KR102246087B1 - 유도 가열 장치 - Google Patents
유도 가열 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102246087B1 KR102246087B1 KR1020190151362A KR20190151362A KR102246087B1 KR 102246087 B1 KR102246087 B1 KR 102246087B1 KR 1020190151362 A KR1020190151362 A KR 1020190151362A KR 20190151362 A KR20190151362 A KR 20190151362A KR 102246087 B1 KR102246087 B1 KR 102246087B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- coil
- induction heating
- height
- width
- cross
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/36—Coil arrangements
- H05B6/40—Establishing desired heat distribution, e.g. to heat particular parts of workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/04—Processes of manufacture in general
- H01M4/0471—Processes of manufacture in general involving thermal treatment, e.g. firing, sintering, backing particulate active material, thermal decomposition, pyrolysis
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/06—Control, e.g. of temperature, of power
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Induction Heating (AREA)
Abstract
본 발명은 배터리의 필름형 전극 등 박막 형태의 대상물을 균일하게 유도 가열할 수 있게 하는 유도 가열 장치에 관한 것으로서, 대상물의 중심부를 유도 가열할 있도록 상기 대상물의 중심부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 1 코일; 상기 제 1 코일과 이격되게 형성되고, 상기 대상물의 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 1 코일의 외측으로 상기 대상물의 테두리부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 2 코일; 및 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일을 병렬로 연결시키는 병렬 연결 라인; 상기 대상물의 상기 중심부와 상기 테두리부를 균일하게 유도 가열할 수 있도록 상기 병렬 연결 라인에 전원을 공급하는 제어부;를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 유도 가열 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배터리의 필름형 전극 등 박막 형태의 대상물을 균일하게 유도 가열할 수 있게 하는 유도 가열 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유도 가열 장치는, 워킹 코일(Working Coil)에 고주파의 전류를 흐르게 하고, 이로 인하여 발생하는 강력한 자력선이 대상물을 통과할 때, 대상물에 와류 전류(Eddy Current)가 유도되어 대상물을 자체 발열시킬 수 있는 가열 장치의 일종이다.
통상적으로, 이러한 워킹 코일은 일측 단자에서 시작해서 타측 단자까지 소용돌이 형태로 감기는 등 단일 루프를 형성하여 이루어질 수 있다.
한편, 일반적으로 널리 사용되는 배터리팩 등에 적용되는 배터리는 대량 생산을 위해서 필름 형태의 전극을 롤투롤 방식으로 이송하면서 그 표면에 활물질을 코팅하거나 가열하거나 건조시키는 등의 일련의 공정을 수행하여 제조될 수 있다.
이러한, 박막형 필름 전극은 두께가 매우 얇은 것으로서, 이러한 얇은 박막 형태의 대상물은 코일과 대상물 사이의 미소 거리의 차이에 의해 가열 정도가 크게 달라질 수 있는 것으로서, 가열의 균일도를 정밀하게 제어하기가 매우 까다로워서 유도 가열 방식으로 가열하기가 어려웠었다.
