KR20210039361A - heat-shock tester comprising side blower system - Google Patents

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KR20210039361A
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주식회사 제이에스티
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Abstract

The present invention relates to a heat-shock tester. According to one aspect of the present invention, a side blowing unit having a plurality of blowing fans is disposed on one side (first side) of a test chamber, and an evaporator is disposed on the other side (second side) of the test chamber. By individually controlling each blower fan, the temperature of a plurality of regions in a test chamber accommodating space can be individually controlled, and accordingly, the temperature of the entire region in the test chamber accommodating space can be maintained the same.

Description

사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터{heat-shock tester comprising side blower system}Heat-shock tester comprising side blower system

본 발명은 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터('챔버 사이드 블로워 시스템'이라고도 함)에 관한 것으로, 테스트 챔버의 온도를 정밀하게 조절할 수 있는 열충격 테스터에 관한 것이다.The present invention relates to a thermal shock tester (also referred to as a'chamber side blower system') including a side blower system, and to a thermal shock tester capable of precisely controlling the temperature of a test chamber.

일반적으로 번인 테스터(Burn-In Tester)는 패키지된 반도체 소자에 전원을 인가하고 작동시킬 때 반도체 소자의 열 스트레스에 대한 신뢰성을 테스트하는 장치이다. In general, a burn-in tester is a device that tests the reliability of a semiconductor device against thermal stress when power is applied to a packaged semiconductor device and operated.

최근 번인 테스터는 기존 번인 테스트와 함께 반도체 소자의 동작 테스트를 함께 수행하도록 제작된다. Recent burn-in testers are manufactured to perform operation tests of semiconductor devices together with conventional burn-in tests.

번인 테스터는 반도체 소자가 수용되는 보드 챔버 및 테스터 기판이 수용되는 테스트 챔버를 포함한다. 이때, 테스트 챔버는 작동 중에 초저온 상태로 조절되어야 하며, 테스트 챔버 내부의 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 불필요한 열원의 유입 및 외부로의 열배출은 방지되어야 한다.The burn-in tester includes a board chamber accommodating a semiconductor device and a test chamber accommodating a tester substrate. At this time, the test chamber must be controlled to an ultra-low temperature state during operation, and unnecessary heat source inflow and heat dissipation to the outside must be prevented in order to maintain a uniform temperature inside the test chamber.

통상 번인 테스터는, 장치 상부에 마련된 송풍팬을 포함하며, 상기 송풍팬은 테스트 챔버 내 공기 순환을 발생시켜 테스트 챔버 내 온도를 조절하는 기능을 수행하도록 마련된다. 이때, 상기 송풍팬만으로는 테스트 챔버의 수용 공간 내 온도를 일정하고, 균일하게 유지시키기 어려운 문제가 있다. Typically, the burn-in tester includes a blower fan provided on an upper part of the device, and the blower fan is provided to perform a function of adjusting the temperature in the test chamber by generating air circulation in the test chamber. At this time, there is a problem in that it is difficult to maintain a constant and uniform temperature in the accommodation space of the test chamber with only the blowing fan.

본 발명은 테스트 챔버 수용공간 내 복수 개의 영역의 온도를 동일하게 유지시킬 수 있는 열충격 테스터를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a thermal shock tester capable of maintaining the same temperature in a plurality of regions in a test chamber accommodation space.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간, 상기 수용공간을 형성하는 제1 측면 및 제1 측면의 반대방향의 제2 측면을 가지며, 제1 측면을 통해 수용공간으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간을 통과하여 제2 측면을 통해 수용공간 외부로 배출되는 테스트 챔버를 포함하는 열충격 테스터가 제공된다. In order to solve the above problem, according to an aspect of the present invention, the first side has a receiving space for accommodating a tester substrate, a first side forming the receiving space, and a second side opposite to the first side, and the first When air is introduced into the receiving space through the side, there is provided a thermal shock tester including a test chamber in which the introduced air passes through the receiving space and is discharged to the outside of the receiving space through the second side.

또한, 열충격 테스터는, 테스트 챔버의 제1 측면 측에서 제2 측면 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬을 포함하는 사이드 송풍 유닛, 냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버의 제2 측면 측에 위치하는 증발기를 포함하는 온도 조절 유닛, 및 온도 조절 유닛을 제어하고, 사이드 송풍 유닛의 복수 개의 제1 송풍팬을 개별 제어하기 위한 제어부를 포함한다.In addition, the thermal shock tester includes a side blowing unit including a plurality of first blowing fans arranged to generate air flow from the first side of the test chamber to the second side, and the temperature in the test chamber using a refrigerant circulation cycle. It is provided to control, and includes a temperature control unit including an evaporator positioned on the second side of the test chamber, and a control unit for controlling the temperature control unit and individually controlling a plurality of first blowing fans of the side blowing unit. .

또한, 사이드 송풍 유닛은, 테스트 챔버의 제1 측면 측에 배치되고, 테스트 챔버의 제1 측면 측으로 개방된 복수 개의 관통홀을 갖는 덕트를 포함할 수 있다.In addition, the side blowing unit may include a duct disposed on the first side of the test chamber and having a plurality of through holes open to the first side of the test chamber.

또한, 각각의 제1 송풍팬은, 덕트 외부에 배치되고, 덕트 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부 및 종동축에 장착되며, 덕트 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함할 수 있다. In addition, each of the first blower fans is disposed outside the duct and includes a motor unit having a drive shaft extending toward the duct, and a driven shaft spaced apart from the drive shaft at a predetermined interval, and is connected to the drive shaft so as to rotate the drive shaft as a driven shaft It is mounted on the connecting portion provided to transmit and the driven shaft, it is located in the duct, and may include a fan portion for generating air flow while rotating by the rotation of the connecting portion.

또한, 연결부는, 구동축이 고정된 제1 부재, 제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재 및 제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함할 수 있다.In addition, the connection unit may include a first member to which the driving shaft is fixed, a second member that is located apart from the first member at a predetermined interval, and to which the driven shaft is fixed, and a plurality of side shafts connecting the first member and the second member. .

또한, 복수 개의 사이드 축은 구동축의 회전중심을 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열될 수 있다.In addition, the plurality of side shafts may be arranged along the circumferential direction of the first member based on the rotation center of the drive shaft.

또한, 연결부는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함할 수 있다. In addition, the connection unit may include a motor pulley connecting the drive shaft and the driven shaft.

