KR102250085B1

KR102250085B1 - Optical inspection apparatus

Info

Publication number: KR102250085B1
Application number: KR1020190099122A
Authority: KR
Inventors: 이민용
Original assignee: (주)케파
Priority date: 2019-08-13
Filing date: 2019-08-13
Publication date: 2021-05-10
Also published as: KR20210019901A

Abstract

광학 검사 장치가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 대상물에 광을 조사하는 광원부; 상기 광을 반사시키기 위해 상기 검사 대상물의 일측에 제공되는 반사체; 상기 반사체에 의해 반사된 광을 입사받아 이미지 촬영을 통해 상기 검사 대상물의 결함을 취득하는 촬영부; 상기 촬영부로 입사되는 상기 광의 광량을 조절하기 위해 상기 촬영부의 전방에 이동 가능하게 제공되는 차광부재; 상기 차광부재를 이동시켜 상기 차광부재의 위치를 조절하는 차광 구동부; 상기 차광 구동부를 동작시키는 제어부; 및 상기 검사 대상물의 자체 물리적 특성을 검출하기 위해 상기 검사 대상물의 일측에 제공되며, 검출 정보를 상기 제어부에 송출하는 특성 검출부;를 포함하는 광학 검사 장치가 제공될 수 있다.An optical inspection device is disclosed.
According to an embodiment of the present invention, a light source unit for irradiating light to an object to be inspected; A reflector provided on one side of the inspection object to reflect the light; A photographing unit that receives the light reflected by the reflector and acquires a defect of the inspection object through image capturing; A light blocking member movably provided in front of the photographing part to adjust the amount of light incident on the photographing part; A light blocking driver configured to move the light blocking member to adjust the position of the light blocking member; A control unit operating the light blocking driver; And a characteristic detection unit provided on one side of the inspection object to detect its own physical characteristic of the inspection object and transmitting detection information to the control unit.

Description

Optical inspection device {OPTICAL INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 광학 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an optical inspection device.

일반적으로, 광학 검사에서 사용되는 슐리렌 촬영 기법은 측정 영역의 밀도 구배(내부이물, 변형 등에 의한 밀도 변화)에 따른 굴절률의 변화를 이용하여 측정 영역을 통과하는 평행광의 변위 현상을 포착하는 촬영 기법이다.In general, the Schlieren photographing technique used in optical inspection is a photographing technique that captures the displacement phenomenon of parallel light passing through the measurement area by using the change in the refractive index according to the density gradient (density change due to internal foreign matter, deformation, etc.) of the measurement area. to be.

이것은 투과광의 집광부에 차광판을 설치하여 진행 방향으로부터 벗어난 광을 차단함으로써 스크린 상의 화상에 측정 영역의 밀도 구배에 기인하는 광의 명암이 얻어질 수 있다.In this case, a light shielding plate is provided in the condensing portion of the transmitted light to block light deviating from the traveling direction, so that the contrast of light due to the density gradient of the measurement area can be obtained in the image on the screen.

광원이 모이는 초점 면에 차광판을 두어 광로를 한쪽 방향만 선택하게 하면, 광로 각도 기울기의 변화에 따라 표면이나 내부의 결점이 광량의 세기 변화로 민감하게 나타나게 된다. 이러한 원리를 이용한 광학계를 슐리렌 광학계라고 한다.If a light-shielding plate is placed on the focal plane where the light source gathers to select only one direction of the light path, defects on the surface or inside will appear sensitively due to the change in the intensity of the light amount according to the change in the angle of the light path. An optical system using this principle is called a Schlieren optical system.

슐리렌 광학계의 특징은 반사체에서 반사된 광원이 모이는 초점에 차광판을 설치하는 것이다. 초점에 위치한 차광판에 의하여 광의 일부가 차단되면 통과된 광이 카메라에 도달하게 된다.The characteristic of the Schlieren optical system is to install a light shielding plate at the focal point where the light source reflected from the reflector gathers. When part of the light is blocked by the light shielding plate located at the focus, the passed light reaches the camera.

이와 같이, 종래의 슐리렌 광학계를 이용한 광학 검사 장치는 검사 대상물의 상태를 광량의 세기 변화로 민감하게 포착하여 명암의 차이로 뚜렷하고 두드러지게 표현할 수 있다는 장점이 있다.As described above, the conventional optical inspection apparatus using the Schlieren optical system has the advantage that the state of the object to be inspected can be sensitively captured by a change in the intensity of the light amount and can be clearly and prominently expressed by a difference in contrast.

그러나, 슐리렌 광학계를 이용한 광학 검사 장치는, 검사 대상물이 예컨대 평판 글라스인 경우에는 별 문제 없이 검사 대상물의 결함을 검사할 수 있지만, 검사 대상물이 예컨대 자체적으로 경사면이 형성된 경사 글라스이거나 자체적으로 굴곡이 형성된 굴곡 글라스와 같이 의도하지 않았던 결함에 의한 것이 아닌 의도적인 자체 물리적 특성(예컨대, 경사각, 굴곡 정도, 의도적인 변형량 등)을 갖는 경우에 결함을 정밀하게 검사하기 어려운 문제가 있다.However, the optical inspection apparatus using the Schlieren optical system can inspect the defect of the inspection object without any problems when the inspection object is, for example, a flat glass, but the inspection object is, for example, an inclined glass having an inclined surface by itself, or its own curvature. There is a problem in that it is difficult to accurately inspect a defect when it has intentional physical properties (eg, inclination angle, degree of curvature, intentional deformation amount, etc.) that are not caused by unintended defects such as formed curved glass.

즉, 검사 대상물이 자체 물리적 특성을 가지고 있는 경우, 슐리렌 광학 기법을 이용하여 검사 대상물에 발생된 결함을 검사하게 되면 슐리렌 광학 기법이 광의 굴절률 변화를 이용하여 측정 영역을 통과하는 평행광의 변위 현상을 포착하는 방법이기 때문에 검사 대상물 자체의 물리적 특성에 의하여 광의 굴절률이 변하게 된다. In other words, if the object to be inspected has its own physical properties, when the defects generated in the object to be inspected are inspected using the Schlieren optical technique, the Schlieren optical technique uses the change in the refractive index of the light to displace the parallel light passing through the measurement area. Because it is a method of capturing, the refractive index of light changes according to the physical properties of the object to be inspected.

