KR102259282B1 - Logistics storage system and mothod of controlling the same - Google Patents
Logistics storage system and mothod of controlling the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR102259282B1 KR102259282B1 KR1020190086960A KR20190086960A KR102259282B1 KR 102259282 B1 KR102259282 B1 KR 102259282B1 KR 1020190086960 A KR1020190086960 A KR 1020190086960A KR 20190086960 A KR20190086960 A KR 20190086960A KR 102259282 B1 KR102259282 B1 KR 102259282B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- chamber
- power supply
- sensors
- concentration
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Robotics (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
본 발명에 따른 물류 저장 시스템, 대상물을 수납하는 다수의 선반들과, 상기 선반들에 상기 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇과, 상기 로봇을 구동시키기 위한 전원을 제공하는 전원부와, 상기 선반들 및 상기 로봇의 구비된 챔버 내부에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는지를 감지하기 위한 센서들 및 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 전원부의 상기 전원 공급을 차단 및 허용하도록 상기 전원부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. A logistics storage system according to the present invention, a plurality of shelves for accommodating objects, a robot for loading the objects on the shelves or unloading the objects from the shelves, and a power supply for driving the robot The power supply unit is provided to be spaced apart from each other in the chamber provided with the shelves and the robot, and sensors for detecting whether an operator exists in the chamber and the power supply unit are cut off according to the detection result of the sensors And it may include a control unit for controlling the power supply to allow.
Description
본 발명은 물류 저장 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트나 웨이퍼와 같은 대상물을 저장하기 위한 물류 저장 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a material storage system and a control method thereof, and more particularly, to a material storage system for storing an object such as a cassette or a wafer, and a control method thereof.
반도체 장치 제조 공정에서 웨이퍼들이나, 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트들과 같은 대상물은 스토커(Stocker)와 같은 물류 저장 시스템에 보관될 수 있다. 상기 물류 저장 시스템은 챔버 내부에 상기 대상물을 수납하기 위한 복수의 선반들과 상기 대상물을 이송하기 위한 로봇이 배치될 수 있다. In a semiconductor device manufacturing process, objects such as wafers or cassettes in which the wafers are accommodated may be stored in a logistics storage system such as a stocker. In the material storage system, a plurality of shelves for accommodating the object and a robot for transporting the object may be disposed in the chamber.
상기 로봇의 동작에 의해 작업자가 다치는 것을 방지하기 위해 상기 챔버에 도어락을 구비하며 상기 작업자의 출입을 제한할 수 있다. In order to prevent the operator from being injured by the operation of the robot, a door lock may be provided in the chamber and the access of the operator may be restricted.
그러나, 상기 도어락은 단순히 상기 작업자의 출입자의 출입을 제한하므로, 상기 작업자의 안전을 제한적으로 보장할 수 있다. However, since the door lock simply restricts the entry and exit of the worker, the safety of the worker can be limitedly guaranteed.
또한, 상기 도어락에 의해 상기 챔버 내부가 차단되므로, 상기 챔버 내부 내부에 작업자의 유무를 상기 챔버의 외부에서 확인하기 어렵다. 따라서, 상기 챔버 내부에서 작업자의 안전에 이상이 발생하는 경우 대응하기 어렵다. In addition, since the inside of the chamber is blocked by the door lock, it is difficult to check the presence or absence of an operator inside the chamber from the outside of the chamber. Therefore, it is difficult to respond when an abnormality occurs in the safety of the operator inside the chamber.
본 발명은 챔버 내부에 작업자가 존재하는 경우 작업자의 안전을 확보할 수 있는 물류 저장 시스템을 제공한다. The present invention provides a logistics storage system that can ensure the safety of the operator when the operator is present inside the chamber.
본 발명은 챔버 내부에 작업자가 존재하는 경우 작업자의 안전을 확보할 수 있는 물류 저장 시스템 제어 방법을 제공한다.The present invention provides a logistics storage system control method that can ensure the safety of the operator when the operator is present inside the chamber.
