KR102263177B1 - 유연성 기판 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유연성 기판으로부터 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 유연성 기판 세정장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예는, 유연성 기판이 통과하는 슬릿형 입구 및 출구가 대향된 양 측면에 구비된 챔버; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판을 이동시키는 복수개의 롤러; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판의 정전기를 제거하는 적어도 하나 이상의 이오나이저 모듈; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판에 초음파를 제공하여 파티클을 제거하는 메가소닉 모듈; 상기 챔버 상측에 연통되고, 상부에서 하부 방향으로 기류를 형성하는 송풍 헤드; 및 상기 챔버 하측에 연통되고, 기류가 빠져나가는 배기 유닛;을 포함하는 유연성 기판 세정장치를 제공한다.

Description

유연성 기판 세정장치 {Flexible substrate cleaning apparatus}
본 발명은 유연성 기판으로부터 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 유연성 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄 회로 기판은 에칭, 도금, 노광, 천공 등의 공정을 거치면서 제작되고, 기판을 연속적으로 이송할 수 있는 롤투롤(roll to roll) 이송 방식이 유연성 기판을 제작하는데 많이 적용된다.
롤투롤 장비는 롤과 롤 사이에 유연성 기판이 제공되고, 유연성 기판을 코팅 또는 증착시키는 공정이 진행되는데, 각 공정 전에 파티클을 제거하기 위한 세정 공정이 이루어진다.
롤투롤 장비에 적용되는 세정 공정은, 공기를 이용한 건식과, 액체를 이용한 습식으로 구분될 수 있다.
이러한 건식 세정 공정은 챔버 내부를 통과하는 유연성 기판에 정전기를 제거하고, 유연성 기판에 묻은 파티클을 공기와 함께 흡입하도록 제거한다.
그런데, 종래의 유연성 기판 세정장치는, 외부의 기류가 챔버의 입구로 유입되는 것을 방지하기 위하여, 챔버의 입구 측에 에어 커튼이 구비되는데, 에어 커튼의 영향으로 챔버 내부에서 파티클이 부유될 뿐 아니라 에어 커튼이 외부의 기류 유입을 효과적으로 차단하지 못한다.
따라서, 외부의 기류 유입으로 기류에 포함된 파티클이 유연성 기판에 흡착되거나, 유연성 기판에서 떨어진 파티클이 외부의 기류에 의해 유연성 기판에 재흡착되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 챔버 내부에 부유하는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 유연성 기판 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 유연성 기판에 부착된 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 유연성 기판 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예는, 유연성 기판이 통과하는 슬릿형 입구 및 출구가 대향된 양 측면에 구비된 챔버; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판을 이동시키는 복수개의 롤러; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판의 정전기를 제거하는 적어도 하나 이상의 이오나이저 모듈; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판에 초음파를 제공하여 파티클을 제거하는 메가소닉 모듈; 상기 챔버 상측에 연통되고, 상부에서 하부 방향으로 기류를 형성하는 송풍 헤드; 및 상기 챔버 하측에 연통되고, 기류가 빠져나가는 배기 유닛;을 포함하는 유연성 기판 세정장치를 제공한다.
상기 이오나이저 모듈은, 상기 유연성 기판의 상측에 위치되고, 이온화 공기가 제공되는 케이스와, 상기 케이스 하면에 상기 유연성 기판을 가로지르는 방향으로 소정 간격을 두고 구비된 복수개의 토출구를 포함할 수 있다.
상기 메가소닉 모듈은, 토출구가 구비된 케이스와, 상기 케이스 중심에 구비되고, 유연성 기판으로부터 파티클을 흡입하는 흡입구가 구비된 석션 유닛과, 상기 선션 유닛의 양 측에 형성된 초음파 토출유로를 포함하고, 상기 초음파 토출유로는, 상기 석션 유닛의 흡입구 방향으로 형성될 수 있다.
상기 롤러들은, 상기 입구 내측에 설치된 제1가이드 롤러와, 상기 출구 내측에 설치된 제2가이드 롤러와, 상기 제1,2가이드 롤러 사이에 승강 가능하게 설치된 메인 롤러와, 상기 제1가이드 롤러와 메인 롤러 사이에 설치된 제3가이드 롤러와, 상기 메인 롤러와 제2가이드 롤러 사이에 설치된 제4가이드 롤러를 포함할 수 있다.