이에 따라 검사 대상물의 검사 결과에서 결함이 아님에도 불구하고 뚜렷한 명암의 차이가 출력되어 결함으로 오판할 수 있고, 나아가 검사 대상물의 자체 물리적 특성에 의해 표현된 명암이 검사 대상물의 결함에 의해 표현된 명암보다 더 크게 표현되어 결함에 의한 명암이 묻히게 되므로 결함이 발견되지 않는 문제를 초래할 수 있다.Accordingly, in the inspection result of the object to be inspected, even though it is not a defect, a distinct difference in contrast is output and it can be misjudged as a defect. Furthermore, the contrast expressed by the physical characteristics of the object to be inspected is expressed by the defect of the object. Since it is expressed in a larger size and the contrast due to the defect is buried, it may lead to a problem that the defect is not found.

한국등록특허 제10-1553126호(2015. 09. 05. 등록)Korean Patent Registration No. 10-1553126 (registered on September 05, 2015)

본 발명의 실시예는, 자체 물리적 특성을 갖는 다양한 종류의 검사 대상체의 광학 검사에서 슐리렌 광학 기법을 이용하되 검사 대상체의 자체 물리적 특성은 자동으로 배제하여 외부의 영향에 의해서 검사 대상물에 발생된 결함만을 정밀하게 검사할 수 있는 광학 검사 장치를 제공하고자 한다. An embodiment of the present invention uses the Schlieren optical technique in optical inspection of various types of objects having their own physical properties, but automatically excludes the object's own physical properties, thereby causing defects in the object to be inspected due to external influences. It is intended to provide an optical inspection device capable of precisely inspecting the bay.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 대상물에 광을 조사하는 광원부; 상기 광을 반사시키기 위해 상기 검사 대상물의 일측에 제공되는 반사체; 상기 반사체에 의해 반사된 광을 입사받아 이미지 촬영을 통해 상기 검사 대상물의 결함을 취득하는 촬영부; 상기 촬영부로 입사되는 상기 광의 광량을 조절하기 위해 상기 촬영부의 전방에 이동 가능하게 제공되는 차광판; 상기 차광판을 이동시켜 상기 차광판의 위치를 조절하는 차광 구동부; 상기 차광 구동부를 동작시키는 제어부; 및 상기 검사 대상물의 자체 물리적 특성을 검출하기 위해 상기 검사 대상물의 일측에 제공되며, 자체 물리적 특성에 대한 정보를 상기 제어부에 송출하는 특성 검출부;를 포함하는 광학 검사 장치가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a light source unit for irradiating light to an object to be inspected; A reflector provided on one side of the inspection object to reflect the light; A photographing unit that receives the light reflected by the reflector and acquires a defect of the inspection object through image capturing; A light blocking plate movably provided in front of the photographing part to adjust the amount of light incident on the photographing part; A light blocking driver configured to move the light blocking plate to adjust the position of the light blocking plate; A control unit operating the light blocking driver; And a characteristic detection unit provided on one side of the object to be inspected to detect its own physical characteristic, and transmitting information on its own physical characteristic to the control unit.

또한 상기 광원부의 광 경로와 상기 촬영부의 광 경로가 상호 교차하는 지점에 제공되며, 상기 광원부의 광선과 상기 촬영부로 입사되는 광선 중에서 어느 하나의 광선은 반사하고 다른 하나의 광선은 투과시키는 빔 스플리터;를 더 포함할 수 있다.Further, a beam splitter is provided at a point where the light path of the light source unit and the light path of the photographing unit cross each other, and reflects one of the light rays of the light source unit and the light rays incident to the photographing unit and transmits the other light; It may further include.

또한 상기 광원부는, 소정의 광을 출사하는 광 소자; 및 상기 광 소자의 광 경로의 전방에 설치되어 광을 집광하는 집광 렌즈를 포함할 수 있다.In addition, the light source unit may include an optical element that emits a predetermined light; And a condensing lens installed in front of the optical path of the optical device to condense light.

또한 상기 촬영부는, 상기 광을 집속하는 집속 렌즈; 및 상기 집속 렌즈의 광 경로의 후방에 설치되어 상기 광을 입력받으며, 상기 광의 광량 세기에 의해 상기 검사 대상물의 이미지를 명암으로 출력하는 카메라를 포함할 수 있다.In addition, the photographing unit may include a focusing lens that focuses the light; And a camera installed at the rear of the optical path of the focusing lens to receive the light, and output an image of the object to be inspected in contrast according to the intensity of the light.

또한 상기 집속렌즈, 상기 카메라, 상기 차광판 및 상기 차광 구동부를 내장하며, 이들이 상호 조립된 하나의 조립체로 제공되는 광학 모듈을 더 포함할 수 있다. In addition, the focusing lens, the camera, the light shielding plate, and the light shielding driver may further include an optical module provided as a single assembly in which they are incorporated.

또한 상기 광학 모듈의 외부의 광 경로 상에 제공되며, 상기 광의 광량을 추가로 조절하는 보조 차광판; 및 상기 보조 차광판을 이동시켜 상기 보조 차광판의 위치를 조절하며, 상기 제어부에 의해 제어되는 보조 차광 구동부를 더 포함할 수 있다.In addition, an auxiliary light shielding plate provided on an external optical path of the optical module and additionally controlling an amount of the light; And an auxiliary light blocking driver controlled by the control unit to adjust the position of the auxiliary light blocking plate by moving the auxiliary light blocking plate.

또한 상기 검사 대상물이 놓여지며, 상기 검사 대상물을 소정의 경로로 이송시키기 위해 제공되는 이송 수단을 더 포함할 수 있다.In addition, the inspection object is placed, and may further include a transfer means provided to transfer the inspection object to a predetermined path.

또한 상기 이송 수단은, 무한궤도 방식으로 회전하는 컨베이어 벨트일 수 있다.In addition, the conveying means may be a conveyor belt rotating in a caterpillar manner.

또한 상기 특성 검출부는, 상기 이송 수단의 상부 일측에 제공되며, 상기 검사 대상물의 자체 물리적 특성을 감지하여 상기 제어부에 그 특성 정보를 제공하는 레이저 센서일 수 있다.In addition, the characteristic detection unit may be a laser sensor that is provided on one side of the upper portion of the transfer means, and detects a physical characteristic of the object to be inspected and provides the characteristic information to the control unit.