본 발명에 따른 물류 저장 시스템, 대상물을 수납하는 다수의 선반들과, 상기 선반들에 상기 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇과, 상기 로봇을 구동시키기 위한 전원을 제공하는 전원부와, 상기 선반들 및 상기 로봇의 구비된 챔버 내부에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는지를 감지하기 위한 센서들 및 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 전원부의 상기 전원 공급을 차단 및 허용하도록 상기 전원부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. A logistics storage system according to the present invention, a plurality of shelves for accommodating objects, a robot for loading the objects on the shelves or unloading the objects from the shelves, and a power supply for driving the robot The power supply unit is provided to be spaced apart from each other in the chamber provided with the shelves and the robot, and sensors for detecting whether an operator exists in the chamber and the power supply unit are cut off according to the detection result of the sensors And it may include a control unit for controlling the power supply to allow.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들은 상기 작업자가 배출하는 이산화탄소의 농도를 감지할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the sensors may detect the concentration of carbon dioxide emitted by the worker.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들은 상기 이산화탄소의 농도 감지를 위해 상기 챔버 내부의 바닥면에 위치할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the sensors may be located on the bottom surface of the inside of the chamber to detect the concentration of the carbon dioxide.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들 중 적어도 하나의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 증가하거나 상기 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 높은 경우, 상기 제어부는 상기 전원부의 상기 전원 공급을 차단할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when the detection result of at least one of the sensors is that the concentration of carbon dioxide increases or the concentration of carbon dioxide is higher than a preset reference value, the control unit cuts off the power supply of the power supply unit. can
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들 전체의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 감소하고 상기 이산화탄소의 농도가 상기 기준치보다 낮은 경우, 상기 제어부는 상기 전원부의 전원 공급을 허용할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when the concentration of the carbon dioxide decreases and the concentration of the carbon dioxide is lower than the reference value as a result of the detection of all the sensors, the controller may allow the power supply of the power supply.
본 발명에 따른 물류 저장 시스템 제어 방법은, 대상물을 수납하는 다수의 선반들 및 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하기 위한 로봇이 구비된 챔버 내부에서 센서들로 상기 챔버 내부의 이산화탄소 농도를 검출하는 단계와, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는지를 판단하는 단계 및 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단하는 경우, 상기 로봇을 구동시키기 위한 전원 공급을 차단하는 단계를 포함할 수 있다. The method for controlling a logistics storage system according to the present invention comprises the steps of detecting a carbon dioxide concentration in the chamber with sensors in a chamber provided with a plurality of shelves for accommodating an object and a robot for loading and unloading the object; , determining whether an operator exists in the chamber according to the detection result of the sensors, and when it is determined that there is an operator in the chamber, cutting off power supply for driving the robot. .
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들 중 적어도 하나의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 증가하거나 상기 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 높은 경우, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단할 수 있다. According to embodiments of the present invention, when the detection result of at least one of the sensors indicates that the concentration of carbon dioxide increases or the concentration of carbon dioxide is higher than a preset reference value, it is determined that an operator exists in the chamber. can
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 물류 저장 시스템 제어 방법은, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단하는 경우, 상기 전원 공급을 허용하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method for controlling the logistics storage system may further include allowing the power supply when it is determined that there is no operator in the chamber.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들 전체의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 감소하고 상기 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 낮은 경우, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when the detection result of all the sensors shows that the concentration of carbon dioxide is reduced and the concentration of carbon dioxide is lower than a preset reference value, it can be determined that there is no operator in the chamber. have.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들은 상기 챔버 내부의 바닥면에서 상기 이산화탄소의 농도를 감지할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the sensors may detect the concentration of the carbon dioxide on the bottom surface inside the chamber.
본 발명의 상기 물류 저장 시스템 및 그 제어 방법에 따르면, 상기 센서들이 작업자가 배출한 이산화탄소를 감지하므로, 상기 챔버 내부에 작업자의 존재 여부를 용이하게 확인할 수 있다. According to the logistics storage system and the control method of the present invention, since the sensors detect the carbon dioxide emitted by the operator, it is possible to easily check whether the operator is present in the chamber.
또한, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는 경우, 상기 로봇을 구동시키기 위한 전원 공급을 자동으로 차단하므로, 상기 로봇으로 인한 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다. 따라서, 상기 물류 저장 시스템의 유지 보수시 작업자가 안전하게 작업할 수 있다. In addition, when an operator exists in the chamber, the power supply for driving the robot is automatically cut off, so that a safety accident of the operator due to the robot can be prevented. Accordingly, the operator can safely work during the maintenance of the logistics storage system.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 저장 시스템을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 물류 저장 시스템을 제어하기 위한 물류 저장 시스템 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a schematic plan view for explaining a logistics storage system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a flow chart for explaining a logistics storage system control method for controlling the logistics storage system shown in FIG.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of the presence or addition.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 저장 시스템을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 1 is a schematic plan view for explaining a logistics storage system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 상기 물류 저장 시스템(100)은 웨이퍼들이나, 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트들과 같은 대상물(10)을 보관할 수 있다. 상기 물류 저장 시스템(100)은 챔버(110), 선반들(120), 로봇(130), 전원부(140), 센서들(150) 및 제어부(160)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the
상기 챔버(110)는 상기 대상물(10)을 보관하기 위한 작업이 수행되는 공간이다. 상기 챔버(110)의 내부에는 팬필터 유닛(미도시)에 의해 하강 기류가 형성된다. 따라서, 상기 대상물(10)로 이물질이 제공되는 것을 방지할 수 있다. The
상기 챔버(110)의 내부 공기는 상기 하강 기류를 통해 상기 챔버(110)의 외부로 배출될 수 있다. 상기 챔버(110)의 내부 공기가 외부로 배출된 만큼 상기 챔버(110)로 새로운 공기가 공급된다. 상기 새로운 공기는 필터 등과 같은 이산화탄소 제거 수단을 통해 이산화탄소가 제거된 상태로 공급될 수 있다. Air inside the
이와 달리, 상기 챔버(110)의 내부 공기는 순환 라인을 통해 순환될 수 있다. 상기 순환 라인에는 필터 등과 같은 이산화탄소 제거 수단이 구비될 수 있다. 상기 순환되는 공기에 포함된 이산화탄소가 상기 이산화탄소 제거 수단에 의해 제거되므로, 상기 이산화탄소가 상기 챔버(110)의 내부로 재 공급되는 것을 방지할 수 있다. Alternatively, the air inside the
따라서, 작업자가 배출하는 것을 제외하면, 상기 챔버(110)의 내부로 이산화탄소가 공급되는 것이 방지될 수 있다. Accordingly, the carbon dioxide may be prevented from being supplied to the inside of the
상기 챔버(110)에는 도어(미도시)가 구비되고, 상기 도어를 통해 작업자가 상기 챔버(110)의 내부로 출입할 수 있다. A door (not shown) is provided in the
상기 선반들(120)은 상기 대상물(10)을 적재한다. 상기 선반들(120)은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. The
일 예로, 도시된 바와 같이 상기 선반들(120)은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 선반들(110)은 1열로 배치될 수도 있다. For example, as shown, the
상기 대상물(10)이 상기 웨이퍼들인 경우, 상기 각 선반들(120)에는 상기 대상물(10)을 적재하기 위한 슬롯들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 슬롯들은 상기 각 선반들(130)에서 상기 제1 수평 방향의 양측에 각각 배치된다. 상기 대상물(10)은 상기 슬롯(132)에 의해 양단이 지지되며, 상기 각 선반들(130)에 상기 수직 방향으로 적재된다. When the
상기 로봇(130)은 2열로 배열된 선반들(120) 사이에 구비될 수 있다. 선반들(120)이 1열로 구비되는 경우, 상기 로봇(130)의 상기 선반들(120)의 전방에 배치될 수 있다. The
상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)의 수납을 위하여 상기 제1 수평 방향 및 상기 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만 상기 로봇(130)은 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 가이드 레일들과 수직 방향으로 연장되는 가이드 레일들에 의해 안내될 수 있다. 또한, 상기 로봇(130)은 상기 제1 수평 방향으로 상기 로봇(130)을 이동시키기 위한 수평 구동부, 수직 방향으로 상기 로봇(130)을 이동시키기 위한 수직 구동부 및 상기 로봇(130)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다The
또한, 상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)의 수납을 위한 로봇암(132)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(132)은 상기 선반들(120)을 향하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 로봇암(132)은 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 로봇(130)은 상기 로봇암(132)을 구동하기 위한 제2 수평 구동부를 구비할 수 있다.In addition, the
일 예로서, 상기 제1 및 제2 수평 구동부들, 상기 수직 구동부 및 상기 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the first and second horizontal driving units, the vertical driving unit, and the rotation driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys, respectively.