예를 들면, 유도 코일의 중심부 부근의 전자기파의 강도가 커서 이와 대응되는 박판 전극 등 대상물의 중심부 부근이 쉽게 과열되어 녹아내리거나 연소되거나 파손되는 등의 국부 과열 현상이 발생되는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명은 이러한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 전체적으로 박판 형상의 사각 링형이고, 그 높이가 서로 다른 동심형 코일들을 이용하여 대상물의 중심부와 테두리부 및 외측 테부리부에 이르기까지 매우 균일하고 정밀하게 유도 가열할 수 있게 하는 유도 가열 장치를 제공하고자 한다. 그러나, 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 유도 가열 장치는, 대상물의 중심부를 유도 가열할 있도록 상기 대상물의 중심부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 1 코일; 상기 제 1 코일과 이격되게 형성되고, 상기 대상물의 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 1 코일의 외측으로 상기 대상물의 테두리부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 2 코일; 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일을 병렬로 연결시키는 병렬 연결 라인; 및 상기 대상물의 상기 중심부와 상기 테두리부를 균일하게 유도 가열할 수 있도록 상기 병렬 연결 라인에 전원을 공급하는 제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 코일은 상기 대상물을 기준으로 제 1 높이를 갖고, 상기 제 2 코일은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 1 높이 이하인 제 2 높이를 가질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 코일은, 단면의 제 1 폭이 제 1 두께 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일이고, 상기 제 2 코일은, 단면의 제 2 폭이 제 2 두께 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 코일의 상기 제 1 폭은 상기 제 2 코일의 상기 제 1 폭 이하이거나, 또는 상기 제 1 코일의 상기 제 1 두께는 상기 제 2 코일의 상기 제 2 두께 이하일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 유도 가열 장치는, 상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 2 코일과 이격되게 형성되고, 상기 대상물의 외측 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 2 코일의 외측으로 상기 대상물의 외측 테두리부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 3 코일; 및 상기 제 3 코일에 유도 기전력을 공급할 수 있는 제 3 전원부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 병렬 연결 라인을 이용하여 상기 제 3 코일에 전원을 인가할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일 사이의 제 1 이격 거리는 상기 제 2 코일과 상기 제 3 코일 사이의 제 2 이격 거리 이상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일의 대상물 대향면은 상기 대상물의 상기 중심부를 향하여 제 1 각도로 경사지게 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 유도 가열 장치는, 상기 제 1 코일을 상기 제 1 높이에 정렬시키고, 상기 제 2 코일을 상기 제 2 높이에 정렬시킬 수 있도록 제 1 코일 수용부 및 제 2 코일 수용부가 형성되는 지지 블록; 상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일의 이탈을 방지할 수 있도록 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일의 상방에 설치되는 이탈 방지 블록; 및 상기 이탈 방지 블록의 상면과 측면을 보호하고, 유도 기전력에 의한 전자기파를 상기 대상물 방향으로 유도할 수 있는 가이드 블록;을 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 박판 전극의 가열을 위해 사각 링형상으로 형성하고, 기전력이 발생하는 전극의 폭을 간격에 비해 크게 박판 형상으로 설계한 후, 복수개의 동심형 코일들을 별도로 제어하며, 각 코일들과 대상물 간의 높이를 차별적으로 설치하여 기판 스캔시 균일한 유도기전력을 형성하여 대상물을 골고루 균일하게 가열할 수 있고, 부위마다 정밀하게 가열할 수 있으며, 이를 통해서 박막 형태의 필름 전극을 가열할 수 있는 것은 물론이고, 국부 과열 현상을 방지하여 양질의 제품을 생산할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 유도 가열 장치의 코일들의 II-II 절단면을 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 유도 가열 장치의 지지 블록, 이탈 방지 블록, 가이드 블록을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 7은 도 6의 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 유도 가열 장치의 코일들의 II-II 절단면을 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 유도 가열 장치의 지지 블록, 이탈 방지 블록, 가이드 블록을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 7은 도 6의 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유도 가열 장치(100)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 유도 가열 장치(100)의 코일(10)(20)(30)(40)(50)들의 