상기 메인 롤러의 높낮이를 조절하는 높이 조절부와, 상기 메인 롤러의 양측을 수평하게 조절하는 수평 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 제3,4가이드 롤러는, 상기 유연성 기판과 접촉되는 표면에 걸쳐 균일하게 복수개의 에어 홀이 구비된 에어 롤러로 구성될 수 있다.
상기 이오나이저 모듈은, 상기 챔버의 입구와 제1가이드 롤러 사이에 설치된 제1이오나이저 모듈과, 상기 챔버의 출구와 제2가이드 롤러 사이에 설치된 제2이오나이저 모듈을 포함할 수 있다.
상기 메가소닉 모듈은, 상기 메인 롤러 상측에 소정 간극을 유지하도록 설치될 수 있다.
상기 배기 유닛은, 상기 챔버의 하측에 연통되고, 적어도 일측면에 배기구가 형성되는 배기 케이스와, 상기 챔버와 배기 케이스 사이에 구비되고, 복수개의 홀이 형성된 배기판을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 챔버 내부의 이오나이저 모듈이 유연성 기판의 정전기를 제거하여 파티클이 떨어지게 하고, 챔버 상측의 송풍 헤드로부터 챔버 하측의 배기 유닛으로 기류가 형성됨으로서, 챔버 내부에 부유하는 파티클 또는 유연성 기판에서 떨어진 파티클이 기류 흐름을 따라 외부로 빠져나가도록 하여, 챔버 내부에 부유하는 파티클의 제거 성능을 높일 수 있다.
또한, 챔버 내부의 메가소닉 모듈이 유연성 기판에 초음파를 제공하여 파티클이 떨어지게 하는 동시에 공기와 함께 파티클을 흡입함으로서, 유연성 기판에 묻은 파티클의 제거 성능을 더욱 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 기판 세정장치가 도시된 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 기판 세정장치가 도시된 정단면도.
도 3은 도 1에 적용된 롤러들의 배치가 도시된 사시도.
도 4는 도 1에 적용된 가이드 롤러의 일예가 도시된 사시도.
도 5는 도 1에 적용된 메인 롤러의 일예가 도시된 사시도.
도 6은 도 1에 적용된 에어 롤러의 일예가 도시된 사시도.
도 7은 도 1에 적용된 이오나이저 모듈의 일예가 도시된 사시도.
도 8은 도 1에 적용된 메가소닉 모듈을 포함하는 메가소닉 크리닝 장치의 일예가 도시된 구성도.
도 9는 도 8의 적용된 메가소닉 모듈의 일예가 도시된 정단면도.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 기판 세정장치가 도시된 사시도 및 정단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 기판 세정장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 밀폐형 챔버(110)와, 롤러들(121~123)과, 이오나이저 모듈들(131,132)과, 메가소닉 모듈(141)과, 송풍 헤드(150)와, 배기 유닛(160)을 포함한다.
챔버(110)는 유연성 기판(A)으로부터 파티클을 제거하는 공간을 제공하는데, 유연성 기판(A)이 출입되는 입구(111h)와 출구(112h)가 양 측면(111,112)에 구비될 수 있고, 챔버의 입구(111h)로 유입된 유연성 기판(A)이 챔버의 출구(112h)를 통하여 빠져나간다.
도면을 참조하면, 챔버의 입/출구(111h,112h)는 유연성 기판(A)이 통과할 수 있도록 유연성 기판(A) 보다 소정 간격 큰 슬릿 형태로 구성되고, 챔버의 입/출구(111h,112h)가 동일한 높이에 구비될 수 있다. 물론, 챔버의 입/출구(111h,112h) 형상 및 위치는 외부의 기류가 최소한으로 유입될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
챔버(110)의 개방된 상부는 하기에서 설명될 송풍 헤드(150)와 연통되고, 챔버(110)의 개방된 하부은 하기에서 설명될 배기 유닛(160)과 연통될 수 있다.
롤러들(121~125)은 챔버(110) 내부에 유연성 기판(A)을 연속하여 이송하도록 안내하는데, 유연성 기판(A)의 이동 방향을 따라 복수 개가 구비될 수 있다.
도면을 참조하면, 챔버의 입구(111h) 내측에 유연성 기판(A)의 유입을 안내하는 제1가이드 롤러(121)가 구비되고, 챔버의 출구(112h) 내측에 유연성 기판(A)의 유출을 안내하는 제2가이드 롤러(122)가 구비되며, 1,2가이드 롤러(121,122) 사이에 유연성 기판(A)의 장력을 조절하는 메인 롤러(123)가 구비될 수 있다.