또한 상기 제어부에는 상기 검사 대상물의 자체 물리적 특성에 대한 특성 데이터가 미리 입력되고, 상기 특성 검출부는, 상기 이송 수단의 상부 일측에 제공되며, 상기 검사 대상물의 위치를 감지하기 위한 위치 센서를 포함할 수 있다.In addition, characteristic data on the physical characteristic of the object to be inspected is input to the control unit in advance, and the characteristic detection unit is provided on an upper side of the conveying means, and may include a position sensor for detecting the position of the object to be inspected. have.

또한 상기 위치 센서는 상기 컨베이어 벨트의 회전축에 설치되는 엔코더일 수 있다. In addition, the position sensor may be an encoder installed on a rotating shaft of the conveyor belt.

본 발명에 따른 실시예에 의하면, 자체 물리적 특성을 갖는 다양한 종류의 검사 대상체의 광학 검사에서 슐리렌 광학 기법을 이용하되 검사 대상체의 자체 물리적 특성에 의한 명암 차이는 자동으로 배제하고 검사 대상물에 발생된 결함만을 정밀하게 검사할 수 있는 장점이 있다.According to an embodiment of the present invention, the Schlieren optical technique is used in the optical examination of various types of objects having their own physical properties, but the difference in contrast due to the physical properties of the object is automatically excluded, There is an advantage of being able to precisely inspect only defects.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 장치를 도시한 구성도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 장치에서 집속렌즈, 카메라, 차광판 및 차광 구동부가 하나로 통합된 광학 모듈을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에서 보조 차광판과 보조 차광 구동부가 추가된 광학 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 장치에서 특성 검출부의 일 실시예를 도시한 참고도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 장치에서 특성 검출부의 다른 실시예를 도시한 참고도이다.1 is a block diagram schematically showing an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram showing an optical inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a view showing an optical module in which a focusing lens, a camera, a light shielding plate, and a light shielding driver are integrated into one in the optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating an optical inspection apparatus in which an auxiliary light blocking plate and an auxiliary light blocking driver are added in FIG. 3.
5 is a reference diagram illustrating an embodiment of a characteristic detection unit in an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 and 7 are reference diagrams showing another embodiment of a characteristic detection unit in an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 작용에 대해 상세하게 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 측면(aspects) 중 하나이며, 하기의 설명은 본 발명에 대한 상세한 기술의 일부를 이룰 수 있다.Hereinafter, a configuration and operation according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following description is one of the many aspects of the invention that are claimable, and the following description may form part of the detailed description of the invention.

다만, 본 발명을 설명함에 있어 공지된 구성 또는 기능에 관한 구체적인 설명은 본 발명을 명료하게 하기 위해 생략할 수 있다.However, in describing the present invention, detailed descriptions of known configurations or functions may be omitted to clarify the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예들을 포함할 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can make various changes and include various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to a specific embodiment, it should be understood to include all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers such as first and second may be used to describe various elements, but the corresponding elements are not limited by these terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결되어' 있다거나 '접속되어' 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. When an element is referred to as being'connected' or'connected' to another element, it is understood that it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 장치(10)는 광원부(100), 반사체(200), 촬영부(300), 차광판(400), 차광 구동부(500), 제어부(600) 및 특성 검출부(700)를 포함할 수 있다.1 and 2, the optical inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a light source unit 100, a reflector 200, a photographing unit 300, a light blocking plate 400, and a light blocking driver 500. , A control unit 600 and a characteristic detection unit 700 may be included.

본 발명의 일 실시예는 예컨대, 평판 글라스, 경사 글라스 또는 굴곡 글라스와 같이 결함이 아닌 자체적인 물리적 특성을 갖는 검사 대상물(20)에서 발생하는 결함을 슐리렌 광학 기법을 이용하여 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성에 영향을 받지 않고 결함을 정밀하게 검사하기 위해 제공된다. 이러한 자체 물리적 특성은 검사 대상물의 굴곡 여부, 굴곡된 부분의 위치, 굴곡된 정도 및 기울기 등을 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, defects that occur in the inspection object 20 having its own physical characteristics, such as flat glass, inclined glass, or curved glass, are not defects. It is provided to precisely inspect defects without being affected by the physical properties of the device. Such physical properties may include whether the object to be inspected is bent, the position of the bent portion, the degree of bending, and the inclination.

이때의 검사 대상물(20)은 결함 검사가 비교적 용이한 평판 글라스 외에도 기존의 슐리렌 광학 기법으로는 결함을 검사할 수 없었던 자체 물리적 특성이 내포된 스마트폰 커버 글라스 및 웨이퍼 등이 될 수 있다.In addition to the flat glass for which defect inspection is relatively easy, the inspection object 20 at this time may be a smartphone cover glass and a wafer, which have their own physical properties that could not be inspected by the existing Schlieren optical technique.

이에 본 발명의 일 실시예는 슐리렌 광학 기법을 이용하되 피사체인 검사 대상물(20)의 형상 변화(각도를 가진 형상 또는 곡선 형상) 등과 같은 자체 물리적 특성에 따른 촬영 이미지의 명암 세기의 차이로 인한 결점 검출의 문제점을 해결하기 위해 제안된다.Accordingly, an embodiment of the present invention uses a Schlieren optical technique, but is caused by a difference in intensity of contrast of a photographed image according to its own physical characteristics, such as a change in the shape of the object to be inspected 20 (a shape with an angle or a curved shape). It is proposed to solve the problem of defect detection.

광원부(100)는 검사 대상물(20)의 결함 검사를 위해 검사 대상물(20)에 소정의 광을 조사할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 광원부(100)는 검사 대상물(20)의 광 피사면의 법선 방향에 대하여 경사진 방향으로 광선 형태의 광을 조사할 수 있다.The light source unit 100 may irradiate a predetermined light onto the inspection object 20 for defect inspection of the inspection object 20. As shown in FIG. 1, the light source unit 100 may irradiate light in the form of a ray in a direction inclined with respect to the normal direction of the light surface of the object 20 to be inspected.

또한, 광원부(100)는 광 소자(110)와 집광 렌즈(120)를 포함할 수 있다.In addition, the light source unit 100 may include an optical element 110 and a condensing lens 120.

광 소자(110)는 소정의 광을 출사할 수 있다. 또한, 집광 렌즈(120)는 광 소자(110)로부터 출사된 광을 광선 형태의 빔으로 집광하여 검사 대상물(20)로 조사할 수 있다.The optical device 110 may emit predetermined light. In addition, the condensing lens 120 may irradiate the light emitted from the optical element 110 to the inspection object 20 by condensing the light in the form of a light beam.

반사체(200)는 검사 대상물(20)의 일측에 검사 대상물(20)로부터 이격되도록 제공되며, 검사 대상물(20)에 입사된 후 나오는 반사 광을 검사 대상물(20) 쪽으로 재 반사시키기 위해 설치될 수 있다. 반사체(200)는 검사 대상물(20)에서 나오는 반사 광이 법선 방향으로 입사되도록 그 각도가 설정될 수 있다.The reflector 200 is provided on one side of the inspection object 20 to be spaced apart from the inspection object 20, and may be installed to re-reflect the reflected light emitted after entering the inspection object 20 toward the inspection object 20. have. The reflector 200 may have an angle set so that the reflected light emitted from the inspection object 20 is incident in the normal direction.

촬영부(300)는 반사체(200)에 의해 반사된 광을 입사받는 것으로, 그 반사광의 이미지 촬영을 통해 검사 대상물(20)에 발생한 결함을 취득할 수 있다. 촬영부(300)는 검사 대상물(20)의 촬영을 통해 검사 대상물(20)의 이미지를 명암 세기로 표현할 수 있다.The photographing unit 300 receives light reflected by the reflector 200, and may acquire a defect occurring in the inspection object 20 through image capturing of the reflected light. The photographing unit 300 may express an image of the inspection object 20 in terms of intensity of contrast through photographing of the inspection object 20.

종래의 촬영부(300)는 평판 글라스의 경우 검사 대상물(20)의 이미지가 동일한 명암 세기로 표현되지만, 자체 물리적 특성을 갖는 경사 글라스나 굴곡 글라스의 경우 검사 대상물(20)의 이미지가 서로 다른 명암의 세기로 표현되기 때문에 자체 물리적 특성을 갖는 검사 대상물(20)에 결함이 발생되더라도 그 결함에 의한 명암 차이가 자체 물리적 특성에 의한 명암 차이에 묻히게 되어 결함의 검출이 용이하지 않게 된다. 본 발명의 일 실시예는 이러한 자체 물리적 특성에 의한 명암 차이를 배제하기 위해 제공되며 그 원리에 대해서는 뒤에서 다시 설명한다.In the case of the conventional photographing unit 300, in the case of flat glass, the image of the inspection object 20 is expressed with the same intensity, but in the case of an inclined glass or curved glass having its own physical characteristics, the image of the inspection object 20 is different from each other. Since it is expressed as the intensity of, even if a defect occurs in the inspection object 20 having its own physical property, the difference in contrast due to the defect is buried in the difference in contrast due to its own physical property, making it difficult to detect the defect. An embodiment of the present invention is provided to exclude the difference in light and dark due to such physical characteristics, and the principle will be described again later.

또한, 촬영부(300)는 집속 렌즈(310) 및 카메라(320)를 포함할 수 있다.In addition, the photographing unit 300 may include a focusing lens 310 and a camera 320.

집속 렌즈(310)는 검사 대상물(20)에서 반사되어 나오는 반사 광을 집속하여 카메라(320)로 보내기 위해 제공된다. 또한 카메라(320)는 집속 렌즈(310)의 광 경로의 후방에 설치되어 집속 렌즈(310)를 통과한 광을 입력 받을 수 있다. The focusing lens 310 is provided to focus the reflected light reflected from the inspection object 20 and send it to the camera 320. In addition, the camera 320 may be installed at the rear of the optical path of the focusing lens 310 to receive the light passing through the focusing lens 310.

카메라(320)는 입력 받은 광의 광량 세기에 의해 검사 대상물(20)의 이미지를 명암으로 출력할 수 있다.The camera 320 may output an image of the inspection object 20 in contrast according to the intensity of the received light.

또한, 본 발명의 일 실시예는 광원부(100)의 광 경로와 촬영부(300)의 광 경로가 상호 교차하는 지점에 제공될 수 있는 빔 스플리터(800)를 더 포함할 수 있다.In addition, an embodiment of the present invention may further include a beam splitter 800 that may be provided at a point where the optical path of the light source unit 100 and the optical path of the photographing unit 300 cross each other.

빔 스플리터(800)는 광원부(100)에서 출사되는 광선과 촬영부(300)로 입사되는 광선 중에서 어느 하나의 광선은 반사하고 다른 하나의 광선은 투과시킬 수 있다.The beam splitter 800 may reflect one of a light beam emitted from the light source unit 100 and a light beam incident on the photographing unit 300 and transmit the other light beam.

따라서, 도 1과 같이 광원부(100)와 촬영부(300)가 배치된 경우에 광원부(100)와 촬영부(300)의 광 경로가 서로 교차하는 지점에 빔 스플리터(800)가 설치되면, 광원부(100)에서 출사된 광선은 빔 스플리터(800)를 그대로 투과하여 검사 대상물(20)에 조사되고, 검사 대상물(20)에서 반사되어 나오는 광선은 빔 스플리터(800)에서 반사되어 촬영부(300)로 입사될 수 있다. Accordingly, when the light source unit 100 and the photographing unit 300 are disposed as shown in FIG. 1, when the beam splitter 800 is installed at a point where the light paths of the light source unit 100 and the photographing unit 300 cross each other, the light source unit The light beam emitted from the 100 is transmitted through the beam splitter 800 as it is and irradiated onto the inspection object 20, and the light reflected from the inspection object 20 is reflected by the beam splitter 800 and the photographing unit 300 Can be entered into.

한편, 도 2와 같이 광원부(100)와 촬영부(300)가 배치된 경우에, 광원부(100)와 촬영부(300)의 광 경로가 서로 교차하는 지점에 빔 스플리터(800)가 설치되면, 광원부(100)에서 출사된 광선은 빔 스플리터(800)에서 반사되어 검사 대상물(20)에 조사되고, 검사 대상물(20)에서 다시 반사되어 나오는 광선은 빔 스플리터(800)를 투과하여 촬영부(300)로 입사될 수 있다.Meanwhile, when the light source unit 100 and the photographing unit 300 are disposed as shown in FIG. 2, when the beam splitter 800 is installed at a point where the light paths of the light source unit 100 and the photographing unit 300 cross each other, The light rays emitted from the light source unit 100 are reflected by the beam splitter 800 and irradiated onto the inspection object 20, and the light rays reflected from the inspection object 20 pass through the beam splitter 800 and pass through the photographing unit 300. ).

