KR102243302B1 - Vacuum printing apparatus and method of printing in a vacuum using the same - Google Patents

Vacuum printing apparatus and method of printing in a vacuum using the same Download PDF

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Abstract

진공 프린팅 장치 및 이를 이용한 진공 프린팅 방법에서, 상기 진공 프린팅 장치는 챔버, 저장부, 디스펜서 및 거터를 포함한다. 상기 챔버는 기판이 위치하는 내부 공간이 진공 상태이다. 상기 저장부는 상기 기판에 인접하여, 인쇄 페이스트를 저장한다. 상기 디스펜서는 상기 인쇄 페이스트를 분사하는 노즐을 포함한다. 상기 거터는 상기 디스펜서의 이동과 함께 이동된다. 상기 노즐은, 인쇄 위치까지 상기 거터로 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 이동된 후, 상기 거터가 외부로 제거됨에 따라 상기 기판에 인쇄를 수행한다. In a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method using the same, the vacuum printing apparatus includes a chamber, a storage unit, a dispenser, and a gutter. In the chamber, the internal space in which the substrate is located is in a vacuum state. The storage unit is adjacent to the substrate and stores a printing paste. The dispenser includes a nozzle for spraying the printing paste. The gutter is moved along with the movement of the dispenser. The nozzle is moved by spraying the printing paste to the gutter to a printing position, and then printing is performed on the substrate as the gutter is removed to the outside.

Description

진공 프린팅 장치 및 이를 이용한 진공 프린팅 방법{VACUUM PRINTING APPARATUS AND METHOD OF PRINTING IN A VACUUM USING THE SAME}Vacuum printing device and vacuum printing method using the same {VACUUM PRINTING APPARATUS AND METHOD OF PRINTING IN A VACUUM USING THE SAME}

본 발명은 진공 프린팅 장치 및 이를 이용한 진공 프린팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자 소자의 제작 공정 중 대표적인 비진공 상태의 공정인 프린팅 공정을 진공 상태에서 수행함으로써, 전자 소자의 제작 공정의 공정효율 및 품질을 향상시키기 위한 진공 프린팅 장치 및 이를 이용한 진공 프린팅 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method using the same, and more particularly, by performing a printing process in a vacuum state, which is a typical non-vacuum state process among the manufacturing processes of electronic devices, And a vacuum printing apparatus for improving quality and a vacuum printing method using the same.

전자 소자의 제작에서는, 다양한 진공 상태에서의 공정과 비진공 상태에서의 공정이 적용되고 있는데, 진공과 비진공 공정이 혼재되어 진행되는 경우 공정비용이 증가하는 문제가 있으며, 특히 비진공 공정의 경우, 전반적인 공정 품질이 좋지 못한 문제가 있다. In the manufacture of electronic devices, various processes in a vacuum state and processes in a non-vacuum state are applied, but there is a problem that the process cost increases when the vacuum and non-vacuum processes are mixed. In particular, the non-vacuum process , There is a problem that the overall process quality is poor.

이에, 전자 소자의 제작 공정을 진공 상태에서 진행하려는 다양한 연구가 수행되어 왔으며, 대한민국 등록특허 제10-0931603호의 경우, 임프린트 공정을 진공의 챔버 내에서 수행하는 기술을 개시하고 있다. 또한, 대한민국 등록특허 제10-1267664호의 경우, 마찬가지로 진공상태에서 도포를 수행하는 인쇄기를 개시하고 있으며, 인쇄 공정시 밀폐를 수행하는 것을 특징으로 한다. Accordingly, various studies have been carried out to proceed with the manufacturing process of an electronic device in a vacuum state, and Korean Patent Registration No. 10-0931603 discloses a technique for performing an imprint process in a vacuum chamber. In addition, Korean Patent Registration No. 10-1267664 discloses a printing machine that performs coating in a vacuum state, and is characterized in that sealing is performed during the printing process.

이상과 같이, 현재까지 개발되는 기술은, 전자 소자의 제작의 각 공정을 단순히 진공 챔버나 진공 상태의 조건에서 수행하는 것을 개시하고 있을 뿐이다. As described above, the technology developed to date merely discloses performing each process of manufacturing an electronic device in a vacuum chamber or under vacuum conditions.

그러나, 진공 상태에서 또는 진공 챔버의 내부에서, 특히 인쇄 공정을 수행하는 경우, 인쇄 페이스트에 솔벤트가 포함되므로 이러한 솔벤트가 쉽게 마르는 등의 문제로 인쇄 페이스트를 보호하는 것이 필요하며, 나아가 잉크의 공급, 분사 등이 일반 비진공 상태와 다른 문제에 대한 해결이 필요하지만, 아직까지 관련 연구는 없는 상황이다. However, in a vacuum state or inside a vacuum chamber, especially when performing a printing process, since the solvent is contained in the printing paste, it is necessary to protect the printing paste from problems such as drying of the solvent easily. It is necessary to solve a problem different from the general non-vacuum state, but there is no related research yet.

대한민국 등록특허 제10-0931603호Korean Patent Registration No. 10-0931603 대한민국 등록특허 제10-1267664호Korean Patent Registration No. 10-1267664

이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 전자 소자 제작 공정 중 프린팅 공정을 진공 상태에서 수행할 수 있으며, 특히, 인쇄 페이스트에 포함된 솔벤트가 쉽게 증발하는 것을 방지하여 진공 상태에서의 인쇄 품질을 유지할 수 있는 진공 프린팅 장치를 제공하는 것이다. Accordingly, the technical problem of the present invention is conceived in this respect, and an object of the present invention is to prevent the solvent contained in the printing paste from easily evaporating, and the printing process can be performed in a vacuum state during the electronic device manufacturing process. It is to provide a vacuum printing apparatus capable of maintaining print quality in a vacuum state.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 진공 프린팅 장치를 이용한 진공 프린팅 방법을 제공하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a vacuum printing method using the vacuum printing device.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 진공 프린팅 장치는 챔버, 저장부, 디스펜서 및 거터를 포함한다. 상기 챔버는 기판이 위치하는 내부 공간이 진공 상태이다. 상기 저장부는 상기 기판에 인접하여, 인쇄 페이스트를 저장한다. 상기 디스펜서는 상기 인쇄 페이스트를 분사하는 노즐을 포함한다. 상기 거터는 상기 디스펜서의 이동과 함께 이동된다. 상기 노즐은, 인쇄 위치까지 상기 거터로 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 이동된 후, 상기 거터가 외부로 제거됨에 따라 상기 기판에 인쇄를 수행한다.A vacuum printing apparatus according to an embodiment for realizing the object of the present invention described above includes a chamber, a storage unit, a dispenser, and a gutter. In the chamber, the internal space in which the substrate is located is in a vacuum state. The storage unit is adjacent to the substrate and stores a printing paste. The dispenser includes a nozzle for spraying the printing paste. The gutter is moved along with the movement of the dispenser. The nozzle is moved by spraying the printing paste to the gutter to a printing position, and then printing is performed on the substrate as the gutter is removed to the outside.

일 실시예에서, 상기 노즐은, 인쇄가 수행되지 않은 상태에서, 상기 저장부의 인쇄 페이스트에 담길 수 있다. In an embodiment, the nozzle may be contained in the printing paste of the storage unit in a state in which printing is not performed.

일 실시예에서, 상기 저장부는, 상기 인쇄 페이스트가 저장되는 저장 용기, 상기 저장 용기의 상부에 위치하는 수납부, 및 상기 저장 용기와 상기 수납부 사이를 밀폐하는 밀폐부를 포함하며, 상기 노즐은 상기 수납부 및 상기 밀폐부를 관통하여 상기 인쇄 페이스트의 내부로 위치할 수 있다. In one embodiment, the storage unit includes a storage container in which the printing paste is stored, a storage unit positioned above the storage container, and a sealing unit sealing between the storage container and the storage unit, and the nozzle It may be positioned inside the printing paste through the receiving portion and the sealing portion.

일 실시예에서, 상기 저장부는, 상기 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 경우, 상기 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 개폐부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the storage unit may further include an opening/closing unit for discharging the air inside the storage container when the internal space of the chamber is formed in a vacuum state.

일 실시예에서, 상기 거터는, 저장 공간을 형성하여, 상기 노즐로부터 분사되는 인쇄 페이스트를 저장할 수 있다. In one embodiment, the gutter may form a storage space to store printing paste sprayed from the nozzle.

일 실시예에서, 상기 챔버의 내부 공간에 위치하여, 상기 인쇄 페이스트를 냉각시키는 냉각부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the cooling unit may further include a cooling unit positioned in the inner space of the chamber to cool the printing paste.

일 실시예에서, 상기 냉각부는, 상기 디스펜서의 측면에 밀착될 수 있다. In one embodiment, the cooling unit may be in close contact with the side of the dispenser.

일 실시예에서, 상기 저장부와 상기 디스펜서 사이에 연결되어, 상기 저장부의 인쇄 페이스트를 상기 디스펜서로 제공하는 제공라인을 더 포함할 수 있다. In an exemplary embodiment, a providing line may be further provided that is connected between the storage unit and the dispenser and provides the printing paste of the storage unit to the dispenser.

일 실시예에서, 상기 기판 상에 위치하며, 상기 노즐이 삽입되며 세정되는 세정부를 더 포함할 수 있다. In an embodiment, a cleaning unit positioned on the substrate and inserted into the nozzle may further include a cleaning unit that is cleaned.

일 실시예에서, 상기 인쇄 페이스트는, 에틸렌 글리콜(ethylene glycol)을 용매로 포함할 수 있다. In one embodiment, the printing paste may contain ethylene glycol as a solvent.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 진공 프린팅 방법에서, 노즐이 저장부로 인쇄 페이스트를 분사하도록 디스펜서를 위치시킨다. 상기 저장부를 개방하고, 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성한다. 거터에 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 상기 디스펜서를 기판 상으로 이동시킨다. 상기 거터를 제거하며, 상기 기판에 상기 인쇄 페이스트로 인쇄한다. In the vacuum printing method according to an embodiment for realizing another object of the present invention, the dispenser is positioned so that the nozzle sprays the printing paste into the storage unit. The storage unit is opened and the interior space of the chamber is formed in a vacuum state. The printing paste is sprayed onto the gutter and the dispenser is moved onto the substrate. The gutter is removed, and the substrate is printed with the printing paste.

일 실시예에서, 상기 진공 상태로 형성하는 단계에서, 상기 저장부의 개폐부를 개방하여, 저장 용기 내부의 공기를 배출시킬 수 있다. In one embodiment, in the step of forming in the vacuum state, air in the storage container may be discharged by opening the opening/closing part of the storage unit.

일 실시예에서, 상기 기판 상에 위치하는 세정부로 상기 노즐을 삽입하여 세정할 수 있다. In an embodiment, the nozzle may be inserted into a cleaning unit positioned on the substrate for cleaning.

본 발명의 실시예들에 의하면, 진공 상태의 챔버 내에서 노즐의 끝단으로 인쇄 페이스트를 연속적으로 분사함으로써, 특히 저압 상태에서 인쇄 페이스트의 내부에 포함된 용매가 쉽게 건조되는 것을 방지할 수 있어 인쇄 공정을 진공 상태에서도 수행할 수 있다. According to the embodiments of the present invention, by continuously spraying the printing paste to the tip of the nozzle in the chamber in a vacuum state, it is possible to prevent the solvent contained in the printing paste from being easily dried, especially in a low pressure state, so that the printing process Can also be carried out in a vacuum state.

이 경우, 인쇄 페이스트의 연속적인 분사를 위해, 비 인쇄 상태에서는 인쇄 페이스트가 저장되는 저장부의 내부로 노즐을 위치시키고, 인쇄를 위한 이동시에는 거터가 함께 이동하여 거터의 저장 공간으로 인쇄 페이스트를 연속적으로 분사하도록 할 수 있다. In this case, for continuous spraying of the printing paste, in the non-printing state, the nozzle is placed inside the storage unit where the printing paste is stored, and when moving for printing, the gutter moves together to continuously transfer the printing paste to the storage space of the gutter. You can make it spray.

또한, 상기 저장부와 상기 디스펜서를 제공라인으로 연결하여, 상기 저장부로부터 인쇄 페이스트를 지속적으로 공급함으로써, 인쇄 페이스트의 연속적인 분사가 가능할 수 있다. In addition, by connecting the storage unit and the dispenser through a providing line, and continuously supplying the printing paste from the storage unit, continuous spraying of the printing paste may be possible.

한편, 저장 용기의 내부에도 인쇄 페이스트가 채워지고 남은 공간에 공기가 잔류할 수 있으므로, 진공 상태를 형성하는 경우 개폐부를 개방함으로써, 상기 챔버 내부에 일체의 공기가 잔류하지 않도록 할 수 있다. On the other hand, since the printing paste is also filled inside the storage container and air may remain in the remaining space, when forming a vacuum state, by opening the opening and closing part, it is possible to prevent any air from remaining inside the chamber.

또한, 챔버의 내부 공간에 냉각부를 위치시키거나, 특히 디스펜서의 측면에 냉각부를 밀착시킴으로써, 인쇄 페이스트 내에 포함된 용매가 진공 상태에도 쉽게 증발하지 않도록 하여 용이한 인쇄를 수행할 수 있다. 이 경우, 디스펜서의 측면에 냉각부가 밀착됨에 따라, 인쇄 전에는 용매의 증발을 억제하지만, 인쇄 후에는 상대적으로 용매가 빨리 증발하도록 유도할 수 있어, 보다 효과적인 인쇄 공정을 수행할 수 있다. In addition, by placing the cooling unit in the inner space of the chamber, or in particular by bringing the cooling unit into close contact with the side of the dispenser, the solvent contained in the printing paste is not easily evaporated even in a vacuum state, so that easy printing can be performed. In this case, as the cooling unit is in close contact with the side of the dispenser, evaporation of the solvent is suppressed before printing, but it is possible to induce the solvent to evaporate relatively quickly after printing, so that a more effective printing process can be performed.

또한, 상대적으로 비점이 높은 에틸렐 글리콜을 인쇄 페이스트의 용매로 사용함으로써, 인쇄 페이스트의 건조로 인한 인쇄성 저하를 방지할 수 있다. In addition, by using ethylel glycol having a relatively high boiling point as a solvent for the printing paste, it is possible to prevent deterioration in printability due to drying of the printing paste.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다.
도 2는 도 1의 디스펜서부 및 저장부를 확대하여 도시한 확대도이다.
도 3a는 도 1의 디스펜서부가 거터와 함께 이동하는 상태를 도시한 모식도이고, 도 3b는 도 1의 디스펜서부가 거터로부터 이탈하여 인쇄하는 상태를 도시한 모식도이다.
도 4는 도 1의 진공 프린팅 장치를 이용한 진공 프린팅 방법을 도시한 흐름도이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4의 진공 프린팅 방법을 도시한 공정도들이다.
도 6a는 물의 상평형도(phase diagram)를 도시한 그래프이고, 도 6b는 에틸렌 글리콜(ethylene glycol) 등의 상평형도를 도시한 그래프이다.
도 7a 및 도 7b는 도 1의 디스펜서 노즐을 세정하는 단계를 도시한 공정도들이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다. 1 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view illustrating the dispenser unit and the storage unit of FIG. 1 on an enlarged scale.
FIG. 3A is a schematic diagram illustrating a state in which the dispenser of FIG. 1 moves together with the gutter, and FIG. 3B is a schematic diagram illustrating a state in which the dispenser of FIG. 1 separates from the gutter and prints.
4 is a flowchart illustrating a vacuum printing method using the vacuum printing apparatus of FIG. 1.
5A to 5C are process diagrams illustrating the vacuum printing method of FIG. 4.
6A is a graph showing a phase diagram of water, and FIG. 6B is a graph showing a phase diagram of ethylene glycol.
7A and 7B are process diagrams illustrating a step of cleaning the dispenser nozzle of FIG. 1.
8 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to another embodiment of the present invention.
9 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. The present invention will be described in detail in the text, since various modifications can be made and various forms can be obtained. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In the present application, terms such as "comprise" or "consist of" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of the presence or addition.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다. 도 2는 도 1의 디스펜서부 및 저장부를 확대하여 도시한 확대도이다. 도 3a는 도 1의 디스펜서부가 거터와 함께 이동하는 상태를 도시한 모식도이고, 도 3b는 도 1의 디스펜서부가 거터로부터 이탈하여 인쇄하는 상태를 도시한 모식도이다. 1 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view illustrating the dispenser unit and the storage unit of FIG. 1 on an enlarged scale. 3A is a schematic diagram showing a state in which the dispenser of FIG. 1 moves together with the gutter, and FIG. 3B is a schematic diagram showing a state in which the dispenser of FIG. 1 separates from the gutter and prints.

도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 실시예에 의한 진공 프린팅 장치(10)는 챔버(100), 기판(200), 디스펜서(300), 거터(400), 저장부(500), 제공라인(600), 가압부(도 5a 참조)(700) 및 냉각부(800)를 포함한다. 1 to 3B, the vacuum printing apparatus 10 according to the present embodiment includes a chamber 100, a substrate 200, a dispenser 300, a gutter 400, a storage unit 500, and a supply line ( 600), a pressurization unit (see FIG. 5A) 700 and a cooling unit 800 are included.

상기 챔버(100)는 내부에 내부 공간(101)을 형성하는 것으로, 상기 내부 공간(101)의 공기를 외부로 제거하여 진공 상태를 만들기 위한 펌프(120) 및 상기 공기가 외부로 제거되는 제거유닛(110)이 구비된다. The chamber 100 forms an inner space 101 therein, and a pump 120 for removing air from the inner space 101 to create a vacuum state and a removal unit for removing the air to the outside 110 is provided.

상기 챔버(100)의 내부에 상기 진공 프린팅 장치(10)의 구성요소들이 위치하면 충분하며, 이에 따라 상기 챔버(100)의 크기나 형상은 제한되지 않는다. It is sufficient if the components of the vacuum printing apparatus 10 are located inside the chamber 100, and accordingly, the size or shape of the chamber 100 is not limited.

상기 기판(200)은 상기 디스펜서(300)에 의해 분사되는 인쇄 페이스트로 인쇄가 수행되는 것으로, 크기나 형상, 종류는 제한되지 않고, 상기 기판(200) 상에 형성되는 패턴의 형상이나 크기 또한 제한되지 않는다. The substrate 200 is printed with a printing paste sprayed by the dispenser 300, and the size, shape, and type are not limited, and the shape or size of the pattern formed on the substrate 200 is also limited. It doesn't work.

즉, 본 실시예에서는, 상기 인쇄 페이스트가 상기 디스펜서(300)에 의해 분사되어 상기 기판(200) 상에 소정의 패턴이 형성되는 것으로 충분하다. That is, in this embodiment, it is sufficient that the printing paste is sprayed by the dispenser 300 to form a predetermined pattern on the substrate 200.

상기 디스펜서(300)는 몸체부(310), 연장부(320) 및 노즐(330)을 포함하는 것으로, 상기 인쇄 페이스트를 분사하여 상기 기판(200) 상에 소정의 패턴을 형성한다. The dispenser 300 includes a body 310, an extension 320, and a nozzle 330, and forms a predetermined pattern on the substrate 200 by spraying the printing paste.

상기 몸체부(310)는 내부에 상기 인쇄 페이스트가 저장되며, 상기 연장부(320)는 상기 몸체부(310)보다는 작은 직경으로 상기 몸체부(310)로부터 하부 방향으로 연장된다. The body part 310 has the printing paste stored therein, and the extension part 320 has a diameter smaller than that of the body part 310 and extends downward from the body part 310.

상기 노즐(330)은 상기 연장부(320)의 끝단으로부터 하부 방향으로 연장된다. 그리하여, 상기 몸체부(310)의 내부에 저장된 상기 인쇄 페이스트는 상기 연장부(320)를 통해 상기 노즐(330)의 끝단으로 분사된다. The nozzle 330 extends downward from the end of the extension part 320. Thus, the printing paste stored in the body 310 is sprayed to the end of the nozzle 330 through the extension 320.

상기 디스펜서(300)는 인쇄를 수행하지 않은 상태(비 인쇄 상태)에서는, 상기 저장부(500)의 상부에 위치하며, 상기 노즐(330)은 상기 저장부(500)의 내부로 삽입되어 위치한다. The dispenser 300 is positioned above the storage unit 500 in a state in which printing is not performed (non-printing state), and the nozzle 330 is inserted into the storage unit 500 and positioned. .

이 경우, 상기 노즐(330)의 삽입 상태에 대하여는 후술한다. In this case, the insertion state of the nozzle 330 will be described later.

이와 달리, 상기 디스펜서(300)는 인쇄를 수행하는 경우, 상기 노즐(330)은 상기 저장부(500)로부터 이탈되어 상기 거터(400)와 함께 인쇄가 수행되는 위치로 이동하게 된다. In contrast, when the dispenser 300 performs printing, the nozzle 330 is separated from the storage unit 500 and moves together with the gutter 400 to a position where printing is performed.

즉, 인쇄가 수행되기 위해, 상기 거터(400)는 상기 디스펜서(300)의 이동과 함께 이동하는 것으로, 상기 거터(400)는 상기 디스펜서(300)와 별도의 연결부(410)를 통해 연결된다. That is, in order to perform printing, the gutter 400 moves together with the movement of the dispenser 300, and the gutter 400 is connected to the dispenser 300 through a separate connection part 410.

한편, 상기 거터(400)는, 상기 비 인쇄 상태에서는, 상기 저장부(500) 또는 상기 디스펜서(300)와 인접한 위치에 위치할 수 있다. 이 경우, 상기 거터(400)의 위치는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 저장부(500)의 측면에 접촉하며 위치할 수도 있으나, 이에 제한되지는 않으며, 다양한 위치에 위치할 수 있다. Meanwhile, the gutter 400 may be located in a position adjacent to the storage unit 500 or the dispenser 300 in the non-printing state. In this case, the position of the gutter 400 may be located while contacting the side surface of the storage unit 500 as shown in FIG. 1, but is not limited thereto and may be located in various positions.

이 경우, 상기 연결부(410)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 거터(400)의 측면과 상기 디스펜서(300)의 몸체부(310)의 측면 사이를 'ㄷ'자 형상으로 서로 연결할 수 있으나, 그 연결 형상은 이에 제한되지는 않는다. In this case, the connection part 410 may connect to each other in a'C' shape between the side surface of the gutter 400 and the side surface of the body part 310 of the dispenser 300, as shown in FIG. 1. However, the connection shape is not limited thereto.

나아가, 상기 연결부(410)의 길이나 자세 등은 상기 디스펜서(300)가 이동함에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 도시하지는 않았으나, 상기 연결부(410)의 길이나 자세 등이 변경되도록 상기 연결부(410)를 구동하는 별도의 구동부가 구비될 수 있다. Further, the length or posture of the connection part 410 may be variously changed as the dispenser 300 moves, and although not shown, the connection part 410 may be changed so that the length or posture of the connection part 410 is changed. A separate driving unit for driving) may be provided.

상기 거터(400)는 도 3a에 도시된 바와 같이, 함입부가 상부를 향하도록, 단면이 'ㄷ'자 형상을 가지도록 형성되어, 상기 함입부는 저장공간(401)을 형성한다. As shown in FIG. 3A, the gutter 400 is formed so that the concave portion faces upward and has a'C' shape in cross section, so that the concave portion forms a storage space 401.

또한, 상기 거터(400)는, 상기 노즐(330)의 끝단이 상기 저장공간(401)의 내부에 위치한 상태에서, 상기 디스펜서(300)와 함께 이동한다. In addition, the gutter 400 moves together with the dispenser 300 while the end of the nozzle 330 is located inside the storage space 401.

그리하여, 상기 디스펜서(300)가 인쇄 위치까지 이동되는 경우, 상기 노즐(330)로부터 연속적으로 분사되는 상기 인쇄 페이스트는 상기 거터(400)의 저장공간(401)으로 저장되고, 외부, 특히 상기 기판(200)으로 누설되는 것이 차단될 수 있다. Thus, when the dispenser 300 is moved to the printing position, the printing paste continuously sprayed from the nozzle 330 is stored in the storage space 401 of the gutter 400 and is stored outside, especially the substrate ( 200) can be blocked from leaking.

이 후, 상기 노즐(330)이 인쇄 위치에 위치하는 경우, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(330)의 끝단으로부터 제거되며, 이에 따라, 상기 노즐(330)의 끝단으로부터 분사되는 상기 인쇄 페이스트는 상기 기판(200)의 상면으로 제공된다. Thereafter, when the nozzle 330 is positioned at the printing position, as shown in FIG. 3B, it is removed from the end of the nozzle 330, and accordingly, the printing sprayed from the end of the nozzle 330 The paste is provided on the upper surface of the substrate 200.

상기 저장부(500)는 저장 용기(510), 밀폐부(520), 수납부(530) 및 개폐부(540)를 포함한다. The storage unit 500 includes a storage container 510, a sealing unit 520, a storage unit 530, and an opening/closing unit 540.

상기 저장 용기(510)는 내부(502)에 인쇄 페이스트(501)가 저장되며, 상기 수납부(530)는 상기 저장 용기(510)의 상부에 위치한다. The storage container 510 stores the printing paste 501 in the interior 502, and the storage unit 530 is located above the storage container 510.

이 경우, 상기 수납부(530)도 'ㄷ'자 형상으로 함입부가 상부를 향하도록 위치하여 소정의 저장 공간을 형성하도록 배치된다. 그리하여, 상기 수납부(530)를 관통하여 상기 저장 용기(510)로 인입되는 상기 노즐(330)로부터 누설될 수 있는 상기 인쇄 페이스트(501)가 상기 수납부(530)로 저장될 수 있으며, 상기 인쇄 페이스트(501)가 하부 방향으로 누설되는 것을 방지할 수 있다. In this case, the accommodating part 530 is also arranged to form a predetermined storage space by being positioned so that the recessed part faces upward in a'C' shape. Thus, the printing paste 501, which may leak from the nozzle 330 through the receiving unit 530 and introduced into the storage container 510, may be stored in the receiving unit 530, and the It is possible to prevent the printing paste 501 from leaking downward.

상기 밀폐부(520)는 상기 수납부(530)의 하부와 상기 저장 용기(510)의 상부 사이를 밀폐하여, 공기의 누설을 차단한다. The sealing portion 520 seals between the lower portion of the storage portion 530 and the upper portion of the storage container 510 to prevent leakage of air.

상기 밀폐부(520)는 상기 공기 누설을 보다 효과적으로 차단하기 위해, 유연성 소재를 포함함으로써, 상기 노즐(330)이 관통되는 경우, 노즐 관통에 따라 틈이 형성되지 않도록 형성될 수 있다. In order to more effectively block the air leakage, the sealing part 520 may be formed such that when the nozzle 330 penetrates, a gap is not formed according to the penetration of the nozzle by including a flexible material.

앞서 설명한 바와 같이, 상기 디스펜서(300)는 비 인쇄시에는 상기 저장부(500)의 상부에 위치하게 되며, 상기 노즐(330)은 상기 수납부(530) 및 상기 밀폐부(520)를 관통하여 상기 저장 용기(510)의 내측으로 위치하게 된다. As described above, the dispenser 300 is positioned above the storage unit 500 when non-printing, and the nozzle 330 passes through the receiving unit 530 and the sealing unit 520 It is located inside the storage container 510.

이에, 상기 노즐(330)의 끝단(331)은 상기 저장 용기(510)에 저장된 인쇄 페이스트(501)의 내부로 위치하게 된다. 그리하여, 상기 노즐(330)의 끝단(331)은 상기 인쇄 페이스트(501)에 접촉한 상태에서, 마르지 않도록 유지될 수 있다. Accordingly, the end 331 of the nozzle 330 is located inside the printing paste 501 stored in the storage container 510. Thus, the end 331 of the nozzle 330 may be maintained so as not to dry out while in contact with the printing paste 501.

한편, 상기 개폐부(540)는 상기 저장 용기(510)의 상부 측부에 구비되며, 상기 저장 용기(510)를 개방하거나 폐쇄한다. Meanwhile, the opening/closing part 540 is provided on the upper side of the storage container 510 and opens or closes the storage container 510.

일반적으로 상기 저장 용기(510)의 내부에 인쇄 페이스트(501)가 저장되는 경우, 상기 저장 용기(510)를 모두 채우기는 어려우므로, 상기 저장 용기(510)의 상측 내부(502)에는 공기가 잔류하게 된다. In general, when the printing paste 501 is stored inside the storage container 510, it is difficult to fill all of the storage container 510, so air remains in the upper interior 502 of the storage container 510. It is done.

따라서, 상기 챔버(100) 내의 공기를 제거하여 진공 상태를 형성하더라도, 상기 내부(502)에 공기가 잔류하는 문제가 발생할 수 있다. 이에, 상기 챔버(100) 내의 공기를 제거하는 경우, 상기 개폐부(540)도 동시에 개방되어, 상기 저장 용기(510)의 내부(502)에 잔류하는 공기도 동시에 제거할 수 있다. Accordingly, even if the air in the chamber 100 is removed to form a vacuum state, a problem in that air remains in the interior 502 may occur. Accordingly, when the air in the chamber 100 is removed, the opening/closing part 540 is also opened at the same time, so that the air remaining in the interior 502 of the storage container 510 can be simultaneously removed.

상기 제공라인(600)은 상기 저장 용기(510)와 상기 디스펜서(300)의 몸체부(310) 사이를 연결한다. The providing line 600 connects the storage container 510 and the body portion 310 of the dispenser 300.

그리하여, 상기 제공라인(600)은 상기 저장 용기(510)에 저장된 인쇄 페이스트(501)를 상기 몸체부(310)로 제공한다. Thus, the providing line 600 provides the printing paste 501 stored in the storage container 510 to the body 310.

상기 비 인쇄 상태에서는, 상기 노즐(330)의 끝단(331)은 상기 인쇄 페이스트(501) 상에 위치하므로 마르는 문제는 발생하지 않으나, 인쇄를 수행하기 위해 상기 노즐(330)이 상기 저장부(500)로부터 제거되어 이동하는 경우, 상기 노즐(330)의 끝단(331)이 마르는 것을 방지하기 위해, 상기 노즐(330)은 지속적으로 상기 인쇄 페이스트(501)를 분사한다. In the non-printing state, since the end 331 of the nozzle 330 is located on the printing paste 501, a drying problem does not occur. ), the nozzle 330 continuously sprays the printing paste 501 to prevent the end 331 of the nozzle 330 from drying out.

이에, 상기 몸체부(310)에 저장되는 인쇄 페이스트(501)가 모두 소실되는 것을 방지하기 위해, 상기 제공라인(600)을 통해 상기 저장 용기(510)에 저장된 인쇄 페이스트(501)를 상기 몸체부(310)로 제공한다. Thus, in order to prevent all the printing paste 501 stored in the body 310 from being lost, the printing paste 501 stored in the storage container 510 through the providing line 600 is transferred to the body part. Provided as (310).

이를 위해, 상기 제공라인(600)을 통해 상기 인쇄 페이스트(501)를 제공하는 별도의 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. To this end, a separate driving unit (not shown) for providing the printing paste 501 through the providing line 600 may be provided.

한편, 상기 인쇄 페이스트(501)는 연속적으로 상기 몸체부(310)로 제공될 수도 있으며, 상기 몸체부(310)에 잔류한 상기 인쇄 페이스트(501)의 양을 고려하여 필요한 경우 제공될 수도 있다. Meanwhile, the printing paste 501 may be continuously provided to the body part 310, and may be provided if necessary in consideration of the amount of the printing paste 501 remaining in the body part 310.

상기 가압부(도 5a 참조)(700)는 상기 몸체부(310)의 상부에 위치하여, 상기 몸체부(310)에 저장되는 상기 인쇄 페이스트(501)를 가압하여 상기 노즐(330)을 통해 분사한다. The pressing part (refer to FIG. 5A) 700 is located above the body part 310 and pressurizes the printing paste 501 stored in the body part 310 and sprays it through the nozzle 330 do.

상기 냉각부(800)는 상기 기판(200) 및 상기 저장부(500)의 하부에 위치하여, 전체적으로 챔버(100)의 내부 공간(101)의 온도를 하강시킨다. The cooling unit 800 is located under the substrate 200 and the storage unit 500 to lower the temperature of the inner space 101 of the chamber 100 as a whole.

이 경우, 상기 냉각부(800)는 상기 챔버(100)의 내부 공간(101)의 온도를 모두 하강시키기 위해서는 많은 에너지가 필요할 수 있으므로, 상기 인쇄 페이스트(501)가 위치하는 저장부(500), 디스펜서(300) 및 기판(200)을 중심으로 냉각을 시킬 수 있다. In this case, the cooling unit 800 may require a lot of energy to lower the temperature of the inner space 101 of the chamber 100, so the storage unit 500 in which the printing paste 501 is located, Cooling may be performed around the dispenser 300 and the substrate 200.

한편, 상기 챔버(100)의 내부 공간(101)의 온도를 냉각시켜야 하는 이유에 대하여는 후술되는 도 6a 및 도 6b를 참조하여 상술한다. Meanwhile, the reason for cooling the temperature of the inner space 101 of the chamber 100 will be described in detail with reference to FIGS. 6A and 6B to be described later.

이하에서는, 상기 도 1 및 도 3b를 참조하여 설명한 상기 진공 프린팅 장치(10)를 이용한 진공 프린팅 방법에 대하여 설명한다. Hereinafter, a vacuum printing method using the vacuum printing apparatus 10 described with reference to FIGS. 1 and 3B will be described.

도 4는 도 1의 진공 프린팅 장치를 이용한 진공 프린팅 방법을 도시한 흐름도이다. 도 5a 내지 도 5c는 도 4의 진공 프린팅 방법을 도시한 공정도들이다. 4 is a flowchart illustrating a vacuum printing method using the vacuum printing apparatus of FIG. 1. 5A to 5C are process diagrams illustrating the vacuum printing method of FIG. 4.

상기 진공 프린팅 방법에서는, 우선, 도 4 및 도 5a를 참조하면, 상기 디스펜서(300)를 상기 저장부(500)의 상부에 위치시키며, 상기 노즐(330)의 끝단(331)을 상기 저장 용기(510) 내의 인쇄 페이스트(501)의 내측으로 위치시킨다(단계 S10). In the vacuum printing method, first, referring to FIGS. 4 and 5A, the dispenser 300 is positioned above the storage unit 500, and an end 331 of the nozzle 330 is placed in the storage container ( 510) inside the printing paste 501 (step S10).

그리하여, 상기 노즐(330)의 끝단(331)이 상기 인쇄 페이스트(501)에 직접 접촉하여 마르지 않도록 유지된다. Thus, the end 331 of the nozzle 330 directly contacts the printing paste 501 and is maintained so as not to dry.

이 후, 도 4 및 도 5a를 참조하면, 상기 저장부(500)의 개폐부(540)를 개방하고, 상기 챔버(100)의 내부 공간(101)을 진공상태로 형성한다(단계 S20). Thereafter, referring to FIGS. 4 and 5A, the opening/closing part 540 of the storage part 500 is opened, and the inner space 101 of the chamber 100 is formed in a vacuum state (step S20).

이 경우, 상기 저장부(500)의 개폐부(540)를 개방함으로써, 상기 저장 용기(510)의 내부(502)에 잔류하는 공기를 모두 제거할 수 있다. In this case, by opening the opening/closing part 540 of the storage part 500, all air remaining in the interior 502 of the storage container 510 may be removed.

또한, 상기 내부 공간(101)을 진공상태로 형성하기 위해, 상기 펌프(120)가 동작하며, 상기 제거유닛(110)을 개방하여, 상기 내부 공간(101)의 공기를 모두 외부로 제거하게 된다. In addition, in order to form the inner space 101 in a vacuum state, the pump 120 operates, and the removal unit 110 is opened to remove all air in the inner space 101 to the outside. .

이 후, 도 4 및 도 5b를 참조하면, 상기 디스펜서(300)를 인쇄가 필요한 위치로 이동시킨다(단계 S30). Thereafter, referring to FIGS. 4 and 5B, the dispenser 300 is moved to a position where printing is required (step S30).

이 경우, 상기 디스펜서(300)에서는, 상기 노즐(330)의 끝단(331)이 마르지 않도록 하기 위해, 지속적으로 인쇄 페이스트를 분사시키는데, 상기 분사되는 인쇄 페이스트(501)가 외부로 누설되지 않도록 하기 위해, 상기 노즐(330)의 하부에 상기 거터(400)를 위치시키면서, 상기 디스펜서(300)를 이동시킨다. In this case, in the dispenser 300, in order to prevent the end 331 of the nozzle 330 from drying out, the printing paste is continuously sprayed, so that the sprayed printing paste 501 does not leak to the outside. , While placing the gutter 400 under the nozzle 330, the dispenser 300 is moved.

즉, 상기 노즐(330)은 도시된 바와 같이, 상기 거터(400)의 저장공간(401)으로 상기 인쇄 페이스트(501)를 연속적으로 분사하며, 인쇄가 필요한 위치로 상기 거터(400)와 함께 이동한다. That is, as shown, the nozzle 330 continuously sprays the printing paste 501 into the storage space 401 of the gutter 400, and moves together with the gutter 400 to a position where printing is required. do.

한편, 상기 노즐(330)이 이동하는 과정에서도, 상기 저장 용기(510)로부터 상기 제공라인(600)을 통해 상기 몸체부(310)로는 상기 인쇄 페이스트(501)가 제공될 수 있으므로, 이에 따라 상기 몸체부(310)에는 충분한 인쇄 페이스트가 잔류하게 된다. Meanwhile, even in the process of moving the nozzle 330, the printing paste 501 may be provided from the storage container 510 to the body 310 through the provision line 600, and accordingly, the printing paste 501 may be provided. Sufficient printing paste remains in the body 310.

이 후, 상기 노즐(330)이 인쇄가 필요한 위치, 즉, 상기 기판(200)의 소정 위치로 이동되는 경우, 상기 거터(400)는 제거되며, 상기 노즐(330)은 상기 기판(200)의 소정 위치에 인쇄 페이스트(501)를 이용하여 인쇄를 수행한다(단계 S40). Thereafter, when the nozzle 330 is moved to a position where printing is required, that is, a predetermined position of the substrate 200, the gutter 400 is removed, and the nozzle 330 is Printing is performed using the printing paste 501 at a predetermined position (step S40).

즉, 상기 거터(400)는, 상기 노즐(330)의 끝단(331)으로부터 제거되도록 이동하게 되며, 상기 노즐(330)에서 분사되는 인쇄 페이스트(501)는 직접 상기 기판(200)으로 제공되어, 인쇄가 수행된다. That is, the gutter 400 is moved to be removed from the end 331 of the nozzle 330, and the printing paste 501 sprayed from the nozzle 330 is directly provided to the substrate 200, Printing is performed.

이 때, 도시하지는 않았으나, 상기 노즐(330)에 의해 상기 기판(200)에 대한 인쇄가 종료되는 경우, 상기 거터(400)는 다시 상기 노즐(330)의 끝단(331)으로 위치하여 상기 노즐(330)의 끝단(331)으로부터 분사되는 인쇄 페이스트(501)를 다시 수용하게 된다. At this time, although not shown, when printing on the substrate 200 is terminated by the nozzle 330, the gutter 400 is again positioned at the end 331 of the nozzle 330 and the nozzle ( The printing paste 501 sprayed from the end 331 of the 330 is received again.

그리고, 상기 디스펜서(300)는 상기 거터(400)와 함께, 도 5a의 위치로 재이동하여 위치할 수 있다. In addition, the dispenser 300 may be relocated to the position of FIG. 5A together with the gutter 400 to be positioned.

한편, 상기 노즐(330)을 이용한 인쇄 과정은 물론, 인쇄가 종료된 이후의 이동 과정에서도, 상기 저장 용기(510)로부터 상기 제공라인(600)을 통해 상기 몸체부(310)로는 상기 인쇄 페이스트(501)가 제공될 수 있으므로, 이에 따라 상기 몸체부(310)에는 충분한 인쇄 페이스트가 잔류하게 된다. On the other hand, in the printing process using the nozzle 330 as well as in the moving process after printing is finished, the printing paste ( Since 501 may be provided, sufficient printing paste remains in the body 310 accordingly.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(330)을 통한 인쇄가 종료되는 경우, 또는 상기 노즐(330)을 통한 인쇄를 시작하기 전에, 상기 노즐(330)에 대한 세정을 수행할 수 있으며(단계 S50), 이에 대하여는 후술되는 도 7a 및 도 7b를 참조하여 상술한다. Meanwhile, as shown in FIG. 4, when printing through the nozzle 330 ends, or before printing through the nozzle 330 starts, cleaning of the nozzle 330 may be performed. (Step S50), this will be described in detail with reference to FIGS. 7A and 7B to be described later.

도 6a는 물의 상평형도(phase diagram)를 도시한 그래프이고, 도 6b는 에틸렌 글리콜(ethylene glycol) 등의 상평형도를 도시한 그래프이다. 6A is a graph showing a phase diagram of water, and FIG. 6B is a graph showing a phase diagram of ethylene glycol.

도 6a에 도시된 바와 같이, 물의 경우, 압력이 낮아질수록 보다 낮은 온도에서 쉽게 증발하는 것을 확인할 수 있으며, 이에 따라 인쇄 페이스트에 물과 같은 용매가 포함되는 경우 진공 상태와 같이 압력이 낮은 상태에서 증발을 최대한 억제하기 위해서는 내부의 온도를 저하시키는 것이 필요하다. As shown in Fig. 6A, it can be seen that water evaporates easily at a lower temperature as the pressure decreases. Accordingly, when a solvent such as water is included in the printing paste, evaporation is performed in a low pressure state, such as in a vacuum state. It is necessary to lower the internal temperature in order to suppress as much as possible.

즉, 본 실시예에서, 상기 냉각부(800)가 상기 챔버(100)의 내부에 위치하여, 상기 내부공간(101)의 온도를 냉각시키거나, 또는 상기 기판(200), 상기 디스펜서(300) 및 상기 저장부(500) 주변의 온도를 냉각시킴으로써 상기 인쇄 페이스트(501)의 온도를 저하시킨다. That is, in this embodiment, the cooling unit 800 is located inside the chamber 100 to cool the temperature of the inner space 101, or the substrate 200 and the dispenser 300 And cooling the temperature around the storage unit 500 to reduce the temperature of the printing paste 501.

그리하여, 상대적으로 상기 인쇄 페이스트(501)에 포함된 용매가 진공 상태와 같은 저압에서도 쉽게 증발하는 것을 방지할 수 있다. Thus, it is possible to relatively prevent the solvent contained in the printing paste 501 from evaporating easily even at a low pressure such as a vacuum state.

도 6b를 참조하면, 상대적으로 에틸렌 글리콜(ethylene glycol)과 같이 물보다 비점이 높은 재료를 상기 인쇄 페이스트(501)의 용매로 사용함으로써, 같은 온도라면 상대적으로 저압에서도 증발이 쉽게 발생하지 않도록 하여, 상기 인쇄 페이스트가 쉽게 마르는 문제를 미연에 방지할 수 있다. Referring to FIG. 6B, by using a material having a relatively higher boiling point than water, such as ethylene glycol, as a solvent for the printing paste 501, at the same temperature, evaporation does not easily occur even at a relatively low pressure, The problem that the printing paste dries easily can be prevented in advance.

도 7a 및 도 7b는 도 1의 디스펜서 노즐을 세정하는 단계를 도시한 공정도들이다. 7A and 7B are process diagrams illustrating a step of cleaning the dispenser nozzle of FIG. 1.

도 7a를 참조하면, 본 실시예에서의 상기 진공 프린팅 장치(10)는 세정부(900)를 더 포함하며, 상기 세정부(900)는 상기 저장부(500)에 인접하도록 상기 기판(200)에 위치할 수 있으며, 이와 달리, 상기 저장부(500)에 인접한 위치에 위치할 수 있다. Referring to FIG. 7A, the vacuum printing apparatus 10 according to the present embodiment further includes a cleaning unit 900, and the cleaning unit 900 is adjacent to the storage unit 500. Alternatively, it may be located in a position adjacent to the storage unit 500.

그리하여, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 진공 프린팅을 수행하는 과정에서, 상기 인쇄 공정(단계 S40)을 모두 수행한 이후, 또는 상기 인쇄 공정을 수행하기 이전에, 상기 노즐(330)을 상기 세정부(900)로 위치시켜, 상기 노즐(330)에 대한 세정을 수행한다. Thus, as described above, in the process of performing the vacuum printing, after performing all of the printing process (step S40), or before performing the printing process, the nozzle 330 is connected to the cleaning unit 900. ) To perform cleaning of the nozzle 330.

즉, 도 7b를 참조하면, 상기 디스펜서(300)가 상기 세정부(900)의 상부에 위치하며, 상기 노즐(330)을 상기 세정부(900)의 내측으로 인입시켜, 상기 노즐(330)의 측부나 끝단(331) 등에 잔류한 인쇄 페이스트나 이물질을 세정한다. That is, referring to FIG. 7B, the dispenser 300 is positioned above the cleaning unit 900, and the nozzle 330 is drawn into the cleaning unit 900, so that the nozzle 330 is The printing paste or foreign matter remaining on the side or end 331 is cleaned.

이 경우, 상기 세정부(900)는 스폰지와 같이 상기 노즐(330)의 끝단(331)이 밀착되며 삽입될 수 있으며, 상기 노즐(330)이 삽입된 상태에서는 상기 세정부(900)는 상기 노즐(330)에 밀착된 상태를 유지할 수 있다. In this case, the cleaning unit 900 may be inserted in a close contact with the end 331 of the nozzle 330 like a sponge, and when the nozzle 330 is inserted, the cleaning unit 900 is It is possible to keep the state in close contact with (330).

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다. 8 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에서의 상기 진공 프린팅 장치(11)는 냉각부(801)의 위치를 제외하고는 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 진공 프린팅 장치(10)와 실질적으로 동일하므로, 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 사용하고 중복되는 설명은 이를 생략한다. The vacuum printing device 11 in this embodiment is substantially the same as the vacuum printing device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B except for the location of the cooling unit 801, so that the same components are used. For this, the same reference numerals are used, and overlapping descriptions are omitted.

도 8을 참조하면, 본 실시예에서의 상기 진공 프린팅 장치(11)에서는, 상기 냉각부(801)가 상기 가압부(700) 및 상기 디스펜서(300)의 몸체부(310)의 측면에 직접 부착되도록 위치한다. Referring to FIG. 8, in the vacuum printing apparatus 11 in this embodiment, the cooling unit 801 is directly attached to the side surfaces of the pressurizing unit 700 and the body unit 310 of the dispenser 300. It is positioned as much as possible.

그리하여, 상기 냉각부(801)는 상기 노즐(330)을 통해 분사되는 상기 인쇄 페이스트(501)를 보다 효과적으로 냉각시킬 수 있다. Thus, the cooling unit 801 may more effectively cool the printing paste 501 sprayed through the nozzle 330.

한편, 상기 인쇄 페이스트(501)는 분사되기 전에 건조되는 경우 상기 노즐(330)의 끝단(331)이 막히는 등의 문제가 발생할 수 있으나, 상기 기판(200)으로 인쇄 페이스트(501)가 분사된 이후에는, 오히려 상기 인쇄 페이스트에 포함된 용매가 쉽게 증발되는 것이 상기 기판(200)에 형성되는 패턴의 안정화를 위해 바람직할 수 있다. On the other hand, if the printing paste 501 is dried before being sprayed, a problem such as clogging of the end 331 of the nozzle 330 may occur, but after the printing paste 501 is sprayed onto the substrate 200 On the contrary, it may be preferable for the stabilization of the pattern formed on the substrate 200 that the solvent contained in the printing paste is easily evaporated.

따라서, 본 실시예에서와 같이, 상기 냉각부(801)를 상기 가압부(700) 및 상기 디스펜서(200)의 측면에만 직접 부착하여, 기판으로의 분사 전의 인쇄 페이스트에 대하여만 냉각을 통해 증발을 최대한 억제시키고, 기판으로 분사된 인쇄 페이스트에 대하여는 증발을 쉽게 유도할 수 있다. Therefore, as in the present embodiment, the cooling unit 801 is directly attached only to the side surfaces of the pressurizing unit 700 and the dispenser 200, so that evaporation is performed by cooling only the printing paste before spraying to the substrate. It is suppressed as much as possible, and evaporation can be easily induced for the printing paste sprayed onto the substrate.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 진공 프린팅 장치를 도시한 모식도이다. 9 is a schematic diagram showing a vacuum printing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에서의 상기 진공 프린팅 장치(12)는 가압부(701)를 제외하고는 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한 상기 진공 프린팅 장치(10)와 실질적으로 동일하므로, 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 사용하고 중복되는 설명은 이를 생략한다. In this embodiment, the vacuum printing device 12 is substantially the same as the vacuum printing device 10 described with reference to FIGS. 1 to 3B except for the pressurization unit 701, so that the same components are the same. Reference numbers are used and duplicate descriptions are omitted.

도 9를 참조하면, 본 실시예에서의 상기 진공 프린팅 장치(12)에서는, 상기 가압부(701)를 모터의 구동에 의해 상기 몸체부(310)에 저장된 상기 인쇄 페이스트(501)를 일정하게 분사시키도록 구성할 수도 있다. Referring to FIG. 9, in the vacuum printing apparatus 12 according to the present embodiment, the printing paste 501 stored in the body 310 is uniformly sprayed by the pressing part 701 by driving a motor. You can also configure it to make it happen.

이 경우, 상기 가압부(701)는 회전 모터의 구동력으로 상기 몸체부(310)에 저장된 인쇄 페이스트(501)를 일정하게 분사시키는 것으로, 상기 몸체부(310)로의 별도의 인쇄 페이스트의 제공이 어려우며, 이에 따라, 상기 저장부(300)의 저장 용기(510)와 상기 몸체부(310)를 연결하는 제공 라인(600)도 생략될 수 있다. In this case, the pressing unit 701 uniformly sprays the printing paste 501 stored in the body 310 with the driving force of the rotation motor, and it is difficult to provide a separate printing paste to the body 310 Accordingly, the providing line 600 connecting the storage container 510 of the storage unit 300 and the body unit 310 may also be omitted.

다만, 상기 몸체부(310)에 저장된 인쇄 페이스트(501)는, 상기 디스펜서(300)가 이동되어 인쇄를 수행하는 공정 내내 분사가 수행될 수 있을 만큼 충분한 양으로 저장되는 것이 필요하다. However, the printing paste 501 stored in the body 310 needs to be stored in an amount sufficient to allow spraying to be performed throughout the process of performing printing by moving the dispenser 300.

상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 진공 상태의 챔버 내에서 노즐의 끝단으로 인쇄 페이스트를 연속적으로 분사함으로써, 특히 저압 상태에서 인쇄 페이스트의 내부에 포함된 용매가 쉽게 건조되는 것을 방지할 수 있어 인쇄 공정을 진공 상태에서도 수행할 수 있다. According to the embodiments of the present invention as described above, by continuously spraying the printing paste to the end of the nozzle in the chamber in a vacuum state, it is possible to prevent the solvent contained in the printing paste from being easily dried, especially in a low pressure state. Therefore, the printing process can be performed even in a vacuum state.

이 경우, 인쇄 페이스트의 연속적인 분사를 위해, 비 인쇄 상태에서는 인쇄 페이스트가 저장되는 저장부의 내부로 노즐을 위치시키고, 인쇄를 위한 이동시에는 거터가 함께 이동하여 거터의 저장 공간으로 인쇄 페이스트를 연속적으로 분사하도록 할 수 있다. In this case, for continuous spraying of the printing paste, in the non-printing state, the nozzle is placed inside the storage unit where the printing paste is stored, and when moving for printing, the gutter moves together to continuously transfer the printing paste to the storage space of the gutter. You can make it spray.

또한, 상기 저장부와 상기 디스펜서를 제공라인으로 연결하여, 상기 저장부로부터 인쇄 페이스트를 지속적으로 공급함으로써, 인쇄 페이스트의 연속적인 분사가 가능할 수 있다. In addition, by connecting the storage unit and the dispenser through a providing line, and continuously supplying the printing paste from the storage unit, continuous spraying of the printing paste may be possible.

한편, 저장 용기의 내부에도 인쇄 페이스트가 채워지고 남은 공간에 공기가 잔류할 수 있으므로, 진공 상태를 형성하는 경우 개폐부를 개방함으로써, 상기 챔버 내부에 일체의 공기가 잔류하지 않도록 할 수 있다. On the other hand, since the printing paste is also filled inside the storage container and air may remain in the remaining space, when forming a vacuum state, by opening the opening and closing part, it is possible to prevent any air from remaining inside the chamber.

또한, 챔버의 내부 공간에 냉각부를 위치시키거나, 특히 디스펜서의 측면에 냉각부를 밀착시킴으로써, 인쇄 페이스트 내에 포함된 용매가 진공 상태에도 쉽게 증발하지 않도록 하여 용이한 인쇄를 수행할 수 있다. 이 경우, 디스펜서의 측면에 냉각부가 밀착됨에 따라, 인쇄 전에는 용매의 증발을 억제하지만, 인쇄 후에는 상대적으로 용매가 빨리 증발하도록 유도할 수 있어, 보다 효과적인 인쇄 공정을 수행할 수 있다. In addition, by placing the cooling unit in the inner space of the chamber, or in particular by bringing the cooling unit into close contact with the side of the dispenser, the solvent contained in the printing paste is not easily evaporated even in a vacuum state, so that easy printing can be performed. In this case, as the cooling unit is in close contact with the side of the dispenser, evaporation of the solvent is suppressed before printing, but it is possible to induce the solvent to evaporate relatively quickly after printing, so that a more effective printing process can be performed.

또한, 상대적으로 비점이 높은 에틸렐 글리콜을 인쇄 페이스트의 용매로 사용함으로써, 인쇄 페이스트의 건조로 인한 인쇄성 저하를 방지할 수 있다. In addition, by using ethylel glycol having a relatively high boiling point as a solvent for the printing paste, it is possible to prevent deterioration in printability due to drying of the printing paste.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

10, 11, 12 : 진공 프린팅 장치
100 : 챔버 200 : 기판
300 : 디스펜서 400 : 거터
410 : 연결부 500 : 저장부
501 : 인쇄 페이스트 600 : 제공 라인
700, 701 : 가압부 800, 801 : 냉각부
900 : 세정부10, 11, 12: vacuum printing device
100: chamber 200: substrate
300: dispenser 400: gutter
410: connection 500: storage
501: printing paste 600: provided line
700, 701: pressurization unit 800, 801: cooling unit
900: cleaning unit

Claims (13)

기판이 위치하는 내부 공간이 진공 상태인 챔버;
상기 기판에 인접하여, 인쇄 페이스트를 저장하는 저장부;
상기 인쇄 페이스트를 분사하는 노즐을 포함하는 디스펜서; 및
상기 디스펜서의 이동과 함께 이동되는 거터를 포함하고,
상기 노즐은, 인쇄 위치까지 상기 거터로 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 이동된 후, 상기 거터가 외부로 제거됨에 따라 상기 기판에 인쇄를 수행하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. A chamber in which an inner space in which the substrate is located is in a vacuum state;
A storage unit adjacent to the substrate to store a printing paste;
A dispenser including a nozzle for spraying the printing paste; And
Including a gutter that moves with the movement of the dispenser,
The nozzle, after being moved by spraying the printing paste to the gutter to a printing position, and then performing printing on the substrate as the gutter is removed to the outside. 제1항에 있어서, 상기 노즐은,
인쇄가 수행되지 않은 상태에서, 상기 저장부의 인쇄 페이스트에 담기는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1, wherein the nozzle,
A vacuum printing apparatus, characterized in that, in a state in which printing is not performed, the printing paste is added to the storage unit. 제2항에 있어서, 상기 저장부는,
상기 인쇄 페이스트가 저장되는 저장 용기;
상기 저장 용기의 상부에 위치하는 수납부; 및
상기 저장 용기와 상기 수납부 사이를 밀폐하는 밀폐부를 포함하며,
상기 노즐은 상기 수납부 및 상기 밀폐부를 관통하여 상기 인쇄 페이스트의 내부로 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 2, wherein the storage unit,
A storage container in which the printing paste is stored;
A storage unit located on the upper portion of the storage container; And
And a sealing portion sealing between the storage container and the receiving portion,
The nozzle is positioned inside the printing paste through the receiving portion and the sealing portion. 제3항에 있어서, 상기 저장부는,
상기 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 경우, 상기 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 개폐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 3, wherein the storage unit,
When forming the inner space of the chamber in a vacuum state, the vacuum printing apparatus further comprising an opening and closing portion for discharging the air inside the storage container. 제1항에 있어서, 상기 거터는,
저장 공간을 형성하여, 상기 노즐로부터 분사되는 인쇄 페이스트를 저장하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1, wherein the gutter,
A vacuum printing apparatus, characterized in that to form a storage space to store the printing paste sprayed from the nozzle. 제1항에 있어서,
상기 챔버의 내부 공간에 위치하여, 상기 인쇄 페이스트를 냉각시키는 냉각부를 더 포함하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1,
A vacuum printing apparatus further comprising a cooling unit positioned in the inner space of the chamber to cool the printing paste. 제6항에 있어서, 상기 냉각부는,
상기 디스펜서의 측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 6, wherein the cooling unit,
Vacuum printing apparatus, characterized in that in close contact with the side of the dispenser. 제1항에 있어서,
상기 저장부와 상기 디스펜서 사이에 연결되어, 상기 저장부의 인쇄 페이스트를 상기 디스펜서로 제공하는 제공라인을 더 포함하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1,
The vacuum printing apparatus further comprises a providing line connected between the storage unit and the dispenser to provide the printing paste of the storage unit to the dispenser. 제1항에 있어서,
상기 기판 상에 위치하며, 상기 노즐이 삽입되며 세정되는 세정부를 더 포함하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1,
A vacuum printing apparatus that is positioned on the substrate and further comprises a cleaning unit into which the nozzle is inserted and cleaned. 제1항에 있어서, 상기 인쇄 페이스트는,
에틸렌 글리콜(ethylene glycol)을 용매로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치. The method of claim 1, wherein the printing paste,
Vacuum printing apparatus comprising ethylene glycol (ethylene glycol) as a solvent. 디스펜서를 저장부의 상부에 위치시키며, 노즐의 끝단이 인쇄 페이스트에 접촉하도록 하는 단계;
상기 저장부를 개방하고, 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 단계;
거터에 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 상기 디스펜서를 기판 상으로 이동시키는 단계; 및
상기 거터를 제거하며, 상기 기판에 상기 인쇄 페이스트로 인쇄하는 단계를 포함하는 진공 프린팅 방법. Placing the dispenser on the upper portion of the storage unit and causing the tip of the nozzle to contact the printing paste;
Opening the storage unit and forming an inner space of the chamber in a vacuum state;
Spraying the printing paste on a gutter and moving the dispenser onto a substrate; And
And removing the gutter and printing the substrate with the printing paste. 제11항에 있어서, 상기 진공 상태로 형성하는 단계에서,
상기 저장부의 개폐부를 개방하여, 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 방법. The method of claim 11, wherein in the forming in the vacuum state,
Vacuum printing method, characterized in that by opening the opening and closing portion of the storage unit to discharge the air inside the storage container. 제11항에 있어서,
상기 기판 상에 위치하는 세정부로 상기 노즐을 삽입하여 세정하는 단계를 더 포함하는 진공 프린팅 방법.The method of claim 11,
Vacuum printing method further comprising the step of cleaning by inserting the nozzle into a cleaning unit positioned on the substrate.
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