그리고, 제1가이드 롤러(121)와 메인 롤러(123) 사이에 제3가이드 롤러(124)가 구비되고, 제2가이드 롤러(122)와 메인 롤러(123) 사이에 제4가이드 롤러(125)가 구비되는데, 제3,4가이드 롤러(124,125)는 패턴이 인쇄된 유연성 기판(A)의 표면과 접촉될 경우에 유연성 기판(A)을 비접촉 방식으로 안내하기 위하여 에어 롤러 형태로 구성될 수 있으나, 한정되지 아니한다.
상세하게, 제1,2가이드 롤러(121,122)는 각각 챔버의 입/출구(111h,112h)와 동일한 높이에 서로 대향되도록 설치될 수 있고, 메인 롤러(123)는 제1,2가이드 롤러(121,122)와 비슷한 높이에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있으며, 제3,4가이드 롤러(124,125)는 제1,2가이드 롤러(121,122) 및 메인 롤러(123)보다 낮은 위치에 설치될 수 있다.
상기와 같은 롤러들(121~125)의 구성은 하기에서 더욱 자세히 설명하기로 한다.
이오나이저 모듈들(131,132)은 챔버(110) 내부의 유연성 기판(A)에 정전기를 제거하도록 구비될 수 있다. 따라서, 이오나이저 모듈들(131,132)에 의해 유연성 기판(A)의 정전기가 제거되면, 유연성 기판(A)으로부터 파티클이 손쉽게 떨어질 수 있고, 유연성 기판(A) 측의 파티클이 송풍 헤드(150)로부터 배기 유닛을 향하여 형성된 기류 흐름을 따라 외부로 배출될 수 있다.
도면을 참조하면, 챔버의 입구(111h)와 제1가이드 롤러(121) 사이의 상측에 제1이오나이저 모듈(131)이 설치되고, 챔버의 출구(112h)와 제2가이드 롤러(122) 사이의 상측에 제2이오나이저 모듈(132)이 설치될 수 있으며, 하기에서 더욱 자세히 설명하기로 한다.
메가소닉 모듈(141)은 비접촉 방식으로 초음파를 유연성 기판으로 전달하기 위하여 구비되는데, 메인 롤러(123) 상측에 소정 간극을 유지하도록 설치될 수 있다.
메가소닉 모듈(141)은 하기에서 설명될 메가소닉 세정 장치의 일부분으로서, 하기에서 더욱 자세히 설명하기로 한다.
송풍 헤드(150)는 챔버(110)의 상측에 구비되는데, 상부에서 하부 방향으로 기류를 형성하도록 구성될 수 있다.
도면을 참조하면, 송풍 헤드(150)는 상면에 흡입구(151h)가 구비되는 동시에 챔버(110)의 개방된 상부와 연통되는 송풍 케이스(151)와, 송풍 케이스(151)에 내장된 축류팬 형태의 송풍팬(152)을 포함하도록 구성될 수 있다.
배기 유닛(160)은 챔버의 하측에 구비되는데, 챔버 내부의 기류가 빠져나가도록 구성될 수 있다.
도면을 참조하면, 배기 유닛(160)은 챔버(110) 하부와 연통되고 적어도 일측면에 배기구(161h)가 형성되는 배기 케이스(161)와, 챔버(110)와 배기 케이스(161) 사이에 설치되고 전체에 결쳐 균일하게 복수개의 홀(162h)이 형성되는 배기판(162)을 포함하는데, 배기 케이스(161) 내부에 전장 부품, 전선 등이 내장될 수 있다.
따라서, 챔버(110) 내부의 기류와 함께 파티클이 배기판(162)의 홀들(162h)을 통하여 떨어진 다음, 배기 케이스(161)의 배기구(161h)를 외부로 빠져나갈 수 있다.
물론, 배기 케이스(161) 하측에 복수개의 바퀴(163a~163d)가 구비되면, 전체 장치를 손쉽게 이동시킬 수 있다. 또한, 배기 케이스(161)를 지면으로부터 이격시킴으로서, 배기 케이스(161)의 하면에도 추가적으로 배기구(161h)를 형성하여 송풍되는 공기의 배기 유량을 늘릴 수 있다.