II-II 절단면을 나타내는 단면도이고, 도 3은 도 1의 유도 가열 장치(100)의 지지 블록(60), 이탈 방지 블록(70), 가이드 블록(80)을 나타내는 단면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유도 가열 장치(100)는, 크게 복수개의 코일(10)(20)(30)(40)(50)들과, 이들 각각에 병렬로 전원이 공급될 수 있도록 병렬 연결 라인(91) 및 제어부(90)를 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 제 1 코일(10)은, 대상물(1)의 중심부를 유도 가열할 있도록 상기 대상물(1)의 중심부와 대응되는 위치에 전체적으로 C자 형상, 즉 사각링 형상인 단일 루프 형상으로 형성되는 단위 코일일 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 제 2 코일(20)은, 상기 제 1 코일(10)과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 1 코일(10)과 이격되게 형성되고, 상기 대상물(1)의 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 1 코일(10)의 외측으로 상기 대상물(1)의 테두리부와 대응되는 위치에 전체적으로 C자 형상, 즉, 사각링 형상인 단일 루프 형상으로 형성되는 단위 코일일 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 제 3 코일(30)은, 상기 제 1 코일(10) 및 상기 제 2 코일(20)과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 2 코일(20)과 이격되게 형성되고, 상기 대상물(1)의 외측 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 2 코일(20)의 외측으로 상기 대상물(1)의 외측 테두리부와 대응되는 위치에 전체적으로 C자 형상, 즉 사각링 형상인 단일 루프 형상으로 형성되는 단위 코일일 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 제 4 코일(40)은, 상기 제 1 코일(10)과, 상기 제 2 코일(20) 및 상기 제 3 코일(30)과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 3 코일(30)과 이격되게 형성되고, 상기 대상물(1)의 다른 외측 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 3 코일(30)의 외측으로 상기 대상물(1)의 다른 외측 테두리부와 대응되는 위치에 전체적으로 C자 형상, 즉 사각링 형상인 단일 루프 형상으로 형성되는 단위 코일일 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 제 5 코일(50)은, 상기 제 1 코일(10)과, 상기 제 2 코일(20)과, 상기 제 3 코일(30) 및 상기 제 4 코일(40)과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 4 코일(40)과 이격되게 형성되고, 상기 대상물(1)의 최외측 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 4 코일(40)의 외측으로 상기 대상물(1)의 다른 외측 테두리부와 대응되는 위치에 전체적으로 C자 형상, 즉 사각링 형상인 단일 루프 형상으로 형성되는 단위 코일일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 이러한, 상기 코일(10)(20)(30)(40)(50)들은 서로 이격되게 동심형 배치될 수 있다.
즉, 상기 제 1 코일(10) 보다 상기 제 2 코일(20)의 크기가 크고, 상기 제 2 코일(20) 보다 상기 제 3 코일(30)의 크기가 크고, 상기 제 3 코일(30) 보다 상기 제 4 코일(40)의 크기가 크고, 상기 제 5 코일(50)의 크기가 가장 클 수 있다.
여기서, 이러한 별도 제어될 수 있는 상기 코일(10)(20)(30)(40)(50)들의 개수는 도면에서 5개를 예시하였으나, 상기 코일들의 개수는 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 이외에도 가열 용량이나 스팩 등에 따라 2개, 3개, 4개, 6개 이상 등 복수개로 설치하는 것도 가능하다.
한편, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 병렬 연결 라인(91)은, 상기 코일(10)(20)(30)(40)(50)들 각각에 개별적으로 균일한 전원이 공급되도록 이들과 병렬로 연결될 수 있는 서로 병렬 연결 전도체 또는 병렬 연결 회로부일 수 있다. 이러한 상기 병렬 연결 라인(91)은 도면의 막대 형상의 도전체에 국한되지 않고, 종 전원이나 스위치나 연결 회로 등 매우 다양한 종류나 형태로 적용될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(30)는, 상기 대상물(1)의 중심부에서부터 최외측 테두리부에 이르기까지 균일하게 유도 가열할 수 있도록 상기 병렬 연결 라인(91)에 전원을 인가할 수 있다.
따라서, 상기 제어부(30)는 상기 전원부들 모두에게 동일한 전원 또는 제어 신호를 인가할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 코일들이 상기 대상물(1)에 적용되는 유도기전력이 전체적으로 균등할 수 있도록 상기 제 1 코일(10)은 상기 대상물(1)을 기준으로 제 1 높이(H1)를 갖고, 상기 제 2 코일(20)은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 1 높이(H1) 이하인 제 2 높이(H2)를 갖고, 상기 제 3 코일(30)은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 2 높이(H2) 이하인 제 3 높이(H3)를 갖고, 상기 제 4 코일(40)은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 3 높이(H3) 이하인 제 4 높이(H4)를 갖고, 상기 제 5 코일(50)은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 4 높이(H4) 이하인 제 5 높이(H5)를 갖는 것일 수 있다.
