KR102254822B1 - 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은, 3차원 이미징 장치의 관찰 대상인 시편을 박편화하는 울트라 마이크로톰에 있어서, 상기 시편이 고정되는 시편대 및 상기 시편대의 이동을 조절하는 이동 조절 수단을 구비한 시편 수용부; 상기 시편을 절삭하는 블레이드가 일단에 구비된 나이프 및 상기 나이프를 고정하는 나이프 홀더를 포함하는 절삭부; 상기 블레이드가 상기 시편을 절삭하는 모션이 이루어지도록 구동 에너지를 생성하는 동력 생성부; 및 상기 구동 에너지를 상기 절삭부에 전달하는 동력 전달부;를 포함하고, 상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부는 와이어로 연결되고, 상기 와이어에 의해 상기 구동 에너지가 상기 절삭부에 전달된다.

Description

3차원 이미징용 울트라 마이크로톰{ULTRA MICROTOME FOR IMAGING 3D}

본 발명은 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰에 관한 것으로서 보다 상세하게는 시편의 3차원 이미지 생성을 위해 시편을 박편화하는 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰에 관한 것이다.

바이오 시편의 3차원 이미지 구성을 위한 기술적 수요가 더욱 증대되고 있고, 전자 현미경을 이용한 3차원 이미지 구성하는 기술은 시편을 초박 절편으로 절삭하고 절삭면을 스캐닝하는 작업을 반복함으로써 시편의 3차원 이미징을 얻는다. 이에 시편을 나노미터 단위로 박편화할 수 있는 울트라 마이크로톰이 필요하다.

3차원 이미징을 위한 울트라 마이크로톰은 절삭면 제작의 품질을 높이기 위해 블레이드의 정확한 절삭 모션을 구현할 수 있는 구동계를 필요하고, 연속 블록면 주사 전자 현미경(SBF-SEM)과 같은 3차원 이미징 장치의 제물대로서 3차원 이미징 장치와 연계될 수 있도록 하는 사이즈의 제한을 가진다.

본 발명은 시편의 3차원 이미징을 위해 시편을 박편화하는 울트라 마이크로톰으로서 3차원 이미징 장치에 마련된 좁은 공간에 삽입될 수 있도록 콤팩트한 구조를 가지면서 동시에 저 진동의 절삭 모션이 하나의 자유도로 구현되는 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰을 제공한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은, 3차원 이미징 장치의 관찰 대상인 시편을 박편화하는 울트라 마이크로톰에 있어서, 상기 시편이 고정되는 시편대 및 상기 시편대의 이동을 조절하는 이동 조절 수단을 구비한 시편 수용부; 상기 시편을 절삭하는 블레이드가 일단에 구비된 나이프 및 상기 나이프를 고정하는 나이프 홀더를 포함하는 절삭부; 상기 블레이드가 상기 시편을 절삭하는 모션이 이루어지도록 구동 에너지를 생성하는 동력 생성부; 및 상기 구동 에너지를 상기 절삭부에 전달하는 동력 전달부;를 포함하고, 상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부는 와이어로 연결되고, 상기 와이어에 의해 상기 구동 에너지가 상기 절삭부에 전달된다.

또한, 상기 시편 수용부, 사이 동력 생성부 및 상기 동력 전달부가 놓이는 베이스를 더 포함하고, 상기 마이크로톰은 상기 베이스에 구비된 연결 수단을 통해 상기 3차원 이미징 장치 내에 구비된 수용 공간에 수용된다.

또한, 상기 블레이드의 상기 시편으로의 접근 상태를 관찰하는 적어도 하나의 카메라를 포함하는 관찰부를 더 포함한다.

또한, 상기 관찰부는, 상기 시편을 제1 방향으로 관찰하는 제1 카메라 및

상기 제1 방향에 대해 일정한 각도를 갖는 제2 방향으로 상기 시편을 관찰하는 제2 카메라를 포함한다.

또한, 상기 동력 전달부는, 상기 절삭부가 고정되는 지지 수단 및 일단은 고정단이고 타단은 상기 지지 수단과 연결되는 자유단으로 형성되고 상기 자유단의 회전이 단일한 자유도를 갖는 판 스프링을 포함하고, 상기 판 스프링의 자유단의 회전 변형에 의해 상기 블레이드의 절삭 모션이 이루어진다.