또한, 제 2 항에 있어서, 연결부는 구동축에 고정된 제1 자석 및 제1 자석과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축에 고정된 제2 자석을 포함할 수 있다. In addition, the connection portion may include a first magnet fixed to the drive shaft and a second magnet positioned at a predetermined distance apart from the first magnet and fixed to the driven shaft.

또한, 사이드 송풍 유닛은, 제1 송풍팬의 연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 단열부 및 덕트 사이 공간에 팬부가 배치될 수 있다. In addition, the side blowing unit may further include a heat insulating part provided between the connection part of the first blowing fan and the fan part. In this case, a fan may be disposed in a space between the heat insulating part and the duct.

또한, 복수 개의 제1 송풍팬의 종동축은 각각 상기 단열부를 관통할 수 있다. In addition, the driven shafts of the plurality of first blowing fans may each pass through the heat insulating portion.

또한, 제1 송풍팬의 팬부는 덕트의 관통홀과 동축 상에 배치될 수 있다.In addition, the fan portion of the first blowing fan may be disposed coaxially with the through hole of the duct.

또한, 제1 송풍팬의 팬부는 종동축에 장착된 팬 및 팬을 둘러싸는 링 형상의 후드를 포함할 수 있고, 후드는 관통홀과 소정 간격으로 떨어져 배치될 수 있다. In addition, the fan portion of the first blowing fan may include a fan mounted on the driven shaft and a ring-shaped hood surrounding the fan, and the hood may be disposed apart from the through hole at a predetermined interval.

또한, 열충격 테스터는 테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛을 포함할 수 있다. In addition, the thermal shock tester may include a main blowing unit including at least one second blowing fan provided to flow air that has passed through the second side of the test chamber toward the side blowing unit.

또한, 열충격 테스터는 주 송풍 유닛과 사이드 송풍 유닛 사이에 배치된 히터를 추가로 포함할 수 있다. 상기 히터는 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다.In addition, the thermal shock tester may further include a heater disposed between the main blowing unit and the side blowing unit. The heater may be controlled by the control unit.

또한, 열충격 테스터는 수용공간 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서를 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 복수 개의 제1 송풍팬이 개별적으로 제어되도록 마련될 수 있다.In addition, the thermal shock tester may include a plurality of temperature sensors respectively disposed to measure temperatures of a plurality of different regions in the accommodation space. In this case, a plurality of first blowing fans may be provided to be individually controlled according to measurement results of the plurality of temperature sensors.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터는 다음과 같은 효과를 갖는다.As described above, the thermal shock tester including the side blower system according to an embodiment of the present invention has the following effects.

테스트 챔버의 일 측면(제1 측면)에 복수 개의 송풍팬을 구비하는 사이드 송풍유닛을 배치시키고, 테스트 챔버의 타 측면(제2 측면)에 증발기를 배치시키며, 각각의 송풍팬을 개별 제어함으로써, 테스트 챔버 수용공간 내 복수 개의 영역의 온도를 개별적으로 제어할 수 있고, 이에 따라, 테스트 챔버 수용공간 내 전체 영역의 온도를 동일하게 유지시킬 수 있다.By arranging a side blowing unit having a plurality of blowing fans on one side (first side) of the test chamber, placing an evaporator on the other side (second side) of the test chamber, and individually controlling each blowing fan, Temperatures of a plurality of regions in the test chamber accommodation space can be individually controlled, and accordingly, the temperature of all regions within the test chamber accommodation space can be kept the same.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터를 나타내는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터를 구성하는 사이드 블로워 시스템을 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 사시도이다.
도 5는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 정면도이다.
도 6은 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 평면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 다양한 실시예를 나타내는 개략도들이다. 1 and 2 are views showing a thermal shock tester having a side blower system according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic diagram showing a side blower system constituting a thermal shock tester according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a side blowing unit related to the present invention.
5 is a front view of a side blowing unit according to the present invention.
6 is a plan view of a side blowing unit related to the present invention.
7 to 9 are schematic diagrams showing various embodiments of a side blowing unit related to the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터(이하, '열충격 테스터'라고 함)를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a thermal shock tester having a side blower system according to an embodiment of the present invention (hereinafter, referred to as'thermal shock tester') will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.In addition, regardless of the reference numerals, the same or corresponding components are given the same or similar reference numbers, and redundant descriptions thereof will be omitted, and the size and shape of each component member shown for convenience of explanation are exaggerated or reduced. Can be.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 사이드 블로워 시스템을 갖는 열충격 테스터(1)를 나타내는 도면들이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터를 구성하는 사이드 블로워 시스템을 나타내는 개략도이다.1 and 2 are views showing a thermal shock tester 1 having a side blower system related to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a side blower system constituting a thermal shock tester related to an embodiment of the present invention. It is a schematic diagram.

본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터(1)는 반도체 소자를 고온 또는 저온 상태(열충격)에서 테스트하기 위한 테스터를 의미하며, 예를 들어, 번인(Burn-In) 테스터를 포함할 수 있다.The thermal shock tester 1 related to an embodiment of the present invention refers to a tester for testing a semiconductor device in a high or low temperature state (thermal shock), and may include, for example, a burn-in tester.

본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터(1)는 테스터 기판(도시되지 않음)이 수용되기 위한 테스트 챔버(20)를 포함한다. 또한, 열충격 테스터(1)는 반도체 소자가 수용되는 보드 챔버(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 상기 테스트 챔버(20)는 작동 중에 초저온(예를 들어, 약 -40℃) 상태로 조절되어야 하며, 테스트 챔버(20) 내부의 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 불필요한 열원의 유입 및 외부로의 열배출은 방지되어야 한다. 또한, 테스트 챔버(20) 내 전체 영역에 대하여 온도가 균일하게 유지되어야 한다.The thermal shock tester 1 related to an embodiment of the present invention includes a test chamber 20 for accommodating a tester substrate (not shown). In addition, the thermal shock tester 1 may include a board chamber (not shown) in which a semiconductor device is accommodated. The test chamber 20 must be controlled at a very low temperature (for example, about -40°C) during operation, and in order to maintain a uniform temperature inside the test chamber 20, unnecessary heat sources are introduced and heat is discharged to the outside. Should be prevented. In addition, the temperature must be uniformly maintained over the entire area of the test chamber 20.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20), 사이드 송풍 유닛(100), 온도 조절 유닛(300), 및 제어부(40)를 포함한다. 또한, 열충격 테스터(1)는 주 송풍 유닛(30)을 포함할 수 있고, 열충격 테스터(1)는 주 송풍유닛과 사이드 송풍 유닛 사이에 배치된 히터(400)를 포함할 수 있다. 1 to 4, the thermal shock tester 1 includes a test chamber 20, a side blowing unit 100, a temperature control unit 300, and a control unit 40. In addition, the thermal shock tester 1 may include a main blowing unit 30, and the thermal shock tester 1 may include a heater 400 disposed between the main blowing unit and the side blowing unit.