따라서, 상기 대상물(1)의 중심부와 대응되는 상기 제 1 코일(10)의 상기 제 1 높이(H1)가 제일 높고, 다른 코일들이 순차적으로 낮아지다가 상기 대상물(1)의 최외곽 테두리부와 대응되는 상기 제 5 코일(50)의 제 5 높이(H5)가 제일 낮게 설치될 수 있다.
이러한 코일들의 높이의 차를 이용하여 국부적인 과열을 방지하는 것도 가능하고, 이와는 별도로, 코일들의 폭과 두께를 조절하여 국부적인 과열을 방지하는 것도 가능하다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 코일(10)은, 단면의 제 1 폭(W1)이 제 1 두께(T1) 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일이고, 상기 제 2 코일(20)은, 단면의 제 2 폭(W2)이 제 2 두께(T2) 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일으로서, 이들 코일들 모두 폭이 두께 보다 넓은 박판 형상으로 형성되는 유도 기전력의 편차를 최소화할 수 있다.
또한, 상기 제 1 코일(10)의 상기 제 1 폭(W1)은 상기 제 2 코일(20)의 상기 제 1 폭(W1) 이하이거나, 또는 상기 제 1 코일(10)의 상기 제 1 두께(T1)는 상기 제 2 코일(20)의 상기 제 2 두께(T2) 이하로 형성하여 상기 대상물(1)의 중심에 집중될 수 있는 유도 기전력이 균일하게 분산되게 할 수 있다.
즉, 높은 유도 기전력의 특성을 갖는 상기 제 1 코일(10)의 폭을 줄이거나 두께를 줄이는 등의 방식으로 상기 대상물(1)의 중심부에서 발생되는 국부적인 과열 현상을 예방할 수 있다.
또한, 이러한 코일들 간의 이격 거리의 차를 이용하여 국부적인 과열을 방지하는 것도 가능하다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 코일(10)과 상기 제 2 코일(20) 사이의 제 1 이격 거리(B1)는 상기 제 2 코일(20)과 상기 제 3 코일(30) 사이의 제 2 이격 거리(B2) 이상일 수 있다.
따라서, 상기 제 1 코일(10)과 상기 제 2 코일(20)의 거리를 넓게 하여 상기 대상물(1)의 중심부에서 발생되는 국부적인 과열 현상을 예방할 수 있다.
그러므로, 박판 전극 등의 상기 대상물(1)의 가열을 위해 사각 링형상으로 형성하고, 기전력이 발생하는 전극의 폭을 간격에 비해 크게 박판 형상으로 설계한 후, 복수개의 동심형 코일들을 별도로 제어하며, 각 코일들과 대상물 간의 높이를 차별적으로 설치하여 기판 스캔시 균일한 유도기전력을 형성하여 대상물을 골고루 균일하게 가열할 수 있고, 부위마다 정밀하게 가열할 수 있으며, 이를 통해서 박막 형태의 필름 전극을 가열할 수 있는 것은 물론이고, 국부 과열 현상을 방지하여 양질의 제품을 생산할 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유도 가열 장치(100)는, 상기 제 1 코일(10)을 상기 제 1 높이(H1)에 정렬시키고, 상기 제 2 코일(20)을 상기 제 2 높이(H2)에 정렬시킬 수 있도록 제 1 코일 수용부(G1) 및 제 2 코일 수용부(F2)가 형성되는 지지 블록(60)과, 상기 제 1 코일(10) 및 상기 제 2 코일(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 상기 제 1 코일(10)과 상기 제 2 코일(20)의 상방에 설치되는 이탈 방지 블록(70) 및 상기 이탈 방지 블록(70)의 상면과 측면을 보호하고, 유도 기전력에 의한 전자기파를 상기 대상물(1) 방향으로 유도할 수 있는 가이드 블록(80)을 더 포함할 수 있다.