또한, 상기 판 스프링의 자유단은 상기 와이어의 일단과 연결되고, 상기 동력 생성부가 상기 와이어의 타단을 권취하여 상기 자유단의 회전 변형을 일으킨다.

또한, 상기 동력 생성부는, 회전 동력을 제공하는 모터 및 상기 와이어가 감긴 샤프트에 상기 모터의 회전 동력을 전달하는 기어를 포함한다.

또한, 상기 시편 수용부, 상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부가 배치되는 베이스를 더 포함하고, 상기 동력 생성부와 상기 베이스 사이에 적어도 하나 이상의 댐퍼가 구비된다.

본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은 시편을 박편화하는 칼날에 동력을 전달하는 구성들이 콤팩트하게 설계됨으로써 기존의 3차원 이미징 장치에 마련된 수용 공간에 삽입되고 상기 장치의 제물대로서 상기 장치와 수월하게 연계될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은, 칼날이 하나의 자유도로 동작함으로써 여러 번의 절삭 모션에서 지정된 일 궤적을 그리게 되고, 칼날에 동력을 전달하는 구성들이 진동을 줄이도록 설계됨으로써 시편을 평탄하게 절삭할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은 칼날과 시편 사이의 접근을 관찰할 수 있는 구성을 가짐으로써 3차원 이미징 장치에 상기 마이크로톰이 수용된 후 시편의 절삭 작업이 바로 이루어질 수 있다.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰 의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 상면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트로 마이크로톰의 판 스프링을 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰이 3차원 이미징 장치에 마련된 수용 공간에 수용되는 장면의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰이 3차원 이미징 장치에 마련된 수용 공간에 수용되는 장면의 정면도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 절삭 모션 전의 상태를 도시한다.
도 6b는 도 6a의 시편을 도시한다.
도 7a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 절삭 모션 중의 상태를 도시한다.
도 7b는 도 7a의 시편을 도시한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

본 명세서 사용되는 용어들은 본 발명의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.

아울러, 아래에 개시된 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시 예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.

그리고 아래에 개시된 실시 예에서의 “제1”, “제2”, “일면”, “타면” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로서, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있는 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 사시도 및 상면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은 시편 수용부(100), 절삭부(200), 동력 생성부(300), 동력 전달부(400), 및 와이어(700)를 포함하고, 3차원 이미징 장치의 관찰 대상인 시편을 나노 미터 단위의 두께로 박편화한다. 이때, 상기 마이크로톰이 시편을 초박 절편으로 절삭하고 3차원 이미징 장치는 절삭면을 스캐닝하는 과정을 반복함으로써 시편의 3차원 이미지를 생성한다. 여기서, 상기 마이크로톰은 3차원 이미징 장치의 제물대로서 3차원 이미징 장치와 연계되고 3차원 이미징 대상인 시편의 절삭면을 순차적으로 제공한다.

일 실시 예에서, 시편 수용부(100)는 시편(10)을 고정하는 시편대(110) 및 시편대(110)의 이동을 조절하는 이동 조절 수단(120)을 구비한다.

이동 조절 수단(120)은 시편이 3차원, 즉, x, y, z 축 방향으로 이동하도록 시편대의 이동을 조절한다. 상기 마이크로톰이 시편을 첫 번째 절삭면을 형성하고, 다음 번의 절삭면을 형성하기 위해 시편은 나노 미터 단위의 높이, 즉, 3차원 이미징을 위해 요구되는 절삭 두께만큼 z축 방향으로 이동하여야 한다. 이를 위해 이동 조절 수단(120)은 시편대를 미소 이동할 수 있게 하는 자동화 장치를 구비한다. 예를 들어, 자동화 장치는 압전 방식으로 운영되는 피에조 타입의 액츄에이터일 수 있다.

도시된 실시 예에서, 이동 조절 수단(120)은 시편(10) 및 시편대(110)를 x축 및 y축 방향으로 이동시키기 위한 이동 조절 나사(121, 122)를 포함한다. 시편(10)이 후술할 블레이드(211)과 맞닿을 수 있도록, 즉, 블레이드의 절삭을 위한 이동 궤적 상에 시편이 존재할 수 있도록 이동 조절 나사(121, 122)의 수동 조작을 통해 시편대(110)는 x축 및 y축 방향으로 이동한다.