도 3은 도 1에 적용된 롤러들의 배치가 도시된 사시도이고, 도 4 내지 도 6은 도 1에 적용된 가이드 롤러와 메인 롤러 및 에어 롤러의 일예가 각각 도시된 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 적용된 제1,2가이드 롤러(121,122)는 도 3에 도시된 바와 같이 동일하게 구성될 수 있으며, 제1가이드 롤러(121)를 기준으로 살펴보기로 한다.
가이드 롤러(121)는 도 4에 도시된 바와 같이 가이드 롤러(121)의 양단을 회전 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지대(121a)와, 지지대들(121a) 하단을 지지하는 받침대(121b)를 더 포함하는데, 지지대들(121a)과 받침대(121b)는 모두 바 형태로 구성될 수 있다.
가이드 롤러(121)의 축 방향 길이는 유연성 기판(A)의 폭 보다 크게 형성될 수 있고, 지지대들(121a) 사이의 간격은 가이드 롤러(121)의 축 방향 길이보다 크게 형성될 수 있다.
그리고, 받침대(121b)는 가이드 롤러(121)의 축 방향으로 길게 형성될 수 있으며, 상기에서 설명한 배기판(162 : 도 3에 도시)의 상면에 고정되도록 장착될 수 있다.
따라서, 가이드 롤러(121)가 회전되고, 유연성 기판(A)이 가이드 롤러(121)와 접촉된 형태로 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 적용된 메인 롤러(123)는 도 5에 도시된 바와 같이 가이드 롤러(121)와 마찬가지로 바 형태의 지지대들(123a)과 받침대(123b)에 의해 회전 가능하게 설치되는데, 메인 롤러(123)의 높낮이를 조절하는 높이 조절부와, 메인 롤러(123)의 양측을 수평하게 조절하는 수평 조절부를 더 포함하도록 구성될 수 있다.
상세하게, 메인 롤러(123)의 받침대(123b) 양측 하부에 구비된 한 쌍의 가이드 실린더(G1,G2)와, 가이드 실린더들(G1,G2)을 가로지르도록 연결하는 고정판(P1)과, 가이드 실린더들(G1,G2)의 하부를 연결하는 이동바(P2)와, 고정판(P1)에 대한 이동바(P2)의 위치를 조절하는 높이 조절 볼트(B)와, 각각의 가이드 실린더(G1,G2) 압력을 조절하는 한 쌍의 압력 조절부(C1,C2)를 포함하도록 구성될 수 있다.
그리고, 고정판(P1)은 상기에서 설명한 배기판(162 : 도 3에 도시)의 상면에 고정되도록 장착될 수 있는데, 고정판(P1)에는 파티클이 빠져나갈 수 있는 복수개의 홀(미도시)이 구비될 수 있다.
이와 같이 구성된 높이 조절부와 수평 조절부의 동작을 살펴보면, 다음과 같다.
조절 볼트(B)를 조절하면, 이동바(P2)의 위치가 고정판(P1)을 기준으로 승강될 수 있고, 이동바(P2)와 연결된 가이드 실린더들(G1,G2) 및 메인 롤러(123)의 양단이 전체적으로 승강될 수 있으며, 메인 롤러(123)에 의해 안내되는 유연성 기판(A)의 장력을 조절할 수 있다.
한편, 압력 조절부들(C1,C2) 중 하나만 조절하면, 가이드 실린더들(G1,G2) 중 대응되는 하나만 그 압력이 조절될 수 있고, 압력이 조절되는 가이드 실린더(G1,G2) 및 이와 연결된 메인 롤러(123)의 일단만 승강될 수 있으며, 메인 롤러(123)의 수평 또는 레벨을 조절하여 유연성 기판(A)이 일측으로 쳐지는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 적용된 제3,4가이드 롤러(124,125)는 도 3에 도시된 바와 같이 동일하게 에어 롤러 형태로 구성될 수 있으며, 제3가이드 롤러(124)를 기준으로 살펴보기로 한다.
에어 롤러(124)는 도 6에 도시된 바와 같이 중공 형태로서, 양단에 공기가 주입될 수 있는 각각 공기 주입유로(124in)가 구비되고, 에어 롤러(124) 중 일부에 공기를 분사할 수 있는 에어 홀들(124h)이 구비될 수 있다.
유연성 기판(A)의 상면에 패턴이 형성되고, 유연성 기판(A)의 상면이 에어 롤러(124)의 하부에 의해 가이드되면, 에어 롤러(124)의 하부에 에어 홀들(124h)이 균일하게 구비될 수 있다.
한편, 에어 롤러(124)는 가이드 롤러(121 : 도 3에 도시)와 다르게 고정된 형태로 설치되는데, 에어 롤러(124)의 양단을 고정시키는 한 쌍의 지지대(124a)와, 지지대들(124a) 하단을 지지하는 받침대(124b)를 더 포함하는데, 지지대들(124a)과 받침대(124b)는 모두 바 형태로 구성될 수 있다.
따라서, 에어 롤러(124)가 고정되고, 에어 롤러의 에어 홀들(124h)을 통하여 공기가 분사됨에 따라 유연성 기판(A)이 에어 롤러(124)와 비접촉된 형태로 이동될 수 있다. 물론, 유연성 기판(A)의 패턴이 에어 롤러(124)와 접촉되어 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같이 에어 롤러 형태의 제3,4가이드 롤러(124,125)는 각각의 받침대(124b)에 의해 메인 롤러(123 : 도 5에 도시) 측의 고정판(P1 : 도 5에 도시) 위에 장착될 수 있고, 제3,4가이드 롤러(124,125)는 메인 롤러(123 : 도 5에 도시)와 같이 높낮이 및 수평 조절 가능하게 설치될 수 있다.
도 7은 도 1에 적용된 이오나이저 모듈의 일예가 도시된 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 적용된 이오나이저 모듈(131)은 도 7에 도시된 바와 같이 이온화 공기가 제공되는 중공 바 형태의 케이스(131a)와, 케이스(131a) 하면에 일정 간격을 두고 구비된 복수개의 토출구(131b)를 포함하도록 구성된다.
케이스(131a) 내부에 CDA(clean dry air), N2 등의 공기가 제공되고, 공기를 이온화시킬 수 있는 방전침(131c)과, 방전침(131c)에 전원이 인가하는 단자부(131d)가 추가로 구비될 수 있다.
케이스(131a)가 유연성 기판(A)의 상측에 이격된 상태에로 유연성 기판(A)의 폭 방향을 가로지도록 설치되고, 토출구들(131b)이 유연성 기판(A)의 상면을 향하도록 설치될 수 있다.
따라서, 케이스(131a) 내부에 공기가 공급되는 동안, 단자부(131d)를 통하여 전원이 방전침(131c)에 공급되면, 방전침(131c) 주변의 공기가 양이온 또는 음이온으로 이온화되고, 이온화된 공기가 케이스(131a) 및 토출구(131b)를 통하여 유연성 기판(A)의 표면으로 제공될 수 있다.
이와 같이, 이오나이저 모듈(131)을 통하여 제공되는 이온화 공기는 유연성 기판(A)의 정전기를 중성화시키고, 정전기에 의해 유연성 기판(A)에 붙어 있는 파티클을 손쉽게 떨어뜨릴 수 있다.
도 8은 도 1에 적용된 메가소닉 모듈을 포함하는 메가소닉 크리닝 장치의 일예가 도시된 구성도이고, 도 9는 도 8의 적용된 메가소닉 모듈의 일예가 도시된 정단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 적용된 메가소닉 모듈(141)은 도 8에 도시된 바와 같이 메가소닉 크리닝 장치(140)에 포함될 수 있다.
메가소닉 크리닝 장치(140)는 메가소닉 모듈(141)과, 메가소닉 모듈(141)과 연결된 흡입 유로(141in) 및 토출 유로(141out)와, 토출 유로(141out) 상에 설치된 순차적으로 설치된 프리 필터(142)와 송풍팬(143) 및 헤파 필터(144)와, 프리 필터(142)와 헤파 필터(144) 측에서 압력을 고려하여 송풍팬(143)의 작동을 제어하는 제어부(145)를 포함한다.
그리고, 헤파 필터(144)를 지난 공기의 유로는 흡입 유로(141in)와 연결되고, 외부로 공기를 안내하는 배기부(147)로 분지되는데, 흡입 유로(141in)와 배기부(147)로 분지되는 부분에 개폐 가능하게 토출 댐퍼(146)가 설치될 수 있다.
따라서, 메가소닉 모듈(141)은 흡입 유로(141in)를 통하여 공급된 기류를 이용하여 초음파를 유연성 기판(A)에 제공하는 동시에 토출 유로(141out)를 통하여 유연성 기판(A)으로부터 파티클을 흡입하도록 구성될 수 있다.