열충격 테스터(1)는, 테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간(23), 상기 수용공간(23)을 형성하는 제1 측면(21) 및 제1 측면(21)의 반대방향의 제2 측면(22)을 가지며, 제1 측면(21)을 통해 수용공간(23)으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간(23)을 통과하여 제2 측면(22)을 통해 수용공간(23) 외부로 배출되는 테스트 챔버(20)를 포함한다.The thermal shock tester 1 includes a receiving space 23 for accommodating a tester substrate, a first side 21 forming the receiving space 23, and a second side 22 opposite to the first side 21. ), and when air is introduced into the receiving space 23 through the first side 21, the introduced air passes through the receiving space 23 and passes through the second side 22 to the outside of the receiving space 23 It includes a test chamber 20 discharged into the.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 열충격 테스터는 테스터 기판을 이용하여 테스트 보드에 적재된 반도체 소자를 테스트하기 위한 번인 테스터(Burn-In Tester)일 수 있다. 상기 번인 테스터는 반도체 소자를 수용하는 보드 챔버('번인 챔버'라고도 함)와 보드 챔버에 수용된 반도체 소자들에 테스트 신호를 인가한 후 피드백(feedback)되는 결과 신호를 판독하기 위한 테스터 기판이 수용되는 테스트 챔버(20)를 구비한다. 이때, 보드 챔버 내로 테스터 보드가 진입되고, 테스트 챔버(20) 내로 테스터 기판이 진입된다. 또한, 상기 번인 테스터는 보드 챔버에 수용된 테스트 보드를 테스터 기판에 접촉시킴으로써, 테스트 보드의 반도체 소자를 테스터 기판에 전기적으로 연결시키도록 마련된 접촉 장치(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 상기 접촉 장치는, 예를 들어, 본 출원인의 한국등록특허 제10-1676774호에 개시된 접촉 장치로 구성될 수도 있다. 상기 접촉 장치는 파지 플레이트를 통해 테스트 보드를 파지한 상태에서, 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드의 커넥터와 테스터 기판의 커넥터를 연결시키는 기능을 수행한다.As described above, the thermal shock tester according to an embodiment of the present invention may be a burn-in tester for testing semiconductor devices loaded on a test board using a tester substrate. The burn-in tester includes a board chamber (also referred to as a'burn-in chamber') accommodating a semiconductor device and a tester board for reading a result signal fed back after applying a test signal to the semiconductor devices accommodated in the board chamber. A test chamber 20 is provided. At this time, the tester board enters into the board chamber, and the tester board enters into the test chamber 20. In addition, the burn-in tester may include a contact device (not shown) provided to electrically connect semiconductor elements of the test board to the tester substrate by contacting the test board accommodated in the board chamber with the tester substrate. The contact device may be configured as, for example, a contact device disclosed in Korean Patent No. 10-1676774 of the present applicant. The contact device performs a function of connecting the connector of the test board and the connector of the test board by moving the test board while holding the test board through the gripping plate.

*도 4는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛(100)의 사시도이고, 도 5는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 정면도이며, 도 6은 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 평면도이다. * Fig. 4 is a perspective view of a side blowing unit 100 related to the present invention, Fig. 5 is a front view of a side blowing unit related to the present invention, and Fig. 6 is a plan view of a side blowing unit related to the present invention.

또한, 도 7 내지 도 9는 본 발명과 관련된 사이드 송풍 유닛의 다양한 실시예를 나타내는 개략도들이다. In addition, FIGS. 7 to 9 are schematic diagrams showing various embodiments of a side blowing unit related to the present invention.

열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측에서 제2 측면(22) 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬(200)을 포함하는 사이드 송풍 유닛(100)을 포함한다.The thermal shock tester 1 is a side blowing unit including a plurality of first blowing fans 200 arranged to generate air flow from the first side 21 side of the test chamber 20 to the second side 22 side. Includes 100.

또한, 열충격 테스터(1)는 냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버(20) 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22) 측에 위치하는 증발기(330)를 포함하는 온도 조절 유닛(300)을 포함한다.In addition, the thermal shock tester 1 is provided to adjust the temperature in the test chamber 20 using a refrigerant circulation cycle, and includes an evaporator 330 located on the second side 22 side of the test chamber 20. Includes a temperature control unit (300).

상기 온도조절유닛(300)는 예를 들어, -60℃ 내지 +150℃의 제어온도 대역을 가질 수 있다. 온도조절유닛(300)은 냉매를 압축하기 위한 압축기, 압축기를 통과한 냉매가 유입되는 응축기, 및 응축기와 증발기(330)의 유입단 사이에 위치하는 전자팽창밸브를 포함하는 냉각부를 구비할 수 있다. The temperature control unit 300 may have, for example, a control temperature range of -60°C to +150°C. The temperature control unit 300 may include a compressor for compressing a refrigerant, a condenser through which the refrigerant passed through the compressor is introduced, and a cooling unit including an electronic expansion valve positioned between the inlet end of the condenser and the evaporator 330. .

또한, 온도 조절 유닛(300)는 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)에 배치된 증발기(330)를 통해, 증발기(330)에서 차가운 냉매를 팽창시킴에 따라, 사이드 송풍 유닛(200)에 의해 증발기(330)를 통과하는 공기를 냉각하여 챔버(20) 내 온도를 하강시키거나, 챔버(20) 내 열 부하에 대응하여 온도를 제어할 수 있다.In addition, as the temperature control unit 300 expands the cold refrigerant in the evaporator 330 through the evaporator 330 disposed on the second side 22 of the test chamber 20, the side blowing unit 200 By cooling the air passing through the evaporator 330, the temperature in the chamber 20 may be lowered, or the temperature may be controlled in response to the heat load in the chamber 20.