절삭부(200)는 시편을 절삭하는 블레이드(211)가 일단에 구비된 나이프(210) 및 나이프(210)를 고정하는 나이프 홀더(220)를 포함한다. 블레이드(211)는 다이아몬드 재질일 수 있다. 절삭부(200)는, 후술할 동력 전달부(400)에 포함되는 지지 수단(430)에 탈착 가능하게 고정되고, 상기 지지 수단(430)의 이동을 따라 공중에서 이동한다.

동력 생성부(300)는 블레이드가 시편을 절삭하는 모션이 이루어지도록 구동에너지를 생성한다. 일 실시 예에서, 동력 생성부(300)는 회전력을 제공하는 모터(310) 및 모터의 회전력을 전달하는 기어 박스(320)를 포함한다. 상기 기어 박스(320) 내의 기어는 윔휠 및 웜이 서로 맞물려 짝을 이루는 웜 기어일 수 있다. 모터(310)의 회전력은, 웜 기어를 통해 후술할 와이어(700)가 감긴 샤프트에 전달되고, 결국 와이어(700)를 감거나 풀리게 한다.

동력 전달부(400)는 동력 생성부(300)에서 생성된 구동 에너지를 절삭부(200)에 전달한다. 동력 전달부(400)는 절삭부(200)가 고정되는 지지 수단(430), 판 스프링(410) 및 고정 수단(420)을 포함한다.

지지 수단(430)은 절삭부(200)와 결합되는 구성이며, 나이프 홀더(220)가 안착되는 플레이트 및 나이프 홀더(220)를 탈착 및 고정되도록 결합 수단, 예를 들어, 나사 등을 포함한다. 지지 수단(430)은 후술할 판 스프링(410)의 자유단과 연결되어 판 스프링(420)의 변형에 의한 회전 이동에 구속되고 따른다. 이로써, 절삭부의 블레이드(211)의 절삭 모션 궤적은 판 스프링의 변형에 의한 회전 이동에 구속된다.

고정 수단(420)은 후술한 베이스(500)에 고정되고, 판 스프링(410)의 고정단을 고정하도록 고정단의 형상에 대응되는 외관을 가지는 고정 구조체(440)를 포함한다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 판 스프링을 도시한다.

도 3을 참조하면, 판 스프링(410)은, 일단은 고정단으로 타단은 자유단으로 형성된다. 판 스프링(410)의 고정단(411)은 고정 구조체(400)와 결합하고 고정된 위치를 가진다. 판 스프링(410)의 자유단(412)은 와이어(700) 및 지지 수단(430)과 연결된다. 동력 생성부(300)에 의한 와이어(700)의 감김 동작으로 와이어(700)는 판 스프링의 자유단(412)에 당기는 힘(F)을 가하고 판 스프링(410)의 휨이 유도되고 자유단(412)은 회전한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 판 스프링(410)의 변형은, 즉, 자유단(412)의 회전 변형(O)은 단일한 자유도를 가진다. 다시 말해, 판 스프링(410)은 구조적으로 단일한 자유도에 구속된 변형, 즉, 자유단의 회전만이 가능하고, 판의 뒤틀림 등의 변형에 대한 자유도는 절대적으로 배제된다. 이로써 블레이드의 절삭 모션은, 판 스프링의 자유단의 회전 변형에 대응한 단일한 자유도를 가지고, 수 회의 절삭 동작에서 언제나 동일한 이동 궤적을 그린다.

또한, 판 스프링(410)의 변형을 유도하는 힘(F)의 전달이 와이어(700)를 통해 이루어짐으로써 동력 생성부(300)에서 발생되는 진동이 판 스프링(410)의 변형, 판 스프링 자유단의 회전 운동에 미치는 영향이 최소화된다. 결과적으로 와이어를 통한 구동 에너지 전달은, 동력 생성부(300)에서 발생되는 진동이 블레이드의 절삭 모션에 미치는 영향을 최소화하고 블레이드 절삭 모션이 일정한 궤적 상에 이루어지도록 보장한다. 와이어(700)는 탄성이 극히 적은 재질로 이루어질 수 있다.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 마이크로톰(1000)은 베이스(500) 및 관찰부(600)를 더 포함한다.

