KR102260869B1 - heat-shock tester comprising side blower system - Google Patents

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KR102260869B1
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황학원
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주식회사 제이에스티
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Abstract

본 발명은 에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 테스트 챔버의 일 측면(제1 측면)에 복수 개의 송풍팬을 구비하는 사이드 송풍유닛을 배치시키고, 테스트 챔버의 타 측면(제2 측면)에 증발기를 배치시키며, 각각의 송풍팬을 개별 제어함으로써, 테스트 챔버 수용공간 내 복수 개의 영역의 온도를 개별적으로 제어할 수 있고, 이에 따라, 테스트 챔버 수용공간 내 전체 영역의 온도를 동일하게 유지시킬 수 있다.The present invention relates to, and according to one aspect of the present invention, a side blowing unit having a plurality of blowing fans is disposed on one side (first side) of the test chamber, and the other side (second side) of the test chamber By arranging an evaporator in the evaporator and individually controlling each blower fan, the temperature of a plurality of regions in the test chamber accommodating space can be individually controlled, and accordingly, the temperature of the entire region in the test chamber accommodating space can be maintained the same. can

Description

사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터{heat-shock tester comprising side blower system}Thermal shock tester comprising side blower system

본 발명은 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터('챔버 사이드 블로워 시스템'이라고도 함)에 관한 것으로, 테스트 챔버의 온도를 정밀하게 조절할 수 있는 열충격 테스터에 관한 것이다.The present invention relates to a thermal shock tester (also referred to as a 'chamber side blower system') including a side blower system, and to a thermal shock tester capable of precisely controlling the temperature of a test chamber.

일반적으로 번인 테스터(Burn-In Tester)는 패키지된 반도체 소자에 전원을 인가하고 작동시킬 때 반도체 소자의 열 스트레스에 대한 신뢰성을 테스트하는 장치이다. In general, a burn-in tester is a device for testing the reliability of a semiconductor device against thermal stress when power is applied to and operating a packaged semiconductor device.

최근 번인 테스터는 기존 번인 테스트와 함께 반도체 소자의 동작 테스트를 함께 수행하도록 제작된다. Recently, burn-in testers are manufactured to perform operation tests of semiconductor devices together with conventional burn-in tests.

번인 테스터는 반도체 소자가 수용되는 보드 챔버 및 테스터 기판이 수용되는 테스트 챔버를 포함한다. 이때, 테스트 챔버는 작동 중에 초저온 상태로 조절되어야 하며, 테스트 챔버 내부의 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 불필요한 열원의 유입 및 외부로의 열배출은 방지되어야 한다.The burn-in tester includes a board chamber accommodating a semiconductor device and a test chamber accommodating a tester substrate. In this case, the test chamber should be controlled to a very low temperature state during operation, and unnecessary inflow of heat sources and heat discharge to the outside should be prevented in order to maintain a uniform temperature inside the test chamber.

통상 번인 테스터는, 장치 상부에 마련된 송풍팬을 포함하며, 상기 송풍팬은 테스트 챔버 내 공기 순환을 발생시켜 테스트 챔버 내 온도를 조절하는 기능을 수행하도록 마련된다. 이때, 상기 송풍팬만으로는 테스트 챔버의 수용 공간 내 온도를 일정하고, 균일하게 유지시키기 어려운 문제가 있다. Typically, the burn-in tester includes a blower fan provided above the apparatus, and the blower fan is provided to generate air circulation in the test chamber to control the temperature in the test chamber. In this case, there is a problem in that it is difficult to maintain a constant and uniform temperature in the accommodation space of the test chamber only with the blowing fan.

본 발명은 테스트 챔버 수용공간 내 복수 개의 영역의 온도를 동일하게 유지시킬 수 있는 열충격 테스터를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a thermal shock tester capable of maintaining the same temperature of a plurality of regions within a test chamber accommodating space.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간, 상기 수용공간을 형성하는 제1 측면 및 제1 측면의 반대방향의 제2 측면을 가지며, 제1 측면을 통해 수용공간으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간을 통과하여 제2 측면을 통해 수용공간 외부로 배출되는 테스트 챔버를 포함하는 열충격 테스터가 제공된다. In order to solve the above problems, according to one aspect of the present invention, it has an accommodating space for accommodating the tester substrate, a first side forming the accommodating space, and a second side opposite to the first side, the first There is provided a thermal shock tester including a test chamber in which when air is introduced into the accommodation space through a side surface, the introduced air passes through the accommodation space and is discharged to the outside of the accommodation space through a second side surface.

또한, 열충격 테스터는, 테스트 챔버의 제1 측면 측에서 제2 측면 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬을 포함하는 사이드 송풍 유닛, 냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버의 제2 측면 측에 위치하는 증발기를 포함하는 온도 조절 유닛, 및 온도 조절 유닛을 제어하고, 사이드 송풍 유닛의 복수 개의 제1 송풍팬을 개별 제어하기 위한 제어부를 포함한다.In addition, the thermal shock tester uses a side blowing unit including a plurality of first blowing fans arranged to generate an air flow from the first side side to the second side side of the test chamber, and a refrigerant circulation cycle to measure the temperature in the test chamber. a temperature control unit including an evaporator disposed on the second side side of the test chamber, and a control unit for controlling the temperature control unit and individually controlling a plurality of first blowing fans of the side blowing unit .

또한, 사이드 송풍 유닛은, 테스트 챔버의 제1 측면 측에 배치되고, 테스트 챔버의 제1 측면 측으로 개방된 복수 개의 관통홀을 갖는 덕트를 포함할 수 있다.In addition, the side blowing unit may include a duct disposed on the first side of the test chamber and having a plurality of through-holes opened toward the first side of the test chamber.

또한, 각각의 제1 송풍팬은, 덕트 외부에 배치되고, 덕트 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부 및 종동축에 장착되며, 덕트 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함할 수 있다. In addition, each of the first blower fans is disposed outside the duct and includes a motor unit having a drive shaft extending toward the duct, a driven shaft spaced apart from the drive shaft by a predetermined distance, and connected to the drive shaft to rotate the drive shaft as a driven shaft It is mounted on the connecting portion and the driven shaft provided to transmit, it is located in the duct, it may include a fan for generating an air flow while rotating by the rotation of the connecting portion.

또한, 연결부는, 구동축이 고정된 제1 부재, 제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재 및 제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함할 수 있다.In addition, the connection part may include a first member to which the driving shaft is fixed, a second member spaced apart from the first member at a predetermined distance, and a driven shaft fixed to a plurality of side shafts connecting the first member and the second member. .

또한, 복수 개의 사이드 축은 구동축의 회전중심을 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열될 수 있다.In addition, the plurality of side shafts may be arranged along the circumferential direction of the first member based on the rotation center of the driving shaft.

또한, 연결부는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함할 수 있다. In addition, the connection portion may include a motor pulley (pully) for connecting the drive shaft and the driven shaft.

또한, 제 2 항에 있어서, 연결부는 구동축에 고정된 제1 자석 및 제1 자석과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축에 고정된 제2 자석을 포함할 수 있다. In addition, according to claim 2, wherein the connection part may include a first magnet fixed to the driving shaft, and a second magnet positioned to be spaced apart from the first magnet by a predetermined distance and fixed to the driven shaft.

또한, 사이드 송풍 유닛은, 제1 송풍팬의 연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 단열부 및 덕트 사이 공간에 팬부가 배치될 수 있다. In addition, the side blowing unit may further include a heat insulating part provided between the connection part of the first blowing fan and the fan part. In this case, the fan may be disposed in the space between the heat insulating part and the duct.

또한, 복수 개의 제1 송풍팬의 종동축은 각각 상기 단열부를 관통할 수 있다. In addition, driven shafts of the plurality of first blowing fans may each pass through the heat insulating part.

또한, 제1 송풍팬의 팬부는 덕트의 관통홀과 동축 상에 배치될 수 있다.In addition, the fan unit of the first blowing fan may be disposed coaxially with the through hole of the duct.

또한, 제1 송풍팬의 팬부는 종동축에 장착된 팬 및 팬을 둘러싸는 링 형상의 후드를 포함할 수 있고, 후드는 관통홀과 소정 간격으로 떨어져 배치될 수 있다. In addition, the fan unit of the first blowing fan may include a fan mounted on the driven shaft and a ring-shaped hood surrounding the fan, and the hood may be disposed apart from the through hole by a predetermined distance.

또한, 열충격 테스터는 테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛을 포함할 수 있다. In addition, the thermal shock tester may include a main blowing unit including one or more second blowing fans provided to flow the air that has passed through the second side of the test chamber toward the side blowing unit.

또한, 열충격 테스터는 주 송풍 유닛과 사이드 송풍 유닛 사이에 배치된 히터를 추가로 포함할 수 있다. 상기 히터는 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다.In addition, the thermal shock tester may further include a heater disposed between the main blowing unit and the side blowing unit. The heater may be controlled by the controller.

또한, 열충격 테스터는 수용공간 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서를 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 복수 개의 제1 송풍팬이 개별적으로 제어되도록 마련될 수 있다.In addition, the thermal shock tester may include a plurality of temperature sensors each arranged to measure the temperature of a plurality of different regions within the accommodation space. In this case, the plurality of first blowing fans may be individually controlled according to the measurement results of the plurality of temperature sensors.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터는 다음과 같은 효과를 갖는다.As described above, the thermal shock tester including a side blower system related to an embodiment of the present invention has the following effects.

테스트 챔버의 일 측면(제1 측면)에 복수 개의 송풍팬을 구비하는 사이드 송풍유닛을 배치시키고, 테스트 챔버의 타 측면(제2 측면)에 증발기를 배치시키며, 각각의 송풍팬을 개별 제어함으로써, 테스트 챔버 수용공간 내 복수 개의 영역의 온도를 개별적으로 제어할 수 있고, 이에 따라, 테스트 챔버 수용공간 내 전체 영역의 온도를 동일하게 유지시킬 수 있다.By disposing a side blowing unit having a plurality of blowing fans on one side (first side) of the test chamber, placing an evaporator on the other side (second side) of the test chamber, and individually controlling each blowing fan, Temperatures of a plurality of regions in the test chamber accommodating space may be individually controlled, and accordingly, the temperature of all regions in the test chamber accommodating space may be maintained the same.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터를 나타내는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터를 구성하는 사이드 블로워 시스템을 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 사시도이다.
도 5는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 정면도이다.
도 6은 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 평면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 다양한 실시예를 나타내는 개략도들이다. 1 and 2 are views showing a thermal shock tester having a side blower system related to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic diagram showing a side blower system constituting a thermal shock tester related to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a side blowing unit related to the present invention.
5 is a front view of the side blowing unit according to the present invention.
6 is a plan view of the side blowing unit according to the present invention.
7 to 9 are schematic views showing various embodiments of the side blowing unit related to the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터(이하, '열충격 테스터'라고 함)를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a thermal shock tester (hereinafter referred to as 'thermal shock tester') having a side blower system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.In addition, regardless of the reference numerals, the same or corresponding components are given the same or similar reference numbers, and duplicate descriptions thereof will be omitted, and the size and shape of each component shown for convenience of description is exaggerated or reduced. can be

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터(1)를 나타내는 도면들이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터를 구성하는 사이드 블로워 시스템을 나타내는 개략도이다.1 and 2 are views showing a thermal shock tester 1 having a side blower system related to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a side blower system constituting a thermal shock tester related to an embodiment of the present invention It is a schematic diagram.

본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터(1)는 반도체 소자를 고온 또는 저온 상태(열충격)에서 테스트하기 위한 테스터를 의미하며, 예를 들어, 번인(Burn-In) 테스터를 포함할 수 있다.The thermal shock tester 1 according to an embodiment of the present invention refers to a tester for testing a semiconductor device in a high or low temperature state (thermal shock), and may include, for example, a burn-in tester.

본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터(1)는 테스터 기판(도시되지 않음)이 수용되기 위한 테스트 챔버(20)를 포함한다. 또한, 열충격 테스터(1)는 반도체 소자가 수용되는 보드 챔버(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 상기 테스트 챔버(20)는 작동 중에 초저온(예를 들어, 약 -40℃) 상태로 조절되어야 하며, 테스트 챔버(20) 내부의 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 불필요한 열원의 유입 및 외부로의 열배출은 방지되어야 한다. 또한, 테스트 챔버(20) 내 전체 영역에 대하여 온도가 균일하게 유지되어야 한다.The thermal shock tester 1 according to an embodiment of the present invention includes a test chamber 20 in which a tester substrate (not shown) is accommodated. In addition, the thermal shock tester 1 may include a board chamber (not shown) in which the semiconductor device is accommodated. The test chamber 20 should be adjusted to a very low temperature (eg, about -40° C.) state during operation, and in order to maintain a uniform temperature inside the test chamber 20, unnecessary heat sources are introduced and heat is discharged to the outside. should be prevented. In addition, the temperature should be uniformly maintained over the entire area in the test chamber 20 .

도 1 내지 도 4를 참조하면, 열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20), 사이드 송풍 유닛(100), 온도 조절 유닛(300), 및 제어부(40)를 포함한다. 또한, 열충격 테스터(1)는 주 송풍 유닛(30)을 포함할 수 있고, 열충격 테스터(1)는 주 송풍유닛과 사이드 송풍 유닛 사이에 배치된 히터(400)를 포함할 수 있다. 1 to 4 , the thermal shock tester 1 includes a test chamber 20 , a side blowing unit 100 , a temperature control unit 300 , and a control unit 40 . Further, the thermal shock tester 1 may include a main blowing unit 30 , and the thermal shock tester 1 may include a heater 400 disposed between the main blowing unit and the side blowing unit.

열충격 테스터(1)는, 테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간(23), 상기 수용공간(23)을 형성하는 제1 측면(21) 및 제1 측면(21)의 반대방향의 제2 측면(22)을 가지며, 제1 측면(21)을 통해 수용공간(23)으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간(23)을 통과하여 제2 측면(22)을 통해 수용공간(23) 외부로 배출되는 테스트 챔버(20)를 포함한다.The thermal shock tester 1 includes an accommodating space 23 for accommodating the tester substrate, a first side 21 forming the accommodating space 23 and a second side 22 opposite to the first side 21 . ), and when air is introduced into the receiving space 23 through the first side 21 , the introduced air passes through the receiving space 23 and passes through the second side 22 to the outside of the receiving space 23 . and a test chamber 20 that is discharged into the furnace.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터는 테스터 기판을 이용하여 테스트 보드에 적재된 반도체 소자를 테스트하기 위한 번인 테스터(Burn-In Tester)일 수 있다. 상기 번인 테스터는 반도체 소자를 수용하는 보드 챔버('번인 챔버'라고도 함)와 보드 챔버에 수용된 반도체 소자들에 테스트 신호를 인가한 후 피드백(feedback)되는 결과 신호를 판독하기 위한 테스터 기판이 수용되는 테스트 챔버(20)를 구비한다. 이때, 보드 챔버 내로 테스터 보드가 진입되고, 테스트 챔버(20) 내로 테스터 기판이 진입된다. 또한, 상기 번인 테스터는 보드 챔버에 수용된 테스트 보드를 테스터 기판에 접촉시킴으로써, 테스트 보드의 반도체 소자를 테스터 기판에 전기적으로 연결시키도록 마련된 접촉 장치(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 상기 접촉 장치는, 예를 들어, 본 출원인의 한국등록특허 제10-1676774호에 개시된 접촉 장치로 구성될 수도 있다. 상기 접촉 장치는 파지 플레이트를 통해 테스트 보드를 파지한 상태에서, 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드의 커넥터와 테스터 기판의 커넥터를 연결시키는 기능을 수행한다.As described above, the thermal shock tester according to an embodiment of the present invention may be a burn-in tester for testing semiconductor devices loaded on the test board using the tester board. The burn-in tester includes a board chamber (also referred to as a 'burn-in chamber') accommodating a semiconductor device and a tester substrate for reading a result signal fed back after applying a test signal to the semiconductor devices accommodated in the board chamber. A test chamber 20 is provided. At this time, the tester board enters the board chamber, and the tester board enters the test chamber 20 . In addition, the burn-in tester may include a contact device (not shown) provided to electrically connect a semiconductor element of the test board to the tester board by contacting the test board accommodated in the board chamber to the tester board. The contact device may be configured as, for example, a contact device disclosed in Korean Patent Registration No. 10-1676774 of the present applicant. The contact device performs a function of connecting the connector of the test board and the connector of the test board by moving the test board while gripping the test board through the gripping plate.

*도 4는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛(100)의 사시도이고, 도 5는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 정면도이며, 도 6은 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 평면도이다. * FIG. 4 is a perspective view of the side blowing unit 100 related to the present invention, FIG. 5 is a front view of the side blowing unit related to the present invention, and FIG. 6 is a plan view of the side blowing unit related to the present invention.

또한, 도 7 내지 도 9는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 다양한 실시예를 나타내는 개략도들이다. 7 to 9 are schematic views showing various embodiments of the side blowing unit related to the present invention.

열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측에서 제2 측면(22) 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬(200)을 포함하는 사이드 송풍 유닛(100)을 포함한다.The thermal shock tester 1 is a side blowing unit including a plurality of first blowing fans 200 arranged to generate an air flow from the first side 21 side to the second side 22 side of the test chamber 20 . (100).

또한, 열충격 테스터(1)는 냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버(20) 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22) 측에 위치하는 증발기(330)를 포함하는 온도 조절 유닛(300)을 포함한다.In addition, the thermal shock tester 1 is provided to control the temperature in the test chamber 20 using a refrigerant circulation cycle, and includes an evaporator 330 located on the second side 22 side of the test chamber 20. and a temperature control unit 300 .

상기 온도조절유닛(300)는 예를 들어, -60℃ 내지 +150℃의 제어온도 대역을 가질 수 있다. 온도조절유닛(300)은 냉매를 압축하기 위한 압축기, 압축기를 통과한 냉매가 유입되는 응축기, 및 응축기와 증발기(330)의 유입단 사이에 위치하는 전자팽창밸브를 포함하는 냉각부를 구비할 수 있다. The temperature control unit 300 may have, for example, a control temperature range of -60°C to +150°C. The temperature control unit 300 may include a compressor for compressing the refrigerant, a condenser through which the refrigerant passing through the compressor is introduced, and a cooling unit including an electronic expansion valve located between the inlet end of the condenser and the evaporator 330 . .

또한, 온도 조절 유닛(300)는 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)에 배치된 증발기(330)를 통해, 증발기(330)에서 차가운 냉매를 팽창시킴에 따라, 사이드 송풍 유닛(200)에 의해 증발기(330)를 통과하는 공기를 냉각하여 챔버(20) 내 온도를 하강시키거나, 챔버(20) 내 열 부하에 대응하여 온도를 제어할 수 있다.In addition, as the temperature control unit 300 expands the cold refrigerant in the evaporator 330 through the evaporator 330 disposed on the second side 22 of the test chamber 20, the side blowing unit 200 By cooling the air passing through the evaporator 330 to lower the temperature in the chamber 20, or to control the temperature in response to the heat load in the chamber (20).

또한, 열충격 테스터(1)는 온도 조절 유닛(300)을 제어하고, 사이드 송풍 유닛(100)의 복수 개의 제1 송풍팬(200)을 개별 제어하기 위한 제어부(40)를 포함한다. In addition, the thermal shock tester 1 includes a control unit 40 for controlling the temperature control unit 300 and individually controlling the plurality of first blowing fans 200 of the side blowing unit 100 .

또한, 열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛(30)을 포함한다. 이때, 제2 송풍팬은 제1 송풍팬 보다 높은 출력을 가질 수 있다. In addition, the thermal shock tester 1 is a main blowing unit 30 including one or more second blowing fans provided to flow the air that has passed through the second side 22 of the test chamber 20 to the side blowing unit 100 side. ) is included. In this case, the second blowing fan may have a higher output than the first blowing fan.

또한, 열충격 테스터(1)는 주 송풍 유닛(30)과 사이드 송풍 유닛(100) 사이에 배치된 히터(400)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 히터(400)가 작동하면, 주 송풍 유닛(30)에 의해 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 유동하는 공기가 히터(400)를 통과하는 과정에서 가열된다. 한편, 부호 31은 증발기(330)를 통과하여 수용공간(23) 외부로 배출된 공기를 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 안내하기 위한 유동 가이드를 나타낸다.In addition, the thermal shock tester 1 may further include a heater 400 disposed between the main blowing unit 30 and the side blowing unit 100 . At this time, when the heater 400 operates, the air flowing toward the side blowing unit 100 by the main blowing unit 30 is heated while passing through the heater 400 . Meanwhile, reference numeral 31 denotes a flow guide for guiding air discharged to the outside of the accommodation space 23 through the evaporator 330 toward the side blowing unit 100 .

또한, 제어부(40)는 열충격 테스터(1)의 상태정보를 표시하고, 각각의 유닛(공기 조절 유닛, 사이드 송풍 유닛, 주 송풍 유닛, 히터 등)을 제어할 수 있도록 마련되며, 상태정보를 모니터링할 수 있는 제어패널을 포함할 수 있다.In addition, the control unit 40 displays the state information of the thermal shock tester 1, is provided to control each unit (air conditioning unit, side blowing unit, main blowing unit, heater, etc.), and monitors the status information It may include a control panel that can do this.

도 4 및 도 5를 참조하면, 사이드 송풍 유닛(100)에서, 상기 복수 개의 제1 송풍팬(200)은 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 소정 간격 떨어져 배열될 수 있다. 또한, 복수 개의 제1 송풍팬(200)은 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 연속하여 배열될 수도 있고, 인접하는 2개의 제1 송풍팬(200)은 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 소정 간격으로 떨어져 배열될 수도 있다. 또한, 사이드 송풍 유닛(100)은 적어도 2개의 제1 송풍팬(200)이 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 서로 다른 위치에 마련된다. 4 and 5 , in the side blowing unit 100 , the plurality of first blowing fans 200 are spaced at predetermined intervals along the width and height directions of the first side 21 of the test chamber 20 . Can be arranged off. In addition, the plurality of first blowing fans 200 may be sequentially arranged along the width direction and the height direction of the first side surface 21 , and two adjacent first blowing fans 200 are provided on the first side surface 21 . ) may be arranged at a predetermined interval along the width direction and the height direction. In addition, in the side blowing unit 100 , at least two first blowing fans 200 are provided at different positions along at least one of a width direction and a height direction of the first side surface 21 .

또한, 열충격 테스터(1)는, 수용공간(23) 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서를 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 복수 개의 제1 송풍팬(200)이 개별적으로 제어되도록 마련된다. 상기 제1 송풍팬(200)의 회전속도 조절은 제어부(40)에 의해 개별적으로 조절될 수 있다. 예를 들어, 제어부(40)에는 챔버(20) 내 온도(또는 온도 분포)에 기초한 제1 송풍팬(200)의 회전속도가 조견표 형식으로 메모리에 미리 저장되어 있을 수 있고, 제어부(40)는 챔버 내 수용공간의 각각의 영역에 따른 온도에 따라 해당 영역에 대응(해당 영역으로 공기를 토출)하는 제1 송풍팬(200)의 회전속도를 조절할 수 있다. 제1 송풍팬(200)의 회전속도는 제어부(30)에 의해 자동적으로 조절될 수고 있고, 사용자에 의해 직접 조절될 수도 있다. 이때, 사용자는 제어패널(41)을 통해 사이드 송풍 유닛의 제1 송풍팬(200)의 온/오프 및 회전속도 등을 제어할 수 있다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 BLDC 모터를 포함할 수 있다. 예를 들어, BLDC 모터의 입력신호에 따라, 제1 송풍팬(200)의 풍량 또는 풍속을 제어할 수 있다. 또한, 챔버(20) 내의 온도를 저온에서 고온까지 약 10℃씩 범위로 설정하고, 그 온도에 해당하는 온도 균일도를 유지하는데, 제1 송풍팬(200) 각각의 모터 속도가 개별적으로 제어될 수 있다.In addition, the thermal shock tester 1 may include a plurality of temperature sensors each arranged to measure the temperature of a plurality of different regions within the accommodation space 23 . In this case, the plurality of first blowing fans 200 are individually controlled according to the measurement results of the plurality of temperature sensors. The rotation speed control of the first blowing fan 200 may be individually controlled by the control unit 40 . For example, in the control unit 40, the rotation speed of the first blower fan 200 based on the temperature (or temperature distribution) in the chamber 20 may be stored in advance in the memory in the form of a look-up table, and the control unit 40 The rotational speed of the first blowing fan 200 corresponding to the corresponding area (discharging air to the corresponding area) may be adjusted according to the temperature according to each area of the accommodating space in the chamber. The rotation speed of the first blowing fan 200 may be automatically adjusted by the control unit 30 or may be directly adjusted by a user. In this case, the user may control the on/off and rotational speed of the first blowing fan 200 of the side blowing unit through the control panel 41 . In addition, the first blowing fan 200 may include a BLDC motor. For example, according to the input signal of the BLDC motor, the air volume or the wind speed of the first blowing fan 200 may be controlled. In addition, the temperature in the chamber 20 is set in a range of about 10° C. from a low temperature to a high temperature, and the temperature uniformity corresponding to the temperature is maintained, and the motor speed of each of the first blowing fans 200 can be individually controlled. have.

또한, 사이드 송풍 유닛(100)은, 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측으로 개방된 복수 개의 관통홀(111)을 갖는 덕트(100)를 포함한다.In addition, the side blowing unit 100 includes a duct 100 having a plurality of through holes 111 open toward the first side 21 of the test chamber 20 .

상기 덕트(100)는 테스트 챔버의 제1 측면(21) 측에 배치되며, 제1 측면(21) 측에서 제2 측면(22) 측으로 공기가 유동할 수 있도록, 제1 측면(21) 측으로 개방된 복수 개의 관통홀(111)을 갖는다. The duct 100 is disposed on the first side 21 side of the test chamber, and opens toward the first side 21 side so that air can flow from the first side 21 side to the second side side 22 side. It has a plurality of through-holes (111).

도 7 및 도 8을 참조하면, 각각의 제1 송풍팬(200)은, 모터부(210), 연결부(220 또는 270) 및 팬부(230)를 포함한다.7 and 8 , each of the first blowing fans 200 includes a motor unit 210 , a connection unit 220 or 270 , and a fan unit 230 .

도 7를 참조하면, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 외부에 배치되고, 덕트(110) 측으로 연장된 구동축(211)을 갖는 모터부(210)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 구동축(211)과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축(240)을 포함하며, 구동축(211)과 연결되어 구동축(211)의 회전을 종동축(240)으로 전달하도록 마련된 연결부(220)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 내에 위치하고, 연결부(200)의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부(230)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the first blowing fan 200 is disposed outside the duct 110 and includes a motor unit 210 having a drive shaft 211 extending toward the duct 110 . In addition, the first blowing fan 200 includes a driven shaft 240 spaced apart from the drive shaft 211 at a predetermined interval, and is connected to the drive shaft 211 to transmit the rotation of the drive shaft 211 to the driven shaft 240 . It includes a connection unit 220 provided to do so. In addition, the first blowing fan 200 may be located in the duct 110 and include a fan unit 230 for generating air flow while rotating by the rotation of the connection unit 200 .

이때, 제1 송풍팬(200)의 팬부(230)는 덕트(110)의 관통홀(111)과 동축 상에 배치될 수 있다. 상기 팬부(230)가 회전하면, 덕트(110) 내 유동공간(112)의 공기가 관통홀(111)을 통해 수용공간(23)의 제1 측면(21) 측으로 토출된다.In this case, the fan unit 230 of the first blowing fan 200 may be disposed coaxially with the through hole 111 of the duct 110 . When the fan unit 230 rotates, the air in the flow space 112 in the duct 110 is discharged toward the first side 21 of the accommodation space 23 through the through hole 111 .

또한, 제1 송풍팬(200)의 팬부(230)는 종동축(240)에 장착된 팬(250) 및 팬(250)을 둘러싸는 링 형상의 후드(260)를 포함할 수 있다. 이때, 후드(260)는 관통홀(111)과 소정 간격으로 떨어져 배치될 수 있다. 즉, 덕트(110) 내 유동공간(112)의 공기는 인접하는 후드(260) 사이의 공간, 후드(260)와 관통홀(111) 사이의 공간을 유동하여, 관통홀(111)을 통해 수용공간으로 토출된다. 전술한 주 송풍유닛(30)은 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛(100)의 덕트(110) 내 유동공간(112)으로 안내하는 기능을 수행한다.In addition, the fan unit 230 of the first blowing fan 200 may include a fan 250 mounted on the driven shaft 240 and a ring-shaped hood 260 surrounding the fan 250 . In this case, the hood 260 may be disposed apart from the through hole 111 at a predetermined distance. That is, the air in the flow space 112 in the duct 110 flows through the space between the adjacent hoods 260 and the space between the hood 260 and the through hole 111 , and is received through the through hole 111 . discharged into space. The above-described main blowing unit 30 performs a function of guiding the air passing through the second side 22 of the test chamber 20 to the flow space 112 in the duct 110 of the side blowing unit 100. .

도 7을 참조하면, 연결부(200)는, 제1 부재(221), 제2 부재(222) 및 사이드 축(223)을 포함하며, 구체적으로, 상기 연결부(220)는 구동축(211)이 고정된 제1 부재(221), 제1 부재(221)와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축(240)이 고정된 제2 부재(222) 및 제1 부재(221)와 제2 부재(222)를 연결하는 복수 개의 사이드 축(223)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7 , the connection part 200 includes a first member 221 , a second member 222 , and a side shaft 223 . Specifically, the connection part 220 has a drive shaft 211 fixed thereto. The first member 221 and the first member 221 and the second member 222 and the second member 222 and the first member 221 and the second member 222 to which the driven shaft 240 is fixed and spaced apart from the first member 221 are separated from each other by a predetermined distance. A plurality of side shafts 223 to be connected may be included.

또한, 복수 개의 사이드 축(223)은 구동축(211)의 회전중심을 기준으로 제1 부재(221)의 둘레방향을 따라 배열될 수 있다. In addition, the plurality of side shafts 223 may be arranged along the circumferential direction of the first member 221 based on the rotation center of the driving shaft 211 .

상기 제1 송풍팬(200)은 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측에 배치되며, 상기 모터부(210)는 덕트(111) 외부에 배치되고, 팬부(230)는 덕트(111) 내부에 위치한다. 상기 모터부(210)는 팬부(230)에 회전력을 전달하고, 상기 팬부(230)는 복수 개의 블레이드를 구비한 팬(250)을 포함하며, 블레이드들의 회전에 따라 공기 유동을 발생시킨다.The first blowing fan 200 is disposed on the side of the first side 21 of the test chamber 20 , the motor unit 210 is disposed outside the duct 111 , and the fan unit 230 is disposed on the duct 111 . ) is located inside. The motor unit 210 transmits a rotational force to the fan unit 230 , and the fan unit 230 includes a fan 250 having a plurality of blades, and generates an air flow according to the rotation of the blades.

이때, 모터(210)에 전원이 공급되면, 구동축(211)이 회전하게 되고, 상기 구동축(211)의 회전에 따라 연결부(220)가 회전하게 되면, 연결부(220)의 회전에 따라 연결부(220)에 고정된 종동축(240)이 회전하게 되며, 그 결과 팬(250)의 회전이 이루어진다.At this time, when power is supplied to the motor 210 , the driving shaft 211 rotates, and when the connection part 220 rotates according to the rotation of the driving shaft 211 , the connection part 220 according to the rotation of the connection part 220 . ), the driven shaft 240 is fixed to rotate, and as a result, the fan 250 is rotated.

특히, 구동축(211)과 종동축(240)은 직접 맞물려 연결되는 구조가 아니라, 연결부(220)를 통해 간접적으로 연결되는 구조를 갖는다. 구체적으로, 구동축(211)과 종동축(240)은 절단되어 있으며, 구동축(211)과 종동축(240)은 연결부(220)를 통해 최소한의 커플링(coupling)으로 연결된다. In particular, the drive shaft 211 and the driven shaft 240 have a structure that is indirectly connected through the connection portion 220, not a structure directly engaged with each other. Specifically, the driving shaft 211 and the driven shaft 240 are cut, and the driving shaft 211 and the driven shaft 240 are connected through the connection part 220 through a minimum coupling (coupling).

도 7을 참조하면, 상기 연결부(200)에서, 상기 제1 부재(221)와 제2 부재(222)는 원형 플레이트일 수 있다. 제1 부재(221)의 중심에는 구동축(211)이 고정된다. 따라서, 제1 부재(221)는 구동축(211)과 함께 회전된다. 또한, 제2 부재(222)의 중심에는 종동축(240)이 고정된다. 따라서, 제2 부재(222)는 종동축(240)과 함께 회전된다. 또한, 제1 부재(221)와 제2 부재(222)는 소정 간격으로 떨어진 상태로 평행하게 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7 , in the connection part 200 , the first member 221 and the second member 222 may be circular plates. A driving shaft 211 is fixed to the center of the first member 221 . Accordingly, the first member 221 is rotated together with the driving shaft 211 . In addition, the driven shaft 240 is fixed to the center of the second member 222 . Accordingly, the second member 222 is rotated together with the driven shaft 240 . In addition, the first member 221 and the second member 222 may be disposed in parallel with a predetermined distance apart.

복수 개의 사이드 축(223)은, 구동축(211)의 회전중심(제1 부재의 중심)으로 기준으로 제1 부재(221)의 둘레방향을 따라 소정 간격으로 떨어져 배열될 수 있다. 또한, 사이드 축(223)은 구동축(211) 및 종동축(240)의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다. 또한, 상기 종동축(240), 및 연결부(220)를 금속 재질로 형성될 수 있고, 예를 들어, SUS 계열로 형성될 수 있다.The plurality of side shafts 223 may be arranged to be spaced apart from each other at predetermined intervals along the circumferential direction of the first member 221 based on the rotational center of the driving shaft 211 (the center of the first member). Also, the side shaft 223 may have a smaller diameter than the diameters of the driving shaft 211 and the driven shaft 240 . In addition, the driven shaft 240 and the connecting portion 220 may be formed of a metal material, for example, may be formed of SUS series.

작동 중인 모터부(210)에서 발생한 열은 구동축(211)에서 직접 종동축(240)으로 전달되지 않고, 구동축(211)에 연결부(220)로 전달된다.The heat generated by the motor unit 210 in operation is not directly transferred from the driving shaft 211 to the driven shaft 240 , but is transferred to the driving shaft 211 by the connection unit 220 .

이때, 연결부(220)는 구동축(211)과 함께 회전되며, 연결부(220) 회전 시, 복수 개의 사이드축(223)이 의 블레이드와 같은 기능을 수행하며, 구동축(211)으로부터 전달된 열을 외부로 발산시키는 기능을 수행한다. 따라서, 구동축(211)에서 발생하는 열이 직접 종동축(240)으로 전달되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 연결부(220)에서 열을 외부로 발산시킬 수도 있다.At this time, the connection part 220 is rotated together with the drive shaft 211 , and when the connection part 220 rotates, the plurality of side shafts 223 perform the same function as the blades of , and heat transferred from the drive shaft 211 to the outside. It performs the function of divergence. Accordingly, it is possible to prevent the heat generated from the driving shaft 211 from being directly transferred to the driven shaft 240 , and also to dissipate the heat from the connection part 220 to the outside.

도 8을 참조하면, 연결부(270)는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함할 수 있다. 상기 모터 풀리는 구동축 및 종동축과 각각 연결되어 있어서, 동력을 전달시킬 수 있고, 구동축과 종동축의 직각도가 맞지 않는 경우에도 살짝 휘어져서 회전이 가능한 구조를 갖는다.Referring to FIG. 8 , the connection part 270 may include a motor pulley connecting the driving shaft and the driven shaft. The motor pulley is connected to the drive shaft and the driven shaft, respectively, so that power can be transmitted, and even when the perpendicularity between the drive shaft and the driven shaft does not match, the motor pulley is slightly bent and rotatable.

도 9는 제1 송풍팬(200)의 또 다른 실시예를 나타내며, 도 4 및 도 9를 참조하면, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 외부에 배치되고, 덕트(110) 측으로 연장된 구동축(511)을 갖는 모터부(210)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 구동축(511)과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축(540)을 포함하는 연결부를 포함한다. 또한, 상기 연결부는 구동축(511) 및 종동축(540)에 각각 연결되어, 구동축(211)의 회전을 종동축(540)으로 전달하도록 마련된다. 상기 연결부는 구동축(511)에 고정된 제1 자석(570) 및 제1 자석(570)과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축(540)에 고정된 제2 자석(580)을 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 내에 위치하고, 종동축(540)에 고정되며, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부(530)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)의 팬부(530)는 종동축(540)에 장착된 팬(550) 및 팬(250)을 둘러싸는 링 형상의 후드(560)를 포함할 수 있다. 상기 모터부(510)가 구동되면, 제1 자석(570)이 회전함에 따라 회전 자기장을 발생시킬 수 있고, 상기 회전 자기장에 의해 제2 자석(580) 및 종동축(540)이 회전하게 된다.9 shows another embodiment of the first blowing fan 200. Referring to FIGS. 4 and 9, the first blowing fan 200 is disposed outside the duct 110 and extends toward the duct 110. It includes a motor unit 210 having a drive shaft (511). In addition, the first blower fan 200 includes a connection part including a driven shaft 540 spaced apart from the driving shaft 511 by a predetermined interval. In addition, the connection part is connected to the driving shaft 511 and the driven shaft 540 , respectively, and is provided to transmit the rotation of the driving shaft 211 to the driven shaft 540 . The connection part includes a first magnet 570 fixed to the driving shaft 511 and a second magnet 580 positioned at a predetermined distance from the first magnet 570 and fixed to the driven shaft 540 . In addition, the first blowing fan 200 is located in the duct 110, is fixed to the driven shaft 540, and includes a fan unit 530 for generating an air flow while rotating by the rotation of the connecting portion. In addition, the fan unit 530 of the first blowing fan 200 may include a fan 550 mounted on the driven shaft 540 and a ring-shaped hood 560 surrounding the fan 250 . When the motor unit 510 is driven, a rotating magnetic field may be generated as the first magnet 570 rotates, and the second magnet 580 and the driven shaft 540 rotate by the rotating magnetic field.

한편, 사이드 송풍 유닛(100)은, 제1 송풍팬(200)의 연결부(220 또는 270)와 팬부(230) 사이에 마련된 단열부(120)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 단열부(120) 및 덕트(110) 사이 공간(112)에 팬부(230)가 배치된다. 덕트는 직육면체 형상에서 상부면 및 하부면이 개방되고, 일 측면이 개방된 형상을 가질 수 있다. 이때, 개방된 일 측면은 단열부와 마주하도록 장착되고, 개방된 일 측면의 반대방향의 일 측면에 관통홀(111)이 형성될 수 있다. Meanwhile, the side blowing unit 100 may further include a heat insulator 120 provided between the connection part 220 or 270 of the first blowing fan 200 and the fan part 230 . At this time, the fan unit 230 is disposed in the space 112 between the heat insulating unit 120 and the duct 110 . The duct may have a shape in which the upper surface and the lower surface are open in a rectangular parallelepiped shape, and one side is open. In this case, one open side is mounted to face the heat insulating part, and a through hole 111 may be formed in one side opposite to the open one side.

상기 단열부(120)는 외관을 형성하는 하우징 및 하우징 내부에 충진된 단열소재를 포함할 수 있다. 상기 단열소재는 열전달을 방지할 수 있는 다양한 소재가 사용될 수 있으며, 예를 들어, 세라쿨(Cera cool)이 사용될 수 있다. 또한, 상기 종동축(240)은 상기 단열부(120)를 관통하게 된다. 또한, 복수 개의 제1 송풍팬(220)의 종동축(240)은 각각 상기 단열부(120)를 관통할 수 있다. 상기 단열부(120)는 모터부(210)와 팬부(230) 사이의 열전달이 이루어지는 것을 방지하는 기능을 수행한다.The heat insulating part 120 may include a housing forming an exterior and a heat insulating material filled in the housing. As the insulating material, various materials capable of preventing heat transfer may be used, for example, Cera cool may be used. In addition, the driven shaft 240 passes through the heat insulating part 120 . In addition, the driven shafts 240 of the plurality of first blowing fans 220 may pass through the heat insulating part 120 , respectively. The heat insulating unit 120 functions to prevent heat transfer between the motor unit 210 and the fan unit 230 .

또한, 부호 130은 챔버의 제1 측면(21) 측에 사이드 송풍 유닛(200)을 장착시키기 위한 장착 브라켓을 나타낸다. 상기 연결부의 종동축은 장착 브라켓(130)을 관통한다. 또한, 장착 브라켓(130)에는 단열부(120)가 고정될 수 있다. 또한, 도 11을 통해 설명한 제1 송풍팬(200)의 실시예에서, 모터부(510)는 하나 이상의 연결부재(590)를 통해 장착 브라켓(130)에 고정될 수 있다.In addition, reference numeral 130 denotes a mounting bracket for mounting the side blowing unit 200 to the side of the first side 21 of the chamber. The driven shaft of the connection part passes through the mounting bracket 130 . In addition, the heat insulating part 120 may be fixed to the mounting bracket 130 . In addition, in the embodiment of the first blowing fan 200 described with reference to FIG. 11 , the motor unit 510 may be fixed to the mounting bracket 130 through one or more connecting members 590 .

위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and various modifications, changes, and additions may be made by those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention within the spirit and scope of the present invention, and such modifications, changes and additions shall be deemed to fall within the scope of the following claims.

1: 열충격 테스터
20: 테스트 챔버
30: 주 송풍 유닛
40: 제어부
41: 컨트롤 패널
100: 사이드 송풍 유닛
200: 제1 송풍팬
210: 모터부
230: 팬부
250: 팬
260: 후드
300: 온도 조절 유닛
330: 증발기
400: 히터1: Thermal shock tester
20: test chamber
30: main blowing unit
40: control unit
41: control panel
100: side blowing unit
200: first blowing fan
210: motor unit
230: fan unit
250: fan
260: hood
300: temperature control unit
330: evaporator
400: heater

Claims (4)

테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간, 상기 수용공간을 형성하는 제1 측면 및 제1 측면의 반대방향의 제2 측면을 가지며, 제1 측면을 통해 수용공간으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간을 통과하여 제2 측면을 통해 수용공간 외부로 배출되는 테스트 챔버;
테스트 챔버의 제1 측면 측에서 제2 측면 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬을 포함하는 사이드 송풍 유닛;
냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버의 제2 측면 측에 위치하는 증발기를 포함하는 온도 조절 유닛;
테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛;
챔버의 제1 측면 측에 사이드 송풍 유닛을 장착시키기 위한 장착 브라켓;
수용공간 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서; 및
온도 조절 유닛을 제어하고, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 사이드 송풍 유닛의 복수 개의 제1 송풍팬을 개별 제어하기 위한 제어부를 포함하며,
제2 송풍팬은 제1 송풍팬 보다 높은 출력을 가지고,
사이드 송풍 유닛은, 테스트 챔버의 제1 측면 측에 배치되며, 테스트 챔버의 제1 측면 측으로 개방된 복수 개의 관통홀을 갖는 덕트를 포함하고,
각각의 제1 송풍팬은, 덕트 외부에 배치되고, 덕트 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부, 및 종동축에 장착되며, 덕트 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하며,
제1 송풍팬의 팬부는 종동축에 장착된 팬 및 팬을 둘러싸는 링 형상의 후드를 포함하며,
후드는 관통홀과 소정 간격으로 떨어져 배치되되, 제1 송풍팬의 팬부는 덕트의 관통홀과 동축 상에 배치되고,
팬부가 회전하면, 덕트 내 유동공간의 공기가 관통홀을 통해 수용공간의 제1 측면으로 토출되되, 덕트 내 유동공간의 공기는 인접하는 후드 사이의 공간, 후드 및 관통홀 사이의 공간을 유동하여, 관통홀을 통해 수용공간으로 토출되고,
주 송풍 유닛은 테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛의 덕트 내 유동공간으로 안내하며,
사이드 송풍 유닛은, 제1 송풍팬의 연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함하고,
단열부 및 덕트 사이 공간에 팬부가 배치되며,
복수 개의 제1 송풍팬의 종동축은 각각 상기 단열부를 관통하며,
장착 브라켓에는 상기 단열부가 고정되며, 제1 송풍팬의 종동축은 장착 브라켓을 관통하며,
모터부는 하나 이상의 연결부재를 통해 장착 브라켓에 고정되고,
덕트는 상부면과 하부면이 개방되고, 일 측면이 개방된 직육면체 형상을 가지며, 상기 개방된 일 측면은 단열부와 마주하도록 장착되고, 개방된 일 측면의 반대방향의 일 측면에 관통홀이 형성된, 열충격 테스터.It has a receiving space for accommodating the tester substrate, a first side forming the receiving space, and a second side opposite to the first side, and when air is introduced into the receiving space through the first side, the introduced air is a test chamber that passes through the accommodation space and is discharged to the outside of the accommodation space through the second side;
a side blowing unit including a plurality of first blowing fans arranged to generate an air flow from the first side side to the second side side of the test chamber;
a temperature control unit provided to control a temperature in the test chamber by using a refrigerant circulation cycle and including an evaporator positioned at a second side of the test chamber;
a main blowing unit including one or more second blowing fans provided to flow air that has passed through the second side of the test chamber toward the side blowing unit;
a mounting bracket for mounting the side blowing unit on the first side side of the chamber;
a plurality of temperature sensors respectively arranged to measure temperatures of a plurality of different regions within the accommodation space; and
and a control unit for controlling the temperature control unit and individually controlling the plurality of first blowing fans of the side blowing unit according to the measurement results of the plurality of temperature sensors,
The second blowing fan has a higher output than the first blowing fan,
The side blowing unit is disposed on a first side of the test chamber and includes a duct having a plurality of through-holes open to the first side of the test chamber,
Each of the first blower fans is disposed outside the duct and includes a motor unit having a drive shaft extending toward the duct, a driven shaft spaced apart from the drive shaft by a predetermined distance, a connection portion connected to the drive shaft to transmit the rotation of the drive shaft to the driven shaft, and a fan unit mounted on the driven shaft, located in the duct, and rotating by the rotation of the connection unit to generate an air flow,
The fan unit of the first blowing fan includes a fan mounted on the driven shaft and a ring-shaped hood surrounding the fan,
The hood is disposed apart from the through hole by a predetermined distance, and the fan unit of the first blowing fan is disposed on the same axis as the through hole of the duct,
When the fan unit rotates, the air in the flow space in the duct is discharged to the first side of the receiving space through the through hole, and the air in the flow space in the duct flows through the space between the adjacent hoods and the space between the hood and the through hole. , is discharged into the receiving space through the through hole,
The main blowing unit guides the air passing through the second side of the test chamber to the flow space in the duct of the side blowing unit,
The side blowing unit further includes a heat insulating part provided between the connection part of the first blowing fan and the fan part,
A fan is disposed in the space between the insulation and the duct,
The driven shafts of the plurality of first blowing fans each pass through the heat insulating part,
The heat insulating part is fixed to the mounting bracket, and the driven shaft of the first blowing fan passes through the mounting bracket,
The motor unit is fixed to the mounting bracket through one or more connecting members,
The duct has an open upper surface and a lower surface, and has a rectangular parallelepiped shape with one side open, the open side surface is mounted to face the heat insulating part, and a through hole is formed on one side opposite to the open side surface. , thermal shock tester. 제 1 항에 있어서, 연결부는,
구동축이 고정된 제1 부재;
제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재; 및
제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함하며,
복수 개의 사이드 축은 구동축의 회전중심을 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열된 열충격 테스터.The method of claim 1, wherein the connection portion,
a first member to which the drive shaft is fixed;
a second member spaced apart from the first member and having a driven shaft fixed thereto; and
It includes a plurality of side shafts connecting the first member and the second member,
A thermal shock tester in which a plurality of side shafts are arranged along the circumferential direction of the first member based on the rotational center of the driving shaft. 제 1 항에 있어서,
연결부는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함하는 열충격 테스터.The method of claim 1,
The connection part is a thermal shock tester including a motor pulley (pully) for connecting the drive shaft and the driven shaft. 제 1 항에 있어서, 연결부는,
구동축에 고정된 제1 자석; 및
제1 자석과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축에 고정된 제2 자석을 포함하는 열충격 테스터.The method of claim 1, wherein the connection portion,
a first magnet fixed to the drive shaft; and
A thermal shock tester that is spaced apart from the first magnet and includes a second magnet fixed to a driven shaft.
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