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 차광판(400)은 촬영부(300)로 입사되는 광의 광량을 조절하기 위해 촬영부(300)의 전방에 이동 가능하게 제공될 수 있다. 이러한 차광판(400)은 반드시 판 형상에 한정되는 것은 아니므로 차광부재로 명명될 수도 있다. 차광판(400)은 집속 렌즈(310)의 전방에 배치될 수 있으며, 촬영부(300)로 입사되는 광의 일부를 차단하여 촬영부(300)로 들어가는 광량이 조절될 수 있다.In addition, referring to FIGS. 1 and 2, the light blocking plate 400 may be provided to be movable in front of the photographing unit 300 in order to adjust the amount of light incident on the photographing unit 300. Since the light blocking plate 400 is not necessarily limited to a plate shape, it may be referred to as a light blocking member. The light blocking plate 400 may be disposed in front of the focusing lens 310, and the amount of light entering the photographing unit 300 may be adjusted by blocking part of the light incident on the photographing unit 300.

차광판(400)은 촬영부(300)로 입사되는 광선의 법선 방향으로 이동(전진 또는 후진) 가능하게 설치될 수 있다. 이에 따라, 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성에 의한 명암의 차이가 배제되기 때문에 실제로는 검사 대상물(20)이 자체적인 물리적 특성을 가지고 있음에도 불구하고 촬영부(300)에서 촬영되는 이미지에는 차광판(400)의 이동에 의해 광량이 조절되어 명암의 차이가 발생하지 않고 균일하고 일정한 명암을 취득하게 된다.The light blocking plate 400 may be installed to be movable (forward or backward) in a normal direction of a light ray incident on the photographing unit 300. Accordingly, since the difference in contrast due to the physical characteristics of the object to be inspected 20 is excluded, in fact, the image captured by the photographing unit 300 is included in the light shielding plate ( The amount of light is adjusted by the movement of 400), so that the difference in contrast does not occur, and uniform and constant contrast is obtained.

검사 대상물(20)은 결함 검사시 어느 일 방향으로 이동하게 된다. 본 발명의 일 실시예는 검사 대상물(20)의 이동을 위해 이송 수단(900)을 더 포함할 수 있다. 이송 수단(900)은 검사 대상물(20)이 놓여지며, 검사 대상물(20)을 소정의 경로로 이송시키기 위해 제공될 수 있다.The inspection object 20 is moved in any one direction during defect inspection. An embodiment of the present invention may further include a transfer means 900 for moving the inspection object 20. The conveying means 900 may be provided to transport the inspection object 20 to a predetermined path, on which the inspection object 20 is placed.

또한, 차광 구동부(500)는 차광판(400)이 전진 또는 후진 가능하도록 차광판(400)을 이동시켜 차광판(400)의 위치를 조절할 수 있다. 이에 따라 차광판(400)은 차광 구동부(500)에 의하여 자동으로 이동될 수 있으며, 검사 대상물(20)이 자체 물리적 특성을 갖더라도 이에 영향을 받지 않도록 차광판(400)이 자동으로 이동될 수 있다.In addition, the light blocking driver 500 may adjust the position of the light blocking plate 400 by moving the light blocking plate 400 so that the light blocking plate 400 can move forward or backward. Accordingly, the light shielding plate 400 may be automatically moved by the light shielding driver 500, and the light shielding plate 400 may be automatically moved so as not to be affected even if the inspection object 20 has its own physical characteristics.

또한, 제어부(600)는 차광 구동부(500)를 동작시키기 위해 제공될 수 있다. 제어부(600)는 소정의 제어 신호를 출력하여 차광 구동부(500)를 동작시키며, 그 제어 신호에 따라 차광판(400)이 전진 또는 후진될 수 있다.In addition, the control unit 600 may be provided to operate the light blocking driver 500. The control unit 600 operates the light blocking driver 500 by outputting a predetermined control signal, and the light blocking plate 400 may move forward or backward according to the control signal.

특성 검출부(700)는 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성을 검출하기 위해 검사 대상물(20)의 일측에 제공될 수 있다. 특성 검출부(700)는 검사 대상물(20)의 피검 표면과 이격되도록 설치될 수 있으며, 자체 물리적 특성을 제어부(600)에 송출할 수 있다. 특성 검출부(700)가 검출하는 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성은 검사 대상물(20)의 굴곡 여부, 굴곡된 부분의 위치, 굴곡된 정도 및 기울기 등을 포함할 수 있다. 이러한 자체 물리적 특성은 검사 대상물(20)의 형상과 크기 등에 기초한 것일 수 있다. The characteristic detection unit 700 may be provided on one side of the inspection object 20 in order to detect its own physical characteristics of the inspection object 20. The characteristic detection unit 700 may be installed to be spaced apart from the test surface of the object 20 to be inspected, and may transmit its own physical characteristics to the control unit 600. The physical characteristics of the object 20 detected by the characteristic detection unit 700 may include whether or not the object 20 is bent, the position of the bent portion, the degree of bending, and the inclination. These physical properties may be based on the shape and size of the object 20 to be inspected.

특성 검출부(700)는 어느 일 방향으로 이송되는 검사 대상물(20)을 그 진행 방향에 대한 선단부부터 후단부까지 연속적으로 검출하여 그 자체 물리적 특성에 대한 정보를 제어부(600)에 보낼 수 있다. The characteristic detection unit 700 may continuously detect the inspection object 20 transported in one direction from the front end to the rear end of the moving direction and transmit information on its own physical characteristics to the control unit 600.

제어부(600)는 특성 검출부(700)가 제공하는 자체 물리적 특성을 인식하여 이에 기초하여 촬영부(300)로 입사되는 광의 광량이 기준 광량에서 벗어나는 것을 방지할 수 있다. 이러한 기준 광량은 단일 광량값일 수도 있고, 상한과 하한을 가지는 범위일 수도 있다. 제어부(600)가 차광판(400)을 이동시켜 촬영부(300)로 입사되는 광량을 조절함으로써 촬영부(300)는 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성에 의해서 검사 대상물의 결함에 대한 이미지를 보다 용이하게 획득할 수 있다. The controller 600 may prevent the amount of light incident on the photographing unit 300 from deviating from the reference amount of light based on the recognition of its own physical characteristics provided by the characteristic detection unit 700. The reference light amount may be a single light amount value or may be a range having an upper limit and a lower limit. The control unit 600 moves the shading plate 400 to adjust the amount of light incident on the photographing unit 300, so that the photographing unit 300 sees an image of the defect of the inspection object by its own physical characteristics. It can be easily obtained.

제어부(600)는 특성 검출부(700)로부터 제공받은 자체 물리적 특성에 기초하여, 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 많아지게 하는 검사 대상물(20)의 영역과 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 적어지게 하는 검사 대상물(20)의 영역을 판단할 수 있다. 예를 들어, 제어부(600)는, 자체 물리적 특성에 기초하여, 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 많아지게 하는 검사 대상물(20)의 영역(예를 들어 밝게 촬영되는 영역)과 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 적어지게 하는 검사 대상물(20)의 영역(예를 들어 어둡게 촬영되는 영역)을 판단할 수 있다. The control unit 600 includes an area of the object to be inspected 20 and the photographing unit 300 in which the amount of light incident on the photographing unit 300 is greater than the reference amount of light based on its own physical characteristics provided from the characteristic detection unit 700. It is possible to determine the area of the inspection object 20 in which the amount of light incident on the light is less than the reference amount of light. For example, the control unit 600 may, based on its own physical characteristics, the area of the inspection object 20 in which the amount of light incident on the photographing unit 300 is greater than the reference amount of light (for example, an area that is photographed brightly) It is possible to determine an area of the object 20 (for example, an area that is photographed darkly) in which the amount of light incident on the over-capturing unit 300 becomes less than the reference amount of light.

또한, 제어부(600)는, 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 많아지는 검사 대상물(20)의 영역에 대한 광을 촬영부(300)가 입사받을 때에는 차광판(400)가 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량을 감소시키도록 차광 구동부(500)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(600)는, 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량이 기준 광량보다 적어지는 검사 대상물(20)의 영역에 대한 광을 촬영부(300)가 입사받을 때에는 차광판(400)가 촬영부(300)에 입사되는 광의 광량을 증가시키도록 차광 구동부(500)를 제어할 수 있다. In addition, the control unit 600, when the photographing unit 300 enters the light to the area of the inspection object 20 in which the amount of light incident on the photographing unit 300 is greater than the reference amount of light, the light shielding plate 400 is photographed. The light blocking driver 500 may be controlled to reduce the amount of light incident on the unit 300. In addition, the control unit 600, when the photographing unit 300 enters the light to the area of the inspection object 20 in which the amount of light incident on the photographing unit 300 is less than the reference light amount, the light shielding plate 400 is photographed. The light blocking driver 500 may be controlled to increase the amount of light incident on the unit 300.

특성 검출부(700)에서 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성을 전체적으로 파악하고, 제어부(600)는 촬영부(300)가 검사 대상물(20)에 대한 광을 입사받기 시작하였다는 것을 감지하면, 촬영부(300)가 검사 대상물(20)에 대한 광을 입사받기 시작한 시점으로부터 경과한 시간 및 검사 대상물(20)이 이송되는 속도에 기초하여 촬영부(300)가 검사 대상물(20)의 어느 영역에 대한 광을 입사하고 있는지 판단할 수 있다. 다시 말해, 제어부(600)는 촬영부(300)가 검사 대상물(20)에 대한 광을 입사받기 시작한 시점으로부터 경과한 시간 및 검사 대상물(20)이 이송되는 속도에 기초하여 촬영부(300)가, 기준 광량보다 적어지게 하는 검사 대상물(20)의 영역(예를 들어 어둡게 촬영되는 영역)을 촬영 하고 있는지, 기준 광량보다 많아지게 하는 검사 대상물(20)의 영역(예를 들어 밝게 촬영되는 영역)을 촬영 하고 있는지, 판단할 수 있다.When the characteristic detection unit 700 overall grasps the physical characteristics of the object to be inspected 20, and the controller 600 detects that the photographing unit 300 has started to receive light to the object to be inspected 20, the image is captured. Based on the time elapsed from the time when the unit 300 starts to receive light on the inspection object 20 and the speed at which the inspection object 20 is transferred, the photographing unit 300 is It can be determined whether or not the light is incident. In other words, the control unit 600 is based on the time elapsed from the time when the photographing unit 300 starts to receive light to the inspection object 20 and the speed at which the inspection object 20 is transported, the photographing unit 300 is , Whether the area of the inspection object 20 that is less than the reference light amount (for example, an area that is photographed darkly) is being photographed, or that the area of the inspection object 20 that makes it more than the reference amount of light (for example, the area that is photographed brightly) You can judge whether you are shooting.

제어부(600)에는 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성 및 그에 따라 광량이 조절되어야 하는 정도에 대한 데이터가 미리 저장되어 있을 수 있다. 따라서, 제어부(600)는 특성 검출부(700)로부터 제공받은 자체 물리적 특성을 제어부(600)에 미리 저장된 데이터와 비교하여 그에 맞게 광량이 조절되도록 차광 구동부(500)를 제어하여 차광판(400)의 차광에 의해 자체 물리적 특성에 따른 명암의 차이가 배제(보상)되도록 차광판(400)을 이동(전진 또는 후진)시킬 수 있다. In the control unit 600, data on the physical characteristics of the object to be inspected 20 and the degree to which the amount of light should be adjusted accordingly may be stored in advance. Therefore, the control unit 600 controls the light blocking driver 500 so that the amount of light is adjusted accordingly by comparing its own physical characteristics provided from the characteristic detection unit 700 with data previously stored in the control unit 600 to block light of the light blocking plate 400. As a result, the light shielding plate 400 may be moved (forward or backward) so that a difference in contrast according to its own physical characteristics is excluded (compensated).

예를 들어 도 2에 도시된 바와 같이, 광 조사 지점이 검사 대상물(20)에서 평면으로 형성되어 있는 (b) 부위인 경우 이에 적합한 차광판(400)의 위치를 기준으로, 제어부(600)는 자체 물리적 특성에 따라 차광판(400)의 위치를 가변시키게 된다. For example, as shown in FIG. 2, when the light irradiation point is a portion (b) formed in a plane on the inspection object 20, based on the position of the light shielding plate 400 suitable for this, the control unit 600 The position of the shading plate 400 is varied according to physical characteristics.

따라서 만약, 광 조사 지점이 소정의 경사면이 형성된 (a) 부위라면 제어부(600)는 (b) 부위일 때의 차광판(400)의 위치보다 차광판(400)이 전방으로 더 전진하도록 차광 구동부(500)를 제어할 수 있다.Therefore, if the light irradiation point is a portion (a) on which a predetermined inclined surface is formed, the control unit 600 controls the light-shielding driver 500 so that the light-shielding plate 400 advances further forward than the position of the light-shielding plate 400 at the (b) portion. ) Can be controlled.