베이스(500)는 시편 수용부(100), 동력 생성부(300) 및 동력 전달부(400)가 배치되는 단단한 재질의 플레이트이다. 베이스(500) 상에 시편 수용부(100), 동력 생성부(300) 및 동력 전달부(400)에 포함되는 일부의 구성들이 직접 고정 연결되도록 베이스(500)은 연결 및 고정 수단을 포함한다. 도시된 실시 예에서, 시편 수용부(100)의 이동 조절 수단(120), 동력 생성부(300)의 기어 및 동력 전달부(400)의 고정 수단(420)이 이 베이스(500) 상에 배치된다. 또한, 후술할 관찰부(600)에 포함되는 카메라를 지지하는 클램프가 장착된 스탠드(611, 621)가 베이스(500) 상에 배치된다.

동력 생성부(300)의 기어를 포함하는 기어 박스(320)가 베이스(500) 상에 배치될 때 동력 생성부에서 발생되는 진동이 마이크로톰(1000)의 다른 구성에 전달되는 것을 최소화하기 위해 진동 흡수를 위한 적어도 하나의 댐퍼(330)가 기어 박스(320)와 베이스(500) 사이에 구비된다.

베이스(500)는 마이크로톰(1000)이 3차원 이미징 장치에 장착되기 위한 연결 수단을 구비하고, 일 예에서 상기 연결 수단은 수나사 및 수나사의 나사산과 맞물리는 암나사의 나사산이 내벽에 형성된 관통공일 수 있다.

관찰부(600)는 블레이드(211)의 시편(10)으로의 접근 상태를 관찰하는 구성으로 적어도 하나의 카메라를 포함한다. 관찰부(600)는, 블레이드와 시편을 담은 영상을 제공함으로써 시편이 상기 블레이드의 이동 궤적 상에 놓이도록 이동 조절 수단(120)를 조정하는 것을 도와주며, 3차원 이미징 장치에 상기 마이크로톰이 수용된 후 시편의 절삭 작업이 바로 이루어질 수 있게 하는 이점을 제공한다.

일 예에서, 관찰부(600)는 시편을 제1 방향으로 바라보는 제1 카메라(610) 및 제1 방향에 대해 일정한 각도를 갖는 제2 방향으로 시편을 바라보는 제2 카메라(620)을 포함한다. 제1 카메라(610) 및 제2 카메라(620)는, 베이스(500)에 배치되는 스탠드(611, 612)에 장착된 클램프에 의해 지지되고, 각각 제1 방향 및 제2 방향으로 시편 주변의 영상을 제공한다. 이 때, 시편은 육안으로 관찰할 수 없을 정도로 매우 작은 물체이고, 시편과 블레이드의 거리 차이 또한 나노 미터 단위 또는 마이크로 미터 단위의 수준을 가지므로, 시편 및 시편과 블레이드의 거리 차이의 영상을 제공하기 위해서는 제1 카메라(610) 및 제2 카메라(620)는, 33.5 mm의 최소 작동 거리(Working Distance), 30 배의 최대 배율 및 13mm x 9.7mm 의 시야각(Field Of View: FOV) 요건을 가진다.

도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰이 3차원 이미징 장치에 마련된 수용 공간에 수용되는 장면의 사시도 및 정면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰(1000)은 3차원 이미징 장치에 관찰 대상인 시료 및 시료의 절삭면을 연속적으로 제공하도록 3차원 이미징 장치에 제물대로서 3차원 이미징 장치에 마련된 수용 공간에 수용된다.

일 예에서, 3차원 이미징 장치는 주사 전자 현미경이고, 주사 전자 현미경의 진공 챔버 내로 상기 마이크로톰(1000)이 수용된다. 마이크로톰(1000)은 베이스(500) 상에 구비된 연결 수단으로 상기 진공 챔버의 덮개(22)와 결합되고, 진공 챔버의 본체(21)에 들어간다.