따라서, 상기 로봇(130)은 상기 선반들(120)에 상기 대상물(10)을 로드하거나 상기 선반들(120)로부터 상기 대상물(10)을 언로드할 수 있다. Accordingly, the
한편, 상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다. On the other hand, the
또한, 도시되지는 않았지만, 상기 챔버(110)에는 상기 대상물(10)이 로딩 및 언로딩되기 위한 로드 포트가 더 구비될 수도 있다. Also, although not shown, a load port for loading and unloading the
상기 전원부(140)는 상기 로봇(130)과 연결되며, 상기 로봇(130)이 구동하기 위한 전원을 제공한다. The
상기 센서들(150)은 상기 챔버(110)의 내부에 서로 이격되도록 구비될 수 있다. 상기 센서들(150)은 상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하는지를 감지할 수 있다. The
상기 센서들(150)은 개별적으로 상기 작업자가 배출하는 이산화탄소를 감지할 수 있다. 즉, 상기 센서들(150)은 이산화탄소를 감지하고, 상기 이산화탄소의 농도를 측정하는 이산화탄소 센서일 수 있다. The
상기 센서들(150)은 상기 챔버(110)의 내측 하부, 예를 들면, 바닥면에 구비될 수 있다. 상기 작업자로부터 배출된 이산화탄소는 상기 하강 기류 또는 이산화탄소 자체의 무게로 인해 상기 챔버의 하부에 존재할 수 있다. 따라서, 상기 센서들(150)이 상기 이산화탄소의 농도를 정확하게 감지할 수 있다. The
상기 센서들(150)은 상기 챔버(110)의 내측 하부에 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 가이드 레일들을 따라 상기 가이드 레일들의 양측에 각각 배치될 수 있다. 따라서, 상기 센서들(150)이 상기 이산화탄소의 농도를 보다 정확하게 감지할 수 있다. The
상기 제어부(160)는 상기 전원부(140) 및 상기 센서들(150) 전부와 연결되며, 상기 센서들(150)의 감지 결과에 따라 상기 전원부(140)의 상기 전원 공급을 차단 및 허용하도록 상기 전원부(140)를 제어할 수 있다. The
상기 작업자는 호흡을 통해 이산화탄소를 지속적으로 배출하므로, 상기 센서들(150) 중 어느 하나의 감지 결과에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 증가하면, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단할 수 있다. Since the operator continuously discharges carbon dioxide through respiration, when the concentration of carbon dioxide in the
또한, 상기 챔버(110) 내부의 공기가 순환을 위해 배출되더라도 작업자가 지속적으로 이산화탄소를 배출하므로, 상기 센서들(150) 중 어느 하나의 감지 결과에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 높은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단할 수 있다. 이때, 상기 기준치는 한 사람의 작업자가 평균적으로 배출하는 이산화탄소의 농도보다는 크게 작으면서 0보다 크거나, 0일 수 있다. In addition, since the operator continuously discharges carbon dioxide even when the air inside the
작업자가 상기 챔버(110)의 내부에 존재하지 않으면, 상기 챔버(110)의 내부로 이산화탄소가 공급되지 않으므로, 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 감소할 수 있다. 또한, 상기 챔버(110) 내부의 공기가 순환을 위해 배출되면 상기 챔버(110) 내부의 이산화탄소 농도가 급격하게 감소하거나 상기 기준치보다 낮을 수 있다. 따라서, 상기 센서들(150) 전체에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 감소하면서 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 낮은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단할 수 있다. If the operator does not exist inside the
상기 제어부(160)는 상기 센서들(150)에서 측정된 이산화탄소의 농도를 이용하여 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는지 여부를 용이하고 정확하게 확인할 수 있다. The
상기 센서들(150) 중 적어도 하나의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 증가하거나 상기 이산화탄소의 농도가 상기 기준치보다 높은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단하고 상기 전원부(140)가 상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 차단할 수 있다. When the detection result of at least one of the
상기 전원부(140)가 상기 전원 공급을 차단한 상태이면, 상기 제어부(140)는 상기 전원 공급을 차단한 상태를 유지할 수 있다. When the
상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 차단되므로, 상기 로봇(140)으로 인한 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다. Since the supply of the power to the
상기 센서들(150) 전체의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 감소하면서 상기 이산화탄소의 농도가 상기 기준치보다 낮은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단하고 상기 전원부(140)가 상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 허용할 수 있다. When the detection result of all the
상기 전원부(140)가 상기 전원 공급을 허용한 상태이면, 상기 제어부(140)는 상기 전원 공급을 허용한 상태를 유지할 수 있다. When the
상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하는 경우, 상기 제어부(160)가 상기 로봇(130)으로의 상기 전원 공급을 자동으로 차단하므로, 상기 물류 저장 시스템(100)의 유지 보수시 작업자가 안전하게 작업할 수 있다. When an operator exists in the
도 2는 도 1에 도시된 물류 저장 시스템을 제어하기 위한 물류 저장 시스템 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다. Figure 2 is a flow chart for explaining a logistics storage system control method for controlling the logistics storage system shown in Figure 1;
도 2를 참조하면, 물류 저장 시스템 제어 방법은 다음과 같다. Referring to Figure 2, the logistics storage system control method is as follows.
먼저, 대상물(10)을 수납하는 다수의 선반들(120) 및 상기 대상물(10)을 로딩 및 언로딩하기 위한 로봇(130)이 구비된 챔버(110) 내부에서 센서들(150)로 상기 챔버(110) 내부의 이산화탄소 농도를 검출한다.(S110)First, a plurality of
상기 센서들(150)은 상기 챔버(110)의 내측 하부, 예를 들면, 바닥면에 구비되어 이산화탄소의 농도를 감지할 수 있다. 상기 작업자로부터 배출된 이산화탄소는 상기 하강 기류 또는 이산화탄소 자체의 무게로 인해 상기 챔버(110)의 하부에 존재할 수 있다. 따라서, 상기 센서들(150)이 상기 이산화탄소의 농도를 정확하게 감지할 수 있다. The
상기 챔버(110)의 내부에서 작업자가 이동할 수 있으므로, 상기 센서들(150)은 상기 챔버(110)의 내부에 서로 이격되도록 배치되며 개별적으로 이산화탄소의 농도를 측정할 수 있다. Since the operator can move inside the
다음으로, 상기 센서들(150)의 감지 결과에 따라 상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하는지를 판단한다.(S120)Next, it is determined whether an operator exists in the
상기 작업자는 호흡을 통해 이산화탄소를 지속적으로 배출하므로, 상기 센서들(150) 중 어느 하나의 감지 결과에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 증가하면, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단할 수 있다. Since the operator continuously discharges carbon dioxide through respiration, when the concentration of carbon dioxide in the
또한, 상기 챔버(110) 내부의 공기가 순환을 위해 배출되더라도 작업자가 지속적으로 이산화탄소를 배출하므로, 상기 센서들(150) 중 어느 하나의 감지 결과에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 높은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단할 수 있다. 이때, 상기 기준치는 한 사람의 작업자가 평균적으로 배출하는 이산화탄소의 농도보다는 크게 작으면서 0보다 크거나, 0일 수 있다. In addition, since the operator continuously discharges carbon dioxide even when the air inside the
작업자가 상기 챔버(110)의 내부에 존재하지 않으면, 상기 챔버(110)의 내부로 이산화탄소가 공급되지 않으므로, 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 감소할 수 있다. 또한, 상기 챔버(110) 내부의 공기가 순환을 위해 배출되면 상기 챔버(110) 내부의 이산화탄소 농도가 급격하게 감소하거나 상기 기준치보다 낮을 수 있다. 상기 챔버(110) 내부의 이산화탄소 농도가 0 일 수도 있다. If the operator does not exist inside the
따라서, 상기 센서들(150) 전체에서 상기 챔버(110)의 내부에서 이산화탄소의 농도가 점차 감소하면서 이산화탄소의 농도가 기 설정된 기준치보다 낮은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단할 수 있다. Accordingly, when the concentration of carbon dioxide is lower than a preset reference value while the concentration of carbon dioxide in the
상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단하는 경우, 상기 로봇(130)을 구동시키기 위한 전원 공급을 차단한다. (S130)When it is determined that an operator exists in the
구체적으로, 상기 센서들(150) 중 적어도 하나의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 증가하거나 상기 이산화탄소의 농도가 상기 기준치보다 높은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하는 것으로 판단한다. 따라서, 상기 제어부(160)의 제어에 따라 상기 전원부(140)가 상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 차단할 수 있다. Specifically, when the detection result of at least one of the
상기 전원부(140)가 상기 전원 공급을 차단한 상태이면, 상기 전원 공급을 차단한 상태를 유지할 수 있다. When the
상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 차단하므로, 상기 로봇(140)으로 인한 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다. Since the supply of the power to the
상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단하는 경우, 상기 로봇(130)을 구동시키기 위한 상기 전원 공급을 허용할 수 있다.(S140)When it is determined that there is no operator in the
구체적으로, 상기 센서들(150) 전체의 감지 결과가 상기 이산화탄소의 농도가 감소하면서 상기 이산화탄소의 농도가 상기 기준치보다 낮은 경우, 상기 제어부(160)는 상기 챔버(110)의 내부에 작업자가 존재하지 않는 것으로 판단한다. 따라서, 상기 제어부(160)의 제어에 따라 상기 전원부(140)가 상기 로봇(130)으로 상기 전원을 공급하는 것을 허용할 수 있다. Specifically, when the detection result of the
상기 전원부(140)가 상기 전원 공급을 허용한 상태이면, 상기 제어부(140)는 상기 전원 공급을 허용한 상태를 유지할 수 있다. When the
상기 물류 저장 시스템 제어 방법에 따르면, 상기 챔버(110) 내부에 작업자가 존재하면 상기 로봇(130)으로의 상기 전원 공급을 자동으로 차단하므로, 상기 챔버(110)에서 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다. According to the logistics storage system control method, if a worker exists inside the
상술한 바와 같이, 본 발명의 상기 물류 저장 시스템 및 그 제어 방법에 따르면, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는 경우 상기 로봇을 구동시키기 위한 전원 공급을 자동으로 차단하므로, 상기 로봇으로 인한 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다. As described above, according to the logistics storage system and the control method of the present invention, when a worker is present in the chamber, the power supply for driving the robot is automatically cut off, so the safety accident of the worker due to the robot can prevent
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.
100 : 물류 저장 시스템 110 : 챔버
120 : 선반 130 : 로봇
140 : 전원부 150 : 센서
160 : 제어부 10 : 대상물100: logistics storage system 110: chamber
120: shelf 130: robot
140: power supply 150: sensor
160: control unit 10: object
Claims (10)
상기 선반들에 상기 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇;
상기 로봇을 구동시키기 위한 전원을 제공하는 전원부;
상기 선반들 및 상기 로봇의 구비된 챔버 내부에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 챔버 내부에 작업자가 존재하는지를 감지하기 위한 센서들; 및
상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 전원부의 전원 공급을 차단 및 허용하도록 상기 전원부를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 센서들은 상기 작업자가 배출하는 이산화탄소의 농도를 감지하고,
상기 챔버의 내부로 공급되는 공기는 이산화탄소 제거 수단을 통해 상기 이산화탄소가 제거된 상태로 공급되는 것을 특징으로 하는 물류 저장 시스템.a plurality of shelves for accommodating objects;
a robot for loading the object on the shelves or unloading the object from the shelves;
a power supply unit providing power for driving the robot;
sensors provided to be spaced apart from each other in the chamber provided with the shelves and the robot, and for detecting whether an operator is present in the chamber; and
A control unit for controlling the power unit to cut off and allow the power supply to the power unit according to the detection result of the sensors,
The sensors detect the concentration of carbon dioxide emitted by the operator,
The air supplied to the interior of the chamber is a material storage system, characterized in that the carbon dioxide is supplied in a state in which the carbon dioxide is removed through a carbon dioxide removal means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190086960A KR102259282B1 (en) | 2019-07-18 | 2019-07-18 | Logistics storage system and mothod of controlling the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190086960A KR102259282B1 (en) | 2019-07-18 | 2019-07-18 | Logistics storage system and mothod of controlling the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210009856A KR20210009856A (en) | 2021-01-27 |
KR102259282B1 true KR102259282B1 (en) | 2021-06-01 |
Family
ID=74238625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190086960A KR102259282B1 (en) | 2019-07-18 | 2019-07-18 | Logistics storage system and mothod of controlling the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102259282B1 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101215962B1 (en) | 2012-07-30 | 2012-12-27 | 이프로링크텍(주) | Buffer storage box for equipment front end module |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060131407A (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Stocker system and method of driving thereof |
JP2013206962A (en) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Tokyo Electron Ltd | Maintenance system and substrate processing device |
US9881826B2 (en) * | 2014-10-24 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Buffer station with single exit-flow direction |
-
2019
- 2019-07-18 KR KR1020190086960A patent/KR102259282B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101215962B1 (en) | 2012-07-30 | 2012-12-27 | 이프로링크텍(주) | Buffer storage box for equipment front end module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210009856A (en) | 2021-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109671643B (en) | Substrate processing system, apparatus and method with factory interface environmental control | |
US7694817B2 (en) | Container for storing substrate having ventilated lid and fan | |
JP7037049B2 (en) | EFEM | |
TWI614193B (en) | Article storage facility and article storage method | |
US10239101B2 (en) | Purge device and method of diffusing gas including purge gas | |
US20230207367A1 (en) | Wafer stocker | |
KR20080086838A (en) | Substrate carrying device, substrate carrying method, and storage medium | |
US20120093620A1 (en) | Stocker | |
KR102259282B1 (en) | Logistics storage system and mothod of controlling the same | |
KR19980080191A (en) | Cassette Carry-In / Out Device and Semiconductor Manufacturing Equipment | |
KR20020069113A (en) | Article storage system | |
KR102150670B1 (en) | Stocker | |
KR102316934B1 (en) | Logistics storage system and method of controlling the same | |
JP3964662B2 (en) | How to remove the board | |
KR20170010344A (en) | In-line type heat treatment apparatus | |
JP2023129564A (en) | automatic warehouse system | |
KR20210063715A (en) | System and method of monitoring temperature of logistics storage device | |
US4834649A (en) | Random access oven | |
KR102166345B1 (en) | Stocker | |
KR20190115583A (en) | substrate processing apparatus | |
US11946141B2 (en) | Automated conveyance of articles in chemical vapor processing | |
JP7201076B2 (en) | Stocker system | |
US20230102035A1 (en) | Substrate Processing Apparatus, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Non-transitory Computer-readable Recording Medium | |
JPH04215454A (en) | Attitude controller for wafer cassette | |
KR101415265B1 (en) | Cassette stocker and substrate processing apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |