A plurality of slots (not shown) are provided to be spaced apart from each other along the third direction 16 . The buffer unit 220 has an open side facing the transfer frame 140 and a side facing the transfer chamber 240 .

이송 프레임(140)은 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼 유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 프레임(140)에는 인덱스 레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스 레일(142)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스 레일(142) 상에 설치되며, 인덱스 레일(142)을 따라 제 2 방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스 레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제 3 방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제 3 방향(16)을 따라 서로 이격 된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정 처리 모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정 처리 모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The transfer frame 140 transfers the substrate W between the carrier 130 seated on the load port 120 and the buffer unit 220 . The transfer frame 140 is provided with an index rail 142 and an index robot 144 . The index rail 142 is provided in a longitudinal direction parallel to the second direction 14 . The index robot 144 is installed on the index rail 142 and linearly moves in the second direction 14 along the index rail 142 . The index robot 144 has a base 144a, a body 144b, and an index arm 144c. The base 144a is installed to be movable along the index rail 142 . The body 144b is coupled to the base 144a. The body 144b is provided to be movable along the third direction 16 on the base 144a. In addition, the body 144b is provided to be rotatable on the base 144a. The index arm 144c is coupled to the body 144b and is provided to be movable forward and backward with respect to the body 144b. A plurality of index arms 144c are provided to be individually driven. The index arms 144c are arranged to be stacked apart from each other in the third direction 16 . Some of the index arms 144c are used when transferring the substrate W from the process processing module 20 to the carrier 130 , and the other part of the index arms 144c is used for transferring the substrate W from the carrier 130 to the process processing module 20 . ) can be used to return This may prevent particles generated from the substrate W before the process from adhering to the substrate W after the process in the process of the index robot 144 loading and unloading the substrate W.

이송 챔버(240)는 버퍼 유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 그리고 공정 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공된다. 가이드 레일(242)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인 로봇(244)은 가이드 레일(242) 상에 설치되고, 가이드 레일(242) 상에서 제 1 방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인 로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인 암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드 레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제 3 방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인 암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인 암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인 암(244c)들은 제 3 방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. The transfer chamber 240 transfers the substrate W between the buffer unit 220 and the process chamber 260 and between the process chambers 260 . The transfer chamber 240 is provided with a guide rail 242 and a main robot 244 . The guide rail 242 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The main robot 244 is installed on the guide rail 242 and linearly moved along the first direction 12 on the guide rail 242 . The main robot 244 has a base 244a, a body 244b, and a main arm 244c. The base 244a is installed to be movable along the guide rail 242 . The body 244b is coupled to the base 244a. The body 244b is provided to be movable along the third direction 16 on the base 244a. In addition, the body 244b is provided to be rotatable on the base 244a. The main arm 244c is coupled to the body 244b, which is provided to be movable forward and backward with respect to the body 244b. A plurality of main arms 244c are provided to be individually driven. The main arms 244c are spaced apart from each other in the third direction 16 and are stacked.

공정 챔버(260)는 기판(W)에 대해 처리 공정을 수행한다. 공정 챔버(260)에서 수행되는 공정은 기판에 대해 세정, 증착, 포토 리소그래피, 에칭, 또는 이온주입 공정일 수 있다.The process chamber 260 performs a processing process on the substrate W. The process performed in the process chamber 260 may be a cleaning, deposition, photolithography, etching, or ion implantation process for the substrate.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 구동 어셈블리를 나타내는 도면이다.2 is a view showing a driving assembly according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 구동 어셈블리(800)는 기판 처리 장치(1)의 일 구성이 동작하는 동력을 제공한다. 구동 어셈블리(800)는 구동 부재(810) 및 배관 제어 유닛(830)을 포함한다.Referring to FIG. 2 , the driving assembly 800 provides power to operate one component of the substrate processing apparatus 1 . The driving assembly 800 includes a driving member 810 and a pipe control unit 830 .

구동 부재(810)는 기판 처리 장치(1)의 일 구성이 동작하는 동력을 제공한다. 예를 들어, 구동 부재(810)는 인덱스로봇(144) 또는 메인 로봇(244)에 연결되어, 인덱스로봇(144) 또는 메인 로봇(244)이 구동하는 동력을 제공할 수 있다. 또한, 구동 부재(810)는 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240) 또는 공정 챔버(260)에 제공되어, 위 유닛들의 구성이 동작하는 동력을 제공할 수 있다.The driving member 810 provides power for operating one component of the substrate processing apparatus 1 . For example, the driving member 810 may be connected to the index robot 144 or the main robot 244 to provide power to be driven by the index robot 144 or the main robot 244 . In addition, the driving member 810 may be provided to the buffer unit 220 , the transfer chamber 240 , or the process chamber 260 to provide power to operate the components of the above units.

구동 부재(810)는 실린더(811) 및 피스톤(812)을 포함한다. 실린더(811)는 내부에는 피스톤(812)이 왕복 운동할 수 있는 공간이 형성된다. 피스톤(812)의 일면에는 구동 축(813)이 연결된다. 구동 축(813)은 피스톤(812)의 이동으로 발생된 동력을 기판 처리 장치(1)의 구성으로 전달한다. 이하 실린더(811)에서 구동 축(813)이 외부로 연결되는 일 측은 실린더(811)의 상부, 그 반대쪽 일 측을 실린더(811)의 하부라 한다.The drive member 810 includes a cylinder 811 and a piston 812 . The cylinder 811 is formed with a space in which the piston 812 can reciprocate. A drive shaft 813 is connected to one surface of the piston 812 . The driving shaft 813 transmits power generated by the movement of the piston 812 to the configuration of the substrate processing apparatus 1 . Hereinafter, in the cylinder 811 , one side to which the drive shaft 813 is connected to the outside is referred to as an upper portion of the cylinder 811 , and the opposite side is referred to as a lower portion of the cylinder 811 .

실린더(811)에는 제 1 홀(814) 및 제 2 홀(815)이 형성된다. 제 1 홀(814)은 실린더(811)의 상부 측벽 또는 상벽에 형성되고, 제 2 홀(815)은 실린더(811)의 하부 측벽 또는 하벽에 형성된다. 피스톤(812)은 제 1 홀(814) 또는 제 2 홀(815)로 공급되는 기체에 의해 제 1 홀(814)과 제 2 홀(815) 사이를 이동할 수 있다.A first hole 814 and a second hole 815 are formed in the cylinder 811 . The first hole 814 is formed in the upper sidewall or upper wall of the cylinder 811 , and the second hole 815 is formed in the lower sidewall or lower wall of the cylinder 811 . The piston 812 may move between the first hole 814 and the second hole 815 by gas supplied to the first hole 814 or the second hole 815 .

실린더(811)의 측면에는 센서들(816, 817)이 제공된다. 센서들(816, 817)은 실린더(811)의 상부에 위치되는 제 1 센서(816) 및 실린더(811)의 하부에 위치되는 제 2 센서(817)를 포함한다. 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)는 각각 피스톤(812)이 실린더(811)의 상부와 실린더(811)의 하부에 위치되었는지 여부를 감지할 수 있다.Sensors 816 and 817 are provided on the side of the cylinder 811 . The sensors 816 and 817 include a first sensor 816 located above the cylinder 811 and a second sensor 817 located below the cylinder 811 . The first sensor 816 and the second sensor 817 may detect whether the piston 812 is positioned above the cylinder 811 and below the cylinder 811 , respectively.

배관 제어 유닛(830)은 구동 부재(810)와 연결되어, 구동 부재(810)의 동작을 조절한다. 구체적으로, 제 1 홀(814) 및 제 2 홀(815)은 각각 제 1 배관(821) 및 제 2 배관(822)을 통해 배관 제어 유닛(830)에 연결된다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 유체 공급원(850)과 연결된다. 유체 공급원(850)은 제 1 배관(821) 및 제 2 배관(822)으로 공급될 유체를 저장한다. 배관 제어 유닛(830)은 제 1 홀(814)을 통해 실린더(811)로 공급되거나 제 1 홀(814)을 통해 실린더(811)에서 배출되는 유체의 양을 조절할 수 있다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 제 2 홀(815)을 통해 실린더(811)로 공급 되거나, 제 2 홀(815)을 통해 실린더(811)에서 배출되는 유체의 양을 조절할 수 있다.The pipe control unit 830 is connected to the driving member 810 to control the operation of the driving member 810 . Specifically, the first hole 814 and the second hole 815 are connected to the pipe control unit 830 through the first pipe 821 and the second pipe 822, respectively. Also, the pipe control unit 830 is connected to the fluid supply source 850 . The fluid supply source 850 stores a fluid to be supplied to the first pipe 821 and the second pipe 822 . The pipe control unit 830 may control the amount of fluid supplied to the cylinder 811 through the first hole 814 or discharged from the cylinder 811 through the first hole 814 . Also, the pipe control unit 830 may control the amount of fluid supplied to the cylinder 811 through the second hole 815 or discharged from the cylinder 811 through the second hole 815 .

배관 제어 유닛(830)은 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)로부터 감지된 신호를 입력 받는다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 제어 부재(860)와 연결될 수 있다. 제어 부재(860)는 구동 부재(810)의 동작과 관련된 정보를 저장할 수 있다. 예를 들어, 제어 부재(860)는 피스톤(812)이 실린더(811)의 상부에서 하부로 이동하거나, 실린더(811)의 하부에서 상부로 이동할 때의 설정 속력을 저장하고 있을 수 있다. 또한, 제어 부재(860)는 피스톤(812)의 동작 종료와 다음 동작 개시 사이의 시간 간격에 관한 정보를 저장하고 있을 수 있다. 사용자는 제어 부재(860)에 저장된 위 정보들을 변경할 수 있다. 제어 부재(860)는 배관 제어 유닛(830)과 무선 또는 유선으로 연결되어, 구동 부재(810)의 동작과 관련된 정보를 배관 제어 유닛(830)에 제공한다. 또한, 제어 부재(860)는 기판 처리 장치(1)의 각 구성의 제어에 관한 정보들을 저장하고 있을 수 있다. 또한, 제어 부재(860)는 위 정보들을 이용하여 기판 처리 장치(1)의 각 구성의 동작을 제어 할 수 있다. 배관 제어 유닛(830)은 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)와 제어 부재(860)에서 제공된 정보를 통해, 제 1 배관(821) 또는 제 2 배관(822)으로 공급되거나, 제 2 배관(822) 또는 제 2 배관(822)에서 배출되는 유체의 양을 조절할 수 있다.The pipe control unit 830 receives signals sensed from the first sensor 816 and the second sensor 817 . Also, the pipe control unit 830 may be connected to the control member 860 . The control member 860 may store information related to the operation of the driving member 810 . For example, the control member 860 may store a set speed when the piston 812 moves from the upper part to the lower part of the cylinder 811 or moves from the lower part to the upper part of the cylinder 811 . Also, the control member 860 may store information regarding a time interval between the end of the operation of the piston 812 and the start of the next operation. The user may change the above information stored in the control member 860 . The control member 860 is wirelessly or wiredly connected to the pipe control unit 830 to provide information related to the operation of the driving member 810 to the pipe control unit 830 . Also, the control member 860 may store information related to control of each component of the substrate processing apparatus 1 . Also, the control member 860 may control the operation of each component of the substrate processing apparatus 1 using the above information. The pipe control unit 830 is supplied to the first pipe 821 or the second pipe 822 through the information provided from the first sensor 816 and the second sensor 817 and the control member 860, or The amount of fluid discharged from the second pipe 822 or the second pipe 822 may be adjusted.

도 3은 배관 제어 유닛을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a pipe control unit.

도 2 및 도 3을 참조하면, 배관 제어 유닛(830)은 피스톤(812)의 이동 속력을 감지할 수 있다. 2 and 3 , the pipe control unit 830 may detect the moving speed of the piston 812 .

배관 제어 유닛(830)은 모듈 제어부(831) 및 배관 제어 모듈(832)을 포함한다.The pipe control unit 830 includes a module control unit 831 and a pipe control module 832 .

모듈 제어부(831)는 센서들(816, 817) 및 배관 제어 모듈(832)과 연결된다. 모듈 제어부(831)는 센서들(816, 817)로부터 입력되는 신호 및 제어 부재(860)가 제공하는 정보를 통해 배관 제어 모듈(832)을 제어한다. 모듈 제어부(831)는 센서들(816, 817)로부터 입력되는 신호를 통해 피스톤(812)의 이동 속력을 산출할 수 있다. 피스톤(812)은 실린더(811) 하부의 일 위치에서 실린더(811) 상부의 일 위치로 이동할 수 있다. 또한, 피스톤(812)은 실린더(811) 상부의 일 위치에서 실린더(811) 하부의 일 위치로 이동할 수 있다. 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)는 각각 실린더(811) 상부 및 실린더(811) 하부에 피스톤(812)이 위치되는지 여부에 따라 상이한 정보를 모듈 제어부(831)로 송신한다. 예를 들어, 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)는 각각 실린더(811)의 상부 및 하부에 피스톤(812)이 위치되는 것으로 감지될 때, 설정 신호를 모듈 제어부(831)로 송신할 수 있다. 그리고, 제 1 센서(816) 및 제 2 센서(817)는 각각 피스톤(812)이 이동됨에 따라 실린더(811)의 상부 및 하부에 없을 때 신호를 송신하지 않을 수 있다. 따라서, 피스톤(812)이 실린더(811) 하부에서 상부로 이동하는 경우, 먼저 제 2 센서(817)에서 송신되는 신호가 변경된 후 제 1 센서(816)에서 송신되는 신호가 변경된다. 또한, 피스톤(812)이 실린더(811)의 상부에서 하부로 이동하는 경우, 먼저 제 1 센서(816)에서 송신되는 신호가 변경된 후 제 2 센서(817)에서 송신되는 신호가 변경된다. 모듈 제어부(831)는 이와 같이 센서들(816, 817)에서 송신되는 신호들 사이의 시간차를 이용해 피스톤(812)의 이동 속력을 산출할 수 있다. The module control unit 831 is connected to the sensors 816 and 817 and the pipe control module 832 . The module control unit 831 controls the pipe control module 832 through signals input from the sensors 816 and 817 and information provided by the control member 860 . The module controller 831 may calculate the moving speed of the piston 812 through signals input from the sensors 816 and 817 . The piston 812 may move from a position below the cylinder 811 to a position above the cylinder 811 . Also, the piston 812 may move from a position above the cylinder 811 to a position below the cylinder 811 . The first sensor 816 and the second sensor 817 transmit different information to the module control unit 831 depending on whether the piston 812 is positioned above the cylinder 811 and below the cylinder 811 , respectively. For example, the first sensor 816 and the second sensor 817 transmit a setting signal to the module control unit 831 when it is sensed that the piston 812 is positioned at the upper and lower portions of the cylinder 811, respectively. can do. In addition, the first sensor 816 and the second sensor 817 may not transmit a signal when they are not in the upper and lower portions of the cylinder 811 as the piston 812 moves, respectively. Accordingly, when the piston 812 moves from the lower part of the cylinder 811 to the upper part, the signal transmitted from the second sensor 817 is first changed, and then the signal transmitted from the first sensor 816 is changed. In addition, when the piston 812 moves from the top to the bottom of the cylinder 811 , the signal transmitted from the first sensor 816 is changed first, and then the signal transmitted from the second sensor 817 is changed. The module control unit 831 may calculate the moving speed of the piston 812 using a time difference between signals transmitted from the sensors 816 and 817 as described above.

도 4는 배관 제어 모듈의 구체적 구성을 도시한 도면이다.4 is a view showing a specific configuration of a pipe control module.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 모듈 제어부(831)는 배관 제어 모듈(832)에 대한 조정을 수행한다.2 to 4 , the module controller 831 adjusts the pipe control module 832 .

배관 제어 모듈(832)은 제 1 배관 제어 부재(832a) 및 제 2 배관 제어 부재(832b)를 포함한다.The pipe control module 832 includes a first pipe control member 832a and a second pipe control member 832b.

제 1 배관 제어 부재(832a)는 제 1 배관(821) 및 유체 공급원(850)에 각각 연결된다. 제 1 제관 제어 부재(860)는 유체 공급원(850)에서 제 1 배관(821)을 통해 실린더(811) 상부 공간으로 공급되는 유체를 조절할 수 있다. 또한, 제 1 배관 제어 부재(832a)는 실린더(811) 상부의 공간에서 제 1 배관(821)을 통해 외부로 배출되는 유체를 조절할 수 도 있다. 제 1 배관 제어 부재(832a)는 피에조 액추에이터를 포함하여 구성될 수 있다. 피에조 액추에이터는 모듈 제어부(831)의 신호에 대한 응답이 빠르게 제공되어, 구동 부재(810)의 구동성을 향상 시킬 수 있다.The first pipe control member 832a is respectively connected to the first pipe 821 and the fluid supply source 850 . The first pipe making control member 860 may control the fluid supplied from the fluid supply source 850 to the upper space of the cylinder 811 through the first pipe 821 . In addition, the first pipe control member 832a may control the fluid discharged to the outside through the first pipe 821 in the space above the cylinder 811 . The first pipe control member 832a may include a piezo actuator. The piezo actuator provides a quick response to the signal of the module control unit 831 , thereby improving drivability of the driving member 810 .

제 2 배관 제어 부재(832b)는 제 2 배관(822) 및 유체 공급원(850)에 각각 연결된다. 제 2 배관 제어 부재(832b)는 유체 공급원(850)에서 제 2 배관(822)을 통해 실린더(811) 하부 공간으로 공급되는 유체를 조절할 수 있다. 또한, 제 2 배관 제어 부재(832b)는 실린더(811) 하부의 공간에서 제 2 배관(822)을 통해 외부로 배출되는 유체를 조절할 수 도 있다. 제 2 배관 제어 부재(832b)는 피에조 액추에이터를 포함하여 구성될 수 있다. 피에조 액추에이터는 모듈 제어부(831)의 신호에 대한 응답이 빠르게 제공되어, 구동 부재(810)의 구동성을 향상 시킬 수 있다.The second pipe control member 832b is respectively connected to the second pipe 822 and the fluid supply source 850 . The second pipe control member 832b may control the fluid supplied from the fluid supply source 850 to the lower space of the cylinder 811 through the second pipe 822 . In addition, the second pipe control member 832b may control the fluid discharged to the outside through the second pipe 822 in the space under the cylinder 811 . The second pipe control member 832b may include a piezo actuator. The piezo actuator provides a quick response to the signal of the module control unit 831 , thereby improving drivability of the driving member 810 .

모듈 제어부(831)는 제 1 배관 제어 부재(832a) 및 제 2 배관 제어 부재(832b)에 연결되어 그 동작을 제어한다. 배관 제어 부재(832a, 832b)가 피에조 액추에이터를 포함하여 구성되는 경우, 모듈 제어부(831)는 배관 제어 부재(832a, 832b)로 인가되는 전압 값을 통해 배관 제어 부재(832a, 832b)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 모듈 제어부(831)가 배관 제어 부재(832a, 832b)로 인가는 전압이 증가되면 배관(821, 822)을 통해 공급되는 유체가 증가되고, 전압이 감소되면 배관(821, 822)을 통해 공급되는 유체가 감소되게 제공될 수 있다. 또한, 모듈 제어부(831)가 배관 제어 부재(832a, 832b)로 인가는 전압이 증가되면 배관(821, 822)을 통해 배출되는 유체가 증가되고, 전압이 감소되면 배관(821, 822)을 통해 배출되는 유체가 감소되게 제공될 수 도 있다.The module control unit 831 is connected to the first pipe control member 832a and the second pipe control member 832b to control the operation thereof. When the pipe control members 832a and 832b are configured to include a piezo actuator, the module control unit 831 controls the pipe control members 832a and 832b through the voltage value applied to the pipe control members 832a and 832b. can For example, when the voltage applied to the pipe control members 832a and 832b by the module controller 831 increases, the fluid supplied through the pipes 821 and 822 increases, and when the voltage decreases, the pipes 821 and 822 It may be provided that the fluid supplied through the is reduced. In addition, when the voltage applied to the pipe control members 832a and 832b by the module control unit 831 increases, the fluid discharged through the pipes 821 and 822 increases, and when the voltage decreases, through the pipes 821 and 822 It may be provided that the discharged fluid is reduced.

도 5는 피스톤이 실린더의 하부에서 상부로 이동할 때를 나타내는 도면이고, 도 6은 피스톤의 속력이 조절되는 과정을 나타내는 플로우 차트이다.FIG. 5 is a view showing when the piston moves from the lower part of the cylinder to the upper part, and FIG. 6 is a flowchart showing a process in which the speed of the piston is adjusted.

도 5 및 도 6을 참조하여, 피스톤(812)의 속력이 설정 속력으로 조절되는 과정을 설명한다. 먼저, 피스톤(812)은 배관 제어 유닛(830)의 제어에 따라 실린더(811)의 하부에서 상부로 이동된다. 그리고, 센서들(816, 817)은 피스톤(812)의 이동에 따라 감지된 신호를 배관 제어 유닛(830)으로 송신하고, 배관 제어 유닛(830)은 수신된 신호를 통해 피스톤(812)의 이동 속력을 감지한다. 피스톤(812)이 실린더(811)의 하부에서 상부로 이동할 때, 제 1 배관(821)의 유체는 실린더(811)에서 제 1 배관 제어 부재(832a)로 유동하고, 제 2 배관(822)의 유체는 제 2 배관 제어 부재(832b)에서 실린더(811)로 유동한다. 구체적으로, 배관 제어 유닛(830)은 실린더(811) 상부의 유체가 제 1 배관(821)을 유동한 후 외부로 배출되도록 제 1 배관 제어 부재(832a)를 제어할 수 있다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 유체 공급원(850)의 유체가 제 2 배관(822)을 통해 실린더(811)의 하부로 공급되도록 제 2 배관 제어 부재(832b)를 제어할 수 있다. 이 때, 모듈 제어부(831)는 초기 제어 값에 따라 배관 제어 모듈(832)을 제어한다. 초기 제어 값은 배관 제어 모듈(832)에 인가될 수 있는 값의 상한과 하한 사이의 임의 값일 수 있다. 예를 들어, 배관 제어 모듈(832)을 제어하기 위한 신호가 전압인 경우, 초기 제어 값은 배관 제어 모듈(832)에 인가될 수 있는 전압 값의 상한 값과 하한 값 사이의 크기를 갖는 전압 일 수 있다. 일 예로, 초기 제어 값으로 인가된 전압의 크기는 상한 값과 하한 값의 평균 값 일 수 있다. 또한, 초기 제어 값으로 인가된 전압의 크기는 평균 값 보다 크거나 작을 수 도 있다.A process in which the speed of the piston 812 is adjusted to a set speed will be described with reference to FIGS. 5 and 6 . First, the piston 812 is moved from the lower part of the cylinder 811 to the upper part under the control of the pipe control unit 830 . Then, the sensors 816 and 817 transmit a signal sensed according to the movement of the piston 812 to the pipe control unit 830, and the pipe control unit 830 moves the piston 812 through the received signal. sense the speed When the piston 812 moves from the lower part of the cylinder 811 to the upper part, the fluid of the first pipe 821 flows from the cylinder 811 to the first pipe control member 832a, and the second pipe 822 The fluid flows from the second pipe control member 832b to the cylinder 811 . Specifically, the pipe control unit 830 may control the first pipe control member 832a so that the fluid above the cylinder 811 flows through the first pipe 821 and then is discharged to the outside. Also, the pipe control unit 830 may control the second pipe control member 832b so that the fluid from the fluid supply source 850 is supplied to the lower part of the cylinder 811 through the second pipe 822 . At this time, the module control unit 831 controls the pipe control module 832 according to the initial control value. The initial control value may be any value between the upper limit and the lower limit of the value that can be applied to the pipe control module 832 . For example, when the signal for controlling the pipe control module 832 is a voltage, the initial control value is a voltage having a magnitude between the upper limit value and the lower limit value of the voltage value that can be applied to the pipe control module 832 . can For example, the magnitude of the voltage applied as the initial control value may be an average value of the upper limit value and the lower limit value. Also, the magnitude of the voltage applied as the initial control value may be greater or less than the average value.

배관 제어 유닛(830)은 감지된 피스톤(812)의 계측 속력을 설정 속력과 비교한 후, 피스톤(812)의 계측 속력이 설정 속력과 다르면 제어 값을 수정한다. The pipe control unit 830 compares the sensed measured speed of the piston 812 with the set speed, and then corrects the control value when the measured speed of the piston 812 is different from the set speed.

계측 속력과 설정 속력의 비교에는 오차 범위가 고려될 수 있다. 예를 들어, 계측 속력이 설정 속력을 포함하는 일정 범위에 속하면 계측 속력이 설정 속력을 만족하는 것으로 판단될 수 있다. 오차 범위의 상한 값은 조절될 수 있다. 또한, 오차 범위의 하한은 조절될 수 있다.An error range may be considered in comparison of the measured speed and the set speed. For example, if the measurement speed falls within a predetermined range including the set speed, it may be determined that the measurement speed satisfies the set speed. The upper limit of the error range can be adjusted. Also, the lower limit of the error range may be adjusted.

계측 속력이 설정 속력을 벗어나면, 배관 제어 유닛(830)은 제어 값을 수정한다. 구체적으로, 계측 속력이 설정 속력보다 작은 경우, 배관 제어 유닛(830)은 제어 값을 증가 시킨다. 그리고, 계측 속력이 설정 속력보다 큰 경우, 배관 제어 유닛(830)은 제어 값을 감소 시킨다. 이 때, 제어 값의 수정에는 계측 속력이 설정 속력에 대해 갖는 차이가 고려될 수 있다. 예를 들어, 배관 제어 유닛(830)은 설정 속력에 대한 계측 속력의 차이 값에 계측 상수를 곱한 값만큼 제어 값을 변화 시킬 수 있다. 이와 같은 피스톤(812)의 속력 감지와 제어 값의 수정은 피스톤(812)의 속력이 설정 속력으로 조절될 때까지 반복 수행된다.When the measured speed deviates from the set speed, the pipe control unit 830 corrects the control value. Specifically, when the measured speed is less than the set speed, the pipe control unit 830 increases the control value. And, when the measured speed is greater than the set speed, the pipe control unit 830 decreases the control value. In this case, the difference of the measured speed with respect to the set speed may be considered in the correction of the control value. For example, the pipe control unit 830 may change the control value by a value obtained by multiplying the measurement constant by the difference value of the measurement speed with respect to the set speed. The detection of the speed of the piston 812 and the correction of the control value are repeatedly performed until the speed of the piston 812 is adjusted to the set speed.

제어 값의 변화에 따라 피스톤(812)의 속도 조절을 위해 변하는 값은 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 유량일 수 있다. 즉, 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 양이 증가되면, 피스톤(812)의 이동 속도가 증가되고, 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 양이 감소되면, 피스톤(812)의 이동 속도가 감소될 수 있다. 따라서, 배관 제어 유닛(830)은 제 1 배관(821)을 통해 배출되는 유체의 유량이 변하도록 제어 값을 조절할 수 있다.또한, 배관 제어 유닛(830)은 제 2 배관(822)을 통해 유입되는 유체의 유량이 변하도록 제어 값을 조절할 수 있다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 제 1 배관(821)을 통해 배출되는 유체의 유량과 제 2 배관(822)을 통해 유입되는 유체의 유양이 함께 변하도록 제어 값을 조절할 수 있다.A value that changes for speed control of the piston 812 according to a change in the control value may be a flow rate of a fluid flowing through the pipes 821 and 822 . That is, when the amount of fluid flowing through the pipes 821 and 822 is increased, the moving speed of the piston 812 is increased, and when the amount of the fluid flowing through the pipes 821 and 822 is decreased, the piston 812 is Movement speed may be reduced. Accordingly, the pipe control unit 830 may adjust the control value so that the flow rate of the fluid discharged through the first pipe 821 is changed. Also, the pipe control unit 830 is introduced through the second pipe 822 . The control value can be adjusted to change the flow rate of the fluid being used. In addition, the pipe control unit 830 may adjust the control value so that the flow rate of the fluid discharged through the first pipe 821 and the flow rate of the fluid introduced through the second pipe 822 change together.

또한, 제어 값의 변화에 따라 피스톤(812)의 속도 조절을 위해 변하는 값은 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 압력일 수 도 있다. 즉, 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 압력이 증가되면, 피스톤(812)의 이동 속도가 증가되고, 배관(821, 822)을 유동하는 유체의 압력이 감소되면, 피스톤(812)의 이동 속도가 감소될 수 있다. 하나의 요인으로, 피스톤(812)과 실린더(811) 사이에 작용하는 마찰력은 피스톤(812)이 이동 중일 때 비해, 피스톤(812)이 이동을 개시할 때 크게 작용하는데 기인할 수 있다. 또 다른 요인으로, 유체의 압력에 따라 변하는 유체의 밀도 변화에 기인할 수 있다. 따라서, 배관 제어 유닛(830)은 제 1 배관(821)을 통해 배출되는 유체의 압력이 변하도록 제어 값을 조절 할 수 있다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 제 2 배관(822)을 통해 유입되는 유체의 압력이 변하도록 제어 값을 조절할 수 도 있다. 또한, 배관 제어 유닛(830)은 제 1 배관(821)을 통해 배출되는 유체의 압력과 제 2 배관(822)을 통해 유입되는 유체의 압력이 함께 변하도록 제어 값을 조절할 수 도 있다.In addition, the value that changes for speed control of the piston 812 according to the change of the control value may be the pressure of the fluid flowing through the pipes 821 and 822 . That is, when the pressure of the fluid flowing through the pipes 821 and 822 is increased, the moving speed of the piston 812 is increased, and when the pressure of the fluid flowing through the pipes 821 and 822 is decreased, the pressure of the piston 812 is decreased. Movement speed may be reduced. As one factor, the frictional force acting between the piston 812 and the cylinder 811 may be due to a greater action when the piston 812 starts moving than when the piston 812 is moving. Another factor may be due to a change in the density of the fluid, which varies according to the pressure of the fluid. Accordingly, the pipe control unit 830 may adjust the control value to change the pressure of the fluid discharged through the first pipe 821 . In addition, the pipe control unit 830 may adjust the control value so that the pressure of the fluid introduced through the second pipe 822 is changed. Also, the pipe control unit 830 may adjust the control value so that the pressure of the fluid discharged through the first pipe 821 and the pressure of the fluid flowing through the second pipe 822 change together.

도 7은 피스톤이 실린더의 상부에서 하부로 이동할 때를 나타내는 도면이다.7 is a view showing when the piston moves from the upper part to the lower part of the cylinder.

도 7을 참조하면, 피스톤(812)이 실린더(811)의 상부에서 하부로 이동할 때, 제 1 배관(821)의 유체는 제 1 배관 제어 부재(832a)에서 실린더(811)로 유동하고, 제 2 배관(822)의 유체는 실린더(811)에서 제 2 배관 제어 부재(832b)로 유동한다. 구체적으로, 배관 제어 유닛(830)은 유체 공급원(850)의 유체가 제 1 배관(821)을 통해 실린더(811)의 상부로 공급되도록 제 1 배관 제어 부재(832a)를 조절한다. 그리고, 배관 제어 유닛(830)은 실린더(811) 하부의 유체가 제 2 배관(822)을 유동한 후 외부로 배출되도록 제 2 배관 제어 부재(832b)를 조절한다. 이때, 배관 제어 유닛(830)은 도 6의 피스톤(812)이 실린더(811)의 하부에서 상부로 이동할 때와 유사한 방법으로 제어 값을 통해 제 1 배관 제어 부재(832a) 또는 제 2 배관 제어 부재(832b)의 동작을 제어한다. 배관 제어 유닛(830)은 실린더(811)가 하부에서 상부로 이동할 때의 제어에 사용하는 제어 값과 실리더(811)가 상부에서 하부로 이동할 때의 제어에 사용하는 제어 값을 개별적으로 설정할 수 있다. 초기 제어 값에 따라 이동 된 피스톤(812)의 속력을 감지한 후, 피스톤(812)의 계측 속력을 설정 속력과 비교하여 제어 값을 조절하는 단계는 도 5의 피스톤(812)이 실린더(811)의 하부에서 상부로 이동할 때와 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.7, when the piston 812 moves from the top to the bottom of the cylinder 811, the fluid of the first pipe 821 flows from the first pipe control member 832a to the cylinder 811, and the second The fluid of the second pipe 822 flows from the cylinder 811 to the second pipe control member 832b. Specifically, the pipe control unit 830 controls the first pipe control member 832a so that the fluid of the fluid supply source 850 is supplied to the upper part of the cylinder 811 through the first pipe 821 . In addition, the pipe control unit 830 controls the second pipe control member 832b so that the fluid under the cylinder 811 flows through the second pipe 822 and then is discharged to the outside. At this time, the pipe control unit 830 controls the first pipe control member 832a or the second pipe control member through the control value in a manner similar to that when the piston 812 of FIG. 6 moves from the lower part to the upper part of the cylinder 811 . Control the operation of (832b). The pipe control unit 830 can individually set a control value used for control when the cylinder 811 moves from the bottom to the top and a control value used for control when the cylinder 811 moves from the top to the bottom. have. After detecting the speed of the piston 812 moved according to the initial control value, the step of adjusting the control value by comparing the measured speed of the piston 812 with the set speed is the piston 812 of FIG. 5 and the cylinder 811 Since it is similar to when moving from the lower part to the upper part, the repeated description will be omitted.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 목표로 하는 피스톤(812)의 속력이 설정되면, 피스톤(812)의 속력 제어를 위한 제어 값이 자동으로 조절 될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when the target speed of the piston 812 is set, a control value for controlling the speed of the piston 812 may be automatically adjusted.

도 8은 다른 실시 예에 따라 피스톤의 속력이 조절되는 과정을 나타내는 플로우 차트이다.8 is a flowchart illustrating a process in which a speed of a piston is adjusted according to another exemplary embodiment.

도 8을 참조하면, 피스톤(812)의 계측 속력이 설정 속력을 만족하는 경우, 제어 값 조절의 종료에 앞서 종료 조건을 만족 하는지 추가적으로 검토될 수 있다. 예를 들어, 배관 제어 유닛(830)은 조절 된 제어 값에 따라 피스톤(812)을 설정 횟수 이상 반복하여 이동 시키면서 속력을 감지할 수 있다. 그리고, 설정 횟수 동안 피스톤(812)의 계측 속력이 설정 속력을 만족하면, 제어 값의 조절이 완료된 것으로 할 수 있다. 이 때, 설정 횟수는 1 이상의 자연수이다.Referring to FIG. 8 , when the measured speed of the piston 812 satisfies the set speed, it may be additionally examined whether the end condition is satisfied prior to the end of the control value adjustment. For example, the pipe control unit 830 may sense the speed while repeatedly moving the piston 812 a set number of times or more according to the adjusted control value. And, when the measured speed of the piston 812 satisfies the set speed for the set number of times, the adjustment of the control value may be completed. In this case, the set number of times is a natural number of 1 or more.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The written embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in the specific application field and use of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed as including other embodiments.

10: 인덱스 모듈 20: 공정 처리 모듈
120: 로드 포트 140: 이송 프레임
220: 버퍼 유닛 240: 이송 챔버
260: 공정 챔버 800: 구동 어셈블리
810: 구동 부재 821: 제 1 배관
822: 제 2 배관 830: 배관 제어 유닛
850: 유체 공급원 860: 제어 부재10: index module 20: process module
120: load port 140: transport frame
220: buffer unit 240: transfer chamber
260: process chamber 800: drive assembly
810: driving member 821: first pipe
822: second pipe 830: pipe control unit
850: fluid source 860: control member

Claims (7)

피스톤;
상기 피스톤을 이동 가능하게 수용하고, 상기 피스톤의 구동을 위한 유체가 공급되는 배관들에 연결되는 실린더;
상기 실린더의 내부에 위치되는 센서들; 및
상기 배관을 유동하는 유체를 통해 상기 피스톤의 속력을 제어하되, 상기 센서들에 의해 감지된 신호를 바탕으로 계측된 상기 피스톤의 계측 속력을 설정 속력과 비교하는 방식으로 상기 피스톤의 속력을 자동으로 조절하는 배관 제어 유닛을 포함하고,
상기 배관 제어 유닛은,
상기 배관들을 유동하는 유체를 제어하는 배관 제어 모듈; 및
제어 값을 기반으로 상기 배관 제어 모듈로 인가되는 전압이 증가되면 상기 배관을 통해 공급되는 상기 유체의 유량이 증가하고 상기 배관 제어 모듈로 인가되는 상기 전압이 감소되면 상기 배관을 통해 공급되는 상기 유체의 유량 감소되도록 상기 배관 제어 모듈의 동작을 조절하는 모듈 제어부를 포함하되,
상기 모듈 제어부는,
상기 제어 값을 초기 제어 값으로 설정하여 상기 피스톤을 구동한 후,
산출된 상기 계측 속력에 따라 상기 제어 값을 증가 또는 감소시키는 작업을 1회 이상 수행하여 상기 피스톤의 속력을 자동으로 조절하는 구동 어셈블리.piston;
a cylinder movably accommodating the piston and connected to pipes to which a fluid for driving the piston is supplied;
sensors located inside the cylinder; and
The speed of the piston is controlled through the fluid flowing through the pipe, and the speed of the piston is automatically adjusted in such a way that the measured speed of the piston measured based on the signal detected by the sensors is compared with a set speed. Including a pipe control unit that
The pipe control unit,
a pipe control module for controlling the fluid flowing through the pipes; and
When the voltage applied to the pipe control module increases based on the control value, the flow rate of the fluid supplied through the pipe increases, and when the voltage applied to the pipe control module decreases, the flow rate of the fluid supplied through the pipe increases. Including a module control unit for controlling the operation of the pipe control module so that the flow rate is reduced,
The module control unit,
After driving the piston by setting the control value to the initial control value,
A driving assembly for automatically adjusting the speed of the piston by performing an operation of increasing or decreasing the control value at least once according to the calculated measured speed. 제 1 항에 있어서,
상기 센서들은,
상기 피스톤이 이동하는 방향의 일측에 위치되는 제 1 센서; 및
상기 피스톤이 이동하는 방향의 타측에 위치되는 제 2 센서를 포함하는 구동 어셈블리.The method of claim 1,
The sensors are
a first sensor located on one side of the moving direction of the piston; and
and a second sensor positioned at the other side of the moving direction of the piston. 제 2 항에 있어서,
상기 배관 제어 유닛은 상기 제 1 센서와 상기 제 2 센서가 송신하는 신호의 시간차를 이용해 상기 계측 속력을 산출하는 구동 어셈블리.3. The method of claim 2,
The pipe control unit is a driving assembly configured to calculate the measurement speed by using a time difference between signals transmitted by the first sensor and the second sensor. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 배관 제어 모듈은 피에조 에추에이터를 포함하여 구성되는 구동 어셈블리.The method of claim 1,
The pipe control module is a driving assembly comprising a piezo actuator. 삭제delete 삭제delete
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