3차원 이미징 장치에 마련되고 상기 마이크로톰이 수용되는 수용 공간은 제한적이므로 마이크로톰(1000)의 크기에 제한이 따른다. 따라서 본 발명에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰은 수용 공간의 제한에 따라 콤팩트한 구조를 가지도록 복수의 구성들이 각각 설계된다.

도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 절삭 모션 전의 상태를 도시하고, 도 6b는 도 6a의 시편을 도시한다. 도 7a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰의 절삭 모션 중의 상태를 도시하고, 도 7b는 도 7a의 시편을 도시한다.

도 6a 내지 도 7b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰(1000)은 3차원 이미징 장치의 수용 공간에 배치되고 도 6a 와 도 7a의 동작 상태를 반복 수행한다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 블레이드(211)가 시편(10)과 일정한 거리를 두고 있는 상태에서 와이어(700)의 감김에 의해 판 스프링(410)의 변형이 유도된다. 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 판 스프링(410)의 자유단(412)에 연결된 절삭부(200)의 블레이드(211)는, 단일한 자유도를 가지는 자유단(410)의 이동 경로를 따르는 이동 궤적을 그리며 시편(100을 절삭하고 절삭면을 3차원 이미징 장치에 제공한다. 3차원 이미징 장치의 주사부(23)는 블레이드가 제공한 시편의 절삭면을 스캐닝한다.

3차원 이미징용 울트라 마이크로톰 1000
시편 수용부 100
절삭부 200
동력 생성부 300
동력 전달부 400
베이스 500
관찰부 600
와이어 700
시편 10

Claims (8)

1. 3차원 이미징 장치의 관찰 대상인 시편을 박편화하는 울트라 마이크로톰에 있어서,
   상기 시편이 고정되는 시편대 및 상기 시편대의 이동을 조절하는 이동 조절 수단을 구비한 시편 수용부;
   상기 시편을 절삭하는 블레이드가 일단에 구비된 나이프 및 상기 나이프를 고정하는 나이프 홀더를 포함하는 절삭부;
   상기 블레이드가 상기 시편을 절삭하는 모션이 이루어지도록 구동 에너지를 생성하는 동력 생성부; 및
   상기 절삭부가 고정되는 지지 수단 및 일단은 고정단이고 타단은 상기 지지 수단과 연결되는 자유단으로 형성되는 판 스프링을 포함하고, 상기 구동 에너지를 상기 절삭부에 전달하는 동력 전달부;를 포함하고,
   상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부는 와이어로 연결되되, 상기 와이어의 일단이 상기 판 스프링의 자유단에 연결되어 상기 자유단의 회전 변형을 일으킴으로써 상기 구동 에너지가 상기 절삭부에 전달되는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 시편 수용부, 상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부가 놓이는 베이스를 더 포함하고,
   상기 마이크로톰은 상기 베이스에 구비된 연결 수단을 통해 상기 3차원 이미징 장치 내에 구비된 수용 공간에 수용되는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 블레이드의 상기 시편으로의 접근 상태를 관찰하는 적어도 하나의 카메라를 포함하는 관찰부를 더 포함하는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 관찰부는,
   상기 시편을 제1 방향으로 관찰하는 제1 카메라 및
   상기 제1 방향에 대해 일정한 각도를 갖는 제2 방향으로 상기 시편을 관찰하는 제2 카메라를 포함하는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 판 스프링의 자유단의 회전은 단일한 자유도를 가지고, 상기 판 스프링의 자유단의 회전 변형에 상기 블레이드의 절삭 모션이 구속되는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 동력 생성부가 상기 와이어의 타단을 권취하여 상기 자유단의 회전 변형을 일으키는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 동력 생성부는,
   회전 동력을 제공하는 모터 및 상기 와이어가 감긴 샤프트에 상기 모터의 회전 동력을 전달하는 기어를 포함하는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.
   
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 시편 수용부, 상기 동력 생성부 및 상기 동력 전달부가 배치되는 베이스를 더 포함하고,
   상기 동력 생성부와 상기 베이스 사이에 적어도 하나 이상의 댐퍼가 구비되는, 3차원 이미징용 울트라 마이크로톰.

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