상세하게, 메가소닉 모듈(141)은 도 9에 도시된 바와 같이 토출구(H)가 구비된 케이스(C)와, 케이스(C) 내측의 중심에 구비된 석션 유닛(S)과, 선션 유닛(S)의 양 측에 형성된 초음파 토출유로(M1,M2)를 포함한다.
케이스(C)는 석션 유닛(S)이 설치될 공간 및 초음파 기류를 안내하기 위한 공간이 내부에 형성되고, 기류의 출입이 가능한 복수개의 토출구(H)가 도면을 기준으로 하측에 구비될 수 있다.
케이스(C)의 하면은 메인 롤러(123 : 도 2에 도시)에 의해 안내되는 유연성 기판(A)의 상면과 근접하게 설치될 수 있도록 곡면 형상으로 형성되고, 케이스의 토출구들(H)은 유연성 기판(A)과 소정 간극을 유지하는 것이 바람직하다.
석션 유닛(S)은 유연성 기판(A)으로부터 파티클의 흡입하도록 제공되는데, 석션 유닛(S)의 흡입구(h)가 케이스(C)의 토출구(H) 내측에 위치될 수 있다. 그리고, 석션 유닛(S)은 외부에서 진공 압력을 제공할 수 있는 토출 유로(141out)와 연결될 수 있다.
초음파 토출 유로들(M1,M2)은 케이스(C) 내부의 석션 유닛(S) 양 측에 형성되는데, 외부에서 공기를 공급하기 위한 흡입 유로(141in)와 연통되고, 초음파를 발생시킬 수 있는 메가소닉(미도시)이 내장될 수 있다.
초음파 토출 유로들(M1,M2)은 석션 유닛(S)의 흡입구(h) 방향으로 연장되도록 형성될 수 있는데, 초음파 토출 유로들(M1,M2)에서 발생된 초음파가 기류를 타고 유연성 기판(A)에 전달되도록 하여 떨림을 발생시켜 유연성 기판(A)으로부터 파티클이 손쉽게 떨어질 수 있도록 하고, 석션 유닛(S)의 흡입구(h)가 유연성 기판(A)으로부터 파티클이 바로 흡입하도록 한다.
상기와 같이 구성된 유연성 기판 세정장치의 동작을 도 1 내지 도 2를 참조하여 살펴보면, 다음과 같다.
챔버(110)의 입구(111h)를 통하여 유연성 기판(A)이 유입되면, 제1가이드 롤러(121)와 제3가이드 롤러(124)와 메인 롤러(123)와 제4가이드 롤러(125)와 제2가이드 롤러(122)를 순차적으로 지난 다음, 챔버(110)의 출구(112h)를 통하여 유출된다.
유연성 기판(A)이 챔버(110) 내부를 통과하는 동안, 송풍 헤드(150)가 작동되면, 챔버(110) 내부에 상부에서 하부로 기류가 형성되고, 챔버(110) 내부에 기류가 배기 유닛(160)을 통하여 외부로 빠져나간다.
먼저, 유연성 기판(A)이 챔버의 입구(111h)와 제1가이드 롤러(121) 사이를 지나는 동안, 제1이오나이저 모듈(131)이 유연성 기판(A) 표면에 양이온 또는 음이온을 제공하여 중성화시킨다.
따라서, 정전기가 제거된 유연성 기판(A)으로부터 파티클이 손쉽게 떨어진 다음, 파티클이 챔버(110) 내부의 기류 흐름을 따라 배기 유닛(160)을 통하여 외부로 배출된다.
다음, 유연성 기판(A)이 메인 롤러(123)를 지나가는 동안, 메가소닉 모듈(141)이 유연성 기판 표면에 초음파 기류를 전달한다.
따라서, 초음파 기류에 의해 유연성 기판에 물리적인 떨림이 발생되어 파티클이 손쉽게 떨어지면, 메가소닉 모듈(141)을 통하여 파티클을 바로 흡입하여 챔버(110) 외부로 배출한다.
다음, 유연성 기판(A)이 제2가이드 롤러(122)와 챔버의 출구(112h) 사이를 지나는 동안, 제2이오나이저 모듈(132)이 유연성 기판으로부터 파티클을 떨어지게 하고, 파티클이 챔버(110) 내부의 기류와 함께 배기 유닛(160)을 통하여 외부로 배출된다.
이와 같이, 챔버(110) 내부를 통과하는 유연성 기판(A)은 제1,2이오나이저 모듈(131,132)과 메가소닉 모듈(141)에 의해 여러 번에 걸쳐 파티클을 제거하는 과정을 반복할 수 있고, 챔버(110) 내부에 부유하는 파티클은 송풍 헤드(150)와 배기 유닛(160) 사이에 형성된 기류와 함께 외부로 배출될 수 있다.
110 : 챔버 111h : 입구
112h : 출구 121,122 : 제1,2가이드 롤러
123 : 메인 롤러 124,125 : 제3,4가이드 롤러
131,132 : 제1,2이오나이저 모듈 141 : 메가소닉 모듈
150 : 송풍 헤드 151 : 송풍 케이스
151h : 흡입구 152 : 송풍팬
160 : 배기 유닛 161 : 배기 케이스
161h : 배기구 162 : 배기판
162h : 홀 163a~163d : 바퀴

Claims (9)

  1. 유연성 기판이 통과하는 슬릿형 입구 및 출구가 대향된 양 측면에 구비된 챔버;
    상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판을 이동시키는 복수개의 롤러;
    상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 유연성 기판의 정전기를 제거하는 적어도 하나 이상의 이오나이저 모듈;
    상기 챔버 내측에 메인 롤러 상에 구비되고, 상기 유연성 기판에 초음파를 제공하여 파티클을 제거하는 메가소닉 모듈;
    상기 챔버 상측에 연통되고, 상부에서 하부 방향으로 기류를 형성하는 송풍 헤드; 및
    상기 챔버 하측에 연통되고, 기류가 빠져나가는 배기 유닛;을 포함하고,
    상기 메가소닉 모듈은,
    상기 메인 롤러의 외주면에 대응되는 곡면 형상을 갖는 복수개의 토출구가 구비된 케이스와,
    상기 케이스 내측의 중심에 구비되고, 상기 유연성 기판으로부터의 파티클을 흡입하는 흡입구가 구비된 석션 유닛과,
    상기 케이스 내측에 상기 석션 유닛의 양 측에 위치된 초음파 토출유로에 구비되어 초음파를 발생시키는 메가소닉을 포함하고,
    상기 석션 유닛의 상기 흡입구는 상기 케이스의 상기 토출구와 마주보도록 상기 석션 유닛의 하측에 구비되고,
    상기 초음파 토출유로는,
    상기 케이스의 상기 복수개의 토출구를 통해 상기 초음파를 상기 유연성 기판으로 제공하는
    유연성 기판 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이오나이저 모듈은,
    상기 유연성 기판의 상측에 위치되고, 이온화 공기가 제공되는 케이스와,
    상기 케이스 하면에 상기 유연성 기판을 가로지르는 방향으로 소정 간격을 두고 구비된 복수개의 토출구를 포함하는 유연성 기판 세정장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 롤러들은,
    상기 입구 내측에 설치된 제1가이드 롤러와,
    상기 출구 내측에 설치된 제2가이드 롤러와,
    상기 제1,2가이드 롤러 사이에 승강 가능하게 설치된 상기 메인 롤러와,
    상기 제1가이드 롤러와 메인 롤러 사이에 설치된 제3가이드 롤러와,
    상기 메인 롤러와 제2가이드 롤러 사이에 설치된 제4가이드 롤러를 포함하는 유연성 기판 세정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 메인 롤러의 높낮이를 조절하는 높이 조절부와,
    상기 메인 롤러의 양측을 수평하게 조절하는 수평 조절부를 더 포함하는 유연성 기판 세정장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제3,4가이드 롤러는,
    상기 유연성 기판과 접촉되는 표면에 걸쳐 균일하게 복수개의 에어 홀이 구비된 에어 롤러로 구성되는 유연성 기판 세정장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 이오나이저 모듈은,
    상기 챔버의 입구와 제1가이드 롤러 사이에 설치된 제1이오나이저 모듈과,
    상기 챔버의 출구와 제2가이드 롤러 사이에 설치된 제2이오나이저 모듈을 포함하는 유연성 기판 세정장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 메가소닉 모듈은,
    상기 메인 롤러 상측에 소정 간극을 유지하도록 설치되는 유연성 기판 세정장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 배기 유닛은,
    상기 챔버의 하측에 연통되고, 적어도 일측면에 배기구가 형성되는 배기 케이스와,
    상기 챔버와 배기 케이스 사이에 구비되고, 복수개의 홀이 형성된 배기판을 포함하는 유연성 기판 세정장치.
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