또한, 열충격 테스터(1)는 온도 조절 유닛(300)을 제어하고, 사이드 송풍 유닛(100)의 복수 개의 제1 송풍팬(200)을 개별 제어하기 위한 제어부(40)를 포함한다. In addition, the thermal shock tester 1 includes a control unit 40 for controlling the temperature control unit 300 and individually controlling the plurality of first blowing fans 200 of the side blowing unit 100.

또한, 열충격 테스터(1)는 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛(30)을 포함한다. 이때, 제2 송풍팬은 제1 송풍팬 보다 높은 출력을 가질 수 있다. In addition, the thermal shock tester 1 includes a main blowing unit 30 including one or more second blowing fans provided to flow the air that has passed through the second side 22 of the test chamber 20 toward the side blowing unit 100. ). In this case, the second blowing fan may have a higher output than the first blowing fan.

또한, 열충격 테스터(1)는 주 송풍 유닛(30)과 사이드 송풍 유닛(100) 사이에 배치된 히터(400)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 히터(400)가 작동하면, 주 송풍 유닛(30)에 의해 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 유동하는 공기가 히터(400)를 통과하는 과정에서 가열된다. 한편, 부호 31은 증발기(330)를 통과하여 수용공간(23) 외부로 배출된 공기를 사이드 송풍 유닛(100) 측으로 안내하기 위한 유동 가이드를 나타낸다.In addition, the thermal shock tester 1 may further include a heater 400 disposed between the main blowing unit 30 and the side blowing unit 100. At this time, when the heater 400 is operated, air flowing toward the side blowing unit 100 by the main blowing unit 30 is heated while passing through the heater 400. Meanwhile, reference numeral 31 denotes a flow guide for guiding the air discharged to the outside of the accommodation space 23 through the evaporator 330 to the side blowing unit 100 side.

또한, 제어부(40)는 열충격 테스터(1)의 상태정보를 표시하고, 각각의 유닛(공기 조절 유닛, 사이드 송풍 유닛, 주 송풍 유닛, 히터 등)을 제어할 수 있도록 마련되며, 상태정보를 모니터링할 수 있는 제어패널을 포함할 수 있다.In addition, the control unit 40 is provided to display status information of the thermal shock tester 1 and control each unit (air conditioning unit, side blowing unit, main blowing unit, heater, etc.), and monitoring status information. It may include a control panel capable of.

도 4 및 도 5를 참조하면, 사이드 송풍 유닛(100)에서, 상기 복수 개의 제1 송풍팬(200)은 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 소정 간격 떨어져 배열될 수 있다. 또한, 복수 개의 제1 송풍팬(200)은 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 연속하여 배열될 수도 있고, 인접하는 2개의 제1 송풍팬(200)은 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향을 따라 소정 간격으로 떨어져 배열될 수도 있다. 또한, 사이드 송풍 유닛(100)은 적어도 2개의 제1 송풍팬(200)이 제1 측면(21)의 폭 방향 및 높이 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 서로 다른 위치에 마련된다. 4 and 5, in the side blowing unit 100, the plurality of first blowing fans 200 are spaced at predetermined intervals along the width direction and the height direction of the first side 21 of the test chamber 20. Can be arranged off. In addition, the plurality of first blowing fans 200 may be arranged in succession along the width and height directions of the first side 21, and the adjacent two first blowing fans 200 are provided with the first side 21 ) May be arranged at predetermined intervals along the width direction and the height direction. In addition, in the side blowing unit 100, at least two first blowing fans 200 are provided at different positions along at least one of a width direction and a height direction of the first side 21.

또한, 열충격 테스터(1)는, 수용공간(23) 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서를 포함할 수 있다. 이때, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 복수 개의 제1 송풍팬(200)이 개별적으로 제어되도록 마련된다. 상기 제1 송풍팬(200)의 회전속도 조절은 제어부(40)에 의해 개별적으로 조절될 수 있다. 예를 들어, 제어부(40)에는 챔버(20) 내 온도(또는 온도 분포)에 기초한 제1 송풍팬(200)의 회전속도가 조견표 형식으로 메모리에 미리 저장되어 있을 수 있고, 제어부(40)는 챔버 내 수용공간의 각각의 영역에 따른 온도에 따라 해당 영역에 대응(해당 영역으로 공기를 토출)하는 제1 송풍팬(200)의 회전속도를 조절할 수 있다. 제1 송풍팬(200)의 회전속도는 제어부(30)에 의해 자동적으로 조절될 수고 있고, 사용자에 의해 직접 조절될 수도 있다. 이때, 사용자는 제어패널(41)을 통해 사이드 송풍 유닛의 제1 송풍팬(200)의 온/오프 및 회전속도 등을 제어할 수 있다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 BLDC 모터를 포함할 수 있다. 예를 들어, BLDC 모터의 입력신호에 따라, 제1 송풍팬(200)의 풍량 또는 풍속을 제어할 수 있다. 또한, 챔버(20) 내의 온도를 저온에서 고온까지 약 10℃씩 범위로 설정하고, 그 온도에 해당하는 온도 균일도를 유지하는데, 제1 송풍팬(200) 각각의 모터 속도가 개별적으로 제어될 수 있다.In addition, the thermal shock tester 1 may include a plurality of temperature sensors respectively disposed to measure temperatures of a plurality of different regions in the accommodation space 23. In this case, the plurality of first blowing fans 200 are provided to be individually controlled according to the measurement results of the plurality of temperature sensors. The rotational speed adjustment of the first blowing fan 200 may be individually adjusted by the control unit 40. For example, in the control unit 40, the rotational speed of the first blowing fan 200 based on the temperature (or temperature distribution) in the chamber 20 may be previously stored in a memory in the form of a reference table, and the control unit 40 The rotation speed of the first blowing fan 200 corresponding to the corresponding region (discharging air to the corresponding region) may be adjusted according to the temperature according to each region of the accommodation space in the chamber. The rotational speed of the first blowing fan 200 may be automatically adjusted by the control unit 30 or may be directly adjusted by a user. In this case, the user can control the on/off and rotation speed of the first blowing fan 200 of the side blowing unit through the control panel 41. In addition, the first blowing fan 200 may include a BLDC motor. For example, according to the input signal of the BLDC motor, the air volume or wind speed of the first blowing fan 200 may be controlled. In addition, the temperature in the chamber 20 is set in a range of about 10°C from low to high temperature, and temperature uniformity corresponding to the temperature is maintained, and the motor speed of each of the first blowing fans 200 can be individually controlled. have.

또한, 사이드 송풍 유닛(100)은, 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측으로 개방된 복수 개의 관통홀(111)을 갖는 덕트(100)를 포함한다.In addition, the side blowing unit 100 includes a duct 100 having a plurality of through holes 111 open toward the first side 21 of the test chamber 20.

상기 덕트(100)는 테스트 챔버의 제1 측면(21) 측에 배치되며, 제1 측면(21) 측에서 제2 측면(22) 측으로 공기가 유동할 수 있도록, 제1 측면(21) 측으로 개방된 복수 개의 관통홀(111)을 갖는다. The duct 100 is disposed on the first side 21 side of the test chamber, and is opened toward the first side 21 so that air can flow from the first side 21 side to the second side side 22 side. It has a plurality of through-holes (111).

도 7 및 도 8을 참조하면, 각각의 제1 송풍팬(200)은, 모터부(210), 연결부(220 또는 270) 및 팬부(230)를 포함한다.Referring to FIGS. 7 and 8, each of the first blowing fans 200 includes a motor unit 210, a connection unit 220 or 270, and a fan unit 230.

도 7를 참조하면, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 외부에 배치되고, 덕트(110) 측으로 연장된 구동축(211)을 갖는 모터부(210)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 구동축(211)과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축(240)을 포함하며, 구동축(211)과 연결되어 구동축(211)의 회전을 종동축(240)으로 전달하도록 마련된 연결부(220)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 내에 위치하고, 연결부(200)의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부(230)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the first blowing fan 200 is disposed outside the duct 110 and includes a motor unit 210 having a drive shaft 211 extending toward the duct 110. In addition, the first blowing fan 200 includes a driven shaft 240 located at a predetermined distance from the drive shaft 211, and is connected to the drive shaft 211 to transmit the rotation of the drive shaft 211 to the driven shaft 240. It includes a connecting portion 220 provided to be. In addition, the first blowing fan 200 may include a fan unit 230 for generating air flow while being located in the duct 110 and rotating by the rotation of the connection unit 200.

이때, 제1 송풍팬(200)의 팬부(230)는 덕트(110)의 관통홀(111)과 동축 상에 배치될 수 있다. 상기 팬부(230)가 회전하면, 덕트(110) 내 유동공간(112)의 공기가 관통홀(111)을 통해 수용공간(23)의 제1 측면(21) 측으로 토출된다.In this case, the fan part 230 of the first blowing fan 200 may be disposed coaxially with the through hole 111 of the duct 110. When the fan unit 230 rotates, air in the flow space 112 in the duct 110 is discharged to the first side 21 of the receiving space 23 through the through hole 111.

또한, 제1 송풍팬(200)의 팬부(230)는 종동축(240)에 장착된 팬(250) 및 팬(250)을 둘러싸는 링 형상의 후드(260)를 포함할 수 있다. 이때, 후드(260)는 관통홀(111)과 소정 간격으로 떨어져 배치될 수 있다. 즉, 덕트(110) 내 유동공간(112)의 공기는 인접하는 후드(260) 사이의 공간, 후드(260)와 관통홀(111) 사이의 공간을 유동하여, 관통홀(111)을 통해 수용공간으로 토출된다. 전술한 주 송풍유닛(30)은 테스트 챔버(20)의 제2 측면(22)을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛(100)의 덕트(110) 내 유동공간(112)으로 안내하는 기능을 수행한다.In addition, the fan unit 230 of the first blowing fan 200 may include a fan 250 mounted on the driven shaft 240 and a ring-shaped hood 260 surrounding the fan 250. In this case, the hood 260 may be disposed apart from the through hole 111 at a predetermined interval. That is, the air in the flow space 112 in the duct 110 flows through the space between the adjacent hood 260 and the space between the hood 260 and the through hole 111 and is received through the through hole 111 It is discharged into space. The above-described main blowing unit 30 performs a function of guiding the air that has passed through the second side 22 of the test chamber 20 to the flow space 112 in the duct 110 of the side blowing unit 100. .

도 7을 참조하면, 연결부(200)는, 제1 부재(221), 제2 부재(222) 및 사이드 축(223)을 포함하며, 구체적으로, 상기 연결부(220)는 구동축(211)이 고정된 제1 부재(221), 제1 부재(221)와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축(240)이 고정된 제2 부재(222) 및 제1 부재(221)와 제2 부재(222)를 연결하는 복수 개의 사이드 축(223)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the connection part 200 includes a first member 221, a second member 222, and a side shaft 223, and specifically, the connection part 220 has a drive shaft 211 fixed thereto. The second member 222 and the first member 221 and the second member 222 are located apart from the first member 221 and the first member 221 at a predetermined interval, and the driven shaft 240 is fixed. It may include a plurality of side shafts 223 to connect.

또한, 복수 개의 사이드 축(223)은 구동축(211)의 회전중심을 기준으로 제1 부재(221)의 둘레방향을 따라 배열될 수 있다. In addition, the plurality of side shafts 223 may be arranged along the circumferential direction of the first member 221 with respect to the rotation center of the drive shaft 211.

상기 제1 송풍팬(200)은 테스트 챔버(20)의 제1 측면(21) 측에 배치되며, 상기 모터부(210)는 덕트(111) 외부에 배치되고, 팬부(230)는 덕트(111) 내부에 위치한다. 상기 모터부(210)는 팬부(230)에 회전력을 전달하고, 상기 팬부(230)는 복수 개의 블레이드를 구비한 팬(250)을 포함하며, 블레이드들의 회전에 따라 공기 유동을 발생시킨다.The first blowing fan 200 is disposed on the first side 21 side of the test chamber 20, the motor unit 210 is disposed outside the duct 111, and the fan unit 230 is a duct 111 ) Located inside. The motor unit 210 transmits rotational force to the fan unit 230, and the fan unit 230 includes a fan 250 having a plurality of blades, and generates air flow according to the rotation of the blades.

이때, 모터(210)에 전원이 공급되면, 구동축(211)이 회전하게 되고, 상기 구동축(211)의 회전에 따라 연결부(220)가 회전하게 되면, 연결부(220)의 회전에 따라 연결부(220)에 고정된 종동축(240)이 회전하게 되며, 그 결과 팬(250)의 회전이 이루어진다.At this time, when power is supplied to the motor 210, the drive shaft 211 rotates, and when the connection part 220 rotates according to the rotation of the drive shaft 211, the connection part 220 is rotated according to the rotation of the connection part 220. ) Is fixed to the driven shaft 240 is rotated, as a result of which the fan 250 is rotated.

특히, 구동축(211)과 종동축(240)은 직접 맞물려 연결되는 구조가 아니라, 연결부(220)를 통해 간접적으로 연결되는 구조를 갖는다. 구체적으로, 구동축(211)과 종동축(240)은 절단되어 있으며, 구동축(211)과 종동축(240)은 연결부(220)를 통해 최소한의 커플링(coupling)으로 연결된다. In particular, the drive shaft 211 and the driven shaft 240 are not directly engaged and connected, but have a structure indirectly connected through the connection unit 220. Specifically, the drive shaft 211 and the driven shaft 240 are cut, and the drive shaft 211 and the driven shaft 240 are connected by a minimum coupling through the connection part 220.

도 7을 참조하면, 상기 연결부(200)에서, 상기 제1 부재(221)와 제2 부재(222)는 원형 플레이트일 수 있다. 제1 부재(221)의 중심에는 구동축(211)이 고정된다. 따라서, 제1 부재(221)는 구동축(211)과 함께 회전된다. 또한, 제2 부재(222)의 중심에는 종동축(240)이 고정된다. 따라서, 제2 부재(222)는 종동축(240)과 함께 회전된다. 또한, 제1 부재(221)와 제2 부재(222)는 소정 간격으로 떨어진 상태로 평행하게 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7, in the connection part 200, the first member 221 and the second member 222 may be circular plates. The driving shaft 211 is fixed to the center of the first member 221. Accordingly, the first member 221 is rotated together with the drive shaft 211. In addition, the driven shaft 240 is fixed to the center of the second member 222. Accordingly, the second member 222 is rotated together with the driven shaft 240. In addition, the first member 221 and the second member 222 may be disposed in parallel with each other at a predetermined interval.

복수 개의 사이드 축(223)은, 구동축(211)의 회전중심(제1 부재의 중심)으로 기준으로 제1 부재(221)의 둘레방향을 따라 소정 간격으로 떨어져 배열될 수 있다. 또한, 사이드 축(223)은 구동축(211) 및 종동축(240)의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다. 또한, 상기 종동축(240), 및 연결부(220)를 금속 재질로 형성될 수 있고, 예를 들어, SUS 계열로 형성될 수 있다.The plurality of side shafts 223 may be arranged at predetermined intervals along the circumferential direction of the first member 221 with respect to the rotation center of the drive shaft 211 (the center of the first member). In addition, the side shaft 223 may have a diameter smaller than that of the drive shaft 211 and the driven shaft 240. In addition, the driven shaft 240 and the connection part 220 may be formed of a metal material, for example, may be formed of a SUS series.

작동 중인 모터부(210)에서 발생한 열은 구동축(211)에서 직접 종동축(240)으로 전달되지 않고, 구동축(211)에 연결부(220)로 전달된다.Heat generated by the motor unit 210 in operation is not transferred directly from the drive shaft 211 to the driven shaft 240, but is transferred to the drive shaft 211 to the connection unit 220.

이때, 연결부(220)는 구동축(211)과 함께 회전되며, 연결부(220) 회전 시, 복수 개의 사이드축(223)이 의 블레이드와 같은 기능을 수행하며, 구동축(211)으로부터 전달된 열을 외부로 발산시키는 기능을 수행한다. 따라서, 구동축(211)에서 발생하는 열이 직접 종동축(240)으로 전달되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 연결부(220)에서 열을 외부로 발산시킬 수도 있다.At this time, the connection part 220 is rotated together with the drive shaft 211, and when the connection part 220 is rotated, the plurality of side shafts 223 perform the same function as the blades of, and the heat transferred from the drive shaft 211 is externally It performs the function of radiating to. Accordingly, it is possible to prevent heat generated from the drive shaft 211 from being directly transferred to the driven shaft 240, and the connection unit 220 may dissipate heat to the outside.

도 8을 참조하면, 연결부(270)는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함할 수 있다. 상기 모터 풀리는 구동축 및 종동축과 각각 연결되어 있어서, 동력을 전달시킬 수 있고, 구동축과 종동축의 직각도가 맞지 않는 경우에도 살짝 휘어져서 회전이 가능한 구조를 갖는다.Referring to FIG. 8, the connection part 270 may include a motor pulley that connects the drive shaft and the driven shaft. The motor pulley is connected to the drive shaft and the driven shaft, respectively, so that power can be transmitted, and even when the perpendicularity of the drive shaft and the driven shaft does not match, the motor pulley has a structure capable of being slightly bent and rotating.

도 9는 제1 송풍팬(200)의 또 다른 실시예를 나타내며, 도 4 및 도 9를 참조하면, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 외부에 배치되고, 덕트(110) 측으로 연장된 구동축(511)을 갖는 모터부(210)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 구동축(511)과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축(540)을 포함하는 연결부를 포함한다. 또한, 상기 연결부는 구동축(511) 및 종동축(540)에 각각 연결되어, 구동축(211)의 회전을 종동축(540)으로 전달하도록 마련된다. 상기 연결부는 구동축(511)에 고정된 제1 자석(570) 및 제1 자석(570)과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축(540)에 고정된 제2 자석(580)을 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)은 덕트(110) 내에 위치하고, 종동축(540)에 고정되며, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부(530)를 포함한다. 또한, 제1 송풍팬(200)의 팬부(530)는 종동축(540)에 장착된 팬(550) 및 팬(250)을 둘러싸는 링 형상의 후드(560)를 포함할 수 있다. 상기 모터부(510)가 구동되면, 제1 자석(570)이 회전함에 따라 회전 자기장을 발생시킬 수 있고, 상기 회전 자기장에 의해 제2 자석(580) 및 종동축(540)이 회전하게 된다.9 shows another embodiment of the first blowing fan 200, and referring to FIGS. 4 and 9, the first blowing fan 200 is disposed outside the duct 110 and extends toward the duct 110 It includes a motor unit 210 having a drive shaft 511 is. In addition, the first blowing fan 200 includes a connecting portion including a driving shaft 511 and a driven shaft 540 located at a predetermined interval. In addition, the connection portion is connected to the drive shaft 511 and the driven shaft 540, respectively, is provided to transmit the rotation of the drive shaft 211 to the driven shaft 540. The connection portion includes a first magnet 570 fixed to the drive shaft 511 and a second magnet 580 positioned at a predetermined distance from the first magnet 570 and fixed to the driven shaft 540. In addition, the first blowing fan 200 is located in the duct 110, is fixed to the driven shaft 540, and includes a fan unit 530 for generating air flow while rotating by the rotation of the connection unit. In addition, the fan portion 530 of the first blowing fan 200 may include a fan 550 mounted on the driven shaft 540 and a ring-shaped hood 560 surrounding the fan 250. When the motor unit 510 is driven, a rotating magnetic field may be generated as the first magnet 570 rotates, and the second magnet 580 and the driven shaft 540 rotate by the rotating magnetic field.

한편, 사이드 송풍 유닛(100)은, 제1 송풍팬(200)의 연결부(220 또는 270)와 팬부(230) 사이에 마련된 단열부(120)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 단열부(120) 및 덕트(110) 사이 공간(112)에 팬부(230)가 배치된다. 덕트는 직육면체 형상에서 상부면 및 하부면이 개방되고, 일 측면이 개방된 형상을 가질 수 있다. 이때, 개방된 일 측면은 단열부와 마주하도록 장착되고, 개방된 일 측면의 반대방향의 일 측면에 관통홀(111)이 형성될 수 있다. Meanwhile, the side blowing unit 100 may further include a heat insulating part 120 provided between the connection part 220 or 270 of the first blowing fan 200 and the fan part 230. At this time, the fan unit 230 is disposed in the space 112 between the heat insulation unit 120 and the duct 110. The duct may have a shape in which upper and lower surfaces are open and one side is open in a rectangular parallelepiped shape. At this time, the open side may be mounted to face the heat insulating portion, and a through hole 111 may be formed on one side opposite to the open side.

상기 단열부(120)는 외관을 형성하는 하우징 및 하우징 내부에 충진된 단열소재를 포함할 수 있다. 상기 단열소재는 열전달을 방지할 수 있는 다양한 소재가 사용될 수 있으며, 예를 들어, 세라쿨(Cera cool)이 사용될 수 있다. 또한, 상기 종동축(240)은 상기 단열부(120)를 관통하게 된다. 또한, 복수 개의 제1 송풍팬(220)의 종동축(240)은 각각 상기 단열부(120)를 관통할 수 있다. 상기 단열부(120)는 모터부(210)와 팬부(230) 사이의 열전달이 이루어지는 것을 방지하는 기능을 수행한다.The heat insulating part 120 may include a housing forming an exterior and an insulating material filled in the housing. Various materials capable of preventing heat transfer may be used as the insulating material, and for example, Cera cool may be used. In addition, the driven shaft 240 passes through the heat insulating part 120. In addition, the driven shafts 240 of the plurality of first blowing fans 220 may each pass through the heat insulating part 120. The heat insulation unit 120 functions to prevent heat transfer between the motor unit 210 and the fan unit 230.

또한, 부호 130은 챔버의 제1 측면(21) 측에 사이드 송풍 유닛(200)을 장착시키기 위한 장착 브라켓을 나타낸다. 상기 연결부의 종동축은 장착 브라켓(130)을 관통한다. 또한, 장착 브라켓(130)에는 단열부(120)가 고정될 수 있다. 또한, 도 11을 통해 설명한 제1 송풍팬(200)의 실시예에서, 모터부(510)는 하나 이상의 연결부재(590)를 통해 장착 브라켓(130)에 고정될 수 있다.Further, reference numeral 130 denotes a mounting bracket for mounting the side blowing unit 200 on the side of the first side 21 of the chamber. The driven shaft of the connection part passes through the mounting bracket 130. In addition, the heat insulating part 120 may be fixed to the mounting bracket 130. In addition, in the embodiment of the first blowing fan 200 described with reference to FIG. 11, the motor unit 510 may be fixed to the mounting bracket 130 through one or more connecting members 590.

위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and those skilled in the art who have ordinary knowledge of the present invention will be able to make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention. And additions will be seen as falling within the scope of the following claims.

1: 열충격 테스터
20: 테스트 챔버
30: 주 송풍 유닛
40: 제어부
41: 컨트롤 패널
100: 사이드 송풍 유닛
200: 제1 송풍팬
210: 모터부
230: 팬부
250: 팬
260: 후드
300: 온도 조절 유닛
330: 증발기
400: 히터1: thermal shock tester
20: test chamber
30: main blowing unit
40: control unit
41: control panel
100: side blowing unit
200: first blowing fan
210: motor unit
230: fan unit
250: fan
260: hood
300: temperature control unit
330: evaporator
400: heater

Claims (4)