한편, 광 조사 지점이 검사 대상물(20)의 (c) 부위라면 제어부(600)는 (b)부위일 때의 차광판(400)의 위치보다 후방으로 후퇴하도록 차광 구동부(500)를 제어할 수 있다.On the other hand, if the light irradiation point is the (c) part of the inspection object 20, the control unit 600 may control the light blocking driving unit 500 to retreat to the rear of the position of the light blocking plate 400 at the (b) part. .

따라서, 검사 대상물(20)이 예를 들어 도 2의 도면상 우측 방향으로 이송될 때 광 조사 지점이 (a) --> (b) --> (c)의 순서를 따라 변경된다면, 차광판(400)은 전방으로 돌출된 상태에서 점차 후방으로 후퇴하도록 제어부(600)가 차광 구동부(500)를 제어할 수 있다.Therefore, if the light irradiation point is changed in the order of (a) --> (b) --> (c) when the inspection object 20 is transported to the right in the drawing of FIG. 2, for example, the light shielding plate ( The control unit 600 may control the light blocking driver 500 so that the 400 is protruding forward and gradually retreats to the rear.

한편, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예는 광학 모듈(1000)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 3, an embodiment of the present invention may further include an optical module 1000.

광학 모듈(1000)은 앞에서 설명한 집속 렌즈(310), 카메라(320), 차광판(400) 및 차광 구동부(500)를 모두 내장한 하나의 조립체로 구성될 수 있다. The optical module 1000 may be configured as a single assembly in which all of the focusing lens 310, the camera 320, the light shielding plate 400, and the light shielding driver 500 described above are incorporated.

따라서, 촬영부(300)와 차광판(400) 및 차광 구동부(500)의 배치 관계를 신경 쓰지 않고 하나의 조립체로 모듈화된 광학 모듈(1000)을 통해 검사 대상물(20)의 결함을 더욱 용이하게 검사할 수 있다. Therefore, the defect of the inspection object 20 is more easily inspected through the optical module 1000 modularized into one assembly without worrying about the arrangement relationship between the photographing unit 300 and the light blocking plate 400 and the light blocking driving unit 500 can do.

또한, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예는 보조 차광판(410) 및 보조 차광 구동부(510)를 더 포함할 수 있다.Further, referring to FIG. 4, an exemplary embodiment of the present invention may further include an auxiliary light blocking plate 410 and an auxiliary light blocking driver 510.

보조 차광판(410) 및 보조 차광 구동부(510)는 앞에서 설명한 차광판(400) 및 차광 구동부(500)를 기본적으로 포함한 상태에서 광선의 광량을 더욱 효과적으로 조절하기 위해 제공될 수 있다.The auxiliary light-shielding plate 410 and the auxiliary light-shielding driver 510 may be provided to more effectively control the amount of light of the light beam while basically including the light-shielding plate 400 and the light-shielding driver 500 described above.

차광판(400) 및 차광 구동부(500)가 광학 모듈(1000)에 내장되는 경우, 보조 차광판(410) 및 보조 차광 구동부(510)는 도 4에 도시된 바와 같이 광학 모듈(1000)의 외부에 배치될 수 있다.When the light blocking plate 400 and the light blocking driver 500 are built into the optical module 1000, the auxiliary light blocking plate 410 and the auxiliary light blocking driving unit 510 are disposed outside the optical module 1000 as shown in FIG. 4. Can be.

보조 차광판(410)은 광학 모듈(1000)의 외부의 광 경로 상에 제공되며, 촬영부(300)로 입사되는 광의 광량을 추가로 조절하기 위해 이동 가능하게 설치될 수 있다. The auxiliary light shielding plate 410 is provided on an external optical path of the optical module 1000 and may be installed to be movable to further adjust the amount of light incident on the photographing unit 300.

보조 차광 구동부(510)는 보조 차광판(410)을 이동시켜 보조 차광판(410)의 위치를 조절하며, 제어부(600)에 의해 제어될 수 있다. 이때, 보조 차광판(410)은 광선의 법선에 대하여 경사진 방향으로 전진 또는 후진되도록 설치될 수 있다.The auxiliary light blocking driver 510 adjusts the position of the auxiliary light blocking plate 410 by moving the auxiliary light blocking plate 410, and may be controlled by the control unit 600. In this case, the auxiliary light shielding plate 410 may be installed so as to move forward or backward in a direction inclined with respect to the normal of the light beam.

또한, 도 5를 참조하면, 검사 대상물(20)을 이송하는 이송 수단(900)은 무한궤도 방식으로 회전하는 컨베이어 벨트(910)로 구현될 수 있으나, 이송 수단(900)이 반드시 컨베이어 벨트(910)에 국한되는 것은 아니고 다른 방식으로 검사 대상물(20)을 이송시킬 수도 있다.In addition, referring to FIG. 5, the transfer means 900 for transferring the inspection object 20 may be implemented as a conveyor belt 910 rotating in a caterpillar manner, but the transfer means 900 must be a conveyor belt 910 ) Is not limited to, and may be transferred to the inspection object 20 in another way.

또한, 특성 검출부(700)는 이송 수단(900)의 상부 일측에 제공되며, 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성을 감지하여 제어부(600)에 그 특성 정보를 제공할 수 있는 레이저 센서(710)로 구현될 수 있다. 레이저 센서(710)는 검사 대상물(20)의 물리적인 상태를 측정하여 그 정보를 제어부(600)에 송출할 수 있다.In addition, the characteristic detection unit 700 is provided on one side of the upper portion of the transfer means 900, and a laser sensor 710 capable of detecting its own physical characteristic of the inspection object 20 and providing the characteristic information to the control unit 600 Can be implemented as The laser sensor 710 may measure the physical state of the inspection object 20 and transmit the information to the controller 600.

한편, 도 6을 참조하면, 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성을 파악하기 위한 수단으로, 제어부(600)에는 검사 대상물(20)의 자체 물리적 특성에 대한 특성 데이터가 미리 입력되고, 특성 검출부(700)는 검사 대상물(20)의 위치를 감지하기 위한 위치 센서를 포함하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 6, as a means for grasping the physical characteristics of the object to be inspected 20, characteristic data on the physical characteristics of the object to be inspected 20 is input to the control unit 600 in advance, and the characteristic detection unit ( 700 may be configured to include a position sensor for detecting the position of the inspection object 20.

즉, 제어부(600)에 검사 대상물(20)의 형상 데이터가 미리 입력된 상태에서 검사 대상물(20)이 이송 수단(900)에 의해 이송될 때 광이 조사되는 부위가 검사 대상물(20)의 어느 부위인지 알 수 있도록 위치 센서가 제공될 수 있다.That is, when the inspection object 20 is transferred by the transfer unit 900 in a state in which the shape data of the inspection object 20 is previously input to the control unit 600, the portion of the inspection object 20 to which light is irradiated is A position sensor may be provided to determine whether it is a part.

이때, 위치 센서는 도 7에 도시된 바와 같이 컨베이어 벨트(910)의 회전축에 설치되는 엔코더(720)가 될 수 있다. 이 경우 검사 대상물(20)은 컨베이어 벨트(910)의 기 설정된 위치에 놓여지며, 엔코더(720)에 의하여 컨베이어 벨트(910)의 진행 거리 및 검사 대상물(20)의 위치를 정확하게 파악하고, 이러한 모든 정보가 입력된 제어부(600)에 의하여 검사 대상물(20)의 광 조사 부위가 어디인지 제어부(600)가 파악하여 차광판(400)의 위치를 제어할 수 있다.In this case, the position sensor may be an encoder 720 installed on the rotation axis of the conveyor belt 910 as shown in FIG. 7. In this case, the inspection object 20 is placed at a preset position of the conveyor belt 910, and the moving distance of the conveyor belt 910 and the position of the inspection object 20 are accurately grasped by the encoder 720, and all these The control unit 600 may determine where the light irradiation portion of the object 20 is irradiated by the control unit 600 to which the information is input, and thereby control the position of the light blocking plate 400.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 설명된 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범위 내에서 얼마든지 구성요소의 치환과 변경이 가능한 바, 이 또한 본 발명의 권리에 속하게 된다.As described above, the present invention has been described using a preferred embodiment, but the scope of the present invention is not limited to the specific embodiment described, and those of ordinary skill in the art can as much as possible within the scope of the present invention. Substitution and modification of components is possible, and this also belongs to the rights of the present invention.

10 : 광학 검사 장치 20 : 검사 대상물
100 : 광원부 110 : 광 소자
120 : 집광 렌즈 200 : 반사체
300 : 촬영부 310 : 집속 렌즈
320 : 카메라 400 : 차광판
410 : 보조 차광판 500 : 차광 구동부
510 : 보조 차광 구동부 600 : 제어부
700 : 특성 검출부 710 : 레이저 센서
720 : 엔코더 800 : 빔 스플리터
900 : 이송 수단 910 : 컨베이어 벨트
1000 : 광학모듈10: optical inspection device 20: inspection object
100: light source unit 110: optical element
120: condensing lens 200: reflector
300: photographing unit 310: focusing lens
320: camera 400: shading plate
410: auxiliary shading plate 500: shading driving unit
510: auxiliary light blocking driver 600: control unit
700: characteristic detection unit 710: laser sensor
720: encoder 800: beam splitter
900: conveying means 910: conveyor belt
1000: optical module

Claims

A light source unit for irradiating light onto the inspection object;
A photographing unit that photographs an image by receiving the light irradiated by the light source unit and acquires a defect of the inspection object through the image;
A light blocking member disposed on a traveling path through which light is irradiated by the light source and incident on the photographing unit, and adjusting the amount of light incident on the photographing unit;
A light blocking driver configured to move the light blocking member to adjust the position of the light blocking member;
A characteristic detection unit detecting a physical characteristic of the object to be inspected;
A control unit configured to operate the light blocking driver based on the physical characteristics detected by the characteristic detection unit; And
The inspection object is placed, and includes a transfer means provided to transfer the inspection object to a predetermined path,
The characteristic detection unit,
It is a laser sensor provided on one side of the upper portion of the transfer means, sensing the physical characteristics of the object to be inspected and providing the characteristic information to the controller
Optical inspection device.

The method of claim 1,
The self-physical property of the inspection object detected by the characteristic detection unit is based on the shape and size of the inspection object,
Optical inspection device.

The method of claim 1,
The control unit,
Based on the physical characteristics detected by the characteristic detection unit, the area of the object to be inspected is determined so that the amount of light incident on the photographing unit deviates from the reference amount of light, and the amount of the light is deviated from the reference amount of light. Operating the light-shielding driver,
Optical inspection device.

The method of claim 3,
The control unit,
An area of the object to be inspected in which the amount of light incident on the photographing unit is greater than a reference amount of light and the object to be inspected in which the amount of light incident on the photographing unit is lower than a reference amount of light, based on the physical characteristics of itself. Judging the area,
Optical inspection device.

The method of claim 4,
The control unit,
When the photographing unit receives light to an area of the object to be inspected in which the amount of light incident on the photographing unit is greater than a reference amount of light, the light blocking member reduces the amount of light incident on the photographing unit. Control the drive,
When the photographing unit receives light to an area of the object to be inspected in which the amount of light incident on the photographing unit is less than a reference amount of light, the light blocking member increases the amount of light incident on the photographing unit. To control the drive unit,
Optical inspection device.

The method of claim 1,
A beam splitter provided at a point where the light path of the light source unit and the light path of the photographing unit cross each other, and reflecting one of the light rays of the light source unit and the light rays incident to the photographing unit and transmitting the other light ray; More included,
Optical inspection device.

The method of claim 1,
The light source unit,
An optical element that emits a predetermined light; And
Containing; a condensing lens installed in front of the optical path of the optical element to condense light
Optical inspection device.

The method of claim 1,
The photographing unit,
A focusing lens that focuses the light; And
Including; a camera installed at the rear of the optical path of the focusing lens to receive the light, and output the image of the inspection object in contrast by the intensity of the light intensity.
Optical inspection device.

The method of claim 8,
The focusing lens, the camera, the light shielding member and the light shielding driving part are built-in, and further comprising an optical module provided as a single assembly in which they are mutually assembled,
Optical inspection device.

The method of claim 9,
An auxiliary light blocking member provided on an external optical path of the optical module and additionally adjusting an amount of light of the light; And
The auxiliary light blocking member is moved to adjust the position of the auxiliary light blocking member, and an auxiliary light blocking driver controlled by the control unit further comprises,
Optical inspection device.

delete

The method of claim 1,
The conveying means is a conveyor belt rotating in a caterpillar manner,
Optical inspection device.

delete

The method of claim 1,
Further comprising a reflector provided on one side of the inspection object to reflect the light,
The irradiated light incident on the photographing unit is light reflected through the reflector,
Optical inspection device.