따라서, 이러한 상기 지지 블록(60)과, 상기 이탈 방지 블록(70) 및 상기 가이드 블록(80)을 이용하여 부품들 간의 조립을 간편하게 하고, 전자기파의 유도를 원활하게 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(200)를 나타내는 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(200)의 상기 이탈 방지 블록(70)은 복수개의 단위 블록들로 별도 제작되어 조립될 수 있다. 따라서, 상기 코일들을 상기 지지 블록(60) 상에 안착시킨 후, 상기 코일들 상에 상기 이탈 방지 블록(70)의 복수개의 상기 단위 블록들을 해당 위치에 올려 놓고 상기 가이드 블록(80)을 간편하게 조립할 수 있어서 부품의 조립성을 향상시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(300)를 나타내는 단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(300)의 제 1 코일(10) 및 제 2 코일(20)의 대상물 대향면은 상기 대상물(1)의 상기 중심부를 향하여 제 1 각도(K1)로 경사지게 형성될 수 있다.
따라서, 스캔 방향으로 따라 조성되는 유도 기전력의 편차 특성이 단차지지 않고 최대한 부드러운 곡선을 형성하여 보다 균일한 유도 가열이 가능하다.
즉, 서로 병렬로 연결된 상기 코일들에서 비균등하게 발생될 수 있는 유도기전력을 상술된 본 발명의 상기 코일들의 높이나 이격 거리나 두께나 각도 등을 추가로 정밀하게 조정하여 상기 대상물(1)에 골고루 유도기전력이 유도할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(400)를 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 7은 도 6의 유도 가열 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 유도 가열 장치(400)의 상기 지지 블록(60)은, 예컨대, 일종의 바닥 지지 부재일 수 있고, 상기 이탈 방지 블록(70)은 분할하거나 또는 일체형인 형태인 자성체 코어일 수 있다. 이러한 상기 자성체 코어를 이용하여 유도 기전력의 방향이 하방으로 유도되게 할 수 있고, 다른 방향으로는 영향을 주지 않게 할 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 가이드 블록(80)은 상부 커버 부재(81)와 중간 부재(82)로 이루어져서 상기 지지 블록(60)과 나사 조립될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(90)는 상기 병렬 연결 라인(91) 사이에 설치되는 인덕턴스 소자를 포함할 수 있다.
이러한 인덕턴스 소자와 함께 스위치 회로 등을 이용하여 상기 대상물(1)의 규격에 맞추어서 과도한 가열을 방지할 수 있도록 각각의 상기 코일(10)(20)(30)(40)(50)들을 개별적으로 스위치 온 또는 스위치 오프할 수 있다.