테스터 기판을 수용하기 위한 수용공간, 상기 수용공간을 형성하는 제1 측면 및 제1 측면의 반대방향의 제2 측면을 가지며, 제1 측면을 통해 수용공간으로 공기가 유입될 때, 유입된 공기가 수용공간을 통과하여 제2 측면을 통해 수용공간 외부로 배출되는 테스트 챔버;
테스트 챔버의 제1 측면 측에서 제2 측면 측으로 공기 유동을 발생시키도록 배치된 복수 개의 제1 송풍팬을 포함하는 사이드 송풍 유닛;
냉매 순환 사이클을 이용하여 테스트 챔버 내의 온도를 조절하도록 마련되고, 테스트 챔버의 제2 측면 측에 위치하는 증발기를 포함하는 온도 조절 유닛;
테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛 측으로 유동시키도록 마련된 하나 이상의 제2 송풍팬을 포함하는 주 송풍 유닛;
챔버의 제1 측면 측에 사이드 송풍 유닛을 장착시키기 위한 장착 브라켓;
수용공간 내의 서로 다른 복수 개 영역의 온도를 측정하도록 각각 배치된 복수 개의 온도 센서; 및
온도 조절 유닛을 제어하고, 복수 개의 온도 센서의 측정 결과에 따라 사이드 송풍 유닛의 복수 개의 제1 송풍팬을 개별 제어하기 위한 제어부를 포함하며,
제2 송풍팬은 제1 송풍팬 보다 높은 출력을 가지고,
사이드 송풍 유닛은, 테스트 챔버의 제1 측면 측에 배치되며, 테스트 챔버의 제1 측면 측으로 개방된 복수 개의 관통홀을 갖는 덕트를 포함하고,
각각의 제1 송풍팬은, 덕트 외부에 배치되고, 덕트 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부, 및 종동축에 장착되며, 덕트 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하며,
제1 송풍팬의 팬부는 종동축에 장착된 팬 및 팬을 둘러싸는 링 형상의 후드를 포함하며,
후드는 관통홀과 소정 간격으로 떨어져 배치되되, 제1 송풍팬의 팬부는 덕트의 관통홀과 동축 상에 배치되고,
팬부가 회전하면, 덕트 내 유동공간의 공기가 관통홀을 통해 수용공간의 제1 측면으로 토출되되, 덕트 내 유동공간의 공기는 인접하는 후드 사이의 공간, 후드 및 관통홀 사이의 공간을 유동하여, 관통홀을 통해 수용공간으로 토출되고,
주 송풍 유닛은 테스트 챔버의 제2 측면을 통과한 공기를 사이드 송풍 유닛의 덕트 내 유동공간으로 안내하며,
사이드 송풍 유닛은, 제1 송풍팬의 연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함하고,
단열부 및 덕트 사이 공간에 팬부가 배치되며,
복수 개의 제1 송풍팬의 종동축은 각각 상기 단열부를 관통하며,
장착 브라켓에는 상기 단열부가 고정되며, 제1 송풍팬의 종동축은 장착 브라켓을 관통하며,
모터부는 하나 이상의 연결부재를 통해 장착 브라켓에 고정되고,
덕트는 상부면과 하부면이 개방되고, 일 측면이 개방된 직육면체 형상을 가지며, 상기 개방된 일 측면은 단열부와 마주하도록 장착되고, 개방된 일 측면의 반대방향의 일 측면에 관통홀이 형성된, 열충격 테스터.It has a receiving space for accommodating a tester substrate, a first side forming the receiving space, and a second side opposite to the first side, and when air is introduced into the receiving space through the first side, the introduced air is A test chamber that passes through the accommodation space and is discharged to the outside of the accommodation space through a second side surface;
A side blowing unit including a plurality of first blowing fans arranged to generate air flow from the first side of the test chamber to the second side of the test chamber;
A temperature control unit including an evaporator disposed on a second side of the test chamber and provided to control a temperature in the test chamber using a refrigerant circulation cycle;
A main blowing unit including at least one second blowing fan provided to flow the air passing through the second side of the test chamber toward the side blowing unit;
A mounting bracket for mounting the side blowing unit on the first side of the chamber;
A plurality of temperature sensors respectively disposed to measure temperatures of a plurality of different areas in the accommodation space; And
And a control unit for controlling the temperature control unit and individually controlling the plurality of first blowing fans of the side blowing unit according to measurement results of the plurality of temperature sensors,
The second blowing fan has a higher output than the first blowing fan,
The side blowing unit is disposed on the first side side of the test chamber, and includes a duct having a plurality of through holes open to the first side side of the test chamber,
Each of the first blowing fans is disposed outside the duct and has a drive shaft extending toward the duct, a driven shaft spaced apart from the drive shaft at a predetermined distance, and a connection part connected to the drive shaft to transmit rotation of the drive shaft to the driven shaft, And a fan part mounted on the driven shaft, located in the duct, and rotating by the rotation of the connection part to generate air flow,
The fan portion of the first blowing fan includes a fan mounted on the driven shaft and a ring-shaped hood surrounding the fan,
The hood is disposed apart from the through hole at a predetermined interval, and the fan portion of the first blowing fan is disposed coaxial with the through hole of the duct,
When the fan rotates, air in the flow space in the duct is discharged to the first side of the receiving space through the through hole, but the air in the flow space in the duct flows through the space between the adjacent hood and the space between the hood and the through hole. , Discharged into the receiving space through a through hole,
The main blowing unit guides the air that has passed through the second side of the test chamber to the flow space in the duct of the side blowing unit,
The side blowing unit further includes a heat insulating part provided between the connection part of the first blowing fan and the fan part,
A fan part is placed in the space between the insulation part and the duct,
Each driven shaft of the plurality of first blowing fans passes through the heat insulating portion,
The heat insulation part is fixed to the mounting bracket, and the driven shaft of the first blowing fan penetrates the mounting bracket,
The motor part is fixed to the mounting bracket through one or more connecting members,
The duct has a rectangular parallelepiped shape with an upper and lower surface open and one side open, and the open side is mounted so as to face the thermal insulation part, and a through hole is formed on one side opposite to the open side. , Thermal shock tester. 제 1 항에 있어서, 연결부는,
구동축이 고정된 제1 부재;
제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재; 및
제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함하며,
복수 개의 사이드 축은 구동축의 회전중심을 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열된 열충격 테스터.The method of claim 1, wherein the connection portion,
A first member to which the drive shaft is fixed;
A second member positioned apart from the first member at a predetermined interval and having a fixed driven shaft; And
It includes a plurality of side shafts connecting the first member and the second member,
The plurality of side shafts are thermal shock testers arranged along the circumferential direction of the first member based on the rotation center of the drive shaft. 제 1 항에 있어서,
연결부는 구동축 및 종동축을 연결하는 모터 풀리(pully)를 포함하는 열충격 테스터.The method of claim 1,
Thermal shock tester including a motor pulley (pully) connecting the connecting portion to the drive shaft and the driven shaft. 제 1 항에 있어서, 연결부는,
구동축에 고정된 제1 자석; 및
제1 자석과 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축에 고정된 제2 자석을 포함하는 열충격 테스터.The method of claim 1, wherein the connection portion,
A first magnet fixed to the drive shaft; And
A thermal shock tester comprising a second magnet positioned at a predetermined distance from the first magnet and fixed to the driven shaft.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080097688A (en) * 2007-05-03 2008-11-06 삼성전자주식회사 Apparatus for testing a semiconductor package and method of testing a semiconductor package using the same
KR20090011101A (en) * 2007-07-25 2009-02-02 이정일 Blower for air conditioning
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Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080097688A (en) * 2007-05-03 2008-11-06 삼성전자주식회사 Apparatus for testing a semiconductor package and method of testing a semiconductor package using the same
KR20090011101A (en) * 2007-07-25 2009-02-02 이정일 Blower for air conditioning
KR101774364B1 (en) * 2016-06-02 2017-09-04 주식회사 네오셈 Multiple Individual Blowing Test Chamber
KR101827650B1 (en) * 2016-10-18 2018-02-08 주식회사 제이에스티 Blower and Burn-In Tester comprising the same

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