따라서, 이러한 인덕턴스 소자를 이용하여 상기 코일들 사이에 전자기 유도력을 형성하게 할 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 상기 제어부(90)는 매우 다양한 형태의 전원부나 RF 발생부 등이 모두 적용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 대상물
10: 제 1 코일
20: 제 2 코일
30: 제 3 코일
40: 제 4 코일
50: 제 5 코일
B1: 제 1 이격 거리
B2: 제 2 이격 거리
B3: 제 3 이격 거리
B4: 제 4 이격 거리
K1: 제 1 각도
G1: 제 1 코일 수용부
G2: 제 2 코일 수용부
60: 지지 블록
70: 이탈 방지 블록
80: 가이드 블록
90: 제어부
91: 병렬 연결 라인
100, 200, 300, 400: 유도 가열 장치
10: 제 1 코일
20: 제 2 코일
30: 제 3 코일
40: 제 4 코일
50: 제 5 코일
B1: 제 1 이격 거리
B2: 제 2 이격 거리
B3: 제 3 이격 거리
B4: 제 4 이격 거리
K1: 제 1 각도
G1: 제 1 코일 수용부
G2: 제 2 코일 수용부
60: 지지 블록
70: 이탈 방지 블록
80: 가이드 블록
90: 제어부
91: 병렬 연결 라인
100, 200, 300, 400: 유도 가열 장치
Claims (8)
- 대상물의 중심부를 유도 가열할 있도록 상기 대상물의 중심부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 1 코일;
상기 제 1 코일과 이격되게 형성되고, 상기 대상물의 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 1 코일의 외측으로 상기 대상물의 테두리부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 2 코일;
상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일을 병렬로 연결시키고, 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일 각각에 개별적으로 균일한 전원을 공급하는 병렬 연결 라인; 및
상기 대상물의 상기 중심부와 상기 테두리부를 균일하게 유도 가열할 수 있도록 상기 병렬 연결 라인에 전원을 공급하는 제어부;를 포함하고,
상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일로부터 상기 대상물에 적용되는 유도기전력이 전체적으로 균등할 수 있도록, 상기 제 1 코일은 상기 대상물을 기준으로 제 1 높이를 갖고, 상기 제 2 코일은 상기 대상물을 기준으로 상기 제 1 높이 보다 낮은 제 2 높이를 가지고,
상기 제 1 코일은,
상기 제 1 코일의 단면의 제 1 폭이 그 단면의 제 1 두께 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일이고,
상기 제 2 코일은,
상기 제 2 코일의 단면의 제 2 폭이 그 단면의 제 2 두께 보다 큰 박판 형상의 사각 링형 코일이고,
상기 제 1 코일을 상기 제 1 높이에 정렬시키고, 상기 제 2 코일을 상기 제 2 높이에 정렬시킬 수 있도록 제 1 코일 수용부 및 제 2 코일 수용부가 형성되는 지지 블록;
상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일의 이탈을 방지할 수 있도록 상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일의 상방에 설치되는 이탈 방지 블록; 및
상기 이탈 방지 블록의 상면과 측면을 보호하고, 유도 기전력에 의한 전자기파를 상기 대상물 방향으로 유도할 수 있는 가이드 블록;
을 더 포함하는, 유도 가열 장치. - 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 코일의 상기 제 1 폭은 상기 제 2 코일의 상기 제 1 폭 이하이거나, 또는 상기 제 1 코일의 상기 제 1 두께는 상기 제 2 코일의 상기 제 2 두께 이하인, 유도 가열 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일과 전기적으로 독립될 수 있도록 상기 제 2 코일과 이격되게 형성되고, 상기 대상물의 외측 테두리부를 유도 가열할 수 있도록 상기 제 2 코일의 외측으로 상기 대상물의 외측 테두리부와 대응되는 위치에 루프 형상으로 형성되는 제 3 코일;를 더 포함하고,
상기 제어부는, 상기 병렬 연결 라인을 이용하여 상기 제 3 코일에 전원을 인가할 수 있는, 유도 가열 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 코일과 상기 제 2 코일 사이의 제 1 이격 거리는 상기 제 2 코일과 상기 제 3 코일 사이의 제 2 이격 거리 이상인, 유도 가열 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 코일 및 상기 제 2 코일의 대상물 대향면은 상기 대상물의 상기 중심부를 향하여 제 1 각도로 경사지게 형성되는, 유도 가열 장치. - 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190151362A KR102246087B1 (ko) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 유도 가열 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190151362A KR102246087B1 (ko) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 유도 가열 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102246087B1 true KR102246087B1 (ko) | 2021-05-03 |
Family
ID=75910583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190151362A KR102246087B1 (ko) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 유도 가열 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102246087B1 (ko) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0636867A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-02-10 | Celes:Soc | 移動する平らな金属製品の均一な誘導加熱装置 |
KR19990077066A (ko) * | 1996-01-05 | 1999-10-25 | 안토니 윌리암 제이 | 전자기 유도 가열 코일 |
JP2009048916A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Toshiba Home Technology Corp | 電磁誘導加熱装置 |
KR20110051335A (ko) * | 2009-11-10 | 2011-05-18 | 한국기계연구원 | 가열영역 가변형 유도가열장치 |
JP4959651B2 (ja) * | 2008-08-11 | 2012-06-27 | 新日本製鐵株式会社 | トランスバース方式の誘導加熱システム |
KR20180089912A (ko) * | 2015-12-31 | 2018-08-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 프로세싱 챔버를 위한 고온 가열기 |
KR20180098118A (ko) * | 2017-02-24 | 2018-09-03 | 엘지전자 주식회사 | 유도 가열 조리기 |
-
2019
- 2019-11-22 KR KR1020190151362A patent/KR102246087B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0636867A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-02-10 | Celes:Soc | 移動する平らな金属製品の均一な誘導加熱装置 |
KR19990077066A (ko) * | 1996-01-05 | 1999-10-25 | 안토니 윌리암 제이 | 전자기 유도 가열 코일 |
JP2009048916A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Toshiba Home Technology Corp | 電磁誘導加熱装置 |
JP4959651B2 (ja) * | 2008-08-11 | 2012-06-27 | 新日本製鐵株式会社 | トランスバース方式の誘導加熱システム |
KR20110051335A (ko) * | 2009-11-10 | 2011-05-18 | 한국기계연구원 | 가열영역 가변형 유도가열장치 |
KR20180089912A (ko) * | 2015-12-31 | 2018-08-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 프로세싱 챔버를 위한 고온 가열기 |
KR20180098118A (ko) * | 2017-02-24 | 2018-09-03 | 엘지전자 주식회사 | 유도 가열 조리기 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6479085B2 (ja) | 半導体処理用の交流駆動を用いる多重ヒータアレイ | |
US8633423B2 (en) | Methods and apparatus for controlling substrate temperature in a process chamber | |
TWI594362B (zh) | 可調式溫度控制基板支撐組件 | |
US11195704B2 (en) | Pedestal assembly for plasma processing apparatus | |
TW201534754A (zh) | 像素化溫度控制的基板支撐組件 | |
KR102648118B1 (ko) | 웨이퍼 지지대 | |
US9396900B2 (en) | Radio frequency (RF) power coupling system utilizing multiple RF power coupling elements for control of plasma properties | |
KR101192501B1 (ko) | 반도체기판 열처리장치 | |
KR101845948B1 (ko) | 전자기 유도가열용 워크 코일 조립체 | |
KR20190100976A (ko) | 라디오 주파수 격리된 히터들을 갖는 정전 척 | |
US20190088512A1 (en) | Cooled Focus Ring for Plasma Processing Apparatus | |
KR102246087B1 (ko) | 유도 가열 장치 | |
KR102247030B1 (ko) | 유도 가열 장치 | |
CN104342621B (zh) | 磁场调节装置及等离子体加工设备 | |
FI92008C (fi) | Induktiokeittolevy tai -sivulevy | |
JP2023546483A (ja) | 静電チャック及び半導体プロセス装置 | |
CN209806112U (zh) | 一种电磁加热装置 | |
KR20230002643A (ko) | 효과적인 자기 전력 전달 (magnetic power transfer) 을 위한 RF 차폐 구조체를 갖는 변압기 절연기 (isolation transformer) | |
KR101184133B1 (ko) | 유도가열 장치 | |
KR100731998B1 (ko) | 유도결합 플라즈마 소오스 | |
CN107535020B (zh) | 用于感应加热器具的感应线圈 | |
US11270903B2 (en) | Multi zone electrostatic chuck | |
US12002701B2 (en) | Electrostatic chuck assembly for plasma processing apparatus | |
US20230360889A1 (en) | Apparatus for Edge Control During Plasma Processing | |
CN107454701B (zh) | 一种感应加热装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |